JP2003167163A - フェルールおよびフェルールの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバの心合わせを簡易かつ高精度に行
える構造のフェルールを提供する。 【解決手段】 光ファイバＯＦの周面が線接触で当接す
るファイバ支持部４が左右２箇所に現れる光ファイバ収
容溝３ａを備える第１保持体２ａと、光ファイバＯＦの
周面が線接触で当接するファイバ支持部４か上面１箇所
に現れる光ファイバ収容溝３ｂを備える第２保持体２ｂ
とからフェルール１を構成し、第１保持体２ａの光ファ
イバ収容溝３ａと第２保持体２ｂの光ファイバ収容溝３
ｂより形成される光ファイバ収容孔内に収容された光フ
ァイバは、その心が定位置となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信等に使用す
る光ファイバの接続を容易にするために利用される光コ
ネクタにおいて、光ファイバを固定する固定具として用
いられるフェルールと、その製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】光通信システムの構築時における光ファ
イバの接続に用いられる光コネクタでは、光ファイバを
固定するためにフェルールが用いられており、このフェ
ルールを種々の係脱手段が設けられた外装部材（フレー
ムやハウジングなど）に収納することで、光ファイバ同
士の接続や切り離しを容易にする光コネクタが形成され
るのである。光コネクタとしては、ＪＩＳ規格で種々の
タイプが決められており、昨今は、高密度化・小型化の
要請から、矩形のフェルールによって１２心までのリボ
ン状ファイバを一括接続するＭＴタイプの光コネクタの
需要が増している。ＭＴ型のフェルールは、セラミック
スあるいはプラスチックスで成形加工されており、この
成形には金型を用いている。そして、ＭＴ型のフェルー
ル成形用金型を製作する手段として、金属の切削加工、
放電加工、研磨加工等の機械加工やエッチング加工が用
いられている。

【０００３】また、光ファイバを接続する作業において
は、光ファイバの先端に光コネクタを取り付けるため、
接続する夫々の光ファイバ先端の被覆を除去して接合用
治具に固定し、夫々の端面を研磨してファイバの中心と
フェルールの孔の中心を揃えてフェルールに接着若しく
は溶着し、このフェルールを外装部材に装着してコネク
タとして接続した場合に、両光ファイバのコア部分が面
合わせされるようにする。

【０００４】なお、光ファイバの固定に用いるフェルー
ルの光ファイバ収容孔は、光ファイバの断面形状に合わ
せた円形であるが、光ファイバの挿入を容易にするた
め、光ファイバの径よりも若干大きく形成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金型製
作における現在の機械加工では１００〜２００μｍに近
接した領域で１００〜２００μｍの形状を連続して２μ
ｍ以下の精度を確保して加工することは不可能である。
これは、機械加工の過程で生じる金属歪みが加工周辺に
残留するためである。また、エッチング加工において
は、その原理上、金属素材の結晶粒界等に加工精度が依
存することとなり、高精度の加工が得られないのが現状
ある。

【０００６】すなわち、通信設備の高密度化・小型化を
進める目的で採用されているＭＴタイプのフェルールで
は、フェルール成形用金型の作製に限界があり、フェル
ール製造に最も要求される小型化に限界が生じている。

【０００７】更に、光ファイバを収容するためにフェル
ールに設ける光ファイバ収容孔の空間寸法と光ファイバ
の実径との差によって、フェルールに固定された光ファ
イバの中心位置が偏る為、フェルールに光ファイバを挿
入後、接着等により光ファイバを固定する時に、フェル
ールの芯と光ファイバの芯とを整合する必要があり、こ
の作業は、光コネクター製作工程で最も重要であり且つ
大きなコストを占める工程となっている。

【０００８】すなわち、光ファイバの接続およびフェル
ールへの光ファイバ装着および光コネクター組立てに際
しては、調芯機や特殊な治具や測定具等の装置を用いて
個々に芯合わせをし、その状態を維持しつつフェルール
の内径と光ファイバの外形の間隙を埋める為に接着剤、
補助部品などを用いて固定しており、これらの接合組立
て技術は、光ファイバの導入初期に用いられてきた接合
組立て技術であり、光ファイバ接続作業の低廉・簡易化
が進まない要因となっている。

