JP2003160379A - Microwave dielectric composition - Google Patents

Microwave dielectric composition

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JP2003160379A
JP2003160379A JP2001355288A JP2001355288A JP2003160379A JP 2003160379 A JP2003160379 A JP 2003160379A JP 2001355288 A JP2001355288 A JP 2001355288A JP 2001355288 A JP2001355288 A JP 2001355288A JP 2003160379 A JP2003160379 A JP 2003160379A
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oxide
dielectric constant
microwave dielectric
dielectric composition
glass
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Japanese (ja)
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Yoshihiko Imanaka
佳彦 今中
Masatoshi Takenochi
正寿 竹野内
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro wave dielectric composition capable of sintering at a low temperature of ≤900°C, having a high dielectric constant or low dielectric constant with a high Q value. <P>SOLUTION: The micro wave dielectric composition is composed of an oxide ceramic grain containing at least one selected from among the group consisting of BaTi<SB>4</SB>O<SB>9</SB>, Ba<SB>2</SB>Ti<SB>9</SB>O<SB>20</SB>, Ba(Zn<SB>1/3</SB>Ta<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, Ba(Zn<SB>1/3</SB>Nb<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, Ba(Mg<SB>1/3</SB>Ta<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, Ba(Co<SB>1/3</SB>Ta<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, Ba(Co<SB>1/3</SB>Nb<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, Ba(Ni<SB>1/3</SB>Ta<SB>2/3</SB>)O<SB>3</SB>, and TiO<SB>2</SB>, and amorphous glass dispersed with the oxide ceramic grains or oxide based crystallized glass. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は一般に電子材料に係
り、特にマイクロ波誘電体組成物に関する。
FIELD OF THE INVENTION This invention relates generally to electronic materials, and more particularly to microwave dielectric compositions.

【0002】携帯電話等の移動体通信技術、あるいは無
線LAN等の無線情報通信技術においては、大容量情報
を大量に伝送する要求と同時に、端末機器の小型化およ
び軽量化について厳しい要求が存在する。
In mobile communication technology such as a mobile phone or wireless information communication technology such as a wireless LAN, there is a demand for transmitting a large amount of large-capacity information, and at the same time, a strict demand for reducing the size and weight of a terminal device. .

【0003】このような端末機器の小型化・軽量化を実
現するために、高密度実装技術および高周波回路を一体
化したモジュールについて、研究が行われている。
In order to reduce the size and weight of such terminal equipment, research has been conducted on a module in which a high-density mounting technique and a high-frequency circuit are integrated.

【0004】[0004]

【従来の技術】アンテナやフィルタ等の受動部品の小型
化および性能の向上は、部品を構成する材料により大き
く左右される。電波の波長は、誘電率がεの誘電体材料
内部では自由空間における波長の1/√εに短縮され
る。従って、使用される誘電体材料の誘電率が大きいほ
ど回路中の線路長を短縮でき、部品が小型化される。従
って、受動部品を構成する材料の誘電率を増大させるこ
とは、部品の小型化において重要な要件となる。
2. Description of the Related Art Miniaturization and improvement in performance of passive components such as antennas and filters are greatly influenced by the materials of which the components are made. The wavelength of a radio wave is shortened to 1 / √ε of the wavelength in free space inside a dielectric material having a permittivity of ε. Therefore, the larger the dielectric constant of the dielectric material used, the shorter the line length in the circuit and the smaller the component. Therefore, increasing the dielectric constant of the material forming the passive component is an important requirement for miniaturization of the component.

【0005】一方、ある種の受動部品、特にフィルタや
共振器等では挿入損失の発生が避けられないが、挿入損
失を最小化するために誘電体材料は高いQ値を有するこ
とが要求される。
On the other hand, the generation of insertion loss is unavoidable in some passive components, particularly filters and resonators, but the dielectric material is required to have a high Q value in order to minimize the insertion loss. .

【0006】さらにインダクタンスとキャパシタンスよ
りなるフィルタ回路などの受動部品では、受動部品内で
の導体線路による損失を低減するために、配線に電気抵
抗の小さいAgやCu、あるいはAuなどの材料を使う
ことが望ましい。しかし、これらの低抵抗金属はいずれ
も1000℃前後の比較的低い融点を有しているため
(例えばAgの融点は960℃、Cuの融点は1083
℃、Auの融点は1063℃)、これらの低抵抗金属材
料を受動部品中に導入するためには、受動部品中におい
て誘電体材料を構成するセラミックスの焼成温度を、前
記金属材料の融点以下に抑制する必要がある。
Further, in a passive component such as a filter circuit composed of an inductance and a capacitance, a material such as Ag, Cu or Au having a low electric resistance is used for the wiring in order to reduce the loss due to the conductor line in the passive component. Is desirable. However, all of these low resistance metals have a relatively low melting point of around 1000 ° C. (for example, Ag has a melting point of 960 ° C. and Cu has a melting point of 1083).
℃, the melting point of Au is 1063 ℃), in order to introduce these low resistance metal materials into the passive component, the firing temperature of the ceramics constituting the dielectric material in the passive component is below the melting point of the metal material. It needs to be suppressed.

【0007】従って、小型・軽量で高性能の受動部品を
実現するには、誘電率およびQ値が高く、また低温で焼
成が可能なマイクロ波誘電体組成物が必要になる。
Therefore, in order to realize a small-sized, lightweight and high-performance passive component, a microwave dielectric composition having a high dielectric constant and a high Q value and capable of firing at a low temperature is required.

【0008】一方、電子回路等において使われる伝送線
路、例えばマイクロ波ストリップラインでは、高い信号
伝送速度を実現するために、可能な限り低い誘電率を有
するマイクロ波誘電体組成物が要求される。この場合に
も伝送損失を最小化するためにマイクロ波誘電体組成物
は高いQ値を有することが要求され、また金属配線層と
共に積層構造を形成する必要から、低い焼成温度で形成
できることが要求される。
On the other hand, in a transmission line used in an electronic circuit or the like, for example, a microwave strip line, a microwave dielectric composition having a dielectric constant as low as possible is required to realize a high signal transmission speed. In this case as well, the microwave dielectric composition is required to have a high Q value in order to minimize the transmission loss, and it is also necessary to form a laminated structure together with the metal wiring layer, so that it is required to be formed at a low firing temperature. To be done.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マイクロ波誘電体組成物は、1500℃を超える高温で
焼成する必要があるため、このようなマイクロ波誘電体
組成物は所望の高い誘電率あるいは低い誘電率および高
いQ値は有するものの、金属配線層と積層した構造の受
動部品あるいは伝送線路を構成することは不可能であっ
た。
However, since the conventional microwave dielectric composition needs to be fired at a high temperature exceeding 1500 ° C., such a microwave dielectric composition has a high dielectric constant or a desired dielectric constant. Although it has a low dielectric constant and a high Q value, it was impossible to construct a passive component or a transmission line having a structure laminated with a metal wiring layer.

