JP2003170584A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法Info
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- JP2003170584A JP2003170584A JP2001369886A JP2001369886A JP2003170584A JP 2003170584 A JP2003170584 A JP 2003170584A JP 2001369886 A JP2001369886 A JP 2001369886A JP 2001369886 A JP2001369886 A JP 2001369886A JP 2003170584 A JP2003170584 A JP 2003170584A
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- ink
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂組成物によりノズルプレートを形成して
いるインクジェットヘッドにおいて、基板内の共通液室
に、１つ以上の分離壁を樹脂により形成する事で、１つ
のチップで色間分離が可能なヘッドを信頼性を高く、し
かも安価に作る。 【解決手段】 インク吐出エネルギーを発生する複数の
エネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複
数の吐出口及び該吐出ロヘの液流路からなる樹脂組成物
を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、基板に穴を
開け、前記穴を通って、前記液流路にインクを供給する
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記基板の穴を複
数の部屋に分割する壁を樹脂組成物により設けることに
より、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形成され
ていることを特徴とするインクジェットヘッド。
いるインクジェットヘッドにおいて、基板内の共通液室
に、１つ以上の分離壁を樹脂により形成する事で、１つ
のチップで色間分離が可能なヘッドを信頼性を高く、し
かも安価に作る。 【解決手段】 インク吐出エネルギーを発生する複数の
エネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複
数の吐出口及び該吐出ロヘの液流路からなる樹脂組成物
を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、基板に穴を
開け、前記穴を通って、前記液流路にインクを供給する
インクジェット記録ヘッドにおいて、前記基板の穴を複
数の部屋に分割する壁を樹脂組成物により設けることに
より、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形成され
ていることを特徴とするインクジェットヘッド。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の記録用イン
ク吐出エネルギー発生体を備えたノズル列を複数備えた
記録ヘッド、とりわけカラー用のインクジェットヘッド
およびその製造方法に関するものである。
ク吐出エネルギー発生体を備えたノズル列を複数備えた
記録ヘッド、とりわけカラー用のインクジェットヘッド
およびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、複数の記録用インク吐出エネ
ルギー発生体を備え、ノズルの液通路の先端の吐出口
（オリフィス）から記録液の液滴を吐出させて記録が行
われる記録ヘッドを有する記録装置が開発されている。
ルギー発生体を備え、ノズルの液通路の先端の吐出口
（オリフィス）から記録液の液滴を吐出させて記録が行
われる記録ヘッドを有する記録装置が開発されている。
【０００３】特に最近では、カラープリンターが主流と
なり、記録ヘッドとしては、数色のインクによる印字が
必要なため、異なるインクを吐出するノズル列をキャリ
ッジ走査方向に複数配列し、一体化した記録ヘッドが多
くなっている。
なり、記録ヘッドとしては、数色のインクによる印字が
必要なため、異なるインクを吐出するノズル列をキャリ
ッジ走査方向に複数配列し、一体化した記録ヘッドが多
くなっている。
【０００４】また、最近では、高画質画像を印刷するた
め、ノズル数を増やし、ノズル列も長く、高密度となっ
てきている。
め、ノズル数を増やし、ノズル列も長く、高密度となっ
てきている。
【０００５】しかし、カラー印字を行うために記録ヘッ
ドを複数並べて配置するためヘッドユニットも大きくな
り、１つのユニットに複数のヘッドが必要なためコスト
アップとなる。
ドを複数並べて配置するためヘッドユニットも大きくな
り、１つのユニットに複数のヘッドが必要なためコスト
アップとなる。
【０００６】そこで、１つのヘッドに複数の整列したノ
ズルを有するノズルブレート及び共通液室に対し、分離
壁を設けることによりノズル及び共通液室を１つ以上に
分離することができる。
ズルを有するノズルブレート及び共通液室に対し、分離
壁を設けることによりノズル及び共通液室を１つ以上に
