JP2003320213A - 揮発性物質の吸着・脱着装置、および揮発性物質の吸着・脱着方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 揮発性物質を含む気体から揮発性物質を吸着
し、飽和した吸着材から揮発性物質を脱着することがで
きる吸着・脱着装置、およびこの装置を使用して揮発性
物質を含む気体から揮発性物質を吸着し、飽和した吸着
材から揮発性物質を脱着する吸着・脱着方法を提供する
こと。 【構成】 第１発明は、プレートフィン型熱交換器のプ
レートとフィンとによって形成された空間の隣合うフィ
ンは、９０度位相をずらして配置され、空間には一層お
きに吸着材が充填され、多層にされブロック状にされた
プレートフィン型熱交換器を備えた揮発性物質の吸着・
脱着装置を特徴とし、第２発明は、この第１発明の装置
によって揮発性物質物を吸着・脱着する方法を特徴とす
る。 【効果】 上記課題が解決される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、揮発性物質の吸着
・脱着装置、および揮発性物質の吸着・脱着方法に関す
る。さらに詳しくは、揮発性物質を含有する気体から、
揮発性物質を吸着除去し、または揮発性物質を吸着飽和
した吸着材から揮発性物質を脱着（離脱、または吸着材
を再生）し、揮発性物質の吸着・脱着のために繰返し使
用可能な、揮発性物質の吸着・脱着装置、およびこの装
置を使用して揮発性物質を吸着・脱着する方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】化学工場では各種化学物質を製造、他の
化学物質製造用の溶媒、インク、塗料などを調合する際
の溶媒、電子工場、機械工場などにおいては、各種部品
の洗浄用などに、各種の揮発性有機物が使用されてい
る。これら工場では、環境保全の観点から厳しい規制に
対応するためにクローズドシステムを採用して、有機物
をそのまま河川に放流したり、有機物を含む気体（オフ
ガス）を大気に放出（または放散、飛散）したりしない
ような各種の処理方法、例えば、活性汚泥法、活性炭吸
着−水蒸気再生法、吸着−熱再生法などが提案され、実
用化されている。

【０００３】有機物を含むオフガスから有機物を回収す
る活性炭吸着−水蒸気再生法は、オフガスを室温条件下
で活性炭を充填した吸着塔に導いて吸着除去し、無害化
して大気中に放出し、活性炭に吸着された有機物は高温
の水蒸気により脱着（離脱）させ、水蒸気を含む水蒸気
を凝縮させ、水相と有機物相とを分離して、有機物を回
収する方法である。この方法では、活性炭が疎水性吸着
剤であることから、吸着した有機物は水蒸気の通過（ま
たは流過）に伴い能率的に脱着（離脱）し、活性炭の乾
燥、冷却に続く吸着工程で再操作も能率的に行われ、有
機物と水蒸気の分離も水蒸気の低温凝縮により、通常は
簡単であるので広く普及することになった。しかし、吸
着剤の再生に水蒸気を使用することから、活性炭の高温
での触媒作用により有機物が熱変質を起こし、再利用な
難しくなり、また、有機物の一部が活性炭に残留して吸
着能が低下するという欠点があった。さらに、有機物を
含む水蒸気を凝縮させて凝縮水から有機物を回収する過
程で、有機物の一部が凝縮水に溶解して、廃棄する水を
汚濁することがあるという欠点があった。

【０００４】吸着−熱再生法は、有機物を含むオフガス
を室温条件下で吸着剤に吸着除去し、無害化したオフガ
スを大気中に放出し、(1)吸着された有機物を吸着した
吸着材を直接加熱する直接加熱法、(2)吸着材に高温の
再生ガスを直接接触することが好ましくない場合には、
吸着材を熱交換型の吸着塔で間接的に加熱再生する方法
である。この吸着−熱再生法は、上記(1)の直接加熱法
が主流をなっているが、この直接加熱法は、吸着剤の加
熱・冷却に多量の蒸気、再生ガス、パージガスなどが必
要であり、冷却に長時間を必要とし、吸着・脱着のサイ
クルが長くなる。さらに、上記(2)の間接加熱法では、
吸着材層内に電熱管を埋めこむか、シェル＆チューブ型
の熱交換器のチューブ内に吸着剤を充填して加熱を行う
ため、熱が効率的に伝わらず、多量の蒸気、再生ガス、
パージガスが必要であるという欠点がある。

