JP2003311601A - Polishing device - Google Patents
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- JP2003311601A JP2003311601A JP2002118824A JP2002118824A JP2003311601A JP 2003311601 A JP2003311601 A JP 2003311601A JP 2002118824 A JP2002118824 A JP 2002118824A JP 2002118824 A JP2002118824 A JP 2002118824A JP 2003311601 A JP2003311601 A JP 2003311601A
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- workpiece
- outer periphery
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、筒状ワークの外
周を研摩する研摩装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体関連の製造、検査装置をはじめ、
多種の精密加工や組立て等をクリーンルームにおいて行
う場合、フィルタを用いて空気中の塵埃を除去すること
が行われている。また、クリーンルーム内の滅菌処理を
行うため、クリーンルーム内に吹き込まれる滅菌ガスを
フィルタにより浄化して滅菌ガス中の不純物を除去する
ことも普通に行われている。
【０００３】図７は、滅菌ガス中の不純物を除去するフ
ィルタ装置を示す。このフィルタ装置は、円筒状のフィ
ルタケース９０内に円筒状のフィルタ９１を組込み、そ
のフィルタ９１の両端に設けられた端板９２、９３の一
方をフィルタケース９０の開口端に衝合して、溶接によ
り固着し、前記フィルタケース９０の端部および一方の
端板９２に接続筒９４、９５を一体に設け、各接続筒９
４、９５の外周にパイプ接合用の雄ねじ９６を設けてい
る。
【０００４】上記の構成から成るフィルタ装置のフィル
タケース９０は、両端部に設けられた六角部９０ａを含
む外周の全体を切削により形成しているため、表面粗さ
は粗く、また、六角部９０ａの両端面における外周のエ
ッジにかえりが生じている場合もあるため、切削後に研
摩することが行なわれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、フィルタケ
ース９０の外周の研摩に際し、従来は、一方向に回転す
るバフ車にフィルタケース９０を押し付けて手作業によ
りフィルタケース９０を研摩するようにしているため能
率が悪く、また危険であった。
【０００６】この発明の課題は、フィルタケースのよう
な円筒状のワークの外周を自動的に研摩することができ
るようにした研摩装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、回転駆動装置によって定位
置にて回転駆動されるバフ車と、そのバフ車の外周に向
けて移動自在に支持され、移動装置によって移動される
第１テーブルと、その第１テーブルに支持されて第１テ
ーブルの移動方向と直交する方向に移動自在とされ、横
送り装置によって移動される第２テーブルとを有し、前
記第２テーブル上には、筒状ワークの一端部を挟持して
バフ車の軸心と平行する状態にワークを保持するチャッ
ク装置と、そのチャック装置に対して移動可能とされ、
上記チャック装置によって一端部が挟持されたワークの
他端部内に挿入される回転自在のブッシュホルダを有す
るセンタリングホルダと、チャック装置およびセンタリ
ングホルダで両端部が支持されたワークを回転駆動する
回転駆動装置とを設けた構成を採用している。
【０００８】上記の構成から成る研摩装置によって円筒
状ワークの外周を研摩するに際しては、チャック装置と
センタリングホルダとでワークの両端部を支持したの
ち、回転駆動装置によりワークを回転させる。そして、
第１テーブルをバフ車に向けて移動し、ワークの外周一
端部をバフ車に押し付け、そのバフ車との接触によりワ
ークの外周一端部を研摩し、第２テーブルの移動により
ワークのバフ車に対する接触位置をワークの一端から他
端に向けて変更してワークの外周全体を研摩する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１および図２に示すように、
ベースプレート１上には第１テーブル２ａが設けられて
いる。第１テーブル２ａはベースプレート１上に設けら
れた平行２条のリニアレール３に支持されてモータＭ1
により定位置で回転されるバフ車４の外周に向けて移動
自在とされ、移動装置５によって往復動されるようにな
っている。
【００１０】移動装置５は、早送り装置５ａと、微動送
り装置５ｂとから成り、早送り装置５ａは、ベースプレ
ート１に支持された角形シリンダ６の端部にモータ７を
取付け、そのモータ７の駆動によりシリンダ６の内部に
組込まれた図示省略の直線移動機構を作動させて、シリ
ンダ６の外周上部に設けられたキャリッジ８をシリンダ
６の長さ方向に移動させるようにした従来から周知なも
のが採用されている。
【００１１】ここで、前記直線移動機構として、一対の
歯付きプーリ間にタイミングベルトをかけ渡し、そのタ
イミングベルトの一部を前記キャリッジ８に接続し、一
対の歯付きプーリの一方をモータ７により回転させてタ
イミングベルトを移動させるようにしたものを採用する
ことができる。
【００１２】微動送り装置５ｂは、早送り装置５ａのキ
ャリッジ８上にナット部材９を固定し、そのナット部材
９にねじ係合したねじ軸１０の端部を第１テーブル２ａ
の後端部に設けられた軸受部材１１によって回転自在
に、かつ軸方向に非可動に支持し、前記ねじ軸１０をそ
の端部に取付けたハンドル１０ａにより回転させて第１
