JP2003344292A - Icp発光分析装置 - Google Patents
Icp発光分析装置Info
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Abstract
り換えても光路長が変化しないこと。 【解決手段】 プラズマの軸方向観察及び横方向観察を
行うICP発光分析装置において、プラズマ観察点Pと
分光器4の入り口スリット5間の光路上に軸方向観察の
光路と横方向観察の光路の交差位置に光路切換え手段
(折り曲げミラーM2)を備え、プラズマ観察点Pと光
路切換え手段との間の光路において、プラズマの軸方向
観察による光路の光路長と横方向観察による光路の光路
長とを同一とする構成とする。プラズマの軸方向観察に
よる光路の光路長と横方向観察による光路の光路長とを
同一とすることにより、いずれの観察方向の場合であっ
ても、プラズマ観察点と分光器の入り口スリット間の光
路の光路長は同一となり、光路長の変化による焦点距離
の変化を補正するための機構が不要となる。
Description
置に関する。
Coupled Plasma:ICP)を光源とする元素分析装置が知
られている。高周波誘導結合プラズマは高周波誘導によ
って励起されたプラズマである。ICP光源は、一般
に、プラズマトーチと呼ばれる放電管に誘導コイルを巻
き付けて高周波電流(例えば、27.12MHz)を流
して誘導電場を発生させ、プラズマトーチ内にアルゴン
ガスを導入することによりプラズマを形成する。このプ
ラズマ内には、霧状の試料がアルゴンのキャリヤーガス
により送り込まれる。ICP発光分析では、ICPによ
り励起発光させた光をプリズムや回折格子等を備える分
光器により分光して原子スペクトルを求め、この原子ス
ペクトル線の波長及び強度を測定して原子の種類と濃度
を定める。
軸方向から放射される光を取り出して観察する軸方向観
察と、プラズマの横方向から放射される光を取り出して
観察する横方向観察とが知られている。この軸方向観察
と横方向観察を切り換えることにより微量から高濃度ま
での試料の分析を行う。プラズマの観察方向を切り換え
るための構成として、従来、光路に対して折り曲げミラ
ーを出し入れさせる構成や、プラズマトーチの位置を移
動させる構成が知られている。
ラズマの観察方向の切換機構を説明するための概略図で
ある。図5に示す構成では、プラズマトーチ102のプ
ラズマ103と分光器104の入り口スリット105と
を結ぶ二つの光路120,121の切り換えは、折り曲
げミラーを移動させることにより行う。光路120,1
21上には折り曲げミラー106,107,108、及
びレンズ109が配置され、光路120を通してプラズ
マ103の軸方向観察を行い、光路121を通して横方
向観察を行う。光路120は折り曲げミラーやレンズ等
の光学系を通らない光路であり、光路121は折り曲げ
ミラー106,107,108及びレンズ109等の光
学系を通る光路である。
曲げミラー108を光路120上から外すことにより行
い、横方向観察は図5(c)に示すように折り曲げミラ
ー108を光路120上に配置して光路121を形成す
ることにより行う。このとき、プラズマ103と入り口
スリット105との間の光路長は光路120と光路12
1とで異なる。例えば、光路120の光路長は(D1+
D0)となり、光路121の光路長は(d1+d2+d
3+D0)となり、D1とd2の長さが等しい場合であ
っても、(d1+d3)の距離分だけ光路長が異なるこ
とになる。軸方向及び横方向共にプラズマ観察点の像を
分光器の入り口スリットに結像させるには、焦点距離を
補正するレンズが何れかの観察位置に必要となる。図5
では、焦点距離補正用のレンズ109を出し入れするこ
とにより、光路長の変化を補正している。
チ102のプラズマ103と分光器104の入り口スリ
ット105とを結ぶ二つの光路122,123の切換
は、プラズマトーチ102の位置を移動させることによ
り行う。プラズマトーチ102側が分光器側(図示して
いない)に対して移動自在となるよう構成する。プラズ
マ103の軸方向観察は図6(a)に示すように光路1
22を通して行い、横方向観察は図6(b)に示すよう
に光路123を通して行う。光路123は、プラズマト
ーチ側を移動させ折り曲げミラー108を通して形成さ
れる。このとき、プラズマ103と入り口スリット10
5との間の光路長は光路122と光路123とで異な
る。そのため、光路長の変化を補正するために、焦点距
離補正用のレンズ109により調整する必要がある。
装置では、プラズマの観察方向を切り換るために、折り
曲げミラーを出し入れする機構や、プラズマトーチ位置
