JP2003161109A - エアシール - Google Patents

エアシール

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JP2003161109A JP2002252225A JP2002252225A JP2003161109A JP 2003161109 A JP2003161109 A JP 2003161109A JP 2002252225 A JP2002252225 A JP 2002252225A JP 2002252225 A JP2002252225 A JP 2002252225A JP 2003161109 A JP2003161109 A JP 2003161109A
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    • Y02T50/60Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft

Abstract

(57)【要約】 【課題】 特に高温時において耐久性が向上したガスタ
ービンエンジン用のエアシールを提供する。 【解決手段】 エアシール7はシール基材と、シール基
材上のアブレイダブルシール層とを含んでいる。アブレ
イダブルシール層は高密度化ポリイミド発泡体、好まし
くは熱機械的に高密度化された発泡体から形成される。
エアシール7はステータボックス6やケース3のような
固定のエンジン部材と接合される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には、ガス
タービンエンジン用のエアシールに関し、より詳しくは
耐久性が向上したエアシールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】ガスタービンエンジンは例えば航空機用
の原動力、あるいは発電機として公知の動力源であり、
また一般的にコンプレッサ(通常は1つまたはそれ以上
のファンステージが前方にある)、燃焼機およびタービ
ンのセクションを含んでなるものである。図1に例示し
たように、コンプレッサおよびタービンのセクション
(およびファンステージ)は、それぞれ軸に据付けられ
た回転ディスク1を含んでおり、各回転ディスクは中空
のハウジングつまりケース3内に配置された1組のブレ
ード2を支持しており、またこれらブレード間にはケー
スつまり外被に備え付けられた固定ベーン5の組があ
る。エアシール4,7はブレードの先端部とケースとの
間(外部エアシールまたは外側エアシール)、およびベ
ーンとディスクとの間(ナイフエッジシール)に設けら
れ、それらの部材間の空気漏れを防止している。
【0003】空気はエンジンの吸気口を通して吸入さ
れ、またコンプレッサ内において回転ディスクや関連す
るブレードによって圧縮される。圧縮された空気は、次
いで、燃焼機内の燃料と共に燃やされ高圧で高温のガス
が生成される。生成されたガスは、タービンセクション
や関連するファンコンプレッサのステージ(段)の回転
を引き起こし、また推力を提供するためにエンジン排気
として放出される。ケースは、ブレードの先端部の周
り、つまりブレード先端部とケースとの間における空気
や燃焼生成物の漏れないし漏洩を防ぐためのものであ
り、この種の漏れはエンジン効率を低減させる。
【0004】漏れを最小限に抑えるために各部材の設計
がされているが、ガスタービンエンジンが通常に動作す
る際に生じる漏れの大部分はブレードの先端とケースと
の間、およびベーンの先端とディスクとの間において発
生する。そのような漏れを低減する1つの方法は全ての
組み合わせる部品を許容誤差を極めて小さくつまり小さ
い公差で製造することであるが、許容誤差が小さくなる
分だけコスト高になる傾向がある。さらに、部品の運転
前、運転中および運転後における温度の変動幅、および
これに伴う部品の熱膨張や熱収縮を考慮すると、そのよ
うな小さな許容誤差は組み合わされる部品間で干渉が生
じてしまい、対応する部品の摩耗やその他の損傷を引き
起こす結果となる。従って、ガスタービンエンジン設計
者は、効果的なエアシールの開発、特に、アブレイダブ
ル材料つまり摩耗可能な材料よりなるシールの開発に日
々努力をしている。例えば、本発明の譲受人より譲渡さ
れると共に、本明細書に参考として特に組み込まれる、
Vineなどに付与された米国特許第4,936,74
