JP2003195973A - Semiconductor device and method of manufacture - Google Patents

Semiconductor device and method of manufacture

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JP2003195973A
JP2003195973A JP2001390353A JP2001390353A JP2003195973A JP 2003195973 A JP2003195973 A JP 2003195973A JP 2001390353 A JP2001390353 A JP 2001390353A JP 2001390353 A JP2001390353 A JP 2001390353A JP 2003195973 A JP2003195973 A JP 2003195973A
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JP
Japan
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semiconductor device
data
display
recording
elements
Prior art date
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Application number
JP2001390353A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsuhisa Inoue
敦央 井上
Atsushi Hayasaka
淳 早坂
Shigeyasu Mori
重恭 森
Takao Konishi
貴雄 小西
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
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  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Calculators And Similar Devices (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device superior in convenience in use being foldable in a small shape at carrying time, and expandable in a large shape at using time. <P>SOLUTION: This semiconductor device is provided with at least one element in element kinds including a recording element for recording data, an operational element for processing the data, a communication element for exchanging the data, an energy element for storing or generating energy, a sensor element for converting information into storable or communicable data by detecting the external information, and a display element for displaying the data. At least one of the provided elements has a bending part composed of a flexible material, and can be folded up thereby. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、クレジットカー
ド、銀行のキャッシュカード、或いは電子マネーなどに
用いられ、基本構成としてICメモリ、プロセッサ、外
部とのインターフェース、センサなどを備える半導体装
置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device used for a credit card, a bank cash card, electronic money, or the like, and having an IC memory, a processor, an interface with the outside, a sensor and the like as a basic configuration. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のICカードのような半導体装置の
基本構成は、ROMなどに代表される固定情報専用の記憶
素子、RAMなどに代表される必要に応じて情報を書き換
え可能な記憶素子、RFコイル、コネクタのような外部と
のインターフェース、記憶素子やインターフェースの制
御やデータの処理などを行うプロセッサ、リチウムイオ
ンバッテリのような電源供給システムの一部或いは全部
を含むものである。記憶素子やプロセッサは、Siなどで
形成した無機半導体を樹脂基板に搭載して、ワイヤボン
ディングなどで配線したものである。
2. Description of the Related Art The basic structure of a conventional semiconductor device such as an IC card is such that a storage element dedicated to fixed information typified by a ROM or the like and a storage element typified by a RAM or the like in which information can be rewritten as necessary. It includes a part or all of an RF coil, an interface with the outside such as a connector, a processor that controls a storage element and an interface, processes data, and the like, and a power supply system such as a lithium-ion battery. A memory element or a processor is an inorganic semiconductor formed of Si or the like mounted on a resin substrate and wired by wire bonding or the like.

【0003】図11にICカードを例に従来の半導体装置の
構造を示す。基本構成は記憶素子(ROMやRAM)4、RFコ
イル5、外部とのインターフェース17、記憶素子4や
インターフェース17のコントロールや記憶されたデー
タの各種処理などを行うプロセッサ3、リチウムイオン
バッテリのようなエネルギー供給源18である。これら
の構成要素は基板6の両表面上に平面的に配置される。
記憶素子4やプロセッサ3はSiなどの無機半導体で形成
されICチップ20としてワンチップ化され、樹脂基板6
に搭載され、ワイヤ11を用いてワイヤボンディング法
で配線される。
FIG. 11 shows the structure of a conventional semiconductor device using an IC card as an example. The basic configuration is such as a storage element (ROM or RAM) 4, an RF coil 5, an interface 17 with the outside, a processor 3 for controlling the storage element 4 or the interface 17 and various processing of stored data, a lithium ion battery, etc. An energy supply source 18. These components are arranged flat on both surfaces of the substrate 6.
The memory element 4 and the processor 3 are made of an inorganic semiconductor such as Si and are integrated into one chip as an IC chip 20.
And is wired by the wire bonding method using the wire 11.

【0004】近年、前記の基本構成以外の素子を搭載し
多機能化を図る開発も行われている。例えばICカードの
例では、ディスプレイ、キーボード、センサーなどが搭
載されている(例えば、特公昭62-8838号公報、61-4374
9号公報、特開平1-175691号公報参照)。ディスプレイ
機能についてはICカードに記憶された情報をICカード上
に表示させるために、可逆性感熱記録材料を利用した表
示素子(例えば、特開平4-105996号公報参照)や液晶表
示素子(例えば実公平3-9078号公報参照)などの表示素
子を備えたICカードも考案されている。
In recent years, development has also been carried out in which elements other than the above-mentioned basic structure are mounted to achieve multi-functionality. For example, in the case of an IC card, a display, a keyboard, a sensor, etc. are installed (for example, Japanese Patent Publication No. 62-8838, 61-4374).
No. 9, JP-A 1-175691). Regarding the display function, in order to display the information stored in the IC card on the IC card, a display element using a reversible thermosensitive recording material (see, for example, JP-A-4-105996) or a liquid crystal display element (for example, actual An IC card having a display element such as Japanese Patent Publication No. 3-9078) has also been devised.

【0005】センサ機能については、多種のセンサを一
枚のICカードに搭載し利便性を高めるもの(例えば特開
平1-175691号公報参照)やカード所持者がそのカード本
来の所有者であることを認証するためのセンサがある
(例えば特開昭64-38295号公報参照)。また、機能を積
層してICカードに搭載し、高密度メモリとして応用する
技術が特開平8-31184号公報に開示されている。
Regarding the sensor function, various types of sensors are mounted on one IC card to enhance convenience (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-175691), and the card holder is the original owner of the card. There is a sensor for authenticating (see, for example, JP-A-64-38295). Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-31184 discloses a technique in which functions are stacked and mounted on an IC card and applied as a high-density memory.

【0006】表示機能では、複数のディスプレイをそれ
ぞれ表示する各画面がほぼ同一の方向に向かうように連
続に接続し、2画面がお互いに協働して、あわせて一つ
の大きな画面を表示できるようにする技術も特開平10-2
88952号公報に開示されている。また、画像を表示でき
るシート状のディスプレイを本の様に綴じて電子ブック
を形成する技術が特表平8-505954号公報に開示されてい
る。
With the display function, a plurality of displays are connected in series so that the respective screens are directed in substantially the same direction, and the two screens cooperate with each other to display a single large screen. The technology to use is also JP-A-10-2
It is disclosed in Japanese Patent Publication No. 88952. Further, Japanese Patent Publication No. 8-505954 discloses a technique for forming an electronic book by binding a sheet-like display capable of displaying an image like a book.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】半導体装置は、年々、
多機能化が進んでいるが、従来のICカードや携帯端末な
どの半導体装置で利用できるのは、半導体装置の表裏両
面、或いは、見開き型ノートPCの4面である。多機能化
に伴いディスプレイ、キーボード、センサー、スピー
カ、太陽電池スキャナーなど表面に配置しないと使用で
きない機能や、できるだけ表面を利用したい機能も増加
し、4面では不足するようになってきた。
Semiconductor devices are being manufactured year by year.
Although it is becoming more and more multifunctional, conventional semiconductor devices such as IC cards and mobile terminals can be used on both the front and back sides of the semiconductor device or the four-sided notebook PC. With the increasing number of functions, functions such as displays, keyboards, sensors, speakers, and solar cell scanners that cannot be used unless they are placed on the surface and functions that want to use the surface as much as possible have increased, and the four-sided model is becoming insufficient.