【０００９】そこで、本発明は、光ファイバの心合わせ
を簡易かつ高精度に行える構造のフェルールを提供する
と共に、そのようなフェルールを高い加工精度で作成で
きるフェルールの製造方法を提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、光ファイバを収容する光フ
ァイバ収容孔に収容した状態で光コネクタの外装部材に
組み込まれるフェルールであって、上記光ファイバ収容
孔を二分するように分割することで、各々光ファイバ収
容溝を備える第１保持体と第２保持体となし、上記第１
保持体の光ファイバ収容溝は、光ファイバの周面が線接
触で当接するファイバ支持部が２箇所以上現れる形状と
し、上記第２保持体の光ファイバ収容溝は、光ファイバ
の周面が線接触で当接するファイバ支持部か１箇所以上
現れる形状とし、上記第１保持体の光ファイバ収容溝に
おける２箇所以上のファイバ支持部に線接触することで
光ファイバが安定的に保持された状態で、第２保持体を
第１保持体に被せることにより、光ファイバ収容孔内に
光ファイバを収容するものとしたことを特徴とする。

【００１１】また、請求項２に係る発明は、請求項１に
記載のフェルールにおいて、上記第１保持体と第２保持
体とにより形成される光ファイバ収容孔の一方端には、
テーパ状に広がる拡径部を有するものとしたことを特徴
とする。

【００１２】また、請求項３に係る発明は、Ｘ線吸収膜
とＸ線透過膜とからなるＸ線マスクにＸ線を照射して基
板上に塗布されたフォトレジストを露光する際に、Ｘ線
マスクの三次元形状がフォトレジストへ高精度に転写さ
れ、且つＸ線照射方向の形状が拡大されるという特質を
利用して、フェルールの光ファイバ収容孔がＸ線照射方
向に形成される形状のＸ線マスクでフォトレジストを露
光し、これを現像し、フェルールの雄型もしくは雌型を
創製物として得ることにより、フェルールの成型用金型
を作成し、この金型でフェルールを成型するようにした
ことを特徴とする。

【００１３】また、請求項４に係る発明は、請求項３に
記載のフェルール製造方法において、フェルールの光フ
ァイバ収容孔の一方端がテーパ状に広がるように、Ｘ線
マスクの三次元形状を設定したことを特徴とする。

【００１４】また、請求項５に係る発明は、請求項３又
は請求項４に記載のフェルールの製造方法において、フ
ェルールの光ファイバ収容孔を二分するように分割され
た外観形状を呈する第１保持体と第２保持体に応じたＸ
線マスクを各々用いて、第１保持体および第２保持体の
雄型もしくは雌型を創製物として得るようにしたことを
特徴とする。

【００１５】また、請求項６に係る発明は、請求項５に
記載のフェルールの製造方法において、第１保持体に形
成される光ファイバ収容溝には光ファイバの周面が線接
触で当接するファイバ支持部が２箇所以上現れ、第２保
持体に形成される光ファイバ収容溝には光ファイバの周
面が線接触で当接するファイバ支持部が１箇所以上現れ
るような形状となるように、夫々のＸ線マスクを作成す
るようにしたことを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係るフェルールの
一実施形態を図１および図２に基づき説明する。

【００１７】図１に示すように、フェルール１は第１保
持体２ａと第２保持体２ｂとからなるもので、光ファイ
バを収容する光ファイバ収容孔３を二分するように分割
された外観形状を呈する。すなわち、第１保持体２ａに
形成された光ファイバ収容溝３ａと、第２保持体２ｂに
形成された光ファイバ収容溝３ｂとによって光ファイバ
収容孔３が形成されるのである。なお、本実施形態に示
すフェルール１は、２つの光ファイバ収容溝３，３を備
えるものとしたが、光ファイバ収容溝は一つでも良い
し、３以上のものでも構わない。

