JP2000339662A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents

Magnetic recording medium and its production

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JP2000339662A
JP2000339662A JP11150748A JP15074899A JP2000339662A JP 2000339662 A JP2000339662 A JP 2000339662A JP 11150748 A JP11150748 A JP 11150748A JP 15074899 A JP15074899 A JP 15074899A JP 2000339662 A JP2000339662 A JP 2000339662A
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JP
Japan
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film
magnetic
recording medium
magnetic recording
metal
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Withdrawn
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JP11150748A
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Japanese (ja)
Inventor
Ichiro Kanekawa
一朗 金川
Jota Ito
条太 伊藤
Shinichi Matsumura
伸一 松村
Hiroshi Yatagai
洋 谷田貝
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To carry out flattening with high precision even when a nonmagnetic substrate comprising a polyamide film is used. SOLUTION: At least, a metallic magnetic film 4 is formed on one principal face of a nonmagnetic substrate 1 to obtain the objective magnetic recording medium. The nonmagnetic substrate 1 comprises an aromatic polyamide film having 1.5-2.5% heat shrinkage percentage at 200 deg.C in the width direction. The metallic magnetic film 4 is prepared by etching an oxidized surface layer formed on the surface of the metallic magnetic film 4. A metallic thin film 5 for reinforcement is formed on the other principal face of the nonmagnetic substrate 1.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体の一
主面上に金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体に関
し、特に大容量のテープストリーマーとして用いて好適
な磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium having a metal magnetic film formed on one main surface of a non-magnetic support, and more particularly to a magnetic recording medium suitable for use as a large-capacity tape streamer. .

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ミニコンピュータ、パーソナルコ
ンピュータなどのオフィスコンピュータの普及に伴っ
て、外部記憶媒体としてコンピュータデータを記録する
ための磁気テープ(いわゆる、テープストリーマー)の
研究が盛んに行われている。このような用途の磁気テー
プの実用化に際しては、特にコンピュータの小型化、情
報処理能力の増大と相まって記録の大容量化、小型化を
達成するために記録容量の向上が強く要求される。
2. Description of the Related Art In recent years, with the spread of office computers such as minicomputers and personal computers, magnetic tapes (so-called tape streamers) for recording computer data as external storage media have been actively studied. . When a magnetic tape for such a purpose is put into practical use, an increase in the recording capacity is strongly required in order to achieve a large-capacity recording and a miniaturization, particularly in conjunction with the downsizing of the computer and the increase in the information processing capability.

【0003】一方、ビデオカセット用の磁気記録媒体と
しては、ビデオカセットの小型化に伴い、より一層のコ
ンパクト化と長時間記録化が望まれている。
On the other hand, as for a magnetic recording medium for a video cassette, further downsizing and long-time recording are desired with the downsizing of the video cassette.

【0004】また、磁気テープの使用環境の広がりによ
る幅広い環境条件下(特に、変動の激しい温湿度条件下
など)での使用、データ保存に対する信頼性、更に高速
での繰り返し使用による多数回走行におけるデータの安
定した記録、読み出し等の性能に対する信頼性なども従
来にまして要求されている。
In addition, the magnetic tape can be used under a wide range of environmental conditions (especially, in a highly fluctuating temperature and humidity condition) due to the spread of the usage environment, reliability in data storage, and in repeated running at high speed, can be used many times. There has also been a demand for reliability of performance such as stable recording and reading of data.

【0005】一般に、磁気テープは、合成樹脂などの可
撓性材料の非磁性支持体上に磁性層が設けられた構成で
ある。そして、上述したような大きい記録容量(体積記
録容量)を達成するためには、磁性層を強磁性金属薄膜
にすることにより磁性層自体の記録密度を高めるととも
に、磁気テープの全厚を薄くすることが有効な方法であ
るとされている。すなわち、磁気テープとしては、非磁
性支持体上に、金属磁性薄膜を成膜してなる、いわゆる
蒸着テープが有効である。
In general, a magnetic tape has a structure in which a magnetic layer is provided on a non-magnetic support made of a flexible material such as a synthetic resin. In order to achieve the above-mentioned large recording capacity (volume recording capacity), the recording density of the magnetic layer itself is increased by making the magnetic layer a ferromagnetic metal thin film, and the total thickness of the magnetic tape is reduced. It is said that this is an effective method. That is, as the magnetic tape, a so-called vapor deposition tape formed by forming a metal magnetic thin film on a non-magnetic support is effective.

【0006】この蒸着テープにおいて、非磁性支持体と
しては、ポリエステル、主としてポリエチレンテレフタ
レートフィルムが用いられている。特に、ホームビデオ
カセットテープ、例えば、8mmテープに用いられる非
磁性支持体としては、7〜10μm程度のポリエチレン
テレフタレート(PET)フィルムが用いられ、コンピ
ュータのデータバックアップ用のテープストリーマーに
は5〜7μm程度のポリエチレンテレフタレート(PE
T)フィルムが用いられている。
In this vapor-deposited tape, a polyester, mainly a polyethylene terephthalate film, is used as a nonmagnetic support. In particular, a non-magnetic support used for a home video cassette tape, for example, an 8 mm tape is a polyethylene terephthalate (PET) film of about 7 to 10 μm, and a tape streamer for data backup of a computer is about 5 to 7 μm. Polyethylene terephthalate (PE
T) Film is used.

【0007】また、ビデオテープに使用される磁気記録
媒体の記録時間を延長するための方法としては、例え
ば、特開平6−215350号公報に記載されるよう
に、非磁性支持体としてポリエステルを主成分とし、更
に具体的にはポリエチレンナフタレートを用いるのが望
ましいとされている。
As a method for extending the recording time of a magnetic recording medium used for a video tape, for example, as described in JP-A-6-215350, polyester is mainly used as a non-magnetic support. It is said that it is desirable to use polyethylene naphthalate as a component, more specifically.

【0008】一方、上述したようなポリエチレンテレフ
タレートやポリエチレンナフタレートフィルムに比べ強
度が高い芳香族ポリアミドフィルムを用いる検討もなさ
れている。このポリアミドフィルムを非磁性支持体とし
て用いた磁気記録媒体は、強度が高いため、厚さを薄く
することが可能であり、ビデオカセットテープの長時間
記録化、テープストリーマーの大容量化に対応した磁気
記録媒体として注目されている。
On the other hand, studies have been made to use an aromatic polyamide film having higher strength than the above-mentioned polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate film. The magnetic recording medium using this polyamide film as a non-magnetic support has high strength and can be reduced in thickness, and is suitable for long-time recording of video cassette tapes and large capacity of tape streamers. Attention has been paid to magnetic recording media.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポリア
ミドフィルムは、通常、非磁性支持体として用いられる
ポリエステルと熱収縮率が異なるため、蒸着テープの製
造工程で発生する熱履歴に対して反応が異なりいわゆる
カッピングやカーリングが発生する。このようにカッピ
ングやカーリングが発生し、その量が所定の限度を越え
ると、磁気記録媒体とヘッドとの接触状態、いわゆるヘ
ッド当たりが悪くなるといった問題点がある。
However, since the polyamide film usually has a different heat shrinkage from the polyester used as the non-magnetic support, it reacts differently to the heat history generated in the process of manufacturing the vapor-deposited tape. Cupping and curling occur. As described above, when the cupping or curling occurs and the amount exceeds a predetermined limit, there is a problem that the contact state between the magnetic recording medium and the head, that is, the so-called head contact is deteriorated.

【0010】更に、近年、磁気記録媒体は、ビデオカセ
ット等に用いられる場合、ビデオカセット等の小型化に
伴い、より一層のコンパクト化と長時間記録が要求され
ている。また、昨今の情報量の増大化に伴い、テープス
トリーマーにおいても、大容量化が要求されており、非
磁性支持体の薄膜化が強く要求されている。しかしなが
ら、磁気記録媒体では、非磁性支持体として薄型のもの
を用いると、高度な平坦性を達成することが困難である
といった不都合が生じる。
Further, in recent years, when a magnetic recording medium is used for a video cassette or the like, further downsizing and recording for a long time are required as the video cassette or the like is downsized. Also, with the recent increase in the amount of information, the tape streamer is also required to have a large capacity, and there is a strong demand for a thinner non-magnetic support. However, in a magnetic recording medium, when a thin nonmagnetic support is used, it is difficult to achieve a high degree of flatness.

【0011】特に、磁気記録媒体を製造するに際して、
カッピングやカーリングを矯正するために、所定の圧力
とともに意図的に数10℃〜200℃程度の熱を加え
る、いわゆるホットロール処理が施されている。しかし
ながら、このホットロール処理を施したとしても、所望
の平坦性を得るのは困難であり、特に、薄型の非磁性支
持体を用いる場合には殆ど効果がなかった。
In particular, when manufacturing a magnetic recording medium,
In order to correct cupping and curling, so-called hot roll treatment is performed in which heat of several tens to 200 ° C. is intentionally applied with a predetermined pressure. However, even with this hot roll treatment, it was difficult to obtain the desired flatness, and there was almost no effect particularly when a thin nonmagnetic support was used.

【0012】そこで、本発明は、このような技術的背景
に基づいて創案されたものであり、ポリアミドフィルム
からなる非磁性支持体を用いた場合であっても、高精度
に平坦化された磁気記録媒体を提供することを目的と
し、また、ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体を
用いた場合であっても、高精度に平坦化することができ
る磁気記録媒体の製造方法の提供を目的としている。
Accordingly, the present invention has been made based on such a technical background, and even when a non-magnetic support made of a polyamide film is used, a highly precisely flattened magnetic material is used. It is an object to provide a recording medium, and also to provide a method for manufacturing a magnetic recording medium that can be flattened with high accuracy even when a nonmagnetic support made of a polyamide film is used. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気記録媒
体は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、上記非磁性
支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからなるとともに
幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%
であり、上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成
された表面酸化層をエッチングされてなり、上記非磁性
支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に補強用金属薄膜が成膜されることを特徴とする。
A magnetic recording medium according to the present invention is a magnetic recording medium comprising at least a metal magnetic film formed on one main surface of a nonmagnetic support. Made of an aromatic polyamide film and having a heat shrinkage in the width direction of 200 ° C. of 1.5 to 2.5%
Wherein the metal magnetic film is formed by etching a surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film, and the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. A metal thin film for reinforcement is formed.

