JP2003273599A - Component test system - Google Patents

Component test system

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JP2003273599A
JP2003273599A JP2002076660A JP2002076660A JP2003273599A JP 2003273599 A JP2003273599 A JP 2003273599A JP 2002076660 A JP2002076660 A JP 2002076660A JP 2002076660 A JP2002076660 A JP 2002076660A JP 2003273599 A JP2003273599 A JP 2003273599A
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component
tray
test
tray storage
parts
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JP2002076660A
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Japanese (ja)
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Hideki Nanbu
秀樹 南部
Yoshiaki Fukukawa
義章 福川
Hirokatsu Muramatsu
啓且 村松
Akira Kishida
晃 岸田
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Yamaha Motor Co Ltd
Original Assignee
Yamaha Motor Co Ltd
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Publication date
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance workability in placing/removing a component by making the operational conditions at each component containing section recognizable from the outside. <P>SOLUTION: The component test system comprises a plurality of tray containing sections 12-15 (component containing sections) for containing a component while mounting on a tray Tr wherein the tray containing sections 12-15 are arranged to be used arbitrarily and properly as sections for containing the components before test and after test, respectively. Each tray containing section 12-15 is provided with a common indicating part 12c-15c capable of identifying the component before test and the component after test by switching the color. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICチップ等の電
子部品に所定の試験を施してその性能を検査する部品試
験装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component testing device for inspecting the performance of an electronic component such as an IC chip by subjecting it to a predetermined test.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置などの製造過程においては、
最終的に製造されたICチップ等の電子部品に対して各
種試験を施す必要があり、従来からそのような試験を自
動的に行う部品試験装置が提案されている。
2. Description of the Related Art In the process of manufacturing semiconductor devices,
It is necessary to perform various tests on the finally manufactured electronic components such as IC chips, and conventionally, a component testing apparatus for automatically performing such a test has been proposed.

【0003】この種の装置は、試験前後の部品をトレイ
に載置した状態で収納する部品収納部と、部品の試験を
実施するテストヘッドと、これら部品収納部とテストヘ
ッドとの間で部品を搬送する搬送装置とを有しており、
電子部品を収納したトレイから部品を取り出しながらこ
れをテストヘッドに搬送して試験に供し、試験後、試験
結果に対応して設けられた各トレイに部品を収納するよ
うに構成されている。
In this type of device, a component storage unit for storing components before and after a test placed on a tray, a test head for performing a component test, and a component between the component storage unit and the test head. And a transport device for transporting
While taking out a component from a tray that stores electronic components, the component is conveyed to a test head for a test, and after the test, the component is stored in each tray provided corresponding to the test result.

【0004】部品収納部には、試験前の部品をトレイに
収納した状態で取り出し可能に保持する未試験部品の収
納部と、試験後の部品をトレイに収納した状態で保持す
る試験済み部品の収納部とが設けられ、必要に応じて、
前記トレイを装置側面に形成された出し入れ口を介して
出し入れするように構成されている。
The component storage section includes a storage section for an untested component that holds a pre-test component stored in a tray so that it can be taken out, and a tested component that retains a post-test component stored in a tray. A storage section is provided, and if necessary,
The tray is configured to be loaded and unloaded through a loading / unloading opening formed on the side surface of the apparatus.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この種の部品試験装置
では、通常、未試験部品の収納部として試験結果に対応
した数の部品収納部を設け、試験後の部品をその結果に
応じて収納するが、試験結果に基づく分類の数や、その
分類毎の発生頻度は対象部品の種類により異なるため、
特定の部品を前提として部品収納部の数や場所を設定す
るのでは汎用性に乏しく、また効率的に試験を行うこと
ができない場合がある。
In this type of component testing apparatus, normally, a number of component storage units corresponding to the test results are provided as storage units for untested components, and the tested components are stored according to the results. However, since the number of classifications based on the test results and the frequency of occurrence for each classification differ depending on the type of target part,
If the number and location of the component storage units are set on the premise of specific components, the versatility is poor and the test may not be performed efficiently.

【0006】そこで、同一構成の複数の部品収納部を設
けておき、これらの部品収納部を対象部品の種類に応じ
て適宜、使い分けることにより、汎用性を高め、効率的
に試験を行うことが考えられている。
Therefore, by providing a plurality of component storage portions having the same structure and appropriately using these component storage portions according to the type of the target component, versatility can be improved and an efficient test can be performed. It is considered.

【0007】ところが、このようにして部品収納部を使
い分ける場合、部品収納部が如何なる目的で作動してい
るか(使用状態)が不明では、部品収納部に対して部品
(トレイ)の出し入れを行う際等に不便であり、誤作業
を招く原因にもなる。
However, in the case of properly using the component storage parts in this way, when it is unclear what purpose the component storage parts are operating (usage state), when a component (tray) is taken in and out of the component storage part. It is inconvenient and may cause erroneous work.

【0008】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であって、複数の部品収納部を有した部品試験装置にお
いて、各部品収納部の作動状況を外部から認識可能とす
ることによって、部品の出し入れ時の作業性を向上させ
ることができる部品収納装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and in a component testing apparatus having a plurality of component storage portions, the operation status of each component storage portion can be recognized from the outside, It is an object of the present invention to provide a component storage device capable of improving workability when putting in and out.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、部品を収納可能な複数の部品収納部を有
し、試験前後の部品をそれぞれ収納するための収納部と
して前記複数の部品収納部が任意に使い分け可能に構成
された部品試験装置であって、各部品収納部に、少なく
とも収納部品が試験前の部品又は試験後の部品のいずれ
に該当するかを識別可能とする使用状態に関する表示を
行う表示手段が設けられているものである。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has a plurality of parts accommodating parts capable of accommodating parts, and has a plurality of accommodating parts for accommodating parts before and after a test, respectively. Is a component testing device configured such that the component storage unit can be arbitrarily used, and each component storage unit can identify at least whether the stored component corresponds to a pre-test component or a post-test component. A display means for displaying a usage state is provided.

【0010】このような構成によれば、各部品収納部の
使用目的が試験対象となる部品の種類に応じて任意に変
更される場合でも、表示手段に表示されている内容に基
づいて各部品収納部の使用状態を外部から容易に認識す
ることができる。そのため、各部品収納部に対して部品
を出し入れする際の誤作業等の発生を防止して、作業性
を向上させることが可能となる。
With such a configuration, even when the purpose of use of each component storage unit is arbitrarily changed according to the type of the component to be tested, each component is based on the content displayed on the display means. The usage state of the storage section can be easily recognized from the outside. Therefore, it is possible to prevent erroneous work and the like when putting a component in and out of each component storage portion, and improve workability.

【0011】この構成において、各表示手段は、さらに
各部品収納部の作動状態を表示可能に構成されているの
が好ましい。
In this structure, it is preferable that each display unit is further configured to be able to display the operating state of each component storage section.

【0012】これによれば、例えば試験前の部品の補充
や試験後の部品の取り出しが必要な状態か、また、これ
らの作業を行える状態がといった作動状態を外部から容
易に認識することが可能となり、部品の出し入れ作業を
速やかに行えるようになる。
According to this, it is possible to easily externally recognize an operating state such as a state in which it is necessary to replenish parts before the test or take out the parts after the test, or a state in which these operations can be performed. As a result, the work of putting in and taking out parts can be quickly performed.

【0013】なお、各部品収納部には、通常、部品出し
入れ用の扉が設けられるため、前記表示手段はこの扉
か、又はその近傍に設けるのが好ましい。
Since a door for loading and unloading a component is usually provided in each component storage section, it is preferable to provide the display means at or near this door.