【0008】反面、半導体装置の携帯し易さも重要度が
増してきており、少なくとも持ち運ぶ際は、小さくでき
ることが要請されているが、現状では使用時に表面を大
きく利用することと携帯時に小さくすることとは両立で
きていない。
On the other hand, the ease of carrying the semiconductor device is becoming more important, and it is required that the size of the semiconductor device can be reduced at least when carrying it. At present, however, it is necessary to make a large use of the surface when using and to make the surface small when carrying. Is not compatible with.

【0009】表示機能については、複数のディスプレイ
をそれぞれ表示する各画面がほぼ同一の方向に向かうよ
うに連続に接続し、2画面がお互いに協働して、一つの
大きな画面を表示できるようにする技術も特開平10-288
952号公報に開示されているが、複数のディスプレイを
丁番(ヒンジ)で接続しているので、丁番(ヒンジ)及
び境界部分には表示できない領域があり、その領域にま
たがって表示される情報は見ずらい。
Regarding the display function, the plurality of displays are connected in series so that the respective screens are oriented in substantially the same direction, and the two screens cooperate with each other to display one large screen. The technology to do is also JP-A-10-288
As disclosed in Japanese Patent No. 952, since a plurality of displays are connected by a hinge (hinge), there is an area that cannot be displayed on the hinge (hinge) and the boundary portion, and the area is displayed across the area. Information is hard to see.

【0010】更に、画像を表示できるシート状のディス
プレイを本のように綴じて電子ブックを形成する技術が
特表平8-505954号公報に開示されているがディスプレイ
機能に限定されるものであり、ディスプレイとキーボー
ドの組み合わせ、センサーとディスプレイの組み合わ
せ、スキャナーとディスプレイの組み合わせのように、
使用時には両方が同時に使用者に対して表面に見える必
要がある機能の組み合わせを一つの機器で切り替えて使
える半導体装置は実現されていない。
Further, a technique for forming an electronic book by binding a sheet-like display capable of displaying an image like a book is disclosed in Japanese Patent Publication No. 8-505954, but it is limited to the display function. , Display and keyboard combination, sensor and display combination, scanner and display combination,
No semiconductor device has been realized in which a combination of functions, both of which must be visible to the user at the same time when used, can be switched by one device.

【0011】また、半導体装置に使用されるSi素子の基
板を薄くして、素子の薄型化を実現することも可能であ
るが、素子が壊れ易くなる。例えば、ICカードは、カー
ドホルダや財布などに収納され、持ち運ばれるが、ポケ
ットやカバンなどの中で外部から曲げや捻りなどの力を
加えられることも多く、フレキシブルで壊れにくいこと
が強く求められる。
Although it is possible to reduce the thickness of the element by thinning the substrate of the Si element used for the semiconductor device, the element is easily broken. For example, IC cards are stored in card holders, wallets, etc. and carried around, but they are often subjected to external bending and twisting forces in pockets, bags, etc., so they are strongly demanded to be flexible and hard to break. To be

【0012】さらに、微量の汚染物質により素子の性能
が著しく劣化したりする問題もある。また、素子を樹脂
基板に接着し、ワイヤボンディングなどで配線する必要
があるため、曲げ、捻りなどの力で素子自身や配線など
が壊れるなど信頼性を著しく低下させるという問題もあ
る。
Further, there is a problem that the performance of the device is significantly deteriorated by a slight amount of contaminants. In addition, since it is necessary to bond the element to a resin substrate and wire the wire by wire bonding or the like, there is a problem that the element itself, the wiring, or the like is broken by a force such as bending or twisting, which significantly lowers reliability.

【0013】従来の半導体装置においては、Si半導体を
用いた記憶素子やプロセッサが使用されているため、素
子自体の製造に複雑な工程を必要とし、また大規模で高
価な製造装置が必要になるという問題がある。
In the conventional semiconductor device, since a memory element and a processor using a Si semiconductor are used, a complicated process is required to manufacture the element itself, and a large-scale and expensive manufacturing apparatus is required. There is a problem.

【0014】また、一つの半導体装置に多種の機能を搭
載できたとしても、ユーザーそれぞれで必要とする機能
の組み合わせが異なる。これまでの技術では、各素子ご
とに互いに異なる複雑な工程が必要であり、それぞれの
ユーザーの希望する仕様にきめ細かく対応することが難
しい。
Even if various functions can be mounted on one semiconductor device, the combination of functions required by each user is different. According to the conventional technology, it is difficult to precisely meet the specifications desired by each user, because each element requires different complicated processes.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】この発明は、データを記
録する記録素子と、データの処理を行う演算素子と、デ
ータをやり取りする通信素子と、エネルギーを貯蔵また
は発生するエネルギー素子と、外部の情報を検出し蓄積
或いは通信可能なデータに変換するセンサ素子と、デー
タを表示する表示素子とを含む素子類の内の少なくとも
1つの素子を備え、備えた素子の少なくとも1つが可撓
性材料で構成した折り曲げ部を有し、それによって折り
畳み可能であることを特徴とする半導体装置を提供する
ものである。
The present invention is directed to a recording element for recording data, an arithmetic element for processing data, a communication element for exchanging data, an energy element for storing or generating energy, and an external device. At least one element out of elements including a sensor element that detects information and stores or converts it into communicable data, and a display element that displays data is provided, and at least one of the provided elements is a flexible material. It is intended to provide a semiconductor device having a bent portion configured and being foldable by the bent portion.

【0016】また、この発明は、データを記録する記録
素子と、データの処理を行う演算素子と、データをやり
取りする通信素子と、エネルギーを貯蔵または発生する
エネルギー素子と、外部の情報を検出し蓄積或いは通信
可能なデータに変換するセンサ素子と、データを表示す
る表示素子とを含む素子類の内の少なくとも1つの素子
を備え、備えた素子の少なくとも1つが可撓性材料で構
成され、それによって丸めたり、広げたりすることが可
能であることを特徴とする半導体装置を提供するもので
ある。
Further, according to the present invention, a recording element for recording data, an arithmetic element for processing data, a communication element for exchanging data, an energy element for storing or generating energy, and external information are detected. At least one element of a group of elements including a sensor element for converting to data that can be stored or communicated and a display element for displaying data is provided, and at least one of the provided elements is made of a flexible material, It is intended to provide a semiconductor device characterized by being able to be rolled or unrolled by means of.

