JP2003236438A - Device for removing coating liquid and method for manufacturing plasma display panel - Google Patents

Device for removing coating liquid and method for manufacturing plasma display panel

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JP2003236438A
JP2003236438A JP2002037319A JP2002037319A JP2003236438A JP 2003236438 A JP2003236438 A JP 2003236438A JP 2002037319 A JP2002037319 A JP 2002037319A JP 2002037319 A JP2002037319 A JP 2002037319A JP 2003236438 A JP2003236438 A JP 2003236438A
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coating
coating liquid
sheet
film forming
forming surface
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JP2002037319A
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Japanese (ja)
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Akihiro Horikawa
晃宏 堀川
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that it is difficult to reduce a defective fraction and enhance a productivity in a conventional device for removing a coating liquid or a conventional method for removing a coating liquid for forming a dielectric layer, a rib or an electrode of a plasma display panel. <P>SOLUTION: The device for removing a coating liquid is provided with a sheet-like wiper 10; a drawing mechanism; a feeding out mechanism; and a roll 11. The roll 11 has a rotation shaft 16 perpendicular to a film-forming surface 41 and is rotatable. The roll 11 is butted to the film-forming surface 41 of a die head 17 from a back surface of the sheet wiper 10. The sheet wiper 10 is fed out and the rotation shaft 16 is relatively moved in a direction perpendicular to the die head 17. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル(Plasma Display Pane
l、PDP)およびその製造方法に関し、より詳細には
プラズマディスプレイパネルの基板上に形成される誘電
体、電極またはリブを形成する塗布装置および塗布方法
に関し、さらに詳細には塗布装置のダイヘッドの塗膜形
成面の塗布液を除去する塗布液除去装置、および塗布液
除去方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel (Plasma Display Panel).
l, PDP) and its manufacturing method, and more particularly, to a coating apparatus and a coating method for forming a dielectric, an electrode or a rib formed on a substrate of a plasma display panel, and more specifically to coating a die head of the coating apparatus. The present invention relates to a coating liquid removing device for removing a coating liquid on a film forming surface and a coating liquid removing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、PDPの製造方法としては、たと
えば特開2000−102759号公報に記載されたも
のが知られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for manufacturing a PDP, a method described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-102759 is known.

【0003】まず、従来のPDPの構成図である図1を
参照しながら、PDPの構成について説明する。
First, the configuration of a PDP will be described with reference to FIG. 1, which is a configuration diagram of a conventional PDP.

【0004】図1に示すように、PDPは、前面基板
1、背面基板2、誘電体層3、走査電極(透明電極付
き)4、維持電極(透明電極付き)5、保護層6、アド
レス電極7、リブ8、蛍光層9を備えている。
As shown in FIG. 1, the PDP includes a front substrate 1, a rear substrate 2, a dielectric layer 3, a scanning electrode (with a transparent electrode) 4, a sustain electrode (with a transparent electrode) 5, a protective layer 6, and an address electrode. 7, a rib 8 and a fluorescent layer 9.

【0005】前面基板1と背面基板2とはシール層によ
り張り合わせられ、内部を真空状態とした後に放電時に
紫外線を発生させるためのガスが封入される。そして、
放電空間に電圧をかけることで封入ガスから紫外線を発
生させ、それらが蛍光層9に当たることにより発光し、
画像が得られる。
The front substrate 1 and the rear substrate 2 are bonded to each other by a seal layer, and a gas for generating ultraviolet rays at the time of discharge is sealed after the inside is evacuated. And
Ultraviolet rays are generated from the enclosed gas by applying a voltage to the discharge space, and when they hit the fluorescent layer 9, they emit light,
An image is obtained.

【0006】以上の構成は3相電極、面放電型で反射型
カラーPDPと分類される一般的なものである。
The above structure is a general type which is classified as a three-phase electrode, surface discharge type and reflection type color PDP.

【0007】ここで、電極(4、5)を被覆する誘電体
層3に要求される条件としては、電極を均一且つ緻密に
被覆すること、高い透過率、絶縁性を備えていること、
平滑な表面を有し均一な放電特性が得られること、表面
が保護材料で形成されること、駆動電圧が低くなる表面
材料であること、等が挙げられる。
Here, the conditions required for the dielectric layer 3 covering the electrodes (4, 5) are to coat the electrodes uniformly and densely, to have a high transmittance and an insulating property.
It is possible to obtain a uniform discharge characteristic with a smooth surface, to form the surface with a protective material, to use a surface material with a low driving voltage, and the like.

【0008】このような誘電体層3の代表的な形成方法
としてはスクリーン印刷法、あるいはダイコート法が挙
げられる。スクリーン印刷法では通常、数十Pa・sか
ら数百Pa・sというペースト粘度に合わせて、複数回
重ねて塗布形成を行うことで所望の膜厚を得る。しかし
この方法では、スクリーンメッシュ痕による塗布ムラが
生じることや、複数回塗布により塗布工程が長くなるこ
と、および消耗品であるスクリーンのコストの増加など
が課題となる。そこで最近では、メッシュ痕が残らずガ
ラス基板及び電極(4、5、7)に非接触で塗布可能な
ダイコート法の導入が盛んに検討されてきている。
A typical method of forming such a dielectric layer 3 is a screen printing method or a die coating method. In the screen printing method, usually, a desired film thickness is obtained by applying and forming a plurality of times in accordance with a paste viscosity of several tens Pa · s to several hundred Pa · s. However, in this method, there are problems such as uneven coating due to screen mesh marks, a long coating process due to multiple coatings, and an increase in the cost of the consumable screen. Therefore, recently, the introduction of a die coating method, which allows non-contact coating on the glass substrate and the electrodes (4, 5, 7) without leaving a mesh mark, has been actively studied.

【0009】このようなダイコート法には、大面積のガ
ラス基板上に均一な塗膜を間欠的に再現良く塗布し続け
ることが要求される。そのためには、塗布開始時にダイ
吐出口周辺を常に清浄な状態に保つことが必要となる。
これらの問題を解決する手段として特開平7−1680
15号公報等に開示されているように、清掃具を吐出口
に摺接させて吐出口及びその周辺に付着した塗布液を掻
き取る塗布液除去装置及び塗布液除去方法が提案されて
いる。
In such a die coating method, it is required to continuously apply a uniform coating film on a large-area glass substrate intermittently and with good reproducibility. For that purpose, it is necessary to always keep the area around the die discharge port clean at the start of coating.
As means for solving these problems, Japanese Patent Laid-Open No. 7-1680
As disclosed in Japanese Patent No. 15 or the like, a coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method have been proposed in which a cleaning tool is brought into sliding contact with the ejection port to scrape off the coating liquid adhering to the ejection port and its periphery.

【0010】図4にブレード23を用いた掻き取りによ
る従来の塗布液除去装置および方法を示す。また、図5
は図4中Bから見た断面図である。本発明の塗布液は、
ダイヘッド17の下方に位置するリップ18の下端に開
口されたダイ吐出口40から吐出されるが、使用される
ことなく残留した塗布液が、塗膜形成面付着塗布液20
として塗膜形成面41上に滞留する。このような塗膜形
成面付着塗布液20を塗膜形成面41から除去するため
に、高分子樹脂で形成されたブレード23の先端を塗膜
形成面41に対して摺接させてブレード23またはダイ
ヘッド17を動かすことによって、塗膜形成面付着塗布
液20を掻き取る。
FIG. 4 shows a conventional coating liquid removing apparatus and method by scraping using a blade 23. Also, FIG.
4 is a cross-sectional view seen from B in FIG. 4. The coating liquid of the present invention is
The coating liquid discharged from the die discharge port 40 opened at the lower end of the lip 18 located below the die head 17, but not used, is the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface.
Stays on the coating film forming surface 41. In order to remove the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface from the coating film forming surface 41, the tip of the blade 23 made of a polymer resin is slidably contacted with the coating film forming surface 41 to form the blade 23 or By moving the die head 17, the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface is scraped off.

【0011】また、図6は従来の三面接触型ブレード2
9による塗布液除去装置および方法を示す。図7は図6
中Cからみた断面図を示し、図8は従来の三面接触型ブ
レード29の断面形状を示す。この従来の三面接触型ブ
レード29はリップ18との接触を三面接触にしたもの
であり、リップ18の側面部へのリップ側面部付着塗布
液27の付着を抑制しようとしたものである。
FIG. 6 shows a conventional three-face contact type blade 2
9 shows a coating liquid removing device and method according to No. 9. FIG. 7 shows FIG.
FIG. 8 shows a cross-sectional view as seen from the middle C, and FIG. 8 shows a cross-sectional shape of a conventional three-face contact type blade 29. This conventional three-sided contact type blade 29 makes the contact with the lip 18 three-sided, and is intended to suppress the adhesion of the lip side surface part coating liquid 27 to the side surface part of the lip 18.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法で塗膜形成面付着塗布液20を除去しようとす
ると、ブレード23、およびダイ吐出口40を含む塗膜
形成面41の接触部付近に、掻き取った塗布液溜り26
が生じる。この塗布液溜り26が大きくなることにより
塗布液がリップ18の側面部まで溢れ出し、リップ18
の側面部にリップ側面部付着塗布液27が付着するとい
う問題が生じていた。この状態で塗布を継続していく
と、リップ側面部付着塗布液27が乾燥して凝集体等が
発生し、それらが剥がれ落ちて塗膜中に混入することで
塗膜の均一性が失われると共に製品欠陥に繋がり、製品
の不良率が高くなるという重大な問題となっていた。
However, when it is attempted to remove the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface by such a method, the blade 23 and the die discharge port 40 are formed in the vicinity of the contact portion of the coating film forming surface 41. , Coating liquid pool 26
Occurs. As the coating liquid reservoir 26 becomes larger, the coating liquid overflows to the side surface of the lip 18,
There is a problem that the lip side surface coating liquid 27 adheres to the side surface of the lip. If the coating is continued in this state, the lip side coating liquid 27 is dried to form aggregates and the like, which are peeled off and mixed into the coating film, thereby losing the uniformity of the coating film. At the same time, it has been a serious problem that it leads to product defects and the defective rate of the products increases.

【0013】場合によっては、この塗布液溜り26を生
じさせないため、掻き取った塗布液を吸引する吸引ノズ
ル24や、ブレード洗浄用の洗浄液供給ノズル25を設
けることもあった。洗浄液供給ノズル25により、洗浄
液または溶剤をブレード23のダイ吐出口40に近い部
分もしくは吸引ノズル24の吸引口付近に供給すること
で、ブレード23の塗布液除去効果を得ると共に、掻き
取った塗布液を速やかに吸引ノズル24内部へと送り込
もうとするものである。しかし、特に粘性の高い塗布液
の場合には十分な効果が得られず、ブレード23におけ
るダイ吐出口40への接触面を常に清浄に保つことは非
常に困難であった。
In some cases, in order to prevent the coating liquid pool 26 from being generated, a suction nozzle 24 for sucking the scraped coating liquid or a cleaning liquid supply nozzle 25 for cleaning the blade may be provided. By supplying the cleaning liquid or the solvent to the portion of the blade 23 near the die discharge port 40 or the suction port of the suction nozzle 24 by the cleaning liquid supply nozzle 25, the coating liquid removal effect of the blade 23 is obtained and the scraped coating liquid is obtained. Is promptly sent into the suction nozzle 24. However, particularly in the case of a highly viscous coating liquid, a sufficient effect cannot be obtained, and it is very difficult to always keep the contact surface of the blade 23 with the die discharge port 40 clean.