5号、およびNissleyなどに付与された米国特許
第5,706,231号を参照のこと。
【0005】シールには、回転ブレードの先端部との接
触の際の相対的な摩耗性、耐侵食性、耐久性、下に位置
する材料とバランスのとれた熱膨張、および製造が相対
的に容易であること及びコストが妥当であることなどを
含む種々の特性のバランスが必要される。例えば、本発
明の譲受人より譲渡され、この中の引例により明確に組
み込まれる、Sileoの米国特許第5,536,02
2号を参照のこと。
【0006】一般的なコンプレッサのエアシールは例え
ば金属基材のようなシール基材、基材上にプラズマ溶射
された金属粉末よりなる選択的な金属層、金属層に施さ
れたアブレイダブルなシール層を含んでいる。一般的な
シール層はアルミニウムとシリコンの金属マトリックス
に若干量のポリエステルパウダー粒子が埋め込まれたも
ので、基材上にプラズマ溶射される。他のシール材料は
シリコーンゴムや他のエラストマー系シール材料を含ん
でおり、また、シール材料は多孔性に合わせて中空のミ
クロスフェアを含んでいる。またこの種の材料は一般的
には高粘性状態で施され、そのまま乾燥あるいは硬化さ
れる。これらのシールシステムは今日まで十分な性能を
提供しているものの、より耐高温性を有し、下側にある
基材と適合性のある熱膨張性、およびを向上した侵食抵
抗性を有しつつ、ナイフエッジのブレード先端部に接触
した場合でも容易に摩耗する、シールシステムが望まれ
ている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的はガスタ
ービンエンジン用のエアシールを提供することにある。
本発明の他の目的は、現用のエアシールに比べて所要の
改善させた性能を提供するガスタービンエンジンのエア
シールの形成方法を提供することにある。本発明の別の
目的はコスト的に有利な方法で上記シールを製造する方
法を提供することにある。本発明のその他の目的は従来
のシールと同程度の重量であり、それ故に重量的に不利
がないシールを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の1つの特徴によ
れば、ガスタービンエンジン内で使用され、また改善さ
れた耐久性を有するエアシールが開示される。エアシー
ルはシール基材およびアブレイダブルシール層を含み、
アブレイダブルシール層は高密度化ポリイミド発泡体、
好ましくは熱機械的に高密度化されたポリイミド発泡体
を含んで構成される。
【0009】本発明のその他の特徴によれば、ガスター
ビンエンジンのシールシステムが開示されている。この
システムは、概略的には、ボンド層つまり接合層が設け
られたシール基材とアブレイダブルシール材料を有する
シールアセンブリを有してなる。アブレイダブルシール
材料は高密度化ポリイミド発泡体より構成される。シス
テムはさらに、シールアセンブリに対する運動に適合さ
れ、またアブレイダブルシール材料と相互作用する研摩
部分を有する、エンジン部材を有してなる。エンジン部
材の研摩部分およびシールアセンブリのアブレイダブル
シール材料は協働し、シーリングを提供する。
【0010】本発明のその他の特徴によれば、耐久性が
向上したエアシールの形成方法が開示されている。この
形成方法は、概略的には、ポリイミド発泡体を用意する
ステップ、高密度化発泡体よりなる層を形成するために
発泡体を高密度化させるステップ、シール基材を用意す
るステップ、および高密度化発泡体よりなる層をシール
基材に接合ないし結合させ、上記のエアシールを形成す
るステップを有してなる。
【0011】本発明の利点の1つはシールが、特に高温
時において、改善された、十分な耐久性および耐摩耗性
を提供する点である。加えて、本発明のシールは製造の
際のコスト効率が高く、また従来のシールと同程度の重
量である。
【0012】本発明に係わるシールのその他の詳細およ
びその他の利点は以下の説明から当業者には自明であ
る。添付図面において同じ参照番号は同じ構成要素を示
している。
【0013】
【発明の実施の形態】図1を参照して、本発明はガスタ
ービンエンジン内で使用されるエアシールに関するもの
である。このエアシールは、シールに対する運動に適合
すると共にエアシールのアブレイダブルシール材料と相
互作用する研摩部分を有するエンジン部材と協働して、
シーリングを提供する。例えば、エアシールは、回転ベ
ーンつまりブレード2の先端部とケースつまりハウジン
