JP2003207888A - Dye-containing negative curable composition, and color filter including the same, and method for producing the same - Google Patents
Dye-containing negative curable composition, and color filter including the same, and method for producing the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子や固
体撮像素子に用いられるカラーフィルタを構成する着色
画像の形成に好適な染料含有ネガ型硬化性組成物、並び
に該硬化性組成物を含むカラーフィルタ及びその製造方
法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention includes a dye-containing negative curable composition suitable for forming a colored image forming a color filter used in a liquid crystal display device or a solid-state image pickup device, and the curable composition. The present invention relates to a color filter and a manufacturing method thereof.
【0002】[0002]
【従来の技術】液晶表示素子や固体撮像素子に用いられ
るカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印
刷法、電着法及び顔料分散法が知られている。前記染色
法は、ゼラチン、グリュー、カゼイン等の天然樹脂、あ
るいはアミン変性ポリビニルアルコール等の合成樹脂か
らなる染着基材を酸性染料等の染料で染色してカラーフ
ィルタを作製する方法である。該染色法では、染料を用
いるため、耐光性や耐熱性及び耐湿性等に問題がある
他、大画面では染色及び固着特性を均一にコントロール
することが難しいため色ムラが発生し易く、また、染色
に際しては防染層を必要とするために工程が煩雑になる
等の問題点を有する。2. Description of the Related Art As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display device or a solid-state image pickup device, a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method and a pigment dispersion method are known. The dyeing method is a method of producing a color filter by dyeing a dyeing base material made of a natural resin such as gelatin, glue, or casein or a synthetic resin such as amine-modified polyvinyl alcohol with a dye such as an acid dye. In the dyeing method, since a dye is used, there is a problem in light resistance, heat resistance, moisture resistance, and the like, and it is difficult to uniformly control dyeing and fixing properties on a large screen, and thus color unevenness easily occurs, and In dyeing, there is a problem that the process is complicated because a dye-proof layer is required.
【0003】前記電着法は、予め透明電極を所定のパタ
ーンで形成しておき、溶媒中に溶解又は分散した顔料を
含む樹脂をイオン化させ、電圧を印加して着色画像をパ
ターン状に形成することによってカラーフィルタを作製
する方法である。電着法では、表示用の透明電極以外に
カラーフィルタ形成用の透明電極の製膜とエッチング工
程を含むフォトリソ工程が必要であるが、その際にショ
ートがあると、線欠陥になり歩留まりの低下を来す。ま
た、原理上ストライプ配列以外、例えばモザイク配列に
は適用が困難であり、更には透明電極の管理が難しい等
の問題点がある。In the electrodeposition method, a transparent electrode is formed in a predetermined pattern in advance, a resin containing a pigment dissolved or dispersed in a solvent is ionized, and a voltage is applied to form a colored image in a pattern. This is a method of producing a color filter. The electrodeposition method requires a photolithography process including a film formation of a transparent electrode for forming a color filter and an etching process in addition to a transparent electrode for display, but if there is a short circuit at that time, a line defect occurs and the yield decreases. Come on. In addition to the stripe arrangement, it is difficult to apply it to a mosaic arrangement in principle, and it is difficult to manage the transparent electrodes.
【0004】前記印刷法は、熱硬化樹脂又は紫外線硬化
樹脂に顔料を分散したインクを用いてオフセット印刷等
の印刷によってカラーフィルタを作製する簡便な方法で
ある。しかし、使用できるインキが高粘度であるためフ
ィルタリングが難しく、ゴミ、異物及びインキバインダ
ーのゲル化した部分による欠陥が発生し易いこと、印刷
精度に伴う位置精度や線幅精度及び平面平滑性の点で問
題がある。The printing method is a simple method for producing a color filter by printing such as offset printing using an ink in which a pigment is dispersed in a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin. However, since the ink that can be used has a high viscosity, it is difficult to filter, dust, foreign matter, and defects due to gelled parts of the ink binder are likely to occur, and the positional accuracy, line width accuracy, and plane smoothness that accompany printing accuracy are high. I have a problem with.
【0005】前記顔料分散法は、顔料を種々の感放射線
性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフ
ォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であ
る。この方法は、顔料を用いるため光や熱等に安定であ
ると同時に、フォトリソ法によってパターニングするた
め位置精度にも十分優れており、大画面、高精細カラー
ディスプレイ用カラーフィルタの作製に好適である。The pigment dispersion method is a method of producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various radiation-sensitive compositions. This method is stable to light, heat, etc. because it uses a pigment, and at the same time has sufficient positional accuracy because it is patterned by the photolithography method, and is suitable for the production of color filters for large screens and high-definition color displays. .
【0006】顔料分散法によりカラーフィルタを作製す
るには、ガラス基板上に着色感放射線性組成物をスピン
コーターやロールコーター等により塗布し、乾燥させて
塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光し、現像すること
により着色画素が得られ、この操作を色数に応じて繰り
返すことによりカラーフィルタを得ることができる。To prepare a color filter by the pigment dispersion method, a colored radiation-sensitive composition is applied on a glass substrate by a spin coater, a roll coater or the like and dried to form a coating film, and the coating film is patterned. A colored pixel is obtained by exposing and developing, and a color filter can be obtained by repeating this operation according to the number of colors.
【0007】顔料分散法としては、特開平1−1024
69号、特開平1−152499号、特開平2−181
704号、特開平2−199403号、特開平4−76
062号、特開平5−273411号、特開平6−18
4482号、特開平7−140654号の各公報に記載
され、アルカリ可溶性樹脂としての光重合性モノマーと
光重合開始剤とを用いたネガ型感光性組成物が開示され
ている。As a pigment dispersion method, there is disclosed in JP-A-1-1024.
69, JP-A-1-152499, and JP-A-2-181.
704, JP-A-2-199403, JP-A-4-76.
062, JP-A-5-273411, and JP-A-6-18.
No. 4482 and JP-A No. 7-140654, a negative photosensitive composition using a photopolymerizable monomer as an alkali-soluble resin and a photopolymerization initiator is disclosed.
【0008】しかしながら、近年、固体撮像素子用のカ
ラーフィルタにおいては、更なる高精細化が望まれてい
る。ところが、従来の顔料分散系では本質的に解像度が
向上せず、また顔料の粗大粒子による色ムラが発生する
等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パター
ンが要求される用途には適さなかった。上記問題を解決
するため、特開平6−75375号等において、従来か
ら染料を用いる技術が提案されている。しかし、染料は
本質的に光吸収剤として作用するため、照射光を吸収し
てしまい、光重合開始剤の光吸収並びにこれに続く分解
及びラジカル発生を抑制する結果、ラジカル重合を利用
した染料含有硬化性組成物では十分な硬化性を得るのは
困難であった。However, in recent years, further high definition has been desired in color filters for solid-state image pickup devices. However, in the conventional pigment dispersion system, the resolution is not essentially improved, and there are problems such as color unevenness due to coarse particles of the pigment. Therefore, for applications requiring a fine pattern such as a solid-state image sensor. It wasn't suitable. In order to solve the above problems, a technique using a dye has been proposed in JP-A-6-75375. However, since the dye essentially acts as a light absorber, it absorbs the irradiation light and suppresses the light absorption of the photopolymerization initiator and the subsequent decomposition and radical generation. It was difficult to obtain sufficient curability with the curable composition.
【0009】この「染料の持つラジカル光吸収剤として
の作用」を回避し、できるだけ架橋反応(硬化反応)を
進行させるため、露光エネルギーを増加させたり、後架
橋剤を添加する等の、「本質的ではない解決策」が従来
から施されてきた。しかし、露光エネルギーを増加させ
る方法によると、照射装置への負荷増や工程時間が長く
かかるなど実用性の低下等の不利益が生じ、更には染料
の光劣化をも生じさせる結果となり、また、光又は熱に
よる後架橋剤を添加する方法でも、染料あるいはバイン
ダーなど、組成物中の構成成分の光又は熱による劣化は
回避できなかった。In order to avoid this "action of the dye as a radical light absorber" and to accelerate the crosslinking reaction (curing reaction) as much as possible, the exposure energy is increased and a post-crosslinking agent is added. "Inappropriate solutions" have been implemented in the past. However, according to the method of increasing the exposure energy, there are disadvantages such as a decrease in practicality such as an increase in load on the irradiation device and a long process time, and further photodeterioration of the dye also results. Even by the method of adding a post-crosslinking agent by light or heat, deterioration of components such as dyes and binders in the composition by light or heat cannot be avoided.
