JP2003250258A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
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- JP2003250258A JP2003250258A JP2002045723A JP2002045723A JP2003250258A JP 2003250258 A JP2003250258 A JP 2003250258A JP 2002045723 A JP2002045723 A JP 2002045723A JP 2002045723 A JP2002045723 A JP 2002045723A JP 2003250258 A JP2003250258 A JP 2003250258A
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- Manufacture Of Motors, Generators (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 エアギャップをモータ単体できめることがで
きるとともに、移動子の振動がテーブル部に影響しない
リニアモータを提供する。 【解決手段】 機台部１と、機台部１に固定されている
左右一対の第１レール部３と、第１レール部３に配置さ
れている左右一対の第１スライド部５と、第１スライド
部５に固定されているテーブル部２と、機台部１に固定
されている固定子１１と、固定子１１とテーブル部２と
の間に配置されている移動子１２とを有するリニアモー
タにおいて、固定子１１の左右両側に第２レール部７を
設け、第２レール部７の上に第２スライド部９を設け、
第２スライド部９と移動子１２を固定し、かつ、テーブ
ル部２または移動子１２の一方に、テーブル部２に対し
て移動子１２を、上下方向に摺動可能で、かつ進行方向
に拘束する係合固定部１３ａ，１３ｂを設ける。
きるとともに、移動子の振動がテーブル部に影響しない
リニアモータを提供する。 【解決手段】 機台部１と、機台部１に固定されている
左右一対の第１レール部３と、第１レール部３に配置さ
れている左右一対の第１スライド部５と、第１スライド
部５に固定されているテーブル部２と、機台部１に固定
されている固定子１１と、固定子１１とテーブル部２と
の間に配置されている移動子１２とを有するリニアモー
タにおいて、固定子１１の左右両側に第２レール部７を
設け、第２レール部７の上に第２スライド部９を設け、
第２スライド部９と移動子１２を固定し、かつ、テーブ
ル部２または移動子１２の一方に、テーブル部２に対し
て移動子１２を、上下方向に摺動可能で、かつ進行方向
に拘束する係合固定部１３ａ，１３ｂを設ける。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子回路基板の組
立工程、マシニングセンタなどの工作機械や製造装置で
使用されるリニアモータに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】リニアモータの従来例を図３に基づいて
説明する。図３はリニアモータの進行方向から見た正面
図であり、リニアモータの構成例を示している。図３に
おいて、１は機台部、２はテーブル部、３は左右一対の
レール部、５は同じく左右一対のスライド部、１１は固
定子、１２は移動子である。以下、リニアモータの設置
手順について示す。まず、機台部１の左右側に、レール
部３をボルトなどによって固定する。次に、レール部３
の種類や仕様に応じて決められたスライド部５を左右両
側のレール部３の上に配置する。次に、スライド部５の
上にテーブル部２を設置し、ボルトなどで固定する。な
お、スライド部５の種類によっては、スライド部５とテ
ーブル部２が一体化されているものもあるが、その場合
は、テーブル部２をレール部３の上に直接設置する。ま
た逆に、レール部３と機台部１が一体化されているもの
もあるが、その場合は、テーブル２を機台部１の上に直
接設置する。次に、機台部１の上面に、固定子１１をボ
ルトなどを利用して、固定する。次に、テーブル部２の
下面に、移動子１２をボルトなどを利用して固定する。
以上の設置手順により、固定子１１と移動子１２とのエ
アギャップｇが設定される。前記エアギャップｇの寸法
は、次の（１）式に基づいて決定されている。ただし、
Ｌ１は左側レール部３に位置するテーブル部２と機台部
１とのギャップ、Ｌ２は右側レール部３に位置するテー
ブル部２と機台部１とのギャップ、Ｄは固定子１１の厚
