JP2003182800A - 加圧タンクを用いた高粘度流体の送液装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加圧タンクを用いた送液装置において、分離
した液や変化、変質した液が送出されることがなく、必
要とする正常な液を安定して送出する。 【解決手段】 加圧タンク２の上部に加圧ポート４とガ
ス抜きポート５を設けると共に加圧タンク２の底部に供
給ポート６と送液ポート７を設け、さらに、加圧タンク
２の内部に、薬液１７に浮いて薬液１７の液面の上下変
位に伴い自在に上下変位しかつ薬液１７と加圧ガス４０
とを分離するフロート１１を設ける。このフロート１１
は、裏面が平らになっていて、さらに、フロート１１の
下方には下限位置で送液ポート７を塞ぐ栓部１１−３が
設けられ、上方には、フロート１１の送液前後での変位
量を検知する為の支柱１１−４が設けられている。そし
て、加圧ガス４０を加圧ポート４から加圧タンク１９内
に送り込んで加圧することにより、送液ポート７から薬
液１７を送出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置、
ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）製造装置等のノ
ズル等に高粘度の薬液等を供給する送液装置に関し、加
圧タンクを用いることにより安定した圧力で薬液等を供
給する送液装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、高粘度の薬液をノズルから吐出さ
せて半導体の製造やＦＰＤ（フラットパネルディスプレ
イ）の製造に使用するにあたり、薬液を薬液供給配管の
途中に設けた加圧タンク内に一旦貯留し、加圧タンク内
を一定圧力の加圧ガスにて加圧して薬液を送出すること
により、安定した一定圧力の薬液を薬液ノズルへ送液す
る送液装置が知られている。

【０００３】この従来の送液装置における加圧タンクの
構造を図７及び図８に示す。加圧タンク１９の蓋２０に
は、加圧タンク１９内に薬液２８を導入するための供給
ポート２１と、加圧タンク１９内の薬液２８が送出され
る送液ポート２２と、加圧タンク１９内に加圧ガス３０
を送り込んで加圧するための加圧ポート２３と、加圧タ
ンク１９内の加圧ガス３０を逃がすためのガス抜きポー
ト２４が設けられている。

【０００４】供給ポート２１は、一端が加圧タンク１９
内の上方部分にて開口しており、他端が加圧タンク１９
の外部で不図示の薬液供給配管を介して薬液供給源に接
続される。送液ポート２２は、一端が加圧タンク１９内
の下方部分にて開口しており、他端が加圧タンク１９の
外部で不図示の薬液供給配管を介して薬液ノズルに接続
される。加圧ポート２３は、一端が加圧タンク１９内の
上方部分にて開口しており、他端が加圧タンク１９の外
部で不図示の加圧ガス供給部に接続される。ガス抜きポ
ート２４は、一端が加圧タンク１９内の上方部分にて開
口しており、他端が加圧タンク１９の外部に開放されて
いる。これら供給ポート２１、送液ポート２２、加圧ポ
ート２３、ガス抜きポート２４は、それぞれ不図示のバ
ルブにより開閉されるようになっている。

【０００５】また、加圧タンク１９の内部には、上限管
理センサ２６ａと下限管理センサ２６ｂが備えられてお
り、その信号線２７が加圧タンク１９の蓋２０を通して
外部に引出されている。これらの上限管理センサ２６ａ
と下限管理センサ２６ｂは、薬液２８の液面に浮くフロ
ート２５の近接を検出するフロート式の液面センサで構
成されている。これら上限管理センサ２６ａと下限管理
センサ２６ｂは、加圧タンク１９内に貯留される薬液２
８の液面に浮くフロート５の近接を検出することにより
薬液の液面の液位を検出し、薬液２８が供給ポート２１
の開口部から送液ポート２２の開口部の範囲で貯留する
ように管理するためのものである。