テーブル２ａを移動させるようにしている。
【００１３】第１テーブル２ａ上には第２テーブル２ｂ
が設けられている。第２テーブル２ｂは、第１テーブル
２ａ上に設けられたリニアレール１２に支持されて第１
テーブル２ａの移動方向と直交する方向に移動自在とさ
れ、横送り装置１３によって移動される。
【００１４】横送り装置１３は、第１テーブル２ａ上
に、その第１テーブル２ａの移動方向に対して直交方向
に長く延びる角形シリンダ１４を取付け、そのシリンダ
１４の一端部にモータ１５を取付け、このモータ１５の
駆動によりシリンダ１４の内部に組込まれた図示省略の
直線移動機構を作動させて、シリンダ１４の外周上部に
スライド自在に設けられたキャリッジ１６をシリンダ１
４の長さ方向に移動させるようにしており、前記キャリ
ッジ１６を第２テーブル２ｂに連結し、キャリッジ１６
と共に第２テーブル２ｂを移動させるようにしている。
【００１５】ここで、シリンダ１４の内部に組込まれた
直線移動機構は、前記早送り装置５ｂのシリンダ６の内
部に組込まれた直線移動機構と同一の構成から成ってい
る。
【００１６】第２テーブル２ｂの上側には、ワークＷの
一端部を挟持するチャック装置２０と、そのチャック装
置２０によって挟持されたワークＷを回転させる回転駆
動装置としてのモータ４０と、前記チャック装置２０に
よって一端部が挟持されたワークＷの他端部を支持する
センタリングホルダ５０とが支持されている。
【００１７】図４に示すように、チャック装置２０は、
第２テーブル２ｂの上面に固定された筒状のスピンドル
ホルダ２１を有し、そのスピンドルホルダ２１の内部に
組込まれた軸受２２によって筒状のスピンドル２３を回
転自在に支持し、そのスピンドル２３をモータ４０で回
転させるようにしている。
【００１８】また、スピンドル２３の内部に筒状のコレ
ット２５を組込み、そのコレット２５の後端部内周に形
成された雌ねじ２５ａにフランジ付きのナット２６をね
じ係合し、そのナット２６の締付けにより、ナット２６
に設けられたフランジ２６ａとコレット２５とでスピン
ドル２３の内周に設けられた環状突部２３ａを両側から
挟持して、コレット２５を軸方向に非可動に支持し、前
記コレット２５の先端部外周に設けられた回り止めピン
２７をスピンドル２３の先端部に形成された切欠部２８
に挿入してコレット２５を回り止めしている。
【００１９】ここで、コレット２５は、先端部外周にフ
ランジ２９が形成され、そのフランジ２９の後端部外周
にテーパ面２９ａが設けられている。また、コレット２
５には先端部から軸方向に延びる複数のスリット３０が
円周方向に間隔をおいて形成されている。このコレット
２５はベークライト等の合成樹脂によって形成されてい
る。
【００２０】さらに、スピンドルホルダ２１に形成され
た小径筒部３１の外周に雄ねじ３２を設け、この雄ねじ
３２にねじ係合された操作リング３３とコレット２５に
形成されたフランジ２９との間に軸受３４と加圧リング
３５とを組込み、前記操作リング３３による軸方向の移
動により軸受３４および加圧リング３５を介してコレッ
ト２５のフランジ２９外周に形成されたテーパ面２９ａ
を押圧してコレット２５を縮径させるようにしている。
【００２１】また、コレット２５の内側にベークライト
等の合成樹脂から成るワーク挟持用コレット３６を組込
み、そのワーク挟持用コレット３６に先端面から軸方向
に延びるスリット３７を設け、前記コレット２５の縮径
時に、ワーク挟持用コレット３６を縮径させてその内部
に挿入されたワークＷの一端部を挟持するようにしてい
る。
【００２２】なお、ワーク挟持用コレット３６を省略
し、コレット２５によってワークＷの一端部を挟持し得
るようにしてもよい。
【００２３】図５および図６に示すように、センタリン
グホルダ５０は、ホルダ５１を有している。ホルダ５１
の下端部にはベース部５２が設けられ、そのベース部５
２が第２テーブル２ｂの上面に設けられた平行２条のレ
ール５３に沿って移動自在に支持され、前記チャック装
置２０に向けてホルダ５１が移動可能とされている。
【００２４】ホルダ５１の上部にはガイド筒５４が設け
られている。ガイド筒５４はチャック装置２０のスピン
ドル２３と同一軸線上に配置されている。ガイド筒５４
内には、軸受ホルダ５５と、その軸受ホルダ５５をチャ
ック装置２０に向けて押圧するスプリング５６とが組込
まれている。
【００２５】軸受ホルダ５５の外周には軸方向に延びる
ガイド溝５７が形成され、そのガイド溝５７内に前記ガ
イド筒５４に設けられた突軸５８が挿入され、その突軸
５８とガイド溝５７の係合によって軸受ホルダ５５は回
り止めされている。
【００２６】軸受ホルダ５５の先端部外周には軸受５９
が取付けられ、その軸受５９によって回転自在に支持さ
れたブッシュホルダ６０の先端部に合成樹脂から成るブ
ッシュ６１が着脱自在に取付けられている。
【００２７】ブッシュ６１はチャック装置２０によって
一端部が挟持されるワークＷの他端部内に挿入可能とさ
れ、その後端部にはワークＷの端面を受けるフランジ６
１ａが設けられている。
【００２８】実施の形態では、上記のように、軸受ホル
ダ５５を介してブッシュホルダ６０を回転自在に支持し
たが、軸受ホルダ５５およびスプリング５６を省略し、
ガイド筒５４によってブッシュホルダ６０を回転自在に
支持してもよい。
【００２９】上記の構成から成るセンタリングホルダ５
０は、移動装置７０によりチャック装置２０に対して移
動され、ロック装置８０によって調整位置でロックされ
る。
【００３０】図５および図６に示すように、移動装置７
０は、第２テーブル２ｂに形成された長孔から成るガイ
ド孔７１に沿って移動可能なラック７２をホルダ５１の
ベース部５２に固定し、そのラック７２に噛合させたピ
ニオン７３のピニオン軸７４を第２テーブル２ｂの下面
に取付けた一対の支持片７５で回転自在に支持し、上記
ピニオン軸７４の端部に取付けたハンドル７６の操作に
