JP2003172712A - 板ガラスの端部の検査方法 - Google Patents
板ガラスの端部の検査方法Info
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- JP2003172712A JP2003172712A JP2001371597A JP2001371597A JP2003172712A JP 2003172712 A JP2003172712 A JP 2003172712A JP 2001371597 A JP2001371597 A JP 2001371597A JP 2001371597 A JP2001371597 A JP 2001371597A JP 2003172712 A JP2003172712 A JP 2003172712A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 板ガラス保持体に収容された板ガラスの端部
を安価且つ容易に検査することができる板ガラスの端部
の検査方法を提供する。 【解決手段】 一対の表面２及び端面３を有し、その周
囲の端部４において、シーリング材やガスケット等の弾
性支持体４を介してサッシ等の板ガラス保持体５に保持
され、収容されている板ガラス１において、屈折率が板
ガラス１よりも大きいプリズム８を板ガラス保持体５に
収容されていない位置の表面２に浸液１１を介して載置
し、光照射手段１０によりプリズム８を介して板ガラス
１の端面３に到達するようにプリズム８に光７を照射す
る。
を安価且つ容易に検査することができる板ガラスの端部
の検査方法を提供する。 【解決手段】 一対の表面２及び端面３を有し、その周
囲の端部４において、シーリング材やガスケット等の弾
性支持体４を介してサッシ等の板ガラス保持体５に保持
され、収容されている板ガラス１において、屈折率が板
ガラス１よりも大きいプリズム８を板ガラス保持体５に
収容されていない位置の表面２に浸液１１を介して載置
し、光照射手段１０によりプリズム８を介して板ガラス
１の端面３に到達するようにプリズム８に光７を照射す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板ガラスの端部の
検査方法に関する。
検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、板ガラスが窓ガラスとして使用さ
れるときはその周囲がサッシ等により保持されている。
れるときはその周囲がサッシ等により保持されている。
【０００３】例えば、図４に示すように、厚さＡの板ガ
ラス１は、一対の表面２及び端面３を有し、その周囲の
端部４においてサッシ等の板ガラス保持体５に保持され
ている。板ガラス保持体５は断面コの字形をなし、板ガ
ラス１の端部４は、板ガラス保持体５の一対の開放端５
ａにおいて、シーリング材やガスケット等の弾性支持体
６を介して保持されている。また、板ガラス１は、端面
３から深さＢ、例えば、１０〜３０ｍｍまで、板ガラス
保持体５の中に収容されている。この場合、上記のよう
に板ガラス保持体５に収容された板ガラス１の端部４
は、板ガラス１の亀裂の要因となるクラック等が発生し
やすいため、板ガラス１の端部４の状態を検査する必要
がある。
ラス１は、一対の表面２及び端面３を有し、その周囲の
端部４においてサッシ等の板ガラス保持体５に保持され
ている。板ガラス保持体５は断面コの字形をなし、板ガ
ラス１の端部４は、板ガラス保持体５の一対の開放端５
ａにおいて、シーリング材やガスケット等の弾性支持体
６を介して保持されている。また、板ガラス１は、端面
３から深さＢ、例えば、１０〜３０ｍｍまで、板ガラス
保持体５の中に収容されている。この場合、上記のよう
に板ガラス保持体５に収容された板ガラス１の端部４
は、板ガラス１の亀裂の要因となるクラック等が発生し
やすいため、板ガラス１の端部４の状態を検査する必要
がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、板ガラ
ス１の端部４には、板ガラス保持体５及び弾性支持体６
に遮蔽されて光が届かず、板ガラス１の端部４の状態の
検査が困難である。例えば、図５に示すように、入射光
７の板ガラス１の表面２への入射角θCを最大の９０°
としたときでも、入射光７の屈折角θDは４１°を超え
ず、板ガラス１の厚さＡが板ガラス１の収容深さＢより
もほぼ小さい場合は、板ガラス１の端面３まで入射光７
が到達しないため、図４の領域Ｅにある視点位置から
は、板ガラス保持体５に収容されている板ガラス１の端
部４の状態、例えば端面３のクラックの有無等を検査す
ることはできなかった。
ス１の端部４には、板ガラス保持体５及び弾性支持体６
に遮蔽されて光が届かず、板ガラス１の端部４の状態の
検査が困難である。例えば、図５に示すように、入射光
７の板ガラス１の表面２への入射角θCを最大の９０°
としたときでも、入射光７の屈折角θDは４１°を超え
ず、板ガラス１の厚さＡが板ガラス１の収容深さＢより
