JP4736992B2 - Color filter substrate manufacturing method, color filter substrate, and transflective liquid crystal display device - Google Patents

Color filter substrate manufacturing method, color filter substrate, and transflective liquid crystal display device Download PDF

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Description

本発明は、カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ基板及び半透過型液晶表示装置に関するものである。特に、液晶表示装置に内蔵された光源からの透過光によって画面表示することができると共に、太陽光や室内光等の外光を反射してこの反射光によって画面表示することもできる半透過型液晶表示装置に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a color filter substrate , a color filter substrate for a liquid crystal display device, and a transflective liquid crystal display device. In particular, a transflective liquid crystal that can display on the screen by transmitted light from a light source built in the liquid crystal display device, and can also reflect on external light such as sunlight or room light and display on the screen by this reflected light. The present invention relates to a display device.

カラー液晶表示装置は、一般に、図4に示すように、カラーフィルタ基板310とアレイ基板320との間に液晶181を封入して構成されるものである。カラーフィルタ基板310は、透明基板111を構造的支持体として構成され、その画面観察者側には偏光膜171が積層されている。また、その反対側(背面側)は多数の画素領域に区分され、画素領域と画素領域の境界に位置する画素間部位には遮光パターン121が設けられ、各遮光パターン121間に透明着色画素131R、131G、131Bが配置されている。透明着色画素131R、131G、131Bは、画素ごとに透過光を着色するもので、一般に、光の三原色に相当する赤色(R),緑色(G),青色(B)の三色が配列されている。なお、前記遮光パターン121は、これら各色に着色された透過光の混色を防止するものである。   In general, the color liquid crystal display device is configured by enclosing a liquid crystal 181 between a color filter substrate 310 and an array substrate 320 as shown in FIG. The color filter substrate 310 is configured with the transparent substrate 111 as a structural support, and a polarizing film 171 is laminated on the screen observer side. Further, the opposite side (back side) is divided into a large number of pixel regions, and a light shielding pattern 121 is provided at a portion between pixels located at the boundary between the pixel region and the transparent colored pixels 131R between the light shielding patterns 121. , 131G, 131B are arranged. The transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B are for coloring transmitted light for each pixel, and generally three colors of red (R), green (G), and blue (B) corresponding to the three primary colors of light are arranged. Yes. The light shielding pattern 121 prevents color mixing of transmitted light colored in these colors.

そして、カラーフィルタ基板310には、透明着色画素131R、131G、131Bの段差を埋めるためのオーバーコート層141を設けた後、透明電極151と、図示しない配向膜を設けてある。   The color filter substrate 310 is provided with an overcoat layer 141 for filling the steps of the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B, and then a transparent electrode 151 and an alignment film (not shown).

他方、アレイ基板320は、透明基板112の一方の面(液晶側)に電極161と図示しない配向膜が、他方の面に偏光膜171が設けられたものである。   On the other hand, the array substrate 320 is obtained by providing an electrode 161 and an alignment film (not shown) on one surface (liquid crystal side) of the transparent substrate 112 and a polarizing film 171 on the other surface.

そして、前記透明電極151と電極161との間で画素ごとに電圧を印加して光の透過・不透過を制御して、その透過光を表示光として画面表示する。   A voltage is applied between the transparent electrode 151 and the electrode 161 for each pixel to control the transmission / non-transmission of light, and the transmitted light is displayed on the screen as display light.

カラーフィルタ基板310の透明着色画素131R、131G、131Bの形成方法には種々の方法が知られているが、今日、もっとも一般的に用いられているのは、ネガ型感光性着色組成物を使用し、この感光性着色組成物をプロキシミティーアライナーによる近接露光方式で露光・現像して形成する方法である。
すなわち、遮光パターン121を形成した透明基板111に感光性着色組成物を塗布して着色感光層を形成し、近接露光装置にてパターン露光、現像等のパターニング処理を必要回数(ここでは3回)繰り返すことにより、透明基板111上の遮光パターン121間に透明着色画素131R、131G、131Bを形成する。
Various methods are known for forming the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B of the color filter substrate 310. Today, the most commonly used method is to use a negative photosensitive coloring composition. In this method, the photosensitive coloring composition is formed by exposure and development by a proximity exposure method using a proximity aligner.
That is, a photosensitive coloring composition is applied to the transparent substrate 111 on which the light shielding pattern 121 is formed to form a colored photosensitive layer, and patterning processing such as pattern exposure and development is performed with a proximity exposure apparatus as many times as necessary (here, three times). By repeating, the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B are formed between the light shielding patterns 121 on the transparent substrate 111.

また、液晶表示装置は、前記表示光としてアレイ基板320の背面に配置したバックライトなどの光源の光を利用する装置と、屋外光などの外光を反射させて表示光として利用する装置とに大別される。
前者は透過型液晶表示装置と呼ばれ、明るい画面表示が可能である反面、装置内部に光源を内蔵する必要があることから、その消費電力が大きい。
他方、後者は反射型液晶表示装置と呼ばれ、消費電力が少ない反面、外光の少ない屋内などにおいては明るい表示画面を得ることが困難である。
The liquid crystal display device includes a device that uses light of a light source such as a backlight disposed on the back surface of the array substrate 320 as the display light, and a device that reflects external light such as outdoor light and uses it as display light. Broadly divided.
The former is called a transmissive liquid crystal display device, which can display a bright screen, but requires a built-in light source inside the device, and consumes a large amount of power.
On the other hand, the latter is called a reflective liquid crystal display device, which consumes less power, but it is difficult to obtain a bright display screen indoors where there is little external light.

上記のことから、透過型液晶表示装置の利点と反射型液晶表示装置の利点とを生かして、屋内では内蔵光源の光を表示光として明るい画面表示を行うと共に、屋外では外光を利用して電力消費を防ぐ液晶表示装置が提案されており、このような装置は半透過型液晶表示装置と呼ばれている。
そして、このような半透過型液晶表示装置は、携帯電話やデジタルスチルカメラなどのモバイル機器の表示装置として既に実用化されている。
Based on the above, taking advantage of the transmissive liquid crystal display device and the reflective liquid crystal display device, a bright screen is displayed using the light from the built-in light source as the display light indoors, and outside light is used outdoors. A liquid crystal display device that prevents power consumption has been proposed, and such a device is called a transflective liquid crystal display device.
Such transflective liquid crystal display devices have already been put into practical use as display devices for mobile devices such as mobile phones and digital still cameras.

しかしながら、光源の光を表示光として使用する場合には、この表示光は透明着色画素131R、131G、131Bを1回透過するのに対し、外光を反射させて表示光として画面表示する場合、この表示光は透明着色画素131R、131G、131Bを往復2回透過する。このため、外光を反射させて表示光として画面表示する場合には、透明着色画素131R、131G、131Bによる光損失が多くなり、その分表示画面が暗くなる結果となる。   However, when the light from the light source is used as the display light, the display light is transmitted once through the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B, whereas the external light is reflected to display the screen as display light. This display light is transmitted twice through the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B. For this reason, when external light is reflected to display the screen as display light, light loss due to the transparent colored pixels 131R, 131G, and 131B increases, resulting in a darker display screen.

これを改善して、表示画面の明るさを確保する方法は種々知られているが、画素領域を反射部bと透過部aの2つの区域に分けて、反射光を表示光として画面表示する場合には反射部bを利用し、光源光を表示光として画面表示する場合には透過部aを利用するものが知られている。すなわち、反射部に選択的に反射膜を設けて、この部位に入射した外光を表示光として利用し、また、透過部aの背面から光源光を透過させて表示光として利用するのである。   Various methods for improving this and ensuring the brightness of the display screen are known. However, the pixel area is divided into two areas of the reflection part b and the transmission part a, and the reflected light is displayed on the screen as display light. In some cases, the reflection part b is used, and when the light source light is displayed on the screen as the display light, the transmission part a is used. That is, a reflection film is selectively provided on the reflection portion, and external light incident on this portion is used as display light, and light source light is transmitted from the back surface of the transmission portion a and used as display light.

そして、このような半透過型液晶表示装置のカラーフィルタ基板310の各透明着色画素領域は、図5に示すように、透過部aと反射部bとに分けられており、ここでは透明緑色画素131Gについて説明する。
透明緑色画素131Gの反射部bにはスルーホール131xが設けられており、このスルーホール131xには透明緑色画素131Gが存在しない。このため、スルーホール131xを透過する表示光には透明緑色画素131Gに基づく光損失がなく、明るい表示画面を構成することが可能となる。
このスルーホール131xは、着色感光層をパターン露光、現像等のパターニング処理にて透明着色画素を形成する際に同時に形成される。
Each transparent colored pixel region of the color filter substrate 310 of such a transflective liquid crystal display device is divided into a transmissive part a and a reflective part b as shown in FIG. 131G will be described.
A through hole 131x is provided in the reflection part b of the transparent green pixel 131G, and the transparent green pixel 131G does not exist in the through hole 131x. For this reason, there is no light loss based on the transparent green pixel 131G in the display light transmitted through the through hole 131x, and a bright display screen can be configured.
The through holes 131x are formed simultaneously with the formation of transparent colored pixels by patterning processing such as pattern exposure and development of the colored photosensitive layer.

ところで、上記モバイル機器の表示装置についても、その高精細化が求められ、着色画素領域に形成されるスルーホール131xの高精細化も必要となってきている。例えば2.4インチ型の携帯電話で従来の解像度がQVGA(320×240画素)であったものが、VGA(640×480画素)の解像度になった場合、各透明着色画素の画素幅が約75μmから約25μmにまで狭くなることになる。従って25μm幅の画素内に形成されるスルーホールもより小さいものが要求され、例えば、10μm径あるいはそれ以下のスルーホールとなる。   By the way, the display device of the mobile device is also required to have high definition, and it is also necessary to increase the definition of the through hole 131x formed in the colored pixel region. For example, when a 2.4 inch mobile phone has a conventional resolution of QVGA (320 × 240 pixels) but a resolution of VGA (640 × 480 pixels), the pixel width of each transparent colored pixel is about It will be narrowed from 75 μm to about 25 μm. Accordingly, a smaller through-hole formed in a pixel having a width of 25 μm is required, for example, a through-hole having a diameter of 10 μm or less.