【0010】このため従来の受動部品あるいは伝送線路
では、低温焼成可能なセラミックス材料によりマイクロ
波誘電体組成物を形成していた。しかし、このような低
温で焼成可能なセラミックス材料で実現できるQ値はた
かだか200前後であり、また1000を超えるQ値を
実現するのは困難であった。
Therefore, in the conventional passive component or transmission line, the microwave dielectric composition is formed of a ceramic material that can be fired at a low temperature. However, the Q value that can be realized with such a ceramic material that can be fired at a low temperature is about 200 at most, and it has been difficult to realize the Q value exceeding 1000.

【0011】そこで本発明は上記の課題を解決した、新
規で有用なマイクロ波誘電体組成物を提供することを概
括的課題とする。
Therefore, the present invention has a general object to provide a novel and useful microwave dielectric composition which solves the above problems.

【0012】本発明のより具体的な課題は、高いQ値と
高い誘電率、あるいは高いQ値と低い誘電率を有し、9
00℃以下の低温において焼成可能なマイクロ波誘電体
組成物を提供することを課題とする。
A more specific object of the present invention is to have a high Q value and a high dielectric constant or a high Q value and a low dielectric constant.
An object of the present invention is to provide a microwave dielectric composition that can be fired at a low temperature of 00 ° C or lower.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を、
酸化物セラミックス粒子と、前記酸化物セラミックス粒
子が分散した酸化物系非晶質ガラスあるいは酸化物系結
晶化ガラスとよりなる高誘電率マイクロ波誘電体組成物
であって、前記酸化物セラミックス粒子は、BaTi4
9,Ba2Ti920,Ba(Zn1/3Ta2/3)O3,B
a(Zn1/3Nb 2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3)O
3,Ba(Co1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3
2/3)O3,Ba(Ni1/3Ta2/3)O3およびTiO2
よりなる群から選択される少なくともひとつの成分を含
むことを特徴とする高誘電率マイクロ波誘電体組成物に
より、解決する。
The present invention solves the above-mentioned problems.
Oxide ceramic particles and the oxide ceramic particles
Oxide-based amorphous glass with dispersed particles or oxide-based crystals
High dielectric constant microwave dielectric composition composed of crystallized glass
And the oxide ceramic particles are made of BaTi.Four
O9, Ba2Ti9O20, Ba (Zn1/3Ta2/3) O3, B
a (Zn1/3Nb 2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3) O
3, Ba (Co1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3N
b2/3) O3, Ba (Ni1/3Ta2/3) O3And TiO2
Containing at least one ingredient selected from the group consisting of
A high dielectric constant microwave dielectric composition characterized by
More to solve.

【0014】また本発明は上記の課題を、純度99%以
上のアルミナ粒子と、前記アルミナ粒子が分散した酸化
物系非晶質ガラスあるいは酸化物系結晶化ガラスとより
なることを特徴とする低誘電率マイクロ波誘電体組成物
により、解決する。
Further, the present invention has the above-mentioned problems and is characterized by comprising alumina particles having a purity of 99% or more and oxide type amorphous glass or oxide type crystallized glass in which the alumina particles are dispersed. A dielectric constant microwave dielectric composition solves the problem.

【0015】本発明によれば、BaTi49,Ba2
920,Ba(Zn1/3Ta2/3)O 3,Ba(Zn1/3
Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba(C
1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3Nb2/3)O3,Ba
(Ni1/3Ta2/3)O3およびTiO2よりなる群から選
択され高いQ値を有するセラミック粒子と、酸化物系非
晶質ガラスあるいは酸化物系結晶化ガラスとを組み合わ
せて使うことにより、約900℃以下の低温で焼成が可
能で、しかも非常に高いQ値を有する高誘電率あるいは
低誘電率マイクロ波誘電体組成物が得られる。
According to the invention, BaTiFourO9, Ba2T
i9O20, Ba (Zn1/3Ta2/3) O 3, Ba (Zn1/3
Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3) O3, Ba (C
o1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3Nb2/3) O3, Ba
(Ni1/3Ta2/3) O3And TiO2Selected from the group consisting of
Selected ceramic particles with high Q value and oxide-based
Combined with crystalline glass or oxide-based crystallized glass
By using it, it can be fired at a low temperature of about 900 ° C or less.
High permittivity with a very high Q value or
A low dielectric constant microwave dielectric composition is obtained.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】[第1の実施の形態]以下、本発
明の発明者が作製したマイクロ波誘電体組成物につい
て、本発明の第1の実施の形態として説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION [First Embodiment] A microwave dielectric composition produced by the inventor of the present invention will be described below as a first embodiment of the present invention.

【0017】[0017]

【実施例1】平均粒径が5μmのTiO2セラミック粉
末と、平均粒径が3μmの、主としてNd2TiO7結晶
を析出するガラス粉末(日本電気硝子製GA55)と
を、それぞれ20体積%および80体積%の割合で調合
し、混合粉末を調製する。ただし、前記TiO2セラミ
ック粉末は、いったん1500℃以上の温度で仮焼した
TiO2ブロックを、所定の粒径に粉砕して調製したも
のである。さらに得られた混合物粉末に対してPVB樹
脂を2体積%の割合で添加し、ボールミルを使って20
時間ミリングする。
Example 1 TiO 2 ceramic powder having an average particle size of 5 μm and glass powder (GA55 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) having an average particle size of 3 μm and mainly precipitating Nd 2 TiO 7 crystals were used, and 20% by volume and It mix | blends in the ratio of 80 volume%, and prepares a mixed powder. However, the TiO 2 ceramic powder is prepared by pulverizing a TiO 2 block that has been temporarily calcined at a temperature of 1500 ° C. or higher into a predetermined particle size. Further, PVB resin was added to the obtained mixture powder in a ratio of 2% by volume, and the mixture was mixed with a ball mill for 20 times.
Mill for hours.

【0018】さらに、こうして得られたスラリを乾燥
し、アセトンを除去した後、らいかい機で粉砕する。こ
うして得られた混合粉末原料を金型中において5MPa
の圧力で加圧成型し、大気中、900℃で2時間焼成し
て誘電体材料を得る。
Further, the slurry thus obtained is dried, and after removing the acetone, it is pulverized by a raker. The mixed powder raw material thus obtained was placed in a mold at 5 MPa.
It is pressure-molded at a pressure of 2 and is fired in the air at 900 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric material.