【0014】このにすれば、部品出し入れ作業時に注意
を喚起することができ、また部品収納部の作動状況を確
認しながら作業を行うことができるので、誤作業等の発
生をより確実に防止することが期待できる。
With this configuration, it is possible to call attention to the work for taking in and out the parts, and it is possible to carry out the work while checking the operation status of the parts housing portion, so that the occurrence of erroneous work can be prevented more reliably. Can be expected.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にする
ためにX軸、Y軸を示している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, in order to clarify the directionality, the X axis and the Y axis are shown in the figure.

【0016】図1及び図2は、本発明に係る部品試験装
置を概略的に示している。これらの図に示すように、部
品試験装置1(以下、試験装置1と略す)は、部品の搬
送及び試験中の部品保持(固定)という機械的な役割を
担うハンドラ2と、このハンドラ2に組込まれる試験装
置本体3とから構成されている。
1 and 2 schematically show a component testing apparatus according to the present invention. As shown in these drawings, a component test apparatus 1 (hereinafter, abbreviated as test apparatus 1) includes a handler 2 that plays a mechanical role of transporting a component and holding (fixing) the component during a test, and the handler 2. The test apparatus main body 3 is incorporated.

【0017】試験装置本体3は、上面にテストヘッド4
を備えた箱型の装置で、テストヘッド4に設けられたソ
ケット(図示省略)に部品をセットして該部品の入力端
子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力
電流を受けることにより部品の品質を判断するように構
成されている。
The test apparatus main body 3 has a test head 4 on the upper surface.
A box-shaped device equipped with a component that sets a component in a socket (not shown) provided in the test head 4 and supplies a test current to an input terminal of the component while receiving an output current from an output terminal of the component. Is configured to judge the quality of parts.

【0018】試験装置本体3は、前記ハンドラ2に対し
て脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例え
ば試験装置本体3を専用の台車に載せた状態でハンドラ
2の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド4
をハンドラ2の基台2aに形成された開口部から後記テ
スト領域Taに臨ませた状態で固定することによりハン
ドラ2に対して組付けられている。なお、テストヘッド
4と試験装置本体3とは必ずしも一体である必要はな
く、テストヘッド4のみをハンドラ2に組付け、その他
の部分をハンドラ2から離間した位置に配置してテスト
ヘッド4に対して電気ケーブル等で電気的に接続するよ
うにしてもよい。
The test apparatus main body 3 is constructed so that it can be attached to and detached from the handler 2. Although not shown in the drawing, for example, the test apparatus main body 3 is placed on a dedicated trolley, and the test apparatus main body 3 is predetermined from below the handler 2. The test head 4
Is fixed to the handler 2 in a state of being exposed to a test area Ta described later from an opening formed in the base 2a of the handler 2, and is assembled to the handler 2. It should be noted that the test head 4 and the test apparatus main body 3 do not necessarily have to be integrated, and only the test head 4 is assembled to the handler 2 and the other parts are arranged at positions apart from the handler 2 and It may be electrically connected by an electric cable or the like.

【0019】ハンドラ2は、同図に示すように、上部が
側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部
品を取り出して前記テストヘッド4に搬送し、さらに試
験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構
成されている。以下、その構成について具体的に説明す
る。
As shown in the figure, the handler 2 is a substantially box-shaped device whose upper part is squeezed out to the side, and the parts stored in the tray are taken out and conveyed to the test head 4, and after the test. The parts are configured to be sorted according to the test result. The configuration will be specifically described below.

【0020】ハンドラ2の基台2a上は、大きく分け
て、トレイTrが収納されるトレイ収納領域Saと、テ
ストヘッド4等が配置されるテスト領域Taの二つの領
域に分けられている。
The base 2a of the handler 2 is roughly divided into two areas: a tray storage area Sa in which the tray Tr is stored and a test area Ta in which the test head 4 and the like are arranged.

【0021】トレイ収納領域Saには、X軸方向に複数
のトレイ収納部(部品収納部)が並設されており、当実
施形態では、図2の左側から順に第1〜第5の4つのト
レイ収納部11〜15が並設されている。
In the tray storage area Sa, a plurality of tray storage portions (component storage portions) are arranged side by side in the X-axis direction. In this embodiment, four trays, first to fifth, are arranged in this order from the left side of FIG. The tray storage units 11 to 15 are arranged side by side.

【0022】これらのトレイ収納部11〜15のうち、
第1トレイ収納部11は空トレイTrを収納するところ
で、基台2a上にトレイTrを積み重ねた状態で載置す
るように構成されている。
Of these tray storage sections 11 to 15,
When the empty tray Tr is stored, the first tray storage portion 11 is configured to mount the tray Tr in a stacked state on the base 2a.

【0023】一方、第2トレイ収納部12〜第5トレイ
収納部15は、部品を載せたトレイTrを収納するとこ
ろで、それぞれ昇降可能なテーブルを有した共通の構成
を有しており、このテーブル上に複数のトレイTrを積
み重ねた状態で基台下のスペースに収納し、最上位のト
レイTrのみを基台上に形成された開口部から基台上に
臨ませるように構成されている。具体的に説明すると、
図3及び図4に示すように、各トレイ収納部12〜15
には、上下方向に延びるレール17が設けられ、このレ
ール17にテーブル16が移動可能に装着されている。
また、サーボモータ18により作動する、レール17と
平行なボールねじ軸19が設けられ、このボールねじ軸
19がテーブル16のナット部分16aに螺合装着され
ている。そして、テーブル16上に複数のトレイTrが
積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ18によ
るボールねじ軸19の回転駆動に伴いテーブル16が昇
降することにより、テーブル16上に積み重ねられたト
レイTrの数に応じてその最上位のものが各開口部12
a〜15aを介して基台上に臨むように構成されてい
る。
On the other hand, the second tray storage section 12 to the fifth tray storage section 15 have a common structure having a table capable of moving up and down when storing the tray Tr on which the components are placed. A plurality of trays Tr are stacked on top of each other and stored in a space under the base so that only the uppermost tray Tr is exposed on the base through an opening formed on the base. Specifically,
As shown in FIGS. 3 and 4, each tray storage unit 12-15
Is provided with a rail 17 extending in the vertical direction, and a table 16 is movably mounted on the rail 17.
Further, a ball screw shaft 19 which is operated by a servo motor 18 and which is parallel to the rail 17 is provided, and the ball screw shaft 19 is screwed and attached to a nut portion 16 a of the table 16. Then, a plurality of trays Tr stacked on the table 16 are placed, and the tray 16 stacked on the table 16 is moved up and down as the ball screw shaft 19 is rotationally driven by the servo motor 18. Depending on the number of
It is configured to face the base through a to 15a.

【0024】なお、第2トレイ収納部12〜第5トレイ
収納部15は、上記のように共通の構成とされているこ
とにより、試験対象部品の種類等に応じてその使用目的
が変更されるようになっている。例えば、当実施形態で
は、第2トレイ収納部12及び第3トレイ収納部13に
試験前(未検査)の部品を載せたトレイTrが、第4ト
レイ収納部14に試験後の部品のうち不合格品(Fail)
を載せたトレイTrが、第5トレイ収納部15に試験後
の部品のうち合格品(Pass)を載せたトレイTrがそれ
ぞれ収納されるようになっている。なお、各トレイTr
は何れも共通の構成を有しており、図示を省略するが、
例えばその表面には複数の部品収納凹部が区画形成され
ており、ICチップ等の部品が各部品収納凹部内に収納
されるように構成されている。
Since the second tray storage section 12 to the fifth tray storage section 15 have the common configuration as described above, the purpose of use is changed according to the type of the test object component. It is like this. For example, in the present embodiment, the tray Tr in which the components before the test (uninspected) are placed in the second tray storage portion 12 and the third tray storage portion 13 is not stored in the fourth tray storage portion 14 after the test. Accepted product (Fail)
The tray Tr on which is mounted the tray Tr on which the acceptable product (Pass) among the tested components is stored in the fifth tray storage portion 15, respectively. In addition, each tray Tr
Have a common configuration, and the illustration is omitted,
For example, a plurality of component accommodating recesses are formed on the surface thereof, and components such as IC chips are accommodated in the respective component accommodating recesses.