しかしながら、このような微細なパターン形状を再現しようとすると、ネガ型着色感光層を用いた場合、パターン露光の際の回折現象のため、スルーホール径を正確に再現できないという問題が生じる。   However, when trying to reproduce such a fine pattern shape, when a negative colored photosensitive layer is used, there is a problem that the through hole diameter cannot be accurately reproduced due to a diffraction phenomenon at the time of pattern exposure.

一般に回折光の強度は透過光(0次回折光)の光強度より小さいから、この強度差を利用して前記スルーホール径を正確に制御する方法も考えられる。すなわち、ネガ型着色感光層に対する露光量の常用対数を横軸とし、現像後残膜率を縦軸として露光感度曲線をプロットすると、その露光感度曲線の立ち上がりの角度θの正接tanθが大きいほど、現像後の露光部と未露光部のコントラストが大きくなり、従って、その解像度が向上する方法が知られている(例えば、非特許文献1及び2参照)。
そして、この原理を利用して、必要最小限の露光量で露光すれば、ネガ型着色感光層は透過光(0次回折光)に感光し、他方、これより強度の弱い回折光には感光しない。そして、これを現像すれば、露光部と非露光部とで残膜率が異なる透明着色画素を形成することができ、したがって、微細な径のスルーホールを正確に形成することが可能になると考えられる。
石川ら:テック出版「最新高分子材料・技術総覧」、37(1988) 谷口ら:サイエンスフォーラム「有機エレクトロニクス材料」、15(1986)
Since the intensity of diffracted light is generally smaller than the intensity of transmitted light (0th order diffracted light), a method of accurately controlling the through-hole diameter using this intensity difference is also conceivable. That is, when the exposure sensitivity curve is plotted with the common logarithm of the exposure amount for the negative colored photosensitive layer as the horizontal axis and the post-development residual film ratio as the vertical axis, the larger the tangent tan θ of the rising angle θ of the exposure sensitivity curve, A method is known in which the contrast between an exposed area and a non-exposed area after development is increased, and thus the resolution is improved (see, for example, Non-Patent Documents 1 and 2).
If this principle is used and exposure is performed with the minimum necessary exposure amount, the negative colored photosensitive layer is sensitive to transmitted light (0th order diffracted light), while it is not sensitive to diffracted light having a lower intensity. . If this is developed, transparent colored pixels having different remaining film ratios can be formed in the exposed area and the non-exposed area, and therefore it is possible to accurately form a through hole having a fine diameter. It is done.
Ishikawa et al .: Tech Publishing, “Latest Polymer Materials and Technology Overview”, 37 (1988) Taniguchi et al .: Science Forum “Organic Electronics Materials”, 15 (1986)

しかしながら、本発明者の検討によれば、以上のようなtanθの制御だけでは、10μm径あるいはそれ以下の大きさのスルーホールを正確に形成することは困難であった。例えば、ネガ型着色感光層の感度が高く、従って必要最小限の露光量が小さい場合には、回折光にも感光し易くなり、このため、微細な径のスルーホールを正確に形成することは困難であった。   However, according to the study of the present inventor, it was difficult to accurately form a through hole having a diameter of 10 μm or less by only controlling tan θ as described above. For example, if the sensitivity of the negative colored photosensitive layer is high, and therefore the necessary minimum exposure amount is small, it becomes easy to be sensitive to diffracted light, and therefore it is not possible to accurately form a through hole with a fine diameter. It was difficult.

そこで、本発明は、径10μmあるいはそれ以下の微細なスルーホールを再現することのできる感光性着色組成物を用いたカラーフィルタ基板の製造方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for producing a color filter substrate using a photosensitive coloring composition capable of reproducing a fine through hole having a diameter of 10 μm or less.

また、併せて、本発明は、このカラーフィルタ基板の製造方法を使用して作製したカラーフィルタ基板と半透過型液晶表示装置とを提供することを目的とする。 In addition, another object of the present invention is to provide a color filter substrate and a transflective liquid crystal display device manufactured by using this method for manufacturing a color filter substrate.

請求項1に記載の発明は、光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、着色剤及び溶剤を含有して構成される感光性着色組成物を用い、塗布、乾燥、露光、現像する工程を経るカラーフィルタ基板の製造方法において、
前記感光性着色組成物の現像後残膜率が、横軸を露光量の常用対数、縦軸を現像後残膜率としてプロットした露光感度曲線において、この露光感度曲線の立ち上がりの角度をθとしたとき、このθの正接で定義されるγ(コントラスト)が1.33以上であり、かつ、前記感光性着色組成物の乾燥後膜厚2.0μmで1.25質量%の炭酸ナトリウム溶液によるシャワー現像条件での現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量で、現像後残膜率が0%であり、さらに前記感光性着色組成物がハイドロキノンからなる重合禁止剤を含有するとともに、透明基板上に前記感光性着色組成物を塗布、乾燥、露光、現像する工程を経て6μmから10μmの径を有するスルーホールを具備した透明着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法としたものである。
The invention according to claim 1 includes the steps of coating, drying, exposing and developing using a photosensitive coloring composition comprising a photopolymerizable monomer, a resin binder, a polymerization initiator, a colorant and a solvent. In the manufacturing method of the color filter substrate that passes,
In the exposure sensitivity curve in which the residual film ratio after development of the photosensitive coloring composition is plotted with the horizontal axis as the common logarithm of the exposure amount and the vertical axis as the residual film ratio after development, the rising angle of this exposure sensitivity curve is defined as θ. Γ (contrast) defined by the tangent of θ is 1.33 or more, and the photosensitive coloring composition has a thickness of 2.0 μm after drying and is 1.25% by mass with a sodium carbonate solution. an exposure amount of 23% or less after development residual film ratio minimum exposure amount becomes 85% or more in the shower development conditions, Ri 0% der developing after the residual film ratio, further said photosensitive coloring composition from hydroquinone And forming a transparent colored pixel having a through hole having a diameter of 6 μm to 10 μm through a process of coating, drying, exposing and developing the photosensitive coloring composition on a transparent substrate. With features That is obtained by the method for manufacturing a color filter substrate.

請求項1に記載の発明によれば、前記γが1.33以上であるため、透過光と回折光の強度差を残膜率に敏感に反映させることができ、しかも、現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量で、現像後残膜率が0%であるため、強度の弱い回折光による硬化が生じることがない。そして、このため、微細なスルーホールを有する透明着色画素を精度良く形成することが可能となる。
また、現像後残膜率が85%より低い場合には、露光、現像などのプロセス条件によって十分安定した塗膜が得られない。
According to the first aspect of the present invention, since γ is 1.33 or more, the difference in intensity between transmitted light and diffracted light can be reflected sensitively in the remaining film ratio, and the remaining film ratio after development. Since the residual film ratio after development is 0% at an exposure amount of 23% or less of the minimum exposure amount that is 85% or more, curing by diffracted light with low intensity does not occur. For this reason, it is possible to accurately form transparent colored pixels having fine through holes.
On the other hand, if the residual film ratio after development is lower than 85%, a sufficiently stable coating film cannot be obtained depending on the process conditions such as exposure and development.

なお、前記γが1.33以上及び現像後残膜率が0%となる露光量を制御するには、感光性着色組成物に適切な量の重合禁止剤を添加すれば良い。重合禁止剤としては、ハイドロキノン利用できる。 In order to control the exposure amount at which the γ is 1.33 or more and the post-development residual film ratio is 0%, an appropriate amount of a polymerization inhibitor may be added to the photosensitive coloring composition. Examples of the polymerization inhibitor, hydroquinone can be utilized.

また、請求項2に記載の発明は、このような事情からなされたもので、すなわち、ハイドロキノンを含有する重合禁止剤を含有する請求項1に記載の感光性着色組成物としたものである。 Further, the invention according to claim 2, which has been made from such circumstances, i.e., in which the photosensitive coloring composition according to claim 1 containing a polymerization inhibitor you containing hydroquinone .

た、請求項に記載の発明は、前記感光性着色組成物が、オキシムエステル系重合開始剤を含有する感光性着色組成物である請求項記載のカラーフィルタ基板の製造方法としたものである。 Also, an invention according to claim 2, which the photosensitive coloring composition, was a method of manufacturing the color filter substrate of claim 1 wherein the photosensitive coloring composition containing an oxime ester-based polymerization initiator It is.

また、請求項に記載の発明は、透明基板上に、少なくともブラックマトリクス、複数の透明着色画素と、オーバーコート層と、透明電極とを備えるカラーフィルタ基板であって、前記透明着色画素は、透過部と反射部とに区分されており、透過部は液晶表示装置の背面側に配置された光源からの透過光を着色する領域であり、他方、反射部は観察者側から入射する外光を反射してこの反射光を着色する領域であり、前記反射部にはスルーホールが設けられており、前記透明着色画素が請求項1または2に記載の感光性着色組成物を用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタ基板としたものである。 The invention according to claim 3 is a color filter substrate comprising at least a black matrix, a plurality of transparent colored pixels, an overcoat layer, and a transparent electrode on a transparent substrate, wherein the transparent colored pixels are: The transmission part is divided into a transmission part and a reflection part. The transmission part is an area for coloring the transmitted light from the light source arranged on the back side of the liquid crystal display device, while the reflection part is external light incident from the observer side. The through-hole is provided in the reflection part, and the transparent coloring pixel is produced using the photosensitive coloring composition according to claim 1 or 2. The color filter substrate is characterized by the above.

また、請求項に記載の発明は、請求項に記載のカラーフィルタ基板を用いて作製したことを特徴とする半透過型液晶表示装置としたものである。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a transflective liquid crystal display device produced using the color filter substrate according to the third aspect.

