JP2003336656A - 回転軸固定機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、回転軸を持つ複数の回転部材を有す
る機器について、前記回転軸のうち少なくとも１つの回
転軸が回転駆動手段に固定されており、前記複数の回転
軸に同期手段を施しても回転軸長が長くならず、大きな
回転部材の回転軸に対しても容易に回転駆動手段を接続
することのできる固定機構を提供することを目的とす
る。 【解決手段】回転軸を持ち複数の回転部材を有する互い
にギア等の同期手段により同期して回転させ少なくとも
前記回転部材の回転軸のうち一つの回転軸をモータ等の
回転駆動手段により回転させる回転構造において、前記
ギア等の同期手段に前期回転駆動手段の回転軸を接続し
た。さらに、前記ギア等の同期手段を前記回転部材の回
転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動手段の軸端部に形成
したスプラインと前記同期手段に形成したスプラインカ
ップリングとを嵌めることにより固定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも二つの
回転軸がギア等の同期手段により同期して回転し、少な
くとも一つの回転軸とモータ等の回転駆動手段を前記ギ
ア等の同期手段に施した固定手段を介して固定する機構
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の回転体の回転軸とモータ等の回転
駆動手段の回転軸との連結手段としては図５に示すよう
なモータの回転軸１と回転部材の回転軸２をカップリン
グ３で固定してきた。カップリング３は例えば図５のＡ
Ａ断面図である図６のように締めネジ４を締めることに
より回転部材の回転軸と同軸に固定され，締めネジ５を
締めることによりモータの回転軸１と固定される。これ
により固定部材の回転軸とモータの回転軸が固定され
る。回転部材の回転軸とモータの回転軸の固定部にスプ
ラインを切りスプラインカップリングで両軸を固定する
ことにより固定部材の回転軸とモータの回転軸を固定す
る方法もある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の回転
部材の回転軸とモータの回転軸との固定方法において
は、以下のような大きな問題があった。複数の回転軸を
同期して回転させる場合、各軸の同期を取るためにギア
伝達方式やトラクション伝達方式等を用いなければなら
ず、歯車やトラクションリングの厚み分、回転体の回転
軸長を長くする必要があり、従って回転部材を用いてい
る装置全体の回転軸方向長が長くなるという問題があっ
た。

【０００４】また、図４に示すように回転部材の回転軸
１１とモータの回転軸１２の先端部にオススプライン１
３及び１４を切りメススプラインカップリング１５で両
軸を固定することにより固定部材の回転軸とモータの回
転軸を固定する場合、固定部分の分、回転体の回転軸長
を長くする必要があった。また、真空ポンプのロータの
ように回転部材のサイズが大きくなると固定部の軸上に
スプラインを加工することが困難であるという問題も生
じた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本願発明では上記のよう
な問題に鑑みなされたものであり、少なくとも二つの回
転部材の回転軸を持ち互いにギア等の同期手段により同
期して回転させ前記回転部材の回転軸のうち少なくとも
一つの回転軸をモータ等の回転駆動手段により回転させ
る機器において、前記ギア等の同期手段に前記回転部材
の回転軸と前期回転駆動手段の回転軸との間の固定手段
を施したことを特徴とする。このような構成にすること
により複数の回転体に対して回転軸の同期を取る目的で
取り付ける歯型ギアやトラクションギア等の同期手段を
装着しても軸の固定手段が施されているので回転体の回
転軸の長さを長くする必要がなくなり回転部材を用いて
いる装置全体の軸方向長を伸ばさないようにできる。

【０００６】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定したことを特徴とする。つまり、スプライン加工の困
難な回転部材に対しても回転部材の回転軸とモータ等の
回転駆動手段の回転軸との間の固定手段であるギア等の
同期手段を焼き嵌めすることにより回転部材の回転軸固
定部に加工の難しいスプラインを形成する必要がなくな
る。また回転駆動手段の回転軸に対してもスプライン加
工をせず、同期手段と回転駆動手段の回転軸焼き嵌めを
することにより固定することもできる。

