JP2003272119A - Wiring member, suspension, and head gimbal assembly - Google Patents

Wiring member, suspension, and head gimbal assembly

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JP2003272119A
JP2003272119A JP2002072001A JP2002072001A JP2003272119A JP 2003272119 A JP2003272119 A JP 2003272119A JP 2002072001 A JP2002072001 A JP 2002072001A JP 2002072001 A JP2002072001 A JP 2002072001A JP 2003272119 A JP2003272119 A JP 2003272119A
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read
trace conductor
side trace
pair
conductor layers
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建 和田
Takashi Honda
隆 本田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring member, a suspension and a head gimbal assembly (HGA) capable of employing a high frequency for a read frequency and not deteriorating a write characteristic. <P>SOLUTION: The wiring member is provided with: at least a couple of write side trace conductor layers one-side ends of which electrically connected to a write head element of a thin film magnetic head when mounted; a couple of read side trace conductor layers one-side ends of which electrically connected to a read head element of the thin film magnetic head when mounted; and a resin layer on the upper surface of which a couple of the write side trace conductors and a couple of the read side trace conductors are formed and the lower surface of which is in contact with a ground conductor face when mounted, and a gap SR between a couple of the read side trace conductors is at least partly greater than a gap SW of a couple of the write side trace conductors. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ディス
ク装置(HDD)等に用いられる薄膜磁気ヘッドの書込
みヘッド素子及び読出しヘッド素子に電気的に接続され
る配線部材、配線部材を備えたサスペンション、及び薄
膜磁気ヘッド及びサスペンションを搭載してなるヘッド
ジンバルアセンブリ(HGA)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring member electrically connected to a write head element and a read head element of a thin film magnetic head used in, for example, a magnetic disk device (HDD), and a suspension provided with the wiring member. And a head gimbal assembly (HGA) including a thin film magnetic head and a suspension.

【0002】[0002]

【従来の技術】HDDでは、HGAのサスペンションの
先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転す
る磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この
磁気ヘッドスライダに搭載された書込み磁気ヘッド素子
により磁気ディスクへの記録を行い、同じく搭載された
読出し磁気ヘッド素子により磁気ディスクからの再生を
行う。
2. Description of the Related Art In an HDD, a magnetic head slider attached to the tip of an HGA suspension is levitated from the surface of a rotating magnetic disk, and in that state, a write magnetic head element mounted on this magnetic head slider is used. Recording is performed on the magnetic disk, and reproduction is also performed from the magnetic disk by the read magnetic head element that is also mounted.

【0003】磁気ヘッドスライダに設けられた書込み磁
気ヘッド素子及び読出し磁気ヘッド素子用の端子電極に
は、信号線の一端がそれぞれ電気的に接続されており、
これら信号線の他端は、サスペンションを通って、その
後端部又はその外側に設けられた外部接続端子にそれぞ
れ電気的に接続されている。
One end of the signal line is electrically connected to the terminal electrodes for the write magnetic head element and the read magnetic head element provided on the magnetic head slider, respectively.
The other ends of these signal lines pass through the suspension and are electrically connected to external connection terminals provided at the rear end or outside thereof.

【0004】近年、このような磁気ヘッドスライダへの
信号線、即ち配線部材として、リードワイヤを用いない
構造が普及している。これは、ワイヤレスサスペンショ
ンや、フレクシブルプリント回路(FPC)を用いた構
造である。
In recent years, a structure in which a lead wire is not used as a signal line to such a magnetic head slider, that is, a wiring member, has become widespread. This is a structure using a wireless suspension and a flexible printed circuit (FPC).

【0005】ワイヤレスサスペンションは、配線部材と
して、樹脂層、トレース導体層及び樹脂層を順次積層し
たパターンをサスペンション上に直接形成して構成され
るか、又はサスペンションとは別個のステンレス薄板上
に樹脂層、トレース導体層及び樹脂層を順次積層し、こ
れをサスペンション上にレーザ溶接して構成される。
The wireless suspension is constructed by directly forming a pattern in which a resin layer, a trace conductor layer and a resin layer are sequentially laminated on the suspension as a wiring member, or by forming a resin layer on a stainless thin plate separate from the suspension. , A trace conductor layer and a resin layer are sequentially laminated, and this is laser-welded on the suspension.

【0006】配線部材としてFPCを用いた構造は、樹
脂層上にトレース導体層を形成し、その上に樹脂の被覆
層を形成してFPCを構成し、このFPCを通常のサス
ペンション上に接着して使用される。
In a structure using an FPC as a wiring member, a trace conductor layer is formed on a resin layer, a resin coating layer is formed on the trace conductor layer to form an FPC, and the FPC is bonded onto an ordinary suspension. Used.

【0007】このようなワイヤレスサスペンション及び
FPCを用いた構造において、書込み磁気ヘッド素子の
2つの端子電極に接続される1対のトレース導体層及び
読出し磁気ヘッド素子の2つの端子電極に接続される1
対のトレース導体層をそれぞれ構成する従来の導体パタ
ーンは、書込み側においても読出し側においても、同じ
間隔を隔てて互いに隣接しかつ同じ線幅を有する1対の
平行線パターンとして形成されている。特に、FPCを
用いた構造においては、高い機械的剛性を持たせないた
めに、書込み側においても読出し側においても、線幅を
より細くしかつ間隔をより狭くすることが行われてい
た。
In the structure using such a wireless suspension and FPC, a pair of trace conductor layers connected to the two terminal electrodes of the write magnetic head element and one terminal connected to the two terminal electrodes of the read magnetic head element.
The conventional conductor patterns forming the pair of trace conductor layers are formed as a pair of parallel line patterns that are adjacent to each other at the same interval and have the same line width on both the writing side and the reading side. In particular, in the structure using the FPC, in order not to have high mechanical rigidity, the line width has been made thinner and the spacing has been made narrower on both the writing side and the reading side.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】近年のHDDの大容量
化及び高記録密度化に伴い、記録信号の高周波数化が進
んでおり、配線部材の有する容量(キャパシタンス)成
分及び誘導(インダクタンス)成分が無視できなくなっ
てきている。
With the recent increase in the capacity and recording density of HDDs, the frequency of recording signals is increasing, and the capacitance (capacitance) component and the induction (inductance) component of the wiring member. Can no longer be ignored.

【0009】今後、さらなる大容量化が進み、読出しヘ
ッド素子にトンネル型巨大磁気抵抗効果(TGMR)素
子等が用いられると、その構造ゆえに素子抵抗がより増
大することから、読出し周波数の高周波数化を図るため
には、配線部材の容量成分をさらに低下させることが重
要な課題となってくる。しかしながら、配線部材の容量
成分を低下させることは、誘導成分を増大させることに
つながり、電流の立ち上がり時間が遅れて書込み特性を
悪化させる原因となる。
When the tunnel head giant magnetoresistive effect (TGMR) element or the like is used for the read head element in the future with further increase in capacity, the element resistance will increase further due to its structure. Therefore, the read frequency will be increased. In order to achieve this, it is an important issue to further reduce the capacitance component of the wiring member. However, reducing the capacitance component of the wiring member leads to an increase in the inductive component, which delays the rise time of the current and causes deterioration of the write characteristic.

【0010】従って本発明は、従来技術のこの課題を解
消するためのものであり、その目的は、読出し周波数の
高周波数化を図ることができかつ書込み特性を悪化させ
ることがない配線部材、サスペンション及びHGAを提
供することにある。
Therefore, the present invention is intended to solve this problem of the prior art, and an object of the present invention is to provide a wiring member and a suspension that can increase the read frequency and do not deteriorate the write characteristics. And HGA.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、実装さ
れた際には薄膜磁気ヘッドの書込みヘッド素子に一端が
電気的に接続される1対の書込み側トレース導体層と、
実装された際には薄膜磁気ヘッドの読出しヘッド素子に
一端が電気的に接続される1対の読出し側トレース導体
層と、1対の書込み側トレース導体層及び1対の読出し
側トレース導体層が上表面上に積層形成されており、実
装された際には下表面がグランド導体面に接触せしめら
れる樹脂層とを少なくとも備えた配線部材であって、少
なくとも一部において、即ち書込み側トレース導体層及
び読出し側トレース導体層の主要な部分において、1対
の読出し側トレース導体層間の間隙Sが1対の書込み
側トレース導体層間の間隙Sより大きい配線部材が提
供される。
According to the present invention, a pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to a write head element of a thin film magnetic head when mounted,
A pair of read side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the read head element of the thin film magnetic head when mounted, a pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers. A wiring member, which is laminated on the upper surface and has at least a resin layer whose lower surface is brought into contact with the ground conductor surface when mounted, that is, at least in part, that is, the write side trace conductor layer. And a wiring member in which the gap S R between the pair of read side trace conductor layers is larger than the gap S W between the pair of write side trace conductor layers in the main part of the read side trace conductor layer.