本発明によれば、透過光と回折光の強度差を残膜率に敏感に反映させることができ、しかも、強度の弱い回折光による硬化が生じることがないから、微細なスルーホールを有する透明着色画素を精度良く形成することが可能となる。それにより、高解像度・高精細な半透過型液晶表示装置を製造できるという効果を発揮する。   According to the present invention, the difference in intensity between transmitted light and diffracted light can be reflected sensitively in the residual film ratio, and further, there is no hardening caused by diffracted light having low intensity, so transparent with fine through-holes can be obtained. Colored pixels can be formed with high accuracy. As a result, it is possible to produce a high-resolution, high-definition transflective liquid crystal display device.

以下、本発明の実施の形態につき説明する。
本発明に係る感光性着色組成物は、その必須成分として、光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、着色剤及び溶剤を含有するものである。この他、重合禁止剤を含有することが望ましい。また、分散剤、光増感剤、連鎖移動剤などの添加剤を含有するものであっても良い。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
The photosensitive coloring composition which concerns on this invention contains a photopolymerizable monomer, a resin binder, a polymerization initiator, a coloring agent, and a solvent as the essential component. In addition, it is desirable to contain a polymerization inhibitor. Moreover, you may contain additives, such as a dispersing agent, a photosensitizer, and a chain transfer agent.

また、本発明に係る感光性着色組成物は、横軸を露光量の常用対数、縦軸を現像後残膜率としてプロットした露光感度曲線において、この露光感度曲線の立ち上がりの角度をθとしたとき、このθの正接で定義されるγ(コントラスト)が1.33以上である必要がある。この露光感度曲線は、感光性着色組成物を基材に塗布して得られる着色感光層に紫外線を照射して露光し、現像液で現像して、その露光量と現像後残膜率とをプロットすることで、容易に実験的に求めることができる。
また、本発明に係る感光性着色組成物は、現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量で、現像後残膜率0%である必要がある。これら現像後残膜率は、前記露光感度曲線と同時に求めることが可能である。
Further, in the photosensitive coloring composition according to the present invention, in the exposure sensitivity curve in which the horizontal axis represents the common logarithm of the exposure amount and the vertical axis represents the residual film ratio after development, the rising angle of this exposure sensitivity curve is defined as θ. In this case, γ (contrast) defined by the tangent of θ needs to be 1.33 or more. This exposure sensitivity curve is obtained by irradiating a colored photosensitive layer obtained by coating a photosensitive coloring composition on a substrate with ultraviolet rays for exposure, developing with a developer, and determining the amount of exposure and the remaining film ratio after development. By plotting, it can be easily determined experimentally.
In addition, the photosensitive coloring composition according to the present invention needs to have a post-development residual film ratio of 0% at an exposure amount of 23% or less of the minimum exposure amount at which the post-development residual film ratio becomes 85% or more. These post-development residual film ratios can be obtained simultaneously with the exposure sensitivity curve.

なお、ハイドロキノンら成る重合禁止剤を添加することによって、前記γ(コントラスト)が1.33以上で、現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量で、現像後残膜率が0%となる露光量を制御することが可能となる。 Incidentally, by adding hydroquinone or it made a polymerization inhibitor, in the gamma (contrast) 1.33 or more, with an exposure amount of 23% or less of the minimum exposure amount is post-development film remaining ratio becomes 85% or more, It is possible to control the exposure amount at which the post-development remaining film ratio becomes 0%.

次に、本発明に係る感光性着色組成物を構成する各成分について説明する。
(光重合性モノマー)
光重合性モノマーは、露光光線の照射によって重合し、感光性着色組成物を用いて作製した着色感光層を現像液不溶性に変化させるものである。一般には、ラジカルにより重合が誘起されるモノマーである。
Next, each component which comprises the photosensitive coloring composition which concerns on this invention is demonstrated.
(Photopolymerizable monomer)
A photopolymerizable monomer is polymerized by irradiation with exposure light, and changes a colored photosensitive layer produced using the photosensitive coloring composition to be insoluble in a developer. Generally, it is a monomer whose polymerization is induced by radicals.

このような光重合性モノマーとしては、水酸基を有する(メタ)アクリレートと多官能イソシアネートを反応させて得られる多官能ウレタンアクリレートを用いることができる。   As such a photopolymerizable monomer, a polyfunctional urethane acrylate obtained by reacting a (meth) acrylate having a hydroxyl group with a polyfunctional isocyanate can be used.

水酸基を有する(メタ)アクリレートとしては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ
)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールエチレンオキサイド変性ペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールプロピレンオキサイド変性ペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールカプロカラクトン変性ペンタ(メタ)アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジメタクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイルプロピルメタクリレート、エポキシ基含有化合物とカルボキシ(メタ)アクリレートの反応物、水酸基含有ポリオールポリアクリレート等が挙げられる。
Examples of the (meth) acrylate having a hydroxyl group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 4-hydroxybutyl (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tri ( (Meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol ethylene oxide modified penta (meth) acrylate, dipentaerythritol propylene oxide modified penta (meth) acrylate, dipentaerythritol caprocalactone modified penta (meth) acrylate, Glycerol acrylate methacrylate, glycerol dimethacrylate, 2-hydroxy-3-acryloylpropyl methacrylate, epoxy Shi group-containing compound and the carboxy (meth) reaction product of acrylate, hydroxyl group-containing polyol polyacrylate, and the like.

また、多官能イソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ポリイソシアネート等が挙げられる。   Examples of the polyfunctional isocyanate include tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, and polyisocyanate.

なお、本発明の感光性着色組成物を用いて形成した着色感光層のタック性、現像性及び感光性着色組成物の安定性の観点から、光重合性モノマーの含有量は、感光性着色組成物の総量100重量%に対して20重量%以下であることが好ましい。また、露光感度、パターンの解像性及び耐溶剤性の観点から、1重量%以上であることが好ましい。   From the viewpoint of tackiness, developability of the colored photosensitive layer formed using the photosensitive coloring composition of the present invention, and stability of the photosensitive coloring composition, the content of the photopolymerizable monomer is determined by the photosensitive coloring composition. It is preferable that it is 20 weight% or less with respect to 100 weight% of the total amount of a thing. Further, it is preferably 1% by weight or more from the viewpoint of exposure sensitivity, pattern resolution and solvent resistance.

(樹脂バインダー)
樹脂バインダーは、感光性着色組成物を用いて形成した着色感光層を透明基板に固定すると共に、現像の際に現像液に溶解するものである。感光性のない樹脂であっても良いし、感光性を有する樹脂であっても良い。
(Resin binder)
The resin binder fixes the colored photosensitive layer formed using the photosensitive coloring composition to the transparent substrate and dissolves in the developer during development. A resin having no photosensitivity may be used, or a resin having photosensitivity may be used.

現在、現像液としては、環境に対する影響の少ないアルカリ現像液が多く使用されている。このため、樹脂バインダーとしてアルカリ可溶型の樹脂を使用することが望ましい。例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性官能基を有する非感光性樹脂である。
このような非感光性樹脂としては、アクリル樹脂、α−オレフィン−(無水)マレイン酸共重体、スチレン−(無水)マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、イソブチレン−(無水)マレイン酸共重合体等が挙げられる。好ましくは、アクリル樹脂、α−オレフィン−(無水)マレイン酸共重合体、スチレン−スチレンスルホン酸共重合体である。これらの中でも特に、アクリル樹脂は耐熱性、透明性が高いことから、好適に用いられる。また、重量平均分子量が1000〜50万、好ましくは5000〜10万の樹脂が好ましく使用できる。
At present, as the developer, an alkaline developer having a small influence on the environment is often used. For this reason, it is desirable to use an alkali-soluble resin as the resin binder. For example, it is a non-photosensitive resin having an acidic functional group such as a carboxyl group or a sulfone group.
Examples of such non-photosensitive resins include acrylic resins, α-olefin- (anhydrous) maleic acid copolymers, styrene- (anhydrous) maleic acid copolymers, styrene-styrene sulfonic acid copolymers, and ethylene- (meth). An acrylic acid copolymer, an isobutylene- (anhydrous) maleic acid copolymer, etc. are mentioned. An acrylic resin, an α-olefin- (anhydrous) maleic acid copolymer, and a styrene-styrene sulfonic acid copolymer are preferable. Among these, acrylic resins are preferably used because of their high heat resistance and transparency. A resin having a weight average molecular weight of 1,000 to 500,000, preferably 5,000 to 100,000 can be preferably used.

また、感光性樹脂としては、反応性官能基を有する線状高分子に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する(メタ)アクリル化合物、ケイヒ酸等を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙げられる。また、反応性官能基を有する(メタ)アクリル化合物、ケイヒ酸等に、この反応性官能基と反応可能な置換基を有する線状高分子を反応させて、エチレン不飽和二重結合を該線状高分子に導入した樹脂が挙げられる。前記反応性官能基としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等が例示でき、この反応性官能基と反応可能な置換基としては、イソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等が例示できる。   In addition, as a photosensitive resin, a linear polymer having a reactive functional group is reacted with a (meth) acrylic compound having a substituent capable of reacting with the reactive functional group, cinnamic acid, etc. Examples thereof include a resin in which a double bond is introduced into the linear polymer. In addition, a linear polymer having a substituent capable of reacting with the reactive functional group is reacted with a (meth) acrylic compound having a reactive functional group, cinnamic acid, or the like, to thereby form an ethylenically unsaturated double bond. Resin introduced into the polymer. Examples of the reactive functional group include a hydroxyl group, a carboxyl group, and an amino group, and examples of the substituent capable of reacting with the reactive functional group include an isocyanate group, an aldehyde group, and an epoxy group.

また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子を、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の水酸基を有する(メタ)アクリル化合物によりハーフエステル化したものも、感光性樹脂として使用できる。   In addition, a linear polymer containing an acid anhydride such as a styrene-maleic anhydride copolymer or an α-olefin-maleic anhydride copolymer is a (meth) acrylic compound having a hydroxyl group such as hydroxyalkyl (meth) acrylate. Those half-esterified with can be used as the photosensitive resin.

