JP2003236843A - Resin molding die and resin molding method - Google Patents

Resin molding die and resin molding method

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JP2003236843A
JP2003236843A JP2002045867A JP2002045867A JP2003236843A JP 2003236843 A JP2003236843 A JP 2003236843A JP 2002045867 A JP2002045867 A JP 2002045867A JP 2002045867 A JP2002045867 A JP 2002045867A JP 2003236843 A JP2003236843 A JP 2003236843A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin molding die which is used for the manufacture of the molded product by injecting a molten resin into a cavity and inhibits the generation of voids in a molded product, and a resin molding method. <P>SOLUTION: This resin molding die comprises a top force 1 and a bottom force 2 opposed to each other, a cavity 6 formed in the top force 1, a porous ceramic member 9 which constitutes at least part of the face of the cavity 6, a fixing block 10 fixed on the upper face of the ceramic member 9, a recessed part 11 formed on a face in contact with the ceramic member 9 of the fixing block 9 and a suction aperture 12, a suction pipe 13 and a vacuum pump 14 which are sequentially connected with the recessed part 11. The top force 1 and the bottom force 2 are clamped and a molten resin 19 is injected into the cavity 6 while the interior of the cavity 6 is sucked using the vacuum pump 14. Consequently, the molten resin 19 including air bubbles 20 is defoamed and the air bubbles 20 are discharged to the outside of the cavity 6 together with gas entrapped in the cavity 6. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、相対向する型のう
ち少なくとも一方が有するキャビティに溶融樹脂を注入
して成形品を製造する際に使用される樹脂成形型であっ
て、特に、リードフレームやプリント基板等(以下、基
板という。)に装着されたチップ状の電子部品を封止す
るための樹脂成形型及び樹脂成形方法に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin molding die used when a molten resin is injected into a cavity of at least one of opposing molds to produce a molded product, and more particularly to a lead frame. The present invention relates to a resin molding die and a resin molding method for sealing a chip-shaped electronic component mounted on a printed circuit board or the like (hereinafter referred to as a board).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、溶融樹脂を押圧してキャビティに
注入する樹脂成形、いわゆるトランスファ成形において
は、相対向する金型であって少なくとも一方にキャビテ
ィが設けられた樹脂成形用金型が使用されている。この
金型は、例えば、工具鋼のような鋼系材料から構成され
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in resin molding in which molten resin is pressed and injected into a cavity, that is, so-called transfer molding, a resin molding die in which a cavity is provided in at least one side is used. ing. The mold is made of a steel material such as tool steel.

【0003】しかしながら、上記従来の樹脂成形用金型
によれば、型締めした後に、溶融樹脂に含まれる気体が
キャビティから抜けにくいという問題がある。これによ
り、溶融樹脂に含まれる気泡が残存して、溶融樹脂が硬
化した硬化樹脂においてボイドが発生するおそれがあ
る。硬化樹脂において発生したボイドは、成形品、特に
電子部品が封止された最終製品であるパッケージの歩留
りや信頼性を低下させるおそれがある。
However, the conventional resin molding die has a problem that the gas contained in the molten resin is difficult to escape from the cavity after the die is clamped. As a result, bubbles contained in the molten resin may remain and voids may occur in the cured resin obtained by curing the molten resin. The voids generated in the cured resin may reduce the yield and reliability of a molded product, particularly a package which is a final product in which electronic components are sealed.

【0004】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであり、成形品におけるボイドの発生を抑制
する樹脂成形型及び樹脂成形方法を提供することを目的
とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a resin molding die and a resin molding method for suppressing the generation of voids in a molded product.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上述の技術的課題を解決
するために、本発明に係る樹脂成形型は、相対向する型
のうち少なくとも一方が有するキャビティに溶融樹脂を
注入して成形品を製造する際に使用される樹脂成形型で
あって、キャビティが有するキャビティ面のうち少なく
とも一部を構成し多孔性を有する無機質焼結部材と、無
機質焼結部材に接続された吸引手段とを備えるととも
に、無機質焼結部材に対して気体は透過性を有し、かつ
溶融樹脂は不透過性を有していることを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned technical problems, a resin molding die according to the present invention is a molded product obtained by injecting a molten resin into a cavity of at least one of opposing molds. A resin mold used for manufacturing, comprising: an inorganic sintered member having at least a part of a cavity surface of a cavity and having porosity; and a suction means connected to the inorganic sintered member. In addition, the gas is permeable to the inorganic sintered member and the molten resin is impermeable to the inorganic sintered member.

【0006】これによれば、吸引手段により、多孔性を
有する無機質焼結部材を介してキャビティ内が吸引され
る。したがって、キャビティ内の溶融樹脂に含まれる気
泡が効果的に脱泡され、脱泡された気泡を含むキャビテ
ィ内の気体がキャビティの外部に排出される。
According to this, the inside of the cavity is sucked by the suction means through the porous inorganic sintered member. Therefore, the bubbles contained in the molten resin in the cavity are effectively degassed, and the gas in the cavity containing the degassed bubbles is discharged to the outside of the cavity.

【0007】また、本発明に係る樹脂成形型は、上述の
樹脂成形型において、無機質焼結部材は、各々中空構造
を有する無機質粒体と、該無機質粒体の表面を各々被覆
しながら無機質粒体同士を網目状に連結する連結部とを
備えるとともに、無機質焼結部材は連結部において多孔
性を有することを特徴とする。
Further, the resin mold according to the present invention is the above-mentioned resin mold, wherein the inorganic sintered member has inorganic particles each having a hollow structure, and the inorganic particles while covering the surfaces of the inorganic particles. A connecting part for connecting the bodies in a mesh shape is provided, and the inorganic sintered member is porous at the connecting part.