よりピニオン７３を回転させてラック７２を移動させる
ようにしている。
【００３１】ロック装置８０は、第２テーブル２ｂにチ
ャック装置２０に向けて長く延びる長孔８１を設け、そ
の長孔８１に第２テーブル２ｂの下面に当接されるフラ
ンジ８２ａを有するナット８２をスライド自在に挿入
し、ホルダ５１のベース部５２には上記長孔８１と対応
する位置に挿入孔８３を設け、その挿入孔８３にロック
ハンドル８４に設けられたねじ軸８５を挿入して前記ナ
ット８２にねじ係合し、ロックハンドル８４の回動操作
によりねじ軸８５を締付けてホルダ５１のベース部５２
を固定するようにしている。
【００３２】実施の形態で示す研摩装置は上記の構造か
ら成り、図７に示すフィルタケース９０をワークＷと
し、そのワークＷの外周の研摩に際しては、チャック装
置２０によってワークＷの一端部の接続筒９４を挟持
し、そのワークＷの他端部をセンタリングホルダ５０に
より支持して、ワークＷをバフ車４の軸心と平行する状
態に保持する。
【００３３】ここで、チャック装置２０によってワーク
Ｗの一端部を挟持する場合は、ワークＷの接続筒９４を
ワーク挟持用コレット３６内に挿入したのち、操作リン
グ３３を回転し、その操作リング３３の軸方向の移動に
より軸受３４を介して加圧リング３５を軸方向に加圧
し、その加圧リング３５がコレット２５のフランジ２９
に設けられたテーパ面２９ａを押圧する作用によりコレ
ット２５およびワーク挟持用コレット３６を縮径させ
る。
【００３４】一方、ワークＷの他端部をセンタリングホ
ルダ５０で支持する場合は、図６に示すロックハンドル
８４を弛めてホルダ５１のベース部５２の固定を解除
し、ピニオン軸７４に設けられたハンドル７６の操作に
よりピニオン７３を回転させてラック７２およびホルダ
５１をチャック装置２０に向けて移動させ、ブッシュホ
ルダ６０に支持されたブッシュ６１をワークＷの他端部
内に挿入したのち、ロックハンドル８４を操作して、ホ
ルダ５１のベース部５２を固定する。
【００３５】上記のようにしてワークＷの両端部を支持
したのち、モータ４０を駆動してワークＷを回転させ、
移動装置５の早送り装置５ａにより第１テーブル２ａを
早送りしてワークＷをバフ車４の外周に近接する位置ま
で移動させ、次に、微動送り装置５ｂのねじ軸１０を回
転させ、第１テーブル２ａを微動送りして、ワークＷの
一端部外周をバフ車４の外周に押し付ける。
【００３６】ここで、バフ車４は微細な砥粒を保持する
弾性体から成っている。このバフ車４はモータＭ1 の駆
動によってワークＷの回転速度より速い回転速度で回転
される。
【００３７】このため、バフ車４にワークＷの一端部が
押し付けられることにより、バフ車４との接触によって
ワークＷの一端部外周は研摩されることになる。
【００３８】そこで、横送り装置１３の作動により第２
テーブル２ｂをバフ車４の軸方向に平行移動させること
によって、バフ車４に対するワークＷの接触位置が、一
端から他端に移動し、ワークＷの外周全体をバフ車４と
の接触によって自動的に研摩することができる。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、この発明においては、チ
ャック装置とセンタリングホルダによってワークの両端
部を支持し、そのワークを一方向に回転させた状態で第
１テーブルをバフ車に向けて移動させ、バフ車にワーク
の外周一端部を押し付けた状態で第２テーブルをバフ車
の軸方向に移動させることにより、一方向に回転するバ
フ車との接触によってワークの外周全体を研摩すること
ができ、ワークを自動的に能率よく、安全に研摩するこ
とができる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing apparatus for polishing an outer periphery of a cylindrical work. [0002] Including semiconductor-related manufacturing and inspection equipment,
2. Description of the Related Art When performing various types of precision processing, assembly, and the like in a clean room, dust in the air is removed using a filter. Further, in order to perform a sterilization process in a clean room, it is common practice to purify a sterilization gas blown into the clean room with a filter to remove impurities in the sterilization gas. FIG. 7 shows a filter device for removing impurities in a sterilizing gas. This filter device incorporates a cylindrical filter 91 into a cylindrical filter case 90 and abuts one of end plates 92 and 93 provided at both ends of the filter 91 with an open end of the filter case 90, The connecting cylinders 94 and 95 are integrally provided on the end portion of the filter case 90 and one end plate 92 by welding.
