JP2003173028A - Photosensitive transfer material and image forming material - Google Patents

Photosensitive transfer material and image forming material

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JP2003173028A
JP2003173028A JP2001372479A JP2001372479A JP2003173028A JP 2003173028 A JP2003173028 A JP 2003173028A JP 2001372479 A JP2001372479 A JP 2001372479A JP 2001372479 A JP2001372479 A JP 2001372479A JP 2003173028 A JP2003173028 A JP 2003173028A
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JP
Japan
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resin layer
photosensitive
layer
thermoplastic resin
transfer material
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001372479A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Fujimori
淳一 藤盛
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive transfer material free of uneven development even in the case of one-stage development in a developing step. <P>SOLUTION: In the photosensitive transfer material obtained by disposing at least an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer and a photosensitive resin layer in this order on a temporary support, wherein the adhesive power of the thermoplastic resin layer to the temporary support is the lowest, the thickness of the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material transferred first to the top of a substrate is ≤5 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性転写材料及
び画像形成材料に関し、更に詳しくは一段階の現像工程
により現像を可能とする感光性転写材料及び画像形成材
料に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive transfer material and an image forming material, and more particularly to a photosensitive transfer material and an image forming material which can be developed by a one-step developing process.

【0002】[0002]

【従来の技術】基体に感光性樹脂層を転写するための画
像形成材料は、カラーフィルター、プリント配線、凹版
凸版印刷版、ネームプレート、多色試し刷り見本、オフ
セット印刷版及びスクリーン印刷ステンシル等の製造に
広く用いられる。
2. Description of the Related Art Image forming materials for transferring a photosensitive resin layer to a substrate include color filters, printed wiring, intaglio relief printing plates, name plates, multicolor test print samples, offset printing plates and screen printing stencils. Widely used in manufacturing.

【0003】例えば、カラーフィルターの製造方法にお
いて、この感光性樹脂シートを用いる転写法では、ま
ず、所定の色の着色材料(顔料または染料)と、感光性
樹脂とからなる感光性着色樹脂層(感光性樹脂層)を可
撓性の支持体シート(仮支持体)の上に設けた、感光性
樹脂シートを所定の枚数(通常は、R(レッド)、G
(グリーン)、そしてB(ブルー)の三枚)製造する。
つぎに、この感光性樹脂シートの1枚を、その感光性着
色樹脂層を下に向け、加熱ロールを用いて加熱しながら
透明基板(ガラス板など)の上に貼り合わせたのち、支
持体シートを剥がして透明基板上に感光性着色層を転写
する。
For example, in the method of manufacturing a color filter, in the transfer method using this photosensitive resin sheet, first, a photosensitive colored resin layer (a coloring material (pigment or dye) of a predetermined color) and a photosensitive resin ( A photosensitive resin layer) is provided on a flexible support sheet (temporary support), and a predetermined number of photosensitive resin sheets (usually R (red), G
(Green) and B (blue) three sheets) are manufactured.
Next, one of the photosensitive resin sheets is attached to a transparent substrate (such as a glass plate) with the photosensitive colored resin layer facing downward while heating with a heating roll, and then the support sheet. Is peeled off and the photosensitive colored layer is transferred onto the transparent substrate.

【0004】次いで、その状態で、感光性着色樹脂層の
表面に、画素パターン部分が開口されたシート状のフォ
トマスクを介して光を照射して感光性着色樹脂層をパタ
ーン状に画素を形成し、そののち現像処理して、透明基
板上に1色の着色画素パターンを形成する。さらに、着
色画素パターンが形成された基板表面に、別の色の感光
性着色樹脂層を有する感光性樹脂シートを用いて、同様
にして転写、画素形成および現像を順次行うことによっ
て、多色の着色画素パターンを形成することができる。
なお、R、G、Bなどの多色の着色画素間の色分離を向
上させるために、最近では各画素間に間隙を設け、感光
性黒色樹脂を埋め込むこと(いわゆる、ブラックマトリ
ックスの形成)が一般的に行われている。
Then, in this state, the surface of the photosensitive colored resin layer is irradiated with light through a sheet-shaped photomask having pixel pattern portions opened to form pixels in the photosensitive colored resin layer in a pattern. After that, development processing is performed to form a colored pixel pattern of one color on the transparent substrate. Further, by using a photosensitive resin sheet having a photosensitive colored resin layer of another color on the surface of the substrate on which the colored pixel pattern is formed, the transfer, the pixel formation and the development are sequentially performed in the same manner to obtain a multicolor image. A colored pixel pattern can be formed.
In order to improve the color separation between R, G, B, and other multicolored pixels, it has recently been necessary to provide a gap between the pixels and fill the photosensitive black resin (so-called black matrix formation). It is commonly done.

【0005】上記現像処理として従来は、まず熱可塑性
樹脂層、中間層を現像除去し、その後感光性樹脂層を除
去するという、2段階に現像することにより、現像ムラ
を生ずることなく現像している。具体的には、現像液
種、液温、スプレー圧、こすり力等の条件を調整して、
熱可塑性樹脂層、中間層の現像時の影響を感光性樹脂層
に与えないようにしている。また、第1色目の凹凸段差
を吸収して、気泡などが入らないように第2色目以降を
転写するために、熱可塑性樹脂層の膜厚を6μm以上と
している。
Conventionally, as the above-mentioned development processing, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are first developed and removed, and then the photosensitive resin layer is removed. There is. Specifically, adjust the conditions such as developer type, liquid temperature, spray pressure, rubbing force, etc.
The photosensitive resin layer is not affected by the development of the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Further, the thickness of the thermoplastic resin layer is set to 6 μm or more in order to absorb the unevenness of the first color and transfer the second and subsequent colors so that bubbles and the like do not enter.

【0006】しかし近年、現像方法は現像の効率化等の
ために、KOH現像システムに見られるように1段階で
の現像(1浴現像)が採用されているが、前記熱可塑性
樹脂層の膜厚がある厚み以上の材料を1浴現像による場
合には、現像方法によって現像ムラが生ずる。その結
果、製造されたカラーフィルタ等の諸性能に支障を来す
要因となっている。
However, in recent years, in order to improve the efficiency of development and the like, a one-step development (one-bath development) has been adopted as seen in the KOH development system, but the film of the thermoplastic resin layer is used. When a material having a certain thickness or more is developed by one-bath development, uneven development occurs depending on the developing method. As a result, it is a factor that hinders the performance of manufactured color filters and the like.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】以上のような問題を解
消し、1浴現像により現像する場合にも、現像ムラが生
じない感光性転写材料、及び前記感光性転写材料を用い
て形成される画像形成材料を提供することを目的とす
る。
To solve the above problems, a photosensitive transfer material that does not cause uneven development even when developing by one-bath development, and a photosensitive transfer material formed using the photosensitive transfer material An object is to provide an image forming material.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的は、以下の発明
を提供することにより達成される。 <1> 仮支持体上に、少なくともアルカリ可溶な熱可
塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けてな
り、且つ前記熱可塑性樹脂層と前記仮支持体との接着力
が最も小さい感光性転写材料において、基体上に最初に
転写される前記感光性転写材料の前記熱可塑性樹脂層の
厚みが5μm以下であることを特徴とする感光性転写材
料である。 <2> 基体上に最初に転写される感光性転写材料にお
いて、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けてなり、熱
可塑性樹脂層を含まないことを特徴とする感光性転写材
料である。 <3> 前記<1>又は<2>に記載の感光性転写材料
を基体上に転写した後の露光、現像において、1段階の
現像工程により形成されることを特徴とする画像形成材
料である。
The above object can be achieved by providing the following inventions. <1> At least an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are provided in this order on the temporary support, and the adhesive force between the thermoplastic resin layer and the temporary support is the highest. In a small photosensitive transfer material, the thickness of the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material that is first transferred onto a substrate is 5 μm or less, and the photosensitive transfer material is characterized. <2> A photosensitive transfer material which is characterized in that a photosensitive transfer material which is first transferred onto a substrate is provided with an intermediate layer and a photosensitive resin layer in this order and does not include a thermoplastic resin layer. <3> An image forming material, which is formed by a one-step developing process in exposure and development after transferring the photosensitive transfer material according to the above <1> or <2> onto a substrate. .

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明を、まず前記感光性
転写材料について説明し、さらに本発明が用いられる現
像方法等を含む画像形成方法について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with respect to the above-mentioned photosensitive transfer material, and further an image forming method including a developing method and the like in which the present invention is used.

【0010】[感光性転写材料]本発明における感光性
転写材料について説明する。本発明における、感光性転
写材料は、仮支持体上に、少なくともアルカリ可溶な熱
可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けて
なり、且つ前記熱可塑性樹脂層と前記仮支持体との接着
力が最も小さい感光性転写材料において、基体上に最初
に転写される前記感光性転写材料の前記熱可塑性樹脂層
の厚みが5μm以下であることを特徴とするものであ
り、必要に応じて、上記感光性樹脂層の上には、保存時
に該感光性樹脂層を保護する目的で、保護層が形成され
ていてもよい。
[Photosensitive Transfer Material] The photosensitive transfer material in the present invention will be described. In the present invention, the photosensitive transfer material comprises at least an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer provided in this order on a temporary support, and the thermoplastic resin layer and the temporary support are provided. In the photosensitive transfer material having the smallest adhesive force with the body, the thickness of the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material that is first transferred onto the substrate is 5 μm or less, which is required. Accordingly, a protective layer may be formed on the photosensitive resin layer for the purpose of protecting the photosensitive resin layer during storage.