【0014】このとき、十分な効果を得るために洗浄液
の吐出速度及び吐出量を増加させていくと、洗浄液の飛
散が生じ、周囲の環境汚染に繋がっていた。加えて、飛
散した洗浄液がダイ吐出口40に付着した場合には、ダ
イ内部の塗布液を部分的に希釈してしまうことになり、
塗布液吐出量のバラツキ等が生じて均一塗布の実現が困
難となっていた。
At this time, if the discharge speed and the discharge amount of the cleaning liquid are increased to obtain a sufficient effect, the cleaning liquid is scattered, which leads to environmental pollution of the surroundings. In addition, when the scattered cleaning liquid adheres to the die discharge port 40, the coating liquid inside the die is partially diluted,
It has been difficult to realize uniform coating due to variations in the amount of coating liquid discharged.

【0015】また上記のように、清掃具であるブレード
23を塗膜形成面41に直接接触させて掻き取る方法で
は、ブレード23と塗膜形成面41との微妙な位置合わ
せが必要となるため時間のロスが生じ、生産性の低下を
引き起こしていた。
Further, as described above, in the method in which the blade 23, which is a cleaning tool, is brought into direct contact with the coating film forming surface 41 to scrape it off, delicate alignment between the blade 23 and the coating film forming surface 41 is required. This caused a loss of time and reduced productivity.

【0016】加えて、従来のブレード23では塗布液除
去効果が低く、それを補うため繰り返し塗膜形成面41
上で摺接を行ったり、清掃具を大きな力で塗膜形成面4
1に押し付け、その結果、磨耗により生じる磨耗紛が基
板上の塗膜面に付着し製品の不良率を高めるという問題
が生じていた。
In addition, the conventional blade 23 has a low effect of removing the coating liquid, and in order to compensate for it, the coating film forming surface 41 is repeatedly used.
Make a sliding contact on the surface or use a large force with a cleaning tool to form the coating film surface 4
As a result, there is a problem that abrasion powder generated by abrasion adheres to the coating film surface on the substrate to increase the defective rate of the product.

【0017】また、図6に示すように三面接触型ブレー
ド29の場合では、三面接触型ブレード29は、塗布液
除去効果を高めるため塗膜形成面41およびリップ18
の形状に合わせた形状となっているため、塗布液除去作
業時にそれぞれ微妙な位置合わせが必要となり、作業性
が悪かったり、時間のロスを生じていた。
Further, as shown in FIG. 6, in the case of the three-sided contact type blade 29, the three-sided contact type blade 29 has the coating film forming surface 41 and the lip 18 in order to enhance the effect of removing the coating liquid.
Since the shape is adapted to the shape of No. 3, it is necessary to perform a fine alignment for each operation of removing the coating liquid, resulting in poor workability and loss of time.

【0018】また、塗布液及び塗布対象物に応じて、塗
膜形成面41及びリップ18の形状が異なるダイヘッド
17を用いることが多く、それぞれに応じた三面接触型
ブレード29を作製する必要があるため(図8参照)、
コストの増大に繋がっていた。
Further, a die head 17 having a coating film forming surface 41 and a lip 18 having different shapes is often used according to the coating liquid and the object to be coated, and it is necessary to prepare a three-face contact type blade 29 corresponding to each of them. (See Figure 8),
This led to an increase in costs.

【0019】更にこの従来の三面接触型ブレード29で
は、繰り返し、塗布液除去作業を行っているうちに三面
接触型ブレード29とダイ吐出口40との接触面に塗布
液が付着してしまうことがあった。この状態で更に塗布
液除去動作を繰り返そうとすると、図9に示すように三
面接触型ブレード29とダイ吐出口40との間に接触面
付着塗布液30が残留して隙間が生じ、両者が密着でき
なくなることで、塗布液除去効果が著しく低下してして
いた。このように三面接触型ブレード29の塗膜形成面
41への接触面が清浄でない状態で、塗膜形成面41に
付着した塗布液の除去または清掃を行おうとしても三面
接触型ブレード29と塗膜形成面41とが密着できない
ために十分な塗布液除去効果が得られず、残留した塗布
液に起因する塗膜のムラおよび欠陥等が発生するという
問題が生じていた。
Further, in the conventional three-face contact type blade 29, the coating liquid may adhere to the contact surface between the three-face contact type blade 29 and the die discharge port 40 while the coating liquid removing operation is repeated. there were. When the coating liquid removing operation is further repeated in this state, as shown in FIG. 9, the contact surface-adhering coating liquid 30 remains between the three-face contact type blade 29 and the die discharge port 40 to form a gap, and the two are in close contact with each other. Since it is no longer possible, the effect of removing the coating liquid is significantly reduced. In this way, when the contact surface of the three-sided contact blade 29 with the coating film forming surface 41 is not clean, even if the coating liquid adhering to the coating film forming surface 41 is to be removed or cleaned, Since the film forming surface 41 cannot be brought into close contact with the film forming surface 41, a sufficient effect of removing the coating liquid cannot be obtained, and there is a problem that unevenness and defects of the coating film due to the residual coating liquid occur.

【0020】上記は誘電体層3の形成に関して述べたが
リブ8、電極(4、5、7)の塗布形成に関しても同様
のことが言える。
Although the above description has been made with respect to the formation of the dielectric layer 3, the same can be said with respect to the coating formation of the ribs 8 and the electrodes (4, 5, 7).

【0021】本発明の塗布液除去装置および塗布液除去
方法の目的は、従来の上記のような課題を考慮し、ダイ
ヘッドの塗膜形成面からの塗布液の除去率が高く、塗布
液溜りが発生することがなく、塗膜形成面に対するブレ
ード23の位置合わせ等の微妙な調整の必要がない、塗
布液除去装置および塗布液除去方法を提供することであ
る。
The purpose of the coating liquid removing apparatus and the coating liquid removing method of the present invention is, in consideration of the above-mentioned conventional problems, a high removal rate of the coating liquid from the coating film forming surface of the die head and a coating liquid pool. It is an object of the present invention to provide a coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method that do not occur and do not require fine adjustment such as alignment of the blade 23 with respect to a coating film forming surface.

【0022】本発明の塗布装置および塗布方法の目的
は、従来の上記のような課題を考慮し、プラズマディス
プレイパネルの誘電体、リブまたは電極を、不良率が少
なく、生産性を向上させて形成する装置および方法を提
供することである。
The object of the coating apparatus and the coating method of the present invention is to form the dielectric, ribs or electrodes of the plasma display panel with a low defect rate and improved productivity in consideration of the above-mentioned conventional problems. Apparatus and method.

【0023】本発明のプラズマディスプレイパネルの製
造装置および製造方法の目的は、従来の上記のような課
題を考慮し、プラズマディスプレイパネルの誘電体、リ
ブまたは電極を、不良率が少なく、生産性を向上させて
形成する、プラズマディスプレイパネルの製造装置およ
び製造方法を提供することである。
In consideration of the above-mentioned conventional problems, the object of the plasma display panel manufacturing apparatus and manufacturing method of the present invention is to improve the productivity of the dielectric, rib or electrode of the plasma display panel with a low defect rate. An object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method of a plasma display panel that are improved and formed.

【0024】[0024]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の、第1の本発明(請求項1に対応)は、ダイヘッドの
塗膜形成面から塗布液を除去するための塗布液除去装置
であって、シート状物と、前記シート状物を送り出すた
めの送り出し機構と、前記シート状物を引き込むための
引き込み機構と、前記シート状物に当接する当接ロール
とを備え、前記当接ロールは、前記塗膜形成面の長手方
向に実質上直交する回転軸を有し、前記回転軸を中心と
して回転可能であり、前記シート状物の裏面から当接し
て前記シート状物の表面を前記塗膜形成面に当接させて
おり、前記当接ロールと前記塗膜形成面との間から前記
シート状物が送り出されるとともに、前記回転軸が、前
記塗膜形成面の長手方向に対して実質上直交する状態
で、前記ダイヘッドに対して相対的に移動する、塗布液
除去装置である。
A first aspect of the present invention (corresponding to claim 1) for solving the above-mentioned problems is a coating liquid removing apparatus for removing a coating liquid from a coating film forming surface of a die head. There is a sheet-like material, a feeding mechanism for feeding out the sheet-like material, a retracting mechanism for retracting the sheet-like material, and a contact roll that contacts the sheet-like material, and the contact roll Has a rotation axis that is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface, is rotatable about the rotation axis, and abuts from the back surface of the sheet-like material to bring the surface of the sheet-like material into contact with the surface of the sheet-like material. It is in contact with the coating film forming surface, the sheet-like material is sent out from between the contact roll and the coating film forming surface, the rotation axis, with respect to the longitudinal direction of the coating film forming surface. The die head in a substantially orthogonal state Relatively moves against a coating liquid removing device.

【0025】第2の本発明(請求項2に対応)は、前記
シート状物の送り出される方向と、前記回転軸が前記ダ
イヘッドに対して相対的に移動する方向とが一致する、
第1の本発明の塗布液除去装置である。
In the second aspect of the present invention (corresponding to claim 2), the direction in which the sheet-like material is sent out coincides with the direction in which the rotary shaft moves relative to the die head.
It is a coating liquid removing apparatus of the first present invention.

【0026】第3の本発明(請求項3に対応)は、前記
シート状物または前記当接ロールが弾性を有する材料を
備える、第1または第2の本発明の塗布液除去装置であ
る。
A third aspect of the present invention (corresponding to claim 3) is the coating liquid removing apparatus according to the first or second aspect of the present invention, in which the sheet-shaped material or the contact roll comprises a material having elasticity.

【0027】第4の本発明(請求項4に対応)は、前記
当接ロールを支持するための当接ロール支持体を備え、
前記当接ロール支持体が緩衝装置を備える、第1〜第3
の本発明のいずれか1つの塗布液除去装置である。
A fourth aspect of the present invention (corresponding to claim 4) comprises a contact roll support for supporting the contact roll,
First to third, wherein the contact roll support includes a shock absorber
The coating liquid removing apparatus according to any one of the present invention.

【0028】第5の本発明(請求項5に対応)は、前記
シート状物または前記当接ロールに、導電性材料が含ま
れる、第1〜第4の本発明のいずれか1つの塗布液除去
装置である。
A fifth aspect of the present invention (corresponding to claim 5) is the coating liquid according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein the sheet-like material or the contact roll contains a conductive material. It is a removal device.

【0029】第6の本発明(請求項6に対応)は、前記
シート状物に洗浄液を含ませる洗浄液吐出ノズルを備え
る、第1〜第5の本発明のいずれか1つの塗布液除去装
置である。
A sixth aspect of the present invention (corresponding to claim 6) is the coating liquid removing apparatus according to any one of the first to fifth aspects of the present invention, which is equipped with a cleaning liquid discharge nozzle for containing the cleaning liquid in the sheet-like material. is there.

【0030】第7の本発明(請求項7に対応)は、ダイ
ヘッドの塗膜形成面から塗布液を除去するための方法で
あって、送り出し機構により送られ、引き込み機構によ
り引き込まれるシート状物の裏面に、回転軸を有する当
接ロールを、前記回転軸が前記ダイヘッドの塗膜形成面
に実質上直交する方向に当接させ、それにより前記シー
ト状物の表面を前記塗膜形成面に当接させ、前記引き込
み機構または前記回転軸を駆動することにより、前記当
接ロールと前記塗膜形成面との間からシート状物を送り
出し、それと同時に前記回転軸を、前記塗膜形成面の長
手方向に対して実質上直交する状態で、前記ダイヘッド
に対して相対的に移動させる、塗布液除去方法である。
A seventh aspect of the present invention (corresponding to claim 7) is a method for removing a coating liquid from a coating film forming surface of a die head, which is a sheet-like material sent by a sending mechanism and drawn by a drawing mechanism. On the back surface of the contact roll having a rotation axis, the rotation axis is contacted in a direction substantially orthogonal to the coating film forming surface of the die head, whereby the surface of the sheet-like material to the coating film forming surface. By contacting and driving the retracting mechanism or the rotating shaft, a sheet-like material is sent out between the contact roll and the coating film forming surface, and at the same time, the rotating shaft is moved to the coating film forming surface. In the coating liquid removing method, the coating liquid is moved relative to the die head in a state substantially perpendicular to the longitudinal direction.