【００１８】そして、上記第１保持体２ａの光ファイバ
収容溝３ａは、光ファイバＯＦの周面が線接触で当接す
るファイバ支持部４が左右２箇所に現れる形状としてあ
り、上記第２保持体２ｂの光ファイバ収容溝３ｂは、光
ファイバＯＦの周面が線接触で当接するファイバ支持部
４か上面１箇所に現れる形状としてある。すなわち、第
１保持体２ａの光ファイバ収容溝３ａにおける２箇所の
ファイバ支持部４，４に線接触することで光ファイバＯ
Ｆが安定的に保持された状態となり、この状態で第２保
持体２ｂを第１保持体２ａに被せることにより、光ファ
イバ収容孔３内に光ファイバＯＦを収容すれば、３つの
接触点によって光ファイバＯＦの収容位置を一定にする
ことが出来る。よって、本発明に係るフェルール１を用
いれば、旧来のフェルールのように、光ファイバの芯調
整に熟練を要する必要が無く、簡易且つ迅速に光ファイ
バの収容作業を行うことが可能となり、このフェルール
を外装部材に装着して光コネクタとするまでの作業効率
を大幅に向上できる。

【００１９】加えて、本実施形態に示すフェルール１の
光ファイバ収容溝３の一方端（光ファイバが挿入される
側）は、テーパ状に広がる拡径部５を形成してある。こ
の拡径部５は、光ファイバを挿入する時のガイドとして
有用である。

【００２０】なお、本実施形態のフェルール１では、平
面と曲面から光ファイバ収容孔３を構成する物とした
が、光ファイバ収容溝３の形状は特に限定されるもので
はなく、光ファイバＯＦが収容孔内でガタつくことなく
安定に保持できるようなファイバ支持部が形成されてい
ればよい。例えば、断面形状が三角形や四角形といった
平面のみから構成される多角形としても良いし、楕円形
状とすることで、ファイバ支持部が現れるようにしても
良い。

【００２１】また、理想的な光ファイバ収容溝３の形状
は、光ファイバＯＦと同径の光ファイバ収容溝３とする
ことによって、光ファイバの周面と面接触になる場合
（無限の線接触の連なりよりなる場合）であるが、この
ような光ファイバ収容孔の形成は、従来の加工技術では
実現不可能であった。これは、フェルールの光ファイバ
収容孔の形状に限らず、分割形状とした複数の光ファイ
バ保持体からなるフェルールを作成することも、従来技
術では到底不可能であった。そこで、以下に、本発明に
係るフェルールの製造方法を詳述する。

【００２２】図３（ａ），（ｂ）で示すのは、円柱状の
光ファイバ収容孔を持ったフェルールを形成するための
Ｘ線マスク１０であり、Ｘ線吸収膜１１とＸ線透過膜１
２とからなる。このＸ線マスク１０を用いて図４の工程
のごとく、基板１３上のレジストをＸ線で露光すると、
Ｘ線透過膜１２に対応する部位のみがＸ線により露光さ
れてレジスト露光部１４が生ずる。すなわち、レジスト
露光部１４はフェルールの形状となり、Ｘ線吸収膜１１
に対応する非露光部はフェルールの金型形状となる。な
お、Ｘ線の場合、レジストとしてＰＭＭＡやＰＴＦＥを
用いる。

【００２３】この時、Ｘマスク１０には、Ｘ線吸収膜１
１の厚さを変えることにより露光形態を異ならしめ、光
ファイバ収容孔となる部位の一部が拡径するようにして
ある。これは、Ｘ線吸収膜におけるＸ線吸収値の差によ
るもので、感光性レジスト上に形成される形状は、Ｘ線
マスクの３次元方向形状が感光性レジストに拡大して転
写されることとなる。このように、Ｘ線吸収膜とＸ線透
過膜とから構成したマスクを用いれば、サブミクロンの
形状を容易に作成する事が出来ると同時に、吸収体と保
持体とのコントラストは非常によくなり、露光されたレ
ジスト表面は容易に表面粗さ０．１μｍ以下の鏡面と精
度を作り出す事が出来る。