グ3との間において外部エアシール(外側エアシール)
として使用される。エアシールはまたステータボックス
のような固定ベーン5の一部6と回転ディスクの先端部
8との間に配置されるナイフエッジシール(ナイフエッ
ジ式シール)7としても使用される。
【0014】シールには出発材料つまり原料としていず
れかの適切な市販のポリイミド発泡体を使用して形成さ
れる。このような適切なポリイミド発泡体の出発材料の
1つは、イミ−テック(Imi-Tech)より市販されている
HT−340ポリイミド発泡体である。この材料は初期密
度が1立方フィート当たり約0.4ポンド(1立方メー
トル当たり6.4キログラム)を有する。シールに必要
とされる高さに応じて、出発材料としてのポリイミド発
泡体から構成される1つの層があってもよいし、あるい
は出発材料としてのポリイミド発泡体から構成される複
数の層があってもよい。複数層の出発材料が形成される
場合、従来公知のいずれかの適切な積層技術が複数層の
出発材料を形成するために使用される。
【0015】ポリイミド発泡出発材料は、次いで高密度
化処理をされ、ポリイミド発泡体の密度が1立方フィー
ト当たり0.4ポンド(1立方メートル当たり6.4キ
ログラム)から1立方フィート当たり10ポンド超(1
立方メートル当たり160キログラム、つまり160k
g/m超)まで、例えば、1立方フィート当たり12
ポンド(1立方メートル当たり192キログラム、つま
り192kg/m)から1立方フィート当たり25ポ
ンド(1立方メートル当たり400キログラム400k
g/m)まで高められる。発泡体の密度は好ましくは
1立方フィート当たり15ポンド超(1立方メートル当
たり240キログラム、つまり240kg/m超)で
ある。高密度化処理はまた、ポリイミド発泡体のせん断
強度を140psi(1平方センチメートル当たり9.
8キログラム、つまり9.8kg/cm)から325
psi(1平方センチメートル当たり22.75キログ
ラム、つまり22.75kg/cm)まで高める。
【0016】従来公知のいずれかの適切な高密度化処理
法を使用しても良いが、熱機械的な高密度化(thermome
chanical densification)処理を使用することが好まし
い。この処理では、ポリイミド発泡体がまず550°F
(287.5℃)超まで加熱され、次いで所望の密度及
びせん断強度を得るのに十分な時間だけ圧縮される。加
熱されたポリイミド発泡体を圧縮するのに従来公知のい
ずれかの適切な方法が使用される。
【0017】ポリイミド発泡材料は、高密度化された
後、所望の高さ、長さおよび幅に切断される。ポリイミ
ド発泡材料は次いで、ニッケルベース超合金、コバルト
ベース超合金あるいは鉄ベース超合金などの金属材料、
あるいはグラファイト強化ポリイミドのようなポリマー
複合材料の1つから形成された基材と、接合ないし結合
される。基材は好ましくはステータボックス(固定翼装
置)6のようなエンジン部材あるいはケース3の一部で
ある。ポリイミド発泡材料は適切な接着材料から形成さ
れるボンド層により基材に接合ないし結合される。例え
ば1つまたはそれ以上のポリイミドのフィルム状粘着材
料よりなるストリップがポリイミド発泡材料の表面ある
いは基材の表面に配置ないし設けられる。次に、粘着材
料ストリップの配置場所に応じて、ポリイミド発泡材料
または基材が粘着材料からなるストリップに接して設け
られる。その後、加熱および/または圧力を施すことで
粘着材料の硬化処理がなされ、ポリイミド発泡材料と基
材との間に強い接合力(結合力)が生じる結果、高密度
化ポリイミド発泡材料よりなるアブレイダブルシール層
を有するエアシールが形成される。
【0018】上述の硬化ステップは、オートクレーブ内
にエアシールを設け、エアシールを真空バックで囲み、
真空バックを密閉し、オートクレーブ内のエアシールに
バキュームつまり真空処理を施し、8psi(0.56
kg/cm)から12psi(0.84kg/c
)までのオートクレーブ圧力を施し、オートクレー
ブ内の温度を65°F(18.3℃)から85°F(2
9.4℃)の初期温度から400°F(204.24
℃)から420°F(215.34℃)の第2の温度に
上昇させ、またこの上昇させた温度は30分から1時間
半の間だけ維持され、その後エアシールを冷却する。温
度を上昇させるステップは、好ましくは、3°F/分
(1.66℃/分)から4°F/分(2.22℃)、つ
まり1分当たり3°F(1.66℃)から4°F(2.