【0011】〈熱可塑性樹脂層〉熱可塑性樹脂層は、転
写時の気泡混入を防止する目的で設けられ、本発明の熱
可塑性樹脂層は少なくともアルカリ可溶な熱可塑性樹脂
層である。前記熱可塑性樹脂層はアルカリ可溶性の熱可
塑性樹脂を主に含むことにより達成され、必要に応じて
他の成分を含んでいてもよい。
<Thermoplastic Resin Layer> The thermoplastic resin layer is provided for the purpose of preventing bubbles from entering during transfer, and the thermoplastic resin layer of the present invention is at least an alkali-soluble thermoplastic resin layer. The thermoplastic resin layer is achieved mainly by containing an alkali-soluble thermoplastic resin, and may contain other components as necessary.

【0012】また、前記熱可塑性樹脂としては、実質的
な軟化点が80℃以下であるものが好ましい。軟化点が
80℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、
エチレンとアクリル酸エステル共重合体とのケン化物、
スチレンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体とのケ
ン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル
共重合体とのケン化物、ポリ(メタ)アクリル酸エステ
ル、および(メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の
(メタ)アクリル酸エステル共重合体とのケン化物等が
挙げられる。
The thermoplastic resin preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or lower. As the alkali-soluble thermoplastic resin having a softening point of 80 ° C. or lower,
Saponified product of ethylene and acrylic ester copolymer,
Saponified product of styrene and (meth) acrylic acid ester copolymer, saponified product of vinyltoluene and (meth) acrylic acid ester copolymer, poly (meth) acrylic acid ester, and butyl (meth) acrylic acid and acetic acid Examples thereof include saponified products with a (meth) acrylic acid ester copolymer such as vinyl.

【0013】また、カルボン酸含有モノマーと(メタ)ア
クリル酸エステルモノマーの共重合体も用いることがで
きる。カルボン酸含有モノマーとしてはアクリル酸、メ
タアクリル酸やこの誘導体が挙げられ、(メタ) アクリ
ル酸エステルモノマーとしてはメチル(メタ)アクリレー
ト、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレ
ート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシ
ル(メタ)アクリレート等が挙げられる。共重合体として
はカルボン酸含有モノマーとアクリル酸エステルモノマ
ーの2元共重合体でも、多元共重合体でもよく、メタク
リル酸に対してメチルメタクリレート、2−エチルヘキ
シルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレートを1
種以上共重合させたものが好ましく、メタクリル酸/メ
チルメタクリレート/2−エチルヘキシルメタアクリレ
ート/ベンジルメタアクリレート共重合体が特に好まし
い。
Also, a copolymer of a carboxylic acid-containing monomer and a (meth) acrylic acid ester monomer can be used. Examples of the carboxylic acid-containing monomer include acrylic acid, methacrylic acid and derivatives thereof, and as the (meth) acrylic acid ester monomer, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, benzyl (meth) Examples thereof include acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. The copolymer may be a binary copolymer of a carboxylic acid-containing monomer and an acrylic acid ester monomer, or a multi-component copolymer, and methyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl methacrylate may be used with respect to methacrylic acid.
A copolymer of one or more kinds is preferable, and a methacrylic acid / methyl methacrylate / 2-ethylhexyl methacrylate / benzyl methacrylate copolymer is particularly preferable.

【0014】更に、「プラスチック性能便覧」(日本プ
ラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合
会編著、工業調査会発行、1968年10月25日発
行)に記載の、軟化点が約80℃以下の有機高分子のう
ち、アルカリ水溶液に可溶なものも使用できる。
Further, organic materials having a softening point of about 80 ° C. or less, as described in "Plastic Performance Handbook" (edited by Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Federation, published by Industrial Research Board, issued October 25, 1968) Among the polymers, those soluble in an aqueous alkaline solution can also be used.

【0015】更に、軟化点が80℃以上の有機高分子物
質であっても、その有機高分子物質中に該有機高分子物
質と相溶性のある各種の可塑剤を添加して、実質的な軟
化点を80℃以下に下げて使用することも可能である。
上記有機高分子物質中には、仮支持体との接着力を調節
する目的で、実質的な軟化点が80℃を超えない範囲で
各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤、界面活性剤、
離型剤等を加えることができる。
Further, even if an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, various plasticizers which are compatible with the organic polymer substance are added to the organic polymer substance to substantially improve It is also possible to use it by lowering the softening point to 80 ° C. or lower.
In the organic polymer substance, for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support, various polymers, supercooling substances, adhesion improvers, surfactants, and
A release agent or the like can be added.

【0016】上記可塑剤の具体例としては、ポリプロピ
レングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチル
フタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニル
フォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート
等が好適に挙げられる。
Specific examples of the plasticizer include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, biphenyl diphenyl phosphate and the like. .

【0017】上記熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂およ
び必要に応じて他の成分を有機溶剤に溶解して塗布液
(熱可塑性樹脂層用塗布液)を調製し、公知の塗布方法
により仮支持体上に塗布等して形成することができる。
上記有機溶剤としては、メチルエチルケトン、1−メト
キシ−2−プロパノール等が挙げられる。
The above-mentioned thermoplastic resin layer is prepared by dissolving a thermoplastic resin and, if necessary, other components in an organic solvent to prepare a coating liquid (thermoplastic resin layer coating liquid), and temporarily supporting it by a known coating method. It can be formed by coating on the body.
Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone and 1-methoxy-2-propanol.

【0018】本発明の熱可塑性樹脂層の層厚は、少なく
とも基体上に最初に転写される感光性転写材料の熱可塑
性樹脂層の厚みが5μm以下、又は熱可塑性樹脂層を含
まないことを特徴とする。ただし、熱可塑性樹脂層があ
る方が、熱可塑性樹脂層が基体上の微小な凹凸を埋め込
むため、より感光性樹脂層が平滑に形成できる点で有利
である。また、熱可塑性樹脂層がある方が、感光性転写
材料を転写した後の支持体の剥離が、よりスムースに行
なわれる。該熱可塑性樹脂層の厚さが5〜0μmである
ことにより、1浴現像をした場合にも、前記熱可塑性樹
脂層及び感光性樹脂層の未露光部に部分的に生じる現像
時間差が小さくなり、ムラなく現像することができる。
The layer thickness of the thermoplastic resin layer of the present invention is such that at least the thickness of the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material first transferred onto the substrate is 5 μm or less, or the thermoplastic resin layer is not included. And However, the presence of the thermoplastic resin layer is advantageous in that the thermoplastic resin layer fills minute irregularities on the substrate, and thus the photosensitive resin layer can be formed more smoothly. Further, the presence of the thermoplastic resin layer allows the support to be peeled off more smoothly after transferring the photosensitive transfer material. Since the thickness of the thermoplastic resin layer is 5 to 0 μm, the development time difference that partially occurs in the unexposed portions of the thermoplastic resin layer and the photosensitive resin layer is reduced even when the one-bath development is performed. It can be developed without unevenness.

【0019】しかし最初に転写される感光性転写材料以
外の熱可塑性樹脂層は6μm以上が好ましい。該層厚が
6μm未満であると、1μm以上の下地の凹凸を完全に
吸収することが困難となることがある。また、上限とし
ては、現像性、製造適性の点から、約100μm以下が
一般的であり、約50μm以下が好ましい。
However, the thermoplastic resin layer other than the photosensitive transfer material which is first transferred is preferably 6 μm or more. If the layer thickness is less than 6 μm, it may be difficult to completely absorb the unevenness of the base of 1 μm or more. The upper limit is generally about 100 μm or less, and preferably about 50 μm or less, from the viewpoints of developability and manufacturing suitability.

【0020】〈仮支持体〉上記仮支持体としては、可撓
性であって、感光性樹脂層等と良好な剥離性を有し、化
学的および熱的に安定である物質で構成されることが好
ましい。具体的には、テフロン(R)、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等のフィルム若しくはこれらの積層物が好ま
しい。仮支持体の厚みとしては、5〜300μmが適当
であり、特に20〜150μmが好ましい。仮支持体の
厚みが上記範囲よりも小さいと、感光性転写材料を転写
すべき基体と貼り合わせる際にシワが発生しやすく、ま
た、厚みが上記範囲よりも大きいと感光性転写材料のシ
ートカッティング時にゴミを発生しやすい。
<Temporary Support> The temporary support is composed of a material which is flexible, has good peelability from the photosensitive resin layer, etc. and is chemically and thermally stable. It is preferable. Specifically, a film of Teflon (R), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene or the like, or a laminate thereof is preferable. The thickness of the temporary support is appropriately 5 to 300 μm, and particularly preferably 20 to 150 μm. If the thickness of the temporary support is smaller than the above range, wrinkles are likely to occur when the photosensitive transfer material is bonded to the substrate to be transferred, and if the thickness is larger than the above range, sheet cutting of the photosensitive transfer material is performed. Sometimes dust is easily generated.