もほぼ小さい場合は、板ガラス１の端面３まで入射光７
が到達しないため、図４の領域Ｅにある視点位置から
は、板ガラス保持体５に収容されている板ガラス１の端
部４の状態、例えば端面３のクラックの有無等を検査す
ることはできなかった。
【０００５】板ガラス１の端部４の検査方法としては、
確かに、超音波探傷法を用いることも可能だが、板ガラ
ス１の端部４の状態を画像としてとらえて検査する場合
には、コンピュータ断層撮影（ＣＴ）機能が必要とな
り、コスト高となる一方、コスト安とするために画像で
なく波形によって検査する場合であっても、判断基準と
して多くの技術資料の蓄積が必要になったり、検査に高
い精度が要求される等の問題点がある。
確かに、超音波探傷法を用いることも可能だが、板ガラ
ス１の端部４の状態を画像としてとらえて検査する場合
には、コンピュータ断層撮影（ＣＴ）機能が必要とな
り、コスト高となる一方、コスト安とするために画像で
なく波形によって検査する場合であっても、判断基準と
して多くの技術資料の蓄積が必要になったり、検査に高
い精度が要求される等の問題点がある。
【０００６】本発明の目的は、板ガラス保持体に収容さ
れた板ガラスの端部を安価且つ容易に検査することがで
きる板ガラスの端部の検査方法を提供することにある。
れた板ガラスの端部を安価且つ容易に検査することがで
きる板ガラスの端部の検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１記載の板ガラスの端部の検査方法は、端
部が板ガラス保持体に収容され且つ保持された板ガラス
の端部の検査方法において、屈折率が前記板ガラスより
大きい屈折体を前記板ガラス保持体に収容されていない
位置において前記板ガラスの表面に載置し、前記屈折体
を介して前記板ガラスの端部に到達するように前記屈折
体に光を照射することを特徴とする。
めに、請求項１記載の板ガラスの端部の検査方法は、端
部が板ガラス保持体に収容され且つ保持された板ガラス
の端部の検査方法において、屈折率が前記板ガラスより
大きい屈折体を前記板ガラス保持体に収容されていない
位置において前記板ガラスの表面に載置し、前記屈折体
を介して前記板ガラスの端部に到達するように前記屈折
体に光を照射することを特徴とする。
【０００８】請求項１記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、屈折率が板ガラスより大きい屈折体を板ガラ
ス保持体に収容されていない位置において板ガラスの表
面に載置し、屈折体を介して板ガラスの端部に到達する
ように屈折体に光を照射するので、板ガラス保持体に収
容された板ガラスの端部を安価且つ容易に検査すること
ができる。
によれば、屈折率が板ガラスより大きい屈折体を板ガラ
ス保持体に収容されていない位置において板ガラスの表
面に載置し、屈折体を介して板ガラスの端部に到達する
ように屈折体に光を照射するので、板ガラス保持体に収
容された板ガラスの端部を安価且つ容易に検査すること
ができる。
【０００９】請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法
は、請求項１記載の板ガラスの端部の検査方法におい
て、前記板ガラスの表面と前記屈折体の間に浸液を介在
させることを特徴とする。
は、請求項１記載の板ガラスの端部の検査方法におい
て、前記板ガラスの表面と前記屈折体の間に浸液を介在
させることを特徴とする。
【００１０】請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、板ガラスの表面と屈折体との間に浸液が介在
するので、板ガラスの表面と屈折体との間の光を確実に
板ガラス又は屈折体に伝達させることができる。
によれば、板ガラスの表面と屈折体との間に浸液が介在
するので、板ガラスの表面と屈折体との間の光を確実に
板ガラス又は屈折体に伝達させることができる。
【００１１】請求項３記載の板ガラスの端部の検査方法
は、請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法におい
て、前記浸液の屈折率は、前記板ガラスの屈折率よりも
小さいと共に前記屈折体の屈折率よりも大きいことを特
徴とする。
は、請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法におい
て、前記浸液の屈折率は、前記板ガラスの屈折率よりも
小さいと共に前記屈折体の屈折率よりも大きいことを特
徴とする。
【００１２】請求項３記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、浸液の屈折率は、板ガラスの屈折率よりも小
さいと共に屈折体の屈折率よりも大きいので、板ガラス
保持体に収容された板ガラスの端部をさらに容易に検査
することができる。
によれば、浸液の屈折率は、板ガラスの屈折率よりも小
さいと共に屈折体の屈折率よりも大きいので、板ガラス
