JP2003515786A - マルチプル1×n光スイッチ構成 - Google Patents
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Abstract
Description
えるために、2つのN×Nスイッチコア又はファブリックが必要である。各スイ
ッチコア内では、到来ファイバから出た信号が分割され、戻り経路が再び結合さ
れる。かかるスイッチングは、所望の経路を選択する個々のスイッチング機構を
用いることによって実現できる。スイッチコアの全体サイズ(即ち、値N)が増
大し続けるにつれ、シングルポートユニット内にパッケージ実装しなければなら
ない個々のスイッチング機構の数が多すぎる状態になっている。
第1のストリップ構成と、偏向ミラーからなる、第1のストリップ構成に対向す
る第2のストリップ構成とを有し、第1及び第2のストリップ構成の偏向ミラー
は、複数のスイッチを形成すべく協働するように構成されている。
するストリップのN個の偏向ミラーのうちの選択された偏向ミラーに伝える。
り、非常にコンパクトな構成が得られ、かくして、スイッチ組立体の全体的なパ
ッケージ実装サイズが減少する。かかるコンパクトな構成は、多くのスイッチを
シングルユニットとしてパッケージ実装する必要のある光ファイバスイッチング
用途にとって特に関心が向けられている。
かになろう。
2a,12bの構成を含み、2つのアレイ又はストリップ12a,12bはそれ
ぞれ、ミラー14a,14b,14c,14d,14e,14f及びミラー16
a,16b,16c,16d,16e,16fを有している。本明細書において
説明するようなミラー14,16は、2次元ミラーである。変形例として、ミラ
ー14,16は、1次元ミラーであってもよい。ミラーは、1個の入力でN個の
出力(1×N)を持つスイッチ18を形成するようグループ分けされており、図1
では、Nの値は2である。ミラー14a,14d,16c,16fは入力として
働き、他のミラーは出力として働く。ミラー14a,16a,16bは第1のス
イッチ18aを形成し、ミラー16c,14b,14cは第2のスイッチ18b
を形成し、ミラー14d,16d,16eは第3のスイッチ18cを形成し、ミ
ラー16f,14e,14fは第4のスイッチ18dを形成している。励進コリ
メータ(図示せず)からミラーストリップ12aのミラー14aに差し向けられ
た光は、ミラー14aによって対向するミラーストリップ12bのターゲットミ
ラー16a又は16bのいずれかに差し向けられる。ミラーストリップ12bの
ミラー16cに当たった光は、ミラーストリップ12aのミラー14b又はミラ
ー14cのいずれかに差し向けられる。同様に、ミラー14dは、光ビームをタ
ーゲットミラー16c,16dのうちの選択された一方に差し向け、ミラー16
fは、光ビームをターゲットミラー14e,14fのうちの選択された一方に差
し向ける。図から理解できるように、スイッチ18a,18cは、第1の向きに
配置され、スイッチ18b,18dは、第1の向きと反対の第2の向きに配置さ
れている。したがって、図示のようなスイッチのコンパクトな構造を得るために
、第1の向きに配置されたスイッチと第2の向きに配置されたスイッチとは、交
互に配置される。すなわち、スイッチ18a,18c,18b,18dのそれぞ
れの入力14a,14d,16c,16fは、スイッチ18のうちの隣り合うも
のの出力と整列するように配向される。例えば、スイッチ18の入力14aは、
それに隣接したスイッチ18bの出力14b,14dと一線をなし、同様に、ス
イッチ18bの入力16cは、スイッチ18aの出力16a,16b並びにスイ
ッチ18bに隣接したスイッチ18cの出力16d,16eと一線をなす。
、ビームを偏向させるミラー(ターゲットミラー14e,14fの例では、ミラ
ー16f)の偏向角度は極めて小さく、偏向に必要な駆動電圧も非常に小さい。
例えば、(焦点距離が1.5mmのレンズを用い、)レンズ間の距離が50mmで、ミ
ラー間隔が1mmの場合、必要なミラーの偏向角度は、1/2度よりもほんの僅か
に大きい角度であるに過ぎない。偏向させないターゲット位置が2つのターゲッ
トミラーの中間に位置するように、ビーム励進コリメータを各1×2スイッチに
向けることによって、偏向角度を一段と小さくしてもよく、この場合、使用され
