JP2003307470A - パーティクル捕集方法及びパーティクル捕集装置 - Google Patents
パーティクル捕集方法及びパーティクル捕集装置Info
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- JP2003307470A JP2003307470A JP2002113823A JP2002113823A JP2003307470A JP 2003307470 A JP2003307470 A JP 2003307470A JP 2002113823 A JP2002113823 A JP 2002113823A JP 2002113823 A JP2002113823 A JP 2002113823A JP 2003307470 A JP2003307470 A JP 2003307470A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ハードディスクドライブなどの洗浄度が要求
される部品に付着しているパーティクルをドライな状態
で捕集し、効率良く分析できるパーティクル捕集分析方
法及びパーティクル捕集装置を提供する。 【解決手段】 フィルタ上に捕集されたパーティクルを
吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在している
パーティクルをドライな状態で捕集するパーティクル捕
集方法であって、容器に収容されているパーティクルを
含んだ液体を噴霧し、この噴霧した液体を乾燥させるた
めのクリーンエアを供給し、パーティクルをクリーンエ
アと遠心分離させてフィルタ上に捕集して元素分析を行
うようにしたことである。
される部品に付着しているパーティクルをドライな状態
で捕集し、効率良く分析できるパーティクル捕集分析方
法及びパーティクル捕集装置を提供する。 【解決手段】 フィルタ上に捕集されたパーティクルを
吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在している
パーティクルをドライな状態で捕集するパーティクル捕
集方法であって、容器に収容されているパーティクルを
含んだ液体を噴霧し、この噴霧した液体を乾燥させるた
めのクリーンエアを供給し、パーティクルをクリーンエ
アと遠心分離させてフィルタ上に捕集して元素分析を行
うようにしたことである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、パーティクル捕集
方法及びパーティクル捕集装置に関し、詳しくは、ハー
ドディスクドライブなどの洗浄度を要求される部品にお
いて、付着しているパーティクルをパーティクルアナラ
イザーで分析するため、洗浄液中のパーティクルをフィ
ルタ上に捕集し効率良く分析を行うためのパーティクル
捕集方法及びパーティクル捕集装置に関する。
方法及びパーティクル捕集装置に関し、詳しくは、ハー
ドディスクドライブなどの洗浄度を要求される部品にお
いて、付着しているパーティクルをパーティクルアナラ
イザーで分析するため、洗浄液中のパーティクルをフィ
ルタ上に捕集し効率良く分析を行うためのパーティクル
捕集方法及びパーティクル捕集装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術における液中パーティクルの分
析手法は、図２に示すように、次に示す手順に従ってパ
ーティクルの分析が行われるものが周知である。
析手法は、図２に示すように、次に示す手順に従ってパ
ーティクルの分析が行われるものが周知である。
【０００３】１）先ず、部品４３を一定量の純粋又は溶
剤の入った洗浄液４２の入ったビーカ４１に入れる。
２）一定時間超音波を印加し、部品４３に付着している
パーティクル４６を、洗浄液（純粋又は溶剤）４２中に
落とす。３）この超音波を印加した洗浄液（純粋又は溶
剤）４２を濾過し、サンプルフィルタ４５上にパーティ
クル４６を捕集する。
剤の入った洗浄液４２の入ったビーカ４１に入れる。
２）一定時間超音波を印加し、部品４３に付着している
パーティクル４６を、洗浄液（純粋又は溶剤）４２中に
落とす。３）この超音波を印加した洗浄液（純粋又は溶
剤）４２を濾過し、サンプルフィルタ４５上にパーティ
クル４６を捕集する。
【０００４】このサンプルフィルタ４５上にパーティク
ル４６を捕集する手法には、加圧法により捕集する方法