【0012】本発明によれば、さらに、金属支持部材
と、金属支持部材上に積層形成された配線部材とを備え
たサスペンションであって、配線部材が、実装された際
には薄膜磁気ヘッドの書込みヘッド素子に一端が電気的
に接続される1対の書込み側トレース導体層と、実装さ
れた際には薄膜磁気ヘッドの読出しヘッド素子に一端が
電気的に接続される1対の読出し側トレース導体層と、
1対の書込み側トレース導体層及び1対の読出し側トレ
ース導体層が上表面上に積層形成されており、下表面が
金属支持部材に接触している樹脂層とを少なくとも有し
ており、少なくとも一部において、即ち書込み側トレー
ス導体層及び読出し側トレース導体層の主要な部分にお
いて、1対の読出し側トレース導体層間の間隙Sが1
対の書込み側トレース導体層間の間隙Sより大きいサ
スペンションが提供される。
According to the present invention, there is further provided a suspension including a metal supporting member and a wiring member laminated on the metal supporting member, wherein the wiring member is mounted on the thin film magnetic head when the wiring member is mounted. A pair of write side trace conductor layers whose one end is electrically connected to the write head element, and a pair of read side traces whose one end is electrically connected to the read head element of the thin film magnetic head when mounted. A conductor layer,
A pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers are laminated on the upper surface, and the lower surface has at least a resin layer in contact with the metal supporting member, and at least In a part, that is, in the main part of the write-side trace conductor layer and the read-side trace conductor layer, the gap S R between the pair of read-side trace conductor layers is 1
Gap S W greater than the suspension of pairs of write side trace conductor layers are provided.

【0013】本発明によれば、さらにまた、金属支持部
材と、金属支持部材上に装着されており、書込みヘッド
素子及び読出しヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ
と、金属支持部材上に積層形成された配線部材とを備え
たHGAであって、配線部材が、書込みヘッド素子に一
端が電気的に接続されている1対の書込み側トレース導
体層と、読出しヘッド素子に一端が電気的に接続されて
いる1対の読出し側トレース導体層と、1対の書込み側
トレース導体層及び1対の読出し側トレース導体層が上
表面上に積層形成されており、下表面が金属支持部材に
接触している樹脂層とを少なくとも有しており、少なく
とも一部において、即ち書込み側トレース導体層及び読
出し側トレース導体層の主要な部分において、1対の読
出し側トレース導体層間の間隙Sが1対の書込み側ト
レース導体層間の間隙Sより大きいHGAが提供され
る。
Further, according to the present invention, a metal supporting member, a magnetic head slider mounted on the metal supporting member and having a write head element and a read head element, and laminated on the metal supporting member. An HGA comprising a wiring member, the wiring member comprising a pair of write-side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to a write head element, and one end of which is electrically connected to a read head element. A pair of read-side trace conductor layers, a pair of write-side trace conductor layers and a pair of read-side trace conductor layers are laminated on the upper surface, and the lower surface is in contact with the metal supporting member. And a resin layer, and at least a part thereof, that is, a main portion of the write-side trace conductor layer and the read-side trace conductor layer, has a pair of read-side trace conductors. Gap S R interlayer gap S W greater than HGA pair of write side trace conductor layers are provided.

【0014】少なくとも一部において、即ち書込み側ト
レース導体層及び読出し側トレース導体層の主要な部分
において、各読出し側トレース導体層の幅Wが各書込
み側トレース導体層の幅Wより小さいことが好まし
い。
The width W R of each read side trace conductor layer is smaller than the width W W of each write side trace conductor layer in at least a part of the write side trace conductor layer and the read side trace conductor layer. Is preferred.

【0015】図1は、サスペンションの一部をその配線
部材の走る方向と垂直に切った断面図であり、10は金
属支持部材(グランド導体)、11はその上に積層形成
された配線部材をそれぞれ示している。配線部材11
は、樹脂層12と、その上にパターニングされた1対の
書込み側又は読出し側トレース導体層13a及び13b
と、これらトレース導体層13a及び13bを被覆する
被覆層14とから形成されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a part of the suspension taken perpendicularly to the running direction of the wiring member. 10 is a metal supporting member (ground conductor), 11 is a wiring member laminated and formed thereon. Shown respectively. Wiring member 11
Is a resin layer 12 and a pair of write-side or read-side trace conductor layers 13a and 13b patterned on the resin layer 12.
And a coating layer 14 that covers these trace conductor layers 13a and 13b.

【0016】樹脂層12の厚さD、トレース導体層13
a及び13bの厚さT又はTは、サスペンションや
配線部材の製造工法の関係上から、書込み側と読出し側
とで互いに異ならせることが非常に困難である。このた
め、通常は、書込み側及び読出し側共に、同じ厚さの樹
脂層及びトレース導体層を用いる。
The thickness D of the resin layer 12 and the trace conductor layer 13
It is very difficult to make the thicknesses T W or T R of a and 13b different between the writing side and the reading side due to the manufacturing method of the suspension and the wiring member. Therefore, usually, the resin layer and the trace conductor layer having the same thickness are used on both the write side and the read side.

【0017】容量成分は、対グランド容量成分Cと線
間容量成分Cとから構成されるが、読出し側の配線の
容量成分を低減化する場合、特にトンネル型GMR素子
においては、対グランド容量成分Cを低減化するより
も線間容量成分Cを低減化した方がより良好な周波数
特性が得られることが本願発明者等のシミュレーション
結果から判明している。従って、読出し側トレース導体
層の線間容量成分Cを低減するべくその間隙Sをよ
り大きくすることが望ましい。書込み側において、この
ようにトレース導体層の間隙Sを大きくすることは、
誘導成分が増大するので望ましくない。従って、少なく
とも一部において、読出し側トレース導体層間の間隙S
のみを、これが1対の書込み側トレース導体層間の間
隙Sより大きくなるように広げ、読出し側の配線の容
量成分をより低減化している。
The capacitance component is composed of a capacitance component C G to the ground and a capacitance component C L between the lines, but in the case of reducing the capacitance component of the wiring on the read side, especially in the tunnel type GMR element, the capacitance component to the ground is used. It has been found from the simulation results by the inventors of the present application that a better frequency characteristic can be obtained by reducing the line capacitance component C L than by reducing the capacitance component C G. Therefore, it is desirable to increase the gap S R in order to reduce the line capacitance component C L of the read side trace conductor layer. In the write side, thus increasing the gap S W trace conductor layer,
This is undesirable because it increases the induction component. Therefore, at least in part, the gap S between the read side trace conductor layers is
Only R, which is spread so as to be larger than the gap S W of the pair of write side trace conductor layers, and further reduced the capacitive component of the read-side wiring.

【0018】なお、これに加えて対グランド容量成分C
を低減化することもさらに読出し側の配線の容量成分
を低減化することとなる。そのためには、読出し側トレ
ース導体層の幅Wをより小さくすることが望ましい。
書込み側において、このようにトレース導体層の幅W
を小さくすると、書込み電流による発熱が問題となるの
で望ましくない。従って、少なくとも一部において、読
出し側トレース導体層の幅Wのみを、これが各書込み
側トレース導体層の幅Wより小さくなるように狭くす
ることがより好ましい。
In addition to this, the capacitance component C to the ground
Reducing G also reduces the capacitance component of the wiring on the read side. For this purpose, it is desirable to further reduce the width W R of the read-side trace conductor layer.
On the write side, the width W W of the trace conductor layer is thus
If the value is small, heat generation due to the write current becomes a problem, which is not desirable. Therefore, at least in part, it is more preferable to narrow only the width W R of the read side trace conductor layer so that it is smaller than the width W W of each write side trace conductor layer.

【0019】本発明によれば、さらに、実装された際に
は薄膜磁気ヘッドの書込みヘッド素子に一端が電気的に
接続される1対の書込み側トレース導体層と、実装され
た際には薄膜磁気ヘッドの読出しヘッド素子に一端が電
気的に接続される1対の読出し側トレース導体層と、1
対の書込み側トレース導体層及び1対の読出し側トレー
ス導体層が上表面上に積層形成されており、実装された
際には下表面がグランド導体面に接触せしめられる樹脂
層とを少なくとも備えた配線部材であって、各読出し側
トレース導体層の幅及び厚さをW及びTとし、1対
の読出し側トレース導体層間の間隙をSとし、樹脂層
の厚さをDとすると、読出し側トレース導体層の主要な
部分において、(W/D)/(T/S)が、5.
7以上である配線部材が提供される。
According to the present invention, further, a pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the write head element of the thin film magnetic head when mounted, and the thin film when mounted. A pair of read side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the read head element of the magnetic head;
A pair of write-side trace conductor layers and a pair of read-side trace conductor layers are laminated on the upper surface, and at least include a resin layer whose lower surface is brought into contact with the ground conductor surface when mounted. In the wiring member, assuming that the width and thickness of each read side trace conductor layer are W R and T R , the gap between the pair of read side trace conductor layers is S R, and the thickness of the resin layer is D, in the main part of the reading-side trace conductor layer, it is (W R / D) / ( T R / S R), 5.
A wiring member having a number of 7 or more is provided.