【0008】これによれば、無機質粒体の間に存在する
網目状の連結部を介してキャビティ内が吸引されること
により、キャビティ内の溶融樹脂に含まれる気泡が脱泡
される。また、中空構造を有する無機質粒体と、無機質
粒体の間に存在する網目状の連結部とによって、無機質
焼結部材の軽量化、ひいては樹脂成形型の軽量化を図る
ことができる。
[0008] According to this, the air bubbles contained in the molten resin in the cavities are degassed by sucking the inside of the cavities through the mesh-shaped connecting portions existing between the inorganic particles. In addition, the inorganic granules having a hollow structure and the mesh-shaped connecting portions existing between the inorganic granules can reduce the weight of the inorganic sintered member, and thus the weight of the resin molding die.

【0009】また、本発明に係る樹脂成形型は、上述の
樹脂成形型において、キャビティ面において無機質焼結
部材を被覆するコーティング部を備えるとともに、コー
ティング部は溶融樹脂が硬化して形成された硬化樹脂に
対して低密着性を有することを特徴とする。
Further, the resin mold according to the present invention is the resin mold described above, which is provided with a coating portion for covering the inorganic sintered member on the cavity surface, and the coating portion is formed by curing the molten resin. It is characterized by having low adhesion to resin.

【0010】これによれば、キャビティ面のうち無機質
焼結部材からなる部分において、溶融樹脂に接触する部
分が、硬化樹脂に対して低密着性を有するコーティング
部により被覆される。したがって、硬化樹脂と樹脂成形
型との離型性が向上する。
According to this, in the portion of the cavity surface, which is made of the inorganic sintered member, the portion that comes into contact with the molten resin is covered with the coating portion having low adhesion to the cured resin. Therefore, the releasability between the cured resin and the resin mold is improved.

【0011】また、本発明に係る樹脂成形型は、上述の
樹脂成形型において、相対向する型の間に張設されてお
り多孔性を有するフィルムを備えるとともに、フィルム
に対して気体は透過性を有し、かつ溶融樹脂は不透過性
を有しており、吸引手段が無機質焼結部材を介して吸引
することによりフィルムがキャビティ面に密着すること
を特徴とする。
Further, the resin mold according to the present invention is different from the above-mentioned resin mold in that it has a porous film stretched between the molds facing each other and the gas is permeable to the film. And the molten resin is impermeable, and the suction means sucks the inorganic resin through the inorganic sintered member to bring the film into close contact with the cavity surface.

【0012】これによれば、吸引手段により、各々多孔
性を有する無機質焼結部材とフィルムとを介してキャビ
ティ内が吸引される。したがって、キャビティ内の溶融
樹脂に含まれる気泡が効果的に脱泡され、脱泡された気
泡を含むキャビティ内の気体がキャビティの外部に排出
される。また、多孔性のフィルムがキャビティ面に均一
に密着するので、フィルムにおけるしわの発生が防止さ
れる。このことにより、キャビティ面に密着したフィル
ムにしわのない状態で、溶融樹脂がキャビティに注入さ
れる。したがって、溶融樹脂が硬化して形成された硬化
樹脂の表面において、しわの発生が防止される。また、
キャビティ面の表面状態がフィルムを介して硬化樹脂に
転写されるので、キャビティ面の表面粗さに応じて、硬
化樹脂の表面粗さを容易に設定・変更することができ
る。
According to this, the inside of the cavity is sucked by the suction means through the porous inorganic sintered member and the film. Therefore, the bubbles contained in the molten resin in the cavity are effectively degassed, and the gas in the cavity containing the degassed bubbles is discharged to the outside of the cavity. In addition, since the porous film uniformly adheres to the cavity surface, wrinkles in the film are prevented. As a result, the molten resin is injected into the cavity without wrinkles in the film that is in close contact with the cavity surface. Therefore, the generation of wrinkles is prevented on the surface of the cured resin formed by curing the molten resin. Also,
Since the surface state of the cavity surface is transferred to the cured resin via the film, the surface roughness of the cured resin can be easily set / changed according to the surface roughness of the cavity surface.

【0013】また、本発明に係る樹脂成形方法は、相対
向する型のうち少なくとも一方が有するキャビティに溶
融樹脂を注入して成形品を製造する樹脂成形方法であっ
て、相対向する型の間に多孔性を有するフィルムを張設
する工程と、キャビティが有するキャビティ面において
フィルムを吸引することによりキャビティ面にフィルム
を密着させる工程と、相対向する型を型締めする工程
と、キャビティ面においてフィルムを介してキャビティ
の内部を吸引しながらキャビティに溶融樹脂を注入する
工程とを備えたことを特徴とする。
The resin molding method according to the present invention is a resin molding method of injecting a molten resin into a cavity of at least one of the molds facing each other to manufacture a molded article, wherein A step of tensioning a film having porosity to the cavity, a step of bringing the film into close contact with the cavity surface by sucking the film at the cavity surface of the cavity, a step of clamping the molds facing each other, and a film at the cavity surface. And a step of injecting a molten resin into the cavity while sucking the inside of the cavity via the.