【0019】このようにして得られた誘電体材料につい
て相対密度を測定したところ、99%以上の値が得られ
た。また誘電特性を2GHzの周波数で測定したとこ
ろ、空洞共振器法で測定したQ値が2500、比誘電率
は50であることが確認された。
When the relative density of the thus obtained dielectric material was measured, a value of 99% or more was obtained. Further, when the dielectric property was measured at a frequency of 2 GHz, it was confirmed that the Q value measured by the cavity resonator method was 2500 and the relative permittivity was 50.

【0020】[0020]

【実施例2】平均粒径が5μmで99%以上の純度のア
ルミナ(Al23)セラミック粉末と、平均粒径が1μ
mのTiO2粉末と、平均粒径が3μmで主としてCa
MgSi24結晶を析出するガラス粉末(日本電気硝子
製GA63)とを、それぞれ10体積%,20体積%お
よび70体積%の割合で調合し、混合粉末を調製する。
さらに得られた混合物粉末を先の場合と同様にミリング
してスラリを形成する。この場合も、アルミナセラミッ
ク粉末は、いったん1500℃以上の高温で仮焼した
後、所定の粒径に粉砕することで調製されている。
Example 2 Alumina (Al 2 O 3 ) ceramic powder having an average particle size of 5 μm and a purity of 99% or more, and an average particle size of 1 μm
m TiO 2 powder and Ca with an average particle size of 3 μm
A glass powder (GA63 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) for precipitating MgSi 2 O 4 crystals is prepared at a ratio of 10% by volume, 20% by volume and 70% by volume to prepare a mixed powder.
Further, the obtained mixture powder is milled as in the previous case to form a slurry. Also in this case, the alumina ceramic powder is prepared by once calcining at a high temperature of 1500 ° C. or higher and then pulverizing to a predetermined particle size.

【0021】さらに、こうして得られたスラリを先の場
合と同様に乾燥し、粉砕して混合粉末原料形成する。得
られた混合粉末原料を加圧成型し、大気中、900℃で
2時間焼成して誘電体材料を得る。
Further, the slurry thus obtained is dried and crushed in the same manner as in the above case to form a mixed powder raw material. The obtained mixed powder raw material is pressure-molded and fired in air at 900 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric material.

【0022】このようにして得られた誘電体材料につい
て相対密度を測定したところ、99%以上の値が得られ
た。また誘電特性を2GHzの周波数で測定したとこ
ろ、空洞共振器法で測定したQ値が3500、比誘電率
は40であることが確認された。
When the relative density of the dielectric material thus obtained was measured, a value of 99% or more was obtained. Further, when the dielectric characteristics were measured at a frequency of 2 GHz, it was confirmed that the Q value measured by the cavity resonator method was 3500 and the relative dielectric constant was 40.

【0023】[0023]

【実施例3】平均粒径が5μmで99%以上の純度のア
ルミナ(Al23)セラミック粉末と、平均粒径が1μ
mで99%以上の純度の石英ガラス粉末と、平均粒径が
3μmでシリカ(SiO2成分)含有量が85%以上の
アルミノ硼珪酸ガラスとを、それぞれ10体積%,20
体積%および70体積%の割合で調合し、混合粉末を調
製する。さらに得られた混合物粉末を先の場合と同様に
ミリングしてスラリを形成する。この場合も、アルミナ
セラミック粉末は、いったん1500℃以上の高温で仮
焼した後、所定の粒径に粉砕することで調製されてい
る。
Example 3 Alumina (Al 2 O 3 ) ceramic powder having an average particle size of 5 μm and a purity of 99% or more, and an average particle size of 1 μm
10% by volume and 20% by volume of silica glass powder having a purity of 99% or more by m and aluminoborosilicate glass having an average particle size of 3 μm and a silica (SiO2 component) content of 85% or more, respectively.
A mixed powder is prepared by compounding at a ratio of volume% and 70% by volume. Further, the obtained mixture powder is milled as in the previous case to form a slurry. Also in this case, the alumina ceramic powder is prepared by once calcining at a high temperature of 1500 ° C. or higher and then pulverizing to a predetermined particle size.

【0024】さらに、こうして得られたスラリを先の実
施例1の場合と同様に乾燥し、粉砕して混合粉末原料を
形成する。得られた混合粉末原料を加圧成型し、大気
中、900℃で2時間焼成して誘電体材料を得る。
Further, the slurry thus obtained is dried and crushed in the same manner as in the case of Example 1 above to form a mixed powder raw material. The obtained mixed powder raw material is pressure-molded and fired in air at 900 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric material.

【0025】このようにして得られた誘電体材料につい
て相対密度を測定したところ、99%以上の値が得られ
た。また誘電特性を2GHzの周波数で測定したとこ
ろ、空洞共振器法で測定したQ値が4000、比誘電率
は7であることが確認された。
When the relative density of the dielectric material thus obtained was measured, a value of 99% or more was obtained. When the dielectric characteristics were measured at a frequency of 2 GHz, it was confirmed that the Q value measured by the cavity resonator method was 4000 and the relative dielectric constant was 7.

【0026】[0026]

【実施例4】平均粒径が5μmのBa(Mg1/3
2/3)O3セラミック粉末と、平均粒径が5μmのTi
2粉末と、平均粒径が3μmでNd2TiO7結晶を析
出するガラス粉末(日本電気硝子製GA55)とを、そ
れぞれ20体積%,20体積%および60体積%の割合
で調合し、混合粉末を調製する。さらに得られた混合物
粉末に対してアセトンとPVB樹脂を2体積%の割合で
添加し、ボールミル中で20時間ミリングし、スラリを
形成する。この場合、前記Ba(Mg1/3Ta2/3)O3
セラミック粉末は、いったん1500℃以上の高温で仮
焼した後、所定の粒径に粉砕することで調製されてい
る。
Example 4 Ba (Mg 1/3 T with an average particle size of 5 μm
a 2/3 ) O 3 ceramic powder and Ti with an average particle size of 5 μm
O 2 powder and glass powder (GA55 manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd.) having an average particle diameter of 3 μm and precipitating Nd 2 TiO 7 crystals were prepared and mixed in the proportions of 20% by volume, 20% by volume and 60% by volume, respectively. Prepare powder. Further, acetone and PVB resin were added to the obtained mixture powder at a ratio of 2% by volume, and milled in a ball mill for 20 hours to form a slurry. In this case, the Ba (Mg 1/3 Ta 2/3 ) O 3
The ceramic powder is prepared by temporarily calcining at a high temperature of 1500 ° C. or higher and then pulverizing it to a predetermined particle size.