【0031】第8の本発明(請求項8に対応)は、プラ
ズマディスプレイパネルの誘電体リブまたは電極をダイ
ヘッドを利用して基板上に形成する塗布装置において、
第1の本発明の塗布液除去装置を備える、塗布装置であ
る。
An eighth aspect of the present invention (corresponding to claim 8) is a coating apparatus for forming a dielectric rib or electrode of a plasma display panel on a substrate by using a die head.
A coating apparatus comprising the coating liquid removing apparatus according to the first aspect of the present invention.

【0032】第9の本発明(請求項9に対応)は、プラ
ズマディスプレイパネルの誘電体、リブまたは電極をダ
イヘッドを利用して基板上に形成する塗布方法であっ
て、第7の本発明の塗布液除去工程を備える、塗布方法
である。
A ninth aspect of the present invention (corresponding to claim 9) is a coating method for forming a dielectric, rib or electrode of a plasma display panel on a substrate by using a die head. This is a coating method including a coating liquid removing step.

【0033】第10の本発明(請求項10に対応)は、
ダイコート法によって基板上に誘電体、リブまたは電極
を形成する、プラズマディスプレイパネルの製造方法で
あって、前記誘電体、前記リブまたは前記電極を、第9
の本発明の方法で形成する、プラズマディスプレイパネ
ルの製造方法である。
The tenth invention of the present invention (corresponding to claim 10) is
A method for manufacturing a plasma display panel, comprising forming a dielectric, a rib or an electrode on a substrate by a die coating method, wherein the dielectric, the rib or the electrode is
Is a method for manufacturing a plasma display panel, which is formed by the method of the present invention.

【0034】第11の本発明(請求項11に対応)は、
ダイコート法によって基板上に誘電体、リブまたは電極
を形成するための、プラズマディスプレイパネルの製造
装置であって、第8の本発明の塗布装置を備える、プラ
ズマディスプレイパネルの製造装置である。
The eleventh invention (corresponding to claim 11) is
A plasma display panel manufacturing apparatus for forming a dielectric, a rib or an electrode on a substrate by a die coating method, comprising the coating apparatus of the eighth aspect of the present invention.

【0035】[0035]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図1、
2、3、10〜12に従って説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
It will be described in accordance with 2, 3, 10-12.

【0036】(実施の形態1)図2は、実施の形態1に
おける本発明の塗布液除去装置および方法を示す。図3
は、図2中Aからみた断面図である。なお以下の説明で
は、前面基板1上に誘電体層3を形成するものとして説
明を行う。
(Embodiment 1) FIG. 2 shows a coating liquid removing apparatus and method of the present invention in Embodiment 1. Figure 3
FIG. 3 is a cross-sectional view seen from A in FIG. 2. Note that the following description will be made assuming that the dielectric layer 3 is formed on the front substrate 1.

【0037】ダイコートのための公知のダイヘッド17
は、長手形状を有し、下方にリップ18を有し、リップ
18の先端部には本発明の塗布液を吐出するためのダイ
吐出口40が開口している。また、リップ18の下面
は、ダイ吐出口40から出される塗布液を前面基板1で
あるガラス基板上に誘電体層3として形成するための塗
膜形成面41を有する。そして、ダイヘッド17は、上
下に移動する昇降機構(図示せず)により支持されてい
る。
Known die head 17 for die coating
Has a longitudinal shape, has a lip 18 on the lower side, and a die discharge port 40 for discharging the coating liquid of the present invention is opened at the tip of the lip 18. Further, the lower surface of the lip 18 has a coating film forming surface 41 for forming the coating liquid discharged from the die discharge port 40 as the dielectric layer 3 on the glass substrate which is the front substrate 1. The die head 17 is supported by an elevating mechanism (not shown) that moves up and down.

【0038】本発明のシート状物であるシート状ワイパ
10は、本発明の引き込み機構である巻き取りローラ
(図示せず)、および本発明の送り出し機構である巻き
出しローラ(図示せず)によって、その長手方向の両端
が巻かれている。そして、巻き取りローラおよび巻き出
しローラはそれぞれ回転可能であり、巻き取りローラ
は、巻き取りローラ用モータ(図示せず)に接続されて
いる。
The sheet-shaped wiper 10 which is the sheet-shaped product of the present invention is formed by a take-up roller (not shown) which is a drawing mechanism of the present invention and a take-up roller (not shown) which is a feeding mechanism of the present invention. , Both ends in the longitudinal direction are wound. The take-up roller and the take-out roller are each rotatable, and the take-up roller is connected to a take-up roller motor (not shown).

【0039】本発明のシート状ワイパ10は、クリーン
ルーム用ワイパとして用いられる低発塵で耐摩耗性を有
する超極細繊維(繊維径20μm以下が望ましく、10
μm以下であればさらに望ましい。)の分割繊維と呼ば
れる繊維を高密度に編み込んだ構成のものや、不織布で
構成される。耐摩耗性の点では繊維を高密度に編み込ん
だ構成のものが望ましいがコスト面では不織布に優位性
があることが多い。
The sheet-like wiper 10 of the present invention is used as a wiper for a clean room, and has ultrafine fibers with low dust generation and abrasion resistance (fiber diameter of 20 μm or less is desirable.
It is more desirable if the thickness is less than μm. ) Of the structure that is woven with a high density of so-called split fibers, or composed of a non-woven fabric. From the viewpoint of abrasion resistance, it is desirable to have a structure in which fibers are woven at a high density, but nonwoven fabrics are often superior in terms of cost.

【0040】そして、シート状ワイパ10の裏面には、
本発明の当接ロールであるロール11が当接されてい
る。このときロール11の回転軸16は、ダイヘッド1
7の塗膜形成面41の長手方向に対して実質的に直交し
て配置され、その状態でシート状ワイパ10の表面が塗
膜形成面41に当接している。
Then, on the back surface of the sheet-shaped wiper 10,
The roll 11, which is the contact roll of the present invention, is in contact. At this time, the rotating shaft 16 of the roll 11 is set to the die head 1
7 is disposed substantially orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface 41, and the surface of the sheet-shaped wiper 10 is in contact with the coating film forming surface 41 in this state.

【0041】ここで、ロール11は、円柱形状であり、
本発明の回転軸であるロール回転軸16がその中心を貫
通して係合されている。すなわち、例えば、ロール回転
軸16およびロール11の一部にキー溝(図示せず)が
形成され、両者のキー溝が符合する個所にキー(図示せ
ず)が挿入されることにより、ロール回転軸16とロー
ル11とが固定されている。
Here, the roll 11 has a cylindrical shape,
The roll rotary shaft 16 which is the rotary shaft of the present invention penetrates through the center and is engaged. That is, for example, a key groove (not shown) is formed in a part of the roll rotation shaft 16 and the roll 11, and a key (not shown) is inserted at a position where the key grooves of both rolls coincide with each other. The shaft 16 and the roll 11 are fixed.

【0042】ここで、ロール11は、耐溶剤性を有する
材質で構成されることが望ましく、また、シート状ワイ
パ10の送り出し中のロール11とシート状ワイパ10
とのズレを抑制し、精密な送り出し速度の制御をするた
めに、ロール11の表面に凹凸(図示せず)が設けられ
ていることが望ましい。
Here, it is desirable that the roll 11 is made of a material having solvent resistance, and the roll 11 and the sheet wiper 10 during the delivery of the sheet wiper 10.
It is desirable that the surface of the roll 11 be provided with irregularities (not shown) in order to suppress the deviation from the above and to precisely control the feeding speed.

【0043】ロール回転軸16の一端は、ロール回転用
モータ15に接続され、ロール回転用モータ15は、本
発明の当接ロール支持体であるロール支持体19に接続
されて、ロール11が水平になるように、すなわち、ロ
ール11がダイヘッド17の塗膜形成面41を含む面と
平行になるように、ロール回転用モータ15を保持して
いる。そして、ロール支持体19は、塗膜形成面長手方
向駆動機構12のボールネジ係合部42に接続されてい
る。
One end of the roll rotating shaft 16 is connected to the roll rotating motor 15, and the roll rotating motor 15 is connected to the roll supporting member 19 which is the contact roll supporting member of the present invention, so that the roll 11 can be moved horizontally. The roll rotation motor 15 is held so that the roll 11 is parallel to the surface including the coating film forming surface 41 of the die head 17. The roll support 19 is connected to the ball screw engaging portion 42 of the coating film forming surface longitudinal direction drive mechanism 12.

【0044】塗膜形成面長手方向駆動機構12は、長手
形状を有しており、水平方向に台床43を有する。ボー
ルネジ係合部42は、その底面が平面状であり、台床4
3の表面と接している。そして台床43の一端には、ボ
ールネジ回転用モータ14が設置され、ボールネジ回転
用モータ14の回転軸には、塗膜形成面41とほぼ平行
な方向に延び、ネジ山が切られたボールネジ13が接続
されている。また、ボールネジ係合部42の内部にも、
ネジ山が切られており、ボールネジ係合部42は、ボー
ルネジ13のネジ山と係合してボールネジ13に挿入さ
れている。
The coating film forming surface longitudinal direction drive mechanism 12 has a longitudinal shape and has a base 43 in the horizontal direction. The ball screw engaging portion 42 has a flat bottom surface, and
It is in contact with the surface of 3. The ball screw rotating motor 14 is installed at one end of the pedestal 43, and the rotation axis of the ball screw rotating motor 14 extends in a direction substantially parallel to the coating film forming surface 41 and has a threaded ball screw 13. Are connected. Also, inside the ball screw engaging portion 42,
The screw thread is cut, and the ball screw engaging portion 42 engages with the screw thread of the ball screw 13 and is inserted into the ball screw 13.

【0045】次にこのように構成された実施の形態1の
塗布液除去装置の動作について述べる。
Next, the operation of the coating liquid removing apparatus of the first embodiment configured as described above will be described.

【0046】図1に示す前面基板1上に誘電体層3を形
成するためには、図2において、例えばダイへッド17
を紙面と直交方向に前面基板1に対して移動させつつ、
ダイヘッド17のダイ吐出口40から塗布液を吐出させ
る。所望の面積を塗布した後に塗布を停止し、塗膜形成
面41上に残留した塗膜形成面付着塗布液20を除去す
るために、ダイヘッド17は、昇降機構(図示せず)に
より、ロール11によって当接されたシート状ワイパ1
0の部分に密着するように降下される。このとき、ロー
ル回転軸16の水平方向位置は、塗膜形成面41の塗布
液除去開始位置44(図2においてはダイ吐出口40の
右端、またはそれよりやや右)に位置するようにボール
ネジ回転用モータ14が動作している。
To form the dielectric layer 3 on the front substrate 1 shown in FIG. 1, in FIG.
While moving in a direction orthogonal to the plane of the drawing with respect to the front substrate 1,
The coating liquid is discharged from the die discharge port 40 of the die head 17. In order to stop the coating after coating a desired area and remove the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface 41, the die head 17 is moved by the elevating mechanism (not shown) to the roll 11 Sheet wiper 1 abutted by
It is descended so as to come into close contact with the 0 part. At this time, the roll screw shaft 16 is rotated by a ball screw so that the horizontal position of the roll rotating shaft 16 is located at the coating liquid removal start position 44 of the coating film forming surface 41 (the right end of the die discharge port 40 in FIG. 2 or slightly right thereof). Motor 14 is operating.

