JP2003515407A - クリーンルーム用クリーニングクロス - Google Patents

クリーンルーム用クリーニングクロス

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、単位面積当り重量３０〜３００ｇ／ｍ２を有するミクロフィラメント不織布からなるクリーンルーム用クリーニングクロスである。この不織布は溶融紡糸された、空力により延伸され直接ウェブに堆積された繊度１．５〜５ｄｔｅｘを有するマルチコンポーネント連続フィラメントからなり、このマルチコンポーネント連続フィラメントは、場合によっては予備的固化の後、少なくとも８０％が繊度０．１〜１．０ｄｔｅｘを有するミクロ連続フィラメントに分割され固定されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、単位面積当り重量３０〜３００ｇ／ｍ２を有するミクロフィラメン
ト不織布からなるクリーンルーム用クリーニングクロスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルームは、種々の作業ステップを、小さな粒子が十分に除去されてい
る環境の中で行うことが著しく重要な、精密製品の製造、検査およびメンテナン
スなどに、ますます幅広く利用されている。ハイテクノロジー製品、例えば超小
型電子回路、光学的製品、或いは製薬製品の製造の場合の改善には、通常、クラ
ス１００のクリーンルームでは調和空気１立方フィートあたり０．５μｍ以上の
大きさの粒子１００個までの範囲、またこれと等価のメートル清浄度クラスＭ３
．５では調和空気立方メートルあたり０．５μｍ以上の大きさの粒子３５３０個
以下［百万分率（ｐｐｍ）またはさらに十億分率単位の粒子数（ｐｐｂ）］が求
められており、クリーンルームの粒子含量に対する要求はますます高まっている
。集積回路は、いわゆる「ウェーハ」、即ち薄いシリコン単結晶板上に製造され
る。集積回路は、トランジスタと他の電気的な構成要素相互の正確な電気的な結
合を必要とする。個々の回路構成要素は、導電性のフィルムによって相互に結合
されており、このフィルムは蒸着された金属からなる。このフィルム層の場合の
回路パターンは、フォトエッチング工程によって得られる。その下の半導体素子
と蒸着された金属層との間の絶縁層は、電気的な結合のために予め定められた箇
所のみでの電気的な結合を可能にする。絶縁層は、「ウェーハ」の表面に置かれ
、その後に個々の構成要素が得られるが、しかしそれは、「ウェーハ」が回路パ
ターンの製造のために導電性の金属で蒸着される前である。不純物、例えば繊維
の断片または塵粒子は、構成要素間の短絡、したがって少なくとも、予め定めら
れた回路の機能の部分的な欠落を生じさせうる。したがって基本的な要求は、全
ての表面およびワークピースから、これらの不純物ができるだけ除去されたまま
にすることである。
【０００３】 米国特許第４８８８２２９号および第５２２９１８１号から、織られたか又は
編まれたクリーニングクロスが公知であり、このクリーニングクロスは、その縁
部の特別な縁かがりによって、糸くずもしくは繊維の断片の遊離を防ぐ。さらに
米国特許第４３２８２７９号および第５７３６４６９号から、不織布からなるク
リーンルーム用クリーニングクロスが公知である。不織布を形成する繊維の表面
には、抽出可能なイオンの量の減少のために、または静電気の帯電の減少のため
に、化学的定着剤が施与される。米国特許第５３２０９００号および第５６４５
９１６号には、クリーンルーム用クリーニングクロスが記載されており、そのク
リーンルーム用クリーニングクロスは繊維混合物からなり、またウォータージェ
ット処理によって不織布にされている。繊維としては合成繊維、例えばポリエス
テルおよびセルロース、もしくは再生セルロース繊維が記載されている。公知の
クリーンルーム用クリーニングクロスの欠点は、クリーンルーム用クリーニング
クロスを洗浄工程で使用できないことである。この工程なしでは、最高のクリー
ンルームのクラス１０もしくはそれ以上は達成できない。したがって、このクラ
スは、今日では連続フィラメントの織物または編み生地しか使用することができ
ない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、クリーンルームのクラス１００の要求に対応する、割安で洗
浄可能なクリーンルーム用クリーニングクロス、ならびにその製造方法を提供す
