JP2003230030A - Solid-state image pickup apparatus - Google Patents

Solid-state image pickup apparatus

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JP2003230030A
JP2003230030A JP2002024415A JP2002024415A JP2003230030A JP 2003230030 A JP2003230030 A JP 2003230030A JP 2002024415 A JP2002024415 A JP 2002024415A JP 2002024415 A JP2002024415 A JP 2002024415A JP 2003230030 A JP2003230030 A JP 2003230030A
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case
state imaging
imaging device
fluid
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浩幸 松浦
Shigeo Takahashi
繁夫 高橋
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Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid-state image pickup apparatus capable of stably operating the solid-state imaging element at a prescribed temperature even in the case of use of the solid-state imaging element at diversified attitudes and being easily made compact. <P>SOLUTION: The solid-state image pickup apparatus 1 is characterized in to include: a solid-state imaging element for photoelectric converting light; a case 2 provided with an opening to receive light and containing the solid-state imaging element; a thermal conduction member placed between the solid-state imaging element and the inner wall face of the case in a manner of keeping thermal contact between them and for absorbing the heat produced in the solid- state imaging element and delivering the heat toward the case; at least one fluid path 101 formed in an inner area between the inner wall face and the outer wall face of the case, having a suction port H101 for receiving fluid at the outside of the case and a discharge hole H100 discharging the fluid to the outside of the case, and exchanging the heat between the case and the fluid to cool the case; and a fan 90 for producing a fluid flow f101 to move the fluid in the fluid path from the suction port to the discharge hole. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子を用
いた固体撮像装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device using a solid-state image pickup element.

【0002】[0002]

【従来の技術】CCD(CHARGE COUPLED DEVICE)等の
固体撮像素子を用いる固体撮像装置において鮮明な画像
を得るためには、作動中における固体撮像素子の温度上
昇に伴う暗電流の増加を防止することが重要となる。そ
のため、固体撮像装置には、作動中の固体撮像素子を冷
却してその温度上昇を防止し、所定の作動温度に保持す
るための冷却素子や放熱器等を有する冷却機構が設けら
れている。
2. Description of the Related Art In order to obtain a clear image in a solid-state image pickup device using a solid-state image pickup device such as a CCD (CHARGE COUPLED DEVICE), it is necessary to prevent an increase in dark current due to a temperature rise of the solid-state image pickup device during operation. Is important. For this reason, the solid-state imaging device is provided with a cooling mechanism having a cooling element, a radiator, and the like for cooling the operating solid-state imaging device to prevent its temperature from rising and to maintain the operating temperature at a predetermined level.

【0003】近年、固体撮像装置は、画質の向上を目指
して様々な機能が付加される一方で、更なる小型軽量化
のニーズに応えるための検討も同時になされており、装
置の体積当たりの発熱量が増加する傾向にある。そのた
め、搭載される冷却機構についてもより高い冷却性能と
コンパクトな構成とが同時に要求されている。
In recent years, solid-state image pickup devices have been added various functions in order to improve image quality, and at the same time, investigations have been made to meet the needs of further size reduction and weight reduction, and heat generation per unit volume of the device. The amount tends to increase. Therefore, higher cooling performance and a compact structure are simultaneously required for the mounted cooling mechanism.

【0004】固体撮像装置においては、その筐体(ハウ
ジング)内の固体撮像素子が配置されている空間に装置
外部から外気が流入すると、低温に保たれている固体撮
像素子面に結露が発生し画質が低下する場合があるの
で、これを極力防止する観点から、上記の固体撮像素子
が配置されている空間の気密性が高められている。
In the solid-state image pickup device, when outside air flows into the space in the housing where the solid-state image pickup device is arranged, dew condensation occurs on the surface of the solid-state image pickup device kept at a low temperature. Since the image quality may deteriorate, from the viewpoint of preventing this as much as possible, the airtightness of the space in which the solid-state imaging device is arranged is enhanced.

【0005】上述の要求に応えるため、例えば、この気
密性を更に高めることにより装置のコンパクト性を保時
したまま冷却効率を向上させる方法があるが、この場
合、部品加工精度を上げる必要があり部品コストが高く
なると共に、メンテナンス性がわるくなり、長期間にわ
たってこの気密性を保持することが困難となるなどの問
題があり、この方法には限界があった。
In order to meet the above-mentioned demand, for example, there is a method of further improving the cooling efficiency while maintaining the compactness of the apparatus by further increasing the airtightness. In this case, it is necessary to improve the accuracy of machining parts. There are problems that the cost of parts is increased, the maintainability is deteriorated, and it is difficult to maintain the airtightness for a long period of time, and this method has a limit.

【0006】そのため、例えば、特開2001−291
982号公報には、密閉構造を有する筐体の内部に外気
を取り込むことのできる金属製風路を設けた自然空冷式
電子機器が提案されている。この電子機器においては、
装置の発熱部の配置された空間の気密性を保持したま
ま、発熱部と外気とを金属製風路の壁を介して熱交換さ
せることにより、発熱部を冷却する構成を有している。
Therefore, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-291
Japanese Unexamined Patent Publication No. 982 proposes a natural air-cooled electronic device in which a metal air passage capable of taking in outside air is provided inside a housing having a closed structure. In this electronic device,
The heat generating portion is cooled by exchanging heat between the heat generating portion and the outside air through the wall of the metal air passage while maintaining the airtightness of the space where the heat generating portion of the device is arranged.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
特開2001−291982号公報に記載の電子機器
は、自然空冷式のため、金属製風路内の空気流の速度が
遅く十分な冷却効果を得ることができなかった。また、
金属製風路を筐体の内部に設けるためのスペースが必要
となり、装置のコンパクト化を容易に図ることができ
ず、筐体の構造が複雑になりコスト高となる欠点があっ
た。更に、電子機器は、設置位置における機器の姿勢に
よって得られる冷却効果に変動があり、機器をコンパク
ト化して特定の設置位置に固定せずに多様な姿勢で使用
する場合に適用しにくいという問題があった。
However, since the electronic device described in Japanese Patent Laid-Open No. 2001-291982 mentioned above is of the natural air cooling type, the velocity of the air flow in the metal air passage is slow and a sufficient cooling effect is obtained. I couldn't get it. Also,
A space for providing the metal air passage inside the housing is required, the device cannot be easily made compact, and the structure of the housing becomes complicated, resulting in high cost. Furthermore, there is a problem in that the electronic device has a variation in the cooling effect obtained depending on the posture of the device at the installation position, and is difficult to apply when the device is made compact and is used in various postures without being fixed to a specific installation position. there were.

【0008】また、筐体の外壁面に形成する放熱フィン
の大きさを増大させて冷却効率を向上させる方法もある
が、放熱フィンの大きさの増大は装置のコンパクト化の
観点から限界があった。
There is also a method for increasing the cooling efficiency by increasing the size of the heat radiation fins formed on the outer wall surface of the housing, but there is a limit to the increase in the size of the heat radiation fins from the viewpoint of making the device compact. It was

【0009】すなわち、多様な姿勢で使用しても安定か
つ効率のよい固体撮像素子の冷却を行うことができ、同
時にコンパクト化も容易に図ることができる構成を有す
る固体撮像装置はこれまで実現されていなかった。
That is, a solid-state image pickup device having a structure capable of stably and efficiently cooling the solid-state image pickup element even when used in various postures and at the same time easily made compact has been realized. Didn't.

【0010】本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑
みてなされたものであり、多様な姿勢で使用しても固体
撮像素子を所定の温度で安定に動作させることができ、
かつ、容易にコンパクト化を図ることのできる固体撮像
装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art, and the solid-state image sensor can be stably operated at a predetermined temperature even when used in various postures.
Moreover, it is an object of the present invention to provide a solid-state imaging device that can be easily made compact.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、光を光電変換
する固体撮像素子と、光を採光するための開口部が設け
られており、固体撮像素子を収容するケースと、固体撮
像素子とケースの内壁面との間に熱的接触を保つ状態で
配置されており、固体撮像素子において発生する熱を吸
収しケースに向けて伝達する熱伝導部材と、ケースの内
壁面と外壁面との間の内部領域に形成されており、ケー
スの外部に存在する流体を吸入する吸入口と該流体をケ
ースの外部に排出する排出口とを有し、ケースと流体と
の間で熱交換をさせることによりケースを冷却するため
の少なくとも一本の流体流路と、少なくとも一本の流体
流路内の流体を吸入口から排出口に向けて移動させるた
めの流体流を発生させるファンとを有することを特徴と
する固体撮像装置を提供する。
According to the present invention, there is provided a solid-state image sensor for photoelectrically converting light, an opening for collecting light, a case for housing the solid-state image sensor, and a solid-state image sensor. A heat conducting member, which is arranged in a state of maintaining thermal contact with the inner wall surface of the case, absorbs heat generated in the solid-state imaging device and transfers it toward the case, and an inner wall surface and an outer wall surface of the case. Is formed in an inner region between the case and has an inlet for sucking the fluid existing outside the case and an outlet for discharging the fluid to the outside of the case, and allows heat exchange between the case and the fluid. And at least one fluid flow path for cooling the case, and a fan for generating a fluid flow for moving the fluid in the at least one fluid flow path from the suction port toward the discharge port. Solid-state imaging device characterized by To provide.

【0012】この固体撮像装置によれば、流体流路はケ
ースの内部を利用して形成されるため、冷却媒体となる
空気などの外部の流体が固体撮像素子を格納した空間に
流入することはなく、その空間の気密性を充分に保つこ
とができ固体撮像素子における結露の発生を充分に防止
することができる。また、吸入口と排出口はケースの任
意の位置に任意の数で形成することができ、両者を結ぶ
流路もケース内であれば任意の断面の大きさと長さで形
成することができる。然も、ファンを使用して流体流路
内に流体流を強制的に発生させることができ、ケースと
流体と間の熱交換を高い変換効率で確実に行うことがで
きる。
According to this solid-state image pickup device, since the fluid flow path is formed by utilizing the inside of the case, an external fluid such as air as a cooling medium does not flow into the space in which the solid-state image pickup device is stored. Therefore, the airtightness of the space can be sufficiently maintained, and the occurrence of dew condensation in the solid-state image sensor can be sufficiently prevented. Further, the suction port and the discharge port can be formed at any position in the case in any number, and the flow path connecting the two can be formed in any size and length in the case within the case. However, the fan can be used to forcibly generate the fluid flow in the fluid flow path, and the heat exchange between the case and the fluid can be reliably performed with high conversion efficiency.

【0013】従って、本発明の固体撮像装置は、多様な
姿勢で使用しても常にケースを安定かつ効率よく冷却す
ることができ、ひいては固体撮像素子を安定かつ効率よ
く冷却することができる。そのため、固体撮像素子を所
定の温度で安定に動作させることができる。
Therefore, the solid-state image pickup device of the present invention can always stably and efficiently cool the case even when it is used in various postures, and thus can stably and efficiently cool the solid-state image pickup device. Therefore, the solid-state imaging device can be stably operated at a predetermined temperature.

【0014】また、本発明の固体撮像装置においては、
流体流路をケースの内部に形成するため、流体流路を設
けるためのスペースを装置内に設ける必要はなく、既存
のものと同様の外形と大きさを有するケースを使用する
ことができる。これに加えてファンはコンパクト化が比
較的容易である。そのため、本発明の固体撮像装置は、
容易にコンパクトに図ることができる。更に、流体流路
をケースの内部に形成することは装置の軽量化にも寄与
する。また、流体流路をケースの内部に形成することは
技術的に比較的容易であるため、製造コストを比較的低
く抑えることもできる。
In the solid-state image pickup device of the present invention,
Since the fluid flow path is formed inside the case, it is not necessary to provide a space for providing the fluid flow path inside the device, and a case having the same outer shape and size as the existing one can be used. In addition, the fan is relatively easy to make compact. Therefore, the solid-state imaging device of the present invention is
It can be easily made compact. Further, forming the fluid flow path inside the case also contributes to weight reduction of the device. Further, since it is technically relatively easy to form the fluid passage inside the case, the manufacturing cost can be kept relatively low.

【0015】なお、本発明において、固体撮像素子を収
容する「ケース」とは、少なくとも流体流路の形成され
る部分が熱伝導部材と熱的に接触しており、かつその部
分が外部の流体と熱交換可能な熱伝導性を有しているも
のを示す。
In the present invention, the "case" for accommodating the solid-state image pickup device means that at least a portion where the fluid flow path is formed is in thermal contact with the heat conducting member and that portion is an external fluid. A material having heat conductivity capable of exchanging heat with is shown.

【0016】また、本発明の固体撮像装置においては、
ケースの外壁面には放熱フィンが形成されていることが
好ましい。これにより、より効率の高い固体撮像装置の
冷却を行うことができる。
In the solid-state image pickup device of the present invention,
Radiating fins are preferably formed on the outer wall surface of the case. As a result, the solid-state imaging device can be cooled with higher efficiency.

【0017】更に、本発明の固体撮像装置においては、
ファンは前記少なくとも一本の流体流路の排出口の近傍
に配置されていることを特徴としていてもよい。ファン
を排出口の近傍に配置することにより、そのパワーを無
駄無く利用して流体流路内に流体流を効率よく発生させ
ることができる。ここで、「ファンを排出口の近傍に配
置すること」とは、ファンを排出口の近傍の流体流路内
部に配設すること、排出口の外部側から排出口に直接接
続すること、又は、排出口の外部に後述のマニホールド
等の接続部材を用いて配置することを示す。なお、この
ようにファンを配置しかつ複数の流体流路を設けている
場合、ファンの設置台数を最小限にする観点と、ファン
の大きさを流体流路の断面の大きさに合わせる必要がな
いという利点から、ファンは排出口の外部に後述のマニ
ホールド等の接続部材を用いて配置することが好まし
い。
Further, in the solid-state image pickup device of the present invention,
The fan may be arranged near the outlet of the at least one fluid flow path. By disposing the fan in the vicinity of the discharge port, it is possible to efficiently generate a fluid flow in the fluid flow path by utilizing its power without waste. Here, "to arrange the fan in the vicinity of the discharge port" means to dispose the fan in the fluid flow path in the vicinity of the discharge port, to directly connect the discharge port from the outside to the discharge port, or Shows that the connection member such as a manifold described later is used outside the discharge port. When the fans are arranged and a plurality of fluid passages are provided in this way, it is necessary to match the size of the fans with the size of the cross section of the fluid passages in order to minimize the number of installed fans. Since there is no advantage, the fan is preferably arranged outside the discharge port by using a connecting member such as a manifold described later.

【0018】すなわち、本発明の固体撮像装置において
は、ファンが接続されており外部に開放された第1の接
続口と、前記少なくとも一本の流体流路の排出口毎に設
けられており排出口に接続される第2の接続口と、を有
する内部通路が形成されたマニホールド部が更に設けら
れており、排出口から排出される流体はマニホールド部
の内部通路を介して外部に排出されることが好ましい。
That is, in the solid-state image pickup device of the present invention, a fan is connected to the first connection port opened to the outside, and a discharge port is provided for each of the discharge ports of the at least one fluid flow path. Further provided is a manifold part having an internal passage having a second connection port connected to the outlet, and the fluid discharged from the discharge port is discharged to the outside through the internal passage of the manifold part. It is preferable.

【0019】このような構成とすることによりファンの
設置台数を最小限にすることができる。ここで、マニホ
ールド部は装置のコンパクト化に支障がでない程度にコ
ンパクトに構成することが容易にできる。
With such a configuration, the number of installed fans can be minimized. Here, the manifold portion can be easily configured to be compact so as not to hinder the downsizing of the device.

【0020】また、本発明の固体撮像装置においては、
ファンは前記少なくとも一本の流体流路の吸入口の近傍
に配置されていることを特徴としていてもよい。上述し
たファンを排出口の近傍に配置する場合と同様に、ファ
ンを吸入口の近傍に配置することによっても、そのパワ
ーを無駄無く利用して流体流路内に流体流を効率よく発
生させることができる。ここで、「ファンを吸入口の近
傍に配置すること」とは、ファンを吸入口の近傍の流体
流路内部に配設すること、吸入口の外部側から吸入口に
直接接続すること、又は、吸入口の外部に後述のマニホ
ールド等の接続部材を用いて配置することを示す。な
お、このようにファンを配置しかつ複数の流体流路を設
けている場合、ファンの設置台数を最小限にする観点
と、ファンの大きさを流体流路の断面の大きさに合わせ
る必要がないという利点から、ファンは吸入口の外部に
後述のマニホールド等の接続部材を用いて配置すること
が好ましい。
In the solid-state image pickup device of the present invention,
The fan may be arranged near the suction port of the at least one fluid flow path. Similar to the case where the fan is arranged near the exhaust port, the fan can be arranged near the intake port so that the power of the fan can be efficiently used to efficiently generate the fluid flow in the fluid passage. You can Here, "to arrange the fan in the vicinity of the suction port" means to dispose the fan inside the fluid flow path in the vicinity of the suction port, or to directly connect the suction port from the outside of the suction port, or Shows that the connecting member such as a manifold described later is used outside the suction port. When the fans are arranged and a plurality of fluid passages are provided in this way, it is necessary to match the size of the fans with the size of the cross section of the fluid passages in order to minimize the number of installed fans. Since there is no advantage, the fan is preferably arranged outside the suction port by using a connecting member such as a manifold described later.

【0021】すなわち、本発明の固体撮像装置において
は、ファンが接続されており外部に開放された第1の接
続口と、前記少なくとも一本の流体流路の吸入口毎に設
けられており吸入口に接続される第2の接続口と、を有
する内部通路が形成されたマニホールド部が更に設けら
れており、吸入口から吸入される流体はマニホールド部
の内部通路を介して前記少なくとも一本の流体流路内に
流入させられることが好ましい。
That is, in the solid-state image pickup device of the present invention, a fan is connected to the first connection port opened to the outside, and a suction port is provided for each suction port of the at least one fluid flow path. A manifold part having an internal passage having a second connection port connected to the port is further provided, and the fluid sucked from the suction port is supplied through the internal passage of the manifold part. It is preferably allowed to flow into the fluid flow path.

