JP2003249721A - ファイバ結合型波長可変シングルモード長波長垂直共振器型レーザー - Google Patents

ファイバ結合型波長可変シングルモード長波長垂直共振器型レーザー

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JP2003249721A JP2003037968A JP2003037968A JP2003249721A JP 2003249721 A JP2003249721 A JP 2003249721A JP 2003037968 A JP2003037968 A JP 2003037968A JP 2003037968 A JP2003037968 A JP 2003037968A JP 2003249721 A JP2003249721 A JP 2003249721A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】製造コストを低減した改良された長波長光源を
提供すること。 【解決手段】本発明は、第1波長の光を生成し生成した
光を光ファイバに結合する光源である。この光源には、
光ファイバの外部に位置する底部ミラーと光ファイバ内
に位置する反射器を備えた上部ミラーを含む第1光共振
空洞を有する出力レーザーが含まれている。これら上部
ミラー及び底部ミラー間に存在する活性領域によって第
1波長の光が生成されるが、第2波長で光学的にポンピ
ングすることにより生成することが望ましい。この反射
器はブラッグ反射器であることが望ましく、反射する光
の波長並びに上部ミラー及び底部ミラー間の距離を変更
するメカニズムを含んでもよい。第1光共振空洞の底部
ミラーに電気的に接続された上部ミラーを有する、第2
の電気的にポンピングされた光共振空洞を含むポンピン
グレーザーによってポンピング光を生成することが望ま
しい。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明はレーザーに関し、更
に詳しくは、高速のシングルモード光ファイバ通信用レ
ーザーに関する。 【0002】 【従来の技術】長波長垂直共振器型面発光レーザー(V
CSEL)は、主に高速のシングルモード光ファイバに
よる通信において使用される。光通信用の1310nm
と1550nmシングルモード光源に要求される主な性
能面の課題は、十分な出力範囲(通常、1mW)におけ
るシングルモード動作と、温度及びバイアス変動に対す
る波長と偏波の安定性であり、更には、出力波長のチュ
ーニング能力も個別波長多重通信システム用の光源とし
ては非常に望ましい機能である。 【0003】1310nmと1550nm波長帯の波長
可変VCSEL光源は、既に当業者には周知であるが、
これらの装置はいずれも理想的なものではない。例え
ば、VCSELの種類の1つに、電気的なポンピングを
行い可動膜によってチューニングを実現しているものが
あるが、この種の装置がその実証に成功しているのは9
80nm及び850nmのみであり、より長い波長領域
においては、技術的な諸問題のために商用装置の製造が
実現していない。 【0004】又、980nmの端面発光レーザーによっ
て光学的にポンピングするVCSELも当業者には周知
であるが、これらの装置の場合も可動膜を使用してチュ
ーニングしており、ファイバから導波路への複数の結合
に関わるコストと980nmのポンプレーザーに関わる
コストによって装置のコストが上昇し、現状では、まだ
光ネットワークにおいて商用に広く使用されるには至っ
ていない。 【0005】又、ピグテール型980nmレーザーによ
って光学的にポンピングするファイバー・ファブリーペ
ロー型面発光レーザーも実証を完了しているが、これら
の装置は圧電素子によって制御された共振空洞ミラーに
よってチューニングしており、ファイバからレーザーへ
の結合コストとファイバ結合型980nmレーザーポン
プに関わる追加コストのため、これらの装置もまた経済
的な魅力に欠けている。 【0006】 【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、広義には、改良された長波長光源を提供することに
ある。 【0007】以下、添付の図面を参照して本発明に関す
る詳細な説明を行うことにより、これら及びその他の本
発明の目的について当業者に明らかにする。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明は、第1波長の光
を生成し生成した光を光ファイバに結合する光源であ
る。この光源には、光ファイバの外部に位置する底部ミ
ラーと光ファイバ内に位置する反射器を備えた上部ミラ