【0020】本発明によれば、またさらに、金属支持部
材と、金属支持部材上に積層形成された配線部材とを備
えたサスペンションであって、配線部材が、実装された
際には薄膜磁気ヘッドの書込みヘッド素子に一端が電気
的に接続される1対の書込み側トレース導体層と、実装
された際には薄膜磁気ヘッドの読出しヘッド素子に一端
が電気的に接続される1対の読出し側トレース導体層
と、1対の書込み側トレース導体層及び1対の読出し側
トレース導体層が上表面上に積層形成されており、下表
面が金属支持部材に接触している樹脂層とを少なくとも
有しており、各読出し側トレース導体層の幅及び厚さを
及びTとし、1対の読出し側トレース導体層間の
間隙をSとし、樹脂層の厚さをDとすると、読出し側
トレース導体層の主要な部分において、(W/D)/
(T/S)が、5.7以上であるサスペンションが
提供される。
According to the present invention, a suspension comprising a metal supporting member and a wiring member laminated on the metal supporting member, wherein the wiring member is mounted on the thin film magnetic head. Pair of write-side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the write head element, and a pair of read-sides, one end of which is electrically connected to the read head element of the thin-film magnetic head when mounted. At least a trace conductor layer, a pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers are laminated on the upper surface, and the lower surface is a resin layer in contact with the metal supporting member. Assuming that the width and thickness of each read side trace conductor layer is W R and T R, and the gap between the pair of read side trace conductor layers is S R, and the thickness of the resin layer is D, the read side is Trace conductor layer In principal part, (W R / D) /
(T R / S R) is provided a suspension is 5.7 or more.

【0021】本発明によれば、さらに、金属支持部材
と、金属支持部材上に装着されており、書込みヘッド素
子及び読出しヘッド素子を有する磁気ヘッドスライダ
と、金属支持部材上に積層形成された配線部材とを備え
たHGAであって、配線部材が、書込みヘッド素子に一
端が電気的に接続されている1対の書込み側トレース導
体層と、読出しヘッド素子に一端が電気的に接続されて
いる1対の読出し側トレース導体層と、1対の書込み側
トレース導体層及び1対の読出し側トレース導体層が上
表面上に積層形成されており、下表面が金属支持部材に
接触している樹脂層とを少なくとも有しており、各読出
し側トレース導体層の幅及び厚さをW及びTとし、
1対の読出し側トレース導体層間の間隙をSとし、樹
脂層の厚さをDとすると、読出し側トレース導体層の主
要な部分において、(W/D)/(T/S)が、
5.7以上であるHGAが提供される。
According to the present invention, further, a metal supporting member, a magnetic head slider mounted on the metal supporting member and having a write head element and a read head element, and a wiring laminated on the metal supporting member. And a wiring member having a pair of write side trace conductor layers electrically connected at one end to the write head element and one end electrically connected to the read head element. A resin in which a pair of read side trace conductor layers, a pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers are laminated on the upper surface, and the lower surface is in contact with the metal supporting member. and a layer which at least has the width and thickness of each read-side trace conductor layer and W R and T R,
A gap of a pair of read-side trace conductor layers and S R, and the thickness of the resin layer is D, the main part of the reading-side trace conductor layer, (W R / D) / (T R / S R) But,
An HGA that is 5.7 or higher is provided.

【0022】トレース導体層13a及び13bが単位長
さを有していると考えると、図1に示すように、読出し
側の各トレース導体層のグランド導体面に対向する面の
面積はWで表され、読出し側の各トレース導体層の配
線間隔方向の面の面積はTで表される。従って、読出
し側の配線部材の対グランド容量成分CはW/Dに
対応しており、読出し側の配線部材の線間容量成分C
はT/Sに対応している。即ち、(W/D)/
(T/S)は読出し側トレース導体層のC/C
を表すこととなる。読出し側トレース導体層の主要な部
分において、この読出し側トレース導体層のC
、即ち、(W/D)/(T/S)を5.7以
上とすれば、100MHz以上の周波数領域における読
出し側トレース導体層の線間容量の実測値を0.5pF
以下に抑えられることが本願発明者等の実験結果から判
明している。
[0022] Given a trace conductor layer 13a and 13b has a unit length, as shown in FIG. 1, the area of the surface facing the ground conductor face of each trace conductor layer on the read side is W R represented, the area of the wiring interval direction of the surface of each trace conductor layer on the read side is represented by T R. Therefore, the capacitance component C G to the ground of the wiring member on the read side corresponds to W R / D, and the line capacitance component C L of the wiring member on the read side.
Corresponds to the T R / S R is. In other words, (W R / D) /
(T R / S R) is a read-side trace conductor layer C G / C L
Will be represented. In the main part of the read side trace conductor layer, CG /
C L, i.e., (W R / D) / if (T R / S R) 5.7 or more, 0.5 pF measured values of line-to-line capacitance of the read-side trace conductor layer in the frequency region above 100MHz
It is known from the experimental results of the inventors of the present application that the following can be suppressed.

【0023】金属支持部材が、薄膜磁気ヘッド即ち磁気
ヘッドスライダの浮上姿勢を安定させるための弾性を有
するフレクシャと、フレクシャを支持しており、薄膜磁
気ヘッド即ち磁気ヘッドスライダに荷重を印加するため
のロードビームとを含んでいることが好ましい。
The metal supporting member supports the flexure having elasticity for stabilizing the flying posture of the thin film magnetic head, that is, the magnetic head slider, and the flexure, and applies a load to the thin film magnetic head, that is, the magnetic head slider. And a load beam.

【0024】読出しヘッド素子が、磁気抵抗効果(M
R)膜を備えた磁気ヘッド素子であることも好ましい。
The read head element has a magnetoresistive effect (M
It is also preferable that the magnetic head element has an R) film.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図2は本発明のHGAの一実施形
態を示しており、(A)はそのHGA全体の平面図、
(B)はその磁気ヘッドスライダの斜視図であり、図3
はそのサスペンション及び配線部材の先端部を詳細に示
す拡大平面図である。
FIG. 2 shows an embodiment of the HGA of the present invention, (A) is a plan view of the entire HGA,
3B is a perspective view of the magnetic head slider, and FIG.
FIG. 3 is an enlarged plan view showing in detail the suspension and the tip of the wiring member.

【0026】これらの図に示すように、本実施形態のH
GAは、サスペンション20上に配線部材であるFPC
21を固着し、このサスペンション20及びFPC21
の先端部に少なくとも1つの薄膜磁気ヘッド素子を備え
た磁気ヘッドスライダ22を固着することによって構成
される。なお、図示されていないが、そのFPC21の
途中にヘッド駆動及び読出し信号増幅用ICチップを装
着しても良い。
As shown in these figures, H of the present embodiment
GA is a wiring member on the suspension 20 and FPC.
21 is fixed to the suspension 20 and the FPC 21.
The magnetic head slider 22 having at least one thin film magnetic head element is fixed to the tip of the magnetic head slider 22. Although not shown, an IC chip for head drive and read signal amplification may be mounted in the middle of the FPC 21.

【0027】サスペンション20は、磁気ヘッドスライ
ダ22を一方の端部で担持する弾性を有するフレクシャ
23と、フレクシャ23を支持固着しておりこれも弾性
を有するロードビーム24と、ロードビーム24の基部
に設けられたベースプレート25とから主として構成さ
れている。
The suspension 20 has an elastic flexure 23 for carrying the magnetic head slider 22 at one end, a load beam 24 which also supports and secures the flexure 23, and a flexure 23 at the base of the load beam 24. It is mainly composed of a base plate 25 provided.

【0028】磁気ヘッドスライダ22には、書込みヘッ
ド素子及びMR読出しヘッド素子による少なくとも1つ
の薄膜磁気ヘッド素子22aと、書込みヘッド素子に電
気的に接続されている2つの端子電極22b及び22
と、MR読出しヘッド素子に電気的に接続されてい
る2つの端子電極22b及び22bとが形成されて
いる。磁気ヘッドスライダ22の大きさは、単なる一例
であるが、1.25mm×1.0mm×0.3mmであ
る。MR読出しヘッド素子は、例えばトンネル型GMR
素子である。
The magnetic head slider 22, the write head element and an MR read head and at least one thin-film magnetic head element 22a by element, the write head element 2 which is electrically connected to the terminal electrodes 22b 1 and 22
and b 2, are formed electrically connected to 2 are two terminal electrodes 22b 3 and 22b 4 in the MR read head element. The size of the magnetic head slider 22, which is merely an example, is 1.25 mm × 1.0 mm × 0.3 mm. The MR read head element is, for example, a tunnel type GMR.
It is an element.