【0014】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性支持体の幅方向における200℃の
熱膨張率を上述したように規定されるため、所定の熱履
歴が加えられた場合においても、幅方向のカーリングや
カッピングが防止される。
In the magnetic recording medium according to the present invention configured as described above, the coefficient of thermal expansion at 200 ° C. in the width direction of the non-magnetic support is defined as described above, so that a predetermined thermal history is added. Also in this case, curling and cupping in the width direction are prevented.

【0015】また、本発明に係る磁気記録媒体は、金属
磁性膜の表面に形成された表面酸化層がエッチングされ
るため、優れた電磁変換特性を有することとなる。
Further, the magnetic recording medium according to the present invention has excellent electromagnetic conversion characteristics because the surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film is etched.

【0016】そして、本発明に係る磁気記録媒体は、非
磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に補強用金属薄膜が成膜されるため、幅方向のカーリ
ングやカッピングが確実に防止される。
In the magnetic recording medium according to the present invention, the reinforcing metal thin film is formed on the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. Curling and cupping are reliably prevented.

【0017】したがって、本発明に係る磁気記録媒体は
優れた電磁変換特性と形状安定性を有する。
Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention has excellent electromagnetic conversion characteristics and shape stability.

【0018】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法において、
幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後に当該
金属磁性膜表面に形成された表面酸化層をエッチングす
る工程と、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜さ
れる側と反対側の他主面に補強用金属薄膜を成膜する工
程と、上記補強用金属薄膜を成膜した後に熱履歴を加え
る工程とを有することを特徴とする。
Further, according to a method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention, there is provided a method of manufacturing a magnetic recording medium comprising at least a metal magnetic film formed on one main surface of a nonmagnetic support.
Heat shrinkage at 200 ° C in the width direction is 1.5 to 2.5%
Using a non-magnetic support made of an aromatic polyamide film, and forming the metal magnetic film on one main surface of the non-magnetic support; and forming the metal magnetic film after forming the metal magnetic film. Etching a surface oxide layer formed on the surface, forming a reinforcing metal thin film on the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed, Adding a thermal history after forming the reinforcing metal thin film.

【0019】以上のような本発明に係る磁気記録媒体の
製造方法によれば、幅方向における200℃の熱収縮率
を上述したように規定するため、所定の熱履歴が加えら
れた場合においても、磁気記録媒体は、幅方向のカーリ
ングやカッピングが防止される。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention as described above, since the thermal shrinkage at 200 ° C. in the width direction is defined as described above, even when a predetermined thermal history is applied. In the magnetic recording medium, curling and cupping in the width direction are prevented.

【0020】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法によれば、金属磁性膜の表面に形成された表面酸化層
をエッチングするため、磁気記録媒体は、優れた電磁変
換特性を有する。
Further, according to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, since the surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film is etched, the magnetic recording medium has excellent electromagnetic conversion characteristics.

【0021】そして、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される
側と反対側の他主面に補強用金属薄膜を成膜するため、
磁気記録媒体は、幅方向のカーリングやカッピングが確
実に防止される。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the reinforcing metal thin film is formed on the other main surface of the nonmagnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. ,
The magnetic recording medium is reliably prevented from curling and cupping in the width direction.

【0022】本発明に係る磁気記録媒体は、非磁性支持
体の一主面上に、少なくとも金属磁性膜が成膜されてな
る磁気記録媒体において、上記非磁性支持体は、芳香族
ポリアミドフィルムからなるとともに幅方向における2
00℃の熱収縮率が1.5〜2.5%であり、上記金属
磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表面酸化層
をエッチングされてなり、上記非磁性支持体の上記金属
磁性膜が成膜される側と反対側の他主面に有機プラズマ
重合体膜が成膜されることを特徴とする。
A magnetic recording medium according to the present invention is a magnetic recording medium in which at least a metal magnetic film is formed on one main surface of a nonmagnetic support, wherein the nonmagnetic support is made of an aromatic polyamide film. 2 in the width direction
The heat shrinkage at 00 ° C. is 1.5 to 2.5%, and the metal magnetic film is formed by etching a surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film, and the metal magnetic film of the nonmagnetic support is An organic plasma polymer film is formed on the other main surface opposite to the side on which the magnetic film is formed.

【0023】以上のように構成された本発明に係る磁気
記録媒体は、非磁性支持体の幅方向における200℃の
熱膨張率を上述したように規定されるため、所定の熱履
歴が加えられた場合においても、幅方向のカーリングや
カッピングが防止される。
In the magnetic recording medium according to the present invention configured as described above, since the coefficient of thermal expansion at 200 ° C. in the width direction of the nonmagnetic support is defined as described above, a predetermined thermal history is added. Also in this case, curling and cupping in the width direction are prevented.

【0024】また、本発明に係る磁気記録媒体は、金属
磁性膜の表面に形成された表面酸化層がエッチングされ
るため、優れた電磁変換特性を有することとなる。
Further, the magnetic recording medium according to the present invention has excellent electromagnetic conversion characteristics because the surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film is etched.

【0025】そして、本発明に係る磁気記録媒体は、非
磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側の他主
面に有機プラズマ重合体膜が成膜されるため、幅方向の
カーリングやカッピングが確実に防止される。
In the magnetic recording medium according to the present invention, the organic plasma polymer film is formed on the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. Curling and cupping are reliably prevented.

【0026】したがって、本発明に係る磁気記録媒体は
優れた電磁変換特性と形状安定性を有する。
Therefore, the magnetic recording medium according to the present invention has excellent electromagnetic conversion characteristics and shape stability.

【0027】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、非磁性支持体の一主面上に、少なくとも金属磁性
膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法において、
幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、上記金属磁性膜を成膜した後に当該
金属磁性膜表面に形成された表面酸化層をエッチングす
る工程と、上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜さ
れる側と反対側の他主面に有機プラズマ重合体膜を成膜
する工程と、上記有機プラズマ重合体膜を成膜した後に
熱履歴を加える工程とを有することを特徴とする。
[0027] The method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention is a method for manufacturing a magnetic recording medium comprising at least a metal magnetic film formed on one main surface of a nonmagnetic support.
Heat shrinkage at 200 ° C in the width direction is 1.5 to 2.5%
Using a non-magnetic support made of an aromatic polyamide film, and forming the metal magnetic film on one main surface of the non-magnetic support; and forming the metal magnetic film after forming the metal magnetic film. A step of etching a surface oxide layer formed on the surface, and a step of forming an organic plasma polymer film on the other main surface of the nonmagnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed, Adding a thermal history after forming the organic plasma polymer film.

【0028】以上のような本発明に係る磁気記録媒体の
製造方法によれば、幅方向における200℃の熱収縮率
を上述したように規定するため、所定の熱履歴が加えら
れた場合においても、磁気記録媒体は、幅方向のカーリ
ングやカッピングが防止される。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention as described above, since the thermal shrinkage at 200 ° C. in the width direction is defined as described above, even when a predetermined thermal history is applied. In the magnetic recording medium, curling and cupping in the width direction are prevented.

【0029】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法によれば、金属磁性膜の表面に形成された表面酸化層
をエッチングするため、磁気記録媒体は、優れた電磁変
換特性を有する。
Further, according to the method for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, since the surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film is etched, the magnetic recording medium has excellent electromagnetic conversion characteristics.

【0030】そして、本発明に係る磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される
側と反対側の他主面に有機プラズマ重合体膜を成膜する
ため、磁気記録媒体は、幅方向のカーリングやカッピン
グが確実に防止される。
According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, the organic plasma polymer film is formed on the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. Therefore, the magnetic recording medium is reliably prevented from curling or cupping in the width direction.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る磁気記録媒体
の好適な実施の形態を、図面を参照して詳細に説明す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a magnetic recording medium according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0032】第1の実施の形態 本実施の形態として示す磁気記録媒体は、図1に示すよ
うに、非磁性支持体1と、この非磁性支持体1の一主面
1a上に成膜された金属磁性膜4と、非磁性支持体1の
他主面1b上に形成された補強用金属薄膜5とを備える
ものである。また、この磁気記録媒体において、非磁性
支持体1は、芳香族ポリアミドフィルムからなる。
First Embodiment As shown in FIG. 1, a magnetic recording medium according to the present embodiment has a non-magnetic support 1 and a film formed on one main surface 1a of the non-magnetic support 1. And a reinforcing metal thin film 5 formed on the other main surface 1b of the nonmagnetic support 1. In this magnetic recording medium, the non-magnetic support 1 is made of an aromatic polyamide film.

【0033】そして、この芳香族ポリアミドフィルム
は、長手方向と直交する方向、すなわち幅方向における
200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%となっている。
The aromatic polyamide film has a heat shrinkage of 1.5 to 2.5% at 200 ° C. in a direction perpendicular to the longitudinal direction, that is, in the width direction.

【0034】更に本発明の磁気記録媒体の走行性を向上
させるために、補強用金属薄膜5上にバックコート層6
を形成しても良い。
In order to further improve the running property of the magnetic recording medium of the present invention, a back coat layer 6 is formed on the reinforcing metal thin film 5.
May be formed.

【0035】以下、非磁性支持体1、金属磁性膜4、補
強用金属薄膜5及びバックコート層6、並びに、これら
各層に用いられる結合剤及び添加剤について順に詳述す
る。
Hereinafter, the non-magnetic support 1, the metal magnetic film 4, the reinforcing metal thin film 5, the back coat layer 6, and the binder and additives used for these layers will be described in detail.

