JP2003179040A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 基板を載置するプレートと、前記プレートを浮上させる浮上手段と、前記プレートを回転させる回転手段と、前記プレートと離隔して設けられ前記プレートを加熱する加熱手段とを備え、
   前記プレートを回転させつつ加熱することを特徴とする熱処理装置。
2. 前記加熱手段は、発熱体であることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
3. 前記加熱手段は、ランプであることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
4. 前記プレートは、磁性体であり、
   前記加熱手段はコイルであり、
   前記加熱手段であるコイルに流す電流によって前記プレートに発生する渦電流で前記プレートを加熱して前記基板を加熱することを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
5. 基板を載置するプレートと、前記プレートを浮上させる浮上手段と、前記プレートを回転させる回転手段と、前記プレートを加熱する加熱手段と、床部材とを備え、前記プレートを回転させつつ加熱する熱処理装置であって、
   前記プレートは、磁性体であり、
   前記浮上手段は、同一極を対峙させた一対の永久磁石であり、そのひとつを前記プレートに取り付けるとともに他の一つを前記床部材に固定し、
   前記回転手段は、前記プレートに取り付けた複数の永久磁石からなるロータと、コイルで励磁される複数のコアからなるステータとを含むモータであり、前記ロータを前記プレートに取り付けるとともに前記ステータを前記床部材に固定し、
   前記加熱手段はコイルであり、
   前記コアを励磁して前記プレートを回転させつつ、前記加熱手段であるコイルに流す電流によって前記プレートに発生する渦電流で前記プレートを加熱して前記基板を加熱することを特徴とする熱処理装置。
6. 基板を載置する枠体と、前記枠体を浮上させる浮上手段と、前記枠体を回転させる回転手段と、前記基板を加熱する加熱手段と、床部材とを備え、前記枠体を回転させつつ加熱する熱処理装置であって、
   前記浮上手段は、同一極を対峙させた一対の永久磁石であり、そのひとつを前記プレートに取り付けるとともに他の一つを前記床部材に固定し、
   前記回転手段は、前記プレートに取り付けた複数の永久磁石からなるロータと、コイルで励磁される複数のコアからなるステータとを含むモータであり、前記ロータを前記プレートに取り付けるとともに前記ステータを前記床部材に固定し、
   前記加熱手段はランプであり、
   前記コアを励磁して前記枠体を回転させつつ、前記ランプからの輻射によって前記基板を加熱することを特徴とする熱処理装置。
7. 基板を載置するプレートと、前記プレートを浮上させる浮上手段と、前記プレートを回転させる回転手段と、前記プレートを加熱する加熱手段と、床部材とを備え、前記プレートを回転させつつ加熱する熱処理装置であって、
   前記プレートは、磁性体であり、
   前記浮上手段は、同一極を対峙させた一対の永久磁石であり、そのひとつを前記プレートに取り付けるとともに他の一つを前記床部材に固定し、
   前記回転手段は、前記枠体の外周に取り付けられた複数の羽と、前記枠体の前記羽に気流を吹き付けるためのノズルとを含み、
   前記加熱手段はコイルであり、
   前記気流によって前記枠体を回転させつつ、前記加熱手段であるコイルに流す電流によって前記プレートに発生する渦電流で前記プレートを加熱して前記基板を加熱することを特徴とする熱処理装置。
8. 基板を載置する枠体と、前記枠体を浮上させる浮上手段と、前記枠体を回転させる回転手段と、前記枠体を加熱する加熱手段と、床部材とを備え、前記枠体を回転させつつ加熱する熱処理装置であって、
   前記浮上手段は、同一極を対峙させた一対の永久磁石であり、そのひとつを前記枠体に取り付けるとともに他の一つを前記床部材に固定し、
   前記回転手段は、前記枠体の外周に取り付けられた複数の羽と、前記枠体の前記羽に気流を吹き付けるためのノズルとを含み、
   前記加熱手段はランプであり、
   前記気流によって前記枠体を回転させつつ、前記ランプからの輻射によって前記基板を加熱することを特徴とする熱処理装置。
9. 前記浮上手段の一対の永久磁石は、溝を有する永久磁石と、その溝の幅より小さい幅を有する永久磁石であることを特徴とする請求項５乃至８記載の熱処理装置。
10. 前記プレートは円板であり、前記浮上手段の前記ひとつの永久磁石と前記回転手段のロータとを同心状に前記プレートに取り付け、
    これらに対向して、前記浮上手段の前記他の永久磁石と前記回転手段のステータとを同心状に固定することを特徴とする請求項５又は６記載の熱処理装置。
11. 前記枠体は段の付いたリングであり、その段の上面に前記基板を載置し、前記浮上手段の前記ひとつの永久磁石をその段の下面に取り付け、
    これに対向して、前記浮上手段の前記ひとつの永久磁石を固定することを特徴とする請求項７又は８記載の熱処理装置。
12. 前記加熱手段を、前記プレートと前記床部材の間又は前記プレートに載置された前記基板の上方のうち一方の位置又は双方の位置に配置することを特徴とする請求項５又は７記載の熱処理装置。
13. 前記ランプを、前記枠体に載置された前記基板の上方に配置することを特徴とする請求項６又は８記載の熱処理装置。