【0029】フレクシャ23は、ロードビーム24に設
けられたディンプルを中心とする軟らかい舌部(図示な
し)を持ち、この舌部で磁気ヘッドスライダ22を柔軟
に支えて浮上姿勢を安定させるような弾性を持ってい
る。このフレクシャ23は、本実施形態では、厚さ約2
5μmのステンレス鋼板(例えばSUS304TA)に
よって構成されている。
The flexure 23 has a soft tongue portion (not shown) centering on the dimple provided on the load beam 24, and the tongue portion elastically supports the magnetic head slider 22 flexibly and stabilizes the flying posture. have. The flexure 23 has a thickness of about 2 in this embodiment.
It is made of a 5 μm stainless steel plate (for example, SUS304TA).

【0030】ロードビーム24は、磁気ヘッドスライダ
22を磁気ディスク方向に押さえつけて浮上量を安定さ
せるための弾性を持っている。このロードビーム24
は、先端に向けて幅が狭くなる形状の約60〜65μm
厚の弾性を有するステンレス鋼板で構成されており、フ
レクシャ23をその全長に渡って固着支持している。フ
レクシャ23とロードビーム24とのこの固着は、レー
ザ溶接等によるスポット溶接でなされている。なお、本
実施形態のように、フレクシャ23とロードビーム24
とが独立した部品である3ピース構造のサスペンション
では、ロードビーム24の剛性はフレクシャ23の剛性
より高くなっている。
The load beam 24 has elasticity for pressing the magnetic head slider 22 toward the magnetic disk to stabilize the flying height. This load beam 24
Is approximately 60 to 65 μm in a shape in which the width becomes narrower toward the tip.
The flexure 23 is fixedly supported over its entire length and is made of a thick stainless steel plate. The fixation between the flexure 23 and the load beam 24 is made by spot welding such as laser welding. As in the present embodiment, the flexure 23 and the load beam 24
In a three-piece structure suspension in which and are independent components, the rigidity of the load beam 24 is higher than the rigidity of the flexure 23.

【0031】ベースプレート25は、ロードビーム24
より肉厚のステンレス鋼又は鉄で構成されており、ロー
ドビーム24の基部にレーザ等によるスポット溶接で固
着されている。このベースプレート25の取り付け部2
5aを図示しない支持アームに機械的なかしめにより固
着することによって、HGAの支持アームへの取り付け
が行われる。
The base plate 25 is a load beam 24.
It is made of thicker stainless steel or iron and is fixed to the base of the load beam 24 by spot welding using a laser or the like. Mounting part 2 of this base plate 25
The HGA is attached to the support arm by fixing 5a to the support arm (not shown) by mechanical caulking.

【0032】フレクシャ23及びロードビーム24の表
面上には、FPC21の一部が接着剤によって接着固定
されている。ただし、このFPC21は、ロードビーム
24及びベースプレート25の間で空間に浮いた構造と
なっており、さらに、ベースプレート25の後方に長く
延長したロングテール構造となっている。
On the surfaces of the flexure 23 and the load beam 24, a part of the FPC 21 is adhered and fixed by an adhesive. However, the FPC 21 has a structure that floats in the space between the load beam 24 and the base plate 25, and further has a long tail structure that extends long behind the base plate 25.

【0033】FPC21には、書込みヘッド素子用の信
号線として1対の書込み側トレース導体層26a及び
26aとMR読出しヘッド素子用の信号線として1対
の読出し側トレース導体層26a及び26aとが設
けられている。FPC21の先端部には、書込みヘッド
素子用の接続パッド26b及び26bと読出しヘッ
ド素子用の接続パッド26b及び26bとが設けら
れており、後端部には、外部接続用の接続パッド26c
、26c、26c及び26cとが設けられてい
る。
The FPC 21 has a pair of write side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 as a signal line for the write head element and a pair of read side trace conductor layers 26a 3 and 26a as a signal line for the MR read head element. And 4 are provided. Connection pads 26b 1 and 26b 2 for the write head element and connection pads 26b 3 and 26b 4 for the read head element are provided at the front end of the FPC 21, and a connection for external connection is provided at the rear end. Pad 26c
1 , 26c 2 , 26c 3 and 26c 4 are provided.

【0034】書込み側トレース導体層26a及び26
並びに読出し側トレース導体層26a及び26a
は、FPC21の先端部に向かって、互いに離れてス
ライダ22の両側を進み、それらの先端が接続パッド2
6b及び26b並びに接続パッド26b及び26
にそれぞれ接続されている。また、書込み側トレー
ス導体層26a及び26a並びに読出し側トレース
導体層26a及び26aの後端は、外部接続用の接
続パッド26c、26c、26c及び26c
それぞれ接続されている。
Write side trace conductor layers 26a 1 and 26
a 2 and read side trace conductor layers 26a 3 and 26a
4 move toward both ends of the slider 22 toward the tip of the FPC 21 and are separated from each other, and their tips are connected to the connection pad 2
6b 1 and 26b 2 and connection pads 26b 3 and 26
It is connected to the b 4. Further, the rear ends of the write side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 and the read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 are connected to external connection pads 26c 1 , 26c 2 , 26c 3 and 26c 4 , respectively. There is.

【0035】図4は、図2の実施形態のFPC21につ
いてその走る方向と垂直に切った断面図であり、同図
(A)は書込み側トレース導体層26a及び26a
の部分、読出し側トレース導体層26a及び26a
の部分をそれぞれ示している。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the FPC 21 of the embodiment shown in FIG. 2 taken perpendicularly to the running direction thereof. FIG. 4A shows the trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 on the write side.
Part, read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4
Are shown respectively.

【0036】同図に示すように、FPC21は、例えば
ポリイミド等による薄い樹脂層(ベースフィルム層)2
7上に形成された例えばCu等により書込み側トレース
導体層26a及び26a並びに読出し側トレース導
体層26a及び26aを形成し、これら導体パター
ンを例えばポリイミド等による被覆層(オーバーコート
層)28によって覆うことにより形成される。ベースフ
ィルム層27とフレクシャ23又はロードビーム24と
は、例えばUV樹脂系又はエポキシ樹脂系の接着剤によ
って固着されている。
As shown in the figure, the FPC 21 includes a thin resin layer (base film layer) 2 made of, for example, polyimide.
7, the write side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 and the read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 are formed of, for example, Cu on the conductor layer 7, and these conductor patterns are covered with, for example, polyimide (overcoat layer). It is formed by covering with 28. The base film layer 27 and the flexure 23 or the load beam 24 are fixed to each other with a UV resin-based or epoxy resin-based adhesive, for example.

【0037】サスペンションの先端部上に固着されてい
る部分では、FPC21は、例えばポリイミド等による
薄いベースフィルム層27と、その上に形成された例え
ばCuに腐食防止のためのAuめっきを施した書込み側
トレース導体層26a及び26a並びに読出し側ト
レース導体層26a及び26aからのみで構成され
ており、オーバーコート層は存在しない。ベースフィル
ム層27とフレクシャ23とは、例えばUV樹脂系又は
エポキシ樹脂系の接着剤によって固着されている。ばね
定数に大きな影響を与えるこの部分のFPC21にオー
バーコート層を設けないことにより、低スティフネス化
を促進できる。
At the portion fixed on the tip of the suspension, the FPC 21 has a thin base film layer 27 made of, for example, polyimide, and a writing formed by plating Cu formed on the thin base film layer 27 with Au for corrosion prevention. It is composed of only the side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 and the read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4, and there is no overcoat layer. The base film layer 27 and the flexure 23 are fixed to each other with, for example, a UV resin-based or epoxy resin-based adhesive. By not providing the overcoat layer on this portion of the FPC 21 that greatly affects the spring constant, it is possible to promote the reduction in stiffness.

【0038】図4から明らかのように、本実施形態にお
いては、読出し側トレース導体層26a及び26a
の導体層間隙Sが、書込み側トレース導体層26a
及び26aの導体層間隙Sより大きく設定されてい
る。さらに、読出し側トレース導体層26a及び26
の幅Wが、書込み側トレース導体層26a及び
26aの幅Wより小さく設定されている。
As is apparent from FIG. 4, in this embodiment, the read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 are included.
Of the conductor layer gap S R of the write side trace conductor layer 26a 1
It is set larger than the conductor layer gap S W of and 26a 2. Furthermore, the read side trace conductor layers 26a 3 and 26
The width W R of a 4 is set smaller than the width W W of the write-side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 .

【0039】ベースフィルム層27の厚さD、読出し側
トレース導体層26a及び26a の厚さT及び書
込み側トレース導体層26a及び26aの厚さT
は、サスペンションや配線部材の製造工法の関係上か
ら、書込み側と読出し側とで互いに異ならせることが非
常に困難であるので、書込み側及び読出し側共に、同じ
厚さのものを用いている。
Thickness D of base film layer 27, read side
Trace conductor layer 26aThreeAnd 26a FourThickness TRAnd calligraphy
Embedded side trace conductor layer 26a1And 26aTwoThickness TW
Is it due to the manufacturing method of the suspension and wiring members?
It is not possible to make the write side and read side different from each other.
Since it is always difficult, the write side and the read side are the same.
The thing of thickness is used.