【0047】そして、ロール回転用モータ15を連続的
または断続的に動作させて、シート状ワイパ10を巻き
取りローラに向かって送り出す方向にロール11を回転
させて、シート状ワイパ10を連続的または断続的に送
り出す。このとき、送り出されたシート状ワイパ10
は、巻き取りローラ用モータが回転することにより、巻
き取りローラによって巻き取られる。このとき、巻き取
り用ローラ用モータの回転トルクは、ロール11から巻
き取りローラに至る部分のシート状ワイパ10に適度な
テンションを与えることができる程度の大きさのトルク
であればよい。
Then, the roll rotating motor 15 is operated continuously or intermittently to rotate the roll 11 in the direction to send the sheet-shaped wiper 10 toward the winding roller, so that the sheet-shaped wiper 10 is continuously or intermittently fed. Send out intermittently. At this time, the sheet-shaped wiper 10 sent out
Is taken up by the take-up roller as the take-up roller motor rotates. At this time, the rotation torque of the winding roller motor may be a torque that can apply an appropriate tension to the sheet-shaped wiper 10 in the portion from the roll 11 to the winding roller.

【0048】そして、ロール11を回転させると同時
に、ボールネジ回転用モータ14を動作させて、ロール
回転軸16が塗膜形成面41の長手方向に対して直交す
る状態で、ダイヘッド17に対して移動される。すなわ
ち、この実施の形態では、ロール回転軸16の水平位置
を塗膜形成面41の塗布液除去開始位置44から塗布液
除去終了位置45へ向けて、移動させる。すなわち、ロ
ール回転軸16の水平位置を、シート状ワイパ10がロ
ール11と塗膜形成面41との間から送り出される方向
と一致する方向に、移動させる。
At the same time when the roll 11 is rotated, the ball screw rotating motor 14 is operated to move the roll rotating shaft 16 with respect to the die head 17 in a state of being orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface 41. To be done. That is, in this embodiment, the horizontal position of the roll rotating shaft 16 is moved from the coating liquid removal start position 44 of the coating film forming surface 41 to the coating liquid removal end position 45. That is, the horizontal position of the roll rotation shaft 16 is moved in a direction that coincides with the direction in which the sheet-shaped wiper 10 is fed out between the roll 11 and the coating film forming surface 41.

【0049】この場合の動作を詳しく説明すると、ま
ず、ボールネジ回転用モータ14を、ボールネジ回転用
モータ14側から見てボールネジ13のネジが抜かれる
方向に回転させる。このときボールネジ13に挿入され
ているボールネジ係合部42は、その底部が台床43に
接して配置されているため、ボールネジ回転用モータ1
4から見て押される力を受けるため、その底部を台床4
3に摺接しながら、ボールネジ回転用モータ14に近い
側からボールネジ回転用モータ14から遠い側に移動す
る。このようにして、ロール回転軸16が、塗布液除去
開始位置44から塗布液除去終了位置45に向かって移
動する。
Explaining the operation in this case in detail, first, the ball screw rotating motor 14 is rotated in the direction in which the ball screw 13 is unscrewed when viewed from the ball screw rotating motor 14 side. At this time, the ball screw engaging portion 42 inserted into the ball screw 13 is arranged such that the bottom portion thereof is in contact with the base 43, and therefore the ball screw rotating motor 1
4 receives the pushing force from the bottom, and the bottom is
While slidingly contacting with the ball screw 3, the slider moves from the side closer to the ball screw rotating motor 14 to the side farther from the ball screw rotating motor 14. In this way, the roll rotation shaft 16 moves from the coating liquid removal start position 44 toward the coating liquid removal end position 45.

【0050】一方、シート状ワイパ10と塗膜形成面4
1とは、密着されている必要があるため、ある程度の押
圧力が加えられている。このとき、シート状ワイパ10
は押圧力により幾分弾性変形しているので、シート状ワ
イパ10と塗膜形成面41とが接触する部分は、ある程
度の大きさの面となっている。この状態でシート状ワイ
パ10が送り出され、そしてダイヘッド17がロール回
転軸16に対して相対的に移動することにより、塗膜形
成面41はシート状ワイパ10に摺接され、その繊維構
造または多孔質構造により、塗膜形成面41上に付着し
ている塗膜形成面付着塗布液20または埃や凝集体等の
異物が吸収または吸着されることにより除去される。
On the other hand, the sheet-shaped wiper 10 and the coating film forming surface 4
Since 1 is required to be closely attached, a certain pressing force is applied. At this time, the sheet-shaped wiper 10
Is somewhat elastically deformed by the pressing force, so that the contact portion between the sheet-shaped wiper 10 and the coating film forming surface 41 is a surface having a certain size. In this state, the sheet-shaped wiper 10 is fed out, and the die head 17 moves relative to the roll rotation shaft 16, so that the coating film forming surface 41 is brought into sliding contact with the sheet-shaped wiper 10, and its fiber structure or porous Due to the quality structure, the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface 41 or foreign matter such as dust or agglomerates is absorbed or removed and removed.

【0051】このようにして、塗膜形成面41に付着し
た塗膜形成面付着塗布液20を除去していくと、常にシ
ート状ワイパ10の清浄な面をダイ吐出口40または塗
膜形成面41に密着させて除去することが可能となる。
また、除去された塗布液である除去後塗布液21は、図
2に示すように、シート状ワイパ10上を巻き取りロー
ラの方向へ順次運ばれていく。
In this way, when the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface 41 is removed, the clean surface of the sheet-shaped wiper 10 is always kept at the die discharge port 40 or the coating film forming surface. It is possible to remove it by bringing it into close contact with 41.
The removed coating liquid 21, which is the removed coating liquid, is sequentially carried on the sheet-shaped wiper 10 in the direction of the winding roller as shown in FIG.

【0052】(実施の形態2)図10に本発明の実施の
形態2の塗布液除去装置および方法を示す。なお、実施
の形態1と同一の構成要素については、説明を省略す
る。
(Embodiment 2) FIG. 10 shows a coating liquid removing apparatus and method according to Embodiment 2 of the present invention. The description of the same components as in the first embodiment will be omitted.

【0053】実施の形態2の塗布液除去装置において、
ロール11は、耐溶剤性に加えて弾性を備えた材質で構
成される。このような材料の例として、超高分子量ポリ
エチレン、フッ素ゴム、シリコンゴム、エチレンプロピ
レンゴム、ウレタン樹脂、フッ素樹脂、ポリプロピレン
樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等が挙げられ
る。また、シート状ワイパ10の材質としては、実施の
形態1で説明したように、超極細繊維または不織布など
弾性を有する材料で構成される。
In the coating liquid removing apparatus according to the second embodiment,
The roll 11 is made of a material having elasticity in addition to solvent resistance. Examples of such materials include ultra high molecular weight polyethylene, fluororubber, silicon rubber, ethylene propylene rubber, urethane resin, fluororesin, polypropylene resin, polyester resin, acrylic resin and the like. Further, as the material of the sheet-shaped wiper 10, as described in the first embodiment, it is made of an elastic material such as ultrafine fibers or nonwoven fabric.

【0054】次にこのような構成を有する塗布液除去装
置の作用を説明する。まず、実施の形態1と同様に、ダ
イヘッド17を降下させて、シート状ワイパ10をダイ
ヘッド17の塗膜形成面41へ密着させるように押圧す
る。このとき、ダイヘッド17のリップ18の一部は、
シート状ワイパ10またはロール11の弾性により沈み
込む。
Next, the operation of the coating liquid removing device having such a structure will be described. First, as in the first embodiment, the die head 17 is lowered and the sheet-shaped wiper 10 is pressed so as to be in close contact with the coating film forming surface 41 of the die head 17. At this time, a part of the lip 18 of the die head 17 is
The sheet-shaped wiper 10 or the roll 11 sinks due to its elasticity.

【0055】一方、ロール11は、リップ18によって
押圧されることにより、押圧されている周辺部分も含め
て凹部50を形成する。このときシート状ワイパ10
が、凹部50の周囲からずれるか伸長することにより凹
部50の内部に沿って配置される。その結果、リップ1
8の塗膜形成面41およびリップ18の長手方向の両側
側面部は、ロール11上に形成された凹部50内に配置
されたシート状ワイパ10によって包み込まれるよう
に、接触された状態となる。このようにして、ダイヘッ
ド17のシート状ワイパ10との接触面は、塗膜形成面
41だけでなくリップ18の長手方向両側の側面部にも
および、接触状態は三面接触となる。
On the other hand, the roll 11 is pressed by the lip 18 to form the recess 50 including the pressed peripheral portion. At this time, the sheet-shaped wiper 10
Are arranged along the inside of the recess 50 by being displaced or extending from the periphery of the recess 50. As a result, lip 1
The coating film forming surface 41 of 8 and the side surface portions on both sides in the longitudinal direction of the lip 18 are in contact with each other so as to be wrapped by the sheet-shaped wiper 10 arranged in the recess 50 formed on the roll 11. In this way, the contact surface of the die head 17 with the sheet-shaped wiper 10 extends not only to the coating film forming surface 41 but also to the side surfaces on both sides in the longitudinal direction of the lip 18, and the contact state becomes a three-sided contact.

【0056】次に、実施の形態1と同様にロール11を
回転させ、同時に塗膜形成面長手方向駆動機構12によ
り、ロール11を塗膜形成面41の長手方向にロール1
1を移動させる。
Next, as in the first embodiment, the roll 11 is rotated, and at the same time, the roll 11 is moved in the longitudinal direction of the coating film forming surface 41 by the coating film forming surface longitudinal direction drive mechanism 12.
Move 1

【0057】このようにすることにより、リップ18の
長手方向の両側側面への塗布液付着を生じることなく、
より高い塗布液除去効果が得られる。また、従来の三面
接触型ブレード方式で必要であった微妙な位置合わせが
不必要となると共に、多様な吐出口40及びリップ形状
のダイへッド17に対してフレキシブルに対応可能とな
る。また、ダイヘッド17の側面部においても塗布液溜
りが発生することがなく、塗膜形成面41に対する微妙
な調整の必要がなく、塗膜形成面41及びリップ18の
形状の異なるダイへッド17ごとに清掃具を製作する必
要が無くなる。
By doing so, the coating liquid does not adhere to both side surfaces of the lip 18 in the longitudinal direction,
A higher effect of removing the coating liquid can be obtained. In addition, the delicate alignment required in the conventional three-sided contact blade system is not necessary, and it is possible to flexibly deal with various discharge ports 40 and lip-shaped die heads 17. In addition, the coating solution does not accumulate on the side surface of the die head 17, and there is no need to make fine adjustments to the coating film forming surface 41. The die head 17 having different coating film forming surface 41 and lip 18 shapes. There is no need to make a cleaning tool for each.

【0058】ここで、上記ではロール11が弾性を有す
る材料から構成されているとして説明したが、ロール1
1が弾性を有する部材を備えていてもよい。例えば、ロ
ール11の表面に弾性を有する材料で形成されたシート
が設置されていも上記と同様の効果を得ることができ
る。
Although the roll 11 has been described above as being made of a material having elasticity, the roll 1
1 may include a member having elasticity. For example, even if a sheet made of a material having elasticity is installed on the surface of the roll 11, the same effect as above can be obtained.

