JP2003315117A - 流動体の流量検知方法および装置ならびに供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】流量が変動し定常的ではない場合、流量が微少
な場合、または流動体が高粘度液体やフィラーを含有す
る懸濁液の場合などのように、従来の流量計では測定す
ることが容易ではなかった場合においても、簡易な装置
で流動体の流量を検知すること。 【解決手段】第１の槽１１に蓄えた流動体の次工程への
供給流量を検知する方法であって、第１の槽１１の下部
と開閉弁１３を介して接続され第１の槽１１に比し小さ
な断面積を有する鉛直方向に長い第２の槽１２に、開閉
弁１３を開いて第１の槽１１から流動体を流入させ、第
２の槽１２の液面を所定の高さまで上昇させた後に開閉
弁１３により第１の槽１１と第２の槽１２との間を遮断
し、第２の槽１２から流動体を次工程に供給しながら第
２の槽１２の液面の変化を液面センサ１４にて検知す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流動体の流量検知
方法、流量検知装置および流動体の供給装置に関するも
のであり、特に、流動体を小流量で次工程に供給する必
要がある場合等で、実際に次工程に供給されている流量
を検知するため、および、そのような場合に用いられる
流動体の供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】次工程に液体を供給する際の流量の検出
には、流量の測定原理に応じて多様なものがあり、ロー
タメータのような面積式流量計、オーバル型流量計のよ
うな容積式流量計、ピトー管やオリフィスのような差圧
式流量計、超音波式流量計、コリオリ式質量流量計等が
用いられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの流量
計は、多くが大流量用であり、微少な流量の測定に使用
できる流量計は少なく、かつ、高価なものに限られ、さ
らに、流動体が脈動する場合には、微少流量の測定は一
層困難なものであった。

【０００４】一方、主剤に混合する第２剤が高粘度液や
固形物の懸濁液である場合も含め、主剤の量に対して微
量な第２剤を混合する工程は一般的によく用いられてい
る。そして、上述のように、精度の高い微少流量の測定
が容易ではないため、第２剤を計量し、回分式で主剤に
一括投入し混合する方法が採用されてきた。また、混合
工程と前後の工程との関わりから、混合工程の連続化を
強く望む場合には、プランジャーポンプ等の容積式ポン
プを用いて、第２剤を定量的に供給するという方法も、
これまでよく行われてきた。

【０００５】しかしながら、このように定量性のあるポ
ンプを使用する場合であっても、工程管理や品質管理の
面から、設定した流量と実際の流量との差を検知したい
との要求は強い。

【０００６】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
ので、流量が変動し定常的ではない場合、流量が微少な
場合、または流動体が高粘度液体やフィラーを含有する
懸濁液の場合などのように、従来の流量計では測定する
ことが容易ではなかった場合においても、簡易な装置で
流動体の流量の検知を可能とすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明にかかる
方法は、第１の槽に蓄えた流動体の次工程への供給流量
を検知する方法であって、前記第１の槽の下部と開閉弁
を介して接続され前記第１の槽に比し小さな断面積を有
する鉛直方向に長い第２の槽に、前記開閉弁を開いて前
記第１の槽から流動体を流入させ、前記第２の槽の液面
を所定の高さまで上昇させた後に前記開閉弁により前記
第１の槽と前記第２の槽との間を遮断し、前記第２の槽
から流動体を前記次工程に供給しながら前記第２の槽の
液面の変化を液面センサにて検知する。

【０００８】請求項２の発明にかかる装置は、第１の槽
に蓄えた流動体の次工程への供給流量を検知するための
装置であって、前記第１の槽の下部と接続するように設
けられた開閉弁と、前記開閉弁を介して前記第１の槽に
接続された前記第１の槽に比し小さな断面積を有する鉛
直方向に長い第２の槽と、流動体を前記第２の槽から前
記次工程に供給する際の前記第２の槽における流動体の
液面の変化を検知するための液面センサと、を有してな
る。