【0017】折畳まれた状態で一つの面に又は複数の面
に渡って1画面の情報を表示する表示素子を備えてもよ
い。拡げた状態で全面にわたって1画面の情報を表示す
る表示素子を備えてもよい。可撓性材料が有機材料であ
ってもよい。また、この発明は、半導体装置を製造する
方法であって、塗布法、印刷法およびフィルムの張り合
わせにより製造することを特徴とする半導体装置の製造
方法を提供するものである。
A display element for displaying information of one screen on one surface or over a plurality of surfaces in a folded state may be provided. A display element for displaying one screen of information over the entire surface in an expanded state may be provided. The flexible material may be an organic material. The present invention also provides a method for manufacturing a semiconductor device, which is characterized by being manufactured by a coating method, a printing method, and a film bonding method.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】使用時に装置の表面に配置しない
と利用できない機能や表面を大きく利用したい機能を数
多く搭載するための方法としては、例えば1枚の折畳み
可能な基板に、複数の機能部を作製し、これをn回折り
畳んで収納、持ち運びをし、使用時には使いたい機能部
を最上部になるように折り畳んで使用する方法がある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a method for mounting a large number of functions that cannot be used unless they are arranged on the surface of the device at the time of use or functions that want to use the surface to a large extent, for example, one foldable substrate is provided with a plurality of functional units. There is a method in which a functional part which is desired to be used is folded so as to be at the top at the time of use.

【0019】また、2つ以上の同時に使いたい機能部を
縦方向または、横方向に並べた上で折りたたみ、使用時
に拡げることにより、必要な機能を持つ2つの面が同時
に使用者に対して表面に見えているようにすることがで
きる。
Further, by arranging two or more function parts desired to be used at the same time in the vertical direction or the horizontal direction, folding them, and expanding them at the time of use, two surfaces having necessary functions are simultaneously exposed to the user. Can be seen in.

【0020】例えば2つ以上の面を選択し、それらの面
全体として一つの画面を表示させることも可能である。
折り畳み方次第で、幾通りもの組み合わせを実現するこ
とができる。
For example, it is possible to select two or more surfaces and display one screen as the entire surface.
Many combinations can be realized depending on the folding method.

【0021】また、全体を可撓性のある材料で構成しな
くても、少なくとも折り曲げ部に可撓性を持たせること
で折り畳み可能な半導体装置を実現することもできる。
Further, even if the whole is not made of a flexible material, it is possible to realize a foldable semiconductor device by providing at least the bending portion with flexibility.

【0022】例えば、シート状の基板の上に素子を配置
した機能別ユニットを製作し、これをを互いに可撓性の
ある接続部で連結する構造を採用しても折り畳み可能な
半導体装置を実現することができる。
For example, a foldable semiconductor device can be realized even if a function-based unit in which elements are arranged on a sheet-shaped substrate is manufactured and the structures are connected to each other by flexible connecting portions. can do.

【0023】各素子を可撓性のある材料で構成すること
により、素子自体に可撓性を付与することができ、各素
子を配置した半導体装置全体として可撓性を持たせるこ
とができる。これを丸めて棒状(筒状)にした状態で保
持されるようにし、必要に応じて開いた状態で使用した
り、丸めた状態で使用したりすることができるようにす
る。それによって、運搬時には小さく丸めて運搬し、使
用時に広げて使用することが可能となる。
By forming each element with a flexible material, the element itself can be provided with flexibility, and the semiconductor device as a whole in which each element is arranged can be provided with flexibility. It is rolled and held in a rod (cylindrical) state so that it can be used in an open state or a rolled state as needed. As a result, it becomes possible to roll the product into small rolls for transportation and unfold it for use.

【0024】半導体装置を構成する各部分が曲げや捻り
に対する可撓性の高い材料で構成することにより半導体
装置全体としてフレキシブルで壊れにくくすることがで
き、折り畳み可能な半導体装置を実現することができ
る。
By forming each part constituting the semiconductor device with a material having high flexibility against bending and twisting, the semiconductor device as a whole can be made flexible and hard to break, and a foldable semiconductor device can be realized. .

【0025】この点で、例えば有機材料は一般に無機半
導体結晶や金属と比較してフレキシビリティーが高く、
曲げても折れたり、壊れたりしにくく、繰り返しの曲げ
に対する強度も大きい。
In this respect, for example, organic materials generally have higher flexibility than inorganic semiconductor crystals and metals,
It does not easily break or break even when bent, and has great strength against repeated bending.

【0026】近年、有機材料は、導電体として金属に近
い導電率を持つものも開発され、半導体材料としてもア
モルファスシリコンに迫る特性を有する物が開発されて
おり、これらを利用することにより有機材料で半導体素
子を作製することも可能となってきている。
In recent years, as an organic material, a material having a conductivity close to that of a metal has been developed as a conductor, and a material having a characteristic close to that of amorphous silicon has been developed as a semiconductor material. It has become possible to fabricate semiconductor devices.

【0027】また、無機の半導体材料と比較して、微量
の不純物による物性への影響は少ない。したがって、半
導体装置の構成要素全部或いはできるだけ多くの構成要
素を有機材料で構成することにより、汚染、曲げ、捻り
などに対して信頼性の高い半導体装置を提供できる。
Further, as compared with the inorganic semiconductor material, the influence of the trace amount of impurities on the physical properties is small. Therefore, by configuring all the constituent elements of the semiconductor device or as many constituent elements as possible with an organic material, it is possible to provide a semiconductor device having high reliability against contamination, bending, and twisting.

【0028】また有機材料を、適当な溶媒に溶かした
り、ゲル化させたりして液体状態にし、スクリーン印刷
やインクジェット法などの印刷法により、任意の形状を
持った膜に形成することができる。
The organic material can be formed into a film having an arbitrary shape by a printing method such as a screen printing method or an ink jet method by dissolving the organic material in a suitable solvent or gelling it to a liquid state.

【0029】また、ほぼすべての素子を有機材料で構成
することにより、多種多様な素子を一貫した印刷工程で
作製できるため製造工程が極めて簡単で低コストにな
る。一貫した工程で簡単な設備で安価に半導体装置を作
製できるのでユーザーの希望に応じて仕様の異なる多種
類、少量生産にも対応できる。
Further, since almost all the elements are made of organic materials, a wide variety of elements can be manufactured by a consistent printing process, so that the manufacturing process is extremely simple and the cost is low. Since semiconductor devices can be manufactured at low cost with simple equipment in a consistent process, it is possible to handle a wide variety of products with different specifications according to the wishes of the user.