【０００５】上記(1)の直接加熱法および(2)の間接加熱
法とは異なる他の方法(3)として、吸着材層と面状発熱
体層とを交互に積層した吸着体が充填された吸着塔内を
減圧し、かつ前記面状発熱体に通電してこの発熱体を発
熱させ、吸着体の吸着材層を加熱することにより、吸着
材層に吸着された有機物を脱着させて吸着剤を再生する
方法が提案されている（特開平３−１４３５２０号公報
参照）。しかし、この(3)の方法は、吸着材層と面状発
熱体層とを交互に積層して吸着体を形成しているため、
吸着体が大型化、複雑化すると共に、吸着体の冷却工程
での冷却に長時間を必要とし、吸着・脱着のサイクルが
長くなるという欠点がある。

【０００６】

【発明が解決しようとした課題】本発明者は、かかる状
況にあって、従来技術に存在していた上記欠点を排除し
た揮発性物質の吸着・脱着技術を提供すべく鋭意検討し
た結果、本発明を完成するに至ったものである。すなわ
ち、本発明の目的は次のとおりである。 １．揮発性物質を含有する気体を通過（流過）させ、こ
の気体から揮発性物質を吸着除去する、揮発性物質の吸
着・脱着装置を提供すること。 ２．吸着材に吸着された物質を変質させずに回収可能
な、揮発性物質の吸着・脱着装置を提供すること。 ３．大型化、複雑化しない揮発性物質の吸着・脱着装置
を提供すること。 ４．吸着・脱着のサイクルが長くならない、揮発性物質
の吸着・脱着装置を提供すること。 ５．上記吸着・脱着装置を使用して、揮発性物質を吸着
・脱着する方法を提供すること。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第１発明では、吸着材が充填されたプレートフィン
型吸着・脱着器を少なくとも装備した揮発性物質の吸着
・脱着装置において、プレートフィン型吸着・脱着器
は、プレートとフィンとによって形成される空間を一層
とするとき、プレートを介して隣合うフィンの位相を９
０度ずらして多層にされてなり、一層おきに吸着材が充
填されてなることを特徴とする、揮発性物質の吸着・脱
着装置を提供する。

【０００８】また、第２発明では、少なくとも吸着材が
充填されたプレートフィン型吸着・脱着器を装備した揮
発性物質を揮発性物質の吸着・脱着装置によって吸着・
脱着するにあたり、プレートとフィンとによって形成さ
れる空間を一層とするとき、プレートを介して隣合うフ
ィンの位相を９０度ずらして多層にされてなり、一層お
きに吸着材が充填されてなるプレートフィン型吸着器を
使用することを特徴とする、揮発性物質の吸着・脱着方
法を提供する。

【０００９】

【発明の実施の態様】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の第１発明に係る揮発性物質の吸着・脱着装置
は、少なくとも吸着材が充填されたプレートフィン型吸
着・脱着器を装備している。揮発性物質の吸着・脱着装
置は、プレートフィン型吸着・脱着器の他に、揮発性物
質の吸着・脱着装置の吸着材を充填した空間に揮発性物
質を含む気体を通過（流過）させ、同時に吸着材を充填
していない空間に冷気を通過可能にされてなる。吸着材
から揮発性物質を脱着する際には、揮発性物質の吸着・
脱着装置の吸着材を充填していない空間に、高温の気体
を通過可能にされてなり、プレートフィン型吸着・脱着
器の下流側に、熱交換器および有機物受器を直列に連接
することができる。

【００１０】本発明におけるプレートフィン型吸着器
は、プレートと波形（またはコルゲート型）にされたフ
ィンとによって形成される空間を一層とするとき、多層
とされてなり、一層おきに吸着材が充填されてなるもの
であり、揮発性物質を含有する気体を通過させて揮発性
物質を吸着除去し、または揮発性物質を吸着飽和した吸
着材から揮発性物質を脱着（離脱）または吸着材を再生
するように機能する。

