JP2003275636A - 膜体形成方法および膜体形成装置、並びにこれを用いたレンズの製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各吐出ノズルからの液滴吐出量を変化させる
ことなく、膜厚を良好に制御することができる膜体形成
方法および膜体形成装置等を提供することを課題として
いる。 【解決手段】 ワークＷに対し機能液滴吐出ヘッド９を
相対的に走査させながら導入した機能液を機能液滴吐出
ヘッド９の複数の吐出ノズル２９ａから吐出してワーク
Ｗの表面に機能液の膜体を形成する膜体形成方法であっ
て、各吐出ノズル２９ａからの液滴吐出量を不変とした
状態で、機能液滴吐出ヘッド９の走査方向に対する傾き
角度を可変させて、ワークＷの表面に機能液を塗布する
ことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、機能液滴吐出ヘッ
ドを相対的に走査しながらその複数の吐出ノズルから機
能液滴を吐出してワークの表面に膜体を形成する膜体形
成方法および膜体形成装置、並びにこれを用いたレンズ
の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ装置
の製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の膜体形成方法として、例えば眼鏡
レンズにハードコートを施す場合には、液体のコーティ
グ材料の中に眼鏡レンズを、いわゆるドブ漬け（ディッ
ピング法）してコーティング膜（ディッピングコート）
を形成するようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、プリンタに
用いるインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）
は、その複数の吐出ノズルから微小な液滴を精度良く吐
出することができるため、これにコーティング材料等の
機能液を導入し、ベタ塗り印刷と同様に眼鏡レンズ（ワ
ーク）の表面にコーティング材料を塗布することが可能
である。また、その吐出量を制御することにより、コー
ティングの膜厚を調整することも理論的に可能である
（図４（ｂ）参照）。しかし、機能液滴吐出ヘッドはそ
の構造上、粘性の高い機能液等を導入すると、吐出量に
よって液滴吐出が不安定になる問題がある。すなわち、
機能液の性状により安定的に吐出できる吐出量範囲があ
り、この範囲を越えて吐出を行うと吐出量制御が不安定
になり、所望のコーティング厚（膜厚）が得られなくな
ることが、想定される。

【０００４】本発明は、各吐出ノズルからの液滴吐出量
を変化させることなく、膜厚を良好に制御することがで
きる膜体形成方法および膜体形成装置、並びにこれを用
いたレンズの製造方法、カラーフィルタの製造方法、有
機ＥＬ装置の製造方法を提供することを課題としてい
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の膜体形成方法
は、ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対的に走査さ
せながら導入した機能液を機能液滴吐出ヘッドの複数の
吐出ノズルから吐出してワークの表面に機能液の膜体を
形成する膜体形成方法であって、各吐出ノズルからの液
滴吐出量を不変とした状態で、機能液滴吐出ヘッドの走
査方向に対する傾き角度を可変させて、ワークの表面に
機能液を塗布することを特徴とする。

【０００６】この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの
走査方向に対する傾き角度を可変させることにより、各
吐出ノズルからの液滴吐出量を不変とした状態であって
も、ワークの表面に対する機能液の着弾密度、すなわち
塗布密度を調整することができる。したがって、各吐出
ノズルを、安定的に吐出することができる最適吐出量に
調整した状態で、ワークの表面における機能液の塗布密
度を調整することができ、ひいては膜体の膜厚を調整す
ることができる。また、ワークの裏面側にも機能液を塗
布する場合には、表裏両面において膜体の膜厚を変える
ことも可能である。

【０００７】この場合、機能液滴吐出ヘッドの相対的な
走査は、副走査を伴う複数回の主走査から成り、主走査
毎に、機能液滴吐出ヘッドの傾き角度を可変させること
が、好ましい。

【０００８】この構成によれば、ワークの表面に、ほぼ
帯状に不均一な膜厚の膜体を形成することができる。例
えば、ワークが眼鏡レンズである場合に、膜厚の厚薄に
より、濃淡（グラデーション）のあるレンズコーティン
グが可能になる。

