JP2003336656A - 回転軸固定機構 - Google Patents
回転軸固定機構Info
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 4
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
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- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、回転軸を持つ複数の回転部材を有す
る機器について、前記回転軸のうち少なくとも1つの回
転軸が回転駆動手段に固定されており、前記複数の回転
軸に同期手段を施しても回転軸長が長くならず、大きな
回転部材の回転軸に対しても容易に回転駆動手段を接続
することのできる固定機構を提供することを目的とす
る。 【解決手段】回転軸を持ち複数の回転部材を有する互い
にギア等の同期手段により同期して回転させ少なくとも
前記回転部材の回転軸のうち一つの回転軸をモータ等の
回転駆動手段により回転させる回転構造において、前記
ギア等の同期手段に前期回転駆動手段の回転軸を接続し
た。さらに、前記ギア等の同期手段を前記回転部材の回
転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動手段の軸端部に形成
したスプラインと前記同期手段に形成したスプラインカ
ップリングとを嵌めることにより固定した。
る機器について、前記回転軸のうち少なくとも1つの回
転軸が回転駆動手段に固定されており、前記複数の回転
軸に同期手段を施しても回転軸長が長くならず、大きな
回転部材の回転軸に対しても容易に回転駆動手段を接続
することのできる固定機構を提供することを目的とす
る。 【解決手段】回転軸を持ち複数の回転部材を有する互い
にギア等の同期手段により同期して回転させ少なくとも
前記回転部材の回転軸のうち一つの回転軸をモータ等の
回転駆動手段により回転させる回転構造において、前記
ギア等の同期手段に前期回転駆動手段の回転軸を接続し
た。さらに、前記ギア等の同期手段を前記回転部材の回
転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動手段の軸端部に形成
したスプラインと前記同期手段に形成したスプラインカ
ップリングとを嵌めることにより固定した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも二つの
回転軸がギア等の同期手段により同期して回転し、少な
くとも一つの回転軸とモータ等の回転駆動手段を前記ギ
ア等の同期手段に施した固定手段を介して固定する機構
に関するものである。
回転軸がギア等の同期手段により同期して回転し、少な
くとも一つの回転軸とモータ等の回転駆動手段を前記ギ
ア等の同期手段に施した固定手段を介して固定する機構
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の回転体の回転軸とモータ等の回転
駆動手段の回転軸との連結手段としては図5に示すよう
なモータの回転軸1と回転部材の回転軸2をカップリン
グ3で固定してきた。カップリング3は例えば図5のA
A断面図である図6のように締めネジ4を締めることに
より回転部材の回転軸と同軸に固定され,締めネジ5を
締めることによりモータの回転軸1と固定される。これ
により固定部材の回転軸とモータの回転軸が固定され
る。回転部材の回転軸とモータの回転軸の固定部にスプ
ラインを切りスプラインカップリングで両軸を固定する
ことにより固定部材の回転軸とモータの回転軸を固定す
る方法もある。
駆動手段の回転軸との連結手段としては図5に示すよう
なモータの回転軸1と回転部材の回転軸2をカップリン
グ3で固定してきた。カップリング3は例えば図5のA
A断面図である図6のように締めネジ4を締めることに
より回転部材の回転軸と同軸に固定され,締めネジ5を
締めることによりモータの回転軸1と固定される。これ
により固定部材の回転軸とモータの回転軸が固定され
る。回転部材の回転軸とモータの回転軸の固定部にスプ
ラインを切りスプラインカップリングで両軸を固定する
ことにより固定部材の回転軸とモータの回転軸を固定す
る方法もある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の回転
部材の回転軸とモータの回転軸との固定方法において
は、以下のような大きな問題があった。複数の回転軸を
同期して回転させる場合、各軸の同期を取るためにギア
伝達方式やトラクション伝達方式等を用いなければなら