保持体に収容された板ガラスの端部をさらに容易に検査
することができる。
【００１３】請求項４記載の板ガラスの端部の検査方法
は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の板ガラスの
端部の検査方法において、前記屈折体はプリズムである
ことを特徴とする。
は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の板ガラスの
端部の検査方法において、前記屈折体はプリズムである
ことを特徴とする。
【００１４】請求項４記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、屈折体がプリズムであるので、板ガラス保持
体に収容された板ガラスの端部を確実に視認することが
できる。
によれば、屈折体がプリズムであるので、板ガラス保持
体に収容された板ガラスの端部を確実に視認することが
できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
板ガラスの端部の検査方法を詳述する。
板ガラスの端部の検査方法を詳述する。
【００１６】図１は、本発明に実施の形態に係る板ガラ
スの端部の検査方法を説明する斜視図である。
スの端部の検査方法を説明する斜視図である。
【００１７】図１において、板ガラス１は、一対の表面
２及び端面３を有し、その周囲の端部４においてサッシ
等の板ガラス保持体５に保持される。板ガラス保持体５
は断面コの字形をなし、板ガラス１の端部４は、板ガラ
ス保持体５の一対の開放端５ａにおいて、シーリング材
やガスケット等の弾性支持体６を介して保持されてい
る。また、板ガラス１は、端面３から深さＢ、例えば、
１０〜３０ｍｍまで、板ガラス保持体５の中に収容され
ている。この場合、上記のように板ガラス保持体５に収
容された板ガラス１の端部４は、板ガラス１の亀裂の要
因となるクラック等が発生しやすいため、板ガラス１の
端部４の状態を検査する必要がある。
２及び端面３を有し、その周囲の端部４においてサッシ
等の板ガラス保持体５に保持される。板ガラス保持体５
は断面コの字形をなし、板ガラス１の端部４は、板ガラ
ス保持体５の一対の開放端５ａにおいて、シーリング材
やガスケット等の弾性支持体６を介して保持されてい
る。また、板ガラス１は、端面３から深さＢ、例えば、
１０〜３０ｍｍまで、板ガラス保持体５の中に収容され
ている。この場合、上記のように板ガラス保持体５に収
容された板ガラス１の端部４は、板ガラス１の亀裂の要
因となるクラック等が発生しやすいため、板ガラス１の
端部４の状態を検査する必要がある。
【００１８】本実施の形態に係るガラスの端部の検査方
法は、以下のように実行される。
法は、以下のように実行される。
【００１９】まず、屈折率が板ガラス１よりも大きい屈
折体としてのプリズム８を板ガラス保持体５に収容され
ていない位置において板ガラス１の表面２に載置する。
この際、板ガラス１の表面２とプリズム８の底面との間
には、板ガラス１とプリズム８とを密着させるべく浸液
１１を介在させる。次いで、光照射手段１０によりプリ
ズム８を介して板ガラス１の端面３に到達するようにプ
リズム８に光７を照射する。板ガラス１の端面３にまで
到達した光７は、板ガラス１の表面２又は端面３で乱反
射して、その一部が図２で後述する反射経路を経て、領
域Ｅにある視点まで到達し、後述する図３の観察像を視
認することができる。
折体としてのプリズム８を板ガラス保持体５に収容され
ていない位置において板ガラス１の表面２に載置する。
この際、板ガラス１の表面２とプリズム８の底面との間
には、板ガラス１とプリズム８とを密着させるべく浸液
１１を介在させる。次いで、光照射手段１０によりプリ
ズム８を介して板ガラス１の端面３に到達するようにプ
リズム８に光７を照射する。板ガラス１の端面３にまで
到達した光７は、板ガラス１の表面２又は端面３で乱反
射して、その一部が図２で後述する反射経路を経て、領
域Ｅにある視点まで到達し、後述する図３の観察像を視
認することができる。
【００２０】これにより、板ガラス１の端部４における
表面２及び端面３上のクラック等を検査することができ
る。
表面２及び端面３上のクラック等を検査することができ
る。
【００２１】ここで、プリズム８の載置位置、光照射手
段１０の光７の照射方向は、プリズム８及び浸液１１の
屈折率によって定まる。
段１０の光７の照射方向は、プリズム８及び浸液１１の
屈折率によって定まる。
【００２２】浸液１１として屈折率が板ガラス１の屈折
率よりも大きく、しかもプリズム８の屈折率よりも小さ
い液体を用いることが検査の容易さにおいて望ましい
が、浸液１１の屈折率が板ガラス１よりも小さい屈折率
であったとしても、板ガラス１の表面２とプリズム８の
底面とを密着させるものであればよい。
率よりも大きく、しかもプリズム８の屈折率よりも小さ
い液体を用いることが検査の容易さにおいて望ましい
が、浸液１１の屈折率が板ガラス１よりも小さい屈折率
であったとしても、板ガラス１の表面２とプリズム８の
