JP2003157762A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法Info
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Abstract
基板におけるガラス基板の着色を抑制することを目的と
する。 【解決手段】 少なくともガラス基板上に複数の透明電
極2a,3aと複数のバス電極2b,3bと複数のブラ
ックストライプを有するプラズマディスプレイパネルの
製造方法であって、少なくとも表示領域全面に透明電極
膜14を形成した後、バス電極2b,3bとブラックス
トライプを形成し、その後透明電極膜14を所定のパタ
ーン形状にパターニングする方法である。これにより、
錫イオンと銀イオン間で起こる還元反応が起こらないこ
とから、青色光付近の吸収を持つ銀コロイドが生成され
ず、前記基板の着色が抑制される。
Description
軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法に関するものである。
DP)を用いたディスプレイは、視認性に優れた表示パ
ネル(薄型表示デバイス)として注目されており、高精
細化および大画面化が進められている。
C型とDC型があり、放電形式では面放電型と対向放電
型の2種類があるが、高精細化、大画面化および製造の
簡便性から、現状では、AC型で面放電型のPDPが主
流を占めるようになってきている。
示している。図4に示すように、透明な前面基板として
のガラス基板1上には、走査電極2と維持電極3とで対
をなすストライプ状の表示電極4が複数対形成され、そ
してガラス基板1上の隣り合う表示電極4間にはブラッ
クストライプ5が配置形成されている。この走査電極2
および維持電極3は、それぞれ透明電極2a,3aおよ
びこの透明電極2a,3aに電気的に接続された銀等の
バス電極2b,3bとから構成されている。また、前記
ガラス基板1には、前記複数対の電極群を覆うように誘
電体層6が形成され、その誘電体層6上には保護膜7が
形成されている。
背面としてのガラス基板8上には、走査電極2及び維持
電極3の表示電極4と直交する方向に、絶縁体層9で覆
われた複数のストライプ状のデータ電極10が形成され
ている。このデータ電極10間の絶縁体層9上には、デ
ータ電極10と平行にストライプ状の複数の隔壁11が
配置され、この隔壁11間の側面11aおよび絶縁体層
9の表面に蛍光体層12が設けられている。
は、走査電極2および維持電極3とデータ電極10とが
直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置され
るとともに、周囲が封止され、そして前記放電空間に
は、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンのうちの一
種または混合ガスが放電ガスとして封入されている。ま
た、放電空間は、隔壁11によって複数の区画に仕切る
ことにより、表示電極4とデータ電極10との交点が位
置する複数の放電セル13が設けられ、その各放電セル
13には、赤色、緑色及び青色となるように蛍光体層1
2が一色ずつ順次配置されている。
ように、M行×N列の放電セルからなるマトリックス構
成であり、行方向にはM行の走査電極SCN1〜SCNM
および維持電極SUS1〜SUSMが配列され、列方向に
はN列のデータ電極D1〜DNが配列されている。
構成されており、面放電を行うバス電極が形成されるガ
ラス基板は前面基板と呼ばれ、もう一方の隔壁が形成さ
れるガラス基板は背面基板と呼ばれる。前面基板の断面
構造を図6に示しており、前面基板はフロート法を用い
て製造されたガラス基板1に透明電極2a,3a、バス
電極2b,3b、ブラックストライプ(黒色絶縁体)5
が形成され、その上に透明な誘電体層6、MgOからな
る保護層7が形成された構造をしている。
に示すように、まずガラス基板1上に透明電極膜14を
スパッタ法で少なくとも表示領域全面に形成し、図7
(b)のようにエッチングによりパターニングを行い、
所定のパターン形状の透明電極2a,3aを形成する。
その後、図7(c)のようにバス電極2b,3b及びブ
ラックストライプ5をフォトリソ法、シート工法あるい
はパターン印刷法等を用いて形成し、その上からダイコ
ート法、シートラミネート法もしくは印刷法で誘電体層
6を形成し、さらにその上からMgOをスパッタ法で形
成する。このバス電極2b,3b、ブラックストライプ
5及び誘電体層6を形成する際に、ピーク温度が500
℃以上の熱処理が必要になる。
を用いて製造したガラス基板には、その製法上、ガラス
表面から十数ミクロン内部にかけて錫イオンが存在す
