JP2003151122A - Magnetic recording medium and method for manufacturing the same - Google Patents

Magnetic recording medium and method for manufacturing the same

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JP2003151122A
JP2003151122A JP2002251086A JP2002251086A JP2003151122A JP 2003151122 A JP2003151122 A JP 2003151122A JP 2002251086 A JP2002251086 A JP 2002251086A JP 2002251086 A JP2002251086 A JP 2002251086A JP 2003151122 A JP2003151122 A JP 2003151122A
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JP
Japan
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layer
magnetic
cupping
main component
containing carbon
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JP2002251086A
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Japanese (ja)
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Nobuhiro Jingu
信宏 神宮
Masao Nakayama
正雄 中山
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Original Assignee
TDK Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium excellent in traveling durability and weather resistance and prevented from cupping. SOLUTION: The magnetic recording medium 1 has a magnetic layer 3, a functional layer 4 essentially comprising carbon and a lubricant layer 5 in this order on one face of a nonmagnetic support body 2 and has a cupping preventing layer 6 and a back coat layer 7 in this order on the other face of the support body 2. The cupping preventing layer 6 essentially comprises carbon to compensate the cupping effect of the functional layer 4 essentially comprising carbon which generates a convex state of the medium to the magnetic layer 3 side.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、金属磁性薄膜型の
磁気記録媒体及びその製造方法に関し、より詳しくは、
カッピングが防止された磁気記録媒体及びその製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal magnetic thin film type magnetic recording medium and a method of manufacturing the same, more specifically,
The present invention relates to a magnetic recording medium in which cupping is prevented and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】情報社会の進展に従い、磁気記録媒体の
高密度化が切望されている。金属磁性薄膜型の磁気記録
媒体は磁性層に塗布型磁気記録媒体のようなバインダー
を含まないので、媒体の飽和磁化が大きく、高密度記録
に適している。
2. Description of the Related Art As the information society advances, there is a strong demand for higher density magnetic recording media. The metal magnetic thin film type magnetic recording medium does not include a binder in the magnetic layer unlike the coating type magnetic recording medium, and thus the medium has a large saturation magnetization and is suitable for high density recording.

【0003】また近年、磁気記録媒体における磁性層の
薄膜化は著しく、薄膜化された磁性層に対する物理的又
は化学的な損傷が媒体の信頼性に大きな影響を与えるよ
うになってきている。この点については、金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体においては、磁性層上に炭素膜の中で
もより硬い膜であるダイヤモンドライクカーボン(DL
C)膜を保護層として設けることにより、物理的又は化
学的な損傷を防ぎ、適切な走行耐久性や耐候性が維持さ
れている。
In recent years, the magnetic layer in a magnetic recording medium has been remarkably thinned, and physical or chemical damage to the thinned magnetic layer has a great influence on the reliability of the medium. Regarding this point, in the magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type, diamond-like carbon (DL) which is a harder film among carbon films on the magnetic layer is used.
By providing the film C) as a protective layer, physical or chemical damage is prevented, and appropriate running durability and weather resistance are maintained.

【0004】すなわち、図1を参照して、従来の金属磁
性薄膜型の磁気記録媒体(11)は、一般に、非磁性支持体
(12)の一面上に磁性層(13)、DLC層(14)及び潤滑剤層
(15)をこの順で有し、非磁性支持体(12)の他面上にバッ
クコート層(17)を有する。磁性層(13)は蒸着法で形成さ
れ、DLC層(14)がCVD法又はスパッタ法で成膜さ
れ、DLC層(14)上に塗布法で潤滑剤層(15)が形成され
る。また、バックコート層(17)が塗布法で形成される。
That is, referring to FIG. 1, a conventional metal magnetic thin film type magnetic recording medium (11) generally comprises a non-magnetic support.
Magnetic layer (13), DLC layer (14) and lubricant layer on one surface of (12)
(15) in this order, and a back coat layer (17) on the other surface of the non-magnetic support (12). The magnetic layer (13) is formed by the vapor deposition method, the DLC layer (14) is formed by the CVD method or the sputtering method, and the lubricant layer (15) is formed on the DLC layer (14) by the coating method. Further, the back coat layer (17) is formed by a coating method.

【0005】しかしながら、DLC膜は非常に強い圧縮
応力を持っているため、上記層構成では、いわゆる長手
磁気記録媒体(11)において、媒体の磁性層(13)側に凸と
なるカッピング(長手磁気記録媒体の幅方向の湾曲)が
起こる。
However, since the DLC film has a very strong compressive stress, in the above-mentioned layer structure, in the so-called longitudinal magnetic recording medium (11), a cupping (longitudinal magnetic field) which is convex on the magnetic layer (13) side of the medium is formed. (Curvature in the width direction of the recording medium) occurs.

【0006】このDLC膜の圧縮応力の起源は、特開平
4−132684号公報に記述されているように、ダイ
ヤモンド構造の成長様式にあると考えられている。すな
わち、基板上に捕獲されたダイヤモンド核を中心として
ダイヤモンド構造が逆テーパー状に成長していくことに
より、成長が進むにつれて膜内部に結晶粒界を中心とし
て圧縮応力が形成・蓄積されていく。DLC膜も連続で
はないがダイヤモンド構造を含有するため、本質的に圧
縮応力を生じてしまう。また、ダイヤモンド構造を多く
含有するDLC膜ほど、強い圧縮応力を生じることにな
る。
The origin of the compressive stress of this DLC film is considered to be the growth pattern of the diamond structure, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 4-132684. That is, as the diamond structure grows in an inversely tapered shape centering on the diamond nuclei captured on the substrate, compressive stress is formed / accumulated inside the film centering on the crystal grain boundaries as the growth progresses. Although the DLC film is not continuous, it also contains a diamond structure, so that a compressive stress is essentially generated. In addition, a DLC film containing more diamond structure will generate a stronger compressive stress.