底面とを密着させるものであればよい。
【００２３】なお、本実施の形態におけるプリズム８の
屈折率及び浸液１１の屈折率は、板ガラス１の屈折率が
１．４８であるのに対して、夫々、１．７２、１．６４
である。
屈折率及び浸液１１の屈折率は、板ガラス１の屈折率が
１．４８であるのに対して、夫々、１．７２、１．６４
である。
【００２４】図２は、板ガラス１の端面３に到達するよ
うにプリズム８に光７を照射したときの光７の入射経路
及び反射経路を示す模式図であり、（ａ）は、板ガラス
１の内部で反射がない場合、（ｂ）は、板ガラス１の内
部で反射が１回行われた場合、（ｃ）は、図１の板ガラ
ス１の内部で反射が２回行われた場合を夫々示す。
うにプリズム８に光７を照射したときの光７の入射経路
及び反射経路を示す模式図であり、（ａ）は、板ガラス
１の内部で反射がない場合、（ｂ）は、板ガラス１の内
部で反射が１回行われた場合、（ｃ）は、図１の板ガラ
ス１の内部で反射が２回行われた場合を夫々示す。
【００２５】図２（ａ）では、入射光７は入射角θCで
入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面にお
いて屈折角θDで屈折し、直接端面３に到達する。
入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面にお
いて屈折角θDで屈折し、直接端面３に到達する。
【００２６】図２（ｂ）では、入射光７は入射角θCで
入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面にお
いて屈折角θDで屈折し、板ガラス１の表面２で１回反
射して端面３に到達する。
入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面にお
いて屈折角θDで屈折し、板ガラス１の表面２で１回反
射して端面３に到達する。
【００２７】図２（ｃ）において、入射光７は入射角θ
Cで入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面
において屈折し、板ガラス１の表面２で２回反射して端
面３に到達する。
Cで入射し、プリズム８と板ガラス１の表面２との界面
において屈折し、板ガラス１の表面２で２回反射して端
面３に到達する。
【００２８】図２は、板ガラス１の内部での反射が０〜
２回である場合の光７の入射経路及び反射経路しか示し
ていないが、その後の多重反射に関しては、この繰り返
しになるだけである。
２回である場合の光７の入射経路及び反射経路しか示し
ていないが、その後の多重反射に関しては、この繰り返
しになるだけである。
【００２９】図３は、図２における反射経路でのパター
ン１２の観察像の説明図であり、（ａ）は図２（ａ）に
対応し、（ｂ）は図２（ｂ）に対応し、（ｃ）は図２
（ｃ）に対応している。
ン１２の観察像の説明図であり、（ａ）は図２（ａ）に
対応し、（ｂ）は図２（ｂ）に対応し、（ｃ）は図２
（ｃ）に対応している。
【００３０】図３において、（ａ），（ｃ）で示される
ように、板ガラス１の内部での反射の回数が偶数回の場
合、鉛直上方向のパターン１２の像が観察される一方、
（ｂ）で示されるように、板ガラス１の内部での反射の
回数が偶数回の場合、鉛直下方向のパターン１２の像が
観察される。
ように、板ガラス１の内部での反射の回数が偶数回の場
合、鉛直上方向のパターン１２の像が観察される一方、
（ｂ）で示されるように、板ガラス１の内部での反射の
回数が偶数回の場合、鉛直下方向のパターン１２の像が
観察される。
【００３１】また、図３（ａ）から図３（ｃ）のよう
に、板ガラス１の内部の反射の回数が増えると共にパタ
ーン１２の像の明度が減少していることからも、上述し
た反射経路と観察像との対応が正しいことが裏付けられ
る。
に、板ガラス１の内部の反射の回数が増えると共にパタ
ーン１２の像の明度が減少していることからも、上述し
た反射経路と観察像との対応が正しいことが裏付けられ
る。
【００３２】上述したように、本実施の形態によれば、
プリズム８を板ガラス１の表面２上の適当な位置に載置
することにより、図５に示す入射角θCが最大の９０°
である場合の屈折角θD（４１°）よりも大きな屈折角
θDで入射光７を板ガラス１の内部に侵入させることが
でき、もって板ガラス１の端面３にまで照射手段１０か
らの入射光７を到達させることが可能となる。板ガラス
１の端面３にまで到達した入射光７は、板ガラス１の端
部４において表面２又は端面３で乱反射され、その反射
光７が領域Ｅにある視点まで到達するので、プリズム８
の一面上にパターン１２を図３に示す像として観察する
ことができる。
プリズム８を板ガラス１の表面２上の適当な位置に載置
することにより、図５に示す入射角θCが最大の９０°
である場合の屈折角θD（４１°）よりも大きな屈折角
θDで入射光７を板ガラス１の内部に侵入させることが
でき、もって板ガラス１の端面３にまで照射手段１０か