【0030】また、シート状の基板の上に素子を配置し
た機能別ユニットをあらかじめ作製しておき、それらの
中からユーザーが希望する機能を有するユニットを組み
合わせて連結する方法でユーザーの要望にきめ細かく対
応することも可能である。
Further, a function-based unit in which elements are arranged on a sheet-like substrate is prepared in advance, and a unit having a function desired by the user is combined and connected from among these units, so that the user's demands can be obtained precisely. It is possible to respond.

【0031】各ユニット間の配線の方法には次のような
方法がある。第一に各ユニットの基板を貫通して開けら
れたスルーホールを通して配線を行う方法、第2に各ユ
ニットごとに配線したいユニット間で位置的に合うよう
に端子を形成しておき、重ねて密着/圧着させる方法、
第3に各ユニットを物理的に接続しておき、信号のやり
取りは各ユニットに設けられた発光素子と受光素子で行
う方法である。
There are the following methods of wiring between the units. First, the method of wiring through the through holes opened through the board of each unit, and secondly, by forming the terminals so that the units to be wired are aligned with each other in each unit, and stacking and adhering them. / How to crimp
Thirdly, each unit is physically connected, and signals are exchanged by a light emitting element and a light receiving element provided in each unit.

【0032】また、ユーザーの希望に応じて機能をカス
タマイズする方法としては、提供できる機能を可能な限
り数多く搭載した半導体装置をあらかじめ作製してお
き、ユーザーの希望する機能のみを使用可能状態にす
る、或いは不要な機能を使用できないようにする方法も
ある。
As a method of customizing a function according to a user's request, a semiconductor device having as many functions as can be provided is prepared in advance so that only the function desired by the user can be used. Alternatively, there is a method of disabling unnecessary functions.

【0033】使用時に装置表面に配置しないと利用でき
ない機能や、できるだけ表面を大きく利用したい機能の
増加に対応し、少なくとも持ち運ぶ際は折畳んで小さく
することができ、使用時には同時に使いたい2つ以上の
機能部を縦方向または、横方向に並べるように拡げるこ
とにより、ディスプレイとキーボードの組み合わせ、セ
ンサーとディスプレイの組み合わせ、スキャナーとディ
スプレイの組み合わせのように少なくとも2つの同時に
使用する必要がある機能を持つ面が同時に使用者に対し
て表面に見えているようにすることができるので利便性
が非常に高まる。
It corresponds to the increase in functions that cannot be used unless it is placed on the surface of the device during use, or the functions that want to use the surface as much as possible. At least two can be folded at the time of carrying and used at the same time. By expanding the functional part of the device to be arranged vertically or horizontally, it has at least two functions that must be used at the same time, such as a combination of a display and a keyboard, a combination of a sensor and a display, and a combination of a scanner and a display. Convenience is greatly enhanced because the surface can be made visible to the user at the same time.

【0034】また、折畳んだり、丸めたりしすることに
より、携帯性や可搬性の高い半導体装置を実現すること
ができる。また、ディスプレイ機能について、例えば2
つ以上の面を選択し、それらの面全体として一つの画面
を継ぎ目無く表示させることも可能であるので、折り畳
み方次第で、使用時の状況に応じて画面の大きさを切り
替えて最適な大きさで使用することが出来る。
By folding or rolling, a semiconductor device with high portability and portability can be realized. Regarding the display function, for example, 2
It is also possible to select one or more faces and display one screen seamlessly as a whole of those faces, so depending on the folding method, you can switch the screen size according to the situation at the time of use to optimize the size. Can be used in

【0035】各素子を構成する材料としては、例えば、
有機材料を用いることが望ましい。有機材料は一般に無
機の半導体材料と比較して、微量の不純物による物性へ
の影響は少なく、可撓性も高い。
The material for forming each element is, for example,
It is desirable to use organic materials. Compared with inorganic semiconductor materials, organic materials generally have less influence on physical properties by a small amount of impurities and have high flexibility.

【0036】したがって、データを記録する記録素子
と、データの処理を行う演算素子と、データをやり取り
する通信素子と、エネルギーを貯蔵または発生するエネ
ルギー素子と、外部の情報を検出し蓄積或いは通信可能
なデータに変換するセンサ素子と、記録されたデータを
表示する表示素子のような半導体素子の構成要素の全部
或いはできるだけ多くの構成要素を有機材料で構成する
ことにより、汚染、曲げ、捻りなどに対して信頼性を向
上させることができる。
Therefore, a recording element for recording data, an arithmetic element for processing data, a communication element for exchanging data, an energy element for storing or generating energy, and external information can be detected and stored or communicated. By configuring all or as many constituent elements of the semiconductor element as a sensor element for converting the data into various data and a display element for displaying the recorded data with an organic material, contamination, bending, twisting, etc. On the other hand, the reliability can be improved.

【0037】多種多様な素子を一貫した印刷工程で作製
できるため製造工程が極めて簡単で低コストになること
に加え、それによってユーザーの希望に応じて仕様の異
なる多種類、少量生産にも対応できるようなり、例えば
ユーザーの注文の仕様に応じて生産、販売をすることも
可能となる。
Since a wide variety of elements can be produced by a consistent printing process, the manufacturing process is extremely simple and the cost is low, and it is also possible to meet the demands of users for various types and small-quantity production. As a result, for example, it is possible to produce and sell according to the specifications of the user's order.

【0038】実施例 以下、図面に示す実施例を用いてこの発明を詳細に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
EXAMPLES The present invention will be described below in detail with reference to the examples shown in the drawings, but the present invention is not limited to these examples.

【0039】(実施例1)図1に示すように、6つ又は
3つに折りたたみ可能な1枚のフレキシブルなシート状
基板8に、複数の機能部を作製する。例えば、図2に示
すように表示面12,13と入力面14(キー入力、タッチパ
ネルなど)とを縦に並べる。この場合、一つの表示面12
には、辞書等の参照情報を表示させ、もう一つの表示面
13に、入力情報や、作成中の情報を表示することができ
る。また、表示面の代わりに、太陽電池のような光エネ
ルギーを吸収するセンサ面と、表示面、入力面の3面を
縦、又は横の3面となるように開いて使用することも可
能である。
Example 1 As shown in FIG. 1, a plurality of functional parts are formed on one flexible sheet substrate 8 which can be folded into six or three pieces. For example, as shown in FIG. 2, the display surfaces 12 and 13 and the input surface 14 (key input, touch panel, etc.) are vertically arranged. In this case, one display surface 12
Displays reference information such as a dictionary on the other display screen.
Input information and information being created can be displayed in 13. Also, instead of the display surface, it is possible to open the sensor surface such as a solar cell that absorbs light energy, and the display surface and the input surface so that the three surfaces are vertical or horizontal. is there.