ることである。繰り返して行われるクリーンルーム洗浄工程を通じて、本発明に
よるミクロフィラメントスパンボンド不織布をベースにしたクリーンルーム用ク
リーニングクロスは、クリーンルームのクラス１０以上で使用することができる
。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば上記課題は、単位面積当り重量３０〜３００ｇ／ｍ２を有する
ミクロフィラメント不織布からなり、その不織布が溶融紡糸された、空力により
延伸され直接ウェブに堆積された、繊度１．５〜５ｄｔｅｘを有するマルチコン
ポーネント連続フィラメントからなり、そのマルチコンポーネント連続フィラメ
ントの少なくとも８０％が、繊度０．１〜１．０ｄｔｅｘを有するミクロ連続フ
ィラメントに分割され固定されている、クリーンルーム用クリーニングクロスに
よって解決される。このようなクリーンルーム用クリーニングクロスは、塵粒子
および液体が良好に入り込み、その中で引留められる表面構造を有する。さらに
、連続フィラメントから形成されているという理由により、極く僅かな繊維断片
しか、クリーンルーム用クリーニングクロスに存在しない。糸くずの出ないクリ
ーニングクロスが得られ、その縁部は、特別に折り返されて縫われる必要もなく
、縁かがりされる必要もない。
【０００６】
【発明の実施の形態】
好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスは、不織布が、溶融紡糸され
た、空力により延伸され直接ウェブに堆積された繊度２〜３ｄｔｅｘを有するマ
ルチコンポーネント連続フィラメントからなり、そのマルチコンポーネント連続
フィラメントの少なくとも８０％が、繊度０．１〜０．３ｄｔｅｘを有するミク
ロ連続フィラメントに分割され固定されている、クリーンルーム用クリーニング
クロスである。
【０００７】 好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスは、マルチコンポーネント連
続フィラメントが、２つの非相溶性のポリマー、特にポリエステルとポリアミド
からなる二成分連続フィラメントであるクリーンルーム用クリーニングクロスで
ある。このような二成分連続フィラメントは、スーパーミクロ連続フィラメント
への良好な分割性を示し、かつ、単位面積当り重量に対する強度の有利な比率を
生じさせる。
【０００８】 好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスは、マルチコンポーネント連
続フィラメントがオレンジ様の、もしくは「パイ」と称される多セグメント構造
をもつ横断面を有し、その際にそれらのセグメントが、２つの非相溶性のポリマ
ーのそれぞれ１つを交互に含有していることからなる、クリーンルーム用クリー
ニングクロスである。マルチコンポーネント連続フィラメントのこのオレンジ様
の多セグメント構造の他に、マルチコンポーネント連続フィラメント内で非相溶
性ポリマーをサイド・バイ・サイド（ｓ／ｓ）に横並びで配置することも可能で
ある。この配置は、好ましくは捲縮加工されたフィラメントを得るのに使用され
る。マルチコンポーネント連続フィラメント内の非相溶性のポリマーのこのよう
な配置は、著しく良好な分割可能性をもたらすことが証明されている。
【０００９】 好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスはさらに、マルチコンポーネ
ント連続フィラメントを形成する非相溶性のポリマーの少なくとも１つが添加剤
、例えば有色顔料、持続的に効果のある帯電防止剤および／または親水性の、も
しくは疎水性の性質に影響を及ぼす添加剤を、最大で、水およびイソプロパノー
ル中への許容しうる抽出値の要求を満足させる量で含有している。原液着色され
たフィラメントからなるクリーンルーム用クリーニングクロスは、著しく良好な
洗濯堅牢度を示す。さらに添加剤によって静電気の帯電を減少ないしは回避する
ことができ、また水分運搬特性を改善することができる。
【００１０】 本発明による、クリーンルーム用クリーニングクロスの製造方法は、マルチコ
ンポーネント連続フィラメントを溶融物から紡糸し、空力により延伸し、かつ堆
積させて直接ウェブにし、場合によっては予備的固化を行い、不織布を高圧流体
ジェットによって固定し、それと同時に繊度０．１〜１．０ｄｔｅｘ、特に繊度
０．１〜０．３ｄｔｅｘを有するミクロ連続フィラメントに分割することによる