ーを含む第1光共振空洞を有する出力レーザーが含まれ
ている。これら上部ミラー及び底部ミラー間に存在する
活性領域によって第1波長の光が生成される(この第1
波長の光は、第1光共振空洞内の活性領域を第2波長に
よって光学的にポンピングすることによって生成するこ
とが望ましい)。この反射器はブラッグ反射器であるこ
とが望ましく、反射する光の波長並びに上部ミラー及び
底部ミラー間の距離を変更するメカニズムを含んでもよ
い。上部ミラー、活性領域、及び底部ミラーを有する第
2光共振空洞を含むポンピングレーザーによってポンピ
ング光を生成することが望ましい。ポンピングレーザー
の上部ミラーは、第1光共振空洞の底部ミラーに電気的
に接続されており、ポンピングレーザーの活性領域によ
って通過電流に応答して光が生成される。このポンピン
グレーザーの上部ミラーは光ファイバの端面上に配置し
てもよい。出力レーザーを電気的にポンピングする本発
明による実施例も構成可能である。 【0009】 【発明の実施の形態】本発明によるその利点の実現方法
については、図1に参照符号100で示す従来技術によ
るVCSELを参照すれば容易に理解できる。このレー
ザー100においては、レーザー共振空洞を形成するミ
ラーの1つが出力ファイバの端面上に設けられている。
通常、シングルモードファイバ106は、中心波長が波
長可変光源の所望の中心波長(1310nm/1550
nm)にチューニングされた高反射率誘電ミラー104
によってコーティングされた端面を有している。この誘
電ミラーは狭周波数帯ミラーではあるが、その高反射率
領域は光源の望ましいチューニング範囲よりもまだ十分
に大きい。このシングルモードファイバには、出力波長
が980nmの短波長レーザー源が結合されており、ミ
ラー104はこの短波長光に対して透明である。図を簡
単にするため、ポンピングレーザーは図示していない
が、このポンピングレーザーからの出力光107を使用
して長波長活性層102を光学的にポンピングする。レ
ーザー100には、底部ミラー101も含まれており、
この底部ミラーと、上部ミラー104、クラッド層10
3、及び空隙108から長波長レーザーの共振空洞が構
成されている。この長波長レーザーの出力105の波長
は、長波長共振空洞の光学距離を変更することによって
チューニングされる。即ち、この出力波長は、ファイバ
とクラッド層間の間隔108を変更することによってチ
ューニングするのである。 【0010】図1に示すこの形態には2つの問題点が存
在している。第1は、ファイバ106の端面上にミラー
104を設けるコストが大きいという点であり、2番目
の問題は、実際には長波長共振空洞内で生成された光の
一部しかファイバモードに結合されないという点であ
る。又、ファイバ106がシングルモードファイバの場
合には、許容されるアライメント誤差が非常に高く、わ
ずかなミスアライメントによってファイバに結合される
光の量が減少する。従って、このレーザー結合システム
の効率と最大出力は理想的なものではなく、更には、出
力レーザーの励起モードにおける光生成に有用ではない
ファイバのファセット(端面)領域において反射率が低
下するためにレーザーの効率も低下する。 【0011】本発明においては、光ファイバ自体の中に
形成した上部ミラーを利用することによってこれらの問
題を回避している。ここで、本発明による光源の実施例
の断面図を示す図2A及び図2Bを参照されたい。図2
Aは、固定波長光源200の断面図である。本発明のこ
の実施例には、長波長レーザーをポンピングする短波長
レーザーが含まれている。長波長レーザーは、光ファイ
バ内に形成された上部ミラー208を利用するが、この
上部ミラー208はブラッグ反射器であることが望まし
い。尚、ファイバ・ブラッグ反射器は当業者には周知で
あるため、本明細書において詳述しないが、以下の説明
においては、ファイバ・ブラッグ反射器は光ファイバの
コア内に生成された格子として見なすことができるとい
うことを理解しておけば十分である。この格子は、ファ
イバのコアにおける屈折率の周期的な変化によって構成
されており、このような変化は、コアを損傷するのに十
分な強度の一定間隔に配列された極大値を有するUV光
のパターンをコアに照射することによって生成可能であ
り、このようなパターンは、通常、2つのUV光ビーム
の干渉によって生成する。 【0012】格子間隔の2倍の波長を有する光がこの格
子に進入すると、ファイバコアの屈折率の変化によって
生成された様々な部分的な反射のコヒーレント干渉によ
り、光が反射される。この反射が起きる波長は、屈折率
の周期的な変化間の光路長を変更することによって小さ
な波長範囲で変更することが可能であり、ファイバを加