と、減圧法により捕集する方法の２通りがある。
ル４６を捕集する手法には、加圧法により捕集する方法
と、減圧法により捕集する方法の２通りがある。
【０００５】加圧法によりパーティクルを捕集する手法
は、図４に示すように、例えば、注射器６１等を用い
て、パーティクル４６を含んだ洗浄液４２を注入し、そ
の注入した洗浄液４２を加圧させながらフィルタ・ホル
ダ６２で捕集するというものである。
は、図４に示すように、例えば、注射器６１等を用い
て、パーティクル４６を含んだ洗浄液４２を注入し、そ
の注入した洗浄液４２を加圧させながらフィルタ・ホル
ダ６２で捕集するというものである。
【０００６】減圧法によりパーティクルを捕集する手法
は、図５に示すように、ビーカ７１等に減圧するジョイ
ント７２を載せ、そのジョイント７２の上部端にフィル
タ装着部であるサンプルホルダ７３を取り付け、部品を
洗った溶剤からなるパーティクルを含んだ洗浄液４２を
収容してある容器７４を載せる。
は、図５に示すように、ビーカ７１等に減圧するジョイ
ント７２を載せ、そのジョイント７２の上部端にフィル
タ装着部であるサンプルホルダ７３を取り付け、部品を
洗った溶剤からなるパーティクルを含んだ洗浄液４２を
収容してある容器７４を載せる。
【０００７】このような構成において、ジョイント７２
をポンプ等で減圧をして容器７４から洗浄液４２をサン
プルホルダ７３で濾過して、パーティクルをサンプルホ
ルダ７３のフィルタ上に捕集する。
をポンプ等で減圧をして容器７４から洗浄液４２をサン
プルホルダ７３で濾過して、パーティクルをサンプルホ
ルダ７３のフィルタ上に捕集する。
【０００８】又、減圧して濾過する減圧濾過法は、図２
に示すように、ビーカ４８等が収容できる大きさの容器
４７を用意し、その容器４７の口にサンプルフィルタ４
５を備えたジョイント４９を装着し、そのジョイント４
９に漏斗４４を装着する。そして、この漏斗４４にパー
ティクル４６を含んだ洗浄液４２を入れると共に、容器
４７内空気を吸引ポンプで吸引して減圧させることによ
りパーティクル４６を含んだ洗浄液４２がビーカ４８に
滴下し、サンプルフィルタ４５にパーティクル４６を捕
集することができるのである。
に示すように、ビーカ４８等が収容できる大きさの容器
４７を用意し、その容器４７の口にサンプルフィルタ４
５を備えたジョイント４９を装着し、そのジョイント４
９に漏斗４４を装着する。そして、この漏斗４４にパー
ティクル４６を含んだ洗浄液４２を入れると共に、容器
４７内空気を吸引ポンプで吸引して減圧させることによ
りパーティクル４６を含んだ洗浄液４２がビーカ４８に
滴下し、サンプルフィルタ４５にパーティクル４６を捕
集することができるのである。
【０００９】図２に戻って、次に、４）この加圧法又は
減圧法によりパーティクルを捕集したサンプルフィルタ
４５をデシケータなどで乾燥させる。５）サンプルフィ
ルタ４５上のパーティクルを吸引し、プラズマ発光分析
を行う。
減圧法によりパーティクルを捕集したサンプルフィルタ
４５をデシケータなどで乾燥させる。５）サンプルフィ
ルタ４５上のパーティクルを吸引し、プラズマ発光分析
を行う。
【００１０】プラズマ発光分析を行うためのパーティク
ルアナライザーは、図３に示すように、フィルタユニッ
ト５２に載せられたサンプルフィルタ４５上のパーティ
クルを吸引すると共にＨｅガスと混合させて吐き出すア
スピレータ５１と、このアスピレータ５１からのパーテ
ィクルを含んだＨｅガスを放電させる放電管５４と、放
電管５４の外部に設置されマイクロ波電源５７からの
２.４５ＧＨｚ程度のマイクロ波を導くキャビテイ５５
と、放電管５４内部で励起されたプラズマによりパーテ
ィクルが発光され、その発光パルスの数でパーティクル
の数を求める４つの分光器５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５
８ｄと、分光器５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄの設定
波長から発光しているパーティクルの元素分析を行うワ
ークステーション５９とからなる。
ルアナライザーは、図３に示すように、フィルタユニッ
ト５２に載せられたサンプルフィルタ４５上のパーティ
クルを吸引すると共にＨｅガスと混合させて吐き出すア
スピレータ５１と、このアスピレータ５１からのパーテ
ィクルを含んだＨｅガスを放電させる放電管５４と、放
