JP2003230287A - マイクロ加工されたファンデグラフ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】マイクロメートルのスケールに変更されたファンテ゛ク゛ラフ装置の
提供。 【解決手段】マイクロメートルのスケールに変更された又はナノメートルの
スケールに変更された他の装置(70)に電流を供給するために
使用され得る、マイクロメートルのスケールに変更されたファンテ゛ク゛ラフ
装置。ファンテ゛ク゛ラフ装置は、第1の突出部(90)に近い荷電種
ソース(10)と第2の突出部(100)に近い荷電種ト゛レイン(60)との
間で振動できる可動コンホ゜ーネント(80)を含む。また、ファンテ゛ク
゛ラフ装置を用いることにより、荷電種ソース(10)と荷電種ト゛
レイン(60)との間で電荷を伝達する方法も提供される。更
に、マイクロメートルのスケールに変更されたファンテ゛ク゛ラフ装置を製造
する方法も提供される。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、小型で低
コストの高電圧電源を必要とする用途及び装置のための
電源に関する。これらの電源は、例えば、高密度及び超
高密度データ記憶装置に使用され得る。 【０００２】 【従来の技術】図１には、関連技術によるファンデグラ
フ装置の一部が例示されている。ファンデグラフ装置
は、一般に、巨視的スケールで製造され、高校での科学
の実験において、学生がその装置に手で触れると、学生
の髪の毛が立つようにするために用いられることが多
い。 【０００３】図１に例示した装置の一部は、電気アース
２０に接続された荷電種ソース１０を有する。荷電種ソ
ース１０のエッジまたは先端に非常に接近して、第１の
ローラ４０及び第２のローラ５０に巻き付けられたベル
ト３０がある。ローラ４０、５０がそれらの固定軸４
５、５５を中心として回転またはスピンすると、ベルト
３０は、ローラ４０、５０まわりの閉路を進行する。 【０００４】第１のローラ４０は、正または負に帯電し
ており、第２のローラ５０は、非帯電状態のままか、ま
たは第１のローラ４０に対して逆に帯電している。荷電
種ドレイン６０は、荷電種ソース１０からは離れている
が、ベルト３０には、やはり、近接して配置されてい
る。荷電種ドレイン６０は、電源またはコンデンサのよ
うな装置７０に電気的に接続されている。動作中、ファ
ンデグラフ装置は、装置７０に電流を供給する。 【０００５】荷電種ソース１０は、一般に、金属または
他の導電性材料から製造される。荷電種ソース１０は、
一般に、ピンまたは櫛の形状をとる。しかし、他の幾何
学的形状を利用する場合もある。 【０００６】ベルト３０は、一般にゴムから製造され
る。第１のローラ４０は、一般に、ゴム以外の材料から
製造される。第２のローラ５０は、一般に、ベルト３０
の製造に用いられる材料でもなく、第１のローラ４０の
製造に用いられる材料でもない材料から製造される。し
かし、ある状況のもとでは、第２のローラ５０及びベル
ト３０が、同じ材料から製造される。 【０００７】荷電種ドレイン６０は、金属または他の導
電材料から製造され得る。荷電種ドレイン６０は、ピン
または櫛の形状が多いが、他の幾何学的形状が用いられ
る場合もある。荷電種ドレイン６０が電気的に接続され
ている装置７０は、高電位の電流が供給されることによ
って恩恵を受けることになる任意のタイプの装置とする
ことができる。 【０００８】ファンデグラフ装置を動作させる場合、第
１のローラ４０は、一般に、帯電プロセスを受ける。第
１のローラ４０は、装置７０に電流を供給するために用
いられる荷電種（charged species）のタイプに従っ
て、正または負に帯電させることが可能である。例え
ば、電子が使用される場合、第１のローラ４０は、正に
帯電させられる。 【０００９】第１のローラ４０を帯電させるため、外部
供給源から第１のローラ４０に荷電種を供給することが
可能である。代案として、第１のローラ４０は摩擦帯電
することができる。 【００１０】摩擦帯電には、異なる材料から製造された
２つの接触表面間における「摩擦による帯電」が必要と
される。異なる材料は、異なる量の力で電子を引きつけ
るので、２つの異なる材料が互いに擦れ合うと、一方の
材料の表面原子中の電子が、他方の材料により強く引き
つけられ、一方の材料から有効に「引き離されて」、他