【0007】このように、DLC膜は磁性層の保護層と
しての役目を果たすが、DLC膜の強い圧縮応力によっ
て、長手磁気記録媒体においてカッピングを起こす。長
手媒体の製造工程において、カッピングは走行不安定化
の原因となり巻き乱れやエッジダメージを生じさせ、製
品歩留りや、記録・再生の信頼性、走行耐久性に大きく
影響する。
As described above, the DLC film serves as a protective layer for the magnetic layer, but cupping occurs in the longitudinal magnetic recording medium due to the strong compressive stress of the DLC film. In the manufacturing process of a longitudinal medium, cupping causes instability in running and causes winding disorder and edge damage, which greatly affects product yield, recording / reproducing reliability, and running durability.

【0008】特許第2638113号公報、特開平9−
91681号公報、特開平9−54935号公報には、
磁性層上にDLC膜を有する磁気記録媒体が開示されて
いる。しかしながら、いずれの公報にも、薄膜化された
磁性層におけるカッピング防止は不十分である。
Japanese Patent No. 2638113, Japanese Patent Laid-Open No. 9-
In Japanese Patent No. 91681 and Japanese Patent Laid-Open No. 9-54935,
A magnetic recording medium having a DLC film on a magnetic layer is disclosed. However, none of these publications is sufficient to prevent cupping in a thin magnetic layer.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】そこで、金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体において、磁性層上にDLC保護層を
設け走行耐久性や耐候性を向上させつつ、カッピングを
起こすことのない媒体が望まれる。本発明の目的は、走
行耐久性や耐候性に優れると共に、カッピングが防止さ
れた磁気記録媒体及びその製造方法を提供することにあ
る。
Therefore, in a magnetic recording medium of a metal magnetic thin film type, a medium in which a DLC protective layer is provided on a magnetic layer so as to improve running durability and weather resistance and which does not cause cupping is desired. Be done. An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium that is excellent in running durability and weather resistance and that prevents cupping, and a method for manufacturing the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
した結果、磁性層上にDLC保護層が設けられた磁気記
録媒体において、支持体のバックコート層側にカッピン
グ防止機能層を設けることにより、走行耐久性や耐候性
に優れると共に、カッピングを起こすことのない磁気記
録媒体が得られることを見いだし、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、支持体の一面側の磁性層上に形成
されたDLC保護層が有する磁性層側に凸となるカッピ
ング作用を打ち消して媒体の平面性を保つために、前記
支持体の他面上に、カッピング防止機能層としてのDL
C層を形成することに基づく。
DISCLOSURE OF THE INVENTION As a result of intensive studies by the present inventors, in a magnetic recording medium in which a DLC protective layer is provided on a magnetic layer, a cupping prevention functional layer is provided on the backcoat layer side of a support. As a result, they have found that a magnetic recording medium that is excellent in running durability and weather resistance and does not cause cupping can be obtained, and has reached the present invention.
That is, in order to maintain the flatness of the medium by canceling the cupping action of the DLC protective layer formed on the magnetic layer on the one surface side of the support, which is convex on the magnetic layer side, the present invention provides DL as a cupping prevention function layer on the surface
It is based on forming a C layer.

【0011】本発明は、非磁性支持体の一面上に、少な
くとも磁性層、炭素を主成分とする機能層及び潤滑剤層
をこの順で有し、前記非磁性支持体の他面上に、カッピ
ング防止機能層及びバックコート層をこの順で有する磁
気記録媒体である。本発明は、カッピング防止機能層
は、炭素を主成分とする機能層による媒体の磁性層側に
凸となるカッピング作用を打ち消すように設けられたも
のである、前記の磁気記録媒体である。本発明は、カッ
ピング防止機能層は炭素を主成分とする層である、前記
の磁気記録媒体である。本発明は、カッピング防止機能
層は、0.01μm以下の厚みの炭素を主成分とする層
である、前記の磁気記録媒体である。
The present invention has at least a magnetic layer, a functional layer containing carbon as a main component, and a lubricant layer in this order on one surface of the non-magnetic support, and on the other surface of the non-magnetic support, A magnetic recording medium having a cupping prevention functional layer and a back coat layer in this order. The present invention is the above-described magnetic recording medium, wherein the cupping prevention functional layer is provided so as to cancel the cupping action which is convex on the magnetic layer side of the medium by the functional layer containing carbon as a main component. The present invention is the above magnetic recording medium, wherein the cupping prevention functional layer is a layer containing carbon as a main component. The present invention is the above-mentioned magnetic recording medium, wherein the cupping prevention layer is a layer containing carbon as a main component and having a thickness of 0.01 μm or less.

【0012】本発明は、磁性層は金属薄膜型磁性層であ
る、前記の磁気記録媒体である。本発明は、バックコー
ト層は塗布により形成されたものである、前記の磁気記
録媒体である。
The present invention is the above magnetic recording medium, wherein the magnetic layer is a metal thin film type magnetic layer. The present invention is the above magnetic recording medium, wherein the backcoat layer is formed by coating.

【0013】また、本発明は、非磁性支持体の一面上に
磁性層を気相成膜法で形成する工程と、前記磁性層上に
炭素を主成分とする機能層をCVD法又はスパッタ法で
形成する工程と、前記炭素を主成分とする機能層上に潤
滑剤層を塗布により形成する工程と、前記非磁性支持体
の他面上にカッピング防止機能層としての炭素を主成分
とする層を気相成膜法で形成する工程と、前記カッピン
グ防止機能層上にバックコート層を塗布により形成する
工程とを含む磁気記録媒体の製造方法である。
The present invention also provides a step of forming a magnetic layer on one surface of a non-magnetic support by a vapor deposition method, and a functional layer containing carbon as a main component on the magnetic layer by a CVD method or a sputtering method. And a step of forming a lubricant layer on the functional layer containing carbon as a main component by coating, and containing a carbon as a cupping-preventing functional layer on the other surface of the non-magnetic support as a main component. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising: a step of forming a layer by a vapor phase film forming method; and a step of forming a back coat layer on the cupping prevention functional layer by coating.