External threads 96 for connecting the pipes are provided on the outer periphery of the pipes 4 and 95. The filter case 90 of the filter device having the above-described structure has a rough surface because the entire outer periphery including the hexagonal portions 90a provided at both ends is formed by cutting. In some cases, burrs are formed on the outer peripheral edges of both end faces of the steel sheet. Therefore, polishing is performed after cutting. [0005] When polishing the outer periphery of the filter case 90, conventionally, the filter case 90 is pressed against a buff wheel that rotates in one direction, and the filter case 90 is polished manually. Was inefficient and dangerous. It is an object of the present invention to provide a polishing apparatus which can automatically polish the outer periphery of a cylindrical work such as a filter case. [0007] In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, a buff wheel driven to rotate at a fixed position by a rotary driving device and an outer periphery of the buff wheel are provided. A first table movably supported and moved by a moving device, and a second table supported by the first table and movable in a direction orthogonal to the moving direction of the first table, and moved by a transverse feed device. A chuck device for holding the work in a state parallel to the axis of the buffing wheel while holding one end of the cylindrical work on the second table, and movable with respect to the chuck device And
A centering holder having a rotatable bush holder inserted into the other end of the work, one end of which is clamped by the chuck device, and a rotation driving device for rotating and driving the work having both ends supported by the chuck device and the centering holder Is adopted. When the outer periphery of a cylindrical work is polished by the polishing apparatus having the above structure, both ends of the work are supported by a chuck device and a centering holder, and then the work is rotated by a rotation driving device. And
The first table is moved toward the buffing wheel, one end of the outer periphery of the work is pressed against the buffing wheel, and one end of the outer periphery of the work is polished by contact with the buffing wheel. The contact position is changed from one end of the work to the other end to polish the entire outer periphery of the work. Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2,
On the base plate 1, a first table 2a is provided. The first table 2a is supported by two parallel linear rails 3 provided on the base plate 1 and has a motor M 1.