電管５４の外部に設置されマイクロ波電源５７からの
２.４５ＧＨｚ程度のマイクロ波を導くキャビテイ５５
と、放電管５４内部で励起されたプラズマによりパーテ
ィクルが発光され、その発光パルスの数でパーティクル
の数を求める４つの分光器５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５
８ｄと、分光器５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄの設定
波長から発光しているパーティクルの元素分析を行うワ
ークステーション５９とからなる。
【００１１】このような構成のパーティクルアナライザ
ーにおいては、サンプルフィルタ４５で捕集されている
パーティクルをＨｅガスと共に放電管５４内に導き、マ
イクロ波電源５７からマイクロ波を印加することによ
り、放電管５４内部でプラズマ５６が発生し、パーティ
クルが発光する。その発光した組成情報を４つの分光器
５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄにより同時は光分析を
行ってパーティクルの数を算出し、且つ分析する。
ーにおいては、サンプルフィルタ４５で捕集されている
パーティクルをＨｅガスと共に放電管５４内に導き、マ
イクロ波電源５７からマイクロ波を印加することによ
り、放電管５４内部でプラズマ５６が発生し、パーティ
クルが発光する。その発光した組成情報を４つの分光器
５８ａ、５８ｂ、５８ｃ、５８ｄにより同時は光分析を
行ってパーティクルの数を算出し、且つ分析する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術で説明した手法においては、サンプルフィルタ上にパ
ーティクルを濾過して捕集するが、液体が介在している
場合には、乾燥後にパーティクルがフィルタに固着して
しまい、吸引しても殆ど吸い上げることができない。こ
のため、パーティクルの分析がパーティクル吸引のされ
具合に大きく依存してしまい、折角、サンプルフィルタ
で捕集しても、その捕集したパーティクルの粒度分布や
組成分布測定の再現性が悪いという問題がある。
術で説明した手法においては、サンプルフィルタ上にパ
ーティクルを濾過して捕集するが、液体が介在している
場合には、乾燥後にパーティクルがフィルタに固着して
しまい、吸引しても殆ど吸い上げることができない。こ
のため、パーティクルの分析がパーティクル吸引のされ
具合に大きく依存してしまい、折角、サンプルフィルタ
で捕集しても、その捕集したパーティクルの粒度分布や
組成分布測定の再現性が悪いという問題がある。
【００１３】従って、パーティクルをフィルタ上に捕集
する際に、捕集したパーティクルがフィルタに固着する
ことなく捕集できる方法及び装置に解決しなければなら
ない課題を有する。
する際に、捕集したパーティクルがフィルタに固着する
ことなく捕集できる方法及び装置に解決しなければなら
ない課題を有する。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るパーティクル捕集分析方法及びパーテ
ィクル捕集装置は、次に示す構成にすることである。
に、本発明に係るパーティクル捕集分析方法及びパーテ
ィクル捕集装置は、次に示す構成にすることである。
【００１５】（１）フィルタ上に捕集されたパーティク
ルを吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在して
いるパーティクルをドライな状態で捕集するパーティク
ル捕集方法であって、容器に収容されているパーティク
ルを含んだ液体を噴霧状態の液滴にし、この噴霧状態の
液滴と該噴霧状態の液滴を乾燥させるためのクリーンエ
アとを管内に供給し、前記管内に供給されたクリーンエ
アにより前記液滴を乾燥させて得られたパーティクル
を、クリーンエアと遠心分離させてフィルタ上に捕集す
るようにしたことを特徴とするパーティクル捕集方法。 （２）上記パーティクルを含んだ液体を噴霧するとき
に、超音波振動子を用い、該超音波振動子の共振周波数
又は振動振幅を可変として、噴霧される液滴粒径や単位
時間当たりの噴霧度を調整できるようにしたことを特徴
とする（１）に記載のパーティクル捕集方法。 （３）上記クリーンエアを前記管に供給するときに、前
記液滴を乾燥させるためのクリーンエアを除湿する手法
又は飽和蒸気圧を上げるために温度を上げるための手法
