JP2003185836A - 偏光ビームスプリッタ及び光アイソレータ光学系 - Google Patents
偏光ビームスプリッタ及び光アイソレータ光学系Info
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- JP2003185836A JP2003185836A JP2001382602A JP2001382602A JP2003185836A JP 2003185836 A JP2003185836 A JP 2003185836A JP 2001382602 A JP2001382602 A JP 2001382602A JP 2001382602 A JP2001382602 A JP 2001382602A JP 2003185836 A JP2003185836 A JP 2003185836A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 取り付け角度の誤差や変化が生じても、光軸
からの変位量を微小範囲内に抑制可能な偏光ビームスプ
リッタ及び光アイソレータ光学系を実現する。 【解決手段】 本発明による偏光ビームスプリッタは、
第１の面１１に入射した光ビームを第２の面１２から偏
角が９０°又は２７０°の出射ビームとして出射させる
ペンタプリズム１０と、その第４の面１４に設けられ、
第１の偏光方向に偏光した光を反射し第１の偏光方向と
直交する第２の偏光方向に偏光した光を透過する偏光膜
３０と、偏光膜上に接し、第１の面と垂直な入射面２１
を有するプリズム体２０とを具える事を特徴とする。ペ
ンタプリズム特有の機能を有効利用しており、ビームス
プリッタの取り付け位置が僅かに回転しても、光軸から
僅かに変位した光軸に平行な光ビームとして出射可能で
ある。レンズ系の介在により、物体上又は光検出器上
の、取り付け位置が正規の場合と同じ位置に入射が可能
である。
からの変位量を微小範囲内に抑制可能な偏光ビームスプ
リッタ及び光アイソレータ光学系を実現する。 【解決手段】 本発明による偏光ビームスプリッタは、
第１の面１１に入射した光ビームを第２の面１２から偏
角が９０°又は２７０°の出射ビームとして出射させる
ペンタプリズム１０と、その第４の面１４に設けられ、
第１の偏光方向に偏光した光を反射し第１の偏光方向と
直交する第２の偏光方向に偏光した光を透過する偏光膜
３０と、偏光膜上に接し、第１の面と垂直な入射面２１
を有するプリズム体２０とを具える事を特徴とする。ペ
ンタプリズム特有の機能を有効利用しており、ビームス
プリッタの取り付け位置が僅かに回転しても、光軸から
僅かに変位した光軸に平行な光ビームとして出射可能で
ある。レンズ系の介在により、物体上又は光検出器上
の、取り付け位置が正規の場合と同じ位置に入射が可能
である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、偏光ビームスプリ
ッタ及び当該偏光ビームスプリッタを用いた光アイソレ
ータ光学系に関するものである。
ッタ及び当該偏光ビームスプリッタを用いた光アイソレ
ータ光学系に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ顕微鏡や種々の光学装置には、光
源から試料に向かう光ビームと試料から光検出器に向か
う光ビームとを分離するための光アイソレータが用いら
れている。光アイソレータとして、内部に偏光膜を有す
る偏光プリズムとλ／４板との組み合わせが広く用いら
れている。偏光プリズムは、２個の三角プリズムを接合
し、これらプリズム間の接合面に第１の方向に偏光した
光を透過させ第１の方向と直交する方向に偏光した光を
反射する偏光膜が形成されている。そして、第１の方向
に偏光した光ビームを偏光プリズム及びλ／４板を経て
物体に入射させ、物体からの反射ビームをλ／４板を経
て偏光プリズムに入射させ、当該偏光プリズムの偏光面
で反射させて偏光プリズムから出射させている。
源から試料に向かう光ビームと試料から光検出器に向か
う光ビームとを分離するための光アイソレータが用いら
れている。光アイソレータとして、内部に偏光膜を有す
る偏光プリズムとλ／４板との組み合わせが広く用いら
れている。偏光プリズムは、２個の三角プリズムを接合