【0022】このような構成とすることによりファンの
設置台数を最小限にすることができる。ここで、マニホ
ールド部は装置のコンパクト化に支障がでない程度にコ
ンパクトに構成することが容易にできる。
With such a structure, the number of installed fans can be minimized. Here, the manifold portion can be easily configured to be compact so as not to hinder the downsizing of the device.

【0023】更に、本発明の固体撮像装置においては、
ケースは、略直方体状の形状を有しており、開口部が設
けられた前面パネルと、前面パネルに対向配置される背
面パネルと、各固体撮像素子を載置する底面パネルと、
底面パネルに対向配置される上面パネルと、互いに対向
する2つの側面パネルとから構成されており、前面パネ
ルと背面パネルとの間には、ケース内を前面パネル側の
第1領域と背面パネル側の第2領域とに2分する仕切り
パネルが配置され、第2領域を内部通路とするマニホー
ルド部が画成されており、第1領域には、固体撮像素子
と熱伝導部材とが配置されており、側面パネルの少なく
とも一方には、前面パネル側から背面パネル側に向けて
のびる流体流路が少なくとも1本形成されており、流体
流路の吸入口は、側面パネルの前面パネル側の外壁面に
設けられており、流体流路の排出口は、側面パネルの第
2領域側の内壁面に設けられており、背面パネルには、
マニホールド部の第1の接続口が設けられており、該第
1の接続口の第2領域側にはファンが配置されているこ
とを特徴としていてもよい。
Further, in the solid-state image pickup device of the present invention,
The case has a substantially rectangular parallelepiped shape, a front panel provided with an opening, a back panel arranged to face the front panel, a bottom panel on which each solid-state imaging device is mounted,
It is composed of a top panel that is arranged to face the bottom panel and two side panels that face each other. Between the front panel and the back panel, the inside of the case is the first area on the front panel side and the back panel side. A partition panel that bisects the second area is defined, and a manifold portion that defines the second area as an internal passage is defined. A solid-state image sensor and a heat conduction member are arranged in the first area. At least one of the side panels is formed with at least one fluid flow path extending from the front panel side to the back panel side, and the suction port of the fluid flow path is an outer wall surface of the side panel on the front panel side. The discharge port of the fluid flow path is provided on the inner wall surface of the side panel on the second region side, and the rear panel is
The manifold portion may be provided with a first connection port, and a fan may be disposed on the second region side of the first connection port.

【0024】このように、ケースの形状を略直方体とす
ることにより、構成部品をケースの内部に効率よく配置
することができ、装置の取り扱い性が向上し、未使用時
に所定の場所に格納しておく際の格納スペースを無駄の
少ない状態で有効に利用しやすくすることができる。ま
た、ケース4つのパネルから構成することにより、流体
流路の形成を含めたケースの製造が容易となるとともに
装置のコンパクト化をより容易に図ることができる。
By thus forming the case into a substantially rectangular parallelepiped shape, the components can be efficiently arranged inside the case, the handling of the apparatus is improved, and the apparatus can be stored in a predetermined place when not in use. It is possible to make effective use of the storage space when storing it with little waste. Further, by constructing the case with four panels, the case including the formation of the fluid flow path can be easily manufactured, and the device can be more easily made compact.

【0025】更に、仕切りパネルを使用してケース内を
第1領域と第2領域の2つの領域に分割することによ
り、固体撮像素子の配置される第1領域の気密性を所定
の水準に保ちながら、より容易に第2領域の側にマニホ
ールド部を形成することができる。また、流体流路を側
面パネルの少なくとも一方に第1領域の側から第2領域
の側にむけて向けてのびるように設けることにより、ケ
ースの第1領域を画成する内壁を介して固体撮像素子と
熱交換した流体を迅速にマニホールド部に移動させて排
出させることができるとともに、流体流路内を移動する
流体の冷却をケース全体の外壁を効率のよい状態で利用
して行うことができる。
Further, the partition panel is used to divide the inside of the case into two regions, a first region and a second region, so that the airtightness of the first region in which the solid-state image pickup device is arranged is kept at a predetermined level. However, it is possible to more easily form the manifold portion on the second region side. Further, by providing a fluid flow path on at least one of the side panels so as to extend from the side of the first region toward the side of the second region, solid-state imaging is performed through the inner wall defining the first region of the case. The fluid that has exchanged heat with the element can be quickly moved to the manifold portion and discharged, and the fluid that moves in the fluid passage can be cooled by efficiently utilizing the outer wall of the entire case. .

【0026】また、上述のように側面パネルに流体流路
を設ける場合、上面パネルには、前面パネル側から背面
パネル側に向けてのびる流体流路が少なくとも1本形成
されており、流体流路の吸入口は、上面パネルの前面パ
ネル側の外壁面に設けられており、流体流路の排出口
は、側面パネルの第2領域側の内壁面に設けられている
ことが好ましい。これにより、ケースの第1領域を画成
する内壁を介して固体撮像素子と熱交換した流体の冷却
をケース全体の外壁をより効率のよい状態で利用して行
うことができる。
When the side panel is provided with the fluid passage as described above, at least one fluid passage extending from the front panel side to the rear panel side is formed on the upper panel, and the fluid passage is formed. It is preferable that the suction port is provided on the outer wall surface of the top panel on the front panel side, and the discharge port of the fluid channel is provided on the inner wall surface of the side panel on the second region side. Accordingly, the fluid that has exchanged heat with the solid-state imaging device via the inner wall that defines the first region of the case can be cooled by using the outer wall of the entire case in a more efficient state.

【0027】更に、本発明の固体撮像装置においては、
ケースは、ケース本体と該ケース本体に脱着可能に装着
されるケースカバーとから構成されており、ケース本体
は、前面パネルと、背面パネルと、底面パネルとを有し
ており、ケースカバーは、2つの側面パネルと、底面パ
ネルに対向配置される上面パネルとが一体化されて構成
されていることを特徴としていてもよい。
Further, in the solid-state image pickup device of the present invention,
The case includes a case body and a case cover that is detachably attached to the case body. The case body has a front panel, a back panel, and a bottom panel, and the case cover is It may be characterized in that the two side panels and the top panel arranged opposite to the bottom panel are integrally formed.

【0028】上記の構成を有するケースカバーを採用す
ることにより、固体撮像素子等の装置を構成する部品を
ケース内に取り付ける作業をより容易におこなうことが
でき、装置をより効率よく組み立てることが可能とな
る。特に、後述のように複数の固体撮像素子が装着され
た色分解プリズムを搭載する場合に、各固体撮像素子へ
の機械的ストレスを十分に低減しつつ、色分解プリズム
に対して光学的な3次元位置調整の施された各固体撮像
素子同士の相対的な位置をずらすことなく高い取り付け
位置精度で取り付けることができる。
By adopting the case cover having the above structure, it is possible to more easily attach the components of the apparatus such as the solid-state image pickup device into the case, and to assemble the apparatus more efficiently. Becomes In particular, when a color separation prism having a plurality of solid-state image pickup devices mounted thereon is mounted as described later, it is possible to sufficiently reduce the mechanical stress on each solid-state image pickup device and at the same time achieve an optical resolution of 3 to the color separation prism. It is possible to mount the solid-state imaging devices, which have been subjected to the dimensional position adjustment, with high mounting position accuracy without shifting the relative positions thereof.

【0029】なお、本発明において、ケースをケース本
体と、ケース本体に脱着可能に装着されるケースカバー
とから構成する場合、ケースカバーは上述の構成を有す
るもの以外に、上面パネルのかわりに背面パネルを一体
化させた構成を有するものを採用してもよい。
In the present invention, when the case is composed of the case main body and the case cover detachably attached to the case main body, the case cover has a rear surface instead of the top panel in addition to the above-mentioned structure. You may employ | adopt what has the structure which integrated the panel.

【0030】また、本発明の固体撮像装置は、ケースの
開口部から採光した光を受光する受光面を有しており、
該受光面から入射する光を複数の色成分の光に分解する
とともに各色成分の光ごとに設けられた光出射面から出
射する色分解プリズムが更に備えられており、各光出射
面から出射される各色成分の光を光電変換するための固
体撮像素子が各光出射面毎に設けられていることを特徴
としていてもよい。これにより、カラーの良好な画像を
得ることができる。この場合、熱伝導部材も固体撮像素
子毎に設けられていることが好ましい。
Further, the solid-state image pickup device of the present invention has a light receiving surface for receiving the light collected from the opening of the case,
The light-receiving surface is further provided with a color-separating prism that decomposes the light incident on the light-receiving surface into light of a plurality of color components and emits the light from the light-emitting surface provided for each light of each color component. A solid-state image sensor for photoelectrically converting light of each color component may be provided for each light emitting surface. As a result, a good color image can be obtained. In this case, it is preferable that the heat conducting member is also provided for each solid-state image sensor.

【0031】更に、本発明の固体撮像装置は、冷却素子
が固体撮像素子と熱伝導部材との間に更に配置されてい
ることを特徴としていてもよい。このように、冷却素子
を更に備えることにより、作動中における固体撮像素子
の冷却をより低い温度で精密に行うことができ、各固体
撮像素子の温度の変動や暗電流の増加を十分に抑制する
ことができる。
Further, the solid-state image pickup device of the present invention may be characterized in that the cooling element is further arranged between the solid-state image pickup element and the heat conducting member. As described above, by further including the cooling element, the solid-state image sensor during operation can be accurately cooled at a lower temperature, and fluctuations in temperature of each solid-state image sensor and an increase in dark current can be sufficiently suppressed. be able to.

【0032】この場合、冷却素子がペルチェ素子である
ことが好ましい。冷却素子としてペルチェ素子を使用す
ることにより、固体撮像素子を外部環境温度以下の所定
温度に冷却することを効率よくかつ迅速に行うことが容
易にできる。また、ペルチェ素子は軽量でコンパクトに
構成でき、設置スペースが小さくてすむため、固体撮像
装置も軽量でコンパクトに構成することができる。
In this case, the cooling element is preferably a Peltier element. By using the Peltier device as the cooling device, it is possible to easily and efficiently cool the solid-state imaging device to a predetermined temperature equal to or lower than the external environment temperature. Further, since the Peltier device can be constructed in a lightweight and compact form and requires a small installation space, the solid-state imaging device can be constructed in a lightweight and compact form.

【0033】また、本発明の固体撮像装置は、ケース内
の水蒸気の電気化学的な酸化分解反応を進行させる電気
分解セルと、冷却素子の出力を制御して固体撮像素子の
作動温度を外部環境温度以下の所定温度に調節し、か
つ、ケース内の水蒸気圧が作動温度における飽和水蒸気
圧以下の所定値となる条件を満たすように、固体撮像素
子、冷却素子及び電気分解セルの起動と停止のタイミン
グをそれぞれ独立に制御する制御装置と、を有すること
を特徴としていてもよい。
Further, the solid-state image pickup device of the present invention controls the output of the electrolysis cell for promoting the electrochemical oxidative decomposition reaction of water vapor in the case and the output of the cooling element to control the operating temperature of the solid-state image pickup element to the external environment. The temperature of the solid-state image sensor, the cooling element, and the electrolysis cell are controlled so that the water vapor pressure in the case satisfies the condition that the water vapor pressure in the case becomes a predetermined value less than the saturated water vapor pressure at the operating temperature. It may be characterized by having a control device which controls timing respectively independently.

【0034】冷却素子を用いて固体撮像素子の作動温度
を外部環境温度以下の所定温度として作動させる場合、
固体撮像素子における結露は、固体撮像装置を起動させ
るときと停止させるときにおいて特に発生し易くなる
が、固体撮像素子、冷却素子及び電気分解セルのそれぞ
れの起動と停止のタイミングをずらしてケース内の水蒸
気分圧が上述の条件を満たすように調節することによ
り、結露の発生を防止し良好な撮像画像を得ることがで
きる。
When the solid-state image pickup device is operated at a predetermined temperature equal to or lower than the external environment temperature by using the cooling element,
Condensation in the solid-state imaging device is particularly likely to occur when the solid-state imaging device is started and stopped, but the solid-state imaging device, the cooling element, and the electrolysis cell are staggered at different start and stop timings in the case. By adjusting the partial pressure of water vapor so as to satisfy the above condition, it is possible to prevent the occurrence of dew condensation and obtain a good captured image.

【0035】ここで、「外部環境温度」とは、固体撮像
素子と冷却素子とを少なくとも収容するケースの外部環
境の温度を示す。
Here, the "external environment temperature" refers to the temperature of the external environment of the case that houses at least the solid-state image sensor and the cooling element.

【0036】なお、本発明においては、固体撮像装置に
おける暗電流の増加を十分に抑制する観点から、固体撮
像装置の作動温度は、外部環境温度未満の所定値に設定
することが好ましく、外部環境温度よりも20℃以上低
い温度となるように調節することがより好ましい。より
具体的には、固体撮像装置の作動温度は0℃以下に設定
することが好ましい。
In the present invention, the operating temperature of the solid-state imaging device is preferably set to a predetermined value lower than the external environment temperature from the viewpoint of sufficiently suppressing the increase of dark current in the solid-state imaging device. It is more preferable to adjust the temperature to be 20 ° C. or more lower than the temperature. More specifically, the operating temperature of the solid-state imaging device is preferably set to 0 ° C. or lower.

【0037】また、本発明においては、結露の発生を十
分に防止する観点から、ケース内の水蒸気圧は、上述の
作動温度における飽和水蒸気圧未満の所定値に設定する
ことが好ましく、上述の作動温度での相対湿度(百分率
表示)に換算した場合に10%以下となるように調節す
ることがより好ましく、5%以下となるように調節する
ことが更に好ましい。
Further, in the present invention, from the viewpoint of sufficiently preventing the occurrence of dew condensation, it is preferable that the water vapor pressure in the case is set to a predetermined value lower than the saturated water vapor pressure at the above-mentioned operating temperature. It is more preferably adjusted to 10% or less when converted into relative humidity (expressed as a percentage) at temperature, and further preferably adjusted to 5% or less.

【0038】なお、上述の場合、制御装置は、起動時に
おいて、冷却素子よりも固体撮像素子及び電気分解セル
を先に起動させ、次いで前記条件が満たされる所定時間
経過後に冷却素子を起動させることが好ましい。このよ
うに、固体撮像素子及び電気分解セルの起動のタイミン
グに対して冷却素子の起動のタイミングを遅らせること
により、結露の発生をより確実に防止することができ
る。この場合、固体撮像素子と電気分解セルとのそれぞ
れの起動のタイミングは同時でもよく、何れか一方を先
に起動させてもよい。
In the above case, at the time of activation, the control device activates the solid-state image pickup element and the electrolysis cell earlier than the cooling element, and then activates the cooling element after a lapse of a predetermined time when the above conditions are satisfied. Is preferred. As described above, by delaying the activation timing of the cooling element with respect to the activation timing of the solid-state imaging device and the electrolysis cell, it is possible to more reliably prevent the occurrence of dew condensation. In this case, the solid-state imaging device and the electrolysis cell may be activated at the same timing, or either one may be activated first.

【0039】また、上述の場合、制御装置は、停止時に
おいて、電気分解セルよりも固体撮像素子及び冷却素子
を先に停止させ、次いで前記条件が満たされる所定時間
経過後に電気分解セルを停止させることが好ましい。
Further, in the above-mentioned case, at the time of stop, the control device stops the solid-state image pickup element and the cooling element before the electrolysis cell, and then stops the electrolysis cell after a predetermined time when the above conditions are satisfied. It is preferable.

【0040】このように、固体撮像素子及び冷却素子の
停止のタイミングに対して電気分解セルの停止のタイミ
ングを遅らせることにより、結露の発生をより確実に防
止することができ、再び固体撮像装置を起動させる際に
速やかに起動させることができる。この場合、固体撮像
素子及び冷却素子とのそれぞれの停止のタイミングは同
時でもよく、何れか一方を先に停止させてもよいが、固
体撮像素子よりも冷却素子を先に停止させることが好ま
しい。
As described above, by delaying the stop timing of the electrolysis cell with respect to the stop timing of the solid-state image pickup element and the cooling element, it is possible to more reliably prevent the occurrence of dew condensation, and the solid-state image pickup apparatus is again provided. It can be started promptly when it is started. In this case, the solid-state image sensor and the cooling element may be stopped at the same time, or either one may be stopped first, but it is preferable to stop the cooling element before the solid-state image sensor.

【0041】更に、本発明の固体撮像装置においては、
ケース内の前記水蒸気圧を検知する湿度センサが更に設
けられており、制御装置は、湿度センサにより検知され
る水蒸気圧に基づいて、固体撮像素子、冷却素子及び電
気分解セルの起動と停止のタイミングをそれぞれ独立に
制御してもよい。湿度センサを用いることにより、結露
の発生を更に確実に防止することができる。
Further, in the solid-state image pickup device of the present invention,
A humidity sensor that detects the water vapor pressure in the case is further provided, and the control device controls the start and stop timings of the solid-state imaging device, the cooling element, and the electrolysis cell based on the water vapor pressure detected by the humidity sensor. May be controlled independently. By using the humidity sensor, it is possible to more reliably prevent the occurrence of dew condensation.