【0025】ハンドラ2の側壁(ケーシングの側面)に
は、各トレイ収納部12〜15のトレイ出し入れ口が設
けられるとともに、これら出し入れ口を開閉する扉12
b〜15bが設けられている。各扉12b〜15bは、
例えば、ヒンジを介してその下端部がハンドラ2の側壁
に組み付けられており、引き倒すことにより出し入れ口
を開放するとともに、この開放状態において扉自体が略
水平に保持されるように構成されている。つまり、トレ
イ出し入れ時には、トレイTrを支持しながら案内する
ガイドとして扉12b〜15bが機能するように構成さ
れている。
The side wall (side surface of the casing) of the handler 2 is provided with tray loading / unloading openings for the tray accommodating sections 12 to 15, and a door 12 for opening / closing these loading / unloading openings.
b to 15b are provided. The doors 12b to 15b are
For example, the lower end of the door is attached to the side wall of the handler 2 via a hinge, and the door is opened and closed by pulling it down, and the door itself is held substantially horizontal in this open state. . That is, the doors 12b to 15b are configured to function as guides for guiding the tray Tr while it is being loaded and unloaded.

【0026】また、ハンドラ2の側壁には、第2トレイ
収納部12〜第5トレイ収納部15に対応して各扉12
b〜15bの上側に各収納部12〜15の使用状態及び
作動状態を表示する表示部12c〜15cが設けられて
いる。
On the side wall of the handler 2, the doors 12 corresponding to the second tray storage section 12 to the fifth tray storage section 15 are provided.
Display units 12c to 15c are provided on the upper side of b to 15b to display the use state and the operating state of the storage units 12 to 15, respectively.

【0027】各表示部12c〜15cは、対応するトレ
イ収納部12〜15の使用状態に応じて「赤」、
「青」、「黄」のいずれかが点灯し、かつ作動状態に応
じて「点灯」又は「点滅」するように構成されており、
後述する制御装置によりそれぞれ点灯状態が制御される
ように構成されている。つまり、第2トレイ収納部12
〜第5トレイ収納部15は、上述したように試験対象部
品の種類等に応じてその使用目的が変更されるため、各
トレイ収納部12〜15における使用状態および作動状
況を表示部12c〜15cにおいて表示することによ
り、その状況を外部から認識できるように構成されてい
る。具体的な使用状態および作動状況に対応した表示内
容は下記の表の通りである。
Each of the display units 12c to 15c is "red" depending on the usage state of the corresponding tray storage unit 12 to 15.
Either "blue" or "yellow" lights up, and is configured to "light up" or "blink" depending on the operating state.
The control device described later is configured to control the lighting state of each. That is, the second tray storage section 12
Since the purpose of use of the fifth tray storage section 15 is changed according to the type of the test target component as described above, the display states 12c to 15c of the usage states and operating conditions of the tray storage sections 12 to 15 are displayed. By displaying at, the situation can be recognized from the outside. The table below shows the display contents corresponding to the specific usage and operating conditions.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】従って、第2トレイ収納部12及び第3ト
レイ収納部13に試験前の部品を、第4トレイ収納部1
4に試験後の部品のうち不合格品(Fail)を、第5トレ
イ収納部15に試験後の部品のうち合格品(Pass)をそ
れぞれ収納するように設定されている当実施形態の例で
は、試験装置1の作動中、各表示部12c〜15cは図
5に示すような表示がなされることとなる。
Therefore, the components before the test are placed in the second tray storage section 12 and the third tray storage section 13, and the fourth tray storage section 1
In the example of this embodiment, 4 is set to store the failing parts (Fail) of the tested parts and the fifth tray storing unit 15 is set to store the passing parts (Pass) of the tested parts. During the operation of the test apparatus 1, each of the display sections 12c to 15c is displayed as shown in FIG.

【0030】トレイ収納領域Saには、さらに図1及び
図2に示すようにP&Pロボット(Pick & Place Robo
t)20が設けられている。
In the tray storage area Sa, as shown in FIGS. 1 and 2, a P & P robot (Pick & Place Robot) is installed.
t) 20 is provided.

【0031】P&Pロボット20は、移動可能なヘッド
23を有しており、このヘッド23によって第2トレイ
収納部12又は第3トレイ収納部13のトレイTrから
部品を取り出して後記シャトルロボット30A,30B
に受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット
30A,30Bから受け取って第4トレイ収納部14又
は第5トレイ収納部15のトレイTrに移載するもの
で、さらに、第1トレイ収納部11とその他のトレイ収
納部12〜15との間でトレイTrを搬送するトレイ搬
送装置として機能するように構成されている。
The P & P robot 20 has a movable head 23. By this head 23, parts are taken out from the tray Tr of the second tray storage section 12 or the third tray storage section 13, and shuttle robots 30A, 30B described later are provided.
And the components after the test are received from the shuttle robots 30A and 30B and transferred to the tray Tr of the fourth tray storage section 14 or the fifth tray storage section 15, and further to the first tray storage section 11. It is configured to function as a tray transfer device that transfers the tray Tr between the other tray storage units 12 to 15.

【0032】すなわち、上記基台2a上にはY軸方向に
延びる一対の固定レール21が設けられ、これら固定レ
ール21にヘッド支持部材22が移動可能に装着されて
いる。また、図示を省略するが、前記固定レール21と
平行に延びてサーボモータにより回転駆動されるボール
ねじ軸が基台2a上に設けられ、このボールねじ軸が前
記支持部材22に設けられたナット部材(図示省略)に
螺合装着されている。さらに、詳しく図示していない
が、前記支持部材22にX軸方向に延びる固定レールが
設けられてこの固定レールにヘッド23が移動可能に装
着されるとともに、前記固定レールと平行に延びてサー
ボモータにより回転駆動されるボールねじ軸が配設さ
れ、このボールねじ軸がヘッド23に設けられたナット
部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボモー
タによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材22
がY軸方向に、ヘッド23がX軸方向に夫々移動するこ
とにより、ヘッド23が前記トレイ収納部11〜15及
びシャトルロボット30A,30Bの後記部品受渡し位
置P1を含む範囲で平面的に移動(X−Y平面上を移
動)し得るように構成されている。
That is, a pair of fixed rails 21 extending in the Y-axis direction are provided on the base 2a, and a head support member 22 is movably mounted on these fixed rails 21. Although not shown, a ball screw shaft that extends in parallel with the fixed rail 21 and is driven to rotate by a servomotor is provided on the base 2a, and the ball screw shaft is provided on the support member 22. It is screwed to a member (not shown). Further, although not shown in detail, a fixed rail extending in the X-axis direction is provided on the support member 22, the head 23 is movably mounted on the fixed rail, and the head extends parallel to the fixed rail and extends to the servo motor. A ball screw shaft that is driven to rotate by is provided, and this ball screw shaft is screwed and attached to a nut portion provided on the head 23. Then, the support member 22 is rotated in response to the rotational driving of the ball screw shaft by each servo motor.
Moves in the Y-axis direction and the head 23 moves in the X-axis direction, so that the head 23 moves in a plane within a range including the tray storage sections 11 to 15 and the shuttle robots 30A and 30B, which will be described later. It is configured to be movable on the XY plane).