る必要がある角度は小さくなる。ストリップに沿う一方の偏向方向だけが、はっ
きりと分かるほどの偏向を必要とすることもできる。この場合、機械的な軸合わ
せが正確に行われていれば、他方の偏向方向は、非常に僅かな補正を必要とする
に過ぎない。もちろん、上述したように、ミラーは1次元であっても良く、その
場合、ミラーは、1方向にだけ偏向させる。
チ組立体20が、2つの組立体22,24を含み、2つの組立体22,24は、
ピン26によって互いにしっかりとクランプ止めされている。組立体24は、レ
ンズ28,28′とファイバフェルール30a,30bを備えたファイバとを保
持する一体構造ブロックであり、これらのレンズ及びファィバは、フェルール3
0a,30bの端部でファイバから出るビームウエスト距離を最大にさせるよう
に互いに調節される。組立体22は、(例えばシリコン、セラミック、ガラス等
の関連した基板を含む)ミラーストリップ12a,12bを保持し、これらのミ
ラーストリップは、これらの導線用の接続リボン32a,32bを有している。
組立体20は、安定化された温度環境をもたらすように、ヒータ34及び温度セ
ンサ36を更に有している。スイッチ組立体20をその周囲環境から断熱ジャケ
ット(図示せず)で断熱するのがよい。
構成するための例示のミラーストリップ構造40が部分図の状態で示されている
。ミラーストリップ構造40は、(図1のミラー14,16に相当する)マイクロ
ミラー構造42を含み、マイクロミラー構造42は各々、基準部材又は基板46
の上面よりも上に配置され且つその上面にわたって支持されたミラー構成44を
有している。マイクロミラー構造42の細部を示すため、3つのマイクロミラー
構造だけが図示されている。図1のスイッチ10のストリップ12a,12bの
各々には、6つのマイクロミラー構造42があることが理解されよう。図3Aに
示すように、各ミラー構成44は、ミラー48を有し、このミラー48は、第1
の対をなす捩り部材52a,52bによってミラーフレーム50に結合されてい
る。ミラー構成44は、第2の対をなす捩り部材54a,54bをさらに有し、
これらの捩り部材54a,54bは、ミラーフレーム50をストリップ56に結
合している。
起部分60と、ベース部分58の両側に設けられた側壁部分62とを有している
。基板は、セラミック又は他の適当な材料で作られたものである。ストリップ5
6は、側壁62の上面に位置している。隆起部分60(図3A)によって示すよ
うに、隆起部分60の形状は円錐形又はほぼ円錐形である。
、隆起部分60の表面に設けられている。電極64は、捩り部材52a,52b
(「X軸」)周りのミラー構成の内側回転並びに捩り部材54a,54b(「Y軸
」)周りのミラー構成の外側回転を制御する。
な隆起部分60を有するのが好ましい。隆起部分60が円錐形又は円錐形に似た
形態を有するものとして説明したけれども、隆起部分60の形状は、電極64を
ミラー構成44に近接して位置決めし且つxy平面内のミラー構成の回転運動を
支持させる任意の形状又は構造のものであってもよい。しかしながら、隆起部分
を設けることが望ましいにもかかわらず、任意その他の電極構造又は電極を支持
するための構造を用いてもよいことが理解されよう。例えば、プレーナ形電極を
用いてもよい。
ほぼ心出しされるように、円錐部30に対して位置決めされる。ミラーフレーム
20の下に位置した基板領域は、円錐形である必要はないけれども、ミラー構成
14を捩り部材24a,24周りにその外側回転軸線を通って自由に回転させる
のに必要とされる角度で傾斜している。これら基板領域を基板16内において直
線的に機械加工することができ、かくして基板16の作製が単純化される。
6よりも下に位置する基板46の側壁部分62との間に用いるのがよい。基板1
2の底面の角度は、重要ではない。典型的には、基板16は、4.5インチ×4
.5インチ(11.43cm×11.43cm)の断面材で作られるので、これら断面
材はすべて一緒に作られる。基板材料を垂直方向及び水平方向に機械加工して所
望角度で材料を除去するのがよい。円錐体又は円錐体に似た形状は、基板構造体
を仕上げるように研削加工によって頂部に形成されるが、これらをエッチングに
よって基板表面に形成してもよい。変形例として、基板材料を未加工状態で注型
するための成形型を作ってもよい。さらに別の変形例では、電極を基板表面上に
めっきしてもよい。