し、これらプリズム間の接合面に第１の方向に偏光した
光を透過させ第１の方向と直交する方向に偏光した光を
反射する偏光膜が形成されている。そして、第１の方向
に偏光した光ビームを偏光プリズム及びλ／４板を経て
物体に入射させ、物体からの反射ビームをλ／４板を経
て偏光プリズムに入射させ、当該偏光プリズムの偏光面
で反射させて偏光プリズムから出射させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した偏光プリズム
とλ／４板とを組み合わせた光アイソレータは良好なビ
ーム分離性能を達成することができるが、取り付け角度
が僅かに変化するだけでも出射ビームが光検出器に対し
て大幅にずれてしまう不具合が指摘されていた。また、
組み立て時には光軸に対して高精度に取り付けられて
も、実際の使用時には例えば熱等の影響により偏光プリ
ズムの取り付け角度が変化する場合も多い。このような
場合、偏光プリズムから光検出器までの光路長が比較的
長い光学系の場合、僅かな取り付け角度の誤差や変化に
より物体からの光ビームが光検出器に対して大幅に変位
して入射する不都合が生じてしまう。
とλ／４板とを組み合わせた光アイソレータは良好なビ
ーム分離性能を達成することができるが、取り付け角度
が僅かに変化するだけでも出射ビームが光検出器に対し
て大幅にずれてしまう不具合が指摘されていた。また、
組み立て時には光軸に対して高精度に取り付けられて
も、実際の使用時には例えば熱等の影響により偏光プリ
ズムの取り付け角度が変化する場合も多い。このような
場合、偏光プリズムから光検出器までの光路長が比較的
長い光学系の場合、僅かな取り付け角度の誤差や変化に
より物体からの光ビームが光検出器に対して大幅に変位
して入射する不都合が生じてしまう。
【０００４】従って、本発明の目的は、取り付け角度の
誤差や変化が生じても、光軸からの変位量を微小範囲内
に抑えることができる偏光ビームスプリッタ及び光アイ
ソレータ光学系を実現することにある。
誤差や変化が生じても、光軸からの変位量を微小範囲内
に抑えることができる偏光ビームスプリッタ及び光アイ
ソレータ光学系を実現することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によるビームスプ
リッタ素子は、互いに直角をなす光透過性の第１及び第
２の面と、第１の面と対向する光反射性の第３の面と、
第２の面と対向する光透過性の第４の面とを有し、前記
第１の面に入射した光ビームを前記第２の面から偏角が
９０°又は２７０°の出射ビームとして出射させるペン
タプリズムと、ペンタプリズムの第４の面に設けられ、
第１の偏光方向に偏光した光を透過し第１の偏光方向と
直交する第２の偏光方向に偏光した光を反射する偏光膜
と、前記偏光膜上に設けられ、前記ペンタプリズムの第
２の面と平行で光透過性面を有するプリズム体とを具え
ることを特徴とする。
リッタ素子は、互いに直角をなす光透過性の第１及び第
２の面と、第１の面と対向する光反射性の第３の面と、
第２の面と対向する光透過性の第４の面とを有し、前記
第１の面に入射した光ビームを前記第２の面から偏角が
９０°又は２７０°の出射ビームとして出射させるペン
タプリズムと、ペンタプリズムの第４の面に設けられ、
第１の偏光方向に偏光した光を透過し第１の偏光方向と
直交する第２の偏光方向に偏光した光を反射する偏光膜
と、前記偏光膜上に設けられ、前記ペンタプリズムの第
２の面と平行で光透過性面を有するプリズム体とを具え
ることを特徴とする。
【０００６】本発明による偏光ビームスプリッタは、光
源から物体に向かう光ビームに対してはペンタプリズム
と同様に作用し、プリズム体の第５の面とペンタプリズ
ムの第２の面とが互いに平行な面として形成されている
ので、物体から光検出器に向けて進行する光ビームに対
しては平行平面板と同様な作用を発揮する。よって、当
該偏光ビームスプリッタが光軸に対して僅かに回転して
取り付けられても或いは熱等の要因により光軸に対して
回動しても、光軸から僅かに変位する光軸に平行な光ビ
ームとして出射させることができる。この結果、ビーム
スプリッタに課せられる取り付け精度を大幅に緩和する
ことができる。しかも、動作中に熱等の要因によりビー
ムスプリッタが変位又は回転しても光検出器における光