【０００６】加圧タンク１９内に薬液２８を貯留するに
は、送液ポート２２と加圧ポート２３を閉じると共に供
給ポート２１とガス抜きポート２４を開く。これによ
り、薬液２８は、薬液供給源から薬液供給配管を通って
供給ポート２１より加圧タンク１９内に流入し貯留され
る。また、加圧タンク１９から薬液２８を送出するに
は、供給ポート２１とガス抜きポート２４を閉じると共
に送液ポート２２と加圧ポート２３を開き、加圧ガス３
０を加圧ポート２３を介して加圧タンク１９内に送り込
む。これにより、加圧タンク１９内に加圧ガス３０が送
り込まれて加圧タンク１９内が加圧され、その圧力によ
り送液ポート２２から薬液２８が送出される。送出され
た薬液２８は薬液供給配管を通って薬液ノズルへ送液さ
れる。ガス加圧部から一定圧力の加圧ガス３０を送出す
ることにより加圧タンク１９内は一定圧力に加圧され、
これにより、送液ポート２２からは一定圧力の薬液２８
が送液され、薬液ノズルからは一定圧力の薬液２８が吐
出される。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の送液装置において、半導体の製造やＦＰＤの製造
に用いる薬液２８には複数種の物質から構成されている
ものがあり、複数種の物質から構成される薬液２８は、
長時間放置しておくと、物質の性質や分子量の差異等に
より２層に分離してくることがある。また、薬液２８は
加圧タンク１９内で加圧ガス３０と直に接触するので、
加圧ガス３０が薬液２８に溶け込むことにより変化、変
質したり、圧力が加えられることにより変化、変質する
ことがある。

【０００８】また、薬液２８が高粘度であると、図８に
示すように、送液ポート２２の付近で下方に窪んだ状態
となってしまう。このため、薬液２８の上にできた分離
したり変化、変質した液２９の層も窪んでしまい、分離
したり変化、変質した液２９が送液ポート２２から送出
されてしまい、薬液ノズルから分離したり変化、変質し
た液２９が吐出されてしまうことがある。また、高粘度
な薬液２８は、室温変動等に伴う薬液２８の液温変動が
粘度に及ぼす影響が大きく、薬液２８の粘度が変化した
場合に、加圧ガス３０の加圧圧力及び送出時間が同じで
あると、薬液２８の送出液量が変動するという問題点が
あった。

【０００９】また、薬液２８の供給や送出の際に、液面
が揺らぐことによって正確な液面の検出が困難である等
の問題点や、下限センサ２６ｂが故障したり誤操作した
場合には、送液ポート２２から加圧ガス３０が出されて
しまい、薬液ノズルから加圧ガス３０が噴出するという
問題点もあった。

【００１０】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、分離した液や変化、変質した液が送出
されることがなく、また、加圧ガスが薬液中に溶け込む
ことのない安定した流体の供給、送液を図ると共に、流
体の送出液量を一定に維持でき、さらに、より正確な液
面の検出を行うと共に、誤って加圧ガスが送出されるこ
とのない加圧タンクを用いた送液装置を提供することを
目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明は、高粘度流体（以下、流体という）
を供給源圧力により、流体供給配管途中に設けられた加
圧タンク内に導入し、安定供給可能な加圧ガスを前記加
圧タンク内の流体液面の上部に導入することにより、流
体を該タンク外に送出する高粘度流体の送液装置におい
て、前記加圧タンクの底部が前記流体供給配管に接続さ
れると共に、この接続部に流体の導入口及び送出口が設
けられており、前記導入口を通して前記加圧タンク内に
予め導入されている流体と前記加圧ガス雰囲気の界面
に、流体液面の昇降動作に伴い昇降自在で、かつ、流体
と加圧ガス雰囲気とを分離するフロートを設ける構成と
した。

【００１２】この構成においては、加圧タンクに流体を
導入するとき、加圧タンク内にはタンク底部の導入口か
ら流体が流入してゆく。このとき、フロートは流入して
くる流体に浮き、流入してくる流体の液面の上昇と共に
フロートも上昇してゆく。また、加圧タンクから流体を
送出するとき、加圧タンク内の流体液面の上部に加圧ガ
スを送り込むと、その圧力により流体に浮いているフロ
ートが押し下げられて、フロートの下に貯留されている
流体が送出口から押し出されて送出される。また、加圧
タンク内では、フロートは流体の増減に伴い流体の液面
に浮いた状態で上下に移動する。加圧タンク内に貯留さ
れる流体は、このフロートにより加圧ガス雰囲気と分離
された状態となる。