さ、Ｒは移動子１２の厚さである。 ｇ＝（Ｌ１＋Ｌ２）／２−Ｄ−Ｒ （１） すなわち、テーブル２と機台１との上下方向（高さ方
向）の寸法によって、エアギャップｇが決められてい
る。従って、Ｌ１、Ｌ２、Ｄ、Ｒの一部、または全部を
調整することによって、エアギャップｇの調整がなされ
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来は、前記（１）式
に示すように、モータの性能を決めるエアギャップｇが
寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２の精度によって決められてい
る。すなわち、正確な推力を生じるためには、寸法（Ｌ
１＋Ｌ２）／２を正確に調整し、かつ、個々の部品が精
密に製造されている必要がある。しかしながら、これら
を実施するには、さまざまな問題がある。例えば、テー
ブル部２の質量が、移動子１２の質量の数十倍となって
いる場合、寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２は、テーブル２部の
装着後の自重によって多少変化する。従って、正確なエ
アギャップｇをモータの必要な寸法に一致させるため
に、面倒な調整作業が必要である。また、通常、移動子
１２または固定子１１に電流を流す際に、上下方向に推
力の数十倍の吸引力が生成され、テーブル部２を上下方
向に振動させることがある。つまり、エアギャップｇが
変化し、モータの性能が不安定となる。特に工作機械に
応用する際に、加工部品の精度に影響し、問題となる。
また、モータの性能は、寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２の精度
によって決められているので、テーブル部２や機台１が
なければ、モータの電磁気・電磁力性能を正確に評価す
ることができない。さらに、メンテナンスをする際に、
テーブル部２を外す必要があるので、面倒な作業とな
り、コストがかかるという問題があった。本発明は、こ
のような問題を解決するためになされたもので、エアギ
ャップをモータ単体できめることができるとともに、移
動子の振動がテーブル部に影響しないリニアモータを提
供することを目的とするものである。 【０００４】 【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、機台部と、前記機台部に固定されている
左右一対の第１レール部と、前記第１レール部に配置さ
れている左右一対の第１スライド部と、前記第１スライ
ド部に固定されているテーブル部と、前記機台部に固定
されている固定子と、前記固定子と前記テーブル部との
間に配置されている移動子とを有し、前記固定子と前記
移動子とによる駆動力に基づいて、前記機台部とテーブ
ル部とを相対運動させるリニアモータにおいて、前記固
定子の左右両側に第２レール部を設け、前記第２レール
部の上に第２スライド部を設け、前記第２スライド部に
移動子を固定し、前記テーブル部または移動子の一方
に、前記テーブル部に対して前記移動子を、上下方向に
摺動可能で、かつ進行方向に拘束する係合固定部を設け
るようにしたものである。 【０００５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図に基
づいて説明する。図１は、本発明の実施例におけるリニ
アモータの構成を示す進行方向からみた正面図で、図２
は、図１に於けるＡ−Ａ断面図である。図１および図２
に示すように、リニアモータは、機台部１と、テーブル
部２と、第１レール部３と、第１スライド部５と、第２
レール部７と、第２スライド部９と、固定子１１と、移
動子１２と、固定部１３とから構成されている。ただ
し、機台部１と、テーブル部２と、第１レール部３と、
第１スライド部５と、固定子１１と、移動子１２は、従
来のものと同一である。従来技術と異なる本発明のリニ
アモータ設置手順について、以下に説明する。まず、固
定子１１の左右両側に、第２レール部７をボルトなどに
よって固定する。次に、第２レール部７の上に第２スラ
イド部９を配置する。次に、第２スライド部９の上に移
動子１２を載せ、モータ仕様に要求されているエアギャ
ップｇが得られるように、ボルトなどで、移動子１２と
第２スライド部９を固定する。この取り付け作業には、
移動子１２のみを多少調整すれば、エアギャップｇの仕
様を満足することができる。以上の設置及び調整作業に
よって、第２レール部７と、第２スライド部９と、固定
子１１と、移動子１２とからモータ単体部が構成され
る。また、第２レール部７と、第２スライド部９は、次
の（２）式の条件が満足するように選択されたものであ