22℃)の上昇率ないし上昇速度で実施される。冷却ス
テップは、好ましくは、3°F/分(1.66℃/分)
から5°F/分(2.78℃)、つまり1分当たり3°
F(1.66℃)から5°F(2.78℃)の冷却率な
いし冷却速度で実施される。
【0019】オートクレーブを使用する他に、硬化ステ
ップは、機械的な圧力を加えるために設計されたツール
ないし工具内にエアシールを取り付け、またオーブン内
で上記のように過熱するステップで構成することもでき
る。
【0020】必要に応じて、エアシールは後硬化処理さ
れる。エアシールに後硬化ステップを施す前に、225
°F(107.1℃)から275°F(135℃)の温
度で1時間から48時間までの間だけエアシールを加熱
することを有してなる乾燥処理を施すのが望ましい。こ
の乾燥処理は、エアシール用の基材がグラファイト強化
ポリイミド複合材料である場合は特に必要である。
【0021】後硬化処理はエアシールをオーブンつまり
炉に配置するステップ、オーブンを65°F(18.3
℃)から85°F(29.42℃)の初期温度に加熱す
るステップ、初期温度から630°F(331.9℃)
から670°F(354.1℃)までの第2の温度に上
昇させるステップ、エアシールを60分から150分の
間だけ第2の温度に保持するステップ、およびその後に
エアシールを冷却させるステップから構成される。温度
を上昇させるステップは、1.5°F/分(0.83℃
/分)から4°F/分(2.22℃/分)、つまり1分
当たり1.5°F(0.83℃)から4°F(2.22
℃)の上昇率ないし上昇速度で実施される。冷却ステッ
プは1.66℃/分から2.78℃/分、つまり1分当
たり3°F(1.66℃)から5°F(2.78℃)の
冷却率ないし冷却速度で実施される。
【0022】図2を参照して、エアシール4,7が高密
度化ポリイミド発泡体材料よりなる複数の層20より形
成されると共に積層方向24に垂直な複数の積層面(ラ
ミネート面)22を有する場合、エアシール4,7は積
層面22が実質的にエンジンの中心線(センターライ
ン)26および軸方向28に垂直であって、エンジンの
半径方向(放射状の方向)30に実質的に平行であるよ
うに設けられる。高密度化発泡体よりなる単一の層のみ
が使用される場合であっても、シールはこのように方向
付けされる。これは高密度化処理自体が断層面を形成す
ることに伴うものである。
【0023】積層されたエアシール4,7はその積層面
22により画定ないし規定された断層面を有する。プレ
ート状のシールの運動に対する断層面の方向付けないし
位置決めを図3に例示した。
【0024】以上の説明から明らかなように、高密度化
ポリイミド発泡体の1つまたはそれ以上の層より形成さ
れるアブレイダブルシール層を有するエアシール4,7
が提供される。そして、エンジン部材の研摩部分とアブ
レイダブルシール層とが協働して所望のレベルのシーリ
ングを提供する。
【0025】上記のように説明され、また積層化および
基材と接着ないし粘着されたポリイミド発泡材料より形
成されたエアシールを使用して行った本発明の試験によ
れば、本発明のエアシールは従来のエラストマー系
(例:多孔性シリコンゴム)のシールと少なくとも同程
度の耐侵食性を示した。本発明のエアシールはまた、従
来の多孔性シリコンゴムシールと少なくとも同程度の摩
耗性を示すものである。
【0026】本発明の利点は、エアシールが耐久性と摩
耗性を共に十分に満足させるものであり、また高温時に
これらの特性を提供することである。加えて、本発明の
エアシールはコスト効率が高く、製造が比較的容易であ
り、また従来のシール材料と同程度の重量である。
【0027】以上、本発明を詳細に説明したが、本発明
の技術思想ないし特許請求の範囲から逸脱することなし
に種々の代替および変更を行うことができる。従って、
上記の説明は例示的なものであり、限定的なものでな
い。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的なガスタービンエンジンの一部の横断面
図である。
【図2】本発明に係わる例示的なシールの横断面図であ
る。
【図3】プレート状のシールの運動に対するシールの断