【0042】なお、固体撮像素子及び電気分解セルの起
動から冷却素子の起動までの時間や、固体撮像素子及び
冷却素子の停止から電気分解セルの停止までの時間の最
適値を予め実験データなどにより把握しておき、湿度セ
ンサのかわりにタイマー等を接続し、固体撮像素子及び
電気分解セルの起動に対する冷却素子の起動や、固体撮
像素子及び冷却素子に対する電気分解セルの停止が自動
的に行われる設定としてもよい。
The optimum value of the time from the activation of the solid-state imaging device and the electrolysis cell to the activation of the cooling element and the optimum time from the stop of the solid-state imaging device and the cooling element to the termination of the electrolysis cell are previously determined by experimental data and the like. Keep in mind that a timer or the like is connected instead of the humidity sensor to automatically start the cooling element in response to the activation of the solid-state imaging element and the electrolysis cell, and stop the electrolysis cell for the solid-state imaging element and the cooling element. It may be set.

【0043】また、本発明の固体撮像装置においては、
固体撮像素子の温度を検知する温度センサが更に設けら
れており、制御装置は、温度センサにより検知される固
体撮像素子の温度に基づいて、固体撮像素子、冷却素子
及び電気分解セルの起動と停止のタイミングをそれぞれ
独立に制御するとともに、起動後の冷却素子の出力を制
御してもよい。
In the solid-state image pickup device of the present invention,
A temperature sensor for detecting the temperature of the solid-state image sensor is further provided, and the control device starts and stops the solid-state image sensor, the cooling element, and the electrolysis cell based on the temperature of the solid-state image sensor detected by the temperature sensor. May be controlled independently of each other, and the output of the cooling element after activation may be controlled.

【0044】これにより作動中の固体撮像素子の温度の
変動を低減することができる。また、固体撮像装置を停
止させる場合に、先に固体撮像素子及び冷却素子を停止
させ、次いで電気分解セルを停止させる際に、固体撮像
素子及び冷却素子を停止してから、温度センサにより固
体撮像素子の温度をモニタしておき、固体撮像素子の温
度が十分に上昇した後に電気分解セルを停止させれば、
結露の発生をより有効に防止できる。
As a result, it is possible to reduce fluctuations in the temperature of the solid-state image sensor during operation. In addition, when stopping the solid-state imaging device, first stop the solid-state imaging device and the cooling element, and then when stopping the electrolysis cell, stop the solid-state imaging device and the cooling element, and then use the temperature sensor to perform the solid-state imaging. If the temperature of the device is monitored and the electrolysis cell is stopped after the temperature of the solid-state imaging device has risen sufficiently,
Condensation can be prevented more effectively.

【0045】更に、本発明の固体撮像装置においては、
電気分解セルは、ガス拡散電極であるアノードと、ガス
拡散電極であるカソードと、アノードとカソードとの間
に配置された高分子電解質膜と、アノードとカソードと
の間に所定の電圧を印加する電圧印加部と、を有してい
ることを特徴としていてもよい。
Further, in the solid-state image pickup device of the present invention,
The electrolysis cell applies an anode that is a gas diffusion electrode, a cathode that is a gas diffusion electrode, a polymer electrolyte membrane arranged between the anode and the cathode, and a predetermined voltage between the anode and the cathode. It may be characterized by having a voltage application part.

【0046】このように、いわゆる高分子電解質型燃料
電池(PEFC)等に使用されるガス拡散電極に外部電
源となる電圧印加部を接続した構成を有する電気分解セ
ルは、小型軽量化が容易であるため固体撮像装置をコン
パクトに構成することができる。また、この構成を有す
る電気分解セルは、エネルギー効率が高く、非常に低い
温度(例えば、−20℃)でも、極めて迅速に水蒸気を
酸化分解し所望の湿度(例えば、作動温度における相対
湿度が5%以下)にまで容易に除湿することができる。
As described above, an electrolysis cell having a structure in which a voltage application section serving as an external power source is connected to a gas diffusion electrode used in a so-called polymer electrolyte fuel cell (PEFC) or the like can be easily reduced in size and weight. Therefore, the solid-state imaging device can be configured compactly. Further, the electrolysis cell having this configuration has high energy efficiency and extremely rapidly oxidizes and decomposes water vapor even at a very low temperature (eg, −20 ° C.) to obtain a desired humidity (eg, a relative humidity at an operating temperature of 5%). % Or less) can be easily dehumidified.

【0047】なお、この場合、ケース中の水蒸気を効率
よく酸化分解する観点から、ケースに設けられる電気分
解セルは、アノードの高分子電解質膜に接していない側
の面がケースの内部に向くように配置され、カソードの
高分子電解質膜に接していない側の面がケース外部に露
出されるように配置されていることが好ましい。
In this case, from the viewpoint of efficiently oxidizing and decomposing the water vapor in the case, the electrolysis cell provided in the case is such that the surface of the anode which is not in contact with the polymer electrolyte membrane faces the inside of the case. It is preferable that the cathode is arranged so that the surface of the cathode that is not in contact with the polymer electrolyte membrane is exposed to the outside of the case.

【0048】また、仕切りパネルを設ける場合、仕切り
パネルが電気分解セルであることが好ましい。ここで、
電気分解セルを仕切りパネルとして配置する場合、アノ
ードの側の面が第1領域の側に露出するように配置し、
カソードの側の面が第2領域の側に露出するように配置
する。このように、電気分解セルを仕切りパネルとして
配置することにより、電気分解セルと仕切りパネルの設
置スペースや電気分解セルからの分解生成物を外部に排
出するための配管を別途設け必要がなく装置構成をシン
プルにでき、ひいては装置のコンパクト化を容易に図る
ことができると共に製造コストを低減することができる
ようになる。
When the partition panel is provided, it is preferable that the partition panel is an electrolysis cell. here,
When arranging the electrolysis cell as a partition panel, arrange so that the surface on the anode side is exposed on the side of the first region,
It is arranged so that the surface on the cathode side is exposed on the second region side. By arranging the electrolysis cell as a partition panel in this way, the installation space for the electrolysis cell and the partition panel and the piping for discharging the decomposition products from the electrolysis cell to the outside are not separately provided Therefore, the device can be made compact, and the manufacturing cost can be reduced.

【0049】また、このような構成とすることにより、
電気分解セルにより第1領域の気密性を所定の水準に保
持すると同時に第1領域の気水蒸気分圧を所定の水準に
保持できる。すなわち、電気分解セルのアノードにおい
て第1領域に存在する水蒸気成分を後述の式(1)で示
す反応により瞬時に分解除去し、電気分解セルのカソー
ドにおいて後述の式(2)又は(3)で示す反応により
生成する水蒸気又は水素を第2領域に排出し、外部流体
と共にファンにより装置外部に瞬時に排出することがで
きるため、電気分解セルを作動させておけば結露の発生
を効果的に防止できるので、第1領域の気密性について
非常に高い水準を要求しなくてもすむことになる。
Further, with such a configuration,
The electrolysis cell can maintain the airtightness of the first region at a predetermined level and at the same time the vapor-steam partial pressure of the first region at a predetermined level. That is, the water vapor component present in the first region in the anode of the electrolysis cell is instantly decomposed and removed by the reaction shown in the following formula (1), and the cathode of the electrolysis cell is represented by the following formula (2) or (3). The steam or hydrogen generated by the reaction shown can be discharged to the second region and can be instantaneously discharged to the outside of the device by the fan together with the external fluid. Therefore, if the electrolysis cell is operated, the condensation can be effectively prevented. As a result, the airtightness of the first region does not need to be very high.

【0050】なお、このように電気分解セルそのものを
仕切るパネルとして使用してもよいが、仕切りパネルの
一部として電気分解セルを搭載してもよい。
Although the electrolysis cell itself may be used as a partition panel as described above, the electrolysis cell may be mounted as a part of the partition panel.

【0051】[0051]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の好
適な実施形態について詳細に説明する。なお、図中同一
又は相当部分には同一符号を付することとする。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts in the drawings will be denoted by the same reference numerals.

【0052】[第1実施形態]図1は、本発明の固体撮
像装置の第1実施形態を示す斜視図である。図2は、図
1に示した固体撮像装置の正面図である。図3は、図1
に示した固体撮像装置の背面図である。図4は、図2の
IV−IV線に沿ってみた固体撮像装置の概略的な基本構成
を示す断面図である。図5は、図2のV−V線に沿ってみ
た固体撮像装置の流体流路の排出口付近の部分の概略的
な構成を示す断面図である。図6は、図1に示した固体
撮像装置を作動させた場合に流体流路内に発生する流体
流を概略的に説明するための分解斜視図である。
[First Embodiment] FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a solid-state image pickup device according to the present invention. FIG. 2 is a front view of the solid-state imaging device shown in FIG. FIG. 3 shows FIG.
It is a rear view of the solid-state imaging device shown in FIG. FIG. 4 corresponds to FIG.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a schematic basic configuration of a solid-state imaging device taken along line IV-IV. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a portion near a discharge port of a fluid flow path of the solid-state imaging device as viewed along the line VV in FIG. FIG. 6 is an exploded perspective view for schematically explaining the fluid flow generated in the fluid flow path when the solid-state imaging device shown in FIG. 1 is operated.

【0053】本実施形態の固体撮像装置1は図1〜図6
に示すように、主として、色分解プリズム10と、色分
解プリズム10の各光出射面F11,F12,F13上
にそれぞれ配置された各固体撮像素子21,22,23
と、これらの固体撮像素子の裏面F21,F22,F2
3上にそれぞれ配置されたペルチェ素子31,32,3
3と、これらのペルチェ素子の裏面上にそれぞれ配置さ
れた冷却ブロック41,42,43と、各固体撮像素子
から送出される電気信号を処理する画像処理部7と、上
記の撮像のための各部品を収容するケース2と、ケース
2を先に述べた第1領域と第2領域に2分する仕切りパ
ネルとなる電気分解セル8と、ファン90とから構成さ
れている。
The solid-state image pickup device 1 of this embodiment is shown in FIGS.
As shown in FIG. 7, mainly, the color separation prism 10 and the solid-state image pickup elements 21, 22, 23 arranged on the light emission surfaces F11, F12, F13 of the color separation prism 10, respectively.
And the back surfaces F21, F22, F2 of these solid-state imaging devices
Peltier elements 31, 32, 3 respectively arranged on 3
3, cooling blocks 41, 42, 43 respectively arranged on the back surfaces of these Peltier elements, an image processing unit 7 for processing electric signals sent from each solid-state image sensor, and each of the above-mentioned image capturing units. It comprises a case 2 for accommodating components, an electrolysis cell 8 serving as a partition panel that divides the case 2 into the first region and the second region described above, and a fan 90.

【0054】なお、この固体撮像装置1においては、冷
却ブロック41,42,43のそれぞれには、一端をこ
れら各冷却ブロック毎に接続され、他端をケースカバー
4の内壁面に接続された各熱伝導パイプ(図示せず)が
設けられており、これらの冷却ブロック41,42,4
3と各熱伝導パイプとにより先に述べた熱伝導部材を構
成している。また、画像処理部7も図示しないケース内
に格納されている。
In the solid-state imaging device 1, one end of each cooling block 41, 42, 43 is connected to each cooling block, and the other end is connected to the inner wall surface of the case cover 4. A heat conduction pipe (not shown) is provided to cool these cooling blocks 41, 42, 4
3 and each heat transfer pipe constitute the heat transfer member described above. The image processing unit 7 is also stored in a case (not shown).

【0055】更に、図4に示すように、仕切りパネルと
なる電気分解セル8と、画像処理部7のケースと、底面
パネル3cにより、ケース2の内部は先に述べた気密性
の高い第1領域と、第2領域に分割されている。そし
て、電気分解セル8と、背面パネル3bと、側面パネル
と、底面パネル3cとにより先に述べたマニホールド部
が画成されており、第2領域はマニホールド部の内部通
路となる。
Further, as shown in FIG. 4, the inside of the case 2 has a high airtightness by the electrolysis cell 8 serving as a partition panel, the case of the image processing section 7, and the bottom panel 3c. It is divided into a region and a second region. The electrolysis cell 8, the back panel 3b, the side panel, and the bottom panel 3c define the above-mentioned manifold portion, and the second region serves as an internal passage of the manifold portion.

【0056】図1〜図3に示すように、略直方体の形状
を有するケース2は、断面コの字型のケース本体3と、
前記ケース本体に脱着可能に装着される断面コの字型の
ケースカバー4とから構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, a case 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape has a case body 3 having a U-shaped cross section.
The case cover 4 has a U-shaped cross section and is detachably attached to the case body.

【0057】ケース3本体は、開口部H2が形成された
前面パネル3aと、該前面パネル3aに対向して配置さ
れる背面パネル3bと、上述の撮像のための各部品が上
面に載置されており、この上面の対向する縁部に前面パ
ネル3aと背面パネル3bとが立設される底面パネル3
cとから構成されている。
The case 3 main body has a front panel 3a having an opening H2 formed therein, a rear panel 3b arranged to face the front panel 3a, and the above-described components for image pickup placed on the upper surface. And a bottom panel 3 in which a front panel 3a and a rear panel 3b are erected on opposite edges of the upper surface.
and c.

【0058】一方、ケースカバー4は、略直方体のケー
ス2を構成したときに前面パネル3aと背面パネル3b
との間の側面を形成する2つの側面パネルと、底面パネ
ルに対向配置される上面パネルが一体化されたものであ
る。そして、固体撮像装置1の組み立て時には、このケ
ースカバー4に冷却ブロック41,42,43と、これ
ら各冷却ブロックを支持する各熱伝導パイプとが予め一
体的に接続される。これにより、各固体撮像素子21,
22及び23が装着された色分解プリズム10をケース
2内に取り付ける際の作業が容易になる。
On the other hand, the case cover 4 has a front panel 3a and a rear panel 3b when the case 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape is formed.
Two side panels forming a side surface between the top panel and the bottom panel are integrated. When the solid-state imaging device 1 is assembled, the case cover 4 is preliminarily integrally connected with the cooling blocks 41, 42, 43 and the heat conduction pipes that support the cooling blocks. As a result, each solid-state image sensor 21,
The work for mounting the color separation prism 10 having the 22 and 23 mounted therein in the case 2 is facilitated.

【0059】このケースカバー4は、放熱板として機能
するものであり、ケースカバー4を構成する各パネルの
外部側の表面には、前面パネル3aの法線方向に略平行
に形成された放熱フィンが所定の間隔でストライプ状に
形成されている。このように放熱フィンを形成すること
により、ケースカバー4の放熱効率を向上させることが
できる。
The case cover 4 functions as a heat radiating plate, and the heat radiating fins formed on the outer surface of each panel constituting the case cover 4 are substantially parallel to the normal direction of the front panel 3a. Are formed in stripes at predetermined intervals. By forming the heat radiation fins in this way, the heat radiation efficiency of the case cover 4 can be improved.

【0060】また、図1〜図6に示すように、このケー
スカバー4の各側面パネルの内壁面と外壁面との間の内
部領域には、断面が略長方形状の流体流路101及び1
02が形成されている。この流体流路101及び102
は、ケース2の外部に存在する空気などの流体とケース
2との熱交換を利用してケース2を冷却するためのもの
である。
Further, as shown in FIGS. 1 to 6, in the inner region between the inner wall surface and the outer wall surface of each side panel of the case cover 4, the fluid flow paths 101 and 1 having a substantially rectangular cross section.
02 is formed. The fluid flow paths 101 and 102
Is for cooling the case 2 by utilizing heat exchange between the case 2 and a fluid such as air existing outside the case 2.

【0061】図1及び図2に示すように、ケース2の外
部に存在する流体を吸入するための流体流路101の吸
入口H101は、側面パネルの前面パネル3a側の側面
に形成されている。同様に、流体流路102の吸入口H
102も側面パネルの前面パネル3a側の側面に形成さ
れている。また、流体流路101及び流体流路102
は、側面パネルの内部領域を前面パネル3aの側から背
面パネルの側にかけて前面パネル3aの法線方向に略平
行となる方向にのびるようにして形成されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the suction port H101 of the fluid passage 101 for sucking the fluid existing outside the case 2 is formed on the side surface of the side panel on the side of the front panel 3a. . Similarly, the suction port H of the fluid flow path 102
102 is also formed on the side surface of the side panel on the front panel 3a side. In addition, the fluid channel 101 and the fluid channel 102
Is formed such that the inner region of the side panel extends from the side of the front panel 3a to the side of the rear panel in a direction substantially parallel to the normal direction of the front panel 3a.

【0062】そして流体流路101は、図5に示すよう
に、マニホールド部を画成している側面パネルの部分で
第2領域の内部に向けて略L字型に屈曲させられてお
り、第2領域(マニホールド部の内部通路)に接する側
面パネルの内壁面に流体を第2領域に排出するための排
出口H101Aが形成されている。同様に、流体流路1
02も、マニホールド部を画成している側面パネルの部
分で第2領域の内部に向けて略L字型に屈曲させられて
おり、第2領域に接する側面パネルの内壁面に流体を第
2領域に排出するための排出口H102Aが形成されて
いる。
As shown in FIG. 5, the fluid channel 101 is bent in a substantially L-shape toward the inside of the second region at the side panel portion defining the manifold portion. A discharge port H101A for discharging the fluid to the second region is formed on the inner wall surface of the side panel that is in contact with the two regions (internal passages of the manifold portion). Similarly, the fluid channel 1
Also, 02 is bent in a substantially L shape toward the inside of the second region in the side panel portion that defines the manifold part, and the fluid is secondly applied to the inner wall surface of the side panel that is in contact with the second region. A discharge port H102A for discharging to the area is formed.