【0014】本発明は、非磁性支持体の一面上の前記炭
素を主成分とする機能層が有する磁性層側に凸となるカ
ッピング作用を打ち消して媒体の平面性を保つように、
非磁性支持体の他面上への前記炭素を主成分とする層
を、前記炭素を主成分とする機能層の形成条件と同じか
もしくは近似した条件で形成する、前記の磁気記録媒体
の製造方法である。
According to the present invention, the cupping action which becomes convex on the magnetic layer side of the functional layer containing carbon as a main component on one surface of the non-magnetic support is canceled to maintain the flatness of the medium.
Manufacturing of the magnetic recording medium, wherein the layer containing carbon as the main component on the other surface of the non-magnetic support is formed under the same or similar conditions as the formation conditions of the functional layer containing carbon as the main component. Is the way.

【0015】本発明は、非磁性支持体の一面上に磁性層
を形成する工程と、前記磁性層上に炭素を主成分とする
機能層をCVD法又はスパッタ法で形成する工程と、前
記非磁性支持体の他面上に、前記炭素を主成分とする機
能層が有する磁性層側に凸となるカッピング作用を打ち
消して媒体の平面性を保つように、カッピング防止機能
層としての炭素を主成分とする層を、前記炭素を主成分
とする機能層の形成条件と同じかもしくは近似した条件
で形成する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法であ
る。
The present invention comprises the steps of forming a magnetic layer on one surface of a non-magnetic support, forming a functional layer containing carbon as a main component on the magnetic layer by a CVD method or a sputtering method, and On the other surface of the magnetic support, carbon is mainly used as a cupping-preventing functional layer so as to cancel the cupping action that is convex on the magnetic layer side of the functional layer containing carbon as a main component and maintain the planarity of the medium. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising the step of forming a component layer under the same or similar conditions as those of the functional layer containing carbon as the main component.

【0016】本発明において、前記炭素を主成分とする
機能層は、磁性層の物理的損傷からの保護と、磁性層の
酸化防止という機能を有する。また、潤滑剤層に比べれ
ば弱いが潤滑性を向上させる機能も有する。
In the present invention, the functional layer containing carbon as a main component has a function of protecting the magnetic layer from physical damage and a function of preventing oxidation of the magnetic layer. Further, it has a function of improving lubricity, although it is weaker than the lubricant layer.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】図2及び図3を参照して、本発明
の磁気記録媒体を説明する。図2は、本発明の磁気記録
媒体の層構成例を示す断面図である。図2において、磁
気記録媒体(1) は、非磁性支持体(2) の一面上に、磁性
層(3) 、炭素を主成分とする機能層(4) 及び潤滑剤層
(5) をこの順で有し、非磁性支持体(2) の他面上に、カ
ッピング防止機能層(6) 及びバックコート層(7) をこの
順で有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a sectional view showing an example of the layer structure of the magnetic recording medium of the present invention. In FIG. 2, the magnetic recording medium (1) comprises a magnetic layer (3), a carbon-based functional layer (4), and a lubricant layer on one surface of a non-magnetic support (2).
(5) in this order, and the cupping prevention functional layer (6) and the backcoat layer (7) in this order on the other surface of the non-magnetic support (2).

【0018】非磁性支持体(2) の材料は、特に限定され
ることなく、ポリエチレンテレフタレート(PET)、
ポリエチレンナフタレート(PEN)などのポリエステ
ル系樹脂、芳香族ポリアミドなどのポリアミド系、ポリ
エチレン、ポリプロピレンなどのオレフィン系の樹脂よ
り選択される。非磁性支持体厚みは、目的とする録画時
間や記録時間等により、3〜12μmより選択される。
The material of the non-magnetic support (2) is not particularly limited, and polyethylene terephthalate (PET),
It is selected from polyester resins such as polyethylene naphthalate (PEN), polyamide resins such as aromatic polyamide, and olefin resins such as polyethylene and polypropylene. The thickness of the non-magnetic support is selected from 3 to 12 μm depending on the intended recording time, recording time and the like.

【0019】非磁性支持体(2) の一面上に、磁性層(3)
を、蒸着、イオンプレーティングなど気相成膜法で成膜
する。磁性材料としては、Co又はCoを含む合金、例
えば、Co−Ni、Co−Cr、Fe−Co−Ni、C
o−Pt、Co−Feなどが用いられる。蒸着などの気
相成膜では、沸点が近いものは合金で、また異なるもの
は多元蒸着を行う。一方、スパッタなどでは、金属又は
合金そのままで成膜する。テープ状媒体では、斜め気相
成膜を行う。
A magnetic layer (3) is provided on one surface of the non-magnetic support (2).
Is formed by a vapor phase film forming method such as vapor deposition or ion plating. As the magnetic material, Co or an alloy containing Co, for example, Co—Ni, Co—Cr, Fe—Co—Ni, C
o-Pt, Co-Fe, etc. are used. In vapor-phase film formation such as vapor deposition, alloys with similar boiling points are used, and multiple vapor depositions with different boiling points are performed. On the other hand, in the case of sputtering or the like, the film is formed with the metal or alloy as it is. For tape-shaped media, oblique vapor phase film formation is performed.

【0020】磁性層の蒸着は、蒸着用チャンバー内を1
-5Torr程度にまで排気した後、磁性材料を電子銃
にて溶解し、磁性材料全体が溶解した時点で非磁性支持
体を冷却したメインローラ(冷却キャン)に沿って走行
させてメインローラ部にて蒸着を始める。このときに磁
気特性を制御するために、酸素、オゾン、亜酸化窒素か
ら選ばれる酸化性ガスを磁性層へ導入しても良い。長手
媒体では、斜め成膜を行い、カラムの角度を非磁性支持
体に対して20度から50度の範囲で行う。一方、垂直
媒体ではルツボをキャンの真下に位置させ、マスクの開
口部を±10度以下で行う。
The deposition of the magnetic layer is carried out by
After evacuating to about 0 -5 Torr, the magnetic material is melted by an electron gun, and when the whole magnetic material is melted, the non-magnetic support is run along the cooled main roller (cooling can) and the main roller. Starts vapor deposition at the department. At this time, in order to control the magnetic characteristics, an oxidizing gas selected from oxygen, ozone, and nitrous oxide may be introduced into the magnetic layer. For the longitudinal medium, oblique film formation is performed, and the column angle is set to 20 to 50 degrees with respect to the non-magnetic support. On the other hand, in the vertical medium, the crucible is located right below the can, and the opening of the mask is ± 10 degrees or less.