これら感光性樹脂は、重量平均分子量が5000〜10万のものが好適である。   These photosensitive resins preferably have a weight average molecular weight of 5,000 to 100,000.

(着色剤)
着色剤は、透明着色画素を着色して、液晶表示装置の表示光を着色するものである。
顔料や染料を利用することができるが、耐久性に優れている点で、顔料を使用することが望ましい。顔料としては、有機顔料と無機顔料のいずれであっても良いが、有機顔料が好ましく使用できる。また、その配合量は特に限定されるものではないが、感光性着色組成物の総量100重量%に対して、1〜20質量%程度であることが好ましい。
(Coloring agent)
The colorant colors the transparent colored pixels and colors display light of the liquid crystal display device.
Although pigments and dyes can be used, it is desirable to use pigments because of their excellent durability. The pigment may be either an organic pigment or an inorganic pigment, but an organic pigment can be preferably used. Moreover, although the compounding quantity is not specifically limited, It is preferable that it is about 1-20 mass% with respect to 100 weight% of total amounts of the photosensitive coloring composition.

なお、着色剤の色彩は任意であって良いが、透明着色画素の色彩が青色である場合、本発明の利点を十分に生かすことができる。例えば、Blue又はVioletの顔料をメインとし、Red、Orange、Green、Yellowは補色として含む顔料である。   In addition, although the color of a colorant may be arbitrary, when the color of a transparent coloring pixel is blue, the advantage of this invention can fully be utilized. For example, the main pigments are Blue or Violet pigments, and Red, Orange, Green, and Yellow are complementary colors.

次に、着色層用の有機顔料の具体例をカラーインデックス(C.I.)ナンバーで示す。
・Pigment Blue: <C.I>1,1:2,1:x,9:x,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:5,15:6,16,22,24,24:x,56,60,61,62,80
・Pigment Violet: <C.I>1,1:x,3,3:3,3:x,5:1,19,23,27,29,30,32,37,40,42,50
・Pigment Green: <C.I>1,1:x,2,2:x,4,7,10,36,37
・Pigment Orange: <C.I>2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,55,59,60,61,62,64,71,73
・Pigment Red:<C.I>1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:3,81:x,83,88,90,97,112,119,122,123,144,146,149,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,180,184,185,187,188,190,192,200,202,206,207,208,209,210,215,216,217,220,223,224,226,227,228,240,246,254,255,264,272,279
・Pigment Yellow: <C.I>1,2,3,4,5,6,10,12,13,14,15,16,17,18,20,24,31,32,34,35,35:1,36,36:1,37,37:1,40,42,43,53,55,60,61,62,63,65,73,74,77,81,83,86,93,94,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,115,116,117,118,119,120,123,125,126,127,128,129,137,138,139,144,146,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,176,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214
また、上記有機顔料と組み合わせて、彩度と明度のバランスを取りつつ良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、無機顔料を組み合わせて用いることも可能である。無機顔料としては、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉等が挙げられる。さらに、調色のため、耐熱性を低下させない範囲内で染料を添加することもできる。
Next, specific examples of organic pigments for the colored layer are shown by color index (CI) numbers.
Pigment Blue: <C. I> 1, 1: 2, 1: x, 9: x, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 5, 15: 6, 16, 22, 24, 24: x, 56, 60, 61, 62, 80
Pigment Violet: <C. I> 1, 1: x, 3, 3: 3, 3: x, 5: 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 42, 50
Pigment Green: <C. I> 1,1: x, 2,2: x, 4,7,10,36,37
Pigment Orange: <C. I> 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73
Pigment Red: <C. I> 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 3, 81: x, 83, 88, 90, 97, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 180, 184, 185 187,188,190,192,200,202,206,207,208,209,210,215,216,217,220,223,224,226,227,228,240,246,254,255,264 272, 279
Pigment Yellow: <C. I> 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 144, 146,147,148,150,151,152,153,154,155,156,161,162,164,166,167,168,169,170,171,172,173,174,175,1 6,177,179,180,181,182,185,187,188,193,194,199,213,214
In combination with the organic pigment, an inorganic pigment may be used in combination in order to ensure good coatability, sensitivity, developability and the like while balancing saturation and lightness. Inorganic pigments include yellow lead, zinc yellow, red pepper (red iron oxide (III)), cadmium red, ultramarine, bitumen, chromium oxide green, cobalt green, and other metal oxide powders, metal sulfide powders, metal powders, etc. Can be mentioned. Furthermore, for color matching, it is also possible to add a dye within a range that does not lower the heat resistance.

(分散剤)
着色剤として顔料を使用する場合には、この顔料を分散させるための分散剤を含有させることが望ましい。分散剤としては、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中間体、ソルスパース等が使用される。分散剤の添加量は特に限定されるものではないが、顔料の配合量100重量%に対して、1〜10重量%とすることが好ましい。
(Dispersant)
When a pigment is used as the colorant, it is desirable to contain a dispersant for dispersing the pigment. As the dispersant, a surfactant, an intermediate of pigment, an intermediate of dye, Solsperse, or the like is used. Although the addition amount of a dispersing agent is not specifically limited, It is preferable to set it as 1 to 10 weight% with respect to 100 weight% of compounding quantities of a pigment.

(重合開始剤)
請求項3に係る発明では、感光性着色組成物に、オキシムエステル系重合開始剤を含有していることを特徴とする。
重合開始剤としてはオキシムエステル系重合開始剤が好適に使用できる。例えば、1,2−オクタンジオン,1−〔4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)〕、O−(アセチル)−N−(1−フェニル−2−オキソ−2−(4’−メトキシ−ナフチル)エチリデン)ヒドロキシルアミンである。
(Polymerization initiator)
The invention according to claim 3 is characterized in that the photosensitive coloring composition contains an oxime ester polymerization initiator.
As the polymerization initiator, an oxime ester polymerization initiator can be preferably used. For example, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], O- (acetyl) -N- (1-phenyl-2-oxo-2- (4 '-Methoxy-naphthyl) ethylidene) hydroxylamine.

また、このオキシムエステル系重合開始剤に加えて、他の重合開始剤を併用することもできる。このような重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサンソン系化合物、トリアジン系化合物、ホスフィン系化合物、キノン系化合物、ボレート系化合物、カルバゾール系化合物、イミダゾール系化合物、チタノセン系化合物等が挙げられる。   In addition to the oxime ester polymerization initiator, other polymerization initiators can be used in combination. Examples of such polymerization initiators include acetophenone compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, thioxanthone compounds, triazine compounds, phosphine compounds, quinone compounds, borate compounds, carbazole compounds, and imidazole compounds. And titanocene compounds.

アセトフェノン系化合物としては、4−フェノキシジクロロアセトフェノン、4−t−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン等が例示できる。   Examples of acetophenone compounds include 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, and 1-hydroxy. Examples thereof include cyclohexyl phenyl ketone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one.

また、ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール等が例示できる。   Examples of benzoin compounds include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzyl dimethyl ketal.

ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルサルファイド等が例示できる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, and the like.

チオキサンソン系化合物としては、チオキサンソン、2−クロルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、2,4−ジイソプロピルチオキサンソン等が例示できる。   Examples of the thioxanthone compound include thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone and the like.

トリアジン系化合物としては、2,4,6−トリクロロ−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ピペニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−スチリルs−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−トリクロロメチル−(ピペロニル)−6−トリアジン、2,4−トリクロロメチル(4’−メトキシスチリル)−6−トリアジン等が例示できる。   Examples of triazine compounds include 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, and 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis. (Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-pienyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2 , 4-Bis (trichloromethyl) -6-styryl s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1) -Yl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-trichloromethyl- (piperonyl) -6-triazine, 2,4-trichloromethyl (4'-me Kishisuchiriru) -6-triazine and the like.

ホスフィン系化合物としては、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルホスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等が例示できる。   Examples of the phosphine compound include bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide and 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide.

また、キノン系化合物としては、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等が例示できる。   Examples of the quinone compound include 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone.

重合開始剤の使用量は、感光性着色組成物の全固形分量を基準として0.5〜50重量%が好ましく、より好ましくは3〜30重量%である。
(光増感剤)
本発明に係る感光性着色組成物には、重合開始剤に加えて光増感剤を添加することが好ましい。
光増感剤としては、アミン系化合物を例示することができる。例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミノ)ベンゾフェノン等である。
The amount of the polymerization initiator used is preferably 0.5 to 50% by weight, more preferably 3 to 30% by weight, based on the total solid content of the photosensitive coloring composition.
(Photosensitizer)
In addition to the polymerization initiator, it is preferable to add a photosensitizer to the photosensitive coloring composition according to the present invention.
An example of the photosensitizer is an amine compound. For example, triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, 4-dimethylaminobenzoate 2-ethylhexyl acid, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, etc. is there.

また、α−アシロキシムエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、4,4’−ジエチルイソフタロフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン等を増感剤として使用することもできる。   Α-acyloxime ester, acylphosphine oxide, methylphenylglyoxylate, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, ethylanthraquinone, 4,4′-diethylisophthalophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone or the like can also be used as a sensitizer.

これら増感剤の使用量は、光重合開始剤と増感剤の合計量を基準として0.5〜60重量%が好ましく、より好ましくは3〜40重量%である。   The amount of these sensitizers used is preferably 0.5 to 60% by weight, more preferably 3 to 40% by weight, based on the total amount of photopolymerization initiator and sensitizer.

(重合禁止剤)
請求項2に係る発明では、感光性着色組成物に、下記化学式(1)で表される重合禁止剤を含有していることを特徴としている。化学式(1)で表される重合禁止剤を添加することにより、前記γ(コントラスト)と現像後残膜率とを露光量との関係で制御できるようになり、その添加は重要である。
(Polymerization inhibitor)
The invention according to claim 2 is characterized in that the photosensitive coloring composition contains a polymerization inhibitor represented by the following chemical formula (1). By adding the polymerization inhibitor represented by the chemical formula (1), the γ (contrast) and the residual film ratio after development can be controlled in relation to the exposure amount, and the addition is important.