【0021】また、本発明の効果をさらに向上させるた
めには、前記仮支持体の表面電気抵抗値が1013Ω/c
2以下であることが好ましく、1012Ω/cm2以下で
あることがより好ましい。表面電気抵抗値が1013Ω/
cm2以下である仮支持体としては、導電性を有する材
料を含有する合成樹脂から形成された仮支持体、表面近
傍の部分のみに導電性を有する材料が含有されている仮
支持体、1013Ω/cm2より大きい表面電気抵抗値を
有する仮支持体本体の少なくとも一方の面に導電性を有
する層(導電性層)が積層されている仮支持体、これら
の構成が組み合わせられた仮支持体等の何れの態様のも
のであってもよい。前記表面電気抵抗値が1013Ω/c
2以下である仮支持体の具体的態様ならびに好ましい
態様については、特願2000−369103号の記載
を参照できる。
In order to further improve the effect of the present invention, the surface electric resistance value of the temporary support is 10 13 Ω / c.
It is preferably m 2 or less, and more preferably 10 12 Ω / cm 2 or less. Surface electric resistance value is 10 13 Ω /
As the temporary support having a cm 2 or less, a temporary support formed of a synthetic resin containing a material having conductivity, a temporary support containing a material having conductivity only in the vicinity of the surface, 10 A temporary support having a conductive layer (conductive layer) laminated on at least one surface of a temporary support body having a surface electrical resistance value of more than 13 Ω / cm 2, and a temporary support obtained by combining these configurations. It may be in any form such as a support. The surface electric resistance value is 10 13 Ω / c
The description of Japanese Patent Application No. 2000-369103 can be referred to for the specific and preferred embodiments of the temporary support having a m 2 or less.

【0022】さらに、剥離性の観点から仮支持体に対し
種々の公知の離型処理を行ってもよい。また、滑り性を
良化するため、または感光性樹脂層の仮支持体裏面との
不都合な接着を防止するため、仮支持体の裏面に公知の
微粒子含有滑り性組成物や、シリコーン化合物を含有す
る離型剤組成物等を塗布することも有用である。
Further, from the viewpoint of releasability, various known releasing treatments may be applied to the temporary support. Further, in order to improve the slipperiness or prevent the disadvantageous adhesion of the photosensitive resin layer to the back surface of the temporary support, the back surface of the temporary support contains a known fine particle-containing slip composition or a silicone compound. It is also useful to apply a release agent composition or the like.

【0023】〈感光性樹脂層〉上記感光性樹脂層は、感
光性樹脂組成物と着色剤とを少なくとも含んでなる塗布
液(感光性樹脂層用塗布液)を公知の塗布方法により仮
支持体上に塗布して形成される。上記感光性樹脂層は、
感光性樹脂組成物と着色剤とを含む着色層であり、熱ま
たは圧力によって軟化若しくは流動化する樹脂層である
ことが好ましい。具体的には、少なくとも150℃以下
の温度で軟化若しくは粘着性を有する熱可塑性を示す転
写適性を持つことが好ましく、光が照射されると硬化す
る一方、未照射部はアルカリ溶液に対して易溶性でレジ
スト性を備えることが好ましい。公知の光重合性組成物
からなる層の大部分はこの性質を有する。また、これら
の層は、熱可塑性樹脂の添加や、相溶性のある可塑剤の
添加により更に改質が可能である。
<Photosensitive resin layer> For the photosensitive resin layer, a coating solution (coating solution for photosensitive resin layer) containing at least a photosensitive resin composition and a colorant is prepared by a known coating method. It is formed by coating on top. The photosensitive resin layer,
It is a colored layer containing a photosensitive resin composition and a colorant, and is preferably a resin layer which is softened or fluidized by heat or pressure. Specifically, it is preferable that the resin has transferability that exhibits softness or adhesiveness and has thermoplasticity at a temperature of at least 150 ° C. or less, and is cured when irradiated with light, while the unirradiated portion is easily exposed to an alkaline solution. It is preferably soluble and has resist properties. Most of the layers of known photopolymerizable compositions have this property. Further, these layers can be further modified by adding a thermoplastic resin or a compatible plasticizer.

【0024】上記感光性樹脂組成物としては、例えば特
開平3−282404号公報に記載のものを全て使用す
ることができ、例えば、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダー
とからなる感光性樹脂組成物、光重合性組成物、アジド
化合物とバインダーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮
酸型感光性樹脂組成物が挙げられる。中でも、アルカリ
可溶性バインダーポリマー、光の照射によって付加重合
するエチレン性不飽和二重結合を有するモノマー、光重
合開始剤を含んでなる感光性樹脂組成物が好ましく、本
発明においては、該感光性樹脂組成物と着色剤とを含有
してなる感光性樹脂層が特に好ましい。
As the above-mentioned photosensitive resin composition, for example, all of those described in JP-A-3-282404 can be used. For example, a photosensitive resin composition comprising a negative type diazo resin and a binder, and Examples thereof include a polymerizable composition, a photosensitive resin composition containing an azide compound and a binder, and a cinnamic acid type photosensitive resin composition. Among them, a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble binder polymer, a monomer having an ethylenically unsaturated double bond that is addition-polymerized by irradiation of light, and a photopolymerization initiator is preferable, and in the present invention, the photosensitive resin is used. A photosensitive resin layer containing the composition and a colorant is particularly preferable.

【0025】上記アルカリ可溶性バインダーポリマーと
しては、側鎖にカルボン酸基を有するポリマー、例え
ば、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34
327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭
54−25957号公報、特開昭59−53836号公
報、および特開昭59−71048号公報に記載の、メ
タクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸
共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、
部分エステル化マレイン酸共重合体が挙げられる。ま
た、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙
げることができる。
The alkali-soluble binder polymer may be a polymer having a carboxylic acid group in its side chain, such as those disclosed in JP-A-59-44615 and JP-B-54-34.
327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-59-71048, and a methacrylic acid copolymer and acrylic acid. Copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, maleic acid copolymer,
Partially esterified maleic acid copolymers may be mentioned. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned.

【0026】上記のほかに、水酸基を有するポリマーに
環状酸無水物を付加したものも好適である。特に、米国
特許第4139391号明細書に記載の、ベンジル(メ
タ)アクリレートと(メタ)アクリル酸の共重合体やベ
ンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他
のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。
In addition to the above, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are also suitable. In particular, a copolymer of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid or a multi-component copolymer of benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers described in U.S. Pat. No. 4,139,391. Can be mentioned.

【0027】上記アルカリ可溶性バインダーポリマーを
用いる場合、上記の中から、50〜300mgKOH/
gの範囲の酸価と1000〜300000の範囲の質量
平均分子量を有するものを選択して使用することが好ま
しい。
When the above alkali-soluble binder polymer is used, from the above, 50 to 300 mgKOH /
It is preferable to select and use those having an acid value in the range of g and a mass average molecular weight in the range of 1,000 to 300,000.

【0028】上記アルカリ可溶性バインダーポリマーの
他、種々の性能、例えば硬化膜の強度を改良する目的
で、現像性等に悪影響を与えない範囲で、アルカリ不溶
性のポリマーを添加することができる。そのようなポリ
マーとしては、アルコール可溶性ナイロンまたはエポキ
シ樹脂が挙げられる。
In addition to the above alkali-soluble binder polymer, an alkali-insoluble polymer can be added for the purpose of improving various performances, for example, the strength of a cured film, as long as the developability is not adversely affected. Such polymers include alcohol soluble nylon or epoxy resins.

【0029】感光性樹脂組成物の全固形分に対する、ア
ルカリ可溶性のポリマーと必要に応じてアルカリ不溶性
のポリマーの総含有量としては、10〜95質量%が好
ましく、20〜90質量%がより好ましい。上記含有量
が、10〜95質量%の範囲では、感光性樹脂層の粘着
性が高すぎてしまうこともなく、形成される画像の強度
および光感度の点で劣ることもない。
The total content of the alkali-soluble polymer and, if necessary, the alkali-insoluble polymer with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition is preferably 10 to 95% by mass, more preferably 20 to 90% by mass. . When the content is in the range of 10 to 95% by mass, the tackiness of the photosensitive resin layer does not become too high, and the strength and photosensitivity of the formed image are not deteriorated.

【0030】上記光の照射によって付加重合するエチレ
ン性不飽和二重結合を有するモノマーとしては、分子中
に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基
を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物が挙げられ
る。例えば、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の
単官能アクリレートや単官能メタクリレート;
The above-mentioned monomer having an ethylenically unsaturated double bond which undergoes addition polymerization upon irradiation with light has at least one addition-polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule and has a boiling point of 100 at atmospheric pressure. A compound having a temperature of 0 ° C. or higher is included. For example, monofunctional acrylates and monofunctional methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate;

【0031】ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリ
レート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプ
ロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)
アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)
アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシ
プロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチ
ル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチ
ル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレー
ト;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能ア
ルコールにエチレンオキシドにプロピレンオキシドを付
加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能ア
クリレートや多官能メタクリレートを挙げることができ
る。
Polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tetra ( (Meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth)
Acrylate, dipentaerythritol hexa (meth)
Acrylate, dipentaerythritol penta (meth)
Acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; trimethylolpropane and glycerin Examples thereof include polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding propylene oxide to ethylene oxide to a polyfunctional alcohol such as (meth) acrylate.

