JP2003152054A - Transfer system and positioning apparatus for transfer object - Google Patents
Transfer system and positioning apparatus for transfer objectInfo
- Publication number
- JP2003152054A JP2003152054A JP2001350428A JP2001350428A JP2003152054A JP 2003152054 A JP2003152054 A JP 2003152054A JP 2001350428 A JP2001350428 A JP 2001350428A JP 2001350428 A JP2001350428 A JP 2001350428A JP 2003152054 A JP2003152054 A JP 2003152054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- transfer
- transferred
- transfer object
- positioning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子機器等
の精密電子部品の製造ラインに使用するのに最適な被搬
送物の搬送システム及び被搬送物の位置決め装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object transfer system and an object positioning device which are optimal for use in a production line for precision electronic parts such as electronic equipment.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、例えば、電子機器等の電子部品の
製造ラインにおいては、第一搬送手段としての無人の搬
送車により被搬送物である電子部品を各加工、処理場所
まで搬送し、その被搬送物を各場所に設置された載置装
置に受け渡す。そして、その載置装置上の被搬送物を、
第二搬送手段としてのロボット等で受け取り所定の加
工、処理を施した後に、再び被搬送物を載置装置に受け
渡し、その被搬送物を前記無人の搬送車が受け取って次
工程に搬送するようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, in a manufacturing line for electronic components such as electronic equipment, an unmanned transport vehicle as a first transport means transports an electronic component, which is an object to be transported, to respective processing and processing locations. The transported object is delivered to the placement device installed in each place. Then, the transported object on the placement device is
After receiving by a robot or the like as a second transfer means and subjecting it to predetermined processing and processing, the transferred object is again transferred to the placing device so that the unmanned transfer vehicle receives the transferred object and transfers it to the next step. It has become.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記無
人の搬送車は、載置装置で停止した際に、その停止位置
に若干の誤差が生じる場合がある。かかる場合、被搬送
物が所定の位置よりずれた位置で載置装置に受け渡され
ることとなる。一方、第二搬送手段側のロボットは、載
置装置の設定位置に被搬送物があるとして受け取るため
に、被搬送物のずれ量が大きいと、ロボットでの受け取
りが困難となる場合がある。However, when the unmanned transport vehicle is stopped by the mounting device, a slight error may occur in the stop position. In such a case, the transported object is delivered to the placement device at a position displaced from a predetermined position. On the other hand, since the robot on the side of the second transfer means receives the transferred object at the setting position of the placement device, if the transferred object has a large deviation, it may be difficult for the robot to receive the transferred object.
【0004】また、仮にロボットが被搬送物を受け取っ
たとしても、所定の加工、処理を行った後に、ロボット
は予め設定された載置装置の一定位置にその被搬送物を
載置することとなる。このため、搬送車の位置がずれて
いると、載置装置から搬送車への受け渡しが確実に行え
なくなるおそれがある。Even if the robot receives an object to be conveyed, after carrying out a predetermined processing and processing, the robot places the object to be conveyed at a predetermined position of the placing device. Become. For this reason, if the position of the transport vehicle is deviated, it may not be possible to reliably transfer from the placing device to the transport vehicle.
【0005】そこで、搬送車及びロボットのそれぞれに
対応する所定の位置に被搬送物を、位置修正する必要が
ある。かかる位置修正手段として、被搬送物を載置台上
で摺動させながら位置決めすることも考えられるが、特
に、前記電子部品は、複数個が出し入れ自在なカセット
に収容された状態で搬送されることから、被搬送物の重
量が大きくなる傾向にあり、また、電子部品等のような
精密機器は、クリーンルーム内で加工、処理されている
のが現状である。かかる被搬送物を載置台上で摺動させ
ながら位置決めするのは、塵や埃等の発生の原因となり
好ましいものではない。Therefore, it is necessary to correct the position of the object to be transported to a predetermined position corresponding to each of the transport vehicle and the robot. As such a position correcting means, it is possible to position the transported object while sliding it on the mounting table. In particular, the electronic components are transported while being housed in a cassette in which a plurality of electronic components can be taken in and out. Therefore, the weight of the transported object tends to increase, and the precision equipment such as electronic parts is currently processed and treated in a clean room. Positioning the transported object while sliding it on the mounting table is not preferable because it causes dust and the like.