【0059】また、上記ではロール11およびシート状
ワイパ10の両方に弾性を付与することについて述べた
が、ロール11もしくはシート状ワイパ10のいずれか
一方に弾性を付与され、それらを利用する場合でも同様
の効果が得られる。
In the above description, elasticity is given to both the roll 11 and the sheet-like wiper 10. However, even when either the roll 11 or the sheet-like wiper 10 is given elasticity and they are used. The same effect can be obtained.

【0060】例えば、シート状ワイパ10にのみ弾性が
付与される場合は、シート状ワイパ10の厚みが充分で
あれば、シート状ワイパ10上に凹部50が形成される
ので、上記と同様の効果を得ることができる。
For example, when elasticity is imparted only to the sheet-shaped wiper 10, the recess 50 is formed on the sheet-shaped wiper 10 if the thickness of the sheet-shaped wiper 10 is sufficient. Can be obtained.

【0061】(実施の形態3)図11に本発明の実施の
形態3の塗布液除去装置および方法を示す。なお、実施
の形態1および実施の形態2と同じ構成要素は同一の参
照符号で示し、説明は省略する。
(Embodiment 3) FIG. 11 shows a coating liquid removing apparatus and method according to Embodiment 3 of the present invention. The same constituent elements as those in the first and second embodiments are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0062】実施の形態3の塗布液除去装置は、ロール
回転軸16の一方がロール回転用モータ15に接続さ
れ、他方が軸受け51に接続されている。そして、ロー
ル支持体19は、本発明の緩衝装置であるばね22を備
える。詳細には、ロール支持体19がボールネジ係合部
42に接続され、ボールネジ係合部42は台床43上に
摺接され、台床43がばね22に接続されている。
In the coating liquid removing apparatus according to the third embodiment, one of the roll rotating shafts 16 is connected to the roll rotating motor 15 and the other is connected to the bearing 51. The roll support 19 is provided with the spring 22 which is the shock absorber of the present invention. In detail, the roll support 19 is connected to the ball screw engaging portion 42, the ball screw engaging portion 42 is slidably contacted on the bed 43, and the bed 43 is connected to the spring 22.

【0063】一方、軸受け51は、軸受け支持体52に
接続され、この軸受け支持体52がばね22’に接続さ
れている。
On the other hand, the bearing 51 is connected to the bearing support 52, and the bearing support 52 is connected to the spring 22 '.

【0064】このように構成された塗布液除去装置の動
作について次に説明する。
The operation of the coating liquid removing device configured as described above will be described below.

【0065】実施の形態2と同様に、シート状ワイパ1
0とダイヘッド17の塗膜形成面41とを密着させる場
合、ダイヘッド17またはシート状ワイパ10は互いに
押圧されるように密着させるために、密着させる瞬間に
衝撃が生じる。このとき、この衝撃をばね22、22’
が吸収するために、ダイヘッド17とシート状ワイパ1
0とは、衝撃を最小限に抑えられて密着する。また、シ
ート状ワイパ10とダイヘッド17とを押圧する力は、
ばね22、22’により吸収されるために、昇降機によ
って精密に押圧力が制御される。
Similar to the second embodiment, the sheet-shaped wiper 1
When 0 and the coating film forming surface 41 of the die head 17 are brought into close contact with each other, the die head 17 or the sheet-like wiper 10 is brought into close contact with each other so as to be pressed against each other, and therefore, an impact is generated at the moment of the close contact. At this time, this impact is applied to the springs 22 and 22 '.
Die head 17 and sheet wiper 1
0 means that the impact is kept to a minimum and the two are in close contact. Further, the force pressing the sheet wiper 10 and the die head 17 is
Since it is absorbed by the springs 22 and 22 ', the pressing force is precisely controlled by the elevator.

【0066】ダイヘッド17とシート状ワイパ10との
接触時の衝撃によるダイ吐出口部40及びリップ18の
破損を防止することができると共に、接触圧が高すぎる
ことにより生じる塗膜形成面41、リップ18、シート
状ワイパ10の摩耗を抑制することができ。その結果、
摩耗粉が塗膜に混入することで生じる不良品の発生を抑
制できる。またそのために、シート状ワイパ10及びロ
ール11の材質に関する選択肢を広げることも可能とな
る。
It is possible to prevent the die discharge port 40 and the lip 18 from being damaged by the impact when the die head 17 and the sheet-shaped wiper 10 come into contact with each other, and the coating film forming surface 41 and the lip caused by too high contact pressure. 18, wear of the sheet-shaped wiper 10 can be suppressed. as a result,
It is possible to suppress the generation of defective products caused by the abrasion powder mixed in the coating film. Therefore, it is possible to expand the choices regarding the material of the sheet-shaped wiper 10 and the roll 11.

【0067】なお、本実施の形態の説明では、ロール回
転軸16は、ロール回転用モータ15および軸受け51
により支持されているとして説明したが、軸受け51が
無く、ロール回転用モータ15のみで支持されていても
よく、その場合は、ロール支持体19がばね22を備
え、ばね22’が無い構成となるが、上記と同様の効果
を得ることができる。
In the description of the present embodiment, the roll rotating shaft 16 includes the roll rotating motor 15 and the bearing 51.
However, the roller support 19 may be supported only by the roll rotation motor 15, and in that case, the roll support 19 includes the spring 22 and does not include the spring 22 ′. However, the same effect as described above can be obtained.

【0068】また、本発明の緩衝装置として、ばね2
2、22’を用いる例で説明したが、弾性を有するもの
であれば、これに限定されることなく、ゴムのような弾
性体でもよいし、ガス圧を利用したショックアブソーバ
であっても、他の形態の緩衝装置であっても同様の効果
を得ることができる。
The spring 2 is used as the shock absorber of the present invention.
Although the example of using 2 and 22 'has been described, it is not limited to this as long as it has elasticity, and an elastic body such as rubber or a shock absorber using gas pressure may be used. Similar effects can be obtained with other forms of shock absorbers.

【0069】(実施の形態4)図12に本発明の実施の
形態4の塗布液除去装置および方法を示す。なお、実施
の形態1から3までの構成要素と同じ構成要素には、同
一参照番号を付し、その説明は省略する。
(Embodiment 4) FIG. 12 shows a coating liquid removing apparatus and method according to Embodiment 4 of the present invention. The same components as those of the first to third embodiments are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0070】実施の形態4の塗布液除去装置は、巻き出
しローラからロール11に至るまでの領域に、シート状
ワイパ10に洗浄液32を断続的または連続的に供給す
る本発明の洗浄液吐出ノズル31を具備している。すな
わち、本実施形態の塗布液除去装置は、シート状ワイパ
10上に洗浄液32が含まれていない乾燥部34と、洗
浄液32が含まれる洗浄液含み部33とが、1回以上交
互に配置されていることを特徴とする。
In the coating liquid removing apparatus of the fourth embodiment, the cleaning liquid discharge nozzle 31 of the present invention for supplying the cleaning liquid 32 to the sheet-shaped wiper 10 intermittently or continuously in the region from the unwinding roller to the roll 11. It is equipped with. That is, in the coating liquid removing apparatus of the present embodiment, the drying unit 34 that does not contain the cleaning liquid 32 and the cleaning liquid containing unit 33 that contains the cleaning liquid 32 are alternately arranged once or more on the sheet-shaped wiper 10. It is characterized by being

【0071】このような構成の塗布液除去装置の動作を
次に説明する。
The operation of the coating liquid removing device having such a configuration will be described below.

【0072】まず、塗布液除去作業の開始の時点では、
ロール11と塗膜形成面41とに挟まれたシート状ワイ
パ10は、乾燥部34に属するので、塗膜形成面付着塗
布液20を効率良く吸収すると同時に、シート状ワイパ
10の繊維構造または多孔質構造により埃や凝集体等の
異物を吸着除去する。ロール11が回転を始めると同時
かそれ以降に、本発明の洗浄液吐出ノズル31から洗浄
液32がシート状ワイパ10に供給されて洗浄液含み部
33を形成する。そして洗浄液含み部33が、ロール1
1の回転により、ロール11と塗膜形成面41との間に
引き込まれると、洗浄液含み部33に含まれる洗浄液に
よって、塗膜形成面41またはリップ18の側面部にな
お付着している塗膜形成面付着塗布液20が、洗浄もし
くは希釈されることにより除去される。
First, at the time of starting the coating liquid removing operation,
Since the sheet-shaped wiper 10 sandwiched between the roll 11 and the coating film forming surface 41 belongs to the drying section 34, the sheet forming wiper 10 efficiently absorbs the coating liquid 20 adhering to the coating film forming surface, and at the same time, has a fibrous structure or a porous structure. The quality structure absorbs and removes foreign matter such as dust and aggregates. Simultaneously with or after the roll 11 starts rotating, the cleaning liquid 32 is supplied to the sheet-shaped wiper 10 from the cleaning liquid discharge nozzle 31 of the present invention to form the cleaning liquid containing portion 33. Then, the cleaning liquid containing part 33 is
When the roll 11 is drawn between the roll 11 and the coating film forming surface 41 by the rotation of 1, the cleaning liquid contained in the cleaning liquid containing portion 33 still adheres to the coating film forming surface 41 or the side surface of the lip 18. The forming surface-adhering coating liquid 20 is removed by being washed or diluted.

【0073】なお、上述したように、シート状ワイパ1
0と塗膜形成面41とは、ある程度の面積を持って互い
に接触しているため、ダイヘッド17の相対移動速度に
対して、シートの送り出し速度をある程度速くすると、
塗膜形成面41の同一の場所を乾燥部34と洗浄液含み
部33との両方で、塗布液除去することができる。
As described above, the sheet-shaped wiper 1
0 and the coating film forming surface 41 are in contact with each other with a certain area. Therefore, if the feeding speed of the sheet is increased to some extent with respect to the relative moving speed of the die head 17,
The coating liquid can be removed at the same location on the coating film forming surface 41 by both the drying unit 34 and the cleaning liquid containing unit 33.

【0074】また、本発明の洗浄液吐出ノズル31から
洗浄液32を連続してシート状ワイパ10に対して供給
するのではなく、断続的にシート状ワイパ10に供給す
ることもできる。その場合、洗浄液含み部33は、乾燥
部34と互い違いに縞状にシート状ワイパ10上に配列
される(図示せず)。
Further, instead of continuously supplying the cleaning liquid 32 from the cleaning liquid discharge nozzle 31 of the present invention to the sheet wiper 10, the cleaning liquid 32 can be intermittently supplied to the sheet wiper 10. In that case, the cleaning liquid containing portion 33 is arranged on the sheet-shaped wiper 10 in a striped pattern alternately with the drying portion 34 (not shown).

【0075】こうすることにより、乾燥部と洗浄液含み
部33は順次に塗膜形成面41を通過するので、何度も
洗浄除去をした場合と同様の効果を得ることができるの
で、特に高粘度の塗布液の場合にさらに清浄性を向上さ
せることができる。
By doing so, the drying section and the cleaning liquid containing section 33 successively pass through the coating film forming surface 41, so that it is possible to obtain the same effect as in the case where cleaning and removal are repeated many times. In the case of the above coating liquid, the cleanliness can be further improved.

【0076】しかし、乾燥部34が塗膜形成面41を通
過した後、連続して洗浄液がシート状ワイパ10上に供
給されていてもよい。
However, the cleaning liquid may be continuously supplied onto the sheet-shaped wiper 10 after the drying section 34 has passed the coating film forming surface 41.