方の材料に付着することになるという原理に基づいて、
摩擦帯電が作用する。材料が引き続き、ある時間にわた
って互いに擦れ合う場合、表面原子の電子が引き続き、
一方の材料から他方の材料に移動するので、一方の材料
は、ますます負に帯電し、他方の材料は、ますます正に
帯電することになる。 【００１１】図１において、第１のローラ４０が回転
し、ベルト３０を移動させると、第１のローラ４０及び
ベルト３０の表面は、互いに対して移動する。また、ベ
ルト３０及び第１のローラ４０は、異なる材料から製造
されているので、ベルト３０の表面からの荷電種が、第
１のローラ４０の表面に伝達される。従って、時間が経
つと、第１のローラ４０は帯電する。ベルトも帯電する
が、より大きいので、荷電種はより拡散される。 【００１２】第２のローラ５０が、第１のローラ４０に
対して逆に帯電するのが望ましい場合、第２のローラ５
０の製造材料は、ベルト３０の表面が第２のローラ５０
に対して移動する際、第１のローラ４０とベルト３０の
間に生じる摩擦帯電とは逆の極性の摩擦帯電が生じるよ
うに選択され得る。換言すれば、図１において、ベルト
３０は、あるタイプの荷電種によって第１のローラ４０
を摩擦帯電させることができ、逆の荷電種によって第２
のローラ５０を帯電させることができる。 【００１３】一方、帯電していない第２のローラ５０を
用いるのが望ましい場合には、ベルト３０及び第２のロ
ーラ５０は、同じ材料から製造されることができ、これ
によって、摩擦帯電が阻止される。また、異なる材料を
用いて、ベルト３０及び第２のローラ５０を製造したと
しても、第２のローラ５０に蓄積する荷電種は、外部電
気接続によって、迅速に除去され得る。 【００１４】ローラ４０、５０のそれぞれに、所望の帯
電が生じると、荷電種ソース１０は「オン」になり、荷
電種は、ベルト３０に最も近い荷電種ソース１０の先端
に向かって流れ始める。次に、荷電種ソース１０の先端
の荷電種が、帯電した第１のローラ４０によって引きつ
けられ、それに向かって移動する。しかし、荷電種は、
ベルト３０を通過せず、従って、ベルト３０に有効に付
着する。 【００１５】荷電種がベルト３０に付着すると、可動ベ
ルト３０は、第１のローラ４０に近い位置から逆に帯電
した、または帯電していない第２のローラ５０に近い位
置まで荷電種を運ぶ。荷電種は、第２のローラ５０に近
くなると、それら自体と第２のローラ５０との間で静電
力を受けないか、あるいは第２のローラ５０から荷電種
をはね返す反発静電力を受ける。 【００１６】引きつけられないか、またははね返される
荷電種は、次に、荷電種ドレイン６０に接近する。荷電
種は、ドレイン６０に十分に近づくと、ベルト３０の表
面から離れ、ドレイン６０を通って、装置７０に到達
し、高静電位の電流を供給する。 【００１７】 【特許文献１】米国特許第５，５５７，５９６号明細
書。 【本発明が解決しようとする課題】 【００１８】図１に例示された関連技術の装置は、巨視
的スケールでしか利用できないという欠点を有する。さ
らに、第１のローラ４０及び第２のローラ５０を利用し
て、ベルト３０を移動させるには、かなりの量のエネル
ギが必要になる。 【００１９】 【課題を解決するための手段】電子電荷伝達装置の製造
方法には、荷電種ソース及び荷電種ドレインを設けるス
テップと、荷電種ドレインに電荷を伝達するための可動
コンポーネント、可動コンポーネントに近接した第１の
突出部、及び可動コンポーネントに近接した第２の突出
部を製造するステップとが含まれており、可動コンポー
ネントは、荷電種ソースに非常に接近して配置され、可
動コンポーネント、第１の突出部、及び第２の突出部の
少なくとも１つが、マイクロ製造される。 【００２０】電荷の伝達方法には、第１の荷電種ソース
及び第１の荷電種ドレインを設けるステップと、第１の
可動コンポーネント、第１の突出部、及び第２の突出部
の少なくとも１つをマイクロ製造し、可動コンポーネン
トが、第１の荷電種ソースと第１の荷電種ドレインに近
接して配置され、第１の突出部及び第２の突出部が、そ
れぞれ、第１の可動コンポーネントに接触するようにす
るステップと、第１の荷電種ソース及び第１の荷電種ド
レインに対して第１の可動コンポーネントを移動させる
ステップとが含まれる。 【００２１】ファンデグラフ装置には、可動コンポーネ
ント、可動コンポーネントに近接した荷電種ソース、可
動コンポーネントに近接した荷電種ドレイン、可動コン