【0036】非磁性支持体1 先ず、非磁性支持体1は、上述したように、芳香族ポリ
アミドフィルムから構成されている。この非磁性支持体
1は、芳香族ポリアミドフィルムを用いることにより、
引っ張り強度などの物性において優れており、全体とし
ての厚みが非常に薄い場合でも十分耐えうる強度を有し
ている。
Non-magnetic support 1 First, the non-magnetic support 1 is made of an aromatic polyamide film as described above. The non-magnetic support 1 is made of an aromatic polyamide film,
It is excellent in physical properties such as tensile strength, and has sufficient strength to withstand even a very thin overall thickness.

【0037】芳香族ポリアミドフィルムは、例えば、下
記式(I)及び/又は(II)で表される芳香族ポリア
ミドを、50%モル以上、好ましくは70モル%以上含
有している。
The aromatic polyamide film contains, for example, an aromatic polyamide represented by the following formula (I) and / or (II) in an amount of 50% by mole or more, preferably 70% by mole or more.

【0038】[0038]

【化1】 Embedded image

【0039】なお、上記式において、X、Yは、−O
−,−CH2−,−CO−,−SO2−,−S−,−C
(CH32−等から選ばれるが、これに限定されるもの
ではない。更に、上記式において、芳香環上の水素原子
の一部が、ハロゲン基(特に、塩素)、ニトロ基、炭素
数1から3のアルキル基(特に、メチル基)、炭素数1
から3のアルコキシ基などの置換基で置換されているも
のであっても良く、また、重合体を構成するアミド結合
中の水素が他の置換基によって置換されていても良い。
In the above formula, X and Y represent -O
-, - CH 2 -, - CO -, - SO 2 -, - S -, - C
(CH 3 ) 2 — or the like, but is not limited thereto. Further, in the above formula, part of the hydrogen atoms on the aromatic ring is a halogen group (particularly chlorine), a nitro group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms (particularly methyl group),
And may be substituted with a substituent such as an alkoxy group from 1 to 3, or hydrogen in an amide bond constituting the polymer may be substituted with another substituent.

【0040】また、芳香族ポリアミドフィルムは、剛性
を高くする観点から、芳香環がパラ位で結合されたもの
が、全芳香環の60%以上、より好ましくは80%以上
を占める重合体であることが好ましい。また、吸湿性を
小さくする観点から芳香環上の水素原子の一部がハロゲ
ン基(特に、塩素原子)、ニトロ基、炭素数1から3の
アルキル基(特に、メチル基)、炭素数1から3のアル
コキシ基などで置換された芳香環が全体の30%以上を
占める重合体であることが好ましい。
From the viewpoint of increasing rigidity, the aromatic polyamide film is a polymer in which aromatic rings are bonded at the para-position and occupies 60% or more, more preferably 80% or more of the total aromatic rings. Is preferred. In addition, from the viewpoint of reducing the hygroscopicity, a part of the hydrogen atoms on the aromatic ring is a halogen group (particularly a chlorine atom), a nitro group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms (particularly a methyl group), It is preferable that the aromatic ring substituted with the alkoxy group 3 or the like occupies 30% or more of the whole.

【0041】更に、芳香族ポリアミドフィルムとして
は、上記式(I)及び/又は上記式(II)で表される
繰り返し単位を50モル%以上含むものであって、50
モル%未満は他の繰り返し単位、例えば、芳香族ポリイ
ミド単位や他の芳香族ポリアミド単位などが共重合、又
はブレンドしてなる重合体を使用することができるが、
全芳香族ポリアミド(アラミド)を用いることが好まし
い。
Further, the aromatic polyamide film contains at least 50 mol% of the repeating unit represented by the above formula (I) and / or the above formula (II).
Less than mol% of other repeating units, for example, a polymer obtained by copolymerizing or blending an aromatic polyimide unit or another aromatic polyamide unit can be used,
It is preferable to use wholly aromatic polyamide (aramid).

【0042】更にまた、この非磁性支持体1において
は、芳香族ポリアミドフィルムの構成は複合構造であっ
ても良い。すなわち、この非磁性支持体1は、複数の芳
香族ポリアミドフィルムが積層されてなるようなもので
あっても良い。
Further, in the non-magnetic support 1, the configuration of the aromatic polyamide film may be a composite structure. That is, the non-magnetic support 1 may be such that a plurality of aromatic polyamide films are laminated.

【0043】この場合、各層を構成する芳香族ポリアミ
ドフィルムは、上記式で表される重合体を主体とするも
のであれば、各層が同一組成であっても、異なっていて
も差し支えない。しかしながら、生産性の観点から、各
層が同一組成である方が有利である。例えば図2に、非
磁性支持体1が、第1の芳香族ポリアミドフィルム2と
第2の芳香族ポリアミドフィルム3との2層構造からな
る構成例を示す。
In this case, as long as the aromatic polyamide film constituting each layer is mainly composed of the polymer represented by the above formula, each layer may have the same composition or may be different. However, from the viewpoint of productivity, it is advantageous that each layer has the same composition. For example, FIG. 2 shows a configuration example in which the nonmagnetic support 1 has a two-layer structure of a first aromatic polyamide film 2 and a second aromatic polyamide film 3.

【0044】複数の芳香族ポリアミドフィルムを積層す
るには、各層を構成する複数の原液を公知の方法、例え
ば、特開昭56ー162617号公報に記載されるよう
に、合流管で積層したり、口金内で積層して形成するこ
とができる。
In order to laminate a plurality of aromatic polyamide films, a plurality of stock solutions constituting each layer are laminated by a known method, for example, as described in JP-A-56-162617, by lamination. Can be formed by laminating in a die.

【0045】ところで、この芳香族ポリアミドフィルム
を作製する際には、先ず、芳香族ポリアミドをN−メチ
ル−2−ピロリドン(NMP)に溶解させてなる溶液
を、温度100℃〜200℃のベルト上に流延し、10
0℃〜250℃の熱風で加熱を行い溶媒を蒸発させるこ
とにより自己保持性を有するフィルムを得る。その後、
このフィルムを、長手方向、幅方向にそれぞれ1.0〜
2.0倍に延伸しながら乾燥と熱処理を行うことによっ
て、芳香族ポリアミドフィルムが作製される。
When the aromatic polyamide film is produced, first, a solution obtained by dissolving an aromatic polyamide in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) is placed on a belt at a temperature of 100 ° C. to 200 ° C. And cast 10
The film is heated with hot air at 0 ° C. to 250 ° C. to evaporate the solvent to obtain a film having self-holding properties. afterwards,
This film, in the longitudinal direction, width direction each 1.0 ~
By performing drying and heat treatment while stretching 2.0 times, an aromatic polyamide film is produced.

【0046】このとき、芳香族ポリアミドフィルムで
は、長手方向及び幅方向に延伸される際の延伸倍率及び
熱処理条件等を調節することによって、長手方向及び幅
方向のヤング率及び熱収縮率を制御することができる。
At this time, in the aromatic polyamide film, the Young's modulus and the heat shrinkage in the longitudinal direction and the width direction are controlled by adjusting the stretching ratio and the heat treatment conditions when the film is stretched in the longitudinal direction and the width direction. be able to.

【0047】具体的に、非磁性支持体1は、厚さが2.
5μm〜5.0μmであり、長さ方向のヤング率が10
00kg/mm2以上であり、及び幅方向のヤング率が
1300kg/mm2以上であることが好ましい。この
ように、非磁性支持体1の厚み及びヤング率を規定する
ことによって、所望の強度が得られるとともに、磁気記
録媒体としての厚みを薄型化することが可能となり、記
録時間の長時間化及び記録量の大容量化に対応させるこ
とができる。
Specifically, the nonmagnetic support 1 has a thickness of 2.
5 μm to 5.0 μm, and the Young's modulus in the length direction is 10
And at 00kg / mm 2 or more, and the Young's modulus in the transverse direction thereof is at most 1300 kg / mm 2 or more. As described above, by defining the thickness and the Young's modulus of the nonmagnetic support 1, a desired strength can be obtained, and the thickness of the magnetic recording medium can be reduced. It is possible to cope with an increase in the recording amount.

【0048】また、この非磁性支持体1には、磁気記録
媒体の製造工程でのハンドリング性あるいは磁性層表面
を適度な粗さにし、磁気記録媒体の高い走行耐久性を得
るため、不活性粒子を添加することが望ましい。
The non-magnetic support 1 is provided with inert particles in order to make it easier to handle or to make the surface of the magnetic layer moderate in the manufacturing process of the magnetic recording medium and to obtain high running durability of the magnetic recording medium. Is desirably added.

【0049】この非磁性支持体1中に添加される不活性
粒子としては、SiO2、TiO2、Al23、CaSO
4、BaSO4、CaCO3、カ−ボンブラック、ゼオラ
イト、その他の金属微粉末などの無機粒子や、シリコン
粒子、ポリイミド粒子、架橋とも重合体粒子、架橋ポリ
エステル粒子、テフロン粒子などの有機高分子などを使
用することができる。なかでも、耐熱性の観点からは、
上述した無機粒子を使用することが好ましい。
The inert particles added to the non-magnetic support 1 include SiO 2 , TiO 2 , Al 2 O 3 , CaSO
4 , inorganic particles such as BaSO 4 , CaCO 3 , carbon black, zeolite, and other fine metal powders, and silicon particles, polyimide particles, and organic polymers such as polymer particles, cross-linked polyester particles, and Teflon particles. Can be used. Above all, from the viewpoint of heat resistance,
It is preferable to use the above-mentioned inorganic particles.

【0050】この不活性粒子の添加方法としては、粒子
を予め溶媒中に十分スラリー化した後、重合用溶媒又は
希釈用溶媒として使用する方法や、原液を調製した後に
直接添加する方法などがある。
Examples of the method of adding the inert particles include a method in which particles are sufficiently slurried in a solvent in advance and then used as a solvent for polymerization or a solvent for dilution, or a method in which a stock solution is prepared and then directly added. .