分離することができる。
【０００７】これにより、１つのヘッドで数色のインク
の吐出、つまりはカラー印字が可能となり、さらにイン
クジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッドユニ
ットのコストダウンをねらうことが可能と思われる。
の吐出、つまりはカラー印字が可能となり、さらにイン
クジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッドユニ
ットのコストダウンをねらうことが可能と思われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上述のようなサイド型
のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記液流路及び
前記共通液室の間に、１つ以上の分離壁からなる前記液
流路及び前記共通液室分離壁を形成する場合、図１に示
すように１つのヘッドに複数の整列したノズルを有する
ノズルプレート及びその側壁が異方性を有する共通液室
に対し、確実に前記液流路及び前記共通液室の間を分離
する必要があるが、この際、分離壁の厚さにより色間が
広がり、そのためにヘッドの長くならないようなヘッド
の開発が求められている。また、これまでの横並びのカ
ラーインクジェットヘッドの場合、往復印字の際の色の
にじみ等の課題があった。
のインクジェット記録ヘッドにおいて、前記液流路及び
前記共通液室の間に、１つ以上の分離壁からなる前記液
流路及び前記共通液室分離壁を形成する場合、図１に示
すように１つのヘッドに複数の整列したノズルを有する
ノズルプレート及びその側壁が異方性を有する共通液室
に対し、確実に前記液流路及び前記共通液室の間を分離
する必要があるが、この際、分離壁の厚さにより色間が
広がり、そのためにヘッドの長くならないようなヘッド
の開発が求められている。また、これまでの横並びのカ
ラーインクジェットヘッドの場合、往復印字の際の色の
にじみ等の課題があった。
【０００９】本発明により１つのヘッドに複数の整列し
たノズルを有するノズルプレート及び共通液室に対し、
できるだけ壁厚は薄い分離壁を設けることによりノズル
及び共通液室を１つ以上に分離することができ、１つの
ヘッドで複数色のインクの吐出、つまりはカラーの印字
が可能でしかも往復印字の際の問題も無くなる。さらに
インクジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッド
ユニットのコストダウンをねらうことが可能であるイン
クジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的とする。
たノズルを有するノズルプレート及び共通液室に対し、
できるだけ壁厚は薄い分離壁を設けることによりノズル
及び共通液室を１つ以上に分離することができ、１つの
ヘッドで複数色のインクの吐出、つまりはカラーの印字
が可能でしかも往復印字の際の問題も無くなる。さらに
インクジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッド
ユニットのコストダウンをねらうことが可能であるイン
クジェットヘッドおよびその製造方法を提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１に記
載の発明においては、インク吐出エネルギーを発生する
複数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出
する複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂
組成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、基板
に穴を開け、前記穴を通って、前記液流路にインクを供
給するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記基盤の
穴を複数の部屋に分割する壁を樹脂組成物により設ける
ことにより、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形
成されていることを特徴とするものである。
載の発明においては、インク吐出エネルギーを発生する
複数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出
する複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂
組成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、基板
に穴を開け、前記穴を通って、前記液流路にインクを供
給するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記基盤の
穴を複数の部屋に分割する壁を樹脂組成物により設ける
ことにより、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形
成されていることを特徴とするものである。
【００１１】本発明は、請求項２に記載の発明において
は、前記インクジェットヘッドのノズルプレートはイン
ク吐出エネルギー発生体を備える被処理基板上にポジ型