【0014】これによれば、吸引手段により、各々多孔
性を有する無機質焼結部材とフィルムとを介してキャビ
ティ内を吸引する。したがって、キャビティ内の溶融樹
脂に含まれる気泡を効果的に脱泡し、脱泡された気泡を
含むキャビティ内の気体をキャビティの外部に排出する
ことができる。また、キャビティ面に多孔性のフィルム
を均一に密着させるので、フィルムにおけるしわを防止
できる。これにより、キャビティ面に密着したフィルム
にしわのない状態で、キャビティに溶融樹脂を注入す
る。したがって、溶融樹脂が硬化して形成された硬化樹
脂の表面において、しわの発生を防止することができ
る。また、キャビティ面の表面状態をフィルムを介して
硬化樹脂に転写することができるので、キャビティ面の
表面粗さに応じて、硬化樹脂の表面粗さを容易に設定・
変更することができる。
According to this, the inside of the cavity is sucked by the suction means through the porous inorganic sintered member and the film. Therefore, the bubbles contained in the molten resin in the cavity can be effectively degassed, and the gas in the cavity containing the degassed bubbles can be discharged to the outside of the cavity. Further, since the porous film is evenly adhered to the cavity surface, wrinkles in the film can be prevented. As a result, the molten resin is injected into the cavity without wrinkles in the film that is in close contact with the cavity surface. Therefore, it is possible to prevent wrinkles from being generated on the surface of the cured resin formed by curing the molten resin. Also, since the surface condition of the cavity surface can be transferred to the cured resin via the film, the surface roughness of the cured resin can be easily set according to the surface roughness of the cavity surface.
Can be changed.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】(第1の実施形態)本発明の第1
の実施形態に係る樹脂成形型を、図1及び図2を参照し
ながら説明する。図1(1)は本実施形態に係る樹脂成
形型が型開きした状態を示す断面図であり、図1(2)
は図1(1)のA部付近を示す拡大断面図である。ま
た、図2(1),(2)は、図1の樹脂成形型が型締め
した後にキャビティに溶融樹脂が注入されている状態
と、キャビティに溶融樹脂が充填された状態とをそれぞ
れ示す断面図である。
(First Embodiment) First Embodiment of the Present Invention
The resin mold according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 (1) is a sectional view showing a state where the resin molding die according to the present embodiment is opened, and FIG.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of part A of FIG. 2 (1) and 2 (2) are cross-sectional views showing a state where molten resin is injected into the cavity after the resin molding die of FIG. 1 is clamped and a state where molten resin is filled into the cavity. It is a figure.

【0016】図1(1)において、上型1と下型2とが
相対向して設けられており、これらは併せて樹脂成形型
を構成する。下型2には、リードフレームやプリント基
板等の基板3が載置されている。基板3上には半導体チ
ップ等の電子部品からなるチップ4が装着され、基板3
とチップ4との電極同士はワイヤ5によって電気的に接
続されている。上型1には、チップ4及びワイヤ5を覆
うような空間、すなわちキャビティ6と、キャビティ6
に連通する空間であるゲート7とが設けられている。後
述するように、溶融樹脂はゲート7を経由してキャビテ
ィ6に注入されて硬化し、これにより硬化樹脂が形成さ
れる。
In FIG. 1A, an upper mold 1 and a lower mold 2 are provided so as to face each other, and these together form a resin molding mold. A substrate 3 such as a lead frame or a printed circuit board is placed on the lower mold 2. A chip 4 made of an electronic component such as a semiconductor chip is mounted on the substrate 3,
The electrodes of the chip 4 and the chip 4 are electrically connected to each other by the wire 5. In the upper mold 1, a space that covers the chip 4 and the wire 5, that is, a cavity 6, and a cavity 6
And a gate 7, which is a space communicating with the. As will be described later, the molten resin is injected into the cavity 6 via the gate 7 and hardened, whereby a hardened resin is formed.

【0017】また、上型1には、キャビティ6の面のう
ち上面に、貫通穴8が設けられている。貫通穴8には、
無機質焼結部材として多孔性を有するセラミック部材9
が設けられ、セラミック部材9の下面がキャビティ6の
上面の一部を構成している。固定用ブロック10は、セ
ラミック部材9の上面に固定されている。この固定用ブ
ロック10には、セラミック部材9の上面に接する面に
おいて凹部11が設けられ、凹部11は、吸引口12,
吸引管13を順次介して真空ポンプ14に接続されてい
る。
Further, the upper die 1 is provided with a through hole 8 on the upper surface of the surface of the cavity 6. In the through hole 8,
Porous ceramic member 9 as inorganic sintered member
And the lower surface of the ceramic member 9 constitutes a part of the upper surface of the cavity 6. The fixing block 10 is fixed to the upper surface of the ceramic member 9. The fixing block 10 is provided with a concave portion 11 on a surface in contact with the upper surface of the ceramic member 9, and the concave portion 11 has a suction port 12,
It is connected to the vacuum pump 14 through the suction pipe 13 in order.