【0021】磁性層は、単層又は多層構成とされる。磁
性層の厚みは、0.01〜0.5μm程度である。
The magnetic layer has a single-layer or multi-layer structure. The thickness of the magnetic layer is about 0.01 to 0.5 μm.

【0022】磁性層(3) 上に、炭素を主成分とする機能
層(4) (DLC膜)を、CVD法又はスパッタ法で形成
する。スパッタ法でも問題はないが、高速に成膜できる
CVD法の方が望ましい。CVD法に用いられるガス
は、メタン、エタン、プロパン、ブタン、エチレン、プ
ロピレン、アセチレンなど常温常圧で気体状のものが使
い易く、あるいは液体原料でも問題はない。
A functional layer (4) (DLC film) containing carbon as a main component is formed on the magnetic layer (3) by a CVD method or a sputtering method. Although there is no problem with the sputtering method, the CVD method that can form a film at high speed is preferable. As the gas used in the CVD method, a gaseous substance such as methane, ethane, propane, butane, ethylene, propylene, and acetylene at room temperature and normal pressure is easy to use, or a liquid raw material may be used.

【0023】反応系に上記ガスを導入し、高周波を印加
してプラズマ状態を作り出し、気相成膜を行う。具体的
には、繰出しローラ、巻取りローラ、プラズマ重合用部
分円筒面状(断面部分円弧状)電極板を間隔をおいて対
向して有するメインローラ等、及び必要に応じてパスロ
ーラ、を備えたチャンバー(真空槽)において、原反
(強磁性金属を蒸着した非磁性支持体をロール状に捲回
したもの)を繰出しローラに設置後、10-5Torrよ
り低圧にまで排気したのち、炭化水素ガスを、反応圧力
として1〜10-2Torrになるように所定量を導入し
つつ、プラズマ重合する。導入量は、チャンバーの大き
さに依存するので必要に応じて適宜決定する。
The gas described above is introduced into the reaction system, a high frequency is applied to create a plasma state, and vapor phase film formation is performed. Specifically, it is provided with a feeding roller, a winding roller, a main roller having plasma-polymerizing partially cylindrical surface-shaped (section arc-shaped) electrode plates facing each other with a gap, and a pass roller if necessary. In a chamber (vacuum chamber), a raw fabric (a roll of a non-magnetic support on which a ferromagnetic metal is vapor-deposited) is placed on a feeding roller, and after exhausting to a pressure lower than 10 -5 Torr, a hydrocarbon is discharged. Plasma polymerization is carried out while introducing a predetermined amount of gas so that the reaction pressure becomes 1 to 10 -2 Torr. The amount to be introduced depends on the size of the chamber and is appropriately determined as necessary.

【0024】高周波は、特に限定はないが、1kHz〜
1MHz程度が放電も安定し、使い易い。1kHzより
低い周波数では、長時間の成膜が行いにくいし、1MH
zより高い周波数では、硬い膜か得られにくい。使用し
易い範囲としては、50kHz〜450kHzくらいが
望ましい。炭素を主成分とする膜の膜厚としては、2〜
20nm厚のものが使用され、望ましくは5〜10nm
程度である。2nmより薄いと保護膜の機能が発現せ
ず、一方、20nmより厚いとスペーシングロス上問題
がある。
The high frequency is not particularly limited, but 1 kHz to
Discharge of about 1 MHz is stable and easy to use. If the frequency is lower than 1 kHz, it is difficult to form a film for a long time, and
It is difficult to obtain a hard film at a frequency higher than z. As a range that is easy to use, 50 kHz to 450 kHz is desirable. The thickness of the film containing carbon as a main component is 2 to
20 nm thick is used, preferably 5-10 nm
It is a degree. If it is thinner than 2 nm, the function of the protective film does not appear, while if it is thicker than 20 nm, there is a problem in terms of spacing loss.

【0025】DLC膜の上には潤滑剤が塗設しにくいの
で、DLC膜形成後に後処理を行っても良い。後処理は
酸素又は酸素を含むガスを用いて行うことが望ましく、
例えば、酸素、空気、炭酸ガスなどが使用される。後処
理は、DLC膜形成時とあまり変わらない手法が使い易
い。後処理における周波数は、DLC膜形成時と同様に
1kHz〜40MHzが望ましく、特に50kHz〜1
3.56MHzであれば効果が発現し易い。
Since it is difficult to apply a lubricant on the DLC film, a post-treatment may be performed after the DLC film is formed. The post-treatment is preferably performed using oxygen or a gas containing oxygen,
For example, oxygen, air, carbon dioxide gas or the like is used. For the post-treatment, a method that is not much different from that used when the DLC film is formed is easy to use. The frequency in the post-treatment is preferably 1 kHz to 40 MHz as in the case of forming the DLC film, and particularly 50 kHz to 1
If it is 3.56 MHz, the effect is likely to be exhibited.

【0026】炭素を主成分とする機能層(4) 上に潤滑剤
層(5) を塗布により形成する。潤滑剤としては、フッ素
を含む潤滑剤、炭化水素系のエステル、又はこれらの混
合物が用いられる。
A lubricant layer (5) is formed by coating on the functional layer (4) containing carbon as a main component. As the lubricant, a lubricant containing fluorine, a hydrocarbon-based ester, or a mixture thereof is used.