【００１１】プレートフィン型吸着器は、隣合う層の波
形フィンがプレートを介して位相を９０度ずらして配置
されて複数層配置され立方状ブロックとされたものであ
る（後記する図１参照）。吸着材を一層おきに充填する
ことにより、吸着材を充填しない層に低温の外気を通過
させ、吸着材に揮発性物質を吸着せている際には発生す
る吸着熱を除去し、吸着材の吸着量を増加させることが
できる。吸着材から揮発性物質を脱着する際には、比較
的高温の排出気体を通過させて吸着材からの揮発性物質
の脱着（離脱）を促進させることができる。

【００１２】プレートフィン型吸着・脱着器は、設置場
所により大きさを種々変更することができ、プレートと
波形フィンとで形成される空間層を２０〜６０層に重ね
て（後記する図２参照）、一辺が３００mm〜１０００mm
のブロックとされて箱に収納される。プレートと波形フ
ィンとは、アルミニウム、アルミニウム合金、ステンレ
ルスチール、銅、銅合金、鉄などの金属板より調製する
ことができ、金属板の厚さは０．１mm〜１．０mmの範囲
で選ぶことができる。隣合うプレートとの間隔は、吸着
材が充填される部分は５mm〜７０mm、吸着材が充填され
ない部分は３mm〜５０mmの範囲で選ぶのが好ましい。波
形フィンの頂部間の間隔は、隣合うプレートの間隔とほ
ぼ同じ寸法とするのが好ましい。

【００１３】本発明において吸着剤とは、揮発性物質を
吸着し、揮発性物質を吸着飽和した場合は加熱すると容
易に脱着（離脱）して再使用できる性質を有するものを
いう。このような性質を有するものであればその種類に
特に制限がなく、例えば、酸化アルミニウム、活性炭
類、ゼオライト類、アロフェン類、シリカゲル類または
これらの二種以上の混合物が挙げられる。これら吸着剤
は、多孔質化により表面積を大きくし、カチオンまたは
アニオン交換などにより、揮発性物質の吸着・脱着を促
進することができる。

【００１４】吸着剤の形状は特に制限はなく、粒状、破
砕状、球状、ペレット状、円筒状、中空円筒状などを呈
するものが挙げられる。吸着剤の大きさは、上記のプレ
ートと波形フィンとによって形成される空間に充填され
る大きさとされる。球状のものでは直径が２〜１５mm、
中空円筒状のものでは直径２〜５mm、長さ３〜１０mmの
範囲で選ばれる。プレートと波形フィンとによって形成
される空間に充填する際にはランダムであってよく、空
間の吸着剤による充填率は０．３〜０．７、中でも０．
４〜０．６とするのが好ましい。吸着剤は同一形状のも
のとする必要はなく、異なる形状のものを二種以上組合
せることもできる。

【００１５】本発明の第２発明に係る揮発性物質の吸着
・脱着方法は、少なくとも上記第１発明に係る揮発性物
質の吸着・脱着装置を使用して、揮発性物質を吸着・脱
着する。吸着材に揮発性物質を吸着させる際には、プレ
ートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填した空間に揮
発性物質を含む気体を通過させ、同時に吸着材を充填し
ていない空間に冷気を通過させる（後記する図２参
照）。吸着材を充填した空間に揮発性物質を含む気体を
通過させる際に吸着熱を発生するが、同時に吸着材を充
填していない空間に冷気を通過させることによって、吸
着材の揮発性物質の吸着量を増加させることができる。

【００１６】吸着材から揮発性物質を脱着する際には、
プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填していな
い空間に、高温の気体を通過させる。高温の気体は、マ
イクロガスタービン、ガスタービン、ジーゼルエンジ
ン、燃料電池、ヒートポンプ、焼却炉発電装置などの分
散発電設備からの排出気体、各種工場からの排出気体が
好ましい。このような排出気体を熱源とすると、高温の
気体を特別に製造する必要がなく、省エネルギーが達成
されるので好ましい。また、プレートフィン型吸着・脱
着器の吸着材を充填した空間の一端を閉鎖して、プレー
トフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填していない空間
に、高温の排出気体を通過させると、吸着材から揮発性
物質を効率的に脱着することができる。なお、排出気体
の温度が高い場合には、低温の外気を混合して適温に調
節することができる。吸着材から揮発性物質の脱着が完
了し、次の吸着工程に移行する際には、吸着材を充填し
ていない空間に冷気を通過させて、脱着操作で高温にな
った吸着材が充填された層を速やかに冷却することによ
り、次の吸着操作へ移行するまでの時間を短縮すること
ができる。