【0006】本発明は、上記の如き従来の問題点に鑑み
てなされたもので、載置装置上の被搬送物の位置決めを
行うに際し、その移動抵抗を軽減して被搬送物の移動を
スムーズに行い、載置装置上の被搬送物の受け取り及び
受け渡しの一連の動作を確実にトラブルなく自動的に行
えるようにすることを課題とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and when positioning an object to be conveyed on a placing device, the movement resistance thereof is reduced to smoothly move the object to be conveyed. It is an object of the present invention to ensure that a series of operations for receiving and delivering an object to be conveyed on the placing device can be automatically performed without any trouble.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために被搬送物の搬送システム及び被搬送物の位
置決め装置としてなされたもので、被搬送物の搬送シス
テムとしての特徴は、被搬送物を搬送する第一搬送手段
と、該第一搬送手段から前記被搬送物を受け取る載置装
置と、該載置装置に支持された被搬送物を受け取り、且
つ、その被搬送物を再び前記載置装置に受け渡す第二搬
送手段とを備えた被搬送物の搬送システムにおいて、前
記載置装置には、前記被搬送物を支持する台座を有する
位置決め装置が設けられ、前記台座が、第一搬送手段か
ら受け取った被搬送物を第二搬送手段に受け渡す位置
と、第二搬送手段から受け取った被搬送物を、前記第一
搬送手段から受け取った元の位置とに移動自在に設けら
れ、しかも、前記位置決め装置には、前記台座を支持す
る転動自在な転動体を有する移動許容手段が設けられて
いることにある。In order to solve the above problems, the present invention has been made as a transport system for a transported object and a positioning device for the transported object. A first transfer means for transferring the transferred object, a placement device for receiving the transferred object from the first transfer means, a transferred object supported by the mounting device, and a transfer device for receiving the transferred object. In the transport system for the transported object, which again includes the second transporting means for delivering to the mounting device, the mounting device is provided with a positioning device having a pedestal for supporting the transported object, and the pedestal is , A position where the transferred object received from the first transfer means is transferred to the second transfer means, and the transferred object received from the second transfer means is movable to the original position received from the first transfer means Provided and above The determined device is that the movement allowing means is provided with a rollable rolling elements for supporting the base.
【0008】そして、載置装置は、第一搬送手段から受
け取った被搬送手段を、第二搬送手段の受け取る所定の
位置に位置修正した後に、第二搬送手段に受け渡すこと
ができる。また、載置装置は、第二搬送手段から受け取
った被搬送手段を、第一搬送手段の受け取る所定の位置
に位置修正した後に、第一搬送手段に受け渡すことがで
きる。Then, the placement device can transfer the transferred means received from the first transfer means to the second transfer means after correcting the position of the transferred means to the predetermined position received by the second transfer means. Further, the placement device can transfer the transferred means received from the second transfer means to the first transfer means after correcting the position of the transferred means to the predetermined position received by the first transfer means.
【0009】従って、載置装置により、第一搬送手段に
よる搬送誤差を修正した状態で、被搬送物を第一搬送手
段から第二搬送手段に受け渡し、また、反対に第二搬送
手段から第一搬送手段に受け渡すことができる。しか
も、転動体が被搬送物を支持する台座を案内するため、
台座の移動をスムーズに行うことができる。Therefore, the object to be transferred is transferred from the first transfer means to the second transfer means while the transfer error of the first transfer means is corrected by the placing device, and vice versa. It can be delivered to the transport means. Moreover, since the rolling elements guide the pedestal that supports the transported object,
The pedestal can be moved smoothly.
【0010】被搬送物の位置決め装置としての特徴は、
前記請求項1に記載の被搬送物の搬送システムに使用可
能な位置決め装置であって、ケーシングの上方に位置し
且つ被搬送物を支持可能な台座と、ケーシング内に設け
られ且つ前記台座に連結されたスライドと、該スライド
及び台座が水平方向に移動できるように、前記スライド
を支持する転動自在な転動体を有するガイド手段と、任
意の方向に移動した台座を、移動前の元の位置に復元さ
せるための復元手段とを備えてなることにある。The features of the transported object positioning device are:
A positioning device that can be used in the transport system for a transported object according to claim 1, wherein the pedestal is located above the casing and can support the transported object, and the pedestal is provided in the casing and connected to the pedestal. The slide, the guide means having a rolling element that supports the slide so that the slide and the pedestal can move in the horizontal direction, and the pedestal moved in any direction, the original position before the movement. And a restoration means for restoring the data.