ポーネントに接触する第１の突出部、及び可動コンポー
ネントに接触する第２の突出部が含まれており、可動コ
ンポーネント、第１の突出部、及び第２の突出部の少な
くとも１つが、マイクロ機械加工されている。 【００２２】 【発明の実施の形態】本発明は、特に添付図面に関連し
た典型的な実施形態の説明において、一例として説明さ
れる。 【００２３】図２は、本発明によるマイクロ加工された
ファンデグラフ装置の実施形態を例示する。図２に例示
された装置は、電子アース２０に接続された荷電種ソー
ス１０を含む。 【００２４】図２の装置には、装置７０に電気的に接続
された荷電種ドレイン６０も含まれる。荷電種ソース１
０及びドレイン６０の双方は、プレート８０に近接する
か、またはそれに接触するように配置される。プレート
８０は、ソース１０及びドレイン６０に対して移動する
ことが可能な任意のコンポーネントとすることができ
る。例えば、プレート８０は、ソース１０及びドレイン
６０に対して並進するか、または回転軸８５を中心とし
て回転することが可能である。プレート８０が並進する
実施形態の場合、Gibson他に対する特許文献１に開示の
ようなマイクロムーバ（図示せず）を使用できる。プレ
ート８０、ソース１０、及びドレイン６０は、全て、標
準的なマイクロ機械加工技術に従って製造されるか、ま
たはナノメートルスケールで製造され得る。 【００２５】図２に例示された装置には、それぞれ、プ
レート８０と接触するように配置された、第１の突出部
９０及び第２の突出部１００も含まれる。プレート８０
は、並進または回転によって、突出部９０、１００に対
して移動できる。 【００２６】マイクロ加工されたファンデグラフ装置
は、さまざまな用途に使用され得る。例えば、こうした
装置は、制限するわけではないが、Gibson他に対する特
許文献１に開示された超高密度記憶装置のようなデータ
記憶装置の電源のように、マイクロ加工された装置に電
流を供給するために使用され得る。 【００２７】ソース１０及びドレイン６０は、それぞ
れ、制限するわけではないが、ピンまたは櫛を含む任意
の幾何学的形状からなることができる。ソース１０及び
ドレイン６０は、制限するわけではないが、金属または
金属合金のような導電性材料から製造されるか、または
係る導電性材料を含むことができる。 【００２８】プレート８０は、マイクロ加工またはナノ
加工の可能な材料から製造されるか、または係る材料を
含むことができる。いくつかの実施形態によれば、材料
は、あまり摩耗することなく、突出部９０、１００に対
して移動することが可能な材料である。換言すれば、い
くつかの実施形態では、プレート８０は、かなりの回数
にわたって、１つ以上の方向に破損することなく、突出
部９０、１００に対して移動することができる。 【００２９】プレート８０は、非導電性材料を含むよう
に製造され得る。例えば、並進プレート８０は、ゴム状
材料、または制限するわけではないが、摩耗に耐えるよ
うに硬化させたフォトレジスト層のような、ポリマー材
料を含むことができる。 【００３０】突出部９０、１００は、マイクロ加工され
ることが可能であり、マイクロメートルスケールまたは
それ未満のスケールの寸法を有するように選択され得
る。第１の突出部９０は、プレート８０または第２の突
出部１００に含まれる材料とは異なる材料を含むことが
できる。第２の突出部１００には、やはり、第１の突出
部９０及びプレート８０の材料とは異なる材料を含むこ
とができる。 【００３１】動作中、ソース１０は、「オン」になり、
荷電種が、プレート８０に最も近いソース１０の先端に
流れる。プレート８０（または別の可動コンポーネン
ト）は、プレート８０に接触している突出部９０、１０
０の表面に対して平行な方向に沿って振動するように製
造され得る。例えば、図２の左に例示したデカルト座標
系において、プレート８０は、ｘｙ平面を横切って並進
することもできるし、あるいは回転軸８５のまわりを回
転することもできる。 【００３２】やはり、動作中、第１の突出部９０は、ソ
ース１０から流れる荷電種の電荷と逆になるように帯電
することができる。第１の突出部９０の帯電は、外部装
置によって、またはプレート８０が第１の突出部９０に
対して移動する際におけるプレート８０との摩擦帯電に
よって実施され得る。 【００３３】第２の突出部１００は、ソース１０から出
る荷電種と同じ極性とすることができる。一方、第２の