。このようにして得られたクリーンルーム用クリーニングクロスは、その厚みに
関して著しく均一である。こうしたクリーンルーム用クリーニングクロスは、等
方性のフィラメント分布を示し、薄い層に剥離する傾向がなく、また高いモジュ
ラスを示す。
【００１１】 好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスの製造方法は、不織布に数回
、表面の各々に対して少なくとも１回ずつ、高圧ウォータージェットを当ててマ
ルチコンポーネント連続フィラメントの固定および分割を行うことによって実施
される。このクリーンルーム用クリーニングクロスは良好な表面を有し、マルチ
コンポーネント連続フィラメントの分割度＞８０％を示す。さらに本発明による
クリーンルーム用クリーニングクロスは、良好な吸水性および乾燥時間が短いこ
とによっても優れている。
【００１２】 本発明によればクリーンルーム用クリーニングクロスは、雑巾もしくはダスタ
ーとして繰り返し使用可能である。
【００１３】 好ましくはクリーンルーム用クリーニングクロスは、工業的なクリーンルーム
洗浄性の要求を満足させつつ、クリーンルームのクラス１０もしくはそれ以上に
対して使用することができる。
【００１４】
【実施例】
例１ ポリエチレンテレフタレートとポリ（ヘキサメチレンアジポアミド）（ＰＥＴ
−ＰＡ６６）の二成分連続フィラメントから、単位面積当り重量５７ｇ／ｍ２を
有する「パイ」断面型のフィラメントによるウェブを得て、２５０バールまでの
圧力のウォータージェット・ニードリングによって両面を処理した。二成分連続
フィラメントは、ウォータージェット・ニードリングによって同時に原料フィラ
メントへと分割された後、繊度約０．１ｄｔｅｘを示した。 例２ ポリエチレンテレフタレートとポリ（ヘキサメチレンアジポアミド）（ＰＥＴ
−ＰＡ６６）の二成分連続フィラメントから、単位面積当り重量６５ｇ／ｍ２を
有する（ｓ／ｓ）配置のフィラメントによるウェブを得て、２５０バールまでの
圧力のウォータージェット・ニードリングによって両面を処理した。二成分連続
フィラメントは、ウォータージェット・ニードリングによって同時に原料フィラ
メントへと分割された後、繊度約１．０ｄｔｅｘを示した。 例３ ＰＥＴとＰＡ６６の重量比６０：４０を有するポリエチレンテレフタレート／
ポリ（ヘキサメチレンアジポアミド）（ＰＥＴ−ＰＡ６６）の二成分連続フィラ
メントから、単位面積当り重量８０ｇ／ｍ２を有する（ｓ／ｓ）配置のフィラメ
ントによるウェブを得て、２５０バールまでの圧力のウォータージェット・ニー
ドリングによって両面を処理した。二成分連続フィラメントは、ウォータージェ
ット・ニードリングによって同時に原料フィラメントへと分割された後、繊度約
０．８ｄｔｅｘおよび捲縮加工されたフィラメント構造を示した。 例４ ポリエチレンテレフタレートとポリ（カプロラクタム）（ＰＥＴ−ＰＡ６）の
二成分連続フィラメントから、単位面積当り重量７０ｇ／ｍ２を有する（パイ）
型断面のフィラメントによるウェブを得て、２５０バールまでの圧力のウォータ
ージェット・ニードリングによって両面を処理した。二成分連続フィラメントは
、ウォータージェット・ニードリングによって同時に原料フィラメントへと分割
された後、繊度約０．１ｄｔｅｘを示した。
【００１５】
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ， ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ， ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ， ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，Ｂ Ｚ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ， ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，Ｊ Ｐ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ， ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，Ｒ Ｏ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ， ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ Ｆターム(参考） 3B074 AA02 AA08 AB01 3L058 BF09 4L047 AA21 AA23 AA27 AB03 AB07 BA04 BA09 CB07 CB10 CC08