【0051】また、この非磁性支持体1が複数の芳香族
ポリアミドフィルムからなる場合、各層に対して異なる
平均粒径を有する不活性粒子を添加することが好まし
い。具体的に、金属磁性膜4が成膜される面を構成する
芳香族ポリアミドフィルムには、平均粒径が比較的小で
ある不活性粒子が添加され、金属磁性膜4が成膜される
面とは反対側の面を構成する芳香族ポリアミドフィルム
には、平均粒径が比較的大である不活性粒子が添加され
ることが好ましい。
When the non-magnetic support 1 is composed of a plurality of aromatic polyamide films, it is preferable to add inert particles having a different average particle size to each layer. Specifically, inert particles having a relatively small average particle diameter are added to the aromatic polyamide film constituting the surface on which the metal magnetic film 4 is formed, and the surface on which the metal magnetic film 4 is formed is added. It is preferable to add inert particles having a relatively large average particle size to the aromatic polyamide film constituting the surface on the opposite side from the above.

【0052】このように、金属磁性膜4が成膜される芳
香族ポリアミドフィルムに平均粒径が比較的小の不活性
粒子を添加することによって、この金属磁性膜4が成膜
される面の表面粗さを低く抑えることができる。これに
より、金属磁性膜4が所望の表面性を有することとなり
磁気記録媒体の優れた電磁変換特性を確保することがで
き、また、金属磁性膜4表面の粗大突起が形成されにく
いため、ドロップアウト等の発生を抑えることができ、
磁気記録媒体の走行安定性を確保することができる。
As described above, by adding inert particles having a relatively small average particle size to the aromatic polyamide film on which the metal magnetic film 4 is formed, the surface on which the metal magnetic film 4 is formed can be formed. Surface roughness can be kept low. As a result, the metal magnetic film 4 has a desired surface property, and excellent electromagnetic conversion characteristics of the magnetic recording medium can be secured. Also, since coarse projections on the surface of the metal magnetic film 4 are hardly formed, dropout Etc. can be suppressed,
The running stability of the magnetic recording medium can be ensured.

【0053】また、これに対して、金属磁性膜4が成膜
される面とは反対側の芳香族ポリアミドフィルムに平均
粒径が比較的大の不活性粒子を添加することによって、
バックコート層6が形成される面の表面粗さを比較的に
大とすることができる。これにより、バックコート層6
の表面粗さを比較的に大とすることができ、製造工程に
おけるハンドリング特性を向上させることができる。
On the other hand, by adding inert particles having a relatively large average particle size to the aromatic polyamide film on the side opposite to the surface on which the metal magnetic film 4 is formed,
The surface roughness of the surface on which the back coat layer 6 is formed can be made relatively large. Thereby, the back coat layer 6
Can have relatively large surface roughness, and the handling characteristics in the manufacturing process can be improved.

【0054】より具体的には、バックコート層6が形成
される芳香族ポリアミドフィルムに含有される不活性粒
子の平均粒径は、0.05〜1.5μmであることが好
ましい。また、この芳香族ポリアミドフィルムに含有さ
れる不活性粒子の添加量は、0.05〜2.0wt%で
あることが好ましく、更に、0.1〜1.0wt%であ
ることがより好ましい。
More specifically, the average particle size of the inert particles contained in the aromatic polyamide film on which the back coat layer 6 is formed is preferably 0.05 to 1.5 μm. Further, the addition amount of the inert particles contained in the aromatic polyamide film is preferably 0.05 to 2.0% by weight, and more preferably 0.1 to 1.0% by weight.

【0055】また、金属磁性膜4が成膜される芳香族ポ
リアミドフィルムに含有される不活性粒子は、金属磁性
膜4表面の平滑性と易滑性を向上させるため、平均粒径
が、0.03〜0.15μm、添加量が、0.01wt
%〜1wt%であることが好ましい。
The inert particles contained in the aromatic polyamide film on which the metal magnetic film 4 is formed have an average particle diameter of 0 in order to improve the smoothness and lubricity of the surface of the metal magnetic film 4. 0.03 to 0.15 μm, the amount added is 0.01 wt.
% To 1% by weight.

【0056】更に、この非磁性支持体1では、金属磁性
膜4を成膜する一主面表面の表面粗さ(SRa)が1.
5nm〜5.0nmであることが好ましく、更に、2.
0〜3.5nmであることがより好ましい。この表面粗
さ(SRa)は、芳香族ポリアミドフィルム中に添加さ
れる不活性粒子の大きさや添加量、あるいは非磁性支持
体1の層構成によって調節される。このように、金属磁
性膜4を成膜する一主面表面の表面粗さ(SRa)を
1.5nm〜5.0nmとすることによって、磁気記録
媒体の良好な電磁変換特性と走行耐久性を確保すること
ができる。
Further, in the non-magnetic support 1, one main surface on which the metal magnetic film 4 is formed has a surface roughness (SRa) of 1.
It is preferably from 5 nm to 5.0 nm, and
More preferably, it is 0 to 3.5 nm. This surface roughness (SRa) is adjusted by the size and amount of inert particles added to the aromatic polyamide film, or the layer structure of the nonmagnetic support 1. As described above, by setting the surface roughness (SRa) of one main surface on which the metal magnetic film 4 is formed to 1.5 nm to 5.0 nm, good electromagnetic conversion characteristics and running durability of the magnetic recording medium can be obtained. Can be secured.

【0057】更に、この非磁性支持体1において、バッ
クコート層6形成面側の表面の表面粗さ(SRa)は、
芳香族ポリアミドフィルム中に添加される不活性粒子の
大きさ及び添加量によって調節され、製造工程における
ハンドリング性の観点から、できるだけ大きい方が望ま
しい。しかしながら、この表面粗さ(SRa)が大きす
ぎると、金属磁性層4を成膜した後、巻き取ってロール
状にした際の裏移りの影響が大きくなるため、4nm〜
15nm、好ましくは5nm〜10nmとされる。
Further, in the non-magnetic support 1, the surface roughness (SRa) of the surface on the side where the back coat layer 6 is formed is:
It is controlled by the size and amount of inert particles added to the aromatic polyamide film, and is preferably as large as possible from the viewpoint of handleability in the production process. However, if the surface roughness (SRa) is too large, the influence of set-off when the metal magnetic layer 4 is formed and then wound up into a roll becomes large, so that the surface roughness (SRa) is 4 nm to 4 nm.
It is 15 nm, preferably 5 nm to 10 nm.

【0058】更にまた、この非磁性支持体1は、厚さ
2.5μm〜5.0μmとすることにより、必要な強度
が得られるとともに、磁気記録媒体の厚みを薄くして大
容量化に対応させることができる。
Further, by setting the thickness of the non-magnetic support 1 to 2.5 μm to 5.0 μm, the required strength can be obtained, and the thickness of the magnetic recording medium can be reduced to cope with an increase in capacity. Can be done.

【0059】更にまた、この非磁性支持体1は、金属磁
性膜4が成膜される一主面側の表面に103〜105個/
mm2の密度で突起が形成されていることが好ましい。
Further, the non-magnetic support 1 has a surface on the one main surface side on which the metal magnetic film 4 is formed, with 10 3 to 10 5 pieces / piece.
The protrusions are preferably formed at a density of mm 2 .

【0060】このように、一主面側の表面に103〜1
5個/mm2の密度で突起が形成されることによって、
金属磁性膜4の表面性を所望な状態とすることができ
る。言い換えると、一主面側の表面に103〜105個/
mm2の密度で突起が形成されることによって、金属磁
性膜4の表面は、所望の表面粗さを有することになる。
これにより、磁気記録媒体は、走行耐久性及び電磁変換
特性に優れたものとなる。
As described above, the surface on the one main surface side has a density of 10 3 -1.
By forming projections at a density of 0 5 / mm 2 ,
The surface property of the metal magnetic film 4 can be brought into a desired state. In other words, 10 3 to 10 5 pieces /
By forming protrusions with a density of mm 2 , the surface of the metal magnetic film 4 has a desired surface roughness.
This makes the magnetic recording medium excellent in running durability and electromagnetic conversion characteristics.

【0061】金属磁性膜4 次に、金属磁性膜4は、上述した非磁性支持体1におけ
る第2の芳香族ポリアミドフィルム3に成膜されるもの
である。
Metal Magnetic Film 4 Next, the metal magnetic film 4 is formed on the second aromatic polyamide film 3 in the non-magnetic support 1 described above.

【0062】このとき、金属磁性膜4は、例えば、図3
に示すような連続巻き取り式の真空蒸着装置等を用いて
形成される。
At this time, the metal magnetic film 4 is formed, for example, as shown in FIG.
It is formed using a continuous winding type vacuum evaporation apparatus as shown in FIG.

【0063】この真空蒸着装置11は、いわゆる斜方蒸
着用として構成され、内部が例えば約10-3(Pa)程
度の真空状態とされた真空室12内に、例えば−20℃
程度に冷却され、図中の反時計回り方向(矢印A方向)
に回転する冷却キャン13と対向するように金属磁性膜
4用の蒸着源14とが配置されている。
This vacuum evaporation apparatus 11 is configured for so-called oblique evaporation, and is, for example, −20 ° C. in a vacuum chamber 12 in which the inside is in a vacuum state of, for example, about 10 −3 (Pa).
Cooled to the extent, counterclockwise direction in the figure (arrow A direction)
The evaporation source 14 for the metal magnetic film 4 is disposed so as to face the cooling can 13 that rotates.

【0064】蒸着源14は坩堝等の容器にCo等の強磁
性金属材料が収容されたものであり、この蒸着源14
(強磁性金属材料)に対し、電子ビーム発生源15から
電子ビーム16を加速照射して強磁性金属材料を加熱、
蒸発させ、これを図中の反時計回り方向に回転する供給
ロール18から図中の矢印B方向に繰り出され、冷却キ
ャン13の周面に沿って走行する非磁性支持体1上に付
着(蒸着)させることによって金属磁性膜4を形成す
る。そして、金属磁性膜4が形成された非磁性支持体1
は、巻き取りロール19に巻き取られる。
The evaporation source 14 is a container such as a crucible in which a ferromagnetic metal material such as Co is accommodated.
(Ferromagnetic metal material) is heated with an electron beam 16 accelerated from an electron beam source 15 to heat the ferromagnetic metal material.
This is evaporated from the supply roll 18 rotating in the counterclockwise direction in the figure and is fed in the direction of arrow B in the figure, and adheres to the non-magnetic support 1 running along the peripheral surface of the cooling can 13 (evaporation). ) To form the metal magnetic film 4. Then, the non-magnetic support 1 on which the metal magnetic film 4 is formed
Is taken up by a take-up roll 19.