ビームの正規の位置からの変位を微小な範囲内に抑制す
ることができる。
源から物体に向かう光ビームに対してはペンタプリズム
と同様に作用し、プリズム体の第５の面とペンタプリズ
ムの第２の面とが互いに平行な面として形成されている
ので、物体から光検出器に向けて進行する光ビームに対
しては平行平面板と同様な作用を発揮する。よって、当
該偏光ビームスプリッタが光軸に対して僅かに回転して
取り付けられても或いは熱等の要因により光軸に対して
回動しても、光軸から僅かに変位する光軸に平行な光ビ
ームとして出射させることができる。この結果、ビーム
スプリッタに課せられる取り付け精度を大幅に緩和する
ことができる。しかも、動作中に熱等の要因によりビー
ムスプリッタが変位又は回転しても光検出器における光
ビームの正規の位置からの変位を微小な範囲内に抑制す
ることができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明によるビームスプリ
ッタ素子を有する光アイソレータ光学系の一例の構成を
示す線図である。例えば、レーザダイオードのような光
源１から光ビームを発生する。本例では、第１の方向に
直線偏光した光としてＳ偏光した光を用い、光源１から
Ｓ偏光した光ビームを投射する。この光ビームは、種々
の光学素子（図示せず）を通過した後、本発明による偏
光ビームスプリッタ２に入射し、当該偏光ビームスプリ
ッタ２を通過し、λ／４板３に入射する。このλ／４板
３を透過することにより、この光ビームの偏光面は４５
°変化して円偏光に変換される。そして、円偏光した光
ビームを物体４に入射させる。尚、λ／４板３と物体４
との間には、対物レンズのような種々の光学素子を配置
することができる。物体４によりなんらかの光学的作用
を受けた反射ビームは、再びλ／４板３を透過してＰ偏
光した光に変換され、偏光ビームスプリッタ２に入射す
る。そして、偏光ビームスプリッタに設けた偏光膜を透
過し、光検出器（図示せず）側に向けて出射する。
ッタ素子を有する光アイソレータ光学系の一例の構成を
示す線図である。例えば、レーザダイオードのような光
源１から光ビームを発生する。本例では、第１の方向に
直線偏光した光としてＳ偏光した光を用い、光源１から
Ｓ偏光した光ビームを投射する。この光ビームは、種々
の光学素子（図示せず）を通過した後、本発明による偏
光ビームスプリッタ２に入射し、当該偏光ビームスプリ
ッタ２を通過し、λ／４板３に入射する。このλ／４板
３を透過することにより、この光ビームの偏光面は４５
°変化して円偏光に変換される。そして、円偏光した光
ビームを物体４に入射させる。尚、λ／４板３と物体４
との間には、対物レンズのような種々の光学素子を配置
することができる。物体４によりなんらかの光学的作用
を受けた反射ビームは、再びλ／４板３を透過してＰ偏
光した光に変換され、偏光ビームスプリッタ２に入射す
る。そして、偏光ビームスプリッタに設けた偏光膜を透
過し、光検出器（図示せず）側に向けて出射する。
【０００８】次に、偏光ビームスプリッタ２の詳細な構
成について説明する。本発明による偏光ビームスプリッ
タ２は、ペンタプリズム１０と、このペンタプリズムに
結合したプリズム体２０と、ペンタプリズム１０とプリ
ズム体２０との間に設けた偏光膜３０とで構成される。
ペンタプリズム１０は、互いに直角をなす第１の面１１
と第２の面１２を具え、これら第１及び第２の面は共に
光透過性とする。さらに、ペンタプリズム１０は、第１
の面１１と対向する光反射性の第３の面１３並びに第２
の面と対向する光透過性の第４の面１４を有し、これら
第３の面と第４の面との間に第５の面１５が介在する。
光反射性の第３の面１３は、例えば銀メッキを施した反
射面とすることができる。また、第４の面１４は光透過
面とする。尚、第５の面１５は必ずしも必要なものでは
なく、必要に応じて形成する。
成について説明する。本発明による偏光ビームスプリッ
タ２は、ペンタプリズム１０と、このペンタプリズムに
結合したプリズム体２０と、ペンタプリズム１０とプリ
ズム体２０との間に設けた偏光膜３０とで構成される。
ペンタプリズム１０は、互いに直角をなす第１の面１１
と第２の面１２を具え、これら第１及び第２の面は共に
光透過性とする。さらに、ペンタプリズム１０は、第１