る。この錫イオンと銀イオンを合わせて熱処理すると、
銀イオンが錫イオンによって還元されて金属となり、そ
れが凝集してコロイドとなる。このコロイドの大きさが
10〜400nm程度に成長すると、波長400〜50
0nmの光を吸収するためにガラスが黄色に着色する。
PDPの前面基板はガラス基板1上にパターニングした
透明電極2a,3aを挟んでバス電極2b,3bを形成
するため、熱処理を行う度に図7(d)のように、バス
電極2b,3bから銀イオン15がガラス基板1に拡散
して錫イオンと出会い、ガラスを黄色に着色する。ガラ
ス基板1が黄色に着色すると、パネルを点灯したとき、
色温度が低下するという課題があった。
で、ガラス基板の着色を抑制することを目的とするもの
である。
に本発明は、少なくとも前面基板上に複数の透明電極と
複数のバス電極と複数のブラックストライプを有するプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法であって、少なく
とも表示領域全面に透明電極膜を形成した後、バス電極
とブラックストライプを形成し、その後透明電極膜を所
定のパターン形状に加工することを特徴とする。
時に形成し、その後透明電極膜を所定のパターン形状に
加工することを特徴とする。
数の透明電極と複数のバス電極を有するプラズマディス
プレイパネルの製造方法であって、少なくとも表示領域
全面に透明電極膜を形成した後、バス電極を形成し、そ
の後透明電極膜を所定のパターン形状に加工することを
特徴とする。
SnO2により形成している。この成膜方法としては、
スパッタ法があり、そのパターニング方法としてはエッ
チングを用いる。また、バス電極は少なくともAgを含
む材料であり、そのパターニング方法としてはフォトリ
ソあるいはパターン印刷法を用いる。また、ブラックス
トライプは少なくとも黒色顔料を含む材料であり、パタ
ーニング方法としてはフォトリソあるいはパターン印刷
法を用いる。
いられるITO膜およびSnO2膜は、図2に示すよう
にその膜内を通過するような銀粒子の拡散に対して高い
抑制能力を持っており、この透明電極のパターニングを
銀電極の焼成工程以降に行うことにより、焼成工程によ
るガラス基板上への銀拡散を抑制し、少なくとも1回以
上の熱処理によるガラス基板の着色を抑制することがで
き、これにより高色温度のプラズマディスプレイパネル
を製造することができる。
いて図面を用いて説明する。
マディスプレイパネルの製造方法において、前面基板の
製造工程を示す概略図であり、図1において図7に示す
工程と同一部分については同一番号を付している。
製造されたガラス基板1上に、スパッタ法を用いて透明
電極膜14を形成する。このとき、透明電極材料はIT
OもしくはSnO2により構成する。
記透明電極膜付きのガラス基板1上に黒色導電体ペース
トのベタ膜を形成し、これをIR乾燥炉もしくは温風乾
燥炉で乾燥させる。さらにこの膜上に感光性銀ペースト
膜を同様の方法で、少なくとも1層形成する。この電極
積層膜を所望パターンのマスクを用いて紫外線露光した
後、現像液で未露光部を現像してバス電極乾燥膜16を
形成する。その後、図1(c)のようにピーク温度50
0℃以上で熱処理することにより、バス電極膜中のバイ
ンダー成分を除去し、バス電極2b,3bを形成する。
この熱処理中に銀イオン15が透明電極膜14表面上に
拡散するが、透明電極膜14中には拡散し難いため、フ
ロートガラスに存在する錫イオンと出会うことはない。
したがってガラス基板1が着色することもない。その後
バス電極形成法と同様にフォトリソ法を用いてブラック
ストライプを形成する。このときにも熱処理を行うが、
前記理由によりガラス基板1は着色しない。
布する前に透明電極膜14のパターニングを行う。パタ
ーニングはウエットエッチング法あるいはドライエッチ
ング法を用いて行う。
パターン印刷法もしくは感光性シートを用いたフォトリ
ソ法でもよい。また、ブラックストライプをバス電極よ
り先に形成してもよいし、ブラックストライプを形成し
なくてもよい。また、バス電極とブラックストライプを
同時に形成してもよい。
成する場合、まずフロート法で製造されたガラス基板上
に、スパッタ法を用いて透明電極材料のベタ膜を形成す
る。このとき、透明電極材料はITOもしくはSnO2
である。次に、印刷機により前記透明電極膜付きのガラ
ス基板上に感光性黒色絶縁体ペーストあるいは感光性黒
色導体ペーストのベタ膜を形成し、これをIR乾燥炉も
しくは温風乾燥炉で乾燥させる。この感光性黒色膜を所
望ブラックストライプパターンのマスクを用いて紫外線
露光する。さらにこの膜上に感光性銀ペースト膜を同様
の方法で、少なくとも1層形成する。この電極積層膜を
