JP2003300327A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ヘッド組立時の熱工程や、ヘッド完成後の熱に
よる部品の熱膨張の影響を受けることがなく、製造時の
歩留りを高めることができ、信頼性の高い廉価なインク
ジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。 【解決手段】吐出口とインク流路を有する基板と発熱素
子を有する基板とを接合してなるインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法において、前記吐出口とインク流路を有
する基板の形成に非晶質カーボンを用い、該吐出口とイ
ンク流路を有する基板と前記発熱素子を有する基板と
を、ほぼ同等の熱膨張係数の部材で形成するように構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドの製造
方法として、オリフィスプレート、インク流路、共通液
室を一体に有した部材を、熱塑性のプラスチックを用い
て射出成形で成形した後、各インク流路に対し、エキシ
マレーザー等で吐出口を形成し、しかる後、発熱素子を
有した基板と、該成形体とを機械的に付勢力を与えて両
者を密着させることでインクジェット記録ヘッドを形成
する手法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このようなインクジェット記録ヘッドの製造方法では、
プラスチックの熱膨張係数と、通常はシリコン等からな
る発熱素子を有した基板の熱膨張係数との差が大きく、
ヘッドのノズル列の大型化や、ノズル密度の高密度化に
対し、ピッチズレなどを引き起こすこととなり、これら
がインクジェット記録ヘッドを形成する上で大きな問題
となっていた。

【０００４】そこで、本発明は、上記従来のものにおけ
る課題を解決し、ヘッド組立時の熱工程や、ヘッド完成
後の熱による部品の熱膨張の影響を受けることがなく、
製造時の歩留りを高めることができ、信頼性の高い廉価
なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するもの
である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、つぎの（１）〜（３）のように構成した
インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するもので
ある。 （１）記録用液体を吐出するために利用されるエネルギ
ーを発生する エネルギー発生素子が設けられた第１基
板と、前記第１基板と接合される第２基板であって、前
記第１基板との接合時に前記エネルギー発生素子の配設
部位に対応して記録用液体の流路を形成するための溝を
有するとともに、該溝の前方に記録用液体の吐出口が形
成された吐出口形成部材を一体に有してなる前記第２基
板と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法に
おいて、前記第２基板が、非晶質カーボンからなること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （２）前記第２基板を、フェノール系樹脂または該樹脂
を主成分とする熱硬化性樹脂成形材料を用いて予め焼成
時の寸法収縮を見込んだ寸法で成形し、吐出口を形成し
た後、真空または不活性雰囲気中で焼成することを特徴
とする上記（１）に記載のインクジェット記録ヘッドの
製造方法。 （３）前記第２基板を、フェノール系樹脂または該樹脂
を主成分とする樹脂に、同一種類の硬化樹脂粉末を添加
混合した熱硬化性樹脂成形材料を用いて予め焼成時の寸
法収縮を見込んだ寸法で成形し、吐出口を形成した後、
真空または不活性雰囲気中で焼成することを特徴とする
上記（１）に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態においては、
吐出口とインク流路を有する基板と発熱素子を有する基
板とを接合してなるインクジェット記録ヘッドを製造す
るに際して、上記構成を適用して、前記吐出口とインク
流路を有する基板の形成に非晶質カーボンを用い、該吐
出口とインク流路を有する基板と前記発熱素子を有する
基板とを、ほぼ同等の熱膨張係数の部材で形成すること
で、ヘッド組立時の熱工程や、ヘッド完成後の熱による
部品の熱膨張の影響を受けることがなく、製造時の歩留
りを高めることができ、製品の信頼性を高めることが可
能となる。

【０００７】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の一実
施例に係るインクジェット記録ヘッドを示し、インク供
給源たるインク収容部を一体としたディスポーザブルタ
イプのものとしてある。なお、図１０に従来の記録ヘッ
ドの構成を示す。図１（Ａ）において、１００はＳｉ基
板上に電気熱変換体（吐出ヒータ）と、これに電力を供
給するＡｌ等の配線とが成膜技術により形成されて成る
ヒータボードであり、図１０における第１基板１に対応
する。この詳細な構成については図２につき後述する。
２００はヒータボード１００に対する配線基板であり、
対応する配線は例えばワイヤボンディングにより接続さ
れる。４００はインク流路を限界するための隔壁や共通
液室等を設けた天板であり、図１０における第２基板８
に対応するが、本例においてはオリフィスプレート部を
一体に有した樹脂材料で成る。この天板４００の詳細な
構成については図３ないし図５について後述する。