を備えたことを特徴とする（１）に記載のパーティクル
捕集方法。
ルを吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在して
いるパーティクルをドライな状態で捕集するパーティク
ル捕集方法であって、容器に収容されているパーティク
ルを含んだ液体を噴霧状態の液滴にし、この噴霧状態の
液滴と該噴霧状態の液滴を乾燥させるためのクリーンエ
アとを管内に供給し、前記管内に供給されたクリーンエ
アにより前記液滴を乾燥させて得られたパーティクル
を、クリーンエアと遠心分離させてフィルタ上に捕集す
るようにしたことを特徴とするパーティクル捕集方法。 （２）上記パーティクルを含んだ液体を噴霧するとき
に、超音波振動子を用い、該超音波振動子の共振周波数
又は振動振幅を可変として、噴霧される液滴粒径や単位
時間当たりの噴霧度を調整できるようにしたことを特徴
とする（１）に記載のパーティクル捕集方法。 （３）上記クリーンエアを前記管に供給するときに、前
記液滴を乾燥させるためのクリーンエアを除湿する手法
又は飽和蒸気圧を上げるために温度を上げるための手法
を備えたことを特徴とする（１）に記載のパーティクル
捕集方法。
【００１６】（４）フィルタ上に捕集されたパーティク
ルを吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在して
いるパーティクルをドライな状態で捕集する装置であっ
て、パーティクルを含んだ液体を収容するための容器
と、この容器に収容されている液体を噴霧状態の液滴に
するための噴霧装置と、この噴霧状態の液滴と該噴霧状
態の液滴を乾燥させるためのクリーンエアとを管内に供
給する装置と、前記管に供給されたクリーンエアにより
前記液滴を乾燥させて得られたパーティクルをクリーン
エアと遠心分離させてフィルタ上に捕集するための遠心
分離式の捕集装置と、を備えてなるパーティクル捕集装
置。 （５）上記噴霧装置に超音波振動子を用い、該超音波振
動子の共振周波数又は振動振幅を可変とすることによっ
て、噴霧される液滴粒径や単位時間当たりの噴霧度を調
整できるようにしたことを特徴とする（４）に記載のパ
ーティクル捕集装置。 （６）上記クリーンエアを供給する装置には、前記液滴
を乾燥させるクリーンエアを除湿する手段又は飽和蒸気
圧を上げるために温度を上げるための手段を備えたこと
を特徴とする（４）に記載のパーティクル捕集装置。 （７）上記遠心分離式の捕集装置と上記噴霧装置の間を
接続する乾燥用の配管は、前記液滴を露点以上に加熱す
るヒータにより温度を上げるようにしたことを特徴とす
る（４）に記載のパーティクル捕集装置。 （８）上記遠心分離式の捕集装置が、遠心分離部分とフ
ィルタとの間にパーティクルをカウントするためのパー
ティクルカウンタを備えたことを特徴とする（４）に記
載のパーティクル捕集装置。
ルを吸引する分析手法を用いる場合に、液中に存在して
いるパーティクルをドライな状態で捕集する装置であっ
て、パーティクルを含んだ液体を収容するための容器
と、この容器に収容されている液体を噴霧状態の液滴に
するための噴霧装置と、この噴霧状態の液滴と該噴霧状
態の液滴を乾燥させるためのクリーンエアとを管内に供
給する装置と、前記管に供給されたクリーンエアにより
前記液滴を乾燥させて得られたパーティクルをクリーン
エアと遠心分離させてフィルタ上に捕集するための遠心
分離式の捕集装置と、を備えてなるパーティクル捕集装
置。 （５）上記噴霧装置に超音波振動子を用い、該超音波振
動子の共振周波数又は振動振幅を可変とすることによっ
て、噴霧される液滴粒径や単位時間当たりの噴霧度を調
整できるようにしたことを特徴とする（４）に記載のパ
ーティクル捕集装置。 （６）上記クリーンエアを供給する装置には、前記液滴
を乾燥させるクリーンエアを除湿する手段又は飽和蒸気
圧を上げるために温度を上げるための手段を備えたこと
を特徴とする（４）に記載のパーティクル捕集装置。 （７）上記遠心分離式の捕集装置と上記噴霧装置の間を
接続する乾燥用の配管は、前記液滴を露点以上に加熱す
るヒータにより温度を上げるようにしたことを特徴とす
る（４）に記載のパーティクル捕集装置。 （８）上記遠心分離式の捕集装置が、遠心分離部分とフ
ィルタとの間にパーティクルをカウントするためのパー
ティクルカウンタを備えたことを特徴とする（４）に記
載のパーティクル捕集装置。
