JP2003266256A - Three-dimensional machining device - Google Patents

Three-dimensional machining device

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JP2003266256A
JP2003266256A JP2002070775A JP2002070775A JP2003266256A JP 2003266256 A JP2003266256 A JP 2003266256A JP 2002070775 A JP2002070775 A JP 2002070775A JP 2002070775 A JP2002070775 A JP 2002070775A JP 2003266256 A JP2003266256 A JP 2003266256A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
axis direction
temperature control
processing machine
spindle head
Prior art date
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Pending
Application number
JP2002070775A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masato Shiozaki
正人 塩崎
Hiroyuki Shirai
博之 白井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shibaura Machine Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Machine Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Machine Co Ltd filed Critical Toshiba Machine Co Ltd
Priority to JP2002070775A priority Critical patent/JP2003266256A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a three-dimensional machining device capable of achieving simplicity of structure, compactness, high speed, high acceleration and deceleration, and high precision free from backlash. <P>SOLUTION: In this three-dimensional machining device, a spindle head 4 having a tool and a table 8 for placement of a workpiece are relatively movable in the Z-axis direction as the vertical direction, and in the X-axis direction and the Y-axis direction perpendicular to the Z-axis direction and to each other. It is provided with a Z-axis drive means 3 to relatively move the spindle head 4 and the table 8 in the Z-axis direction, and an X-axis drive means 5 and a Y-axis drive means 7 to relatively move the spindle head 4 and the table 8 in the X-axis direction and the Y-axis direction. The Z-axis drive means 3 is composed of a ball screw feed mechanism. The X-axis drive means 5 and the Y-axis drive means 7 are composed of a linear motor mechanism 42. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料や非金属
材料などを加工する三次元加工機に関する。詳しくは、
工具を取り付けたスピンドルヘッドとワークを載置する
テーブルとを三次元方向へ相対移動させながら加工を行
う三次元加工機に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a three-dimensional processing machine for processing metallic materials, non-metallic materials and the like. For more information,
The present invention relates to a three-dimensional processing machine that performs processing while relatively moving a spindle head having a tool and a table on which a work is placed in a three-dimensional direction.

【0002】[0002]

【背景技術】工具を取り付けたスピンドルヘッドとワー
クを載置するテーブルとを三次元方向へ相対移動させな
がら加工を行う三次元加工機が知られている。従来、こ
の種の三次元加工機は、たとえば、工具を取り付けたス
ピンドルヘッドが上下方向(Z軸方向)へ移動し、ワー
クを載置するテーブルが、Z軸方向に対して直交しかつ
互いに直交するX軸方向およびY軸方向へ移動する形式
の場合、スピンドルヘッドをZ軸方向へ相対移動させる
Z軸駆動手段、テーブルをX軸方向およびY軸方向へ相
対移動させるX軸駆動手段およびY軸駆動手段が、いず
れも、ボールねじ送り機構によって構成されていた。つ
まり、固定部材側にボールねじ軸を可動部材の移動方向
に沿って配設するとともに、可動部材側にボールねじ軸
に螺合するナット部材を固定した構造で、ボールねじ軸
の回転に伴って、ナット部材を介して可動部材を移動さ
せる構造である。
2. Description of the Related Art There is known a three-dimensional processing machine that performs processing while relatively moving a spindle head having a tool and a table on which a work is placed in a three-dimensional direction. Conventionally, in this type of three-dimensional processing machine, for example, a spindle head to which a tool is attached moves in the vertical direction (Z-axis direction), and a table on which a work is placed is orthogonal to the Z-axis direction and mutually orthogonal. In the case of a type of moving in the X-axis direction and the Y-axis direction, Z-axis driving means for relatively moving the spindle head in the Z-axis direction, X-axis driving means and Y-axis for relatively moving the table in the X-axis direction and the Y-axis direction. All the driving means are constituted by a ball screw feeding mechanism. In other words, the ball screw shaft is arranged on the fixed member side along the moving direction of the movable member, and the nut member that is screwed onto the ball screw shaft is fixed on the movable member side. In this structure, the movable member is moved via the nut member.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の三次元
加工機の構造では、Z,X,Y軸駆動手段の全てがボー
ルねじ送り機構によって構成されているため、次のよう
な課題があった。 (a)固定部材側にボールねじ軸を可動部材の移動方向
に沿って配設するとともに、可動部材側にボールねじ軸
に螺合するナット部材を固定しなければならないうえ、
可動部材を固定部材に対して直線方向へ案内する案内機
構を付加しなければならないから、構造が複雑で、か
つ、大型化する。 (b)ボールねじ軸の回転に伴って、ナット部材を介し
て可動部材を移動させる構造であるため、高速化、高加
減速化に対応しずらい。 (c)ボールねじ軸とナット部材との螺合であるため、
その噛み合い部分にバックラッシュが生じ、それが位置
決め誤差となって、高精度化が実現しずらい。
However, in the structure of the conventional three-dimensional processing machine, all of the Z, X, and Y-axis driving means are constituted by the ball screw feeding mechanism, so that there are the following problems. It was (A) In addition to disposing the ball screw shaft on the fixed member side along the moving direction of the movable member, and fixing the nut member screwed on the ball screw shaft to the movable member side,
Since a guide mechanism for guiding the movable member in a linear direction with respect to the fixed member must be added, the structure is complicated and the size becomes large. (B) Since the movable member is moved via the nut member in accordance with the rotation of the ball screw shaft, it is difficult to cope with high speed and high acceleration / deceleration. (C) Since the ball screw shaft and the nut member are screwed together,
Backlash occurs in the meshing part, which causes a positioning error, which makes it difficult to achieve high accuracy.

