JP2003155600A - Plating apparatus for small-sized material - Google Patents

Plating apparatus for small-sized material

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JP2003155600A
JP2003155600A JP2001352892A JP2001352892A JP2003155600A JP 2003155600 A JP2003155600 A JP 2003155600A JP 2001352892 A JP2001352892 A JP 2001352892A JP 2001352892 A JP2001352892 A JP 2001352892A JP 2003155600 A JP2003155600 A JP 2003155600A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that electric field is concentrated to an edge of a cathode in electroplating for a small-sized material and a projecting part is formed in the deposited material on the cathode corresponding to the edge of the cathode and the projecting part disturbs the stirring of the material to make good and efficient plating impossible. SOLUTION: The electric field is distributed over the whole by forming a plurality of grooves 11 on the surface of the cathode in contact with the small-sized material to center the electric field also in the vicinity of the grooves 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、小型電子部品の
ような小型被めっき物に対して電気めっきを施すための
めっき装置に関するもので、特に、陰極の構造における
改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plating apparatus for electroplating a small object to be plated such as a small electronic component, and more particularly to an improvement in the cathode structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば、積層セラミックコンデンサ、
筒状コンデンサ、積層バリスタ、積層インダクタ等のチ
ップ状の小型電子部品の外表面上に形成される外部電極
には、しばしば、めっきが施される。このようなめっき
を電気めっきによって施そうとする場合、たとえば、特
開平5−70999号公報では、図6に示すようなめっ
き装置1が用いられている。
2. Description of the Related Art For example, a multilayer ceramic capacitor,
External electrodes formed on the outer surfaces of chip-shaped small electronic components such as cylindrical capacitors, laminated varistors, and laminated inductors are often plated. When performing such plating by electroplating, for example, in Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-70999, a plating apparatus 1 as shown in FIG. 6 is used.

【0003】図6を参照して、めっき装置1は、めっき
液2を貯留しているめっき槽3を備えている。めっき液
2中には、各々導体からなる陰極4および陽極5が浸漬
される。
Referring to FIG. 6, a plating apparatus 1 includes a plating tank 3 which stores a plating solution 2. A cathode 4 and an anode 5 each made of a conductor are immersed in the plating solution 2.

【0004】めっきされるべき複数個の小型被めっき物
6(その集合体を概略的に破線で示す。)は、めっき液
2中において、部品容器7内に収容されている。被めっ
き物6は、めっきされるべき複数個の小型電子部品6a
とともに、導体からなる複数個のメディア6bを含んで
いる。
A plurality of small objects to be plated 6 to be plated (the assembly thereof is schematically indicated by broken lines) are contained in a parts container 7 in the plating solution 2. The object to be plated 6 is a plurality of small electronic components 6a to be plated.
In addition, it includes a plurality of media 6b made of a conductor.

【0005】前述した電極4は、上述の部品容器7の底
面の一部を形成するように配置されている。したがっ
て、小型電子部品6aおよびメディア6bは、めっき液
2中において、陰極4の上に載せられた状態となる。
The above-mentioned electrode 4 is arranged so as to form a part of the bottom surface of the above-mentioned component container 7. Therefore, the small electronic component 6 a and the medium 6 b are placed on the cathode 4 in the plating solution 2.

【0006】部品容器7には、垂直シャフト8が設けら
れている。部品容器7は、垂直シャフト8によって与え
られる垂直軸線まわりに回転し、それによって、めっき
液2を攪拌し、また、部品容器7内の小型電子部品6a
およびメディア6bに対して攪拌作用を及ぼし、小型電
子部品6aの各々およびメディア6bの各々が、むらな
く陰極4に接触するようにされている。
The component container 7 is provided with a vertical shaft 8. The component container 7 rotates about a vertical axis provided by a vertical shaft 8 and thereby stirs the plating solution 2 and also small electronic components 6a in the component container 7.
Also, a stirring action is exerted on the medium 6b so that each of the small electronic components 6a and each of the media 6b contact the cathode 4 evenly.

