JP2003331267A - 読取装置 - Google Patents

読取装置

Info

Publication number
JP2003331267A
JP2003331267A JP2002143059A JP2002143059A JP2003331267A JP 2003331267 A JP2003331267 A JP 2003331267A JP 2002143059 A JP2002143059 A JP 2002143059A JP 2002143059 A JP2002143059 A JP 2002143059A JP 2003331267 A JP2003331267 A JP 2003331267A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
lens
inspected
image
reading
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2002143059A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunari Tsubono
一成 坪野
Hiroki Yamazaki
洋樹 山崎
Kensuke Aoyanagi
健輔 青柳
Masato Sato
正人 佐藤
Katsuhiko Tomita
勝彦 富田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2002143059A priority Critical patent/JP2003331267A/ja
Publication of JP2003331267A publication Critical patent/JP2003331267A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、実装基板上に存在する複数
の被検査部位を一回の主走査で検査するに適したテレセ
ントリック光学系並びに照明系を有する実装基板の読取
装置を得ることである。 【解決手段】 そこで、本発明では、検査移送台上に載
置した実装基板に接触しない範囲で近接配置した第一凸
レンズ部と第二レンズ部によりテレセントリック光学系
を形成することで検査上の死角を解消すると共に該第一
凸レンズを透過し基板を略垂直に照明する落射照明系と
該第一凸レンズを透過せず角度の付いた側面照明系によ
る2系照明を副走査中に切り替え主走査を行うことで一
回の主走査で異なる両画像情報を得る構成をとる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は検査移送台上に載置
した実装基板などの部品欠落、半田欠落等の画像検査情
報を結像光学系によりラインセンサーなどの読み取り手
段上に結像させ該読取手段により短時間で広範囲に読み
取る事を目的とした実装基板の画像を読み取る読取装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の画像読取技術としては複写機など
の画像読取装置が周知であるがこの場合平面原稿が対象
であり実装基板読取装置のように基板上の立体部品を精
査するに必要な10mmを超える被写界深度と立体部品
の死角対策そして落射照明と側面照明の異なる2照明画
像を得る等の異なった技術が必要とされている。
【0003】そこで従来の実装基板検査装置では被写界
深度を深くするために撮影倍率を0.25〜0.3と低
くすることで画角を抑え開口Fnoも5.6前後と暗め
に設定して被写界深度を深くする撮影光学系で構成され
ていた。
【0004】又、2照明画像を得るために基板近傍に2
照明系を図1の如く配置し落射照明と側面照射をそれぞ
れ別に2度主走査を繰り返していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術の第一課題は、撮影倍率を低めに設定しても250m
m幅の実装基板では10°の画角を生じ死角となってし
まい検査の漏れとなり又、複写機などのテレセントリッ
ク光学系をそのまま使うのでは被写界深度が浅いため実
装基板上の立体物の上下にピントを合わすことができな
いし第一レンズが単レンズである為の収差による画像劣
化等の光学的問題点である。
【0006】第二課題として落射照明画像と側面照射画
像を得るために二回の主走査を行う為に検査時間が長く
なってしまう問題がある。
【0007】そこで、本発明は上述課題を解決し、死角
のない落射照明画像と側面照明画像を一回の主走査で短
時間に得られる実装基板の読取装置を提供する物であ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】以上に述べた課題に対し
本発明の読取装置は、 (1)読取り光学系の課題である死角対策として安価且
つコンパクトなテレセントリック光学系を得る為に図2
の如く一枚のシリンドリカルレンズ又は球面レンズから
なる副走査範囲を全域カバーできる短冊形の第一レンズ
部と撮影系の第二レンズ部で構成されテレセントリック
効果を生じさせる第一レンズ部を被検査基板から50m
m以内に近接させ且つ第一レンズ後焦点と第二レンズ部
の入射瞳位置が略一致させることを特徴としている。 (2)該光学系は第一レンズを単レンズとしている為倍
率色収差と非点収差が少なからず発生してしまう。対策
として該光学系の倍率色収差を予めパソコンのソフト上
で定量的な色補正を行い非点収差対策としては被検基板
と第一レンズ間隔をできる限り近接させ両収差の発生を
低く抑えていることを特徴とする。 (3)落射照明の照明効率を上げつつ装置のコンパクト
化を計る為に照明光が第一レンズを透過する構造とし
た。該構造により照明光束が収斂傾向となり照明照度が
高まり画像取込時間の短縮につながっている事を特徴と
している。 (4)落射照明と側面照明の両光源に切り替え応答性の
速い白色LEDを用いることで副走査時に両画像情報を略
同時に取り込むことを可能とし一回の主走査で両照明画
像を得ることを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】上述した構成を採ることにより、
従来の実装基板を読み取る読取装置のように画面周辺で
の死角はなくなり、又、落射照明照度を高め画像取込時
間の短縮と主走査一回を得ている。
【0010】
【実施例】図3に本発明の実施例の概略構成図を示す。
【0011】実装基板撮影範囲を250mm、それを5
7mmのラインセンサーで取込む為に焦点距離750m
mのシリンドリカルレンズの後主点に焦点距離135m
mの撮影第二レンズを配置している。又、実装基板とシ
リンドリカルレンズは略20mm間隔を設け立体物との
接触を避けつつ収差発生を抑える設定としシリンドリカ
ルレンズと撮影第二レンズの間にはハーフミラーを含む
複数枚のミラーを設け光学系を折り曲げ装置のコンパク
ト化を果たしている。照明系については図2の如く落射
照明系と側面照明系を設定している。
【0012】
【発明の効果】以上に説明したように本発明の構成によ
る実装基板を読み取る読取装置によれば、死角のない精
査に耐えうる画像を短時間で読込むことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の実装基板の読取装置の説明図
【図2】本発明の実装基板の読取装置の説明図
【図3】本発明の実装基板の読取装置の説明図
【符号の説明】
1 落射照明光源 2 拡散板 3 ハーフミラー 4 側面照射光源 5 拡散板 6 実装基板 7 撮影レンズ 8 ラインセンサー 9 シリンドリカルレンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 13/08 H04N 1/04 102 (72)発明者 青柳 健輔 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 佐藤 正人 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 富田 勝彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 Fターム(参考) 5B047 AA12 BB02 BC05 BC09 BC11 5C072 AA01 CA05 DA02 DA04 DA21 LA12