【０００８】３００は例えば金属製の支持体、５００は
押えばねであり、両者間にヒータボード１００および天
板４００を挟み込んだ状態で両者を係合させることによ
り、押えばね５００の付勢力によってヒータボード１０
０と天板４００とを圧着固定する。この態様については
図６および図７について述べる。なお、支持体３００
は、配線基板２００も貼着等により設けられるととも
に、ヘッドの走査を行うためのキャリッジヘの取付け基
準を有するものとすることができる。また、支持体３０
０は駆動に伴って生じるヒータボード１００の熱を放熱
冷却する部材としても機能する。６００は供給タンクで
あり、インク供給源をなすインク貯留部からインク供給
を受け、ヒータボード１００と天板４００との接合によ
り形成される共通液室にインクを導くサブタンクとして
機能する。７００は共通液室へのインク供給口付近の供
給タンク６００内の部位に配置されるフィルタ、８００
は供給タンク６００の蓋部材である。

【０００９】９００はインクを含浸させるための吸収体
であり、カートリッジ本体１０００内に配置される。１
２００は上記各部１００〜８００からなるユニットに対
してインクを供給するための供給口であり、当該ユニッ
トをカートリッジ本体１０００の部分１０１０に配置す
る前の工程で供給口１２００よりインクを注入すること
により吸収体９００のインク含浸を行わせることができ
る。１１００はカートリッジ本体の蓋部材、１４００は
カートリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に設け
た大気連通口である。１３００は大気連通口１４００の
内方に配置される撥液材であり、これにより大気連通口
１４００からのインク漏洩が防止される。

【００１０】供給口１２００を介してのインク充填が終
了すると、各部１００〜８００よりなるユニットを部分
１０１０に位置付けて配設する。このときの位置決めな
いし固定は、例えばカートリッジ本体１０００に設けた
突起１０１２と、これに対応して支持体３００に設けた
穴３１２とを嵌合させることにより行うことができ、こ
れによって図１（Ｂ）のカートリッジが完成する。そし
て、インクはカートリッジ内部より供給口１２００、支
持体３００に設けた穴３２０および供給タンク６００の
図１（Ａ）中裏面側に設けた導入口を介して供給タンク
６００内に供給され、その内部を通った後、導出口より
適宜の供給管および天板４００のインク導入口４２０を
介して共通液室内へと流入する。以上におけるインク連
通用の接続部には、側えばシリコンゴムやプチルゴム等
のパッキンが配設され、これによって封止が行われてイ
ンク供給路が確保される。

【００１１】図２（Ａ）および（Ｂ）は、本実施例に係
るヒータボード１００の平面図およびその部分拡大図で
ある。同図（Ａ）において１０１は本例に係るヒータボ
ード基体、１０３は吐出ヒータ部である。１０４は端子
であり、ワイヤボンディングにより外部と接続される。
１０２は温度センサであり、吐出ヒータ部１０３等と同
じ成膜プロセスにより吐出ヒータ部３に形成してある。
同図（Ｂ）は同図（Ａ）におけるセンサ１０２を含む部
分Ｂの拡大図であり、１０５および１０６は、それぞ
れ、吐出ヒータおよび配線である。また、１０８はヘッ
ドを加熱するための保温ヒータである。センサ１０２
は、他の部分と同様に、半導体同様の成膜プロセスによ
って形成してあるため極めて高精度であり、他の部分の
構成材料であるアルミニウム、チタン、タンタル、５酸
化タンタル、ニオブ等、温度に応じて導電率が変化する
材料で作成できる。例えば、これらのうち、チタンは電
気熱変換素子を構成する発熱抵抗層と電極との接着性を
高めるために両者間に配置可能な材料、タンタルは発熱
抵抗層上の保護層の耐キャビテーション性を高めるため
にその上部に配置可能な材料である。