【０００９】これらの場合、機能液滴吐出ヘッドの走査
始期時および走査終期時に、機能液滴の吐出がワークの
縁端からはみ出して行われることが、好ましい。

【００１０】この構成によれば、ワークの縁端において
も、膜体の膜厚を均一化することができる。もっとも、
機能液の塗布密度を均一化にしても、表面張力によりワ
ークの縁端は膜厚が厚くなりがちであるが、かかる場合
には、ワークの縁端に対するはみ出し吐出時に、機能液
滴吐出ヘッドの傾き角度を変化させて、縁端部分の機能
液の塗布密度を幾分下げるように調整することが好まし
い。

【００１１】これらの場合、機能液が、カラー材料であ
ることが好ましい。

【００１２】この構成によれば、ワークの表面に対する
機能液の塗布密度、すなわち膜体の膜厚を変えることに
より、膜体の濃度を調整することができる。

【００１３】本発明の膜体形成装置は、複数の吐出ノズ
ルを有する機能液滴吐出ヘッドと、ワークに対し前記機
能液滴吐出ヘッドを相対的に走査させる移動手段とを備
え、移動手段により機能液滴吐出ヘッドを走査させなが
ら、導入した機能液を機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出
ノズルから吐出してワークの表面に機能液の膜体を形成
する膜体形成装置であって、機能液滴吐出ヘッドの走査
方向に対する傾き角度を可変させるヘッド角度可変手段
を備えたことを特徴とする。

【００１４】この構成によれば、ヘッド角度可変手段に
より、機能液滴吐出ヘッドの傾き角度を可変させると、
各吐出ノズルからの液滴吐出量を不変とした状態であっ
ても、ワークの表面に対する機能液の着弾密度、すなわ
ち塗布密度を調整することができる。したがって、各吐
出ノズルを安定的に吐出することができる最適吐出量に
調整した状態で、ワークの表面における機能液の塗布密
度を調整することができ、ひいては膜体の膜厚を調整す
ることができる。

【００１５】この場合、機能液滴吐出ヘッドはサブプレ
ートに保持され、サブプレートを介してサブキャリッジ
に搭載されており、ヘッド角度可変手段は、サブプレー
トに形成され、機能液滴吐出ヘッドのノズル面の中央位
置を中心とする円上に配置した円弧状の一対の長孔と、
各長孔を貫通してサブキャリッジに螺合すると共にサブ
プレートをサブキャリッジに固定する一対の固定ねじと
を有していることが、好ましい。

【００１６】この構成によれば、一対の固定ねじを緩
め、機能液滴吐出ヘッドをサブプレートの一対の長孔に
ガイドさせて回動させることにより、機能液滴吐出ヘッ
ドの傾き角度を可変させることができ、且つこの状態
で、一対の固定ねじを本締めすることにより、機能液滴
吐出ヘッドを、サブプレートを介してサブキャリッジに
適切に固定することができる。

【００１７】この場合、機能液滴吐出ヘッドは、その走
査始期時および走査終期時に、機能液滴の吐出をワーク
の縁端からはみ出して行うことが、好ましい。

【００１８】この構成によれば、ワークの縁端において
も、膜体の膜厚を均一化することができる。もっとも、
機能液の塗布密度を均一化にしても、表面張力によりワ
ークの縁端は膜厚が厚くなりがちであるが、かかる場合
には、ワークの縁端に対するはみ出し吐出時に、機能液
滴吐出ヘッドの傾き角度を変化させて、縁端部分の機能
液の塗布密度を下げるように調整することが好ましい。

【００１９】これらの場合、機能液が、カラー材料であ
ることが好ましい。

【００２０】この構成によれば、ワークの表面に対する
機能液の塗布密度、すなわち膜体の膜厚を変えることに
より、膜体の濃度を調整することができる。

【００２１】本発明のレンズの製造方法は、上記した膜
体形成装置を用い、ワークであるレンズの表面にコーテ
ィング膜を形成するレンズの製造方法であって、機能液
滴吐出ヘッドに機能液である透光性のコーティング材料
を導入し、機能液滴吐出ヘッドをレンズの表面に対し相
対的に走査し、コーティング材料を吐出してコーティン
グ膜を形成することを特徴とする。