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ラインセンサーから成る読取手段と照明
    手段により照明された被検査基板からの光束を該読取手
    段上に結像させる結像手段とを有する読取光学系を該被
    検査基板に対し相対的に該ラインセンサーの配列方向と
    異なる垂直方向へ主走査させ該検査基板の画像情報を読
    み取る読取装置において、 該結像手段としての光学系は該被検査基板より第一レン
    ズ部と第二レンズ部の少なくとも2つのレンズ部を有
    し、第一レンズ部は該被検査基板からの物体距離を50
    mm以内として且つ第一レンズ部の後側焦点と第二レン
    ズ部の入射瞳が略一致するように配置したテレセントリ
    ック系で第一レンズ部は一枚から成るシリンドリカル又
    は球面レンズで副走査範囲を全域カバーできる短冊形で
    あると共に第一レンズを介して略垂直照明光を照射でき
    る構造を有する特徴を持った読取装置。
  2. 【請求項2】 第一レンズが単レンズであるために発生
    する倍率色収差を予めパソコンのソフト上で定量的な色
    補正を加え倍率色収差による画像劣化を軽減した画像を
    得ることのできる検査装置を有する請求項1記載の読取
    装置。
  3. 【請求項3】 被検査基板の画像取り込みを落射照明と
    角度を持った側面照射による側面照明画像の2種類を取
    り込み両画像情報の違いにより検査判定する読取装置に
    おいて、 両照明光源に切り替え応答性の早い白色LEDを用いる
    ことで副走査時に両画像情報を略同時に取り込むことを
    可能とし一回の主走査で両照明画像を得る特徴を有する
    読取装置。
  4. 【請求項4】 読取手段と、第一の照明手段と、該第一
    の照明手段の光束により照明される被検査手段と、該被
    検査手段からの光束を該読取手段上に結像させる結像光
    学系と、を有する読取装置において、 前記結像光学系は、前記被検査手段と前記読取手段の間
    の光路中に正のパワーを有する第一の光学系と第二の光
    学系を備えた少なくとも2つの光学系を有し、該結像光
    学系は、第一の光学系の後側焦点位置と第二の光学系の
    入射瞳が略一致するように配置したことを特徴とする読
    取装置。
  5. 【請求項5】 第一の光学系は、屈折光学系である請求
    項4記載の読取装置。
  6. 【請求項6】 第一の照明手段と被検査手段の光軸と所
    定の角度を有する位置に前記被検査手段を照明する第二
    の照明手段を備え、第一の照明手段の光束と第二の照明
    手段の光束の2つの画像情報を検知して該被検査手段の
    画像情報を判定する際、第一の照明手段及び第二の照明
    手段は白色LEDとする請求項4記載の読取装置。
JP2002143059A 2002-05-17 2002-05-17 読取装置 Withdrawn JP2003331267A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002143059A JP2003331267A (ja) 2002-05-17 2002-05-17 読取装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002143059A JP2003331267A (ja) 2002-05-17 2002-05-17 読取装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003331267A true JP2003331267A (ja) 2003-11-21