ず、歯車やトラクションリングの厚み分、回転体の回転
軸長を長くする必要があり、従って回転部材を用いてい
る装置全体の回転軸方向長が長くなるという問題があっ
た。
部材の回転軸とモータの回転軸との固定方法において
は、以下のような大きな問題があった。複数の回転軸を
同期して回転させる場合、各軸の同期を取るためにギア
伝達方式やトラクション伝達方式等を用いなければなら
ず、歯車やトラクションリングの厚み分、回転体の回転
軸長を長くする必要があり、従って回転部材を用いてい
る装置全体の回転軸方向長が長くなるという問題があっ
た。
【0004】また、図4に示すように回転部材の回転軸
11とモータの回転軸12の先端部にオススプライン1
3及び14を切りメススプラインカップリング15で両
軸を固定することにより固定部材の回転軸とモータの回
転軸を固定する場合、固定部分の分、回転体の回転軸長
を長くする必要があった。また、真空ポンプのロータの
ように回転部材のサイズが大きくなると固定部の軸上に
スプラインを加工することが困難であるという問題も生
じた。
11とモータの回転軸12の先端部にオススプライン1
3及び14を切りメススプラインカップリング15で両
軸を固定することにより固定部材の回転軸とモータの回
転軸を固定する場合、固定部分の分、回転体の回転軸長
を長くする必要があった。また、真空ポンプのロータの
ように回転部材のサイズが大きくなると固定部の軸上に
スプラインを加工することが困難であるという問題も生
じた。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願発明では上記のよう
な問題に鑑みなされたものであり、少なくとも二つの回
転部材の回転軸を持ち互いにギア等の同期手段により同
期して回転させ前記回転部材の回転軸のうち少なくとも
一つの回転軸をモータ等の回転駆動手段により回転させ
る機器において、前記ギア等の同期手段に前記回転部材
の回転軸と前期回転駆動手段の回転軸との間の固定手段
を施したことを特徴とする。このような構成にすること
により複数の回転体に対して回転軸の同期を取る目的で
取り付ける歯型ギアやトラクションギア等の同期手段を
装着しても軸の固定手段が施されているので回転体の回
転軸の長さを長くする必要がなくなり回転部材を用いて
いる装置全体の軸方向長を伸ばさないようにできる。
な問題に鑑みなされたものであり、少なくとも二つの回
転部材の回転軸を持ち互いにギア等の同期手段により同
期して回転させ前記回転部材の回転軸のうち少なくとも
一つの回転軸をモータ等の回転駆動手段により回転させ
る機器において、前記ギア等の同期手段に前記回転部材
の回転軸と前期回転駆動手段の回転軸との間の固定手段
を施したことを特徴とする。このような構成にすること
により複数の回転体に対して回転軸の同期を取る目的で
取り付ける歯型ギアやトラクションギア等の同期手段を
装着しても軸の固定手段が施されているので回転体の回
転軸の長さを長くする必要がなくなり回転部材を用いて
いる装置全体の軸方向長を伸ばさないようにできる。
【0006】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定したことを特徴とする。つまり、スプライン加工の困
難な回転部材に対しても回転部材の回転軸とモータ等の
回転駆動手段の回転軸との間の固定手段であるギア等の
同期手段を焼き嵌めすることにより回転部材の回転軸固
定部に加工の難しいスプラインを形成する必要がなくな
る。また回転駆動手段の回転軸に対してもスプライン加
工をせず、同期手段と回転駆動手段の回転軸焼き嵌めを
することにより固定することもできる。
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定したことを特徴とする。つまり、スプライン加工の困
難な回転部材に対しても回転部材の回転軸とモータ等の
回転駆動手段の回転軸との間の固定手段であるギア等の
同期手段を焼き嵌めすることにより回転部材の回転軸固
定部に加工の難しいスプラインを形成する必要がなくな
る。また回転駆動手段の回転軸に対してもスプライン加
工をせず、同期手段と回転駆動手段の回転軸焼き嵌めを
することにより固定することもできる。
【0007】前記回転軸固定機構を一対のロータを持つ
真空ポンプに適応したことを特徴とする。通常真空ポン
プのロータはサイズの大きなものが一般的であり、ま
た、半導体製造装置等の限られた空間に収納する必要が
あり、本件発明の回転軸固定機構を適応することによ
り、加工の困難なロータの軸部を固定用に別加工する必
要がなくなり、組立を容易にでき、さらにギアによるロ
ータの回転軸長が長くなることも抑えることができる。
真空ポンプに適応したことを特徴とする。通常真空ポン