熱するか、又はファイバを引き延ばすことによってこれ
を実現できる。以下の説明においては、このような反射
器の加熱又は引き延ばしシステムを作動させる入力制御
信号を受け付けるタイプのファイバブラッグ反射器を周
波数可変ブラッグ反射器と呼ぶことにする。 【0013】短波長共振器220は、活性層201、底
部ミラー210、及び上部ミラー202を含んでいる。
この短波長共振器は、短波長光を長波長共振空洞に対し
て出力し、長波長共振空洞において、この短波長光が活
性層204によって吸収されて利得が生成される。長波
長共振器230にも、底部ミラー203、活性層20
4、及び出力カプラー205が含まれており、この長波
長共振空洞の出力は、シングルモードファイバ207に
結合されている。尚、短波長レーザーの電気的なポンピ
ングは、先端のコンタクト206を使用することによっ
て実行される。 【0014】励起利得が生成される活性層204内の位
置はファイバの位置によって規定され、従って、長波長
レーザーのレーザー発振モードはファイバによって自己
整合される点に留意されたい。又、短波長レーザーの電
気的ポンピング領域に対するファイバの非常に正確なア
ライメントが不要である点にも留意されたい。この電気
的ポンピング領域はブラッグ反射器208によって照射
される活性層204の領域をカバーする必要があり、電
気的効率が低く粗い結合(ポンピング領域が広い)と電
気的効率が高い密なファイバ結合(ポンピング領域が狭
い)の間で最適な条件を見いだすことができる。 【0015】ファイバ端面におけるスプリアス反射を除
去するために端面を反射防止被覆211でコーティング
することが望ましく、この代わりに、図2Bの参照符号
221で示すように、ファイバ207の端面とクラッド
層205の上面の間に屈折率整合ゲルを施してもよい。
尚、図2Bに示す光源250の残りの要素は、図2Aに
示す対応するそれぞれの要素と同一のものである。 【0016】上述のように、ブラッグ反射器には、図2
Aの参照符号217で示すようにファイバの加熱又は引
き延ばし用のメカニズムを含むことができる。長波長レ
ーザーをチューニングするためにブラッグ反射器の周期
的な変化間の間隔を変更した場合は、通常、光共振空洞
が新しい反射波長で共振するようにブラッグミラー及び
底部ミラー間の間隔を変更しなければならない。この操
作は、ファイバの端部を移動させることによって実行可
能であり、このミラー間隔を変更するメカニズムもメカ
ニズム217に含めることができる。例えば、ブラッグ
反射器とファイバ端部間のファイバ領域を引き延ばした
り、或いは、ファイバ端面とクラッド層205間の空隙
をファイバを移動させることによって変更することが可
能である。尚、このようなチューニングにより、図2A
及び図2Bに示す実施例のポンプレーザーの波長は変化
しない。 【0017】一方、ポンプレーザーの波長を変更する実
施例も可能である。ポンプレーザーの波長のチューニン
グも可能な本発明による光源300の断面図を示す図3
を参照されたい。以下の説明を簡単にするため、図2A
に示す要素と同様に機能する光源300の要素には同一
の参照符号が付加されており、これらの説明は省略す
る。この光源300には、電気的にポンピングされるポ
ンプレーザーが含まれている。ポンプレーザーは、底部
ミラー310、活性領域301、及びクラッド層302
を含んでいる。この光源300においては、ポンピング
レーザーの上部ミラーが、参照符号311で示すように
ファイバ207の端面に移動している。前述の実施例と
同様に、短波長レーザーはファイバが位置する場所でレ
ーザー発振し、従って、利得領域はファイバと正確に整
合しており、長波長も同一の地点でレーザー発振する。
従って、空隙312を変化させると共にブラッグ反射器
の反射波長を変更することによって両方の波長をチュー
ニングすることができる。 【0018】長波長レーザーとポンピング光源間には、
各光源によって生成された光がもう一方の光源に関連す
るミラーを透過できるだけの十分な波長の差がなければ
ならない。例えば、ポンピングレーザーの光は、長波長
レーザーの底部ミラーを透過し、長波長レーザーの活性
領域に到達しなければならず、同様に、長波長レーザー
は、図3に示す実施例のミラー311を透過しなければ
ならない。尚、長波長と短波長の間に十分な差が存在し
ていれば、従来のVCSELミラーの場合にはこれは問
題とはならない。 【0019】本発明による上述の実施例においては、積
層された2つのレーザーを利用している。しかしなが
ら、本発明においては、ポンピングレーザーが長波長レ
ーザーから遠く離れた場所に存在し光ファイバによって
長波長レーザーに結合されている実施例も可能である。
この実施例は図1に示す光源に類似しており、このレー