【００２２】この構成によれば、レンズの表面に従来の
ディッピング法によらず、コーティング膜を簡単に形成
することができる。このため、ディッピング法に伴うコ
ーティング材料の無駄な消費（使用後廃棄する）を抑制
することができる。また、コーティング膜の膜厚を自在
に調整することができる。なお、レンズの表裏にコーテ
ィングを行う場合には、表裏でその膜厚を変えることも
可能である。

【００２３】この場合、レンズが、眼鏡レンズであるこ
とが好ましい。

【００２４】この構成によれば、眼鏡レンズの非球面に
対しコーティングを簡単かつ低コストで行うことができ
る。また、コーティング色の濃淡調整は元より、眼鏡レ
ンズの表面に濃淡（グラデーション）を付ける場合で
も、これを簡単に行うことができる。

【００２５】本発明のカラーフィルタの製造方法は、上
記した膜体形成装置を用い、ワークである基板上にフィ
ルタエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造す
るカラーフィルタの製造方法であって、フィルタエレメ
ントを形成した後に、機能液滴吐出ヘッドに機能液であ
る透光性のコーティング材料を導入し、機能液滴吐出ヘ
ッドを基板に対し相対的に走査し、コーティング材料を
吐出してオーバーコート膜を形成することを特徴とす
る。

【００２６】同様に、有機ＥＬ装置の製造方法は、上記
した膜体形成装置を用い、ＥＬ発光層を含む絵素ピクセ
ルを前記ワークである基板上に配列して成る有機ＥＬ装
置の製造方法であって、ＥＬ発光層を形成した後に、機
能液滴吐出ヘッドに機能液である液状電極材料を導入
し、機能液滴吐出ヘッドを基板に対し相対的に走査し、
液状電極材料を選択的に吐出して対向電極膜を形成する
ことを特徴とする。

【００２７】これらの構成によれば、上記の膜体形成装
置を、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ（Electro-
Luminescence）装置の製造方法に適用することにより、
そのオーバーコート膜や対向電極膜を、所望の厚みに精
度良く且つ効率良く形成することができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施形態について説明する。インクジェットプリ
ンタのインクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）
は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出
することができることから、例えば機能液滴（吐出対象
液）に特殊なインク、コーティング材、発光性或いは感
光性の樹脂等を用いることにより、各種部品の製造分野
への応用が期待されている。

【００２９】本発明の膜体形成方法および膜体形成装置
を適用した本実施形態の液滴吐出装置は、眼鏡レンズの
表面（レンズ面）の全域に亘ってコーティング材料を塗
布するものであり、乾燥工程を経て眼鏡レンズのレンズ
面に、いわゆるハードコートを行うものである。当然の
ことながら、眼鏡レンズのハードコートは、表裏両面に
対し行われるが、以下の説明では、表面に行う場合を例
に説明する。

【００３０】液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上に
設置したＸ軸テーブル３およびこれに直交するＹ軸テー
ブル４と、Ｙ軸テーブル４に吊設するように設けたメイ
ンキャリッジ５と、メインキャリッジ５に搭載したヘッ
ドユニット６とを有している。詳細は後述するが、ヘッ
ドユニット６には、サブキャリッジ８を介して、機能液
滴吐出ヘッド９が搭載されている。

【００３１】Ｘ軸テーブル３は、Ｘ軸方向の駆動系が構
成するモータ駆動のＸ軸スライダ１１を有し、これにθ
テーブル１２および眼鏡レンズ（ワーク）Ｗをエアー吸
引する吸着テーブル１３を搭載して、構成されている。
同様に、Ｙ軸テーブル４は、Ｙ軸方向の駆動系を構成す
るモータ駆動のＹ軸スライダ１４を有し、これにブリッ
ジプレート１５を介してメインキャリッジ５を吊設し
て、構成されている。