【0027】潤滑剤は、例えば、基本構造として、R1
−A−R2 で表わされるものである。ここで、 R1 :CF3 (CF2 n −、CF3 (CF2 n (C
2 m −、CH3 (CH2 l −、又はHであり、 A:−COO−、−O−、又は−COOCH(Cl
2l+1)CH2 COO−であり、 R2 :CF3 (CF2 n −、CF3 (CF2 n (C
2 m −、CH3 (CH2 l −、又はHである。 但し、R1 とR2 とは異なり、n=7〜17、m=1〜
3、l=7〜30を満足するものが好ましい。更に、R
1 及び/又はR2 が直鎖のものであれば、潤滑効果が大
きい。nが7より小さいと撥水効果が低く、また、nが
17より大きいと潤滑剤と非磁性支持体あるいはバック
コート層とのブロッキング現象が起こり、摩擦が低くな
らない。これらの中でも特にフッ素を含む潤滑剤が好ま
しい。さらにこのような潤滑剤を2種以上混合しても良
い。
The lubricant has, for example, R 1 as a basic structure.
It is represented by -A-R 2 . Wherein, R 1: CF 3 (CF 2) n -, CF 3 (CF 2) n (C
H 2) m -, CH 3 (CH 2) l -, or a H, A: -COO -, - O-, or -COOCH (C l H
2l + 1) CH 2 is COO-, R 2: CF 3 ( CF 2) n -, CF 3 (CF 2) n (C
H 2 ) m −, CH 3 (CH 2 ) 1 −, or H. However, unlike R 1 and R 2 , n = 7 to 17 and m = 1 to
Those satisfying 3, 1 = 7 to 30 are preferable. Furthermore, R
If 1 and / or R 2 is a straight chain, the lubricating effect is large. When n is less than 7, the water repellency effect is low, and when n is greater than 17, a blocking phenomenon occurs between the lubricant and the non-magnetic support or the back coat layer, and the friction is not lowered. Of these, a lubricant containing fluorine is particularly preferable. Further, two or more kinds of such lubricants may be mixed.

【0028】これらの潤滑剤をケトン類、炭化水素類、
アルコール類などの溶剤に溶解させて塗布液を調製す
る。ケトン類としては、アセトン、メチルエチルケトン
(MEK)、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノ
ン、ジエチルケトン等が挙げられる。炭化水素類として
は、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、
アンデカン、ドデカンのノルマル系、iso系等が挙げ
られる。アルコール系としては、メタノール、エタノー
ル、プロパノール、イソプロパノール等が挙げられる。
調製された塗布液を、炭素を主成分とする膜上に塗布し
乾燥し、潤滑剤層とする。潤滑剤層の厚みは、正確には
測定できないが数nm程度とされる。また、潤滑剤量は
塗布液の濃度により調整する。
These lubricants are used as ketones, hydrocarbons,
A coating liquid is prepared by dissolving it in a solvent such as alcohols. Examples of the ketones include acetone, methyl ethyl ketone (MEK), methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, diethyl ketone and the like. Hydrocarbons include hexane, heptane, octane, nonane, decane,
Examples include normal type of andecan and dodecane, and iso type. Examples of alcohols include methanol, ethanol, propanol, and isopropanol.
The prepared coating liquid is applied onto a film containing carbon as a main component and dried to form a lubricant layer. The thickness of the lubricant layer cannot be measured accurately, but is set to about several nm. The amount of lubricant is adjusted according to the concentration of the coating liquid.

【0029】非磁性支持体(2) の他面上に、カッピング
防止機能層としての炭素を主成分とする層(6) (DLC
膜)を、炭素を主成分とする機能層(4) におけるのと同
様に形成する。非磁性支持体(2) の他面上に炭素を主成
分とする層を設けることにより、炭素を主成分とする機
能層(4) による媒体の磁性層(3) 側に凸となるカッピン
グ作用を打ち消すことができ、カッピングを防止するこ
とができる。
On the other surface of the non-magnetic support (2), a layer containing carbon as a main component (6) (DLC as a cupping prevention layer).
The film is formed in the same manner as in the functional layer (4) containing carbon as a main component. By providing a layer containing carbon as the main component on the other surface of the non-magnetic support (2), a cupping action by the functional layer containing carbon as the main component (4) that is convex on the magnetic layer (3) side of the medium Can be canceled and cupping can be prevented.

【0030】カッピング防止について、図3を参照して
説明する。図3は、長手磁気記録媒体(1) における磁性
層(3) 、炭素を主成分とする機能層(4) 、カッピング防
止機能層としての炭素を主成分とする層(6) 及びバック
コート層(7) の各層のカッピングに及ぼす作用を概念的
に示す幅方向の断面図である。そのため、各層は離され
て描かれている。
The prevention of cupping will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows a magnetic layer (3) in a longitudinal magnetic recording medium (1), a functional layer containing carbon as a main component (4), a layer containing carbon as a cupping-preventing functional layer (6), and a back coat layer. FIG. 7 is a cross-sectional view in the width direction that conceptually shows the effect of (7) on the cupping of each layer. Therefore, the layers are depicted separated.

【0031】炭素を主成分とする機能層(4) は磁性層
(3) 上に気相成膜されたDLC膜であり、圧縮応力によ
って磁性層(3) 側に凸となるカッピング作用を有する。
一方、カッピング防止機能層としての炭素を主成分とす
る層(6) は支持体(2) の下面上に気相成膜されたDLC
膜であり、圧縮応力によってバックコート層(7) 側に凸
となるカッピング作用を有する。このように、炭素を主
成分とする機能層(4) による磁性層(3) 側に凸となるカ
ッピング作用が打ち消される。従って、炭素を主成分と
する層(6) は炭素を主成分とする機能層(4) と等しいか
もしくは近似した厚みを有することが好ましく、炭素を
主成分とする機能層(4) と同じかもしくは近似した条件
で成膜されることが好ましい。
The functional layer (4) containing carbon as a main component is a magnetic layer.
(3) A DLC film vapor-deposited on top of the DLC film, which has a cupping action of being convex on the magnetic layer (3) side by compressive stress.
On the other hand, the carbon-based layer (6) as the cupping prevention layer is a DLC film formed on the lower surface of the support (2) in a vapor phase.
It is a film, and has a cupping action of being convex on the back coat layer (7) side due to compressive stress. In this way, the cupping action which is convex on the magnetic layer (3) side by the functional layer (4) containing carbon as a main component is canceled. Therefore, the carbon-based layer (6) preferably has a thickness equal to or similar to that of the carbon-based functional layer (4), and is the same as the carbon-based functional layer (4). Alternatively, it is preferable that the film is formed under similar conditions.