【0040】読出し側トレース導体層26a及び26
が単位長さを有すると仮定すれば、読出し側の各ト
レース導体層のグランド導体面に対向する面の面積はW
で表され、読出し側の各トレース導体層の配線間隔方
向の面の面積はTで表される。従って、読出し側の配
線部材の線間容量成分CはT/Sに対応してお
り、読出し側の配線部材の対グランド容量成分CはW
/Dに対応している。
Read side trace conductor layers 26a 3 and 26
Assuming that a 4 has a unit length, the area of the surface of each trace conductor layer on the read side facing the ground conductor surface is W.
Represented by R, the area of the wiring interval direction of the surface of each trace conductor layer on the read side is represented by T R. Therefore, the line capacitance component C L of the wiring member on the read side corresponds to T R / S R , and the capacitance component C G to the ground of the wiring member on the read side is W.
It corresponds to R / D.

【0041】その結果、D及びTが一定であれば、S
が大きいほど読出し側の線間容量成分Cが小さくな
り、Wが小さいほど読出し側の配線部材の対グランド
容量成分Cが小さくなることとなる。書込み側のトレ
ース導体層26a及び26aの導体層間隙Sを大
きくすると誘導成分が増大し、また、書込み側トレース
導体層26a及び26aの幅Wを小さくすると書
込み電流による発熱が問題となる。このため、Sは大
きくできず、Wは小さくできない。従って、本実施形
態ではSはSより大きく、WはWより小さく設
定されているのである。
[0041] As a result, if D and T R are constant, S
The larger R is, the smaller the line capacitance component C L on the read side is, and the smaller the R R is, the smaller the capacitance component C G to ground of the wiring member on the read side is. Increases inducing component and to increase the conductive layer gap S W of the trace conductor layer 26a 1 and 26a 2 of the write side, also, heat generation due to the write current Reducing the width W W of the write-side trace conductor layer 26a 1 and 26a 2 is It becomes a problem. Therefore, S W can not be increased, W W can not be reduced. Therefore, in this embodiment, S R is set to be larger than S W and W R is set to be smaller than W W.

【0042】図5及び図6は、線間隔が異なる配線部材
の容量成分及び誘導成分の対周波数特性をそれぞれ示し
ている。これらの図において、Aはベースフィルム層の
厚さが35μm、線間隔が50μm、線幅が35μmで
あり、Bはベースフィルム層の厚さが35μm、線間隔
が200μm、線幅が35μmである。線間隔を広げた
Bの方が、全ての周波数帯域において容量成分が小さく
なっている。逆に、線間隔が従来と同様のAについて
は、これより誘導成分が小さくなっている。従って、書
込み側のトレース導体層26a及び26aの導体層
間隙SをAのように従来と同様に設定し、読出し側ト
レース導体層26a及び26aの導体層間隙S
Bのように大きくすれば、読出し側のみの線間容量成分
が低下して良好な周波数特性が得られる。
FIGS. 5 and 6 show the frequency characteristics of the capacitance component and the induction component of the wiring members having different line intervals, respectively. In these figures, A is a base film layer having a thickness of 35 μm, a line spacing is 50 μm, and a line width is 35 μm, and B is a base film layer having a thickness of 35 μm, a line spacing is 200 μm, and a line width is 35 μm. . B having a wider line spacing has a smaller capacitance component in all frequency bands. On the contrary, in the case where the line spacing is the same as in the conventional case, the induction component is smaller than this. Therefore, the conductor layer gap S W of the write side trace conductor layers 26a 1 and 26a 2 is set as in the conventional manner as A, and the conductor layer gap S R of the read side trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 is set to B. With such a large value, the line capacitance component C L on the read side only is reduced, and good frequency characteristics can be obtained.

【0043】図7は、トンネル型GMR素子の周波数特
性の線間容量依存性をシミュレーションした結果を示す
特性図であり、(B)は(A)の主要部を拡大した図で
ある。また、図8は、トンネル型GMR素子の周波数特
性の対グランド容量依存性をシミュレーションした結果
を示す特性図であり、(B)は(A)の主要部を拡大し
た図である。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing a result of simulating the line capacitance dependency of the frequency characteristic of the tunnel type GMR element, and FIG. 7B is an enlarged view of the main part of FIG. Further, FIG. 8 is a characteristic diagram showing a result of simulating the dependency of the frequency characteristic of the tunnel type GMR element on the ground capacitance, and FIG. 8B is an enlarged view of the main part of FIG.

【0044】これらの図から明らかのように、線間容量
成分がC=1.0(pF)からC =0.5(pF)
に下がった際に周波数特性が急激に改善されている。一
方、対グランド容量成分については、C=6.0(p
F)からC=3.0(pF)に下がった際に周波数特
性が多少改善されているが、線間容量の場合ほどではな
い。従って、読出し側の配線の容量成分を低減化する場
合、特にトンネル型GMR素子においては、対グランド
容量成分Cを低減化するよりも線間容量成分C を低
減化した方がより良好な周波数特性が得られることが分
かる。従って、読出し側の配線では、線間容量成分C
を低減するべくその間隙Sをより大きくすることが良
好な周波数特性を得る点で望ましい。
As is clear from these figures, the line capacitance
Ingredient is CL= 1.0 (pF) to C L= 0.5 (pF)
The frequency characteristic is drastically improved when the voltage drops to. one
However, for the capacitance component to ground, CG= 6.0 (p
F) to CGWhen the frequency drops to 3.0 (pF), the frequency characteristic
Is slightly improved, but not as much as the line capacitance.
Yes. Therefore, when reducing the capacitance component of the wiring on the read side,
In particular, in a tunnel type GMR element,
Capacity component CGLine capacitance component C rather than reducing LLow
It can be seen that better frequency characteristics can be obtained by reducing the frequency.
Light Therefore, in the wiring on the read side, the line capacitance component CL
To reduce the gap SRIt is better to make
It is desirable in terms of obtaining good frequency characteristics.

【0045】読出し側配線部材について、トレース導体
層26a及び26aの厚さTを一定(T=18
μm)に保ち、ベースフィルム層27の厚さD、トレー
ス導体層26a及び26aの間隙S及び幅W
変えた試料を実際に作成し、その対グランド容量及び線
間容量を測定した。その測定結果が表1に示されてい
る。なお、表1において、C/Cは、(W/D)
/(T/S)から算出した計算値である。
For the read side wiring member, the thickness T R of the trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 is constant (T R = 18).
μm), the thickness D of the base film layer 27, the gap S R and the width W R of the trace conductor layers 26a 3 and 26a 4 were actually prepared, and the capacitance to ground and line capacitance were measured. did. The measurement results are shown in Table 1. In Table 1, the C G / C L, (W R / D)
Is a calculated value calculated from / (T R / S R) .

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】表1において、試料1は現行の配線部材の
寸法である。線間容量値を0.5pF以下に抑えるため
には、試料7〜11のように読出し側トレース導体層の
/C、即ち、(W/D)/(T/S)を7
以上にする必要がある。しかしながら、実際には、10
0MHzを越えた高周波帯での容量値が問題となるた
め、C/Cが5.7以上であれば良いこととなる。
In Table 1, Sample 1 is the size of the current wiring member. In order to suppress the line-to-line capacitance value below 0.5pF is, C G / C L of the read-side trace conductor layer as in Sample 7-11, i.e., (W R / D) / (T R / S R) 7
It is necessary to be above. However, in reality, 10
Since the capacitance value in the high frequency band exceeding 0 MHz becomes a problem, it is sufficient if C G / C L is 5.7 or more.

【0048】このように、本実施形態によれば、読出し
側トレース導体層の間隙Sが書込み側トレース導体層
間隙Sより大きく設定されており、さらに、読出し側
トレース導体層の幅Wが書込み側トレース導体層の幅
より小さく設定されている。その結果、書込み側の
誘導成分の増大化及び発熱の増大を招くことなく、読出
し側のみの容量成分を低減化でき、読出し周波数特性を
大幅に改善することができる。しかも、読出し側のC
/Cを5.7以上としているため、高周波領域におけ
る線間容量を低減化でき読出し周波数特性の改善を図る
ことができる。
[0048] Thus, according to this embodiment, the gap S R of the read-side trace conductor layer is set larger than the write-side trace conductor layer gap S W, further, the width W R of the read-side trace conductor layer Is set to be smaller than the width W W of the write side trace conductor layer. As a result, it is possible to reduce the capacitive component only on the read side without increasing the inductive component on the write side and the increase in heat generation, and it is possible to significantly improve the read frequency characteristic. Moreover, the reading side C G
Since / CL is 5.7 or more, the line capacitance in the high frequency region can be reduced and the read frequency characteristic can be improved.

【0049】図9は、本発明の他の実施形態のFPC9
1についてその走る方向と垂直に切った断面図であり、
同図(A)は書込み側トレース導体層96a及び96
の部分、読出し側トレース導体層96a及び96
の部分をそれぞれ示している。本実施形態における
FPC以外の構成は図2の実施形態の場合と全く同様で
ある。
FIG. 9 shows an FPC 9 according to another embodiment of the present invention.
1 is a cross-sectional view taken along the line 1 perpendicular to the running direction,
FIG. 3A shows the trace-side conductor layers 96a 1 and 96 on the write side.
a 2 part, read side trace conductor layers 96a 3 and 96
respectively show parts of a 4. The configuration other than the FPC in this embodiment is exactly the same as that in the embodiment of FIG.