【0007】このようなめっき装置1において、陰極4
と陽極5との間に通電するため、これらの間に所定の電
圧を印加すれば、小型電子部品6aの外部電極(図示せ
ず。)上にめっき膜が析出され、所望の電気めっきが施
される。
In such a plating apparatus 1, the cathode 4
Since a current is applied between the anode and the anode 5, if a predetermined voltage is applied between them, a plating film is deposited on an external electrode (not shown) of the small electronic component 6a, and desired electroplating is performed. To be done.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上述のようなめっき装
置1を用いてめっき処理を施す場合、陰極4の表面に、
めっきによる析出物が多かれ少なかれ形成されることは
避けられない。特に、小型電子部品6aやメディア6b
が陰極4に接触しない状況がより頻繁に生じるほど、陰
極4上への析出物がより多くなる。
When a plating process is performed using the plating apparatus 1 as described above, the surface of the cathode 4 is
It is inevitable that more or less deposits due to plating will form. In particular, small electronic components 6a and media 6b
The more often the situation occurs where the cathode does not contact the cathode 4, the more deposits on the cathode 4.

【0009】また、めっき装置1において、陰極4の、
小型電子部品6aおよびメディア6bに接触する面は、
これら小型電子部品6aおよびメディア6bの攪拌を妨
げないように、平滑な平面をもって与えられている。
In the plating apparatus 1, the cathode 4
The surface that contacts the small electronic component 6a and the medium 6b is
It is provided with a smooth flat surface so as not to disturb stirring of the small electronic components 6a and the medium 6b.

【0010】しかしながら、このように陰極4が平滑な
平面を有している場合、めっき処理中において、陰極4
のエッジ部分に電界が集中する傾向があり、図7に示す
ように、陰極4への析出物9は、陰極4のエッジ部分に
おいて突起10を形成してしまうことがある。
However, in the case where the cathode 4 has a smooth flat surface as described above, the cathode 4 can be processed during the plating process.
The electric field tends to concentrate on the edge portion of the cathode 4, and as shown in FIG. 7, the precipitate 9 on the cathode 4 may form a protrusion 10 at the edge portion of the cathode 4.

【0011】上述の突起10は、小型電子部品6aおよ
びメディア6bの攪拌を妨げ、また、めっき処理中にお
いて、析出物9の剥がれをより生じやすくしてしまう。
その結果、析出物9が、異物として、小型電子部品6a
上に付着してしまうこともある。
The above-mentioned projection 10 hinders the stirring of the small electronic components 6a and the medium 6b, and also makes it easier for the deposit 9 to peel off during the plating process.
As a result, the deposit 9 is recognized as a foreign matter and the small electronic component 6a.
It may adhere to the top.

【0012】このように、析出物9に形成される突起1
0は、小型電子部品6aおよびメディア6bの攪拌を妨
げ、攪拌が妨げられると、小型電子部品6aやメディア
6bが陰極4に接触しない状況がより頻繁にもたらさ
れ、この状況がもたらされると、析出物9がより多く形
成され、突起10も成長しやすくなる、というような悪
循環が生じる。
The projection 1 thus formed on the precipitate 9
0 hinders the stirring of the small electronic components 6a and the medium 6b, and when the stirring is disturbed, the situation in which the small electronic components 6a and the media 6b do not contact the cathode 4 is more frequently brought about, and when this situation is brought about, A vicious cycle occurs in which more precipitates 9 are formed and the projections 10 are more likely to grow.

【0013】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な問題を解決し得る、小型被めっき物のめっき装置を提
供しようとすることである。
Therefore, an object of the present invention is to provide a plating apparatus for a small object to be plated which can solve the above problems.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】この発明は、めっき液を
貯留しているめっき槽と、めっき液中に浸漬されかつ導
体からなる陰極および陽極とを備え、めっきされるべき
複数個の小型被めっき物が、めっき液中において陰極と
接触し、陰極と陽極との間に通電することによって、小
型被めっき物上にめっき膜を析出させるように構成され
た、小型被めっき物のめっき装置に向けられるものであ
って、上述した技術的課題を解決するため、陰極の、小
型被めっき物に接触する面に、凹部が形成されているこ
とを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention comprises a plating tank for storing a plating solution, and a cathode and an anode which are immersed in the plating solution and consist of conductors. A plating device for a small object to be plated, which is configured to deposit a plating film on the small object to be plated by contacting the cathode in the plating solution with the cathode and energizing between the cathode and the anode. In order to solve the above-mentioned technical problem, a concave portion is formed on the surface of the cathode that comes into contact with the small object to be plated.