【００１７】このように、捕集するパーティクルに対し
てドライの状態にして気体とパーティクルとを遠心分離
させて捕集するようにしたことにより、捕集するフィル
タ上には乾燥した状態のパーティクルであるため、その
分析には、フィルタに固着しなくなり、フィルタ上のパ
ーティクルを吸引するときに、効率良く吸引することが
でき、パーティクルの再現性が良くなる。
てドライの状態にして気体とパーティクルとを遠心分離
させて捕集するようにしたことにより、捕集するフィル
タ上には乾燥した状態のパーティクルであるため、その
分析には、フィルタに固着しなくなり、フィルタ上のパ
ーティクルを吸引するときに、効率良く吸引することが
でき、パーティクルの再現性が良くなる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係るパーティクル
捕集方法及びパーティクル捕集装置の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。
捕集方法及びパーティクル捕集装置の実施形態につい
て、図面を参照して説明する。
【００１９】パーティクル捕集方法を具現化することが
できるパーティクル捕集装置は、図１に示すように、大
気を取り入れヒータで暖めた温風を出力する熱風発生器
１１と、一方の入力側が熱風発生器１１の熱風を出力す
るノズル１３に接続され、他方の入力側が噴霧器２１の
出力側に接続され、その出力側が乾燥チューブ２５に連
結してなるセパレート部１５と、パーティクル３２を含
んだ純水２３を噴霧してパーティクル３２を含んだ液滴
２４にする噴霧器２１と、噴霧器２１からのパーティク
ル３２を含んだ液滴２４と熱風発生器１１からの熱風と
を混合させて送り出す管である乾燥チューブ２５と、乾
燥チューブ２５に接続され、乾燥状態のパーティクルを
含んだ気体を遠心分離させてパーティクル３２と気体と
を分離するサイクロン式サンプラー３１とからなる。
できるパーティクル捕集装置は、図１に示すように、大
気を取り入れヒータで暖めた温風を出力する熱風発生器
１１と、一方の入力側が熱風発生器１１の熱風を出力す
るノズル１３に接続され、他方の入力側が噴霧器２１の
出力側に接続され、その出力側が乾燥チューブ２５に連
結してなるセパレート部１５と、パーティクル３２を含
んだ純水２３を噴霧してパーティクル３２を含んだ液滴
２４にする噴霧器２１と、噴霧器２１からのパーティク
ル３２を含んだ液滴２４と熱風発生器１１からの熱風と
を混合させて送り出す管である乾燥チューブ２５と、乾
燥チューブ２５に接続され、乾燥状態のパーティクルを
含んだ気体を遠心分離させてパーティクル３２と気体と
を分離するサイクロン式サンプラー３１とからなる。
【００２０】熱風発生器１１は、１．２ｍ３／ｍｉｎの
大気を吸入し、ヒーターで暖めた後に、ＨＥＰＡ（Ｈｉ
ｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
Ａｉｒ）フィルタ１２を通してクリーンな熱風３３と
してノズル１３を通してセパレート部１５に噴き出す。
このヒーターは、乾燥チューブ２５に供給されるパーテ
ィクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４が露点以下にな
らないようにクリーンエア（熱風３３）の温度を上げる
構造になっている。
大気を吸入し、ヒーターで暖めた後に、ＨＥＰＡ（Ｈｉ
ｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ
Ａｉｒ）フィルタ１２を通してクリーンな熱風３３と
してノズル１３を通してセパレート部１５に噴き出す。
このヒーターは、乾燥チューブ２５に供給されるパーテ
ィクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４が露点以下にな
らないようにクリーンエア（熱風３３）の温度を上げる
構造になっている。
【００２１】噴霧器２１は、超音波発振器２２を備えて
おり、パーティクル３２を含んだ純水２３を超音波振動
させてパーティクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４に
する。この超音波発振器２２は、超音波振動子を用いて
おり、超音波振動子の共振周波数又は振動振幅を可変と
して、噴霧される液滴粒径や単位時間当たりの噴霧度を
調整できる構成になっている。