ー構成44は、頂部(即ちデバイス)シリコンウエーハ内に作られる。他の作製
法を用いてもよい。
方法は、「NxN光スイッチの改良」と題する2000年11月16日に出願され
た同時係属中の米国特許出願に詳しく説明されており、かかる米国特許出願の内
容をここに援用する。
使用してもよい。例えば、ミラーストリップ12a,12b及びそれぞれ関連し
たこれらのミラー構造体14,16を、米国特許第 6,044,705号及び第 5,629,7
90号に記載されている技術を用いて構成してもよく、かかる米国特許の内容をこ
こに援用する。他の公知の超精密機械加工された2次元ミラー構造体を用いても
よい。
の米国特許出願及び米国特許に記載されているように、角度偏向センサを用いて
偏向を制御してもよい。いずれの方向への偏向も、静電方式であっても良いし、
磁石方式であっても良いし、或いは、これらの両方の方式であっても良い。例え
ば、比較的大きな偏向度を持つ軸線は磁石方式であるのが良く、比較的小さな偏
向軸線は、小規模な補正しか必要としないので静電方式であるのが良い。かくし
て、たとえミラーが互いに遠くに間隔を隔てていても、静電的に不安定になるお
それは殆ど無い。
せ方式を用いてもよい。例えば、図4を参照すると、(図2Aからのものである
)コリメータ30bから出たファイバ70が、マンドレル71の周りに曲げられ
ていることがあり、かかるファイバは放射線を生じ、この放射線は、(例えば、
プラスチック製)単一レンズ又はフレネルレンズ74により集められて検出器7
2上に結像される。偏向ミラーの駆動電圧又は電流を非常に僅かな角度にわたっ
てディザリングし、検出器72を使用して位相検波方式で伝送出力ピークの最大
値を検出することによって、ミラー14,16を、1つのファイバから別のファ
イバへの光の伝送を行うための最適偏向位置に係止することができる。
1×Nのスイッチにそのまま適用でき、ここでNは、2又は3以上の値である。
さらに、スイッチ10を、4つの1×N(ここでは、N=2)スイッチを有する
ものとして説明したが、スイッチ10は、図示の1×Nスイッチを5以上又は3
以下、有していても良い。
た。変形例として、スイッチ18は、N個の入力及び1個の出力をもつものであ
っても良く、或いは、第1のモードでは入力として働くミラー及び出力として働
くミラーがそれぞれ、第2のモードでは出力及び入力として働くように、2モー
ドで動作するものであってもよい。例えば、再び図1を参照すると、スイッチ1
8は、ミラー14b,14c,14e,14f,16a,16b,16d,16
eを入力として、ミラー14a,14d,16c,16fを出力として用いるよ
う動作させても良い。かくして、1×2スイッチは各々、2個の入力、1個の出
力を持ち、かくして、単一の出力ミラーに差し向けられる2つの入力ミラーのう
ちの対応する1つの入力ミラーで受け取られた、入力信号(即ち、光ビーム)の
うちの1つを選択する。
チの他の実施形態が計画されている。例えば、図5を参照すると、1×2スイッ
チが、スイッチ80として示され、コリメータ及びファイバ組立体84a〜84
c(以下、コリメータという)を有する形態に配置されたシングルラッチ式スイッ
チ素子82を用いて具体的に構成されている。コリメータ84aは、励進コリメ
ータとして働き、コリメータ84b,84cは、射出コリメータとして働く。コ
リメータ84は各々、ミラーストリップ12a,12bのうち一方又は他方に結
合され、好ましくは、シリコン基板に形成された「V」字形溝内に配置される。
ラッチ式スイッチ素子82を、同時係属中の米国特許出願第 09/388,772号に記
載されているように、磁石作動及び静電クランプ方式で具体的に構成することが
でき、かかる米国特許出願の内容をここに援用する。
、光ビーム経路は、コリメータ84aからコリメータ84bに至る。ラッチ式ス
イッチ素子82を図示のように45°の角度のところに位置決めするために(静
電的にクランプ止めすることによって)作動させると、コリメータ84aからの
ビームは、コリメータ84bに差し向けられないで、その代わりにコリメータ8
4cに差し向けられる。たとえラッチ式スイッチ素子82が特定の位置に静電的
にクランプ止めされていても、上述の米国特許出願第09/388,772号に
記載されているように、小規模な位置調整は依然として可能である。コリメータ
84に対するラッチ式スイッチ素子82の機械的配設場所はばらつきがあっても