Thus, it is movable toward the outer periphery of the buff wheel 4 rotated at a fixed position, and is reciprocated by the moving device 5. The moving device 5 comprises a fast-forwarding device 5a and a fine-movement-feeding device 5b. The fast-forwarding device 5a has a motor 7 mounted on an end of a rectangular cylinder 6 supported on the base plate 1, and driven by the motor 7. A conventionally well-known mechanism that operates a linear moving mechanism (not shown) incorporated in the cylinder 6 to move the carriage 8 provided on the outer periphery of the cylinder 6 in the length direction of the cylinder 6 is employed. Have been. Here, as the linear moving mechanism, a timing belt is stretched between a pair of toothed pulleys, a part of the timing belt is connected to the carriage 8, and one of the pair of toothed pulleys is driven by a motor 7. What rotated the timing belt and can be employ | adopted. The fine movement feeder 5b fixes a nut member 9 on a carriage 8 of the rapid feeder 5a, and attaches an end of a screw shaft 10 screwed to the nut member 9 to the first table 2a.
The screw shaft 10 is rotatably and non-movably supported in the axial direction by a bearing member 11 provided at a rear end of the first shaft.
The table 2a is moved. The second table 2b is placed on the first table 2a.
Is provided. The second table 2b is supported by a linear rail 12 provided on the first table 2a,
The table 2a is movable in a direction orthogonal to the moving direction of the table 2a, and is moved by the traverse device 13. The traversing device 13 has a rectangular cylinder 14 extending on the first table 2a in a direction perpendicular to the moving direction of the first table 2a, and a motor 15 mounted on one end of the cylinder 14. By driving the motor 15, a linear movement mechanism (not shown) incorporated in the cylinder 14 is operated, and the carriage 16 slidably provided on the upper outer periphery of the cylinder 14 is moved to the cylinder 1.
4, the carriage 16 is connected to the second table 2b.
At the same time, the second table 2b is moved. Here, the linear moving mechanism incorporated in the cylinder 14 has the same configuration as the linear moving mechanism incorporated in the cylinder 6 of the rapid traverse device 5b. On the upper side of the second table 2b, a chuck device 20 for holding one end of the work W, a motor 40 as a rotary drive for rotating the work W held by the chuck device 20, and the chuck device The centering holder 50 that supports the other end of the work W whose one end is sandwiched by 20 is supported. As shown in FIG. 4, the chuck device 20 includes:
It has a cylindrical spindle holder 21 fixed to the upper surface of the second table 2b, and a cylindrical spindle 23 is rotatably supported by a bearing 22 incorporated in the spindle holder 21. It rotates at 40. A cylindrical collet 25 is assembled inside the spindle 23, and a nut 26 with a flange is screw-engaged with a female screw 25 a formed on the inner periphery of the rear end of the collet 25, and the nut 26 is tightened. , Nut 26
An annular projection 23a provided on the inner periphery of the spindle 23 is sandwiched between both sides by a flange 26a provided on the spindle 23 and the collet 25 to support the collet 25 immovably in the axial direction. The non-rotating pin 27 provided at the front end of the spindle 23 has a notch 28
To prevent the collet 25 from rotating. The collet 25 has a flange 29 formed on the outer periphery of the front end portion, and a tapered surface 29a is formed on the outer periphery of the rear end portion of the flange 29. Collet 2
5, a plurality of slits 30 extending in the axial direction from the tip end are formed at intervals in the circumferential direction. This collet 25 is formed of a synthetic resin such as bakelite. Further, a male screw 32 is provided on the outer periphery of the small-diameter cylindrical portion 31 formed on the spindle holder 21, and a bearing is provided between the operating ring 33 screwed to the male screw 32 and the flange 29 formed on the collet 25. And a pressure ring 35, and a tapered surface 29a formed on the outer periphery of the flange 29 of the collet 25 via the bearing 34 and the pressure ring 35 by the axial movement of the operation ring 33.