を移動させる機構を備え、これにより観察方向毎に光路
を切り換えて行っている。この光路の切り換えは、光路
長の変化を伴うため、光路内において焦点距離補正用の
レンズを切り換える機構を必要としている。
光部分の構造が複雑となるという問題があり、また、そ
のため製造コストも大きくなるという問題もある。
解決し、ICP発光分析装置において、観察方向を切り
換えても光路長が変化しないことを目的とし、また、光
路長の変化による焦点距離の変化を補正する機構を不要
とすることを目的とする。
方向観察及び横方向観察を行うICP発光分析装置にお
いて、プラズマ観察点と分光器の入り口スリット間の光
路上において軸方向観察の光路と横方向観察の光路の交
差位置に光路切換え手段を備え、プラズマ観察点と光路
切換え手段との間の光路において、プラズマの軸方向観
察による光路の光路長と横方向観察による光路の光路長
とを同一長とする構成とする。
と横方向観察による光路の光路長とを同一長とすること
により、いずれの観察方向の場合であっても、プラズマ
観察点と分光器の入り口スリット間の光路の光路長は同
一となる。そのため、焦点距離の変化を補正する、例え
ば、焦点距離補正用レンズ及び移動機構等の機構が不要
となる。
方向観察の光路の交差位置において、反射及び/又は遮
蔽によりプラズマの軸方向観察の光路又は横方向観察の
光路の何れか一方に切り換えて、分光器の入り口スリッ
トの光路に接続する。
向は、平行な方向とすることも、あるいは互いに直交す
る方向とすることもできる。また、プラズマトーチの軸
方向と分光器の光軸方向とを任意の角度関係とすること
もできる。
察点と光路切換え点との間において、プラズマの軸方向
観察による光路上に配置する反射手段の個数とプラズマ
の横方向観察による光路上に配置する反射手段の個数を
同数とし、両光路上における反射回数を同一回数とする
構成としてもよい。この反射回数を同一回数とすること
で、反射による光強度の減衰の影響を緩和し、プラズマ
の軸方向観察の強度と横方向観察光路の強度の光路によ
る違いを低減させることができる。
軸方向観察の観察方向と、プラズマの横方向観察の観察
方向とにより形成される平面に対して所定角度の方向上
に分光器を配置し、3次元構成とすることもできる。
て、図を参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の
ICP発光分析装置を説明するための概略図である。図
1はプラズマトーチの軸方向と分光器の光軸方向を平行
とする構成例を示している。プラズマトーチ2により形
成されるプラズマ3と分光器4の入り口スリット5との
間には二つの光路10,11が形成され、両光路は光路
切換え手段により切り換えられる。光路切換え手段は、
二つの光路10,11が交差する位置Qに移動自在に配
置される折り曲げミラーM2により構成することができ
る。
ラズマの軸方向の光を分光器4に導き、光路11(図1
(a)中の二点鎖線)はプラズマの横方向の光を分光器
4に導く。光路10上には、折り曲げミラーM1が固定
されると共に、折り曲げミラーM2が光路10に対して
出し入れ自在に設けられる。また、光路11上には、折
り曲げミラーM3が固定されると共に、折り曲げミラー
M2が光路11に対して出し入れ自在に設けられる。折
り曲げミラーM2は、光路11,12で共用され、光路
切換え手段を構成する。この折り曲げミラーM2を光路
に対して移動させることにより、プラズマ観察点Pと分
光器4の入り口スリット5との間を、光路10あるいは
光路11により光学的に結ぶことができる。
り曲げミラーM2を交差位置Qに導入することにより、
プラズマ観察点P,折り曲げミラーM1,折り曲げミラ
ーM2,及び入り口スリット5を光学的に結ぶ。光路1
0において、プラズマ観察点Pと固定された折り曲げミ
ラーM1との距離をAとし、固定された折り曲げミラー
M1と交差位置Q上折り曲げミラーM2との距離をBと
し、交差位置Q上の折り曲げミラーM2と分光器4の前
方の入り口スリット5の距離をCとすると、光路長は
(A+B+C)で表される。なお、このとき、折り曲げ
ミラーM3を通る光路(図中の二点鎖線)は、交差位置
Qに折り曲げミラーM2が導入されることにより遮断さ
れ、プラズマ横方向の光は入り口スリット5に導入され
ない。
に、折り曲げミラーM2を交差位置Qから外すことによ
り、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM3,及び入り
口スリット5を光学的に結ぶ。光路11において、プラ
ズマ観察点Pと固定された折り曲げミラーM3との距離
をbとし、固定された折り曲げミラーM3と交差位置Q