の面１１と対向する光反射性の第３の面１３並びに第２
の面と対向する光透過性の第４の面１４を有し、これら
第３の面と第４の面との間に第５の面１５が介在する。
光反射性の第３の面１３は、例えば銀メッキを施した反
射面とすることができる。また、第４の面１４は光透過
面とする。尚、第５の面１５は必ずしも必要なものでは
なく、必要に応じて形成する。
【０００９】ペンタプリズム１０の第４の面１４上に誘
電体多層膜で構成される偏光膜３０を形成する。この偏
光膜３０は、第１の偏光方向に偏光した光すなわちＳ偏
光した光を反射し第１の偏光方向と直交する第２の偏光
方向に偏光したＰ偏光した光を透過する。
電体多層膜で構成される偏光膜３０を形成する。この偏
光膜３０は、第１の偏光方向に偏光した光すなわちＳ偏
光した光を反射し第１の偏光方向と直交する第２の偏光
方向に偏光したＰ偏光した光を透過する。
【００１０】偏光膜３０をはさんでペンタプリズムの第
４の面１４上にプリズム体２０を結合する。プリズム体
２０はペンタプリズムを構成する光学材料と同一の光学
材料で構成する。本例では、このプリズム体２０は四角
形のプリズム体とする。当該プリズム体２０は、当該光
学系の光出射面として作用する第５の面２１及びペンタ
プリズムの第４の面１４と対向する第６の面２２を有す
る。プリズム体２０の光出射面として作用する第１の面
２１は、組み立てられた際、ペンタプリズム１０の第２
の面１２と平行になるように構成する。そして、プリズ
ム体２０の光出射面２１を光軸に体して垂直になるよう
に配置する。
４の面１４上にプリズム体２０を結合する。プリズム体
２０はペンタプリズムを構成する光学材料と同一の光学
材料で構成する。本例では、このプリズム体２０は四角
形のプリズム体とする。当該プリズム体２０は、当該光
学系の光出射面として作用する第５の面２１及びペンタ
プリズムの第４の面１４と対向する第６の面２２を有す
る。プリズム体２０の光出射面として作用する第１の面
２１は、組み立てられた際、ペンタプリズム１０の第２
の面１２と平行になるように構成する。そして、プリズ
ム体２０の光出射面２１を光軸に体して垂直になるよう
に配置する。
【００１１】次に、図１に示すビームスプリッタ光学系
の動作について説明する。光源１から発生したＳ偏光し
た光ビームは、光入射面として機能するペンタプリズム
１０の第１の面１１に垂直に入射し、反射性の第３の面
１３で反射し偏光膜３０に入射する。Ｓ偏光したビーム
は偏光膜３０で反射し、ペンタプリズム１０の第２の面
１２から当該第２の面に垂直に出射する。この出射ビー
ムは、λ／４板３を通過し、物体４の表面で反射し、再
びλ／４板を通過し、Ｐ偏光に変換されてペンタプリズ
ムの第２の面１１に垂直に入射する。そして、ペンタプ
リズムの内部を伝搬し、偏光膜３０に入射する。偏光膜
３０はＰ偏光した光に対して光透過性であるため、この
Ｐ偏光した光ビームは偏光膜３０を透過し、プリズム体
２０の光出射面として機能する第５の面から垂直に出射
する。
の動作について説明する。光源１から発生したＳ偏光し
た光ビームは、光入射面として機能するペンタプリズム
１０の第１の面１１に垂直に入射し、反射性の第３の面
１３で反射し偏光膜３０に入射する。Ｓ偏光したビーム
は偏光膜３０で反射し、ペンタプリズム１０の第２の面
１２から当該第２の面に垂直に出射する。この出射ビー
ムは、λ／４板３を通過し、物体４の表面で反射し、再
びλ／４板を通過し、Ｐ偏光に変換されてペンタプリズ
ムの第２の面１１に垂直に入射する。そして、ペンタプ
リズムの内部を伝搬し、偏光膜３０に入射する。偏光膜
３０はＰ偏光した光に対して光透過性であるため、この
Ｐ偏光した光ビームは偏光膜３０を透過し、プリズム体
２０の光出射面として機能する第５の面から垂直に出射
する。
【００１２】次に、ビームスプリッタ素子１０の取り付
け角度が僅かに変化した場合の光ビームの伝搬経路につ
いて説明する。図２において、実線は正規の取り付け位
置を示し、細線は取り付け角度が正規の角度から僅かに
回転した状態を示す。取り付け角度が回転した場合、光
源からの入射ビームｂ１は、光軸に沿ってペンタプリズ
ムの第１の面１１に対して垂直から僅かに傾いた角度で
入射する。しかし、ペンタプリズムの取り付け角度が僅