【０００７】前記回転軸固定機構を一対のロータを持つ
真空ポンプに適応したことを特徴とする。通常真空ポン
プのロータはサイズの大きなものが一般的であり、ま
た、半導体製造装置等の限られた空間に収納する必要が
あり、本件発明の回転軸固定機構を適応することによ
り、加工の困難なロータの軸部を固定用に別加工する必
要がなくなり、組立を容易にでき、さらにギアによるロ
ータの回転軸長が長くなることも抑えることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明のスクリュー式真空
ポンプへの適応例を図１及び図２を用いて説明する。

【０００９】まず、本実施形態に係るスクリュー式真空
ポンプ１００の構成について説明する。

【００１０】スクリュー式真空ポンプ１００は、スクリ
ュウロータ１０１及び１０２を備えている。スクリュウ
ロータ１０１、１０２は、ハウジング１０３の内部に形
成された排気側ロータ収納室としてのハウジング１０３
に収納されている。詳述すると、スクリュウロータ１０
１は軸受１０４及び１０５によってハウジング１０３に
回転可能に支持され、スクリュウロータ１０２は軸受１
０６及び１０７によってハウジング１０３に回転可能に
支持されている。また、シール１０８，１０９、１１０
及び１１１は軸受１０４、１０５、１０６及び１０７と
ハウジング１０３内の排気室１１０ｅとを隔離し、軸受
１０４、１０５、１０６及び１０７の潤滑油がハウジン
グ１０３内に漏洩することを防止するとともに、ハウジ
ング１０３の排気室１１０ｅから軸受１０４、１０５、
１０６及び１０７に異物が侵入することを防止してい
る。

【００１１】また、スクリュウロータ１０１及びスクリ
ュウロータ１０２の一端部には、スクリュウロータ１０
１及びスクリュウロータ１０２の一方の回転に伴ってス
クリュウロータ１０１及びスクリュウロータ１０２の他
方を回転させるタイミングギア１１２及び１１３が、そ
れぞれ互いに噛み合うように固定されている。更に、ス
クリュウロータ１０２の一端部には、モータ１１４が一
体的に連結している。

【００１２】前記タイミングギア１１２及び１１３が収
納されているギア室１１５は底部に潤滑油１１６が溜ま
っている。前記ギア室１１５と前期モータ１１４とはオ
イルシール１１７でギア室１１５内の潤滑油１１６がモ
ータ側に漏れないように封止されている。

【００１３】真空ポンプの簡単な動作原理は、前記モー
タ１１４が回転することにより前記スクリューロータ１
０１，１０２が回転し、排気チェンバー内のガスは吸気
口１１０ａより吸気されて排気室１１０ｅで移送され排
気口１１０ｂから排気される。このスクリューロータ１
０２の回転軸１１８とモータの回転軸１１９はギア１１
３により固定されている。このような構成にすることに
よりスクリューロータ１０１と１０２の同期を取るため
のギア１１２と１１３の厚み分のみで固定でき、従って
真空ポンプ全体の軸方向長も長くする必要がなくなる。
また、部品点数も増えることがなく組立の難易度も変わ
らないかもしくは容易にすることができる。

【００１４】次にギア１１３を用いて前記スクリューロ
ータ１０２の回転軸１１８とモータの回転軸１１９を固
定する機構について図２及び図３を用いて説明する。ま
ず、図２において前記スクリューロータ１０２の回転軸
１１８とギア１１３は回転軸１１８よりもギア１１３を
高温にすることにより焼き嵌めする。このような構成に
することにより回転軸１１８の固定部１１９とギア１１
３の前記スクリューロータ１０２の回転軸１１８との固
定部１２０は特別な加工が施されなくても容易に固定さ
れる。