【０００９】請求項３の発明にかかる装置は、請求項２
に記載の流量検知装置において、前記第２の槽および前
記液面センサを複数組有し、前記開閉弁は、前記第１の
槽からすべての前記第２の槽に選択的に流動体を流入さ
せるよう切り替えることが可能であり、常に１以上の前
記第２の槽から流動体が前記次工程に供給されるよう
に、すべての前記第２の槽と前記次工程との間には供給
の切り替えのための弁が設けられ、てなる。

【００１０】請求項４の発明にかかる装置は、流動体を
蓄える第１の槽と、前記第１の槽の下部と接続するよう
に設けられた開閉弁と、前記開閉弁を介して前記第１の
槽に接続された前記第１の槽に比し小さな断面積を有す
る鉛直方向に長い第２の槽と、流動体を前記第２の槽か
ら前記次工程に供給する際の前記第２の槽における流動
体の液面の変化を検知するための液面センサと、を有し
てなる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明にかかる実施形態で
ある流量検知装置１の構成を示す図、図２は図１の流量
検知装置１における開閉弁１３の動作と液面センサ１４
の液面の検出の様子を示す図である。

【００１２】図１において、流量検知装置１は、流量を
測定しようとする流動体ＭＢの貯槽である第１の槽１
１、小さな断面積を有する鉛直方向に長い第２の槽１
２、第２の槽１２の液面の変化を検知する液面センサ１
４、第１の槽１１の下部と第２の槽１２の下部とを接続
する配管に取り付けられた開閉弁１３、および、検知装
置１による流量検知全般を制御する制御部１５からな
る。

【００１３】第１の槽１１は、次工程の流動体ＭＢの使
用に備えて流動体ＭＢを貯蔵するものである。次工程の
稼働状況により内容積が異なるが、図１における第１の
槽は内容積が２リットルである。第１の槽１１は、透明
な樹脂またはガラスによって、有底の円筒状または直方
体状に作られており、流動体ＭＢの補充は、上部の蓋を
外して、または蓋または周面に設けた図示しない投入口
から行う。なお、第１の槽１１の材料として、鉄などの
金属を用いてもよい。第１の槽１１の上部の空間を外気
と連通させるための適当な図示しない連通孔が設けられ
ている。

【００１４】第２の槽１２は、樹脂製またはガラス製の
透明なチューブで形成されている。第２の槽１２の下部
は、第１の槽１１の下部と開閉弁１３を介して接続され
ており、上部は、第１の槽１１の上部と接続され、空気
が流通可能である。第２の槽１２の内径は約６ミリメー
トルである。本実施形態では、第１の槽１１から第２の
槽１２への流動体ＭＢの補給は、二つの槽の流動体ＭＢ
のヘッドの差により行うが、流動体ＭＢの粘性が高く、
ヘッド差だけでは補給に長時間を要する場合には、第１
の槽の上部と第２の槽１２の上部の空間部とを切り離
し、第１の槽の空間部を窒素等で加圧して補給を促進さ
せてもよい。

【００１５】開閉弁１３は、第１の槽１１から第２の槽
１２に流動体ＭＢを補給し、または、補給を停止するた
めに用いられる。本実施形態では第１の槽近くに電磁式
の自動弁を開閉弁１３として設けている。開閉弁１３に
は、第２の槽１２を次工程または第１の槽１１へのいず
れかに接続を切り替える三方弁を用いることができる。

【００１６】本実施形態で用いた液面センサ１４は、８
つの光ファイバー式センサである。各光ファイバー式セ
ンサは、光ファイバーから第２の槽１２を直径方向に貫
通するように光を発し、これを受光することにより、光
の屈折率の相違を検出してその位置における流動体ＭＢ
の有無を調べる。各光ファイバー式センサは、第２の槽
１２の高さ方向に間隔が約９ミリメートルで８箇所に配
置されている。この８つの光ファイバー式センサによっ
て、各センサが設けられた高さ位置を液面が通過した時
を検出する。以下、便宜的に８つの光ファイバー式セン
サを総称して液面センサ１４といい、８箇所に配置した
各光ファイバー式センサは、たとえばセンサＮｏ．１と
いう。