重合禁止剤としてはハイドロキノである。 Examples of the polymerization inhibitor is Haidorokino down.

また、これに加えて、ピロガロール、tert−ブチルカテコール、塩化第一銅、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール等を併用することもできる。   In addition to this, pyrogallol, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, and the like can be used in combination.

重合禁止剤の使用量としては、感光性着色組成物の全固形分量を基準として0.001〜0.050重量%が好ましい。0.001重量%以下では重合禁止剤の添加効果が不十分であり、0.050重量%を越えると感度の低下が生じ、逆効果である。   The amount of the polymerization inhibitor used is preferably 0.001 to 0.050% by weight based on the total solid content of the photosensitive coloring composition. If it is 0.001% by weight or less, the effect of adding a polymerization inhibitor is insufficient, and if it exceeds 0.050% by weight, the sensitivity is lowered, which is an adverse effect.

(連鎖移動剤)
また、本発明に係る感光性着色組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、チオール基を2個以上有する化合物であればよく、例えば、ヘキサンジチオール、デカンジチオール、1,4−ブタンジオールビスチオプロピオネート、1,4−ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリ
コールビスチオグリコレート、エチレングリコールビスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリスチオプロピオネート、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキスチオグリコレート、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、トリメルカプトプロピオン酸トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、1,4−ジメチルメルカプトベンゼン、2、4、6−トリメルカプト−s−トリアジン、2−(N,N−ジブチルアミノ)−4,6−ジメルカプト−s−トリアジン等が挙げられる。
(Chain transfer agent)
Moreover, the photosensitive coloring composition which concerns on this invention can be made to contain the polyfunctional thiol which acts as a chain transfer agent. The polyfunctional thiol may be a compound having two or more thiol groups. For example, hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-butanediol bisthiopropionate, 1,4-butanediol bisthioglycolate, ethylene Glycol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane tristhioglycolate, trimethylolpropane tristhiopropionate, trimethylolpropane tris (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakisthioglycolate, Pentaerythritol tetrakisthiopropionate, trimercaptopropionic acid tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate, 1,4-dimethylmercaptobenzene, 2,4,6-trimercap -s- triazine, 2- (N, N- dibutylamino) -4,6-dimercapto -s- triazine.

多官能チオールの使用量は、着色組成物の全固形分量を基準として0.1〜30重量%が好ましく、より好ましくは1〜20重量%である。0.1重量%未満では多官能チオールの添加効果が不充分であり、30重量%を越えると感度が高すぎて逆に解像度が低下する。   The amount of the polyfunctional thiol used is preferably 0.1 to 30% by weight, more preferably 1 to 20% by weight, based on the total solid content of the colored composition. If it is less than 0.1% by weight, the effect of adding a polyfunctional thiol is insufficient, and if it exceeds 30% by weight, the sensitivity is too high and the resolution is lowered.

(溶剤)
溶剤は、感光性着色組成物の粘度を適正化すると共に、着色剤を均一に分散させる機能を有するものである。溶剤としては、水、有機溶剤等が利用できる。有機溶剤としては、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−nアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられる。
(solvent)
The solvent has a function of optimizing the viscosity of the photosensitive coloring composition and uniformly dispersing the colorant. As the solvent, water, an organic solvent, or the like can be used. As organic solvents, cyclohexanone, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, 1-methoxy-2-propyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylbenzene, ethylene glycol diethyl ether, xylene, ethyl cellosolve, methyl-n amyl ketone, propylene Examples include glycol monomethyl ether toluene, methyl ethyl ketone, ethyl acetate, methanol, ethanol, isopropyl alcohol, butanol, isobutyl ketone, and petroleum solvents.

次に、本発明の感光性着色組成物の調製方法について説明する。
本発明の感光性着色組成物は、公知の方法により調製することができる。例えば、光重合性モノマー、樹脂バインダー、顔料、分散剤及び溶剤とからなる本発明の感光性青色着組成物は以下の(1)〜(4)のいずれかの方法により調製することができる。
Next, the preparation method of the photosensitive coloring composition of this invention is demonstrated.
The photosensitive coloring composition of the present invention can be prepared by a known method. For example, the photosensitive blue color composition of the present invention comprising a photopolymerizable monomer, a resin binder, a pigment, a dispersant and a solvent can be prepared by any of the following methods (1) to (4).

(1):光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を予め混合して調製した顔料組成物を添加して分散させ、残りの成分を添加する。   (1): A pigment composition prepared by mixing a pigment and a dispersant in advance is added to a solution obtained by dissolving a photopolymerizable monomer and / or resin binder in a solvent, and dispersed, and the remaining components are added. .

(2):光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料と分散剤を別々に添加して分散させた後、残りの成分を添加する。   (2): A pigment and a dispersant are separately added and dispersed in a solution in which a photopolymerizable monomer and / or resin binder or both are dissolved in a solvent, and then the remaining components are added.

(3):光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液に、顔料を分散させた後、顔料分散剤を添加した後、残りの成分を添加する。   (3): After the pigment is dispersed in a solution in which the photopolymerizable monomer and / or resin binder or both are dissolved in a solvent, the pigment dispersant is added, and then the remaining components are added.

(4):光重合性モノマー又は樹脂バインダー、あるいはその両者を溶剤に溶解した溶液を2種類調製し、顔料と分散剤を予め別々に分散させてから、これらを混合し、残りの成分を添加する。なお、顔料と分散剤のうち一方は溶剤にのみ分散させても良い。   (4): Prepare two types of solutions in which a photopolymerizable monomer or resin binder or both are dissolved in a solvent, disperse the pigment and dispersant separately in advance, then mix them and add the remaining components To do. One of the pigment and the dispersant may be dispersed only in the solvent.

ここで、顔料や分散剤の分散は、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、ディゾルバー、ハイスピードミキサー、ホモミキサー、アトライター等の各種分散装置を用いて行うことができる。   Here, the pigment and the dispersant can be dispersed using various dispersing devices such as a three-roll mill, a two-roll mill, a sand mill, a kneader, a dissolver, a high speed mixer, a homomixer, and an attritor.

また、顔料と分散剤を予め混合して顔料組成物を調製する場合、粉末の顔料と粉末の分散剤を単に混合するだけでも良いが、(a)ニーダー、ロール、アトライター、スーパーミル等の各種粉砕機により機械的に混合するか、(b)顔料を溶剤に分散させた後、分散
剤を含む溶液を添加し、顔料表面に分散剤を吸着させるか、(c)硫酸等の強い溶解力を持つ溶媒に顔料と分散剤を共溶解した後、水等の貧溶媒を用いて共沈させるなどの混合方法を採用することが好ましい。
In addition, when preparing a pigment composition by previously mixing a pigment and a dispersant, the powder pigment and the powder dispersant may be simply mixed, but (a) a kneader, a roll, an attritor, a super mill, etc. Mix mechanically with various pulverizers, or (b) Disperse the pigment in the solvent, then add a solution containing the dispersant to adsorb the dispersant on the pigment surface, or (c) Strongly dissolve sulfuric acid, etc. It is preferable to employ a mixing method in which the pigment and the dispersant are co-dissolved in a powerful solvent and then co-precipitated using a poor solvent such as water.

請求項に係る発明は、透明基板上に、少なくともブラックマトリクス、上記感光性着色組成物を用いて作製された複数の透明着色画素と、オーバーコート層と、透明電極とを備えるカラーフィルタ基板であって、前記透明着色画素は透過部と反射部に区分されており、反射部にはスルーホールが形成されている。 The invention according to claim 3 is a color filter substrate comprising, on a transparent substrate, at least a black matrix, a plurality of transparent colored pixels produced using the photosensitive coloring composition, an overcoat layer, and a transparent electrode. The transparent colored pixel is divided into a transmissive part and a reflective part, and a through hole is formed in the reflective part.

以下本発明のカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。
図1は、本発明のカラーフィルタ基板の一実施例を示す模式構成図である。図2は本発明の半透過型液晶装置の一実施例を示す模式構成図である。
図3(a)〜(f)は、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法の一例を工程順に示す模式断面図である。
まず、透明基板11上に感光性樹脂に黒色顔料(例えば、カーボンブラック)を分散した感光性黒色組成物をロールコート法等にて塗布し、黒色感光層を形成し、パターン露光、現像等のパターニング処理を行なって、透明基板11の所定位置にブラックマトリクス21を形成する(図3(a)参照)。
ここで、透明基板11としては、ガラス基板が好適に利用でき、ポリカーボネート、ポリメタクリル酸メチル、ポリエチレンフタレート等の樹脂基板を使用することもできる。
ブラックマトリクス21はクロム等の金属薄膜パターンであっても良い。
The method for producing the color filter substrate of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a color filter substrate of the present invention. FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of the transflective liquid crystal device of the present invention.
3A to 3F are schematic cross-sectional views illustrating an example of a method for manufacturing a color filter substrate of the present invention in the order of steps.
First, a photosensitive black composition in which a black pigment (for example, carbon black) is dispersed in a photosensitive resin is coated on the transparent substrate 11 by a roll coating method or the like to form a black photosensitive layer, and pattern exposure, development, etc. A black matrix 21 is formed at a predetermined position of the transparent substrate 11 by performing a patterning process (see FIG. 3A).
Here, as the transparent substrate 11, a glass substrate can be suitably used, and a resin substrate such as polycarbonate, polymethyl methacrylate, polyethylene phthalate, or the like can also be used.
The black matrix 21 may be a metal thin film pattern such as chromium.

次に、アクリル系の感光性樹脂に赤色顔料(例えば、ジアントラキノン系顔料)と、重合開始剤(例えば、オキシムエステル系重合開始剤)と、分散剤と、光増感剤(例えば、アミン系化合物)と、重合禁止剤ハイドロキノン)と、溶剤とを所定量混合分散して、感光性赤色組成物を作製する。 Next, a red pigment (for example, a dianthraquinone pigment), a polymerization initiator (for example, an oxime ester polymerization initiator), a dispersant, and a photosensitizer (for example, an amine group) are added to an acrylic photosensitive resin. Compound), a polymerization inhibitor ( hydroquinone), and a solvent are mixed and dispersed in predetermined amounts to prepare a photosensitive red composition.