【００３２】この場合、吸着テーブル１３の上面は、眼
鏡レンズＷの裏面と相補的な形状に形成されており、眼
鏡レンズＷを安定に吸着保持できるようになっている。
また、眼鏡レンズＷの表面全的に、コーティング材を適
切に塗布することができるように、図外の制御装置によ
り、機能液滴吐出ヘッド９の液滴吐出は、眼鏡レンズＷ
の縁部から幾分はみ出すように行われる。したがって、
特に図示しないが、吸着テーブル１３の周囲には、はみ
出して吐出されたコーティング材（機能液）を受ける廃
液トレイが配設されている。

【００３３】ヘッドユニット６には、サブキャリッジ８
を介して機能液滴吐出ヘッド９が搭載されているが、こ
の場合、機能液滴吐出ヘッド９は、サブプレート１７に
保持されており、このサブプレート１７を介してサブキ
ャリッジ８に取り付けられている（図３参照）。また、
詳細は後述するが、機能液滴吐出ヘッド９は、主走査方
向に対し所定の角度傾けて固定され、且つこの傾き角度
を可変できるようになっている。

【００３４】本実施形態の液滴吐出装置１では、機能液
滴吐出ヘッド９の駆動（機能液滴の選択的吐出）に同期
して眼鏡レンズＷが移動する構成であり、機能液滴吐出
ヘッド９のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル３のＸ軸方
向への往復動作により行われる。また、これに対応し
て、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル４により機能液滴
吐出ヘッド９のＹ軸方向への往動動作により行われる。

【００３５】なお、本実施形態では、ヘッドユニット６
に対し、眼鏡レンズＷを主走査方向（Ｘ軸方向）に移動
させるようにしているが、ヘッドユニット６を主走査方
向に移動させる構成であってもよい。また、ヘッドユニ
ット６を固定とし、眼鏡レンズＷを主走査方向および副
走査方向に移動させる構成であってもよい。また逆に、
眼鏡レンズＷを固定とし、ヘッドユニット６を主走査方
向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。

【００３６】図３に示すように、ヘッドユニット６は、
ステンレスの厚板等で構成したサブキャリッジ８と、サ
ブキャリッジ８に下向きに搭載した機能液滴吐出ヘッド
９と、機能液滴吐出ヘッド９を、サブキャリッジ８に微
小回動可能に固定するサブプレート１７とで構成されて
いる。

【００３７】サブキャリッジ８の中央部には、後述する
機能液滴吐出ヘッド９のヘッド本体２８が相通する挿通
開口２１が形成されると共に、この挿通開口２１の両側
に、後述する２本の固定ねじ３５，３５が螺合する一対
のねじ孔２２，２２が形成されている。この場合、挿通
開口２１は、機能液滴吐出ヘッド（ヘッド本体２８）９
の回動（傾き角度の変更）を許容すべく、平面視つづみ
形状に形成されている。

【００３８】機能液滴吐出ヘッド９は、いわゆる２連の
ものであり、２連の接続針２３，２３を有する液体導入
部２４と、液体導入部２４の側方に連なる２連のヘッド
基板２５，２５と、液体導入部２４に下方（同図では上
方）に連なる２連のポンプ部２６と、ポンプ部２６に連
なるノズル形成プレート２７とを備えている。そして、
このポンプ部２６とノズル形成プレート２７とにより、
サブキャリッジ８の裏面側に突出する方形のヘッド本体
２８が構成されている。また、ノズル形成プレート２７
のノズル面２７ａには、それぞれが複数の吐出ノズル２
９ａを列設して成る２列のノズル列２９，２９が形成さ
れている。

【００３９】ポンプ部２６の基部側、すなわちヘッド本
体２８の基部側は、液体導入部２５を受けるべく方形フ
ランジ状に形成され、このフランジ部３１には、機能液
滴吐出ヘッド９をサブプレート１７に固定する小ねじ３
２用の一対のねじ孔（雌ねじ）３３，３３が形成されて
いる。この一対のねじ孔３３，３３は、両長辺部分に位
置し、且つノズル面２７ａの中心（中央）に対し点対称
となるように配設されている。サブプレート１７を貫通
してフランジ部３１に螺合した２本の小ねじ３２，３２
により、サブキャリッジ８を挟み込んだ状態で、機能液
滴吐出ヘッド９がサブプレート１７に固定されている。