【００１７】液面センサ１４としては、このほかに、マ
グネットフロート式、フロート金属管式および超音波式
等のように、液面の変化を連続して検出できるものでも
よいし、また、本実施形態に示すような光ファイバー式
センサであって、上端と下端の２カ所にこれを設けて、
流量を検知する間隔を１つだけ有するものとしてもよ
い。

【００１８】制御部１５は、第２の槽１２内の流動体の
液面の変化に対応して開閉弁１３を開閉する駆動部２１
と、流量を検知する検知部２２と、および、検知部２２
で求めた流量の値を表示する表示部２３とからなる。

【００１９】次に、図２の各センサ位置における液面の
有無に対する検出パターンを参考に、図１に示す流量検
知装置１の動作について説明する。図２に示すように、
第２の槽１２の中の流動体ＭＢが次工程に供給されて残
量が減少し、液面が最下部のセンサＮｏ．８よりも低下
したとき、センサＮｏ．８からの液面検出信号がＯＮか
らＯＦＦに変わる（図２のＡ点）。ＯＦＦの信号を受け
て駆動部２１は開閉弁１３を開き、これによって流動体
ＭＢが第１の槽１１から第２の槽１２に補給される。こ
の補給の間、次工程には、開閉弁１３を通る流動体ＭＢ
が直接に供給される。第２の槽１２の液面が上昇し始め
ると、各センサの中でセンサＮｏ．８が真っ先にＯＮと
なる（図２のＢ点）。流動体ＭＢの液面が上昇するに従
い、各箇所に配置されるセンサは次々とＯＦＦからＯＮ
に切り替わる。液面がセンサＮｏ．１の高さにまで上昇
すると、センサＮｏ．１がＯＮとなり、駆動部２１が開
閉弁１３を閉じる（図２のＣ点，Ｄ点を参照）。

【００２０】この後、次工程には第１の槽１１とは遮断
された第２の槽１２から流動体ＭＢが供給される。開閉
弁１３が閉じた後は（図２のＤ点）、第２の槽１２の液
面は次工程の流動体ＭＢの使用により低下し始め、セン
サＮｏ．１の位置よりも液面が低下した時点で、センサ
Ｎｏ．１はＯＦＦとなり、検知部２２のタイマーの計時
が開始される。

【００２１】流動体ＭＢが使用され続けると液面はさら
に低下し、センサＮｏ．２の位置に達してセンサＮｏ．
２もＯＦＦとなる。計時開始よりセンサＮｏ．２がＯＦ
Ｆとなるまでの時間をＴ１とする。センサＮｏ．１とセ
ンサＮｏ．２との間隔と、第２の槽１２の断面積とか
ら、時間Ｔ１の間に供給された流動体ＭＢの体積が求め
られるので、検知部２２において、この体積を時間Ｔ１
で除することにより流動体ＭＢの次工程への供給流量が
検知できる。さらに、センサＮｏ．２とセンサＮｏ．３
の間でも同様に時間Ｔ２が計測され、液面がセンサＮ
ｏ．８に達するまで、それぞれのセンサ間で同様にして
流量（平均流量）が検知できる。

【００２２】本実施形態の流量検知装置１では、一般に
よく用いられる流量計のように、ローターを浮遊させ、
または、内部のタービンを回転させる等のような、流動
体が運動エネルギを有する必要がなく、また、流れに一
定以上の線速度を必要とするものでもないため、勢いが
ない微量な流れや定常的でない脈動を伴うような不均一
な流れであっても、精度よく流動体の流量を測定するこ
とができる。また、ギヤ型のように検出部に摺動面があ
る流量計では計測に適さないとされるフィラーのような
固体が分散されている液体に対しても、通常の液体と同
様に精度よく流量を測定することができる。