【００１３】また、請求項２の発明は、請求項１に記載
の加圧タンクを用いた高粘度流体の送液装置おいて、フ
ロートの上下限位置を検出する位置検出センサと、この
位置検出センサの出力に基づいて加圧タンク内の液量を
管理する制御部とを有する構成とした。この構成におい
ては、流体の増減に伴って上下に移動するフロートの位
置が検出されることにより、加圧タンク内の流体の液量
が検出され、加圧タンク内に過不足なく流体が貯留され
るように管理される。

【００１４】また、請求項３の発明は、請求項１に記載
の加圧タンクを用いた高粘度流体の送液装置おいて、フ
ロートの変位量を検出する変位量検出手段と、変位量検
出手段の出力に基づいて加圧タンクから送出された送出
液量を算出すると共に、この算出された送出液量に基づ
いて該送出液量が一定に維持されるように加圧ガスの加
圧圧力若しくは送出時間を制御する制御部とを有する構
成とした。この構成においては、フロートの変位量に基
づいて加圧タンクからの送出液量が算出され、その算出
された送出液量に基づいて送出液量が一定に維持される
ように加圧ガスの加圧圧力若しくは送出時間が制御され
るため、粘度変化等の外乱に依らず加圧タンクから送出
される液量が一定に維持される。

【００１５】また、請求項４の発明は、請求項１に記載
の加圧タンクを用いた高粘度流体の送液装置おいて、フ
ロートの裏面側に、該フロートの昇降下限位置で流体の
送液口を塞ぐ栓部を設けた構成とした。この構成におい
ては、加圧タンク内の流体の貯留量が減少し、フロート
が所定の下限位置まで変位すると、フロートの裏面側に
設けた栓部により加圧タンク底部の流体の送液口が塞が
り、流体が送液口から送出されるのが防がれる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態について図面を参照して説明する。まず、本実施形態
による加圧タンクを用いた送液装置の概略構成を図１に
示す。また、この送液装置の制御部の概略構成を図５に
示す。送液装置１は高粘度の薬液（高粘度流体）を貯留
する金属製の加圧タンク２を備えている。この加圧タン
ク２は、上方部分が略円筒形状をしており、下方部分が
略円錐形状をしている。

【００１７】この加圧タンク２の上部には蓋３が設けら
れており、この蓋３に、加圧タンク２内へ加圧ガスを導
入するための加圧ポート４と、加圧タンク２内の加圧ガ
スをタンク外へ逃がすためのガス抜きポート５が設けら
れている。加圧ポート４は、バルブ３６により開閉され
るようになっていて、その先には不図示の加圧ガス供給
装置が接続されている。また、ガス抜きポート５は、バ
ルブ３５により開閉されるようになっていて、その先は
外気に開放されている。また、蓋３の中心部には透明な
円筒形の窓３１が設けられている。

【００１８】また、加圧タンク２の底部すなわち円錐形
状の先端部には、加圧タンク２内に薬液を導入するため
の供給ポート（流体導入口）６と、加圧タンク２内に貯
留されている薬液を送出するための送液ポート（流体送
出口）７が設けられている。この供給ポート６と送液ポ
ート７は流路を共用して加圧タンク２の底面の略中央に
設けられており、マニホールド８により流路が分岐され
ている。マニホールド８により分岐された各流路の先に
は、各流路を開閉するためのオペレートバルブ９とオペ
レートバルブ１０が設けられている。そして、オペレー
トバルブ９の先には、不図示の薬液供給配管を介して薬
液供給装置が接続され、オペレートバルブ１０の先に
は、不図示の薬液供給配管を介して薬液ノズルが接続さ
れる。

【００１９】加圧タンク２の内部には、薬液の液面に浮
いて薬液と加圧ガス雰囲気とを分離し、かつ薬液の液面
の上下変位に伴い自在に上下変位するフロート１１が設
けられている。このフロート１１は、フロート部１１−
１に凹部１１−２を設け、フロート部１１−１の略中央
における下方に栓部１１−３を設け、上方に支柱１１−
４を設けた構造になっている。また、この支柱１１−４
は、蓋３の中央部にあるる窓３１を通して外部から見え
るようになっている。