る。ただし、Ｘは図１に示すモータ単体の上下方向の寸
法である。 Ｘ＜（Ｌ１＋Ｌ２）／２ （２） 次に、テーブル部２の下面に、係合固定部１３ａをボル
トで固定する。ただし、係合固定部１３ａは、その上下
方向の寸法Ｙ１が次の（３）式の条件を満足するように
選択されたものとする。 （Ｌ１＋Ｌ２）／２―Ｙ１＜Ｘ （３） 次に、モータ単体を機台１に配置する。その際に、移動
子１２の進行方向の一方側端面を、係合固定部１３ａに
当てて係合させる。次に、移動子１２の進行方向の他方
側端面に当接するようにして、係合固定部１３ｂをテー
ブル部２の下面にボルトで固定する。ただし、この係合
固定部１３ｂも、その上下方向の寸法Ｙ２が次の（４）
式の条件を満足するように選択されたものとする。 （Ｌ１＋Ｌ２）／２―Ｙ２＜Ｘ （４） また、２つの係合固定部１３ａ，１３ｂをテーブル２の
下面に配置する際に、係合固定部１３ａ，１３ｂ間で、
移動子１２を挟んで、前記移動子１２を進行方向に拘束
する。よって、移動子１２に生じる推力が直ちにテーブ
ル部２に伝えられ、テーブル部２を駆動することとな
る。ただし、移動子１２は、係合固定部１３ａ，１３ｂ
間において、上下方向には摺動が可能なようになってい
る。この構成により、モータ単体の組み立てが完了した
時点から、モータの電磁気・電磁力性能は変化しないこ
とになる。リニアモータの上下方向の寸法条件が（１）
式から、（２）式に緩和されたことによって、同一のテ
ーブル部構成に対して、さまざまな仕様のモータ単体を
簡単に設置することができる。よって、低コストで大量
生産された真空ようモータ単体を利用して、さまざまな
テーブル部２を駆動することができるので、生産性が大
幅に向上する。また、移動子１２はテーブル２部に対し
て、上下方向には拘束されていないので、移動子１２に
上下方向の振動が生じた場合も、テーブル部２には振動
が伝わらず、テーブル部２の上下方向の位置が全く変化
しない。さらに、エアギャップｇはモータ単体を組み立
てる際に決められるものであるので、移動子１２よりも
数十倍重いテーブル部２を連結して、エアギャップｇの
調整を行う必要がなくなり、組み立て作業の生産効率は
大幅に向上する。また、固定子１１と機台１とを締め付
けている固定用ボルトと、移動子１２を挟んでいる２つ
の固定部１３ａ，１３ｂのうちのどちら１つをはずせ
ば、モータ単体を簡単に取り外すことができる。よっ
て、移動子１２と固定子１１のどちらかが故障した場
合、テーブル部２を取り外す必要がないので、メンテナ
ンスは簡単に行える。なお、前述した実施例は、１進行
方向のリニアモータを例に説明したが、Ｘ−Ｙのような
多進行方向のリニアモータにおいても、本発明を適用す
ることができることは言うまでもない。 【０００６】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。 (1)リニアモータの上下方向の寸法条件が（１）式か
ら、（２）式に緩和されたことによって、同一のテーブ
ル部構成に対して、さまざまな仕様のモータ単体を簡単
に設置することができる。よって、低コストで大量生産
されたモータ単体を利用して、さまざまなテーブル部２
を駆動することができ、生産性を大幅に向上することが
できる。 (2)移動子１２とテーブル部２との上下方向の相対位置
が固定されていないので、移動子１２に上下方向の振動
が生じた場合も、テーブル部２と機台１との上下方向の
相対位置には影響がない。従って、移動子１２が上下方
向に振動しても、テーブル部２と機台１との上下方向の
寸法は変わらない。よって、テーブルを駆動する際に、
進行方向だけではなく、上下方向の寸法仕様も容易に実
現することができる。 (3)エアギャップｇは、モータ単体を組み立てる際に決
められるものであるので、移動子１２よりも数十倍重い
テーブル部２を連結して、エアギャップｇの調整を行う
必要がない。よって、テーブル部２を組み立てる際の生
産効率を大幅に向上することができる。 (4)固定子１１と機台１とを締め付けている固定用ボル
トと、移動子１２を挟んでいる２つの係合固定部１３
ａ，１３ｂのうちのどちら１つをはずせば、モータ単体
を簡単に取り外すことができる。よって、移動子１２と
固定子１１のどちらかが故障した場合、テーブル部２を
取り外す必要がないので、メンテナンスがしやすい。
立工程、マシニングセンタなどの工作機械や製造装置で
使用されるリニアモータに関するものである。 【０００２】 【従来の技術】リニアモータの従来例を図３に基づいて
説明する。図３はリニアモータの進行方向から見た正面
図であり、リニアモータの構成例を示している。図３に
おいて、１は機台部、２はテーブル部、３は左右一対の