フオトレジストからなる感光層を形成し、所要の露光、
現像処理を行って液流路及び液室部分となるレジストパ
ターンを形成した後、液流路となるレジストパターン上
に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物を被覆後硬化さ
せ、ポジ型フォトレジストを溶解除去することにより液
流路及び共通液室部分、さらに液室分離壁が形成される
構造を有することを特徴とするものである。
は、前記インクジェットヘッドのノズルプレートはイン
ク吐出エネルギー発生体を備える被処理基板上にポジ型
フオトレジストからなる感光層を形成し、所要の露光、
現像処理を行って液流路及び液室部分となるレジストパ
ターンを形成した後、液流路となるレジストパターン上
に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物を被覆後硬化さ
せ、ポジ型フォトレジストを溶解除去することにより液
流路及び共通液室部分、さらに液室分離壁が形成される
構造を有することを特徴とするものである。
【００１２】本発明は、請求項６に記載の発明において
は、前記共通液室には、１つ以上の分離壁からなる液室
分離壁が形成されているインクジェットヘッドの製造が
行えることを特徴とするものである。
は、前記共通液室には、１つ以上の分離壁からなる液室
分離壁が形成されているインクジェットヘッドの製造が
行えることを特徴とするものである。
【００１３】以上、本発明を整理して要約すれば以下の
構成に集約できる。
構成に集約できる。
【００１４】（１）インク吐出エネルギーを発生する複
数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出す
る複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組
成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基
板に設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物によ
り形成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、
前記基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とする
インクジェットヘッド。
数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出す
る複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組
成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基
板に設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物によ
り形成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、
前記基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とする
インクジェットヘッド。
【００１５】（２）前記インクジェットヘッドのノズル
プレートはインク吐出エネルギー発生体を備える被処理
基板上にポジ型フォトレジストからなる感光層を形成
し、所要の露光、現像処理を行って液流路及び液室部分
となるレジストパターンを形成した後、液流路となるレ
ジストパターン上に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物
を被覆後硬化させ、ポジ型フォトレジストを溶解除去す
ることにより液流路及び共通液室部分、さらに液室分離
壁が形成される構造を有するインクジェットヘッド。
プレートはインク吐出エネルギー発生体を備える被処理
基板上にポジ型フォトレジストからなる感光層を形成
し、所要の露光、現像処理を行って液流路及び液室部分
となるレジストパターンを形成した後、液流路となるレ
ジストパターン上に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物
を被覆後硬化させ、ポジ型フォトレジストを溶解除去す
ることにより液流路及び共通液室部分、さらに液室分離
壁が形成される構造を有するインクジェットヘッド。
【００１６】（３）前記共通液室は、その側壁が異方性
を有することを特徴とする、前記（１）記載のインクジ
ェットヘッド。
を有することを特徴とする、前記（１）記載のインクジ
ェットヘッド。
【００１７】（４）前記液流路に設けられた吐出口が、
多色用の吐出口を一体成形して成るものであることを特
徴とする、前記（１）ないし（３）のいずれかに記載の
インクジェットヘッド。
多色用の吐出口を一体成形して成るものであることを特
徴とする、前記（１）ないし（３）のいずれかに記載の
インクジェットヘッド。
【００１８】（５）前記各共通液室にはそれぞれ異なる
色のインクが供給される前記（１）ないし（３）のいず
れかに記載のインクジェットヘッド。
色のインクが供給される前記（１）ないし（３）のいず
れかに記載のインクジェットヘッド。
【００１９】（６）インク吐出エネルギーを発生する複