【００２３】図３は、本発明にかかる流量検知装置の他
の実施形態を示す。図３に示す実施形態では、第２の槽
と液面センサとの組みが２つある。つまり、第１の組
は、第２の槽１２Ｂａと液面センサ１４Ｂａからなり、
第２の組は、第２の槽１２Ｂｂと液面センサ１４Ｂｂか
らなる。開閉弁には２つの電磁式の三方弁１３Ｂａ，１
３Ｂｂと１つの電磁開閉弁１３Ｂｃを使用した。

【００２４】第１の槽１１Ｂと第２の槽１２Ｂａ，１２
Ｂｂとの空間部はつながっており、第２の槽１２Ｂａ，
１２Ｂｂへの流動体ＭＢの補給は、図１の場合と同様に
両槽の流動体のヘッド差により行う。

【００２５】第１の槽１１Ｂと第２の槽１２Ｂａ，１２
Ｂｂの材質、大きさ等および液面センサ１４Ｂａ，１４
Ｂｂの種類や配置は、図１に示す実施形態と同じであ
る。開閉弁１３Ｂａ，１３Ｂｂおよび１３Ｂｃの開閉の
基準となる第２の槽１２Ｂａ，１２Ｂｂの液面の上限
は、第２の槽１２ＢａではセンサＮｏ．１ａ、第２の槽
１２ＢｂではセンサＮｏ．１ｂである。また、液面の下
限は、第２の槽１２ＢａではセンサＮｏ．８ａ、第２の
槽１２ＢｂではセンサＮｏ．８ｂである。これらは、図
３では、１ａ，１ｂ，８ａ，８ｂと記している。

【００２６】図３に示す実施形態においても、流動体Ｍ
Ｂの液面がセンサＮｏ．１ａからセンサＮｏ．８ａまた
はＮｏ．１ｂからＮｏ．８ｂの間に有るときは、図１に
示した実施例と全く同様に実際の供給流量の検知を行
う。

【００２７】ここでは、流量検知装置１Ｂの動作を、液
面の位置と各開閉弁の動作の関係を示す図４を参考にし
ながら、図３の右側の第２の槽１２Ｂｂから次工程に流
動体ＭＢが供給されており、流動体ＭＢの液面が第２の
槽１２ＢｂのセンサＮｏ．８ｂの直上にある状況から順
次説明する。

【００２８】この段階では、図３に示す左側の第２の槽
１２Ｂａへの流動体ＭＢの補給は既に終了し、開閉弁１
３Ｂｃは閉じられている。流動体ＭＢは、第２の槽１２
Ｂｂから図３に示す流路Ｋ−Ｍ−Ｎを経由して次工程に
供給されている。開閉弁１３Ｂｂにより流路Ｉ−Ｈは遮
断されている。一方、第２の槽１２Ｂａは、流路Ｉ−Ｊ
−Ｌがつながっているが、開閉弁１３Ｂｃが閉じられて
いるので、第１の槽１１Ｂとは切り離されている。第２
の槽１２Ｂａの流動体ＭＢの液面は、センサＮｏ．１ａ
の高さに位置する。流路Ｐ−Ｎは開閉弁１３Ｂａにより
遮断されており、第２の槽１２Ｂａから次工程に流動体
ＭＢは供給されていない。

【００２９】流動体ＭＢの液面が、下限であるセンサＮ
ｏ．８ｂの位置以下にまで低下すると（図４のａ点）、
駆動部２１Ｂが開閉弁１３Ｂａを切り替え、流路Ｍ・Ｎ
を閉じ（図４のｂ点）、流路Ｐ−Ｎを開く（図４のｃ
点）。同時に開閉弁１３Ｂｂを切り替えて、流路Ｉ−Ｊ
を閉じ（図４のｄ点）、流路Ｉ−Ｈを開く（図４のｅ
点）。また、流路Ｉ−Ｊが閉じたのち、開閉弁１３Ｂｃ
を開く。