【0004】本発明の目的は、このような従来の課題を
解消し、構造簡素化、小型化、高速かつ高加減速化、さ
らに、バックラッシュレス化による高精度化を実現でき
る三次元加工機を提供することにある。
The object of the present invention is to solve the problems of the prior art and to realize a three-dimensional processing machine which can realize a structure simplification, a size reduction, a high speed and high acceleration / deceleration, and a backlash less precision. To provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の三次元加工機は、工具を取り付けたスピン
ドルヘッドとワークを載置するテーブルとを、上下方向
となるZ軸方向、このZ軸方向に対して直交しかつ互い
に直交するX軸方向およびY軸方向へ相対移動可能に構
成した三次元加工機であって、前記スピンドルヘッドと
テーブルとをZ軸方向へ相対移動させるZ軸駆動手段
と、前記スピンドルヘッドとテーブルとをX軸方向およ
びY軸方向へ相対移動させるX軸駆動手段およびY軸駆
動手段とを備え、前記Z軸駆動手段は、ボールねじ送り
機構によって構成され、前記X軸駆動手段およびY軸駆
動手段は、リニアモータ機構によって構成されているこ
とを特徴とする。
To achieve the above object, a three-dimensional processing machine of the present invention includes a spindle head to which a tool is attached and a table on which a work is placed, in the vertical Z-axis direction. A three-dimensional processing machine configured to be relatively movable in an X-axis direction and a Y-axis direction, which are orthogonal to the Z-axis direction and are orthogonal to each other, wherein the Z-axis relatively moves the spindle head and the table in the Z-axis direction. Drive means, and an X-axis drive means and a Y-axis drive means for relatively moving the spindle head and the table in the X-axis direction and the Y-axis direction, wherein the Z-axis drive means is constituted by a ball screw feeding mechanism, The X-axis driving means and the Y-axis driving means are constituted by a linear motor mechanism.

【0006】ここで、ボールねじ送り機構は、固定部材
側に可動部材の移動方向に沿って設けられたボールねじ
軸と、可動部材側に固定されボールねじ軸に螺合された
ナット部材とを含み、ボールねじ軸が回転すると、ナッ
ト部材を介して可動部材が移動する構造である。また、
リニアモータの種類としては、リニア誘導モータ、リニ
ア同期モータ、リニア直流モータ、リニアパルスモータ
など任意のものを適用することができる。リニアモータ
は、固定部材側に可動部材の移動方向に沿って設けられ
た固定子と、可動部材側に設けられた可動子とを備える
構造であるが、どちらが一次側であっても二次側であっ
てもよく、あるいは、どちらが電機子側であっても界磁
側であってもよい。
Here, the ball screw feeding mechanism includes a ball screw shaft provided on the fixed member side along the moving direction of the movable member, and a nut member fixed on the movable member side and screwed onto the ball screw shaft. Including the structure, when the ball screw shaft rotates, the movable member moves via the nut member. Also,
Any type of linear motor such as a linear induction motor, a linear synchronous motor, a linear direct current motor, a linear pulse motor can be applied. The linear motor has a structure in which a stator provided on the fixed member side along the moving direction of the movable member and a mover provided on the movable member side are provided. Or either of them may be the armature side or the field side.

【0007】このような構成によれば、X軸駆動手段お
よびY軸駆動手段がリニアモータ機構によって構成され
ているので、これらの駆動手段については、従来のよう
なボールねじ軸を用いる必要がないので、構造の簡素化
および小型化が実現できる。しかも、ボールねじ軸が回
転するとナット部材を介して可動部材が移動する構造で
はないから、高速かつ高加減速化、さらに、バックラッ
シュレス化による高精度化も併せて実現できる。また、
Z軸駆動手段についてはボールねじ送り機構によって構
成されているから、電源がオフしても、Z軸駆動手段の
可動部が重力によって落下するのを防止できる。つま
り、安全性を確保できる。
According to this structure, since the X-axis driving means and the Y-axis driving means are constituted by the linear motor mechanism, it is not necessary to use a ball screw shaft for these driving means as in the prior art. Therefore, the structure can be simplified and downsized. Moreover, since the movable member does not move via the nut member when the ball screw shaft rotates, high speed and high acceleration / deceleration can be achieved, and further, high accuracy due to backlash less can be realized. Also,
Since the Z-axis driving means is composed of the ball screw feeding mechanism, it is possible to prevent the movable portion of the Z-axis driving means from dropping due to gravity even when the power is turned off. That is, safety can be secured.

【0008】以上において、前記スピンドルヘッドは、
スピンドルと、このスピンドルを回転可能に支持する非
接触軸受と、前記スピンドルを回転駆動させるモータと
を備える構成が好ましい。この際、非接触軸受として
は、空気静圧軸受が好ましい。このような構成によれ
ば、空気静圧軸受の特性から高精度な高速回転が容易に
得られることから、仕上げ加工を大きな切削送り速度で
効率的に行うことができる利点がある。
In the above, the spindle head is
A configuration including a spindle, a non-contact bearing that rotatably supports the spindle, and a motor that rotationally drives the spindle is preferable. At this time, an aerostatic bearing is preferable as the non-contact bearing. According to such a configuration, high-accuracy high-speed rotation can be easily obtained due to the characteristics of the aerostatic bearing, so that there is an advantage that finishing can be efficiently performed at a large cutting feed rate.

【0009】さらに、少なくとも前記工具およびテーブ
ルを覆うワーク加工室を備え、前記ワーク加工室は、消
臭機能を備えた空気清浄手段を備える構成が好ましい。
一般に、工具によってワークを切削あるいは研削加工す
る場合、冷却や潤滑を目的として、工具による加工位置
に向けて、オイルミスト(オイルを霧状にしてエアー内
に混在させたもの)やクーラント液などを吹き付けるこ
とが行われる。工具が高速回転しながらワークを加工す
る場合、吹き付けられたオイルミストやクーラント液
は、霧状になって周囲に飛散することから、オイルのも
つ臭気が加工機の周囲に漂っていることが多い。
Further, it is preferable that a work processing chamber that covers at least the tool and the table is provided, and that the work processing chamber is provided with an air cleaning means having a deodorizing function.
In general, when cutting or grinding a workpiece with a tool, for the purpose of cooling or lubrication, oil mist (a mixture of oil atomized into the air) or coolant is directed toward the processing position of the tool. Spraying is done. When a workpiece is processed while the tool rotates at high speed, the oil mist and coolant liquid sprayed become mist and scatter around, so the odor of oil is often found around the processing machine. .