【0065】このとき、蒸着源14と冷却キャン13と
の間には防着板20を設け、この防着板20にシャッタ
21を位置調整可能に設けて、非磁性支持体1に対して
所定の角度で入射する蒸着粒子のみを通過させる。こう
して斜め蒸着法によって金属磁性膜4が形成されるよう
になされている。
At this time, a deposition-preventing plate 20 is provided between the vapor deposition source 14 and the cooling can 13, and a shutter 21 is provided on the deposition-preventing plate 20 so as to be adjustable in position. Only vapor particles incident at an angle of. Thus, the metal magnetic film 4 is formed by the oblique deposition method.

【0066】なお、供給ロール18と冷却キャン13と
の間、及び冷却キャン13と巻き取りロール19との間
にはそれぞれガイドローラー22、23が配置され、供
給ロール18から冷却キャン13、及びこの冷却キャン
13から巻き取りロール19に従って走行する非磁性支
持体1に所定のテンションをかけ、非磁性支持体1が円
滑に走行するようになされている。
Note that guide rollers 22 and 23 are disposed between the supply roll 18 and the cooling can 13 and between the cooling can 13 and the take-up roll 19, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 1 running from the cooling can 13 according to the take-up roll 19 so that the non-magnetic support 1 runs smoothly.

【0067】更に、このような金属磁性膜4の蒸着に際
し、図示しない酸素ガス導入口を介して非磁性支持体1
の表面に酸素ガスが供給され、これによって金属磁性膜
4の磁気特性、耐久性及び耐候性の向上が図られてい
る。また、蒸着源14を加熱するためには、上述のよう
な電子ビームによる加熱手段の他、例えば、抵抗加熱手
段、高周波加熱手段、レーザ加熱手段等の公知の手段を
使用できる。
Further, when such a metal magnetic film 4 is deposited, the non-magnetic support 1 is supplied through an oxygen gas inlet (not shown).
Oxygen gas is supplied to the surface of the metal magnetic film 4, whereby the magnetic properties, durability and weather resistance of the metal magnetic film 4 are improved. In addition, in order to heat the evaporation source 14, in addition to the above-described heating means using an electron beam, known means such as a resistance heating means, a high-frequency heating means, and a laser heating means can be used.

【0068】以上は、斜め蒸着法によりCo等からなる
強磁性金属材料を用いて成膜する例について説明した
が、強磁性金属材料を用いて成膜する方法としては、こ
の例の他に垂直蒸着法やスパッタリング法等の公知の薄
膜形成法が適用でき、また、強磁性金属材料としては、
Coの他にNi、Fe等やこれらの合金を使用すること
ができる。ただし、非磁性支持体1との付着強度改善、
あるいは金属磁性膜自体の耐性、耐摩耗性改善等の目的
から、蒸着時の雰囲気を酸素ガスが支配的となる雰囲気
としたとき得られる酸素を含む金属磁性膜4を使用する
ことが望ましい。また、金属磁性膜4の厚さは、0.0
5〜0.25μm程度、好ましくは、0.1〜0.2μ
m程度である。
In the above, an example in which a film is formed by using a ferromagnetic metal material made of Co or the like by the oblique vapor deposition method has been described. Known thin film forming methods such as a vapor deposition method and a sputtering method can be applied, and as the ferromagnetic metal material,
In addition to Co, Ni, Fe, or an alloy thereof can be used. However, the adhesive strength with the non-magnetic support 1 is improved,
Alternatively, for the purpose of improving the resistance and abrasion resistance of the metal magnetic film itself, it is desirable to use the metal magnetic film 4 containing oxygen obtained when the atmosphere at the time of vapor deposition is an atmosphere in which oxygen gas is dominant. The thickness of the metal magnetic film 4 is 0.0
About 5 to 0.25 μm, preferably 0.1 to 0.2 μm
m.

【0069】また、この金属磁性膜4では、電磁変換特
性を向上させるために、表面に形成された表面酸化膜を
エッチングすることが好ましい。この表面酸化膜は、上
述したように成膜された金属磁性膜4の表面に形成され
る非磁性の膜であり、スペーシングロスの原因となる。
すなわち、この表面酸化膜は、非磁性であるが故に電磁
変換特性を劣化させる原因となる。したがって、この表
面酸化膜をエッチングにより除去することによって、磁
気記録媒体では、金属磁性膜4の電磁変換特性を大幅に
向上させることができる。
In the metal magnetic film 4, it is preferable to etch the surface oxide film formed on the surface in order to improve the electromagnetic conversion characteristics. This surface oxide film is a non-magnetic film formed on the surface of the metal magnetic film 4 formed as described above, and causes a spacing loss.
That is, the surface oxide film is non-magnetic and causes deterioration of electromagnetic conversion characteristics. Therefore, by removing the surface oxide film by etching, the electromagnetic conversion characteristics of the metal magnetic film 4 can be significantly improved in the magnetic recording medium.

【0070】このエッチングに際しては、いかなる方法
を適用しても良いが、例えば、逆スパッタ法、イオンエ
ッチング法、ECRプラズマエッチング法等を使用する
ことが好ましい。また、このエッチングに際しては、A
rガス雰囲気下にて圧力0.4(Pa)程度とすること
が好ましい。
For this etching, any method may be applied. For example, it is preferable to use a reverse sputtering method, an ion etching method, an ECR plasma etching method, or the like. In this etching, A
It is preferable that the pressure be about 0.4 (Pa) in an r gas atmosphere.

【0071】更に、この磁気記録媒体は、金属磁性膜4
の摩耗を防止するため、金属磁性膜4上に、図4に示す
ようなマグネトロンスパッタ装置30等を用いて、カー
ボン保護膜を形成することが望ましい。
Further, the magnetic recording medium has a metal magnetic film 4
It is desirable to form a carbon protective film on the metal magnetic film 4 using a magnetron sputtering apparatus 30 as shown in FIG.

【0072】このマグネトロンスパッタ装置30は、外
側がチャンバ31にて覆われている。そして、チャンバ
31内は、真空ポンプ32にて約10-4(Pa)まで減
圧された後、真空ポンプ32側へ廃棄するバルブ33の
角度を全開状態から10度まで絞ることにより排気速度
を落とし、ガス導入管34からArガスを導入して、真
空度が約0.8Paとされる。
The outside of the magnetron sputtering apparatus 30 is covered with a chamber 31. After the pressure in the chamber 31 is reduced to about 10 -4 (Pa) by the vacuum pump 32, the exhaust speed is reduced by reducing the angle of the valve 33 to be discarded to the vacuum pump 32 side from the fully opened state to 10 degrees. Ar gas is introduced from the gas introduction pipe 34, and the degree of vacuum is set to about 0.8 Pa.

【0073】マグネトロンスパッタ装置30は、このチ
ャンバ31内に、例えば−40℃程度に冷却され、図中
の反時計回り方向(矢印A方向)に回転する冷却キャン
35と、この冷却キャン35と対向配置されるターゲッ
ト36とがそれぞれ設けられている。
The magnetron sputtering apparatus 30 has a cooling can 35 which is cooled to, for example, about -40 ° C. and rotates in a counterclockwise direction (direction of arrow A) in FIG. A target 36 to be arranged is provided.

【0074】ターゲット36は、カーボン保護膜の材料
となるものであり、カソード電極を構成するバッキング
プレート37に支持されている。そして、バッキングプ
レート37の裏側には、磁場を形成するマグネット38
が配設されている。このマグネトロンスパッタ装置30
によりカーボン保護膜を形成する際は、ガス導入管34
からArガスを導入するとともに、冷却キャン35をア
ノード、バッキングプレート37をカソードとして約3
000(V)の電圧を印加し、1.4Aの電流が流れる
状態を保つようにする。
The target 36 is a material for the carbon protective film, and is supported by a backing plate 37 constituting a cathode electrode. On the back side of the backing plate 37, a magnet 38 for forming a magnetic field is provided.
Are arranged. This magnetron sputtering apparatus 30
When the carbon protective film is formed by the gas introduction pipe 34,
From the cooling can 35 as an anode and the backing plate 37 as a cathode.
A voltage of 000 (V) is applied so that a current of 1.4 A flows.

【0075】この電圧の印加により、Arガスがプラズ
マ化し、電離されたイオンがターゲット36に衝突する
ことにより、ターゲット36の原子がはじき出される。
このとき、バッキングプレート37の裏側にはマグネッ
ト38が配設されており、ターゲット36の近傍に磁場
が形成されるので、電離されたイオンはターゲット36
の近傍に集中されることになる。
The application of this voltage turns the Ar gas into plasma, and the ions of the target 36 are repelled by the ionized ions colliding with the target 36.
At this time, a magnet 38 is provided on the back side of the backing plate 37, and a magnetic field is formed near the target 36.
Will be concentrated near.

【0076】ターゲット36からはじき出された原子
は、図中の反時計回り方向に回転する供給ロール39か
ら図中の矢印B方向に繰り出され、冷却キャン35の周
面に沿って走行する金属磁性膜4が成膜された非磁性支
持体1上に付着し、カーボン保護膜が形成される。そし
て、カーボン保護膜が形成された非磁性支持体1は、巻
き取りロール41に巻き取られる。
The atoms repelled from the target 36 are fed in the direction of arrow B in the figure from the supply roll 39 rotating counterclockwise in the figure, and travel along the peripheral surface of the cooling can 35. 4 adheres to the non-magnetic support 1 on which the film is formed, and a carbon protective film is formed. Then, the non-magnetic support 1 on which the carbon protective film is formed is taken up by a take-up roll 41.

