JP2003204097A - 光増幅用ファイバ及びその製造方法 - Google Patents

光増幅用ファイバ及びその製造方法

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JP2003204097A
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quartz reaction
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Koji Okamura
浩司 岡村
Keiko Takeda
恵子 武田
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、波長帯域が広く且つモード
フィールド径を小さく抑えて励起光の信号光への変換効
率を向上することのできる光増幅用ファイバを提供する
ことである。 【解決手段】 光増幅用ファイバであって、クラッド
と、クラッドの内側に設けられ、Geを含んだ第1コア
と、第1コアの内側に設けられ、ErとAlを含んだ第
2コアと、第2コアの内側に設けられ、Geを含んだ第
3コアとを含んでいる。第2コアはクラッドより高い屈
折率を有しており、第1及び第3コアは第2コアより高
い屈折率を有している。中心部に高屈折率の第3コアを
有しているため、モードフィールド径を小径化でき、励
起光の信号光への変換効率が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ増幅器に
適用することのできる光ファイバ及びその製造方法に関
する。
【0002】光信号を電気信号に変換することなく光信
号のままで直接増幅する光増幅器は、事実上ビットレー
トフリーであり、大容量化が容易であるという点及び多
チャンネルの一括増幅が可能であるという点から、今後
の光通信システムのキーデバイスの1つとして各研究機
関で盛んに研究されている。
【0003】光増幅器の一形態として、コアにEr,N
d,Yb等の希土類元素をドープしたシングルモード光
ファイバ(以下ドープファイバという)を用い、このド
ープファイバに増幅すべき信号光を伝搬させると共に、
励起光を信号光と同方向又は逆方向から導入するように
したものがある。
【0004】このドープファイバを用いた光増幅器は光
ファイバ増幅器と称され、利得の偏波依存性がないこ
と、低雑音であること、光伝送路との結合損失が小さい
ことといった優れた特徴を有している。
【0005】この種の光ファイバ増幅器を実用するに際
しては、所要の利得で増幅することができる信号光の波
長帯域(以下、単に「波長帯域」という)が広く、且
つ、励起光の信号光への変換効率が高いことが要求され
る。
【0006】
【従来の技術】波長が0.8〜1.6μmの範囲の光に
ついて、長距離伝送に適する石英ガラスを用いた光ファ
イバの製造技術及び使用技術が確立されている。
【0007】光ファイバは太い棒の形状をしたプリフォ
ームを線引きすることにより得られる。プリフォーム
は、その断面方向の組成勾配が設計された通りに正しく
なっていることが必要である。
【0008】プリフォームを製造する標準的な方法とし
ては、MCVD法等の反応気体を化学変化させてガラス
組成物を石英反応管の内面に堆積させる方法が知られて
いる。MCVD法においては、石英反応管の内側に例え
ばSiCl4及びO2のような適当な反応気体を導入し、
反応に適する温度に加熱する。
【0009】加熱する区域を石英反応管の長手方向に移
動させながら、その内部壁面に新しいガラス層を堆積さ
せていく。多くの層、例えば20〜30層が繰り返し堆
積される。各層の組成を個々に制御することにより、こ
のプリフォームから製造される光ファイバの断面方向の
組成を制御することができる。
【0010】十分な層を堆積させた後に、石英反応管を
加熱することによりコラプスして(押し潰して)ロッド
状のプリフォームを形成する。このプリフォームを線引
きすることにより、光ファイバを製造することができ
る。
【0011】MCVD法では、通常、室温で気化する反
応物質が用いられる。例えば、光ファイバの主要な構成
物となるSiO2を得るためのSiCl4及び屈折率の調
整に用いられるGeO2を得るためのGeCl4が用いら