【0010】本発明では、スピンドルヘッドおよびテー
ブルを覆うワーク加工室に、消臭機能を備えた空気清浄
手段を備えているから、上述したような作業環境下で
も、オイルのもつ臭気を消臭し、快適な作業環境を提供
することができる。しかも、空気清浄手段を備えている
から、空気中に霧状になって混入した微細のオイルミス
トや、加工時に発生、飛散した微細な切粉なども、同時
に回収除去することができるから、衛生的な作業環境を
実現できる。
According to the present invention, the work processing chamber that covers the spindle head and the table is provided with the air cleaning means having a deodorizing function. Therefore, even under the above-mentioned working environment, the odor of oil is deodorized. Can provide a comfortable working environment. Moreover, since it is equipped with an air cleaning means, it is possible to simultaneously collect and remove fine oil mist mixed in the air in the form of mist and fine chips generated and scattered during processing. Can realize a specific work environment.

【0011】さらに、前記ワーク加工室内の温度を制御
する温度制御手段を備える構成が好ましい。この際、前
記温度制御手段としては、前記ワーク加工室の外側に形
成された温調流体流通路と、この温調流体流通路内に温
度調整された温調流体を供給する温調流体供給手段とを
備える構成で実現できる。このような構成によれば、ワ
ーク加工室内の温度を一定温度範囲内に制御することが
できるから、環境温度変動による工具やワークの熱膨張
などを一定以下に抑えることができ、高精度な加工が期
待できる。しかも、温度制御手段を、ワーク加工室の外
側に形成された温調流体流通路と、この温調流体流通路
内に温度調整された温調流体を供給する温調流体供給手
段とを含んで構成すれば、温調流体が直接加工部位にか
かることがないため、比較的軟質なワークでも高精度な
加工が期待できる。
Further, it is preferable that the temperature control means for controlling the temperature in the work processing chamber is provided. At this time, as the temperature control means, a temperature control fluid flow passage formed outside the work processing chamber and a temperature control fluid supply means for supplying a temperature controlled fluid to the temperature control fluid flow passage It can be realized with a configuration including. With such a configuration, the temperature in the work processing chamber can be controlled within a constant temperature range, so that the thermal expansion of the tool or the work due to environmental temperature fluctuations can be suppressed to a certain level or less, and high-precision processing is possible. Can be expected. Moreover, the temperature control means includes a temperature control fluid flow passage formed outside the workpiece processing chamber, and temperature control fluid supply means for supplying the temperature control fluid whose temperature is controlled into the temperature control fluid flow passage. With this structure, since the temperature control fluid does not directly contact the processing site, highly accurate processing can be expected even for a relatively soft work.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
を参照して説明する。図1は本実施形態の三次元研削加
工機の正面から見た図(断面図)、図2は側面から見た
図(断面図)である。こららの図に示すように、本三次
元研削加工機は、ベッド1と、このベッド1の上面後部
位置に立設されたコラム2と、このコラム2の上部にZ
軸駆動手段3を介して上下方向(Z軸方向)へ昇降可能
に設けられたスピンドルヘッド4と、ベッド1の上面に
X軸駆動手段5を介してZ軸方向に対して直交するX軸
方向へ移動可能に設けられたXテーブル6と、このXテ
ーブル6の上面にY軸駆動手段7を介してZ軸方向に対
して直交しかつX軸方向に対して直交するY軸方向へ移
動可能に設けられたYテーブル8と、Xテーブル6およ
びYテーブル8の各軸方向の位置を検出するX軸位置検
出器12およびY軸位置検出器13と、少なくとも工具
およびテーブル8を覆うワーク加工室9と、このワーク
加工室9内の温度を制御する温度制御手段10とを備え
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a view (cross-sectional view) viewed from the front of the three-dimensional grinding machine of the present embodiment, and FIG. 2 is a view (cross-sectional view) viewed from the side. As shown in these drawings, the present three-dimensional grinding machine is provided with a bed 1, a column 2 standing upright at a rear position on the upper surface of the bed 1, and a Z on the upper portion of the column 2.
A spindle head 4 that is vertically movable (Z-axis direction) via an axis drive means 3, and an X-axis direction orthogonal to the Z-axis direction on the upper surface of the bed 1 via an X-axis drive means 5. And an X table 6 movably provided on the upper surface of the X table 6 via the Y axis drive means 7 and movable in the Y axis direction orthogonal to the Z axis direction and orthogonal to the X axis direction. , A Y table 8 provided in the X table, an X table 6 and an X axis position detector 12 and a Y axis position detector 13 for detecting the positions of the Y table 8 in the respective axial directions, and a work machining chamber that covers at least the tool and the table 8. 9 and temperature control means 10 for controlling the temperature in the work processing chamber 9.

【0013】ベッド1は、底面四隅に4本の脚11を備
える。これらの脚11は、防振構造を備えるとともに、
ワーク加工室9の底壁から突出されている。コラム2
は、ベッド1の上面後部位置から垂直に立ち上がった垂
直部31と、この垂直部31の上端から斜め前方へ向か
って屈曲された屈曲部32とを備える。屈曲部32の先
端には、スピンドルヘッド4がZ軸駆動手段3を介して
Z軸方向へ昇降可能に設けられている。
The bed 1 has four legs 11 at the four corners of the bottom surface. These legs 11 have a vibration-proof structure,
It projects from the bottom wall of the work processing chamber 9. Column 2
Includes a vertical portion 31 that vertically rises from a rear portion of the upper surface of the bed 1, and a bent portion 32 that is bent obliquely forward from the upper end of the vertical portion 31. At the tip of the bent portion 32, a spindle head 4 is provided so as to be able to move up and down in the Z-axis direction via the Z-axis drive means 3.

