JP2003324976A - 超音波モータの駆動方法 - Google Patents

超音波モータの駆動方法

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JP2003324976A
JP2003324976A JP2002132446A JP2002132446A JP2003324976A JP 2003324976 A JP2003324976 A JP 2003324976A JP 2002132446 A JP2002132446 A JP 2002132446A JP 2002132446 A JP2002132446 A JP 2002132446A JP 2003324976 A JP2003324976 A JP 2003324976A
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shaped electrode
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Kazuma Suzuki
数馬 鈴木
Susumu Saito
晋 斎藤
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Topcon Corp
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 駆動回路の構成の簡略化を図ることができる
と共に、シリーズ接続、パラレル接続のいずれの場合に
も共用できる超音波モータの駆動方法を提供する。 【解決手段】 振動子1の円板領域を、ロータの正逆回
転中に駆動電圧が印加される圧電素子部3c、3c’に
対応づけられた第1扇形状領域M1、M4と、ロータ2
の正転回転中に駆動電圧が印加される圧電素子部3a、
3a’に対応づけられた第2扇形状領域M2、M5と、
ロータ2の逆回転中に駆動電圧が印加される圧電素子部
3b、3bに対応づけられた第3扇形状領域M3、M6
とに分割し、第2扇形状領域M2、M5に対応する圧電
素子部3a、3a’と第3扇形状領域M3、M6に対応
する圧電素子部3b、3b’との間で接続を切り換える
ことにより、ノードラインを切り換えて、ロータ2を正
転方向と逆転方向とに切り換える。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、ロータに対向され
かつこのロータに当接してこのロータを回転させる駆動
爪が突設形成された振動子を備え、ロータの回転中心を
通るノードラインを有する定在波を超音波振動に基づき
振動子に生じさせ、駆動爪によりロータを正転方向に回
転させると共に、ノードラインを変えることによりロー
タを逆転方向に回転させる超音波モータの駆動方法の改
良に関する。 【0002】 【従来の技術】従来から、図1、図2に示す超音波モー
タが知られている(例えば、特開平10−225153
号公報参照)。その図1において、1は振動子、2はロ
ータ、3は圧電素子(例えば、PZT素子(ピエゾ素
子))である。その圧電素子3は振動子1に貼り付けら
れ、その圧電素子3には駆動電圧源(OSC)4が接続
されている。 【0003】振動子1はロータ2に対向され、この振動
子1には、図2に拡大して示すように、ロータ3に当接
してこのロータ3を回転させる駆動爪5がロータ3の周
回り方向に等間隔に形成されている。この駆動爪5は振
動子1に立設されている。その圧電素子3は例えば4分
割ノードタイプとされている。その駆動爪5は後述する
振動ノードラインN1、N2に対して回転方向にθ°
(約22.5°)ずれた位置に形成されている。圧電素
子3は振動子1への貼り付け側である裏面側の極性及び
これと反対側の表面側の極性が互いに同極となるように
分極されている。 【0004】圧電素子3の表面側には、図2に拡大して
示すように、8個の扇形状電極領域が形成されている。
この各扇形状電極領域によって8個の圧電素子部1A、
1B、2A、2B、3A、3B、4A、4Bが構成され
ている。図3はその各圧電素子部1A、1B、2A、2
B、3A、3B、4A、4Bのシリーズ(直列)結線図
を示している。 【0005】圧電素子部1A、1Bの極性「+」側はス
イッチSW1と駆動電圧源4の一側とに接続されてい
る。圧電素子部3A、3Bの極性「+」側はスイッチS
W2と駆動電圧源4の他側とに接続されている。圧電素
子部2A、2Bの極性「+」側は固定接点N1’と固定
接点N2’とに接続されている。圧電素子部4A、4B
の極性「+」側は固定接点N1”と固定接点N2”とに
接続されている。スイッチSW1とスイッチSW2とは
互いに連動して可動される。 【0006】図3に示すように、スイッチSW1、SW
2を固定接点N1’、N1”側に接続して、各圧電素子
部1A〜4A、1B〜4Aに駆動電圧を印加すると、ロ
ータ2の回転中心O1を通る放射状の振動ノードライン
N1を有する定在波が超音波振動に基づき振動子1に生