との距離をaとし、交差位置Qと分光器4の前方の入り
口スリット5の距離をcとすると、光路長は(a+b+
c)で表される。なお、このとき、折り曲げミラーM
1,M2を通る光路(図中の一点鎖線)は、折り曲げミ
ラーM2が交差位置Qからはずれるため形成されず、プ
ラズマ軸方向の光は入り口スリット5に導入されない。
ら、光路10上の距離Aと光路11上の距離aとを同一
の長さとし、また、光路10上の距離Bと光路11上の
距離bとを同一の長さとすることにより、光路10の光
路長(a+b+c)と光路11の光路長(A+B+C)
とを同一の長さとすることができる。これにより、折り
曲げミラーM2を出し入れすることにより光路が切り換
えられた場合であっても、プラズマ観察点Pにおける軸
方向の像と横方向の像は、レンズ等の焦点距離補正用の
レンズを用いることなく、共に入り口スリット5上に結
像される。
ラズマ観察点Pと入り口スリット5に位置に対して、交
差位置Q,及び折り曲げミラーM1,M2の配置位置を
定めることにより調整することができる。
実施形態を説明するための概略図である。図2はプラズ
マトーチの軸方向と分光器の光軸方向とが直交する構成
例を示している。図1に示す構成と同様に、プラズマト
ーチ2により形成されるプラズマ3と分光器4の入り口
スリット5との間には二つの光路10,11が形成さ
れ、両光路は光路切換え手段により切り換えられる。光
路切換え手段は、二つの光路10,11が交差する位置
Qに移動自在に配置される折り曲げミラーM2により構
成することができる。
ラズマの横方向の光を分光器4に導き、光路11(図2
(a)中の二点鎖線)はプラズマの軸方向の光を分光器
4に導く。光路10上には、折り曲げミラーM1が固定
されると共に、折り曲げミラーM2が光路10に対して
出し入れ自在に設けられる。また、光路11上には、折
り曲げミラーM3が固定されると共に、折り曲げミラー
M2が光路11に対して出し入れ自在に設けられる。折
り曲げミラーM2は、光路11,12で共用され、光路
切換え手段を構成する。この折り曲げミラーM2を光路
に対して移動させることにより、プラズマ観察点Pと分
光器4の入り口スリット5との間を、光路10あるいは
光路11により光学的に結ぶことができる。
り曲げミラーM2を交差位置Qに導入することにより、
プラズマ観察点P,折り曲げミラーM1,折り曲げミラ
ーM2,及び入り口スリット5を光学的に結び、光路長
は図1と同様に(A+B+C)で表される。なお、この
とき、折り曲げミラーM3を通る光路11(図中の二点
鎖線)は、交差位置Qに折り曲げミラーM2が導入され
ることにより遮断され、プラズマ軸方向の光は入り口ス
リット5に導入されない。
に、折り曲げミラーM2を交差位置Qから外すことによ
り、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM3,及び入り
口スリット5を光学的に結び、光路長は図1と同様に
(a+b+c)で表される。なお、このとき、折り曲げ
ミラーM1,M2を通る光路10(図中の一点鎖線)
は、交差位置Qから折り曲げミラーM2が外されること
により形成されず、プラズマ横方向の光は入り口スリッ
ト5に導入されない。
ら、光路10上の距離Aと光路11上の距離aとを同一
の長さとし、また、光路10上の距離Bと光路11上の
距離bとを同一の長さとすることにより、光路10の光
路長(a+b+c)と光路11の光路長(A+B+C)
とを同一の長さとすることができる。これにより、折り
曲げミラーM2を出し入れすることにより光路が切り換
えられた場合であっても、プラズマ観察点Pにおける軸
方向の像と横方向の像は、レンズ等の焦点距離補正用の
レンズを用いることなく、共に入り口スリット5上に結
像される。
ラズマ観察点Pと入り口スリット5に位置に対して、交
差位置Q,及び折り曲げミラーM1,M2の位置を定め
ることにより調整することができる。
実施形態を説明するための概略図である。図3はプラズ
マトーチの軸方向に対する分光器の光軸方向を任意の方
向とする構成例を示している。プラズマトーチ2により
形成されるプラズマ3と分光器4の入り口スリット5と
の間には二つの光路12,13が形成され、両光路は光
路切換え手段により切り換えられる。光路切換え手段
は、二つの光路12,13が交差する位置Qに回転自在
に配置される折り曲げミラーM2により構成することが
でき、プラズマトーチ2の軸方向に対して任意の方向に
設けた分光器4に光を導く。なお、図3では、分光器4
及び入り口スリット5は、光路12及び光路13に対し
て対照な角度位置に配置した例を示している。