【0015】上述の凹部は、陰極の、小型被めっき物に
接触する面に形成された複数本の溝によって与えられて
も、この面に形成された複数個の小穴によって与えられ
ても、この面の周縁部に形成された面取り部によって与
えられてもよい。
Whether the recess is provided by a plurality of grooves formed on the surface of the cathode that contacts the small object to be plated or by a plurality of small holes formed on this surface, It may be provided by a chamfer formed on the peripheral portion of the surface.

【0016】凹部が溝によって与えられる場合、溝は互
いに交差するように形成されることが好ましい。
If the recesses are provided by grooves, the grooves are preferably formed so as to intersect one another.

【0017】この発明に係る小型被めっき物のめっき装
置は、好ましくは、複数個の小型被めっき物をめっき液
中において収容する部品容器をさらに備え、陰極は、こ
の部品容器の底面の一部を形成するように配置される。
The apparatus for plating a small object to be plated according to the present invention preferably further comprises a parts container for accommodating a plurality of small objects to be plated in a plating solution, and the cathode is a part of the bottom surface of the parts container. Are arranged to form a.

【0018】上述の部品容器は、垂直軸線まわりに回転
することが好ましい。
The component container described above preferably rotates about a vertical axis.

【0019】この発明は、種々の小型被めっき物に対し
て適用され得るが、特に、小型電子部品をめっきするた
めに有利に用いられる。
The present invention can be applied to various small objects to be plated, but is particularly advantageously used for plating small electronic parts.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】前述した図6は、この発明の一実
施形態を説明するためにも参照される。すなわち、図6
に示しためっき装置1において、この発明の特徴的構成
は、陰極4の構造にある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION FIG. 6 described above is also referred to for explaining one embodiment of the present invention. That is, FIG.
In the plating apparatus 1 shown in FIG. 1, the characteristic configuration of the present invention is the structure of the cathode 4.

【0021】図1は、この発明の第1の実施形態を説明
するための部品容器7の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a component container 7 for explaining the first embodiment of the present invention.

【0022】部品容器7の底面の一部を形成するよう
に、陰極4aが配置されている。この実施形態では、4
個の陰極4aが、シャフト8のまわりに90度間隔で配
置されている。
The cathode 4a is arranged so as to form a part of the bottom surface of the component container 7. In this embodiment, 4
The individual cathodes 4a are arranged around the shaft 8 at intervals of 90 degrees.

【0023】部品容器7における陰極4aが設けられた
部分が拡大されて図2に示されている。図2において、
(a)は平面図であり、(b)は断面図である。
The part of the parts container 7 where the cathode 4a is provided is enlarged and shown in FIG. In FIG.
(A) is a plan view and (b) is a sectional view.

【0024】図2によく示されているように、陰極4a
の上面、すなわちめっきされるべき被めっき物6として
の小型電子部品6aおよびメディア6b(図6参照)に
接触する面には、複数本の溝11が形成され、これら溝
11によって、陰極4aの上面に凹部が与えられる。こ
れら溝11の幅は、めっきされるべき小型電子部品6a
およびメディア6bの各寸法より小さくされ、これら小
型電子部品6aおよびメディア6bが溝11に嵌まり込
まないようにされる。
As best shown in FIG. 2, the cathode 4a
A plurality of grooves 11 are formed on the upper surface of the, i.e., the surface that contacts the small electronic component 6a as the object 6 to be plated and the medium 6b (see FIG. 6), and these grooves 11 form the cathode 4a. A recess is provided on the top surface. The width of these grooves 11 is such that the small electronic component 6a to be plated.
Further, the dimensions are made smaller than the respective dimensions of the medium 6b so that the small electronic component 6a and the medium 6b are not fitted into the groove 11.

【0025】図示した陰極4aでは、1個の陰極4aに
おいて、3本の溝11が互いに平行に延びるように設け
られているが、その本数や間隔は、必要に応じて変更す
ることができ、任意に変更することができる。
In the illustrated cathode 4a, three grooves 11 are provided so as to extend in parallel to each other in one cathode 4a, but the number and intervals thereof can be changed as necessary, It can be changed arbitrarily.