【0033】ヘッド23には、複数のノズル部材が搭載
されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズ
ル部材24a,24bと、トレイTrを吸着するための
ノズル部材25との合計3つのノズル部材が搭載されて
いる。
A plurality of nozzle members are mounted on the head 23, and in the present embodiment, a total of three nozzle members 24a, 24b for attracting components and a nozzle member 25 for attracting the tray Tr are combined. One nozzle member is mounted.

【0034】部品吸着用の各ノズル部材24a,24b
は、ヘッド23に対して昇降及び回転(ノズル軸回りの
回転)が可能となっており、図示を省略するがサーボモ
ータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように
構成されている。そして、第2トレイ収納部12等のト
レイTr上、あるいはシャトルロボット30A,30B
の後記テーブル32の上方にヘッド23が配置された状
態で、各ノズル部材24a,24bの昇降動作に伴いト
レイTrに対する部品の出し入れ等を行うように構成さ
れている。なお、トレイTrへの部品の収納に際して
は、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材2
4a,24bが回転することによりトレイTrに対して
予め定められた方向で部品が収納されるように構成され
ている。
Nozzle members 24a, 24b for picking up parts
Can move up and down (rotate around the nozzle axis) with respect to the head 23, and although not shown in the figure, they are each driven by a drive mechanism using a servo motor as a drive source. Then, on the tray Tr such as the second tray storage portion 12 or the shuttle robots 30A and 30B.
With the head 23 disposed above the table 32, which will be described later, components are taken in and out of the tray Tr as the nozzle members 24a and 24b move up and down. When the components are stored in the tray Tr, in addition to such a nozzle lifting operation, each nozzle member 2
By rotating 4a and 24b, components are stored in the tray Tr in a predetermined direction.

【0035】トレイ用ノズル部材25は、ヘッド23に
対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により作動するように構成され
ている。そして、部品の取り出しに伴い空になったトレ
イTrを吸着した状態で、ヘッド23の移動に伴い第2
トレイ収納部12又は第3トレイ収納部13から第1ト
レイ収納部11にトレイTrを移送するとともに、必要
に応じて第1トレイ収納部11に収納されている空のト
レイTrを吸着して第4又は第5のトレイ収納部14,
15に移送するように構成されている。
The tray nozzle member 25 can only be moved up and down with respect to the head 23, and is operated by a drive mechanism using a servo motor as a drive source. Then, in a state where the tray Tr that has become empty due to the removal of the components is attracted,
The tray Tr is transferred from the tray storage unit 12 or the third tray storage unit 13 to the first tray storage unit 11, and the empty tray Tr stored in the first tray storage unit 11 is sucked and sucked when necessary. A fourth or fifth tray storage portion 14,
It is configured to be transferred to 15.

【0036】なお、トレイ用ノズル部材25には、その
先端部(下端部)に例えば矩形板型の吸着パッドが組付
けられることにより広い吸着面積が設けられており、そ
の結果、トレイTrを良好に吸着し得るように構成され
ている。
The tray nozzle member 25 is provided with a wide suction area by assembling a suction pad of, for example, a rectangular plate type at the tip (lower end) thereof, and as a result, the tray Tr is made good. It is configured to be able to be adsorbed on.

【0037】トレイ収納領域Saには、さらに各シャト
ルロボット30A,30Bの部品受渡し位置P1の間に
CCDエリアセンサからなる部品認識カメラ34が配設
されている。このカメラ34は、P&Pロボット20の
前記ヘッド23に吸着されている部品を下側から撮像す
るもので、試験終了後の部品をトレイTrへの収納に先
立って撮像するように構成されている。
In the tray storage area Sa, a component recognition camera 34 composed of a CCD area sensor is arranged between the component transfer positions P1 of the shuttle robots 30A and 30B. The camera 34 images the components adsorbed to the head 23 of the P & P robot 20 from the lower side, and is configured to image the components after the test is completed before storing them in the tray Tr.

【0038】一方、テスト領域Taには、前記テストヘ
ッド4、一対のシャトルロボット30A,30B(第1
シャトルロボット30A,第2シャトルロボット30
B)及びテストロボット40が配設されている。
On the other hand, in the test area Ta, the test head 4 and the pair of shuttle robots 30A, 30B (first
Shuttle robot 30A, second shuttle robot 30
B) and the test robot 40 are provided.

【0039】テストヘッド4は、上述の通り基台2aに
形成された開口部からテスト領域Taの略中央部分に露
出した状態で配設されている。テストヘッド4の表面に
は、部品をセットするための複数のソケット(図示省
略)が配設されており、当試験装置1においては2つの
ソケットがX軸方向に並んだ状態で設けられている。
The test head 4 is arranged in a state of being exposed from the opening formed in the base 2a to a substantially central portion of the test area Ta as described above. A plurality of sockets (not shown) for setting components are arranged on the surface of the test head 4, and in the test apparatus 1, the two sockets are arranged in the X-axis direction. .

【0040】各ソケットには、それぞれ部品(ICチッ
プ等)の各リードに対応する接触部(図示せず)が設け
られており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、
部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該
部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試
験等の電気的試験が施されるように構成されている。
Each socket is provided with a contact portion (not shown) corresponding to each lead of the component (IC chip or the like), and when the component is positioned in each socket,
Each lead of the component is brought into contact with a corresponding contact portion, and an electrical test such as a continuity test or an output characteristic test against an input current is performed on the component.

【0041】シャトルロボット30A,30Bは、トレ
イ収納領域Saとテスト領域Taとの間で部品を搬送し
つつ前記P&Pロボット20およびテストロボット40
に対して部品の受渡しを行う装置で、図2に示すように
夫々Y軸方向に延びる固定レール31と、サーボモータ
を駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レー
ル31に沿って移動するテーブル32とを有している。
そして、第1トレイ収納部11及び第5トレイ収納部1
5の近傍に設定されたP&Pロボット20に対する部品
受渡し位置P1と、テストヘッド4側方に設定されたテ
ストロボット40に対する部品受渡し位置P2との間で
前記テーブル32を固定レール31に沿って往復移動さ
せながら該テーブル32により部品を搬送するように構
成されている。
The shuttle robots 30A and 30B transfer the parts between the tray storage area Sa and the test area Ta while the P & P robot 20 and the test robot 40.
2 is a device for delivering and receiving components to and from the fixed rails 31 extending in the Y-axis direction as shown in FIG. 2 and a drive mechanism having a servo motor as a drive source and moved along the fixed rails 31. And a table 32.
Then, the first tray storage section 11 and the fifth tray storage section 1
5, the table 32 is reciprocally moved along a fixed rail 31 between a component delivery position P1 for the P & P robot 20 set near the component 5 and a component delivery position P2 for the test robot 40 set on the side of the test head 4. The parts are conveyed by the table 32 while being moved.

【0042】テーブル32には、試験前の部品を載置す
るためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが
設けられており、各エリアにそれぞれ2個の部品を載置
することができるように構成されている。図示を省略す
るが、各エリアにはそれぞれ負圧パッドが設けらてお
り、移動中には、テーブル上の部品を下から吸着するこ
とにより該テーブル32からの部品の脱落を防止するよ
うになっている。
The table 32 is provided with an area for mounting the parts before the test and an area for mounting the parts after the test, and two parts should be mounted in each area. It is configured to be able to. Although illustration is omitted, negative pressure pads are provided in the respective areas, and during movement, parts on the table are attracted from below to prevent the parts from falling off from the table 32. ing.

