JP2003225600A5 - - Google Patents
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- ノズルから機能性薄膜を形成する溶液をインクジェット方式で噴射して基板の板面に塗付する塗付装置と、
上記塗布装置によって基板の板面に塗付された溶液を焼成する焼成装置と、
上記塗布装置によって溶液が板面に塗付された基板を上記塗付装置から上記焼成装置に受け渡す受渡し手段と、
上記基板の板面に塗付された溶液が流動してほぼ平坦になってから上記基板を上記焼成装置に渡すように上記受渡し手段を制御する制御装置と
を具備したことを特徴とする機能性薄膜形成装置。 - 上記制御装置は、上記受渡し手段が上記基板を上記塗付装置から受けて上記焼成装置に渡すのに要する時間を設定可能とされ、上記基板の板面に溶液が塗布されてから焼成が開始されるまでの遅延時間を制御することを特徴とする請求項１記載の機能性薄膜形成装置。
- 上記制御装置は、上記遅延時間が５〜３０秒となるように上記受渡し手段を制御することを特徴とする請求項２記載の機能性薄膜形成装置。
- 上記制御装置は、上記基板を１．０℃／分以下の昇温速度で加熱するように上記焼成装置を制御することを特徴とする請求項１記載の機能性薄膜形成装置。
- 基板の板面に機能性薄膜を形成する溶液をインクジェット方式で噴射塗付する塗付工程と、
上記塗布工程によって基板に塗付された溶液を焼成する焼成工程と、
上記基板に溶液を塗付した後、その溶液が上記基板の板面でほぼ平坦に流動するまで上記溶液の焼成を遅延する遅延工程と
を具備することを特徴とする機能性薄膜形成方法。 - 上記遅延工程における遅延時間は５〜３０秒であることを特徴とする請求項５記載の機能性薄膜形成方法。
- 上記焼成工程における上記基板の昇温速度は１．０℃／分以下であることを特徴とする請求項５記載の機能性薄膜形成方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2002027022A JP2003225600A (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 機能性薄膜形成装置及び形成方法 |
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|---|---|---|---|
| JP2002027022A JP2003225600A (ja) | 2002-02-04 | 2002-02-04 | 機能性薄膜形成装置及び形成方法 |
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