【0026】なお、図1に示すように、4個の陰極4a
の各々に形成された溝11の延びる方向は、部品容器7
の半径方向とほぼ一致するようにされたが、溝11の延
びる方向は任意に変更することができる。
As shown in FIG. 1, four cathodes 4a are provided.
The extending direction of the groove 11 formed in each of the
However, the extending direction of the groove 11 can be arbitrarily changed.

【0027】また、溝11の断面形状は、図2(b)に
示すように、V字状をなしていたが、たとえば、U字
状、四角形状等、他の形状にされてもよい。
Although the cross-sectional shape of the groove 11 is V-shaped as shown in FIG. 2B, it may be another shape such as U-shaped or quadrangular.

【0028】図3は、この発明の第2の実施形態を説明
するための図2(a)に相当する図である。
FIG. 3 is a view corresponding to FIG. 2A for explaining the second embodiment of the present invention.

【0029】図3に示した陰極4bの上面には、複数本
の溝11が互いに平行に延びるように形成されるととも
に、これら溝11に交差するように、たとえば、この実
施形態では、直交するように、複数本の溝11aがさら
に形成されている。
A plurality of grooves 11 are formed on the upper surface of the cathode 4b shown in FIG. 3 so as to extend in parallel with each other, and intersect with these grooves 11, for example, in this embodiment, they are orthogonal to each other. Thus, a plurality of grooves 11a are further formed.

【0030】図4は、この発明の第3の実施形態を説明
するための図2に相当する図である。
FIG. 4 is a diagram corresponding to FIG. 2 for explaining the third embodiment of the present invention.

【0031】図4に示した陰極4cの上面には、複数個
の小穴12が形成され、これら小穴12によって凹部が
与えられている。小穴12は、めっきされるべき小型電
子部品6aおよびメディア6bの寸法より小さくされ、
これら小型電子部品6aおよびメディア6bが小穴12
に嵌まり込まないようにされる。
A plurality of small holes 12 are formed on the upper surface of the cathode 4c shown in FIG. 4, and recesses are provided by these small holes 12. The small hole 12 is made smaller than the dimensions of the small electronic component 6a and the medium 6b to be plated,
The small electronic component 6a and the medium 6b are small holes 12
I will not be stuck in.

【0032】上述の小穴12の数および分布状態は、必
要に応じて、任意に変更することができる。
The number and distribution of the above-mentioned small holes 12 can be arbitrarily changed as required.

【0033】また、図示した小穴12は、図4(a)に
示すように、円形の平面形状を有していたが、角形の平
面形状を有するものに置き換えられてもよい。また、小
穴12の断面形状は、図4(b)に示すように、V字状
をなしていたが、たとえば、U字状、四角形状等、他の
形状にされてもよい。
Further, although the illustrated small hole 12 has a circular plane shape as shown in FIG. 4A, it may be replaced with a square plane shape. Further, although the cross-sectional shape of the small hole 12 is V-shaped as shown in FIG. 4B, it may be another shape such as U-shaped or square-shaped.

【0034】図5は、この発明の第4の実施形態を説明
するための図2に相当する図である。
FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 2 for explaining the fourth embodiment of the present invention.

【0035】図5に示した陰極4dは、特に図5(b)
によく示されているように、その上面の周縁部に面取り
部13が形成され、この面取り部13によって凹部が与
えられている。面取り部13によって与えられる凹部
は、めっきされるべき小型電子部品6aおよびメディア
6bの寸法より小さくされ、これら小型電子部品6aお
よびメディア6bが面取り部13によって与えられる凹
部に嵌まり込まないようにされる。
The cathode 4d shown in FIG. 5 is particularly shown in FIG. 5 (b).
As well shown in FIG. 1, a chamfered portion 13 is formed on the peripheral portion of the upper surface thereof, and the chamfered portion 13 provides a concave portion. The recess provided by the chamfer 13 is smaller than the dimensions of the small electronic component 6a and the medium 6b to be plated so that the small electronic component 6a and the medium 6b do not fit into the recess provided by the chamfer 13. It

【0036】図示した面取り部13は、図5(b)に示
すように、アール面を形成していたが、平面状の斜面を
形成するものに変更されてもよい。
The chamfered portion 13 shown in the drawing has a rounded surface as shown in FIG. 5B, but it may be changed to one having a flat slope.