れる。
【0012】ところで、ドープファイバを製造する場
合、SiCl4やGeCl4のように室温で十分に気化す
る希土類元素の適当な反応物質を得ることができないの
で、MCVD法のみによっては実用上十分な希土類元素
のドープ濃度を得ることができない。そこで、次のよう
にして実用上十分な希土類元素のドープ濃度を得るよう
にしている。
【0013】従来提案されている、ドープファイバを製
造するのに適したプリフォームの製造方法の1つは、
(1)スート状コアガラスを石英反応管内に堆積させる
工程、(2)このスート状コアガラスに希土類元素化合
物を溶質とした溶液を含浸させる工程、(3)この溶液
を乾燥した後、石英反応管をコラプスする工程、を含ん
でいる。
【0014】一方、ドープファイバを用いてなる光ファ
イバ増幅器の波長帯域を広くするための技術としては、
希土類元素と共にAl22をコア内に含浸させるものが
提案されている。
【0015】例えば、特開平5−119222号では、
光増幅用エルビウムドープファイバの広帯域化のため
に、コアの中心部にエルビウム(Er)とアルミニウム
(Al)とをドープしたアルミシリカ系ガラス(Er−
Al−SiO2)と、外周部にゲルマニウム(Ge)を
ドープしたゲルマニウムシリカ系ガラス(Ge−SiO
2)を有する二重コアの構造が開示されている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平5−1
19222号に開示された従来構造では、コア外周部の
比屈折率差Δ1が約2%に対して、コア中心部の比屈折
率差Δ2はせいぜい0.7%程度にしかならず、コア中
心部で屈折率の大きな窪みができてしまう。
【0017】これは、広帯域化のためにドープするAl
等の元素は屈折率を下げる働きをするためである。この
屈折率の窪みのため伝搬光のモードフィールドが拡がっ
て、モードフィールド径が大きくなってしまう現象が生
じる。
【0018】このようにモードフィールド径が大きい
と、励起光の信号光への変換効率が悪化する。例えば、
特開平5−119222号に開示された従来構造では、
モードフィールド径は約4.8μmで励起光の信号光へ
の変換効率は64%であった。
【0019】よって、本発明の目的は、波長帯域が広く
且つモードフィールド径を小さく抑えて励起光の信号光
への変換効率を向上することのできる光増幅用ファイバ
及びその製造方法を提供することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明の一側面による
と、第1の屈折率を有するクラッドと、前記クラッドの
内側に設けられ、屈折率上昇用の元素を含んだ第1の屈
折率より高い第2の屈折率を有する第1コアと、前記第
1コアの内側に設けられ、希土類元素及び増幅帯域を広
げるための元素を含んだ第1の屈折率より高く第2の屈
折率より低い第3の屈折率を有する第2コアと、前記第
2コアの内側に設けられ、屈折率上昇用の元素を含んだ
前記第3の屈折率より高い第4の屈折率を有する第3コ
アと、を具備したことを特徴とする光増幅用ファイバが
提供される。
【0021】屈折率上昇用の元素はGe,Tiから選択
され、好ましくはGeが使用される。好ましくは、第2
コアはErとAlとを含んでいる。
【0022】本発明の他の側面によると、(a)石英反
応管内に化学的気相析出法によってGeO2又はTiO2
のいずれかがドープされた主としてSiO2からなる第
1コア層を形成し、(b)前記第1コア層上に化学的気
相析出法によって主としてSiO2からなるスート状の
第2コア層を形成し、(c)希土類元素及びAl,Z
n,Sn,Laからなる群から選択された少なくとも1
つの元素を含む溶液を前記第2コア層に含浸させ、
(d)前記第2コア層に含浸した溶液の溶媒を蒸発さ
せ、(e)前記第2コア層を加熱してガラス化し、
(f)前記第2コア層上に化学的気相析出法によってG
eO2又はTiO2のいずれかがドープされた主としてS
iO2からなる第3コア層を形成し、(g)加熱により
前記石英反応管を完全コラプスしてプリフォームを製造
し、(h)前記プリフォームを溶融・紡糸する各ステッ
プからなることを特徴とする光増幅用ファイバの製造方
法が提供される。
【0023】本発明の光増幅用ファイバは、コア中心部