【0032】更に、特公昭48−41708号公報、特
公昭50−6034号公報および特開昭51−3719
3号公報に記載のウレタンアクリレート類;特開昭48
−64183号公報、特公昭49−43191号公報お
よび特公昭52−30490号公報に記載のポリエステ
ルアクリレート類;エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸
の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能
アクリレートやメタクリレートも挙げられる。上記の中
でも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
トが好ましい。
Further, JP-B-48-41708, JP-B-50-6034 and JP-A-51-3719.
Urethane acrylates described in JP-A-3;
-64183, JP-B-49-43191 and JP-B-52-30490; polyfunctional acrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid; Methacrylate may also be mentioned. Among the above, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and dipentaerythritol penta (meth) acrylate are preferable.

【0033】光の照射によって付加重合するエチレン性
不飽和二重結合を有するモノマーは単独で用いても2種
類以上を混合して用いてもよい。また、感光性樹脂組成
物の全固形分に対する該モノマーの含有量としては、5
〜50質量%が一般的であり、特に10〜40質量%が
好ましい。前記含有量が、5〜50質量%の範囲では、
光感度や画像の強度が低下することもなく、感光性樹脂
層の粘着性が過剰になることもない。
The monomer having an ethylenically unsaturated double bond which undergoes addition polymerization upon irradiation with light may be used alone or in combination of two or more kinds. The content of the monomer based on the total solid content of the photosensitive resin composition is 5
-50 mass% is general, and 10-40 mass% is especially preferable. When the content is in the range of 5 to 50% by mass,
The photosensitivity and the image strength are not reduced, and the tackiness of the photosensitive resin layer is not excessive.

【0034】上記光重合開始剤としては、米国特許第2
367660号明細書に記載のビシナルポリケタルドニ
ル化合物、米国特許第2448828号明細書に記載の
アシロインエーテル化合物、米国特許第2722512
号明細書に記載の、α−炭化水素で置換された芳香族ア
シロイン化合物、米国特許第3046127号明細書お
よび同第2951758号明細書に記載の多核キノン化
合物、米国特許第3549367号明細書に記載の、ト
リアリールイミダゾール二量体とp−アミノケトンとの
組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾ
チアゾール化合物とトリハロメチル−s−トリアジン化
合物、米国特許第4239850号明細書に記載のトリ
ハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第421
2976号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾ
ール化合物等が挙げられる。
As the photopolymerization initiator, US Pat.
Vicinal polyketaldonyl compounds described in US Pat. No. 3,676,860, acyloin ether compounds described in US Pat. No. 2,448,828, US Pat. No. 2,722,512.
.Alpha.-hydrocarbon substituted aromatic acyloin compounds, polynuclear quinone compounds described in U.S. Pat. Nos. 3,041,127 and 2,951,758, and U.S. Pat. No. 3,549,367. , A combination of a triarylimidazole dimer and p-aminoketone, a benzothiazole compound and a trihalomethyl-s-triazine compound described in JP-B-51-48516, and a trihalomethyl compound described in U.S. Pat. No. 4,239,850. -S-triazine compound, U.S. Pat. No. 421.
The trihalomethyl oxadiazole compound described in the 2976 specification etc. are mentioned.

【0035】中でも特に、光酸発生剤であるトリハロメ
チル−s−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾー
ルおよびトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
感光性樹脂組成物の全固形分に対する上記光重合開始剤
の含有量としては、0.5〜20質量%が一般的であ
り、特に1〜15質量%が好ましい。上記含有量が0.
5〜20質量%の範囲では、光感度や画像の強度が低く
なることもない。
Among these, photohalogen generators such as trihalomethyl-s-triazine, trihalomethyloxadiazole and triarylimidazole dimer are particularly preferable.
The content of the photopolymerization initiator with respect to the total solid content of the photosensitive resin composition is generally 0.5 to 20% by mass, and particularly preferably 1 to 15% by mass. The above content is 0.
In the range of 5 to 20% by mass, the photosensitivity and the image strength do not decrease.

【0036】上記着色剤(着色材料)としては、カラー
フィルタを構成する色である赤色、緑色および青色の顔
料が一般に使用される。その好ましい例としては、カー
ミン6B(C.I.12490)、フタロシアニングリ
ーン(C.I.74260)、フタロシアニンブルー
(C.I.74160)等が挙げられる。
As the colorant (coloring material), pigments of red, green and blue, which are the colors constituting the color filter, are generally used. Preferred examples thereof include carmine 6B (CI. 12490), phthalocyanine green (CI. 74260), phthalocyanine blue (CI. 74160) and the like.

【0037】感光性樹脂層中における着色剤の具体的な
含有量としては、目標とする色度等により異なるが、感
光性樹脂層の固形分の2〜50質量%が好ましく、5〜
45質量%がより好ましい。
Although the specific content of the colorant in the photosensitive resin layer varies depending on the target chromaticity and the like, it is preferably 2 to 50% by mass of the solid content of the photosensitive resin layer, and 5 to 5% by mass.
45 mass% is more preferable.

【0038】感光性樹脂層には、上記成分以外に下記の
他の成分を含有することができる。感光性樹脂層は、特
に熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤
としては、例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェ
ノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロー
ル、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−
チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、
2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチル
フェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フ
ェノチアジン等が挙げられる。更に、感光性樹脂層に
は、公知の添加剤として、例えば可塑剤、界面活性剤、
溶剤等を添加することもできる。
The photosensitive resin layer may contain the following other components in addition to the above components. The photosensitive resin layer particularly preferably contains a thermal polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-
Thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol),
2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like can be mentioned. Furthermore, in the photosensitive resin layer, as a known additive, for example, a plasticizer, a surfactant,
A solvent or the like can also be added.

【0039】上記感光性樹脂層は、仮支持体上に、上記
感光性樹脂組成物と着色剤とを溶剤に溶解若しくは分散
し調製された溶液若しくは分散液(感光性樹脂層用塗布
液)を塗布した後、乾燥することにより形成することが
できる。上記感光性樹脂層の層厚としては、一般には
0.5〜3μmが好ましく、通常は約2μmである。
The photosensitive resin layer is prepared by dissolving or dispersing the photosensitive resin composition and the colorant in a solvent on a temporary support to prepare a solution or dispersion (a photosensitive resin layer coating solution). It can be formed by applying and then drying. The layer thickness of the photosensitive resin layer is generally preferably 0.5 to 3 μm, and is usually about 2 μm.

【0040】更に、熱可塑性樹脂層や中間層(酸素遮断
層等)を設ける場合には、まず熱可塑性樹脂を有機溶剤
に溶解してなる塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を仮
支持体上に塗布、乾燥して熱可塑性樹脂層を形成し、続
いて該熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤を用いてなる塗
布液(中間層用塗布液)を調製し、塗布乾燥して中間層
を積層する。次いで、この中間層を溶解しない有機溶剤
を用いてなる感光性樹脂層用塗布液を調製し、前記中間
層上に更に塗布、乾燥して感光性樹脂層を形成する。上
記感光性樹脂層の表面には、更にポリプロピレン等から
なるフィルム状等の保護層を設けてもよい。上記保護層
は、感光性転写材料が基板上にラミネートされる前の工
程で剥離される。
Further, when a thermoplastic resin layer or an intermediate layer (oxygen blocking layer, etc.) is provided, a coating liquid (thermoplastic resin layer coating liquid) prepared by dissolving the thermoplastic resin in an organic solvent is first temporarily supported. A thermoplastic resin layer is formed by coating on the body and drying, and then a coating liquid (intermediate layer coating liquid) prepared by using a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer is prepared, coated and dried to form the intermediate layer. Are stacked. Next, a photosensitive resin layer coating solution is prepared using an organic solvent that does not dissolve the intermediate layer, and the intermediate layer is further coated and dried to form a photosensitive resin layer. A film-like protective layer made of polypropylene or the like may be further provided on the surface of the photosensitive resin layer. The protective layer is peeled off in the step before the photosensitive transfer material is laminated on the substrate.

【0041】〈中間層〉上記中間層として、酸素遮断層
等を設けることが好ましい。上記酸素遮断層は、パター
ン画素する際に感光性樹脂層中での光硬化反応を阻害す
る空気中からの酸素の拡散を防止する目的と、前記熱可
塑性樹脂層を設けた場合に該層と前記感光性樹脂層とが
互いに混ざり合わないようにする目的で設けられる。
<Intermediate Layer> It is preferable to provide an oxygen barrier layer or the like as the intermediate layer. The oxygen barrier layer is for the purpose of preventing the diffusion of oxygen from the air which inhibits the photo-curing reaction in the photosensitive resin layer when forming a patterned pixel, and the layer when the thermoplastic resin layer is provided. It is provided for the purpose of preventing the photosensitive resin layer and the photosensitive resin layer from being mixed with each other.