【0063】また、図3〜図6に示すように、マニホー
ルド部を画成する背面パネル3bの第2領域側には、フ
ァン90がその吸入側の面を第2領域の側に向けると共
にその排出側の面を該背面パネル3bの側に向けるよう
にして配置されている。そして、ファン90の排出側の
面の接触する背面パネル3bの部分には、第2領域から
外部にかけて該背面パネル3bを貫通する排出孔H10
0が形成されている。更に、フアン90は、画像処理部
7の中央制御装置71(図9参照)に電気的に接続され
ている。
Further, as shown in FIGS. 3 to 6, on the second region side of the rear panel 3b which defines the manifold portion, the fan 90 has its suction side surface directed toward the second region side and its side. The discharge side surface is arranged so as to face the rear panel 3b side. A discharge hole H10 that penetrates the rear panel 3b from the second region to the outside is provided in the portion of the rear panel 3b that contacts the discharge side surface of the fan 90.
0 is formed. Further, the fan 90 is electrically connected to the central control unit 71 (see FIG. 9) of the image processing unit 7.

【0064】フアン90を作動させる場合について図6
を用いて流体流路101を例に説明すると、フアン90
を作動させることにより、流体流路101内に流体流f
101が発生し、固体撮像装置1外部の流体が吸入口H
101から流体流路101内に強制的に導入され、ケー
ス2と熱交換してケース2を冷却しながら排気口H10
1Aに向けて移動させられる。そして、排気口H101
Aから第2領域に排出される流体は、排気口H102A
から第2領域に排出される流体と、電気分解セル8から
排出される水、水素等の反応生成物と共にフアン90に
吸引され、背面パネル3bの排出孔H100から外部に
排出される。また、フアン90を作動させる場合につい
ての流体流路102における流体の流れも上記と同様で
ある。
FIG. 6 shows the case of operating the fan 90.
Using the flow channel 101 as an example, the fan 90
To activate the fluid flow f in the fluid flow path 101.
101 is generated and the fluid outside the solid-state imaging device 1 is sucked into the suction port H.
101 is forcibly introduced into the fluid flow path 101, and heat is exchanged with the case 2 to cool the case 2 and the exhaust port H10.
Moved to 1A. Then, the exhaust port H101
The fluid discharged from A to the second region is exhaust port H102A.
Is discharged to the second region together with the reaction products such as water and hydrogen discharged from the electrolysis cell 8, and is discharged to the outside through the discharge hole H100 of the rear panel 3b. In addition, the flow of the fluid in the fluid flow path 102 when operating the fan 90 is the same as above.

【0065】また、流体流路101及び102を上述の
配置条件を満たすように配置することにより、固体撮像
装置1をいかなる姿勢で作動させても固体撮像素子21
を常に効率よく冷却することができる。すなわち、流体
流路101及び102の吸入口H101及びH102の
面の法線方向と、前面パネル3aの法線方向とが略平行
となるようにして、図2に示す位置に吸入口H101及
びH102を設けることにより、固体撮像装置1がいか
なる姿勢で使用されていても、被写体に向けられる前面
パネル3aの開口部H2の面と同じ方向を向く吸入口H
101及びH102はふさがれることはなく常に外部の
流体を吸入することができるからである。
By arranging the fluid flow paths 101 and 102 so as to satisfy the above-mentioned arrangement conditions, the solid-state image pickup device 21 can be operated regardless of the posture of the solid-state image pickup device 1.
Can always be cooled efficiently. That is, the normal direction of the surface of the suction ports H101 and H102 of the fluid flow paths 101 and 102 and the normal direction of the front panel 3a are substantially parallel to each other, and the suction ports H101 and H102 are located at the positions shown in FIG. By providing the suction port H regardless of the posture of the solid-state imaging device 1, the suction port H faces the same direction as the surface of the opening H2 of the front panel 3a facing the subject.
This is because 101 and H102 are not blocked and can always suck the external fluid.

【0066】ケース本体3と、ケースカバー4とは、例
えばネジ止めするなどして接続される。また、これらの
ケース本体3とケースカバー4を構成する各パネルは、
例えば、アルミニウム等の熱伝導性を有する構成材料と
して形成されている。
The case body 3 and the case cover 4 are connected by, for example, screwing. In addition, the respective panels constituting the case body 3 and the case cover 4 are
For example, it is formed as a constituent material having thermal conductivity such as aluminum.

【0067】ケース3本体の前面パネル3aの開口部H
2は後述の色分解プリズム10に入射させる入射光を採
光するためのものであり、略円形の形状を有している。
また、前面パネル3aの開口部H2の外部側には、撮影
光学系(図示せず)を固体撮像装置1に脱着可能に装着
するためのレンズアタッチメント部5が設けられてい
る。この撮影光学系は固体撮像装置1の用途に応じて様
々な種類のレンズなどから構成される。
Opening H of the front panel 3a of the case 3 body
Reference numeral 2 is for collecting incident light to be incident on the color separation prism 10 described later, and has a substantially circular shape.
Further, a lens attachment portion 5 for detachably attaching a photographing optical system (not shown) to the solid-state imaging device 1 is provided outside the opening H2 of the front panel 3a. This photographing optical system is composed of various types of lenses and the like according to the application of the solid-state imaging device 1.

【0068】また、レンズアタッチメント部5には、前
面パネル3aの開口部H2と同軸の略円形状の開口部が
形成されている。更に、レンズアタッチメント部5の開
口部には撮影光学系を脱着可能に装着するための溝等が
形成されている。そして、前面パネル3aの開口部H2
には、固体撮像装置1内に外部からゴミなどが入り込ま
ないように光学ガラスからなるカバーガラス6が配置さ
れている。
Further, the lens attachment portion 5 is formed with a substantially circular opening coaxial with the opening H2 of the front panel 3a. Further, a groove or the like for detachably mounting the photographing optical system is formed in the opening of the lens attachment section 5. Then, the opening H2 of the front panel 3a
A cover glass 6 made of optical glass is arranged in the solid-state imaging device 1 so as to prevent dust and the like from entering the solid-state imaging device 1.

【0069】背面パネル3bには、後述する電気分解セ
ル8から排出される水蒸気及び水素などのガスをケース
2外部に排出するための排出孔H100が設けられてい
る。また、ケース2の背面パネル3bの内部には、ケー
ス2内の水蒸気の電気化学的な酸化分解反応を進行させ
る電気分解セル8が配置されている。
The rear panel 3b is provided with an exhaust hole H100 for exhausting gases such as water vapor and hydrogen exhausted from the electrolysis cell 8 described later to the outside of the case 2. Further, inside the back panel 3b of the case 2, an electrolysis cell 8 for arranging an electrochemical oxidative decomposition reaction of water vapor in the case 2 is arranged.

【0070】以下、電気分解セル8について説明する。
図7は、図1に示した固体撮像装置に備えられる電気分
解セルの基本構成の一例を概略的に示す断面図である。
The electrolysis cell 8 will be described below.
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing an example of the basic configuration of the electrolysis cell provided in the solid-state imaging device shown in FIG.

【0071】図7に示すように、電気分解セル8は、ガ
ス拡散電極であるアノード81と、ガス拡散電極である
カソード82と、アノード81とカソード82との間に
配置された高分子電解質膜83と、アノード81とカソ
ード82との間に所定の電圧を印加する電圧印加部84
と、を有している
As shown in FIG. 7, the electrolysis cell 8 includes an anode 81 which is a gas diffusion electrode, a cathode 82 which is a gas diffusion electrode, and a polymer electrolyte membrane which is arranged between the anode 81 and the cathode 82. 83 and a voltage applying section 84 for applying a predetermined voltage between the anode 81 and the cathode 82.
And have

【0072】そして、電気分解セル8は、アノード81
の高分子電解質膜83に接していない側の面F81がケ
ース2の内部に向くように配置され、カソード82の高
分子電解質膜83に接していない側の面F82が第2領
域の側に露出されるように配置されている。
The electrolysis cell 8 has an anode 81.
The surface F81 on the side not in contact with the polymer electrolyte membrane 83 is disposed so as to face the inside of the case 2, and the surface F82 on the side of the cathode 82 not in contact with the polymer electrolyte membrane 83 is exposed to the side of the second region. It is arranged to be done.

【0073】高分子電解質膜83は、湿潤状態下で良好
なイオン伝導性を示すイオン交換膜であれば特に限定さ
れない。高分子電解質膜を構成する固体高分子材料とし
ては、例えば、スルホン酸基を有するパーフルオロカー
ボン重合体(以下、スルホン酸型パーフルオロカーボン
重合体という)、ポリサルホン樹脂、ホスホン酸基又は
カルボン酸基を有するパーフルオロカーボン重合体等を
用いることができる。中でも、スルホン酸型パーフルオ
ロカーボン重合体が好ましい。
The polymer electrolyte membrane 83 is not particularly limited as long as it is an ion exchange membrane which exhibits good ion conductivity in a wet state. Examples of the solid polymer material forming the polymer electrolyte membrane include a perfluorocarbon polymer having a sulfonic acid group (hereinafter referred to as a sulfonic acid type perfluorocarbon polymer), a polysulfone resin, a phosphonic acid group or a carboxylic acid group. A perfluorocarbon polymer or the like can be used. Of these, a sulfonic acid type perfluorocarbon polymer is preferable.

【0074】アノード81及びカソード82は、ガス拡
散電極であればよくその構成は特に限定されない。例え
ば、アノード81及びカソード82は、何れもガス拡散
層と、これらのガス拡散層上に形成された触媒層とを有
する構成としてもよい。ガス拡散層の構成材料として
は、例えば、電子伝導性を有する多孔質体(例えば、カ
ーボンクロスやカーボンペーパー)が使用される。ま
た、触媒層は、主として含フッ素イオン交換樹脂とこの
含フッ素イオン交換樹脂により被覆された触媒の凝集体
とが含有された構成を有していてよい。この場合、使用
される触媒(カーボンに金属が担持された触媒)は特に
限定されるものではないが、カーボンに担持される金属
としては白金等の白金族金属又はその合金等が好まし
い。そして、担体となるカーボンは特に限定されない。
The anode 81 and the cathode 82 may be gas diffusion electrodes, and their structures are not particularly limited. For example, each of the anode 81 and the cathode 82 may have a configuration including a gas diffusion layer and a catalyst layer formed on these gas diffusion layers. As a constituent material of the gas diffusion layer, for example, a porous body having electron conductivity (for example, carbon cloth or carbon paper) is used. Further, the catalyst layer may have a structure mainly containing a fluorine-containing ion exchange resin and an aggregate of the catalyst coated with this fluorine-containing ion exchange resin. In this case, the catalyst used (catalyst in which metal is supported on carbon) is not particularly limited, but the metal supported on carbon is preferably a platinum group metal such as platinum or an alloy thereof. The carbon as the carrier is not particularly limited.

【0075】更に、触媒層に含まれるオン交換樹脂は、
スルホン酸型パーフルオロカーボン重合体であることが
好ましい。スルホン酸型パーフルオロカーボン重合体
は、触媒層内において長期間化学的に安定でかつ速やか
なプロトン伝導を可能にする。そして、このアノード8
1及びカソード82に含有されるイオン交換樹脂は、高
分子電解質膜を構成するイオン交換樹脂と同じ樹脂から
なっていてもよく、異なる樹脂からなっていてもよい。
Further, the on-exchange resin contained in the catalyst layer is
It is preferably a sulfonic acid type perfluorocarbon polymer. The sulfonic acid-type perfluorocarbon polymer enables chemically stable and rapid proton conduction in the catalyst layer for a long period of time. And this anode 8
The ion exchange resin contained in 1 and the cathode 82 may be made of the same resin as the ion exchange resin constituting the polymer electrolyte membrane, or may be made of a different resin.

【0076】電圧印加部84には、電源(図示せず)
と、電源からアノード81とカソード82との間に供給
される印加電圧を制御する電圧制御回路(図示せず)が
備えられている。また、電圧印加部84は画像処理部7
の中央制御装置71(図9参照)に電気的に接続されて
いる。
The voltage applying section 84 has a power source (not shown).
And a voltage control circuit (not shown) for controlling the applied voltage supplied from the power supply between the anode 81 and the cathode 82. Further, the voltage applying unit 84 is the image processing unit 7.
It is electrically connected to the central control unit 71 (see FIG. 9).

【0077】この電気分解セル8の場合、電圧印加部8
4からアノード81とカソード82との間に印加される
印加電圧を調節することにより、アノードにおいて下記
式(1)に示す水の酸化反応を進行させ、カソードにお
いて下記式(2)に示す水素イオンと酸素との還元反応
を進行させる。 2H2O→4H++O2++4e- …(1) 4H++O2+4e-→2H2O …(2)
In the case of this electrolysis cell 8, the voltage applying section 8
By adjusting the applied voltage applied between the anode 81 and the cathode 82 from No. 4, the oxidation reaction of water represented by the following formula (1) is advanced in the anode, and the hydrogen ion represented by the following formula (2) is formed in the cathode. Promotes the reduction reaction of oxygen with oxygen. 2H 2 O → 4H + + O 2 ++ 4e - ... (1) 4H + + O 2 + 4e - → 2H 2 O ... (2)

【0078】なお、印加電圧を調節することにより、カ
ソードにおいて下記式(3)に示す水素イオンの還元反
応を進行させてもよいが、消費電力のより少ない条件で
電気分解セル8を作動させる観点から、カソードにおい
ては式(2)に示す反応を進行させることが好ましい。 2H++2e-→H2 …(3)
It should be noted that the hydrogen ion reduction reaction represented by the following formula (3) may proceed at the cathode by adjusting the applied voltage, but from the viewpoint of operating the electrolysis cell 8 under the condition of lower power consumption. Therefore, it is preferable to allow the reaction represented by the formula (2) to proceed at the cathode. 2H + + 2e → H 2 (3)

【0079】上述の式(1)及び式(2)で表される電
極反応を進行させるために電圧印加部84によりに印加
する印加電圧の大きさは、例えば、アノード81とカソ
ード82との電極反応の酸化還元電位等の熱力学的デー
タにそれぞれの電極反応の過電圧等のほかに、アノード
81とカソード82の構成材料、高分子電解質膜83の
構成材料とその含水率、使用環境の温度や湿度などを考
慮し、理論的或いは実験的により適宜決定される。
The magnitude of the applied voltage applied by the voltage applying section 84 for advancing the electrode reactions represented by the above formulas (1) and (2) is, for example, the electrodes of the anode 81 and the cathode 82. In addition to the overvoltage of each electrode reaction, thermodynamic data such as the redox potential of the reaction, the constituent materials of the anode 81 and the cathode 82, the constituent material of the polymer electrolyte membrane 83 and its water content, the temperature of the operating environment, It is appropriately determined theoretically or experimentally in consideration of humidity and the like.

【0080】この電気分解セル8は、電気分解セル8よ
りも装置1の内部側に配置される連続環状体からなる固
定部材81と、電気分解セル8よりも装置1の外部側に
配置される連続環状体からなる固定部材83との間に挟
持されている。そして、固定部材81及び83はそれぞ
れの外縁部をネジ83によりネジ止めされて一体化され
ている。また、固定部材81は底面パネル3cに固定さ
れている。
This electrolysis cell 8 is arranged on the inner side of the apparatus 1 than the electrolysis cell 8 and a fixing member 81 made of a continuous annular body and on the outer side of the apparatus 1 than the electrolysis cell 8. It is sandwiched between a fixed member 83 made of a continuous annular body. The fixing members 81 and 83 are integrated by screwing the respective outer edge portions with screws 83. The fixing member 81 is fixed to the bottom panel 3c.

【0081】図4に示す色分解プリズム10は、前面パ
ネル3aの開口部H2に面する受光面F10を有してお
り、該受光面F10から入射する入射光L10を例え
ば、3つの色成分の光L1(例えば緑色光),L2(例
えば青色光)及びL3(例えば赤色光)に分解するため
のものである。この色分解プリズム10は、例えば、高
熱伝導率のアルミダイカスト材から構成される。
The color separation prism 10 shown in FIG. 4 has a light receiving surface F10 facing the opening H2 of the front panel 3a, and the incident light L10 incident from the light receiving surface F10 is divided into, for example, three color components. The light L1 (for example, green light), L2 (for example, blue light), and L3 (for example, red light) are decomposed. The color separation prism 10 is made of, for example, an aluminum die cast material having high thermal conductivity.

【0082】色分解プリズム10は、特定波長の光を反
射するダイクロイック膜(図示せず)を挟んで組み立て
られた3個の複合プリズム(ダイクロイックプリズム)
からなる色成分光路11,12及び13から構成されて
いる。例えば、図4に示す色分解プリズム10で用いら
れているダイクロイック膜は赤色領域の波長の光成分を
反射する赤反射用と、青色領域の波長の光成分を反射す
る青反射用があり、何れも緑領域の波長の光成分を透過
させる。
The color separation prism 10 includes three compound prisms (dichroic prisms) assembled with a dichroic film (not shown) that reflects light of a specific wavelength interposed therebetween.
Of the color component optical paths 11, 12 and 13. For example, the dichroic film used in the color separation prism 10 shown in FIG. 4 includes one for red reflection that reflects a light component of a wavelength in the red region and one for blue reflection that reflects a light component of a wavelength in the blue region. Also transmits light components of wavelengths in the green region.

【0083】従って、緑色光L1は色成分光路11内を
入射光L10に平行な方向に直進し、青色光L2及び赤
色光L3は対応するダイクロイック膜の設置面の角度に
応じて入射光L10に平行な方向とは異なる方向に進行
する。なお、図4に示す色分解プリズム10の場合に
は、赤色光L3は色成分光路13内を底面パネル3cの
側に向けて進行し、青色光L2は色成分光路12内をケ
ースカバー4の側に向けて進行する設定となっている。
Therefore, the green light L1 goes straight in the color component optical path 11 in a direction parallel to the incident light L10, and the blue light L2 and the red light L3 are incident on the incident light L10 according to the angle of the installation surface of the corresponding dichroic film. It travels in a direction different from the parallel direction. In the case of the color separation prism 10 shown in FIG. 4, the red light L3 travels in the color component optical path 13 toward the bottom panel 3c side, and the blue light L2 travels in the color component optical path 12 of the case cover 4. It is set to proceed toward the side.