【0032】より詳細には、蒸着により形成された磁性
層(3) は、DLC膜に比べると弱いが、バックコート層
(7) 側に凸となるカッピング作用を有する。以下で述べ
る塗布により形成されたバックコート層(7) は、DLC
膜に比べると弱いが、磁性層(3) 側に凸となるカッピン
グ作用を有する。従って、カッピング防止機能層として
の炭素を主成分とする層(6) は、これらの層(3),(4),
(6),(7) が有するカッピング作用がうまく中和され媒体
の平面性が保たれるように、0.01μm以下の厚みで
形成されることが好ましい。炭素を主成分とする層(6)
のより好ましい厚みは、0.001μm〜0.09μm
である。
More specifically, the magnetic layer (3) formed by vapor deposition is weaker than the DLC film, but the back coat layer
(7) It has a cupping action that is convex on the side. The back coat layer (7) formed by coating described below is DLC.
It is weaker than the film, but has a cupping action to make it convex on the magnetic layer (3) side. Therefore, the layer containing carbon as the main component (6) as the cupping prevention layer is the layer (3), (4),
The thickness is preferably 0.01 μm or less so that the cupping effect of (6) and (7) is well neutralized and the flatness of the medium is maintained. Carbon-based layers (6)
More preferable thickness of 0.001 μm to 0.09 μm
Is.

【0033】カッピング防止機能層としての炭素を主成
分とする層(6) 上にバックコート層(7) を塗布により形
成する。バックコート層(7) の塗布に先立ち、DLC膜
(6)形成後に前述したのと同様の後処理を行ってもよ
い。
A back coat layer (7) is formed by coating on a layer (6) containing carbon as a main component as a cupping prevention function layer. DLC film prior to coating the back coat layer (7)
(6) After the formation, the same post-treatment as described above may be performed.

【0034】バックコート層は、カーボンブラック、無
機顔料(炭酸カルシウムなど)、ニトロセルロース、フ
ェノキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、塩化
ビニル樹脂より選択される材料及び溶剤を用いてバック
コート用塗料を調製し、調製された塗料を非磁性支持体
の他面上に塗布し乾燥し、形成する。溶剤としては、メ
チルエチルケトン、トルエン、シクロヘキサノン等を用
いることができる。バックコート層の厚みは、0.1〜
0.7μm、特に0.3〜0.5μmが好ましい。以上
のようにして、蒸着型磁気記録媒体を作製する。
For the back coat layer, a back coat paint is prepared using a material and a solvent selected from carbon black, inorganic pigments (such as calcium carbonate), nitrocellulose, phenoxy resin, urethane resin, polyester resin and vinyl chloride resin. Then, the prepared coating material is applied on the other surface of the non-magnetic support and dried to form. As the solvent, methyl ethyl ketone, toluene, cyclohexanone or the like can be used. The thickness of the back coat layer is 0.1 to
0.7 μm, particularly 0.3 to 0.5 μm is preferable. The vapor deposition type magnetic recording medium is manufactured as described above.

【0035】[0035]

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではな
い。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to the examples.

【0036】[実施例]4.5μm厚みのPEN(ポリ
エチレンナフタレート)支持体の一面上に、蒸着法でト
ータル0.2μm厚みのCo100%磁性層を同方向2
層成膜した。磁性層上に、エチレンを導入して、所定の
放電周波数(50kHz)を印加してプラズマ重合硬質
炭素膜(DLC膜)を0.01μm厚みで成膜した。D
LC膜に対し潤滑剤を固定するための後処理(プラズマ
処理)をO2 ガスを用いて行った。後処理されたDLC
膜上に、潤滑剤塗布液をダイノズル法で塗布し乾燥し
て、潤滑剤層を成膜した。潤滑剤塗布液は、0.5重量
%の潤滑剤合計濃度となるように、以下に示すコハク酸
誘導体の含フッ素化合物と脂肪族エステルの含フッ素化
合物とを同一重量でMEK/ヘキサン/エタノール=1
/2/7の混合溶媒中に溶解させた溶液であった。
[Example] A 100% Co 100% magnetic layer having a total thickness of 0.2 μm was formed on one surface of a PEN (polyethylene naphthalate) support having a thickness of 4.5 μm in the same direction 2 by vapor deposition.
Layers were formed. Onto the magnetic layer, ethylene was introduced and a predetermined discharge frequency (50 kHz) was applied to form a plasma polymerized hard carbon film (DLC film) with a thickness of 0.01 μm. D
Post treatment (plasma treatment) for fixing the lubricant to the LC film was performed using O 2 gas. Post-processed DLC
A lubricant coating solution was applied onto the film by a die nozzle method and dried to form a lubricant layer. The lubricant coating liquid contains the following fluorine-containing compound of succinic acid derivative and fluorine-containing compound of aliphatic ester in the same weight so that the total lubricant concentration becomes 0.5% by weight: MEK / hexane / ethanol = 1
It was a solution dissolved in a mixed solvent of / 2/7.