【0014】Z軸駆動手段3は、ボールねじ送り機構に
よって構成されている。ボールねじ送り機構は、図示省
略されているが、コラム2(固定部材側)にスピンドル
ヘッド4(可動部材)の移動方向、つまり、Z軸方向に
沿って設けられたボールねじ軸と、このボールねじ軸を
回転駆動させるモータと、ボールねじ軸に螺合されかつ
スピンドルヘッド4に固定されたナット部材とを備える
構造である。
The Z-axis driving means 3 is composed of a ball screw feeding mechanism. Although not shown, the ball screw feeding mechanism includes a ball screw shaft provided along the moving direction of the spindle head 4 (movable member) on the column 2 (fixed member side), that is, the Z-axis direction, and the ball. This structure is provided with a motor that drives the screw shaft to rotate, and a nut member that is screwed onto the ball screw shaft and fixed to the spindle head 4.

【0015】X軸駆動手段5およびY軸駆動手段7は、
固定部材と可動部材との間に設けられた2本の直線ガイ
ド機構と、この2本の直線ガイド機構の間に設けられた
リニアモータ機構とから構成されている。つまり、X軸
駆動手段5は、ベッド1とXテーブル6との間に設けら
れた2本の直線ガイド機構41と、この2本の直線ガイ
ド機構41の間に設けられたリニアモータ機構42とか
ら構成されている。Y軸駆動手段7は、Xテーブル6と
Yテーブル8との間に設けられた2本の直線ガイド機構
43と、この2本の直線ガイド機構43の間に設けられ
たリニアモータ機構44とから構成されている。
The X-axis driving means 5 and the Y-axis driving means 7 are
It is composed of two linear guide mechanisms provided between the fixed member and the movable member, and a linear motor mechanism provided between the two linear guide mechanisms. That is, the X-axis drive means 5 includes two linear guide mechanisms 41 provided between the bed 1 and the X table 6, and a linear motor mechanism 42 provided between the two linear guide mechanisms 41. It consists of The Y-axis drive means 7 includes two linear guide mechanisms 43 provided between the X table 6 and the Y table 8 and a linear motor mechanism 44 provided between the two linear guide mechanisms 43. It is configured.

【0016】直線ガイド機構41,43は、図3に示す
ように、固定部材(ベッド1,Xテーブル6)に可動部
材(Xテーブル6、Yテーブル8)の移動方向に沿って
配設されたガイドレール45と、ガイドレール45に摺
動可能に設けられるとともに可動部材(Xテーブル6、
Yテーブル8)に固定された摺動部材46とから構成さ
れている。リニアモータ機構42,44は、図3に示す
ように、固定部材(ベッド1,Xテーブル6)に可動部
材(Xテーブル6、Yテーブル8)の移動方向に沿って
固定された固定子としてのコイル47と、可動部材(X
テーブル6、Yテーブル8)の下面にコイル47と対向
して配置された可動子としてのマグネット48とから構
成されている。
As shown in FIG. 3, the linear guide mechanisms 41 and 43 are arranged on the fixed member (bed 1, X table 6) along the moving direction of the movable members (X table 6, Y table 8). The guide rail 45 and a movable member (X table 6,
And a sliding member 46 fixed to the Y table 8). As shown in FIG. 3, the linear motor mechanisms 42 and 44 serve as a stator fixed to a fixed member (bed 1, X table 6) along the moving direction of the movable member (X table 6, Y table 8). The coil 47 and the movable member (X
On the lower surface of the table 6 and the Y table 8), a coil 48 and a magnet 48 as a mover are arranged so as to face the coil 47.

【0017】X軸位置検出器12は、ベッド1の上面に
X軸方向に沿って設けられたスケールと、このスケール
に対向してXテーブル6の下面に取り付けられた検出ヘ
ッドとを有するレーザスケールによって構成されてい
る。Y軸位置検出器13は、Xテーブル6の上面にY軸
方向に沿って設けられたスケールと、このスケールに対
向してYテーブル8の下面に取り付けられた検出ヘッド
とを有するレーザスケール(レーザによってフォローさ
れたスケール)によって構成されている。これらレーザ
スケールは、亜ナノメートルといわれる1μm程度の検
出精度で、各テーブル6,8の各軸方向の位置を検出で
きるため、高精度マシンイングセンタの保証値である3
〜5μmと精密加工機の保証値であるナノ(nm)の中
間である1μm程度の加工精度を保証できる。なお、X
軸位置検出器12およびY軸位置検出器13は、少なく
とも1μm程度の検出精度が得られるものであれば、上
記構造に限らず、他の構造であってもよい。
The X-axis position detector 12 is a laser scale having a scale provided on the upper surface of the bed 1 along the X-axis direction and a detection head attached to the lower surface of the X table 6 so as to face the scale. It is composed by. The Y-axis position detector 13 includes a laser scale (laser scale) having a scale provided on the upper surface of the X table 6 along the Y-axis direction and a detection head attached to the lower surface of the Y table 8 so as to face the scale. The scale followed by). These laser scales can detect the position of each table 6 and 8 in each axial direction with a detection accuracy of about 1 μm called sub-nanometer, which is a guaranteed value for a high precision machining center.
It is possible to guarantee a processing accuracy of about 1 μm, which is between 5 μm and nano (nm), which is the guaranteed value of a precision processing machine. Note that X
The axial position detector 12 and the Y-axis position detector 13 are not limited to the above structures and may have other structures as long as the detection accuracy of at least about 1 μm can be obtained.