【0010】例えば、特開平6−75375号公報等に
記載のように、従来、十分な硬化性が得られ二色目以降
のレジストを塗布する際の染料の溶出を抑制できる点か
ら、熱硬化剤や光硬化剤を添加する方法が採られてき
た。しかしながら、この方法を採用してもなお、染料の
溶出を完全に抑制することはできず、パターンをより高
度に硬化する方法が望まれていた。更に、この熱硬化剤
や光硬化剤の添加により現像後のパターンを十分に硬化
する方法を採用すると、染料の熱劣化及び光劣化を副次
的に起こさせる結果を来し、これらの諸問題を解決する
方法の開発が切に望まれていた。For example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-75375, a thermosetting agent is conventionally used because it has sufficient curability and can suppress the elution of dyes when a second or subsequent resist is applied. The method of adding a light curing agent has been adopted. However, even if this method is adopted, the elution of the dye cannot be completely suppressed, and a method for curing the pattern to a higher degree has been desired. Further, if a method of sufficiently curing the pattern after development by adding the heat curing agent or the light curing agent is adopted, the thermal deterioration and the light deterioration of the dye are caused secondarily, and these various problems are caused. The development of a method for solving the above has been eagerly desired.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来に
おける諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課
題とする。本発明は、高感度に十分な硬化度が得られ、
高透過率、広い現像ラチチュードを有し、高解像度の画
像が得られ、かつ染料の溶出、熱劣化及び光劣化のない
生産性の高い染料含有ネガ型硬化性組成物、及び前記染
料含有ネガ型硬化性組成物を含み、高透過率、高解像
力、広い現像ラチチュードを有し、熱劣化及び光劣化が
なく生産性の高いカラーフィルタを提供することを目的
とする。並びに、該カラーフィルタの製造方法であっ
て、高感度かつ十分に硬化でき、染料の溶出、熱劣化及
び光劣化を伴うことなく高効率に製造し得る生産性を備
えるカラーフィルタの製造方法を提供することを目的と
する。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the various problems in the prior art and achieve the following objects. The present invention provides a sufficient degree of curing with high sensitivity,
Negative curable composition containing a dye having a high transmittance, a wide development latitude, a high resolution image and high productivity without dye elution, heat deterioration and photodegradation, and the negative dye containing the dye. An object of the present invention is to provide a color filter which contains a curable composition, has a high transmittance, a high resolution, a wide development latitude, and is free from heat deterioration and light deterioration and has high productivity. Also provided is a method for producing the color filter, which is highly sensitive and can be sufficiently cured, and which has a productivity capable of producing with high efficiency without elution of dye, heat deterioration and light deterioration. The purpose is to do.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の具体的手段は以下の通りであり、上記の目的が達成さ
れる。
(1)有機溶剤可溶性染料を含み、光重合開始剤により
ラジカル重合反応を起こす染料含有ネガ型硬化性組成物
において、ラジカル重合を開始させるための照射光の波
長における、前記有機溶剤可溶性染料の吸光度Adと前
記光重合開始剤の吸光度Aiとの比Ad/Aiが10.
0以下であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組
成物である。The concrete means for solving the above-mentioned problems are as follows, and the above-mentioned object is achieved. (1) In a dye-containing negative curable composition containing an organic solvent-soluble dye and causing a radical polymerization reaction by a photopolymerization initiator, the absorbance of the organic solvent-soluble dye at the wavelength of irradiation light for initiating radical polymerization The ratio Ad / Ai between Ad and the absorbance Ai of the photopolymerization initiator is 10.
It is a negative curable composition containing a dye, which is 0 or less.
【0013】(2)アルカリ可溶性バインダー、有機溶
剤可溶性染料、光重合開始剤、モノマー、及び溶剤を含
む前記(1)に記載の染料含有ネガ型硬化性組成物であ
る。
(3)架橋剤を更に含む前記(1)又は(2)に記載の
染料含有ネガ型硬化性組成物である。
(4)前記アルカリ可溶性バインダーが、アクリル系樹
脂、アクリルアミド系樹脂、ポリヒドロキシスチレン系
樹脂、及びポリシロキサン系樹脂から選択される少なく
とも一種である前記(2)又は(3)に記載の染料含有
ネガ型硬化性組成物である。(2) The dye-containing negative curable composition as described in (1) above, which contains an alkali-soluble binder, an organic solvent-soluble dye, a photopolymerization initiator, a monomer, and a solvent. (3) The negative curable composition containing a dye according to the above (1) or (2), which further contains a crosslinking agent. (4) The dye-containing negative according to (2) or (3), wherein the alkali-soluble binder is at least one selected from acrylic resins, acrylamide resins, polyhydroxystyrene resins, and polysiloxane resins. It is a mold-curable composition.
【0014】(5)前記架橋剤が多官能エポキシ樹脂で
ある前記(3)又は(4)に記載の染料含有ネガ型硬化
性組成物である。
(6)ラジカル重合を開始させるための照射光の波長お
ける吸光度が高いものほど光重合開始剤を多く含む前記
(1)〜(5)のいずれかに記載の染料含有ネガ型硬化
性組成物である。(5) The dye-containing negative curable composition as described in (3) or (4) above, wherein the crosslinking agent is a polyfunctional epoxy resin. (6) The dye-containing negative curable composition according to any one of (1) to (5), wherein the higher the absorbance at the wavelength of irradiation light for initiating radical polymerization, the more the photopolymerization initiator. is there.
【0015】(7)前記(1)〜(6)のいずれかに記
載の染料含有ネガ型硬化性組成物を含むことを特徴とす
るカラーフィルタである。
(8)前記(1)〜(6)のいずれかに記載の染料含有
ネガ型硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通し
て露光し、現像してネガ型パターンを形成する工程を有
することを特徴とするカラーフィルタの製造方法であ
る。前記カラーフィルタの製造方法において、所望の色
相よりなるカラーフィルタを製造するに際して前記工程
が所望の色相数だけ繰り返される。また、必要に応じ
て、前記ネガ型パターンを加熱及び/又は露光により硬
化する工程を有する態様も好適である。(7) A color filter comprising the dye-containing negative curable composition as described in any one of (1) to (6) above. (8) A step of applying the negative curable composition containing a dye according to any one of the above (1) to (6) on a support, exposing through a mask, and developing to form a negative pattern. A method of manufacturing a color filter, comprising: In the method of manufacturing a color filter, the above steps are repeated for a desired number of hues when manufacturing a color filter having a desired hue. Moreover, an aspect having a step of curing the negative pattern by heating and / or exposure is also suitable, if necessary.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の染料含有ネガ型硬
化性組成物、並びにそれを使用したカラーフィルタ及び
その製造方法について詳述する。本発明の染料含有ネガ
型硬化性組成物(以下、単に「硬化性組成物」ともい
う)は、有機溶剤可溶性染料と光重合開始剤とを少なく
とも含んでなる。好ましくは、有機溶剤可溶性染料及び
光重合開始剤と共に、アルカリ可溶性バインダー、モノ
マー及び溶剤を含んでなり、場合により更に架橋剤を含
んでなる。また、他の成分を含んでいてもよい。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The dye-containing negative curable composition of the present invention, a color filter using the same and a method for producing the same will be described in detail below. The dye-containing negative curable composition of the present invention (hereinafter, also simply referred to as “curable composition”) comprises at least an organic solvent-soluble dye and a photopolymerization initiator. Preferably, it comprises an alkali-soluble binder, a monomer and a solvent together with an organic solvent-soluble dye and a photopolymerization initiator, and optionally further comprises a crosslinking agent. It may also contain other components.
【0017】前述のように、染料は本質的に光吸収剤と
して作用するため、ラジカル重合を利用した硬化性組成
物に染料を添加した場合は、十分な硬化性を得ることは
従来技術では不可能であった。そこで、本発明者は、染
料含有の組成物を用いて画像を形成する際の硬化性につ
いて鋭意検討した結果、実用上好適な範囲の露光エネル
ギーを照射する場合に、光重合開始剤の効率的な分解と
開始ラジカルの発生を考慮すると、重合を開始させるた
めの照射光の波長における、染料(有機溶剤可溶性染
料)の吸光度をAd、光重合開始剤の吸光度をAiとし
た際の比Ad/Aiが10.0以下であることが必要な
ことを見出すに至った。As described above, since the dye essentially acts as a light absorber, when the dye is added to the curable composition utilizing radical polymerization, it is not possible with the prior art to obtain sufficient curability. It was possible. Therefore, the present inventor diligently studied the curability in forming an image using a dye-containing composition, and as a result, when irradiating exposure energy in a practically suitable range, the efficiency of the photopolymerization initiator was increased. In consideration of various decomposition and generation of initiation radicals, the ratio Ad / when the absorbance of the dye (organic solvent-soluble dye) is Ad and the absorbance of the photopolymerization initiator is Ai at the wavelength of irradiation light for initiating polymerization We have found that Ai needs to be 10.0 or less.
【0018】本発明においては、染料含有ネガ型硬化性
組成物として、重合を開始させるための照射光の波長
(露光波長)における該組成物中の有機溶剤可溶性染料
(以下、単に「染料」ともいう)の吸光度をAd、光重
合開始剤の吸光度をAiとした際に、Ad/Aiの比が
10.0以下である硬化性組成物を用いることにより、
従来の染料含有硬化性組成物に比べ、高感度(高硬化
率)、高透過率、高解像力、広い現像ラチチュードが得
られ、染料の溶出、熱劣化及び光劣化がなく、かつ生産
性を高めることができる。In the present invention, as a dye-containing negative curable composition, an organic solvent-soluble dye (hereinafter, also simply referred to as "dye") in the composition at the wavelength (exposure wavelength) of irradiation light for initiating polymerization is used. When the absorbance of (i.e.) is Ad and the absorbance of the photopolymerization initiator is Ai, by using a curable composition having an Ad / Ai ratio of 10.0 or less,
Higher sensitivity (higher curing rate), higher transmittance, higher resolution, wider development latitude than conventional dye-containing curable composition, no elution of dye, heat deterioration and light deterioration, and higher productivity be able to.
【0019】中でも、光重合開始剤による照射光の吸収
を染料が阻害しないことが重合感度的に好ましい理由と
同様に、重合を開始させるための照射光の波長における
硬化性組成物中の染料(Ad)/光重合性開始剤(Ai)の吸光
度比もより小さい方が好ましい。具体的には、前記Ad
/Ai比が8.0以下であることが好ましく、7.0以
下であることが更に好ましく、6.0以下であることが
特に好ましい。Among them, the dye in the curable composition at the wavelength of the irradiation light for initiating the polymerization is similar to the reason why it is preferable that the dye does not inhibit the absorption of the irradiation light by the photopolymerization initiator in terms of the polymerization sensitivity. It is preferable that the absorbance ratio of (Ad) / photopolymerizable initiator (Ai) is also smaller. Specifically, the Ad
The / Ai ratio is preferably 8.0 or less, more preferably 7.0 or less, and particularly preferably 6.0 or less.