【0011】また、前記請求項1に記載の被搬送物の搬
送システムに使用可能な位置決め装置であって、ケーシ
ングの上方に位置し且つ被搬送物を支持可能な台座と、
ケーシング内に設けられ且つ前記台座が水平方向に移動
できるように、前記台座に連結された移動許容手段と、
任意の方向に移動した台座を、移動前の元の位置に復元
させるための復元手段とを備え、前記移動許容手段に
は、台座の移動時にケーシングを転動する転動体が設け
られていることにある。A positioning device that can be used in the transport system for a transported object according to claim 1, wherein the pedestal is located above the casing and can support the transported object.
A movement permitting means provided in the casing and connected to the pedestal so that the pedestal can move in the horizontal direction;
A restoring means for restoring the pedestal moved in an arbitrary direction to the original position before the movement, and the movement permitting means is provided with a rolling element for rolling the casing when the pedestal moves. It is in.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に従って説明する。図1〜図5は本発明の第一実
施の形態を示し、図1において、1は例えばクリーンル
ーム内での製造ラインを移動する第一搬送手段としての
無人の搬送車、2は前記搬送車1により搬送される被搬
送物としての被処理物が複数収容されたカセット4が載
置される載置装置、3は前記カセット4に複数段に収容
された被処理物(図示省略)を取り出したり収容したり
する第二搬送手段としてのロボットである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 5 show a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is an unmanned transport vehicle as a first transport means for moving a production line in a clean room, and 2 is the transport vehicle 1. The placing device 3 on which the cassette 4 containing a plurality of objects to be conveyed as the objects to be conveyed is placed, the object 3 to be processed (not shown) accommodated in the cassette 4 in a plurality of stages, It is a robot as a second transfer means for housing.
【0013】尚、図1に示すように、カセット4は矩形
状のフレーム体として図示してある。また、被処理物と
しては、液晶機器に使用される液晶ガラス等の電子部品
が挙げられる。As shown in FIG. 1, the cassette 4 is illustrated as a rectangular frame body. Examples of the object to be treated include electronic parts such as liquid crystal glass used in liquid crystal devices.
【0014】前記載置装置2は、基盤7の上面に複数
(本実施の形態では4個)の位置決め装置10が配置さ
れている。位置決め装置10は、図2〜図4に示す如く
装置本体12と、該装置本体12の上方に位置し、装置
本体12に対して水平方向の任意の方向に移動自在な台
座13とを備えている。尚、台座13の上面には、弾性
ゴム材からなるパッド11を設けることが好ましいが、
パッド11は必ずしも設ける必要はない。In the placement device 2, a plurality of (four in the present embodiment) positioning devices 10 are arranged on the upper surface of the base 7. As shown in FIGS. 2 to 4, the positioning device 10 includes a device body 12 and a pedestal 13 which is located above the device body 12 and is movable in an arbitrary horizontal direction with respect to the device body 12. There is. Although it is preferable to provide the pad 11 made of an elastic rubber material on the upper surface of the pedestal 13,
The pad 11 does not necessarily have to be provided.
【0015】前記装置本体12は、矩形状の基板11
と、該基板11に固定された円筒状の周壁14と、該周
壁14の上面を閉塞するように、周壁14に固定された
天蓋15とからなるケーシング17を備えている。ま
た、ケーシング17内には収容空間18が形成され、該
収容空間18には、移動許容手段20が設けられてい
る。前記基板11の中央やその他の任意の位置には、仮
に収容空間18に発生する塵等を吸引するための吸引孔
11aが、前記収容空間18に連通するように形成され
ている。尚、吸引孔11aは、図示省略の吸引装置に連
結される。The apparatus body 12 is a rectangular substrate 11
The casing 17 includes a cylindrical peripheral wall 14 fixed to the substrate 11, and a canopy 15 fixed to the peripheral wall 14 so as to close the upper surface of the peripheral wall 14. A housing space 18 is formed in the casing 17, and a movement permitting means 20 is provided in the housing space 18. A suction hole 11a for temporarily sucking dust or the like generated in the accommodation space 18 is formed at the center of the substrate 11 or any other position so as to communicate with the accommodation space 18. The suction hole 11a is connected to a suction device (not shown).