おり、パーティクル３２を含んだ純水２３を超音波振動
させてパーティクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４に
する。この超音波発振器２２は、超音波振動子を用いて
おり、超音波振動子の共振周波数又は振動振幅を可変と
して、噴霧される液滴粒径や単位時間当たりの噴霧度を
調整できる構成になっている。
【００２２】乾燥チューブ２５は、熱風発生器１１から
のクリーンエア（熱風３３）と噴霧器２１で生成された
パーティクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４とを混合
させるものであり、乾燥チューブ２５内においてパーテ
ィクル３２は乾燥された状態になる。又、この乾燥チュ
ーブには、図示しないが、パーティクル３２を含んだ噴
霧状態の液滴２４を乾燥させるクリーンエア（熱風３
３）を除湿する手段又は飽和蒸気圧を上げるために温度
を上げるための手段を備えている。
のクリーンエア（熱風３３）と噴霧器２１で生成された
パーティクル３２を含んだ噴霧状態の液滴２４とを混合
させるものであり、乾燥チューブ２５内においてパーテ
ィクル３２は乾燥された状態になる。又、この乾燥チュ
ーブには、図示しないが、パーティクル３２を含んだ噴
霧状態の液滴２４を乾燥させるクリーンエア（熱風３
３）を除湿する手段又は飽和蒸気圧を上げるために温度
を上げるための手段を備えている。
【００２３】サイクロン式サンプラー３１は、乾燥チュ
ーブ２５に接続してパーティクル３２と気体とを取り込
んで遠心分離するサイクロン式遠心分離器３４と、この
サイクロン式遠心分離機３４で遠心分離された乾燥状態
のパーティクル３２の数を計数するパーティクル・カウ
ンタ３５と、サイクロン式遠心分離器３４に接続されパ
ーティクル・カウンタ３５を介してパーティクル３２を
捕集するパーティクル捕集用フィルタ３６とからなる。
このサイクロン式サンプラー３１は、上部方向に気体を
排気すると共に、パーティクル捕集用フィルタ３６の下
部側方向から吸引する吸引ポンプに接続されているた
め、この吸引作用によりパーティクル３６をドライな状
態でフィルタ３６で捕集できる構造となっている。。
ーブ２５に接続してパーティクル３２と気体とを取り込
んで遠心分離するサイクロン式遠心分離器３４と、この
サイクロン式遠心分離機３４で遠心分離された乾燥状態
のパーティクル３２の数を計数するパーティクル・カウ
ンタ３５と、サイクロン式遠心分離器３４に接続されパ
ーティクル・カウンタ３５を介してパーティクル３２を
捕集するパーティクル捕集用フィルタ３６とからなる。
このサイクロン式サンプラー３１は、上部方向に気体を
排気すると共に、パーティクル捕集用フィルタ３６の下
部側方向から吸引する吸引ポンプに接続されているた
め、この吸引作用によりパーティクル３６をドライな状
態でフィルタ３６で捕集できる構造となっている。。
【００２４】このような構成のパーティクル捕集装置
は、先ず、熱風発生器１１で１．２ｍ ３／ｍｉｎの大気
を吸入し、ヒーターで暖めた後に、ＨＥＰＡフィルタ１
２を通してクリーンな熱風３３を乾燥チューブ２５側に
送る。
は、先ず、熱風発生器１１で１．２ｍ ３／ｍｉｎの大気
を吸入し、ヒーターで暖めた後に、ＨＥＰＡフィルタ１
２を通してクリーンな熱風３３を乾燥チューブ２５側に
送る。
【００２５】そして、パーティクル３２を含んだ純水２
３の溶液は、噴霧器２１にセットされ、超音波発振器２
２によって１０〜数１０マイクロ程度の微細な液滴２４
にして噴霧される。噴霧された液滴２４は、セパレート
部１５を介して乾燥チューブ２５内で１．２ｍ３／ｍｉ
ｎの熱風３３によって乾燥され、液中に存在していたパ
ーティクル３２のみとなって、サイクロン式遠心分離器
３４に送りこまれ、気体とパーティクル３２とに遠心分
離される。パーティクル３２は既に乾燥状態にあるため
に遠心分離されたパーティクル３２は、液の介在しない
ドライな雰囲気でフィルタ３６上に捕集されるのであ
る。
３の溶液は、噴霧器２１にセットされ、超音波発振器２
２によって１０〜数１０マイクロ程度の微細な液滴２４
にして噴霧される。噴霧された液滴２４は、セパレート
部１５を介して乾燥チューブ２５内で１．２ｍ３／ｍｉ
ｎの熱風３３によって乾燥され、液中に存在していたパ
ーティクル３２のみとなって、サイクロン式遠心分離器
３４に送りこまれ、気体とパーティクル３２とに遠心分