【0027】さらに、こうして得られたスラリを先の実
施例1の場合と同様に乾燥し、溶剤を除去した後、らい
かい機を使って粉砕し、混合粉末原料を形成する。得ら
れた混合粉末原料を金型中で5MPaの圧力で加圧成型
し、大気中、900℃で2時間焼成して誘電体材料を得
る。
Further, the slurry thus obtained is dried in the same manner as in Example 1 above to remove the solvent, and then pulverized by using a raker machine to form a mixed powder raw material. The obtained mixed powder raw material is pressure-molded in a mold at a pressure of 5 MPa and fired in the air at 900 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric material.

【0028】このようにして得られた誘電体材料につい
て相対密度を測定したところ、99%以上の値が得られ
た。また誘電特性を2GHzの周波数で測定したとこ
ろ、空洞共振器法で測定したQ値が3500、比誘電率
は35であることが確認された。
When the relative density of the dielectric material thus obtained was measured, a value of 99% or more was obtained. Moreover, when the dielectric property was measured at a frequency of 2 GHz, it was confirmed that the Q value measured by the cavity resonator method was 3500 and the relative dielectric constant was 35.

【0029】[0029]

【実施例5】平均粒径が5μmのBaTi49セラミッ
ク粉末と、平均粒径が3μmでNd 2TiO7結晶を析出
するガラス粉末(日本電気硝子製GA55)とを、それ
ぞれ20体積%および80体積%の割合で調合し、混合
粉末を調製する。さらに得られた混合物粉末に対してア
セトンとPVB樹脂を2体積%の割合で添加し、ボール
ミル中で20時間ミリングし、スラリを形成する。この
場合も、前記BaTi 49セラミック粉末は、いったん
1500℃以上の高温で仮焼された後、所定の粒径に粉
砕することで調製されている。
Example 5 BaTi having an average particle size of 5 μmFourO9Ceramic
Powder and Nd with an average particle size of 3 μm 2TiO7Deposit crystals
Glass powder (GA55 made by Nippon Electric Glass)
20% by volume and 80% by volume, respectively, and mixed
Prepare powder. Further, for the obtained mixture powder,
Add 2% by volume of seton and PVB resin to the balls.
Mill in a mill for 20 hours to form a slurry. this
In the case of BaTi FourO9Once the ceramic powder
After being calcined at a high temperature of 1500 ° C or higher, it is powdered to a specified particle size.
It is prepared by crushing.

【0030】さらに、こうして得られたスラリを先の実
施例1の場合と同様に乾燥し、溶剤を除去した後、らい
かい機を使って粉砕し、混合粉末原料を形成する。得ら
れた混合粉末原料を金型中で5MPaの圧力で加圧成型
し、大気中、900℃で2時間焼成して誘電体材料を得
る。
Further, the slurry thus obtained is dried in the same manner as in Example 1 above, the solvent is removed, and then the slurry is pulverized by using a raker machine to form a mixed powder raw material. The obtained mixed powder raw material is pressure-molded in a mold at a pressure of 5 MPa and fired in the air at 900 ° C. for 2 hours to obtain a dielectric material.

【0031】このようにして得られた誘電体材料につい
て相対密度を測定したところ、99%以上の値が得られ
た。また誘電特性を2GHzの周波数で測定したとこ
ろ、空洞共振器法で測定したQ値が3200、比誘電率
は32であることが確認された。
When the relative density of the dielectric material thus obtained was measured, a value of 99% or more was obtained. When the dielectric characteristics were measured at a frequency of 2 GHz, it was confirmed that the Q value measured by the cavity resonator method was 3200 and the relative permittivity was 32.

【0032】以下の表1は、このようにして形成された
マイクロ波誘電体組成物の誘電率、Q値、焼成温度、お
よび焼成温度に対応した、使用可能な電極材料を、従来
のマイクロ波誘電体組成物に対して行った比較実験の結
果と共に示す。
Table 1 below shows usable electrode materials corresponding to the permittivity, Q value, firing temperature, and firing temperature of the microwave dielectric composition thus formed, and the conventional microwave The results are shown together with the results of comparative experiments performed on the dielectric composition.

【0033】[0033]

【表1】 表1を参照するに、前記実施例1〜実施例5で得られた
マイクロ波誘電体組成物は、Agを電極材料として使用
可能な900℃の温度で焼成されているにもかかわら
ず、Q値が2000を超えており、用途に応じて30以
上の高い比誘電率あるいは10未満の低い比誘電率を実
現できているのがわかる。本発明で使われる非晶質ガラ
スあるいは結晶化ガラスは400〜900℃の範囲の軟
化点を有しているため、Ag,Au,Cuなどの低抵抗
金属電極がマイクロ波誘電体組成物層の間に挟持される
ような構成の受動部品を、簡単な焼成工程により形成す
ることが可能になる。
[Table 1] Referring to Table 1, even though the microwave dielectric compositions obtained in Examples 1 to 5 were fired at a temperature of 900 ° C. at which Ag can be used as an electrode material, The value exceeds 2000, and it can be seen that a high dielectric constant of 30 or more or a low dielectric constant of less than 10 can be realized depending on the application. Since the amorphous glass or crystallized glass used in the present invention has a softening point in the range of 400 to 900 ° C., a low resistance metal electrode such as Ag, Au, or Cu is used as a microwave dielectric composition layer. It becomes possible to form a passive component that is sandwiched between the components by a simple firing process.

【0034】本発明で使われるセラミック粉末は、先に
も説明したようにセラミック原料をいったん1500℃
以上の高温で仮焼した後、所定の粒径に粉砕して調製し
た、非常に高いQ値を有するものであるが、前記実施例
1〜5の結果は、このようなセラミック原料を、軟化点
が400〜900℃の非晶質ガラスあるいは結晶化ガラ
スと組み合わせて使った場合には、Q値の劣化が生じな
い、あるいはわずかであることを示している。
The ceramic powder used in the present invention is obtained by once preparing the ceramic raw material at 1500 ° C. as described above.
It has a very high Q value, which was prepared by calcination at the above high temperature and then pulverized to a predetermined particle size. The results of Examples 1 to 5 show that such ceramic raw materials were softened. When used in combination with an amorphous glass or a crystallized glass having a point of 400 to 900 ° C., it is shown that the Q value does not deteriorate or is slight.

【0035】これに対し、従来のアルミナ粉末とガラ
ス、あるいはCaZrO3粉末とガラスを使ったマイク
ロ波誘電体組成物では、焼成温度をCuが電極材料とし
て使用可能な1000℃に設定しても、せいぜい150
〜200のQ値しか実現できていないことがわかる。こ
れは、セラミック粉末自体は高いQ値を有していても、
ガラス中に分散させた場合にマイクロ波誘電体組成物全
体のQ値は大きく低下していることを示している。
On the other hand, in the conventional microwave dielectric composition using alumina powder and glass or CaZrO 3 powder and glass, even if the firing temperature is set to 1000 ° C. at which Cu can be used as an electrode material, No more than 150
It can be seen that only a Q value of ~ 200 has been realized. This means that even if the ceramic powder itself has a high Q value,
It shows that the Q value of the entire microwave dielectric composition is greatly reduced when dispersed in glass.