【0084】そして、各色成分の光L1,L2及びL3
は、これらの色成分の光ごとに色成分光路11,12及
び13にそれぞれ設けられた光出射面F11,F12及
びF13から出射される。
Then, the lights L1, L2 and L3 of the respective color components
Are emitted from the light emission surfaces F11, F12, and F13 provided in the color component optical paths 11, 12 and 13, respectively for each of these color component lights.

【0085】図4に示すように、色分解プリズム10の
光出射面F11,F12及びF13には、例えば、CC
D等の固体撮像素子21,22及び23がそれぞれ隣接
して配置されている。固体撮像素子21,22及び23
は、それぞれの受光面に入射した各色成分の光L1,L
2及びL3の強度を電気信号に変換し、後述する画像処
理部7に出力するためのものである。これにより、1次
元または2次元の光像を撮像することができる。各固体
撮像素子21,22及び23はそれぞれの受光面が色分
解プリズム10の光出射面F11,F12及びF13に
密着する状態で接着されている。
As shown in FIG. 4, on the light emitting surfaces F11, F12 and F13 of the color separation prism 10, for example, CC
Solid-state image pickup devices 21, 22, and 23 such as D are arranged adjacent to each other. Solid-state imaging devices 21, 22 and 23
Are light L1 and L1 of the respective color components incident on the respective light receiving surfaces.
This is for converting the intensities of 2 and L3 into an electric signal and outputting the electric signal to the image processing unit 7, which will be described later. This makes it possible to capture a one-dimensional or two-dimensional optical image. The respective solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 are adhered such that their light-receiving surfaces are in close contact with the light emission surfaces F11, F12 and F13 of the color separation prism 10.

【0086】また、図4に示すように、各固体撮像素子
21,22及び23には、それぞれの作動温度を検知す
るための温度センサ91,92及び93が接続されてお
り、更にこれらの温度センサは画像処理部7の中央制御
装置71(図9参照)に電気的に接続されている。更
に、図4に示すように、ケース2の第1領域内には、ケ
ース2内の水蒸気圧(或いは相対湿度)を検知するため
の湿度センサ9が接続されており、更にこの湿度センサ
9も画像処理部7の中央制御装置71に電気的に接続さ
れている。
Further, as shown in FIG. 4, temperature sensors 91, 92 and 93 for detecting respective operating temperatures are connected to the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, respectively. The sensor is electrically connected to the central control unit 71 (see FIG. 9) of the image processing unit 7. Further, as shown in FIG. 4, a humidity sensor 9 for detecting the water vapor pressure (or relative humidity) in the case 2 is connected in the first region of the case 2, and this humidity sensor 9 also It is electrically connected to the central control unit 71 of the image processing unit 7.

【0087】また、図4に示すように、各固体撮像素子
21,22及び23の裏面F21,F22,F23に
は、冷却素子としてのペルチェ素子31,32及び33
がそれぞれ隣接して配置されている。なお、各固体撮像
素子21と,22及び23と各ペルチェ素子31,32
及び33との間に、ゴムブロック(図示せず)をそれぞ
れ配置し、更に、各固体撮像素子21と,22及び23
と各ゴムブロックとの間に、例えば銅などの金属板(図
示せず)を更にそれぞれ配置してもよい。この場合、各
ゴムブロックと各ペルチェ素子31,32及び33と
は、両者の間の接触面に例えばグリースを塗布して固定
してもよい。また、各ゴムブロックと各金属板とは、両
者の間の接触面に例えばグリースを塗布して固定しても
よい。
Further, as shown in FIG. 4, Peltier elements 31, 32 and 33 as cooling elements are provided on the back surfaces F21, F22 and F23 of the solid-state image pickup elements 21, 22 and 23, respectively.
Are arranged adjacent to each other. It should be noted that each solid-state image pickup device 21, 22 and 23 and each Peltier device 31, 32
A rubber block (not shown) is arranged between the solid-state image pickup device 21 and the solid-state image pickup device 23.
A metal plate (not shown) such as copper may be further arranged between the rubber block and each rubber block. In this case, the rubber blocks and the Peltier elements 31, 32 and 33 may be fixed by, for example, applying grease to the contact surfaces between them. Further, each rubber block and each metal plate may be fixed by, for example, applying grease to the contact surface between them.

【0088】図8は、図1に示したペルチェ素子の基本
構成の一例を概略的に示す系統図である。図8に示すよ
うに、これらのペルチェ素子31,32及び33は、金
属板34と金属板37aとの間にP型半導体36が配置
され、金属板34と金属板37bとの間にN型半導体3
5が配置された基本構成を有している。更に、金属板3
7aと37bとは導線38により電気的に接続されてお
り、金属板37aと37bとの間の導線38上には、定
電流源39が電気的に直列に配置されている。
FIG. 8 is a system diagram schematically showing an example of the basic structure of the Peltier device shown in FIG. As shown in FIG. 8, in these Peltier elements 31, 32 and 33, a P-type semiconductor 36 is arranged between a metal plate 34 and a metal plate 37a, and an N-type semiconductor 36 is arranged between the metal plate 34 and the metal plate 37b. Semiconductor 3
It has a basic configuration in which 5 are arranged. Furthermore, the metal plate 3
7a and 37b are electrically connected by a conducting wire 38, and a constant current source 39 is electrically arranged in series on the conducting wire 38 between the metal plates 37a and 37b.

【0089】なお、図4に示すペルチェ素子31,32
及び33は、要求される冷却性能に応じて、上述の金属
板と、P型半導体と、N型半導体とからなる単位構成
を、P型半導体およびN型半導体を電気的には直列とな
り、熱的には並列となるように複数接続することにより
構成する。
The Peltier elements 31, 32 shown in FIG.
In accordance with the required cooling performance, 33 and 33 are a unit structure composed of the above-mentioned metal plate, P-type semiconductor, and N-type semiconductor, in which the P-type semiconductor and the N-type semiconductor are electrically connected in series, Specifically, it is configured by connecting a plurality of units in parallel.

【0090】そして、各ペルチェ素子31,32及び3
3は、この定電流源39により金属板34を介して金属
板37bから金属板37aに向かう直流電流を流すこと
により、金属板34と金属板37a及び37bとの間に
金属板34に対して金属板37a及び37bが低温とな
るような温度差を生じさせることができる。すなわち、
ペルチェ素子31,32及び33は、各固体撮像素子2
1,22及び23から熱h21を汲み上げ、金属板37
a,37bの面から後述する各冷却ブロック41,42
及び43に向けて熱h41を放出するヒートポンプとし
て働く。
Then, each Peltier element 31, 32 and 3
The constant current source 39 causes a direct current to flow from the metal plate 37b to the metal plate 37a through the metal plate 34, so that the metal plate 34 is interposed between the metal plate 34 and the metal plates 37a and 37b. A temperature difference that causes the metal plates 37a and 37b to have a low temperature can be generated. That is,
The Peltier elements 31, 32, and 33 are the solid-state image sensor 2
Heat h21 is pumped from 1, 22, and 23, and the metal plate 37
Each cooling block 41, 42 described later from the surface of a, 37b
And 43 to act as a heat pump that releases heat h41.

【0091】また、各ペルチェ素子31,32及び33
は、画像処理部7の中央制御部(図9参照)に電気的に
接続されており、それぞれの定電流源39の出力が制御
される構成となっている。更に、各固体撮像素子21,
22及び23の裏面F21,F22,F23と各ペルチ
ェ素子31,32及び33の金属板37a,37bの面
の間にはグリースが塗布され、各固体撮像素子21,2
2及び23と各ペルチェ素子31,32及び33とがそ
れぞれ密着されている。
In addition, each Peltier element 31, 32 and 33
Are electrically connected to the central control unit (see FIG. 9) of the image processing unit 7, and the output of each constant current source 39 is controlled. Furthermore, each solid-state image sensor 21,
Grease is applied between the back surfaces F21, F22, F23 of 22 and 23 and the surfaces of the metal plates 37a, 37b of the Peltier elements 31, 32, 33, respectively.
2 and 23 and the respective Peltier elements 31, 32 and 33 are in close contact with each other.

【0092】図4に示すように、各ペルチェ素子31,
32及び33の裏面には、冷却ブロック41,42及び
43がそれぞれ隣接して配置されている。なお、各ペル
チェ素子31,32及び33と各冷却ブロック41,4
2及び43との間には、図示しない熱伝導性両面テープ
がそれぞれ配置されており、これらにより、各ペルチェ
素子31,32及び33と各冷却ブロック41,42及
び43とがそれぞれ固定されている。また、冷却ブロッ
ク41内部には、ケースカバー4の一方の側面パネルか
らのびる塑性変形可能な熱伝導パイプ(図示せず)が接
続されている。そして、熱伝導パイプは接続される側面
パネルの法線方向に略平行に配置されており、冷却ブロ
ック41に接続される側の部分が冷却ブロック41の内
部に熱的接触を保つ状態で挿入されている。
As shown in FIG. 4, each Peltier element 31,
Cooling blocks 41, 42, and 43 are arranged adjacent to each other on the back surfaces of 32 and 33, respectively. In addition, each Peltier element 31, 32 and 33 and each cooling block 41, 4
Thermally conductive double-sided tapes (not shown) are respectively arranged between 2 and 43, by which the respective Peltier elements 31, 32 and 33 and the respective cooling blocks 41, 42 and 43 are fixed respectively. . Further, inside the cooling block 41, a plastically deformable heat conduction pipe (not shown) extending from one side panel of the case cover 4 is connected. The heat conduction pipes are arranged substantially parallel to the normal direction of the side panel to be connected, and the portion on the side connected to the cooling block 41 is inserted into the cooling block 41 while maintaining thermal contact. ing.

【0093】更に、冷却ブロック42内部にも塑性変形
可能な熱伝導パイプ(図示せず)が熱的接触を保つ状態
で挿入されており、冷却ブロック43内部にも熱伝導パ
イプ(図示せず)が熱的接触を保つ状態で挿入されてい
る。
Further, a plastically deformable heat conduction pipe (not shown) is also inserted inside the cooling block 42 in a state of maintaining thermal contact, and a heat conduction pipe (not shown) also inside the cooling block 43. Are inserted while maintaining thermal contact.

【0094】ここで、「塑性変形可能な熱伝導パイプ」
とは、固体撮像素子を冷却ブロックに取り付ける際に、
固体撮像素子に機械的ストレスをかけることなく、固体
撮像素子と冷却ブロックとの接触面に加わる圧力(例え
ば、98×103〜980×103Pa)により容易に塑
性変形する部材であり、固体撮像装置の作動温度領域
(例えば、−30〜80℃)においては塑性変形した状
態が保持され、接続されている冷却ブロックを支持して
そのケース内における位置を保持できるものを示す。
Here, "plastically deformable heat conduction pipe"
Is when mounting the solid-state image sensor on the cooling block,
A member that is easily plastically deformed by a pressure (for example, 98 × 10 3 to 980 × 10 3 Pa) applied to the contact surface between the solid-state image sensor and the cooling block without applying mechanical stress to the solid-state image sensor. In the operating temperature range (for example, −30 to 80 ° C.) of the imaging device, the plastically deformed state is maintained, and the connected cooling block can be supported to maintain its position in the case.

【0095】以下、図4を参照しながら冷却ブロック4
1,42及び43、各熱伝導パイプについて説明する。
先ず、各熱伝導パイプの構成について説明する。各熱伝
導パイプは、各冷却ブロック41,42及び43と放熱
板となるケースカバー4とを連結し、ケース2内におけ
る各固体撮像素子21,22及び23の位置を固定する
とともに各冷却ブロック41,42及び43の熱をケー
スカバー4に向けて伝達する熱伝達機構を備える塑性変
形可能な柱状の部材である。
The cooling block 4 will be described below with reference to FIG.
1, 42 and 43, each heat conduction pipe will be described.
First, the structure of each heat transfer pipe will be described. The heat conduction pipes connect the cooling blocks 41, 42 and 43 to the case cover 4 serving as a heat radiating plate to fix the positions of the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 in the case 2 and the cooling blocks 41. , 42 and 43 are plastically deformable columnar members provided with a heat transfer mechanism that transfers the heat of the case 42, and 43 toward the case cover 4.

【0096】このような熱伝導パイプとしては、例え
ば、銅等を構成材料として形成された断面が略円形環状
の管であるパイプと、このパイプの内部に封入される作
動流体(例えば水)とから構成されたいわゆるヒートパ
イプでもよく、銅等の金属パイプ或いは金属棒であって
もよい。
As such a heat conduction pipe, for example, a pipe formed of copper or the like as a constituent material and having a substantially circular cross section, and a working fluid (for example, water) enclosed in the pipe. It may be a so-called heat pipe composed of, or a metal pipe such as copper or a metal rod.

【0097】次に、各冷却ブロック41,42及び43
の構成について説明する。冷却ブロック41は、ペルチ
ェ素子31から放出される熱を吸収し、熱伝導パイプに
放熱するためのものである。また、冷却ブロック42
は、ペルチェ素子32から放出される熱を吸収し、熱伝
導パイプに放熱するためのものである。更に、冷却ブロ
ック43は、ペルチェ素子33から放出される熱を吸収
し、熱伝導パイプに放熱するためのものである。以下、
冷却ブロック41を代表にして説明する。
Next, each cooling block 41, 42 and 43
The configuration of will be described. The cooling block 41 is for absorbing the heat emitted from the Peltier element 31 and radiating the heat to the heat conduction pipe. In addition, the cooling block 42
Is for absorbing the heat emitted from the Peltier element 32 and radiating it to the heat conducting pipe. Further, the cooling block 43 is for absorbing the heat emitted from the Peltier element 33 and radiating the heat to the heat conduction pipe. Less than,
The cooling block 41 will be described as a representative.

【0098】図4に示すように、冷却ブロック41は、
略直方体状のブロックであり、そのうちの1つの平滑な
面がペルチェ素子31の裏面に密着される。また、冷却
ブロック41には、熱伝導パイプを挿入するための挿入
孔(図示せず)が形成されている。
As shown in FIG. 4, the cooling block 41 is
It is a substantially rectangular parallelepiped block, and one smooth surface of the block is in close contact with the back surface of the Peltier element 31. In addition, the cooling block 41 is formed with an insertion hole (not shown) for inserting the heat conduction pipe.

【0099】これらの挿入孔は、冷却ブロック41のペ
ルチェ素子31の裏面に密着される面に垂直な1つの面
からこの面に対向する面かけて貫通する略円柱状の空洞
である。また、挿入孔は互いに略並行となるように形成
されている。更に、挿入孔が形成される冷却ブロック4
1の互いに対向する1対の面は、ケースカバー4の互い
に対向する側面パネルの内壁面にそれぞれ面している。
These insertion holes are substantially columnar cavities that penetrate from one surface perpendicular to the surface of the Peltier element 31 of the cooling block 41 that is in close contact with the back surface to the surface facing this surface. The insertion holes are formed so as to be substantially parallel to each other. Further, the cooling block 4 in which the insertion hole is formed
The pair of surfaces of the case cover 4 facing each other face the inner wall surfaces of the side panels of the case cover 4 facing each other.

【0100】そして、熱伝導パイプは、ケースカバー4
の互いに対向する面の少なくとも一方にその一端を熱的
な接触が可能となるように接続されており、他端を冷却
ブロック41に挿入されている。熱伝導パイプとケース
カバー4の側面パネルとは、例えば、ねじなどの定部材
(図示せず)などにより接続されている。
The heat conducting pipe is attached to the case cover 4
One end is connected to at least one of the surfaces facing each other so as to allow thermal contact, and the other end is inserted into the cooling block 41. The heat conduction pipe and the side panel of the case cover 4 are connected by, for example, a fixed member (not shown) such as a screw.

【0101】ここで、挿入孔の断面の大きさと形状は、
挿入される熱伝導パイプと熱的な接触が可能となるよう
に設定されており、好ましくは、これらの挿入孔と熱伝
導パイプの断面の大きさと形状の関係がいわゆる穴と軸
との「はめあい方式」における「しまりばめ」の状態と
なるように設定されている。
Here, the size and shape of the cross section of the insertion hole are
It is set so that it can make thermal contact with the heat conduction pipe to be inserted, and it is preferable that the relationship between the size and the shape of the cross section of these insertion holes and the heat conduction pipe be so-called "fitting" between the hole and the shaft. It is set so as to be in the state of "shrink fit" in "method".

【0102】熱伝導パイプは塑性変形することができる
ので、色分解プリズム10の取り付けの際に塑性変形し
た熱伝導パイプは装置1の作動中においてその形状を保
つのみで固体撮像素子21に圧力をかけることはないの
で、固体撮像素子を安定に作動させることができる。
Since the heat conducting pipe can be plastically deformed, the heat conducting pipe which is plastically deformed when the color separation prism 10 is attached maintains the shape thereof during the operation of the apparatus 1 and applies a pressure to the solid-state image pickup device 21. Since it is not applied, the solid-state image sensor can be operated stably.

【0103】ここで、図4に示すように、冷却ブロック
42及び43は、それぞれの形状が、冷却ブロック42
が断面5角形の角柱状のブロックであり、冷却ブロック
42が断面台形の角柱状のブロックであること以外は、
上述の冷却ブロック41と同様の構成を有している。ま
た、冷却ブロック42及び43にも、先に述べた挿入孔
と同様の形状の挿入孔が同様の配置条件で形成されてい
る。
Here, as shown in FIG. 4, the cooling blocks 42 and 43 are different in shape from each other.
Is a prismatic block having a pentagonal cross section, and the cooling block 42 is a prismatic block having a trapezoidal cross section.
It has the same configuration as the cooling block 41 described above. Further, the cooling blocks 42 and 43 are also provided with insertion holes having the same shape as the above-mentioned insertion holes under the same arrangement condition.