【0037】以上説明した第1ないし第4の実施形態に
よれば、めっき処理中において電界が集中しやすい部分
を、陰極4a〜4dの各々のエッジ部分だけでなく、溝
11の近傍、溝11および11aの近傍、小穴12の近
傍または面取り部13の近傍にももたらすことができる
ので、集中しようとする電界を分散させることができ
る。したがって、図7に示すように、析出物9が陰極4
のエッジ部分のみにより多く生成される結果、突起10
を形成してしまう現象を生じにくくすることができ、そ
のため、このような突起10が小型電子部品6aおよび
メディア6bの攪拌を妨げるような事態を生じにくくす
ることができる。
According to the first to fourth embodiments described above, not only the edge portions of the cathodes 4a to 4d but also the vicinity of the groove 11 and the groove 11 are the portions where the electric field is likely to concentrate during the plating process. And 11a, near the small hole 12, or near the chamfered portion 13, so that the electric field to be concentrated can be dispersed. Therefore, as shown in FIG.
As a result of being generated more only in the edge portion of the
It is possible to make it difficult to cause the phenomenon in which the protrusions are formed, and thus it is possible to make it difficult to cause such a situation that the protrusions 10 hinder the stirring of the small electronic components 6a and the medium 6b.

【0038】また、第1ないし第4の実施形態によれ
ば、凹部としての溝11、溝11および11a、小穴1
2または面取り部13は、小型電子部品6aやメディア
6bのような被めっき物6が嵌まり込まない小さい寸法
にされたが、これは、小型電子部品6aやメディア6b
が凹部に嵌まり込んで、滞留して攪拌を妨げることを防
止するためである。
Further, according to the first to fourth embodiments, the groove 11, the grooves 11 and 11a as the concave portion, and the small hole 1 are provided.
2 or the chamfered portion 13 has a small size such that the plated object 6 such as the small electronic component 6a or the medium 6b does not fit therein.
This is to prevent the slag from fitting into the recess and staying there to hinder stirring.

【0039】なお、凹部が小型電子部品やメディアより
も十分に大きい寸法であれば、一旦、凹部に嵌まって
も、容易に出るため、滞留して攪拌を妨げるようなこと
はない。
If the concave portion has a size sufficiently larger than that of the small electronic component or the medium, even if the concave portion is once fitted into the concave portion, it easily comes out, so that it does not stay and hinder stirring.

【0040】次に、この発明による効果を確認するため
に実施した実験例について説明する。
Next, experimental examples carried out to confirm the effects of the present invention will be described.

【0041】この実験例では、この発明による実施例と
して、図1に示すように、4個の陰極4aが配置され
た、内径25cmの部品容器7を、図6に示しためっき
装置1において用いた。
In this experimental example, as an example according to the present invention, as shown in FIG. 1, a component container 7 having an inner diameter of 25 cm in which four cathodes 4a are arranged is used in the plating apparatus 1 shown in FIG. I was there.

【0042】また、この実験例において、部品容器7に
設けられる陰極4aとして、直径20mmのものと直径
30mmのものとの2種類をそれぞれ用いた。
Further, in this experimental example, two types of cathodes 4a provided in the component container 7 were used, one having a diameter of 20 mm and the other having a diameter of 30 mm.

【0043】上述の直径20mmの陰極4aについて
は、5mmの間隔で、3本の溝11を形成し、各溝11
は、幅0.3mm、深さ0.2mmとした。
Regarding the cathode 4a having a diameter of 20 mm described above, three grooves 11 are formed at intervals of 5 mm, and each groove 11 is formed.
Has a width of 0.3 mm and a depth of 0.2 mm.

【0044】他方、直径30mmの陰極4aについて
は、5mmの間隔で、5本の溝11を形成し、各溝11
は、幅0.3mm、深さ0.2mmとした。
On the other hand, for the cathode 4a having a diameter of 30 mm, five grooves 11 are formed at intervals of 5 mm and each groove 11 is formed.
Has a width of 0.3 mm and a depth of 0.2 mm.