【0036】このように、本発明によれば、低抵抗金属
と共にLC回路やマイクロストリップラインを構成する
のに適したマイクロ波誘電体組成物を実現することが可
能になる。その際、マイクロ波誘電体組成物を構成する
各成分は、その材料単独で、1GHz以上100GHz
以下の周波数帯域におけるQ値が1000以上であるの
が好ましい。
As described above, according to the present invention, it becomes possible to realize a microwave dielectric composition suitable for forming an LC circuit or a microstrip line together with a low resistance metal. At that time, each component constituting the microwave dielectric composition is made of the material alone and is 1 GHz or more and 100 GHz or more.
The Q value in the following frequency bands is preferably 1000 or more.

【0037】なお、本発明において、非晶質ガラスある
いは結晶化ガラス中に分散される酸化物セラミックス粉
末は上記の組成のものに限定されるものではなく、Ba
Ti 49,Ba2Ti920,Ba(Zn1/3Ta2/3)O
3,Ba(Zn1/3Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta
2/3)O3,Ba(Co1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/ 3
Nb2/3)O3,Ba(Ni1/3Ta2/3)O3およびTi
2から選ぶことが可能である。
In the present invention, amorphous glass is used.
Oxide ceramic powder dispersed in crystallized glass
The powder is not limited to the above composition,
Ti FourO9, Ba2Ti9O20, Ba (Zn1/3Ta2/3) O
3, Ba (Zn1/3Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta
2/3) O3, Ba (Co1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1 / 3
Nb2/3) O3, Ba (Ni1/3Ta2/3) O3And Ti
O2It is possible to choose from.

【0038】また本発明では非晶質ガラスとして、Si
2成分とAl23成分の合計が85%以上のものを使
うことが可能である。
In the present invention, Si is used as the amorphous glass.
It is possible to use those in which the total of O 2 component and Al 2 O 3 component is 85% or more.

【0039】また本発明では結晶化ガラスとして、Ca
SiO3,Nd2TiO7,CaMgSi24のいずれかの
結晶相を析出するものを使うことができる。
In the present invention, Ca is used as the crystallized glass.
It is possible to use one that precipitates any one of the crystal phases of SiO 3 , Nd 2 TiO 7 , and CaMgSi 2 O 4 .

【0040】さらに本発明のマイクロ波誘電体組成物で
は、第3の成分として、純度99%以上のアルミナ、純
度99%以上の石英ガラス、CaZrO3,BaTi
3,MgO,ZrSnTiO4,CaTiO3,MgT
iO3,SrTiO3のいずれかを添加することも可能で
ある。[第2の実施の形態]図1は、本発明のマイクロ
波誘電体組成物を使った積層LCフィルタ10の構成
を、また図2はその等価回路を、さらに図3はその周波
数特性を示す。
Further, in the microwave dielectric composition of the present invention, as the third component, alumina having a purity of 99% or more, quartz glass having a purity of 99% or more, CaZrO 3 , BaTi.
O 3 , MgO, ZrSnTiO 4 , CaTiO 3 , MgT
It is also possible to add either iO 3 or SrTiO 3 . [Second Embodiment] FIG. 1 shows the structure of a laminated LC filter 10 using the microwave dielectric composition of the present invention, FIG. 2 shows its equivalent circuit, and FIG. 3 shows its frequency characteristic. .

【0041】図1を参照するに、積層LCフィルタ10
は先の実施例1,2あるいは4,5の高誘電率マイクロ
波誘電体組成物よりなる誘電体層11,13,15を積
層した構造を有し、前記誘電体層11と13の間には、
図2のインダクタンスLを構成する電極層12が形成さ
れている。
Referring to FIG. 1, a laminated LC filter 10
Has a structure in which dielectric layers 11, 13 and 15 made of the high dielectric constant microwave dielectric composition of the first, second or fourth and fifth embodiments are laminated, and between the dielectric layers 11 and 13. Is
The electrode layer 12 forming the inductance L of FIG. 2 is formed.

【0042】また前記誘電体層13と15との間には接
地電極層14が挟持されており、前記誘電体15中には
図2のキャパシタンスCを構成する電極層16とキャパ
シタンスCcを構成する電極層17とが埋め込まれてい
る。前記電極層16は電極層12に、前記電極層14お
よび誘電体層13中に形成された導体プラグ16Aを介
して接続されている。
Further, the ground electrode layer 14 is sandwiched between the dielectric layers 13 and 15, and the dielectric layer 15 forms the capacitance Cc and the electrode layer 16 constituting the capacitance C of FIG. The electrode layer 17 is embedded. The electrode layer 16 is connected to the electrode layer 12 via a conductor plug 16A formed in the electrode layer 14 and the dielectric layer 13.

【0043】また、積層LCフィルタ10の全体は、接
地電極18により覆われている。
The whole laminated LC filter 10 is covered with the ground electrode 18.

【0044】このような構成を有する積層LCフィルタ
10は、図2に示すように内部に相互インダクタンスM
および相互キャパシタンスCmで結合された一対のLC
共振回路を有し、図3に示すような通過帯域特性のバン
ドパスフィルタを構成する。
The laminated LC filter 10 having such a structure has a mutual inductance M inside as shown in FIG.
And a pair of LCs coupled by mutual capacitance Cm
A bandpass filter having a resonance circuit and a pass band characteristic as shown in FIG. 3 is configured.

【0045】図4は、図1中の電極層12,14,1
6,17,18の構成を示す。図1に示す積層LCフィ
ルタ10の断面図は、図4中の破線に沿った断面に対応
している。
FIG. 4 shows the electrode layers 12, 14, 1 in FIG.
The configurations of 6, 17, and 18 are shown. The cross-sectional view of the laminated LC filter 10 shown in FIG. 1 corresponds to the cross section taken along the broken line in FIG.