【００２０】フロート部１１−１は、加圧タンク２内で
上下に変位できるように、その径が加圧タンク２の内径
より若干小さいものとなっている。また、フロート部１
１−１は、裏面が平らになっている。凹部１１−２は、
フロート１１に浮力を生じさせるためのものである。栓
部１１−３は、フロート１１が下限位置まで変位したと
きに、加圧タンク２の底に設けられている送液ポート７
を塞いで加圧タンク２内から薬液１７が送出されるのを
防ぐためのものであり、フロート部１１−１の略中央に
おける下方に設けられている。また、この栓部１１−３
は、フロート１１が薬液の液面上で略水平にバランスよ
く浮くための重りの役割も果たす。

【００２１】また、蓋３の裏側に、フロート１１が上限
位置に来たときにそれを検出する上限管理センサ（位置
検出センサ）１３と、フロート１１が下限位置に来たと
きにそれを検出する下限管理センサ（位置検出センサ）
１４が設けられている。これら上限管理センサ１３、及
び下限管理センサ１４は、フロート部１１−１からの反
射光を受光してフロート部１１−１までの距離を測定
し、フロート部１１−１が所定の距離（上限位置及び下
限位置）に存在するときに信号を出力する反射型の光セ
ンサで構成されている。蓋３の外側へは、上限管理セン
サ１３及び下限管理センサ１４の信号線１５、１６が引
出されている。また、ＣＣＤカメラ３２は、蓋３に設け
られた窓３１を通して見える支柱１１−４が撮像できる
位置に固定されている。

【００２２】加圧ポート４のバルブ３６（図５）、ガス
抜きポート５のバルブ３５（図５）、オペレートバルブ
９、及びオペレートバルブ１０は、上限管理センサ１３
と下限管理センサ１４からの信号によって制御部５０
（図５）により電動制御されて、自動的に各ポートを開
閉するようになっている。また、これらの各バルブは、
不図示の操作ボタンを操作することによっても、電動制
御されて各ポートを開閉することができるようになって
いる。

【００２３】上記のように構成された本実施形態の送液
装置１においては、加圧タンク２に薬液１７を貯留する
ときには、送液ポート７のオペレートバルブ１０と加圧
ポート４のバルブ３６を閉じ、供給ポート６のオペレー
トバルブ９とガス抜きポート５のバルブ３５を開く。こ
れにより、加圧タンク２内の加圧ガスがガス抜きポート
５から逃げ、薬液１７は、薬液供給装置から薬液供給配
管、オペレートバルブ９、マニホールド８、供給ポート
６を通り、加圧タンク２内に流入して貯留される。この
とき、薬液１７は加圧タンク２の底すなわちフロート１
１の下側から流入してくるので、フロート１１は薬液１
７の液面に浮くことができる。

【００２４】このときの様子を図２（ａ）に示す。フロ
ート１１は、フロート部１１−１の裏面側と栓部１１−
３が薬液１７の中に沈み、フロート部１１−１の上方部
分が薬液１７の液面より上に出た状態で、薬液１７に浮
いている。フロート１１は、フロート部１１−１の径が
加圧タンク２の内径より若干小さい径となっているの
で、薬液１７の液面の上下変位に伴って上下変位する。
また、フロート部１１−１により、フロート部１１−１
の下部に貯留される薬液１７と上部に充満している加圧
ガス４０とが接触することなく隔てられた状態となって
いる。また、フロート部１１−１の裏面は平らにしてあ
るので、フロート１１が薬液１７に浮いていることによ
り、薬液１７の液面が平らに維持される。

【００２５】薬液１７が加圧タンク２内に更に流入して
ゆくと、薬液１７の液面の上昇と共にフロート１１も上
昇してゆく。そして、フロート１１が所定位置まで上昇
すると、上限管理センサ１３により、フロート１１が所
定位置まで上昇したことが検出され、その信号が信号線
１５から出力される。供給ポート６のオペレートバルブ
９とガス抜きポート５のバルブ３５は、この信号を受け
た制御部５０により閉じられる。これにより、薬液１７
の加圧タンク２への貯留作業が終了する。