【0077】(実施の形態5)実施の形態1から4まで
の塗布液除去装置において、ロール11に導電性材料の
微粒子を混入するなどして、ロール11に導電性を付与
することもできる。導電性を示す材料の一例としては、
酸化亜鉛、カーボン、窒化チタン、酸化スズ、銅、金、
水酸化ルテニウムが挙げられる。また、シート状ワイパ
10にも導電性を付与することができ、その場合は、導
電性材料を混入する方法と、またその他にニッケル繊維
などの導電性繊維を編み込む方法とが考えられる。
(Embodiment 5) In the coating liquid removing apparatus according to Embodiments 1 to 4, it is possible to impart conductivity to the roll 11 by mixing fine particles of a conductive material into the roll 11. As an example of a material exhibiting conductivity,
Zinc oxide, carbon, titanium nitride, tin oxide, copper, gold,
Examples include ruthenium hydroxide. Further, the sheet-shaped wiper 10 can be given conductivity, and in that case, a method of mixing a conductive material and a method of knitting a conductive fiber such as nickel fiber can be considered.

【0078】(実施例)実施の形態2の塗布液除去装置
における、ロール11の回転周速度、およびダイヘッド
17の塗膜形成面41の長手方向の、回転軸に対する移
動速度(以下、ダイヘッド相対移動速度という)と、塗
布液除去効果との関係を実際の装置を使用して検証し、
同様の条件で従来の三面接触型ブレード29による塗布
液除去効果と比較した結果を表1に示す。
(Example) In the coating liquid removing apparatus of the second embodiment, the rotational peripheral speed of the roll 11 and the moving speed in the longitudinal direction of the coating film forming surface 41 of the die head 17 with respect to the rotating shaft (hereinafter referred to as relative movement of the die head). Speed) and the effect of removing the coating liquid is verified by using an actual device,
Table 1 shows the results of comparison with the effect of removing the coating liquid by the conventional three-sided contact type blade 29 under the same conditions.

【0079】[0079]

【表1】 このとき、塗布液としてはガラス粒子を含む固形分60
wt%、樹脂成分5wt%、溶剤成分35wt%の組成
比であり、静置粘度が70pa・sのものを用いた。こ
の塗布液により、ガラス基板上に塗布速度50mm/s
で100μmの膜厚で塗膜を塗布した後に塗布液除去作
業を行い、その除去効果を調べた。
[Table 1] At this time, as the coating liquid, a solid content of 60 including glass particles was used.
The composition ratio of wt%, resin component 5 wt%, solvent component 35 wt% and static viscosity of 70 pa · s was used. With this coating liquid, the coating speed on the glass substrate is 50 mm / s.
After coating a coating film with a film thickness of 100 μm, the coating solution was removed and the removal effect was examined.

【0080】塗布液除去効果は、各条件で5回ずつの上
記除去テストを行い、全て一度の除去により完全に残留
塗布液が無い状態に除去できた場合を◎とし、塗布液が
残留し再度除去作業を要した回数が一回生じた場合を〇
とした。また、再度の除去作業を要した回数が2回以上
4回以下の場合を△とし、5回とも再度の除去作業を要
した場合を×とした。
The effect of removing the coating liquid was evaluated as ⊚ when the removal test was performed 5 times under each condition, and it could be completely removed by one removal without any residual coating liquid. The case where the removal work was required once was rated as ◯. Further, when the number of times that the removal work was required again was 2 times or more and 4 times or less, it was set as Δ, and when the removal work was performed again 5 times, it was set as x.

【0081】表1より、いずれのダイヘッド相対移動速
度に関しても、ロール11の回転によりシート状ワイパ
10を送り出す速度(以下シート送り速度という)が、
ダイヘッド相対移動速度の1/2以上において良好な塗
布液除去効果が得られた。特に良好な塗布液除去効果を
得るためには、シート送り速度をダイヘッド相対移動速
度以上とすることが望ましい。しかし、シート送り速度
をダイヘッド相対移動速度の1/2以上、ダイヘッド相
対移動速度未満の速度とすることでシート状ワイパ10
の使用量を抑制でき、コストダウンを図ることができ
る。尚、本実施の形態における塗料の組成比、粘度特性
及び塗布条件等は一例であり、これに限るものではな
い。
From Table 1, for all the relative moving speeds of the die heads, the speed at which the sheet-shaped wiper 10 is fed by the rotation of the roll 11 (hereinafter referred to as the sheet feeding speed) is
A good coating liquid removing effect was obtained at a speed of 1/2 or more of the relative moving speed of the die head. In order to obtain a particularly good effect of removing the coating liquid, it is desirable that the sheet feeding speed be equal to or higher than the relative movement speed of the die head. However, the sheet-shaped wiper 10 is controlled by setting the sheet feeding speed to a speed that is ½ or more of the relative moving speed of the die head and less than the relative moving speed of the die head.
It is possible to suppress the amount used of, and to reduce the cost. It should be noted that the composition ratio, viscosity characteristics, coating conditions, etc. of the coating material in this embodiment are merely examples, and the present invention is not limited to these.

【0082】次に実施の形態4の場合での、塗布液除去
効果の実施例を説明する。表2には、従来の三面接触型
ブレード29による方法と、洗浄液を用いない実施の形
態2による方法(表中”ワイパー(乾)”と示す)と、
洗浄液を用いた実施の形態4による方法(表中”ワイパ
ー(乾+液)”と示す)の3つに方法により、粘度の異
なる塗布液を除去した場合の除去効果の比較を記載す
る。
Next, an example of the effect of removing the coating liquid in the case of the fourth embodiment will be described. Table 2 shows a method using the conventional three-sided contact type blade 29 and a method using the cleaning liquid-free Embodiment 2 (indicated as "wiper (dry)" in the table).
The comparison of the removal effect when the coating liquids having different viscosities are removed by the three methods of Embodiment 4 using the cleaning liquid (indicated as "Wiper (dry + liquid)" in the table) is described.

【0083】[0083]

【表2】 除去効果は、各粘度の塗布液で5回ずつの上記除去テス
トを行い、5回共に全て一度の除去作業により完全に残
留塗布液が無い状態にできた場合を◎とし、塗布液が残
留し再度除去作業を要した回数が一回生じた場合を〇と
した。また、再度の除去作業を要した回数が2回以上4
回以下の場合を△とし、5回とも再度の除去作業を要し
た場合を×とした。
[Table 2] The removal effect was evaluated as ◎ when the removal test was performed 5 times with the coating liquid of each viscosity and the removal of the coating liquid was completely eliminated by performing the removal work once for all 5 times, and the coating liquid remained. When the removal work was required once, it was rated as ◯. Also, the number of times that the removal work is required is 2 or more.
The case of less than or equal to the number of times was marked with Δ, and the case of requiring the removal work again 5 times was marked with x.

【0084】尚、”ワイパー(乾)”において、ダイヘ
ッド相対移動速度は25mm/sとし、シート送り速度
は12.5mm/sとした。また、”ワイパー(乾+
液)”では、ダイヘッド相対移動速度は10mm/sと
し、シート送り速度は12.5mm/sとした。
In the "wiper (dry)", the relative moving speed of the die head was 25 mm / s and the sheet feeding speed was 12.5 mm / s. In addition, "wiper (dry +
Liquid) ”, the relative moving speed of the die head was 10 mm / s, and the sheet feeding speed was 12.5 mm / s.

【0085】表2に示すように、各粘度において、従来
の三面接触型ブレード29を使用した場合、または”ワ
イパー(乾)”における場合よりも、”ワイパー(乾+
液)における場合の方が塗布液の除去効果が高いことが
わかった。特に粘度が高い場合にこの傾向が顕著になる
こともわかった。
As shown in Table 2, as compared with the case of using the conventional three-sided contact type blade 29 or the case of "wiper (dry)" at each viscosity, "wiper (dry +
It was found that the effect of removing the coating solution was higher in the case of the (solution). It was also found that this tendency becomes remarkable especially when the viscosity is high.

【0086】次に実施の形態5の場合での実施例を説明
する。本発明の実施の形態5による装置を使用して、P
DP用ガラス基板上へ誘電体塗布液を塗布した。誘電体
塗布液の材料組成比はガラス粒子を含む固形分60wt
%、樹脂成分5wt%、溶剤成分35wt%であり、静
置粘度が70pa・sのものを使用した。ガラス基板上
へは塗布速度50mm/sで100μmの膜厚で塗布し
た。ガラス基板は42”サイズのものを用い、50枚を
塗布した場合の膜中に含まれる繊維異物の数を測定し
た。このとき、塗膜形成面41の塗布液の除去作業を、
各ガラス基板を塗布した後に行った。その結果を表3に
示す。
Next, an example in the case of the fifth embodiment will be described. Using the device according to the fifth embodiment of the present invention, P
The dielectric coating liquid was applied onto the glass substrate for DP. The material composition ratio of the dielectric coating liquid is 60 wt% of solid content including glass particles.
%, Resin component 5 wt%, solvent component 35 wt%, and static viscosity 70 pa · s was used. A glass substrate was coated at a coating speed of 50 mm / s with a film thickness of 100 μm. A glass substrate having a size of 42 "was used, and the number of fiber foreign matters contained in the film was measured when 50 sheets were coated. At this time, the removal operation of the coating liquid on the coating film forming surface 41 was performed.
It was performed after coating each glass substrate. The results are shown in Table 3.

【0087】[0087]

【表3】 従来の三面接触型のブレード29の場合は、50枚のガ
ラス基板への塗布のうち、16個の繊維状異物が発見さ
れた。また、ロール11に導電性材料が含まれていない
実施の形態2の場合は、50枚のガラス基板への塗布の
うち、3個の繊維状異物が発見された。実施の形態5に
よる塗布液除去装置によれば、繊維状異物は発見されな
かった。
[Table 3] In the case of the conventional three-sided contact type blade 29, 16 fibrous foreign substances were found in the coating on 50 glass substrates. Further, in the case of the second embodiment in which the roll 11 does not contain the conductive material, three fibrous foreign matters were found in the coating on 50 glass substrates. According to the coating liquid removing apparatus according to the fifth embodiment, no fibrous foreign matter was found.

【0088】また、同様に1000枚のガラス基板への
連続的な塗布を行った場合のスジムラによる膜の不良発
生回数も検証した。従来の三面接触型ブレード29によ
る塗布液除去方法では膜のスジムラ不良が3回発生し
た。これに対して、実施形態2、および実施の形態5に
よる塗布液除去装置では、スジムラが発生せず、長時間
安定して均一な誘電体層3の塗膜を塗布形成できること
が分かった。
Similarly, the number of occurrences of film defects due to uneven streaks when continuously coating 1000 glass substrates was also verified. In the conventional method for removing the coating liquid using the three-sided contact type blade 29, the film has uneven streaks three times. On the other hand, it has been found that the coating liquid removing apparatus according to the second and fifth embodiments can form a uniform coating film of the dielectric layer 3 stably for a long time without causing uneven streaks.

【0089】以上のように、本発明による塗布液除去装
置および方法により、プラズマディスプレイパネルの生
産において歩留まりを大幅に向上でき、高精度に生産性
を向上できることが分かり、また、不良率が減ることか
ら大幅なコストダウンにも繋がることが分かった。
As described above, it is found that the coating liquid removing apparatus and method according to the present invention can significantly improve the yield in the production of the plasma display panel, improve the productivity with high accuracy, and reduce the defective rate. From this, it was found that it would lead to a significant cost reduction.

【0090】以上の説明では、プラズマディスプレイパ
ネルの前面基板上への誘電体層3の形成に関しての例に
ついて述べたが、背面板誘電体またはリブ8または電極
(4、5、7)の形成の場合においても同様の効果が得
られる。
In the above description, an example relating to the formation of the dielectric layer 3 on the front substrate of the plasma display panel has been described, but the formation of the back plate dielectric or the rib 8 or the electrodes (4, 5, 7) has been described. In the case, the same effect can be obtained.