層面の方向性を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 ディスク 2 ブレード 3 ケース 4 エアシール 5 固定ベーン 6 ステータボックス 7 エアシール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F02C 7/28 F02C 7/28 E F04D 29/08 F04D 29/08 D F16J 15/16 F16J 15/16 B (72)発明者 スチュワート エイ.サンダーズ アメリカ合衆国,フロリダ 33418,パー ム ビーチ ガーデンズ,ビア ハシエン ダ 8030 (72)発明者 カーク ディ.スタックハウス アメリカ合衆国,コネチカット 06480, ポートランド,グランドヴュー テラス 12 (72)発明者 リサ ブイ.オコーナー アメリカ合衆国,フロリダ 33478,ジュ ピター,165ス ロード ナンバー 11532 Fターム(参考) 3G002 HA04 HA07 HA10 HA12 HA13 3H022 AA02 AA03 BA02 BA06 CA32 CA33 CA54 DA13 DA19 3J043 AA16 CB13 DA02

Claims (34)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガスタービンエンジン内で使用され耐久
    性が向上したエアシールであって、 シール基材と、 前記シール基材上のアブレイダブルシール層とを有して
    なり、 前記アブレイダブルシール層が高密度化ポリイミド発泡
    体よりなる、ことを特徴とするエアシール。
  2. 【請求項2】 前記アブレイダブルシール層が前記高密
    度化ポリイミド発泡体の複数の層を有してなる、ことを
    特徴とする請求項1記載のエアシール。
  3. 【請求項3】 前記ポリイミド発泡体が少なくとも16
    0kg/mの密度を有する、ことを特徴とする請求項
    1記載のエアシール。
  4. 【請求項4】 前記ポリイミド発泡体が少なくとも24
    0kg/mの密度を有する、ことを特徴とする請求項
    1記載のエアシール。
  5. 【請求項5】 前記ポリイミド発泡体が192kg/m
    から400kg/mの密度、および9.8kg/c
    から22.75kg/cmのせん断強度を有す
    る、ことを特徴とする請求項1記載のエアシール。
  6. 【請求項6】 前記シール基材が高分子複合材よりな
    る、ことを特徴とする請求項1記載のエアシール。
  7. 【請求項7】 前記エアシールが外側エアシールであ
    る、ことを特徴とする請求項1記載のエアシール。
  8. 【請求項8】 前記エアシールがナイフエッジシールで
    ある、ことを特徴とする請求項1記載のエアシール。
  9. 【請求項9】 シール基材と、ボンド層が設けられたア
    ブレイダブルシール材料とを備えたシールアセンブリを
    有してなり、 前記アブレイダブルシール材料が高密度化ポリイミド発
    泡体より構成されており、およびアブレイダブルシール
    材料と相互作用する研摩部分を備えると共にシールアセ
    ンブリに対する運動に適合されたエンジン部材を有して
    なり、エンジン部材の研摩部分とシールアセンブリのア
    ブレイダブルシール材料とが協働してシーリングを提供
    する、ガスタービンエンジンのシールシステム。
  10. 【請求項10】 前記シール基材がステータボックスか
    ら構成され、および前記エンジン部材がディスクから構
    成される、ことを特徴とする請求項9記載のガスタービ
    ンエンジンのシールシステム。
  11. 【請求項11】 前記シール基材がケースの一部から構
    成され、および前記エンジン部材が回転可能なベーンか
    ら構成される、ことを特徴とする請求項9記載のガスタ
    ービンエンジンのシールシステム。
  12. 【請求項12】 前記エンジン部材が中心線を有するエ
    ンジン部品を形成しており、 前記アブレイダブルシール材料が積層面を備えた前記ポ