数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出す
る複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組
成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基
板に設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物によ
り形成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、
前記基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。
数のエネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出す
る複数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組
成物を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基
板に設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給す
るインクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物によ
り形成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、
前記基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とする
インクジェットヘッドの製造方法。
【００２０】（７）前記液流路に設けられた吐出口が、
多色用の吐出口を一体成形して成るものであることを特
徴とする、前記（６）記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
多色用の吐出口を一体成形して成るものであることを特
徴とする、前記（６）記載のインクジェットヘッドの製
造方法。
【００２１】（８）前記各共通液室にはそれぞれ異なる
色のインクが供給される前記（６）記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。
色のインクが供給される前記（６）記載のインクジェッ
トヘッドの製造方法。
【００２２】
【作用】上記手段によって、インクジェット記録ヘッド
において、インク吐出エネルギーを発生する複数のエネ
ルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複数の
吐出口及び該吐出口への液流路からなるノズルプレート
と、連続して設けられたノズルプレートに共通にインク
を供給する共通液室を有し、前記液流路及び前記共通液
室の間には、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形
成することができ、その製造方法を確立することができ
る。
において、インク吐出エネルギーを発生する複数のエネ
ルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複数の
吐出口及び該吐出口への液流路からなるノズルプレート
と、連続して設けられたノズルプレートに共通にインク
を供給する共通液室を有し、前記液流路及び前記共通液
室の間には、１つ以上の分離壁からなる液室分離壁が形
成することができ、その製造方法を確立することができ
る。
【００２３】このことにより１つのインクジェットヘッ
ドにて縦並びで複数色のインクの印字が可能とする。
ドにて縦並びで複数色のインクの印字が可能とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施例を説明する。
実施例を説明する。
【００２５】（実施例１）図１は本発明の実施例におけ
るインクジェット記録ヘッドに用いるヒーターボードと
ノズルが付いたプレートの斜視図である。ここで、ノズ
ルプレート２上面には、吐出口３があり、ノズルプレー
ト２内部には、吐出口３にインクを供給する液流路を備
えている。
るインクジェット記録ヘッドに用いるヒーターボードと
ノズルが付いたプレートの斜視図である。ここで、ノズ
ルプレート２上面には、吐出口３があり、ノズルプレー
ト２内部には、吐出口３にインクを供給する液流路を備
えている。
【００２６】また、図示していないが被処理基板１には
異方性エッチングにより形成した共通液室を備えてい
る。
異方性エッチングにより形成した共通液室を備えてい
る。
【００２７】まず、図２を参照して本発明であるインク
ジェットヘッドの製造方法の実施例を説明する。
ジェットヘッドの製造方法の実施例を説明する。
【００２８】インク吐出エネルギー発生体１５を備える
被処理基板１があり、この基盤上にポジ型フォトレジス
トからなる感光層５を形成し（図２−ａ）、マスク６を
介し所要の露光（図２−ｂ）、さらに現像処理を行って
液流路及び液室部分となるレジストパターン７を形成し
た（図２−ｃ）。
被処理基板１があり、この基盤上にポジ型フォトレジス
トからなる感光層５を形成し（図２−ａ）、マスク６を
介し所要の露光（図２−ｂ）、さらに現像処理を行って
液流路及び液室部分となるレジストパターン７を形成し