ザーの上部ミラーを光ファイバ内のブラッグ反射器と置
換するのである。このような実施例は、長波長レーザー
のシングルモード光ファイバに対する自己整合結合の利
点を備えている。 【0020】本発明は、出力レーザーが電気的にポンピ
ングされるシングルレーザー構成においても利用可能で
ある。ここで、出力レーザーを電気的にポンピングする
本発明による光源400の断面図を示す図4を参照され
たい。この光源400には、出力ファイバ407内のブ
ラッグ反射器405が含まれている。ブラッグ反射器4
05と底部ミラー401が出力レーザーの光共振空洞を
形成している。この出力レーザーは、406で示すコン
タクト間に電位を印加することによって電気的にポンピ
ングされる。この電位によってファイバ407のコアの
下方に位置する光学活性領域402に電流が流れるので
ある。尚、電極406によって電流の十分な閉込めが実
現しない場合には、領域403に抵抗の大きい領域を含
むことによって電流を所望の領域に集中させることも可
能である。又、光の部分的な反射によってファセットが
第2の共振空洞を形成することがないように反射防止被
覆404をファイバのファセット上に施してもよい。 【0021】光源の出力波長は、ブラッグ反射器が、大
きな反射率を有する波長によって規定される点に留意さ
れたい。通常、ブラッグ反射器と底部ミラー間の距離
は、光源によって生成される光の波長と比べれば非常に
大きい。従って、ブラッグ反射器の反射率の範囲内のレ
ーザーモードが常に存在し、この結果、底部ミラーに対
するブラッグ反射器の正確な位置決めが不要となる。 【0022】本発明を変更し、固定の偏波を有する光源
を提供することが可能な点に留意されたい。このような
光源を提供するには、光ファイバは偏波保持ファイバで
なければならない。更に、所望の偏波を選択するための
偏波フィルタ410を光共振空洞内に設ける必要があ
り、この偏波フィルタはファイバファセット上の反射防
止被覆内に含めることができる。 【0023】尚、本発明の上述の実施例において「上
部」ミラー及び「下部」ミラーという用語を使用してい
るが、これらは単にミラーを区別するための標識に過ぎ
ず、空間的な特定の方向性を意味するものではない。 【0024】又、本発明の上述の実施例において光ファ
イバ内に生成されたブラッグ反射器を利用しているが、
本発明は、ファイバ以外の導波路でも実施可能であり、
例えば、内部にブラッグ反射器を備える平面状の導波路
においても本発明を構築可能である。 【0025】当業者には、上述の説明と添付された図面
から本発明に対する様々な変更が明らかになるであろ
う。従って、本発明は請求の範囲によってのみ限定され
るものである。以下においては、本発明の種々の構成要
件の組み合わせからなる例示的な実施態様を示す。 1.第1波長の光を生成し光導波路(207)に結合す
る光源(200、250、300、400)であって、
前記光導波路(207)の外部に位置する底部ミラー
(203)と、前記光導波路(207)内に位置する反
射器を有する上部ミラー(208)と、を有する第1光
共振空洞(230)と;前記第1波長の光を生成する、
前記上部ミラー(208)及び底部ミラー(203)間
の活性領域(204)と;を有することを特徴とする光
源。 2.前記上部ミラー(405)と底部ミラー(401)
間に偏波フィルタ(410)を更に有する上項1記載の
光源(200、250、300、400)。 3.前記光導波路(207)が光ファイバである上項1
記載の光源(200、250、300、400)。 4.前記反射器はブラッグ反射器である上項3記載の光
源(200、250、300、400)。 5.前記ブラッグ反射器は、反射する光の波長を変更す
るメカニズム(217)を更に有する上項4記載の光源
(200、250、300、400)。 6.前記メカニズム(217)は、前記上部ミラー(2
08)及び底部ミラー(203)間の距離をも変更する
上項5記載の光源(200、250、300、40
0)。 7.前記活性領域(204)は、第2波長の光を吸収す
ることによって光を生成する上項3記載の光源(20
0、250、300、400)。 8.前記第2波長の光を生成するポンピングレーザー
(220)を更に有する上項7記載の光源(200、2
50、300、400)。 9.前記底部ミラー(203)は、前記第2波長の光に
対して透明である上項7記載の光源(200、250、
300、400)。 10.前記ポンピングレーザー(220)は、上部ミラ
ー(202)と、活性領域(201)と、底部ミラー
(210)を有する第2光共振空洞を含み、前記ポンピ
ングレーザー(220)の前記上部ミラー(202)