【００１２】また、プロセスのバラツキを小とするため
に線幅を太くし、配線抵抗等の影響を少なくするために
蛇行形状として高抵抗化を図っている。また、同様に保
温ヒータ１０８は、吐出ヒータ１０５の発熱抵抗層と同
一材料（例えばＨｆＢ₂）を用いて形成できるが、ヒー
タボードを構成する他の材料、例えばアルミニウ、タン
タル、チタン等を用いて形成しても良い。図３および図
４は本例に係る天板４００の構成の２例を示す。本例に
係る天板４００は、共通液室形成用凹部４３０と、これ
に連通したインク流路形成用溝４１１，４１２，…と、
これに対応してオリフィスプレート部４０４に形成した
インク吐出口（オリフィス）４２１，４２２，…とを所
望の個数（図においては簡略のために２個）有し、オリ
フィスプレート４０４一体に設けた構成としてある。

【００１３】図３の構成例においては、天板は非晶質カ
ーボンからなっている。以下、天板の製造方法について
述べる。この天板は、天板の本体部分、オリフィスプレ
ート部、インク流路溝を同時に形成し、成形後の加熱焼
成時の収縮を予め見込んだ寸法で金型を作成した。本天
板に使用する成形材料は、熱硬化性樹脂として、フェノ
ール系樹脂、商品名ユニベックス（ユニチカ（株）製）
を用い、上記金型にて射出成形した。しかる後、この成
形体のインク流路先端のオリフィスプレート部にインク
流路側より、エキシマレーザーで吐出口を形成した後、
２２０℃でアニールした後、真空又は不活性雰囲気中で
１６００℃で焼成炭化させ非晶質カーボン化させる。本
方法により、耐熱性、耐薬品性、機械強度に優れたイン
クジェット用オリフィスプレート一体形の天板の提供が
可能となる。本天板と発熱体を配設した基板とを以下の
方法で組み立てる。そして、このような天板４００に対
し、図５に示すように、吐出ヒータ１０５等を有するヒ
ータボード１００をオリフィスプレート部４０４に突き
当てて接合し、記録ヘッド本体を得る。

【００１４】以上の構成によると、従来のように天板と
オリフィスプレートとの位置合わせや接着が不要である
ので、位置合わせ誤差や接着時の位置ずれ等が全く無く
なり、不良品の低減および工程の短縮によって、記録ヘ
ッドの量産性並びに低廉化に資することができた。ま
た、従来のような天板とオリフィスプレートとの接着工
程が存在しないので、接着剤が流れ込むことによるオリ
フィスやインク流路の閉塞の恐れがない。さらに、ヒー
タボード１００とオリフィスプレート部４０４を一体と
した天板４００との接合時に、オリフィスプレート部４
０４の吐出側端面と逆側の端面にヒータボード１００を
突き当てることにより流路方向の位置決めができるの
で、全体的な位置決め工程や組み立て工程が容易とな
る。加えて、従来のようなオリフィスプレートの剥離の
おそれも全く生じない。

【００１５】図６は図１に示した天板４００を示す斜視
図であり、この天板４００は共通液室形成用凹部４０３
とインク流路形成用溝４０２とを一体に有する非晶質カ
ーボンから成る。図６に示す溝幅１は、本例の記録ヘッ
ドが１ｍｍ当り１６個の吐出口を有するため３２μｍと
し非溝部の幅２は３１．５μｍとする。これに対し金型
は焼成前のフェノール樹脂の成形体の寸法に合わせ、焼
成収縮率を１７％として金型の溝部に対応する凸部の幅
を３８μｍとした。金型で成形された天板４００は精密
に洗浄された後に図７に示す如く、ガラス、セラミック
ス、プラスチック、Ｓｉあるいは金属等で形成されるこ
とが可能な基坂に吐出エネルギ発生素子（吐出用ヒー
タ）１０５を配設したヒータボード１００と接合し、へ
ッド本体８０を構成する。また、図中４４１はヘッド本
体８０のオリフィスである。図８はヒータボード１００
と天板４００とを接合ないし固定する一態様を示す。な
お、図では簡略化のために天板４００のオリフィスプレ
ート部４０４は一点鎖線で示し、ヒータボード１００上
の配線パターンの図示を省略してある。