【0018】スピンドルヘッド4は、図4に示すよう
に、ハウジング21と、このハウジング21に空気静圧
軸受22A,22B,22Cを介して回転可能かつZ軸
方向と平行に支承され途中にフランジ23Aを有するス
ピンドル23と、このスピンドル23を回転駆動させる
モータ24とを備えている。空気静圧軸受22A,22
Bの内周面には、スピンドル23に向かって軸直交方向
から空気を噴出する吹出口25が形成されている。これ
らの各吹出口25から噴出される空気によってスピンド
ル23をラジアル方向に支持するラジアル軸受が形成さ
れている。また、空気静圧軸受22B,22Cの互いに
対向する軸方向端面には、スピンドル23のフランジ2
3Aに向かって空気を噴出する吹出口26が複数形成さ
れている。これらの各吹出口26から噴出される空気に
よってスピンドル23をスラスト方向に支持するスラス
ト軸受が形成されている。なお、29は工具である。
As shown in FIG. 4, the spindle head 4 is rotatably supported by a housing 21 and aerostatic bearings 22A, 22B and 22C in the housing 21, and is parallel to the Z-axis direction. And a motor 24 for driving the spindle 23 to rotate. Aerostatic bearings 22A, 22
An air outlet 25 is formed on the inner peripheral surface of B to eject air from the axis orthogonal direction toward the spindle 23. A radial bearing that supports the spindle 23 in the radial direction is formed by the air ejected from each of the air outlets 25. In addition, the flange 2 of the spindle 23 is provided on the axial end faces of the aerostatic bearings 22B and 22C that face each other.
A plurality of outlets 26 for ejecting air toward 3A are formed. Thrust bearings that support the spindle 23 in the thrust direction are formed by the air ejected from each of the air outlets 26. In addition, 29 is a tool.

【0019】ワーク加工室9は、ベッド1,コラム2、
スピンドルヘッド4およびテーブル6,8を覆う大きさ
で、前板部9A、後板部9B、天板部9C、底板部9D
および両側板部9E,9Fを備える箱状に形成されてい
る。これらのうち、後板部9Bの内面側上部位置には、
空気清浄手段51が取り付けられている。この空気清浄
手段51は、ワーク加工室9内の空気を吸い込み、その
吸い込んだ空気中の臭気成分、塵粒子、有害物質などを
分解、無害化するもので、消臭機能、除塵機能、除菌機
能などを備える。たとえば、その構造の一例としては、
プラズマに電子(フリーエレクトロン)を照射すること
で酸素を活性化し、その活性化した酸素ラジカルで臭気
成分の分解、有害物質の無害化などの機能を果たす。な
お、空気清浄手段51としては、この構造に限らず、活
性炭や光触媒などを用いて、消臭機能、除塵機能、除菌
機能などを果たす構造であってもよい。
The work processing room 9 includes a bed 1, a column 2,
A size that covers the spindle head 4 and the tables 6 and 8, and includes a front plate portion 9A, a rear plate portion 9B, a top plate portion 9C, and a bottom plate portion 9D.
And it is formed in the box shape provided with both side plate parts 9E and 9F. Of these, at the inner surface side upper position of the rear plate portion 9B,
The air cleaning means 51 is attached. The air cleaning means 51 sucks in the air in the work processing chamber 9 and decomposes and detoxifies odorous components, dust particles, harmful substances in the sucked air, and has a deodorizing function, a dust removing function, and a sterilizing function. It has functions. For example, as an example of its structure,
By irradiating plasma with electrons (free electrons), oxygen is activated, and the activated oxygen radicals perform functions such as decomposing odorous components and detoxifying harmful substances. The air cleaning means 51 is not limited to this structure, and may be a structure that uses activated carbon, a photocatalyst, or the like to perform a deodorizing function, a dust removing function, a sterilizing function, and the like.

【0020】ワーク加工室9を構成する前板部9A、後
板部9B、天板部9C、底板部9Dおよび両側板部9
E,9Fは、内壁61と外壁62の二重壁構造に形成さ
れ、二重壁構造の間に温調流体流通路63を持ってい
る。各板部9A,9B,9C,9D,9E,9Fに形成
された温調流体流通路63は、全て連通されている。つ
まり、ワーク加工室9の外側に温調流体流通路63が形
成されている。温度制御手段10は、ワーク加工室9の
外側に形成された温調流体流通路63と、この温調流体
流通路63内に配管64,65を介して連結され温度調
整された温調流体(ここでは、エアー)をワーク加工室
9に供給する温調流体供給手段としてのエアーコンディ
ショナ66とを備える。配管64は、エアーコンディシ
ョナ66と天板部9Cとの間に配設されている。配管6
5は、エアーコンディショナ66と後板部9Bとの間に
配設されている。
A front plate portion 9A, a rear plate portion 9B, a top plate portion 9C, a bottom plate portion 9D and both side plate portions 9 which constitute the work processing chamber 9.
E and 9F are formed in a double wall structure of an inner wall 61 and an outer wall 62, and have a temperature control fluid flow passage 63 between the double wall structures. The temperature control fluid flow passages 63 formed in the plate portions 9A, 9B, 9C, 9D, 9E, 9F are all in communication. That is, the temperature control fluid flow passage 63 is formed outside the work processing chamber 9. The temperature control means 10 is connected to the temperature control fluid flow passage 63 formed outside the workpiece processing chamber 9 via the pipes 64 and 65 in the temperature control fluid flow passage 63, and the temperature control fluid whose temperature is controlled ( Here, an air conditioner 66 as a temperature control fluid supply means for supplying (air) to the work processing chamber 9 is provided. The pipe 64 is arranged between the air conditioner 66 and the top plate portion 9C. Piping 6
5 is disposed between the air conditioner 66 and the rear plate portion 9B.