【0020】また、一部の染料を使用すれば、実用に適
した濃度で膜厚2μm以下の膜を作製しても、Ad/A
i比を10.0以下に維持できるとの知見を得た。上述
の、「実用に適した濃度で膜厚2μm以下の膜を作製し
ても、Ad/Aiの比が10.0以下に維持できる染
料」(以下、「本発明に係る染料」ということがあ
る。)としては、上記の条件を満たすものなら特には限
定されないが、溶解性、分光特性、耐熱性、耐光性の観
点も考慮すると、黄系染料では、Valifast Y
ellow1108,同3108,同3120,同41
20,同1151,同3150,Oil Yellow
129、赤系染料では、Valifast Red13
06,同1308,同1360,同3304,同331
1,同2320,同3305,同3320、Valif
ast Pink2310N,PCRed136P、青
系染料では、Valifast Blue2610,同
1603,同1605,同2620,同2606(いず
れもオリエント化学工業、日本化薬社製)、等が好適に
挙げられる。Further, if some dyes are used, even if a film having a film thickness of 2 μm or less is prepared at a concentration suitable for practical use, Ad / A
It was found that the i ratio can be maintained at 10.0 or less. As described above, "a dye capable of maintaining an Ad / Ai ratio of 10.0 or less even when a film having a film thickness of 2 μm or less at a concentration suitable for practical use is maintained" (hereinafter, referred to as "dye according to the present invention"). Is not particularly limited as long as it satisfies the above conditions, but in consideration of solubility, spectral characteristics, heat resistance, and light resistance, in the case of yellow dyes, Valifast Y
ellow1108, same3108, same3120, same41
20, Same 1151, Same 3150, Oil Yellow
129, in the red dye, Valifast Red13
06, same 1308, same 1360, same 3304, same 331
1, 2230, 3305, 3320, Valif
As the ast Pink 2310N, PCRed 136P, and blue dyes, Valifast Blue 2610, 1603, 1605, 2620, 2606 (all manufactured by Orient Chemical Industry, Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like can be preferably mentioned.
【0021】中でも、Valifast Yellow
1108,同3120,同1151,Valifast
Red1360,同3304,同3311,Vali
fast Pink2310N,PCRed136P,
Valifast Blue2610,同2620,同
2606、等がより好ましく、Valifast Ye
llow3120,同1151,Valifast R
ed1360,同3304,同3311,Valifa
st Pink2310N,ValifastBlue
2610,同2620,同2606、等が特に好まし
い。Above all, Valifast Yellow
1108, 3120, 1151, Valifast
Red 1360, same 3304, same 3311, Vali
fast Pink2310N, PCRed136P,
Valifast Blue 2610, the same 2620, the same 2606, etc. are more preferable, and the Valifast Ye
low 3120, same 1151, Valifast R
ed1360, same 3304, same 3311, Valifa
st Pink2310N, ValifastBlue
2610, 2620, 2606, etc. are particularly preferable.
【0022】次に、有機溶剤可溶性染料の使用濃度につ
いて説明する。本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の
全固形成分中における有機溶剤可溶性染料の濃度として
は、染料により異なるが、0.5〜80質量%が好まし
く、0.5〜60質量%がより好ましく、0.5〜50
質量%が特に好ましい。Next, the use concentration of the organic solvent-soluble dye will be described. The concentration of the organic solvent-soluble dye in all the solid components of the dye-containing negative curable composition of the present invention varies depending on the dye, but is preferably 0.5 to 80% by mass, more preferably 0.5 to 60% by mass. Preferably 0.5 to 50
Mass% is particularly preferred.
【0023】次に、アルカリ可溶性バインダーについて
説明する。本発明に使用するアルカリ可溶性バインダー
は、アルカリ可溶性であれば特に限定はないが、耐熱
性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好まし
い。前記アルカリ可溶性バインダーとしては、線状有機
高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液
で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分
子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマ
ー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−3
4327号、特公昭58−12577号、特公昭54−
25957号、特開昭59−53836号、特開昭59
−71048号の各公報に記載されているような、メタ
クリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共
重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部
分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同
様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が
有用である。Next, the alkali-soluble binder will be described. The alkali-soluble binder used in the present invention is not particularly limited as long as it is alkali-soluble, but it is preferably selected from the viewpoint of heat resistance, developability, availability and the like. The alkali-soluble binder is preferably a linear organic polymer, which is soluble in an organic solvent and can be developed with a weak alkaline aqueous solution. As such a linear organic high molecular polymer, a polymer having a carboxylic acid in its side chain, for example, JP-A-59-44615 and JP-B-54-3.
No. 4327, Japanese Patent Publication No. 58-12577, Japanese Patent Publication No. 54-
25957, JP-A-59-53836, JP-A-59.
-71048, methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, itaconic acid copolymers, crotonic acid copolymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers. Examples thereof include polymers, and similarly, acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are useful.
【0024】上記のほか、水酸基を有するポリマーに酸
無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン
系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリド
ンやポリエチレンオキサイド、ポリビニールアルコー
ル、等も有用である。また、親水性を有するモノマーを
共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキ
ル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)
アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、
(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミ
ド、2級又は3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキ
ルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン
(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビ
ニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリ
アゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル(メタ)ア
クリレート、分岐又は直鎖のブチル(メタ)アクリレー
ト、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、等が挙げられる。In addition to the above, those obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, etc. Polyethylene oxide, polyvinyl alcohol, etc. are also useful. Further, a hydrophilic monomer may be copolymerized, and examples thereof include alkoxyalkyl (meth) acrylate and hydroxyalkyl (meth).
Acrylate, glycerol (meth) acrylate,
(Meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, secondary or tertiary alkyl acrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl Examples thereof include (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, branched or straight-chain propyl (meth) acrylate, branched or straight-chain butyl (meth) acrylate, and phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate.
【0025】その他、前記親水性を有するモノマーとし
て、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、
4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオ
キシ鎖、スルホン酸及びその塩、モルホリノエチル基等
を含んでなるモノマー等も有用である。In addition, as the hydrophilic monomer, tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid, phosphoric acid ester,
A monomer containing a quaternary ammonium salt, an ethyleneoxy chain, a propyleneoxy chain, a sulfonic acid and its salt, a morpholinoethyl group and the like are also useful.
【0026】また、架橋効率を向上させるために、重合
性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリ
ル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有するポリ
マー等も有用である。前記重合性基を含有するポリマー
の例としては、KSレジスト−106(大阪有機化学工
業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学
工業(株)製)等が挙げられる。また、硬化皮膜の強度
を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビ
ス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロ
ルヒドリンのポリエーテル等も有用である。Further, in order to improve the crosslinking efficiency, a polymerizable group may be included in the side chain, and a polymer containing an allyl group, a (meth) acryl group, an allyloxyalkyl group or the like in the side chain is also useful. Is. Examples of the polymer having a polymerizable group include KS Resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.) and Cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industry Co., Ltd.). Further, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, etc. are also useful for increasing the strength of the cured film.
【0027】これら各種バインダーの中でも、耐熱性の
観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロ
キサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹
脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好まし
く、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリ
ルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹
脂が好ましい。Among these various binders, from the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, acrylic resin, acrylamide resin, acrylic / acrylamide copolymer resin are preferable, and from the viewpoint of developing property control. Therefore, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable.
【0028】前記アクリル系樹脂としては、ベンジル
(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル、ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド
等から選ばれるモノマーからなる共重合体、KSレジス
ト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマ
ーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好まし
い。As the acrylic resin, a copolymer of monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, KS Resist-106 (Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), Cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries Ltd.) and the like are preferable.
【0029】前記アルカリ可溶性バインダーは、重量平
均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)
が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000
〜1×105の重合体がより好ましく、5000 〜5×
104の重合体が特に好ましい。前記アルカリ可溶性バ
インダーの染料含有ネガ型硬化性組成物における含有量
としては、該組成物の全固形分(質量)に対して、10
〜90質量%が好ましく、20〜80質量%がより好ま
しく、30〜70質量%が特に好ましい。The alkali-soluble binder has a weight average molecular weight (polystyrene conversion value measured by GPC method).
Is preferably a polymer of 1000 to 2 × 10 5 ,
More preferably a polymer of ~1 × 10 5, 5000 ~5 ×
Particularly preferred are 10 4 polymers. The content of the alkali-soluble binder in the dye-containing negative curable composition is 10 with respect to the total solid content (mass) of the composition.
To 90 mass% is preferable, 20 to 80 mass% is more preferable, and 30 to 70 mass% is particularly preferable.
【0030】次に、架橋剤について説明する。本発明
は、Ad/Aiの比を10.0以下に維持できる染料を
使用し、従来に比較して硬化性組成物における硬化反応
をより高度に進行させ、硬化性の良好な膜が得られるこ
とが発明の主旨であるが、補足的に架橋剤を用いて更に
高度に硬化させた膜を得ることも可能である。本発明に
使用する架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行え
るものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキ
シ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基、及
びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置
換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合
物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、(c)
メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメ
チル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換され
た、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキ
シアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多感応
エポキシ樹脂が好ましい。Next, the crosslinking agent will be described. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention uses a dye capable of maintaining the Ad / Ai ratio of 10.0 or less, and further advances the curing reaction in the curable composition to a higher degree as compared with the prior art, and a film having good curability is obtained. It is the gist of the invention, but it is also possible to obtain a more highly cured film by additionally using a crosslinking agent. The cross-linking agent used in the present invention is not particularly limited as long as it can cure the film by a cross-linking reaction, and includes, for example, (a) epoxy resin, (b) methylol group, alkoxymethyl group, and acyloxymethyl group. A melamine compound, a guanamine compound, a glycoluril compound or a urea compound substituted with at least one substituent selected from (c)
Examples thereof include a phenol compound, a naphthol compound, or a hydroxyanthracene compound, which is substituted with at least one substituent selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. Among them, the multi-sensitive epoxy resin is preferable.