【0091】以上の説明では、本発明の引き込み機構
は、実施の形態1〜5において、巻き取りローラとして
説明してきたが、ゴムなどの弾性体にシート状ワイパ1
0の一端が固定され、ゴムの弾力によりシート状ワイパ
10が引き込まれる構造であってもよく、ロール11と
塗膜形成面41との間から引き出されるシート状ワイパ
10に一定のテンションを加えることができれば、どの
ような機構であっても上記と同様の効果が得られる。
In the above description, the retracting mechanism of the present invention has been described as the winding roller in the first to fifth embodiments, but the sheet-shaped wiper 1 is made of an elastic material such as rubber.
The sheet wiper 10 may have a structure in which one end of 0 is fixed and the elastic force of the rubber pulls in the sheet wiper 10 by applying a constant tension to the sheet wiper 10 pulled out from between the roll 11 and the coating film forming surface 41. If it is possible, the same effect as above can be obtained by any mechanism.

【0092】また、本発明の当接ロールであるロール1
1は、実施の形態1〜5においては、ロール回転用モー
ター15によって駆動されるとして説明してきたが、ロ
ール11が駆動されず、巻き取りローラにのみモータな
どの駆動源があり、その駆動によりシート状ワイパ10
を引き込む構成であってもよい。その場合は、ロール1
1とロール回転軸16とが固定されず、ロール11はロ
ール回転軸16に対して自由に回転することができる構
造とすることによって、上記と同様の効果が得られる。
Roll 1 which is the contact roll of the present invention
1 has been described as being driven by the roll rotation motor 15 in the first to fifth embodiments, but the roll 11 is not driven and only the take-up roller has a drive source such as a motor. Sheet wiper 10
May be drawn in. In that case, roll 1
1 and the roll rotation shaft 16 are not fixed, and the roll 11 has a structure in which the roll 11 can freely rotate with respect to the roll rotation shaft 16, and the same effect as described above can be obtained.

【0093】さらに、本発明のシート状ワイパ10は、
実施の形態1〜5においては、超極細繊維や不織布が望
ましいとして説明したが、これらに限定されることな
く、紙や多孔質発泡体その他の材料であってもよく、粘
性の高い塗布液を吸収、吸着、除去する効果を有する材
質であれば、どのような材質で構成されていてもよい。
Furthermore, the sheet-shaped wiper 10 of the present invention is
In Embodiments 1 to 5, the ultrafine fibers and the non-woven fabric are described as being desirable, but the present invention is not limited to these, and may be paper, porous foam or other material, and the coating liquid having high viscosity may be used. Any material may be used as long as it has the effect of absorbing, adsorbing, and removing.

【0094】以上の実施の形態1から5までの説明で
は、ロール11の回転方向は図2において反時計回りと
して説明したが、この方向は時計回りであってもよい。
その場合は、塗布液除去は、図2で示す塗膜形成面41
の左端を塗布液除去開始位置とし、塗膜形成面41の右
端を塗布液除去終了位置とするように、ボールネジ回転
用モータ14を回転させればよい。
In the above description of the first to fifth embodiments, the rotation direction of the roll 11 is described as counterclockwise in FIG. 2, but this direction may be clockwise.
In that case, the coating liquid is removed by the coating film forming surface 41 shown in FIG.
The ball screw rotating motor 14 may be rotated so that the left end of the coating liquid removal start position and the right end of the coating film forming surface 41 are the coating liquid removal end position.

【0095】また、ロール11の回転方向を反時計回り
とし、塗布液除去開始位置が塗膜形成面41の左端で、
塗布液終了位置が塗膜形成面41の右端となるように、
ボールネジ回転用モータ14を、回転させてもよい。も
しくは、ロール11の回方向を時計回りとし、塗布液除
去開始位置が塗膜形成面41の右端で、塗布液終了位置
が塗膜形成面41の左端となるように、ボールネジ回転
用モータ14を、回転させてもよい。すなわち、塗膜形
成面41のシート状ワイパ10が送り出される方向と、
ロール回転軸16に対してダイヘッド17が移動する方
向が逆であってもよい。
The rotation direction of the roll 11 is counterclockwise, and the coating liquid removal start position is the left end of the coating film forming surface 41.
Set the coating liquid end position to the right end of the coating film forming surface 41,
The ball screw rotating motor 14 may be rotated. Alternatively, the rotation direction of the roll 11 is clockwise, and the ball screw rotating motor 14 is set so that the coating liquid removal start position is the right end of the coating film forming surface 41 and the coating liquid end position is the left end of the coating film forming surface 41. , May be rotated. That is, the direction in which the sheet-shaped wiper 10 on the coating film forming surface 41 is sent out,
The direction in which the die head 17 moves with respect to the roll rotation shaft 16 may be opposite.

【0096】また、ロール11とロール回転軸16と
は、キー溝により固定されるとしたが、これらは接着さ
れていてもよいし、ロール回転軸16にネジ山が切られ
ていて、ロール11の両端からナット締めされていても
よい。
Although the roll 11 and the roll rotating shaft 16 are fixed by the key groove, they may be adhered to each other, or the roll rotating shaft 16 is threaded so that the roll 11 is The nuts may be tightened from both ends.

【0097】また、実施の形態1〜5における塗膜形成
面長手方向駆動機構12は、上記のようにボールネジを
用いたものでなくてもよい。例えば、2つのプーリーの
間にベルトを懸架し、プーリーの一方をモータなどの駆
動源で駆動し、ベルトにロール支持体を固定するように
しても上記と同様の効果を得ることができる。すなわ
ち、精密に速度制御が可能な駆動機構であればいずれの
方法でも良く、これらに限られるものではない。
Further, the coating film forming surface longitudinal direction drive mechanism 12 in Embodiments 1 to 5 does not have to use the ball screw as described above. For example, even if the belt is suspended between two pulleys, one of the pulleys is driven by a drive source such as a motor, and the roll support is fixed to the belt, the same effect as above can be obtained. That is, any method may be used as long as it can precisely control the speed, and the driving mechanism is not limited thereto.

【0098】また、実施の形態1〜5における説明にお
いて、シート状ワイパ10とダイヘッド17の塗膜形成
面41との最初の当接は、昇降機構によりダイヘッド1
7を降ろして密着させるとしたが、ロール回転軸16、
ローラ支持体19または塗膜形成面長手方向駆動機構1
2に昇降機構が取り付けられて、ロール11をシート状
ワイパ10を介して塗膜形成面41の下方から上昇させ
て当接させる機構であってもよい。あるいは、ダイヘッ
ド17およびロール11の両方に昇降機構が設けられ、
これらの両方が動作することにより、シート状ワイパ1
0と塗膜形成面41とが当接するような機構であっても
上記と同様の効果を得ることができる。
In the description of the first to fifth embodiments, the first contact between the sheet-shaped wiper 10 and the coating film forming surface 41 of the die head 17 is performed by the elevating mechanism.
7 was taken down and brought into close contact, but the roll rotary shaft 16,
Roller support 19 or coating film forming surface longitudinal direction drive mechanism 1
An elevating mechanism may be attached to the roller 2, and the roll 11 may be lifted from below the coating film forming surface 41 via the sheet-shaped wiper 10 and brought into contact therewith. Alternatively, both the die head 17 and the roll 11 are provided with a lifting mechanism,
By operating both of these, the sheet-shaped wiper 1
Even with a mechanism in which 0 and the coating film forming surface 41 are in contact with each other, the same effect as described above can be obtained.

【0099】なお、プラズマディスプレイパネルの誘電
体3、リブ8または電極(4、5、7)を前面基板1ま
たは背面基板2上に形成するためには、実施の形態1か
ら5の塗布液除去装置または塗布液除去方法を使用し
て、所望の面積を塗布した後に塗布を停止してダイヘッ
ド17の塗布液を除去する、ということを繰り返して塗
布液による塗膜を形成すればよい。
In order to form the dielectric 3, ribs 8 or electrodes (4,5, 7) of the plasma display panel on the front substrate 1 or the rear substrate 2, the coating liquids of the first to fifth embodiments are removed. It is sufficient to form a coating film with the coating liquid by repeatedly applying a desired area and then stopping the coating liquid to remove the coating liquid from the die head 17 using an apparatus or a coating liquid removing method.

【0100】また、誘電体3、リブ8または電極(4、
5、7)が前面基板1または背面基板2上に形成された
プラズマディスプレイパネルを製造するためには、実施
の形態1から5の塗布液除去装置または塗布液除去方法
を使用して、所望の面積を塗布した後に塗布を停止して
ダイヘッド17の塗布液を除去する、ということを繰り
返して塗布液による塗膜を形成すればよい。
Further, the dielectric 3, the rib 8 or the electrode (4,
In order to manufacture a plasma display panel in which 5, 7) are formed on the front substrate 1 or the rear substrate 2, the coating liquid removing device or the coating liquid removing method according to the first to fifth embodiments is used. After coating the area, the coating is stopped and the coating liquid of the die head 17 is removed, so that a coating film of the coating liquid may be formed.

【0101】[0101]

【発明の効果】本発明の塗布液除去装置および塗布液除
去方法によれば、ダイヘッドの塗膜形成面からの塗布液
の除去率が高く、塗布液溜りが発生することがなく、塗
膜形成面に対する位置合わせ等の微妙な調整の必要がな
い、塗布液除去装置および塗布液除去方法を提供するこ
とができる。
According to the coating liquid removing apparatus and the coating liquid removing method of the present invention, the removal rate of the coating liquid from the coating film forming surface of the die head is high, the coating liquid is not accumulated, and the coating film is formed. It is possible to provide a coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method that do not require fine adjustment such as alignment with respect to a surface.

【0102】シート状物の送り出される方向と、ダイヘ
ッドの当接ロールに対する相対移動方向が一致する場合
は、さらにダイヘッドの塗膜形成面からの塗布液の除去
率を高めることができる。
When the direction in which the sheet material is sent out and the relative movement direction of the die head with respect to the contact roll coincide, the removal rate of the coating liquid from the coating film forming surface of the die head can be further increased.

【0103】シート状物または当接ロールが弾性を有す
る場合は、ダイヘッドの側面部においても塗布液溜りが
発生することがなく、塗膜形成面に対する微妙な調整の
必要がなく、塗膜形成面及びリップ形状の異なるダイへ
ッドごとに清掃具を製作する必要が無い、塗布液除去装
置および塗布液除去方法を提供することができる。
When the sheet-like material or the contact roll has elasticity, the coating solution does not accumulate on the side surface of the die head, and there is no need for fine adjustment of the coating film forming surface. Further, it is possible to provide a coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method which do not require a cleaning tool to be manufactured for each die head having a different lip shape.

【0104】当接ロール支持体が緩衝装置を有する場合
は、ダイ吐出口部及びリップの破損を防止することがで
きると共に、塗膜形成面等の摩耗を抑制することができ
る。
When the contact roll support has a shock absorber, damage to the die discharge port and the lip can be prevented and abrasion of the coating film forming surface and the like can be suppressed.

【0105】シート状ワイパまたはロールに導電性材料
が含まれる場合は、塗膜に異物の付着が防止される塗布
液除去装置および塗布液除去方法を提供することができ
る。
When the sheet-shaped wiper or roll contains a conductive material, it is possible to provide a coating solution removing apparatus and a coating solution removing method which prevent foreign matter from adhering to the coating film.

【0106】洗浄液吐出ノズルを備える場合は、さらに
ダイヘッドの塗膜形成面からの塗布液の除去率が高い塗
布液除去装置および塗布液除去方法を提供することがで
きる。
When the cleaning liquid discharge nozzle is provided, it is possible to provide a coating liquid removing apparatus and a coating liquid removing method which have a high removal rate of the coating liquid from the coating film forming surface of the die head.