離される。パーティクル３２は既に乾燥状態にあるため
に遠心分離されたパーティクル３２は、液の介在しない
ドライな雰囲気でフィルタ３６上に捕集されるのであ
る。
【００２６】このフィルタ３６に捕集されたパーティク
ル３２は、図示しないパーティクルアナライザにより元
素分析がなされる。その分析の際には、ドライな状態の
パーティクルであるため、固執することなく簡単に吸引
等できる。
ル３２は、図示しないパーティクルアナライザにより元
素分析がなされる。その分析の際には、ドライな状態の
パーティクルであるため、固執することなく簡単に吸引
等できる。
【００２７】
【発明の効果】上記説明したように、本発明に係るパー
ティクル捕集分析方法及びパーティクル捕集装置は、液
体の介在しないドライな状態でパーティクルをフィルタ
上に捕集することができるため、フィルタ上のパーティ
クルの吸引の効率が良く、再現性が良くなり、パーティ
クルアナライザ等による元素分析の再現性を増加させる
ことができるという効果がある。
ティクル捕集分析方法及びパーティクル捕集装置は、液
体の介在しないドライな状態でパーティクルをフィルタ
上に捕集することができるため、フィルタ上のパーティ
クルの吸引の効率が良く、再現性が良くなり、パーティ
クルアナライザ等による元素分析の再現性を増加させる
ことができるという効果がある。
【図１】本発明に係るパーティクル捕集装置を略示的に
示したブロック図である。
示したブロック図である。
【図２】従来技術におけるパーティクルを捕集する手法
を略示的に示した流れ図である。
を略示的に示した流れ図である。
【図３】サンプルフィルタで捕集したパーティクルを分
析するパーティクルアナライザーの略示的な構成図であ
る。
析するパーティクルアナライザーの略示的な構成図であ
る。
【図４】液中パーティクルを加圧式で捕集する方法を示
した説明図である。
した説明図である。
【図５】液中パーティクルを減圧式で捕集する方法を示
した説明図である。
した説明図である。
１１ 熱風発生器
１２ ＨＥＰＡフィルタ
１３ ノズル
１５ セパレート部
２１ 噴霧器
２２ 超音波発振器
２３ パーティクルを含んだ純水
２４ パーティクルを含んだ液滴
２５ 乾燥チューブ
３１ サイクロン式サンプラー
３２ パーティクル
３３ 熱風
３４ サイクロン式遠心分離器
３５ パーティクル・カウンタ
３６ パーティクル捕集用フィルタ
Claims (8)
- 【請求項１】 容器に収容されているパーティクルを含
んだ液体を噴霧状態の液滴にし、 この噴霧状態の液滴と該噴霧状態の液滴を乾燥させるた
めのクリーンエアとを管内に供給し、 前記管内に供給されたクリーンエアにより前記液滴を乾
燥させて得られたパーティクルを、クリーンエアと遠心
分離させてフィルタ上に捕集するようにしたことを特徴
とするパーティクル捕集方法。 - 【請求項２】 上記パーティクルを含んだ液体を噴霧す
るときに、超音波振動子を用い、該超音波振動子の共振
周波数又は振動振幅を可変として、噴霧される液滴粒径
や単位時間当たりの噴霧度を調整できるようにしたこと
を特徴とする請求項１に記載のパーティクル捕集方法。 - 【請求項３】 上記クリーンエアを前記管に供給すると
きに、前記液滴を乾燥させるためのクリーンエアを除湿
する手法又は飽和蒸気圧を上げるために温度を上げるた
めの手法を備えたことを特徴とする請求項１に記載のパ
ーティクル捕集方法。 - 【請求項４】 パーティクルを含んだ液体を収容するた
めの容器と、 この容器に収容されている液体を噴霧状態の液滴にする
ための噴霧装置と、 この噴霧状態の液滴と該噴霧状態の液滴を乾燥させるた
めのクリーンエアとを管内に供給する装置と、 前記管に供給されたクリーンエアにより前記液滴を乾燥
させて得られたパーティクルをクリーンエアと遠心分離
させてフィルタ上に捕集するための遠心分離式の捕集装
置と、 を備えてなるパーティクル捕集装置。 - 【請求項５】 上記噴霧装置に超音波振動子を用い、該
超音波振動子の共振周波数又は振動振幅を可変とするこ
とによって、噴霧される液滴粒径や単位時間当たりの噴
霧度を調整できるようにしたことを特徴とする請求項４
に記載のパーティクル捕集装置。 - 【請求項６】 上記クリーンエアを供給する装置には、
前記液滴を乾燥させるクリーンエアを除湿する手段又は
飽和蒸気圧を上げるために温度を上げるための手段を備
えたことを特徴とする請求項４に記載のパーティクル捕