【0077】このカーボン保護膜は、スペーシングロス
を小さくし、かつ、金属磁性膜4の摩耗防止の効果を得
ることができるように、その厚さを3〜15nm程度、
特に5〜10nm程度とすることが好ましい。
This carbon protective film has a thickness of about 3 to 15 nm so that the spacing loss can be reduced and the effect of preventing the metal magnetic film 4 from being worn can be obtained.
In particular, the thickness is preferably about 5 to 10 nm.

【0078】以上は、マグネトロンスパッタによりカー
ボン保護膜を形成する例について説明したが、カーボン
保護膜を形成する方法としては、この例の他に、イオン
ビームスパッタやイオンビームプレーティング法、CV
D法等の公知の薄膜形成方法を用いることができる。
While the above description has been given of the example in which the carbon protective film is formed by magnetron sputtering, other methods of forming the carbon protective film include ion beam sputtering, ion beam plating, and CV.
A known thin film forming method such as a method D can be used.

【0079】また、この磁気記録媒体は、カーボン保護
膜の表面に滑剤を存在せしめることが望ましい。これに
より、磁気記録媒体は、微細突起の形状に基づく走行性
改善効果を更に高めることが可能である。
In this magnetic recording medium, it is desirable that a lubricant is present on the surface of the carbon protective film. Thereby, the magnetic recording medium can further improve the effect of improving the running property based on the shape of the fine protrusion.

【0080】更に、この磁気記録媒体は、その表面、裏
面、又はそれらの近傍あるいはカーボン保護膜、金属磁
性膜4内の空隙、カーボン保護膜と金属磁性膜4との界
面、金属磁性膜4と非磁性支持体1との界面、非磁性支
持体1内等に、必要に応じて公知の手段で防錆剤、帯電
防止剤、防かび剤等の各種添加剤を存在せしめることが
できる。
Further, the magnetic recording medium has a front surface, a back surface, or their vicinity or a carbon protective film, a gap in the metal magnetic film 4, an interface between the carbon protective film and the metal magnetic film 4, Various additives such as a rust preventive, an antistatic agent, and a fungicide can be added to the interface with the non-magnetic support 1, in the non-magnetic support 1, and the like, if necessary, by known means.

【0081】補強用金属薄膜5 補強用金属薄膜5は、非磁性支持体1の金属磁性膜4が
成膜される面とは反対側の面に配設されて、非磁性支持
体1の機械的強度を補強し、カッピングの発生を抑制す
る役割を果たすものである。
The metal thin film 5 for reinforcement is disposed on the surface of the non-magnetic support 1 opposite to the surface on which the metal magnetic film 4 is formed, and the mechanical thin film 5 for the non-magnetic support 1 is provided. It serves to reinforce the mechanical strength and suppress the occurrence of cupping.

【0082】補強用金属薄膜5に用いられる金属として
は、Al、Cu、Ni、Cr及びこれらの合金等が挙げ
られる。更に、補強用金属薄膜の厚さとしては、0.1
〜0.5μmが好ましい。補強用金属薄膜5の厚さが薄
すぎる場合、機械的強度の補強効果が発揮されず、また
厚すぎる場合、補強用金属薄膜5にクラックが生じ易く
なる。
Examples of the metal used for the reinforcing metal thin film 5 include Al, Cu, Ni, Cr and alloys thereof. Further, the thickness of the reinforcing metal thin film is 0.1
0.50.5 μm is preferred. If the thickness of the reinforcing metal thin film 5 is too thin, the effect of reinforcing the mechanical strength is not exhibited, and if it is too thick, cracks are likely to occur in the reinforcing metal thin film 5.

【0083】また、補強用金属薄膜5は、単層により構
成される必要はなく、2層以上の多層構造であっても良
い。
The reinforcing metal thin film 5 does not need to be composed of a single layer, but may have a multilayer structure of two or more layers.

【0084】そして、補強用金属薄膜5は、真空蒸着や
スパッタリング等のPVD法、あるいはCVD法により
連続膜として形成される。
The reinforcing metal thin film 5 is formed as a continuous film by a PVD method such as vacuum evaporation or sputtering, or a CVD method.

【0085】バックコート層6 バックコート層6は、非磁性支持体1の金属磁性膜4が
成膜される面とは反対側の面に成膜された補強用金属薄
膜5上に配設されている。このバックコート層4は、主
として、結合剤、カーボンブラック及び無機質粉末から
構成される。具体的に、無機質粉末としては、炭酸カル
シウム、及びモース硬度5〜9の無機質粉末が挙げられ
る。
Backcoat Layer 6 The backcoat layer 6 is provided on the reinforcing metal thin film 5 formed on the surface of the nonmagnetic support 1 opposite to the surface on which the metal magnetic film 4 is formed. ing. This back coat layer 4 is mainly composed of a binder, carbon black and inorganic powder. Specifically, examples of the inorganic powder include calcium carbonate and inorganic powder having a Mohs hardness of 5 to 9.

【0086】バックコート層6では、カーボンブラック
は、平均粒子サイズの異なる二種類のものを使用するこ
とが好ましい。この場合、その平均粒子サイズは、10
〜20nmの微粒子状カーボンブラックと平均粒子サイ
ズが230〜300nmの粗粒子状カーボンブラックと
を使用することが好ましい。
In the back coat layer 6, it is preferable to use two types of carbon black having different average particle sizes. In this case, the average particle size is 10
It is preferable to use fine-grained carbon black having a particle size of 20 to 20 nm and coarse-grained carbon black having an average particle size of 230 to 300 nm.

【0087】一般に、上述したような微粒子状のカーボ
ンブラックの添加により、バックコート層6の表面電気
抵抗を低く設定でき、また光透過率も低く設定できる。
磁気記録の装置によっては、テープの光透過率を利用
し、動作の信号に使用しているものが多くあるため、こ
のような場合には特に、微粒子状のカーボンブラックの
添加は有効になる。
In general, the surface electric resistance of the back coat layer 6 can be set low and the light transmittance can be set low by adding the above-mentioned fine particle carbon black.
Some magnetic recording devices use the light transmittance of the tape and use it as an operation signal. In such a case, the addition of fine carbon black is particularly effective.

【0088】また、微粒子状カーボンブラックは、一般
に、潤滑剤に対する保持力に優れるため、潤滑剤を併用
することができ、その結果、摩擦係数を低減することが
可能となる。
In addition, since fine carbon black particles generally have excellent holding power to a lubricant, a lubricant can be used in combination, and as a result, the friction coefficient can be reduced.

【0089】一方、粒子サイズが230〜300nmの
粗粒子状カーボンブラックは、固体潤滑剤としての機能
を有しており、表面に微小突起を形成することとなるた
め、接触面積を低減化して、摩擦係数を低減することが
可能となる。しかし、粗粒子状のカーボンブラックは、
過酷な走行系では、テープ摺動により、バックコート層
6からの脱落が生じ易くなり、エラー比率の増大につな
がる虞がある。
On the other hand, coarse carbon black having a particle size of 230 to 300 nm has a function as a solid lubricant and forms fine projections on the surface. It is possible to reduce the coefficient of friction. However, coarse carbon black
In a severe running system, the tape may slide off from the back coat layer 6 easily, which may increase the error ratio.

【0090】具体的に、微粒子状カーボンブラックとし
ては、以下のものを挙げることができる。RAVEN2
000B(18nm)、RAVEN1500B(17n
m)(以上、コロンビアカーボン社製)、BP800
(17nm)(キャボット社製)、PRINTEX90
(14nm)、PRINTEX95(15nm)、PR
INTEX85(16nm)、PRINTEX75(1
7nm)(以上、デグサ社製)、#3950(16n
m)(三菱化成工業(株)製)。また、粗粒子カーボン
ブラックとしては、サーマルブラック(270nm)
(カーンカルブ社製)、RAVEN MTP(275n
m)(コロンビアカーボン社製)を挙げることができ
る。
Specifically, the following can be cited as the particulate carbon black. RAVEN2
000B (18 nm), RAVEN 1500B (17n
m) (above, manufactured by Columbia Carbon Co., Ltd.), BP800
(17 nm) (Cabot), PRINTEX90
(14 nm), PRINTEX95 (15 nm), PR
INTEX85 (16 nm), PRINTEX75 (1
7 nm) (all manufactured by Degussa), # 3950 (16 n
m) (Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.). Thermal black (270 nm) is used as coarse carbon black.
(Manufactured by Khancarb), RAVEN MTP (275n
m) (manufactured by Columbia Carbon Co., Ltd.).

【0091】バックコート層6において、平均粒子サイ
ズの異なる二種類のものを使用する場合、10〜20n
mの微粒子状カーボンブラックと230〜300nmの
粗粒子状カーボンブラックの含有比率(重量比)は、微
粒子状カーボンブラック:粗粒子状カーボンブラック=
98:2〜75:25の範囲が好ましく、更に好ましく
は、95:5〜85:15である。また、バックコート
層6におけるカーボンブラック(微粒子状と粗粒子状を
加えた場合においては、その全量)の含有量は、後述す
る結合剤100重量部に対して、通常30〜80重量部
の範囲であり、好ましくは、45〜65重量部の範囲で
ある。
In the case of using two kinds of back coat layers 6 having different average particle sizes, 10 to 20 n
m of the fine carbon black and the coarse carbon black of 230 to 300 nm (weight ratio) is as follows: fine carbon black: coarse carbon black =
The ratio is preferably from 98: 2 to 75:25, and more preferably from 95: 5 to 85:15. Further, the content of carbon black (in the case of adding fine particles and coarse particles, the total amount thereof) in the back coat layer 6 is usually in the range of 30 to 80 parts by weight with respect to 100 parts by weight of a binder described later. And preferably in the range of 45 to 65 parts by weight.

【0092】一方、無機質粉末は、特にモース硬度が5
〜9のものが用いられることにより磁気記録媒体に繰り
返し走行耐久性を付与し、バックコート層6を強化する
ことができる。これらの無機質粉末を前記のカーボンブ
ラックや炭酸カルシウムとともに使用すると、そのフィ
ラー効果により、バックコート層6が、繰り返し摺動に
対しても劣化が少なく、強いバックコート層6となる。
On the other hand, inorganic powders having a Mohs hardness of 5
By using one of Nos. 1 to 9, the magnetic recording medium can be repeatedly provided with running durability, and the backcoat layer 6 can be strengthened. When these inorganic powders are used together with the above-described carbon black and calcium carbonate, the back coat layer 6 becomes a strong back coat layer 6 with little deterioration even by repeated sliding due to its filler effect.