【００２４】具体的には、サブミクロンの精度を保持し
たＸ線マスク、たとえば真円度０．１μｍ、ピッチ精度
０．１μｍを有するＸ線マスクを用いる事で、極めて微
細で高精度なレジスト構造体を作り出す事が出来る。例
えば、Ｘ線マスクとして、Ｘ線透過膜としてのポリイミ
ド膜７５μｍにＸ線吸収体としてのＡｕを５０〜６０μ
ｍの厚さでパターンニングしたものを使用し、レジスト
であるＰＭＭＡの厚さを１２ｍｍとしてＸ線による感光
を行い、形成されたレジストの全体をＮｉ−Ｆｅ合金で
高さ１２ｍｍまで電着し、レジストを除去すれば、ファ
イバ収容孔の長さが１２ｍｍであるフェルールの母型を
作製できる。この母型を用いて成型用金型を電鋳により
作製すれば、この金型からフェルールを樹脂成形で高精
度に作成できる。つまり、Ｘ線によるフォトリソグラフ
ィーと電鋳による成型方法を組合せる事により、精密な
フェルールを形成することが可能となる。

【００２５】また、Ｘ線吸収値の差によるマスク形状と
して、図３のＸ線マスクにおけるＸ線吸収膜とＸ線透過
膜とを逆にしたものを用いれば、図５のような立体形状
のレジスト２１を得る事が出来る。そして、導電性基板
２２上にレジスト２１を形成しておけば、導電性基板２
２から電着を行うことで、そのレジスト形状に沿った金
型２３が得られる。

【００２６】ここで、一方端がテーパ状に拡径する光フ
ァイバ収容孔を形成するためのＸ線マスクの作製例を図
７に基づき説明する。

【００２７】先ず、基板３１上に所要厚さの感光性レジ
スト３２を塗布し、この感光性レジスト３２表面へ第１
フォトマスク３３を密着させ、Ｘ線マスクとして作成す
るテーパ部の角θだけ中心軸を傾けて、基板３１を回転
させる（図７（ａ）参照）と、第１フォトマスク３３の
開口３３ａから入射したＵＶ光によって、感光性レジス
ト３２は擂り鉢状に感光することとなり、台錐形の感光
部３４ａが生ずる（図７（ｂ）参照）。なお、第１フォ
トマスク３３は、基板３１との相対位置を保持して回転
できれば、オフコンタクトであっても良い。

【００２８】上記のようにして形成した感光部３４ａに
対して、更に円柱状の感光領域を生ぜしめるため、円柱
の径に対応する開口３５ａを有する第２フォトマスク３
５を配置した状態で再び露光する（図７（ｃ）参照）。
かくして、円錐と円柱を組み合わせた形状の感光部３４
ｂが得られ（図７（ｄ）参照）、感光していないレジス
ト部分を除去すれば、テーパ付きの光ファイバ収容孔を
転写するための形状となったレジスト創製物が基板３１
上にできるのである（図７（ｅ）参照）。なお、同様の
方法でテーパ付き円柱を複数箇所に形成すれば、複数の
テーパ付き円柱を持つフォトマスクを作成できる。更
に、テーパ付き円柱の片側を全面露光すれば、露光しな
かった側にのみテーパ付きの半円柱が形成されるので、
分割フェルールにおける光ファイバ収容溝のような形状
も実現できる。

【００２９】上述したようなＸ線によるフォトリソグラ
フィーと電鋳による成型方法を組合せて分割フェルール
を作成する場合、図８に示すようなＸ線マスク４０を用
いれば良い。すなわち、フェルールの光ファイバ収容孔
を二分割するように２つの保持体を想定し、それに応じ
た形態の創製物が転写されるような形状のＸ線吸収膜４
１ａと、この周囲を囲む枠状のＸ線吸収膜４１ｂと、そ
の間を埋めるようなＸ線透過膜４２とを形成するのであ
る。

【００３０】そして、導体基板５１上に十分な厚さで塗
布した感光性レジストへ上記Ｘ線マスク４０を介在させ
た状態でＸ線を照射し、現像すれば、分割フェルールで
ある一方の保持体と同形状のレジスト創製物５２ａ、お
よびレジスト創製物５２ａを囲むような枠状の創製物５
２ｂが現れる。かくして、レジスト創製物５２ａ，５２
ｂの間に生ずる空部５３は、分割フェルール形成用の金
型として用いることができ、この空部５３へ電鋳により
金属を形成すれば、そのまま分割フェルール用金型が得
られるのである。このようにして得られた金型を用いれ
ば、寸法安定性に優れた分割フェルール（第１保持体６
０ａ、第２保持体６０ｂ）を容易に量産することが出来
る。