【0042】上記酸素遮断層としては、水またはアルカ
リ水溶液に分散、溶解可能な樹脂成分を主に構成され、
必要に応じて、界面活性剤等の他の成分を含んでいても
よい。上記酸素遮断層を構成する樹脂成分としては、公
知のものの中から適宜選択でき、例えば、特開昭46−
2121号や特公昭56−40824号に記載の、ポリ
ビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カルボキシア
ルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテ
ル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニル
アルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリ
ルアミド類、各種水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の
水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種
澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン
/マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、およびこ
れらを2種以上組合せたもの等が挙げられる。
The oxygen barrier layer is mainly composed of a resin component which can be dispersed and dissolved in water or an alkaline aqueous solution.
If necessary, other components such as a surfactant may be included. The resin component constituting the oxygen barrier layer can be appropriately selected from known ones. For example, JP-A-46-
No. 2121 and Japanese Patent Publication No. 56-40824, polyvinyl ether / maleic anhydride polymers, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, Various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, water-soluble salts of the group consisting of various starches and the like, styrene / maleic acid copolymers, maleates Examples thereof include resins, and combinations of two or more thereof.

【0043】中でも、ポリビニルアルコールとポリビニ
ルピロリドンとを組合せてなるものが特に好ましい。更
に、上記ポリビニルアルコールとしては、鹸化率が80
%以上のものが好ましい。また、上記ポリビニルピロリ
ドンの含有量としては、中間層の固形体積の1〜75%
であることが好ましく、1〜60%であることがより好
ましく、10〜50%であることが最も好ましい。上記
固形体積が、1〜75%の範囲では、硬化性樹脂層との
十分な密着性が得られ、酸素遮断能が低下することもな
い。
Among them, a combination of polyvinyl alcohol and polyvinylpyrrolidone is particularly preferable. Further, the above-mentioned polyvinyl alcohol has a saponification rate of 80.
% Or more is preferable. The content of the polyvinylpyrrolidone is 1 to 75% of the solid volume of the intermediate layer.
Is preferable, 1 to 60% is more preferable, and 10 to 50% is most preferable. When the solid volume is in the range of 1 to 75%, sufficient adhesiveness with the curable resin layer is obtained, and the oxygen blocking ability is not lowered.

【0044】上記酸素遮断層は、その酸素遮断能が低下
すると、硬化性樹脂層の重合感度が低下して、画素時の
光量をアップしたり、画素時間を長くする必要が生ずる
ばかりか、解像度も低下することになるため、酸素透過
率の小さいことが好ましい。
When the oxygen blocking ability of the oxygen blocking layer is lowered, the polymerization sensitivity of the curable resin layer is lowered, so that it is necessary to increase the amount of light at the time of a pixel or to lengthen the pixel time. Therefore, it is preferable that the oxygen transmission rate is small.

【0045】上記酸素遮断層は、樹脂成分等を水系溶媒
に溶解、分散して塗布液(酸素遮断層用塗布液)を調製
し、公知の塗布方法により仮支持体上に塗布等して形成
することができる。上記水系溶媒としては、蒸留水等の
水を主成分とし、所望により本発明の効果を損なわない
範囲でアルコール等の水と親和性のある溶剤や塩等を添
加した溶媒が挙げられる。
The oxygen barrier layer is formed by dissolving and dispersing a resin component and the like in an aqueous solvent to prepare a coating liquid (coating liquid for oxygen barrier layer), and coating it on a temporary support by a known coating method. can do. Examples of the water-based solvent include a solvent containing water such as distilled water as a main component, and a solvent such as alcohol having a compatibility with water or a salt, if desired, within a range that does not impair the effects of the present invention.

【0046】上記酸素遮断層の層厚としては、約0.1
〜5μmが好ましく、0.5〜2μmがより好ましい。
上記層厚が、約0.1〜5μmの範囲では、酸素透過性
が高すぎて硬化性樹脂層の重合感度が低下することもな
く、現像や中間層除去時に長時間を要することもない。
The thickness of the oxygen barrier layer is about 0.1.
-5 μm is preferable, and 0.5-2 μm is more preferable.
When the layer thickness is in the range of about 0.1 to 5 μm, the oxygen permeability is not too high and the polymerization sensitivity of the curable resin layer does not decrease, and it does not take a long time to develop or remove the intermediate layer.

【0047】〈保護層〉感光性樹脂層の上には、感光性
転写材料を貯蔵する際に感光性樹脂層を汚染や損傷から
保護するための保護層を設けることが好ましい。保護層
は仮支持体を構成する合成樹脂と同じかまたは類似の材
料からなってもよいが、感光性樹脂層から容易に分離で
きるものであることが必要である。保護層としては、例
えばシリコーン被覆紙、ポリオレフィンまたはポリテト
ラフルオロエチレンのシートまたはフィルムが適当であ
る。保護層の厚みは約5〜100μmであるのが好まし
い。保護層として特に好ましくは、10〜30μm厚の
ポリエチレンフィルムまたはポリプロピレンフィルムで
ある。本発明における感光性転写材料に於いて、保護層
は無くてもよいが、感光性転写材料の取り扱い、輸送、
貯蔵の際の安全のために設けることが好ましい。
<Protective Layer> On the photosensitive resin layer, it is preferable to provide a protective layer for protecting the photosensitive resin layer from contamination or damage when the photosensitive transfer material is stored. The protective layer may be made of the same or similar material as the synthetic resin forming the temporary support, but it is required that it can be easily separated from the photosensitive resin layer. Suitable protective layers are, for example, silicone-coated paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheets or films. The thickness of the protective layer is preferably about 5-100 μm. Particularly preferred as the protective layer is a polyethylene film or polypropylene film having a thickness of 10 to 30 μm. In the photosensitive transfer material of the present invention, the protective layer may be omitted, but handling, transportation,
It is preferable to provide it for safety during storage.

【0048】〈基体〉本発明において、画像が形成され
る基体としては、例えば、透明基板が用いられ、表面に
酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラ
ス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラ
ス板、あるいは、プラスチックフィルム等を挙げること
ができる。
<Substrate> In the present invention, as the substrate on which an image is formed, for example, a transparent substrate is used, and a soda glass plate having a silicon oxide film on its surface, low expansion glass, non-alkali glass, quartz glass plate, etc. The well-known glass plate, plastic film or the like can be used.

【0049】[画像形成方法]本発明の感光性転写材料
を用いた画像形成方法について、カラーフィルタの製造
方法を例として、積層体形成工程、剥離工程、および画
素形成・現像工程等の、各工程ごとに分けて説明する。
[Image Forming Method] With respect to the image forming method using the photosensitive transfer material of the present invention, each of a laminate forming step, a peeling step, a pixel forming / developing step, etc. will be described by taking a color filter manufacturing method as an example. The steps will be described separately.

【0050】<保護層剥離工程>感光性転写材料とし
て、前記感光性樹脂層のさらに上層に保護層が設けられ
ているものを使用する場合には、後述の積層体形成工程
に先立ち、積層体から保護層を剥離する保護層剥離工程
が含まれる。保護層剥離工程による保護層の剥離は、例
えば特開平9−174797号公報の図2〜図4に記載
の保護フィルム除去装置16の如き構成の剥離装置を用
い、前記感光性樹脂層の上層に設けられた保護層を剥離
ロールで巻き取るようにして行うことができる。
<Protective Layer Peeling Step> When a photosensitive transfer material having a protective layer provided on the photosensitive resin layer is used, the laminated body is formed before the laminated body forming step described later. And a protective layer peeling step of peeling the protective layer from. The peeling of the protective layer in the protective layer peeling step is performed on the upper layer of the photosensitive resin layer by using a peeling device having a constitution such as the protective film removing device 16 shown in FIGS. 2 to 4 of JP-A No. 9-174797. The protective layer provided can be wound by a peeling roll.

【0051】<積層体形成工程>保護層が設けられてい
る感光性転写材料を使用する場合は、前記の保護層剥離
工程により予め保護層を取除いた後、感光性樹脂層を加
熱下、必要により加圧を併用して、転写すべき基板の表
面に、該基板の表面と前記感光性樹脂層とが接するよう
に貼り合わせて密着させ、積層体を形成する。
<Laminate formation step> When a photosensitive transfer material provided with a protective layer is used, after the protective layer is removed in advance by the protective layer peeling step, the photosensitive resin layer is heated. If necessary, pressure is also used in combination, so that the surface of the substrate to be transferred and the photosensitive resin layer are bonded and brought into close contact with each other on the surface of the substrate to form a laminate.

【0052】貼り合わせに先立ち、基板表面と感光性樹
脂層の密着性を高めるため、ラミネート装置の直前工程
である基板加熱部で基板を加熱するが、基板の加熱はラ
ミネート時の基板温度は100℃〜110℃が好まし
い。また、ラミネートにあたっては、従来公知のラミネ
ート装置や、真空ラミネート装置を使用することができ
る。また、より生産性を高めるためにオートカットラミ
ネータ装置を使用することも可能である。
Prior to the bonding, the substrate is heated in the substrate heating unit which is the immediately preceding step of the laminating apparatus in order to enhance the adhesion between the substrate surface and the photosensitive resin layer. The substrate is heated at a substrate temperature of 100 during lamination. C to 110 C is preferred. For laminating, a conventionally known laminating device or a vacuum laminating device can be used. It is also possible to use an auto-cut laminator device to further increase productivity.