【００３０】この開閉弁１３Ｂａと１３Ｂｂの動作によ
り、第２の槽１２Ｂａは、次工程への供給流路が開かれ
る。一方、第２の槽１２Ｂｂは、次工程への供給流路が
遮断され、開閉弁１３Ｂｃが開いたことにより第１の槽
１１Ｂと接続される。流動体ＭＢは第２の槽１２Ｂａか
ら次工程に供給され、第２の槽１２Ｂｂには第１の槽１
１Ｂから流路Ｉ−Ｈ−Ｋを経由して流動体ＭＢが補給さ
れる。この、開閉弁１３Ｂａ，１３Ｂｂが切り替わり、
液面がセンサＮｏ．１ａを通過したときタイマーをリセ
ットし、第２の槽１２Ｂａに設けられた各センサ位置の
間で、供給流量を検知部２２Ｂが検知する。

【００３１】第２の槽１２ＢｂのセンサＮｏ．１ｂの位
置にまで流動体ＭＢが補給されたら、駆動部２１Ｂが開
閉弁１３Ｂｃを閉じる（図４のｆ点）。流動体ＭＢが次
工程に供給されるに従って液面は低下していき、流動体
ＭＢの液面がセンサＮｏ．８ａの位置以下まで低下した
とき（図４のｇ点）、使用する第２の槽の切り替えのた
め、駆動部２２Ｂは、開閉弁１３Ｂｂの流路Ｉ−Ｈを閉
じ（図４のｈ点）、流路Ｉ−Ｊを開く（図４のｉ点）。
同時に、開閉弁１３Ｂａの流路Ｐ−Ｎを閉じ（図４のｊ
点）、流路Ｍ−Ｎを開く（図４のｋ点）。流路Ｉ−Ｈが
閉じたのち、開閉弁１３Ｂｃを開き（図４のｌ点）、流
動体ＭＢを第２の槽１２Ｂａに補給する。これにより、
第２の槽１２Ｂａは、次工程への供給流路が遮断された
後に第１の槽１１Ｂとつながり、第２の槽１２Ｂｂは、
次工程への供給流路が開かれる。

【００３２】各センサ間の液位低下時間と体積とから、
供給流量が検知される点に関しては、図１の実施形態と
同様であるが、図１の場合には、第２の槽に流動体ＭＢ
を補給する間は供給流量が検知できないのに対し、第２
の槽１２および液面センサ１４を複数組有する本実施形
態では、供給流量の検知は途絶えることなく連続的に行
うことができる。

【００３３】したがって、流量の変動を検知時間の間隔
を短くして常時検知すれば、例えば、供給用のプランジ
ャーポンプのストロークを自動調整し、または、次工程
への供給流路に制御弁を設けるなどして、流動体ＭＢの
次工程への供給流量を厳密に制御することもできる。

【００３４】なお、本実施形態において開閉弁１３Ｂ
ａ，１３Ｂｂに使用した三方弁に代えて、第１の槽１１
Ｂと第２の槽１２Ｂａ，１２Ｂｂをつなぐ配管にそれぞ
れ２つの開閉弁と、第２の槽１２Ｂａ，１２Ｂｂと次工
程への供給配管にそれぞれ２つの開閉弁を設けることが
できる。

【００３５】このように、従来の流量計では測定が困難
な、不規則に流量が変動する場合であっても、本発明に
よる簡易な装置を用いて正確な流量を検知し、信頼性の
高い工程管理や品質管理をすることが可能となった。

【００３６】上に述べた流量検知装置によれば、図１の
第２の槽１２に配される光ファイバー式センサに代えて
第２の槽１２の各部に近接センサを配置し、槽内の流動
体に金属製のフロートを浮かべることにより、光の透過
量が少ない流動体の液面の変化を検出することができ
る。このようにすることで、フィラー等を含む懸濁液の
流量も透明性の高い流動体と同様に正確に検知すること
ができる。