【0050】同図に示すように、FPC91は、例えば
ポリイミド等による図2の実施形態の場合より厚い樹脂
層(ベースフィルム層)97上に形成された例えばCu
等により書込み側トレース導体層96a及び96a
並びに読出し側トレース導体層96a及び96a
形成し、これら導体パターンを例えばポリイミド等によ
る被覆層(オーバーコート層)98によって覆うことに
より形成される。ベースフィルム層97とフレクシャ2
3又はロードビーム24とは、例えばUV樹脂系又はエ
ポキシ樹脂系の接着剤によって固着されている。
As shown in the figure, the FPC 91 is made of, for example, Cu formed on a resin layer (base film layer) 97, which is thicker than that in the embodiment of FIG.
And the like by the write side trace conductor layers 96a 1 and 96a 2
Further, the read side trace conductor layers 96a 3 and 96a 4 are formed, and these conductor patterns are covered with a coating layer (overcoat layer) 98 made of, for example, polyimide. Base film layer 97 and flexure 2
3 or the load beam 24 is fixed by, for example, a UV resin-based or epoxy resin-based adhesive.

【0051】サスペンションの先端部上に固着されてい
る部分では、FPC91は、例えばポリイミド等による
薄いベースフィルム層97と、その上に形成された例え
ばCuに腐食防止のためのAuめっきを施した書込み側
トレース導体層96a及び96a並びに読出し側ト
レース導体層96a及び96aからのみで構成され
ており、オーバーコート層は存在しない。ベースフィル
ム層97とフレクシャ23とは、例えばUV樹脂系又は
エポキシ樹脂系の接着剤によって固着されている。ばね
定数に大きな影響を与えるこの部分のFPC91にオー
バーコート層を設けないことにより、低スティフネス化
を促進できる。
In the portion fixed on the tip of the suspension, the FPC 91 has a thin base film layer 97 made of, for example, polyimide, and a writing formed by plating Cu formed on the thin base film layer 97 with Au for corrosion prevention. It is composed of only the side trace conductor layers 96a 1 and 96a 2 and the read side trace conductor layers 96a 3 and 96a 4, and there is no overcoat layer. The base film layer 97 and the flexure 23 are fixed to each other with, for example, a UV resin-based or epoxy resin-based adhesive. By not providing the overcoat layer on this portion of the FPC 91 that greatly affects the spring constant, it is possible to promote the reduction in stiffness.

【0052】図9から明らかのように、本実施形態にお
いては、読出し側トレース導体層96a及び96a
の導体層間隙Sが、書込み側トレース導体層96a
及び96aの導体層間隙Sより大きく設定されてい
る。さらに、読出し側トレース導体層96a及び96
の幅Wが、書込み側トレース導体層96a及び
96aの幅Wより小さく設定されている。特に、本
実施形態では、ベースフィルム層97の厚さDが図4に
示すものより厚くなっている。このようにベースフィル
ム層97の厚さを増大させることは、FPCを用いた構
造では容易に実現が可能である。
As is apparent from FIG. 9, in this embodiment, the read side trace conductor layers 96a 3 and 96a 4 are provided.
Of the conductor layer gap S R of the write side trace conductor layer 96a 1
And it has largely been set from the conductive layer gap S W of 96a 2. Further, the read side trace conductor layers 96a 3 and 96
The width W R of a 4 is set smaller than the width W W of the write-side trace conductor layers 96a 1 and 96a 2 . Particularly, in this embodiment, the thickness D of the base film layer 97 is thicker than that shown in FIG. Increasing the thickness of the base film layer 97 in this way can be easily realized by a structure using an FPC.

【0053】ベースフィルム層97の厚さD、読出し側
トレース導体層96a及び96a の厚さT及び書
込み側トレース導体層96a及び96aの厚さT
は、サスペンションや配線部材の製造工法の関係上か
ら、書込み側と読出し側とで互いに異ならせることが非
常に困難であるので、書込み側及び読出し側共に、同じ
厚さのものを用いている。
Thickness D of base film layer 97, read side
Trace conductor layer 96aThreeAnd 96a FourThickness TRAnd calligraphy
Embedded side trace conductor layer 96a1And 96aTwoThickness TW
Is it due to the manufacturing method of the suspension and wiring members?
It is not possible to make the write side and read side different from each other.
Since it is always difficult, the write side and the read side are the same.
The thing of thickness is used.

【0054】図10は、ベースフィルム層の厚さ、トレ
ース導体層の線間隔及び線幅が異なる配線部材の容量成
分の対周波数特性をそれぞれ示している。同図におい
て、aはベースフィルム層の厚さが18μm、線間隔が
40μm、線幅が40μmであり、bはベースフィルム
層の厚さが50μm、線間隔が200μm、線幅が35
μmである。線間隔を広げかつベースフィルム層の厚さ
を大きくしたbの方が、aより全ての周波数帯域におい
て容量成分が小さくなっている。しかも、図5に示した
Bよりも図10のbの方が、全ての周波数帯域において
容量成分がより小さくなっている。従って、ベースフィ
ルム層の厚さを大きくすることによって、より良好な周
波数特性が得られることが分かる。
FIG. 10 shows the frequency characteristics of the capacitance component of wiring members having different thicknesses of the base film layer, line spacings and line widths of the trace conductor layers. In the figure, a is a base film layer having a thickness of 18 μm, a line spacing is 40 μm, and a line width is 40 μm, and b is a base film layer having a thickness of 50 μm, a line spacing is 200 μm, and a line width is 35 μm.
μm. The capacitance component of b in which the line spacing is widened and the thickness of the base film layer is increased is smaller than that of a in all frequency bands. Moreover, the capacitance component of b in FIG. 10 is smaller than that of B shown in FIG. 5 in all frequency bands. Therefore, it can be seen that better frequency characteristics can be obtained by increasing the thickness of the base film layer.

【0055】本実施形態におけるその他の構成、変更態
様及び作用効果等は、図2の実施形態の場合とほぼ同様
である。
Other configurations, modifications, effects and the like in this embodiment are almost the same as those in the embodiment of FIG.

【0056】なお、上述した実施形態は配線部材として
FPCを用いた構造であるが、配線部材として、樹脂
層、トレース導体層及び樹脂層を順次積層したパターン
をサスペンション上に直接形成した構造、又はサスペン
ションとは別個のステンレス薄板上に樹脂層、トレース
導体層及び樹脂層を順次積層し、これをサスペンション
上にレーザ溶接した構造を有するワイヤレスサスペンシ
ョンについても、本発明が同様に適用可能であることは
明らかである。
The above-described embodiment has a structure in which the FPC is used as the wiring member. However, as the wiring member, a structure in which a resin layer, a trace conductor layer and a resin layer are sequentially laminated is formed directly on the suspension, or The present invention is similarly applicable to a wireless suspension having a structure in which a resin layer, a trace conductor layer, and a resin layer are sequentially laminated on a stainless steel thin plate separate from the suspension, and this is laser-welded on the suspension. it is obvious.

【0057】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。
The embodiments described above are merely illustrative and not limitative of the present invention, and the present invention can be implemented in various other modified modes and modified modes. Therefore, the scope of the present invention is defined only by the claims and their equivalents.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明では、
少なくとも一部において、1対の読出し側トレース導体
層間の間隙Sが1対の書込み側トレース導体層間の間
隙Sより大きい。容量成分は、対グランド容量成分C
と線間容量成分Cとから構成されるが、読出し側の
配線の容量成分を低減化する場合、特にトンネル型GM
R素子においては、対グランド容量成分Cを低減化す
るよりも線間容量成分C を低減化した方がより良好な
周波数特性が得られる。従って、読出し側トレース導体
層の線間容量成分Cを低減するべくその間隙Sをよ
り大きくすることが望ましい。書込み側において、この
ようにトレース導体層の間隙Sを大きくすることは、
誘導成分が増大するので望ましくない。従って、少なく
とも一部において、読出し側トレース導体層間の間隙S
を1対の書込み側トレース導体層間の間隙Sより大
きくして、読出し側の配線のみの容量成分をより低減化
している。
As described in detail above, according to the present invention,
A pair of read side trace conductors, at least in part
Gap S between layersRBetween a pair of write-side trace conductor layers
Gap SWGreater than The capacitance component is the capacitance component C to ground.
GAnd line capacitance CLIt consists of and
When reducing the capacitance component of the wiring, especially tunnel type GM
In the R element, capacitance component C to groundGTo reduce
Line capacitance component C LIt is better to reduce
Frequency characteristics can be obtained. Therefore, the read side trace conductor
Capacitance component C between layers of layersLTo reduce the gap SRYo
It is desirable to make it larger. On the writing side, this
So that the space S between the trace conductor layersWTo make
This is undesirable because it increases the induction component. Therefore, less
In some of them, the gap S between the read side trace conductor layers is
RThe gap S between the pair of write-side trace conductor layersWGreater than
The capacitance component of only the wiring on the read side can be further reduced.
is doing.