【0016】前記移動許容手段20は、前記基板11に
所定間隔を有して複数設けられたガイド手段21と、該
ガイド手段21に載置されたスライド22とを備えてい
る。前記ガイド手段21は、基板11にねじ部21aを
螺合して固定された支承部材からなり、支承部材は、そ
の上部に転動自在な転動体としてのボール25を有して
いる。そして、かかるボール25が前記スライド22を
下方から支持している。The movement permitting means 20 is provided with a plurality of guide means 21 provided on the substrate 11 at predetermined intervals and a slide 22 placed on the guide means 21. The guide means 21 is a support member fixed to the base plate 11 by screwing a screw portion 21a, and the support member has a ball 25 as a rolling element on its upper part. The ball 25 supports the slide 22 from below.
【0017】前記スライド22の中央部に設けられたト
ラスネジ26と、前記基板11の支承部材21間に設け
られたトラスネジ27との間には、復元手段としてのス
プリング23が架設されている。かかるスプリング23
は、3方向にそれぞれ等角度で架設されていることか
ら、任意の方向に移動したスライド22をケーシングの
中央位置に復元させることができる。A spring 23 as a restoring means is provided between the truss screw 26 provided in the central portion of the slide 22 and the truss screw 27 provided between the support members 21 of the substrate 11. Such spring 23
Is installed in the three directions at the same angle, the slide 22 moved in any direction can be restored to the central position of the casing.
【0018】前記天蓋15の中央部には、逃がし開口3
0が形成され、前記台座13とスライド22とを連結す
る支柱31が、前記逃がし開口30に挿通されている。
前記台座13と支柱31とはボルト32で固定されてい
る。また、支柱31は、その雄ねじ部31aをスライド
22の雌ねじ部22aに螺合させることにより、スライ
ド22に固定されている。尚、33は天蓋15を周壁1
4に固定させるボルトである。At the center of the canopy 15 is a relief opening 3
0 is formed, and a pillar 31 that connects the pedestal 13 and the slide 22 is inserted into the escape opening 30.
The pedestal 13 and the column 31 are fixed by bolts 32. Further, the support column 31 is fixed to the slide 22 by screwing the male screw portion 31 a thereof into the female screw portion 22 a of the slide 22. Incidentally, 33 is the canopy 15 and the peripheral wall 1
It is a bolt to be fixed to 4.
【0019】前記基盤7には、図1に示す如く、修正手
段としての一対のシリンダ装置34が設けられている。
かかるシリンダ装置34のロッド34aの先端には、前
記位置決め装置10の台座13に載置されたカセット4
の対角線上の角部4a,4bで且つそれぞれの内面側に
係合する係合部34bが上方に突設されている。As shown in FIG. 1, the base 7 is provided with a pair of cylinder devices 34 as correction means.
At the tip of the rod 34 a of the cylinder device 34, the cassette 4 mounted on the pedestal 13 of the positioning device 10 is mounted.
Engaging portions 34b, which are diagonally opposite corner portions 4a and 4b and engage with the inner surface sides of the respective corner portions 4a and 4b, project upward.
【0020】次に、前記搬送システムにより被搬送物を
搬送等する場合について説明する。先ず、搬送車1でカ
セット4を搬送して載置装置2に受け渡すのは、前記従
来と同様である。所定の位置で停止した前記搬送車1か
らカセット4を、各位置決め装置10に載置する。搬送
車1からカセット4を載置装置2に受け渡すのは、搬送
車1に設けられた供給手段(図示省略)で行うことがで
きるが、別途ロボット等で行うことも可能である。Next, a case where the object to be conveyed is conveyed by the conveying system will be described. First, transporting the cassette 4 by the transport vehicle 1 and delivering it to the mounting device 2 is the same as in the prior art. The cassette 4 from the transport vehicle 1 stopped at a predetermined position is placed on each positioning device 10. The delivery of the cassette 4 from the transport vehicle 1 to the mounting device 2 can be performed by a supply means (not shown) provided in the transport vehicle 1, but it can also be performed by a robot or the like separately.
【0021】尚、仮に搬送車1が所定位置よりも若干ず
れて停止した場合(例えば、所定停止位置よりも進行方
向に10mm程度前後して停止する場合)には、カセッ
ト4は、各位置決め装置10の台座13にずれた状態で
載置されることとなる(図5(イ)参照。If the transport vehicle 1 stops after being slightly displaced from a predetermined position (for example, if it stops about 10 mm in the traveling direction from the predetermined stop position), the cassette 4 is placed in each positioning device. It will be placed on the pedestal 13 of 10 in a shifted state (see FIG. 5A).