【0040】機能部に可撓性を持たせることは、機能部
を構成する素子を、例えば有機材料で形成することによ
り実現できる。表示素子駆動回路、メモリおよびプロセ
ッサを構成する素子の作製工程の具体的な一例を図3の
(a)〜(e)に示す。
The flexibility of the functional portion can be realized by forming the element forming the functional portion with, for example, an organic material. 3A to 3E of FIG. 3 show a specific example of the manufacturing process of the elements constituting the display element drive circuit, the memory and the processor.

【0041】まず、図3の(a)に示すように、ポリイ
ミドからなる基板6の表面に親水性処理を行う。親水処
理の方法としては、例えば、水蒸気雰囲気下で真空紫外
光照射(波長172、222nm)による方法がある。次に、図
3の(b)に示すように、この親水化処理基板6上に導
電性高分子の溶液を用いたインクジェットプリント法に
より配線パターンにしたがって塗布し乾燥させることで
ソース23及びドレイン24の電極パターンを形成す
る。
First, as shown in FIG. 3A, the surface of the substrate 6 made of polyimide is subjected to a hydrophilic treatment. As a hydrophilic treatment method, for example, there is a method of irradiating with vacuum ultraviolet light (wavelengths 172 and 222 nm) in a water vapor atmosphere. Next, as shown in FIG. 3B, the source 23 and the drain 24 are applied onto the hydrophilized substrate 6 by an inkjet printing method using a solution of a conductive polymer according to a wiring pattern and dried. Forming an electrode pattern.

【0042】導電性高分子としてはpolyethylenedioxyt
hiophene(PEDOT)とpolystylenesulfonate(PSS)の混合
物の1.5wt%水溶液(Baytron P)を用い、厚さは約500n
mとする。次に、図3の(c)に示すように、この上にF
luorene-Bithiophene共重合体のキシレン溶液を用いて
スピンコート法により約50nmの厚さのp型有機半導体層
25を形成する。
As the conductive polymer, polyethylenedioxyt
Using a 1.5 wt% aqueous solution (Baytron P) of a mixture of hiophene (PEDOT) and polystylenesulfonate (PSS), the thickness is about 500n.
Let m. Next, as shown in (c) of FIG.
A p-type organic semiconductor layer 25 having a thickness of about 50 nm is formed by a spin coating method using a xylene solution of luorene-Bithiophene copolymer.

【0043】この上に図3(d)に示すように、Poly-v
inylphenol(PVP)のイソプロパノール溶液を用いてス
ピンコート法により約500nmの絶縁層22を形成する。
この絶縁層の上に図3(e)に示すように、チャンネル
部の上に合わせてゲート電極21を導電性高分子を用い
て形成する。
On top of this, as shown in FIG. 3 (d), Poly-v
An insulating layer 22 of about 500 nm is formed by a spin coating method using an isopropanol solution of inylphenol (PVP).
As shown in FIG. 3E, the gate electrode 21 is formed on the insulating layer so as to be aligned with the channel portion using a conductive polymer.

【0044】導電性高分子としては、ソース及びドレイ
ン電極と同様にpolyethylenedioxythiophene(PEDOT)
とpolystylenesulfonate(PSS)の混合物の1.5wt%水溶液
(バイエル製 Baytron P)を用い、厚さは約500nmとす
る。
As the conductive polymer, polyethylenedioxythiophene (PEDOT) is used as in the source and drain electrodes.
A 1.5 wt% aqueous solution (Baytron P made by Bayer) of a mixture of PEG and polystylene sulfonate (PSS) is used, and the thickness is about 500 nm.

【0045】表示素子駆動回路用のトランジスタ等にお
いて、ドレイン電極から、駆動回路の上に積層されて形
成される表示素子の画素に配線する必要がある場合に
は、ドレイン電極から絶縁層および半導体層を貫通する
スルーホールを形成する方法や、絶縁層および半導体層
共にインクジェット法で作製する方法を用いて、ドレイ
ン電極を表示素子の各画素と接続することができる。
In a transistor or the like for a display element drive circuit, when wiring is required from the drain electrode to the pixel of the display element formed by being stacked on the drive circuit, the drain electrode is connected to the insulating layer and the semiconductor layer. The drain electrode can be connected to each pixel of the display element by using a method of forming a through hole penetrating the substrate or a method of forming both the insulating layer and the semiconductor layer by an inkjet method.

【0046】また、別の方法としては、図4の(a)〜
(e)に示すように図3に示す素子の作製工程とは逆の
順番でゲート電極21、絶縁層22、ソース・ドレイン
電極23,24、半導体層25の順に形成する方法があ
る。
As another method, as shown in FIG.
As shown in (e), there is a method of forming the gate electrode 21, the insulating layer 22, the source / drain electrodes 23 and 24, and the semiconductor layer 25 in this order in the reverse order of the manufacturing process of the device shown in FIG.

【0047】表示素子としては高分子分散型液晶を用い
る。ただし、液晶に限定されるものではなく、例えば電
気泳動素子や有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)
素子などが用いられる。
Polymer dispersed liquid crystal is used as the display element. However, the liquid crystal is not limited to liquid crystal, and for example, an electrophoretic element or organic electroluminescence (organic EL)
An element or the like is used.

【0048】ポリマー分散型液晶層で使用される液晶
は、その種類は特に限定されない。例えば、ネマチック
液晶、スメクティック液晶、コレステリック液晶などを
好適に使用できる。本発明におけるポリマー分散型液晶
層で使用されるポリマーとしては、ポリビニルブチラー
ル、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル、アクリル
シリコン、塩化ビニル、酢酸ビニル共重合体、シリコ
ン、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、シ
アノエチル化プルランなどの各種のシアノエチル化合物
などの各種ポリマー樹脂類及びこれらの混合物類などを
使用できる。
The type of liquid crystal used in the polymer dispersed liquid crystal layer is not particularly limited. For example, nematic liquid crystal, smectic liquid crystal, cholesteric liquid crystal and the like can be preferably used. Examples of the polymer used in the polymer-dispersed liquid crystal layer in the present invention include polyvinyl butyral, polyester, polyurethane, acrylic, acryl silicon, vinyl chloride, vinyl acetate copolymer, silicon, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, and cyanoethylated pullulan. Various polymer resins such as various cyanoethyl compounds and mixtures thereof can be used.

【0049】この発明のポリマー分散型液晶層の形成方
法は特に限定されない。当業者に公知であり、また、当
業者に慣用又は常用されている液晶形成方法は全てこの
発明で使用できる。例えば、カプセル化法、重合相分離
法、熱相分離法、溶媒蒸発相分離法などの方法を適宜に
使用することができる。
The method for forming the polymer dispersed liquid crystal layer of the present invention is not particularly limited. Any liquid crystal forming method known to those skilled in the art and commonly or commonly used by those skilled in the art can be used in the present invention. For example, methods such as an encapsulation method, a polymerization phase separation method, a thermal phase separation method, and a solvent evaporation phase separation method can be appropriately used.