は、前記第1光共振空洞(230)の前記底部ミラー
(203)に電気的に接続されており、前記ポンピング
レーザー(220)の前記活性領域(201)は、通過
電流に応答して光を生成する上項8記載の光源(20
0、250、300、400)。 11.前記ポンピングレーザー(220)の前記上部ミ
ラー(311)は、前記光ファイバの端面上に位置して
いる上項10記載の光源(200、250、300、4
00)。 【発明の効果】本発明の構成により、製造コストを低減
し、改良された長波長光源を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 【図1】光ファイバに結合された従来技術によるVCS
ELを示している。 【図2A】本発明による光源の実施例の断面図である。 【図2B】本発明による光源の実施例の断面図である。 【図3】ポンプレーザーの波長をチューニング可能な本
発明による光源300の断面図である。 【図4】出力レーザーを電気的にポンピングする本発明
による光源400の断面図である。 【符号の説明】 200、250、300、400 光源 203、401 底部ミラー 207、407 光導波路 208、405 上部ミラー 204、402 活性領域 217 反射光の波長を変更するメカニズム 230 第1光共振空洞 220 ポンピングレーザー 202、311 ポンピングレーザーの上部ミラー 201、301 ポンピングレーザーの活性領域 210、310 ポンピングレーザーの底部ミラー 410 偏波フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダグラス・エム・バネイ アメリカ合衆国カリフォルニア州94024, ロスアルトス,クリントン・ロード・897 (72)発明者 ダブラフコ・アイ・バビック アメリカ合衆国カリフォルニア州94306, サニーベイル,アカラネス・ドライブ・ 187 (72)発明者 ウェイン・ブイ・ソリン アメリカ合衆国カリフォルニア州94040, マウンテンビュー,ケンブリッジ・レー ン・3579 (72)発明者 ジョナサン・レイシー アメリカ合衆国カリフォルニア州94041− 1318,マウンテンビュー,ホウトン・スト リート・222 Fターム(参考) 5F073 AA65 AA67 AB17 AB20 AB28 BA01 EA29

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】第1波長の光を生成し光導波路(207)
    に結合する光源(200、250、300、400)で
    あって、前記光導波路(207)の外部に位置する底部
    ミラー(203)と、前記光導波路(207)内に位置
    する反射器を有する上部ミラー(208)と、を有する
    第1光共振空洞(230)と;前記第1波長の光を生成
    する、前記上部ミラー(208)及び底部ミラー(20
    3)間の活性領域(204)と;を有することを特徴と
    する光源。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101100424B1 (ko) * 2005-05-04 2011-12-30 삼성전자주식회사 펌프 레이저가 일체로 결합된 수직 외부 공진기형 면발광레이저
JP2013197593A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Palo Alto Research Center Inc 高反射率/帯域制限反射器を内蔵する光励起面発光レーザ
JP2017112205A (ja) * 2015-12-16 2017-06-22 株式会社リコー 発光体及びレーザー光源

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7039075B2 (en) * 2003-04-11 2006-05-02 Thornton Robert L Fiber extended, semiconductor laser
EP1608049B1 (en) * 2004-06-19 2007-08-01 Samsung Electronics Co., Ltd. External cavity plural wavelength laser system
KR101015499B1 (ko) * 2004-06-19 2011-02-16 삼성전자주식회사 복수의 파장을 발생시키는 반도체 레이저 소자 및 상기반도체 레이저 소자용 레이저 펌핑부
JP4787580B2 (ja) * 2005-09-22 2011-10-05 本田技研工業株式会社 回転電機