【0037】支持体の他面上に、エチレンを導入して、
所定の放電周波数(50kHz)を印加してプラズマ重
合硬質炭素膜(DLC膜)を0.01μm厚みで成膜し
た。DLC膜に対し後処理(プラズマ処理)をO2 ガス
を用いて行った。後処理されたDLC膜上に、以下の組
成のバックコート層分散液をダイノズル法で、乾燥後の
厚みが0.4μmとなるように塗布、乾燥し、バックコ
ート層を形成した。
On the other surface of the support, ethylene was introduced,
A predetermined discharge frequency (50 kHz) was applied to form a plasma polymerized hard carbon film (DLC film) with a thickness of 0.01 μm. Post-treatment (plasma treatment) was performed on the DLC film using O 2 gas. A backcoat layer dispersion having the following composition was applied onto the post-treated DLC film by a die nozzle method so as to have a thickness after drying of 0.4 μm and dried to form a backcoat layer.

【0038】得られた各層形成済みの原反をDVC(1
/4インチ)幅に切断し、磁気テープサンプルとした。
磁性層は、保磁力(Hc)=118.5A/m(150
0Oe)、飽和磁束密度(Bs)=0.55T(550
0G)とした。磁気テープサンプルのカッピングを測定
した。
The obtained raw fabric on which each layer has been formed is DVC (1
It was cut into a width of / 4 inch) to obtain a magnetic tape sample.
The magnetic layer has a coercive force (Hc) of 118.5 A / m (150
0 Oe), saturation magnetic flux density (Bs) = 0.55 T (550
0G). The cupping of magnetic tape samples was measured.

【0039】 (潤滑剤) HOOCCH(C1429)CH2 COOCH2 CH2 (CF2 7 CF3 CH3 (C1632)COOCH2 CH2 (CF2 7 CF3 (バックコート層塗布液の組成) カーボンブラック(粒径80nm) 10重量部 カーボンブラック(粒径20nm) 40重量部 炭酸カルシウム (粒径70nm) 50重量部 Nc(ニトロセルロース) 40重量部 (旭化成工業社製(BTH1/2S) ポリウレタン樹脂(東洋紡績社製:UR−8300) 60重量部 メチルエチルケトン 800重量部 トルエン 640重量部 シクロヘキサノン 160重量部 ポリイソシアネート(固形分50%) 40重量部 (日本ポリウレタン工業社製:コロネートL)(Lubricant) HOOCCH (C 14 H 29 ) CH 2 COOCH 2 CH 2 (CF 2 ) 7 CF 3 CH 3 (C 16 H 32 ) COOCH 2 CH 2 (CF 2 ) 7 CF 3 (Backcoat layer Composition of coating liquid) Carbon black (particle size 80 nm) 10 parts by weight Carbon black (particle size 20 nm) 40 parts by weight Calcium carbonate (particle size 70 nm) 50 parts by weight Nc (nitrocellulose) 40 parts by weight (Asahi Kasei Kogyo KK (BTH1 / 2S) Polyurethane resin (manufactured by Toyobo Co., Ltd .: UR-8300) 60 parts by weight Methyl ethyl ketone 800 parts by weight Toluene 640 parts by weight Cyclohexanone 160 parts by weight Polyisocyanate (solid content 50%) 40 parts by weight (Nippon Polyurethane Industry Co .: Coronate L) )

【0040】[比較例]支持体の他面上にDLC膜を形
成せずに、支持体の他面上に直接バックコート層を形成
した以外は、実施例と同様にして磁気テープサンプルを
作製した。磁気テープサンプルのカッピングを測定し
た。
[Comparative Example] A magnetic tape sample was prepared in the same manner as in Example except that the DLC film was not formed on the other surface of the support and the back coat layer was directly formed on the other surface of the support. did. The cupping of magnetic tape samples was measured.

【0041】(カッピングの測定法)150mm長さの
磁気テープサンプルを、図4に示すように、磁性層側の
面を上に向け、水平位置に中心間距離35mmで設けら
れた左右2つの支点(p)(p)に左右対象となるように掛
け、テープの左右両端それぞれに0.3gを加重(w)(w)
した。この状態でのテープの左右方向の中点における変
形厚み(mm)を、レーザー光の遮光幅により測定し
た。この変形厚み(mm)の値をカッピング測定値とし
た。
(Method of measuring cupping) A magnetic tape sample having a length of 150 mm, as shown in FIG. 4, has a magnetic layer side face up, and two fulcrums provided at a horizontal position with a center distance of 35 mm. (p) (p) is symmetrically applied, and 0.3g is applied to each of the left and right ends of the tape (w) (w)
did. The deformation thickness (mm) at the midpoint of the tape in the left-right direction in this state was measured by the light-shielding width of laser light. The value of this deformation thickness (mm) was used as the cupping measurement value.

【0042】実施例のテープサンプルのカッピング測定
値は0mmであり、比較例テープサンプルのカッピング
測定値は0.8mm(磁性層側に凸)であった。
The tape sample of the example had a measured cupping value of 0 mm, and the tape sample of the comparative example had a measured cupping value of 0.8 mm (convex to the magnetic layer side).

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明によれば、磁性層上にDLC保護
層が設けられた磁気記録媒体において、支持体のバック
コート層側にカッピング防止機能層を設けることによ
り、走行耐久性や耐候性に優れると共に、カッピングを
起こすことのない磁気記録媒体及びその製造方法が提供
される。すなわち、本発明によれば、薄膜磁性層の保護
と媒体形状の維持とが両立できる。本発明による支持体
のバックコート層側へのカッピング防止機能層の形成と
いう手法は、今後の媒体の更なる薄膜化に対して、非常
に効果を発揮する。
According to the present invention, in a magnetic recording medium in which a DLC protective layer is provided on a magnetic layer, a cupping prevention function layer is provided on the backcoat layer side of a support, whereby running durability and weather resistance are improved. Provided are a magnetic recording medium which is excellent in heat resistance and does not cause cupping, and a manufacturing method thereof. That is, according to the present invention, both protection of the thin film magnetic layer and maintenance of the medium shape can be achieved. The method of forming the cupping-preventing functional layer on the backcoat layer side of the support according to the present invention is very effective for further thinning of the medium in the future.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 従来の磁気記録媒体の層構成を示す断面図で
ある。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a layer structure of a conventional magnetic recording medium.