次に、ブラックマトリクス21が形成された透明基板11上に上記感光性赤色組成物をロールコート法等にて塗布し、プリベークして赤色感光層31rを形成する(図3(b)参照)。
ここで、塗布方法としては、スプレーコート法、スピンコート法等が利用できる。
Next, the photosensitive red composition is applied on the transparent substrate 11 on which the black matrix 21 is formed by a roll coating method or the like, and prebaked to form a red photosensitive layer 31r (see FIG. 3B).
Here, a spray coating method, a spin coating method, or the like can be used as a coating method.

次に、フォトマスクを用いて赤色感光層31rをパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21間にスルーホール31xが形成された赤色反射部31Rbと赤色透過部31Raとからなる透明赤色画素31Rを形成する(図3(c)参照)。   Next, a patterning process such as pattern exposure and development is performed on the red photosensitive layer 31r using a photomask, and a transparent layer including a red reflecting portion 31Rb and a red transmitting portion 31Ra in which a through hole 31x is formed between the black matrixes 21 is formed. A red pixel 31R is formed (see FIG. 3C).

パターン露光は、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式が好適で、現像後残膜率が85%以上となる露光量で行う。
この場合、フォトマスクの遮光パターンに対応する部位、すなわち、非露光部位はまったく硬化せず、現像によって完全に除去される。また、現像後残膜率が85%以上となる露光量を超える場合には、フォトマスクの遮光パターンに対応する部位、すなわち、非露光部位は、回折光によって若干感光するが、その反面、フォトマスクの開口部に対応する部位、すなわち、露光部位は十分に硬化して、十分な面積の透明赤色画素を形成することができる。
For the pattern exposure, a proximity exposure method using a proximity aligner is suitable, and the exposure is performed at an exposure amount at which the remaining film ratio after development is 85% or more.
In this case, the portion corresponding to the light shielding pattern of the photomask, that is, the non-exposed portion is not cured at all and is completely removed by development. In addition, when the residual film ratio after development exceeds the exposure amount of 85% or more, the part corresponding to the light shielding pattern of the photomask, that is, the non-exposed part is slightly exposed by the diffracted light. The part corresponding to the opening of the mask, that is, the exposed part can be sufficiently cured to form a transparent red pixel having a sufficient area.

なお、パターン露光に先立ち、前記塗布膜上に水溶性樹脂あるいはアルカリ水溶性樹脂(例えばポリビニルアルコールや水溶性アクリル樹脂等)の溶液を塗布しても良い。
これら樹脂の塗布によって、雰囲気中の酸素による重合阻害を抑制することができ、赤色感光層の感度を向上させることができる。
Prior to pattern exposure, a solution of a water-soluble resin or an alkaline water-soluble resin (for example, polyvinyl alcohol or a water-soluble acrylic resin) may be applied onto the coating film.
By applying these resins, inhibition of polymerization due to oxygen in the atmosphere can be suppressed, and the sensitivity of the red photosensitive layer can be improved.

次に、現像処理の現像液としては、アルカリ水溶液又は有機アルカリ溶液等のアルカリ現像液が使用できる。アルカリ水溶液としては、炭酸ソーダ、苛性ソーダ等が例示でき、有機アルカリ溶液としては、ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等が例示できる。また、必要に応じて消泡剤や界面活性剤が添加された現像液を使用しても良い。   Next, as the developer for the development process, an alkali developer such as an alkaline aqueous solution or an organic alkaline solution can be used. Examples of the alkaline aqueous solution include sodium carbonate and caustic soda, and examples of the organic alkaline solution include dimethylbenzylamine and triethanolamine. Moreover, you may use the developing solution to which the antifoamer and surfactant were added as needed.

次に、上記透明赤色画素31Rとほぼ同じ工程で、アクリル系の感光性樹脂に緑色顔料(例えば、フタロシアニングリーン系顔料)と、重合開始剤(例えば、オキシムエステル系重合開始剤)と、分散剤と、光増感剤(例えば、アミン系化合物)と、重合禁止剤ハイドロキノン)と、溶剤とを所定量混合分散して、感光性緑色組成物を作製する。 Next, in substantially the same process as the transparent red pixel 31R, a green pigment (for example, phthalocyanine green pigment), a polymerization initiator (for example, oxime ester polymerization initiator), and a dispersant are added to the acrylic photosensitive resin. A photosensitizer (for example, an amine compound), a polymerization inhibitor ( hydroquinone), and a solvent are mixed and dispersed in predetermined amounts to prepare a photosensitive green composition.

次に、ブラックマトリクス21及び透明赤色画素31Rが形成された透明基板11上に上記感光性緑色組成物をロールコート法等にて塗布し、プリベークして緑色感光層を形成し、フォトマスクを用いて緑色感光層をパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21間にスルーホール31xが形成された緑色反射部31Gbと緑色透過部31Gaとからなる透明緑色画素31Gを形成する(図3(d)参照)。   Next, the photosensitive green composition is applied on the transparent substrate 11 on which the black matrix 21 and the transparent red pixel 31R are formed by a roll coating method or the like, prebaked to form a green photosensitive layer, and a photomask is used. Then, the green photosensitive layer is subjected to patterning processing such as pattern exposure and development to form a transparent green pixel 31G including a green reflecting portion 31Gb and a green transmitting portion 31Ga in which a through hole 31x is formed between the black matrixes 21 (FIG. 3 (d)).

次に、上記透明赤色画素31Rとほぼ同じ工程で、アクリル系の感光性樹脂に青色顔料(例えば、フタロシアニンブルー系顔料)と、重合開始剤(例えば、オキシムエステル系重合開始剤)と、分散剤と、光増感剤(例えば、アミン系化合物)と、重合禁止剤ハイ
ドロキノン)と、溶剤とを所定量混合分散して、感光性青色組成物を作製する。
Next, in almost the same process as the transparent red pixel 31R, a blue pigment (for example, phthalocyanine blue pigment), a polymerization initiator (for example, an oxime ester polymerization initiator), and a dispersant are added to the acrylic photosensitive resin. Then, a photosensitizer (for example, an amine compound), a polymerization inhibitor ( hydroquinone), and a solvent are mixed and dispersed in a predetermined amount to prepare a photosensitive blue composition.

次に、ブラックマトリクス21、透明赤色画素31R及び透明緑色画素31Gが形成された透明基板11上に上記感光性青色組成物をロールコート法等にて塗布し、プリベークして青色感光層を形成し、フォトマスクを用いて青色感光層をパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21間にスルーホール31xが形成された青色反射部31Bbと青色透過部31Baとからなる透明青色画素31Bを形成する(図3(e)参照)。   Next, the photosensitive blue composition is applied by a roll coating method or the like on the transparent substrate 11 on which the black matrix 21, the transparent red pixel 31R, and the transparent green pixel 31G are formed, and a blue photosensitive layer is formed by prebaking. Then, the blue photosensitive layer is subjected to patterning processing such as pattern exposure and development using a photomask, and a transparent blue pixel 31B composed of a blue reflecting portion 31Bb and a blue transmitting portion 31Ba in which a through hole 31x is formed between the black matrixes 21. (See FIG. 3E).

さらに、オーバーコート層41、透明電極51及び配向膜(特に図示せず)を形成して、本発明のカラーフィルルタ基板100を得る(図3(f)参照)。   Further, an overcoat layer 41, a transparent electrode 51, and an alignment film (not shown) are formed to obtain the color filter substrate 100 of the present invention (see FIG. 3 (f)).

上記カラーフィルルタ基板100と透明基板12の所定位置に電極61が形成されたアレイ基板110とを貼り合わせてセル化し、液晶81を封入して偏光膜71を設けることにより、請求項5に係る本発明の半透過型液晶表示装置200を得ることができる(図2参照)。   The color filter substrate 100 and the array substrate 110 on which the electrode 61 is formed at a predetermined position of the transparent substrate 12 are bonded to form a cell, the liquid crystal 81 is enclosed, and the polarizing film 71 is provided. The transflective liquid crystal display device 200 of the present invention can be obtained (see FIG. 2).

次に、本発明の感光性着色組成物に係る合成例、実施例及び比較例について具体的に説明する。なお、実施例および比較例中、「部」とは「重量部」を表す。
[着色組成物の調製]
下記の要領でカラーフィルタ作製に用いる感光性青色組成物を調製した。
ε型銅フタロシアニン顔料(C.I.Pigment Blue15:6) 11.0部(BASF製「ヘリオゲンブルーL−6700F」)
下記化学式(2)で表されるフタロシアニン系顔料誘導体 1.0部
Next, synthesis examples, examples and comparative examples relating to the photosensitive coloring composition of the present invention will be described in detail. In the examples and comparative examples, “parts” represents “parts by weight”.
[Preparation of colored composition]
The photosensitive blue composition used for color filter preparation was prepared in the following ways.
ε-type copper phthalocyanine pigment (CI Pigment Blue 15: 6) 11.0 parts (“Heliogen Blue L-6700F” manufactured by BASF)
1.0 part of a phthalocyanine pigment derivative represented by the following chemical formula (2)

感光性透明樹脂溶液 9.9部非感光性透明樹脂溶液 30.1部
シクロヘキサノン 48.0部上記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径1mmのジルコニアビーズを用いて、アイガーミル(アイガージャパン社製「ミニモデルM−250 MKII」)で2時間分散した後、5μmのフィルタで濾過し、顔料分散体(1)を製造した。
Photosensitive transparent resin solution 9.9 parts Non-photosensitive transparent resin solution 30.1 parts Cyclohexanone 48.0 parts After stirring and mixing the mixture having the above composition uniformly, using a zirconia bead having a diameter of 1 mm, Eiger Mill (Eiger Japan) (Mini Model M-250 MKII)) for 2 hours and then filtered through a 5 μm filter to produce a pigment dispersion (1).