【００２６】一方、加圧タンク２から薬液１７を送出す
るには、供給ポート６のオペレートバルブ９とガス抜き
ポート５のバルブ３５（図５）を閉じ、加圧ポート４の
バルブ３６（図５）を開く。これにより、加圧ガス４０
が加圧ガス供給装置から加圧ポート４を通って加圧タン
ク２内に送り込まれ、加圧タンク２内が加圧される。こ
のとき、ＣＣＤカメラ３２により支柱１１−４の先端部
を撮像し、その位置ｈ１（図６）を画像処理コントロー
ラ３４により検出し、制御部５０に出力する。次に、送
液ポート７のオペレートバルブ１０を開くと、圧力によ
り薬液１７に浮いているフロート１１が押し下げられ
て、フロート１１の下に貯留されている薬液１７が送液
ポート７から送出される。送出された薬液１７はマニホ
ールド８、オペレートバルブ１０、薬液供給配管を通り
薬液ノズルへ送液され、薬液ノズルから薬液１７が吐出
される。

【００２７】薬液１７が加圧タンク２内から送出されて
ゆくと、薬液１７の液面の下降と共にフロート１１も下
降してゆく。フロート１１のフロート部１１−１の裏面
は平らにしてあるので、薬液１７の送液中においても、
やはり、薬液１７の液面は平らに維持される。次に、予
め設定された時間が経過すると、送液ボ−ト７のオペレ
ートバルブ１０は、制御部５０により閉じられ、薬液１
７の送出が停止される。このとき、ＣＣＤカメラ３２に
より支柱１１−４の先端部を撮像し、その位置ｈ２（図
６）を画像処理コントローラ３４により検出し、制御部
５０に出力する。制御部５０は、得られたｈ１およびｈ
２から送出前後の支柱１１−４の位置差Δｈ（図６）
を、Δｈ＝ｈ１−ｈ２として検出し、既知の加圧タンク
２の内面積Ｓから送出液量ＱをＱ＝Ｓ・Δｈとして求め
る。さらに、制御部５０は、設定送出液量Ｑ_０と比較
し、送出液量Ｑを設定送出液量Ｑ_０とするために、Ｑ＞
Ｑ_０の場合は、レギュレータ３３により加圧圧力を高く
する若しくは送液ポート７のオペレートバルブ１０を開
ける時間を長くし、Ｑ＜Ｑ_０の場合は、レギュレータ３
３により加圧圧力を低くする若しくは送液ポート７のオ
ペレートバルブ１０を開ける時間を短くする。なお、送
出液量Ｑは、加圧圧力Ｐおよび送出時間Ｔに比例するの
で、制御部５０は、加圧圧力で補正を行う場合は、補正
加圧圧力Ｐ’＝Ｐ・（Ｑ_０／Ｑ）…（１）、送出時間で
補正を行う場合は、補正送出時間Ｔ’＝Ｔ・（Ｑ_０／
Ｑ）…（２）として算出した加圧圧力若しくは送出時間
にすればよい。また、予め設定された時間が経過する前
に、フロート１１が所定位置まで下降すると、下限管理
センサ１４により、フロート１１が所定位置まで下降し
たことが検出され、その信号が信号線１６から制御部５
０に出力される。制御部５０は、送液ポート７のオペレ
ートバルブ１０と加圧ポート４のバルブ３６を閉じ、薬
液１７の加圧タンク２からの送液を停止する。

【００２８】このとき、下限管理センサ１４の故障や誤
操作等により送液ポート７のオペレートバルブ１０と加
圧ポート４のバルブ３６が閉じられなかったとしても、
最終的には、図２（ｂ）に示すように、ようにフロート
１１の栓部１１−３により送液ポート７が塞がれ、これ
により、薬液１７の加圧タンク２からの送液が停止す
る。