【0050】ROMやRAMなどの記憶素子の場合には、例え
ば図3の方法で製作した素子のドレイン側に強誘電材料
からなるキャパシタを付加することで達成可能である。
有機の強誘電材料としては例えばフッ化ビニリデン−3
フッ化エチレン共重合体を用いてスピンコート法やイン
クジェット法で薄膜を形成できる。
In the case of a memory element such as ROM or RAM, it can be achieved by adding a capacitor made of a ferroelectric material to the drain side of the element manufactured by the method of FIG. 3, for example.
Examples of organic ferroelectric materials include vinylidene fluoride-3
A thin film can be formed by a spin coating method or an inkjet method using a fluoroethylene copolymer.

【0051】光イメージセンサの場合も有機トランジス
タ構造のアレイを作製することができる。各画素に当る
トランジスタのゲート電極を光(赤外線も含む)により
起電力を生じる材料で構成すると、ゲート部に光の強度
に依存して起電力が発生するので、生じたゲート電圧に
依存して変化するソース−ドレイン電流を各画素毎に検
出して画像化する。材料としては、例えばポルフィリン
類、フタロシアニン類やその誘導体、polyphenylenevin
ylene誘導体とフラーレン誘導体の混合物、perylene誘
導体などが利用できる。
Also in the case of an optical image sensor, an array having an organic transistor structure can be manufactured. If the gate electrode of the transistor corresponding to each pixel is made of a material that generates electromotive force by light (including infrared rays), electromotive force is generated in the gate part depending on the intensity of light, so it depends on the generated gate voltage. The varying source-drain current is detected for each pixel and imaged. Examples of the material include porphyrins, phthalocyanines and their derivatives, polyphenylene vin.
A mixture of an ylene derivative and a fullerene derivative, a perylene derivative, etc. can be used.

【0052】RF用コイルについては、例えば金属微粒子
を主成分とする導電性ペーストを用いたスクリーン印刷
で作製することができる。この実施例の方法では、銀ペ
ースト(平均粒径10μmの銀紛をフェノキシ樹脂とブチ
ルカルビトールよりなる)を用い、スクリーン印刷によ
りコイル状に印刷した後、150℃で約20分乾燥する。巻
き数は20回で線幅は約300μmで総延長は約250cmとす
る。
The RF coil can be produced, for example, by screen printing using a conductive paste containing metal fine particles as a main component. In the method of this embodiment, a silver paste (silver powder having an average particle size of 10 μm, which is composed of a phenoxy resin and butyl carbitol) is used to screen-print a coil, and then dried at 150 ° C. for about 20 minutes. The number of windings is 20, the line width is about 300 μm, and the total length is about 250 cm.

【0053】上記のような方法で作製された半導体装置
は、折りたたんでポケットやバッグに収納したり、手で
持ち運ぶことができる。折りたたみの方向や、順番、折
り畳み回数は、特に限定されないが、折り畳みの際に曲
げられる位置を限定し、その部分にはできるだけ素子を
配置しないようにすることで信頼性を高めることもでき
る。使いたい機能部を、最上部になるように折りたたん
で使用することができる。
The semiconductor device manufactured by the above method can be folded and stored in a pocket or a bag, or can be carried by hand. The folding direction, the order, and the number of times of folding are not particularly limited, but it is also possible to improve reliability by limiting the bending position at the time of folding and arranging as few elements as possible in that portion. You can fold the function part you want to use so that it is at the top.

【0054】また、2つ以上の同時に使いたい機能部を
縦方向または、横方向に並べるように折りたたむこと
で、使い勝手をよくすることができる。折り畳み方次第
で、幾通りもの組み合わせを実現することができる。
Further, it is possible to improve the usability by folding two or more functional parts which are desired to be used at the same time so as to be aligned in the vertical direction or the horizontal direction. Many combinations can be realized depending on the folding method.

【0055】また、この方法は実施例1のような有機材
料からなる素子を主体とするものだけでなく、シリコン
などの無機半導体デバイスにおいて、機能部以外の基板
を出来るだけ少なくして薄くしたプロセッサやメモリを
基板上に配置したものも利用できる。
Further, this method is not limited to the method using an element made of an organic material as in Example 1 as a main component, but in an inorganic semiconductor device such as silicon, the processor is thinned by reducing the substrate other than the functional portion as much as possible. It is also possible to use a memory or memory arranged on a substrate.

【0056】(実施例2)図5に示すシート状情報端末
15は、折り畳み可能な可撓性を有し、かつ、表面の全面
が表示機能を有しており、プロセッサによる制御によ
り、表示面の全面或いは任意の一部の領域に表示させる
ことが可能である。ディスプレイ駆動素子、記憶素子、
プロセッサや通信素子は、表示機能素子の下層或いは表
示機能素子が形成されている基板の裏面に形成されてい
る。このような折り畳み可能な情報端末は、例えば実施
例1に記載の方法によって実現できる。
(Example 2) Sheet-like information terminal shown in FIG.
Fifteen is foldable and has a display function on the entire surface, and can be displayed on the entire display surface or an arbitrary part of the area under the control of the processor. is there. Display drive element, memory element,
The processor and the communication element are formed on the lower layer of the display function element or on the back surface of the substrate on which the display function element is formed. Such a foldable information terminal can be realized by the method described in the first embodiment, for example.

【0057】図5の(a)のように全面でABCDEF
Gと表示させることができるが、図5の(b)のように
破線に沿って折畳んだ場合にも、折畳んだ後の表面に全
面表示の場合と同じようにABCDEFGと画面サイズ
に合わせて表示させることができる。
ABCDEF on the entire surface as shown in FIG.
It can be displayed as G, but when folded along the broken line as shown in Fig. 5 (b), it is adjusted to ABCDEFG and the screen size in the same manner as in the case of full display on the surface after folding. Can be displayed.

【0058】折りたたみの回数は特に限定されずn分の
1のサイズから全面表示まで自由に選択して切り替えて
表示させることができる。この場合、表示サイズは回路
的に切り替えるので折り畳まれる際に曲げられていた領
域も含めて継ぎ目のない表示が実現できる。
The number of times of folding is not particularly limited, and it is possible to freely select and switch from one-nth size to full-screen display. In this case, since the display size is switched on a circuit basis, it is possible to realize a seamless display including the region that was bent when folded.

【0059】使用する場所や、目的に合わせて、折り畳
み方法即ち、表示サイズを任意に選択することを可能と
する。この時、例えば折り畳みによる屈曲を検知するセ
ンサーを装備することにより、開かれたシート状情報端
末のサイズを自動的に認識し、表示サイズエリアを決め
て、開かれた部分にのみ情報表示を行わせることもでき
る。
The folding method, that is, the display size can be arbitrarily selected according to the place of use and the purpose. At this time, for example, by installing a sensor that detects bending due to folding, the size of the opened sheet information terminal is automatically recognized, the display size area is determined, and information is displayed only in the opened portion. It can also be done.