【0022】次に、シリンダ装置34のロッド34aが
後退することにより、ロッド34aの先端に設けられた
係合部34bをカセット4の内側に係合させ、カセット
4を対角線上に引っ張ることにより、所定の位置に位置
修正する。このとき、カセット4を支持する台座13
は、装置本体12に対して任意の方向に移動可能であ
る。Next, by retracting the rod 34a of the cylinder device 34, the engaging portion 34b provided at the tip of the rod 34a is engaged with the inside of the cassette 4, and the cassette 4 is pulled diagonally. Correct the position to the specified position. At this time, the pedestal 13 that supports the cassette 4
Can be moved in any direction with respect to the apparatus body 12.
【0023】即ち、支承部材21のボール25が転動す
ることにより、スライド22が任意の方向に移動するの
を許容する。このため、かかるスライド22と共にカセ
ット4が載置された台座13をスムーズに移動させるこ
とができる。また、スライド22の移動により、特定の
スプリングが伸長され、且つ、他のスプリングが収縮す
ることとなる。That is, by rolling the ball 25 of the support member 21, the slide 22 is allowed to move in any direction. Therefore, the pedestal 13 on which the cassette 4 is placed can be smoothly moved together with the slide 22. Further, the movement of the slide 22 causes a specific spring to be expanded and the other springs to contract.
【0024】このようにカセット4の位置を修正して位
置決めした後に、ロボット3は所定位置にあるカセット
4から所定の液晶ガラスを取り出すのであるが、そのガ
ラスの位置は、前記の如く予め所定位置に修正されてい
ることから、確実に取り出すことができる。更に、ロボ
ット3は取り出した液晶ガラスを所定の加工装置等(図
示省略)で加工、処理した後に、再び前記カセット4の
所定位置に収納する。同様に別の液晶ガラスを順次加
工、処理する。After the position of the cassette 4 is corrected and positioned as described above, the robot 3 takes out a predetermined liquid crystal glass from the cassette 4 at a predetermined position. The position of the glass is the predetermined position as described above. Since it has been corrected to, it can be reliably taken out. Further, the robot 3 processes and processes the liquid crystal glass taken out by a predetermined processing device or the like (not shown), and then stores it again in a predetermined position of the cassette 4. Similarly, another liquid crystal glass is sequentially processed and processed.
【0025】液晶ガラスの処理が終了すると、前記シリ
ンダ装置34のロッド34aが進出するため、カセット
4への強制的な拘束が解除される。この結果、前記スプ
リングの弾性力により、カセット4の全体を元の位置
(搬送車1からカセット4を載置装置2に受け渡した位
置)に復元させる。カセット4は待機している前記搬送
車1に載置され、搬送車1はカセット4を次の工程へ搬
送する。When the processing of the liquid crystal glass is completed, the rod 34a of the cylinder device 34 advances, so that the forced restraint on the cassette 4 is released. As a result, the elastic force of the spring restores the entire cassette 4 to the original position (the position where the cassette 4 is transferred from the transport vehicle 1 to the mounting device 2). The cassette 4 is placed on the waiting transportation vehicle 1, and the transportation vehicle 1 transports the cassette 4 to the next step.
【0026】図6及び図7は、本発明の第二実施の形態
を示す。尚、本実施の形態において、前記第一実施の形
態と同一部材は同一番号を付して、その説明は省略す
る。本実施の形態は、前記天蓋15とスライド22との
間に、ガタ付き防止手段40を介在させている。6 and 7 show a second embodiment of the present invention. In this embodiment, the same members as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. In this embodiment, a rattling prevention unit 40 is interposed between the canopy 15 and the slide 22.
【0027】前記ガタ付き防止手段40は、中央に開口
部41aを有する円板状のリテーナ41と、該リテーナ
41に複数形成された開口42に転動自在に収納された
ボール43とからなる。そして、各ボール43が、スラ
イド23の上面と天蓋15の裏面に設けられた天板45
とに回転自在に接触している。かかるガタ付き防止手段
40を設けることにより、台座5がガタ付くのを防止で
きる。尚、支柱は、前記第一実施の形態のものよりも若
干長く設定されている。The rattling prevention means 40 comprises a disc-shaped retainer 41 having an opening 41a in the center thereof, and balls 43 rotatably accommodated in openings 42 formed in the retainer 41. Each ball 43 is attached to a top plate 45 provided on the top surface of the slide 23 and the back surface of the canopy 15.