【0053】<剥離工程>剥離工程においては、前記積
層体形成工程により得られた積層体から仮支持体を剥離
する。剥離手段としては、仮支持体の背面(感光性樹脂
層が設けられた側と反対側の面)を吸盤等で捉えてめく
るようにしてもよいし、剥離ロールに巻きつけるように
してめくるようにしてもよい。
<Peeling Step> In the peeling step, the temporary support is peeled from the laminate obtained in the laminate forming step. As a peeling means, the back surface of the temporary support (the surface on the side opposite to the side on which the photosensitive resin layer is provided) may be caught by a suction cup or the like, or may be wound around a peeling roll. You may

【0054】このとき、前記仮支持体の剥離による帯電
を低く抑えることが好ましく、例えば、前記積層体をそ
の基板側が接するように絶縁台の上に載置したり、前記
感光性樹脂層と前記仮支持体とが剥がされる剥離部位
(ピール部)ないしその周辺部に除電器等によりイオン
風を当てる等しながら剥離することが好ましい。前記イ
オン風を当てる等しながら剥離する具体的態様について
は特願2000−369103号の記載を参照できる。
At this time, it is preferable to suppress the charge due to the peeling of the temporary support to a low level. For example, the laminated body is placed on an insulating base so that the substrate side thereof is in contact, or the photosensitive resin layer and the photosensitive resin layer and It is preferable that the temporary support is peeled off by peeling off the peeled part (peel part) or its peripheral part while applying ion wind with a static eliminator or the like. The description in Japanese Patent Application No. 2000-369103 can be referred to for the specific mode of peeling while applying the ionic wind.

【0055】<画素形成工程>前記剥離工程で仮支持体
が剥離された積層体は、前記感光性樹脂層を画素形成
(画素形成工程)、および現像(現像工程)される。そ
して、前記基板の表面にカラーフィルタが形成される。
画素形成工程において、基板表面の感光性樹脂層に所定
のフォトマスクを介して光を照射する。これにより、感
光性樹脂層の露光部分が硬化する。画素形成工程に使用
する光源は、感光性樹脂層の感光性に応じて選択される
が、例えば超高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク
灯、アルゴンレーザ等の公知の光源を使用することがで
きる。特開平6−59119号公報に記載のように、4
00nm以上の波長の光透過率が2%以下である光学フ
ィルター等を併用してもよい。
<Pixel Forming Step> The laminated body from which the temporary support has been peeled off in the peeling step is subjected to pixel formation (pixel forming step) and development (developing step) of the photosensitive resin layer. Then, a color filter is formed on the surface of the substrate.
In the pixel forming step, the photosensitive resin layer on the substrate surface is irradiated with light through a predetermined photomask. This cures the exposed portion of the photosensitive resin layer. The light source used in the pixel forming step is selected according to the photosensitivity of the photosensitive resin layer, and a known light source such as an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, an argon laser can be used. As described in JP-A-6-59119, 4
You may use together an optical filter etc. which the light transmittance of the wavelength of 00 nm or more is 2% or less.

【0056】なお、二色目以降の感光性樹脂材料の転写
時において、隣接する画素間の間隙に空気が残留するの
を防止する目的で、フォトマスクとして画素パターン部
分の矩形の開口部が面取りされたものを用いてもよい。
面取りの位置および形状については、特願平9−446
44号明細書に記載されている。
In order to prevent air from remaining in the gaps between adjacent pixels during transfer of the second and subsequent photosensitive resin materials, the rectangular openings of the pixel pattern portion are chamfered as a photomask. You may use the thing.
Regarding the position and shape of the chamfer, Japanese Patent Application No. 9-446
No. 44.

【0057】<現像工程>現像工程において、透明基板
上の感光性樹脂層を現像処理する。これにより、感光性
樹脂層の非露光部分(未硬化部分)が除去されて、多数
の微小の着色画素からなる層を形成することができる。
感光性樹脂層の現像液としてはアルカリ性物質の希薄水
溶液を使用するが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添
加したものを用いてもよい。適当なアルカリ性物質とし
ては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリ
ウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例え
ば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重
炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリ
ウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナト
リウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩
類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウ
ム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モ
ノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアン
モニウムヒドロキシド類(例えばテトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド)および燐酸三ナトリウムを挙げるこ
とができる。アルカリ性物質の濃度は0.01〜30質
量%であり、pHは8〜14が好ましい。
<Developing Step> In the developing step, the photosensitive resin layer on the transparent substrate is developed. As a result, the non-exposed portion (uncured portion) of the photosensitive resin layer is removed, and a layer composed of a large number of minute colored pixels can be formed.
Although a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used as a developing solution for the photosensitive resin layer, a solution containing a small amount of an organic solvent miscible with water may be used. Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg sodium hydrogen carbonate). , Potassium hydrogen carbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, Mention may be made of morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (eg tetramethylammonium hydroxide) and trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

【0058】遮光性の感光性黒色樹脂層以外の通常の感
光性樹脂層の場合には、例えばpHの比較的低い現像液
を用いることにより、膜状脱離による現像を好適に行う
ことができる。
In the case of an ordinary photosensitive resin layer other than the light-shielding photosensitive black resin layer, for example, by using a developing solution having a relatively low pH, the development by the film-like detachment can be suitably performed. .

【0059】水と混和性のある適当な有機溶剤として
は、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−
プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコ
ールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−n
−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メ
チルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラク
トン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジ
メチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳
酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタムおよびN−
メチルピロリドンを挙げることができる。水と混和性の
有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が一般的である。
現像液には、さらに公知の界面活性剤を添加することが
できる。界面活性剤の濃度は0.01〜10質量%が好
ましい。
Suitable organic solvents miscible with water include methanol, ethanol, 2-propanol, 1-
Propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono-n
-Butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam and N-
Mention may be made of methylpyrrolidone. The concentration of the water-miscible organic solvent is generally 0.1 to 30% by mass.
A known surfactant can be further added to the developer. The concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

【0060】現像処理として従来は、まず熱可塑性樹脂
層、中間層を現像除去し、その後感光性樹脂層を除去す
るという、2段階に現像することにより、現像ムラを生
ずることなく現像している。 感光性樹脂層の未硬化部
分を固形状(好ましくは膜状)で除去するには、現像液
中で回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方
法、あるいは現像液を噴霧した際の噴霧圧を利用する方
法が好ましい。現像液の温度は、通常室温付近から40
℃の範囲が好ましい。現像処理の後に水洗工程を加えて
もよい。しかしながら2段階の現像には現像液や現像設
備が2つ必要な場合があるという問題がある。
Conventionally, as a developing treatment, the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are first developed and removed, and then the photosensitive resin layer is removed, so that the development is carried out in two stages, whereby the development is carried out without causing uneven development. . To remove the uncured portion of the photosensitive resin layer in a solid form (preferably a film form), use a method such as rubbing with a rotating brush in a developing solution or rubbing with a wet sponge, or the spray pressure when spraying the developing solution. Is preferred. The temperature of the developer is usually around room temperature to 40
The range of ° C is preferred. A washing step may be added after the development processing. However, there is a problem that two-stage development may require two developers and two development facilities.

【0061】また、現像液は、浴液としても、あるいは
噴霧液としても用いることができるが、浴液として用い
る場合(ディップ法)は現像時間がかかる、搬送設
備が複雑になる、等の問題があり、噴霧液として用いる
(シャワー法)ことが好ましい。本発明は、熱可塑性樹
脂層の厚さを5μm以下とすることにより、1段階の現
像により、且つシャワー法によっても現像ムラを生ずる
ことなく現像を可能とする。本発明に好適に用いられる
シャワー法としてノズル方式、スリット方式等があり、
中でもノズル方式がノズル配置の自由度が高い等の点で
特に好ましい。
The developing solution can be used either as a bath solution or as a spray solution, but when it is used as a bath solution (dip method), it takes a long time for development, and the transportation equipment becomes complicated. Therefore, it is preferable to use it as a spray liquid (shower method). In the present invention, by making the thickness of the thermoplastic resin layer 5 μm or less, it is possible to perform development by one-step development and without uneven development even by the shower method. The shower method suitably used in the present invention includes a nozzle method, a slit method, and the like.
Among them, the nozzle method is particularly preferable in that the degree of freedom of nozzle arrangement is high.

【0062】さらに、現像工程の後、着色画素層の硬化
を充分にし、耐薬品性を高めるために加熱処理を行うの
が好ましい。加熱処理は、着色画素層を有する基板を電
気炉、乾燥器等の中で加熱するか、あるいは着色画素層
に赤外線ランプを照射して加熱することにより行う。加
熱の温度および時間は、感光性樹脂の組成や着色画素層
の厚みにも依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アル
カリ性を獲得するには約120℃〜250℃の温度およ
び約10〜300分間である。
Further, after the developing step, it is preferable to perform a heat treatment in order to sufficiently cure the colored pixel layer and enhance the chemical resistance. The heat treatment is performed by heating the substrate having the colored pixel layer in an electric furnace, a dryer, or the like, or by irradiating the colored pixel layer with an infrared lamp to heat the substrate. The heating temperature and time depend on the composition of the photosensitive resin and the thickness of the colored pixel layer, but generally, to obtain sufficient solvent resistance and alkali resistance, a temperature of about 120 ° C. to 250 ° C. and about 10 ° C. 300 minutes.