【００２９】ここで、もし加圧タンク２内にフロート１
１が設けられていないと、薬液１７は、図３の矢印に示
すような流れとなり、薬液１７及び薬液１７の上にでき
た分離したり変化、変質した液１８の層が共に、送液ポ
ート７の付近で下方に窪んだ状態となってしまう。この
ため、薬液１７の貯留量が減少してきたときに、分離し
たり変化、変質した液１８や加圧ガス４０が送液ポート
７から送出されてしまう可能性がある。それに対し、本
発明においては、加圧タンク２内にフロート１１を設け
ているので、薬液１７は、図４の矢印に示すような流れ
となり、薬液１７及び薬液１７の上にできた分離したり
変化、変質した液１８の層共に平らに維持される。この
ため、分離したり変化、変質した液１８付近の薬液１７
は送液ポート７から送出され難くなる。また、薬液１７
と加圧ガス４０との界面にフロート部１１−１が介在す
ることにより、受圧面上の圧力分布が均一になるので、
薬液１７の安定した送出が可能となる。

【００３０】また、フロート部１１−１の径を加圧タン
ク２の内径より少しだけ小さい径にしているので、薬液
１７と加圧ガス４０とを接触することなく隔てられ、加
圧ガス４０が薬液１７に溶け込んで薬液１７が分離した
り変化、変質したりすること自体起り難くなる。また、
加圧タンク２の底部に供給ポート６及び送液ポート７を
設けているので、薬液１７は、加圧タンク２内への供給
時及び加圧タンク２からの送出時のいずれにおいても、
加圧ガス４０にさらされることがなく、加圧ガス４０が
薬液１７に溶け込んで薬液１７が分離したり変化、変質
したりすること自体起り難くなる。

【００３１】また、フロート１１の上面を検出面とし
て、光学式の上限管理センサ１３及び下限管理センサ１
４により薬液１７の液量を検出しているので、安定かつ
正確に薬液１７の液量が検出される。また、下限管理セ
ンサ１４の故障や誤操作等があっても、薬液１７の液面
がある一定以上低下すれば、フロート部１１−１の下方
の栓部１１−３により送液ポート７が塞がるので、分離
したり変化、変質した液１８が送液ポート７から送出さ
れることはない。さらに、送出前後でのフロート１１の
変位量を検出するようにしているので、送出毎に送出液
量Ｑを得ることができ、また、得られた送出液量Ｑが設
定送出液量Ｑ_０となるように加圧圧力若しくは送出時間
を制御するようにしているので送出量Ｑを一定に維持す
ることが可能となる。

【００３２】本発明は、上記実施形態の構成に限られ
ず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態に
おいて、供給ポート６と送液ポート７は、流路を共用せ
ずに別々に加圧タンク２に設けてもよい。この場合、そ
れら供給ポート６と送液ポート７は何れも加圧タンク２
の底部に設け、フロート１１の栓部１１−３は少なくと
も送液ポート７を塞ぐように構成すればよい。

【００３３】また、上記実施形態において、加圧タンク
２は、下方部分を円錐形状とせず、例えば全体を円筒形
状としてもよい。また、上限管理センサ１３及び下限管
理センサ１４は、反射型の光センサに代えて、例えば静
電容量式のセンサにしてもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、高粘度流体と加圧ガスとの界面にフロートが介
在するので、高粘度流体の液に加圧ガスが溶け込んで液
が変質、変化することがない。また、高粘度流体の受圧
面上の圧力分布が均一になるので、高粘度流体の安定し
た送出が可能となる。さらに、高粘度流体と加圧ガスと
の界面にフロートが介在するうえ、高粘度流体は加圧タ
ンクの底部から送出されるので、分離した液や変化、変
質した液、さらには加圧ガスが加圧タンクから送出され
ることはなく、必要とする正常な液を安定して送出する
ことができる。

【００３５】また、請求項２の発明によれば、フロート
の位置をセンサにより検出することにより、加圧タンク
内の高粘度流体の液量を管理しているので、より正確な
液量の管理が可能となる。これにより、加圧タンク内に
過不足なく高粘度流体の液が貯留されるので、正常な液
の上に分離した液や変化、変質した液が存在していたと
しても、高粘度流体の液がなくなった後にそれら分離し
た液や変化、変質した液が送出されることがない。