突出部１００は、非帯電状態のままにすることができ
る。第２の突出物１００が、非帯電状態に留まる場合、
電荷は外部装置によって、第２の突出部１００から除去
されることができ、あるいはプレート８０と同じ材料を
含むように、従って、摩擦帯電を生じないように、第２
の突出部１００を選択することもできる。 【００３４】電子源１０が、その先端から荷電種を流し
始めると、第１の突出部９０が逆極性のため、荷電種は
第１の突出部９０に引きつけられ得る。しかし、荷電種
は、プレート８０を通過せず、代わりに、プレート８０
の表面に集まる。プレート８０が、第１の突出部９０に
対して移動し、ドレイン６０に向かうと、プレート８０
の表面の荷電種も、ドレイン６０に向かって移動する。 【００３５】荷電種がドレイン６０に近くなると、第２
の突出部１００は、反発静電力を与えるか、または静電
力を与えない。いずれにせよ、荷電種は、ドレイン６０
に引きつけられて、ドレイン６０を通り、装置７０に向
かって移動することができ、その結果、装置７０に電流
が供給される。 【００３６】ソース１０及びドレイン６０は、一般に、
プレート８０に非常に接近して配置される。上述のよう
に、プレート８０は、固定回転軸８５のまわりに回転す
ることができる。回転するプレート８０の構成におい
て、プレート８０の表面における荷電種は、直線経路で
はなく、半円経路を進行する。それにもかかわらず、電
流は、依然として発生し、装置７０に供給される。 【００３７】本発明の他の実施形態によれば、１つ以上
のプレート８０、第１の突出部９０、及び第２の突出部
１００と連係して、複数のソース１０及びドレイン６０
を使用することができる。複数のマイクロ加工されたフ
ァンデグラフ装置をマイクロ製造して、同時に動作させ
る場合、各プレート８０が、互いに位相のずれた周期レ
ートで、ソース１０とドレイン６０との間で振動するこ
とができる。 【００３８】換言すれば、１つの並進するプレート８０
が、ソース１０とドレイン６０との間で振動の出発点に
いる場合、別の並進するプレート８０は、その振動の中
間点にいることができ、さらに第３の並進するプレート
８０は、ドレイン６０に向かうその振動の終点におり、
ソース１０に向かって戻る過程にいることができる。同
時に並進するプレート８０が、動作中であり、互いに位
相がずれた状態で振動している場合、装置７０に対し
て、より安定した電流の発生が可能である。回転するプ
レート８０を用いる場合、複数のソース１０、ドレイン
６０、及び第１及び第２の突出部９０、１００を依然と
して使用することができるが、正味の効果は、装置７０
に対する電流の増大である。 【００３９】並進するプレート８０を用いる場合、並進
するプレート８０の長さによって、プレート８０の振動
距離が定められることが多い。プレートの一部は、一般
に、電子ドレイン６０まで並進させられる荷電種を捕捉
するためにソース１０の上に留まっているので、ソース
１０が、並進するプレート８０のエッジに近くなると、
振動が逆転し、並進するプレート８０は、一般に、その
初期位置にリセットされる。次に、プレート８０が、も
う一度、荷電種を捕捉して、ソース１０とドレイン６０
との間で並進すると、プロセス全体が再開される。 【００４０】リセット中、荷電種は、もはやソース１０
からドレイン６０に運ばれないので、電流は、一般に、
装置７０に流れない。しかし、回転プレート８０が回転
軸を中心に回転する実施形態では、リセットが不要のた
め、装置７０に対して電流が連続供給され得る。さら
に、上述のプレート８０の交互交替的振動によって、定
電流も供給され得る。 【００４１】図３は、本発明の特定の実施形態による電
子電荷伝達装置を製造する方法に関するフローチャート
を例示する。この方法は、荷電種ソース１０及び荷電種
ドレイン６０を設けることを指定するステップ２００か
ら開始することが可能である。特定の実施形態によれ
ば、ソース１０及びドレイン６０は、マイクロ製造され
得るが、ソース１０及びドレイン６０に対して特定のサ
イズ制限が加えられることはない。ステップ２００で
は、制限するわけではないが、図２に例示したプレート
８０のような可動コンポーネントに接触するソース１０
及びドレイン６０を設けることも可能である。 【００４２】ステップ２１０は、電荷を荷電種ドレイン
６０に伝達するための可動コンポーネント、可動コンポ
ーネントに近接した第１の突出部９０、及び可動コンポ