集装置。 - 【請求項７】 上記遠心分離式の捕集装置と上記噴霧装
置の間を接続する乾燥用の配管は、前記液滴を露点以上
に加熱するヒータにより温度を上げるようにしたことを
特徴とする請求項４に記載のパーティクル捕集装置。 - 【請求項８】 上記遠心分離式の捕集装置が、遠心分離
部分とフィルタとの間にパーティクルをカウントするた
めのパーティクルカウンタを備えたことを特徴とする請
求項４に記載のパーティクル捕集装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002113823A JP3731656B2 (ja) | 2002-04-16 | 2002-04-16 | パーティクル捕集方法及びパーティクル捕集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002113823A JP3731656B2 (ja) | 2002-04-16 | 2002-04-16 | パーティクル捕集方法及びパーティクル捕集装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003307470A true JP2003307470A (ja) | 2003-10-31 |
| JP3731656B2 JP3731656B2 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=29395896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002113823A Expired - Fee Related JP3731656B2 (ja) | 2002-04-16 | 2002-04-16 | パーティクル捕集方法及びパーティクル捕集装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3731656B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249754A (ja) * | 2009-04-17 | 2010-11-04 | Horiba Ltd | 粒子数計測システム |
| JP2011185889A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Nippon Steel Corp | 連続焼鈍炉内の異物濃度測定装置 |
| JP2012189582A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-10-04 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 気体中金属元素の測定方法、測定用演算式決定方法および測定システム |
| JP2013541016A (ja) * | 2010-10-27 | 2013-11-07 | ベルタン・テクノロジーズ | 粒子及び微生物を収集するための携帯装置 |
| US8794048B2 (en) | 2009-04-07 | 2014-08-05 | Horiba, Ltd. | System for determining number of particles |
| CN113164851A (zh) * | 2019-03-28 | 2021-07-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 微粒捕集装置 |
-
2002
- 2002-04-16 JP JP2002113823A patent/JP3731656B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN113164851A (zh) * | 2019-03-28 | 2021-07-23 | 松下知识产权经营株式会社 | 微粒捕集装置 |
| CN113164851B (zh) * | 2019-03-28 | 2023-06-20 | 松下知识产权经营株式会社 | 微粒捕集装置 |
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|---|---|
| JP3731656B2 (ja) | 2006-01-05 |
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