じる。すると、図4に拡大してかつ展開して示すよう
に、振動子1のノードラインN1を境にして一方側の領
域E1(E3)に山となる腹が生じ、他方側の領域E2
(E4)に谷となる腹が生じる。 【0007】振動子1が超音波振動に基づき波打ち、領
域E1(E3)に山となる腹が生じると、図5に拡大し
て示すように、駆動爪5が斜めに傾き、垂直方向力F1
と水平方向力F2とが生成され、ロータ2を水平方向に
回転させる駆動力が生じる。次の半サイクルでは、領域
E1(E3)はノードラインN1を不動点として谷とな
り、駆動爪5がロータ2から離間し、隣接する領域E2
(E4)がノードラインN1を不動点として山となり、
駆動爪5がロータ2に当接し、この繰り返しにより、ロ
ータ2が例えば図2に示すように右方向(矢印A1方
向)に回転される。なお、その図5において、ΔVは垂
直方向移動量、ΔHは水平方向移動量である。 【0008】また、図3に示すスイッチSW1、SW2
を固定接点N2”、N2’側に接続して、圧電素子3に
対する駆動電圧の印加方向を切り換えると、振動子1の
振動モードがノードラインN1からノードラインN2に
切り換えられ、図6に示すように、ノードラインN2の
位相がノードラインN1に対して45°ずらされ、振動
子1の領域E1’(E3’)が山となり、振動子1の領
域E4’(E2’)が谷となり、次の半サイクルでは、
領域E1’(E3’)が谷となり、領域E4’(E
2’)が山となって、ロータ2が左方向(図2の矢印A
2方向)に回転される。 【0009】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来の超音波モータでは、振動ノードラインN1、N2の
切り換えの際のスイッチSW1、SW2の構造が複雑化
すると共に、各圧電素子部の扇形状電極領域の配線と接
続が複雑化し、シリーズ接続、パラレル接続でその回路
接続を共通化することができず、ひいては、超音波モー
タの製作コストが増大するという不都合がある。 【0010】本発明は、上記の事情に鑑みて為されたも
ので、その目的は、駆動回路の構成の簡略化を図ること
ができ、シリーズ接続、パラレル接続のいずれの場合に
も共用できる超音波モータの駆動方法を提供することに
ある。 【0011】 【課題を解決するための手段】請求項1に記載の超音波
モータの駆動方法は、ロータに対向されかつ該ロータに
当接して該ロータを回転させる駆動爪が突設形成された
振動子と、該振動子に貼り付けられた圧電素子とを有
し、該圧電素子に電圧を印加して前記ロータの回転中心
を通るノードラインを有する定在波を超音波振動に基づ
き前記振動子に生じさせ、前記駆動爪により前記ロータ
を正転方向に回転させると共に、前記ノードラインを変
えることにより前記ロータを逆転方向に回転させるもの
において、前記振動子の円板領域を、前記ロータの正逆
回転中に駆動電圧が印加される圧電素子部に対応づけら
れた第1扇形状領域と、前記ロータの正転回転中に駆動
電圧が印加される圧電素子部に対応づけられた第2扇形
状領域と、前記ロータの逆回転中に駆動電圧が印加され
る圧電素子部に対応づけられた第3扇形状領域とに分割
し、第2扇形状領域に対応する圧電素子部と第3扇形状
領域に対応する圧電素子部との間で接続を切り換えるこ
とにより、ノードラインを切り換えて、前記ロータを正
転方向と逆転方向とに切り換えることを特徴とする。 【0012】 【発明の実施の形態】(実施例1)図7、図8は、本発
明の実施例のシリーズ接続の場合の超音波モータの駆動
方法の説明図であって、従来例と同一構成要素について
は、同一符号を付して説明する。 【0013】図7は振動子1に貼り付けられた円板状の
圧電素子3の表面側を示している。その圧電素子3の裏
面側には、円板状電極領域(図示を略す)が形成されて
いる。その円板状電極領域は振動子1に接触されてい
る。その圧電素子3の表面側には、6個の扇形状電極領
域M1〜M6が形成されている。この6個の扇形状電極
領域M1〜M6によって圧電素子部3a、3a’、3
b、3b’、3c、3c’が構成されている。 【0014】扇形状電極領域M1、M4は回転中心O1
を境に対称に位置し、この扇形状電極領域M1と扇形状
電極領域M4は第1扇形状領域を構成している。扇形状
電極領域M2、M5は回転中心O1を境に対称に位置
し、この扇形状電極領域M2と扇形状電極領域M5とは
第2扇形状領域を構成している。扇形状電極領域M3、
M6は回転中心O1を境に対称に位置し、扇形状電極領
域M3と扇形状電極領域M6とは第3扇形状領域を構成
している。 【0015】振動子1はその円板領域が6個の扇形状電
極領域M1〜M6に対応づけられている。その図7には
振動子1の駆動爪5が破線で示されている。 【0016】その駆動爪5は振動ノードラインN1と振
動ノードラインN2とによって囲まれた領域で周回り方
向等間隔に各ノードラインN1、N2から15度離れた
位置に4個形成されている。 【0017】圧電素子3は、図8に示すように、振動子