Is in free contact with. By providing such rattling prevention means 40, it is possible to prevent the pedestal 5 from rattling. The support column is set to be slightly longer than that of the first embodiment.
【0028】図8〜図10は本発明の第三実施の形態を
示す。尚、本実施の形態において、前記第一実施の形態
と同一部材は同一番号を付して、その説明は省略する。
本実施の形態の移動許容手段20は、支承部材50と、
該支承部材50の上方及び側方を被うように設けられた
外ケーシング51と、支承部材50及び外ケーシング5
1とで形成された空間53に設けられ且つ前記基板11
の上面を転動しながら循環移動する複数の小球55とか
らなる。8 to 10 show a third embodiment of the present invention. In this embodiment, the same members as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
The movement permitting means 20 of the present embodiment includes a support member 50,
An outer casing 51 provided so as to cover the supporting member 50 above and laterally, and the supporting member 50 and the outer casing 5.
And the substrate 11 provided in the space 53 formed by
And a plurality of small spheres 55 that move circularly while rolling on the upper surface of the.
【0029】前記外ケーシング51と台座13とは複数
の支柱59を介してボルト60で固定されている。ま
た、台座13の中心には、ボルト61が外ケーシング5
1と台座13との間に突出され、該ボルト61と基板1
1のボルト63との間に、前記スプリング23が連結さ
れている。The outer casing 51 and the pedestal 13 are fixed by bolts 60 via a plurality of columns 59. In addition, the bolt 61 is provided at the center of the pedestal 13 with the outer casing 5.
1 and the pedestal 13, and the bolt 61 and the substrate 1 are projected.
The spring 23 is connected to the first bolt 63.
【0030】かかる本実施の形態においても、支承部材
50及び外ケーシング51と共に台座13がスムーズに
移動できる。Also in this embodiment, the pedestal 13 can move smoothly together with the support member 50 and the outer casing 51.
【0031】本発明は上記実施の形態に限定されるもの
ではなく、被搬送物は、前記カセットに収容された電子
部品に代えて、例えば、機械加工工程における被切削部
材等の単品のワークであってもよく、その種類や個数は
特に限定されるものではない。The present invention is not limited to the above-described embodiment, and the object to be conveyed is, for example, a single work such as a member to be cut in a machining process, instead of the electronic parts housed in the cassette. It may be present, and the type and the number thereof are not particularly limited.
【0032】また、載置装置に被搬送物を載置する手段
としては、搬送車を用いることなくロボットであっても
良く、本発明のシステムは、必ずしもクリーンルーム内
で使用されるものに限定されるものではない。The means for placing the object to be conveyed on the placing device may be a robot without using a carrier vehicle, and the system of the present invention is not necessarily limited to that used in a clean room. Not something.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上のように、本発明の被搬送物の搬送
システムの載置装置には、前記被搬送物を支持する台座
を有する位置決め装置が設けられ、前記台座が、第一搬
送手段から受け取った被搬送物を第二搬送手段に受け渡
す位置と、第二搬送手段から受け取った被搬送物を、前
記第一搬送手段から受け取った元の位置とに移動自在に
設けられているので、載置装置に載置された被搬送物
を、第一搬送手段及び第二搬送手段にそれぞれ対応させ
てスムーズに位置決めでき、その一連の動作をトラブル
なく各工程の自動化を図ることができる。As described above, the positioning device having the pedestal for supporting the transported object is provided in the placing device of the transported system of the transported object of the present invention, and the pedestal is the first transporting means. Since the transferred object received from the second transfer means is transferred to the second transfer means, and the transferred object received from the second transfer means is moved to the original position received from the first transfer means. The object to be conveyed placed on the placing device can be smoothly positioned in correspondence with the first conveying means and the second conveying means, and the series of operations can be automated without any trouble.
【0034】しかも、前記位置決め装置には、前記台座
を支持する転動自在な転動体を有する移動許容手段が設
けられているので、被搬送物を摺動させて位置決めする
場合に比し、塵や埃等の発生を防止でき、特に電子部品
を取り扱うクリーンルーム内での使用に最適である。Moreover, since the positioning device is provided with the movement permitting means having the rolling element which supports the pedestal, the dust is more likely to be dusted than when the transported object is slid and positioned. It can prevent the generation of dust and the like, and is most suitable for use in a clean room where electronic parts are handled.