【0043】テストロボット40は、上述のように各シ
ャトルロボット30A,30Bによりトレイ収納領域S
aからテスト領域Taに供給される部品をテストヘッド
4に搬送(供給)して該試験の間テストヘッド4に対し
て部品を押圧した状態で保持(固定)し、試験後は、部
品をそのままシャトルロボット30A,30Bに受け渡
す(排出する)装置である。
The test robot 40 uses the shuttle robots 30A and 30B to store the tray storage area S as described above.
The component supplied from a to the test area Ta is conveyed (supplied) to the test head 4 and is held (fixed) while being pressed against the test head 4 during the test. After the test, the component is left as it is. It is a device that delivers (discards) the shuttle robots 30A and 30B.

【0044】このテストロボット40は、シャトルロボ
ット30A,30Bを跨ぐように基台2a上に設けられ
た高架2bに沿って移動する一対の搬送用ヘッド42
A,42B(第1搬送用ヘッド42A,第2搬送用ヘッ
ド42B)を有しており、これら搬送用ヘッド42A,
42Bに夫々搭載された一対のヘッド本体43a,43
bによりテストヘッド4に対して部品の供給及び排出を
行うように構成されている。
The test robot 40 includes a pair of transfer heads 42 that move along an elevated 2b provided on the base 2a so as to straddle the shuttle robots 30A and 30B.
A, 42B (first carrying head 42A, second carrying head 42B), and these carrying heads 42A,
42B, a pair of head bodies 43a, 43 respectively mounted on
The component b is configured to be supplied to and discharged from the test head 4.

【0045】各ヘッド本体43a,43bは、それぞれ
搬送用ヘッド42A,42Bに対してX軸方向及びY軸
方向の移動が可能に構成され、サーボモータを駆動源と
する図外の駆動機構により駆動するように構成されてい
る。
Each of the head bodies 43a and 43b is configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the carrying heads 42A and 42B, and is driven by a drive mechanism (not shown) using a servo motor as a drive source. Is configured to.

【0046】各ヘッド本体43a,43bには、それぞ
れ部品吸着用のノズル部材(図示省略)が搭載されてい
る。各ノズル部材は、ヘッド本体43a,43bのフレ
ームに対して昇降及び回転(ノズル軸回りの回転)が可
能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆
動機構により駆動するように構成されている。また、各
ヘッド本体43a又は43bの一方には、テストヘッド
4への部品供給の際にソケットに付された基準マークを
撮像するためのCCDエリアセンサからなるソケット認
識カメラ62が搭載されている。
Nozzle members (not shown) for picking up components are mounted on the head bodies 43a and 43b, respectively. Each nozzle member can be moved up and down and rotated (rotated around the nozzle axis) with respect to the frame of the head bodies 43a and 43b, and is configured to be driven by a drive mechanism (not shown) using a servo motor as a drive source. Has been done. In addition, one of the head bodies 43a or 43b is equipped with a socket recognition camera 62 including a CCD area sensor for capturing an image of a reference mark attached to the socket when supplying components to the test head 4.

【0047】テスト領域Taには、さらに前記シャトル
ロボット30A,30Bの部品受渡し位置P2とテスト
ヘッド4との間に、夫々CCDエリアセンサからなる部
品認識カメラ64A,64Bが上向きに配設されてい
る。これらのカメラ64A,64Bは、各搬送用ヘッド
42A,42Bによる部品の吸着状態をテストヘッド4
への搬入に先立って撮像するもので、シャトルロボット
30A(又は30B)からの搬送用ヘッド42A(又は
42B)による部品の取り上げ後、該搬送用ヘッド42
A(又は42B)が部品認識カメラ64A(又は64
B)上方に移動することにより各ヘッド本体43a,4
3bのノズル部材に吸着されている部品を撮像するよう
に構成されている。なお、部品受渡し位置P2、部品認
識カメラ64A,64B及びテストヘッド4は、X軸と
平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用
ヘッド42A,42Bを夫々部品受渡し位置P2からテ
ストヘッド4に亘って最短距離で移動させながその途中
で試験前の部品を撮像し得るように構成されている。
In the test area Ta, between the component transfer positions P2 of the shuttle robots 30A and 30B and the test head 4, component recognition cameras 64A and 64B each composed of a CCD area sensor are arranged upward. . These cameras 64A and 64B detect the suction state of the components by the respective transport heads 42A and 42B.
An image is picked up before being carried in the carriage head 42A (or 42B) from the shuttle robot 30A (or 30B).
A (or 42B) is a component recognition camera 64A (or 64)
B) By moving upward, each head body 43a, 4a
It is configured to capture an image of the component sucked by the nozzle member 3b. The component delivery position P2, the component recognition cameras 64A and 64B, and the test head 4 are arranged on the same axis line parallel to the X axis, whereby the transfer heads 42A and 42B are respectively moved from the component delivery position P2 to the test head. It is configured such that the parts before the test can be imaged on the way while not being moved at the shortest distance over four points.

【0048】なお、ハンドラ2の上部には、図1に示す
ように防塵用のカバー2cが装着されており、テスト領
域Ta及びトレイ収納領域Saを含む基台2a上の空間
がこのカバー2cによって覆われている。
A dustproof cover 2c is mounted on the upper part of the handler 2 as shown in FIG. 1, and the space on the base 2a including the test area Ta and the tray storage area Sa is covered by the cover 2c. Is covered.

【0049】前記試験装置1には、図示を省略するが、
論理演算を実行する周知のCPUと、そのCPUを制御
する種々のプログラムなどを予め記憶するROMと、装
置動作中に種々のデータを一時的に記憶するRAMとを
備えた制御装置(制御手段)が搭載されており、前記試
験装置本体3、部品認識カメラ34,64A,64B及
びソケット認識カメラ62や、各トレイ収納部12〜1
5、P&Pロボット20、テストロボット40、シャト
ルロボット30A,30B等の各コントローラ等がこの
制御装置に電気的に接続されている。そして、この制御
装置により前記P&Pロボット20等の駆動が統括的に
制御されることにより順次部品の試験が行われるように
なっている。以下、この部品試験動作について説明す
る。
Although not shown in the drawing, the test apparatus 1 is not shown.
A control device (control means) including a well-known CPU that executes logical operations, a ROM that stores in advance various programs for controlling the CPU, and a RAM that temporarily stores various data during operation of the device Is mounted, the test apparatus main body 3, the component recognition cameras 34, 64A, 64B, the socket recognition camera 62, and the tray storage units 12 to 1 are installed.
5, P & P robot 20, test robot 40, shuttle robots 30A and 30B, and other controllers are electrically connected to this control device. Then, the drive of the P & P robot 20 or the like is comprehensively controlled by this control device so that the components are sequentially tested. The component test operation will be described below.

【0050】まず、第1シャトルロボット30Aのテー
ブル32が部品受渡し位置P1にセットされ、前記P&
Pロボット20により第2トレイ収納部12又は第3ト
レイ収納部13のトレイTrから未試験の部品が取り出
されて前記テーブル32上に載置される。この際、2つ
の部品が同時にトレイTrから取り出されてテーブル3
2上に載置される。
First, the table 32 of the first shuttle robot 30A is set at the parts delivery position P1, and the P &
The P robot 20 takes out untested parts from the tray Tr of the second tray storage section 12 or the third tray storage section 13 and places them on the table 32. At this time, the two parts are taken out from the tray Tr at the same time and the table 3
2 is placed on.