【0104】図4に示す画像処理部7は、温度センサ9
1,92及び93から送出される検出信号と、湿度セン
サ9から送出される検出信号とに基づいて各固体撮像素
子21,22及び23、各ペルチェ素子31,32及び
33、電気分解セル8の出力を制御する中央制御装置7
1(図9参照)を備えている。また、この中央制御装置
71は、フアン90の起動と停止についても上述の温度
センサ91,92及び93、湿度センサ9、各固体撮像
素子21,22及び23、各ペルチェ素子31,32及
び33及び電気分解セル8とは独立に制御する。
The image processing section 7 shown in FIG.
The solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, the Peltier devices 31, 32 and 33, and the electrolysis cell 8 based on the detection signals sent from the sensors 1, 92 and 93 and the detection signal sent from the humidity sensor 9. Central controller 7 for controlling output
1 (see FIG. 9). Further, the central control device 71 also activates and deactivates the fan 90 by using the temperature sensors 91, 92 and 93, the humidity sensor 9, the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, the Peltier devices 31, 32 and 33, respectively. It is controlled independently of the electrolysis cell 8.

【0105】また、図4に示す画像処理部7には、各固
体撮像素子21,22及び23から出力された電流信号
を積分して電圧値に変換する積分回路(図示せず)が設
けられている。これにより、この固体撮像装置1では、
入射光強度に応じた値の電流信号が各固体撮像素子2
1,22及び23のそれぞれから出力され、この電流信
号の積分値に応じた電圧値が積分回路から出力され、こ
の電圧値に基づいて、入射光強度分布が得られ撮像され
る。
Further, the image processing section 7 shown in FIG. 4 is provided with an integrating circuit (not shown) which integrates the current signals output from the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 and converts them into voltage values. ing. As a result, in the solid-state imaging device 1,
A current signal having a value corresponding to the incident light intensity is applied to each solid-state image sensor 2
1, 22 and 23 respectively, the voltage value corresponding to the integrated value of this current signal is output from the integrating circuit, and the incident light intensity distribution is obtained and imaged based on this voltage value.

【0106】更に、画像処理部7には、固体撮像装置1
の主電源(図示せず)をOFFにしても、結露の発生を
防止するための後述する停止の動作を行うための二次電
池等のバックアップ電源が備えられている。この2次電
池は固体撮像装置1の作動中に充電され、固体撮像装置
1の停止時に放電する充放電切換え手段(図示せず)が
接続されており、この充放電切換え手段は中央制御装置
71により制御される構成となっている。
Further, the image processing unit 7 includes the solid-state image pickup device 1
Even if the main power source (not shown) is turned off, a backup power source such as a secondary battery for performing a stop operation described later to prevent the occurrence of dew condensation is provided. The secondary battery is connected to a charge / discharge switching means (not shown) that is charged while the solid-state imaging device 1 is operating and discharges when the solid-state imaging device 1 is stopped. Is controlled by.

【0107】更に、画像処理部7には、積分回路から出
力された電圧値(アナログ値)をデジタル値に変換する
A/D変換回路を設けてもよい。この場合には、入射光
強度はデジタル値として得られ、さらにコンピュータ等
により画像処理することが可能となる。
Further, the image processing section 7 may be provided with an A / D conversion circuit for converting the voltage value (analog value) output from the integration circuit into a digital value. In this case, the incident light intensity is obtained as a digital value, and it becomes possible to perform image processing by a computer or the like.

【0108】中央制御装置71は、CPU、ROM、及
び、RAM(何れも図示せず)を有する。CPUは、マ
イクロプロセッサ等からなり、各種演算処理を行う。ま
た、ROMには、制御・演算処理のためのプログラムが
予め記憶されており、RAMは、制御・演算処理の際に
各種データを読み書きするために用いられる。
The central control unit 71 has a CPU, a ROM, and a RAM (none of which are shown). The CPU is composed of a microprocessor or the like and performs various kinds of arithmetic processing. A program for control / arithmetic processing is stored in the ROM in advance, and a RAM is used for reading / writing various data during the control / arithmetic processing.

【0109】また、中央制御装置71は、例えば、CP
Uと接続された入出力ポート(図示せず)を有する。こ
の入出力ポートには、上記各固体撮像素子21,22及
び23が接続されている。
Further, the central control unit 71 uses, for example, CP
It has an input / output port (not shown) connected to U. The solid-state imaging devices 21, 22, and 23 are connected to the input / output port.

【0110】また、入出力ポートには電気分解セル8が
電気分解セル8の印加電圧を制御する制御回路を介して
接続されている。更に、入出力ポートには各ペルチェ素
子31,32及び33がこれらのペルチェ素子に流す電
流を制御する制御回路を介して接続されている。従っ
て、各固体撮像素子21,22及び23、電気分解セル
8、各ペルチェ素子31,32及び33には、入出力ポ
ートを介して、CPUの演算処理によって生成された各
種信号等が与えられる。
The electrolysis cell 8 is connected to the input / output port via a control circuit for controlling the voltage applied to the electrolysis cell 8. Further, the Peltier elements 31, 32, and 33 are connected to the input / output port via a control circuit that controls the current flowing through these Peltier elements. Therefore, each of the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, the electrolysis cell 8, and each of the Peltier devices 31, 32 and 33 are given various signals generated by the arithmetic processing of the CPU via the input / output ports.

【0111】更に、中央制御装置71の入出力ポートに
は、各固体撮像素子21,22及び23に設けられた温
度センサ91,92及び93と、ケース2内に設けられ
た湿度センサ9とが例えばA/D変換回路を介して接続
されている。そして、これらの温度センサ及び湿度セン
サによって発せられる検出信号がCPUに与えられる。
Further, at the input / output port of the central control unit 71, the temperature sensors 91, 92 and 93 provided in the respective solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 and the humidity sensor 9 provided in the case 2 are provided. For example, they are connected via an A / D conversion circuit. Then, the detection signals generated by these temperature sensor and humidity sensor are given to the CPU.

【0112】また、中央制御装置71は記憶装置(図示
せず)を有し、この記憶装置は、入出力ポートを介して
CPUと接続されている。そして、CPUは、この記憶
装置にアクセスし、記憶装置に格納された以下に示すよ
うなデータを必要に応じて用いることにより固体撮像装
置1の作動を制御する。
Further, the central controller 71 has a storage device (not shown), and this storage device is connected to the CPU through an input / output port. Then, the CPU controls the operation of the solid-state imaging device 1 by accessing the storage device and using the following data stored in the storage device as needed.

【0113】この記憶装置には、ケース2内の水蒸気圧
に対して、各固体撮像素子21,22及び23、各ペル
チェ素子31,32及び33、並びに、電気分解セル8
の起動と停止のタイミングをそれぞれ独立に制御するた
めのデータが記憶されている。また、記憶装置には、各
固体撮像素子21,22及び23、各ペルチェ素子3
1,32及び33、並びに、電気分解セル8が全て起動
した後に、これらを全て定常的に作動させるためのデー
タが記憶されている。
In this storage device, the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, the Peltier devices 31, 32 and 33, and the electrolysis cell 8 are arranged with respect to the water vapor pressure in the case 2.
Data for independently controlling the start and stop timings of the are stored. In addition, the solid state image pickup devices 21, 22 and 23 and the Peltier devices 3 are included in the storage device.
After all 1, 32 and 33, and the electrolysis cell 8 are activated, data for activating them all steadily is stored.

【0114】すなわち、記憶装置には、ケース2内の水
蒸気圧X1が各固体撮像素子21,22及び23の作動
温度における飽和水蒸気圧以下(好ましくは飽和水蒸気
圧未満)の所定値X0となる条件を満たすように、起動
時において、各ペルチェ素子31,32及び33より
も、各固体撮像素子21,22及び23並びに電気分解
セル8を先に起動させ、次いで上述の条件が満たされる
所定時間経過後に各ペルチェ素子31,32及び33を
起動させるためのデータが記憶されている。
That is, in the storage device, the condition that the water vapor pressure X1 in the case 2 is a predetermined value X0 which is equal to or lower than the saturated water vapor pressure (preferably less than the saturated water vapor pressure) at the operating temperature of each of the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23. In order to satisfy the above, at the time of startup, the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 and the electrolysis cell 8 are started up before the respective Peltier devices 31, 32 and 33, and then a predetermined time has elapsed for the above conditions to be satisfied. Data for later activating each Peltier element 31, 32 and 33 is stored.

【0115】また、記憶装置には、停止時において、電
気分解セル8よりも各固体撮像素子21,22及び23
及び各ペルチェ素子31,32及び33を先に停止さ
せ、次いで上述の条件が満たされる所定時間経過後に電
気分解セル8を停止させるためのデータが記憶されてい
る。
Further, in the storage device, each solid-state image pickup device 21, 22 and 23 is stored in the storage device more than the electrolysis cell 8 when stopped.
Data for stopping the Peltier elements 31, 32, and 33 first and then stopping the electrolysis cell 8 after a predetermined time when the above-described conditions are satisfied are stored.

【0116】更に、記憶装置には、各ペルチェ素子3
1,32及び33の出力を制御して各固体撮像素子2
1,22及び23の作動温度を外部環境温度以下(好ま
しくは外部環境温度未満)の所定温度に調節するための
データが記憶されている。
Further, the storage device includes each Peltier element 3
By controlling the outputs of 1, 32 and 33, each solid-state image sensor 2
Data is stored for adjusting the operating temperatures of 1, 22, and 23 to a predetermined temperature equal to or lower than the external environment temperature (preferably lower than the external environment temperature).

【0117】また、中央制御装置71はタイマー(図示
せず)を有し、このタイマーは、入出力ポートを介して
CPUと接続されている。
Further, the central control unit 71 has a timer (not shown), and this timer is connected to the CPU through an input / output port.

【0118】そして、CPUは、各温度センサ91,9
2及び93の温度検出信号並びに湿度センサ9の湿度検
出信号に基づいて、各固体撮像素子21,22及び2
3、電気分解セル8、並びに、各ペルチェ素子31,3
2及び33に送出する制御信号を生成する。
Then, the CPU uses the temperature sensors 91, 9
Based on the temperature detection signals of 2 and 93 and the humidity detection signal of the humidity sensor 9, the respective solid-state image pickup devices 21, 22 and 2
3, electrolysis cell 8, and each Peltier element 31, 3
The control signals to be sent to 2 and 33 are generated.

【0119】このように構成された中央制御装置71等
により、電気分解セル8、各ペルチェ素子31,32及
び33、並びに、各固体撮像素子21,22及び23
は、ケース2内において結露の発生が起きないように確
実かつ精度よく制御される。
By the central control unit 71 and the like configured as described above, the electrolysis cell 8, the Peltier devices 31, 32 and 33, and the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23.
Is reliably and accurately controlled so that dew condensation does not occur in the case 2.

【0120】次に、固体撮像装置1の動作について、図
10及び図11に示すフローチャートを参照しながら説
明する。
Next, the operation of the solid-state image pickup device 1 will be described with reference to the flow charts shown in FIGS.

【0121】先ず、固体撮像装置1の主電源(図示せ
ず)をONにして画像処理部7を作動させ、固体撮像装
置1を起動させる場合について説明する。この場合、中
央制御装置71のCPUは各固体撮像素子21,22及
び23に駆動信号を出力するとともに、電気分解セル8
に駆動信号を出力する(S1)。また、このステップS
1で、中央制御装置71のCPUはファン90にも駆動
信号を送出する。なお、この場合、各固体撮像素子2
1,22及び23並びに電気分解セル8への駆動信号の
出力のタイミングは同時でも異なっていてもよい。更
に、ファン90への駆動信号の出力のタイミングも、各
固体撮像素子又は電気分解セル8に対して同時でも異な
っていてもよい。
First, the case where the main power source (not shown) of the solid-state image pickup device 1 is turned on to operate the image processing section 7 to start the solid-state image pickup device 1 will be described. In this case, the CPU of the central control unit 71 outputs a drive signal to each of the solid-state image pickup devices 21, 22 and 23, and also the electrolysis cell 8
The drive signal is output to (S1). In addition, this step S
At 1, the CPU of the central control unit 71 also sends a drive signal to the fan 90. In this case, each solid-state image sensor 2
The output timings of the drive signals to 1, 22 and 23 and the electrolysis cell 8 may be the same or different. Furthermore, the timing of outputting the drive signal to the fan 90 may be the same or different for each solid-state imaging device or the electrolysis cell 8.

【0122】次に、CPUは、湿度センサ9から送信さ
れるケース2内における水蒸気圧X1の検出信号を入力
する(S2)。そして、この水蒸気圧X1のデータと、
予め設定しておいた各固体撮像素子21,22及び23
の作動温度における飽和水蒸気圧以下の所定値X0とを
それぞれ比較する(S3)。なお、所定値X0は、各固
体撮像素子21,22及び23の作動温度における飽和
水蒸気圧以下であればよく特に限定されないが、例え
ば、作動温度が0℃のときには、所定値X0は、61P
a以下(相対湿度で表現した場合には10%以下)であ
ることが好ましい。
Next, the CPU inputs the detection signal of the water vapor pressure X1 in the case 2 transmitted from the humidity sensor 9 (S2). And the data of this water vapor pressure X1,
Each solid-state image pickup device 21, 22 and 23 set in advance
And a predetermined value X0 equal to or lower than the saturated water vapor pressure at the operating temperature are compared (S3). The predetermined value X0 is not particularly limited as long as it is equal to or lower than the saturated water vapor pressure at the operating temperature of each of the solid-state imaging devices 21, 22 and 23. For example, when the operating temperature is 0 ° C., the predetermined value X0 is 61P.
It is preferably a or less (10% or less when expressed in relative humidity).

【0123】ここで、ケース2内の水蒸気圧X1が上述
の所定値X0よりも大きい場合には、ケース2内の水蒸
気圧X1がまだ十分に低減せず、各ペルチェ素子31,
32及び33を作動させると結露が発生する恐れがある
と判断されて、各ペルチェ素子31,32及び33を起
動させず、電気分解セル8並びに各ペルチェ素子31,
32及び33が作動する状態がそのまま維持され、再び
ステップS2とステップS3が繰り返される。
Here, when the water vapor pressure X1 in the case 2 is larger than the above-mentioned predetermined value X0, the water vapor pressure X1 in the case 2 is not yet sufficiently reduced, and each Peltier element 31,
When it is determined that dew condensation may occur when 32 and 33 are activated, each Peltier element 31, 32 and 33 is not activated, and the electrolysis cell 8 and each Peltier element 31,
The operation state of 32 and 33 is maintained as it is, and step S2 and step S3 are repeated again.

【0124】一方、ケース2内の水蒸気圧X1が上述の
所定値X0以下となる場合には、各ペルチェ素子31,
32及び33を作動させても結露が発生する恐れがない
と判断されて、CPUは、各ペルチェ素子31,32及
び33に駆動信号を送出する(S4)。その結果、各ペ
ルチェ素子31,32及び33により、各固体撮像素子
21,22及び23が冷却され、次第に所望の作動温度
に調節される。
On the other hand, when the water vapor pressure X1 in the case 2 is equal to or less than the above-mentioned predetermined value X0, each Peltier element 31,
It is determined that there is no risk of dew condensation even if 32 and 33 are activated, and the CPU sends a drive signal to each Peltier element 31, 32 and 33 (S4). As a result, the respective Peltier elements 31, 32 and 33 cool the respective solid-state image pickup elements 21, 22 and 23 and gradually adjust them to desired operating temperatures.

【0125】各固体撮像素子21,22及び23が所望
の作動温度に達した場合には、定常的な作動状態に達し
たと判断されて、CPUは、負荷要求に対応して固体撮
像装置全体を定常的に作動させるためのデータに基づ
き、新たな駆動信号を各固体撮像素子21,22及び2
3、各ペルチェ素子31,32及び33、並びに、電気
分解セル8に送信し、固体撮像装置1全体のバランスの
とれた制御を開始する(S5)。
When each of the solid-state image pickup elements 21, 22 and 23 has reached a desired operating temperature, it is determined that the steady-state operating state has been reached, and the CPU responds to the load request and the whole solid-state image pickup device responds. Based on the data for steadily operating the solid-state image pickup device, new drive signals are sent to the solid-state image pickup devices 21, 22 and 2 respectively.
3, the Peltier elements 31, 32 and 33, and the electrolysis cell 8 are transmitted to start balanced control of the entire solid-state imaging device 1 (S5).

【0126】次に、固体撮像装置1の主電源(図示せ
ず)をOFFにして、固体撮像装置1を停止させる場合
について説明する。この場合、中央制御装置71は先に
述べた二次電池等のバックアップ電源により作動する。
そして、中央制御装置71のCPUは各固体撮像素子2
1,22及び23、各ペルチェ素子31,32及び3
3、並びに、ファン90に停止信号を出力してこれらの
作動を停止する(S6)。
Next, a case where the main power source (not shown) of the solid-state image pickup device 1 is turned off to stop the solid-state image pickup device 1 will be described. In this case, the central controller 71 is operated by the backup power source such as the secondary battery described above.
Then, the CPU of the central control unit 71 controls the solid-state image sensor 2
1, 22 and 23, each Peltier element 31, 32 and 3
3 and the stop signal is output to the fan 90 to stop these operations (S6).