【0035】また、本発明の被搬送物の位置決め装置
は、被搬送物の搬送システムに容易に使用できる利点が
ある。Further, the apparatus for positioning a conveyed object according to the present invention has an advantage that it can be easily used in a conveyed object conveying system.
【図1】本発明の第一実施の形態を示す概略平面図であ
る。FIG. 1 is a schematic plan view showing a first embodiment of the present invention.
【図2】同位置決め装置の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the positioning device.
【図3】同図2のA−A線断面の平面図である。3 is a plan view of a cross section taken along the line AA of FIG.
【図4】同位置決め装置の外観を示し、(イ)は平面
図、(ロ)は正面図である。4A and 4B are external views of the positioning device, where FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a front view.
【図5】同(イ)はカセットの修正前の平面図、(ロ)
カセットの修正後の平面図である。FIG. 5 (a) is a plan view of the cassette before correction, (b)
It is a top view after correction of a cassette.
【図6】本発明の第二実施の形態を示す位置決め装置の
断面図である。FIG. 6 is a sectional view of a positioning device showing a second embodiment of the present invention.
【図7】同図6のB−B線断面の平面図である。7 is a plan view of a cross section taken along the line BB of FIG.
【図8】本発明の第三実施の形態を示す位置決め装置の
断面正面図である。FIG. 8 is a sectional front view of a positioning device showing a third embodiment of the present invention.
【図9】同位置決め装置の正面図である。FIG. 9 is a front view of the positioning device.
【図10】同位置決め装置の平面図である。FIG. 10 is a plan view of the positioning device.
1…搬送車(第一搬送手段)、2…載置装置、4…カセ
ット(被搬送物)、10…位置決め装置、13…台座、
21…支承部材(ガイド手段)、22…スライド、23
…復元手段(スプリング)、25…ボール(転動体)DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Transport vehicle (first transport means), 2 ... Placement device, 4 ... Cassette (object to be transported), 10 ... Positioning device, 13 ... Pedestal,
21 ... Bearing member (guide means), 22 ... Slide, 23
... Restoration means (spring), 25 ... Ball (rolling element)
Claims (3)
第一搬送手段から前記被搬送物を受け取る載置装置と、
該載置装置に支持された被搬送物を受け取り、且つ、そ
の被搬送物を再び前記載置装置に受け渡す第二搬送手段
とを備えた被搬送物の搬送システムにおいて、前記載置
装置には、前記被搬送物を支持する台座を有する位置決
め装置が設けられ、前記台座が、第一搬送手段から受け
取った被搬送物を第二搬送手段に受け渡す位置と、第二
搬送手段から受け取った被搬送物を、前記第一搬送手段
から受け取った元の位置とに移動自在に設けられ、しか
も、前記位置決め装置には、前記台座を支持する転動自
在な転動体を有する移動許容手段が設けられていること
を特徴とする被搬送物の搬送システム。1. A first transfer means for transferring an object to be transferred, and a placing device for receiving the object to be transferred from the first transfer means,
A transfer system for a transferred object, comprising: a second transfer means for receiving the transferred object supported by the placing device and again transferring the transferred object to the placing device. Is provided with a positioning device having a pedestal for supporting the transported object, and the pedestal receives the transported object received from the first transporting means to the second transporting means and the second transporting means. The object to be conveyed is movably provided at the original position received from the first conveying means, and further, the positioning device is provided with movement permitting means having a rollable rolling element that supports the pedestal. A system for transporting an object to be transported.
ステムに使用可能な位置決め装置であって、ケーシング
の上方に位置し且つ被搬送物を支持可能な台座と、ケー
シング内に設けられ且つ前記台座に連結されたスライド
と、該スライド及び台座が水平方向に移動できるよう
に、前記スライドを支持する転動自在な転動体を有する
ガイド手段と、任意の方向に移動した台座を、移動前の
元の位置に復元させるための復元手段とを備えてなるこ
とを特徴とする被搬送物の位置決め装置。2. A positioning device that can be used in the transfer system for an object to be transferred according to claim 1, wherein the pedestal is located above the casing and can support the object to be transferred. And a slide connected to the pedestal, a guide means having a rolling element that supports the slide so that the slide and the pedestal can move in a horizontal direction, and a pedestal that has moved in any direction. 1. A positioning device for a conveyed object, comprising: a restoring means for restoring the former original position.