【００４０】このように構成された機能液滴吐出ヘッド
９は、そのヘッド本体２８を、サブキャリッジ８に形成
した挿入開口２１からサブキャリッジ８の裏面側に突出
させ、挿入開口２１の縁部にあてがったサブプレート１
７に上記のフランジ部３１の部分でねじ止め固定されて
いる。また、サブプレート１７は、２本の固定ねじ３
５，３５により、サブキャリッジ８に本固定されてい
る。

【００４１】サブプレート１７は、機能液滴吐出ヘッド
９をサブキャリッジ８に安定に取り付けるための媒介金
具であり、ステンレス等で構成された略長方形の平板状
に形成されている。サブプレート１７には、その中央に
機能液滴吐出ヘッド９のヘッド本体２８が挿通する方形
の方形開口３７が形成されている。この場合、サブプレ
ート１７は、その長辺方向の両端部で挿通開口２１を跨
ぐようにしてサブキャリッジ８の裏面側にセットされ、
これに対し機能液滴吐出ヘッド９は、そのヘッド本体２
８を方形開口３７に挿通すようにしてサブキャリッジ８
の表側にセットされる。

【００４２】サブプレート１７の方形開口３７の周囲に
は、上記フランジ部３１の２つのねじ孔３３，３３に対
応する一対の貫通孔３８，３８が形成されると共に、長
手方向の両端部には、上記の２本の固定ねじ３５，３５
が相通する一対の長孔３９，３９が形成されている、こ
の場合、一対の貫通孔３８，３８と一対の長孔３９，３
９とは、いずれも方形開口３７の中心に対し点対称位置
に配設されている。より具体的には、特に一対の長孔３
９，３９は、ヘッド本体２８のノズル面２７ａの中央位
置を中心とする同一円上に位置した円弧状の孔になって
おり、機能液滴吐出ヘッド９のノズル面２７ａの中央位
置を中心とする微小回動を許容する。

【００４３】ここで、機能液滴吐出ヘッド９のサブキャ
リッジ８への取り付け手順を説明するとて、先ずヘッド
本体２８を上向きにした機能液滴吐出ヘッド９を、サブ
キャリッジ８の下側から挿入開口２１に挿入した後、サ
ブキャリッジ８の上側からサブプレート１７の方形開口
３７をヘッド本体２８に位置合わせし嵌め入れるように
して、サブプレート１７をサブキャリッジ８上にセット
する。次に、上側からサブプレート１７に図外の組付治
具を装着し、ヘッド本体２８に対しサブプレート１７を
位置決めした状態で、上側から２本の小ねじ３２，３２
を、サブプレート１７を貫通してフランジ部３１にそれ
ぞれ螺合し、機能液滴吐出ヘッド９をサブプレート１７
に固定する。

【００４４】ここで、２本の固定ねじ３５，３５を、サ
ブプレート１７側からサブキャリッジ８に螺合し、仮締
め状態としておいて、機能液滴吐出ヘッド９による液滴
吐出が所望の塗布密度となるように（予め実験で求めて
おく）、機能液滴吐出ヘッド９の主走査方向に対する傾
き角度を調整する。最後に、２本の固定ねじ３５，３５
を本締めし、傾き角度を調整した機能液滴吐出ヘッド９
を、サブプレート１７を介してサブキャリッジ８に固定
する。