【0127】また、このときCPUはタイマーに駆動信
号を送出し、タイマーを起動させ、中央制御装置71の
CPUは各固体撮像素子21,22及び23、並びに、
各ペルチェ素子31,32及び33のいずれもが停止し
た直後からの経過時間をカウントする。なお、この場
合、各固体撮像素子21,22及び23並びに各ペルチ
ェ素子31,32及び33のそれぞれの停止のタイミン
グは同時でもよく、何れかを先に停止させてもよい。更
に、ファン90の停止のタイミングも、各固体撮像素子
又は各ペルチェ素子に対して同時でも異なっていてもよ
い。
At this time, the CPU sends a drive signal to the timer to activate the timer, and the CPU of the central control unit 71 causes the solid-state image pickup elements 21, 22 and 23, and the CPU.
The elapsed time from immediately after the stop of each of the Peltier elements 31, 32 and 33 is counted. In this case, the respective solid-state image pickup devices 21, 22 and 23 and the respective Peltier devices 31, 32 and 33 may be stopped at the same timing, or any of them may be stopped first. Furthermore, the timing of stopping the fan 90 may be the same or different for each solid-state imaging device or each Peltier device.

【0128】次に、タイマーにより所定の時間が経過
し、各固体撮像素子21,22及び23の温度が十分に
上昇して結露が発生しなくなることが確認されると、中
央制御装置71のCPUは電気分解セル8に停止信号を
送出する(S7)。なお、ステップS6でファン90の
停止を行わず、このステップS7においてファン90の
停止を行ってもよい。この場合にも、ファン90の停止
のタイミングは、電気分解セル8に対して同時でも異な
っていてもよい。
Next, when it is confirmed by the timer that a predetermined time has passed and the temperature of each of the solid-state image pickup devices 21, 22, and 23 is sufficiently raised to prevent dew condensation, the CPU of the central control unit 71 Sends a stop signal to the electrolysis cell 8 (S7). The fan 90 may not be stopped in step S6, but the fan 90 may be stopped in step S7. Also in this case, the timing of stopping the fan 90 may be the same or different for the electrolysis cell 8.

【0129】ここで、各固体撮像素子21,22及び2
3は外部環境温度以下の所定温度で作動しているため、
ステップS6の実行後には、各固体撮像素子21,22
及び23の温度は外部環境温度と同じ値となるまで通常
上昇する。そのため、結露の発生しにくい状態となる
が、ステップS7において電気分解セルの停止のタイミ
ングを遅らせることにより、確実に結露の発生を防止す
ることができる。
Here, each solid-state image pickup device 21, 22 and 2
Since 3 is operating at a predetermined temperature below the external environment temperature,
After the execution of step S6, the solid-state imaging devices 21 and 22 are
The temperature of 23 and 23 usually rises to the same value as the external environment temperature. Therefore, although the dew condensation is unlikely to occur, the dew condensation can be reliably prevented by delaying the stop timing of the electrolysis cell in step S7.

【0130】なお、ステップS6の実行からステップ7
の実行までの間の時間は、実験などにより予め決定した
時間である。この時間のデータは中央制御装置71の記
憶装置に格納されており、CPUはステップ6及びステ
ップ7を実行するときに記憶装置にアクセスしてこれを
読み出して用いる。
It should be noted that execution of step S6 to step 7
The time until the execution of is a time determined in advance by experiments or the like. The data of this time is stored in the storage device of the central control unit 71, and the CPU accesses the storage device to read and use it when executing steps 6 and 7.

【0131】また、各固体撮像素子21,22及び23
の温度を各温度センサ91,92及び93によりモニタ
し、ステップS6の実行から各固体撮像素子21,22
及び23の温度が所定の温度まで上昇したか否かを確認
するステップを、ステップS6の実行からステップ7の
実行までの間に更に設け、各固体撮像素子21,22及
び23の温度が所定の温度まで上昇した場合にステップ
7を実行する設定としてもよい。この場合、タイマーに
よる時間のカウントは行ってもよく、タイマーによる時
間のカウントを行わず、温度の変化のみでCPUがステ
ップ7を実行するか否かの判断を行うように設定しても
よい。
In addition, each solid-state image pickup device 21, 22 and 23
Is monitored by the temperature sensors 91, 92 and 93, and from the execution of step S6, the solid-state imaging devices 21, 22
Further, a step of confirming whether or not the temperatures of 23 and 23 have risen to a predetermined temperature is further provided between the execution of step S6 and the execution of step 7, and the temperature of each solid-state image pickup device 21, 22 and 23 is set to a predetermined value. It may be set to execute step 7 when the temperature rises. In this case, the timer may be used to count the time, or the timer may not be used to count the time and the CPU may be configured to determine whether or not to execute step 7 based only on the temperature change.

【0132】更に、S6の実行後のケース内の水蒸気圧
を湿度センサ9によりモニタし、ケース2内の水蒸気圧
が外部環境温度の飽和蒸気圧以下(好ましくは外部環境
温度の飽和蒸気圧未満)であるか否かを確認するステッ
プをステップS6の実行からステップ7の実行までの間
に更に設け、ケース2内の水蒸気圧が外部環境温度の飽
和蒸気圧以下(好ましくは外部環境温度の飽和蒸気圧未
満)となる場合にのみステップ7を実行する設定として
もよい。この場合にも、タイマーによる時間のカウント
は行ってもよく、タイマーによる時間のカウントを行わ
ず、温度の変化のみでCPUがステップ7を実行するか
否かの判断を行うように設定してもよい。
Further, the water vapor pressure in the case after execution of S6 is monitored by the humidity sensor 9, and the water vapor pressure in the case 2 is equal to or lower than the saturated vapor pressure at the external environment temperature (preferably less than the saturated vapor pressure at the external environment temperature). Is further provided between the execution of step S6 and the execution of step 7, and the water vapor pressure in case 2 is equal to or lower than the saturated vapor pressure of the external environment temperature (preferably saturated vapor of the external environment temperature). The setting may be such that step 7 is executed only when the pressure is less than the pressure. Also in this case, the timer may count the time, or the timer may not count the time and the CPU may determine whether or not to execute step 7 based only on the temperature change. Good.

【0133】[第2実施形態]以下、図12及び図13
を参照しながら本発明の固体撮像装置の第2実施形態に
ついて説明する。なお、上述した第一実施形態に関して
説明した要素と同一の要素については同一の符号を付
し、重複する説明は省略する。図12は、本発明の固体
撮像装置の第2実施形態を示す正面図である。図13
は、図12に示した固体撮像装置を作動させた場合に流
体流路内に発生する流体流を概略的に説明するための分
解斜視図である。
[Second Embodiment] Hereinafter, FIGS. 12 and 13 will be described.
A second embodiment of the solid-state imaging device of the present invention will be described with reference to FIG. The same elements as those described in the above-described first embodiment are designated by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted. FIG. 12 is a front view showing a second embodiment of the solid-state imaging device of the present invention. FIG.
FIG. 13 is an exploded perspective view for schematically explaining a fluid flow generated in a fluid flow path when the solid-state imaging device shown in FIG. 12 is operated.

【0134】図12に示す固体撮像装置1Aは、側面パ
ネルに形成された流体流路の数と断面形状が異なる以外
は図1に示した固体撮像装置1と同様の構成を有する。
The solid-state image pickup device 1A shown in FIG. 12 has the same structure as the solid-state image pickup device 1 shown in FIG. 1 except that the number of fluid channels formed in the side panel and the sectional shape are different.

【0135】図12に示すように、ケースカバー4の一
方の側面パネルの内壁面と外壁面との間の内部領域に
は、断面が略円形状の流体流路103、104、105
が所定の間隔で形成されている。また、ケースカバー4
の他方の側面パネルの内壁面と外壁面との間の内部領域
には、上述の流体流路103、104、105と同様の
断面形状と大きさを有する流体流路106、107、1
08が形成されている。
As shown in FIG. 12, in the inner region between the inner wall surface and the outer wall surface of one side panel of the case cover 4, the fluid passages 103, 104, 105 having a substantially circular cross section are formed.
Are formed at predetermined intervals. Also, the case cover 4
In the inner region between the inner wall surface and the outer wall surface of the other side panel of the above, the fluid channels 106, 107, 1 having the same cross-sectional shape and size as the above-described fluid channels 103, 104, 105.
08 is formed.

【0136】図12に示すように、ケース2の外部に存
在する流体を吸入するための流体流路103の吸入口H
103は、側面パネルの前面パネル3a側の側面に形成
されている。また、流体流路103は、側面パネルの内
部領域を前面パネル3aの側から背面パネルの側にかけ
て前面パネル3aの法線方向に略平行となる方向にのび
るようにして形成されている。更に、流体流路103
は、マニホールド部を画成している側面パネルの部分で
第2領域の内部に向けて略L字型に屈曲させられてお
り、第2領域(マニホールド部の内部通路)に接する側
面パネルの内壁面に流体を第2領域に排出するための排
出口H101Aが形成されている。なお、他の流体流路
104〜108の説明については、流体流路103と同
様であるので省略する。
As shown in FIG. 12, a suction port H of the fluid flow path 103 for sucking the fluid existing outside the case 2.
103 is formed on the side surface of the side panel on the front panel 3a side. Moreover, the fluid flow path 103 is formed so as to extend in the direction substantially parallel to the normal direction of the front panel 3a from the front panel 3a side to the back panel side in the inner region of the side panel. Further, the fluid channel 103
Is bent in a substantially L shape toward the inside of the second region at the side panel portion that defines the manifold portion, and the inside of the side panel that contacts the second region (internal passage of the manifold portion) A discharge port H101A for discharging the fluid to the second region is formed on the wall surface. The description of the other fluid flow paths 104 to 108 is omitted because it is the same as that of the fluid flow path 103.

【0137】フアン90を作動させる場合について図1
3を用いて流体流路103を例に説明すると、フアン9
0を作動させることにより、流体流路103内に流体流
f103が発生し、固体撮像装置1外部の流体が吸入口
H101から流体流路101内に強制的に導入され、ケ
ース2と熱交換してケース2を冷却しながら排気口H1
03A(図示せず)に向けて移動させられる。そして、
排気口H103Aから第2領域に排出される流体は、他
の流体流路104〜108の排気口H104A〜排気口
H108A(何れも図示せず)から第2領域に排出され
る流体と、電気分解セル8から排出される水、水素等の
反応生成物と共にフアン90に吸引され、背面パネル3
bの排出孔H100から外部に排出される。また、フア
ン90を作動させる場合についての他の流体流路104
〜108における流体の流れも上記と同様である。
FIG. 1 shows the case of operating the fan 90.
3, the fluid channel 103 will be described as an example.
By operating 0, a fluid flow f103 is generated in the fluid channel 103, the fluid outside the solid-state imaging device 1 is forcibly introduced into the fluid channel 101 from the suction port H101, and heat exchange with the case 2 is performed. Exhaust port H1 while cooling case 2
03A (not shown). And
The fluid discharged from the exhaust port H103A to the second region is electrolyzed with the fluid discharged from the exhaust port H104A to the exhaust port H108A (none of them are shown) of the other fluid flow paths 104 to 108 to the second region. The reaction product such as water and hydrogen discharged from the cell 8 is sucked into the fan 90, and the rear panel 3
It is discharged to the outside from the discharge hole H100 of b. Also, another fluid flow path 104 in the case of operating the fan 90
The flow of the fluid in 108 is the same as above.

【0138】[第3実施形態]以下、図14を参照しな
がら本発明の固体撮像装置の第3実施形態について説明
する。なお、上述した第一実施形態に関して説明した要
素と同一の要素については同一の符号を付し、重複する
説明は省略する。図14は、本発明の固体撮像装置の第
3実施形態を示す正面図である。
[Third Embodiment] The third embodiment of the solid-state imaging device of the present invention will be described below with reference to FIG. The same elements as those described in the above-described first embodiment are designated by the same reference numerals, and overlapping description will be omitted. FIG. 14 is a front view showing a third embodiment of the solid-state imaging device of the present invention.

【0139】図14に示す固体撮像装置1Bは、側面パ
ネルのほかに上面パネルにも側面パネルと同様の流体流
路が形成されていること以外は図1に示した固体撮像装
置1と同様の構成を有する。
The solid-state image pickup device 1B shown in FIG. 14 is the same as the solid-state image pickup device 1 shown in FIG. 1 except that a fluid passage similar to that of the side panel is formed on the top panel as well as the side panel. Have a configuration.

【0140】側面パネルに形成した流体流路101及び
102のほかに上面パネルにも流体流路109をもうけ
ることにより、ケース2の冷却をより効率よくおこなう
ことができる。
By providing the fluid passages 109 in the top panel in addition to the fluid passages 101 and 102 formed in the side panel, the case 2 can be cooled more efficiently.

【0141】以上、本発明の好適な実施形態について詳
細を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるも
のではない。
Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the above embodiments.

【0142】例えば、本発明において、流体流路の形成
位置はケースの内壁面と外壁面との間の内部領域であれ
ば特に限定されない。また、本発明において、流体流路
の断面形状と大きさも特に限定されない。更に、固体撮
像装置の作動中において、フアンのみの起動と停止を使
用者が自由に選択して行うことのできるスイッチを設け
てもよい。また、上記実施形態においては、各冷却ブロ
ック41,42及び43は、それぞれ熱伝導パイプによ
りケース2に固定されていたが、熱伝導パイプを用いず
に、各冷却ブロック41,42及び43をそれぞれねじ
どめするなどしてケース2(例えば、ケースカバー4)
に固定してもよい。
For example, in the present invention, the formation position of the fluid flow path is not particularly limited as long as it is an internal region between the inner wall surface and the outer wall surface of the case. Further, in the present invention, the cross-sectional shape and size of the fluid channel are not particularly limited. Further, a switch that allows the user to freely select and start only the fan during the operation of the solid-state imaging device may be provided. In addition, in the above-described embodiment, the cooling blocks 41, 42, and 43 are fixed to the case 2 by the heat conduction pipes, but the cooling blocks 41, 42, and 43 are not used. Case 2 (for example, case cover 4) by screwing
It may be fixed to.

【0143】また、例えば、上述の固体撮像装置1を起
動させる場合に、ステップS1の実行後、ケース2内の
水蒸気圧X1が上述の所定値X0以下となるまでの時間
を予め把握しておき、ステップS1においてCPUにタ
イマーを起動させて、各固体撮像素子21,22及び2
3並びに電気分解セル8のいずれもが起動してからの時
間をカウントさせ、所定の時間が経過した後にステップ
S4を実行させる設定としてもよい。
Further, for example, when the above-mentioned solid-state image pickup device 1 is started, after the execution of step S1, the time until the water vapor pressure X1 in the case 2 becomes equal to or less than the above-mentioned predetermined value X0 is grasped in advance. , In step S1, the CPU activates a timer so that the solid-state image pickup devices 21, 22 and 2 are activated.
It is also possible to set the time after the start of both 3 and the electrolysis cell 8 to be counted, and to execute step S4 after a predetermined time has elapsed.

【0144】また、上記の実施形態においては、冷却素
子としてペルチェ素子を使用する場合について説明した
が、本発明の固体撮像装置及び固体撮像装置の運転方法
に使用する冷却素子はこれに特に限定されるものではな
い。例えば、スターリング・サイクル・エンジンを使用
してもよい。
Further, in the above embodiment, the case where the Peltier element is used as the cooling element has been described, but the cooling element used in the solid-state imaging device and the method for operating the solid-state imaging device of the present invention is not particularly limited to this. Not something. For example, a Stirling cycle engine may be used.

【0145】また、冷却素子として、例えば、水や液体
窒素などの冷却媒を入れた熱伝導性の容器と、容器内に
おいて温度の上昇した冷却媒を容器の外部に取り出すと
ともに温度の低い冷却媒を容器内に供給する冷却媒の循
環手段とを備えて、この容器を固体撮像素子に直接に接
触させるか或いは所定の熱伝導性の部材を介して間接に
接触させるなどして冷却する方式を採用してもよい。
As the cooling element, for example, a heat-conductive container containing a cooling medium such as water or liquid nitrogen, and a cooling medium whose temperature has risen in the container are taken out of the container and have a low temperature. And a cooling medium circulating means for supplying the cooling medium into the container, and cooling the container by directly contacting the container with the solid-state imaging device or indirectly contacting the container with a predetermined thermally conductive member. May be adopted.

【0146】[0146]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の固体撮像
装置によれば、多様な姿勢で使用しても固体撮像素子を
所定の温度で安定に動作させることができ、かつ、容易
にコンパクト化を図ることが可能となる。
As described above, according to the solid-state image pickup device of the present invention, the solid-state image pickup element can be stably operated at a predetermined temperature even when it is used in various postures, and it is easily compact. Can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の固体撮像装置の第1実施形態を示す斜
視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a solid-state imaging device of the present invention.

【図2】図1に示した固体撮像装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the solid-state imaging device shown in FIG.

【図3】図1に示した固体撮像装置の背面図である。FIG. 3 is a rear view of the solid-state imaging device shown in FIG.

【図4】図1のIV−IV線に沿ってみた固体撮像装置の概
略的な基本構成の一例を示す断面図である。
4 is a cross-sectional view showing an example of a schematic basic configuration of a solid-state imaging device taken along line IV-IV in FIG.

【図5】図2のV−V線に沿ってみた固体撮像装置の流体
流路の排出口付近の部分の概略的な構成を示す断面図で
ある。
5 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a portion near a discharge port of a fluid channel of the solid-state imaging device, taken along line VV in FIG.

【図6】図1に示した固体撮像装置を作動させた場合に
流体流路内に発生する流体流を概略的に説明するための
分解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view for schematically explaining a fluid flow generated in a fluid flow path when the solid-state imaging device shown in FIG. 1 is operated.

【図7】図1に示した固体撮像装置に備えられる電気分
解セルの基本構成の一例を概略的に示す断面図である。
7 is a cross-sectional view schematically showing an example of a basic configuration of an electrolysis cell provided in the solid-state imaging device shown in FIG.

【図8】図1に示したペルチェ素子の基本構成の一例を
概略的に示す系統図である。
8 is a system diagram schematically showing an example of a basic configuration of the Peltier device shown in FIG.