た（図２−ｃ）。
【００２９】液流路となるレジストパターン７上に低温
硬化可能な液体状の樹脂組成物２を被覆させる（図２−
ｄ）。
硬化可能な液体状の樹脂組成物２を被覆させる（図２−
ｄ）。
【００３０】そして、ノズルプレート２にマスク６′を
し、パターニングして吐出口を設けた（図２−ｅ）。
し、パターニングして吐出口を設けた（図２−ｅ）。
【００３１】次に、保護膜８を樹脂組成物２上面及び共
通液室９下面に塗布した後、被処理基盤１に共通液室９
を設けるために基盤をエッチングし、その側壁が異方性
を有する共通液室を形成した（図２−ｆ）。
通液室９下面に塗布した後、被処理基盤１に共通液室９
を設けるために基盤をエッチングし、その側壁が異方性
を有する共通液室を形成した（図２−ｆ）。
【００３２】ここで、連続して設けられているノズル列
のうちノズル列を３等分するように、２箇所にはレジス
トパターンを形成しない部分４を設ける（図１）。
のうちノズル列を３等分するように、２箇所にはレジス
トパターンを形成しない部分４を設ける（図１）。
【００３３】最後にポジ型のフォトレジスト７を溶解除
去することにより液流路１０及び共通液室９、さらに液
室分離壁が形成される構造を有する（図２−ｇ）。
去することにより液流路１０及び共通液室９、さらに液
室分離壁が形成される構造を有する（図２−ｇ）。
【００３４】図３は図１のＢ−Ｂ′断面図であり、本実
施例における被処理基板部分１に設ける共通液室部分９
の製造方法の説明図である。
施例における被処理基板部分１に設ける共通液室部分９
の製造方法の説明図である。
【００３５】異方性エッチングにより形成された、前記
穴９中にレジスト５を塗布した（図３−ｂ）。
穴９中にレジスト５を塗布した（図３−ｂ）。
【００３６】ここで、前記レジスト５のうち、少なくと
もノズルプレート２におけるノズルを設けない部分４と
重なるようにパターニングし、ドライエッチング法にて
ノズルプレート２部分に設けた吐出口不形成部分４と重
なる部分のレジスト（分離壁用穴１１）を除去する。こ
の際、レジストは異方性を有し、ノズルブレート２側は
ノズルプレート２部分に設けた分離壁１２よりも小さく
なることはないようにする（図３−ｃ）。
もノズルプレート２におけるノズルを設けない部分４と
重なるようにパターニングし、ドライエッチング法にて
ノズルプレート２部分に設けた吐出口不形成部分４と重
なる部分のレジスト（分離壁用穴１１）を除去する。こ
の際、レジストは異方性を有し、ノズルブレート２側は
ノズルプレート２部分に設けた分離壁１２よりも小さく
なることはないようにする（図３−ｃ）。
【００３７】このようにしてできた溝部分に低温硬化可
能な液体状の樹脂組成物（分離壁１２）を被覆後硬化さ
せた（図３−ｄ）。この時、樹脂組成物（分離壁１２）
を確実に硬化させるために、この被覆、硬化の工程を数
回繰り返して徐々に積層させ、充分な量になったところ
で最後に残っているレジスト５をすべて除去する（図３
−ｅ）。
能な液体状の樹脂組成物（分離壁１２）を被覆後硬化さ
せた（図３−ｄ）。この時、樹脂組成物（分離壁１２）
を確実に硬化させるために、この被覆、硬化の工程を数
回繰り返して徐々に積層させ、充分な量になったところ
で最後に残っているレジスト５をすべて除去する（図３
−ｅ）。
【００３８】上記工程により共通液室９に液室分離壁１
２を形成することにより１つ以上に分離される。
２を形成することにより１つ以上に分離される。
【００３９】本実施例によれば、ノズルプレート２およ
びノズルプレート液流路部分１０に設けた分離壁が同じ
低温硬化可能な液体状の樹脂組成物であることから熱膨
張率の違いによる応力による歪みなどの影響が受けにく
く確実にノズルプレート液流路部分１０を分離すること
が可能となる。また、被処理基板１に設ける共通液室部
分９の分離壁とノズルプレート液流路部分１０に設けた
分離壁についても同じ低温硬化可能な液体状の樹脂組成
物であることから同様に歪みなどの影響が受けにくく確
実に液流路１０及び共通液室９の間に共通な１つ以上の
分離壁１２を設けることができ、この分離壁１２に異方
性をもたせることにより、樹脂組成物硬化の確実性を高
めることができる。
びノズルプレート液流路部分１０に設けた分離壁が同じ
低温硬化可能な液体状の樹脂組成物であることから熱膨
張率の違いによる応力による歪みなどの影響が受けにく
く確実にノズルプレート液流路部分１０を分離すること
が可能となる。また、被処理基板１に設ける共通液室部
分９の分離壁とノズルプレート液流路部分１０に設けた
分離壁についても同じ低温硬化可能な液体状の樹脂組成
物であることから同様に歪みなどの影響が受けにくく確
実に液流路１０及び共通液室９の間に共通な１つ以上の
分離壁１２を設けることができ、この分離壁１２に異方
性をもたせることにより、樹脂組成物硬化の確実性を高
めることができる。
【００４０】（実施例２）図１は本発明の実施例におけ
るインクジェット記録ヘッドに用いるヒーターボードと
ノズルが付いたプレートの斜視図である。ここで、ノズ
ルブレート２上面には、吐出口３があり、ノズルプレー
ト２内部には、吐出口３にインクを供給する液流路を備
えている。
るインクジェット記録ヘッドに用いるヒーターボードと
ノズルが付いたプレートの斜視図である。ここで、ノズ
ルブレート２上面には、吐出口３があり、ノズルプレー
ト２内部には、吐出口３にインクを供給する液流路を備