    リイミド発泡体の複数の積層された層を有してなり、お
    よび前記積層面が前記中心線に実質的に垂直である、こ
    とを特徴とする請求項9記載のガスタービンエンジンの
    シールシステム。
  13. 【請求項13】 前記積層面が、前記エンジンの半径方
    向に実質的に平行であり、前記エンジンの軸方向に実質
    的に垂直である、ことを特徴とする請求項12記載のガ
    スタービンエンジンのシールシステム。
  14. 【請求項14】 前記シール基材が高分子複合材から形
    成される部材からなる、ことを特徴とする請求項9記載
    のガスタービンエンジンのシールシステム。
  15. 【請求項15】 前記高密度化ポリイミド発泡体が熱機
    械的に高密度化されたポリイミド発泡体からなる、こと
    を特徴とする請求項9記載のガスタービンエンジンのシ
    ールシステム。
  16. 【請求項16】 前記ポリイミド発泡体が少なくとも1
    60kg/mの密度を有する、ことを特徴とする請求
    項9記載のガスタービンエンジンのシールシステム。
  17. 【請求項17】 前記ポリイミド発泡体が少なくとも2
    40kg/mの密度を有する、ことを特徴とする請求
    項9記載のガスタービンエンジンのシールシステム。
  18. 【請求項18】 前記ポリイミド発泡体が、192kg
    /mから400kg/mの密度、および9.8kg
    /cmから22.75kg/cmのせん断強度を有
    する、ことを特徴とする請求項9記載のガスタービンエ
    ンジンのシールシステム。
  19. 【請求項19】 前記ボンド層が少なくとも1つの粘着
    性ストリップあるいは粘着材料層から形成される、こと
    を特徴とする請求項9記載のガスタービンエンジンのシ
    ールシステム。
  20. 【請求項20】 ポリイミド発泡体を用意するステップ
    と、 前記ポリイミド発泡体を高密度化させて高密度化ポリイ
    ミド発泡体層を形成するステップと、 シール基材を用意するステップと、 前記高密度化ポリイミド発泡体層をシール基材と接合さ
    せてエアシールを形成するステップとを有してなる、こ
    とを特徴とする、耐久性が向上したエアシールの形成方
    法。
  21. 【請求項21】 前記ポリイミド発泡体を用意するステ
    ップが、前記ポリイミド発泡体よりなる複数の積層され
    た層を用意するステップを有してなる、ことを特徴とす
    る請求項20記載の方法。
  22. 【請求項22】 前記高密度化させるステップが前記ポ
    リイミド発泡体を熱機械的に高密度化させるステップを
    有してなり、 前記熱機械的に高密度化させるステップが、前記ポリイ
    ミド発泡体を305℃超の温度で160kg/m超の
    密度を得るのに十分な時間だけ加熱するステップと、加
    熱したポリイミド発泡体を圧縮するステップとを有して
    なる、ことを特徴とする請求項20記載の方法。
  23. 【請求項23】 前記シール基材を用意するステップが
    前記ポリイミド発泡体へ接合されるエンジン部材を用意
    するステップを有してなる、ことを特徴とする請求項2
    0記載の方法。
  24. 【請求項24】 前記接合させるステップが、前記ポリ
    イミド発泡体の表面に接合用材料を設けるステップ、お
    よび圧力を加えて前記接合用材料を前記シール基材に接
    合するステップを有してなる、ことを特徴とする請求項
    20記載の方法。
  25. 【請求項25】 前記接合用材料を設けるステップが少
    なくとも1つの粘着性ストリップを前記ポリイミド発泡
    体の表面に設けるステップを有してなる、ことを特徴と
    する請求項24記載の方法。
  26. 【請求項26】 前記接合ステップの後に前記エアシー
    ルを硬化させるステップをさらに有してなり、前記硬化
    ステップは、前記エアシールをオートクレーブ中に配置
    するステップ、前記オートクレーブ内で前記エアシール
    に真空を施すステップ、0.56kg/cmから0.