ラズマの横方向の光を分光器4に導き、光路13(図3
(a)中の二点鎖線)はプラズマの軸方向の光を分光器
4に導く。光路12上には折り曲げミラーM1が固定さ
れ、また、光路13上には折り曲げミラーM3が固定さ
れると共に、両光路12,13の交差位置Qに折り曲げ
ミラーM2が回転自在に設けられる。この折り曲げミラ
ーM2を光路12,13に対して回転させることによ
り、プラズマ観察点Pと分光器4の入り口スリット5と
の間を、光路12あるいは光路13を選択し、光学的に
結ぶことができる。
り曲げミラーM2を交差位置Q上で回転させることによ
り、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM1,折り曲げ
ミラーM2,及び入り口スリット5を光学的に結ぶ。光
路12において、プラズマ観察点Pと固定された折り曲
げミラーM1との距離をAとし、固定された折り曲げミ
ラーM1と回転自在な折り曲げミラーM2との距離をB
とし、折り曲げミラーM2と分光器4の前方の入り口ス
リット5の距離をCとすると、光路長は(A+B+C)
で表される。なお、このとき、折り曲げミラーM3を通
る光は、折り曲げミラーM2により遮断あるいは、入り
口スリット5以外の方向に反射され、プラズマ軸方向の
光は入り口スリット5に導入されない。
に、折り曲げミラーM2を交差位置Qにおいて回転させ
ることにより、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM
3,折り曲げミラー2,及び入り口スリット5を光学的
に結ぶ。光路13において、プラズマ観察点Pと固定さ
れた折り曲げミラーM3との距離をbとし、固定された
折り曲げミラーM3と交差位置Qとの距離をaとし、交
差位置Qと分光器4の前方の入り口スリット5の距離を
cとすると、光路長は(a+b+c)で表される。な
お、このとき、折り曲げミラーM1,M2を通る光は、
交差位置Qにおいて折り曲げミラーM2により遮断ある
いは、入り口スリット5以外の方向に反射され、プラズ
マ横方向の光は入り口スリット5に導入されない。
ら、光路12上の距離Aと光路13上の距離aとを同一
の長さとし、また、光路12上の距離Bと光路13上の
距離bとを同一の長さとすることにより、光路12の光
路長(a+b+c)と光路13の光路長(A+B+C)
とを同一の長さとすることができる。これにより、折り
曲げミラーM2を回転することにより光路が切り換えら
れた場合であっても、プラズマ観察点Pにおける軸方向
の像と横方向の像は、レンズ等の焦点距離補正用のレン
ズを用いることなく、共に入り口スリット5上に結像さ
れる。
ラズマ観察点Pと入り口スリット5に位置に対して、交
差位置Q,折り曲げミラーM1,M2の位置を定めるこ
とにより調整することができる。なお、折り曲げミラー
M2は、両面ミラーとすることも、一方の面を鏡面とし
他方の面を遮蔽面とすることもできる。
実施形態を説明するための概略図である。図4はプラズ
マの軸方向と横方向が形成する平面に対して、所定の角
度方向に分光器を設ける3次元の構成例を示している。
プラズマトーチ2により形成されるプラズマ3と分光器
4の入り口スリット5との間には二つの光路14,15
が形成され、両光路は光路切換え手段により切り換えら
れる。光路切換え手段は、各光路上に移動自在に設けら
れた折り曲げミラーM1,M3、あるいは、二つの光路
14,15が交差する位置Qに回転自在に配置される折
り曲げミラーM2により構成することができ、プラズマ
の軸方向と横方向が形成する平面に対して所定の角度方
向に分光器4及び入り口スリット5を配置する。図4
は、分光器4及び入り口スリット5を平面に対して垂直
な方向に配置し、四角柱の底面の四隅にプラズマ観察点
P、及び折り曲げミラーM1,M2,M3を配置し、四
角柱の上面の一隅に入り口スリット5を配置した構成を
示している。なお、図4(a)〜(c)は折り曲げミラ
ーM1,M3を移動自在とする構成例を示し、図4
(d)〜(e)は折り曲げミラーM2を回転自在とする
構成例を示している。
て、光路14(図4(a)中の一点鎖線)はプラズマの
軸方向の光を分光器4に導き、光路15(図4(a)中
の二点鎖線)はプラズマの横方向の光を分光器4に導
く。光路14上の折り曲げミラーM1、及び光路15上
の折り曲げミラーM3は移動自在であり、また、両光路
12,13の交差位置Qには折り曲げミラーM2が固定
されている。この折り曲げミラーM1,M3を光路1
4,15に対して移動させることにより、プラズマ観察
点Pと分光器4の入り口スリット5との間を、光路14
あるいは光路15により選択して、光学的に結ぶことが
できる。