次に、
顔料分散体(1) 52.0部アクリルワニス 7.0部光重合性モノマー(東亜合成社製「アロニックスM−402」) 3.5部
オキシムエステル系光重合開始剤 1.0部(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「IrgOXE01」)
光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irg379」) 1.0部
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 0.2部
シクロヘキサノン 21.5部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 13.8部上記組成の混合物を均一になるように攪拌混合し、1μmのフィルタで濾過して感光性青色組成物(元1)を作製し、ハイドロキノン(HQ)1%アノン溶液を0.5部加え、攪拌して、本発明の感光性青色組成物(1)を得た。
next,
Pigment dispersion (1) 52.0 parts Acrylic varnish 7.0 parts Photopolymerizable monomer ("Aronix M-402" manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) 3.5 parts Oxime ester photopolymerization initiator 1.0 part (Ciba Specialty Chemicals “IrgOXE01”)
Photopolymerization initiator (“Irg379” manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 1.0 part sensitizer (“EAB-F” manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.2 part cyclohexanone 21.5 parts propylene glycol monomethyl ether acetate 13. 8 parts The mixture of the above composition was stirred and mixed uniformly, filtered through a 1 μm filter to prepare a photosensitive blue composition (former 1), and 0.5 part of hydroquinone (HQ) 1% anone solution was added. The mixture was stirred to obtain the photosensitive blue composition (1) of the present invention.

実施例1の感光性青色組成物(元1)にハイドロキノン(HQ)1%アノン溶液を0.8部加え、撹拌して、本発明の感光性青色組成物(2)を得た。   0.8 parts hydroquinone (HQ) 1% anone solution was added to the photosensitive blue composition (original 1) of Example 1 and stirred to obtain the photosensitive blue composition (2) of the present invention.

次に、
顔料分散体(1) 52.0部アクリルワニス 7.0部光重合性モノマー(東亜合成社製「アロニックスM−402」) 3.5部
光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「Irg379」) 2.0部
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 0.2部
シクロヘキサノン 21.5部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 13.8部上記組成の混合物を均一になるように攪拌混合し、1μmのフィルタで濾過して感光性青色組成物(元3)を作製し、ハイドロキノン(HQ)1%アノン溶液を1.0部加え、攪拌して、本発明の感光性青色組成物(3)を得た。
next,
Pigment dispersion (1) 52.0 parts acrylic varnish 7.0 parts photopolymerizable monomer (“Aronix M-402” manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) 3.5 parts photopolymerization initiator (“Irg379” manufactured by Ciba Specialty Chemicals) "" 2.0 parts sensitizer ("EAB-F" manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.2 parts cyclohexanone 21.5 parts propylene glycol monomethyl ether acetate 13.8 parts Then, the mixture was filtered through a 1 μm filter to prepare a photosensitive blue composition (former 3), 1.0 part of 1% hydroquinone (HQ) anone solution was added and stirred, and the photosensitive blue composition of the present invention ( 3) was obtained.

次に、
顔料分散体(1) 52.0部アクリルワニス 7.0部光重合性モノマー(東亜合成社製「アロニックスM−402」) 3.5部
オキシムエステル系光重合開始剤 2.0部(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「CGI242」)
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 0.2部
シクロヘキサノン 21.5部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 13.8部上記、組成の混合物を均一になるように攪拌混合し、1μmのフィルタで濾過して感光性青色組成物(元4)を作製し、ハイドロキノン(HQ)1%アノン溶液を1.5部加え、攪拌して、本発明の感光性青色組成物(4)を得た。
next,
Pigment dispersion (1) 52.0 parts acrylic varnish 7.0 parts photopolymerizable monomer (“Aronix M-402” manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) 3.5 parts oxime ester photopolymerization initiator 2.0 parts (Ciba Specialty Chemicals “CGI242”)
Sensitizer ("EAB-F" manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.2 parts cyclohexanone 21.5 parts propylene glycol monomethyl ether acetate 13.8 parts The above composition mixture was stirred and mixed uniformly, and a 1 µm filter To produce a photosensitive blue composition (former 4), 1.5 parts of 1% hydroquinone (HQ) anone solution was added and stirred to obtain a photosensitive blue composition (4) of the present invention. .

実施例1の感光性青色組成物(元1)にメトキノン(MQ)1%アノン溶液を0.8部加え、撹拌して、本発明の感光性青色組成物(5)を得た。なお、この実施例は本願の発明に係る実施例には含まれない参考実施例である。 0.8 parts of a 1% methoquinone (MQ) anone solution was added to the photosensitive blue composition (original 1) of Example 1 and stirred to obtain a photosensitive blue composition (5) of the present invention. This embodiment is a reference embodiment that is not included in the embodiment of the present invention.

実施例1の感光性青色組成物(元1)にメトキノン(MQ)1%アノン溶液を1.0部加え、撹拌して、本発明の感光性青色組成物(6)を得た。なお、この実施例は本願の発明に係る実施例には含まれない参考実施例である。 1.0 part of 1% methoquinone (MQ) anone solution was added to the photosensitive blue composition (former 1) of Example 1 and stirred to obtain the photosensitive blue composition (6) of the present invention. This embodiment is a reference embodiment that is not included in the embodiment of the present invention.

(比較例1)
実施例1の感光性青色組成物(元1)を比較例1の感光性青色組成物(7)とした。
(Comparative Example 1)
The photosensitive blue composition (Example 1) of Example 1 was used as the photosensitive blue composition (7) of Comparative Example 1.

(比較例2)
顔料分散体(1) 52.0部アクリルワニス 7.0部光重合性モノマー(東亜合成社製「アロニックスM−402」) 7.0部
光重合開始剤(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「CGI242」) 4.0部
増感剤(保土ヶ谷化学社製「EAB−F」) 0.2部
シクロヘキサノン 18.0部プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 11.8部上記組成の混合物を均一になるように攪拌混合し、1μmのフィルタで濾過して、比較例2の感光性青色組成物(8)を得た。
(Comparative Example 2)
Pigment dispersion (1) 52.0 parts acrylic varnish 7.0 parts photopolymerizable monomer (“Aronix M-402” manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) 7.0 parts photopolymerization initiator (“CGI242” manufactured by Ciba Specialty Chemicals) "] 4.0 parts sensitizer (" EAB-F "manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) 0.2 parts cyclohexanone 18.0 parts propylene glycol monomethyl ether acetate 11.8 parts Stir and mix the mixture of the above composition uniformly And it filtered with a 1 micrometer filter, and obtained the photosensitive blue composition (8) of the comparative example 2.

上記各実施例及び比較例で調製した各感光性青色組成物について、その感度を、以下のようにして評価を行った。   About each photosensitive blue composition prepared by each said Example and comparative example, the sensitivity was evaluated as follows.

まず、ガラス基板上に、上記実施例及び比較例で得られた感光性青色組成物(1)〜(8)をスピンコート法により塗布した後乾燥させ、2.0μm厚の青色感光層を形成した。
次に、70℃で20分間のプリベークを行なった後、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式で、50μmの細線パターンを備えたフォトマスクを介して紫外線露光を行なった。露光量は10mJ/cm2〜300mJ/cm2の9水準とした。
First, the photosensitive blue compositions (1) to (8) obtained in the above examples and comparative examples were applied on a glass substrate by spin coating and then dried to form a 2.0 μm-thick blue photosensitive layer. did.
Next, after prebaking at 70 ° C. for 20 minutes, UV exposure was performed through a photomask having a 50 μm fine line pattern by a proximity exposure method using a proximity aligner. Exposure amount was 9 levels of 10mJ / cm 2 ~300mJ / cm 2 .

次に、1.25質量%の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像した後、水洗して、パターニングを完了した。   Next, shower development was performed using a 1.25% by mass sodium carbonate solution, followed by washing with water to complete patterning.

得られたフィルタセグメントの膜厚を未露光・未現像部分の膜厚(2.0μm)で割ってその残膜率を算出した。そして、横軸を露光量の常用対数、縦軸を現像後残膜率として
露光感度曲線をプロットした。得られた露光感度曲線から、露光感度曲線の立ち上がり始めの露光量を立ち上がり露光量、残膜率が85%以上に達する最小露光量を飽和露光量として、次の式から、γ(コントラスト)および感度カット率を算出した。
The film thickness of the obtained filter segment was divided by the film thickness (2.0 μm) of the unexposed / undeveloped portion to calculate the remaining film ratio. Then, the exposure sensitivity curve was plotted with the horizontal axis representing the common logarithm of the exposure dose and the vertical axis representing the remaining film ratio after development. From the obtained exposure sensitivity curve, the exposure amount at the beginning of the rising of the exposure sensitivity curve is the rising exposure amount, and the minimum exposure amount at which the remaining film ratio reaches 85% or more is the saturated exposure amount. The sensitivity cut rate was calculated.

露光感度曲線のγ(コントラスト)=0.85/(Log10(飽和露光量)−Log10(立ち上がり露光量))
感度カット率=立ち上がり露光量/飽和露光量
(パターニング性評価)
各実施例及び比較例において調製した各感光性青色組成物について、そのパターニング性能を、以下のようにして評価を行った。
まず、上記実施例及び比較例で得られた感光性青色組成物(1)〜(8)をスピンコート法により塗布し、70℃で20分間のプリベークを行なって、2.0μm厚の青色感光層を形成した。
次に、プロキシミティーアライナーによる近接露光方式で、2μmきざみで幅6〜20μmの8角形のホールパターンを備えたフォトマスクを介して紫外線露光を行なった。露光量は100mJ/cm2である。
なお、後述の表1には、径の小さな6〜10μmのスルーホール形状についてのみ記述した。
Γ (contrast) of exposure sensitivity curve = 0.85 / (Log 10 (saturated exposure amount) −Log 10 (rising exposure amount))
Sensitivity cut rate = rise exposure / saturation exposure (patterning evaluation)
About each photosensitive blue composition prepared in each Example and the comparative example, the patterning performance was evaluated as follows.
First, the photosensitive blue compositions (1) to (8) obtained in the above examples and comparative examples were applied by spin coating, pre-baked at 70 ° C. for 20 minutes, and a 2.0 μm-thick blue photosensitive material. A layer was formed.
Next, ultraviolet exposure was performed through a photomask provided with an octagonal hole pattern having a width of 6 to 20 μm in steps of 2 μm by a proximity exposure method using a proximity aligner. The exposure amount is 100 mJ / cm 2 .
In Table 1 described later, only the through hole shape having a small diameter of 6 to 10 μm is described.