ーネントに近接した第２の突出部１００の製造を規定
し、可動コンポーネントは、荷電種ソース１０に非常に
接近して配置され、可動コンポーネント、第１の突出部
９０、及び第２の突出部１００の少なくとも１つが、マ
イクロ製造される。特定の実施形態によれば、ステップ
２１０は、第１の突出部９０の第１の材料、及び第１の
材料とは異なる、第２の突出部１００の第２の材料を含
むことを規定する。さらに、ステップ２１０は、第１の
材料及び第２の材料とは異なる、可動コンポーネントの
第３の材料を含むことも規定する。 【００４３】ステップ２２０は、第１の突出部９０及び
第２の突出部１００が、可動コンポーネントと接触する
ように配置されることを規定する。係る実施形態におい
て、突出部９０、１００と可動コンポーネントとの間に
摩擦が存在する。 【００４４】ステップ２３０は、装置７０が荷電種ドレ
イン６０に電気的に接続されることを規定する。装置７
０がドレイン６０を流れる荷電種の電流から恩恵を受け
ることができる限り、いかなる装置７０も本発明の範囲
内である。 【００４５】図４は、本発明の特定の実施形態に従って
電荷を伝達する方法のフローチャートを例示する。図４
によれば、ステップ３００には、第１の荷電種ソース１
０及び第１の荷電種ドレイン６０を設けることが規定さ
れる。ソース１０及びドレイン６０は、マイクロ製造さ
れ得るが、ソース１０またはドレイン６０に対して、特
定のサイズ制限が加えられることはない。 【００４６】ステップ３１０は、第１の可動コンポーネ
ント、第１の突出部９０、及び第２の突出部１００の少
なくとも１つがマイクロ製造されることを規定し、この
場合、可動コンポーネントは、第１の荷電種ソース１０
及び第１の荷電種ドレイン６０に近接して配置され、第
１の突出部９０及び第２の突出部１００はそれぞれ、第
１の可動コンポーネントに接触する。また、ステップ３
１０では、マイクロ製造することを規定しているが、ナ
ノメートルスケールの製造、及びより大きいスケールの
製造も、本発明のいくつかの実施形態の範囲内である。 【００４７】ステップ３２０は、第１の可動コンポーネ
ントが、第１の荷電種ソース１０及び第１の荷電種ドレ
イン６０に対して移動することを規定する。本発明の特
定の実施形態によれば、移動ステップ３２０は、第１の
可動コンポーネントが第１の荷電種ソース１０に対して
並進することを含む。他の実施形態によれば、第１の可
動コンポーネントは回転軸８５を中心に回転することも
できる。 【００４８】ステップ３３０は、第１の突出部９０と第
２の突出部１００が摩擦帯電させられることを規定す
る。次に、ステップ３４０によれば、第１の荷電種ドレ
イン６０を用いて、装置７０に電流を供給することがで
きる。装置７０は、供給されている電流から恩恵を受け
る任意の品目とすることができる。 【００４９】次に、ステップ３５０は、第２の可動コン
ポーネント、それぞれ第２の可動コンポーネントに近接
して配置された第２の荷電種ソース及び第２の荷電種ド
レイン、及びそれぞれ、第２の可動コンポーネントに近
接して配置された第３の突出部及び第４の突出部を設け
ることを規定し、この場合、第１の荷電種ドレイン６０
及び第２の荷電種ドレインがそれぞれ、装置７０に電気
的に接続される。次に、ステップ３６０は、第２の可動
コンポーネントを移動して第１の可動コンポーネントと
位相をずらすことを規定する。係る構成において、並進
する第１の可動コンポーネントが、第１の荷電種ドレイ
ン６０から離れるように移動している間に、第２の可動
コンポーネントは、第２の荷電種ドレインに向かって移
動することができ、その結果、装置７０にはより安定し
た電流が供給される。 【００５０】以上の詳細な説明は、ただ単に本発明の典
型的な実施例を理解するために与えられており、当該技
術者には、特許請求の範囲及びその同等物の範囲から逸
脱しない修正が明らかであるため、不必要に制限を与え
るものと理解するべきではない。 【００５１】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施形態を示す。 １．電荷を伝達する方法であって、第１の荷電種ソース
（10）及び第１の荷電種ドレイン（60）を設けるステッ
プと、第１の可動コンポーネント（80）、第１の突出部
（90）、及び第２の突出部（100）の少なくとも１つを
マイクロ製造するステップであって、前記可動コンポー