り曲げミラーM1を光路14上に配置すると共に、折り
曲げミラーM3を光路15から外すことにより、プラズ
マ観察点P,折り曲げミラーM1,折り曲げミラーM
2,及び入り口スリット5を光学的に結ぶ。光路14に
おいて、プラズマ観察点Pと折り曲げミラーM1との距
離をAとし、折り曲げミラーM1と折り曲げミラーM2
との距離をBとし、折り曲げミラーM2と分光器4の前
方の入り口スリット5の距離をCとすると、光路長は
(A+B+C)で表される。なお、このとき、折り曲げ
ミラーM3を移動させることにより、プラズマ横方向の
光は折り曲げミラーM3で反射されないため、入り口ス
リット5に導入されない。
に、折り曲げミラーM3を光路15上に配置すると共
に、折り曲げミラーM1を光路14から外すことによ
り、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM3,折り曲げ
ミラーM2,及び入り口スリット5を光学的に結ぶ。光
路15において、プラズマ観察点Pと折り曲げミラーM
3との距離をaとし、折り曲げミラーM1と折り曲げミ
ラーM2との距離をbとし、折り曲げミラーM2と分光
器4の前方の入り口スリット5の距離をcとすると、光
路長は(a+b+c)で表される。なお、このとき、折
り曲げミラーM1を移動させることにより、プラズマ軸
方向の光は折り曲げミラーM1で反射されないため、入
り口スリット5に導入されない。
ら、光路14上の距離Aと光路15上の距離aとを同一
の長さとし、また、光路14上の距離Bと光路15上の
距離bとを同一の長さとすることにより、光路14の光
路長(A+B+C)と光路15の光路長(a+b+c)
とを同一の長さとすることができる。これにより、折り
曲げミラーM2の回転により光路が切り換えられた場合
であっても、プラズマ観察点Pにおける軸方向の像と横
方向の像は、レンズ等の焦点距離補正用のレンズを用い
ることなく、共に入り口スリット5上に結像される。
ラズマ観察点Pと入り口スリット5に位置に対して、交
差位置Q,折り曲げミラーM1,M2の位置を定めるこ
とにより調整することができる。
て、光路14(図4(d)中の一点鎖線)はプラズマの
軸方向の光を分光器4に導き、光路15(図4(d)中
の二点鎖線)はプラズマの横方向の光を分光器4に導
く。光路14上の折り曲げミラーM1、及び光路15上
の折り曲げミラーM3は固定され、両光路12,13の
交差位置Qの折り曲げミラーM2は回転自在とする。こ
の折り曲げミラーM2を回転させることにより、プラズ
マ観察点Pと分光器4の入り口スリット5との間を、光
路14あるいは光路15により選択して、光学的に結ぶ
ことができる。
り曲げミラーM2を回転させることにより、プラズマ観
察点P,折り曲げミラーM1,折り曲げミラーM2,及
び入り口スリット5を光学的に結ぶ。光路14におい
て、プラズマ観察点Pと固定された折り曲げミラーM1
との距離をAとし、固定された折り曲げミラーM1と回
転自在な折り曲げミラーM2との距離をBとし、折り曲
げミラーM2と分光器4の前方の入り口スリット5の距
離をCとすると、光路長は(A+B+C)で表される。
なお、このとき、折り曲げミラーM2が回転することに
より、プラズマ横方向の光は折り曲げミラーM2で反射
されず入り口スリット5に導入されない。
に、折り曲げミラーM2を交差位置Q上で回転させるこ
とにより、プラズマ観察点P,折り曲げミラーM3,折
り曲げミラーM2,及び入り口スリット5を光学的に結
ぶ。光路15において、プラズマ観察点Pと折り曲げミ
ラーM3との距離をaとし、折り曲げミラーM1と折り
曲げミラーM2との距離をbとし、折り曲げミラーM2
と分光器4の前方の入り口スリット5の距離をcとする
と、光路長は(a+b+c)で表される。
ら、光路14上の距離Aと光路15上の距離aとを同一
の長さとし、また、光路14上の距離Bと光路15上の
距離bとを同一の長さとすることにより、光路14の光
路長(A+B+C)と光路15の光路長(a+b+c)
とを同一の長さとすることができる。これにより、折り
曲げミラーM1,M3の移動により光路が切り換えられ
た場合であっても、プラズマ観察点Pにおける軸方向の
像と横方向の像は、レンズ等の焦点距離補正用のレンズ
を用いることなく、共に入り口スリット5上に結像され
る。
ラズマ観察点Pと入り口スリット5に位置に対して、交
差位置Q,折り曲げミラーM1,M2の位置を定めるこ
とにより調整することができる。また、折り曲げミラー
M2は、湾曲ミラーとすることも、二つの平面鏡により
構成することもできる。
おいて反射回数を同一とすることができる。これによ
り、反射による光強度の減衰の影響を各光路で合わせる