【００４５】このように、固定ねじ３５と長孔３９との
協働により、機能液滴吐出ヘッド９の傾き角度を可変さ
せることができるため、コーティング材の塗布密度を調
整することができる。より具体的には、図４（ａ）に示
すように、機能液滴吐出ヘッド９の主走査方向に対する
傾き角度を大きくすることにより、各液滴（ドット）の
着弾位置が狭まり、コーティング材の着弾密度（塗布密
度）が高くなって、結局ハードコートの膜厚が厚くな
る。逆に、機能液滴吐出ヘッド９の主走査方向に対する
傾き角度を小さくすることにより、各液滴（ドット）の
着弾位置が広がり、コーティング材の着弾密度（塗布密
度）が低くなって、結局ハードコートの膜厚が薄くな
る。

【００４６】したがって、図４（ｂ）に示す従来のもの
のように、機能液滴吐出ヘッド９における各吐出ノズル
２９ａの吐出量により、ハードコートの膜厚を調整する
必要がなくなる。特に、プリンタのインクと異なり、実
施形態のコーティング材等の機能液では、各吐出ノズル
２９ａからの吐出量や飛行形態等において、量的に制御
しやすい安定領域があり、この安定領域内の吐出量を維
持することが重要になる。このため、傾き角度を可変可
能な実施形態の機能液滴吐出ヘッド９によれば、各吐出
ノズル２９ａを最適な吐出量に設定した状態で、ハード
コートの膜厚を調整することが可能になる。

【００４７】ところで、本発明の液滴吐出装置１は、眼
鏡レンズのコーティングをはじめ、各種光学レンズのコ
ーティングを行うことも可能であり、且つ各種フラット
ディスプレイの製造方法等にも適用可能である。そこ
で、この液滴吐出装置１を用いた製造方法を、液晶表示
装置の製造方法および有機ＥＬ装置の製造方法を例に、
簡単に説明する。

【００４８】図５は、液晶表示装置の断面図である。同
図に示すように、液晶表示装置（カラー）４５０は、上
下の偏光板４６２、４６７間に、カラーフィルタ４００
と対向基板４６６とを組み合わせ、両者の間に液晶組成
物４６５を封入することにより構成されている。また、
カラーフィルタ４００と対向基板４６６間には、配向膜
４６１、４６４が構成され、一方の対向基板４６６の内
側の面には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示せ
ず）と画素電極４６３とがマトリクス状に形成されてい
る。

【００４９】カラーフィルタ４００は、マトリクス状に
並んだ画素（フィルタエレメント）を備え、画素と画素
の境目は、仕切り（バンク）４１３によって区切られて
いる。画素の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青
（Ｂ）のいずれかのインク（フィルタ材料）が導入され
ている。すなわち、カラーフィルタ４００は、透光性の
基板４１１と、遮光性の仕切り４１３とを備えている。
仕切り４１３が形成されていない（除去された）部分
は、上記画素を構成する。この画素に導入された各色の
インクは着色層４２１を構成する。仕切り４１３及び着
色層４２１の上面には、オーバーコート層４２２及び電
極層４２３が形成されている。

【００５０】そして、本実施形態では、仕切り４１３で
区切られて形成された画素内に、上記Ｒ、Ｇ、Ｂの各イ
ンクをインクジェット方式（液滴吐出方式）により導入
する。すなわち、機能液滴吐出ヘッド９（インクジェッ
トヘッド）により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色のインク滴を着色層
形成領域毎に選択的に吐出する。次に、塗布したインク
を乾燥させるこしにより、着色層４２１が得られる。同
様に、インクジェット方式により、オーバーコート層４
２２を形成する。

【００５１】本実施形態においては、上記の着色層４２
１の形成においては、機能液滴吐出ヘッド９の傾き角度
を適宜可変して、各吐出ノズル２９ａのピッチと画素の
ピッチを合致するように調整し、オーバーコート層４２
２の形成においては、機能液滴吐出ヘッド９の傾き角度
を適宜可変して、その膜厚を調整するようにしている。

【００５２】同様に、図６を参照して、有機ＥＬ装置と
その製造方法を説明する。同図に示すように、有機ＥＬ
装置５００は、ガラス基板５０１上に回路素子部５０２
が積層され、回路素子部５０２の上に主体を為す有機Ｅ
Ｌ素子５０４が積層されている。また有機ＥＬ素子５０
４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板５
０５が形成されている。