【００３１】次に、第１保持体６０ａおよび第２保持体
６０ｂを用いて光ファイバを収容したフェルールに組み
立てる場合の具体例を図１１に基づき説明する。

【００３２】図１１（ａ）のように、第１保持体６０ａ
と第２保持体６０ｂとが完全に分離している時には、フ
ェルール組立治具６１に第１保持体６０ａをセットし、
被覆６２ａを除去して剥き出しにした光ファイバ６２ｂ
を第１保持体６０ａの光ファイバ収容溝内に置き、光フ
ァイバ６２ｂの先端面と第１保持体６０ａの先端とをフ
ェルール組立治具６１のストッパ面６１ａに突き当てて
位置合わせし、この状態で第２保持体６０ｂを被せ、締
結バンド６３を使って第１保持体６０ａと第２保持体６
０ｂとを一体化する。すなわち、光ファイバの外周とほ
ぼ一致する溝形状の第１保持体、もしくは、２箇所以上
の線接触により光ファイバを定位置で安定的に保持し得
る溝形状の第１保持体を使用することにより、接着剤等
の介在物を介する事無く組立てることができ、その結
果、調芯等の作業も不要となり、迅速かつ効率的な光フ
ァイバ接続作業を実現できる。

【００３３】図１１（ｂ）のように、第１保持体６０ａ
と第２保持体６０ｂとが締結バンドで仮組されている時
には、第１，第２保持体６０ａ，６０ｂの各光ファイバ
収容溝の後側（光ファイバの挿入側）にテーパ状の拡径
部を有するものとし、且つ第１，第２保持体６０ａ，６
０ｂ後端に適宜な蝶番構造を与えることで、第１保持体
６０ａと第２保持体６０ｂとを分離させることなく、第
１保持体６０ａの光ファイバ収容溝で光ファイバ６２ｂ
の位置合わせを容易に行えるようにしてある。よって、
フェルール組立治具６１に第１保持体６０ａをセットし
た状態で拡径部のある側を軸として第２保持体６０ｂを
持ち上げ、光ファイバ６２ｂを挿入し、光ファイバ６２
ｂの先端面と第１保持体６０ａの先端とをフェルール組
立治具６１のストッパ面６１ａに突き当てて位置合わせ
し、この状態で第２保持体６０ｂを閉じ、この状態で締
結バンド６３により第１保持体６０ａと第２保持体６０
ｂとを強固に締め付けて一体化すれば良いのである。

【００３４】なお、上述したような方法で高精度の光フ
ァイバ挿通孔を形成したフェルールは、そのまま外装部
材に装着できるような形状としておくことで、旧来と同
様な方法により光コネクタとして組み立てることができ
るものの、電鋳メッキ法でメッキを厚くすると金属の析
出に時間が掛かり過ぎるため、コストアップになるの
で、光ファイバ収容孔などの主要部を含む必要最低限の
部分をフェルール用パーツとして、電鋳メッキ法により
形成し、この金属製のフェルール用パーツを金型にイン
サート成型することで、外装部材に組み付け可能なフェ
ルール形状を持たせるようにしても良い。

【００３５】また、高精度の立体形状を実現できる本発
明方法の利点を活かして、フェルールにガイドピン挿入
孔を設けておくようにしても良い。すなわち、上述した
ような高精度の型を作成する際に、光ファイバ収容孔と
併せてガイドピン挿入孔を設けておけば、その型から電
鋳メッキ法により金属製のフェルールを析出させると、
光ファイバ収容孔とガイドピン挿入孔の位置寸法が高精
度に再現されるので、コネクタとしての係脱手段を有す
る外装部材に装着することなく、フェルール同士を直に
接続することが可能となる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係るフ
ェルールによれば、光ファイバ収容孔を二分するように
分割することで、各々光ファイバ収容溝を備える第１保
持体と第２保持体となし、上記第１保持体の光ファイバ
収容溝は、光ファイバの周面が線接触で当接するファイ
バ支持部が２箇所以上現れる形状とし、上記第２保持体
の光ファイバ収容溝は、光ファイバの周面が線接触で当
接するファイバ支持部か１箇所以上現れる形状とし、上
記第１保持体の光ファイバ収容溝における２箇所以上の
ファイバ支持部に線接触することで光ファイバが安定的
に保持された状態で、第２保持体を第１保持体に被せる
ことにより、光ファイバ収容孔内に光ファイバを収容す
るものとしたので、光ファイバの芯調整に熟練を要する
必要が無く、光ファイバをフェルールに収容する組立作
業を簡易且つ迅速に行うことが可能となり、このフェル
ールを外装部材に装着して光コネクタとするまでの作業
効率を大幅に向上できる。