プのロータはサイズの大きなものが一般的であり、ま
た、半導体製造装置等の限られた空間に収納する必要が
あり、本件発明の回転軸固定機構を適応することによ
り、加工の困難なロータの軸部を固定用に別加工する必
要がなくなり、組立を容易にでき、さらにギアによるロ
ータの回転軸長が長くなることも抑えることができる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明のスクリュー式真空
ポンプへの適応例を図1及び図2を用いて説明する。
ポンプへの適応例を図1及び図2を用いて説明する。
【0009】まず、本実施形態に係るスクリュー式真空
ポンプ100の構成について説明する。
ポンプ100の構成について説明する。
【0010】スクリュー式真空ポンプ100は、スクリ
ュウロータ101及び102を備えている。スクリュウ
ロータ101、102は、ハウジング103の内部に形
成された排気側ロータ収納室としてのハウジング103
に収納されている。詳述すると、スクリュウロータ10
1は軸受104及び105によってハウジング103に
回転可能に支持され、スクリュウロータ102は軸受1
06及び107によってハウジング103に回転可能に
支持されている。また、シール108,109、110
及び111は軸受104、105、106及び107と
ハウジング103内の排気室110eとを隔離し、軸受
104、105、106及び107の潤滑油がハウジン
グ103内に漏洩することを防止するとともに、ハウジ
ング103の排気室110eから軸受104、105、
106及び107に異物が侵入することを防止してい
る。
ュウロータ101及び102を備えている。スクリュウ
ロータ101、102は、ハウジング103の内部に形
成された排気側ロータ収納室としてのハウジング103
に収納されている。詳述すると、スクリュウロータ10
1は軸受104及び105によってハウジング103に
回転可能に支持され、スクリュウロータ102は軸受1
06及び107によってハウジング103に回転可能に
支持されている。また、シール108,109、110
及び111は軸受104、105、106及び107と
ハウジング103内の排気室110eとを隔離し、軸受
104、105、106及び107の潤滑油がハウジン
グ103内に漏洩することを防止するとともに、ハウジ
ング103の排気室110eから軸受104、105、
106及び107に異物が侵入することを防止してい
る。
【0011】また、スクリュウロータ101及びスクリ
ュウロータ102の一端部には、スクリュウロータ10
1及びスクリュウロータ102の一方の回転に伴ってス
クリュウロータ101及びスクリュウロータ102の他
方を回転させるタイミングギア112及び113が、そ
れぞれ互いに噛み合うように固定されている。更に、ス
クリュウロータ102の一端部には、モータ114が一
体的に連結している。
ュウロータ102の一端部には、スクリュウロータ10
1及びスクリュウロータ102の一方の回転に伴ってス
クリュウロータ101及びスクリュウロータ102の他
方を回転させるタイミングギア112及び113が、そ
れぞれ互いに噛み合うように固定されている。更に、ス
クリュウロータ102の一端部には、モータ114が一
体的に連結している。
【0012】前記タイミングギア112及び113が収
納されているギア室115は底部に潤滑油116が溜ま
っている。前記ギア室115と前期モータ114とはオ
イルシール117でギア室115内の潤滑油116がモ
ータ側に漏れないように封止されている。
納されているギア室115は底部に潤滑油116が溜ま
っている。前記ギア室115と前期モータ114とはオ
イルシール117でギア室115内の潤滑油116がモ
ータ側に漏れないように封止されている。
【0013】真空ポンプの簡単な動作原理は、前記モー
タ114が回転することにより前記スクリューロータ1
01,102が回転し、排気チェンバー内のガスは吸気
口110aより吸気されて排気室110eで移送され排
気口110bから排気される。このスクリューロータ1
02の回転軸118とモータの回転軸119はギア11
3により固定されている。このような構成にすることに
よりスクリューロータ101と102の同期を取るため
のギア112と113の厚み分のみで固定でき、従って
真空ポンプ全体の軸方向長も長くする必要がなくなる。
また、部品点数も増えることがなく組立の難易度も変わ
らないかもしくは容易にすることができる。
タ114が回転することにより前記スクリューロータ1
01,102が回転し、排気チェンバー内のガスは吸気
口110aより吸気されて排気室110eで移送され排
気口110bから排気される。このスクリューロータ1