よい。というのは、スイッチングが行われる時、関連したミラーを傾斜させ、2
方向に適切に調整することができるからである。
発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲は特許請求の範囲の記載に基
づいて定められる。他の実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲
に含まれる。
化する検出器構造の略図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 複数のスイッチを有し、これらのスイッチの各々は、1個の
入力とN個の出力を有し、前記複数のスイッチは、これらのスイッチのうちの1
つのスイッチの入力がそれと隣接した前記複数のスイッチのうちの任意のスイッ
チの出力と一線をなすように構成され且つ互いに配向されている光ファイバスイ
ッチ。 - 【請求項2】 前記複数のスイッチの構成及び配向により、コンパクトな構
成の複数のスイッチになる、請求項1記載の光ファイバスイッチ。 - 【請求項3】 前記各スイッチは、スイッチング経路を形成するよう構成さ
れた偏向ミラーを有している、請求項1記載の光ファイバスイッチ。 - 【請求項4】 前記各偏向ミラーは、前記偏向ミラーからの光を受け取るフ
ァイバのところで決定される出力ピーク検出値に基づいて、最適偏向角度に係止
される、請求項3記載の光ファイバスイッチ。 - 【請求項5】 前記偏向ミラーは、基板よりも上に垂下するミラーと、基板
内に配置され、前記偏向ミラーを2軸方向に回転させるための駆動装置と、を含
む、請求項3記載の光ファイバスイッチ。 - 【請求項6】 偏向ミラーからなる第1のストリップ構成と、 偏向ミラーからなる、前記第1のストリップ構成に対向する第2のストリップ
構成と、を有し、 前記第1及び第2のストリップ構成の偏向ミラーは、複数のスイッチを形成す
べく協働するように構成されている、光ファイバスイッチ組立体。 - 【請求項7】 前記第1のストリップ構成は、少なくとも1対の出力によっ
て間隔を置いた少なくとも2つの入力を有し、第2のストリップ構成は、1つの
入力によって間隔を置いた少なくとも2対の出力を有する、請求項6記載の光フ
ァイバスイッチ組立体。 - 【請求項8】 前記各ストリップの偏向ミラーは各々、光ビームを受け取り
、その光ビームを対向するストリップのN個の偏向ミラーのうちの選択された1
つに伝える、請求項6記載の光ファイバスイッチ組立体。 - 【請求項9】 前記各偏向ミラーは、前記偏向ミラーからの光を受け取るフ
ァイバのところで決定される出力ピーク検出値に基づいて、最適位置に係止され
る、請求項6記載の光ファイバスイッチ組立体。 - 【請求項10】 前記各偏向ミラーは、基板よりも上に垂下するミラーと、
基板内に設けられ、前記偏向ミラーを2軸方向に回転させるための駆動装置と、
を含む1つの構造を有する、請求項6記載の光ファイバスイッチ組立体。 - 【請求項11】 複数のミラーを有し、これら複数のミラーは、それらのう
ちの1つのミラーとそれらのうちの他のN個のミラーとの間にスイッチング経路
を形成するよう構成され、 第1の動作モードでは、前記1つのミラーが光ビームを前記他のN個のミラー
に差し向けるように、前記1つのミラーは入力として働き且つ前記他のN個のミ
ラーは出力として働き、第2の動作モードでは、前記1つのミラーが前記他のN
個のミラーのうちの1つから光ビームを受け取るように、前記1つのミラーは出
力として働き且つ前記他のN個のミラーは入力として働く、光ファイバスイッチ
構造。 - 【請求項12】 3つのコリメータを有し、1つのコリメータが励進コリメ
ータとして働き、他のコリメータが射出コリメータとして働き、 第1の位置及び第2の位置を有するラッチ式スイッチ素子を更に有し、このラ
ッチ式スイッチ素子が第1の位置にあるとき、前記励進コリメータから出た光ビ
ームが前記射出コリメータのうちの第1の射出コリメータに直接差し向けられ、
前記ラッチ式スイッチ素子が第2の位置にあるとき、前記励進コリメータから出
た光ビームが前記ラッチ式スイッチ素子によって前記射出コリメータのうちの第
2の射出コリメータに偏向される、光ファイバスイッチ構造。
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