【0107】本発明の塗布装置および塗布方法によれ
ば、プラズマディスプレイパネルの誘電体、リブまたは
電極を、不良率が少なく、生産性を向上させて、形成す
ることができる。
According to the coating apparatus and the coating method of the present invention, it is possible to form the dielectric, rib or electrode of the plasma display panel with a low defect rate and improved productivity.

【0108】本発明のプラズマディスプレイパネルの製
造装置および製造方法によれば、プラズマディスプレイ
パネルを不良率が少なく、生産性を向上させて製造する
ことができる。
According to the plasma display panel manufacturing apparatus and manufacturing method of the present invention, the plasma display panel can be manufactured with a low defect rate and improved productivity.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、従来のプラズマディスプレイパネルの
構造を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a conventional plasma display panel.

【図2】図2は、本発明の実施の形態1における塗布液
除去装置の立面断面図である。
FIG. 2 is an elevation cross-sectional view of the coating liquid removing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図3】図3は、図2のA方向から見た塗布液除去の立
面断面図である。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of coating liquid removal viewed from the direction A of FIG.

【図4】図4は、従来の塗布液除去装置の構成を示す立
面断面図である。
FIG. 4 is an elevational sectional view showing a configuration of a conventional coating liquid removing apparatus.

【図5】図5は、図4のB方向から見た従来の塗布液除
去装置の立面断面図である。
5 is an elevation cross-sectional view of the conventional coating liquid removing apparatus as viewed from the direction B in FIG.

【図6】図3は、従来の三面接触型ブレードを使用した
塗布液除去装置の立面断面図である。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of a coating liquid removing apparatus using a conventional three-sided contact type blade.

【図7】図7は、図6のC方向から見た従来の三面接触
型ブレードを使用した塗布液除去装置の立面断面図であ
る。
FIG. 7 is an elevational sectional view of a coating liquid removing apparatus using a conventional three-face contact type blade viewed from the direction C in FIG.

【図8】図8は、従来の三面接触型のブレードの立面図
である。
FIG. 8 is an elevational view of a conventional three-contact blade.

【図9】図9は、図6のC方向から見た従来の三面接触
型ブレードを使用した塗布液除去装置の立面断面図であ
る。
9 is an elevational sectional view of a coating liquid removing apparatus using a conventional three-sided contact blade viewed from the direction C in FIG.

【図10】本発明の実施の形態2における塗布液除去装
置の一部を表す立面断面図である。
FIG. 10 is an elevational sectional view showing a part of a coating liquid removing apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【図11】本発明の実施の形態3における塗布液除去装
置を表す立面断面図である。
FIG. 11 is an elevational sectional view showing a coating liquid removing apparatus according to a third embodiment of the present invention.

【図12】本発明の実施の形態4における塗布液除去装
置の構成を示す立面図である。
FIG. 12 is an elevational view showing the configuration of a coating liquid removing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 前面基板 2 背面基板 3 誘電体層 4 走査電極 5 維持電極 6 保護層 7 アドレス電極 8 リブ 9 蛍光層 10 シート状ワイパ 11 ロール 12 塗膜形成面長手方向駆動機構 13 ボールネジ 14 ボールネジ回転用モータ 15 ロール回転用モータ 16 ロール回転軸 17 ダイヘッド 18 リップ 19 ロール支持体 20 塗膜形成面付着塗布液 21 除去後塗布液 22、22’ ばね 23 ブレード 24 吸引ノズル 25 洗浄液供給ノズル 26 塗布液溜り 27 リップ側面部付着塗布液 29 三面接触型ブレード 30 接触面付着塗布液 31 洗浄液吐出ノズル 32 洗浄液 33 洗浄液含み部 34 乾燥部 40 ダイ吐出口 41 塗膜形成面 42 ボールネジ係合部 43 台床 44 塗布液除去開始位置 45 塗布液除去終了位置 50 凹部 51 軸受け 52 軸受け支持体 1 Front substrate 2 Back substrate 3 Dielectric layer 4 scanning electrodes 5 sustaining electrodes 6 protective layer 7 Address electrode 8 ribs 9 Fluorescent layer 10 Sheet wiper 11 rolls 12 Longitudinal drive mechanism for coating surface 13 Ball screw 14 Ball screw rotation motor 15 Roll rotation motor 16 roll rotation axis 17 die head 18 lips 19 roll support 20 Coating liquid for coating surface 21 Coating liquid after removal 22,22 'spring 23 blade 24 suction nozzle 25 Cleaning liquid supply nozzle 26 Coating liquid reservoir 27 Lip side coating liquid 29 Three-sided contact type blade 30 Contact surface coating liquid 31 Cleaning liquid discharge nozzle 32 cleaning liquid 33 Cleaning liquid containing part 34 Drying department 40 die discharge port 41 Coating surface 42 Ball screw engaging part 43 beds 44 Coating liquid removal start position 45 End position of coating liquid removal 50 recesses 51 bearing 52 Bearing support

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 9/02 H01J 9/02 F 11/02 11/02 B Fターム(参考) 4D075 AA01 AC02 AC52 AC84 AC88 BB65Z DA06 DB13 DC24 EA05 4F041 AA01 AA05 AB01 CA02 CA28 4F042 AA01 AA10 CC03 CC04 CC08 DH08 5C027 AA06 AA09 5C040 FA01 GB03 GB14 GD09 GF19 JA02 JA23 MA26 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01J 9/02 H01J 9/02 F 11/02 11/02 BF term (reference) 4D075 AA01 AC02 AC52 AC84 AC88 BB65Z DA06 DB13 DC24 EA05 4F041 AA01 AA05 AB01 CA02 CA28 4F042 AA01 AA10 CC03 CC04 CC08 DH08 5C027 AA06 AA09 5C040 FA01 GB03 GB14 GD09 GF19 JA02 JA23 MA26

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ダイヘッドの塗膜形成面から塗布液を除
去するための塗布液除去装置であって、 シート状物と、前記シート状物を送り出すための送り出
し機構と、前記シート状物を引き込むための引き込み機
構と、前記シート状物に当接する当接ロールとを備え、 前記当接ロールは、前記塗膜形成面の長手方向に実質上
直交する回転軸を有し、前記回転軸を中心として回転可
能であり、前記シート状物の裏面から当接して前記シー
ト状物の表面を前記塗膜形成面に当接させており、 前記当接ロールと前記塗膜形成面との間から前記シート
状物が送り出されるとともに、前記回転軸が、前記塗膜
形成面の長手方向に対して実質上直交する状態で、前記
ダイヘッドに対して相対的に移動する、塗布液除去装
置。
1. A coating liquid removing device for removing a coating liquid from a coating film forming surface of a die head, comprising: a sheet-like material, a feeding mechanism for feeding out the sheet-like material, and drawing in the sheet-like material. And a contact roll for contacting the sheet-like material, the contact roll having a rotation axis substantially orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface, centering the rotation axis It is rotatable as, and abutting from the back surface of the sheet-like material to bring the surface of the sheet-like material into contact with the coating film forming surface, and between the contact roll and the coating film forming surface. A coating liquid removing apparatus in which a sheet-like material is sent out and the rotation axis moves relative to the die head in a state of being substantially orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface.
【請求項2】 前記シート状物の送り出される方向と、
前記回転軸が前記ダイヘッドに対して相対的に移動する
方向とが一致する、請求項1に記載の塗布液除去装置。
2. A direction in which the sheet-like material is sent out,
The coating liquid removing apparatus according to claim 1, wherein a direction in which the rotating shaft moves relative to the die head coincides.
【請求項3】 前記シート状物または前記当接ロールが
弾性を有する材料を備える、請求項1または2に記載の
塗布液除去装置。
3. The coating liquid removing apparatus according to claim 1, wherein the sheet-shaped material or the contact roll comprises a material having elasticity.
【請求項4】 前記当接ロールを支持するための当接ロ
ール支持体を備え、前記当接ロール支持体が緩衝装置を
備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布液除
去装置。
4. The coating liquid removal according to claim 1, further comprising a contact roll support for supporting the contact roll, wherein the contact roll support includes a cushioning device. apparatus.
【請求項5】 前記シート状物または前記当接ロール
に、導電性材料が含まれる、請求項1〜4のいずれか1
項に記載の塗布液除去装置。
5. The conductive material is contained in the sheet-shaped material or the contact roll, according to claim 1.
Item 5. The coating liquid removing device according to item.
【請求項6】 前記シート状物に洗浄液を含ませる洗浄
液吐出ノズルを備える、請求項1〜5のいずれか1項に
記載の塗布液除去装置。
6. The coating liquid removing apparatus according to claim 1, further comprising a cleaning liquid discharge nozzle that causes the sheet material to contain a cleaning liquid.
【請求項7】 ダイヘッドの塗膜形成面から塗布液を除
去するための方法であって、 送り出し機構により送られ、引き込み機構により引き込
まれるシート状物の裏面に、回転軸を有する当接ロール
を、前記回転軸が前記ダイヘッドの塗膜形成面に実質上
直交する方向に当接させ、それにより前記シート状物の
表面を前記塗膜形成面に当接させ、 前記引き込み機構または前記回転軸を駆動することによ
り、前記当接ロールと前記塗膜形成面との間からシート
状物を送り出し、それと同時に前記回転軸を、前記塗膜
形成面の長手方向に対して実質上直交する状態で、前記
ダイヘッドに対して相対的に移動させる、塗布液除去方
法。
7. A method for removing a coating solution from a coating film forming surface of a die head, comprising a contact roll having a rotating shaft on the back surface of a sheet-like material sent by a sending mechanism and drawn by a drawing mechanism. , The rotating shaft is contacted in a direction substantially orthogonal to the coating film forming surface of the die head, thereby contacting the surface of the sheet-like material with the coating film forming surface, the pulling mechanism or the rotating shaft. By driving, the sheet-like material is sent out between the contact roll and the coating film forming surface, and at the same time, the rotation axis is in a state of being substantially orthogonal to the longitudinal direction of the coating film forming surface, A method for removing a coating liquid, which is moved relative to the die head.
【請求項8】 プラズマディスプレイパネルの誘電体、
リブまたは電極をダイヘッドを利用して基板上に形成す
る塗布装置において、請求項1に記載の塗布液除去装置
を備える、塗布装置。
8. A dielectric of a plasma display panel,
A coating apparatus for forming ribs or electrodes on a substrate using a die head, comprising the coating liquid removing apparatus according to claim 1.
【請求項9】 プラズマディスプレイパネルの誘電体、
リブまたは電極をダイヘッドを利用して基板上に形成す
る塗布方法であって、請求項7に記載の塗布液除去工程
を備える、塗布方法。
9. A dielectric of a plasma display panel,
A coating method for forming ribs or electrodes on a substrate using a die head, the coating method comprising the coating liquid removing step according to claim 7.
【請求項10】 ダイコート法によって基板上に誘電
体、リブまたは電極を形成する、プラズマディスプレイ
パネルの製造方法であって、前記誘電体、前記リブまた
は前記電極を、請求項9に記載の方法で形成する、プラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。
10. A method for manufacturing a plasma display panel, comprising forming a dielectric, ribs or electrodes on a substrate by a die coating method, wherein the dielectric, the ribs or the electrodes are formed by the method according to claim 9. Forming method of manufacturing plasma display panel.
【請求項11】 ダイコート法によって基板上に誘電
体、リブまたは電極を形成するための、プラズマディス
プレイパネルの製造装置であって、請求項8に記載の塗
布装置を備える、プラズマディスプレイパネルの製造装
置。
11. A plasma display panel manufacturing apparatus for forming a dielectric, a rib or an electrode on a substrate by a die coating method, comprising the coating apparatus according to claim 8. .
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