【0063】このようにして一色の着色画素層(着色画
素パターン)を有するカラーフィルタが得られる。さら
に、他色の感光性樹脂材料を用いて上述の工程を必要な
色数だけ繰り返すことにより、多色のカラーフィルタを
得ることができる。
In this way, a color filter having a colored pixel layer (colored pixel pattern) of one color is obtained. Furthermore, a multicolor color filter can be obtained by repeating the above-described steps for a required number of colors using a photosensitive resin material of another color.

【0064】さらに、感光性黒色樹脂層を有する感光性
黒色樹脂材料(ブラックマトリックス形成用シート)を
用いて、上述と同様にしてこの感光性樹脂材料を加熱処
理した後、カラーフィルタの着色画素層表面に転写し、
次いでカラーフィルタを基板の下面(画素層を有しない
面)側より画素(背面画素)形成、現像し、加熱処理す
ることにより、画素間の隙間を埋めるように黒色樹脂層
を設けて、ブラックマトリックス(遮光性画像)を形成
してもよい。これにより、ブラックマトリックス付きカ
ラーフィルタが得られる。
Further, a photosensitive black resin material having a photosensitive black resin layer (sheet for forming a black matrix) was used to heat the photosensitive resin material in the same manner as described above, and then the colored pixel layer of the color filter was formed. Transfer to the surface,
Next, a color filter is formed from the lower surface (the surface having no pixel layer) side of the substrate (pixels on the rear side), developed, and heat-treated to provide a black resin layer so as to fill the gaps between the pixels, thereby forming a black matrix. (Light-shielding image) may be formed. As a result, a color filter with a black matrix is obtained.

【0065】背面画素は、一般に紫外線(UV)の照射
により行われるが、感光性黒色樹脂層の感光性に応じて
光の種類は適宜選択される。また、形成される黒色樹脂
層の厚みは0.5〜3μmが好ましい。遮光性画像部が
突起を形成しないで、得られるカラーフィルタが良好な
平坦性を示すためには、黒色樹脂層は、着色画素層と同
じ厚みか、もしくはそれ以下であることが望ましい。
The back pixel is generally irradiated with ultraviolet rays (UV), but the kind of light is appropriately selected according to the photosensitivity of the photosensitive black resin layer. The thickness of the black resin layer formed is preferably 0.5 to 3 μm. The black resin layer preferably has the same thickness as or less than that of the colored pixel layer in order that the obtained color filter exhibits good flatness without forming projections in the light-shielding image portion.

【0066】[0066]

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに具体的に
説明するが、本発明はこれらに限定されるものではな
い。なお、本実施例に示す「部」、「%」はいずれも、
「質量部」、「質量%」を示す。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, "part" and "%" shown in this embodiment are both
"Parts by mass" and "mass%" are shown.

【0067】(実施例1) <感光性転写材料の作製>下記の手順により層構成を有
する感光性転写材料を作製した。 (多層型のネガ型感光性熱硬化性転写材料の作製)厚さ
100μmのロール状のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムよりなる支持体上に、下記組成からなる熱可塑性
樹脂層用塗布液Hを塗布、乾燥させ、膜厚5μmの熱可
塑性樹脂層を形成した。
Example 1 <Preparation of Photosensitive Transfer Material> A photosensitive transfer material having a layer structure was prepared by the following procedure. (Preparation of Multi-Layered Negative-Type Photosensitive Thermosetting Transfer Material) A thermoplastic resin layer coating solution H having the following composition was applied on a support made of a roll-shaped polyethylene terephthalate film having a thickness of 100 μm and dried. A thermoplastic resin layer having a film thickness of 5 μm was formed.

【0068】 [熱可塑性樹脂層用塗布液Hの組成] ・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 …15.0部 (共重合比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、 重量平均分子量=80000) ・BPE−500(多官能アクリレート) … 7.0部 (新中村化学(株)製) ・フッ素系界面活性剤 … 0.3部 (F177P、大日本インキ(株)製) ・メタノール …30.0部 ・メチルエチルケトン …19.0部 ・1−メトキシ−2−プロパノール …10.0部[0068]   [Composition of coating liquid H for thermoplastic resin layer]   ・ Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate /         Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer ... 15.0 parts            (Copolymerization ratio (molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8,           Weight average molecular weight = 80,000)   BPE-500 (polyfunctional acrylate) ... 7.0 parts         (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.)   ・ Fluorosurfactant ... 0.3 parts         (F177P, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)   ・ Methanol: 30.0 parts   ・ Methyl ethyl ketone ... 19.0 parts   1-methoxy-2-propanol ... 10.0 parts

【0069】(中間層の形成)次に、前記熱可塑製樹脂
層上に、下記組成から成る中間層形成用塗布液Aを塗布
した後、乾燥して、乾燥膜厚が1.6μmの中間層を形
成した。
(Formation of Intermediate Layer) Next, a coating solution A for forming an intermediate layer having the following composition is applied onto the thermoplastic resin layer and then dried to obtain an intermediate film having a dry film thickness of 1.6 μm. Layers were formed.

【0070】 [中間層用塗布液Aの組成] ・ポリビニルアルコール …130部 (クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) ・ポリビニルピロリドン …60部 (GAFコーポレーション社製PVP、K−90) ・蒸留水 …2110部 ・メタノール …1750部[0070] [Composition of coating liquid A for intermediate layer]   ・ Polyvinyl alcohol: 130 parts              (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification rate = 80%)   ・ Polyvinylpyrrolidone ... 60 parts           (PVP, K-90 manufactured by GAF Corporation)   ・ Distilled water: 2110 parts   ・ Methanol: 1750 parts

【0071】上記熱可塑性樹脂層、及び中間層を有する
仮支持体の上に、下記組成からなる、赤色の感光性溶液
Rを塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が2μmの着色感光性樹
脂層を形成した。
On the temporary support having the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, a red photosensitive solution R having the following composition was applied and dried to form a colored photosensitive resin layer having a dry film thickness of 2 μm. Formed.

【0072】 [赤色感光性溶液Rの組成] ・メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =73/27、重量平均分子量=40000) …60.0部 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …43.2部 ・光酸発生剤 …3.5部 [2,4−ビス(トリクロロ)−6,4−(4‐N,N− ジエトキシカルボメチル)−3−ブロモフェニル−s−トリアジン] ・イルガジン・レッドBPT …5.6部 ・フッ素系界面活性剤 … 0.17部 (F177P、大日本インキ(株)製) ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …560.0部 ・メチルエチルケトン …280.0部[0072] [Composition of red photosensitive solution R]   ・ Methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio)           = 73/27, weight average molecular weight = 40000) ... 60.0 parts   ・ Dipentaerythritol hexaacrylate ... 43.2 parts   ・ Photoacid generator: 3.5 parts       [2,4-bis (trichloro) -6,4- (4-N, N-     Diethoxycarbomethyl) -3-bromophenyl-s-triazine]   ・ Irgazin Red BPT ... 5.6 copies   ・ Fluorosurfactant ... 0.17 parts         (F177P, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)   ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 560.0 parts   ・ Methyl ethyl ketone 280.0 parts

【0073】(保護層の形成)上記感光性樹脂層の上に
ポリプロピレン(厚さ12μm)のフィルムを圧着して
保護層を形成し、実施例1の感光性転写材料を作製し
た。
(Formation of Protective Layer) A polypropylene (thickness: 12 μm) film was pressure-bonded on the above-mentioned photosensitive resin layer to form a protective layer, to prepare a photosensitive transfer material of Example 1.

【0074】(積層体形成)前記により得た感光性転写
材料を用いて、以下の方法でカラーフィルターを作製し
た。感光性転写材料の被覆シートを剥離し、感光性樹脂
層面を透明ガラス基板(厚さ1.1mm)にラミネータ
ー(大成ラミネーター(株)製VP−11)を用いて加圧
(0.8kg/cm2)、加熱(ローラー温度、130
℃)して貼り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層
との界面で剥離し、仮支持体を除去した。
(Formation of Laminate) Using the photosensitive transfer material obtained above, a color filter was prepared by the following method. The cover sheet of the photosensitive transfer material was peeled off, and the photosensitive resin layer surface was pressed onto a transparent glass substrate (thickness 1.1 mm) using a laminator (VP-11 manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) (0.8 kg / cm). 2 ), heating (roller temperature, 130
(° C.) to bond them, and then peeled at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer to remove the temporary support.

【0075】(画素・現像)次に所定のフォトマスクを
介して露光した。このサンプルをKOH現像液(富士フ
イルムアーチ(株)製、CD−K1をイオン交換水にて
100倍に希釈)を用いて、現像液シャワー部が揺動可
能な小型現像器にて、現像液シャワー部を揺動させなが
ら現像時間を変化させて現像処理をした。現像温度は3
0℃、現像ノズルはフラット型で圧力0.1MPaで現
像し、直後に水洗処理をした。
(Pixel / Development) Next, exposure was performed through a predetermined photomask. This sample was developed with a KOH developer (manufactured by Fuji Film Arch Co., Ltd., CD-K1 was diluted 100 times with ion-exchanged water) with a small developing device in which the shower part of the developing solution can be swung. The developing process was performed while changing the developing time while swinging the shower part. Development temperature is 3
Development was carried out at 0 ° C. with a developing nozzle of a flat type at a pressure of 0.1 MPa, and immediately after that, washing treatment was carried out.