【0093】また、バックコート層6で使用する無機質
粉末を、モース硬度が5〜9と比較的高いものとする
と、バックコート層6の表面に適度の研磨力が生じ、ガ
イドポール等への付着が低減する。磁気記録媒体として
は、特に、バックコート層6に炭酸カルシウムと無機質
粉末とを併用すると、表面の粗いガイドポール等に対し
ての摺動特性が向上し、バックコート層6の摩擦係数の
安定化も図ることができる。なお、無機質粉末は、その
平均粒子サイズが80〜250nmの範囲のものである
ことが好ましく、更に好ましくは、100〜210nm
の範囲のものである。
When the inorganic powder used in the back coat layer 6 has a relatively high Mohs hardness of 5 to 9, an appropriate polishing force is generated on the surface of the back coat layer 6, and the surface of the back coat layer 6 adheres to guide poles and the like. Is reduced. As a magnetic recording medium, when calcium carbonate and an inorganic powder are used in combination for the back coat layer 6, the sliding characteristics with respect to a guide pole having a rough surface are improved, and the friction coefficient of the back coat layer 6 is stabilized. Can also be achieved. The inorganic powder preferably has an average particle size in the range of 80 to 250 nm, more preferably 100 to 210 nm.
Of the range.

【0094】この無機質粉末としては、例えば、α−酸
化鉄、α−アルミナ、及び酸化クロム(Cr23)を挙
げることができる。これらの無機質粉末は、それぞれ単
独で用いても良いし、あるいは併用しても良い。これら
の中では、α−酸化鉄又はα−アルミナが好ましい。モ
ース硬度が5〜9の無機質粉末の含有量は、カーボンブ
ラック100重量部に対して通常3〜30重量部であ
り、好ましくは、3〜20重量部である。特に、バック
コート層6には、平均粒子サイズの異なる二種類のカー
ボンブラックと前記粒子サイズの炭酸カルシウムと、そ
して前記特定のモース硬度を有する無機質粉末が含有さ
れていることが好ましい。
Examples of the inorganic powder include α-iron oxide, α-alumina, and chromium oxide (Cr 2 O 3 ). These inorganic powders may be used alone or in combination. Among these, α-iron oxide or α-alumina is preferred. The content of the inorganic powder having a Mohs' hardness of 5 to 9 is usually 3 to 30 parts by weight, preferably 3 to 20 parts by weight, based on 100 parts by weight of carbon black. In particular, the back coat layer 6 preferably contains two types of carbon black having different average particle sizes, calcium carbonate having the above particle size, and the inorganic powder having the specific Mohs hardness.

【0095】バックコート層6には、潤滑剤を含有させ
ることができる。潤滑剤は、上述したように、例えば、
脂肪酸、あるいは脂肪酸エステルを挙げることができ
る。脂肪酸としては、例えば、酢酸、プロピオン酸、オ
クタン酸、2−エチルヘキサン酸、ラウリン酸、ミリス
チン酸、ステアリン酸、パルミチン酸、ベヘン酸、アラ
キン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、エライ
ジン酸、及びパルミトレイン酸等の脂肪族カルボン酸又
はこれらの混合物を挙げることができる。
The back coat layer 6 can contain a lubricant. The lubricant, as described above, for example,
Fatty acids or fatty acid esters can be mentioned. As fatty acids, for example, acetic acid, propionic acid, octanoic acid, 2-ethylhexanoic acid, lauric acid, myristic acid, stearic acid, palmitic acid, behenic acid, arachinic acid, oleic acid, linoleic acid, linolenic acid, elaidic acid, And aliphatic carboxylic acids such as palmitoleic acid or mixtures thereof.

【0096】また、脂肪酸エステルとしては、例えば、
ブチルステアレート、sec−ブチルステアレート、イ
ソプロピルステアレート、ブチルオレエート、アミルス
テアレート、3−メチルブチルステアレート、2−エチ
ルヘキシルステアレート、2−ヘキシルデシルステアレ
ート、ブチルパルミテート、2−エチルヘキシルミリス
テート、ブチルステアレートとブチルパルミテートの混
合物、オレイルオレエート、ブトキシエチルステアレー
ト、2−ブトキシ−1−プロピルステアレート、ジプロ
ピレングリコールモノブチルエーテルをステアリン酸で
アシル化したもの、ジエチレングリコールジパルミテー
ト、ヘキサメチレンジオールをミリスチン酸でアシル化
してジオールとしたもの、そしてグリセリンのオレエー
ト等の種々のエステル化合物を挙げることができる。こ
れらのものは、単独で、あるいは組み合わせて使用する
ことができる。
The fatty acid esters include, for example,
Butyl stearate, sec-butyl stearate, isopropyl stearate, butyl oleate, amyl stearate, 3-methylbutyl stearate, 2-ethylhexyl stearate, 2-hexyldecyl stearate, butyl palmitate, 2-ethylhexylmilli State, a mixture of butyl stearate and butyl palmitate, oleyl oleate, butoxyethyl stearate, 2-butoxy-1-propyl stearate, dipropylene glycol monobutyl ether acylated with stearic acid, diethylene glycol dipalmitate, Hexamethylenediol is acylated with myristic acid to form a diol, and various ester compounds such as oleate of glycerin. These can be used alone or in combination.

【0097】バックコート層6において、潤滑剤は、結
合剤樹脂100重量部に対して通常1〜5重量部の範囲
で添加されることが好ましい。
In the back coat layer 6, the lubricant is preferably added in an amount of usually 1 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin.

【0098】また、バックコート層6に使用される結合
剤としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反
応型樹脂やこれらの混合物を挙げることができる。
The binder used for the back coat layer 6 includes, for example, a thermoplastic resin, a thermosetting resin, a reactive resin, and a mixture thereof.

【0099】熱可塑性樹脂の例としては、塩化ビニル、
酢酸ビニル、ビニルアルコ−ル、マレイン酸、アクリル
酸、アクリル酸エステル、塩化ビニリデン、アクリロニ
トリル、メタクリル酸、メタクリル酸エステル、スチレ
ン、ブタジエン、エチレン、ビニルブチラール、ビニル
アセタール、及びビニルエーテルを構成単位として含む
重合体、あるいは共重合体を挙げることができる。共重
合体としては、例えば、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル
−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−ア
クリロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビ
ニリデン共重合体、アクリル酸エステル−スチレン共重
合体、メタアクリル酸エステル−アクリロニトリル共重
合体、メタアクリル酸エステル−塩化ビニリデン共重合
体、メタアクリル酸エステル−スチレン共重合体、塩化
ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−
アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重
合体、クロロビニルエーテル−アクリル酸エステル共重
合体を挙げることができる。上記の他に、ポリアミド樹
脂、繊維素系樹脂(セルロースアセテートブチレート、
セルロースダイアセテート、セルロースプロピオネー
ト、ニトロセルロースなど)、ポリ弗化ビニル、ポリエ
ステル樹脂、ポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂等も例
示することができる。
Examples of the thermoplastic resin include vinyl chloride,
Polymer containing vinyl acetate, vinyl alcohol, maleic acid, acrylic acid, acrylic acid ester, vinylidene chloride, acrylonitrile, methacrylic acid, methacrylic acid ester, styrene, butadiene, ethylene, vinyl butyral, vinyl acetal, and vinyl ether as constituent units Or a copolymer. Examples of the copolymer include vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, acrylate-acrylonitrile copolymer, and acrylate-vinylidene chloride copolymer. Polymer, acrylate-styrene copolymer, methacrylate-acrylonitrile copolymer, methacrylate-vinylidene chloride copolymer, methacrylate-styrene copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer , Butadiene-
An acrylonitrile copolymer, a styrene-butadiene copolymer, and a chlorovinyl ether-acrylate copolymer can be exemplified. In addition to the above, polyamide resins, cellulose resins (cellulose acetate butyrate,
Cellulose diacetate, cellulose propionate, nitrocellulose, etc.), polyvinyl fluoride, polyester resin, polyurethane resin, various rubber resins and the like can also be exemplified.

【0100】また、熱硬化性樹脂又は反応型樹脂として
は、例えば、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレ
タン硬化型樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹
脂、アクリル系反応樹脂、ホルムアルデヒド樹脂、シリ
コン樹脂、エポキシ−ポリアミド樹脂、ポリエステル樹
脂とポリイソシアネートプレポリマーの混合物、ポリエ
ステルポリオールとポリイソシアネートの混合物、ポリ
ウレタンとポリイソシアネートの混合物を挙げることが
できる。
The thermosetting resin or the reactive resin includes, for example, phenol resin, epoxy resin, polyurethane curable resin, urea resin, melamine resin, alkyd resin, acrylic reaction resin, formaldehyde resin, silicon resin, epoxy resin -Polyamide resins, mixtures of polyester resins and polyisocyanate prepolymers, mixtures of polyester polyols and polyisocyanates, mixtures of polyurethane and polyisocyanates.

【0101】添加剤 添加剤としては、バックコート層6を形成する塗布液
に、カーボンブラックや非磁性粉末等を結合剤中に良好
に分散させるために添加される分散剤を挙げることがで
きる。また、添加剤としては、必要に応じて添加され
る、可塑剤、カーボンブラック以外の導電性粒子(帯電
防止剤)、防黴剤等を挙げることができる。
Additives Examples of the additives include dispersants which are added to the coating solution for forming the back coat layer 6 in order to favorably disperse carbon black, non-magnetic powder, and the like in the binder. Examples of the additive include a plasticizer, conductive particles other than carbon black (antistatic agent), and a fungicide, which are added as necessary.