Is pressed to reduce the diameter of the collet 25. Further, a work holding collet 36 made of synthetic resin such as bakelite is incorporated inside the collet 25, and a slit 37 extending in the axial direction from the front end surface is provided in the work holding collet 36, and the diameter of the collet 25 is reduced. At this time, the work holding collet 36 is reduced in diameter to hold one end of the work W inserted therein. The work holding collet 36 may be omitted, and one end of the work W may be held by the collet 25. As shown in FIGS. 5 and 6, the centering holder 50 has a holder 51. Holder 51
A base portion 52 is provided at the lower end of the base portion 5.
2 is movably supported along two parallel rails 53 provided on the upper surface of the second table 2 b, and the holder 51 is movable toward the chuck device 20. A guide cylinder 54 is provided above the holder 51. The guide cylinder 54 is arranged on the same axis as the spindle 23 of the chuck device 20. Guide tube 54
A bearing holder 55 and a spring 56 for pressing the bearing holder 55 toward the chuck device 20 are incorporated therein. A guide groove 57 extending in the axial direction is formed on the outer periphery of the bearing holder 55. A protruding shaft 58 provided on the guide cylinder 54 is inserted into the guide groove 57, and the protruding shaft 58 and the guide groove 57 are inserted. The bearing holder 55 is prevented from rotating. A bearing 59 is provided on the outer periphery of the tip of the bearing holder 55.
A bush 61 made of a synthetic resin is detachably attached to a tip end of a bush holder 60 rotatably supported by a bearing 59. The bush 61 can be inserted into the other end of the work W, one end of which is clamped by the chuck device 20, and the rear end of the bush 61 has a flange 6 for receiving the end surface of the work W.
1a is provided. In the embodiment, as described above, the bush holder 60 is rotatably supported via the bearing holder 55, but the bearing holder 55 and the spring 56 are omitted, and
The bush holder 60 may be rotatably supported by the guide cylinder 54. Centering holder 5 having the above configuration
0 is moved with respect to the chuck device 20 by the moving device 70 and locked at the adjustment position by the locking device 80. As shown in FIG. 5 and FIG.
Reference numeral 0 denotes a pinion shaft 74 of a pinion 73 fixed to a base portion 52 of a holder 51, the rack 72 being movable along a guide hole 71 formed of a long hole formed in a second table 2b. Is rotatably supported by a pair of support pieces 75 attached to the lower surface of the second table 2b, and the rack 72 is moved by rotating the pinion 73 by operating the handle 76 attached to the end of the pinion shaft 74. ing. The lock device 80 is provided with a long hole 81 extending long toward the chuck device 20 in the second table 2b, and a nut 82 having a flange 82a abutting on the lower surface of the second table 2b in the long hole 81. The base portion 52 of the holder 51 is provided with an insertion hole 83 at a position corresponding to the elongated hole 81, and a screw shaft 85 provided on a lock handle 84 is inserted into the insertion hole 83 so that the nut is inserted. 82, and a screw shaft 85 is tightened by a rotation operation of a lock handle 84 so that the base portion 52 of the holder 51 is
Is fixed. The polishing apparatus shown in the embodiment has the above-mentioned structure, and a filter case 90 shown in FIG. 7 is used as a work W. When polishing the outer periphery of the work W, one end of the work W is connected by the chuck device 20. The cylinder 94 is sandwiched, and the other end of the work W is supported by the centering holder 50 to keep the work W parallel to the axis of the buff wheel 4. Here, when one end of the work W is held by the chuck device 20, the connecting cylinder 94 of the work W is inserted into the work holding collet 36, and then the operation ring 33 is rotated. Axially presses the pressure ring 35 via the bearing 34 by the axial movement of the collet 25.