に比屈折率差の大きな第3コアを設けているため、従来
構造のドープファイバに比較して光パワーがコア中心部
により集中するようになり、モードフィールド径を小さ
くすることができる。その結果、励起光の信号光への変
換効率が向上する。
【0024】また、第2コアに希土類元素と増幅帯域を
広げるための元素を含有させているので、光ファイバ増
幅器の十分な広帯域性を確保することができる。増幅帯
域を広げるための元素はAl,Zn,Sn又はLaを含
んでいる。
【0025】
【発明の実施の形態】図1を参照すると、プリフォーム
の製造方法の実施に使用することができるプリフォーム
製造装置の概略構成が示されている。符号2は石英反応
管4を回転可能に支持するガラス製造用の旋盤であり、
6は旋盤2上を石英反応管4の長手方向に往復動して石
英反応管4を外部から加熱するバーナ、8はバーナ6に
供給するO2及びH2の流量等を調整してバーナ6の燃焼
状態を制御する温度制御装置である。
【0026】石英反応管4の端部に接続されたコネクタ
10にはガス供給管12が接続されており、このガス供
給管12を介してSiCl4等の原料ガスやO2が石英反
応管4の内部に送り込まれる。
【0027】14はSiCl4,GeCl4等の原料ガス
の供給器であり、その供給量は、マスフローメータ16
を介して送り込まれるO2等のキャリアガスの流量によ
って制御される。
【0028】コネクタ10にはガス供給管12と並んで
溶液供給管18が接続されており、この溶液供給管18
はバルブ20を介して溶液タンク22に接続されてい
る。バルブ22を開くことによって、溶液タンク22内
の溶液が石英反応管4の内部に送り込まれる。
【0029】尚、コネクタ10を介したガス供給管12
及び溶液供給管18と石英反応管4との接続部には、通
常の方法によりシーリングが施されており、これにより
石英反応管4の内部に閉じた系が確保されるようになっ
ている。
【0030】図2は図1の製造装置を用いたプリフォー
ムの製造プロセスの説明図である。好ましくは、まず外
径22mm内径18mmの石英反応管4にSiCl4
POCl3,SF6ガスを送り、石英反応管内にP−F−
SiO2系のクラッドガラスを堆積する(図示せず)。
尚、このクラッドガラス堆積ステップは、省略してもよ
い。
【0031】次いで、図2(A)に示すように、SiC
4及びGeCl4を含んだ原料ガス及びキャリアガスが
送り込まれている石英反応管4を回転させながら、石英
反応管4をその外部からバーナ6により加熱すると、石
英反応管4内には第1コアとなる酸化物ガラス微粉末が
堆積し、この微粉末はバーナ6による加熱によって即座
にガラス化される。
【0032】バーナ6の往復動を複数回行なうことによ
って、GeO2がドープされたSiO2からなる所定屈折
率で所定厚みの第1コア層24が、石英反応管4の内壁
に一様に形成される。
【0033】第1コア層24の屈折率は、所定の比屈折
率差を得ることができるように石英反応管4の屈折率よ
りも高く設定されている。第1コア層24の屈折率は原
料ガスの組成等により調整可能であり、例えば第1コア
層24は約2.0の比屈折率差を有している。
【0034】次に、特に図示しないが原料ガスの供給を
停止し、バーナ6で石英反応管4を高温に加熱して石英
反応管4をやや細く潰す。これを中間コラプスと称す
る。次いで、上述した原料ガスのうちGeCl4の供給
を停止し、バーナ6による加熱温度を低下させた後、石
英反応管4をバーナ6により外部から低温に加熱する
と、SiO2からなる酸化物ガラス微粉末が第1コア層
24上に堆積する。
【0035】バーナ6の往復動を複数回繰り返すことに
よって、図2(B)に示すように、第1コア層24上に
SiO2からなるスート状の第2コア層26が形成され
る。ここで、「スート状の」というのは、「層の形態を
維持しうる微粉末状の又は多孔質状の」という意味であ
る。バーナ6による加熱温度を低下させているのは、第
2コア層26が即座にガラス化されることを防止するた
めである。
【0036】その後、図2(C)に示すように、バーナ
6を石英反応管4の端部近傍の位置に移動して、石英反
応管4を回転させながら石英反応管4を局所的に加熱
し、その加熱部分に小径なくびれ部28を形成する。く