かに回動しても、ペンタプリズムの特性より、ペンタプ
リズム１０から出射する光ビームｂ２は入射ビームｂ１
に対して９０°又は２７０°の偏角でペンタプリズムの
第２の面から出射する。従って、ペンタプリズムの取り
付け角に誤差があっても或いは動作中にペンタプリズム
が回動しても、ペンタプリズムから出射する光ビームは
必ず物体４に対して垂直に入射するビームとなる。物体
表面で反射した光ビームは、光軸に平行であってペンタ
プリズムの第２の面１２に対して垂直から僅かな角度だ
け変位した入射ビームとして入射する。しかし、ペンタ
プリズムの第２の面とプリズム体２０の第５の面２１は
互いに平行な面であるから、当該ビームスプリッタは平
行平面板として作用し、出射面２１から出射する光ビー
ムは光軸から僅かに変位し光軸に対して平行なビームと
して出射する。この結果、偏光ビームスプリッタの取り
付け角度が変化しても、光軸から僅かに変位し光軸に対
して平行なビームとして光検出器に入射させることが可
能にある。
け角度が僅かに変化した場合の光ビームの伝搬経路につ
いて説明する。図２において、実線は正規の取り付け位
置を示し、細線は取り付け角度が正規の角度から僅かに
回転した状態を示す。取り付け角度が回転した場合、光
源からの入射ビームｂ１は、光軸に沿ってペンタプリズ
ムの第１の面１１に対して垂直から僅かに傾いた角度で
入射する。しかし、ペンタプリズムの取り付け角度が僅
かに回動しても、ペンタプリズムの特性より、ペンタプ
リズム１０から出射する光ビームｂ２は入射ビームｂ１
に対して９０°又は２７０°の偏角でペンタプリズムの
第２の面から出射する。従って、ペンタプリズムの取り
付け角に誤差があっても或いは動作中にペンタプリズム
が回動しても、ペンタプリズムから出射する光ビームは
必ず物体４に対して垂直に入射するビームとなる。物体
表面で反射した光ビームは、光軸に平行であってペンタ
プリズムの第２の面１２に対して垂直から僅かな角度だ
け変位した入射ビームとして入射する。しかし、ペンタ
プリズムの第２の面とプリズム体２０の第５の面２１は
互いに平行な面であるから、当該ビームスプリッタは平
行平面板として作用し、出射面２１から出射する光ビー
ムは光軸から僅かに変位し光軸に対して平行なビームと
して出射する。この結果、偏光ビームスプリッタの取り
付け角度が変化しても、光軸から僅かに変位し光軸に対
して平行なビームとして光検出器に入射させることが可
能にある。
【００１３】図３は、当該ビームスプリッタが正規の位
置に取り付けられた場合と僅かに回動している場合に光
ビームが物体及び光検出器にそれぞれ入射する位置を説
明する図である。本発明によるビームスプリッタでは、
取り付け位置が回動しても、当該ビームスプリッタから
出射する光ビームは、正規の取り付け位置の場合の出射
ビームと平行である。従って、図３に示すように、ビー
ムスプリッタ２と物体４との間に対物レンズのような集
束性レンズ３１を配置することにより、取り付け位置が
僅かに回動しても当該ビームスプリッタから出射する光
ビームは、物体４上において正規の取り付け位置の場合
と同一の位置に集束する。また、物体４からの反射光も
光軸に平行に出射するため、ビームスプリッタが僅かに
回動しても、物体からの反射ビームは、当該ビームスプ
リッタ２と光検出器との間に集束性レンズ３２を配置す
ることにより、取り付け位置が正規の場合の光検出器に
対する入射位置と同一の位置に入射させることができ
る。このように、本発明によるビームスプリッタによれ
ば、ビームスプリッタ素子が光軸に対して僅かに変位し
て取り付けられても或いは動作中の熱等の影響により回
動しても、集束性レンズを配置することにより物体及び
光検出器に対して同一の位置に入射させることができ
る。この結果、取り付け誤差等による影響を大幅に軽減
することができる。
置に取り付けられた場合と僅かに回動している場合に光
ビームが物体及び光検出器にそれぞれ入射する位置を説
明する図である。本発明によるビームスプリッタでは、
取り付け位置が回動しても、当該ビームスプリッタから
出射する光ビームは、正規の取り付け位置の場合の出射
ビームと平行である。従って、図３に示すように、ビー
ムスプリッタ２と物体４との間に対物レンズのような集
束性レンズ３１を配置することにより、取り付け位置が