【0031】前記(a)エポキシ樹脂としては、エポキ
シ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれで
あってもよく、例えば、ビスフェノールAジグリシジル
エーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、
ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオー
ルジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグ
リシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、
N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基
含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパント
リグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリ
グリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジル
エーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子
化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジ
ルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラ
グリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基
含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペ
ンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキ
サグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子
化合物、ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2
−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2
−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン
付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、
等が挙げられる。The above-mentioned (a) epoxy resin may be any as long as it has an epoxy group and is crosslinkable, for example, bisphenol A diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether,
Butanediol diglycidyl ether, hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, phthalic acid diglycidyl ester,
Divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as N, N-diglycidylaniline, as well as trivalent typified by trimethylolpropane triglycidyl ether, trimethylolphenol triglycidyl ether and TrisP-PA triglycidyl ether. Glycidyl group-containing low molecular weight compounds, likewise pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetramethylol bisphenol A tetraglycidyl ether, and other tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds, likewise dipentaerythritol pentaglycidyl ether, dipenta Low molecular weight compounds containing polyvalent glycidyl groups such as erythritol hexaglycidyl ether, polyglycidyl (meth) acrylate, 2,2
1,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol
-Glycidyl group-containing polymer compounds represented by epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct and the like,
Etc.
【0032】前記架橋剤(b)に含まれるメチロール
基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換し
ている数としては、メラミン化合物の場合2〜6、グリ
コールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物
の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の
場合5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合
物、ウレア化合物の場合は3〜4である。以下、前記
(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコー
ルウリル化合物及びウレア化合物を総じて、(b)に係
る(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシ
メチル基含有)化合物という。The number of methylol groups, alkoxymethyl groups and acyloxymethyl groups contained in the cross-linking agent (b) is 2 to 6 for melamine compounds, glycoluril compounds, guanamine compounds and urea compounds. In the case of a melamine compound, it is 5 to 6, and in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound, and a urea compound, it is 3 to 4. Hereinafter, the melamine compound, the guanamine compound, the glycoluril compound and the urea compound (b) are collectively referred to as the compound (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group) according to (b).
【0033】前記(b)に係るメチロール基含有化合物
は、(b)に係るアルコキシメチル基含有化合物をアル
コール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸
触媒存在下、加熱することにより得られる。前記(b)
に係るアシロキシメチル基含有化合物は、(b)に係る
メチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルク
ロリドと混合攪拌することにより得られる。The compound containing a methylol group according to (b) is obtained by heating the compound containing an alkoxymethyl group according to (b) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid or methanesulfonic acid. To be (B)
The acyloxymethyl group-containing compound according to (2) can be obtained by mixing and stirring the methylol group-containing compound according to (b) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.
【0034】以下、前記置換基を有する(b)に係る化
合物の具体例を挙げる。前記メラミン化合物として、例
えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチ
ルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基
の1〜5個がメトキシメチル化した化合物又はその混合
物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシ
メチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロー
ル基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物又はそ
の混合物、などが挙げられる。Specific examples of the compound (b) having the above substituent will be given below. Examples of the melamine compound include hexamethylolmelamine, hexamethoxymethylmelamine, a compound in which 1 to 5 of the methylol groups of hexamethylolmelamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethylmelamine, hexaacyloxymethylmelamine, hexamethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 5 methylol groups of melamine are acyloxymethylated, or a mixture thereof.
【0035】前記グアナミン化合物として、例えば、テ
トラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグア
ナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチ
ロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合
物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキ
シメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1
〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物
又はその混合物などが挙げられる。As the guanamine compound, for example, tetramethylolguanamine, tetramethoxymethylguanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolguanamine or a mixture thereof, tetramethoxyethylguanamine, tetraacyloxymethylguanamine. , Tetramethylol guanamine 1
Examples thereof include compounds obtained by acyloxymethylating 3 to 3 methylol groups, or a mixture thereof.
【0036】前記グリコールウリル化合物としては、例
えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメト
キシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコ
ールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル
化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコ
ールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチ
ル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。Examples of the glycoluril compound include tetramethylolglycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolglycoluril or a mixture thereof, tetramethylolglycoluril. Examples thereof include compounds in which 1 to 3 methylol groups are acyloxymethylated or a mixture thereof.
【0037】前記ウレア化合物として、例えば、テトラ
メチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テト
ラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキ
シメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシ
エチルウレア、などが挙げられる。これら(b)に係る
化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用して
もよい。Examples of the urea compound include tetramethylolurea, tetramethoxymethylurea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolurea or a mixture thereof, and tetramethoxyethylurea. These compounds according to (b) may be used alone or in combination.
【0038】前記(c)の架橋剤、即ち、メチロール
基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から
選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール
化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン
化合物は、前記架橋剤(b)の場合と同様、熱架橋によ
り上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制
すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、こ
れら化合物を総じて、(c)に係るメチロール基、アルコ
キシメチル基又はアシロキシメチル基含有化合物という
ことがある。The crosslinking agent (c), that is, a phenol compound, a naphthol compound or a hydroxyanthracene compound, which is substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group and an acyloxymethyl group, is Similar to the case of the agent (b), it is intended to suppress the intermixing with the overcoat photoresist by thermal crosslinking and further increase the film strength. Hereinafter, these compounds may be collectively referred to as a compound containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group according to (c).
【0039】前記架橋剤(c)に含まれるメチロール
基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数と
しては、一分子当り最低2個必要であり、熱架橋性及び
保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の
2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。ま
た、該フェノール化合物の3位又は5位は、未置換であ
っても置換基を有していてもよい。また、骨格となるナ
フトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、O
H基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が
好ましい。ナフトール化合物においては、OH基のオル
ト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよ
い。The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the cross-linking agent (c) must be at least two per molecule, and from the viewpoint of thermal cross-linkability and storage stability, the skeleton A compound in which the 2-position and 4-position of the phenol compound to be The 3-position or 5-position of the phenol compound may be unsubstituted or may have a substituent. In addition, the naphthol compound and the hydroxyanthracene compound, which are the skeletons, are
A compound in which all ortho positions and para positions of the H group are substituted is preferable. The naphthol compound may be unsubstituted or may have a substituent except the ortho position of the OH group.
【0040】前記(c)に係るメチロール基含有化合物
は、フェノール性OH基の2位又は4位が水素原子であ
る化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウム
ヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと
反応させることにより得られる。前記(c)に係るアル
コキシメチル基含有化合物は、(c)に係るメチロール
基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタ
ンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより
得られる。前記(c)に係るアシロキシメチル基含有化
合物は、(c)に係るメチロール基含有化合物を塩基性
触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得
られる。The compound containing a methylol group according to the above (c) uses as a raw material a compound in which the 2- or 4-position of the phenolic OH group is a hydrogen atom, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia or tetraalkyl. It is obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst such as ammonium hydroxide. The alkoxymethyl group-containing compound according to (c) can be obtained by heating the methylol group-containing compound according to (c) in alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid or methanesulfonic acid. The acyloxymethyl group-containing compound according to (c) above can be obtained by reacting the methylol group-containing compound according to (c) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.
【0041】架橋剤(c)における骨格化合物として
は、フェノール性OH基のオルト位又はパラ位が未置換
の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアント
ラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレ
ゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キ
シレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノ
ール、ビスフェノール−Aなどのビスフェノール類、
4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−P
A(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキ
シナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等
が使用される。Examples of the skeletal compound in the cross-linking agent (c) include phenol compounds, naphthols and hydroxyanthracene compounds in which the ortho or para position of the phenolic OH group is not substituted, and for example, isomers of phenol and cresol. Bisphenols such as body, 2,3-xylenol, 2,5-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenol-A,
4,4'-bishydroxybiphenyl, TrisP-P
A (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.), naphthol, dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyanthracene and the like are used.
【0042】前記架橋剤(c)の具体例としては、フェ
ノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノー
ル、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロー
ルフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチ
ル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、ト
リ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロー
ル−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキ
シメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−ク
レゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロー
ルビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノ
ールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個
のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラ
メチロール−4,4’−ビスヒドロキシビフェニル、テ
トラメトキシメチル−4,4’−ビスヒドロキシビフェ
ニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、Tri
sP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−P
Aのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメ
トキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフ
タレンジオール、等が挙げられる。Specific examples of the cross-linking agent (c) include phenol compounds such as trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, and a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, Trimethylol-3-cresol, tri (methoxymethyl) -3-cresol, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylol-3-cresol, and a diamine such as 2,6-dimethylol-4-cresol. Methylol cresol, tetramethylol bisphenol A, tetramethoxymethyl bisphenol A, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol bisphenol A, tetramethylol-4,4'-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl -4,4'-Bishydroxybiphenyl, hexamethylol form of TrisP-PA, Tri
Hexamethoxymethyl form of sP-PA, TrisP-P
Examples thereof include a compound in which 1 to 5 methylol groups of the hexamethylol compound of A are methoxymethylated, bishydroxymethylnaphthalenediol, and the like.
【0043】また、ヒドロキシアントラセン化合物とし
て、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジ
ヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチ
ル基含有化合物として、例えば、上記メチロール基含有
化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチ
ル化した化合物等が挙げられる。Examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene and the like, and examples of the acyloxymethyl group-containing compound include the methylol group of the above methylol group-containing compound. Examples thereof include compounds partially or wholly acyloxymethylated.