所望パターンのマスクを用いて紫外線露光した後、現像
液で未露光部を現像してバス電極乾燥膜およびブラック
ストライプ乾燥膜を同時に形成する。その後ピーク温度
500℃以上で熱処理することにより、バス電極膜およ
びブラックストライプ中のバインダー成分を除去し、前
記バス電極およびブラックストライプを焼結し、形成す
る。この熱処理中に銀イオンが透明電極膜表面上に拡散
するが、透明電極膜中には拡散し難いため、フロートガ
ラスに存在する錫イオンと出会うことはなく、したがっ
てガラス基板が着色することもない。その後、誘電体層
を塗布する前に透明電極膜のパターニングを行う。パタ
ーニングはウエットエッチング法あるいはドライエッチ
ング法を用いて行う。
止の効果を説明するための特性図であり、特性Aはフロ
ートガラスに透明電極膜としてのITO膜を形成した場
合のもの、特性Bはフロートガラスのみの場合のもので
あり、それぞれ銀電極を形成したものを600℃の温度
で焼成を繰り返したときの着色(黄色)度合いを比較し
たものである。b*値が大きいほど着色度合いが大きい
ことがわかる。
方法における着色の状況を比較して示す特性図であり、
電極焼成前、電極焼成後、ブラックストライプ焼成後、
誘電体焼成後それぞれにおけるb*値を比較して示して
おり、この図3から明らかなように、本発明の方法によ
ればガラス基板の着色を防ぐことができる。
によるプラズマディスプレイパネルの製造方法によれ
ば、従来バス電極形成前に行う透明電極のパターニング
を透明誘電体形成直前に行うことにより、熱処理中にバ
ス電極から拡散した銀イオンがフロートガラス基板上の
錫イオンと接触することを防ぐことができ、その結果錫
イオンと銀イオン間で起こる還元反応が起こらないこと
から、青色光付近の吸収を持つ銀コロイドが生成され
ず、前記基板の着色が抑制されるという効果が得られ
る。
レイパネルの製造方法における前面基板の製造工程を示
す平面図
明するための特性図
を比較して示す特性図
図
Claims (5)
- 【請求項1】 少なくとも前面基板上に複数の透明電極
と複数のバス電極と複数のブラックストライプを有する
プラズマディスプレイパネルの製造方法であって、少な
くとも表示領域全面に透明電極膜を形成した後、バス電
極とブラックストライプを形成し、その後透明電極膜を
所定のパターン形状に加工することを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項2】 バス電極とブラックストライプを同時に
形成することを特徴とする請求項1に記載のプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項3】 少なくとも前面基板上に複数の透明電極
と複数のバス電極を有するプラズマディスプレイパネル
の製造方法であって、少なくとも表示領域全面に透明電
極膜を形成した後、バス電極を形成し、その後透明電極
膜を所定のパターン形状に加工することを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項4】 透明電極膜をITOもしくはSnO2に
より形成したことを特徴とする請求項1または3に記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項5】 バス電極を少なくともAgを含む材料に
より形成したことを特徴とする請求項1または3に記載
のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001354492A JP3960019B2 (ja) | 2001-11-20 | 2001-11-20 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP3960019B2 JP3960019B2 (ja) | 2007-08-15 |
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JP (1) | JP3960019B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100362614C (zh) * | 2004-07-13 | 2008-01-16 | 四川世纪双虹显示器件有限公司 | 一种制作气体放电显示屏的方法 |
-
2001
- 2001-11-20 JP JP2001354492A patent/JP3960019B2/ja not_active Expired - Fee Related
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