えている。
【００４１】また、図示していないが被処理基板１には
異方性エッチングにより形成した共通液室を備えてい
る。
異方性エッチングにより形成した共通液室を備えてい
る。
【００４２】まず、図２を参照して本発明であるインク
ジェットヘッドの製造方法の実施例を説明する。
ジェットヘッドの製造方法の実施例を説明する。
【００４３】インク吐出エネルギー発生体１５を備える
被処理基板１があり、この基盤上にポジ型フォトレジス
トからなる感光層５を形成し（図２−ａ）、マスク６を
介し所要の露光（図２−ｂ）、さらに現像処理を行って
液流路及び液室部分となるレジストパターン７を形成し
た（図２−ｃ）。
被処理基板１があり、この基盤上にポジ型フォトレジス
トからなる感光層５を形成し（図２−ａ）、マスク６を
介し所要の露光（図２−ｂ）、さらに現像処理を行って
液流路及び液室部分となるレジストパターン７を形成し
た（図２−ｃ）。
【００４４】液流路となるレジストパターン７上に低温
硬化可能な液体状の樹脂組成物２を被覆させる（図２−
ｄ）。
硬化可能な液体状の樹脂組成物２を被覆させる（図２−
ｄ）。
【００４５】そして、ノズルプレート２にマスク６′を
し、パターニングして吐出口を設けた（図２−ｅ）。
し、パターニングして吐出口を設けた（図２−ｅ）。
【００４６】次に、保護膜８を樹脂組成物２上面及び共
通液室９下面に塗布した後、被処理基盤１に共通液室９
を設けるために基盤をエッチングし、その側壁が異方性
を有する共通液室を形成した。（図２−ｆ） ここで、連続して設けられているノズル列のうちノズル
列を３等分するように、２箇所にはレジストパターンを
形成しない部分４を設ける（図１）。
通液室９下面に塗布した後、被処理基盤１に共通液室９
を設けるために基盤をエッチングし、その側壁が異方性
を有する共通液室を形成した。（図２−ｆ） ここで、連続して設けられているノズル列のうちノズル
列を３等分するように、２箇所にはレジストパターンを
形成しない部分４を設ける（図１）。
【００４７】最後にポジ型のフォトレジスト７を溶解除
去することにより液流路１０及び共通液室９、さらに液
室分離壁が形成される構造を有する（図２−ｇ）。
去することにより液流路１０及び共通液室９、さらに液
室分離壁が形成される構造を有する（図２−ｇ）。
【００４８】図４は図１のＢ−Ｂ′断面図であり、本実
施例における被処理基板部分１に設ける共通液室部分９
の製造方法の説明図である。
施例における被処理基板部分１に設ける共通液室部分９
の製造方法の説明図である。
【００４９】異方性エッチングにより形成された前記穴
９部分に被処理基板１内の共通液室９深さよりもやや短
くなるようにレジスト５を塗布した（図４−ｂ）。
９部分に被処理基板１内の共通液室９深さよりもやや短
くなるようにレジスト５を塗布した（図４−ｂ）。
【００５０】ここで、前記レジスト５のうち、少なくと
もノズルプレート２におけるノズルを設けない部分４と
重なるようにパターニングし、ドライエッチング法にて
ノズルプレート２部分に設けた吐出口不形成部分４と重
なる部分のレジスト（分離壁用穴１１）を除去する。こ
の際、レジストは異方性を有し、ノズルプレート２側は
ノズルプレート２部分に設けた分離壁１２よりも小さく
なることはないようにする（図４−ｃ）。
もノズルプレート２におけるノズルを設けない部分４と
重なるようにパターニングし、ドライエッチング法にて
ノズルプレート２部分に設けた吐出口不形成部分４と重
なる部分のレジスト（分離壁用穴１１）を除去する。こ
の際、レジストは異方性を有し、ノズルプレート２側は
ノズルプレート２部分に設けた分離壁１２よりも小さく
なることはないようにする（図４−ｃ）。
【００５１】このようにしてできた溝部分に低温硬化可
能な液体状の樹脂組成物を（分離壁１２）被覆後硬化さ
せた（図４−ｄ）。この時、樹脂組成物（分離壁１２）
を確実に硬化させるために、この被覆、硬化の工程を数
回繰り返して徐々に積層させ、充分な量になったところ
で最後に残っているレジスト５をすべて除去する（図４
−ｅ）。
能な液体状の樹脂組成物を（分離壁１２）被覆後硬化さ
せた（図４−ｄ）。この時、樹脂組成物（分離壁１２）
を確実に硬化させるために、この被覆、硬化の工程を数
回繰り返して徐々に積層させ、充分な量になったところ
で最後に残っているレジスト５をすべて除去する（図４
−ｅ）。
【００５２】上記工程により共通液室９に液室分離壁１
２を形成することにより１つ以上に分離される。
２を形成することにより１つ以上に分離される。
【００５３】本実施例によれば、ノズルプレート２部分
およびノズルプレート液流路部分１０の分離壁、さらに
被処理基板１の共通液室９に設ける分離壁１２が同じ低
温硬化可能な液体状の樹脂組成物であることから応力や
熱膨張率の違いによる歪みなどの影響が受けにくく確実
にノズルプレート液流路１０を分離することが可能とな
り、確実に液流路１０及び共通液室９の間に共通な１つ
以上の分離壁１２を設けることができ、この分離壁１２
に異方性をもたせることにより、樹脂組成物硬化の確実
性を高めることができる。
およびノズルプレート液流路部分１０の分離壁、さらに
被処理基板１の共通液室９に設ける分離壁１２が同じ低
温硬化可能な液体状の樹脂組成物であることから応力や
熱膨張率の違いによる歪みなどの影響が受けにくく確実