【００５３】有機ＥＬ素子５０４には、無機物バンク層
５１２ａとこれに重ねた有機物バンク層５１２ｂにより
バンク５１２が形成され、このバンク５１２により、マ
トリクス状の画素が画成されている。そして、各画素内
には、下側から画素電極５１１、Ｒ・Ｇ・Ｂの発光層５
１０ｂおよび正孔注入／輸送層５１０ａが積層され、且
つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って積層した
対向電極５０３で覆われている。

【００５４】そして、本実施形態では、液滴吐出方式に
より、Ｒ・Ｇ・Ｂの発光層５１０ｂおよび正孔注入／輸
送層５１０ａを形成するようにしている。また、正孔注
入／輸送層５１０ａを形成した後に、同様に液滴吐出方
式により、ＣａやＡｌ等の液体金属材料を用いて、対向
電極５０３を形成するようにしている。なお、封止用基
板５０５に代えて、この部分を気密性の高い樹脂で封止
する場合には、これを液滴吐出方式で行うことが好まし
い。

【００５５】本実施形態においても、発光層５１０ｂお
よび正孔注入／輸送層５１０ａの形成においては、機能
液滴吐出ヘッド９の傾き角度を適宜可変して、各吐出ノ
ズルのピッチと画素のピッチを合致するように調整し、
対向電極５０３の形成においては、機能液滴吐出ヘッド
９の傾き角度を適宜可変して、その膜厚を調整するよう
にしている。

【００５６】

【発明の効果】以上のように本発明の膜体形成方法およ
び膜体形成装置によれば、機能液滴吐出ヘッドの走査方
向に対する傾き角度を可変させるようにしているため、
機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルからの液滴吐出量を
最適吐出量に不変とした状態で、ワークの表面に対する
塗布密度を調整することができ、膜体の膜厚を簡単に調
整することができる。

【００５７】本発明のカラーフィルタの製造方法および
有機ＥＬ装置の製造方法によれば、そのオーバーコート
膜や対向電極膜を、所望の厚みに精度良く且つ効率良く
形成することができ、信頼性を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図
である。

【図２】 実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図
である。

【図３】 ヘッドユニットにおける機能液滴吐出ヘッド
廻りの構造を示す分解斜視図である。

【図４】 実施形態の機能液滴吐出ヘッドの液滴吐出形
態を示す説明図である。

【図５】 実施形態のカラーフィルタの製造方法により
製造される液晶表示装置の断面図である。

【図６】 実施形態の製造方法により製造される有機Ｅ
Ｌ装置の断面図である。

【符号の説明】

１ 液滴吐出装置 ３ Ｘ軸テーブル ４ Ｙ軸テーブル ６ ヘッドユニット ８ サブキャリッジ ９ 機能液滴吐出ヘ
ッド １７ サブプレート ２２ ねじ孔 ２７ａ ノズル面 ２８ ヘッド本体 ２９ａ 吐出ノズル ３１ フランジ部 ３５ 固定ねじ ３９ 長孔 ４００ カラーフィルタ ４２２ オーバーコ
ート層 ４５０ 液晶表示装置 ４６６ 基板 ５００ 有機ＥＬ装置 ５０１ 基板 ５０３ 対向電極 ５０４ 有機ＥＬ素
子 Ｗ 眼鏡レンズ

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ Ｆターム(参考） 2H048 BA64 BB02 BB42 3K007 AB18 DB03 FA01 4F033 CA04 DA05 EA05 LA13 4F035 AA03 CA02 CA04 CB03 CB13 CB26 CB29 CC01 CC02 CD03 CD11 CD18