【００３７】また、測定対象が高粘度流動体である場合
には、第２の槽１２の材質に、流動体ＭＢとの間でぬれ
性の良くないものを使用すれば、液面が通過したあとに
第２の槽１２の壁面に残る流動体を無視できる程度に減
少させることができるので、本発明にかかる流量検知装
置１では、粘度の低い流動体と同じように高粘度の流動
体の流量を正確に検知することができる。

【００３８】さらに、液面センサの選択と第２の槽の材
質の選択により、高粘度であって懸濁する液体の流量を
も正確に測定することができるという特徴を有する。ま
た、本発明にかかる流量検知装置１，１Ｂでは、第２の
槽１２，１２Ｂａ，１２Ｂｂを、流動体ＭＢの供給流量
に応じた断面積を有するものに適宜取り替えることによ
り、広範な流量に使用することができるという利点を有
する。

【００３９】上述の実施形態においては、２つのセンサ
の位置的な間隔とＯＮ、ＯＦＦの時間間隔とから、演算
によって次工程への平均流量を検知する例を説明した
が、このような演算または計算は必ずしも行う必要はな
い。例えば、次工程への流動体ＭＢの供給にプランジャ
ーポンプ等の定量性の高い容積式ポンプを用いるときに
は、流動体ＭＢの供給が正常に行われているか否かを監
視することのみを目的として流量検知装置を使用するこ
ともできる。

【００４０】具体的には、例えば、１つのセンサがＯＦ
Ｆしてからそのすぐ下のセンサがＯＦＦするまでの時間
Ｔと設定時間Ｔｓとを比較し、時間Ｔが設定時間Ｔｓよ
りも大きいことを検知したときに、それを流量異常また
は供給異常であるとし、警報などのための制御信号を出
力するようにしてもよい。これによって、容積式ポンプ
などによる供給システムの信頼性を向上させることがで
きる。

【００４１】上述の実施形態において、第２の槽１２，
１２Ｂａ，１２Ｂｂの水平断面の形状は円形、四角形、
楕円形等であってもよく、また、断面形状が高さ方向に
一定でない場合であっても任意の２つの高さの間の体積
が既知であればよい。第２の槽の断面形状や高さは、使
用する液面センサ１４，１４Ｂａ，１４Ｂｂや設置場所
等との関係で適宜決定する。第２の槽を開閉弁を介して
第１の槽の周壁面に接続したが、第１の槽の底面に接続
してもよい。その接続のために、ネジ、フランジ、溶接
などの種々の方法を用いることができる。

【００４２】また、第１の槽１１，１１Ｂから第２の槽
１２，１２Ｂａ，１２Ｂｂに流動体を補給するには、図
１，図３に示す実施形態のように流動体ＭＢのヘッド差
で行う方法の他、補給ポンプを用いる方法、第１の槽１
１，１１Ｂの空間部に窒素等で圧力を加えて圧送する方
法等で行うことができる。補給時の第２の槽１２，１２
Ｂａ，１２Ｂｂにおける液面の上昇速度を調整するため
に、開閉弁１３，１３Ｂａ，１３Ｂｂ近傍に補給時の流
量を制限する調整弁を設けてもよい。

【００４３】開閉弁１３，１３Ｂａ，１３Ｂｂは第１の
槽１１，１１Ｂに直接取り付ける他に、第２の槽１２，
１２Ｂａ，１２Ｂｂとの間の配管にとりつけることもで
きる。

【００４４】次工程への流動体ＭＢの供給にプランジャ
ーポンプ等の定量性の高い容積式ポンプを用いるときに
は、流動体ＭＢの供給の有無を監視することのみを目的
として本実施形態の流量検知装置を使用することもでき
る。