レール部、５は同じく左右一対のスライド部、１１は固
定子、１２は移動子である。以下、リニアモータの設置
手順について示す。まず、機台部１の左右側に、レール
部３をボルトなどによって固定する。次に、レール部３
の種類や仕様に応じて決められたスライド部５を左右両
側のレール部３の上に配置する。次に、スライド部５の
上にテーブル部２を設置し、ボルトなどで固定する。な
お、スライド部５の種類によっては、スライド部５とテ
ーブル部２が一体化されているものもあるが、その場合
は、テーブル部２をレール部３の上に直接設置する。ま
た逆に、レール部３と機台部１が一体化されているもの
もあるが、その場合は、テーブル２を機台部１の上に直
接設置する。次に、機台部１の上面に、固定子１１をボ
ルトなどを利用して、固定する。次に、テーブル部２の
下面に、移動子１２をボルトなどを利用して固定する。
以上の設置手順により、固定子１１と移動子１２とのエ
アギャップｇが設定される。前記エアギャップｇの寸法
は、次の（１）式に基づいて決定されている。ただし、
Ｌ１は左側レール部３に位置するテーブル部２と機台部
１とのギャップ、Ｌ２は右側レール部３に位置するテー
ブル部２と機台部１とのギャップ、Ｄは固定子１１の厚
さ、Ｒは移動子１２の厚さである。 ｇ＝（Ｌ１＋Ｌ２）／２−Ｄ−Ｒ （１） すなわち、テーブル２と機台１との上下方向（高さ方
向）の寸法によって、エアギャップｇが決められてい
る。従って、Ｌ１、Ｌ２、Ｄ、Ｒの一部、または全部を
調整することによって、エアギャップｇの調整がなされ
る。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】従来は、前記（１）式
に示すように、モータの性能を決めるエアギャップｇが
寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２の精度によって決められてい
る。すなわち、正確な推力を生じるためには、寸法（Ｌ
１＋Ｌ２）／２を正確に調整し、かつ、個々の部品が精
密に製造されている必要がある。しかしながら、これら
を実施するには、さまざまな問題がある。例えば、テー
ブル部２の質量が、移動子１２の質量の数十倍となって
いる場合、寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２は、テーブル２部の
装着後の自重によって多少変化する。従って、正確なエ
アギャップｇをモータの必要な寸法に一致させるため
に、面倒な調整作業が必要である。また、通常、移動子
１２または固定子１１に電流を流す際に、上下方向に推
力の数十倍の吸引力が生成され、テーブル部２を上下方
向に振動させることがある。つまり、エアギャップｇが
変化し、モータの性能が不安定となる。特に工作機械に
応用する際に、加工部品の精度に影響し、問題となる。
また、モータの性能は、寸法（Ｌ１＋Ｌ２）／２の精度
によって決められているので、テーブル部２や機台１が
なければ、モータの電磁気・電磁力性能を正確に評価す
ることができない。さらに、メンテナンスをする際に、
テーブル部２を外す必要があるので、面倒な作業とな
り、コストがかかるという問題があった。本発明は、こ
のような問題を解決するためになされたもので、エアギ
ャップをモータ単体できめることができるとともに、移
動子の振動がテーブル部に影響しないリニアモータを提
供することを目的とするものである。 【０００４】 【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、機台部と、前記機台部に固定されている
左右一対の第１レール部と、前記第１レール部に配置さ
れている左右一対の第１スライド部と、前記第１スライ
ド部に固定されているテーブル部と、前記機台部に固定
されている固定子と、前記固定子と前記テーブル部との
間に配置されている移動子とを有し、前記固定子と前記
移動子とによる駆動力に基づいて、前記機台部とテーブ
ル部とを相対運動させるリニアモータにおいて、前記固
定子の左右両側に第２レール部を設け、前記第２レール
部の上に第２スライド部を設け、前記第２スライド部に
移動子を固定し、前記テーブル部または移動子の一方
に、前記テーブル部に対して前記移動子を、上下方向に
摺動可能で、かつ進行方向に拘束する係合固定部を設け
るようにしたものである。 【０００５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図に基
づいて説明する。図１は、本発明の実施例におけるリニ
アモータの構成を示す進行方向からみた正面図で、図２
は、図１に於けるＡ−Ａ断面図である。図１および図２