【図2】 本発明の磁気記録媒体の層構成例を示す断面
図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a layer configuration example of a magnetic recording medium of the present invention.

【図3】 本発明におけるカッピング防止を説明するた
めの、長手磁気記録媒体における各層のカッピングに及
ぼす作用を概念的に示す幅方向の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view in the width direction conceptually showing the effect of each layer on the cupping in the longitudinal magnetic recording medium for explaining the cupping prevention in the present invention.

【図4】 カッピングの測定法の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a cupping measurement method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

(1) :磁気記録媒体 (2) :支持体 (3) :磁性層 (4) :炭素を主成分とする機能層 (5) :潤滑剤層 (6) :カッピング防止機能層 (7) :バックコート層 (1): Magnetic recording medium (2): Support (3): Magnetic layer (4): Functional layer containing carbon as a main component (5): Lubricant layer (6): Cupping prevention layer (7): Back coat layer

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 5/851 G11B 5/851 Fターム(参考) 5D006 AA02 AA05 CC01 CC03 5D112 AA07 AA08 BC01 BC05 BD01 BD02 FA01 FA04 FA09 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G11B 5/851 G11B 5/851 F term (reference) 5D006 AA02 AA05 CC01 CC03 5D112 AA07 AA08 BC01 BC05 BD01 BD02 FA01 FA04 FA09

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体の一面上に、少なくとも磁
性層、炭素を主成分とする機能層及び潤滑剤層をこの順
で有し、前記非磁性支持体の他面上に、カッピング防止
機能層及びバックコート層をこの順で有する磁気記録媒
体。
1. A non-magnetic support having at least a magnetic layer, a functional layer containing carbon as a main component and a lubricant layer in this order on one surface of the non-magnetic support, and preventing cupping on the other surface of the non-magnetic support. A magnetic recording medium having a functional layer and a back coat layer in this order.
【請求項2】 カッピング防止機能層は、炭素を主成分
とする機能層による媒体の磁性層側に凸となるカッピン
グ作用を打ち消すように設けられたものである、請求項
1に記載の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording according to claim 1, wherein the cupping-preventing functional layer is provided so as to cancel a cupping action which is convex on the magnetic layer side of the medium by the functional layer containing carbon as a main component. Medium.
【請求項3】 カッピング防止機能層は炭素を主成分と
する層である、請求項1又は2に記載の磁気記録媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the cupping prevention functional layer is a layer containing carbon as a main component.
【請求項4】 カッピング防止機能層は、0.01μm
以下の厚みの炭素を主成分とする層である、請求項1〜
3のうちのいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
4. The cupping prevention functional layer has a thickness of 0.01 μm.
A layer containing carbon as a main component and having the following thickness:
4. The magnetic recording medium according to any one of 3.
【請求項5】 磁性層は金属薄膜型磁性層である、請求
項1〜4のうちのいずれか1項に記載の磁気記録媒体。
5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is a metal thin film type magnetic layer.
【請求項6】 バックコート層は塗布により形成された
ものである、請求項1〜5のうちのいずれか1項に記載
の磁気記録媒体。
6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the back coat layer is formed by coating.
【請求項7】 非磁性支持体の一面上に磁性層を気相成
膜法で形成する工程と、前記磁性層上に炭素を主成分と
する機能層をCVD法又はスパッタ法で形成する工程
と、前記炭素を主成分とする機能層上に潤滑剤層を塗布
により形成する工程と、 前記非磁性支持体の他面上にカッピング防止機能層とし
ての炭素を主成分とする層を気相成膜法で形成する工程
と、前記カッピング防止機能層上にバックコート層を塗
布により形成する工程とを含む磁気記録媒体の製造方
法。
7. A step of forming a magnetic layer on one surface of a non-magnetic support by a vapor deposition method, and a step of forming a functional layer containing carbon as a main component on the magnetic layer by a CVD method or a sputtering method. A step of forming a lubricant layer on the functional layer containing carbon as a main component by coating, and a layer containing carbon as a main component as a cupping-preventing functional layer on the other surface of the non-magnetic support in a vapor phase. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising a step of forming by a film forming method and a step of forming a back coat layer on the cupping prevention functional layer by coating.
【請求項8】 非磁性支持体の一面上の前記炭素を主成
分とする機能層が有する磁性層側に凸となるカッピング
作用を打ち消して媒体の平面性を保つように、非磁性支
持体の他面上への前記炭素を主成分とする層を、前記炭
素を主成分とする機能層の形成条件と同じかもしくは近
似した条件で形成する、請求項7に記載の磁気記録媒体
の製造方法。
8. A non-magnetic support having a functional layer containing carbon as a main component on one surface of the non-magnetic support is canceled so as to cancel the cupping action which is convex toward the magnetic layer side and maintains the flatness of the medium. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 7, wherein the layer containing carbon as a main component on the other surface is formed under the same or similar conditions as the formation conditions of the functional layer containing carbon as a main component. .
【請求項9】 非磁性支持体の一面上に磁性層を形成す
る工程と、前記磁性層上に炭素を主成分とする機能層を
CVD法又はスパッタ法で形成する工程と、 前記非磁性支持体の他面上に、前記炭素を主成分とする
機能層が有する磁性層側に凸となるカッピング作用を打
ち消して媒体の平面性を保つように、カッピング防止機
能層としての炭素を主成分とする層を、前記炭素を主成
分とする機能層の形成条件と同じかもしくは近似した条
件で形成する工程とを含む磁気記録媒体の製造方法。
9. A step of forming a magnetic layer on one surface of a non-magnetic support, a step of forming a functional layer containing carbon as a main component on the magnetic layer by a CVD method or a sputtering method, and the non-magnetic support. On the other surface of the body, carbon is used as the main component of the cupping-preventing functional layer so as to cancel the cupping action which is convex on the magnetic layer side of the functional layer containing carbon as the main component and keeps the flatness of the medium. And a step of forming the layer under the same or similar conditions as those of the functional layer containing carbon as a main component.
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