1に面する裏面側の極性が例えば「−」に分極され、そ
の圧電素子1の表面側の極性が「+」に分極されてい
る。圧電素子部3c、3c’の極性「+」側の扇形状電
極領域M1、M4とは互いに結線されて駆動電圧源4の
一側に接続されている。駆動電圧源(OSC)4の他側
はスイッチSW3に接続されている。圧電素子部3a、
3a’の極性「+」側の扇形状電極領域M2、M5は固
定接点4aに接続されている。圧電素子部3b、3b’
の極性「+」側の扇形状電極領域M3、M6は固定接点
4bに接続されている。 【0018】スイッチSW3は固定接点4aと固定接点
4bとの間で切り換えられる。スイッチSW3を固定接
点4aの側に切り換えると、圧電素子部3a、3a’と
圧電素子部3c、3c’とが駆動されて、振動ノードラ
インN1が生成される。これにより、例えば、ロータ2
が正転方向に回転される。スイッチSW3を固定接点4
bの側に切り換えると、圧電素子部3b、3b’と圧電
素子部3c、3c’とが駆動されて、振動ノードライン
N2が生成される。これにより、ロータ2が逆転方向に
回転される。 (実施例2)図9、図10はパラレル接続の場合の超音
波モータの駆動方法の説明図である。振動子1はその円
板領域が図7と同様に6個の扇形状電極領域M1〜M6
に対応づけられている。扇形状電極領域M1、M4は回
転中心O1を境に対称に位置し、この扇形状電極領域M
1と扇形状電極領域M4は第1扇形状領域を構成してい
る。扇形状電極領域M2、M5は回転中心O1を境に対
称に位置し、この扇形状電極領域M2と扇形状電極領域
M4とは第2扇形状領域を構成している。扇形状電極領
域M3、M6は回転中心O1を境に対称に位置し、扇形
状電極領域M3と扇形状電極領域M6とは第3扇形状領
域を構成している。 【0019】圧電素子3の裏面側の圧電素子部3c、3
c’の極性は、図10に示すように、例えば「−」に分
極されている。圧電素子3の裏面側の圧電素子部3a、
3a’、3b、3b’の極性は「+」に分極されてい
る。圧電素子部3a、3a’、3b、3b’の極性
「+」と圧電素子部3c、3c’の極性「−」とは互い
に結線されて、駆動電圧源4の一側に接続されている。
その駆動電圧源4の一側は振動子1にアースされてい
る。 【0020】圧電素子部3c、3c’の極性「+」側の
扇形状電極領域M1、M4は駆動電圧源4の他側と切り
換えスイッチSW3とに接続されている。圧電素子部3
a、3a’の極性「−」側の扇形状領域M2、M5は固
定接点4aに接続されている。圧電素子部3b、3b’
の極性「−」側の扇形状電極領域M3、M6は固定接点
4bに接続されている。切り換えスイッチSW3は固定
接点4a、4bの間で切り換え可能である。 【0021】スイッチSW3を固定接点4aの側に切り
換えると、圧電素子部3a、3a’と圧電素子部3c、
3c’とが駆動されて、振動ノードラインN1が生成さ
れる。これにより、例えば、ロータ2が正転方向に回転
される。スイッチSW3を固定接点4bの側に切り換え
ると、圧電素子部3b、3b’と圧電素子部3c、3
c’とが駆動されて、振動ノードラインN2が生成され
る。これにより、ロータ2が逆転方向に回転される。 (実施例3)図11は振動ノードラインを8分割構成と
したもので、ここでは、振動子1は圧電素子3の12個
の扇形状電極領域Q1〜Q12に対応づけられている。
扇形状電極領域Q1と扇形状電極領域Q7、扇形状電極
領域Q4と扇形状電極領域Q10とは回転中心O1を境
に対称に位置し、第1扇形状領域を形成している。扇形
状電極領域Q2と扇形状電極領域Q8、扇形状電極領域
Q5と扇形状電極領域Q11とは回転中心O1を境に対
称に位置し、第2扇形状領域を形成している。扇形状電
極領域Q3と扇形状電極領域Q9、扇形状電極領域Q6
と扇形状電極領域Q12とは、回転中心O1を境に対称
位置に位置し、第3扇形状領域を形成している。各駆動
爪5は振動ノードラインN1と振動ノードラインN2と
によって囲まれた領域で周回り方向等間隔に、各ノード
ラインN1、N2から7.5度離れた位置に8個形成さ
れている。このように構成すると、振動ノードラインN
1が生じたときには、例えば、ロータ2が正転方向に回
転し、ノードラインN2が生じたときには、ロータ2が
逆転方向に回転する。 (実施例4)図12は振動ノードラインを2分割構成し
たもので、振動子1は円板領域を120度ごとに分割し
て、圧電素子3の3個の扇形状電極領域M1’〜M3’
に対応づけられている。扇形状電極領域M1’は第1扇
形状領域を構成し、扇形状電極領域M2’は第2扇形状
領域を構成し、扇形状電極領域M3’は第3扇形状領域
を構成している。各扇形状電極領域M1’〜M3’によ
って圧電素子部3a〜3cが構成されている。扇形状電
極領域M1’の圧電素子部3cと扇形状電極領域M2’
の圧電素子部3aとが駆動されるようにスイッチSW3
を固定接点4aの側に切り換えると、ノードラインN1
が生じる。扇形状電極領域M1’の圧電素子部3cと扇
形状電極領域M3’の圧電素子部3bとが駆動されるよ