【0051】次いで、該テーブル32が部品受渡し位置
P1から部品受渡し位置P2に移動することによりトレ
イ収納領域Saからテスト領域Taに部品が搬送され、
テーブル32が部品受渡し位置P2に到達すると、第1
搬送用ヘッド42Aの各ヘッド本体43a,43bによ
りテーブル32上の部品が吸着されることによりテーブ
ル32からピックアップされる。なお、当該アップ動作
の後、テーブル32は、再度部品受渡し位置P1に移動
し、P&Pロボット20から次の部品を受け取った後、
再び部品受渡し位置P2に移動して待機する。
Next, the table 32 is moved from the component delivery position P1 to the component delivery position P2, whereby the components are transported from the tray storage area Sa to the test area Ta,
When the table 32 reaches the parts delivery position P2, the first
Parts on the table 32 are picked up by the head bodies 43a and 43b of the carrying head 42A as they are adsorbed. After the up operation, the table 32 moves to the component delivery position P1 again, and after receiving the next component from the P & P robot 20,
It moves to the parts delivery position P2 again and stands by.

【0052】そして、テーブル32から部品がピックア
ップされると、第1搬送用ヘッド42Aの移動に伴い該
部品が部品認識カメラ64Aの上方に搬送され、ここで
部品の吸着状態が画像認識され、さらにテストヘッド4
の上方に搬送された後、各部品がテストヘッド4の各ソ
ケットに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされ
る。これにより部品の試験が開始される。この際、前記
ソケット認識カメラ62によるソケット上のマークの画
像認識結果と、部品認識カメラ64Aによる部品の吸着
状態の画像認識結果とに応じて第1搬送用ヘッド42A
が駆動制御されることにより、ソケットと各部品との位
置関係にずれがある場合にはそのずれが補正され、これ
により各部品がソケット内に正確に位置決めされること
となる。
Then, when the component is picked up from the table 32, the component is transported to above the component recognition camera 64A with the movement of the first transport head 42A, and the suction state of the component is image-recognized there, and further. Test head 4
After being conveyed above, the parts are positioned while being simultaneously pressed against the sockets of the test head 4, respectively. This starts the component test. At this time, according to the result of image recognition of the mark on the socket by the socket recognition camera 62 and the result of image recognition of the component suction state by the component recognition camera 64A, the first carrying head 42A.
The drive is controlled so that if there is a deviation in the positional relationship between the socket and each component, the deviation is corrected, whereby each component is accurately positioned in the socket.

【0053】部品の試験が終了すると、各部品がテスト
ヘッド4のソケットから取り外され、第1搬送用ヘッド
42Aの移動に伴い第1シャトルロボット30Aとの部
品受渡し位置P2に搬送されてテーブル32上に載置さ
れる。この際、テーブル32上には、上述のように次ぎ
の部品(未試験の部品)が既に載置されており、従っ
て、試験後の部品がテーブル32上に移載されると、第
1搬送用ヘッド42Aにより直ちにテーブル32上の次
の部品がピックアップされてテストヘッド4に搬送され
ることとなる。
When the component test is completed, each component is removed from the socket of the test head 4 and is transported to the component delivery position P2 with the first shuttle robot 30A as the first transport head 42A moves. Placed on. At this time, the next component (untested component) is already placed on the table 32 as described above. Therefore, when the component after the test is transferred to the table 32, the first conveyance is performed. The next head 42A immediately picks up the next component on the table 32 and conveys it to the test head 4.

【0054】一方、試験後の部品は、テーブル32が部
品受渡し位置P2から部品受渡し位置P1に移動するこ
とによりテスト領域Taからトレイ収納領域Saに戻さ
れる。
On the other hand, the component after the test is returned from the test area Ta to the tray storage area Sa by moving the table 32 from the component delivery position P2 to the component delivery position P1.

【0055】トレイ収納領域Saに戻された部品は、P
&Pロボット20のヘッド23によりテーブル32から
ピックアップされた後、部品認識カメラ34の上方に搬
送され、ここで部品の吸着状態が画像認識された後、試
験結果に応じて第3トレイ収納部14又は第4トレイ収
納部15に搬送されてトレイTr内に収納される。この
際、部品認識カメラ34による部品の吸着状態の認識結
果に応じてP&Pロボット20が駆動制御されることに
より、各部品がトレイTr内の所定の部品収納凹部に正
確に位置決めされることとなる。
The parts returned to the tray storage area Sa are P
After being picked up from the table 32 by the head 23 of the & P robot 20, the image is conveyed to above the component recognition camera 34, where the suction state of the component is image-recognized, and then the third tray storage unit 14 or It is transported to the fourth tray storage portion 15 and stored in the tray Tr. At this time, the P & P robot 20 is driven and controlled according to the result of recognition of the suction state of the component by the component recognition camera 34, whereby each component is accurately positioned in a predetermined component storage recess in the tray Tr. .

【0056】以上の説明では、第1シャトルロボット3
0Aおよび第1搬送用ヘッド42Aにより部品を搬送し
ながら試験を行う場合について説明しているが、この試
験装置1では、上記のような第1シャトルロボット30
A等による部品の搬送動作に時間差をもたせた状態で第
2シャトルロボット30Bおよび第2搬送用ヘッド42
Bによる部品の搬送動作が行われるように構成されてい
る。つまり、第1シャトルロボット30A等による部品
の搬送と、第2シャトルロボット30B等による部品の
搬送とが移相をずらして行われることにより、テストヘ
ッド4に対してほぼ連続的に部品が搬入、搬出され、そ
の結果、部品の試験が効率的に行われるように構成され
ている。なお、第2シャトルロボット30Bおよび第2
搬送用ヘッド42Bによる部品の搬送動作は第1シャト
ルロボット30A等による動作と基本的に同一でありそ
の説明は省略する。
In the above description, the first shuttle robot 3
The case where the test is carried out while the parts are carried by the 0A and the first carrying head 42A has been described. In the test apparatus 1, the first shuttle robot 30 as described above is used.
The second shuttle robot 30B and the second transfer head 42 in a state where there is a time lag in the transfer operation of the part by A or the like.
It is configured such that the component conveying operation by B is performed. That is, the component transfer by the first shuttle robot 30A and the like and the component transfer by the second shuttle robot 30B and the like are performed with a phase shift, so that the component is carried into the test head 4 almost continuously. It is configured to be shipped and, as a result, to efficiently test the part. In addition, the second shuttle robot 30B and the second
The operation of transferring the component by the transfer head 42B is basically the same as the operation by the first shuttle robot 30A and the like, and the description thereof will be omitted.

【0057】上記のような試験操作中、トレイ収納領域
Saの各トレイ収納部21〜15は、前記制御装置によ
り以下のようにその動作が制御される。
During the test operation as described above, the operation of each of the tray accommodating portions 21 to 15 in the tray accommodating area Sa is controlled by the controller as follows.

【0058】すなわち、第2トレイ収納部12及び第3
トレイ収納部13には、未試験部品を収納したトレイT
rが前記テーブル16上に積層された状態で収納され、
かつ最上位のトレイTrが所定の部品取り出し高さ位置
に配置される。この際、各トレイ収納部12,13にお
いては各表示部12c,13cが黄色に点灯することに
よりその使用状態及び作動状態が表示される(図5参
照)。
That is, the second tray storage section 12 and the third tray storage section 12
The tray storage unit 13 includes a tray T storing untested parts.
r is stored on the table 16 in a stacked state,
Moreover, the uppermost tray Tr is arranged at a predetermined component take-out height position. At this time, in the tray storage sections 12 and 13, the display sections 12c and 13c are lit in yellow to display the use state and the operating state (see FIG. 5).

【0059】そして、部品(試験前の部品)の取り出し
に伴い最上位のトレイTrが空になると、P&Pロボッ
ト20のヘッド23(トレイ用ノズル部材25)により
該空トレイTrが吸着されて第2トレイ収納部12等か
ら第1トレイ収納部11に移送されるとともに、トレイ
1枚分だけテーブル16が上昇する。これにより最上位
のトレイTrが前記取り出し高さ位置に配置され、第2
トレイ収納部12等において次ぎのトレイTrからの部
品の取り出しが行われることとなる。
When the uppermost tray Tr is emptied due to the removal of the component (component before the test), the empty tray Tr is sucked by the head 23 (tray nozzle member 25) of the P & P robot 20 and the second tray Tr is sucked. The table 16 is moved by one tray while being transferred from the tray storage 12 or the like to the first tray storage 11. As a result, the uppermost tray Tr is arranged at the take-out height position, and the second tray
The components are taken out from the next tray Tr in the tray storage unit 12 or the like.