【0044】これらの化合物の中で好ましいものとして
は、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル
−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノール
A、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキ
サメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシ
メチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方
で置換されたフェノール化合物が挙げられる。これら
(c)に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わ
せて使用してもよい。Among these compounds, preferred are trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, hexamethylol form of TrisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) or their compounds. Phenol compounds in which a methylol group is substituted with an alkoxymethyl group and both a methylol group and an alkoxymethyl group are mentioned. These compounds according to (c) may be used alone or in combination.
【0045】本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物にお
ける、前記架橋剤(a)〜(c)の総含有量としては、
素材により異なるが、該硬化性組成物の固形分(質量)
に対して、1〜70質量%が好ましく、5〜50質量%
がより好ましく、7〜30質量%が特に好ましい。The total content of the crosslinking agents (a) to (c) in the dye-containing negative curable composition of the present invention is as follows.
Solid content (mass) of the curable composition, depending on the material
1 to 70 mass% is preferable, and 5 to 50 mass%
Is more preferable, and 7 to 30 mass% is particularly preferable.
【0046】次に、モノマーについて説明する。重合性
モノマーとして、少なくとも1個の付加重合可能なエチ
レン基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を持つエ
チレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。その例とし
ては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官
能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタ
ントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコール
ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ
(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アク
リレート、Next, the monomer will be described. As the polymerizable monomer, a compound having at least one addition-polymerizable ethylene group and having an ethylenically unsaturated group having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure is preferable. Examples thereof include monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethanetri (Meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, hexanediol (Meth) acrylate,
【0047】トリメチロールプロパントリ(アクリロイ
ルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシ
エチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロー
ルエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドや
プロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレ
ート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭5
0−6034号、特開昭51−37193号の各公報に
記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭
48−64183号、特公昭49−43191号、特公
昭52−30490号各公報に記載されているポリエス
テルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル
酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官
能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合
物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Vol.
20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及
びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, glycerin, trimethylolethane, or other polyfunctional alcohol to which ethylene oxide or propylene oxide has been added, followed by (meth) acrylate conversion. What was done, Japanese Patent Publication No. 48-41708, Japanese Patent Publication No. 5
No. 0-6034, urethane acrylates as described in JP-A-51-37193, JP-A-48-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as the described polyester acrylates, epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resins and (meth) acrylic acid, and mixtures thereof. Furthermore, the Journal of Japan Adhesion Association, Vol.
20, No. 7, pages 300 to 308, which are introduced as photocurable monomers and oligomers.
【0048】次に、光重合開始剤について説明する。光
重合開始剤としては、前記モノマーを重合させ得るもの
であれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波
長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好まし
い。前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオ
キサジアゾール化合物及びハロメチル−s−トリアジン
化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化
合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量
体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及び
その誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及
びその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。Next, the photopolymerization initiator will be described. The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize the above-mentioned monomer, but is preferably selected from the viewpoints of characteristics, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost and the like. Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from a halomethyloxadiazole compound and a halomethyl-s-triazine compound, a 3-aryl-substituted coumarin compound, a lophine dimer, a benzophenone compound, and acetophenone. Examples thereof include compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complex and salts thereof, oxime compounds, and the like.
【0049】ハロメチルオキサジアゾール化合物である
活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号
公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4
−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル
−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−
トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,
3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5
−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジア
ゾール、等が挙げられる。As the active halogen compound which is a halomethyloxadiazole compound, 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4 described in JP-B-57-6096 is known.
-Oxadiazole compounds, 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-
Trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,
3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5
-(P-methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole and the like can be mentioned.
【0050】ハロメチル−s−トリアジン系化合物であ
る活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281
号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化
合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−
(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s
−トリアジン化合物及び4−(p−アミノフェニル)−
2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が
挙げられる。As the active halogen compound which is a halomethyl-s-triazine type compound, Japanese Patent Publication No. 59-1281 is available.
Vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in JP-A No. 53-133428,
(Naphth-1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s
-Triazine compound and 4- (p-aminophenyl)-
2,6-di-halomethyl-s-triazine compounds and the like.
【0051】その他の例として、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリア
ジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,
4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリア
ジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−
メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4
−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチル
アミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリア
ジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メ
トキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−
イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリア
ジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,
6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−
(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−
トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキ
シ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメ
チル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチ
ル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロ
メチル−s−トリアジン、Other examples include 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine and 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3,3.
4-Methylenedioxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-
Methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4
-Bis (trichloromethyl) -6- (1-p-dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2 -(Naft-1-
Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,
6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2-
(4-Ethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-
Trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -naphth-1- Il] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,
【0052】2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフ
ト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s
−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナ
フト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−
s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イ
ル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジ
ン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イ
ル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジ
ン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6
−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5
−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリ
クロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメト
キシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロ
メチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト
−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−
トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−
イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリア
ジン、2- [4- (2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s
-Triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-
s-Triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5-methyl-naphth-2-yl) -4 , 6-Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphth-2-yl) -4,6
-Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (5
-Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s- Triazine, 2- (6-ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-
Triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-
Yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,
【0053】4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニ
ルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−
N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェ
ニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチ
ル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルア
ミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチ
ルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)
アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニ
ルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)
−s−トリアジン、4- [p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-p-
N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (Trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N -Chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s
-Triazine, 4- (p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)
-S-triazine, 4- [p-N, N-di (phenyl)
Aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)-
s-triazine, 4- (p-N-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl)
-S-triazine,
【0054】4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)
カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エ
トキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−
ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−
ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)
アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−
s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ
(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,
6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−
〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメ
チル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N
−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−
2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4
−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニル
メチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、4- [p-N- (p-methoxyphenyl)
Carbonylaminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-
Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-
Bromo-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl)
Aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)-
s-triazine, 4- [m-chloro-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,
6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4-
[M-Fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N
-Di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl]-
2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4
-[O-chloro-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
【0055】4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エト
キシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブ
ロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチ
ル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N
−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブ
ロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニ
ル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチ
ル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、4- [o-fluoro-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-p-N , N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6- Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-pN, N
-Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di ( Trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
【0056】4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロ
ロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N
−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6
−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m
−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフ
ェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニ
ルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−
エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−
ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−
クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェ
ニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリア
ジン、4- [m-fluoro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-p-N)
-Ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6
-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m
-Chloro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6- Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-p-N-
Ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-
Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-
Chloro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine,
【0057】4−(o−フロロ−p−N−エトキシカル
ボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−
N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリ
クロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−
p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フ
ロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6
−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o
−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−
2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4
−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニ
ル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフ
ェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリ
アジン等が挙げられる。4- (o-fluoro-p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-p-
N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-
p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6
-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o
-Bromo-p-N-chloroethylaminophenyl)-
2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4
-(O-chloro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-p-N-chloroethylaminophenyl) -2,6 -Di (trichloromethyl) -s-triazine and the like.
【0058】その他、緑化学社製のTAZシリーズ(例
えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−10
4、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−20
4、TAZ−113、TAZ−123、TAZ−10
4)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−
OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバガイギー
社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア6
51、イルガキュア184、イルガキュア500、イル
ガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア
819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ
(例えばダロキュア1173)、4,4′−ビス(ジエ
チルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイル
オキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−
1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチル
アミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメ
トキシ−2−フェニルアセトフェノン、In addition, TAZ series manufactured by Midori Kagaku Co. (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-10
4, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-20
4, TAZ-113, TAZ-123, TAZ-10
4), T series manufactured by PANCHIM (for example, T-
OMS, T-BMP, TR, TB), IRGACURE series manufactured by Ciba-Geigy (for example IRGACURE 6)
51, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Irgacure 819, Irgacure 261), Darocur series (eg Darocur 1173), 4,4′-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyloxime). -1- [4- (phenylthio) phenyl]-
1,2-octanedione, 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone,
【0059】2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジ
フェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェ
ニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−
(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダ
ゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5
−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキ
シフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量
体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジ
フェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカ
プトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量
体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用い
られる。2- (o-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2-
(O-Methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5
-Diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2,4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- ( Also useful are p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether, and the like.
【0060】これら光重合開始剤には、増感剤や光安定
剤を併用することができる。その具体例として、ベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フ
ルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチ
ル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−
9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,1
0−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラ
キノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、
2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサン
トン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサント
ン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4
−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル
−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセト
ン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、
p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリル
ケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベン
ゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭5
1−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物
等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。A sensitizer and a light stabilizer may be used in combination with these photopolymerization initiators. Specific examples thereof include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone and 2-bromo-.
9-anthrone, 2-ethyl-9-anthrone, 9,1
0-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone,
2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2-methoxyxanthone, 2-methoxyxanthone, thioxanthone, 2,4
-Diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzalacetone, p- (dimethylamino) phenyl styryl ketone,
p- (Dimethylamino) phenyl-p-methylstyryl ketone, benzophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, etc.
Examples thereof include benzothiazole compounds described in JP-A 1-448516, Tinuvin 1130, and 400.
【0061】本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に
は、上述の光重合性開始剤のほかに他の公知の開始剤を
使用することができる。具体的には、米国特許第2,3
67,660号明細書に開示されているビシナールポリ
ケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,66
1号及び第2,367,670号明細書に開示されてい
るα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,82
8号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国
特許第2,722,512号明細書に開示されているα
−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国
特許第3,046,127号及び第2,951,758
号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許
第3,549,367号明細書に開示されているトリア
リルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトン
の組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されて
いるベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s
−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。In addition to the above-mentioned photopolymerizable initiator, other known initiators can be used in the dye-containing negative curable composition of the present invention. Specifically, US Pat.
67,660, a vicinal polyketolualdonyl compound disclosed in US Pat. No. 2,367,66.
1- and 2,367,670 disclosed .alpha.-carbonyl compounds, US Pat. No. 2,448,82.