【００３７】また、請求項２に係るフェルールによれ
ば、第１保持体と第２保持体とにより形成される光ファ
イバ収容孔の一方端に、テーパ状に広がる拡径部を有す
るものとしたので、光ファイバを挿入する時のガイドと
して有用である。

【００３８】また、請求項３に係るフェルールの製造方
法によれば、Ｘ線吸収膜とＸ線透過膜とからなるＸ線マ
スクにＸ線を照射して基板上に塗布されたフォトレジス
トを露光する際に、Ｘ線マスクの三次元形状がフォトレ
ジストへ高精度に転写され、且つＸ線照射方向の形状が
拡大されるという特質を利用して、フェルールの光ファ
イバ収容孔がＸ線照射方向に形成される形状のＸ線マス
クでフォトレジストを露光し、これを現像し、フェルー
ルの雄型もしくは雌型を創製物として得ることにより、
フェルールの成型用金型を作成し、この金型でフェルー
ルを成型するようにしたので、Ｘ線露光を用いてＸ線マ
スクの形状を転写すると同時にマスクの形状および寸法
を、サブミクロンオーダーで管理する事が出来、その結
果として、高密度に隣接した立体形状が、従来のどの加
工方法よりも優れた寸法安定性を完璧に確保できる。よ
って、光ファイバの芯調整を別途行う必要がないほど高
精度のファイバ収容孔の実現が可能となり、従来の如
く、接着剤等の介在物を介する事無くフェルールを組立
てることができ、光ファイバ接続工程の大幅な技術革新
が可能となる。この結果、光ファイバ関連の施工技術が
容易化し、施工費用の大幅なコストダウンが可能とな
り、各種機器の末端まで光ファイバの敷設を容易かつ安
価に行うことができ、高密度、高速の情報社会の社会基
盤確立に大いに寄与できる。

【００３９】また、請求項４に係るフェルールの製造方
法によれば、フェルールの光ファイバ収容孔の一方端が
テーパ状に広がるように、Ｘ線マスクの三次元形状を設
定したので、フェルールの光ファイバ収容孔へ光ファイ
バを挿入する際のガイドとして機能させることが出来
る。

【００４０】また、請求項５に係るフェルールの製造方
法によれば、フェルールの光ファイバ収容孔を二分する
ように分割された外観形状を呈する第１保持体と第２保
持体に応じたＸ線マスクを各々用いて、第１保持体およ
び第２保持体の雄型もしくは雌型を創製物として得るよ
うにしたので、フェルールへの光ファイバの収容作業が
一層簡易化できる。

【００４１】また、請求項６に係るフェルールの製造方
法によれば、第１保持体に形成される光ファイバ収容溝
には光ファイバの周面が線接触で当接するファイバ支持
部が２箇所以上現れ、第２保持体に形成される光ファイ
バ収容溝には光ファイバの周面が線接触で当接するファ
イバ支持部が１箇所以上現れるような形状となるよう
に、夫々のＸ線マスクを作成するようにしたので、第１
保持体と第２保持体を閉じて形成される光ファイバ収容
孔内で光ファイバを安定に保持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１保持体および第２保持体よりなるフェルー
ルの外観斜視図である。