に示すように、リニアモータは、機台部１と、テーブル
部２と、第１レール部３と、第１スライド部５と、第２
レール部７と、第２スライド部９と、固定子１１と、移
動子１２と、固定部１３とから構成されている。ただ
し、機台部１と、テーブル部２と、第１レール部３と、
第１スライド部５と、固定子１１と、移動子１２は、従
来のものと同一である。従来技術と異なる本発明のリニ
アモータ設置手順について、以下に説明する。まず、固
定子１１の左右両側に、第２レール部７をボルトなどに
よって固定する。次に、第２レール部７の上に第２スラ
イド部９を配置する。次に、第２スライド部９の上に移
動子１２を載せ、モータ仕様に要求されているエアギャ
ップｇが得られるように、ボルトなどで、移動子１２と
第２スライド部９を固定する。この取り付け作業には、
移動子１２のみを多少調整すれば、エアギャップｇの仕
様を満足することができる。以上の設置及び調整作業に
よって、第２レール部７と、第２スライド部９と、固定
子１１と、移動子１２とからモータ単体部が構成され
る。また、第２レール部７と、第２スライド部９は、次
の（２）式の条件が満足するように選択されたものであ
る。ただし、Ｘは図１に示すモータ単体の上下方向の寸
法である。 Ｘ＜（Ｌ１＋Ｌ２）／２ （２） 次に、テーブル部２の下面に、係合固定部１３ａをボル
トで固定する。ただし、係合固定部１３ａは、その上下
方向の寸法Ｙ１が次の（３）式の条件を満足するように
選択されたものとする。 （Ｌ１＋Ｌ２）／２―Ｙ１＜Ｘ （３） 次に、モータ単体を機台１に配置する。その際に、移動
子１２の進行方向の一方側端面を、係合固定部１３ａに
当てて係合させる。次に、移動子１２の進行方向の他方
側端面に当接するようにして、係合固定部１３ｂをテー
ブル部２の下面にボルトで固定する。ただし、この係合
固定部１３ｂも、その上下方向の寸法Ｙ２が次の（４）
式の条件を満足するように選択されたものとする。 （Ｌ１＋Ｌ２）／２―Ｙ２＜Ｘ （４） また、２つの係合固定部１３ａ，１３ｂをテーブル２の
下面に配置する際に、係合固定部１３ａ，１３ｂ間で、
移動子１２を挟んで、前記移動子１２を進行方向に拘束
する。よって、移動子１２に生じる推力が直ちにテーブ
ル部２に伝えられ、テーブル部２を駆動することとな
る。ただし、移動子１２は、係合固定部１３ａ，１３ｂ
間において、上下方向には摺動が可能なようになってい
る。この構成により、モータ単体の組み立てが完了した
時点から、モータの電磁気・電磁力性能は変化しないこ
とになる。リニアモータの上下方向の寸法条件が（１）
式から、（２）式に緩和されたことによって、同一のテ
ーブル部構成に対して、さまざまな仕様のモータ単体を
簡単に設置することができる。よって、低コストで大量
生産された真空ようモータ単体を利用して、さまざまな
テーブル部２を駆動することができるので、生産性が大
幅に向上する。また、移動子１２はテーブル２部に対し
て、上下方向には拘束されていないので、移動子１２に
上下方向の振動が生じた場合も、テーブル部２には振動
が伝わらず、テーブル部２の上下方向の位置が全く変化
しない。さらに、エアギャップｇはモータ単体を組み立
てる際に決められるものであるので、移動子１２よりも
数十倍重いテーブル部２を連結して、エアギャップｇの
調整を行う必要がなくなり、組み立て作業の生産効率は
大幅に向上する。また、固定子１１と機台１とを締め付
けている固定用ボルトと、移動子１２を挟んでいる２つ
の固定部１３ａ，１３ｂのうちのどちら１つをはずせ
ば、モータ単体を簡単に取り外すことができる。よっ
て、移動子１２と固定子１１のどちらかが故障した場
合、テーブル部２を取り外す必要がないので、メンテナ
ンスは簡単に行える。なお、前述した実施例は、１進行
方向のリニアモータを例に説明したが、Ｘ−Ｙのような
多進行方向のリニアモータにおいても、本発明を適用す
ることができることは言うまでもない。 【０００６】 【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。 (1)リニアモータの上下方向の寸法条件が（１）式か
ら、（２）式に緩和されたことによって、同一のテーブ
ル部構成に対して、さまざまな仕様のモータ単体を簡単
に設置することができる。よって、低コストで大量生産
されたモータ単体を利用して、さまざまなテーブル部２
を駆動することができ、生産性を大幅に向上することが
できる。 (2)移動子１２とテーブル部２との上下方向の相対位置
が固定されていないので、移動子１２に上下方向の振動
が生じた場合も、テーブル部２と機台１との上下方向の
相対位置には影響がない。従って、移動子１２が上下方