らの入射光７を到達させることが可能となる。板ガラス
１の端面３にまで到達した入射光７は、板ガラス１の端
部４において表面２又は端面３で乱反射され、その反射
光７が領域Ｅにある視点まで到達するので、プリズム８
の一面上にパターン１２を図３に示す像として観察する
ことができる。
【００３３】本実施の形態では、検査対象として板ガラ
ス１を用いているが、この板ガラス１は、真空ガラス
（例えば、スペーシア（登録商標））、熱線を反射する
膜が蒸着された機能ガラス（例えば、レフシャイン（登
録商標））、内部に樹脂製の膜が挟み込まれた防犯ガラ
ス（例えば、セキュオ（登録商標））及び熱処理によっ
て表面の圧縮応力が高められた強化ガラス（例えば、パ
イロクリア（登録商標））等のいずれかであってもよ
く、また、板ガラス１に限定されず、複層ガラス（例え
ば、ペアマルチ（登録商標））であってもよい。さら
に、検査対象は板ガラス１に限られるものでなく、アク
リル樹脂板等の光を透過する板状体であってもよい。
ス１を用いているが、この板ガラス１は、真空ガラス
（例えば、スペーシア（登録商標））、熱線を反射する
膜が蒸着された機能ガラス（例えば、レフシャイン（登
録商標））、内部に樹脂製の膜が挟み込まれた防犯ガラ
ス（例えば、セキュオ（登録商標））及び熱処理によっ
て表面の圧縮応力が高められた強化ガラス（例えば、パ
イロクリア（登録商標））等のいずれかであってもよ
く、また、板ガラス１に限定されず、複層ガラス（例え
ば、ペアマルチ（登録商標））であってもよい。さら
に、検査対象は板ガラス１に限られるものでなく、アク
リル樹脂板等の光を透過する板状体であってもよい。
【００３４】また、本実施の形態では、屈折体としてプ
リズム８を用いているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、板ガラス１の屈折率よりも大きい屈折率を
有する屈折体であればよい。
リズム８を用いているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、板ガラス１の屈折率よりも大きい屈折率を
有する屈折体であればよい。
【００３５】さらに、本実施の形態では、板ガラス１の
表面２とプリズム８の底面との間には、板ガラス１とプ
リズム８とを密着させるべく浸液１１を介在させている
が、板ガラス１の表面２及びプリズム８の底面が密着す
る程度にまで研磨することにより、浸液１１を用いない
で上記検査を行うこともできる。
表面２とプリズム８の底面との間には、板ガラス１とプ
リズム８とを密着させるべく浸液１１を介在させている
が、板ガラス１の表面２及びプリズム８の底面が密着す
る程度にまで研磨することにより、浸液１１を用いない
で上記検査を行うこともできる。
【００３６】
【発明の効果】請求項１記載の板ガラスの端部の検査方
法によれば、屈折率が板ガラスより大きい屈折体を板ガ
ラス保持体に収容されていない位置において板ガラスの
表面に載置し、屈折体を介して板ガラスの端部に到達す
るように屈折体に光を照射するので、板ガラス保持体に
収容された板ガラスの端部を安価且つ容易に検査するこ
とができる。
法によれば、屈折率が板ガラスより大きい屈折体を板ガ
ラス保持体に収容されていない位置において板ガラスの
表面に載置し、屈折体を介して板ガラスの端部に到達す
るように屈折体に光を照射するので、板ガラス保持体に
収容された板ガラスの端部を安価且つ容易に検査するこ
とができる。
【００３７】請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、板ガラスの表面と屈折体との間に浸液が介在
するので、板ガラスの表面と屈折体との間の光を確実に
板ガラス又は屈折体に伝達させることができる。
によれば、板ガラスの表面と屈折体との間に浸液が介在
するので、板ガラスの表面と屈折体との間の光を確実に
板ガラス又は屈折体に伝達させることができる。
【００３８】請求項３記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、浸液の屈折率は、板ガラスの屈折率よりも小
さいと共に屈折体の屈折率よりも大きいので、板ガラス
保持体に収容された板ガラスの端部をさらに容易に検査
することができる。
によれば、浸液の屈折率は、板ガラスの屈折率よりも小
さいと共に屈折体の屈折率よりも大きいので、板ガラス
保持体に収容された板ガラスの端部をさらに容易に検査
することができる。
【００３９】請求項４記載の板ガラスの端部の検査方法
によれば、屈折体がプリズムであるので、板ガラス保持
体に収容された板ガラスの端部を確実に視認することが
できる。
によれば、屈折体がプリズムであるので、板ガラス保持
体に収容された板ガラスの端部を確実に視認することが
できる。
【図１】本発明に実施の形態に係るガラスの端部の検査
方法を説明する斜視図である。
方法を説明する斜視図である。
【図２】板ガラス１の端面３に到達するようにプリズム
８に光７を照射したときの光７の入射経路及び反射経路