【００１６】上述のように、ヒータボード１００と天板
４００との位置決めは、ヒータボード１００の端面をオ
リフィスプレート部４０４に突き当てて行うが、これら
の接合にあたって天板４００の外周部の３辺に沿って接
着剤４０５を塗布した。これによってインク流路への接
着剤の流れ込みを抑えることが可能となる。さらに、ヒ
ータボード１００とオリフィスプレート部４０４との接
合面に必要かつ十分な量だけ適宜の範囲にわたって接着
剤を存在させることもできる。

【００１７】本実施例では、この接着剤４０５として、
光硬化型の接着剤ＵＶ−２０１（グレースジャパン
（株））を用い、位置決めを行った後に例えば１０〜３
０Ｊ／ｃｍ²の紫外線を照射し、硬化させて両者を固定
した。ここで、接着剤４０５の存在部分は流路ないし吐
出口から離隔しているので、位置決めにあたっての試行
回数の許容値は増大する。次に、このように天板４００
およびヒータボード１００を一体化して得た記録ヘッド
本体を支持体３００上に接着剤３０６を用いて固定す
る。この接着剤３０６としては、例えばキャノンケミカ
ル（株）によるＨＰ２Ｒ／２Ｈを用いることができる。

【００１８】この状態では、前述のように両基板（ヒー
タボード１００および天板４００）は流路部以外の外周
部で接着させられているだけで充分な密着が得られてい
ない。そこで、天板４００の上部側より断面がＭ字状を
有する押えばね５００の付勢力を作用させる。この押え
ばね５００としては、例えばばね用のリン青銅やステン
レスを用いて形成することができる。そして、その両端
下部に設けた爪５０７を支持体３００に設けた穴部３０
７に嵌入させ、両者を係合させることで天板４００の上
部から機械的圧力が加わるようになる。これによって、
両基板の十分な密着状態が得られる。なお、この押えば
ね５００において、５２０は穴であり、天板４００のイ
ンク導入口４２０と供給タンク６００側のインク供給口
とを接続する供給管の挿通を受容する。

【００１９】本実施例では、天板４００とヒータボード
１００との接合にあたって光硬化型の接着剤を用いた
が、その形態はいかなるものであってもよく、あるいは
押えばね５００で十分な固定力ないし密着力が得られる
のであれば必ずしも接着剤を用いる必要はない。例えば
液封性を高めることのみを目的として、適宜の封止材、
すなわち封止剤やゴムパッキン等の封止部材を用いるこ
とができる。また、同様にして、押えばね５００の爪５
０７と支持体３００の穴部３０７との係合によりヘッド
本体の十分な固定力が得られるのであれば、接着剤３０
６を用いなくてもよい。

【００２０】本実施例によれば、天板４００の流路壁の
面に接着剤を塗布することなく充分な接合状態が得られ
るので、接着剤の塗布工程が簡略化できる。また、従来
位置合わせでずれが生じた場合には流路部に接着剤がヒ
ータボード１００の吐出ヒータ１０５等に付着したり、
流路ないし吐出口を閉塞して不良品が生じるおそれがあ
ったが、本例ではそのようなことがなく、何度でも位置
合わせができることにもなる。さらに、樹脂材料を用い
た天板に変形や反り、あるいは製造上のばらつきが多少
あっても許されるので、その製造工程も簡単になる。

【００２１】さらに本実施例によれば、基板と溝付天板
との接合に際し、機械的押圧力を発生させるバネ製板状
部材の溝付天板接触押圧面を平面状でなく、線状とする
ことにより、押圧力の集中を図り、インク吐出口近傍の
インク路形成領域に相当する溝付天板上面領域を略均一
な押圧力で押えることが可能となり、隣り合うインク路
どうしのインク路壁が完全に基板と密着される為、吐出
圧が隣りの流路へ逃げることもなくなり、インク滴の安
定した吐出が得られ、常に安定した良好な印字品位を得
ることのできるインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とができる。