びれ部28は石英反応管4の両端部に形成する。
【0037】そして、石英反応管4が適当な温度にまで
冷却したならば、図2(D)に示すように、可撓性を有
する樹脂等からなる溶液供給管18をその先端部がくび
れ部28,28間に位置するように石英反応管4内に導
入し、溶液タンク22からの溶液を石英反応管4のくび
れ部28,28間に導入する。石英反応管4内に溶液が
注入されると、この溶液はスート状の第2コア層26に
のみ含浸する。
【0038】供給される溶液は希土類元素及びAlを含
んでいる。この実施形態では、具体的には供給される溶
液の溶質はErCl3・6H2O及びAlCl3であり、
溶媒はエタノールである。
【0039】溶液におけるErCl3・6H2Oの濃度
は、例えば0.001〜1重量%である。光ファイバ又
はプリフォームにおけるAl23及びErの所望のドー
プ濃度を得るための溶液濃度は経験的に求められる。溶
液の注入量は例えば5〜20mlである。
【0040】次いで、溶液供給管18を後退させた後、
乾燥したN2ガスを石英反応管4内に送り込んでアルコ
ール分及び水分をゆっくり蒸発させ、残留した水分につ
いては、Cl2,O2を石英反応管4内に送り込むと共に
バーナ6による加熱を行なって十分に除去する。
【0041】しかる後、図2(E)に示すように、バー
ナ6による加熱及びその往復動を行なうことによって、
スート状の第2コア層26をガラス化してガラス化され
た第2コア層26′を得る。第2コア層26′の比屈折
率差は、例えば約0.7%である。
【0042】次いで、バーナ6により石英反応間4を高
温に加熱して再度の中間コラプスをした後、図2(F)
に示すように、ステップ図2(A)と同様にSiCl4
及びGeCl4を含んだ原料ガス及びキャリアガスを石
英反応管4に送り込みながら、石英反応管4をその外部
からバーナ6により加熱する。
【0043】第2コア層26′上には第3コア層となる
酸化物ガラス微粉末が堆積し、この微粉末はバーナ6に
よる加熱によって即座にガラス化される。バーナ6の往
復動を複数回行なうことによって、GeO2がドープさ
れたSiO2からなる所定屈折率で所定厚みの第3コア
層30が、第2コア層26′上に一様に形成される。第
3コア層30の比屈折率差は、例えば約2.0%であ
る。
【0044】最後に図2(G)に示すように、バーナ6
で石英反応管4を更に高温に加熱して中空部がなくなる
まで完全コラプスを行い、プリフォーム32aを得る。
図2(A)の工程の後及び図2(E)の工程の後に中間
コラプスを行なっているのは、各コア層間のGeやAl
等の拡散をできるだけ防ぐためである。完全コラプス後
の、プリフォーム32aの直径は約14mmである。
【0045】以上のようにして製造した直径約14mm
のプリフォーム32aに図3(A)に示すように外径約
22mmの石英ガラス管34を被せ、図3(B)に示す
ように加熱一体化して直径約14mmに引き伸ばし、プ
リフォーム32bを得る。
【0046】この被せ管延伸工程を複数回繰り返し、最
終的に図3(C)に示すように外径約26mmの太い石
英ガラス管36をプリフォーム32bに被せて、加熱一
体化して図3(D)に示すような直径約14mmのプリ
フォーム32を製造する。
【0047】被せ管延伸工程を複数回繰り返すことによ
り、相対コア径を小さくすることができ、モードフィー
ルド径やカットオフ波長を最適化できると同時に、Er
をドープした第2コア部の内外径を最適にして変換効率
を向上できる。本実施形態での第2コア26′のAl濃
度は約6重量%であり、Er濃度は約500ppmであ
る。
【0048】完全コラプス前の石英反応管4の横断面を
図4(A)に示し、図3(D)の横断面を図4(B)に
示す。被せ管延伸工程後のプリフォーム32は、SiO
2からなる比較的低屈折率なクラッド34と、屈折率上
昇用のGeO2がドープされたSiO2からなる比較的高
屈折率な第1コア36と、Er及びAl23がドープさ
れGeO2がドープされていないSiO2からなる第2コ
ア38と、屈折率上昇用のGeO2がドープされたSi
2からなる比較的高屈折率な第3コア40とからな
る。
【0049】第2コア38はクラッド34より高い屈折
率を有しており、第1及び第3コア36,40は第2コ
ア38より高い屈折率を有している。各部分の主成分で