【００１７】プレートフィン型吸着・脱着器の下流側
に、直列に連接される熱交換器は、プレートフィン型吸
着・脱着器で吸着材から脱着された揮発性物質を冷却し
て凝縮させるように機能する。熱交換器は、このように
機能するものであれば特に制限はなく、多管式、二重管
式、スパイラル式、プレートフィン型などのいずれであ
ってもよい。熱交換器の大きさは、プレートフィン型吸
着・脱着器の大きさに応じて適宜選ぶことができる。熱
交換器の吸着材から脱着された揮発性物質の通路に、真
空装置を連接して真空を適用できる構造とすることもで
きる。熱交換器に真空を適用できる構造とすると、真空
を上流のプレートフィン型吸着・脱着器に及ぼすことが
できるので、脱着を促進することができる。

【００１８】プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材か
ら脱着された物質は、焼却処理することができるが、揮
発性物質が水の場合はプレートフィン型吸着・脱着器の
下流側に熱交換器のみ、揮発性物質が有機物の場合は熱
交換器と有機物受器とを連接して、熱交換器で冷却凝縮
された有機物と水分との混合物を受けることができる。
有機物が水分と混合しないものである場合は、両者の比
重差によって分離して有機物を回収できる。有機物が水
分と混合しあうものである場合は、混合物を加熱した沸
点差によって分別蒸留して有機物を回収できる。

【００１９】本発明の第２発明に係る揮発性物質の吸着
・脱着方法で吸着・脱着できる物質は、水（水蒸気）の
ほか各種の有機物が挙げられる。有機物には、化学工
場、電子工場、機械工場などで使用される各種有機溶
媒、例えば、各種化学反応を遂行する際に使用される溶
媒、各種インクの溶媒、各種塗料の溶媒、油性物質の洗
浄に使用される溶媒などである。具体的には、炭化水素
類、ハロゲン化炭化水素類、アルコール類、エーテル
類、ケトン類、エステル類、フェノール類、含窒素化合
物類、含硫黄化合物類、フッ素化合物類、またはこれら
の二種以上の混合物などが挙げられる。

【００２０】炭化水素類の具体例としては、ベンゼン、
トルエン、キシレン、スチレン、オクタン、ジエチルベ
ンゼン、シクロヘキサン、シクロヘキセン、シクロペン
タン、デカリン、テレピン油、オクタン、ガソリン、ブ
タン、プロパン、ヘキサン、ヘプタン、メチルシクロヘ
キサンなどが挙げられる。ハロゲン化炭化水素類の具体
例としては、塩化メチル、塩化エチル、塩化アミル、塩
化ブチル、塩化イソプロピル、塩化メチレン、塩化ヘキ
シル、クロロホルム、四塩化炭素、ジクロロエタン類、
ジクロロブタン類、ジクロロベンゼン類、臭化エチル、
臭化ブチル、臭化プロピルなどが挙げられる。

【００２１】アルコール類の具体例としては、メチルア
ルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコー
ル、１−プロパノール、ブタノール類、ｎ−ヘキサノー
ル、ヘプタノール類、オクタノール類、２−エチルヘキ
サノール、アミルアルコール類、ｎ−オクタノール、フ
ルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコー
ル、ベンジルアルコールなどが挙げられる。エーテル類
の具体例としては、エピクロルヒドリン、グリシジルメ
チルエーテル、酸化プロピレン、テトラヒドロフラン、
ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、ジブチルエーテ
ル、ジオキサン、トリオキサン、フラン、フルフラール
などが挙げられる。