【００２２】以上のような構成の各部を、図１（Ａ）に
つき前述した工程で組立て、同図（Ｂ）に示すようなカ
ートリッジが得ることができ、さらにこれを用いて図９
のような液体噴射記録装置、すなわち、ディスポーザブ
ルのカートリッジを用いるインクジェットプリンタを構
成することができる。なお、図９において１４は図１
（Ａ）および（Ｂ）に示したカートリッジであり、この
カートリッジ１４は、押え部材４１によりキャリッジ１
５の上に固定されており、これらはシャフト２１に沿っ
て長手方向に往復動可能となっている。また、キャリッ
ジ１５に対する位置決めは、例えば支持体３００に設け
た穴と、キャリッジ１５側に設けたダボ等により行うこ
とができる。さらに、電気的接続は配線基板２００に設
けた接続パッドに、キャリッジ１５上のコネクタを結合
させればよい。記録ヘッドにより吐出されたインクは、
記録ヘッドと微少間隔をおいて、プラテン１９に記録面
を規制された記録媒体１８に到達し、記録媒体１８上に
画像を形成する。記録へッドには、ケーブル１６および
これに結合する端子を介して適宜のデータ供給源より画
像データに応じた吐出信号が供給される。カートリッジ
１４は、用いるインク色等に応じて、１ないし複数個
（図では２個）を設けることができる。

【００２３】また、図９において、１７はキャリッジ１
５をシャフト２１に沿って走査させるためのキャリッジ
モータ、２２はモータ１７の駆動力をキャリッジ１５に
伝達するワイヤである。また、２０はプラテンローラ１
９に結合して記録媒体１８を搬送させるためのフィード
モータである。このようなディスポーザブルのカートリ
ッジ１４を用いるインクジェットプリンタでは、吸収体
９００に含浸させたインクが無くなったとき等にカート
リッジ１４が変換されるが、そのためにカートリッジ１
４は廉価であることが望ましい。以上の実施例で述べた
カートリッジ１４は、上述のように、製造工程が簡素で
工数も少ないことからこれを廉価に構成できるので、デ
ィスポーザブル化にも極めて適している。さらに、記録
ヘッド本体を組立てる際の位置合わせを正確に行うこと
ができ、しかも接着剤の流れ込みによる流路等の寸法の
ばらつきや閉塞が生じないことから、信頼性も非常に高
く、かつ歩留りも向上することになる。

【００２４】なお、本発明は上述した実施例にのみ限ら
れることなく、種々の構成を採ることができるのは勿論
である。例えば、上例では記緑ヘッド本体とインク供給
源等とを一体としてこれをディスポーザブルとしたが、
両者は別体であってもよく、それぞれについて必ずしも
ディスポーザブルとしなくてもよい。すなわち、記録ヘ
ッド本体が固定型で簡単な交換を前提としないものであ
っても、上述のように簡単かつ廉価にこれを構成するこ
とは、プリンタ本体の低廉化にも資するからである。

【００２５】また、ヒータボード１００と天板４００と
から成る記録ヘッド本体について、上例では天板側にの
みインク流路や共通液室の形成用凹部を設けたが、これ
らを双方に設けてもよい。また、この記録ヘッド本体に
関して、上例では熱エネルギを吐出エネルギとすべく吐
出ヒータ１０５を用いたものとしたが、通電に応じて変
形する電気−機械変換素子を用い、その機械的振動を吐
出エネルギとする形態のものであってもよい。

【００２６】さらに、上例ではオリフィスプレート部４
０４自体がヒータボードの突当て部分を有する構成とし
たが、その突当て部の形状等はいかなるものであっても
よい。例えば、そのような突当て部を側面方向にも設け
て横方向の位置決めが行われるようにしても良く、ある
いはそのような突当て部を設ける代わりに、ダボと穴と
の組合わせにより位置決めがなされるようにしてもよ
い。また、その位置決めが問題とならないのであれば突
当て部ないし位置決め部材は不要である。すなわち、天
板は溝部の前方に接合面と面一の壁部分を有し、そこに
吐出口が形成された形態であってもよい。