【0060】(実施例3)シート状の基板の上に素子を
配置した機能別ユニットを作製し、これを互いに可撓性
のある接続部で連結する構造によって折り畳み可能な半
導体装置を実現する例を図6〜図8に示す。図6は、シ
ート状の基板8の上にセンサ1a、センサ1b、表示素子
2、プロセッサ3、記憶素子4、RF素子5を配置した機
能別ユニットを互いにジグザグに連結し、連結部に可動
性を付与したヒンジ10を使用したものである。
(Embodiment 3) An example in which a foldable semiconductor device is realized by producing functional units in which elements are arranged on a sheet-like substrate and connecting them by flexible connecting portions. Is shown in FIGS. FIG. 6 shows that the functional units including the sensor 1a, the sensor 1b, the display element 2, the processor 3, the memory element 4, and the RF element 5 are arranged on a sheet-shaped substrate 8 in a zigzag manner, and the connecting portion is movable. The hinge 10 provided with is used.

【0061】図7はシート状の基板8の上に素子を配置
した機能別ユニットの一つの2辺に他のユニットを連結
し、連結部に可動性を付与したヒンジ10を使用した例で
ある。この例では2辺に他のユニットを連結しているが
3辺或いは4辺に連結することも可能である。
FIG. 7 shows an example in which a hinge 10 in which the other unit is connected to one of two sides of a functional unit in which elements are arranged on a sheet-like substrate 8 and the connecting portion is provided with flexibility is used. . In this example, other units are connected to two sides, but it is also possible to connect other units to three or four sides.

【0062】図8は、シート状の基板8の上に素子を配
置した機能別ユニットを厚さ方向に重ねて1辺でユニッ
トすべてを連結し、連結部に可動性を付与したヒンジ10
を使用した例である。
FIG. 8 shows a hinge 10 in which functional units in which elements are arranged on a sheet-shaped substrate 8 are stacked in the thickness direction and all the units are connected by one side, and the connecting portion is provided with movability.
Is an example of using.

【0063】各素子は例えば実施例1で記載した方法で
作製することが出来る。上下のシート間の配線方法とし
ては、フレキシブルプリント配線(FPC)を用いる方法
や、各シートを貫通するスルーホールを通した配線を導
電性粘着シートを用いて接続する方法、各シートを貫通
するスルーホールを通した配線の端子同士を圧着する方
法などが用いられる。
Each element can be manufactured, for example, by the method described in the first embodiment. As the wiring method between the upper and lower sheets, a method using a flexible printed wiring (FPC), a method of connecting the wiring through a through hole penetrating each sheet with a conductive adhesive sheet, a through penetrating each sheet A method of crimping the terminals of the wiring through the holes is used.

【0064】図6〜図8には、各ユニットがヒンジで連
結されている構造の例を示しているが、特に図6と図7
の構造の場合には、もともと図6と図7の形状の可撓性
のある基板上に素子及び配線を形成することによってヒ
ンジを用いることなく実現できる。また、この方法は実
施例1に示したような有機材料からなる素子を主体とす
るものだけでなく、シリコンなどの無機半導体デバイス
において、機能部以外の基板をできるだけ除去して薄く
したプロセッサやメモリをシート基板上に配置したもの
にも利用できる。
6 to 8 show an example of a structure in which the units are connected by a hinge. Particularly, FIGS. 6 and 7 are shown.
The above structure can be realized without using a hinge by forming the element and the wiring on the flexible substrate having the shape originally shown in FIGS. 6 and 7. In addition, this method is not limited to the method using an element made of an organic material as shown in Example 1 as a main component, but in an inorganic semiconductor device such as silicon, a processor or memory in which a substrate other than a functional part is removed as thin as possible It can also be used for those arranged on a sheet substrate.

【0065】(実施例4)各素子を可撓性のある材料で
構成することにより、素子自体に可撓性を付与すること
ができ、これらの素子を可撓性のあるシート基板上に配
置して形成することにより、各素子を配置したシート全
体として可撓性を持たせることができる。
(Embodiment 4) By constructing each element with a flexible material, it is possible to impart flexibility to the element itself, and these elements are arranged on a flexible sheet substrate. By forming the sheet in this manner, it is possible to give flexibility to the entire sheet on which the respective elements are arranged.

【0066】可撓性のある素子は例えば実施例1に記載
の方法で作製することが出来る。これを丸めて棒状(筒
状)にした状態で仮止め出来るようにし、必要に応じて
開いた状態で使用したり、丸めた状態で使用したりする
ことが出来る。これにより、例えば持ち運び時は丸めて
おき(例えばペンのように胸ポケットに刺しておくこと
も可能)、使用時には開く使い方も可能である。図9と
図10にその一例を示す。
The flexible element can be manufactured by the method described in Example 1, for example. It can be temporarily fixed in the state of being rolled into a rod (cylindrical), and can be used in the opened state or used in the rolled state as needed. As a result, for example, it can be rolled up when carried (it can be stuck in a breast pocket like a pen, for example) and opened when used. 9 and 10 show an example thereof.

【0067】まず、図9に示すように、一枚のシート状
の基板8の上にプロセッサ3、記憶素子4、センサ1a、
センサ1b、表示素子2の各素子を平面的に配置して配線
を施す。
First, as shown in FIG. 9, a processor 3, a memory element 4, a sensor 1a,
Each element of the sensor 1b and the display element 2 is arranged in a plane and wiring is provided.

【0068】次に、各素子が配置されて配線が施された
基板を図10に示すように丸めて、端部を止め具26で
とりはずし可能に固定する。各素子の内、表示素子2や
センサ1aのように、丸めた際、最表面に露出する必要が
ある素子は、あらかじめシート基板8上に配置する際に
配置位置をよく考慮しておく。
Next, the substrate on which each element is arranged and wiring is rolled as shown in FIG. 10, and the ends are detachably fixed by the stoppers 26. Among the respective elements, elements such as the display element 2 and the sensor 1a that need to be exposed on the outermost surface when rolled are carefully considered in advance when arranging them on the sheet substrate 8.

【0069】この実施例では表示素子2とセンサー1aの
みが最終的に丸めた形状の半導体装置で表面に露出し、
他のプロセッサ3、記憶素子4、センサー2bは内部に巻き
込まれるようにしてある。棒状(筒状)半導体装置の内
径及び外形は、素子を形成した後の基板のフレキシビリ
ティに応じて、素子や配線が壊れない範囲で設定するこ
とができる。
In this embodiment, only the display element 2 and the sensor 1a are finally exposed on the surface of the semiconductor device having a rounded shape,
The other processor 3, storage element 4, and sensor 2b are designed to be caught inside. The inner diameter and outer shape of the rod-shaped (cylindrical) semiconductor device can be set within a range in which the element and the wiring are not broken depending on the flexibility of the substrate after the element is formed.