【００２２】ケトン類の具体例としては、アクロレイ
ン、アセトン、アセトアルデヒド、アセトフェノン、ジ
エチルケトン、メチルエチルケトン、ジイソブチルケト
ン、ジイソプロピルケトン、シクロヘキサノン、メチル
イソブチルケトン、メチル−ｎ−ブチルケトン、ホロ
ン、イソホロンなどが挙げられる。エステル類の具体例
としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸
プロピル、酪酸メチル、酪酸エチル、酪酸ブチル、酪酸
プロピル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジオクチルなど
が挙げられる。

【００２３】以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明
するが、本発明はその趣旨を越えない限り、以下の記載
例に限定されるものではない。

【００２４】図１は、本発明の第１発明に係る揮発性物
質の吸着・脱着器の一例の部分拡大斜視図であり、図２
は、第１発明に係る揮発性物質の吸着・脱着器によって
揮発性物質を吸着する際の部分拡大斜視図であり、図３
は、揮発性物質の吸着・脱着器によって揮発性物質を脱
着する際の一例のフローシートである。

【００２５】図１において、プレートフィン型吸着・脱
着器ａは、プレート１と波形フィン２とで構成され、波
形フィン２は２枚のプレートの間に隣合う波形フィンと
位相を９０度ずらして配置されている。プレート１と波
形フィン２とで形成される空間は、図１では二層の例を
示しているが、複数を重ねて多層とすることは前記のと
おりである。

【００２６】図２は、第１発明に係る揮発性物質の吸着
・脱着器によって揮発性物質を吸着する際のフローシー
トであり、複数の空間には一層おきに吸着材３が充填さ
れている。４は揮発性物質を含む気体であり、吸着材３
が充填されている空間を矢印の方向に通過させる。５は
吸着材３が揮発性物質を吸着する際に発生する吸着熱を
除熱するために送られる冷却空気であり、吸着材３が充
填されていない空間を矢印の方向に通過させる。

【００２７】図３は、揮発性物質の吸着・脱着器によっ
て揮発性物質を脱着する際の一例のフローシートであ
り、プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填した
空間の一端を閉鎖して、プレートフィン型吸着・脱着器
ａの吸着材３が充填されていない空間に、排出気体など
の高温の気体ｆを、吸着熱を除熱する際の冷却空気５と
は逆の方向から通過させて、吸着材３を加熱した吸着さ
れた揮発性物質を揮発させて熱交換器ｂに送り、熱交換
器ｂで吸着材から脱着された揮発性物質を冷熱ｅを通過
させて凝縮させる例を示している。ｃは有機物受器であ
り、熱交換器ｂで冷却凝縮された有機物と水分との混合
物を受ける。ｄは真空装置であり、プレートフィン型吸
着・脱着器ａと熱交換器ｂとに真空を適用することによ
り、吸着された有機物の脱着を促進することができる。
プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填した空間
の一端を閉鎖しないで空気を通過させつつ、吸着材３が
充填されていない空間に、排出気体などの高温の気体ｆ
を通過させてもよいことは勿論である。

【００２８】

【発明の効果】本発明は、以上詳細に説明したとおりで
あり、次のような特別に優れた効果を奏し、その産業上
の利用価値は極めて大である。 １．本発明の第１発明に係る揮発性物質の吸着・脱着装
置は、吸着材を充填した空間部分に揮発性物質を含有す
る気体を流過させることにより、この気体から揮発性物
質を容易に吸着除去することができる。 ２．本発明の第１発明に係る揮発性物質の吸着・脱着装
置では、吸着材に吸着された揮発性物質、特に有機物を
変質させずに回収でき、回収した有機物は再使用するこ
とができる。 ３．本発明の第１発明に係る揮発性物質の吸着・脱着装
置は、大型化、複雑化しないので、製造コストが安く、
稼働させる際の操作も簡単である。 ４．本発明の第２発明に係る揮発性物質の吸着・脱着方
法は、吸着・脱着作業が簡単であり、吸着・脱着のサイ
クルが長くならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 揮発性物質の吸着・脱着器の一例の部分拡大
斜視図である。