ステムに使用可能な位置決め装置であって、ケーシング
の上方に位置し且つ被搬送物を支持可能な台座と、ケー
シング内に設けられ且つ前記台座が水平方向に移動でき
るように、前記台座に連結された移動許容手段と、任意
の方向に移動した台座を、移動前の元の位置に復元させ
るための復元手段とを備え、前記移動許容手段には、台
座の移動時にケーシングを転動する転動体が設けられて
いることを特徴とする被搬送物の位置決め装置。3. A positioning device that can be used in the transport system for a transported object according to claim 1, wherein the pedestal is located above the casing and can support the transported object. And, so that the pedestal can move in the horizontal direction, a movement permitting means connected to the pedestal, and a pedestal moved in any direction, a restoring means for restoring the original position before the movement, The apparatus for positioning a conveyed object, wherein the movement permitting means is provided with a rolling element that rolls the casing when the pedestal moves.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001350428A JP2003152054A (en) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Transfer system and positioning apparatus for transfer object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001350428A JP2003152054A (en) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Transfer system and positioning apparatus for transfer object |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003152054A true JP2003152054A (en) | 2003-05-23 |
Family
ID=19162934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001350428A Pending JP2003152054A (en) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Transfer system and positioning apparatus for transfer object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003152054A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007243078A (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Daifuku Co Ltd | Load positioning device |
JP2008282858A (en) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Ulvac Japan Ltd | Pin for supporting substrate |
KR101212000B1 (en) | 2012-10-19 | 2012-12-13 | 주식회사 삼덕티엘에스 | The position control device for a setting up high precision equipments of ball's separated prevention type |
CN104555367A (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-29 | Smc株式会社 | Workpiece positioning device |
JP2015111648A (en) * | 2013-10-16 | 2015-06-18 | Smc株式会社 | Workpiece positioning apparatus |
-
2001
- 2001-11-15 JP JP2001350428A patent/JP2003152054A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007243078A (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Daifuku Co Ltd | Load positioning device |
JP4518269B2 (en) * | 2006-03-13 | 2010-08-04 | 株式会社ダイフク | Load positioning device |
JP2008282858A (en) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Ulvac Japan Ltd | Pin for supporting substrate |
KR101212000B1 (en) | 2012-10-19 | 2012-12-13 | 주식회사 삼덕티엘에스 | The position control device for a setting up high precision equipments of ball's separated prevention type |
CN104555367A (en) * | 2013-10-16 | 2015-04-29 | Smc株式会社 | Workpiece positioning device |
JP2015111648A (en) * | 2013-10-16 | 2015-06-18 | Smc株式会社 | Workpiece positioning apparatus |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2683675B2 (en) | Transfer device | |
CN101060093B (en) | Substrate transportation and processing apparatus | |
KR20110039455A (en) | Apparatus and method for transferring board-like work | |
TW200807610A (en) | Conveying device and method | |
JP2013123788A (en) | Workpiece work system | |
JP2000191334A (en) | Transporting device for sheet glass | |
JP2003152054A (en) | Transfer system and positioning apparatus for transfer object | |
JP4463081B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US6286688B1 (en) | Compliant silicon wafer handling system | |
JP3745064B2 (en) | Substrate transfer device, substrate transfer method using the same, and substrate attitude conversion device | |
WO2014068638A1 (en) | Component supply apparatus | |
JP2017228801A (en) | Wafer delivery apparatus | |
JP4785696B2 (en) | Positioning unit | |
JP2009038326A (en) | Cassette floating stage and cassette station using the same | |
JP2000236009A (en) | Substrate treating apparatus | |
JPH0414237A (en) | Semiconductor manufacturing equipment | |
JPH02174244A (en) | Tool frame for wafer carrier and wafer shifting device | |
US20030000898A1 (en) | Shelf module adapted to store substrate carriers | |
JP2013165177A (en) | Stocker device | |
JP2004319889A (en) | Manufacturing-object delivering apparatus and method | |
JP2001326272A (en) | Tray for conveying base plate | |
JPH05166917A (en) | Buffer cassette | |
JPH0410452A (en) | Vertical type conveyor for substrate | |
JP2001035898A (en) | Floating device for cassette stage | |
TWI741500B (en) | Substrate processing apparatus and method of transporting object to be processed in substrate processing apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040602 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041217 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050624 |