【0046】図4を参照するに、電極層12は二つの電
極パターン12A,12Bにより構成されており、前記
電極パターン12A,12Bの間隔によりLC回路の相
互インダクタンスMが決定される。前記電極層16は電
極パターン16Cおよび16Dよりなり、前記電極パタ
ーン16Cに対応して前記導体プラグ16Aが、また電
極パターン16Cに対応して導体プラグ16Bが形成さ
れている。また電極層14中には導体プラグ16A,1
6Bに対応してスルーホール14A,14Bが形成され
ているのがわかる。
Referring to FIG. 4, the electrode layer 12 is composed of two electrode patterns 12A and 12B, and the mutual inductance M of the LC circuit is determined by the distance between the electrode patterns 12A and 12B. The electrode layer 16 is composed of electrode patterns 16C and 16D, and the conductor plug 16A is formed corresponding to the electrode pattern 16C and the conductor plug 16B is formed corresponding to the electrode pattern 16C. In the electrode layer 14, conductor plugs 16A, 1
It can be seen that through holes 14A and 14B are formed corresponding to 6B.

【0047】さらに前記電極層17は電極パターン17
A,17Bよりなり、電極パターン17A,17Bの間
隔を制御することにより、図1のキャパシタンスCmが
決定される。
Further, the electrode layer 17 is an electrode pattern 17
The capacitance Cm of FIG. 1 is determined by controlling the distance between the electrode patterns 17A and 17B.

【0048】本発明では、先に説明した低温焼成可能な
マイクロ波誘電体組成物を使うことにより、このような
誘電体層の間あるいは内部に金属電極層を含む積層LC
フィルタ10を、単純な空気中における焼成工程により
形成することが可能になる。本発明のマイクロ波誘電体
組成物は、大きなQ値を特徴としており、優れた通過帯
域特性が得られる。また高い誘電率を有しているため、
積層LCフィルタ10を小型に形成することが可能にな
る。
In the present invention, by using the microwave dielectric composition which can be fired at a low temperature as described above, a laminated LC containing metal electrode layers between or inside such dielectric layers.
The filter 10 can be formed by a simple firing process in air. The microwave dielectric composition of the present invention is characterized by a large Q value, and has excellent pass band characteristics. Also, because it has a high dielectric constant,
It is possible to form the laminated LC filter 10 in a small size.

【0049】また、図示はしないが、先に実施例3で説
明した低誘電率マイクロ波誘電体組成物を使うことによ
り、損失の少ないマイクロストリップラインを構成する
ことが可能である。
Although not shown, it is possible to construct a microstrip line with less loss by using the low dielectric constant microwave dielectric composition previously described in Example 3.

【0050】以上、本発明を好ましい実施例について説
明したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるも
のではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において
様々な変形・変更が可能である。
Although the present invention has been described above with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to such specific embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. is there.

【0051】(付記1) 酸化物セラミックス粒子と、
前記酸化物セラミックス粒子が分散した酸化物系非晶質
ガラスとよりなる高誘電率マイクロ波誘電体組成物であ
って、前記酸化物セラミックス粒子は、BaTi49
Ba2Ti920,Ba(Zn 1/3Ta2/3)O3,Ba
(Zn1/3Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3
3,Ba(Co1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3Nb
2/3)O3,Ba(Ni1/3Ta2 /3)O3およびTiO2
りなる群から選択される少なくともひとつの成分を含む
ことを特徴とする高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 1) Oxide ceramic particles,
An oxide-based amorphous material in which the oxide ceramic particles are dispersed
A high dielectric constant microwave dielectric composition composed of glass
The oxide ceramic particles are made of BaTi.FourO9
Ba2Ti9O20, Ba (Zn 1/3Ta2/3) O3, Ba
(Zn1/3Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3)
O3, Ba (Co1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3Nb
2/3) O3, Ba (Ni1/3Ta2 / 3) O3And TiO2Yo
Contains at least one ingredient selected from the group consisting of
A high dielectric constant microwave dielectric composition characterized by the above.

【0052】(付記2) 前記酸化物系非晶質ガラス
は、SiO2成分およびAl23成分の合計含有量が8
5重量%以上のPbを含まないガラスであることを特徴
とする付記1記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 2) In the above oxide-based amorphous glass, the total content of SiO 2 component and Al 2 O 3 component is 8
The high dielectric constant microwave dielectric composition according to appendix 1, wherein the glass does not contain Pb in an amount of 5% by weight or more.

【0053】(付記3) 前記酸化物系非晶質ガラス
は、400〜900℃の範囲の軟化点有することを特徴
とする請求項1または2記載の高誘電率マイクロ波誘電
体組成物。
(Supplementary Note 3) The high dielectric constant microwave dielectric composition according to claim 1 or 2, wherein the oxide-based amorphous glass has a softening point in the range of 400 to 900 ° C.

【0054】(付記4) 前記酸化物セラミック粒子お
よび前記酸化物系非晶質ガラスは、いずれも単独で1G
Hz以上100GHz以下の周波数帯域において、20
0以上のQ値を有することを特徴とする付記1〜3のう
ち、いずれか一項記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成
物。
(Supplementary Note 4) Each of the oxide ceramic particles and the oxide-based amorphous glass is 1 G alone.
20 in the frequency band from 100 Hz to 100 GHz
The high dielectric constant microwave dielectric composition according to any one of appendices 1 to 3, which has a Q value of 0 or more.

【0055】(付記5) 酸化物セラミックス粒子と、
前記酸化物セラミックス粒子が分散した酸化物系結晶化
ガラスとよりなるマイクロ波誘電体組成物であって、前
記酸化物セラミックス粒子は、BaTi49,Ba2
920,Ba(Zn 1/3Ta2/3)O3,Ba(Zn1/3
Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba(C
1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3Nb2/3)O3,Ba
(Ni1/3Ta2 /3)O3およびTiO2よりなる群から選
択される少なくともひとつの成分を含むことを特徴とす
る高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 5) Oxide ceramic particles,
Oxide-based crystallization in which the oxide ceramic particles are dispersed
A microwave dielectric composition comprising glass, comprising:
The oxide ceramic particles are made of BaTi.FourO9, Ba2T
i9O20, Ba (Zn 1/3Ta2/3) O3, Ba (Zn1/3
Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3) O3, Ba (C
o1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3Nb2/3) O3, Ba
(Ni1/3Ta2 / 3) O3And TiO2Selected from the group consisting of
Characterized by containing at least one selected ingredient
A high dielectric constant microwave dielectric composition.

【0056】(付記6) 前記酸化物系結晶化ガラス
は、CaSiO3,Nd2TiO7およびCaMgSi2
4のいずれかの結晶相が析出することを特徴とする付記
5記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 6) The oxide-based crystallized glass is composed of CaSiO 3 , Nd 2 TiO 7 and CaMgSi 2 O.
6. The high dielectric constant microwave dielectric composition according to appendix 5, wherein any one of the crystal phases of 4 is precipitated.

【0057】(付記7) 前記酸化物系結晶化ガラス
は、Pbを含まないガラスであり、400〜900℃の
範囲の軟化点有することを特徴とする付記5または6記
載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 7) The oxide-type crystallized glass is a glass that does not contain Pb and has a softening point in the range of 400 to 900 ° C., which is the high dielectric constant microwave of Supplementary Note 5 or 6. Dielectric composition.