【図２】 揮発性物質の吸着・脱着器によって揮発性物
質を吸着する際の部分拡大斜視図である。

【図３】 揮発性物質の吸着・脱着器によって揮発性物
質を脱着する際の一例のフローシートである。

【符号の説明】

１：プレート ２：波形フィン ３：吸着材 ４：揮発性物質を含む気体 ５：冷却空気 ａ：プレートフィン型吸着・脱着器 ｂ：熱交換器 ｃ：有機物受器 ｄ：真空装置 ｅ：冷熱 ｆ：高温の気体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｊ 20/10 Ｂ０１Ｊ 20/12 Ｃ 20/12 20/34 Ｈ Ｆ２５Ｂ 35/04 20/34 Ｂ０１Ｄ 53/34 １１７Ａ Ｆ２５Ｂ 35/04 (72)発明者 駒田 信二 東京都港区芝五丁目34番６号 三菱化学エ ンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 4D002 AA01 AA13 AA14 AA22 AA33 AA40 AB03 BA04 CA07 DA41 DA45 DA46 DA47 EA08 GA03 GB20 4D012 CA01 CA10 CA11 CA12 CB02 CD04 CG01 CK01 CK03 4G066 AA05B AA20B AA22B AA61B AA63B CA22 CA27 CA31 CA43 CA51 CA52 CA56 GA04

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吸着材が充填されたプレートフィン型吸
   着・脱着器を少なくとも装備した揮発性物質の吸着・脱
   着装置において、プレートフィン型吸着・脱着器は、プ
   レートとフィンとによって形成される空間を一層とする
   とき、プレートを介して隣合うフィンの位相を９０度ず
   らして多層にされてなり、一層おきに吸着材が充填され
   てなることを特徴とする、揮発性物質の吸着・脱着装
   置。
2. 【請求項２】 吸着材が、酸化アルミニウム、活性炭
   類、ゼオライト類、アロフェン類、シリカゲル類、また
   はこれらの二種以上の混合物よりなる群から選ばれたも
   のである、請求項１に記載の揮発性物質の吸着・脱着装
   置。
3. 【請求項３】 揮発性物質が、水、炭化水素類、ハロゲ
   ン化炭化水素類、アルコール類、エーテル類、ケトン
   類、エステル類、フェノール類、含窒素化合物類、含硫
   黄化合物類、フッ素化合物類、またはこれらの二種以上
   の混合物よりなる群から選ばれたものである、請求項１
   および請求項２に記載の揮発性物質の吸着・脱着装置。
4. 【請求項４】 少なくとも吸着材が充填されたプレート
   フィン型吸着・脱着器を装備した揮発性物質を、揮発性
   物質の吸着・脱着装置によって吸着・脱着するにあた
   り、プレートとフィンとによって形成される空間を一層
   とするとき、プレートを介して隣合うフィンの位相を９
   ０度ずらして多層にされてなり、一層おきに吸着材が充
   填されてなるプレートフィン型吸着器を使用することを
   特徴とする、揮発性物質の吸着・脱着方法。
5. 【請求項５】 吸着材に揮発性物質を吸着する際には、
   プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填した空間
   に揮発性物質を含む気体を通過させ、同時に吸着材を充
   填していない空間に冷気を通過させる、請求項４に記載
   の揮発性物質の吸着・脱着方法。
6. 【請求項６】 吸着材から揮発性物質を脱着する際に
   は、プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填して
   いない空間に高温の気体を通過させる、請求項４に記載
   の揮発性物質の吸着・脱着方法。
7. 【請求項７】 吸着材から揮発性物質を脱着する際に
   は、プレートフィン型吸着・脱着器の吸着材を充填した
   空間の一端を閉鎖し、プレートフィン型吸着・脱着器の
   吸着材を充填していない空間に高温の気体を通過させ
   る、請求項４に記載の揮発性物質の吸着・脱着方法。
8. 【請求項８】 高温の気体が、マイクロガスタービン、
   ガスタービン、ジーゼルエンジン、燃料電池、ヒートポ
   ンプ、焼却炉発電装置などの分散発電設備からの排出気
   体、各種工場からの排出気体のいずれかである、請求項
   ６に記載の揮発性物質の吸着・脱着方法。
9. 【請求項９】 吸着材から揮発性物質を脱着する揮発性
   物質の吸着・脱着装置が、プレートフィン型吸着器の下
   流側に、熱交換器および有機物受器が直列に連接されて
   なる、請求項４に記載の揮発性物質の吸着・脱着方法。