Acyloin ether disclosed in US Pat. No. 8, α disclosed in US Pat. No. 2,722,512
-Hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds, U.S. Pat. Nos. 3,046,127 and 2,951,758
Disclosed in US Pat. No. 3,549,367, triallyl imidazole dimer / p-aminophenyl ketone combination disclosed in US Pat. Benzothiazole compound / trihalomethyl-s
-Triazine compounds and the like.
【0062】光重合開始剤(及び公知の開始剤)の総使
用量としては、前記モノマー固形分(質量)に対して、
0.01質量%〜50質量%が好ましく、1質量%〜3
0質量%がより好ましく、1質量%〜20質量%が特に
好ましい。該使用量が、0.01質量%より少ないと重
合が進み難くなることがあり、50質量%を超えると、
重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くな
ることがある。The total amount of the photopolymerization initiator (and known initiator) used is based on the solid content (mass) of the monomer.
0.01% by mass to 50% by mass is preferable, and 1% by mass to 3%
0 mass% is more preferable, and 1 mass% to 20 mass% is particularly preferable. If the amount used is less than 0.01% by mass, the polymerization may be difficult to proceed, and if it exceeds 50% by mass,
Although the polymerization rate increases, the molecular weight may decrease and the film strength may decrease.
【0063】本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に
は、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが
好ましい。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4′−
チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、
2,2′−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が
有用である。In addition to the above, it is preferable to add a thermal polymerization inhibitor to the dye-containing negative curable composition of the present invention. For example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-
Thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol),
2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole and the like are useful.
【0064】本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物を調
製する際に使用する溶剤としては、各成分の溶解性や染
料含有ネガ型硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的
に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解
性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好まし
い。前記溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチ
ル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、
酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチ
ル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アル
キルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸
メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキ
シ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチ
ル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;The solvent used in preparing the dye-containing negative curable composition of the present invention is basically a solvent as long as the solubility of each component and the coatability of the dye-containing negative curable composition are satisfied. Although not limited, it is particularly preferably selected in consideration of the solubility of the dye and the binder, coatability, and safety. Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, -n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate,
Isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, methoxyethyl acetate, methoxy Butyl acetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;
【0065】3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキ
シプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アル
キルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メ
チル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシ
プロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチ
ル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプ
ロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等
の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例え
ば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプ
ロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピ
ル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプ
ロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン
酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチ
ル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2
−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピル
ビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピ
ル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソ
ブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等;3-Oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, for example, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, Ethyl 3-ethoxypropionate, etc .; 2-Oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, for example, methyl 2-methoxypropionate, 2 -Ethyl methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2 -Methoxy-2-me Methyl Rupuropion acid, 2
Ethyl ethoxy-2-methylpropionate, etc .; methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;
【0066】エーテル類、例えば、ジエチレングリコー
ルジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレング
リコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノ
エチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチル
セロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピ
レングリコールメチルエーテル、プロピレングリコール
メチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピル
エーテルアセテート、等;Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether, Propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, etc .;
【0067】ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、
等;芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレシ、
等が好ましい。Ketones such as methyl ethyl ketone,
Cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone,
Etc .; Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylesi,
Etc. are preferred.
【0068】これらのうち、3−エトキシプロピオン酸
メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロ
ソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコール
ジメテルエーテル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオ
ン酸メチル、2−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチ
ルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテ
ート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレ
ングリコールメチルエーテルアセテート等がより好まし
い。Of these, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimeter ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, cyclohexanone, ethyl Carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and the like are more preferable.
【0069】本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物に
は、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、上記以
外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかでき
る。In the dye-containing negative curable composition of the present invention, if necessary, various additives such as fillers, polymer compounds other than the above, surfactants, adhesion promoters, antioxidants, and ultraviolet rays are used. Absorbers, anti-aggregation agents, etc. may be added.
【0070】前記各種添加物の具体例としては、ガラ
ス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリ
アクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエー
テル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以
外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン
系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニル
トリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエト
キシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノ
プロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエ
チル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−
アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピ
ルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシ
クロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロ
プロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピル
トリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリ
メトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシ
シラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル
−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチ
ルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−
5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベ
ンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外
線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止
剤を挙げることができる。Specific examples of the above various additives include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; nonion. -Based, cationic, anionic surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N -(2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-
Aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3 Adhesion promoters such as -chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2,6- Antioxidants such as di-t-butylphenol; 2- (3-t-butyl-
Examples thereof include UV absorbers such as 5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone; and aggregation inhibitors such as sodium polyacrylate.
【0071】また、未照射部のアルカリ溶解性を促進
し、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成物の現像性の更
なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、
好ましくは分子量1000以下の低分子量有機カルボン
酸の添加を行うことができる。具体的には、例えば、ギ
酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カ
プロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の
脂肪族モノカルボン酸;シュウ酸、マロン酸、コハク
酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン
酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマ
ロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコ
ハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪
族ジカルボン酸;トリカルバリル酸、アコニット酸、カ
ンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸;安息香酸、トル
イル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香
族モノカルボン酸;フタル酸、イソフタル酸、テレフタ
ル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピ
ロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸;フェニル酢酸、
ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェ
ニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチ
ル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル
酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。Further, in order to promote the alkali solubility of the unirradiated area and further improve the developability of the dye-containing negative curable composition of the present invention, an organic carboxylic acid,
Preferably, a low molecular weight organic carboxylic acid having a molecular weight of 1000 or less can be added. Specifically, for example, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethyl acetic acid, enanthic acid, aliphatic monocarboxylic acids such as caprylic acid; oxalic acid, malonic acid, succinic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid and camphoronic acid; aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cumic acid, hemelitic acid, mesitylene acid; phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, Aromatic polycarboxylic acids such as trimesic acid, melophanoic acid, pyromellitic acid; phenylacetic acid
Other carboxylic acids such as hydroatropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atropic acid, cinnamic acid, methyl cinnamate, benzyl cinnamate, cinnamylidene acetic acid, coumaric acid, and umbellic acid are included.
【0072】本発明のカラーフィルタの製造方法におい
ては、既述の染料含有ネガ型硬化性組成物を、支持体上
に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により
塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマ
スクパターンを介して露光し、現像液で現像することに
よって、ネガ型の着色パターンを形成する(画像形成工
程)。また、必要により、形成された着色パターンを加
熱及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいて
もよい。カラーフィルタの作製においては、前記画像形
成工程(及び必要により硬化する工程)を所望の色相数
だけ繰り返すことで、所望の色相よりなるカラーフィル
タを作製することができる。この際に使用される放射線
としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく
用いられる。In the method for producing a color filter of the present invention, the dye-containing negative curable composition described above is applied onto a support by a coating method such as spin coating, cast coating or roll coating, and the resulting radiation-sensitive composition. A negative composition colored pattern is formed by forming a positive composition layer, exposing the layer through a predetermined mask pattern, and developing with a developing solution (image forming step). Further, if necessary, a curing step of curing the formed colored pattern by heating and / or exposure may be included. In the production of the color filter, the image forming step (and the step of curing if necessary) is repeated for a desired number of hues to produce a color filter having a desired hue. Ultraviolet rays such as g-rays, h-rays and i-rays are preferably used as the radiation used in this case.
【0073】前記支持体としては、例えば、液晶表示素
子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(R)ガ
ラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させた
ものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例
えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CM
OS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離
するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層と
の密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化
のために下塗り層を設けてもよい。Examples of the support include soda glass, Pyrex (R) glass, quartz glass used in liquid crystal display elements and the like, those obtained by attaching a transparent conductive film thereto, and photoelectric conversion used in image pickup elements and the like. Element substrates such as silicon substrates and complementary metal oxide semiconductors (CM
OS) and the like. These substrates may be formed with black stripes that separate each pixel.
If necessary, an undercoat layer may be provided on these supports for improving the adhesion with the upper layer, preventing the diffusion of substances, or flattening the substrate surface.
【0074】前記現像液としては、本発明の染料含有ネ
ガ型硬化性組成物の未照射部を溶解する一方、照射部は
溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用
いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合
わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記
有機溶剤としては、本発明の染料含有ネガ型硬化性組成
物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。As the developer, any developer can be used as long as it has a composition that dissolves the unirradiated portion of the dye-containing negative curable composition of the present invention, but does not dissolve the irradiated portion. Specifically, a combination of various organic solvents and an alkaline aqueous solution can be used. Examples of the organic solvent include the above-mentioned solvents used when the negative dye-containing curable composition of the present invention is prepared.
【0075】前記アルカリ性の水溶液としては、例え
ば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア
水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノー
ルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テ
トラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロー
ル、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.
0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が
0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量
%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適で
ある。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液
を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide and tetraethyl. Ammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5.4.
[0] -7-undecene and other alkaline compounds are preferably dissolved in the solution to a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. When a developer made of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.
【0076】[0076]
【実施例】以下、本発明を実施例により更に具体的に説
明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実
施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限
り、「部」は質量基準である。本実施例中、有機溶剤可
溶性染料を単に「染料」と称する。EXAMPLES The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to the following examples as long as the gist thereof is not exceeded. In addition, "part" is based on mass unless otherwise specified. In this example, the organic solvent-soluble dye is simply referred to as "dye".
【0077】 (実施例1) 1)レジスト溶液の調製 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …19.20部 (PGMEA) ・エチルラクテート …36.67部 ・ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 …30.51部 (モル比:75/25)の36%PGMEA溶液 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …12.20部 ・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) … 0.0061部 ・フッ素系界面活性剤 … 0.83部 ・光重合開始剤TAZ−107(緑化学社製) … 0.586部 を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。[0077] (Example 1) 1) Preparation of resist solution ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 19.20 parts (PGMEA) ・ Ethyl lactate ... 36.67 parts ・ Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer ... 30.51 parts (Molar ratio: 75/25) 36% PGMEA solution ・ Dipentaerythritol hexaacrylate ... 12.20 parts ・ Polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) ... 0.0061 parts ・ Fluorosurfactant ... 0.83 parts Photoinitiator TAZ-107 (Midori Kagaku Co., Ltd.) ... 0.586 parts Were mixed and dissolved to prepare a resist solution.