【0021】以上の構成において、ワークの加工にあた
っては、ワークをYテーブル8上にセットしたのち、工
具29とYテーブル8とを三次元方向へ相対移動させな
がら、工具29によってワークに加工を行う。つまり、
X軸駆動手段5によってXテーブル6をX軸方向へ、Y
軸駆動手段7によってYテーブル8をY軸方向へ、Z軸
駆動手段3によって工具29を有するスピンドルヘッド
4をZ軸方向へ移動させながら、加工を行う。
In the above construction, when machining a workpiece, the workpiece is set on the Y table 8 and then the workpiece is machined by the tool 29 while the tool 29 and the Y table 8 are relatively moved in the three-dimensional direction. . That is,
The X-axis drive means 5 moves the X-table 6 in the X-axis direction to Y.
Machining is performed while moving the Y table 8 in the Y-axis direction by the axis driving means 7 and the spindle head 4 having the tool 29 in the Z-axis direction by the Z-axis driving means 3.

【0022】この際、X軸駆動手段5およびY軸駆動手
段7がリニアモータ機構42,44によって構成されて
いるので、これらの駆動手段については、従来のような
ボールねじ軸を用いる必要がないので、構造の簡素化お
よび小型化が実現できる。しかも、従来のような送りね
じ軸が回転するとナット部材を介して可動部材が移動す
る構造ではないから、高速かつ高加減速化、さらに、バ
ックラッシュレス化による高精度化も併せて実現でき
る。また、Z軸駆動手段3はボールねじ送り機構によっ
て構成されているから、電源がオフしても、Z軸駆動手
段3の可動部が重力によって落下するのを防止できる。
つまり、安全性を確保できる。
At this time, since the X-axis driving means 5 and the Y-axis driving means 7 are constituted by the linear motor mechanisms 42 and 44, it is not necessary to use a ball screw shaft as in the conventional case for these driving means. Therefore, the structure can be simplified and downsized. Moreover, since the movable member does not move through the nut member when the feed screw shaft rotates as in the prior art, high speed and high acceleration / deceleration can be achieved, and further high accuracy due to backlash less can be realized. Further, since the Z-axis driving means 3 is composed of a ball screw feeding mechanism, it is possible to prevent the movable portion of the Z-axis driving means 3 from dropping due to gravity even when the power is turned off.
That is, safety can be secured.

【0023】また、スピンドルヘッド4は、スピンドル
23と、このスピンドル23を回転可能に支持する空気
静圧軸受22A,22B,22Cと、スピンドル23を
回転駆動させるモータ24とを備える構成であるから、
空気静圧軸受22A,22B,22Cの特性から高精度
な高速回転が容易に得られる。そのため、仕上げ加工を
大きな切削送り速度で効率的に行うことができる利点が
ある。
Since the spindle head 4 has a spindle 23, aerostatic bearings 22A, 22B and 22C that rotatably support the spindle 23, and a motor 24 that drives the spindle 23 to rotate,
Due to the characteristics of the aerostatic bearings 22A, 22B, 22C, high-accuracy high-speed rotation can be easily obtained. Therefore, there is an advantage that the finishing process can be efficiently performed at a high cutting feed rate.

【0024】この際、ワーク加工室9内のエアーを配管
65を介してエアーコンディショナ66内に取り込むと
ともに、このエアーコンディショナ66で設定温度に調
整したエアーを配管64を通じてワーク加工室9内に供
給する。これにより、ワーク加工室9内の温度が一定温
度範囲内に制御されるから、環境温度変動による工具や
ワークの熱膨張などが一定以下に抑えることができる。
よって、高精度な加工が期待できる。しかも、温度制御
手段10を、ワーク加工室9の外側に形成された温調流
体流通路63と、この温調流体流通路63内に温調流体
を供給するエアーコンディショナ66とを含んで構成し
たので、温調流体が直接加工部位にかかることがないた
め、比較的軟質なワークでも高精度な加工が期待でき
る。
At this time, the air in the work processing chamber 9 is taken into the air conditioner 66 through the pipe 65, and the air whose temperature is adjusted by the air conditioner 66 is introduced into the work processing chamber 9 through the pipe 64. Supply. As a result, the temperature in the work processing chamber 9 is controlled within the constant temperature range, so that the thermal expansion of the tool or the work due to the environmental temperature fluctuation can be suppressed below a certain level.
Therefore, highly accurate processing can be expected. Moreover, the temperature control means 10 is configured to include the temperature control fluid flow passage 63 formed outside the workpiece processing chamber 9 and the air conditioner 66 for supplying the temperature control fluid into the temperature control fluid flow passage 63. Therefore, since the temperature control fluid does not directly contact the processing portion, highly accurate processing can be expected even for a relatively soft work.

【0025】また、スピンドルヘッド4およびテーブル
8を覆うワーク加工室9は、消臭機能を備えた空気清浄
手段51を備える構成であるから、快適でかつ衛生的な
作業環境を提供することができる。一般に、工具によっ
てワークを切削あるいは研削加工する場合、冷却や潤滑
を目的として、工具による加工位置に向けて、オイルミ
スト(オイルを霧状にしてエアー内に混在させたもの)
やクーラント液などを吹き付けることが行われる。工具
が高速回転しながらワークを加工する場合、吹き付けら
れたオイルミストやクーラント液は、霧状になって周囲
に飛散することから、オイルのもつ臭気が加工機の周囲
に漂っていることが多い。
Further, since the work processing chamber 9 that covers the spindle head 4 and the table 8 is provided with the air cleaning means 51 having a deodorizing function, a comfortable and hygienic working environment can be provided. . Generally, when cutting or grinding a work with a tool, an oil mist (oil is atomized and mixed in the air) toward the processing position with the tool for the purpose of cooling and lubrication.
Spraying with a coolant or the like is performed. When a workpiece is processed while the tool rotates at high speed, the oil mist and coolant liquid sprayed become mist and scatter around, so the odor of oil is often found around the processing machine. .