【0076】[転写性の評価]転写性が悪いとラミウキや
ガラスと感光性樹脂層との間に気泡が発生するが、この
様子を顕微鏡観察により以下のとおり評価した。結果を
表1に示す。 ○:良好 △:可 ×:不良
[Evaluation of Transferability] When transferability is poor, bubbles are generated between Lamuki or glass and the photosensitive resin layer, and this state was evaluated by microscope observation as follows. The results are shown in Table 1. ○: Good △: Fair ×: Poor

【0077】[現像ムラの評価]処理後のサンプルの現
像ムラを目視にて以下の通り評価した。結果を表1に示
す。 ○:良好 △:可 ×:不良
[Evaluation of development unevenness] The development unevenness of the processed sample was visually evaluated as follows. The results are shown in Table 1. ○: Good △: Fair ×: Poor

【0078】[実施例2]実施例1における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから3μmに変えたことを除き、実施
例1と同様にして実施例2の感光性転写材料を作製し、
基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Example 2 A photosensitive transfer material of Example 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 1 was changed from 5 μm to 3 μm.
A color filter was produced on the surface of the substrate.

【0079】[実施例3]実施例1における熱可塑性樹
脂層を使用しなかったことを除き、実施例1と同様にし
て実施例3の感光性転写材料を作製し、基板の表面にカ
ラーフィルタを作製した。
Example 3 A photosensitive transfer material of Example 3 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thermoplastic resin layer in Example 1 was not used, and a color filter was formed on the surface of the substrate. Was produced.

【0080】[実施例4]実施例1における(感光性樹
脂層の形成)において、赤色の感光性溶液の代りに、熱
可塑性樹脂層及び中間層を有する仮支持体の上に、下記
組成からなる、黒色の感光性溶液Bを塗布、乾燥させ、
乾燥膜厚が1.5μmの着色感光性樹脂層を形成した以
外は、実施例1と同様にして実施例4の感光性転写材料
を作製し、基板の表面にカラーフィルタを作製した。
[Example 4] In (Formation of photosensitive resin layer) in Example 1, instead of the red photosensitive solution, the following composition was prepared on a temporary support having a thermoplastic resin layer and an intermediate layer. And applying a black photosensitive solution B and drying,
A photosensitive transfer material of Example 4 was prepared in the same manner as in Example 1 except that a colored photosensitive resin layer having a dry film thickness of 1.5 μm was formed, and a color filter was prepared on the surface of the substrate.

【0081】 [黒色感光性溶液Bの組成] ・メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =73/27、重量平均分子量=40000) …34.3部 ・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート …26.4部 ・光酸発生剤 …2.0部 [2,4−ビス(トリクロロ)−6,4−(4‐N,N− ジエトキシカルボメチル)−3−ブロモフェニル−s−トリアジン] ・カーボンブラック …36.0部 ・フッ素系界面活性剤 … 0.3部 (F177P、大日本インキ(株)製) ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート …540.0部 ・メチルエチルケトン …360部[0081] [Composition of Black Photosensitive Solution B]   ・ Methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio)           = 73/27, weight average molecular weight = 40,000) ... 34.3 parts   ・ Dipentaerythritol hexaacrylate ... 26.4 parts   ・ Photoacid generator: 2.0 parts       [2,4-bis (trichloro) -6,4- (4-N, N-     Diethoxycarbomethyl) -3-bromophenyl-s-triazine]   ・ Carbon black ... 36.0 parts   ・ Fluorosurfactant ... 0.3 parts         (F177P, manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.)     ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ... 540.0 parts     ・ Methyl ethyl ketone: 360 parts

【0082】[実施例5]実施例4における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから3μmに変えたことを除き、実施
例4と同様にして実施例5の感光性転写材料を作製し、
基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Example 5 A photosensitive transfer material of Example 5 was prepared in the same manner as in Example 4 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 4 was changed from 5 μm to 3 μm.
A color filter was produced on the surface of the substrate.

【0083】[実施例6]実施例4における熱可塑性樹
脂層を使用しなかったことを除き、実施例4と同様にし
て実施例6の感光性転写材料を作製し、基板の表面にカ
ラーフィルタを作製した。
Example 6 A photosensitive transfer material of Example 6 was prepared in the same manner as in Example 4 except that the thermoplastic resin layer in Example 4 was not used, and a color filter was formed on the surface of the substrate. Was produced.

【0084】[比較例1]実施例1における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから15μmに変えたことを除き、実
施例1と同様にして比較例1の感光性転写材料を作製
し、基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Comparative Example 1 A photosensitive transfer material of Comparative Example 1 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 1 was changed from 5 μm to 15 μm. A color filter was produced on the surface.

【0085】[比較例2]実施例1における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから6μmに変えたことを除き、実施
例1と同様にして比較例2の感光性転写材料を作製し、
基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Comparative Example 2 A photosensitive transfer material of Comparative Example 2 was prepared in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 1 was changed from 5 μm to 6 μm.
A color filter was produced on the surface of the substrate.

【0086】[比較例3]実施例4における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから15μmに変えたことを除き、実
施例4と同様にして比較例3の感光性転写材料を作製
し、基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Comparative Example 3 The photosensitive transfer material of Comparative Example 3 was prepared in the same manner as in Example 4 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 4 was changed from 5 μm to 15 μm. A color filter was produced on the surface.

【0087】[比較例4]実施例4における熱可塑性樹
脂層膜厚を5μmから6μmに変えたことを除き、実施
例4と同様にして比較例4の感光性転写材料を作製し、
基板の表面にカラーフィルタを作製した。
Comparative Example 4 A photosensitive transfer material of Comparative Example 4 was prepared in the same manner as in Example 4 except that the thickness of the thermoplastic resin layer in Example 4 was changed from 5 μm to 6 μm.
A color filter was produced on the surface of the substrate.

【0088】[0088]

【表1】 [Table 1]

【0089】表1に示すように、熱可塑性樹脂層の膜厚
が5μm以下では、現像ムラが発生しなかった。
As shown in Table 1, when the thickness of the thermoplastic resin layer was 5 μm or less, uneven development did not occur.

【0090】[0090]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、シャワ
ー法の1浴現像により現像する場合にも、現像ムラが生
じぜず、転写を良好におこないうる感光性転写材料及び
画像形成材料を提供することができる。
As described above, according to the present invention, a photosensitive transfer material and an image forming material capable of excellent transfer can be obtained without causing uneven development even when developing by one-bath development of a shower method. Can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03F 7/032 G03F 7/032 7/30 7/30 Fターム(参考) 2H025 AA04 AB11 AB13 AB15 AC01 AD01 BC32 BC42 CA14 CA28 CB10 CB13 CB14 CC11 DA40 FA03 FA17 2H048 BA43 BA45 BA48 BB02 2H096 AA26 AA28 AA30 BA05 BA20 CA05 EA02 GA08 LA16 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G03F 7/032 G03F 7/032 7/30 7/30 F term (reference) 2H025 AA04 AB11 AB13 AB15 AC01 AD01 BC32 BC42 CA14 CA28 CB10 CB13 CB14 CC11 DA40 FA03 FA17 2H048 BA43 BA45 BA48 BB02 2H096 AA26 AA28 AA30 BA05 BA20 CA05 EA02 GA08 LA16

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 仮支持体上に、少なくともアルカリ可溶
な熱可塑性樹脂層、中間層、感光性樹脂層をこの順に設
けてなり、且つ前記熱可塑性樹脂層と前記仮支持体との
接着力が最も小さい感光性転写材料において、基体上に
最初に転写される前記感光性転写材料の前記熱可塑性樹
脂層の厚さが5μm以下であることを特徴とする感光性
転写材料。
1. A temporary support, on which at least an alkali-soluble thermoplastic resin layer, an intermediate layer, and a photosensitive resin layer are provided in this order, and the adhesive force between the thermoplastic resin layer and the temporary support. In the smallest photosensitive transfer material, the thickness of the thermoplastic resin layer of the photosensitive transfer material that is first transferred onto the substrate is 5 μm or less.
【請求項2】 基体上に最初に転写される感光性転写材
料において、中間層、感光性樹脂層をこの順に設けてな
り、熱可塑性樹脂層を含まないことを特徴とする感光性
転写材料。
2. A photosensitive transfer material which is first transferred onto a substrate, wherein an intermediate layer and a photosensitive resin layer are provided in this order, and a thermoplastic resin layer is not included.
【請求項3】 前記請求項1又は請求項2に記載の感光
性転写材料を基体上に転写した後の露光、現像におい
て、1段階の現像工程により形成されることを特徴とす
る画像形成材料。
3. An image forming material, which is formed by a one-step developing process in exposure and development after transferring the photosensitive transfer material according to claim 1 or 2 onto a substrate. .
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