【００４５】上述の実施形態において、第１の槽１１，
１１Ｂ、第２の槽１２，１２Ｂａ，１２Ｂｂ、開閉弁１
３，１３Ｂａ，１３Ｂｂ，１３Ｂｃ、液面センサ１４，
１４Ｂａ，１４Ｂｂおよび制御部１５，１５Ｂの形式や
構造、構成、形状、寸法、個数、材質について、およ
び、特に、液面センサ１４，１４Ｂａ，１４Ｂｂの形
式、検出位置、センサの数について、また、その他、流
量検知装置１，１Ｂ、供給装置の全体又は各部の構造、
形状、個数、動作タイミングなどは、本発明の趣旨にそ
って適宜変更することができる。

【００４６】

【発明の効果】請求項１ないし請求項４の発明による
と、流量が変動し定常的ではない場合、流量が微少な場
合、または流動体が高粘度液体やフィラーを含有する懸
濁液の場合などのように、従来の流量計では測定するこ
とが容易ではなかった場合においても、簡易な装置で流
動体の流量を検知することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる実施形態である流量検知装置の
構成を示す図である。

【図２】図１の流量検知装置における開閉弁の動作と液
面センサの液面の検出の様子を示す図である。

【図３】本発明にかかる他の実施形態の流量検知装置の
構成を示す図である。

【図４】図３の流量検知装置における液面の位置によっ
て動作する開閉弁の様子を示す図である。

【符号の説明】

１，１Ｂ 流量検知装置 １１，１１Ｂ 第１の槽 １２，１２Ｂａ，１２Ｂｂ 第２の槽 １３，１３Ｂａ，１３Ｂｂ 開閉弁 １４，１４Ｂａ，１４Ｂｂ 液面センサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の槽に蓄えた流動体の次工程への供給
   流量を検知する方法であって、 前記第１の槽の下部と開閉弁を介して接続され前記第１
   の槽に比し小さな断面積を有する鉛直方向に長い第２の
   槽に、前記開閉弁を開いて前記第１の槽から流動体を流
   入させ、 前記第２の槽の液面を所定の高さまで上昇させた後に前
   記開閉弁により前記第１の槽と前記第２の槽との間を遮
   断し、 前記第２の槽から流動体を前記次工程に供給しながら前
   記第２の槽の液面の変化を液面センサにて検知する、 ことを特徴とする流動体の流量検知方法。
2. 【請求項２】第１の槽に蓄えた流動体の次工程への供給
   流量を検知するための装置であって、 前記第１の槽の下部と接続するように設けられた開閉弁
   と、 前記開閉弁を介して前記第１の槽に接続された前記第１
   の槽に比し小さな断面積を有する鉛直方向に長い第２の
   槽と、 流動体を前記第２の槽から前記次工程に供給する際の前
   記第２の槽における流動体の液面の変化を検知するため
   の液面センサと、 を有してなることを特徴とする流動体の流量検知装置。
3. 【請求項３】請求項２に記載の流量検知装置において、 前記第２の槽および前記液面センサを複数組有し、 前記開閉弁は、前記第１の槽からすべての前記第２の槽
   に選択的に流動体を流入させるよう切り替えることが可
   能であり、 常に１以上の前記第２の槽から流動体が前記次工程に供
   給されるように、すべての前記第２の槽と前記次工程と
   の間には供給の切り替えのための弁が設けられ、 てなることを特徴とする流動体の流量検知装置。
4. 【請求項４】流動体を蓄える第１の槽と、 前記第１の槽の下部と接続するように設けられた開閉弁
   と、 前記開閉弁を介して前記第１の槽に接続された前記第１
   の槽に比し小さな断面積を有する鉛直方向に長い第２の
   槽と、 流動体を前記第２の槽から前記次工程に供給する際の前
   記第２の槽における流動体の液面の変化を検知するため
   の液面センサと、 を有してなることを特徴とする流動体の供給装置。