02の回転軸118とモータの回転軸119はギア11
3により固定されている。このような構成にすることに
よりスクリューロータ101と102の同期を取るため
のギア112と113の厚み分のみで固定でき、従って
真空ポンプ全体の軸方向長も長くする必要がなくなる。
また、部品点数も増えることがなく組立の難易度も変わ
らないかもしくは容易にすることができる。
【0014】次にギア113を用いて前記スクリューロ
ータ102の回転軸118とモータの回転軸119を固
定する機構について図2及び図3を用いて説明する。ま
ず、図2において前記スクリューロータ102の回転軸
118とギア113は回転軸118よりもギア113を
高温にすることにより焼き嵌めする。このような構成に
することにより回転軸118の固定部119とギア11
3の前記スクリューロータ102の回転軸118との固
定部120は特別な加工が施されなくても容易に固定さ
れる。
ータ102の回転軸118とモータの回転軸119を固
定する機構について図2及び図3を用いて説明する。ま
ず、図2において前記スクリューロータ102の回転軸
118とギア113は回転軸118よりもギア113を
高温にすることにより焼き嵌めする。このような構成に
することにより回転軸118の固定部119とギア11
3の前記スクリューロータ102の回転軸118との固
定部120は特別な加工が施されなくても容易に固定さ
れる。
【0015】また、回転体の回転軸と回転駆動手段の回
転軸は両軸とも固定手段であるギアを焼き嵌めすること
により固定することもできるが、本実施例のように容器
内に固定された記スクリューロータ102の回転軸11
8とギア113に後からモータ114の回転軸119を
嵌め込む場合は、ギア113のモータ固定部121を図
3に示すようなメススプラインカップリング301と
し、モータ114の回転軸119の固定部122を図4
に示すようなオススプライン401にすることにより容
易に固定することができる。
転軸は両軸とも固定手段であるギアを焼き嵌めすること
により固定することもできるが、本実施例のように容器
内に固定された記スクリューロータ102の回転軸11
8とギア113に後からモータ114の回転軸119を
嵌め込む場合は、ギア113のモータ固定部121を図
3に示すようなメススプラインカップリング301と
し、モータ114の回転軸119の固定部122を図4
に示すようなオススプライン401にすることにより容
易に固定することができる。
【0016】尚、本発明は上記実施例にある縦置型スク
リュー式真空ポンプのみならず、横置型スクリュー式真
空ポンプをはじめ、ルーツ式真空ポンプやクロー式真空
ポンプ等の全ての真空ポンプについても適応可能である
ことは言うまでも無い。
リュー式真空ポンプのみならず、横置型スクリュー式真
空ポンプをはじめ、ルーツ式真空ポンプやクロー式真空
ポンプ等の全ての真空ポンプについても適応可能である
ことは言うまでも無い。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る回転
軸固定機構は、少なくとも二つの回転部材の回転軸を持
ち互いにギア等の同期手段により同期して回転させ前記
回転部材の回転軸のうち少なくとも一つの回転軸をモー
タ等の回転駆動手段により回転させる機器において、前
記ギア等の同期手段に前記回転部材の回転軸と前期回転
駆動手段の回転軸との間の固定手段を施した構成にする
ことにより、軸締結部の回転軸の長さを長くする必要が
なくなり回転部材を用いている装置全体の軸方向長を伸
ばさないようにできる。
軸固定機構は、少なくとも二つの回転部材の回転軸を持
ち互いにギア等の同期手段により同期して回転させ前記
回転部材の回転軸のうち少なくとも一つの回転軸をモー
タ等の回転駆動手段により回転させる機器において、前
記ギア等の同期手段に前記回転部材の回転軸と前期回転
駆動手段の回転軸との間の固定手段を施した構成にする
ことにより、軸締結部の回転軸の長さを長くする必要が
なくなり回転部材を用いている装置全体の軸方向長を伸
ばさないようにできる。
【0018】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定した。つまり、スプライン加工の困難な回転部材に対
しても回転部材の回転軸とモータ等の回転駆動手段の回
転軸との間の固定手段であるギア等の同期手段を焼き嵌
めすることにより回転部材の回転軸固定部に加工の難し
いスプラインを形成する必要がなくなる。
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定した。つまり、スプライン加工の困難な回転部材に対
しても回転部材の回転軸とモータ等の回転駆動手段の回