あるSiO2には屈折率調整用のP2等が含まれてい
てもよい。
【0050】図4(B)に示されたプリフォーム32を
線引きして得られる光ファイバにおいては、その横断面
はプリフォームの横断面と相似であり、しかも各構成部
分の成分も変化することはないから、光ファイバの各構
成部分の名称及び符号についてはプリフォーム32にお
ける対応部分の名称及び符号をそのまま用いることにす
る。
【0051】本実施形態のプリフォームの製造方法によ
ると、石英反応管4に形成したくびれ部28,28間に
溶液を注入してこの溶液を第2コア層26に含浸させる
ようにしているので、溶液の含浸に際して石英反応管4
を旋盤から取り外す必要がない。
【0052】この場合、石英反応管4のくびれ部28,
28間への溶液の注入は、石英反応管4の一方の側から
行なうことができるので、原料ガス等の供給系を含めて
閉じた系を保つことができ、よって不純物が石英反応管
4内に侵入して損失特性が劣化する恐れがない。
【0053】また、本実施形態の製造方法によると、石
英反応管4を旋盤2に装着したままの状態でプリフォー
ムを製造するためのすべての工程を実施することができ
るので、石英反応管4を旋盤2から取り外し或いは取り
付ける等の煩雑な作業が要求されない。
【0054】図5はプリフォームを光ファイバに線引き
するための線引き装置の概略図である。プリフォーム3
2はプリフォーム送り部42で支持され、徐々に下方向
に送り出されて、加熱炉44でプリフォーム32の下端
部を加熱して溶融させる。
【0055】プリフォーム32は加熱炉44の下端部で
ドープファイバ45に線引きされ、線径測定部46でド
ープファイバ45の線径が非接触で測定される。ドープ
ファイバ45は被覆装置48で紫外線(UV)硬化エポ
キシ樹脂のコーティングを施され、紫外線ランプ50で
コーティングが硬化される。
【0056】UV硬化エポキシ樹脂の被覆を施されたド
ープファイバ45は、制御された速度で回転するキャプ
スタンローラ52を介して巻き取りドラム54に巻き取
られる。
【0057】キャプスタンローラ52の回転速度は、線
径測定部46により測定されたドープファイバ45の線
径が一定に保たれるように線径制御部56でフィードバ
ック制御される。
【0058】このような線引き装置及びプリフォーム3
2を用いることによって、希土類元素、Al23のドー
プ濃度や各構成部分の径等の特性が長手方向に安定した
ドープファイバ45を製造することができる。
【0059】以上のような製造プロセスに基づき、第
1、第2及び第3コア36,40,40からなる三重コ
アを有するドープファイバ45を製造した。ドープファ
イバ45はSiO2からなるクラッド34と、GeO2
ドープされたSiO2からなる第1コア36と、Er及
びAl23がドープされGeO2がドープされていない
SiO2からなる第2コア38と、GeO2がドープされ
たSiO2からなる第3コア40とを有している。
【0060】図6に本実施形態のドープファイバ45の
屈折率分布60とモードフィールド62を示す。第1、
第2及び第3コア36,38,40の直径をD1、D2
及びD3とし、比屈折率差をそれぞれΔ1,Δ2及びΔ
3とすると、Δ1=約2%,D1=約3.0μm,Δ2
=約0.7%,D2=約0.8μm,Δ3=約2%,D
3=約0.6μmである。
【0061】また、モードフィールド径64は4.4μ
mであり、励起光の信号光への変換効率は73%であ
る。変換効率特性の実験結果を特開平5−119222
号に開示された従来品と比較して表1及び図7に示す。
【0062】
【表1】
【0063】表1から明らかなように、本実施形態のド
ープファイバ45では、モードフィールド径は従来の
4.8μmから4.4μmに小さくなり、変換効率は従
来の64%から73%に上昇している。表1においてし
きい値とは、信号光のゲインが出始める励起光パワーの
最小値である。
【0064】図8を参照すると、本発明の他の実施形態
のドープファイバ65の断面構造と屈折率分布70が示
されている。本実施形態のドープファイバ65は、第1
実施形態のドープファイバ45の第3コア40の内側に
第4コア66及び第5コア68を設けたものである。
【0065】第4コア66はEr及びAl23がドープ