を示す模式図であり、（ａ）は、板ガラス１の内部で反
射がない場合、（ｂ）は、板ガラス１の内部で反射が１
回行われた場合、（ｃ）は、図１の板ガラス１の内部で
反射が２回行われた場合を夫々示す。
８に光７を照射したときの光７の入射経路及び反射経路
を示す模式図であり、（ａ）は、板ガラス１の内部で反
射がない場合、（ｂ）は、板ガラス１の内部で反射が１
回行われた場合、（ｃ）は、図１の板ガラス１の内部で
反射が２回行われた場合を夫々示す。
【図３】図２における反射経路でのパターン１２の観察
像の説明図であり、（ａ）は図２（ａ）に対応し、
（ｂ）は図２（ｂ）に対応し、（ｃ）は図２（ｃ）に対
応している。
像の説明図であり、（ａ）は図２（ａ）に対応し、
（ｂ）は図２（ｂ）に対応し、（ｃ）は図２（ｃ）に対
応している。
【図４】従来の板ガラスを示す断面図である。
【図５】図４における板ガラス１に入射角θCが９０°
の光７を照射したときの入射経路を示す模式図である。
の光７を照射したときの入射経路を示す模式図である。
１ 板ガラス
２ 表面
３ 端面
４ 端部
５ ガラス保持体
７ 光
８ プリズム
１０ 光照射手段
１１ 浸液
Claims (4)
- 【請求項１】 端部が板ガラス保持体に収容され且つ保
持されたガラスの端部の検査方法において、屈折率が前
記板ガラスより大きい屈折体を前記板ガラス保持体に収
容されていない位置において前記板ガラスの表面に載置
し、前記屈折体を介して前記板ガラスの端部に到達する
ように前記屈折体に光を照射することを特徴とする板ガ
ラスの端部の検査方法。 - 【請求項２】 前記板ガラスの表面と前記屈折体の間に
浸液を介在させることを特徴とする請求項１記載の板ガ
ラスの端部の検査方法。 - 【請求項３】 前記浸液は、屈折率が前記板ガラスより
も小さく且つ前記屈折体よりも大きいことを特徴とする
請求項２記載の板ガラスの端部の検査方法。 - 【請求項４】 前記屈折体はプリズムであることを特徴
とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の板ガラス
の端部の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001371597A JP2003172712A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 板ガラスの端部の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001371597A JP2003172712A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 板ガラスの端部の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003172712A true JP2003172712A (ja) | 2003-06-20 |
Family
ID=19180619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001371597A Pending JP2003172712A (ja) | 2001-12-05 | 2001-12-05 | 板ガラスの端部の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003172712A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014052367A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-03-20 | Hoya Corp | 光学部材 |
| JP2014059292A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-04-03 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び検査装置 |
-
2001
- 2001-12-05 JP JP2001371597A patent/JP2003172712A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014052367A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-03-20 | Hoya Corp | 光学部材 |
| JP2014059292A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-04-03 | Hoya Corp | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、半導体デバイスの製造方法、及び検査装置 |
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