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 単位面積当り重量３０〜３００ｇ／ｍ２を有するミクロフィラ
    メント不織布からなるクリーンルーム用クリーニングクロスであって、前記不織
    布が、溶融紡糸され、空力により延伸されて直接ウェブに堆積された、繊度１．
    ５〜５ｄｔｅｘを有するマルチコンポーネント連続フィラメントからなり、前記
    マルチコンポーネント連続フィラメントが、場合によっては予備的固化の後、少
    なくとも８０％が繊度０．１〜１．０ｄｔｅｘを有するミクロ連続フィラメント
    に分割され固定されている、クリーンルーム用クリーニングクロス。
  2. 【請求項２】 前記不織布が、溶融紡糸され、空力により延伸されて直接ウェ
    ブに堆積された、繊度２〜３ｄｔｅｘを有するマルチコンポーネント連続フィラ
    メントからなり、前記マルチコンポーネント連続フィラメントが、場合によって
    は予備的固化の後、少なくとも８０％が繊度０．１〜０．３ｄｔｅｘを有するミ
    クロ連続フィラメントに分割され固定されていることを特徴とする、請求項１記
    載のクリーンルーム用クリーニングクロス。
  3. 【請求項３】 前記マルチコンポーネント連続フィラメントが、２つの非相溶
    性のポリマー、特にポリエステルとポリアミドからなる二成分連続フィラメント
    であることを特徴とする、請求項１又は２記載のクリーンルーム用クリーニング
    クロス。
  4. 【請求項４】 前記マルチコンポーネント連続フィラメントが、多セグメント
    構造をもつオレンジ様の横断面を有し、前記セグメントが２つの非相溶性のポリ
    マーのそれぞれ１つを交互に含有しているか、及び／又は「サイド・バイ・サイ
    ド」構造を有することを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のク
    リーンルーム用クリーニングクロス。
  5. 【請求項５】 前記クリーニングクロスの２つの面が異なるセグメント構造を
    有することを特徴とする、請求項３記載のクリーンルーム用クリーニングクロス
    。
  6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれか１項に記載のクリーンルーム用クリ
    ーニングクロスの製造方法であって、マルチコンポーネント連続フィラメントを
    溶融物から紡糸し、空力により延伸し、直接ウェブに堆積し、場合によっては予
    備的固化を行い、不織布を高圧流体ジェットによって固定しすると同時に繊度０
    ．１〜１．０ｄｔｅｘを有するミクロ連続フィラメントに分割することを特徴と
    する、製造方法。
  7. 【請求項７】 前記不織布の両面のそれぞれに少なくとも１回ずつ高圧流体ジ
    ェットを当てることによってマルチコンポーネント連続フィラメントの固定およ
    び分割を行うことを特徴とする、請求項６記載の方法。
  8. 【請求項８】 前記マルチコンポーネント連続フィラメントの染色を原液着色
    によって行うことを特徴とする、請求項６又は７記載の方法。
  9. 【請求項９】 ２つのスピニングビームを使用し、これらのスピニングビーム
    から「パイ」構造を有するマルチコンポーネント連続フィラメント及び「サイド
    ・バイ・サイド」構造を有する別のマルチコンポーネント連続フィラメントを得
    ることを特徴とする、請求項５又は６記載の方法。
  10. 【請求項１０】 雑巾もしくはダスターとして繰り返し使用可能であることを
    特徴とする、請求項１から９のいずれか１項に記載のクリーンルーム用クリーニ
    ングクロスの使用。
  11. 【請求項１１】 工業的なクリーンルーム洗浄性の要求を満足し、クリーンル
    ームのクラス１０又はそれ以上に対して使用可能なことを特徴とする、請求項１
    から９のいずれか１項に記載のクリーンルーム用クリーニングクロスの使用。
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