うにスイッチSW3を固定接点4bの側に切り換える
と、ノードラインN2が生じる。 【0022】図13は扇形状電極領域M1’の角度を1
20度よりも大きく形成したものである。このように構
成すると、扇形状電極領域M2’、扇形状電極領域M
3’の角度を120度よりも小さくでき、従って、圧電
素子部3a〜3cの未使用面積を小さくできる。 【0023】以上、発明の実施の形態では、振動子1の
形状がリング状のものについて説明したが、振動子1の
形状がドーナツ形状のものにも本発明は適用できるもの
である。 【0024】 【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、駆動回路の構成の簡略化を図ることができると共
に、シリーズ接続、パラレル接続のいずれの場合にも共
用できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】 【図1】 従来の超音波モータの概略構成を示す縦断面
図である。 【図2】 図1に示す振動子と振動ノードラインとの関
係を示す説明図であって、図1の矢印Z方向から超音波
モータを目視した平面図である。 【図3】 図1に示す圧電素子のシリーズ結線状態を示
す回路図である。 【図4】 図2に示す振動子の振動状態を円周方向に展
開して示す展開図であって、超音波モータの右回り方向
の回転を説明するための説明図である。 【図5】 図4に示す振動子の振動状態を拡大して示す
説明図である。 【図6】 図2に示す振動子の振動状態を円周方向に展
開して示す展開図であって、超音波モータの左回り方向
の回転を説明するための説明図である。 【図7】 本発明の超音波モータの駆動方法のシリーズ
結線の一例を示す説明図であって、図1の矢印Z方向か
ら超音波モータを目視した平面図である。 【図8】 図7に示す圧電素子の結線回路の詳細図であ
る。 【図9】 本発明の超音波モータの駆動方法のパラレル
結線の一例を示す説明図であって、図1の矢印Z方向か
ら超音波モータを目視した平面図である。 【図10】 図9に示す圧電素子の結線回路の詳細図で
ある。 【図11】 本発明を8分割ノードラインに適用した発
明の実施の形態の説明図であって、図1の矢印Z方向か
ら超音波モータを目視したときの平面図である。 【図12】 本発明を2分割ノードラインに適用した発
明の実施の形態の説明図であって、図1の矢印Z方向か
ら超音波モータを目視したときの平面図である。 【図13】 図12に示す2分割ノードラインの超音波
モータの変形例を示す説明図であって、図1の矢印Z方
向から超音波モータを目視したときの平面図である。 【符号の説明】 1…振動子 2…ロータ 3…圧電素子 3a〜3c、3a〜3c’…圧電素子部 4…駆動電圧源 5…駆動爪 N1、N2…振動ノードライン O1…回転中心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 斎藤 晋 東京都板橋区蓮沼町75番1号 株式会社ト プコン内 Fターム(参考) 5H680 AA08 BB03 BB11 BB16 BB20 CC04 CC06 DD02 DD15 DD23 DD39 DD53 DD63 DD84 FF32 GG02

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 ロータに対向されかつ該ロータに当接し
    て該ロータを回転させる駆動爪が突設形成された振動子
    と、該振動子に貼り付けられた圧電素子とを有し、該圧
    電素子に電圧を印加して前記ロータの回転中心を通るノ
    ードラインを有する定在波を超音波振動に基づき前記振
    動子に生じさせ、前記駆動爪により前記ロータを正転方
    向に回転させると共に、前記ノードラインを変えること
    により前記ロータを逆転方向に回転させる超音波モータ
    の駆動方法において、 前記振動子の円板領域を、前記ロータの正逆回転中に駆
    動電圧が印加される圧電素子部に対応づけられた第1扇
    形状領域と、前記ロータの正転回転中に駆動電圧が印加
    される圧電素子部に対応づけられた第2扇形状領域と、
    前記ロータの逆回転中に駆動電圧が印加される圧電素子
    部に対応づけられた第3扇形状領域とに分割し、第2扇
    形状領域に対応する圧電素子部と第3扇形状領域に対応
    する圧電素子部との間で接続を切り換えることにより、
    ノードラインを切り換えて、前記ロータを正転方向と逆
    転方向とに切り換えることを特徴とする超音波モータの
    駆動方法。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN102647112A (zh) * 2012-05-07 2012-08-22 哈尔滨工业大学 旋转式压电发电装置

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