【0059】なお、これに加えて対グランド容量成分C
を低減化することもさらに読出し側の配線の容量成分
を低減化することとなる。そのためには、読出し側トレ
ース導体層の幅Wをより小さくすることが望ましい。
書込み側において、このようにトレース導体層の幅W
を小さくすると、書込み電流による発熱が問題となるの
で望ましくない。従って、少なくとも一部において、読
出し側トレース導体層の幅Wを各書込み側トレース導
体層の幅Wより小さくしている。
In addition to this, the capacitance component C to the ground
Reducing G also reduces the capacitance component of the wiring on the read side. For this purpose, it is desirable to further reduce the width W R of the read-side trace conductor layer.
On the write side, the width W W of the trace conductor layer is thus
If the value is small, heat generation due to the write current becomes a problem, which is not desirable. Thus, at least in part, has a width W R of the read-side trace conductor layer smaller than the width W W of the write-side trace conductor layer.

【0060】本発明によれば、さらに、各読出し側トレ
ース導体層の幅及び厚さをW及びTとし、1対の読
出し側トレース導体層間の間隙をSとし、樹脂層の厚
さをDとすると、読出し側トレース導体層の主要な部分
において、(W/D)/(T/S)が、5.7以
上である。この(W/D)/(T/S)は読出し
側トレース導体層のC/Cを表すこととなる。読出
し側トレース導体層の主要な部分において、この読出し
側トレース導体層のC/C、即ち、(W/D)/
(T/S)を5.7以上とすれば、100MHz以
上の周波数領域における読出し側トレース導体層の線間
容量の実測値を0.5pF以下に抑えられる。
According to the present invention, further, the width and thickness of each read side trace conductor layer are set to W R and T R , the gap between the pair of read side trace conductor layers is set to S R, and the thickness of the resin layer is set. the When is D, the main part of the reading-side trace conductor layer, is (W R / D) / ( T R / S R), it is 5.7 or more. The (W R / D) / ( T R / S R) becomes represent a C G / C L of the read-side trace conductor layer. In the main part of the reading-side trace conductor layer, C G / C L of the read-side trace conductor layer, i.e., (W R / D) /
If (T R / S R) 5.7 or more, it is suppressed measured values of line-to-line capacitance of the read-side trace conductor layer in the above frequency range 100MHz to below 0.5 pF.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】W、W、S、S、T、T及びDを
説明するために、サスペンションの一部をその配線部材
の走る方向と垂直に切った断面図である。
[1] W W, W R, S W , S R, T W, in order to explain the T R and D, is a cross-sectional view taken in the direction perpendicular which runs a portion of the suspension of the wiring member.

【図2】本発明のHGAの一実施形態として、そのHG
A全体を示す平面図及びその磁気ヘッドスライダを示す
斜視図である。
FIG. 2 shows an HG according to an embodiment of the HGA of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing the whole A and a perspective view showing the magnetic head slider.

【図3】図2の実施形態におけるサスペンション及び配
線部材の先端部を詳細に示す拡大平面図である。
FIG. 3 is an enlarged plan view showing in detail the distal end portions of the suspension and the wiring member in the embodiment of FIG.

【図4】図2の実施形態におけるFPCについてその走
る方向と垂直に切った断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the FPC in the embodiment of FIG. 2, taken along a direction perpendicular to its running direction.

【図5】線間隔が異なる配線部材の容量成分の対周波数
特性を示す特性図である。
FIG. 5 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of capacitance components of wiring members having different line intervals.

【図6】線間隔が異なる配線部材の誘導成分の対周波数
特性を示す特性図である。
FIG. 6 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of inductive components of wiring members having different line intervals.

【図7】トンネル型GMR素子の周波数特性の線間容量
依存性をシミュレーションした結果を示す特性図であ
る。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing a result of simulating the line capacitance dependency of the frequency characteristic of the tunnel type GMR element.

【図8】トンネル型GMR素子の周波数特性の対グラン
ド容量依存性をシミュレーションした結果を示す特性図
である。
FIG. 8 is a characteristic diagram showing a result of simulating the dependence of the frequency characteristic of the tunnel type GMR element on the capacitance to ground.

【図9】本発明の他の実施形態におけるFPCについて
その走る方向と垂直に切った断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view of an FPC according to another embodiment of the present invention, taken along a line perpendicular to its running direction.

【図10】線間隔及びベースフィルム層の厚さが異なる
配線部材の容量成分の対周波数特性を示す特性図であ
る。
FIG. 10 is a characteristic diagram showing frequency characteristics of capacitance components of wiring members having different line spacings and base film layer thicknesses.

【符号の説明】 20 サスペンション 21、91 FPC 22 磁気ヘッドスライダ 22a 薄膜磁気ヘッド素子 22b、22b、22b、22b 端子電極 23 フレクシャ 24 ロードビーム 25 ベースプレート 25a 取り付け部 26a、26a、96a、96a 書込み側ト
レース導体層 26a、26a、96a、96a 読出し側ト
レース導体層 26b、26b 書込みヘッド素子用の接続パッド 26b、26b 読出しヘッド素子用の接続パッド 26c、26c、26c、26c 外部接続用
の接続パッド 27、97 樹脂層(ベースフィルム層) 28、98 被覆層(オーバーコート層)
[Description of Reference Signs] 20 suspension 21, 91 FPC 22 magnetic head slider 22a thin film magnetic head element 22b 1 , 22b 2 , 22b 3 , 22b 4 terminal electrode 23 flexure 24 load beam 25 base plate 25a mounting portion 26a 1 , 26a 2 , 96a 1 , 96a 2 Write-side trace conductor layers 26a 3 , 26a 4 , 96a 3 , 96a 4 Read-side trace conductor layers 26b 1 , 26b 2 Write head element connection pads 26b 3 , 26b 4 Readhead element connection pads 26c 1 , 26c 2 , 26c 3 , 26c 4 Connection pads 27, 97 for external connection Resin layer (base film layer) 28, 98 Coating layer (overcoat layer)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5D042 NA02 TA07 5D059 AA01 BA01 CA30 DA26 DA36 EA08    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 5D042 NA02 TA07                 5D059 AA01 BA01 CA30 DA26 DA36                       EA08