【0058】(付記8) 前記酸化物セラミック粒子お
よび前記酸化物系結晶化ガラスの各々は、1GHz以上
100GHz以下の周波数帯域において200以上のQ
値を有することを特徴とする付記5〜7のうち、いずれ
か一項記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 8) Each of the oxide ceramic particles and the oxide-based crystallized glass has a Q of 200 or more in a frequency band of 1 GHz or more and 100 GHz or less.
The high dielectric constant microwave dielectric composition according to any one of appendices 5 to 7, which has a value.

【0059】(付記9) さらに第三成分として、純度
99%以上のアルミナ、純度99%以上の石英ガラス、
CaZrO3,BaTiO3,MgO,ZrSnTi
4,CaTiO3,MgTiO3,SrTiO3の少なく
とも一つを含むことを特徴とする付記1〜8のうち、い
ずれか一項記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 9) As the third component, alumina having a purity of 99% or more, quartz glass having a purity of 99% or more,
CaZrO 3 , BaTiO 3 , MgO, ZrSnTi
9. The high dielectric constant microwave dielectric composition according to any one of appendices 1 to 8, which contains at least one of O 4 , CaTiO 3 , MgTiO 3 , and SrTiO 3 .

【0060】(付記10) 900℃において焼成した
場合に98%以上のかさ密度を有することを特徴とする
付記1〜9のうち、いずれか一項記載の高誘電率マイク
ロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 10) The high dielectric constant microwave dielectric composition according to any one of Supplementary Notes 1 to 9, which has a bulk density of 98% or more when fired at 900 ° C.

【0061】(付記11) 純度99%以上のアルミナ
粒子と、前記アルミナ粒子が分散した酸化物系非晶質ガ
ラスとよりなることを特徴とする低誘電率マイクロ波誘
電体組成物。
(Supplementary Note 11) A low dielectric constant microwave dielectric composition comprising alumina particles having a purity of 99% or more and oxide-based amorphous glass in which the alumina particles are dispersed.

【0062】(付記12) 前記酸化物系非晶質ガラス
は、SiO2成分とAl23成分の合計が85重量%以
上の、Pbを含まないガラスであることを特徴とする付
記11記載の低誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 12) The supplementary note 11 characterized in that the oxide-based amorphous glass is a Pb-free glass in which the total of SiO 2 component and Al 2 O 3 component is 85% by weight or more. Low dielectric constant microwave dielectric composition of.

【0063】(付記13) 前記酸化物系非晶質ガラス
は、400〜900℃の範囲の軟化点を有することを特
徴とする付記11または12記載の低誘電率マイクロ波
誘電体組成物。
(Supplementary note 13) The low dielectric constant microwave dielectric composition according to supplementary note 11 or 12, wherein the oxide-based amorphous glass has a softening point in the range of 400 to 900 ° C.

【0064】(付記14) 前記アルミナおよび酸化物
系ガラスの各々は、1GHz以上500GHz以下の周
波数帯域において200以上のQ値を有することを特徴
とする付記11〜13のうち、いずれか一項記載の低誘
電率マイクロ波誘電体組成物。
(Additional remark 14) Each of the above-mentioned alumina and oxide-based glass has a Q value of 200 or more in a frequency band of 1 GHz or more and 500 GHz or less. Low dielectric constant microwave dielectric composition of.

【0065】(付記15) 純度99%以上のアルミナ
粒子と、前記アルミナ粒子が分散した酸化物系結晶化ガ
ラスとよりなることを特徴とする低誘電率マイクロ波誘
電体組成物。
(Supplementary Note 15) A low dielectric constant microwave dielectric composition comprising alumina particles having a purity of 99% or more and oxide crystallized glass in which the alumina particles are dispersed.

【0066】(付記16) 前記結晶化ガラスは、Ca
SiO3,Nd2TiO7,CaMgSi24のいずれか
の結晶相を析出することを特徴とする付記15記載の低
誘電率マイクロ波誘電体組成物。
(Supplementary Note 16) The crystallized glass is Ca
16. The low dielectric constant microwave dielectric composition according to appendix 15, wherein a crystal phase of any one of SiO 3 , Nd 2 TiO 7 and CaMgSi 2 O 4 is deposited.

【0067】(付記17) 900℃で焼成した場合の
かさ密度が98%以上であることを特徴とする付記11
〜16のうち、いずれか一項記載の低誘電率マイクロ波
誘電体組成物。
(Supplementary Note 17) Supplementary Note 11 characterized in that the bulk density when fired at 900 ° C. is 98% or more.
16. The low dielectric constant microwave dielectric composition according to claim 1.

【0068】[0068]

【発明の効果】本発明によれば、高いQ値を有するセラ
ミック粒子と高いQ値を有する非晶質ガラスあるいは結
晶化ガラスを組み合わせて使うことにより、約900℃
以下の低温で焼成が可能で、非常に高いQ値を有し、高
い誘電率あるいは低い誘電率を有するマイクロ波誘電体
組成物が得られる。
According to the present invention, ceramic particles having a high Q value and amorphous glass or crystallized glass having a high Q value are used in combination to obtain a temperature of about 900 ° C.
A microwave dielectric composition which can be fired at the following low temperatures, has a very high Q value, and has a high dielectric constant or a low dielectric constant is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第2実施例による積層LCフィルタの
構成を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a laminated LC filter according to a second embodiment of the present invention.

【図2】図1の積層LCフィルタの等価回路を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing an equivalent circuit of the laminated LC filter of FIG.

【図3】図1の積層LCフィルタの周波数特性を示す図
である。
FIG. 3 is a diagram showing frequency characteristics of the laminated LC filter of FIG.