転軸との間の固定手段であるギア等の同期手段を焼き嵌
めすることにより回転部材の回転軸固定部に加工の難し
いスプラインを形成する必要がなくなる。
【0019】前記回転軸固定機構を一対のロータを持つ
真空ポンプに適応した。通常真空ポンプのロータはサイ
ズの大きなものが一般的であり、また、半導体製造装置
等の限られた空間に収納する必要があり、本件発明の回
転軸固定機構を適応することにより、加工の困難なロー
タの軸部を固定用に別加工する必要がなくなり、組立を
容易にでき、さらに軸締結によるロータの回転軸長が長
くなることも抑えることができる。
真空ポンプに適応した。通常真空ポンプのロータはサイ
ズの大きなものが一般的であり、また、半導体製造装置
等の限られた空間に収納する必要があり、本件発明の回
転軸固定機構を適応することにより、加工の困難なロー
タの軸部を固定用に別加工する必要がなくなり、組立を
容易にでき、さらに軸締結によるロータの回転軸長が長
くなることも抑えることができる。
【図1】本件発明をスクリュー式真空ポンプに適応した
実施例。
実施例。
【図2】本件発明の軸締結部の拡大図。
【図3】本件発明におけるギア部のスプラインキャップ
の軸垂直断面図。
の軸垂直断面図。
【図4】本件発明におけるモータ軸のスプラインの軸垂
直断面図。
直断面図。
【図5】従来の軸固定方法。
【図6】従来の軸締結部のAA直断面図。
100スクリュー式真空ポンプ
101、102スクリュウロータ
103ハウジング
104、105、106、107軸受
108,109、110、111シール
110e排気室
112、113タイミングギア
114モータ
115ギア室
116潤滑油
117オイルシール
118、119回転軸
Claims (3)
- 【請求項1】回転軸を持つ複数の回転部材を互いに同期
手段により連結し、同期して回転させる前記回転部材の
回転軸のうち少なくとも一つの回転軸を回転駆動手段に
より回転させる機器において、前記同期手段に前期回転
駆動手段の回転軸を直接接続させたことを特徴とする回
転軸固定機構。 - 【請求項2】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより接
続したことを特徴とする請求項1に記載の回転軸固定機
構。 - 【請求項3】前記請求項1又は2に記載の回転軸固定機
構の複数の回転部材が、真空ポンプの一対のロータであ
ることを特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002145321A JP2003336656A (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 回転軸固定機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002145321A JP2003336656A (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 回転軸固定機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003336656A true JP2003336656A (ja) | 2003-11-28 |
Family
ID=29704694
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002145321A Pending JP2003336656A (ja) | 2002-05-20 | 2002-05-20 | 回転軸固定機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003336656A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109642574A (zh) * | 2016-08-30 | 2019-04-16 | 莱宝有限公司 | 干压缩式真空泵 |
-
2002
- 2002-05-20 JP JP2002145321A patent/JP2003336656A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109642574A (zh) * | 2016-08-30 | 2019-04-16 | 莱宝有限公司 | 干压缩式真空泵 |
CN109642574B (zh) * | 2016-08-30 | 2020-08-04 | 莱宝有限公司 | 干压缩式真空泵 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20041013 |