【図9】図1に示した固体撮像装置の制御ブロック図で
ある。
9 is a control block diagram of the solid-state imaging device shown in FIG.

【図10】図1に示した固体撮像装置の制御手順の一例
を説明するためのフローチャートである。
10 is a flow chart for explaining an example of a control procedure of the solid-state imaging device shown in FIG.

【図11】図1に示した固体撮像装置の制御手順の一例
を説明するための他のフローチャートである。
11 is another flowchart for explaining an example of a control procedure of the solid-state imaging device shown in FIG.

【図12】本発明の固体撮像装置の第2実施形態を示す
正面図である。
FIG. 12 is a front view showing a second embodiment of the solid-state imaging device of the present invention.

【図13】図12に示した固体撮像装置を作動させた場
合に流体流路内に発生する流体流を概略的に説明するた
めの分解斜視図である。
13 is an exploded perspective view for schematically explaining a fluid flow generated in a fluid channel when the solid-state imaging device shown in FIG. 12 is operated.

【図14】本発明の固体撮像装置の第3実施形態を示す
正面図である。
FIG. 14 is a front view showing a third embodiment of the solid-state imaging device of the present invention.

【符号の説明】 1,1A,1B・・・固体撮像装置、2・・・ケース、3・・・
ケース本体、3a・・・前面パネル、3b・・・背面パネル、
3c・・・底面パネル、4・・・ケースカバー、5・・・レンズ
アタッチメント部、6・・・カバーガラス、7・・・画像処理
部、8・・・電気分解セル、9・・・湿度センサ、10・・・色
分解プリズム、11,12,13・・・色成分光路、2
1,22,23・・・固体撮像素子、31,32,33・・・
ペルチェ素子、34・・・金属板、35・・・n型半導体、3
6・・・p型半導体、37a,37b・・・金属板、38・・・
閉回路、39・・・定電流電源、41,42,43・・・冷却
ブロック、71・・・中央制御装置、81・・・アノード、8
2・・・カソード、83・・・高分子電解質膜、84・・・電源
部、85,86・・・外枠部材、87・・・ねじ、90・・・フ
ァン、101,102,103,104,105,10
6,107,108,109・・・流体流路、F10・・・色
分解プリズムの受光面、F11,F12,F13・・・色
分解プリズムの光出射面、F21,F22,F23・・・
固体撮像素子の裏面、f101,f102,f103,
f104,f105,f106,f107,f108・・
・流体流、H101,H102,H103,H104,
H105,H106,H107,H108,H109・・
・吸入口、H101A,H102A・・・排出口、H100
・・・排出孔、L10…入射光、L1,L2,L3・・・色成
分光路、H2・・・開口部、h3,h21,h41・・・熱。
[Description of Reference Signs] 1, 1A, 1B ... Solid-state imaging device, 2 ... Case, 3 ...
Case body, 3a ... front panel, 3b ... rear panel,
3c ... bottom panel, 4 ... case cover, 5 ... lens attachment part, 6 ... cover glass, 7 ... image processing part, 8 ... electrolysis cell, 9 ... humidity Sensor, 10 ... Color separation prism, 11, 12, 13 ... Color component optical path, 2
1, 22, 23 ... Solid-state image sensor, 31, 32, 33 ...
Peltier element, 34 ... Metal plate, 35 ... N-type semiconductor, 3
6 ... p-type semiconductor, 37a, 37b ... metal plate, 38 ...
Closed circuit, 39 ... Constant current power source, 41, 42, 43 ... Cooling block, 71 ... Central control unit, 81 ... Anode, 8
2 ... Cathode, 83 ... Polymer electrolyte membrane, 84 ... Power supply part, 85, 86 ... Outer frame member, 87 ... Screw, 90 ... Fan, 101, 102, 103, 104, 105, 10
6, 107, 108, 109 ... Fluid flow path, F10 ... Light receiving surface of color separation prism, F11, F12, F13 ... Light emitting surface of color separation prism, F21, F22, F23 ...
The back surface of the solid-state image sensor, f101, f102, f103,
f104, f105, f106, f107, f108 ...
.Fluid flow, H101, H102, H103, H104,
H105, H106, H107, H108, H109 ...
・ Suction port, H101A, H102A ... Discharge port, H100
... Exhaust hole, L10 ... Incident light, L1, L2, L3 ... Color component optical path, H2 ... Opening part, h3, h21, h41 ... Heat.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 7/20 H05K 7/20 H S Fターム(参考) 3L044 AA04 BA06 CA13 HA01 HA02 JA01 JA02 KA02 KA03 KA04 KA06 5C022 AB39 AB40 AC51 AC69 AC73 5C065 BB48 CC01 DD02 EE01 FF10 GG32 5E322 AA01 AB10 BA01 BA03 BB03 DB08 DC01 FA04 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H05K 7/20 H05K 7/20 HS SF term (reference) 3L044 AA04 BA06 CA13 HA01 HA02 JA01 JA02 KA02 KA03 KA04 KA06 5C022 AB39 AB40 AC51 AC69 AC73 5C065 BB48 CC01 DD02 EE01 FF10 GG32 5E322 AA01 AB10 BA01 BA03 BB03 DB08 DC01 FA04

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光を光電変換する固体撮像素子と、 前記光を採光するための開口部が設けられており、前記
固体撮像素子を収容するケースと、 前記固体撮像素子と前記ケースの内壁面との間に熱的接
触を保つ状態で配置されており、前記固体撮像素子にお
いて発生する熱を吸収し前記ケースに向けて伝達する熱
伝導部材と、 前記ケースの前記内壁面と外壁面との間の内部領域に形
成されており、前記ケースの外部に存在する流体を吸入
する吸入口と該流体を前記ケースの外部に排出する排出
口とを有し、前記ケースと前記流体との間で熱交換をさ
せることにより前記ケースを冷却するための少なくとも
一本の流体流路と、 前記少なくとも一本の流体流路内の前記流体を前記吸入
口から前記排出口に向けて移動させるための流体流を発
生させるファンと、を有することを特徴とする固体撮像
装置。
1. A solid-state image sensor for photoelectrically converting light, an opening for collecting the light, and a case for accommodating the solid-state image sensor, the solid-state image sensor and an inner wall surface of the case. Between the inner wall surface and the outer wall surface of the case, the heat conducting member being arranged in a state of maintaining thermal contact between the case and the heat absorbing member that absorbs heat generated in the solid-state imaging device and transfers the heat toward the case. Is formed in an inner region between the case and has an inlet for sucking a fluid existing outside the case and an outlet for discharging the fluid to the outside of the case, and between the case and the fluid. At least one fluid flow path for cooling the case by heat exchange, and a fluid for moving the fluid in the at least one fluid flow path from the suction port toward the discharge port Generate a flow The solid-state imaging device, characterized in that it comprises a fan, a.
【請求項2】 前記ケースの前記外壁面には放熱フィン
が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の固
体撮像装置。
2. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein a radiation fin is formed on the outer wall surface of the case.
【請求項3】 前記ファンは前記少なくとも一本の流体
流路の前記排出口の近傍に配置されていることを特徴と
する請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
3. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the fan is arranged in the vicinity of the discharge port of the at least one fluid flow path.
【請求項4】 前記ファンが接続されており外部に開放
された第1の接続口と、前記少なくとも一本の流体流路
の前記排出口毎に設けられており前記排出口に接続され
る第2の接続口と、を有する内部通路が形成されたマニ
ホールド部が更に設けられており、 前記排出口から排出される前記流体は前記マニホールド
部の前記内部通路を介して外部に排出されることを特徴
とする請求項3に記載の固体撮像装置。
4. A first connection port connected to the fan and opened to the outside, and a first connection port provided for each of the discharge ports of the at least one fluid flow path and connected to the discharge port. A manifold portion having an internal passage having two connection ports is formed, and the fluid discharged from the discharge port is discharged to the outside through the internal passage of the manifold portion. The solid-state imaging device according to claim 3, which is characterized in that.
【請求項5】 前記ファンは前記少なくとも一本の流体
流路の前記吸入口の近傍に配置されていることを特徴と
する請求項1又は2に記載の固体撮像装置。
5. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the fan is arranged in the vicinity of the suction port of the at least one fluid flow path.
【請求項6】 前記ファンが接続されており外部に開放
された第1の接続口と、前記少なくとも一本の流体流路
の前記吸入口毎に設けられており前記吸入口に接続され
る第2の接続口と、を有する内部通路が形成されたマニ
ホールド部が更に設けられており、 前記吸入口から吸入される前記流体は前記マニホールド
部の前記内部通路を介して前記少なくとも一本の流体流
路内に流入させられることを特徴とする請求項5に記載
の固体撮像装置。
6. A first connection port to which the fan is connected and open to the outside, and a first connection port which is provided for each of the suction ports of the at least one fluid flow path and is connected to the suction port. A manifold part having an internal passage having two connection ports is further provided, and the fluid sucked from the suction port flows through the internal passage of the manifold part to the at least one fluid flow. The solid-state imaging device according to claim 5, wherein the solid-state imaging device is allowed to flow into the road.
【請求項7】 前記ケースは、略直方体状の形状を有し
ており、前記開口部が設けられた前面パネルと、前記前
面パネルに対向配置される背面パネルと、前記各固体撮
像素子を載置する底面パネルと、前記底面パネルに対向
配置される上面パネルと、互いに対向する2つの側面パ
ネルとから構成されており、 前記前面パネルと前記背面パネルとの間には、前記ケー
ス内を前記前面パネル側の第1領域と前記背面パネル側
の第2領域とに2分する仕切りパネルが配置され、前記
第2領域を前記内部通路とする前記マニホールド部が画
成されており、 前記第1領域には、前記固体撮像素子と前記熱伝導部材
とが配置されており、 前記側面パネルの少なくとも一方には、前記前面パネル
側から前記背面パネル側に向けてのびる前記流体流路が
少なくとも1本形成されており、 前記流体流路の吸入口は、前記側面パネルの前記前面パ
ネル側の外壁面に設けられており、 前記流体流路の排出口は、前記側面パネルの前記第2領
域側の内壁面に設けられており、 前記背面パネルには、前記マニホールド部の前記第1の
接続口が設けられており、該第1の接続口の前記第2領
域側には前記ファンが配置されていることを特徴とする
請求項4に記載の固体撮像装置。
7. The case has a substantially rectangular parallelepiped shape, and mounts a front panel provided with the opening, a rear panel arranged to face the front panel, and the solid-state imaging devices. A bottom panel to be placed, a top panel arranged to face the bottom panel, and two side panels facing each other. The inside of the case is located between the front panel and the back panel. A partition panel that divides the area into a first area on the front panel side and a second area on the back panel side is disposed, and the manifold section that defines the second area as the internal passage is defined. In the region, the solid-state image sensor and the heat conducting member are arranged, and at least one of the side panels has a small number of the fluid flow paths extending from the front panel side toward the back panel side. One of them is formed, the suction port of the fluid channel is provided on the outer wall surface of the side panel on the front panel side, and the discharge port of the fluid channel is the second panel of the side panel. It is provided on the inner wall surface on the region side, the first connection port of the manifold section is provided on the back panel, and the fan is provided on the second region side of the first connection port. The solid-state imaging device according to claim 4, wherein the solid-state imaging device is arranged.
【請求項8】 前記上面パネルには、前記前面パネル側
から前記背面パネル側に向けてのびる前記流体流路が少
なくとも1本形成されており、 前記流体流路の吸入口は、前記上面パネルの前記前面パ
ネル側の外壁面に設けられており、 前記流体流路の排出口は、前記側面パネルの前記第2領
域側の内壁面に設けられていることを特徴とする請求項
7に記載の固体撮像装置。
8. The at least one fluid passage extending from the front panel side toward the back panel side is formed in the upper panel, and an inlet port of the fluid passage is formed in the upper panel. 8. The outer wall surface on the front panel side is provided, and the discharge port of the fluid flow path is provided on an inner wall surface on the second region side of the side panel. Solid-state imaging device.
【請求項9】 前記ケースは、ケース本体と該ケース本
体に脱着可能に装着されるケースカバーとから構成され
ており、 前記ケース本体は、前記前面パネルと、前記背面パネル
と、前記底面パネルとを有しており、 前記ケースカバーは、2つの前記側面パネルと、前記底
面パネルに対向配置される上面パネルとが一体化されて
構成されていることを特徴とする請求項7又は8に記載
の固体撮像装置。
9. The case comprises a case body and a case cover detachably attached to the case body, wherein the case body includes the front panel, the back panel, and the bottom panel. 9. The case cover is configured such that the two side panels and an upper panel that faces the bottom panel are integrated with each other in the case cover. Solid-state imaging device.
【請求項10】 前記ケースの前記開口部から採光した
光を受光する受光面を有しており、該受光面から入射す
る光を複数の色成分の光に分解するとともに前記各色成
分の光ごとに設けられた光出射面から出射する色分解プ
リズムが更に備えられており、 前記各光出射面から出射される前記各色成分の光を光電
変換するための前記固体撮像素子が前記各光出射面毎に
設けられていることを特徴とする請求項1〜9の何れか
に記載の固体撮像装置。
10. A light receiving surface for receiving the light collected from the opening of the case, wherein the light incident from the light receiving surface is decomposed into light of a plurality of color components and the light of each color component is separated. Further provided is a color separation prism that emits light from the light emitting surface, and the solid-state imaging device for photoelectrically converting the light of each color component emitted from each light emitting surface is the light emitting surface. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the solid-state imaging device is provided for each.
【請求項11】 冷却素子が前記固体撮像素子と前記熱
伝導部材との間に更に配置されていることを特徴とする
請求項1〜10の何れかに記載の固体撮像装置。
11. The solid-state imaging device according to claim 1, wherein a cooling element is further arranged between the solid-state imaging element and the heat conducting member.
【請求項12】 前記ケース内の水蒸気の電気化学的な
酸化分解反応を進行させる電気分解セルと、 前記冷却素子の出力を制御して前記固体撮像素子の作動
温度を外部環境温度以下の所定温度に調節し、かつ、前
記ケース内の水蒸気圧が前記作動温度における飽和水蒸
気圧以下の所定値となる条件を満たすように、前記固体
撮像素子、前記冷却素子及び前記電気分解セルの起動と
停止のタイミングをそれぞれ独立に制御する制御装置
と、を有することを特徴とする請求項11に記載の固体
撮像装置。
12. An electrolysis cell for promoting an electrochemical oxidative decomposition reaction of water vapor in the case, and an operating temperature of the solid-state image sensor by controlling an output of the cooling element to a predetermined temperature equal to or lower than an external environmental temperature. And to satisfy the condition that the water vapor pressure in the case is a predetermined value equal to or lower than the saturated water vapor pressure at the operating temperature, the start and stop of the solid-state imaging device, the cooling element and the electrolysis cell The solid-state imaging device according to claim 11, further comprising: a control device that controls timings independently.
【請求項13】 前記制御装置は、停止時において、前
記電気分解セルよりも前記固体撮像素子及び前記冷却素
子を先に停止させ、次いで前記条件が満たされる所定時
間経過後に前記電気分解セルを停止させることを特徴と
する請求項12に記載の固体撮像装置。
13. The control device, when stopped, stops the solid-state imaging device and the cooling element before the electrolysis cell, and then stops the electrolysis cell after a predetermined time when the condition is satisfied. The solid-state imaging device according to claim 12, wherein
【請求項14】 前記ケース内の前記水蒸気圧を検知す
る湿度センサが更に設けられており、 前記制御装置は、前記湿度センサにより検知される前記
水蒸気圧に基づいて、前記固体撮像素子、前記冷却素子
及び前記電気分解セルの起動と停止のタイミングをそれ
ぞれ独立に制御することを特徴とする請求項12又は1
3に記載の固体撮像装置。
14. A humidity sensor for detecting the water vapor pressure in the case is further provided, and the controller controls the solid-state imaging device and the cooling device based on the water vapor pressure detected by the humidity sensor. 13. The start and stop timings of the element and the electrolysis cell are controlled independently of each other.
3. The solid-state imaging device according to item 3.
【請求項15】 前記固体撮像素子の温度を検知する温
度センサが更に設けられており、 前記制御装置は、前記温度センサにより検知される前記
固体撮像素子の温度に基づいて、前記固体撮像素子、前
記冷却素子及び前記電気分解セルの起動と停止のタイミ
ングをそれぞれ独立に制御するとともに、起動後の前記
冷却素子の出力を制御することを特徴とする請求項12
〜14の何れかに記載の固体撮像装置。
15. A temperature sensor for detecting the temperature of the solid-state image sensor is further provided, and the control device, based on the temperature of the solid-state image sensor detected by the temperature sensor, the solid-state image sensor, 13. The start and stop timings of the cooling element and the electrolysis cell are independently controlled, and the output of the cooling element after startup is controlled.
15. The solid-state imaging device according to any one of 14 to 14.
【請求項16】 前記電気分解セルは、ガス拡散電極で
あるアノードと、ガス拡散電極であるカソードと、前記
アノードと前記カソードとの間に配置された高分子電解
質膜と、前記アノードと前記カソードとの間に所定の電
圧を印加する電圧印加部と、を有していることを特徴と
する請求項12〜15の何れかに記載の固体撮像装置。
16. The electrolysis cell includes an anode that is a gas diffusion electrode, a cathode that is a gas diffusion electrode, a polymer electrolyte membrane disposed between the anode and the cathode, the anode and the cathode. The solid-state imaging device according to any one of claims 12 to 15, further comprising: a voltage applying unit that applies a predetermined voltage between and.
【請求項17】 前記仕切りパネルが前記電気分解セル
であることを特徴とする請求項12〜16の何れかに記
載の固体撮像装置。
17. The solid-state imaging device according to claim 12, wherein the partition panel is the electrolysis cell.
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