【0026】本実施形態では、スピンドルヘッド4およ
びテーブル8を覆うワーク加工室9に、消臭機能を備え
た空気清浄手段51を備えているから、上述したような
作業環境下でも、オイルのもつ臭気を消臭し、快適な作
業環境を提供することができる。しかも、空気清浄手段
51を備えているから、空気中に霧状になって混入した
微細のオイルミストや、加工時に発生、飛散した微細な
切粉なども、同時に回収除去することができるから、衛
生的な作業環境を実現できる。
In the present embodiment, since the work processing chamber 9 covering the spindle head 4 and the table 8 is provided with the air cleaning means 51 having a deodorizing function, oil is retained even under the above-mentioned working environment. It is possible to eliminate odors and provide a comfortable working environment. Moreover, since the air cleaning means 51 is provided, it is possible to simultaneously collect and remove fine oil mist mixed in the air in the form of mist and fine chips generated and scattered during processing. A hygienic work environment can be realized.

【0027】なお、本発明は、上記実施形態で説明した
三次元加工機に限定されるものでなく、次のような変形
例も含む。たとえば、上記実施形態では、スピンドルヘ
ッド4をZ軸方向へ移動可能に、テーブル8をX軸方向
およびY軸方向へ移動可能に構成したが、これとは逆
に、スピンドルヘッド4をX軸方向およびY軸方向へ移
動可能に、テーブル8をZ軸方向へ移動可能に構成して
もよい。あるいは、テーブル8を固定とし、スピンドル
ヘッド4を全ての軸方向(X軸方向、X軸方向およびY
軸方向)へ移動可能に構成してもよく、また、スピンド
ルヘッド4を固定とし、テーブル8を全ての軸方向(X
軸方向、X軸方向およびY軸方向)へ移動可能に構成し
てもよい。要は、工具29を取り付けたスピンドルヘッ
ド4とワークを載置するテーブル8とを、上下方向とな
るZ軸方向、このZ軸方向に対して直交しかつ互いに直
交するX軸方向およびY軸方向へ相対移動可能に構成し
てあれば、どのような構成でもよい。
The present invention is not limited to the three-dimensional processing machine described in the above embodiment, and includes the following modifications. For example, in the above-described embodiment, the spindle head 4 is movable in the Z-axis direction and the table 8 is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. On the contrary, the spindle head 4 is movable in the X-axis direction. The table 8 may be configured to be movable in the Y-axis direction and movable in the Z-axis direction. Alternatively, the table 8 is fixed and the spindle head 4 is moved in all axial directions (X-axis direction, X-axis direction and Y-axis direction).
Alternatively, the spindle head 4 may be fixed and the table 8 may be moved in all axial directions (X direction).
It may be configured to be movable in the axial direction, the X-axis direction, and the Y-axis direction). In short, the spindle head 4 to which the tool 29 is attached and the table 8 on which the work is placed are arranged in the Z-axis direction which is the vertical direction, the X-axis direction and the Y-axis direction which are orthogonal to the Z-axis direction and are orthogonal to each other. Any structure may be used as long as it is configured to be relatively movable to.

【0028】また、上記実施形態では、スピンドル23
を空気静圧軸受22A,22B,22Cで回転可能に支
持した構造としたが、必ずしも、これに限られない。空
気静圧軸受22A,22B,22C以外の非接触軸受、
たとえば、磁気軸受などの非接触軸受で回転可能に支持
した構造でもよい。あるいは、スピンドルを玉軸受で支
持した構造でもよいが、好ましくは、非接触軸受であれ
ば高精度化を実現する上で最良である。
Further, in the above embodiment, the spindle 23
Although it has a structure in which the hydrostatic bearings 22A, 22B, and 22C are rotatably supported, the present invention is not limited to this. Non-contact bearings other than the aerostatic bearings 22A, 22B, 22C,
For example, a structure in which a non-contact bearing such as a magnetic bearing is rotatably supported may be used. Alternatively, a structure in which the spindle is supported by a ball bearing may be used, but a non-contact bearing is preferable in terms of achieving high accuracy.

【0029】また、上記実施形態では、ワーク加工室9
を、ベッド1,コラム2、スピンドルヘッド4およびテ
ーブル6,8を覆う大きさの箱状に形成したが、少なく
とも工具29およびテーブル8を覆う大きさで、かつ、
これら工具29およびテーブル8の三次元方向への相対
移動を許容できる構造であれば、形状や大きさなどは問
わない。また、上記実施形態では、酸素を活性化させて
各種機能を果たす構造の空気清浄手段51を用いたが、
これに限らず、消臭機能、除塵機能、除菌機能などのう
ち、少なくとも消臭機能を備えるものであれば、他の構
成の空気清浄手段でもよい。
Further, in the above embodiment, the work processing chamber 9
Is formed in a box shape having a size that covers the bed 1, the column 2, the spindle head 4, and the tables 6 and 8, and has a size that covers at least the tool 29 and the table 8, and
The shape and size are not limited as long as the tool 29 and the table 8 can be relatively moved in the three-dimensional direction. In the above embodiment, the air cleaning means 51 having a structure that activates oxygen to perform various functions is used.
The air cleaning means is not limited to this, and may have another configuration as long as it has at least a deodorizing function among the deodorizing function, the dust removing function, the sterilizing function, and the like.

【0030】また、上記実施形態では、三次元研削加工
機について説明したが、研削加工機に限らず、エンドミ
ルなどの工具を用いてワークを切削加工する三次元切削
加工機などにも適用できる。要するに、工具を取り付け
たスピンドルヘッドとワークを載置するテーブルとが、
上下方向となるZ軸方向、このZ軸方向に対して直交し
かつ互いに直交するX軸方向およびY軸方向へ相対移動
しながら、研削、切削などを含む全ての加工を行う加工
機全般に適用できる。
In the above embodiment, the three-dimensional grinding machine has been described, but the present invention is not limited to the grinding machine, but can be applied to a three-dimensional cutting machine that cuts a work using a tool such as an end mill. In short, the spindle head to which the tool is attached and the table on which the work is placed are
Applicable to all processing machines that perform all processing including grinding and cutting while moving relatively in the vertical Z-axis direction and in the X-axis and Y-axis directions that are orthogonal to this Z-axis direction and orthogonal to each other. it can.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明の三次元加工機によれば、構造簡
素化、小型化、高速かつ高加減速化、さらに、バックラ
ッシュレス化による高精度化を実現できる。
According to the three-dimensional processing machine of the present invention, the structure can be simplified, the size can be reduced, the speed and acceleration / deceleration can be increased, and the backlash can be eliminated to improve the accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る三次元加工機の一実施形態を示す
正面から見た図。
FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a three-dimensional processing machine according to the present invention.