【0018】以下、セラミック部材9の構成を、図1
(2)を参照しながら説明する。図1(2)において、
中空セラミック粒体15は、例えば、シリカとアルミナ
とを主成分とし、高融点(例えば、1500℃〜160
0℃程度)を有する微小な中空の球状体である。連結部
16は、中空セラミック粒体15の表面に膜状に形成さ
れるとともに、中空セラミック粒体15同士を網目状に
結合するように形成された無機質の部材である。この連
結部16は、例えば、けい酸ナトリウム等のけい酸化合
物で、中空セラミック粒体15の融点よりも低い融点を
有する材料を主成分としている。間隙17は、連結部1
6において形成された空間であって、連結部16にこの
間隙17が存在することにより、セラミック部材9は多
孔性と通気性とを有する。
Below, the structure of the ceramic member 9 is shown in FIG.
This will be described with reference to (2). In FIG. 1 (2),
The hollow ceramic particles 15 include, for example, silica and alumina as main components, and have a high melting point (for example, 1500 ° C. to 160 ° C.).
It is a minute hollow spherical body having a temperature of about 0 ° C. The connecting portion 16 is an inorganic member formed in a film shape on the surface of the hollow ceramic particles 15 and connecting the hollow ceramic particles 15 in a mesh shape. The connecting portion 16 is made of, for example, a silicic acid compound such as sodium silicate and has a material having a melting point lower than that of the hollow ceramic particles 15 as a main component. The gap 17 is the connecting portion 1
6 is a space formed and the gap 17 exists in the connecting portion 16, so that the ceramic member 9 has porosity and air permeability.

【0019】なお、セラミック部材9は、中空セラミッ
ク粒体15と連結部16の原材料とを混合・混練した後
に、例えば、1200℃〜1300℃程度の温度で焼成
することによって製造される。この焼成温度は、中空セ
ラミック粒体15の材料の融点よりも低く、連結部16
の材料の融点よりも高い温度である。
The ceramic member 9 is manufactured by mixing and kneading the hollow ceramic particles 15 and the raw material of the connecting portion 16 and then firing the mixture at a temperature of, for example, about 1200 ° C to 1300 ° C. This firing temperature is lower than the melting point of the material of the hollow ceramic particles 15, and
The temperature is higher than the melting point of the material.

【0020】コーティング部18は、セラミック部材9
のうちキャビティ面を構成する面において、セラミック
部材9の表面に形成された膜である。このコーティング
部18は、溶融樹脂が硬化した硬化樹脂に対して低密着
性を有する材質、例えば、釉薬、ふっ素重合硬質膜、ダ
イヤモンドライクカーボン等によって構成される。
The coating portion 18 is made of the ceramic member 9
A film formed on the surface of the ceramic member 9 on the surface constituting the cavity surface. The coating portion 18 is made of a material having low adhesion to a cured resin obtained by curing a molten resin, such as a glaze, a fluorine-polymerized hard film, or diamond-like carbon.

【0021】ところで、図1(2)に示されたセラミッ
ク部材9を製造する際に、中空セラミック粒体15につ
いてその外径及びセラミック部材9の単位体積当たりの
数量と、連結部16を構成する無機材料の量とを、適当
に変更することができる。このことにより、キャビティ
面において、間隙17のサイズ、すなわちキャビティ面
に形成された開口の径と、表面粗さとを、適当に定める
ことができる。したがって、セラミック部材9を交換す
ることにより、成形品の表面粗さを容易に設定・変更す
ることができる。
By the way, when manufacturing the ceramic member 9 shown in FIG. 1B, the outer diameter of the hollow ceramic particles 15 and the number of the ceramic members 9 per unit volume and the connecting portion 16 are formed. The amount of the inorganic material can be changed appropriately. As a result, on the cavity surface, the size of the gap 17, that is, the diameter of the opening formed in the cavity surface and the surface roughness can be appropriately determined. Therefore, the surface roughness of the molded product can be easily set / changed by replacing the ceramic member 9.

【0022】ここで、本発明に係る樹脂成形型の第1の
特徴は、セラミック部材9が、間隙17が次の条件を満
足するようにして、製造されていることである。すなわ
ち、間隙17の径は、キャビティ6に注入された溶融樹
脂の粒子が通過できない程度に、充分小さい。また、間
隙17の径は、キャビティ6に溶融樹脂が加圧され注入
されている状態で、溶融樹脂から蒸発した気体や溶融樹
脂内に取り込まれていた気体の分子が通過できる程度
に、充分大きい。したがって、溶融樹脂内に取り込まれ
ていた気体、すなわち気泡を含むキャビティ6内の気体
は、真空ポンプ14を使用して吸引されることによっ
て、間隙17を経由してキャビティ6の外部へ排出され
る。その一方で、溶融樹脂は、キャビティ6の内部に留
まる。また、第2の特徴は、キャビティ面におけるセラ
ミック部材9の表面に、硬化樹脂に対して低密着性を有
する膜状のコーティング部18が形成されていることで
ある。これにより、硬化樹脂と樹脂成形型との離型性が
向上する。
Here, the first characteristic of the resin molding die according to the present invention is that the ceramic member 9 is manufactured so that the gap 17 satisfies the following conditions. That is, the diameter of the gap 17 is sufficiently small that the particles of the molten resin injected into the cavity 6 cannot pass through. Further, the diameter of the gap 17 is large enough to allow the gas evaporated from the molten resin and the molecules of the gas taken in the molten resin to pass while the molten resin is being pressurized and injected into the cavity 6. . Therefore, the gas taken in the molten resin, that is, the gas in the cavity 6 containing the bubbles is sucked using the vacuum pump 14 and is discharged to the outside of the cavity 6 through the gap 17. . On the other hand, the molten resin remains inside the cavity 6. A second feature is that a film-shaped coating portion 18 having low adhesion to the cured resin is formed on the surface of the ceramic member 9 on the cavity surface. This improves the releasability between the cured resin and the resin mold.