【0045】また、めっきされるべき小型電子部品6a
として、1.0mm×0.5mm×0.5mmの寸法を
有する積層コンデンサを用い、この積層コンデンサの両
端に形成された外部電極の表面にめっきを施すようにし
た。
Also, a small electronic component 6a to be plated
A laminated capacitor having a size of 1.0 mm × 0.5 mm × 0.5 mm was used as the above, and the surfaces of the external electrodes formed on both ends of this laminated capacitor were plated.

【0046】他方、比較例として、溝を形成していない
陰極を用いて、実施例の場合と同様の条件でめっきを施
した。
On the other hand, as a comparative example, plating was performed under the same conditions as in the case of the example using a cathode having no groove.

【0047】以下の表1には、実施例および比較例の各
々について、陰極上に形成された析出物の最大厚みが示
されている。
Table 1 below shows the maximum thickness of the deposit formed on the cathode for each of the examples and comparative examples.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】表1からわかるように、陰極の直径が20
mmの場合および30mmの場合のいずれにおいても、
実施例によれば、比較例に比べて、析出部の最大厚みが
小さくなっている。このことから、実施例では、析出物
において突起が形成されることが抑制されたためである
と推測される。
As can be seen from Table 1, the diameter of the cathode is 20
In both cases of mm and 30 mm,
According to the example, the maximum thickness of the deposited portion is smaller than that of the comparative example. From this, it is assumed that the formation of protrusions in the precipitate was suppressed in the examples.

【0050】表2には、陰極の直径が20mmの場合の
実施例と比較例とについて、陰極上の析出物の剥がれの
有無、および積層コンデンサの外部電極上でのめっき厚
み(平均)を示したものである。
Table 2 shows the presence / absence of peeling of deposits on the cathode and the plating thickness (average) on the external electrode of the multilayer capacitor for Examples and Comparative Examples in which the diameter of the cathode was 20 mm. It is a thing.

【0051】[0051]

【表2】 [Table 2]

【0052】表2からわかるように、まず、実施例によ
れば、陰極上の析出物の剥がれを生じさせないようにす
ることができた。
As can be seen from Table 2, first, according to the example, it was possible to prevent peeling of the deposit on the cathode.

【0053】また、めっき厚みを比較したとき、実施例
によれば、比較例に比べて、より厚いめっき厚みを得る
ことができた。
Further, when the plating thicknesses were compared, according to the example, it was possible to obtain a thicker plating thickness as compared with the comparative example.

【0054】この表2に示しためっき膜の厚みの結果お
よび前の表1に示した陰極への析出物の最大厚みの結果
を考察すれば、実施例によれば、陰極への析出物の最大
厚みを、比較例に比べて薄くすることができ、そのた
め、めっきされるべき積層コンデンサの攪拌を妨げる突
起等の生成を抑制でき、その結果、積層コンデンサが陰
極に接する頻度が増し、より厚いめっき膜が得られたも
のと推測される。
Considering the results of the thickness of the plating film shown in Table 2 and the results of the maximum thickness of deposits on the cathode shown in Table 1 above, according to the example, the deposits on the cathode were examined. The maximum thickness can be made smaller than that of the comparative example, so that it is possible to suppress the formation of protrusions or the like that hinder the stirring of the multilayer capacitor to be plated, and as a result, the multilayer capacitor is more frequently contacted with the cathode and thicker. It is speculated that a plated film was obtained.

【0055】なお、上述した実験例において、実施例と
して採用された直径20mmの陰極4aは、図1および
図2に示すように、3本の平行な溝11を形成するもの
であったが、図3に示すように、縦および横方向に各々
3本ずつの溝11および11aを形成した陰極4bを用
いると、陰極4bへの析出物の最大厚みは、2mm程度
とさらに低減できることが確認されている。
Incidentally, in the above-mentioned experimental example, the cathode 4a having a diameter of 20 mm adopted as the example had three parallel grooves 11 as shown in FIGS. 1 and 2, but As shown in FIG. 3, it was confirmed that the maximum thickness of deposits on the cathode 4b can be further reduced to about 2 mm by using the cathode 4b in which three grooves 11 and 11a are formed in the vertical and horizontal directions, respectively. ing.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、陰極
の、めっきされるべき小型被めっき物に接触する面に、
凹部が形成されているので、めっき処理中において、電
界が集中しやすい部分を、陰極のエッジ部分だけでな
く、この凹部の近傍にも形成することができるので、陰
極上に析出される析出物が陰極のエッジ部分のみにより
多く生成される結果、析出物に突起等が形成されてしま
う現象を生じにくくすることができる。
As described above, according to the present invention, the surface of the cathode that contacts the small object to be plated is
Since the concave portion is formed, the portion where the electric field is likely to concentrate during the plating process can be formed not only on the edge portion of the cathode but also in the vicinity of this concave portion. As a result, more is generated only in the edge portion of the cathode, so that it is possible to prevent the phenomenon that protrusions and the like are formed in the precipitate from occurring.