【図4】図1の積層LCフィルタ中において使われる電
極層のパターンを示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a pattern of electrode layers used in the laminated LC filter of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,13,15 マイクロ波誘電体組成物層 12,14,16,17 電極層 16A,16B 導体プラグ 18 接地電極層 11, 13, 15 Microwave dielectric composition layer 12, 14, 16, 17 Electrode layer 16A, 16B conductor plug 18 Ground electrode layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C04B 35/46 H01B 3/02 A C04B 35/00 J 35/49 35/10 D H01B 3/02 35/16 Z Fターム(参考) 4G030 AA07 AA08 AA10 AA16 AA17 AA20 AA21 AA28 AA29 AA32 AA37 AA39 BA09 CA01 4G031 AA03 AA04 AA06 AA11 AA14 AA15 AA22 AA23 AA26 AA29 AA30 AA31 BA09 CA01 5G303 AA01 AA02 AB05 AB15 CA03 CB03 CB06 CB09 CB21 CB22 CB33 CB35 CB38 CC08 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) C04B 35/46 H01B 3/02 A C04B 35/00 J 35/49 35/10 D H01B 3/02 35 / 16 ZF Term (reference) 4G030 AA07 AA08 AA10 AA16 AA17 AA20 AA21 AA28 AA29 AA32 AA37 AA39 BA09 CA01 4G031 AA03 AA04 AA06 AA11 AA14 AA15 CB33 CB33 A02 CB03 A01 AA22 AA30 AA30 AA30 AA30 AA30 CB38 CC08

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 酸化物セラミックス粒子と、前記酸化物
セラミックス粒子が分散した酸化物系非晶質ガラスとよ
りなる高誘電率マイクロ波誘電体組成物であって、 前記酸化物セラミックス粒子は、BaTi49,Ba2
Ti920,Ba(Zn 1/3Ta2/3)O3,Ba(Zn
1/3Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba
(Co1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3Nb2/3)O3
Ba(Ni1/3Ta2 /3)O3およびTiO2よりなる群か
ら選択される少なくともひとつの成分を含むことを特徴
とする高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
1. Oxide ceramic particles and the oxide
It is called oxide-based amorphous glass in which ceramic particles are dispersed.
A high dielectric constant microwave dielectric composition comprising: The oxide ceramic particles are made of BaTi.FourO9, Ba2
Ti9O20, Ba (Zn 1/3Ta2/3) O3, Ba (Zn
1/3Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3) O3, Ba
(Co1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3Nb2/3) O3
Ba (Ni1/3Ta2 / 3) O3And TiO2A group of
Characterized by containing at least one component selected from
And a high dielectric constant microwave dielectric composition.
【請求項2】 前記酸化物系非晶質ガラスは、400〜
900℃の範囲の軟化点有することを特徴とする請求項
1記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
2. The oxide-based amorphous glass is 400 to
The high dielectric constant microwave dielectric composition according to claim 1, having a softening point in the range of 900 ° C.
【請求項3】 酸化物セラミックス粒子と、前記酸化物
セラミックス粒子が分散した酸化物系結晶化ガラスとよ
りなるマイクロ波誘電体組成物であって、 前記酸化物セラミックス粒子は、BaTi49,Ba2
Ti920,Ba(Zn 1/3Ta2/3)O3,Ba(Zn
1/3Nb2/3)O,Ba(Mg1/3Ta2/3)O3,Ba
(Co1/3Ta2/3)O3,Ba(Co1/3Nb2/3)O3
Ba(Ni1/3Ta2 /3)O3およびTiO2よりなる群か
ら選択される少なくともひとつの成分を含むことを特徴
とする高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
3. Oxide ceramic particles and the oxide
It is called oxide crystallized glass in which ceramic particles are dispersed.
A microwave dielectric composition comprising: The oxide ceramic particles are made of BaTi.FourO9, Ba2
Ti9O20, Ba (Zn 1/3Ta2/3) O3, Ba (Zn
1/3Nb2/3) OThree, Ba (Mg1/3Ta2/3) O3, Ba
(Co1/3Ta2/3) O3, Ba (Co1/3Nb2/3) O3
Ba (Ni1/3Ta2 / 3) O3And TiO2A group of
Characterized by containing at least one component selected from
And a high dielectric constant microwave dielectric composition.
【請求項4】 前記酸化物系結晶化ガラスは、CaSi
3,Nd2TiO7およびCaMgSi24,TiO2
いずれかの結晶相が析出することを特徴とする請求項3
記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
4. The oxide-based crystallized glass is CaSi.
The crystal phase of any one of O 3 , Nd 2 TiO 7 and CaMgSi 2 O 4 , TiO 2 is precipitated.
A high dielectric constant microwave dielectric composition as described.
【請求項5】 前記酸化物系結晶化ガラスは、Pbを含
まないガラスであり、400〜900℃の範囲の軟化点
有することを特徴とする請求項3または4記載の高誘電
率マイクロ波誘電体組成物。
5. The high dielectric constant microwave dielectric material according to claim 3, wherein the oxide-based crystallized glass is a glass not containing Pb and has a softening point in the range of 400 to 900 ° C. Body composition.
【請求項6】 さらに第三成分として、純度99%以上
のアルミナ、純度99%以上の石英ガラス、CaZrO
3,BaTiO3,MgO,ZrSnTiO4,CaTi
3,MgTiO3,SrTiO3の少なくとも一つを含
むことを特徴とする請求項1〜5のうち、いずれか一項
記載の高誘電率マイクロ波誘電体組成物。
6. Further, as a third component, alumina having a purity of 99% or more, quartz glass having a purity of 99% or more, CaZrO.
3 , BaTiO 3 , MgO, ZrSnTiO 4 , CaTi
The high dielectric constant microwave dielectric composition according to any one of claims 1 to 5, comprising at least one of O 3 , MgTiO 3 , and SrTiO 3 .
【請求項7】 純度99%以上のアルミナ粒子と、前記
アルミナ粒子が分散した酸化物系非晶質ガラスとよりな
ることを特徴とする低誘電率マイクロ波誘電体組成物。
7. A low dielectric constant microwave dielectric composition comprising alumina particles having a purity of 99% or more and oxide-based amorphous glass in which the alumina particles are dispersed.
【請求項8】 前記酸化物系非晶質ガラスは、400〜
900℃の範囲の軟化点を有することを特徴とする請求
項7記載の低誘電率マイクロ波誘電体組成物。
8. The oxide-based amorphous glass is 400 to
The low dielectric constant microwave dielectric composition according to claim 7, which has a softening point in the range of 900 ° C.
【請求項9】 純度99%以上のアルミナ粒子と、前記
アルミナ粒子が分散した酸化物系結晶化ガラスとよりな
ることを特徴とする低誘電率マイクロ波誘電体組成物。
9. A low dielectric constant microwave dielectric composition comprising alumina particles having a purity of 99% or more and oxide crystallized glass in which the alumina particles are dispersed.
【請求項10】 前記結晶化ガラスは、CaSiO3
Nd2TiO7,CaMgSi24,TiO2のいずれか
の結晶相を析出することを特徴とする請求項9記載の低
誘電率マイクロ波誘電体組成物。
10. The crystallized glass is CaSiO 3 ,
The low dielectric constant microwave dielectric composition according to claim 9, wherein a crystal phase of any one of Nd 2 TiO 7 , CaMgSi 2 O 4 , and TiO 2 is deposited.
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JP2005015694A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Asahi Glass Co Ltd Dielectric-resin composite material and method for producing the same
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