【0023】以下、本実施形態に係る樹脂成形型の動作
を、図2を参照して説明する。図2(1)において、上
型1と下型2とを型締めした状態で、真空ポンプ14を
使用してキャビティ6の内部を吸引しながら、図1
(1)に示されたゲート7を経由してキャビティ6に溶
融樹脂19を注入する。これにより、溶融樹脂19の内
部に含まれていた気泡20が脱泡される。したがって、
気泡20は、キャビティ6内部の気体とともに、凹部1
1,吸引口12,吸引管13を順次経由してキャビティ
6の外部に排出される。
The operation of the resin mold according to this embodiment will be described below with reference to FIG. In FIG. 2 (1), while the upper mold 1 and the lower mold 2 are clamped, the inside of the cavity 6 is sucked by using the vacuum pump 14,
Molten resin 19 is injected into the cavity 6 through the gate 7 shown in (1). Thereby, the bubbles 20 contained in the molten resin 19 are removed. Therefore,
The bubbles 20 form the recess 1 together with the gas inside the cavity 6.
1, the suction port 12, and the suction pipe 13 are sequentially discharged to the outside of the cavity 6.

【0024】図2(2)において、キャビティ6内に溶
融樹脂19が充填された後に、溶融樹脂19を硬化させ
て硬化樹脂を形成する。そして、上型1と下型2とを型
開きした後に、硬化樹脂と基板3とが一体になった成形
品を、樹脂成形型から取り出す。ここで、図1(2)に
示されたように、キャビティ面におけるセラミック部材
9の表面に、硬化樹脂に対して低密着性を有する膜状の
コーティング部18が形成されているので、成形品が容
易に取り出される。また、キャビティ面における汚れ等
の付着物を、最小限にとどめることができる。
In FIG. 2B, after the molten resin 19 is filled in the cavity 6, the molten resin 19 is cured to form a cured resin. Then, after the upper mold 1 and the lower mold 2 are opened, the molded product in which the cured resin and the substrate 3 are integrated is taken out from the resin molding mold. Here, as shown in FIG. 1 (2), since the film-shaped coating portion 18 having low adhesion to the cured resin is formed on the surface of the ceramic member 9 on the cavity surface, a molded product is obtained. Are easily retrieved. In addition, it is possible to minimize the adhered matter such as dirt on the cavity surface.

【0025】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、溶融樹脂19の内部に含まれていた気泡20を含む
キャビティ6内の気体が、キャビティ6の外部に排出さ
れる。したがって、成形品においてボイドの発生が抑制
される。また、キャビティ面に膜状のコーティング部1
8が形成されているので、成形品が容易に取り出される
とともに、キャビティ面における付着物の付着が抑制さ
れる。また、中空セラミック粒体15と間隙17とによ
って、樹脂成形型の軽量化を図ることができる。
As described above, according to this embodiment, the gas in the cavity 6 containing the bubbles 20 contained in the molten resin 19 is discharged to the outside of the cavity 6. Therefore, the generation of voids is suppressed in the molded product. Also, a film-shaped coating portion 1 is formed on the cavity surface.
Since No. 8 is formed, the molded product can be easily taken out, and the adhesion of deposits on the cavity surface can be suppressed. Further, the hollow ceramic particles 15 and the gap 17 can reduce the weight of the resin molding die.

【0026】なお、図1(2)に示されたセラミック部
材9のうち、中空セラミック粒体15及び連結部16の
それぞれの材質や表面状態等と、溶融樹脂19の種類と
によっては、硬化樹脂とセラミック部材9との密着性が
さほど大きくならない場合がある。この場合には、キャ
ビティ面におけるセラミック部材9の表面に、必ずしも
コーティング部18を形成する必要はない。
In the ceramic member 9 shown in FIG. 1 (2), depending on the material and surface condition of the hollow ceramic particles 15 and the connecting portion 16 and the kind of the molten resin 19, a cured resin may be used. In some cases, the adhesion between the ceramic member 9 and the ceramic member 9 may not be so large. In this case, it is not always necessary to form the coating portion 18 on the surface of the ceramic member 9 on the cavity surface.

【0027】また、多数の連続孔が形成された無機質焼
結部材として、中空セラミック粒体15と連結部16と
からなり、多孔性を有するセラミック部材9を使用し
た。これに限らず、セラミック以外の無機質の中空粒体
と、連結部16とからなる多孔性部材を使用することも
できる。
As the inorganic sintered member having a large number of continuous pores, the porous ceramic member 9 composed of the hollow ceramic particles 15 and the connecting portion 16 was used. Not limited to this, it is also possible to use a porous member including an inorganic hollow particle other than ceramics and the connecting portion 16.

【0028】(第2の実施形態)本発明の第2の実施形
態に係る樹脂成形型を、図3を参照して説明する。図3
(1),(2)は、本実施形態に係る樹脂成形型が型締
めした後にキャビティに溶融樹脂が注入されている状態
と、キャビティに溶融樹脂が充填された状態とをそれぞ
れ示す断面図である。
(Second Embodiment) A resin mold according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Figure 3
(1) and (2) are cross-sectional views showing a state where the molten resin is injected into the cavity after the resin molding die according to the present embodiment is clamped, and a state where the molten resin is filled into the cavity. is there.