【0057】そのため、このような突起等が小型被めっ
き物の攪拌を妨げるような事態を生じにくくすることが
でき、めっき処理の効率を高めることができる。
Therefore, it is possible to prevent such a situation that such protrusions hinder the agitation of the small object to be plated, and the efficiency of the plating process can be improved.

【0058】また、陰極上の析出物に突起等が生じにく
くすることができるとともに、析出物に対する凹部のア
ンカー効果により、析出物が陰極から剥がれにくくな
る。そのため、析出物が異物として小型被めっき物に付
着する事態を生じにくくすることができ、また、陰極自
体を問題なく大きくすることができる。このことは、陰
極の単位面積あたりの析出物をより少なくし、また、め
っき処理の効率をより高めることを可能にする。
Further, it is possible to prevent protrusions or the like from forming on the deposit on the cathode, and it becomes difficult for the deposit to peel off from the cathode due to the anchoring effect of the concave portion on the deposit. Therefore, it is possible to prevent the deposit from being attached as foreign matter to the small object to be plated, and to increase the size of the cathode itself without any problem. This makes it possible to reduce the amount of deposits per unit area of the cathode and also to improve the efficiency of the plating process.

【0059】特に、上述した凹部が、陰極の、小型被め
っき物に接触する面に形成された複数本の溝によって与
えられると、陰極の全面にわたって凹部を分布させるこ
とが容易になり、めっき処理中における電界をより効果
的に分散させることができる。
In particular, when the above-mentioned recesses are provided by a plurality of grooves formed on the surface of the cathode that comes into contact with the small object to be plated, it becomes easy to distribute the recesses over the entire surface of the cathode, and the plating treatment is performed. The electric field therein can be more effectively dispersed.

【0060】上述したような効果は、複数本の溝が互い
に交差するように形成されているとき、より顕著に発揮
されることができる。
The above-mentioned effects can be more remarkably exhibited when the plurality of grooves are formed so as to intersect with each other.

【0061】この発明は、複数個の小型被めっき物をめ
っき液中において収容する部品容器を備え、陰極が、こ
の部品容器の底面の一部を形成するように配置されてい
る、めっき装置において、特に有利に適用されることが
できる。すなわち、このような構成において、部品容器
が垂直軸線まわりに回転すると、小型被めっき物に対し
て攪拌作用が及ぼされるが、このような状況において、
前述したように、陰極上への析出物に突起等が形成され
にくくすれば、攪拌作用がより順調に小型被めっき物に
対して及ぼされることができるからである。
The present invention relates to a plating apparatus in which a component container for accommodating a plurality of small objects to be plated in a plating solution is provided, and the cathode is arranged so as to form a part of the bottom surface of the component container. Can be applied particularly advantageously. That is, in such a configuration, when the component container rotates about the vertical axis, a stirring action is exerted on the small object to be plated.
This is because, as described above, if it is difficult to form protrusions or the like on the deposit on the cathode, the stirring action can be more smoothly exerted on the small object to be plated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1の実施形態によるめっき装置を
説明するためのもので、めっき装置に備える部品容器7
を示す平面図である。
FIG. 1 is a view for explaining a plating apparatus according to a first embodiment of the present invention, which is a component container 7 provided in the plating apparatus.
FIG.

【図2】図1に示した部品容器7の、陰極4aが配置さ
れた部分を拡大して示すもので、(a)は平面図であ
り、(b)は断面図である。
2A and 2B are enlarged views showing a portion of a component container 7 shown in FIG. 1 in which a cathode 4a is arranged, in which FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a sectional view.