【００１５】また、回転体の回転軸と回転駆動手段の回
転軸は両軸とも固定手段であるギアを焼き嵌めすること
により固定することもできるが、本実施例のように容器
内に固定された記スクリューロータ１０２の回転軸１１
８とギア１１３に後からモータ１１４の回転軸１１９を
嵌め込む場合は、ギア１１３のモータ固定部１２１を図
３に示すようなメススプラインカップリング３０１と
し、モータ１１４の回転軸１１９の固定部１２２を図４
に示すようなオススプライン４０１にすることにより容
易に固定することができる。

【００１６】尚、本発明は上記実施例にある縦置型スク
リュー式真空ポンプのみならず、横置型スクリュー式真
空ポンプをはじめ、ルーツ式真空ポンプやクロー式真空
ポンプ等の全ての真空ポンプについても適応可能である
ことは言うまでも無い。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る回転
軸固定機構は、少なくとも二つの回転部材の回転軸を持
ち互いにギア等の同期手段により同期して回転させ前記
回転部材の回転軸のうち少なくとも一つの回転軸をモー
タ等の回転駆動手段により回転させる機器において、前
記ギア等の同期手段に前記回転部材の回転軸と前期回転
駆動手段の回転軸との間の固定手段を施した構成にする
ことにより、軸締結部の回転軸の長さを長くする必要が
なくなり回転部材を用いている装置全体の軸方向長を伸
ばさないようにできる。

【００１８】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
成したスプラインカップリングとを嵌めることにより固
定した。つまり、スプライン加工の困難な回転部材に対
しても回転部材の回転軸とモータ等の回転駆動手段の回
転軸との間の固定手段であるギア等の同期手段を焼き嵌
めすることにより回転部材の回転軸固定部に加工の難し
いスプラインを形成する必要がなくなる。

【００１９】前記回転軸固定機構を一対のロータを持つ
真空ポンプに適応した。通常真空ポンプのロータはサイ
ズの大きなものが一般的であり、また、半導体製造装置
等の限られた空間に収納する必要があり、本件発明の回
転軸固定機構を適応することにより、加工の困難なロー
タの軸部を固定用に別加工する必要がなくなり、組立を
容易にでき、さらに軸締結によるロータの回転軸長が長
くなることも抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本件発明をスクリュー式真空ポンプに適応した
実施例。

【図２】本件発明の軸締結部の拡大図。

【図３】本件発明におけるギア部のスプラインキャップ
の軸垂直断面図。

【図４】本件発明におけるモータ軸のスプラインの軸垂
直断面図。

【図５】従来の軸固定方法。

【図６】従来の軸締結部のＡＡ直断面図。

【符号の説明】

１００スクリュー式真空ポンプ １０１、１０２スクリュウロータ １０３ハウジング １０４、１０５、１０６、１０７軸受 １０８，１０９、１１０、１１１シール １１０ｅ排気室 １１２、１１３タイミングギア １１４モータ １１５ギア室 １１６潤滑油 １１７オイルシール １１８、１１９回転軸

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転軸を持つ複数の回転部材を互いに同期
   手段により連結し、同期して回転させる前記回転部材の
   回転軸のうち少なくとも一つの回転軸を回転駆動手段に
   より回転させる機器において、前記同期手段に前期回転
   駆動手段の回転軸を直接接続させたことを特徴とする回
   転軸固定機構。
2. 【請求項２】前記固定手段として前記ギア等の同期手段
   を前記回転部材の回転軸に焼き嵌めし、前記回転軸駆動
   手段の軸端部に形成したスプラインと前記同期手段に形
   成したスプラインカップリングとを嵌めることにより接
   続したことを特徴とする請求項１に記載の回転軸固定機
   構。
3. 【請求項３】前記請求項１又は２に記載の回転軸固定機
   構の複数の回転部材が、真空ポンプの一対のロータであ
   ることを特徴とする真空ポンプ。