にノズルプレート液流路１０を分離することが可能とな
り、確実に液流路１０及び共通液室９の間に共通な１つ
以上の分離壁１２を設けることができ、この分離壁１２
に異方性をもたせることにより、樹脂組成物硬化の確実
性を高めることができる。
【００５４】ここで、共通液室９に設ける分離壁１２は
樹脂組成物であるので、インク液供給部分との接合面に
て変形を起こす可能性がある。これを未然に防ぐため
に、被処理基板１部分の共通液室９に設ける分離壁１２
と被処理基板１の共通液室９の接地面に段差をもたせて
いる。さらに、これら被処理基板１とノズルプレート２
からなるヘッドチップをインク液供給部分１４に装着す
る際に、図４−ｆに示すようにインク液供給部分１４側
に凸部分１３を設けておくことにより共通液室９に設け
る分離壁１２とインク液供給部分１４との密着性を高
め、共通液室９の分離１２をより確実にする。この時、
インク液供給部分１４側の凸部分１３は柔軟性のある材
質を用いることとし、その凸部分厚さは共通液室９の深
さと共通液室９内分離壁１２の深さの差より薄くなるこ
とはないものとする。
樹脂組成物であるので、インク液供給部分との接合面に
て変形を起こす可能性がある。これを未然に防ぐため
に、被処理基板１部分の共通液室９に設ける分離壁１２
と被処理基板１の共通液室９の接地面に段差をもたせて
いる。さらに、これら被処理基板１とノズルプレート２
からなるヘッドチップをインク液供給部分１４に装着す
る際に、図４−ｆに示すようにインク液供給部分１４側
に凸部分１３を設けておくことにより共通液室９に設け
る分離壁１２とインク液供給部分１４との密着性を高
め、共通液室９の分離１２をより確実にする。この時、
インク液供給部分１４側の凸部分１３は柔軟性のある材
質を用いることとし、その凸部分厚さは共通液室９の深
さと共通液室９内分離壁１２の深さの差より薄くなるこ
とはないものとする。
【００５５】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、インク吐出エネルギーを発生する複数のエネルギー
発生体を備える基板と、インクを吐出する複数の吐出口
及び該吐出口への液流路からなる樹脂組成物を被覆後硬
化させたノズルプレートを有し、前記基板に設けられた
穴を介し、前記液流路にインクを供給するインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、１つのヘッドに複数のノズルを
有するノズルプレート及び共通液室に対し、低温硬化可
能な樹脂組成物により分離壁を設けることによりノズル
及び共通液室を確実で、且つ安価に分離することがで
き、１つのヘッド内で複数室の信頼性の高い分離が可能
となる。
ば、インク吐出エネルギーを発生する複数のエネルギー
発生体を備える基板と、インクを吐出する複数の吐出口
及び該吐出口への液流路からなる樹脂組成物を被覆後硬
化させたノズルプレートを有し、前記基板に設けられた
穴を介し、前記液流路にインクを供給するインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、１つのヘッドに複数のノズルを
有するノズルプレート及び共通液室に対し、低温硬化可
能な樹脂組成物により分離壁を設けることによりノズル
及び共通液室を確実で、且つ安価に分離することがで
き、１つのヘッド内で複数室の信頼性の高い分離が可能
となる。
【００５６】これにより、１つのヘッドで複数色のイン
クの吐出、つまりはカラーの印字が可能となり、さらに
インクジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッド
ユニットのコストダウンをねらうことが可能である。
クの吐出、つまりはカラーの印字が可能となり、さらに
インクジェットヘッドのコンパクト化が実現し、ヘッド
ユニットのコストダウンをねらうことが可能である。
【図１】 実施例におけるヘッド部分の斜視図
【図２】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ），
（ｆ），（ｇ） 実施例におけるヘッド部分製造方法の
図１のＡ−Ａ′断面でみた工程断面図
（ｆ），（ｇ） 実施例におけるヘッド部分製造方法の
図１のＡ−Ａ′断面でみた工程断面図
【図３】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ） 第
１の実施例における共通液室に設ける分離壁の製造方法
を図１のＢ−Ｂ′断面でみた工程断面図
１の実施例における共通液室に設ける分離壁の製造方法
を図１のＢ−Ｂ′断面でみた工程断面図
【図４】（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），（ｅ），
（ｆ） 第２の実施例における共通液室に設ける分離壁
の製造方法を図１のＢ−Ｂ′断面でみた工程断面図
（ｆ） 第２の実施例における共通液室に設ける分離壁
の製造方法を図１のＢ−Ｂ′断面でみた工程断面図
１ 被処理基盤
２ ノズルプレート（低温硬化可能な樹脂組成物）
３ 吐出口
４ 吐出口不形成部分
５ レジスト
６ マスク
７ レジストパターン
８ 保護膜インク液流路
９ 共通液室
１０ 液流路
１１ 分離壁用穴
１２ 分離壁
１３ インク液供給部分側の凸部分
１４ インク液供給口
１５ エネルギー発生体
Claims (8)