【0029】図3(1)において、上型1と下型2との
間には、フィルム21が張設されている。このフィルム
21は、例えば、離型性に優れたPTFE等のふっ素樹
脂からなるとともに、微小な連続孔が形成された、通気
性を有する多孔性のフィルムである。これらの連続孔の
径は、キャビティ6に注入された溶融樹脂19の粒子が
通過できない程度に、充分小さい。また、連続孔の径
は、キャビティ6に溶融樹脂19が加圧され注入されて
いる状態で、溶融樹脂19から蒸発した気体や溶融樹脂
19内に取り込まれていた気泡20等からなる気体の分
子が通過できる程度に、充分大きい。
In FIG. 3A, a film 21 is stretched between the upper mold 1 and the lower mold 2. The film 21 is, for example, a breathable porous film made of a fluororesin such as PTFE having an excellent releasing property and having minute continuous pores formed therein. The diameter of these continuous holes is sufficiently small that particles of the molten resin 19 injected into the cavity 6 cannot pass through. Further, the diameter of the continuous hole is such that, in a state where the molten resin 19 is pressurized and injected into the cavity 6, a gas molecule composed of the gas evaporated from the molten resin 19 or the bubbles 20 taken into the molten resin 19 or the like. Large enough to pass through.

【0030】ここで、本実施形態の第1の特徴は、多孔
性のセラミック部材9を介して吸引されることにより、
フィルム21が、キャビティ面におけるセラミック部材
9の表面全体に対して、しわのない状態で均一に密着し
ていることである。このことにより、フィルム21にお
いて、溶融樹脂19の圧力によるしわの発生が防止され
る。したがって、フィルム21のしわが成形品の表面に
転写されることによる外観品位の低下が、防止される。
この効果は、特に成形品が大型の場合に顕著である。ま
た、従来はしわを防止するためにフィルムに一定の厚さ
が必要であったが、本実施形態によれば薄いフィルム2
1の使用が可能になるので、材料コストの削減と装置の
簡略化とが可能になる。また、第2の特徴は、各々多孔
性を有するセラミック部材9とフィルム21とを介して
吸引されることによって、溶融樹脂19中の気泡20が
脱泡されることである。これにより、気泡20を含むキ
ャビティ6内の気体は、フィルム21,セラミック部材
9,凹部11,吸引口12,吸引管13を順次経由して
キャビティ6の外部に排出される。また、第3の特徴
は、フィルム21が、離型性に優れたPTFE等のふっ
素樹脂からなることである。これにより、成形品を取り
出す際に、硬化樹脂とフィルム21との間の離型性が良
好になる。したがって、成形品が容易に取り出されると
ともに、フィルム21の存在によりキャビティ面におけ
る付着物の付着が防止される。
Here, the first feature of this embodiment is that by being sucked through the porous ceramic member 9,
That is, the film 21 is uniformly adhered to the entire surface of the ceramic member 9 on the cavity surface without wrinkles. This prevents the film 21 from being wrinkled due to the pressure of the molten resin 19. Therefore, it is possible to prevent the deterioration of the appearance quality due to the wrinkles of the film 21 being transferred to the surface of the molded product.
This effect is particularly remarkable when the molded product is large. Further, in the past, the film had to have a certain thickness in order to prevent wrinkles, but according to the present embodiment, the thin film 2
1 can be used, so that the material cost can be reduced and the device can be simplified. The second feature is that the bubbles 20 in the molten resin 19 are defoamed by being sucked through the ceramic member 9 and the film 21 each having porosity. As a result, the gas in the cavity 6 including the bubbles 20 is discharged to the outside of the cavity 6 via the film 21, the ceramic member 9, the recess 11, the suction port 12, and the suction pipe 13 in order. The third feature is that the film 21 is made of a fluororesin such as PTFE having excellent releasability. Thereby, when the molded product is taken out, the releasability between the cured resin and the film 21 becomes good. Therefore, the molded product is easily taken out, and the presence of the film 21 prevents the adhered matter from adhering to the cavity surface.

【0031】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、フィルム21のしわの発生が防止されるので、成形
品の外観品位の低下が防止される。また、従来に比較し
て、薄いフィルムを使用することができる。また、成形
品においてボイドの発生が抑制され、成形品の取り出し
が容易になるとともに、キャビティ面における付着物の
付着が抑制される。また、第1の実施形態と同様に、樹
脂成形型の軽量化を図ることができる。
As described above, according to the present embodiment, the wrinkles of the film 21 are prevented, so that the deterioration of the appearance quality of the molded product is prevented. In addition, a thinner film can be used as compared with the conventional one. Further, generation of voids in the molded product is suppressed, removal of the molded product is facilitated, and adhesion of deposits on the cavity surface is suppressed. In addition, the weight of the resin molding die can be reduced as in the first embodiment.

【0032】ところで、本実施形態によれば、次のよう
にして成形品の表面粗さを容易に設定・変更することが
できる。すなわち、図1(2)を参照して説明したよう
に、中空セラミック粒体15についてその外径及びセラ
ミック部材9の単位体積当たりの数量と、連結部16を
構成する無機材料の量とを、適当に変更する。このこと
により、セラミック部材9の表面粗さを変更することが
できる。一方、フィルム21は、真空ポンプ14により
多孔性のセラミック部材9を介して吸引されるので、キ
ャビティ面におけるセラミック部材9の表面に均一に密
着している。また、従来よりも薄いフィルムを使用する
ことができる。これらのことにより、セラミック部材9
の表面粗さが、フィルム21を介して成形品の表面に正
確に転写される。したがって、成形品は、セラミック部
材9の表面粗さに応じた表面粗さを有するので、セラミ
ック部材9を交換することにより、成形品の表面粗さを
容易に設定・変更することができる。
By the way, according to this embodiment, the surface roughness of the molded product can be easily set and changed as follows. That is, as described with reference to FIG. 1 (2), the outer diameter of the hollow ceramic granules 15 and the quantity of the ceramic member 9 per unit volume, and the quantity of the inorganic material forming the connecting portion 16 are Change appropriately. Thereby, the surface roughness of the ceramic member 9 can be changed. On the other hand, since the film 21 is sucked by the vacuum pump 14 through the porous ceramic member 9, the film 21 is evenly adhered to the surface of the ceramic member 9 on the cavity surface. Also, a thinner film than before can be used. By these things, the ceramic member 9
The surface roughness of is accurately transferred to the surface of the molded article through the film 21. Therefore, since the molded product has a surface roughness corresponding to the surface roughness of the ceramic member 9, the surface roughness of the molded product can be easily set / changed by replacing the ceramic member 9.