僅かに回動しても当該ビームスプリッタから出射する光
ビームは、物体４上において正規の取り付け位置の場合
と同一の位置に集束する。また、物体４からの反射光も
光軸に平行に出射するため、ビームスプリッタが僅かに
回動しても、物体からの反射ビームは、当該ビームスプ
リッタ２と光検出器との間に集束性レンズ３２を配置す
ることにより、取り付け位置が正規の場合の光検出器に
対する入射位置と同一の位置に入射させることができ
る。このように、本発明によるビームスプリッタによれ
ば、ビームスプリッタ素子が光軸に対して僅かに変位し
て取り付けられても或いは動作中の熱等の影響により回
動しても、集束性レンズを配置することにより物体及び
光検出器に対して同一の位置に入射させることができ
る。この結果、取り付け誤差等による影響を大幅に軽減
することができる。
【００１４】本発明は上述した実施例だけに限定され
ず、種々の変形や変更が可能である。例えば、本発明に
よるビームスプリッタは光学的に共役であるため、光入
射面と光出射面とを反対にして用いることも可能であ
り、ペンタプリズムの第１の面１１を光出射面とし、プ
リズム体２０の第５の面２１を光入射面として用いるこ
とができる。
ず、種々の変形や変更が可能である。例えば、本発明に
よるビームスプリッタは光学的に共役であるため、光入
射面と光出射面とを反対にして用いることも可能であ
り、ペンタプリズムの第１の面１１を光出射面とし、プ
リズム体２０の第５の面２１を光入射面として用いるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による偏光ビームスプリッタを用いた
光アイソレータ光学系の一例の構成を示す線図である。
光アイソレータ光学系の一例の構成を示す線図である。
【図２】 偏光ビームスプリッタが光軸に対して回転し
て取り付けられた場合の光ビームの進行光路を示す線図
である。
て取り付けられた場合の光ビームの進行光路を示す線図
である。
【図３】 ビームスプリッタと物体及び光検出器との間
にレンズを配置した場合の光ビームの進行光路を示す図
である。
にレンズを配置した場合の光ビームの進行光路を示す図
である。
１ 光源
２ 偏光ビームスプリッタ
３ λ／４板
４ 物体
１０ ペンタプリズム
１１ 第１の面
１２ 第２の面
１３ 第３の面
１４ 第４の面
２１ 光入射面
３０ 偏光膜
３１ レンズ
３２ レンズ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｇ１１Ｂ 7/135 Ｚ
Ｆターム(参考） 2H042 CA03 CA06 CA10 CA12 CA17
2H049 BA05 BA07 BB03 BB61 BC22
2H099 AA00 AA05 BA02 BA09 BA17
CA02 CA06 CA07 DA07
5D119 AA36 JA12 JA32
5D789 AA36 JA12 JA32
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに直角をなす光透過性の第１及び第
２の面と、第１の面と対向する光反射性の第３の面と、
第２の面と対向する光透過性の第４の面とを有し、前記
第１の面に入射した光ビームを前記第２の面から偏角が
９０°又は２７０°の出射ビームとして出射させるペン
タプリズムと、 ペンタプリズムの第４の面に設けられ、第１の偏光方向
に偏光した光を反射し第１の偏光方向と直交する第２の
偏光方向に偏光した光を透過する偏光膜と、 前記偏光膜上に設けられ、前記ペンタプリズムの第２の
面と平行で光透過性面を有するプリズム体とを具えるこ
とを特徴とする偏光ビームスプリッタ。 - 【請求項２】 光源側から物体側に向かう光ビームと物
体側から光検出器側に向かう光ビームとを分離する光ア
イソレータ光学系であって、 互いに直角をなす光透過性の第１及び第２の面と、第１
の面と対向する光反射性の第３の面と、第２の面と対向
する光透過性の第４の面とを有し、前記第１の面に入射
した光ビームを前記第２の面から偏角が９０°又は２７
０°の出射ビームとして出射させるペンタプリズム、こ
のペンタプリズムの第４の面上に設けられ、第１の偏光
方向に偏光した光を反射し第１の偏光方向と直交する第
２の偏光方向に偏光した光を透過する偏光膜、及び、前