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークに対し機能液滴吐出ヘッドを相対
   的に走査させながら導入した機能液を前記機能液滴吐出
   ヘッドの複数の吐出ノズルから吐出して前記ワークの表
   面に機能液の膜体を形成する膜体形成方法であって、 前記各吐出ノズルからの液滴吐出量を不変とした状態
   で、前記機能液滴吐出ヘッドの走査方向に対する傾き角
   度を可変させて、前記ワークの表面に機能液を塗布する
   ことを特徴とする膜体形成方法。
2. 【請求項２】 前記機能液滴吐出ヘッドの相対的な走査
   は、副走査を伴う複数回の主走査から成り、 前記主走査毎に、前記機能液滴吐出ヘッドの傾き角度を
   可変させることを特徴とする請求項１に記載の膜体形成
   方法。
3. 【請求項３】 前記機能液滴吐出ヘッドの走査始期時お
   よび走査終期時に、前記機能液滴の吐出が前記ワークの
   縁端からはみ出して行われることを特徴とする請求項１
   または２に記載の膜体形成方法。
4. 【請求項４】 前記機能液が、カラー材料であることを
   特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の膜体形
   成方法。
5. 【請求項５】 複数の吐出ノズルを有する機能液滴吐出
   ヘッドと、ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドを相対
   的に走査させる移動手段とを備え、 前記移動手段により前記機能液滴吐出ヘッドを走査させ
   ながら、導入した機能液を前記機能液滴吐出ヘッドの複
   数の吐出ノズルから吐出して前記ワークの表面に機能液
   の膜体を形成する膜体形成装置であって、 前記機能液滴吐出ヘッドの走査方向に対する傾き角度を
   可変させるヘッド角度可変手段を備えたことを特徴とす
   る膜体形成装置。
6. 【請求項６】 前記機能液滴吐出ヘッドはサブプレート
   に保持され、前記サブプレートを介してサブキャリッジ
   に搭載されており、 前記ヘッド角度可変手段は、前記サブプレートに形成さ
   れ、前記機能液滴吐出ヘッドのノズル面の中央位置を中
   心とする円上に配置した円弧状の一対の長孔と、 前記各長孔を貫通して前記サブキャリッジに螺合すると
   共に前記サブプレートをサブキャリッジに固定する一対
   の固定ねじとを有していることを特徴とする請求項５に
   記載の膜体形成装置。
7. 【請求項７】 前記機能液滴吐出ヘッドは、その走査始
   期時および走査終期時に、前記機能液滴の吐出を前記ワ
   ークの縁端からはみ出して行うことを特徴とする請求項
   ５または６に記載の膜体形成装置。
8. 【請求項８】 前記機能液が、カラー材料であることを
   特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の膜体形
   成装置。
9. 【請求項９】 請求項５ないし８のいずれかに記載の膜
   体形成装置を用い、前記ワークであるレンズの表面にコ
   ーティング膜を形成するレンズの製造方法であって、 前記機能液滴吐出ヘッドに機能液である透光性のコーテ
   ィング材料を導入し、 前記機能液滴吐出ヘッドを前記レンズの表面に対し相対
   的に走査し、前記コーティング材料を吐出して前記コー
   ティング膜を形成することを特徴とするレンズの製造方
   法。
10. 【請求項１０】 前記レンズが、眼鏡レンズであること
    を特徴とする請求項９に記載のレンズの製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項５ないし８のいずれかに記載の
    膜体形成装置を用い、前記ワークである基板上にフィル
    タエレメントを配列して成るカラーフィルタを製造する
    カラーフィルタの製造方法であって、 前記フィルタエレメントを形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに機能液である透光性のコーテ
    ィング材料を導入し、 前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査
    し、前記コーティング材料を吐出して前記オーバーコー
    ト膜を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
    方法。
12. 【請求項１２】 請求項５ないし８のいずれかに記載の
    膜体形成装置を用い、ＥＬ発光層を含む絵素ピクセルを
    前記ワークである基板上に配列して成る有機ＥＬ装置の
    製造方法であって、 前記ＥＬ発光層を形成した後に、 前記機能液滴吐出ヘッドに機能液である液状電極材料を
    導入し、 前記機能液滴吐出ヘッドを前記基板に対し相対的に走査
    し、前記液状電極材料を選択的に吐出して前記対向電極
    膜を形成することを特徴とする有機ＥＬ装置の製造方
    法。