【図２】（ａ）フェルールの正面図である。 （ｂ）フェルールの上面もしくは下面図である。 （ｃ）フェルールの背面図である。 （ｄ）フェルールの側面図である。

【図３】（ａ）フェルール製造用Ｘ線マスクの上面図で
ある。 （ｂ）図３（ａ）のｂ−ｂ断面図である。

【図４】Ｘ線マスクを用いたレジスト創製工程の説明図
である。

【図５】レジスト創製物の外観斜視図である。

【図６】レジスト創製体とフェルール用金型の概略断面
図である。

【図７】フェルール製造用Ｘ線マスクの製造工程説明図
である。

【図８】（ａ）分割フェルール製造用Ｘ線マスクの上面
図である。 （ｂ）図８（ａ）のｂ−ｂ断面図である。

【図９】分割フェルールのレジスト創製物の外観斜視図
である。

【図１０】分割フェルールの外観斜視図である。

【図１１】分割フェルールへの光ファイバ装着工程を示
す説明図である。

【符号の説明】

ＯＦ 光ファイバ １ フェルール ２ａ 第１保持体 ２ｂ 第２保持体 ３ 光ファイバ収容孔 ３ａ 光ファイバ収容溝 ３ｂ 光ファイバ収容溝 ４ 光ファイバ支持部 ５ 拡径部 １０ Ｘ線マスク １１ Ｘ線吸収膜 １２ Ｘ線透過膜 １３ 基板 １４ レジスト露光部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前野 耕一 神奈川県平塚市東八幡５丁目１番９号 古 河電気工業株式会社平塚事業所内 Ｆターム(参考） 2H036 JA01 QA12 QA18 QA20

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ファイバを収容する光ファイバ収容孔
   に収容した状態で光コネクタの外装部材に組み込まれる
   フェルールであって、 上記光ファイバ収容孔を二分するように分割すること
   で、各々光ファイバ収容溝を備える第１保持体と第２保
   持体となし、 上記第１保持体の光ファイバ収容溝は、光ファイバの周
   面が線接触で当接するファイバ支持部が２箇所以上現れ
   る形状とし、 上記第２保持体の光ファイバ収容溝は、光ファイバの周
   面が線接触で当接するファイバ支持部か１箇所以上現れ
   る形状とし、 上記第１保持体の光ファイバ収容溝における２箇所以上
   のファイバ支持部に線接触することで光ファイバが安定
   的に保持された状態で、第２保持体を第１保持体に被せ
   ることにより、光ファイバ収容孔内に光ファイバを収容
   するものとしたことを特徴とするフェルール。
2. 【請求項２】 上記第１保持体と第２保持体とにより形
   成される光ファイバ収容孔の一方端には、テーパ状に広
   がる拡径部を有するものとしたことを特徴とする請求項
   １に記載のフェルール。
3. 【請求項３】 Ｘ線吸収膜とＸ線透過膜とからなるＸ線
   マスクにＸ線を照射して基板上に塗布されたフォトレジ
   ストを露光する際に、Ｘ線マスクの三次元形状がフォト
   レジストへ高精度に転写され、且つＸ線照射方向の形状
   が拡大されるという特質を利用して、フェルールの光フ
   ァイバ収容孔がＸ線照射方向に形成される形状のＸ線マ
   スクでフォトレジストを露光し、これを現像し、フェル
   ールの雄型もしくは雌型を創製物として得ることによ
   り、フェルールの成型用金型を作成し、この金型でフェ
   ルールを成型するようにしたことを特徴とするフェルー
   ルの製造方法。
4. 【請求項４】 フェルールの光ファイバ収容孔の一方端
   がテーパ状に広がるように、Ｘ線マスクの三次元形状を
   設定したことを特徴とする請求項３に記載のフェルール
   製造方法。
5. 【請求項５】 フェルールの光ファイバ収容孔を二分す
   るように分割された外観形状を呈する第１保持体と第２
   保持体に応じたＸ線マスクを各々用いて、第１保持体お
   よび第２保持体の雄型もしくは雌型を創製物として得る
   ようにしたことを特徴とする請求項３又は請求項４に記
   載のフェルールの製造方法。
6. 【請求項６】 第１保持体に形成される光ファイバ収容
   溝には光ファイバの周面が線接触で当接するファイバ支
   持部が２箇所以上現れ、第２保持体に形成される光ファ
   イバ収容溝には光ファイバの周面が線接触で当接するフ
   ァイバ支持部が１箇所以上現れるような形状となるよう
   に、夫々のＸ線マスクを作成するようにしたことを特徴
   とする請求項５に記載のフェルールの製造方法。