【0033】なお、上述の各実施形態の説明では、多数
の連続孔が形成された無機質焼結部材として、多孔性を
有するセラミック部材9を使用した。これに限らず、多
数の連続孔が形成された他の無機質焼結部材、例えば、
焼結金属からなる部材を使用してもよい。
In the above description of each embodiment, the ceramic member 9 having porosity is used as the inorganic sintered member in which a large number of continuous holes are formed. Not limited to this, other inorganic sintered member having a large number of continuous holes formed, for example,
A member made of sintered metal may be used.

【0034】また、セラミック部材9の下面がキャビテ
ィ6の上面の一部を構成することとした。これに限ら
ず、セラミック部材9の下面がキャビティ6の上面の全
面を構成することとしてもよい。更に、キャビティ6の
キャビティ面のすべてが、セラミック部材9の面によっ
て構成されてもよい。これらにより、樹脂成形型のいっ
そうの軽量化を図ることができる。
The lower surface of the ceramic member 9 constitutes a part of the upper surface of the cavity 6. Not limited to this, the lower surface of the ceramic member 9 may constitute the entire upper surface of the cavity 6. Furthermore, all the cavity surfaces of the cavity 6 may be formed by the surface of the ceramic member 9. With these, the weight of the resin mold can be further reduced.

【0035】また、樹脂成形型を長時間使用すると、キ
ャビティ面において、有機物からなる汚れ等の付着物が
徐々に付着する。そして、間隙17の内壁部分において
も付着物が堆積してゆくので、セラミック部材9の通気
性が低下する。したがって、気泡20がキャビティ6の
外部に排出されにくくなる。この場合には、セラミック
部材9を取り外して、セラミック部材9の焼成温度より
も低い高温雰囲気中に一定時間放置すればよい。これに
より、有機物からなる付着物は揮発して間隙17の内壁
から除去されるので、セラミック部材9の通気性が回復
する。
When the resin mold is used for a long period of time, organic matter such as dirt is gradually deposited on the cavity surface. Further, since the adhered substances are also deposited on the inner wall portion of the gap 17, the air permeability of the ceramic member 9 is lowered. Therefore, the bubbles 20 are less likely to be discharged to the outside of the cavity 6. In this case, the ceramic member 9 may be removed and left in a high temperature atmosphere lower than the firing temperature of the ceramic member 9 for a certain period of time. As a result, the deposit made of organic matter is volatilized and removed from the inner wall of the gap 17, so that the air permeability of the ceramic member 9 is restored.

【0036】また、本発明は、電子部品を封止するため
の樹脂成形以外にも適用することができる。
The present invention can also be applied to other than resin molding for sealing electronic parts.

【0037】また、本発明は、上述の実施形態に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内
で、必要に応じて、任意にかつ適宜に変更・選択して採
用できるものである。
Further, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and can be arbitrarily and appropriately modified and selected as necessary within the scope of the gist of the present invention. Is.

【0038】[0038]

【発明の効果】本発明によれば、キャビティ内に注入さ
れた溶融樹脂に含まれる気泡が効果的に脱泡され、キャ
ビティ内における気体とともに、キャビティの外部に排
出される。また、樹脂成形型の軽量化を図ることができ
る。また、硬化樹脂と樹脂成形型との離型性が向上す
る。また、硬化樹脂の表面において、キャビティ面の表
面状態が正確に転写されるとともに、キャビティ面に均
一に密着したフィルムによってしわの発生が防止され
る。これにより、成形品におけるボイドの発生を抑制す
るとともに、硬化樹脂に対する離型性が向上し、硬化樹
脂の表面粗さを容易に設定・変更することができ、硬化
樹脂の表面におけるしわの発生を防止し、更に樹脂成形
型の軽量化を可能にする、樹脂成形型及び樹脂成形方法
を提供できるという、優れた実用的な効果を奏するもの
である。
According to the present invention, the bubbles contained in the molten resin injected into the cavity are effectively defoamed, and are discharged to the outside of the cavity together with the gas in the cavity. Further, the weight of the resin molding die can be reduced. Further, the releasability between the cured resin and the resin mold is improved. Further, on the surface of the cured resin, the surface state of the cavity surface is accurately transferred, and wrinkles are prevented by the film that is evenly adhered to the cavity surface. This suppresses the occurrence of voids in the molded product, improves the releasability of the cured resin, and allows the surface roughness of the cured resin to be easily set / changed, thus preventing wrinkles on the surface of the cured resin. It is possible to provide a resin molding die and a resin molding method capable of preventing the above-mentioned phenomenon and further reducing the weight of the resin molding die, which is an excellent practical effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1(1)は本発明の第1の実施形態に係る樹
脂成形型が型開きした状態を示す断面図であり、図1
(2)は図1(1)のA部付近を拡大して示す断面図で
ある。
FIG. 1 (1) is a sectional view showing a state where a resin molding die according to a first embodiment of the present invention is opened.
(2) is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the portion A of FIG. 1 (1).