【図2】同上実施形態の側面から見た図。FIG. 2 is a view seen from a side surface of the embodiment.

【図3】同上実施形態における直線ガイド機構およびリ
ニアモータ機構を示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a linear guide mechanism and a linear motor mechanism in the same embodiment.

【図4】同上実施形態におけるスピンドルヘッドを示す
断面図。
FIG. 4 is a sectional view showing a spindle head according to the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ベッド 3 Z軸駆動手段 4 スピンドルヘッド 5 X軸駆動手段 7 Y軸駆動手段 8 テーブル 9 ワーク加工室 10 温度制御手段 22A,22B,22C 空気静圧軸受(非接触軸受) 23 スピンドル 24 モータ 42,44 リニアモータ機構 51 空気清浄手段 63 温調流体流通路 66 エアーコンディショナ(温調流体供給手段) 1 bed 3 Z-axis drive means 4 spindle head 5 X-axis drive means 7 Y-axis drive means 8 tables 9 Work processing room 10 Temperature control means 22A, 22B, 22C Aerostatic bearing (non-contact bearing) 23 spindles 24 motor 42,44 Linear motor mechanism 51 Air cleaning means 63 Temperature control fluid flow passage 66 Air conditioner (temperature control fluid supply means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B23Q 1/26 E Fターム(参考) 3C011 AA00 3C048 AA01 BC02 BC03 CC07 DD10 DD13 DD26 EE00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) B23Q 1/26 EF term (reference) 3C011 AA00 3C048 AA01 BC02 BC03 CC07 DD10 DD13 DD26 EE00

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 工具を取り付けたスピンドルヘッドとワ
ークを載置するテーブルとを、上下方向となるZ軸方
向、このZ軸方向に対して直交しかつ互いに直交するX
軸方向およびY軸方向へ相対移動可能に構成した三次元
加工機であって、 前記スピンドルヘッドとテーブルとをZ軸方向へ相対移
動させるZ軸駆動手段と、 前記スピンドルヘッドとテーブルとをX軸方向およびY
軸方向へ相対移動させるX軸駆動手段およびY軸駆動手
段とを備え、 前記Z軸駆動手段は、ボールねじ送り機構によって構成
され、 前記X軸駆動手段およびY軸駆動手段は、リニアモータ
機構によって構成されていることを特徴とする三次元加
工機。
1. A spindle head having a tool attached thereto and a table on which a work is placed are arranged in a Z-axis direction, which is a vertical direction, and are orthogonal to the Z-axis direction and to each other.
A three-dimensional processing machine configured to be relatively movable in an axial direction and a Y-axis direction, wherein a Z-axis driving unit that relatively moves the spindle head and the table in the Z-axis direction, and the spindle head and the table in the X-axis. Direction and Y
An X-axis driving unit and a Y-axis driving unit that relatively move in the axial direction are provided, the Z-axis driving unit is configured by a ball screw feeding mechanism, and the X-axis driving unit and the Y-axis driving unit are configured by a linear motor mechanism. A three-dimensional processing machine characterized by being configured.
【請求項2】 請求項1に記載の三次元加工機におい
て、 前記スピンドルヘッドは、スピンドルと、このスピンド
ルを回転可能に支持する非接触軸受と、前記スピンドル
を回転駆動させるモータとを備えることを特徴とする三
次元加工機。
2. The three-dimensional processing machine according to claim 1, wherein the spindle head includes a spindle, a non-contact bearing that rotatably supports the spindle, and a motor that rotationally drives the spindle. A characteristic three-dimensional processing machine.
【請求項3】 請求項2に記載の三次元加工機おいて、 前記非接触軸受は、空気静圧軸受によって構成されてい
ることを特徴とする三次元加工機。
3. The three-dimensional processing machine according to claim 2, wherein the non-contact bearing comprises an aerostatic bearing.
【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかに記
載の三次元加工機は、さらに、 少なくとも前記工具およびテーブルを覆うワーク加工室
を備え、 前記ワーク加工室は、消臭機能を備えた空気清浄手段を
備えていることを特徴とする三次元加工機。
4. The three-dimensional processing machine according to claim 1, further comprising a work processing chamber that covers at least the tool and the table, and the work processing chamber has a deodorizing function. A three-dimensional processing machine characterized by being equipped with an air cleaning means.
【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれかに記
載の三次元加工機は、さらに、 前記ワーク加工室内の温度を制御する温度制御手段を備
えていることを特徴とする三次元加工機。
5. The three-dimensional processing machine according to claim 1, further comprising temperature control means for controlling the temperature in the work processing chamber. Machine.
【請求項6】 請求項5に記載の三次元加工機おいて、 前記温度制御手段は、前記ワーク加工室の外側に形成さ
れた温調流体流通路と、この温調流体流通路内に温度調
整された温調流体を供給する温調流体供給手段とを備え
ることを特徴とする三次元加工機。
6. The three-dimensional processing machine according to claim 5, wherein the temperature control means includes a temperature control fluid flow passage formed outside the workpiece processing chamber and a temperature control fluid inside the temperature control fluid flow passage. A three-dimensional processing machine comprising: a temperature control fluid supply means for supplying the adjusted temperature control fluid.
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