    84kg/cmのオートクレーブ圧力を加えるステッ
    プ、前記オートクレーブ内の温度を18.3℃から2
    9.4℃の範囲の初期温度から204.24℃から21
    5.34℃の範囲の第2の温度まで上昇させるステッ
    プ、前記第2の温度を30分から1時間半間までの間だ
    け維持させるステップ、および前記エアシールを冷却さ
    せるステップを有してなる、ことを特徴とする請求項2
    0記載の方法。
  27. 【請求項27】 前記温度を上昇させるステップが1.
    66℃/分から2.22℃/分の上昇率で実行され、ま
    た前記冷却ステップが1.66℃/分から2.78℃/
    分の冷却率で実行される、ことを特徴とする請求項26
    記載の方法。
  28. 【請求項28】 前記硬化ステップの完了後にオーブン
    内に前記エアシールを配置し、前記エアシールを後硬化
    するステップをさらに有してなる、ことを特徴とする請
    求項26記載の方法。
  29. 【請求項29】 前記エアシールを前記オーブン内に配
    置する前に前記エアシールを乾燥させるステップをさら
    に有してなり、また前記乾燥ステップが前記エアシール
    を107.1℃から135℃の範囲の温度で1時間から
    48時間の範囲の時間の間だけ加熱することを有してな
    る、ことを特徴とする請求項28記載の方法。
  30. 【請求項30】 前記後硬化処理ステップが、 前記オーブンを18.3℃から29.42℃の範囲の初
    期温度に加熱するステップ、 前記初期温度を331.9℃から354.1℃までの第
    2の温度に上昇させるステップ、 前記エアシールを60分から150分の範囲の時間だけ
    前記第2の温度に保つステップ、およびその後に前記エ
    アシールを冷却させるステップを有してなる、ことを特
    徴とする請求項28記載の方法。
  31. 【請求項31】 前記温度を上昇させるステップが0.
    83℃/分から2.22℃/分の上昇率で実施され、ま
    た前記冷却ステップが1.66℃/分から2.78℃/
    分の冷却率で実施される、ことを特徴とする請求項30
    記載の方法。
  32. 【請求項32】 前記高密度化ステップが160kg/
    超の密度を有するように前記ポリイミド発泡体を高
    密度化させるステップを有してなる、ことを特徴とする
    請求項20記載の方法。
  33. 【請求項33】 前記高密度化ステップが240kg/
    超の密度を有するように前記ポリイミド発泡体を高
    密度化させるステップを有してなる、ことを特徴とする
    請求項20記載の方法。
  34. 【請求項34】 前記高密度化ステップが前記ポリイミ
    ド発泡体を192kg/mから400kg/mの密
    度を有するように前記ポリイミドを高密度化させるステ
    ップを有してなる、ことを特徴とする請求項20記載の
    方法。
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