されGeO2がドープされていないSiO2からなり、第
5コア68はGeO2がドープされたSiO2からなる。
【0066】第4コア66の比屈折率差は約0.7%で
あり、第5コア68の比屈折率差は約2%である。本実
施形態のドープファイバ65では、最外周の第1コア3
6の外径は2μm以下にするのが望ましい。
【0067】上述した実施形態では希土類元素としてE
rを用いたが、Nd,Yb等の他の希土類元素を用いる
場合にも本発明を適用可能である。また、屈折率上昇用
のドーパントとしてはTiO2も使用可能である。更に
広帯域化のためには、Alに代えてZn,Sn,La等
の元素も使用可能である。
【0068】
【発明の効果】本発明によると、波長帯域が広く且つ励
起光の信号光への変換効率が高い光ファイバ増幅器を実
現するのに適した光ファイバ及びその製造方法が提供可
能であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】プリフォーム製造装置の概略構成図である。
【図2】本発明実施形態のプリフォーム製造プロセスの
説明図である。
【図3】被せ管延伸工程を示す図である。
【図4】図4(A)はコラプス前の石英反応管の横断面
図、図4(B)はプリフォームの横断面図である。
【図5】光ファイバ線引き装置の概略構成図である。
【図6】本発明実施形態に係る光増幅用ファイバの屈折
率分布とモードフィールドを示す図である。
【図7】励起光パワーと信号光出力の関係を示す図であ
る。
【図8】本発明の他の実施形態に係る光増幅用ファイバ
の断面構造と屈折率分布を示す図である。
【符号の説明】
4 石英反応管 24 第1コア層 26 第2コア層 30 第3コア層 32 プリフォーム 34 クラッド 36 第1コア 38 第2コア 40 第3コア 45 ドープファイバ
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01S 3/10 H01S 3/10 Z Fターム(参考) 2H050 AB05X AB06X AB07X AB18X AB20X AC09 AC15 AC28 AD01 4G021 CA15 EA02 EA03 EB19 EB24 4G062 AA06 AA07 BB01 CC07 LA02 LA10 LB03 LB04 MM02 NN01 NN19 5F072 AB08 AB09 AK06 JJ02 YY17

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の屈折率を有するクラッドと;前記
    クラッドの内側に設けられ、屈折率上昇用の元素を含ん
    だ第1の屈折率より高い第2の屈折率を有する第1コア
    と;前記第1コアの内側に設けられ、希土類元素及び増
    幅帯域を広げるための元素を含み、第1の屈折率より高
    く第2の屈折率より低い第3の屈折率を有する第2コア
    と;前記第2コアの内側に設けられ、屈折率上昇用の元
    素を含んだ前記第3の屈折率より高い第4の屈折率を有
    する第3コアと;を具備したことを特徴とする光増幅用
    ファイバ。
  2. 【請求項2】 (a)石英反応管内に化学的気相析出法
    によってGeO2又はTiO2のいずれかがドープされた
    主としてSiO2からなる第1コア層を形成し; (b)前記第1コア層上に化学的気相析出法によって主
    としてSiO2からなるスート状の第2コア層を形成
    し; (c)希土類元素及びAl,Zn,Sn,Laからなる
    群から選択された少なくとも1つの元素を含む溶液を前
    記第2コア層に含浸させ; (d)前記第2コア層に含浸した溶液の溶媒を蒸発さ
    せ; (e)前記第2コア層を加熱してガラス化し; (f)前記第2コア層上に化学的気相析出法によってG
    eO2又はTiO2のいずれかがドープされた主としてS
    iO2からなる第3コア層を形成し; (g)加熱により前記石英反応管を完全コラプスしてプ
    リフォームを製造し; (h)前記プリフォームを溶融・紡糸する各ステップか
    らなることを特徴とする光増幅用ファイバの製造方法。
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