【0070】[0070]

【発明の効果】この発明によれば、構成素子が可撓性を
有し折り畳みが可能であるので、携帯時に折り畳み、使
用時に広げることができる使い勝手のよい半導体装置が
提供される。また、構成素子が可撓性を有し、丸めたり
広げたりすることが可能であるので、携帯時に丸め、使
用時に広げることができる使い勝手のよい半導体装置が
提供される。
According to the present invention, since the constituent elements are flexible and can be folded, there is provided a convenient semiconductor device which can be folded when carried and unfolded when used. Further, since the constituent elements are flexible and can be rolled or unrolled, a semiconductor device which is easy to use and can be rolled and unrolled when used is provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1実施例の使用方法を説明する説
明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a method of using a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の第1実施例の構成を示す説明図であ
る。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the configuration of the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の第1実施例の製造方法を示す工程図
である。
FIG. 3 is a process drawing showing the manufacturing method of the first embodiment of the present invention.

【図4】この発明の第1実施例の製造方法を示す工程図
である。
FIG. 4 is a process drawing showing the manufacturing method of the first embodiment of the present invention.

【図5】この発明の第2実施例の動作を示す説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the operation of the second embodiment of the present invention.

【図6】この発明の第3実施例の構成を示す説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a configuration of a third embodiment of the present invention.

【図7】この発明の第3実施例の他の構成を示す説明図
である。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing another configuration of the third embodiment of the present invention.

【図8】この発明の第3実施例のさらに他の構成を示す
説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing still another configuration of the third embodiment of the present invention.

【図9】この発明の第4実施例の構成を示す説明図であ
る。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention.

【図10】この発明の第4実施例の動作を示す説明図で
ある。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing the operation of the fourth embodiment of the present invention.

【図11】従来例の構成を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing a configuration of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a…センサ 1b…センサ 2…表示素子 2a…表示層 2b…駆動回路 3…プロセッサ 4…記憶素子 5…RF素子 6…基板 7…保護膜 8…基板 10…ヒンジ 11…配線 12…表示面 13…表示面 14…入力面 15…シート状情報端末 20…ICチップ 21…ケ゛ート電極 22…ケ゛ート絶縁膜 23…ソース電極 24…ト゛レイン電極 25…半導体層 26…止め具 1a ... Sensor 1b ... Sensor 2 ... Display element 2a ... Display layer 2b ... Drive circuit 3 ... Processor 4 ... Memory element 5 ... RF element 6 ... substrate 7 ... Protective film 8 ... Board 10 ... Hinge 11 ... wiring 12 ... Display surface 13 ... Display surface 14 ... Input surface 15 ... Sheet information terminal 20 ... IC chip 21 ... Gate electrode 22 ... Gate insulating film 23 ... Source electrode 24 ... Drain electrode 25 ... Semiconductor layer 26 ... Stoppers

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/40 301 G06K 19/00 H H01L 21/288 K 29/786 H01L 29/28 51/00 29/78 618B (72)発明者 森 重恭 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 小西 貴雄 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 4M104 AA10 BB36 CC01 CC05 DD22 DD51 EE03 EE18 GG09 5B019 BA10 BC06 BC08 5B035 AA07 BA03 BA07 BB09 CA02 CA23 5C094 AA15 AA60 DA06 DA08 HA10 5F110 AA30 BB01 CC05 CC07 DD01 EE01 EE41 FF01 FF21 GG05 GG24 GG41 HK01 HK31 NN72─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G09F 9/40 301 G06K 19/00 H H01L 21/288 K 29/786 H01L 29/28 51/00 29 / 78 618B (72) Inventor Shigeyasu Mori 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Prefecture, Sharp Corporation (72) Takao Konishi 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka, Osaka Prefecture F Term (reference) 4M104 AA10 BB36 CC01 CC05 DD22 DD51 EE03 EE18 GG09 5B019 BA10 BC06 BC08 5B035 AA07 BA03 BA07 BB09 CA02 CA23 5C094 AA15 AA60 DA06 DA08 HA10 5F110 AHA30 BB01 CC05 CC07 DD01 GG01 FF01 EE01FF24EE41

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 データを記録する記録素子と、データの
処理を行う演算素子と、データをやり取りする通信素子
と、エネルギーを貯蔵または発生するエネルギー素子
と、外部の情報を検出し蓄積或いは通信可能なデータに
変換するセンサ素子と、データを表示する表示素子とを
含む素子類の内の少なくとも1つの素子を備え、備えた
素子の少なくとも1つが可撓性材料で構成した折り曲げ
部を有し、それによって折り畳み可能であることを特徴
とする半導体装置。
1. A recording element for recording data, an arithmetic element for processing data, a communication element for exchanging data, an energy element for storing or generating energy, and external information can be detected and stored or communicated. A sensor element for converting into various data, and at least one element out of elements including a display element for displaying data, and at least one of the provided elements has a bent portion made of a flexible material, A semiconductor device characterized by being foldable thereby.
【請求項2】 データを記録する記録素子と、データの
処理を行う演算素子と、データをやり取りする通信素子
と、エネルギーを貯蔵または発生するエネルギー素子
と、外部の情報を検出し蓄積或いは通信可能なデータに
変換するセンサ素子と、データを表示する表示素子とを
含む素子類の内の少なくとも1つの素子を備え、備えた
素子の少なくとも1つが可撓性材料で構成され、それに
よって丸めたり、広げたりすることが可能であることを
特徴とする半導体装置。
2. A recording element for recording data, an arithmetic element for processing data, a communication element for exchanging data, an energy element for storing or generating energy, and external information can be detected and stored or communicated. A sensor element for converting into various data, and at least one element out of elements including a display element for displaying data, at least one of the provided elements is made of a flexible material, thereby being rolled, A semiconductor device which can be expanded.
【請求項3】 折畳まれた状態で一つの面に又は複数の
面に渡って1画面の情報を表示する表示素子を備えるこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
3. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a display element that displays information of one screen on one surface or over a plurality of surfaces in a folded state.
【請求項4】 拡げた状態で全面にわたって1画面の情
報を表示する表示素子を備えることを特徴とする請求項
1記載の半導体装置。
4. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a display element for displaying information of one screen over the entire surface in an expanded state.
【請求項5】 可撓性材料が有機材料であることを特徴
とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装
置。
5. The semiconductor device according to claim 1, wherein the flexible material is an organic material.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれか1つの半導体装
置を製造する方法であって、塗布法、印刷法およびフィ
ルムの張り合わせにより製造することを特徴とする半導
体装置の製造方法。
6. A method of manufacturing a semiconductor device according to claim 1, wherein the method is a coating method, a printing method, and a film bonding method.
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