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 実装された際には薄膜磁気ヘッドの書込
みヘッド素子に一端が電気的に接続される1対の書込み
側トレース導体層と、実装された際には該薄膜磁気ヘッ
ドの読出しヘッド素子に一端が電気的に接続される1対
の読出し側トレース導体層と、該1対の書込み側トレー
ス導体層及び該1対の読出し側トレース導体層が上表面
上に積層形成されており、実装された際には下表面がグ
ランド導体面に接触せしめられる樹脂層とを少なくとも
備えた配線部材であって、少なくとも一部において、前
記1対の読出し側トレース導体層間の間隙Sが前記1
対の書込み側トレース導体層間の間隙Sより大きいこ
とを特徴とする配線部材。
1. A pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to a write head element of a thin film magnetic head when mounted, and a read head of the thin film magnetic head when mounted. A pair of read side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the device, the pair of write side trace conductor layers and the pair of read side trace conductor layers, are laminated on the upper surface, A wiring member having at least a resin layer whose lower surface is brought into contact with a ground conductor surface when mounted, wherein a gap S R between the pair of read side trace conductor layers is at least 1
Wiring member being larger than the gap S W pairs of writing-side trace conductor layers.
【請求項2】 少なくとも一部において、前記各読出し
側トレース導体層の幅Wが前記各書込み側トレース導
体層の幅Wより小さいことを特徴とする請求項1に記
載の配線部材。
2. The wiring member according to claim 1, wherein, at least in part, a width W R of each read side trace conductor layer is smaller than a width W W of each write side trace conductor layer.
【請求項3】 実装された際には薄膜磁気ヘッドの書込
みヘッド素子に一端が電気的に接続される1対の書込み
側トレース導体層と、実装された際には該薄膜磁気ヘッ
ドの読出しヘッド素子に一端が電気的に接続される1対
の読出し側トレース導体層と、該1対の書込み側トレー
ス導体層及び該1対の読出し側トレース導体層が上表面
上に積層形成されており、実装された際には下表面がグ
ランド導体面に接触せしめられる樹脂層とを少なくとも
備えた配線部材であって、前記各読出し側トレース導体
層の幅及び厚さをW及びTとし、前記1対の読出し
側トレース導体層間の間隙をSとし、前記樹脂層の厚
さをDとすると、前記読出し側トレース導体層の主要な
部分において、(W/D)/(T/S)が、5.
7以上であることを特徴とする配線部材。
3. A pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to a write head element of the thin film magnetic head when mounted, and a read head of the thin film magnetic head when mounted. A pair of read side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the device, the pair of write side trace conductor layers and the pair of read side trace conductor layers, are laminated on the upper surface, when implemented in a wire member having at least a resin layer in which the lower surface is brought into contact with the ground conductor surface, the width and thickness of the respective read-side trace conductor layer and W R and T R, wherein a gap of a pair of read-side trace conductor layers and S R, and the thickness of the resin layer is D, the major part of the read-side trace conductor layer, (W R / D) / (T R / S R ) is 5.
A wiring member having a number of 7 or more.
【請求項4】 金属支持部材と、該金属支持部材上に積
層形成された配線部材とを備えたサスペンションであっ
て、該配線部材が、実装された際には薄膜磁気ヘッドの
書込みヘッド素子に一端が電気的に接続される1対の書
込み側トレース導体層と、実装された際には該薄膜磁気
ヘッドの読出しヘッド素子に一端が電気的に接続される
1対の読出し側トレース導体層と、該1対の書込み側ト
レース導体層及び該1対の読出し側トレース導体層が上
表面上に積層形成されており、下表面が前記金属支持部
材に接触している樹脂層とを少なくとも有しており、少
なくとも一部において、前記1対の読出し側トレース導
体層間の間隙Sが前記1対の書込み側トレース導体層
間の間隙Sより大きいことを特徴とするサスペンショ
ン。
4. A suspension comprising a metal supporting member and a wiring member laminated on the metal supporting member, the suspension being a write head element of a thin film magnetic head when the wiring member is mounted. A pair of write side trace conductor layers whose one ends are electrically connected; and a pair of read side trace conductor layers whose one ends are electrically connected to a read head element of the thin film magnetic head when mounted. A pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers are laminated on an upper surface, and the lower surface has at least a resin layer in contact with the metal supporting member. And a gap S R between the pair of read side trace conductor layers is larger than a gap S W between the pair of write side trace conductor layers at least in part.
【請求項5】 少なくとも一部において、前記各読出し
側トレース導体層の幅Wが前記各書込み側トレース導
体層の幅Wより小さいことを特徴とする請求項4に記
載のサスペンション。
5. The suspension according to claim 4, wherein, at least in part, a width W R of each read side trace conductor layer is smaller than a width W W of each write side trace conductor layer.
【請求項6】 金属支持部材と、該金属支持部材上に積
層形成された配線部材とを備えたサスペンションであっ
て、該配線部材が、実装された際には薄膜磁気ヘッドの
書込みヘッド素子に一端が電気的に接続される1対の書
込み側トレース導体層と、実装された際には該薄膜磁気
ヘッドの読出しヘッド素子に一端が電気的に接続される
1対の読出し側トレース導体層と、該1対の書込み側ト
レース導体層及び該1対の読出し側トレース導体層が上
表面上に積層形成されており、下表面が前記金属支持部
材に接触している樹脂層とを少なくとも有しており、前
記各読出し側トレース導体層の幅及び厚さをW及びT
とし、前記1対の読出し側トレース導体層間の間隙を
とし、前記樹脂層の厚さをDとすると、前記読出し
側トレース導体層の主要な部分において、(W/D)
/(T/S)が、5.7以上であることを特徴とす
るサスペンション。
6. A suspension comprising a metal supporting member and a wiring member laminated on the metal supporting member, the suspension being a write head element of a thin film magnetic head when the wiring member is mounted. A pair of write side trace conductor layers whose one ends are electrically connected; and a pair of read side trace conductor layers whose one ends are electrically connected to the read head element of the thin film magnetic head when mounted. A pair of write side trace conductor layers and a pair of read side trace conductor layers are laminated on an upper surface, and the lower surface has at least a resin layer in contact with the metal supporting member. And the width and thickness of each read side trace conductor layer are set to W R and T
And R, when the gap between the pair of read-side trace conductor layers and S R, the thickness of the resin layer is D, the major part of the read-side trace conductor layer, (W R / D)
/ (T R / S R) is a suspension, characterized in that at 5.7 or more.
【請求項7】 前記金属支持部材が、前記薄膜磁気ヘッ
ドの浮上姿勢を安定させるための弾性を有するフレクシ
ャと、該フレクシャを支持しており、前記薄膜磁気ヘッ
ドに荷重を印加するためのロードビームとを含んでいる
ことを特徴とする請求項4から6のいずれか1項に記載
のサスペンション。
7. A flexure having elasticity for stabilizing the flying posture of the thin film magnetic head, and a load beam for applying a load to the thin film magnetic head, wherein the metal supporting member supports the flexure. The suspension according to any one of claims 4 to 6, comprising:
【請求項8】 金属支持部材と、該金属支持部材上に装
着されており、書込みヘッド素子及び読出しヘッド素子
を有する磁気ヘッドスライダと、該金属支持部材上に積
層形成された配線部材とを備えたヘッドジンバルアセン
ブリであって、該配線部材が、前記書込みヘッド素子に
一端が電気的に接続されている1対の書込み側トレース
導体層と、前記読出しヘッド素子に一端が電気的に接続
されている1対の読出し側トレース導体層と、該1対の
書込み側トレース導体層及び該1対の読出し側トレース
導体層が上表面上に積層形成されており、下表面が前記
金属支持部材に接触している樹脂層とを少なくとも有し
ており、少なくとも一部において、前記1対の読出し側
トレース導体層間の間隙Sが前記1対の書込み側トレ
ース導体層間の間隙Sより大きいことを特徴とするヘ
ッドジンバルアセンブリ。
8. A metal support member, a magnetic head slider mounted on the metal support member and having a write head element and a read head element, and a wiring member laminated on the metal support member. A pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the write head element, and one end of which is electrically connected to the read head element. A pair of read-side trace conductor layers, a pair of write-side trace conductor layers, and a pair of read-side trace conductor layers are laminated on an upper surface, and the lower surface contacts the metal supporting member. to which at least and a resin layer are, at least in part, the one gap S R pairs of read side trace conductor layers the pair of write-side trace conductor layer course of HGA being greater than S W.
【請求項9】 少なくとも一部において、前記各読出し
側トレース導体層の幅Wが前記各書込み側トレース導
体層の幅Wより小さいことを特徴とする請求項8に記
載のヘッドジンバルアセンブリ。
9. The head gimbal assembly according to claim 8, wherein the width W R of each read side trace conductor layer is at least partially smaller than the width W W of each write side trace conductor layer.
【請求項10】 金属支持部材と、該金属支持部材上に
装着されており、書込みヘッド素子及び読出しヘッド素
子を有する磁気ヘッドスライダと、該金属支持部材上に
積層形成された配線部材とを備えたヘッドジンバルアセ
ンブリであって、該配線部材が、前記書込みヘッド素子
に一端が電気的に接続されている1対の書込み側トレー
ス導体層と、前記読出しヘッド素子に一端が電気的に接
続されている1対の読出し側トレース導体層と、該1対
の書込み側トレース導体層及び該1対の読出し側トレー
ス導体層が上表面上に積層形成されており、下表面が前
記金属支持部材に接触している樹脂層とを少なくとも有
しており、前記各読出し側トレース導体層の幅及び厚さ
をW及びTとし、前記1対の読出し側トレース導体
層間の間隙をSとし、前記樹脂層の厚さをDとする
と、前記読出し側トレース導体層の主要な部分におい
て、(W/D)/(T/S)が、5.7以上であ
ることを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
10. A metal supporting member, a magnetic head slider mounted on the metal supporting member and having a write head element and a read head element, and a wiring member laminated on the metal supporting member. A pair of write side trace conductor layers, one end of which is electrically connected to the write head element, and one end of which is electrically connected to the read head element. A pair of read-side trace conductor layers, a pair of write-side trace conductor layers, and a pair of read-side trace conductor layers are laminated on an upper surface, and the lower surface contacts the metal supporting member. And the width and thickness of each of the read side trace conductor layers are W R and T R, and the gap between the pair of read side trace conductor layers is S R. Features and then, when the thickness of the resin layer is D, the major part of the read-side trace conductor layer, that is, is 5.7 or more (W R / D) / ( T R / S R) And head gimbal assembly.
【請求項11】 前記金属支持部材が、前記磁気ヘッド
スライダの浮上姿勢を安定させるための弾性を有するフ
レクシャと、該フレクシャを支持しており、前記磁気ヘ
ッドスライダに荷重を印加するためのロードビームとを
含んでいることを特徴とする請求項8から10のいずれ
か1項に記載のヘッドジンバルアセンブリ。
11. A flexure having elasticity for stabilizing the flying posture of the magnetic head slider, and a load beam for applying a load to the magnetic head slider, wherein the metal support member supports the flexure. The head gimbal assembly according to claim 8, further comprising:
【請求項12】 前記読出しヘッド素子が、磁気抵抗効
果膜を備えた磁気ヘッド素子であることを特徴とする請
求項8から11のいずれか1項に記載のヘッドジンバル
アセンブリ。
12. The head gimbal assembly according to claim 8, wherein the read head element is a magnetic head element having a magnetoresistive effect film.
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