【図2】図(1),(2)は、図1の樹脂成形型が型締
めした後にキャビティに溶融樹脂が注入されている状態
と、キャビティに溶融樹脂が充填された状態とを、それ
ぞれ示す断面図である。
2 (1) and (2) respectively show a state where molten resin is injected into a cavity after the resin mold of FIG. 1 is clamped and a state where molten resin is filled into the cavity. It is sectional drawing shown.

【図3】図3(1),(2)は、本発明の第2の実施形
態に係る樹脂成形型が型締めした後にキャビティに溶融
樹脂が注入されている状態と、キャビティに溶融樹脂が
充填された状態とを、それぞれ示す断面図である。
FIGS. 3 (1) and 3 (2) show a state where molten resin is injected into a cavity after the resin molding die according to the second embodiment of the present invention is clamped, and a molten resin is injected into the cavity. It is sectional drawing which respectively shows the state filled with.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 上型 2 下型 3 基板 4 チップ 5 ワイヤ 6 キャビティ 7 ゲート 8 貫通穴 9 セラミック部材(無機質焼結部材) 10 固定用ブロック 11 凹部 12 吸引口 13 吸引管 14 真空ポンプ 15 中空セラミック粒体(無機質粒体) 16 連結部 17 間隙 18 コーティング部 19 溶融樹脂 20 気泡 21 フィルム 1 Upper mold 2 Lower mold 3 substrates 4 chips 5 wires 6 cavities 7 gates 8 through holes 9 Ceramic member (inorganic sintered member) 10 Fixing block 11 recess 12 Suction port 13 Suction tube 14 Vacuum pump 15 Hollow ceramic particles (inorganic particles) 16 Connection 17 Gap 18 Coating department 19 Molten resin 20 bubbles 21 film

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 相対向する型のうち少なくとも一方が有
するキャビティに溶融樹脂を注入して成形品を製造する
際に使用される樹脂成形型であって、 前記キャビティが有するキャビティ面のうち少なくとも
一部を構成し多孔性を有する無機質焼結部材と、 前記無機質焼結部材に接続された吸引手段とを備えると
ともに、 前記無機質焼結部材に対して気体は透過性を有し、かつ
前記溶融樹脂は不透過性を有していることを特徴とする
樹脂成形型。
1. A resin molding die used when a molten resin is injected into a cavity of at least one of molds facing each other to manufacture a molded product, wherein at least one of cavity surfaces of the cavity is formed. And an inorganic sintered member having a porosity and a suction means connected to the inorganic sintered member, the gas has permeability to the inorganic sintered member, and the molten resin Is a resin mold which is impermeable.
【請求項2】 請求項1記載の樹脂成形型において、 前記無機質焼結部材は、各々中空構造を有する無機質粒
体と、該無機質粒体の表面を各々被覆しながら前記無機
質粒体同士を網目状に連結する連結部とを備えるととも
に、 前記無機質焼結部材は前記連結部において多孔性を有す
ることを特徴とする樹脂成形型。
2. The resin molding die according to claim 1, wherein the inorganic sintered member has inorganic particles each having a hollow structure, and the inorganic particles are meshed while covering the surfaces of the inorganic particles. A resin molding die, comprising: a connecting portion that connects in a circular shape; and the inorganic sintered member has porosity in the connecting portion.
【請求項3】 請求項1又は2記載の樹脂成形型におい
て、 前記キャビティ面において前記無機質焼結部材を被覆す
るコーティング部を備えるとともに、 前記コーティング部は前記溶融樹脂が硬化して形成され
た硬化樹脂に対して低密着性を有することを特徴とする
樹脂成形型。
3. The resin molding die according to claim 1, further comprising a coating portion that covers the inorganic sintered member on the cavity surface, and the coating portion is formed by curing the molten resin. A resin molding die having low adhesion to a resin.
【請求項4】 請求項1又は2記載の樹脂成形型におい
て、 前記相対向する型の間に張設されており多孔性を有する
フィルムを備えるとともに、 前記フィルムに対して気体は透過性を有し、かつ前記溶
融樹脂は不透過性を有しており、 前記吸引手段が前記無機質焼結部材を介して吸引するこ
とにより前記フィルムが前記キャビティ面に密着するこ
とを特徴とする樹脂成形型。
4. The resin molding die according to claim 1, further comprising a porous film stretched between the molds facing each other, and gas having permeability to the film. And the molten resin is impermeable, and the film is brought into close contact with the cavity surface by the suction means sucking through the inorganic sintered member.
【請求項5】 相対向する型のうち少なくとも一方が有
するキャビティに溶融樹脂を注入して成形品を製造する
樹脂成形方法であって、 前記相対向する型の間に多孔性を有するフィルムを張設
する工程と、 前記キャビティが有するキャビティ面において前記フィ
ルムを吸引することにより前記キャビティ面に前記フィ
ルムを密着させる工程と、 前記相対向する型を型締めする工程と、 前記キャビティ面において前記フィルムを介して前記キ
ャビティの内部を吸引しながら前記キャビティに前記溶
融樹脂を注入する工程とを備えたことを特徴とする樹脂
成形方法。
5. A resin molding method for producing a molded product by injecting a molten resin into a cavity of at least one of opposing molds, wherein a porous film is stretched between the opposing molds. A step of providing, a step of bringing the film into close contact with the cavity surface by sucking the film on the cavity surface of the cavity, a step of clamping the opposite molds, and a step of pressing the film on the cavity surface. And a step of injecting the molten resin into the cavity while sucking the inside of the cavity through the resin molding method.
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