次に、1.25質量%の炭酸ナトリウム溶液を用いてシャワー現像した後、水洗して、パターニングを完了した。現像時間は、それぞれ、未露光の塗布膜を洗い流すのに適正な時間とした。次に、230℃で60分間加熱処理をして評価用基板とした。   Next, shower development was performed using a 1.25% by mass sodium carbonate solution, followed by washing with water to complete patterning. The development time was set to an appropriate time for washing away the unexposed coating film. Next, heat treatment was performed at 230 ° C. for 60 minutes to obtain an evaluation substrate.

そして、得られた透明青色画素のスルーホールの幅について、(1):フォトマスクのホール幅に対する透明青色画素のスルーホールの幅、(2):透明青色画素スルーホールの断面形状により評価した。   Then, the width of the through hole of the obtained transparent blue pixel was evaluated by (1): the width of the through hole of the transparent blue pixel with respect to the hole width of the photomask, and (2): the cross-sectional shape of the transparent blue pixel through hole.

(1)については、光学顕微鏡を用いて行なった。評価のランクは、フォトマスクのスルーホールの幅以上の幅のスルーホールが得られ、且つ、スルーホール部位の内部に色残りがない場合を○とし、それ以外を×とした。   About (1), it carried out using the optical microscope. As for the evaluation rank, a case where a through hole having a width equal to or larger than the width of the through hole of the photomask was obtained and there was no color residue inside the through hole portion was evaluated as ◯, and other cases were evaluated as x.

また、(2)については、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて評価を行なった。
評価のランクは、図6(a)に示すようなパターン端部が斜面(スロープ)になっている順テーパー形状もしくは図6(b)に示すようなパターン端部が垂直に切り立ているノンテーパー形状を○、図6(c)に示すような逆テーパー形状を×とした。
Further, (2) was evaluated using a scanning electron microscope (SEM).
The rank of the evaluation is a forward taper shape in which the pattern end portion is a slope (slope) as shown in FIG. 6A or a non-taper shape in which the pattern end portion is vertically upright as shown in FIG. 6B. The shape was O, and the inverse taper shape as shown in FIG.

得られた結果を表1に示す。   The obtained results are shown in Table 1.

表1に示すように、重合禁止剤としてハイドロキノンもしくはメトキノンの1%アノン溶液を添加して得られる実施例1〜6の感光性青色組成物では、青色感光層の露光感度曲線のγ(コントラスト)が1.33以上でかつ、現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量では、現像後残膜率が0%となることが確認された。
そして、この条件を満たす場合、パターニング形状が良好で、精度良く径10μm以下のスルーホールを形成できることが確認できた。
As shown in Table 1, in the photosensitive blue compositions of Examples 1 to 6 obtained by adding 1% anone solution of hydroquinone or methoquinone as a polymerization inhibitor, γ (contrast) of the exposure sensitivity curve of the blue photosensitive layer Was 1.33 or more, and it was confirmed that the post-development residual film ratio was 0% when the exposure quantity was 23% or less of the minimum exposure quantity at which the post-development residual film ratio was 85% or more.
When this condition was satisfied, it was confirmed that the patterning shape was good and a through hole having a diameter of 10 μm or less could be formed with high accuracy.

これに対して、ハイドロキノン系の重合禁止剤を添加していない比較例1、比較例2では、γが1.33以上で、かつ、現像後残膜率85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量では、現像後残膜率が0%とならないため、径10μm以下のスルーホールを形成することは困難であった。   On the other hand, in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 in which no hydroquinone polymerization inhibitor was added, γ was 1.33 or more, and the minimum exposure amount of 23 at which the residual film ratio after development was 85% or more. When the exposure amount is not more than%, the residual film ratio after development does not become 0%, so it is difficult to form a through hole having a diameter of 10 μm or less.

本発明のカラーフィルタ基板の一実施例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Example of the color filter substrate of this invention. 本発明の半透過型液晶装置の一実施例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows one Example of the transflective liquid crystal device of this invention. (a)〜(f)は、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法の一例を工程順に示す模式断面図である。(A)-(f) is a schematic cross section which shows an example of the manufacturing method of the color filter substrate of this invention in process order. 半透過型液晶装置の一例を示す模式構成図である。It is a schematic block diagram which shows an example of a transflective liquid crystal device. カラーフィルタの構成例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structural example of a color filter. パターン形状評価の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of pattern shape evaluation.

符号の説明Explanation of symbols

11、12、111、112……透明基板
21……ブラックマトリクス
31r……赤色感光層
31R、131R……赤色画素
31Ra……赤色透過部
31Rb……赤色反射部
31G、131G……緑色画素
31Ga……緑色透過部
31Gb……緑色反射部
31B、131B……青色画素
31Ba……青色透過部
31Bb……青色反射部
31x、131x……スルーホール
41、141……オーバーコート層
51、151……透明電極
61、161……電極
71、171……偏光膜
81、181……液晶
100、310……カラーフィルタ基板
110、320……アレイ基板
121……遮光パターン
a……透過部
b……反射部
11, 12, 111, 112 ... transparent substrate 21 ... black matrix 31r ... red photosensitive layer 31R, 131R ... red pixel 31Ra ... red transmission part 31Rb ... red reflection part 31G, 131G ... green pixel 31Ga ... ... Green transmission part 31Gb ... Green reflection part 31B, 131B ... Blue pixel 31Ba ... Blue transmission part 31Bb ... Blue reflection part 31x, 131x ... Through hole 41, 141 ... Overcoat layers 51, 151 ... Transparent Electrodes 61, 161 ... Electrodes 71, 171 ... Polarizing films 81, 181 ... Liquid crystal 100, 310 ... Color filter substrate 110, 320 ... Array substrate 121 ... Light shielding pattern a ... Transmission part b ... Reflection part

Claims (4)

光重合性モノマー、樹脂バインダー、重合開始剤、着色剤及び溶剤を含有して構成される感光性着色組成物を用い、塗布、乾燥、露光、現像する工程を経るカラーフィルタ基板の製造方法において、
前記感光性着色組成物の現像後残膜率が、横軸を露光量の常用対数、縦軸を現像後残膜率としてプロットした露光感度曲線において、この露光感度曲線の立ち上がりの角度をθとしたとき、このθの正接で定義されるγ(コントラスト)が1.33以上であり、かつ、前記感光性着色組成物の乾燥後膜厚2.0μmで1.25質量%の炭酸ナトリウム溶液によるシャワー現像条件での現像後残膜率が85%以上となる最小露光量の23%以下の露光量で、現像後残膜率が0%であり、さらに前記感光性着色組成物がハイドロキノンからなる重合禁止剤を含有するとともに、透明基板上に前記感光性着色組成物を塗布、乾燥、露光、現像する工程を経て6μmから10μmの径を有するスルーホールを具備した透明着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法
In the method for producing a color filter substrate that undergoes the steps of coating, drying, exposing and developing, using a photosensitive coloring composition comprising a photopolymerizable monomer, a resin binder, a polymerization initiator, a colorant and a solvent ,
In the exposure sensitivity curve in which the residual film ratio after development of the photosensitive coloring composition is plotted with the horizontal axis as the common logarithm of the exposure amount and the vertical axis as the residual film ratio after development, the rising angle of this exposure sensitivity curve is defined as θ. Γ (contrast) defined by the tangent of θ is 1.33 or more, and the photosensitive coloring composition has a thickness of 2.0 μm after drying and is 1.25% by mass with a sodium carbonate solution. an exposure amount of 23% or less after development residual film ratio minimum exposure amount becomes 85% or more in the shower development conditions, Ri 0% der developing after the residual film ratio, further said photosensitive coloring composition from hydroquinone And forming a transparent colored pixel having a through hole having a diameter of 6 μm to 10 μm through a process of coating, drying, exposing and developing the photosensitive coloring composition on a transparent substrate. With features Method of fabricating a color filter substrate of that.
前記感光性着色組成物が、オキシムエステル系重合開始剤を含有する感光性着色組成物である請求項記載のカラーフィルタ基板の製造方法The photosensitive colored composition, method of manufacturing a color filter substrate according to claim 1, wherein the photosensitive coloring composition containing an oxime ester-based polymerization initiator. 透明基板上に、少なくともブラックマトリクス、複数の透明着色画素と、オーバーコート層と、透明電極とを備えるカラーフィルタ基板であって、前記透明着色画素は、透過部と反射部とに区分されており、透過部は液晶表示装置の背面側に配置された光源からの透過光を着色する領域であり、他方、反射部は観察者側から入射する外光を反射してこの反射光を着色する領域であり、前記反射部にはスルーホールが設けられており、前記透明着色画素が請求項1または2に記載のカラーフィルタ基板の製造方法を用いて作製されたことを特徴とするカラーフィルタ基板。 A color filter substrate comprising at least a black matrix, a plurality of transparent colored pixels, an overcoat layer, and a transparent electrode on a transparent substrate, wherein the transparent colored pixels are divided into a transmissive portion and a reflective portion. The transmission part is an area for coloring transmitted light from a light source arranged on the back side of the liquid crystal display device, while the reflection part is an area for reflecting external light incident from the observer side and coloring this reflected light. A through-hole is provided in the reflective portion, and the transparent colored pixel is produced using the method for producing a color filter substrate according to claim 1 or 2 . 請求項に記載のカラーフィルタ基板を用いて作製したことを特徴とする半透過型液晶表示装置。 A transflective liquid crystal display device manufactured using the color filter substrate according to claim 3 .
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