【0060】なお、第2トレイ収納部12(第3トレイ
収納部13)内の全ての部品が取り出されると、前記表
示部12c(13c)が黄色の点灯から点滅に変更し、
その旨が表示される。そして、部品の補給が行われて未
試験部品の供給準備が完了すると、前記表示部12c
(13c)が再び黄色の点灯に変更されることとなる。
When all the parts in the second tray storage section 12 (third tray storage section 13) are taken out, the display section 12c (13c) is changed from yellow lighting to blinking,
A message to that effect is displayed. When the parts are replenished and the preparation for supplying the untested parts is completed, the display unit 12c
(13c) will be changed to yellow lighting again.

【0061】一方、第4トレイ収納部14および第5ト
レイ収納部15には、試験済みの部品を収納したトレイ
Trが前記テーブル16上に積層された状態で収納さ
れ、かつ最上位のトレイTrが所定の部品収納高さ位置
に配置される。この際、第4トレイ収納部14において
は表示部14cが赤色に、第5トレイ収納部15におい
ては表示部15cが青色にそれぞれ点灯することにより
その使用状態及び作動状態が表示される。
On the other hand, in the fourth tray storage portion 14 and the fifth tray storage portion 15, trays Tr storing the tested components are stored in a stacked state on the table 16, and the uppermost tray Tr. Is arranged at a predetermined component storage height position. At this time, the display portion 14c in the fourth tray storage portion 14 lights up in red, and the display portion 15c in the fifth tray storage portion 15 lights up in blue, thereby displaying the use state and the operating state.

【0062】そして、部品(試験済み部品)の収納に伴
いトレイTr(最上位のトレイ)が満載状態になると、
P&Pロボット20のヘッド23により第1トレイ収納
部11に置かれた空トレイTrが吸着されて第5トレイ
収納部15等に移送されて最上位のトレイ上に積み重ね
られるとともに、トレイ1枚分だけテーブル16が下降
する。これにより空トレイTrが前記部品収納高さ位置
に配置され、第5トレイ収納部15等に対して次ぎの部
品の収納が行われることとなる。
Then, when the tray Tr (topmost tray) becomes full with the storage of the components (tested components),
The head 23 of the P & P robot 20 adsorbs the empty tray Tr placed in the first tray storage section 11 and transfers it to the fifth tray storage section 15 and the like to be stacked on the uppermost tray, and only one tray is provided. The table 16 descends. As a result, the empty tray Tr is arranged at the component storage height position, and the next component is stored in the fifth tray storage portion 15 or the like.

【0063】なお、部品の収納に伴い所定数のトレイT
rが積層されて第4トレイ収納部14(第5トレイ収納
部15)が満載状態となると、前記表示部14c(15
c)が赤色(青色)の点灯から点滅に変更されてその旨
が表示される。そして、試験済みの部品がトレイTrと
共に取り出されて次の部品の収納準備が完了すると、前
記表示部12c(13c)が再び赤色(青色)の点灯に
変更されることとなる。
A predetermined number of trays T are stored as the parts are stored.
When r is stacked and the fourth tray storage portion 14 (fifth tray storage portion 15) is fully loaded, the display portion 14c (15
c) is changed from red (blue) lighting to blinking, and that effect is displayed. Then, when the tested component is taken out together with the tray Tr and the preparation for storing the next component is completed, the display portion 12c (13c) is changed to red (blue) lighting again.

【0064】ところで、当例では、上記のように第2ト
レイ収納部12及び第3トレイ収納部13に未試験の部
品を収納し、これらのトレイ収納部12等から部品を取
り出しながらテストヘッド4に供給する一方、試験済み
の部品をその結果に応じて第4トレイ収納部14及び第
5トレイ収納部15に収納するようにしているが、例え
ば、試験済み部品のうち不合格部品をさらにそのレベル
に応じて2種類に分類する場合があり、この場合には、
図6に示すように、第2トレイ収納部12が試験済み部
品(Fail)の収納部として使用されるとともに、試験済
みの部品を当該第2トレイ収納部12に収納するように
第2トレイ収納部12及び前記P&Pロボット20等の
駆動が制御される。この際には、上記表1に基づいて、
第2トレイ収納部12の表示部12cが赤色に点灯又は
点滅することによりその使用状態及び作動状態が表示さ
れることとなる。
By the way, in this example, untested parts are stored in the second tray storage section 12 and the third tray storage section 13 as described above, and the test head 4 is taken out while taking out the components from these tray storage sections 12 and the like. While the tested parts are stored in the fourth tray storage section 14 and the fifth tray storage section 15 according to the result, for example, rejected parts among the tested parts are further stored. Depending on the level, it may be classified into two types. In this case,
As shown in FIG. 6, the second tray storage section 12 is used as a storage section for the tested parts (Fail), and the second tray storage section stores the tested parts in the second tray storage section 12. The drive of the unit 12 and the P & P robot 20 is controlled. In this case, based on Table 1 above,
When the display unit 12c of the second tray storage unit 12 lights up or blinks in red, the use state and the operating state thereof are displayed.

【0065】また、図6に示すように試験済み部品のう
ち不合格部品をそのレベルに応じて2種類に分類した
後、その一方側の不合格部品を再度試験する場合があ
り、この場合には、試験済み部品(Fail)を収納した第
3トレイ収納部13又は第4トレイ収納部14から部品
を取り出すべく第3トレイ収納部13等及び前記P&P
ロボット20等の駆動が制御される。なお、この時に
は、一旦試験が行われた部品であっても取り扱いは再度
試験前の部品となるので、図7に示すように部品を取り
出すトレイ収納部(図示の例では第4トレイ収納部1
4)の表示部14cが黄色に点灯することとなる。
Further, as shown in FIG. 6, after rejected parts among the tested parts are classified into two types according to their levels, the rejected part on one side may be tested again. In this case, Is a third tray storage unit 13 or the like and the P & P for taking out components from the third tray storage unit 13 or the fourth tray storage unit 14 storing the tested parts (Fail).
The drive of the robot 20 or the like is controlled. At this time, even a component that has been tested once is handled as a component before the test again. Therefore, as shown in FIG. 7, a tray storage unit (in the illustrated example, the fourth tray storage unit 1) for taking out the component is used.
The display portion 14c of 4) will be illuminated in yellow.

【0066】以上説明したように、この試験装置1で
は、トレイ収納領域Saに設けられる4つのトレイ収納
部12〜15が試験対象部品の種類等に応じて使い分け
られるが、上記のように各トレイ収納部12〜15にそ
の使用状態及び作動状態を表示する表示部12c〜15
cが設けられているので、オペレータは各トレイ収納部
12〜15の使用状態等を外部から容易に認識すること
ができ、トレイTrの出し入れ作業を正確かつ速やかに
行うことができる。すなわち、上記のような表示がない
場合には、オペレータの思い違いにより対象外のトレイ
収納部に対してトレイの出し入れを行い、また、トレイ
の出し入れが可能な状態かどうかを外部から判断できな
いために作業を躊躇する場合があるが、上記の試験装置
1によれば、トレイ収納部12〜15の使用状態および
作動状態が外部から一目瞭然となるので、トレイTrの
出し入れ作業等を円滑かつ速やかに行うことができる。
As described above, in the test apparatus 1, the four tray accommodating sections 12 to 15 provided in the tray accommodating area Sa are used properly according to the type of the test object component, etc. Display units 12c to 15 that display the usage state and the operating state of the storage units 12 to 15
Since c is provided, the operator can easily recognize the usage state of each of the tray storage sections 12 to 15 from the outside, and the tray Tr can be put in and taken out accurately and promptly. In other words, if there is no such display, the operator may misunderstand that the tray storage unit that is not the target may be loaded or unloaded, and it may not be possible to externally judge whether the tray can be loaded or unloaded. Although the work may be hesitant, according to the test apparatus 1 described above, since the use state and the operating state of the tray storage portions 12 to 15 are easily apparent from the outside, the work of taking in and out the tray Tr or the like is performed smoothly and promptly. be able to.