【0078】2)下塗り層付ガラス基板の作成
ガラス基板(コーニング1737)を1%NaOH水で
超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/30
分)を行った。次いで、上記1)のレジスト溶液を、洗
浄後のガラス基板上に膜厚2μmになるようにスピンコ
ーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、
硬化膜(下塗り層)を形成した。
3)染料レジスト溶液の調整
前記1)で得られたレジスト溶液9.9部と、黄色染料
Valifast Yellow1108(日本化薬社
製)0.1部とを混合し溶解して、染料レジスト溶液
(染料含有ネガ型硬化性組成物)を得た。2) Preparation of Glass Substrate with Undercoat Layer A glass substrate (Corning 1737) was ultrasonically washed with 1% NaOH water, washed with water and dehydrated and baked (200 ° C./30).
Minutes). Then, the resist solution of the above 1) is applied onto a glass substrate after washing so as to have a film thickness of 2 μm by using a spin coater, and dried by heating at 220 ° C. for 1 hour,
A cured film (undercoat layer) was formed. 3) Preparation of dye resist solution 9.9 parts of the resist solution obtained in 1) above and 0.1 part of yellow dye Valifast Yellow 1108 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) were mixed and dissolved to obtain a dye resist solution (dye). To obtain a negative curable composition).
【0079】4)染料レジストの露光・現像(画像形成
工程)
前記3)で得られた染料レジスト溶液を、前記2)で得
られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が2
μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、12
0℃で120秒間プリベークした。次いで、露光装置を
使用して、塗布膜に365nmの波長光を20μmマス
クを通して25、50、100mJ/cm2の各露光量
で照射した。照射後、12.5%CD-2000(富士
フイルム・アーチ社製)現像液を使用して、26℃で2
0、40、60秒の各時間で現像した。次いで、流水で
20秒間リンスした後、スプレー乾燥して、黄色のパタ
ーン画像を得た。4) Exposure / Development of Dye Resist (Image Forming Step) The dye resist solution obtained in 3) above is applied onto the undercoat layer of the glass substrate with an undercoat layer obtained in 2) to give a film thickness of 2
Apply using a spin coater so that
Prebaked at 0 ° C. for 120 seconds. Then, using an exposure device, the coating film was irradiated with light having a wavelength of 365 nm through a 20 μm mask at each exposure dose of 25, 50, and 100 mJ / cm 2 . After irradiation, using a 12.5% CD-2000 (manufactured by FUJIFILM Arch Co.) developer, at 2 ° C. for 2 hours.
Development was performed for each time of 0, 40 and 60 seconds. Then, after rinsed with running water for 20 seconds, it was spray-dried to obtain a yellow pattern image.
【0080】パターン画像について、光学顕微鏡及びS
EM写真観察により通常の方法で確認した。更に、画像
の色度、透過スペクトル、及び吸光度は、色度計MCP
D−1000(大塚電子社製)で測定した。また、前記
3)の染料レジスト溶液で用いた黄色染料を異色の染料
に代え、二色目を塗布し、該塗布時の色素溶出及び混色
を、二色目の画像形成前後の吸光度変化で評価した。For the pattern image, an optical microscope and S
It was confirmed by an ordinary method by EM photograph observation. In addition, the chromaticity, transmission spectrum, and absorbance of the image can be measured by the colorimeter MCP.
It was measured with D-1000 (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). Further, the yellow dye used in the dye resist solution of 3) above was replaced with a different color dye, a second color was applied, and dye elution and color mixing during the application were evaluated by the change in absorbance before and after image formation of the second color.
【0081】黄色パターン画像の色素固着率(染料の溶
出抑制効果)を、照射後の塗膜をアセトンに5分間浸漬
する前と浸漬した後の吸光度変化で評価した。また、モ
ノマーの二重結合の残存率(1430〜1380cm-1
のピーク面積比)を、染料レジスト溶液をガラス基板上
に塗布、乾燥し、膜厚2μmの塗膜を形成し、次いで1
00mJ/cm2の各エネルギーで露光した後、フーリ
エ変換赤外分光光度計(堀場製作所社製)により測定し
た。上記のように測定、評価した結果を下記表1に示
す。The dye fixation ratio of the yellow pattern image (effect of suppressing dye elution) was evaluated by the change in absorbance before and after immersion of the coating film in acetone for 5 minutes. In addition, the residual rate of the double bond of the monomer (1430-1380 cm -1
(Peak area ratio) of the dye resist solution is applied on a glass substrate and dried to form a coating film having a film thickness of 2 μm.
After exposure with each energy of 00 mJ / cm 2 , it was measured with a Fourier transform infrared spectrophotometer (manufactured by Horiba Ltd.). The results measured and evaluated as described above are shown in Table 1 below.
【0082】(実施例2〜9)実施例1における3)染
料レジスト溶液の調製において、組成を下記表1に示す
ように代えたこと以外、実施例1と同様に行った。尚、
実施例8及び9における架橋剤には、2,2−ビス(ヒ
ドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ
−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物を用
い、現像後に230℃によるポストベークを行った(硬
化工程)。そして、実施例1と同様の測定、評価を行っ
た。その結果を実施例1と併せて下記表1に示す。(Examples 2 to 9) 3) In Example 1, the preparation of the dye resist solution was performed in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed as shown in Table 1 below. still,
As the cross-linking agent in Examples 8 and 9, 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol was used, and post development was carried out at 230 ° C. It was baked (curing step). Then, the same measurement and evaluation as in Example 1 were performed. The results are shown in Table 1 below together with Example 1.
【0083】[0083]
【表1】 [Table 1]
【0084】上記表1の結果から明白であるように、実
施例で用いた照射光の波長における染料の吸光度をA
d、光重合開始剤の吸光度をAiとした際の比Ad/A
iが10.0以下である染料/光重合開始剤の組合わせ
を採用することで、後架橋剤を含有することなく、二色
目塗布時の色素溶出及び色素固着率を非常に良化するこ
とができた。後述の比較例1と比較すると、重合性につ
いて著しい改良効果があることを示している。As is clear from the results shown in Table 1 above, the absorbance of the dye at the wavelength of the irradiation light used in the examples is represented by A
d, the ratio Ad / A when the absorbance of the photopolymerization initiator is Ai
By adopting a dye / photopolymerization initiator combination in which i is 10.0 or less, the dye elution and the dye fixing rate at the time of second color application can be significantly improved without containing a post-crosslinking agent. I was able to. It is shown that there is a significant improvement effect on the polymerizability as compared with Comparative Example 1 described later.
【0085】実施例5及び7については、他の実施例と
比較すると色素固着率は若干低い値を示した。これは、
たとえ光重合開始剤との吸光度比が10.0以下である
有機溶剤可溶性染料(本発明に係る染料)を使用した場
合でも、その使用濃度が高ければ、染料が本質的に持つ
光学的フィルター効果により照射光が吸収され、開始剤
ラジカルの発生が抑制されて重合が抑制されることを示
している。この場合は、実施例8及び9に示すように、
補足的対策として、例えば熱架橋剤(2,2−ビス(ヒ
ドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ
−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物)等
を併用することにより、更に硬化性を向上させることも
容易に可能である。In Examples 5 and 7, the dye fixation rate was slightly lower than that in the other Examples. this is,
Even when an organic solvent-soluble dye (dye according to the present invention) having an absorbance ratio with the photopolymerization initiator of 10.0 or less is used, if the concentration used is high, the optical filter effect essentially possessed by the dye is obtained. Shows that the irradiation light is absorbed, the generation of initiator radicals is suppressed, and the polymerization is suppressed. In this case, as shown in Examples 8 and 9,
As a supplementary measure, for example, a thermal cross-linking agent (1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol adduct) is used in combination to further cure. It is also possible to improve the property easily.
【0086】(実施例10〜19)実施例1〜9で用い
たガラス基板を、シリコンウエハー基板に代えたこと以
外、実施例1〜9と同様の操作を行ってパターン画像を
得た。画像形成性、染料の耐溶出性は実施例1〜9と同
様な結果が得られた。実施例10〜19においては、シ
リコンウエハー基板を用いている点で実施例1〜9と異
なるが、染料レジスト溶液は実施例1〜20を通して全
て下塗り層上に塗布されているため、実質的に違いが生
じることはなく、同じ諸性能が得られた。(Examples 10 to 19) Pattern images were obtained by performing the same operations as in Examples 1 to 9 except that the glass substrate used in Examples 1 to 9 was replaced with a silicon wafer substrate. The same results as in Examples 1 to 9 were obtained for the image forming property and the dye elution resistance. Examples 10 to 19 are different from Examples 1 to 9 in that a silicon wafer substrate is used, but since the dye resist solution is applied on the undercoat layer through Examples 1 to 20, it is substantially The same performance was obtained without any difference.