【図3】この発明の第2の実施形態に係る陰極4bを説
明するための図2(a)に相当する図である。
FIG. 3 is a diagram corresponding to FIG. 2A for explaining a cathode 4b according to a second embodiment of the present invention.

【図4】この発明の第3の実施形態に係る陰極4cを説
明するための図2に相当する図である。
FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 2 for explaining a cathode 4c according to a third embodiment of the present invention.

【図5】この発明の第4の実施形態に係る陰極4dを説
明するための図2に相当する図である。
FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 2 for explaining a cathode 4d according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】この発明にとって興味あるめっき装置1を図解
的に示す断面図である。
FIG. 6 is a sectional view schematically showing a plating apparatus 1 which is of interest to the present invention.

【図7】この発明が解決しようとする課題を説明するた
めの部品容器7の一部を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a part of a component container 7 for explaining the problem to be solved by the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 めっき装置 2 めっき液 3 めっき槽 4,4a,4b,4c,4d 陰極 5 陽極 6 被めっき物 6a 小型電子部品 6b メディア 7 部品容器 8 垂直シャフト 11,11a 溝 12 小穴 13 面取り部 1 Plating equipment 2 plating solution 3 plating tank 4,4a, 4b, 4c, 4d cathode 5 anode 6 Plated object 6a Small electronic components 6b media 7 parts container 8 vertical shafts 11,11a groove 12 small holes 13 Chamfer

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 めっき液を貯留しているめっき槽と、前
記めっき液中に浸漬されかつ導体からなる陰極および陽
極とを備え、めっきされるべき複数個の小型被めっき物
が、前記めっき液中において前記陰極と接触し、前記陰
極と前記陽極との間に通電することによって、小型被め
っき物上にめっき膜を析出させるように構成された、小
型被めっき物のめっき装置であって、 前記陰極の、小型被めっき物に接触する面に、凹部が形
成されていることを特徴とする、小型被めっき物のめっ
き装置。
1. A plurality of small objects to be plated, which are provided with a plating tank storing a plating solution and a cathode and an anode which are immersed in the plating solution and are made of a conductor, are the plating solution. In contact with the cathode in, by energizing between the cathode and the anode, configured to deposit a plating film on a small plated object, a plating apparatus for a small plated object, A plating device for a small-sized object to be plated, wherein a recess is formed on a surface of the cathode that comes into contact with the small object to be plated.
【請求項2】 前記凹部は、前記陰極の前記面に形成さ
れた複数本の溝によって与えられる、請求項1に記載の
小型被めっき物のめっき装置。
2. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 1, wherein the recess is provided by a plurality of grooves formed on the surface of the cathode.
【請求項3】 前記溝は、互いに交差するように形成さ
れる、請求項2に記載の小型被めっき物のめっき装置。
3. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 2, wherein the grooves are formed so as to intersect each other.
【請求項4】 前記凹部は、前記陰極の前記面に形成さ
れた複数個の小穴によって与えられる、請求項1に記載
の小型被めっき物のめっき装置。
4. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 1, wherein the recess is provided by a plurality of small holes formed on the surface of the cathode.
【請求項5】 前記凹部は、前記陰極の前記面の周縁部
に形成された面取り部によって与えられる、請求項1に
記載の小型被めっき物のめっき装置。
5. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 1, wherein the recess is provided by a chamfer formed on a peripheral portion of the surface of the cathode.
【請求項6】 複数個の小型被めっき物を前記めっき液
中において収容する部品容器をさらに備え、前記陰極
は、前記部品容器の底面の一部を形成するように配置さ
れる、請求項1ないし5のいずれかに記載の小型被めっ
き物のめっき装置。
6. The component container for accommodating a plurality of small objects to be plated in the plating solution, wherein the cathode is arranged so as to form a part of a bottom surface of the component container. 6. The plating apparatus for a small object to be plated according to any one of 5 to 5.
【請求項7】 前記部品容器は、垂直軸線まわりに回転
する、請求項6に記載の小型被めっき物のめっき装置。
7. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 6, wherein the parts container rotates about a vertical axis.
【請求項8】 小型被めっき物は、小型電子部品を含
む、請求項1ないし7のいずれかに記載の小型被めっき
物のめっき装置。
8. The plating apparatus for a small object to be plated according to claim 1, wherein the small object to be plated includes a small electronic component.
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