【００３６】また、請求項３の発明によれば、送出前後
のフロートの変位量を検出して得た送出液量と設定送出
液量を比較し、送出液量が一定に維持されるように加圧
ガスの加圧圧力若しくは送出時間を補正するようにした
ので、粘度変化等の外乱に依らず加圧タンクから送出さ
れる液量を設定液量に維持することができる。

【００３７】また、請求項４の発明によれば、予め設定
してある液量まで減少すると、フロートの下面側に設け
た栓部により加圧タンクの流体送液口が塞がって液の送
出が停止されるので、正常な液の上に分離した液や変
化、変質した液が存在していたとしても、それら分離し
た液や変化、変質した液が送出されることはない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態による加圧タンクを用い
た送液装置の概略構成を示す斜視図。

【図２】 同装置の加圧タンク内における薬液とフロー
トの状態を示す図。

【図３】 加圧タンク内にフロートが設けられていない
場合の、加圧タンク内における薬液とフロートの状態を
示す図。

【図４】 本発明の一実施形態による加圧タンクを用い
た送液装置の、加圧タンク内における薬液とフロートの
状態を示す図。

【図５】 本発明の一実施形態による加圧タンクを用い
た送液装置の制御部を示す概略構成図。

【図６】 同装置のＣＣＤカメラによる支柱の撮像イメ
ージ図。

【図７】 従来の送液装置の概略構成を示す斜視図。

【図８】 従来の送液装置の加圧タンク内における薬液
の状態を示す図。

【符号の説明】

１ 送液装置 ２ 加圧タンク ４ 加圧ポート ５ ガス抜きポート ６ 供給ポート（流体導入口） ７ 送液ポート（流体送出口） １１ フロート １１−１ フロート部 １１−２ 凹部 １１−３ 栓部 １１−４ 支柱 １３ 上限管理センサ（位置検出センサ） １４ 下限管理センサ（位置検出センサ） １７ 薬液（高粘度流体） ３２ ＣＣＤカメラ（変位量検出手段） ４０ 加圧ガス ５０ 制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡邊 正芳 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 Ｆターム(参考） 3E083 AA20 AE15 3J071 AA11 BB05 BB11 BB14 CC11 DD36 EE01 EE23 FF11

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高粘度流体（以下、流体という）を供給
   源圧力により、流体供給配管途中に設けられた加圧タン
   ク内に導入し、安定供給可能な加圧ガスを前記加圧タン
   ク内の流体液面の上部に導入することにより、流体を該
   タンク外に送出する高粘度流体の送液装置において、 前記加圧タンクの底部が前記流体供給配管に接続される
   と共に、この接続部に流体の導入口及び送出口が設けら
   れており、 前記導入口を通して前記加圧タンク内に予め導入されて
   いる流体と前記加圧ガス雰囲気の界面に、流体液面の昇
   降動作に伴い昇降自在で、かつ、流体と加圧ガス雰囲気
   とを分離するフロートを設けたことを特徴とする加圧タ
   ンクを用いた高粘度流体の送液装置。
2. 【請求項２】 前記フロートの上下限位置を検出する位
   置検出センサと、この位置検出センサの出力に基づいて
   前記加圧タンク内の液量を管理する制御部とを有するこ
   とを特徴とする請求項１に記載の加圧タンクを用いた高
   粘度流体の送液装置。
3. 【請求項３】 前記フロートの変位量を検出する変位量
   検出手段と、 前記変位量検出手段の出力に基づいて前記加圧タンクか
   ら送出された送出液量を算出すると共に、この算出され
   た送出液量に基づいて該送出液量が一定に維持されるよ
   うに前記加圧ガスの加圧圧力若しくは送出時間を制御す
   る制御部とを有することを特徴とする請求項１に記載の
   加圧タンクを用いた高粘度流体の送液装置。
4. 【請求項４】 前記フロートの裏面側に、該フロートの
   昇降下限位置で前記流体の送液口を塞ぐ栓部を設けたこ
   とを特徴とする請求項１に記載の加圧タンクを用いた高
   粘度流体の送液装置。