- 【請求項１】 インク吐出エネルギーを発生する複数の
エネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複
数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組成物
を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基板に
設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給するイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物により形
成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、前記
基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とするイン
クジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記インクジェットヘッドのノズルプレ
ートはインク吐出エネルギー発生体を備える被処理基板
上にポジ型フォトレジストからなる感光層を形成し、所
要の露光、現像処理を行って液流路及び液室部分となる
レジストパターンを形成した後、液流路となるレジスト
パターン上に低温硬化可能な液体状の樹脂組成物を被覆
後硬化させ、ポジ型フォトレジストを溶解除去すること
により液流路及び共通液室部分、さらに液室分離壁が形
成される構造を有するインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 前記共通液室は、その側壁が異方性を有
することを特徴とする、請求項１記載のインクジェット
ヘッド。 - 【請求項４】 前記液流路に設けられた吐出口が、多色
用の吐出口を一体成形して成るものであることを特徴と
する、請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項５】 前記各共通液室にはそれぞれ異なる色の
インクが供給される請求項１ないし３のいずれかに記載
のインクジェットヘッド。 - 【請求項６】 インク吐出エネルギーを発生する複数の
エネルギー発生体を備える基板と、インクを吐出する複
数の吐出口及び該吐出口への液流路からなる樹脂組成物
を被覆後硬化させたノズルプレートを有し、前記基板に
設けられた穴を介し、前記液流路にインクを供給するイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、樹脂組成物により形
成された少なくとも１つ以上の液室分離壁により、前記
基板の穴を複数の部屋に分割することを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項７】 前記液流路に設けられた吐出口が、多色
用の吐出口を一体成形して成るものであることを特徴と
する、請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項８】 前記各共通液室にはそれぞれ異なる色の
インクが供給される請求項６記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001369886A JP2003170584A (ja) | 2001-12-04 | 2001-12-04 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001369886A JP2003170584A (ja) | 2001-12-04 | 2001-12-04 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003170584A true JP2003170584A (ja) | 2003-06-17 |
Family
ID=19179201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001369886A Withdrawn JP2003170584A (ja) | 2001-12-04 | 2001-12-04 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003170584A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102218916A (zh) * | 2010-03-26 | 2011-10-19 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头以及液体喷射装置 |
-
2001
- 2001-12-04 JP JP2001369886A patent/JP2003170584A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102218916A (zh) * | 2010-03-26 | 2011-10-19 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射头以及液体喷射装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050301 |