向に振動しても、テーブル部２と機台１との上下方向の
寸法は変わらない。よって、テーブルを駆動する際に、
進行方向だけではなく、上下方向の寸法仕様も容易に実
現することができる。 (3)エアギャップｇは、モータ単体を組み立てる際に決
められるものであるので、移動子１２よりも数十倍重い
テーブル部２を連結して、エアギャップｇの調整を行う
必要がない。よって、テーブル部２を組み立てる際の生
産効率を大幅に向上することができる。 (4)固定子１１と機台１とを締め付けている固定用ボル
トと、移動子１２を挟んでいる２つの係合固定部１３
ａ，１３ｂのうちのどちら１つをはずせば、モータ単体
を簡単に取り外すことができる。よって、移動子１２と
固定子１１のどちらかが故障した場合、テーブル部２を
取り外す必要がないので、メンテナンスがしやすい。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例におけるリニアモータの構成
を示す進行方向からみた正面図である。 【図２】 図１に於けるＡ−Ａ断面図である。 【図３】 従来技術におけるリニアモータの構成を示す
進行方向からみた正面図である。 【符号の説明】 １ 機台部 ２ テーブル部 ３ 第１レール部 ５ 第１スライド部 ７ 第２レール部 ９ 第２スライド部 １１ 固定子 １２ 移動子 １３ 係合固定部
を示す進行方向からみた正面図である。 【図２】 図１に於けるＡ−Ａ断面図である。 【図３】 従来技術におけるリニアモータの構成を示す
進行方向からみた正面図である。 【符号の説明】 １ 機台部 ２ テーブル部 ３ 第１レール部 ５ 第１スライド部 ７ 第２レール部 ９ 第２スライド部 １１ 固定子 １２ 移動子 １３ 係合固定部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 機台部と、前記機台部に固定されている
左右一対の第１レール部と、前記第１レール部に配置さ
れている左右一対の第１スライド部と、前記第１スライ
ド部に固定されているテーブル部と、前記機台部に固定
されている固定子と、前記固定子と前記テーブル部との
間に配置されている移動子とを有し、前記固定子と前記
移動子とによる駆動力に基づいて、前記機台部とテーブ
ル部とを相対運動させるリニアモータにおいて、前記固
定子の左右両側に第２レール部を設け、前記第２レール
部の上に第２スライド部を設け、前記第２スライド部に
移動子を固定し、前記テーブル部または移動子の一方
に、前記テーブル部に対して前記移動子を、上下方向に
摺動可能で、かつ進行方向に拘束する係合固定部を設け
たことを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002045723A JP3972681B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002045723A JP3972681B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003250258A true JP2003250258A (ja) | 2003-09-05 |
| JP3972681B2 JP3972681B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=28659411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002045723A Expired - Fee Related JP3972681B2 (ja) | 2002-02-22 | 2002-02-22 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3972681B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102185454A (zh) * | 2011-05-25 | 2011-09-14 | 常州市润源经编机械有限公司 | 一种线性电机安装机构 |
| DE102014118335A1 (de) | 2013-12-17 | 2015-06-18 | Fanuc Corporation | Linearantriebseinheit mit Linearmotor und eine Werkzeugmaschine damit |
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2002
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