【0087】(実施例20)実施例6において、光重合
開始剤の量を3倍量に代えたこと以外、実施例6と同様
にパターン画像を形成した。その結果、二色目塗布時の
色素溶出は全くなく、色素固着率は97%の値が得ら
れ、後架橋剤を用いなくとも、非常に優れた結果が得ら
れた。また、実施例6と比較して光重合開始剤を3倍量
使用した本実施例との間にスペクトルの違いは全く見ら
れなかった。また、本実施例においてポストベーク前後
のスペクトル変化も全くなかった。以上の結果から、照
射光の波長における膜の吸光度の高いものほど光重合開
始剤の量を多くすれば、黄色着色による弊害を伴わず、
良好な画像形成性が得られることがわかる。また、従来
の染料を用いた時のように後架橋剤や煩雑な後架橋プロ
セスを用いなくとも良好な硬化性が得られ、実用上著し
い改良効果が認められた。Example 20 A pattern image was formed in the same manner as in Example 6 except that the amount of the photopolymerization initiator was changed to 3 times. As a result, the dye did not elute at the time of application of the second color, and the dye fixation ratio was 97%. Very excellent results were obtained without using the post-crosslinking agent. In addition, no difference in spectrum was observed between this example and the case where the photopolymerization initiator was used in an amount 3 times that of Example 6. Further, in this example, there was no spectrum change before and after post-baking. From the above results, if the amount of the photopolymerization initiator is increased as the absorbance of the film at the wavelength of the irradiation light is increased, the harmful effect due to yellow coloring is not involved,
It can be seen that good image formability is obtained. Further, good curability was obtained without using a post-crosslinking agent or a complicated post-crosslinking process as in the case of using a conventional dye, and a remarkable improvement effect was observed in practical use.
【0088】(実施例21)実施例20において、染料
をValifast Yellow1151に代えたこ
と以外、実施例20と同様にパターン画像を形成した。
その結果、二色目塗布時の色素溶出は全くなく、色素固
着率は97%の値が得られ、後架橋剤を用いなくとも、
非常に優れた結果が得られた。(Example 21) A pattern image was formed in the same manner as in Example 20, except that the dye was changed to Valifast Yellow 1151.
As a result, the dye did not elute at the time of application of the second color, and the dye fixation ratio of 97% was obtained.
Very good results have been obtained.
【0089】(実施例22)実施例20において、染料
をValifast red 3304に代えたこと以
外、実施例20と同様にパターン画像を形成した。その
結果、二色目塗布時の色素溶出は全くなく、色素固着率
は98%の値が得られ、後架橋剤を用いなくとも、非常
に優れた結果が得られた。Example 22 A pattern image was formed in the same manner as in Example 20, except that the dye was changed to Valifast red 3304. As a result, the dye did not elute at the time of application of the second color, and the dye fixation ratio of 98% was obtained. Very good results were obtained without using the post-crosslinking agent.
【0090】(実施例23)実施例20において、染料
をValifast blue 2620に代えたこと
以外、実施例20と同様にパターン画像を形成した。そ
の結果、二色目塗布時の色素溶出は全くなく、色素固着
率は97%の値が得られ、後架橋剤を用いなくとも、非
常に優れた結果が得られた。(Example 23) A pattern image was formed in the same manner as in Example 20, except that the dye was changed to Valifast blue 2620. As a result, the dye did not elute at the time of application of the second color, and the dye fixation ratio was 97%. Very excellent results were obtained without using the post-crosslinking agent.
【0091】(実施例24)実施例3において、光重合
開始剤を、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4
−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオ
ンに代えたこと以外、実施例3と同様にパターン画像を
形成した。その結果、実施例3と同様の結果が得られ、
後架橋剤を用いなくとも非常に優れた結果が得られるこ
とが判った。Example 24 In Example 3, the photopolymerization initiator was replaced with 2- (O-benzoyloxime) -1- [4
A pattern image was formed in the same manner as in Example 3 except that-(phenylthio) phenyl] -1,2-octanedione was used instead. As a result, the same results as in Example 3 were obtained,
It has been found that very good results are obtained without the use of post-crosslinking agents.
【0092】(実施例25)実施例3において、光重合
開始剤を、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モ
ルホリノブチロフェノンに代えたこと以外、実施例3と
同様にパターン画像を形成した。その結果、実施例3と
同様の結果が得られ、後架橋剤を用いなくとも非常に優
れた結果が得られることが判った。Example 25 A pattern image was formed in the same manner as in Example 3 except that 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone was used as the photopolymerization initiator. As a result, the same results as in Example 3 were obtained, and it was found that extremely excellent results were obtained without using a post-crosslinking agent.
【0093】(実施例26)実施例3において、バイン
ダーを、(メタクリル酸ベンジル)−(メタクリル酸)−
(メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル)共重合体〔モル
比=60:17:23〕に代えたこと以外、実施例3と
同様にパターン画像を形成した。その結果、実施例3と
同様の結果が得られ、後架橋剤を用いなくとも非常に優
れた結果が得られることが判った。(Example 26) In Example 3, the binder was (benzyl methacrylate)-(methacrylic acid)-
A pattern image was formed in the same manner as in Example 3 except that (2-hydroxyethyl methacrylate) copolymer [molar ratio = 60: 17: 23] was used. As a result, the same results as in Example 3 were obtained, and it was found that extremely excellent results were obtained without using a post-crosslinking agent.
【0094】(比較例1〜2)実施例1における3)染
料レジスト溶液の調製において、組成を各々前記表1に
示すように代えたこと以外、実施例1と同様にパターン
画像を形成した。また、実施例1と同様の測定、評価を
行い、その結果を表1に併せて示した。その結果、比較
例1では、色素溶出はなかったものの、比較的重合度が
低く色素固着率の点で劣っていた。また、照射光の波長
における染料の吸光度をAd、光重合開始剤の吸光度を
Aiとした際の比Ad/Aiが10.0以上である比較
例2では、系の重合率が0%となり、硬化した画像が全
く得られなかった。(Comparative Examples 1 and 2) 3) The pattern image was formed in the same manner as in Example 1 except that the composition was changed as shown in Table 1 in the preparation of the dye resist solution in Example 1. Further, the same measurement and evaluation as in Example 1 were performed, and the results are also shown in Table 1. As a result, in Comparative Example 1, although the dye did not elute, the degree of polymerization was relatively low and the dye fixation ratio was inferior. Further, in Comparative Example 2 in which the ratio Ad / Ai is 10.0 or more when the absorbance of the dye at the wavelength of the irradiation light is Ad and the absorbance of the photopolymerization initiator is Ai, the polymerization rate of the system is 0%, No cured image was obtained.
【0095】上記の表1に示す結果より、光重合開始剤
との吸光度比が10.0以下である有機溶剤可溶性染料
(本発明に係る染料)を使用することにより、(通常の
使用濃度では)架橋剤を使用しなくても高感度に十分な
重合性、硬化性が得られ(高解像度)、色素溶出がな
く、色素固着率の良好な染料含有ネガ型硬化性組成物が
得られ、また架橋剤が不要であるという製造プロセスの
簡便化において顕著な改良効果を発揮していることは明
らかである。したがって、形成画像は光透過性に優れ、
その熱/光劣化も防止することができる。From the results shown in Table 1 above, the use of an organic solvent-soluble dye (dye according to the present invention) having an absorbance ratio with the photopolymerization initiator of 10.0 or less (at normal working concentrations ) Even without using a crosslinking agent, sufficient polymerizability and curability can be obtained with high sensitivity (high resolution), dye elution does not occur, and a dye-containing negative curable composition having a good dye fixation rate can be obtained. Further, it is clear that a remarkable improvement effect is exhibited in the simplification of the manufacturing process that a crosslinking agent is unnecessary. Therefore, the formed image has excellent light transmittance,
The heat / light deterioration can also be prevented.
【0096】[0096]
【発明の効果】本発明によれば、高い重合性が得られる
こと等から、高感度、高透過率、広い現像ラチチュード
を有し、高解像度の画像が得られ、かつ染料の溶出、混
色、熱劣化及び光劣化がなく生産性の高い染料含有ネガ
型硬化性組成物、及び前記染料含有ネガ型硬化性組成物
を含み、高透過率、高解像力、広い現像ラチチュードを
有し、熱劣化及び光劣化がなく生産性の高いカラーフィ
ルタを提供することができる。また、本発明によれば、
高感度かつ十分に硬化でき、染料の溶出、熱劣化及び光
劣化を伴うことなく簡便でコストパフォーマンスの高い
(高効率に製造し得る生産性を備える)カラーフィルタ
の製造方法を提供することができる。EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, since high polymerizability is obtained, high sensitivity, high transmittance, wide development latitude, high resolution image can be obtained, and dye elution, color mixing, Dye-containing negative curable composition having high productivity without heat deterioration and photodegradation, and the dye-containing negative curable composition, having high transmittance, high resolution, wide development latitude, heat deterioration and It is possible to provide a color filter which is free from light deterioration and has high productivity. Further, according to the present invention,
It is possible to provide a method for producing a color filter which is highly sensitive and can be sufficiently cured, is simple and has high cost performance (provides productivity that can be produced with high efficiency), without being accompanied by elution of dye, heat deterioration and light deterioration. .
Claims (3)
剤によりラジカル重合反応を起こす染料含有ネガ型硬化
性組成物において、 ラジカル重合を開始させるための照射光の波長におけ
る、前記有機溶剤可溶性染料の吸光度Adと前記光重合
開始剤の吸光度Aiとの比Ad/Aiが、10.0以下
であることを特徴とする染料含有ネガ型硬化性組成物。1. A negative curable composition containing a dye, which contains an organic solvent-soluble dye and undergoes a radical polymerization reaction with a photopolymerization initiator, wherein the organic solvent-soluble dye is at a wavelength of irradiation light for initiating radical polymerization. The negative curable composition containing a dye, wherein the ratio Ad / Ai between the absorbance Ad of 1. and the absorbance Ai of the photopolymerization initiator is 10.0 or less.
組成物を含むことを特徴とするカラーフィルタ。2. A color filter comprising the negative curable composition containing a dye according to claim 1.
組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現
像してネガ型パターンを形成する工程を有することを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。3. A color comprising a step of applying the negative curable composition containing a dye according to claim 1 on a support, exposing through a mask, and developing to form a negative pattern. Filter manufacturing method.
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