記偏光膜上に設けられ、前記ペンタプリズムの第２の面
と平行な光透過性の第５の面を有するプリズム体を具え
る偏光ビームスプリッタと、 偏光ビームスプリッタと物体との間の光路中に配置した
λ／４板とを具え、 前記偏光ビームスプリッタの第１の面に入射した光ビー
ムを、偏光ビームスプリッタ及びλ／４板を経て物体に
入射させ、当該物体からの反射ビームを、前記λ／４板
及び偏光ビームスプリッタを経てビームスプリッタ素子
の第５の面から出射させることを特徴とする光アイソレ
ータ光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001382602A JP2003185836A (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 偏光ビームスプリッタ及び光アイソレータ光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001382602A JP2003185836A (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 偏光ビームスプリッタ及び光アイソレータ光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003185836A true JP2003185836A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27592889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001382602A Pending JP2003185836A (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 偏光ビームスプリッタ及び光アイソレータ光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003185836A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111384655A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-07-07 | 龙天洋 | 一种自反馈式高稳定性激光脉冲压缩器 |
| CN113534313A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | 信泰光学(深圳)有限公司 | 光学装置及其棱镜模块 |
| CN117367327A (zh) * | 2023-12-01 | 2024-01-09 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种五角棱镜垂直度检测系统及方法 |
-
2001
- 2001-12-17 JP JP2001382602A patent/JP2003185836A/ja active Pending
Cited By (5)
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| CN111384655B (zh) * | 2020-03-25 | 2023-03-14 | 龙天洋 | 一种自反馈式高稳定性激光脉冲压缩器 |
| CN113534313A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | 信泰光学(深圳)有限公司 | 光学装置及其棱镜模块 |
| CN117367327A (zh) * | 2023-12-01 | 2024-01-09 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种五角棱镜垂直度检测系统及方法 |
| CN117367327B (zh) * | 2023-12-01 | 2024-03-29 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种五角棱镜垂直度检测系统及方法 |
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