ネント（80）が、前記第１の荷電種ソース（10）と前記
第１の荷電種ドレイン（60）に近接して配置され、前記
第１の突出部（90）及び前記第２の突出部（100）がそ
れぞれ、前記第１の可動コンポーネント（80）に接触す
る、ステップと、前記第１の荷電種ソース（10）及び前
記第１の荷電種ドレイン（60）に対して前記第１の可動
コンポーネント（80）を移動させるステップとからな
る、方法。 ２．前記設けるステップが、前記第１の荷電種ソース
（10）及び前記第１の荷電種ドレイン（60）をマイクロ
製造するステップを含む、上記１に記載の方法。 ３．前記移動させるステップが、前記第１の荷電種ソー
ス（60）に対して前記第１の可動コンポーネント（80）
を並進させるステップを含む、上記１に記載の方法。 ４．前記移動させるステップが、前記第１の可動コンポ
ーネント（80）を回転軸（85）を中心に回転させるステ
ップを含む、上記１に記載の方法。 ５．前記第１の突出部（90）及び前記第２の突出部（10
0）を摩擦帯電するステップをさらに含む、上記１に記
載の方法。 ６．第２の可動コンポーネント、それぞれ前記第２の可
動コンポーネントに近接して配置された、第２の荷電種
ソース及び第２の荷電種ドレイン、及びそれぞれ、前記
第２の可動コンポーネントに近接して配置された第３の
突出部及び第４の突出部を設けるステップをさらに含
み、前記第１の荷電種ドレイン（60）及び前記第２の荷
電種ドレインがそれぞれ、装置（70）に電気的に接続さ
れている、上記１に記載の方法。 ７．前記第２の可動コンポーネントを移動させて、前記
第１の可動コンポーネント（80）との位相がずれるよう
にするステップをさらに含む、上記６に記載の方法。 ８．ファンデグラフ装置であって、可動コンポーネント
（80）と、前記可動コンポーネント（80）に近接した荷
電種ソース（10）と、前記可動コンポーネント（80）に
近接した荷電種ドレイン（60）と、前記可動コンポーネ
ント（80）に接触する第１の突出部（90）と、及び前記
可動コンポーネント（80）に接触する第２の突出部（10
0）とを含み、前記可動コンポーネント（80）、前記第
１の突出部（90）、及び前記第２の突出部（100）の少
なくとも１つが、マイクロ機械加工される、ファンデグ
ラフ装置。 ９．前記荷電種ソース（10）及び前記荷電種ドレイン
（60）がマイクロ加工される、上記８に記載のファンデ
グラフ装置。 １０．前記第１の突出部（90）が、前記可動コンポーネ
ント（80）に含まれる材料によって摩擦帯電することが
可能な材料からなる、上記８に記載のファンデグラフ装
置。 【００５２】 【発明の効果】本発明により、マイクロメートルのスケ
ールに変更された又はナノメートルのスケールに変更さ
れた装置に電流を供給するために使用され得る、マイク
ロメートルのスケールに変更されたファンデグラフ装置
が提供される。

【図面の簡単な説明】 【図１】関連技術による巨視的ファンデグラフ装置のい
くつかのコンポーネントを例示した図である。 【図２】本発明による巨視的またはナノスコピック（na
noscopic）のファンデグラフ装置の一実施形態を例示す
る図である。 【図３】本発明のある実施形態による電子電荷伝達装置
の製造方法のフローチャートである。 【図４】本発明のある実施形態による電荷の伝達方法に
関するフローチャートである。 【符号の説明】 10 荷電種ソース 20 電子アース 60 種ドレイン 70 装置 80 プレート 90、100 突出部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】電荷を伝達する方法であって、 第１の荷電種ソース（10）及び第１の荷電種ドレイン
   （60）を設けるステップと、 第１の可動コンポーネント（80）、第１の突出部（9
   0）、及び第２の突出部（100）の少なくとも１つをマイ
   クロ製造するステップであって、前記可動コンポーネン
   ト（80）が、前記第１の荷電種ソース（10）と前記第１
   の荷電種ドレイン（60）に近接して配置され、前記第１
   の突出部（90）及び前記第２の突出部（100）がそれぞ
   れ、前記第１の可動コンポーネント（80）に接触する、
   ステップと、 前記第１の荷電種ソース（10）及び前記第１の荷電種ド
   レイン（60）に対して前記第１の可動コンポーネント
   （80）を移動させるステップとからなる、方法。