【００２７】さらに、上側ではオリフィスプレート部を
天板に一体としたが、本発明に関する限りオリフィスプ
レートが別体に貼着されるものであってもよく、インク
の直進性が問題とならないのであればこれを設けなくて
もよい。加えて、上例では押えばねにより天板とヒータ
ボードとを密着接合させたが、当該接合に際して接着剤
のみの使用が問題とならないのであれば、押えばねを用
いない構成とすることも可能である。

【００２８】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、発熱素子を有する基板と、吐出口とインク流路を有
する基板とを、ほぼ同等の熱膨張係数の部材で形成する
ことで、ヘッド組立時の熱工程や、ヘッド完成後の熱に
よる部品の熱膨張の影響を受けることがなく、製造時の
歩留りを高めることができ、製品の信頼性を高めること
を可能とするインクジェット記録ヘッドの製造方法を実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明の一
実施例に係る記録ヘッドを含むカートリッジの構成例を
示す分解斜視図および外観斜視図。

【図２】（Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、本発明の一
実施例に係る記録ヘッドに適用可能なヒータボードの一
例を示す平面図およびその部分拡大図。

【図３】本実施例において図２のヒータボードに接合さ
れる天板の構成の２例を示す斜視図。

【図４】本実施例において図２のヒータボードに接合さ
れる天板の構成の２例を示す斜視図。

【図５】図２および図３の各部を接合して成る記録ヘッ
ド本体の外観斜視図。

【図６】本発明の一実施例において射出成形された天板
を示す斜視図。

【図７】図６に示した天板を用いて構成されるインクジ
ェット記録ヘッド本体の斜視図。

【図８】本実施例において記録ヘッド本体の接合ないし
組上げの態様の２例を説明するための説明図。

【図９】図１のカートリッジを用いて構成したインクジ
ェットプリンタの一例を示す斜視図。

【図１０】（Ａ）および（Ｂ）は従来の記録ヘッドの構
成を示す図。

【符号の説明】

１：第１基板 ８：第２基板 １０：流路壁 １１：インク流路 １２：共通液室形成用凹部 １３：接着剤 １４：カートリッジ １５：キャリッジ ４１：カートリッジ押え １００：ヒータボード １０５：吐出用ヒータ ２００：配線基板 ３００：支持体 ４００：天板 ４０４：オリフィスプレート部 ４０５：接着剤 ４１１、４１２：インク流路形成用溝 ４２０：インク導入口 ４２１、４２２、４４１：オリフィス ４３０、４０３：共通液室形成用凹部 ５００：押えばね ６００：供給タンク ７００：フィルタ ８００：蓋部材 ９００：インク吸収体 １０００：カートリッジ本体 １１００：蓋部材 １２００：インク供給口 １３００：撥液材 １４００：大気連通口

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】記録用液体を吐出するために利用されるエ
   ネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられた第
   １基板と、前記第１基板と接合される第２基板であっ
   て、前記第１基板との接合時に前記エネルギー発生素子
   の配設部位に対応して記録用液体の流路を形成するため
   の溝を有するとともに、該溝の前方に記録用液体の吐出
   口が形成された吐出口形成部材を一体に有してなる前記
   第２基板と、を有するインクジェット記録ヘッドの製造
   方法において、 前記第２基板が、非晶質カーボンからなることを特徴と
   するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】前記第２基板を、フェノール系樹脂または
   該樹脂を主成分とする熱硬化性樹脂成形材料を用いて予
   め焼成時の寸法収縮を見込んだ寸法で成形し、吐出口を
   形成した後、真空または不活性雰囲気中で焼成すること
   を特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
   ドの製造方法。
3. 【請求項３】前記第２基板を、フェノール系樹脂または
   該樹脂を主成分とする樹脂に、同一種類の硬化樹脂粉末
   を添加混合した熱硬化性樹脂成形材料を用いて予め焼成
   時の寸法収縮を見込んだ寸法で成形し、吐出口を形成し
   た後、真空または不活性雰囲気中で焼成することを特徴
   とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製
   造方法。