ことができる。
コストを低減することができる他、レンズを移動させる
機構等の機械的部分を減らすことにより、安定性及び信
頼性を高めことができる。
ICP発光分析装置においてプラズマ軸方向観察とプラ
ズマ横方向観察とで、観察方向を切り換えても光路長は
変化せず、光路長の変化による焦点距離を補正する機構
を不要とすることができる。
概略図である。
説明するための概略図である。
説明するための概略図である。
説明するための概略図である。
向の切換機構を説明するための概略図である。
向の切換機構を説明するための概略図である。
ラズマ、4…分光器、5…入り口スリット、10〜15
…光路、P…プラズマ観察点、Q…交差位置、M1〜M
3…折り曲げミラー、101…ICP発光分析装置、1
02…プラズマトーチ、103…プラズマ、104…分
光器、105…入り口スリット、106〜108…折り
曲げミラー、109…レンズ、120,121…光路。
Claims (4)
- 【請求項1】 プラズマの軸方向観察及び横方向観察を
行うICP発光分析装置において、プラズマ観察点と分
光器の入り口スリット間の光路上において軸方向観察の
光路と横方向観察の光路の交差位置に光路切換え手段を
備え、プラズマ観察点と光路切換え手段との間の光路に
おいて、プラズマの軸方向観察による光路の光路長と横
方向観察による光路の光路長とを同一長とすることを特
徴とする、ICP発光分析装置。 - 【請求項2】 前記光路切換え手段は、前記交差位置に
おいて、反射及び/又は遮蔽によりプラズマの軸方向観
察の光路又は横方向観察の光路の何れか一方に切り換え
て、分光器の入り口スリットの光路に接続することを特
徴とする、請求項1に記載のICP発光分析装置。 - 【請求項3】 プラズマ観察点と光路切換え点との間に
おいて、プラズマの軸方向観察による光路上に配置する
反射手段の個数とプラズマの横方向観察による光路上に
配置する反射手段の個数を同数とし、両光路上における
反射回数を同一回数とすることを特徴とする、請求項1
又は2に記載のICP発光分析装置。 - 【請求項4】 プラズマの軸方向観察の観察方向と、プ
ラズマの横方向観察の観察方向とが形成する平面に対し
て所定角度を成す軸方向上に分光器を配置することを特
徴とする、請求項1乃至3の何れかに記載のICP発光
分析装置。
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---|---|---|---|
JP2002159182A JP3769750B2 (ja) | 2002-05-31 | 2002-05-31 | Icp発光分析装置 |
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JP2002159182A JP3769750B2 (ja) | 2002-05-31 | 2002-05-31 | Icp発光分析装置 |
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JP2003344292A true JP2003344292A (ja) | 2003-12-03 |
JP3769750B2 JP3769750B2 (ja) | 2006-04-26 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010243348A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Shimadzu Corp | Icp発光分析装置及びicp発光分析方法 |
CN106338506A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-01-18 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种应用于icp光谱仪的双向观测光路结构 |
-
2002
- 2002-05-31 JP JP2002159182A patent/JP3769750B2/ja not_active Expired - Lifetime
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CN106338506A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-01-18 | 钢研纳克检测技术有限公司 | 一种应用于icp光谱仪的双向观测光路结构 |
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