The diameter of the collet 25 and the work holding collet 36 is reduced by the action of pressing the tapered surface 29a provided in the collet 25. On the other hand, when the other end of the work W is supported by the centering holder 50, the lock handle 84 shown in FIG. 6 is loosened to release the fixing of the base 52 of the holder 51, and the work W is provided on the pinion shaft 74. The pinion 73 is rotated by operating the handle 76 to move the rack 72 and the holder 51 toward the chuck device 20, and after inserting the bush 61 supported by the bush holder 60 into the other end of the work W, the lock handle By operating 84, the base portion 52 of the holder 51 is fixed. After supporting both ends of the work W as described above, the motor 40 is driven to rotate the work W,
The first table 2a is rapidly traversed by the rapid traverse device 5a of the moving device 5 to move the workpiece W to a position close to the outer periphery of the buffing wheel 4, and then the screw shaft 10 of the fine movement device 5b is rotated to thereby rotate the first table 2a. 2a is finely fed to press the outer periphery of one end of the work W against the outer periphery of the buff wheel 4. Here, the buff wheel 4 is made of an elastic material holding fine abrasive grains. The buff wheel 4 is rotated at a faster speed than the rotational speed of the workpiece W by driving the motor M 1. Therefore, when one end of the work W is pressed against the buff wheel 4, the outer periphery of the one end of the work W is polished by contact with the buff wheel 4. Then, the operation of the traverse device 13 causes the second
By moving the table 2b in parallel in the axial direction of the buff wheel 4, the contact position of the work W with the buff wheel 4 moves from one end to the other end, and the entire outer periphery of the work W is automatically contacted with the buff wheel 4. Can be polished. As described above, in the present invention, both ends of a work are supported by the chuck device and the centering holder, and the first table is rotated on the buff wheel while the work is rotated in one direction. By moving the second table in the axial direction of the buff wheel while pressing one end of the outer periphery of the work against the buff wheel, the entire outer periphery of the work is polished by contact with the buff wheel rotating in one direction. Work can be automatically and efficiently polished safely.
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る研摩装置の実施形態を示す正面
図
【図２】図１の右側面図
【図３】図１のチャック装置およびセンタリングホルダ
の部分を示す平面図
【図４】図１の研摩装置におけるチャック装置の縦断正
面図
【図５】図３の縦断正面図
【図６】図３のVI−VI線に沿った断面図
【図７】フィルタ装置の縦断正面図
【符号の説明】
２ａ 第１テーブル
２ｂ 第２テーブル
Ｍ1 モータ（回転駆動装置）
４ バフ車
５ 移動装置
１３ 横送り装置
２０ チャック装置
４０ モータ（回転駆動装置）
５０ センタリングホルダ
６０ ブッシュホルダBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a polishing apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a right side view of FIG. 1. FIG. 3 shows a chuck device and a centering holder of FIG. FIG. 4 is a vertical sectional front view of a chuck device in the polishing apparatus of FIG. 1; FIG. 5 is a vertical sectional front view of FIG. 3; FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line VI-VI of FIG. 2a First table 2b Second table M 1 Motor (rotary drive) 4 Buffing wheel 5 Moving device 13 Lateral feed device 20 Chuck device 40 Motor (rotary drive) 50 Centering holder 60 Bush holder
Claims (1)
動されるバフ車と、そのバフ車の外周に向けて移動自在
に支持され、移動装置によって移動される第１テーブル
と、その第１テーブルに支持されて第１テーブルの移動
方向と直交する方向に移動自在とされ、横送り装置によ
って移動される第２テーブルとを有し、前記第２テーブ
ル上には、筒状ワークの一端部を挟持してバフ車の軸心
と平行する状態にワークを保持するチャック装置と、そ
のチャック装置に対して移動可能とされ、上記チャック
装置によって一端部が挟持されたワークの他端部内に挿
入される回転自在のブッシュホルダを有するセンタリン
グホルダと、チャック装置およびセンタリングホルダで
両端部が支持されたワークを回転駆動する回転駆動装置
とを設けた研摩装置。Claims: 1. A buffing wheel rotatably driven at a fixed position by a rotary driving device, and a first table movably supported toward an outer periphery of the buffing wheel and moved by a moving device. And a second table supported by the first table and movable in a direction orthogonal to the moving direction of the first table, and moved by a traverse device. A chuck device for holding the workpiece in a state parallel to the axis of the buffing wheel by sandwiching one end of the workpiece, and a workpiece that is movable with respect to the chuck device and whose one end is sandwiched by the chuck device. A centering holder having a rotatable bush holder inserted into the other end thereof; and a rotary drive device for rotating a chuck device and a work whose both ends are supported by the centering holder. Door polishing apparatus provided with a.
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- 2002-04-22 JP JP2002118824A patent/JP2003311601A/en active Pending
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