US8503073B2 (en) * 2008-06-24 2013-08-06 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique S.A.—Recherche et Developpement Light coupling device and system, and method for manufacturing the device and system
US9711947B2 (en) 2010-12-20 2017-07-18 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Vertical-cavity surface-emitting laser system and method for fabricating the same
US8988770B2 (en) * 2013-03-14 2015-03-24 Oracle International Corporation Hybrid optical source with semiconductor reflector
US9735543B2 (en) * 2014-08-22 2017-08-15 Empire Technology Development Llc Optical interconnects
WO2018049312A1 (en) * 2016-09-09 2018-03-15 Commscope, Inc. Of North Carolina Thin film anti-reflection coating for optical fibers in contact
US20220052503A1 (en) * 2020-08-11 2022-02-17 II-VI Delaware, Inc Fiber Amplifier Having Dual Output Laser Diode
US11728613B2 (en) * 2021-01-25 2023-08-15 Ii-Vi Delaware, Inc. Doped fiber amplifier having pass-through pump laser

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10333199A (ja) * 1997-05-28 1998-12-18 Canon Inc 光波長変換装置
CA2310316C (en) * 1997-11-24 2007-05-29 Ionas A/S Temperature stabilization of optical waveguides
DE69902023T2 (de) * 1998-01-23 2003-02-27 Torsana Biosensor As Vedbaek Nachweis einer substanz durch brechzahländerung
US6535541B1 (en) * 1998-04-14 2003-03-18 Bandwidth 9, Inc Vertical cavity apparatus with tunnel junction
US6813305B2 (en) * 2001-07-11 2004-11-02 Nortel Networks Limited Method and apparatus for optical wavelength conversion
AU2002360546A1 (en) * 2001-12-11 2003-07-09 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magneto-optical sensing employing phase-shifted transmission bragg gratings

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101100424B1 (ko) * 2005-05-04 2011-12-30 삼성전자주식회사 펌프 레이저가 일체로 결합된 수직 외부 공진기형 면발광레이저
JP2013197593A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Palo Alto Research Center Inc 高反射率/帯域制限反射器を内蔵する光励起面発光レーザ
JP2017112205A (ja) * 2015-12-16 2017-06-22 株式会社リコー 発光体及びレーザー光源

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