Family

ID=29703172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002143059A Withdrawn JP2003331267A (ja) 2002-05-17 2002-05-17 読取装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003331267A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008294317A (ja) * 2007-05-28 2008-12-04 Nidec Copal Corp 撮像装置
EP2068548A2 (en) 2007-12-06 2009-06-10 Mitsubishi Electric Corporation Image sensing apparatus

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008294317A (ja) * 2007-05-28 2008-12-04 Nidec Copal Corp 撮像装置
EP2068548A2 (en) 2007-12-06 2009-06-10 Mitsubishi Electric Corporation Image sensing apparatus
US7884976B2 (en) 2007-12-06 2011-02-08 Mitsubishi Electric Corporation Image sensing apparatus
US8107138B2 (en) 2007-12-06 2012-01-31 Mitsubishi Electric Corporation Image sensing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5969372A (en) Film scanner with dust and scratch correction by use of dark-field illumination
US6950139B2 (en) Image reading device and storage medium storing control procedure for image reading device
KR100904007B1 (ko) 표면 검사 장치 및 표면 검사 방법
JP5303217B2 (ja) 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP2009513984A (ja) 複合構造に欠陥がないか検査するための装置および方法
US20140240489A1 (en) Optical inspection systems and methods for detecting surface discontinuity defects
JP2009168582A (ja) 外観検査装置
JP2006303491A (ja) ウェハの検査方法
JP2006332646A (ja) ウェハーを検査するための装置と方法
JP2006025005A (ja) 撮影システム
EP1197745A1 (en) Through hole inspecting method and device
KR100804415B1 (ko) 곡물용 색채 선별기
JP2003331267A (ja) 読取装置
US20050157920A1 (en) Machine vision system and method
JP2009236760A (ja) 画像検出装置および検査装置
KR20080009943A (ko) 카메라모듈 이물검사장치 및 검사방법
JP2008064656A (ja) 周縁検査装置
JP2005249946A (ja) 表示装置の欠陥検査装置
JP2899127B2 (ja) レンズ検査装置及びそれを用いたレンズの製造方法
JP4967132B2 (ja) 対象物表面の欠陥検査方法
JP2021086121A (ja) 撮像装置及び表面検査装置
JP2007003332A (ja) 板状体側面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JP2008175768A (ja) 表示パネルの欠陥検査装置および欠陥検査方法
JP2005077272A (ja) 欠陥検査方法
JP2005189167A (ja) キャップのブリッジ検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050802