【0067】特に、この試験装置1では、各表示部12
c〜15cが扉12b〜15bの上側近傍に設けられて
いるためオペレータの目に入り易く、トレイTrの出し
入れ時に注意を喚起することができる。従って、トレイ
Trの入れ間違い等の誤作業の発生を効果的に防止する
ことができるというメリットがある。
Particularly, in this test apparatus 1, each display unit 12
Since c to 15c are provided in the vicinity of the upper side of the doors 12b to 15b, it is easy for the operator to see and it is possible to call attention when the tray Tr is taken in and out. Therefore, there is a merit that it is possible to effectively prevent the occurrence of an erroneous operation such as a wrong insertion of the tray Tr.

【0068】なお、この実施形態では、表1に示したよ
うに表示する色およびその点灯状態(点灯/点滅)に基
づいて各トレイ収納部12〜15の使用状態および作動
状態を表示するようにしているが、勿論、これ以外の表
示方法を採用することもできる。例えば、トレイ収納部
毎に使用状態等に対応する複数のランプを設けておき、
これらランプをその使用状態等に応じて選択的に点灯さ
せるようにしてもよい。また、トレイ収納部毎に液晶表
示装置を設け、使用状態等を文字表示するようにしても
よい。この場合には、より詳細な情報を表示することが
可能となるため、例えば、部品(トレイ)残数、あるい
は収納数を表示するようにしてもよい。
In this embodiment, as shown in Table 1, the use state and the operating state of each tray accommodating section 12 to 15 are displayed based on the displayed color and its lighting state (lighting / blinking). However, it goes without saying that a display method other than this can also be adopted. For example, a plurality of lamps are provided for each tray storage section according to the usage status,
You may make it light these lamps selectively according to the use condition etc. Further, a liquid crystal display device may be provided for each tray storage unit to display the usage state in characters. In this case, since more detailed information can be displayed, for example, the number of remaining parts (trays) or the number of stored parts may be displayed.

【0069】また、表示する場所も、必ずしも扉12b
〜15bの上側である必要はなく、例えば扉自体に設け
るようにしてもよい。但し、オペレータの注意を喚起す
る上では、扉12b〜15b又はその近傍に設けるのが
好ましい。
Also, the display location is not always the door 12b.
It does not have to be above 15b, and may be provided on the door itself, for example. However, in order to call the operator's attention, it is preferable to provide the doors 12b to 15b or the vicinity thereof.

【0070】[0070]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の部品試験
装置は、各部品収納部に、少なくとも収納部品が試験前
の部品又は試験後の部品のいずれに該当するかを識別可
能とする使用状態に関する表示を行う表示手段を設けて
いるので、各部品収納部の使用目的が試験対象となる部
品の種類に応じて任意に変更される場合でも、表示手段
に表示されている内容に基づいて各部品収納部の使用状
態を外部から容易に認識することができる。そのため、
各部品収納部に対して部品を出し入れする際の誤作業等
の発生を防止して、作業性を向上させることができる。
As described above, the component testing apparatus of the present invention can be used in each component storage section to identify at least whether the stored component corresponds to a pre-test component or a post-test component. Since the display means for displaying the status is provided, even if the purpose of use of each component storage part is arbitrarily changed according to the type of the component to be tested, based on the content displayed on the display component. It is possible to easily recognize the usage state of each component storage unit from the outside. for that reason,
It is possible to prevent erroneous work and the like at the time of putting a component in and out of each component storage portion, and improve workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る部品試験装置を示す斜視概略図で
ある。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a component testing apparatus according to the present invention.

【図2】部品試験装置を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a component testing device.

【図3】トレイ収納領域の各トレイ収納部の構成を示す
断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of each tray storage portion in the tray storage area.

【図4】トレイ収納部の構成を示す図3のA−A断面図
である。
FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 3, showing the configuration of the tray storage section.

【図5】トレイ収納部における表示部の表示状態を示す
模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram showing a display state of a display unit in the tray storage unit.

【図6】トレイ収納部における表示部の表示状態を示す
模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a display state of a display unit in the tray storage unit.

【図7】トレイ収納部における表示部の表示状態を示す
模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a display state of a display section in the tray storage section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 部品試験装置 2 ハンドラ 3 試験装置本体 4 テストヘッド 11 第1トレイ収納部 12 第21トレイ収納部 13 第3トレイ収納部 14 第4トレイ収納部 15 第5トレイ収納部 12b〜15b 扉 12c〜15c 表示部 Sa トレイ収納領域 Ta テスト領域 Tr トレイ 1 Parts test equipment 2 handler 3 Test equipment body 4 test head 11 First tray storage 12 21st tray storage 13 Third tray storage 14 Fourth tray storage 15 Fifth tray compartment 12b-15b door 12c to 15c display section Sa tray storage area Ta test area Tr tray

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村松 啓且 静岡県磐田市新貝2500番地 ヤマハ発動機 株式会社内 (72)発明者 岸田 晃 静岡県磐田市新貝2500番地 ヤマハ発動機 株式会社内 Fターム(参考) 2G003 AF06 AF09 AG11 AH04 AH07   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Keika Muramatsu             Yamaha Motor, 2500 Shinkai, Iwata, Shizuoka Prefecture             Within the corporation (72) Inventor Akira Kishida             Yamaha Motor, 2500 Shinkai, Iwata, Shizuoka Prefecture             Within the corporation F-term (reference) 2G003 AF06 AF09 AG11 AH04 AH07

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 部品を収納可能な複数の部品収納部を有
し、試験前後の部品をそれぞれ収納するための収納部と
して前記複数の部品収納部が任意に使い分け可能に構成
された部品試験装置であって、 各部品収納部に、少なくとも収納部品が試験前の部品又
は試験後の部品のいずれに該当するかを識別可能とする
使用状態に関する表示を行う表示手段が設けられている
ことを特徴とする部品試験装置。
1. A component testing apparatus having a plurality of component storage portions capable of storing components, wherein the plurality of component storage portions can be arbitrarily used as storage portions for respectively storing components before and after a test. It is characterized in that each component storage section is provided with at least display means for displaying a usage state that enables identification of whether the stored component corresponds to a pre-test component or a post-test component. And parts testing equipment.
【請求項2】 請求項1に記載の部品試験装置におい
て、 前記各表示手段は、各部品収納部の作動状態を表示可能
に構成されていることを特徴とする部品試験装置。
2. The component testing apparatus according to claim 1, wherein each of the display means is configured to be able to display an operating state of each component storage section.
【請求項3】 請求項1又は2に記載の部品試験装置に
おいて、 各部品収納部は部品出し入れ用の扉を有するものであっ
て、前記表示手段はこの扉か、又はその近傍に設けられ
ていることを特徴とする部品試験装置。
3. The component testing apparatus according to claim 1 or 2, wherein each component storage portion has a door for loading and unloading components, and the display means is provided at or near this door. Part testing device characterized by
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