【0102】分散剤としては、例えば、カプリル酸、カ
プリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、
ステアリン酸、ベヘン酸、オレイン酸、エライジン酸、
リノール酸、リノレン酸、ステアロール酸等の炭素数1
2〜18個の脂肪酸(RCOOH、Rは炭素数11〜1
7個のアルキル基、又はアルケニル基)、前記脂肪酸の
アルカリ金属又はアルカリ土類金属からなる金属石け
ん、前記の脂肪酸エステルのフッ素を含有した化合物、
前記脂肪酸のアミド、ポリアルキレンオキサイドアルキ
ルリン酸エステル、レシチン、トリアルキルポリオレフ
ィンオキシ第四級アンモニウム塩(アルキルは炭素数1
〜5個、オレフィンは、エチレン、プロピレンなど)、
硫酸塩、及び銅フタロシアニン等を使用することができ
る。これらは、単独でも組み合わせて使用しても良い。
特に、バックコート層6には、オレイン酸銅、銅フタロ
シアニン、及び硫酸バリウムを組み合わせて使用するこ
とが好ましい。また、分散剤は、結合剤樹脂100重量
部に対して0.5〜20重量部の範囲で添加される。
Examples of the dispersant include caprylic acid, capric acid, lauric acid, myristic acid, palmitic acid,
Stearic acid, behenic acid, oleic acid, elaidic acid,
1 carbon atom such as linoleic acid, linolenic acid, stearic acid
2 to 18 fatty acids (RCOOH, R represents 11 to 1 carbon atoms)
A metal soap comprising an alkali metal or an alkaline earth metal of the fatty acid, a fluorine-containing compound of the fatty acid ester,
Amides of the above fatty acids, polyalkylene oxide alkyl phosphates, lecithin, trialkylpolyolefinoxy quaternary ammonium salts (alkyl has 1 carbon atom)
~ 5, olefins are ethylene, propylene, etc.),
Sulfate, copper phthalocyanine and the like can be used. These may be used alone or in combination.
In particular, it is preferable to use a combination of copper oleate, copper phthalocyanine, and barium sulfate for the back coat layer 6. The dispersant is added in an amount of 0.5 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the binder resin.

【0103】第2の実施の形態 本実施の形態として示す磁気記録媒体は、図5に示すよ
うに、非磁性支持体1と、この非磁性支持体1の一主面
1a上に成膜された金属磁性膜4及び非磁性支持体1の
他主面1b上に形成された有機プラズマ集合体膜7を備
えるものである。また、この磁気記録媒体において、非
磁性支持体1は、芳香族ポリアミドフィルムからなる。
また、図6に本発明を適用した磁気記録媒体の他の構成
例を示す。図6に示した磁気記録媒体では、非磁性支持
体1を2層構造により構成している。
Second Embodiment As shown in FIG. 5, a magnetic recording medium according to a second embodiment has a non-magnetic support 1 and a film formed on one main surface 1a of the non-magnetic support 1. And an organic plasma aggregate film 7 formed on the other main surface 1b of the metal magnetic film 4 and the nonmagnetic support 1. In this magnetic recording medium, the non-magnetic support 1 is made of an aromatic polyamide film.
FIG. 6 shows another configuration example of the magnetic recording medium to which the present invention is applied. In the magnetic recording medium shown in FIG. 6, the nonmagnetic support 1 has a two-layer structure.

【0104】そして、この芳香族ポリアミドフィルム
は、長手方向と直交する方向、すなわち幅方向における
200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%となっている。
The aromatic polyamide film has a heat shrinkage of 1.5 to 2.5% at 200 ° C. in a direction perpendicular to the longitudinal direction, that is, in the width direction.

【0105】以下、第2の実施の形態について説明する
が、非磁性支持体1及び金属磁性膜4、並びにこれら各
層に用いられる結合材及び添加剤に関しては、第1の実
施の形態と同じため説明を省略し、有機プラズマ集合体
膜7に関して詳述する。
The second embodiment will be described below. The nonmagnetic support 1 and the metal magnetic film 4, and the binder and additives used for these layers are the same as those in the first embodiment. The description will be omitted, and the organic plasma assembly film 7 will be described in detail.

【0106】有機プラズマ重合体膜7 有機プラズマ重合体膜7は、緻密な三次元的構造を有す
る強固な組織である。そして、有機プラズマ重合体膜7
は、非常に薄くかつ均一に付着させることができ、これ
を非磁性支持体に密着させることにより非磁性支持体1
の機械的強度を補強し、カッピングの発生を抑制するこ
とができる。
Organic Plasma Polymer Film 7 The organic plasma polymer film 7 is a strong structure having a dense three-dimensional structure. And the organic plasma polymer film 7
Can be adhered very thinly and uniformly, and by adhering it to the non-magnetic support,
Can be reinforced and the occurrence of cupping can be suppressed.

【0107】有機プラズマ重合体膜7は、プラズマ重合
法により作製する。プラズマ重合法は、Ar、He、H
2、N2等のキャリアガスの放電プラズマとモノマガスと
を混合し、非処理基体表面にこれら混合ガスを接触させ
ることにより、基体表面にプラズマ重合体膜を形成する
手法である。以下にプラズマ重合法の原理を説明する。
基体を低圧に保ち、電場を作用させると、気体中に少量
存在する自由電子は、常圧に比べ分子間距離が非常に大
きいため、電界加速を受け、5〜10eVの速度エネル
ギー(電子温度)を獲得する。この自由電子は、原子や
分子に衝突すると、原子軌道や分子軌道を分断して電
子、イオン、中性ラジカルなど状態では不安定な化学種
に解離させる。解離した電子は、再び電界加速を受けて
別の原子や分子を解離させるが、この連鎖作用で気体は
たちまち高度の電離状態となり、これはプラズマガスと
呼ばれている。気体分子は、電子との衝突の機会が少な
いためエネルギーをあまり吸収せず、常温に近い温度に
保たれている。このように電子の速度エネルギー(電子
温度)と分子の熱運動(ガス温度)が分離した系は、低
温プラズマと呼ばれ、ここでは化学種が比較的原形を保
ったまま重合等の加成的化学反応を進めうる状況を創出
する。
The organic plasma polymer film 7 is produced by a plasma polymerization method. Plasma polymerization methods include Ar, He, H
2 , a method in which a discharge plasma of a carrier gas such as N 2 and a monomer gas are mixed, and the mixed gas is brought into contact with the surface of a non-treated substrate to form a plasma polymer film on the surface of the substrate. Hereinafter, the principle of the plasma polymerization method will be described.
When the substrate is kept at a low pressure and an electric field is applied, the free electrons present in the gas in a small amount have a much larger intermolecular distance than normal pressure, so they undergo electric field acceleration and have a velocity energy of 5 to 10 eV (electron temperature). To win. When this free electron collides with an atom or molecule, it breaks the atomic orbital or molecular orbital and dissociates into a chemical species that is unstable in a state such as an electron, an ion, or a neutral radical. The dissociated electrons are again subjected to electric field acceleration to dissociate other atoms and molecules, but the chain action immediately turns the gas into a highly ionized state, which is called a plasma gas. Gas molecules do not absorb much energy because they have little chance of collision with electrons, and are kept at a temperature close to room temperature. A system in which electron velocity energy (electron temperature) and molecular thermal motion (gas temperature) are separated in this way is called low-temperature plasma, where chemical species are kept relatively intact and undergo additive processes such as polymerization. Create situations where chemical reactions can proceed.

【0108】本発明では、この状況を利用して気体にプ
ラズマ重合体膜を形成する。そして、本発明では低温プ
ラズマを利用するため、基体に対する熱影響は全く生じ
ない。
In the present invention, a plasma polymer film is formed on a gas utilizing this situation. In the present invention, since low-temperature plasma is used, there is no thermal effect on the substrate.

【0109】本発明において使用することのできるモノ
マガスとしては、プラズマ重合性を有する炭素−水素
系、炭素−水素−酸素系、炭素−ハロゲン系、炭素−酸
素−ハロゲン系、炭素−水素−ハロゲン系、有機金属等
を含めた有機化合物全般等が挙げられる。そしてその中
でも特にエチレン、アセチレン、スチレン、アクリロニ
トリル、メチルメタクリレート、ブタジエン、ベンゼン
等の不飽和結合を有する有機化合物が好ましい。この
他、シロキサン結合を有する各種シラン等の有機珪素化
合物や、硫黄あるいは、窒素を含有する各種有機化合物
も使用することができる。
The monomer gas which can be used in the present invention includes a plasma-polymerizable carbon-hydrogen system, carbon-hydrogen-oxygen system, carbon-halogen system, carbon-oxygen-halogen system, carbon-hydrogen-halogen system. Organic compounds including organic metals and the like. Among them, organic compounds having an unsaturated bond such as ethylene, acetylene, styrene, acrylonitrile, methyl methacrylate, butadiene, and benzene are particularly preferable. In addition, organic silicon compounds such as various silanes having a siloxane bond, and various organic compounds containing sulfur or nitrogen can also be used.

【0110】プラズマ発生源としては、高周波放電、マ
イクロ波放電、直流放電、交流放電等が使用できる。ま
た、プラズマ重合時の真空度は、1〜1000Pa程度
が好ましい。
As the plasma generation source, high-frequency discharge, microwave discharge, DC discharge, AC discharge and the like can be used. The degree of vacuum during plasma polymerization is preferably about 1 to 1000 Pa.

【0111】有機プラズマ重合体膜7の厚さは、0.1
〜1.0μmであることが好ましい。有機プラズマ重合
体膜7の厚みが0.1μm未満の場合、機械的強度の補
強効果が発揮されず、カッピングを小さくすることがで
きない。また、有機プラズマ重合体膜7の厚みが1.0
μmを超えると、従来と逆方向のカッピングが大きくな
り、また、磁気記録媒体の厚み自体が厚くなってしま
う。
The thickness of the organic plasma polymer film 7 is 0.1
It is preferably from 1.0 to 1.0 μm. When the thickness of the organic plasma polymer film 7 is less than 0.1 μm, the effect of reinforcing the mechanical strength is not exhibited, and the cupping cannot be reduced. Further, when the thickness of the organic plasma polymer film 7 is 1.0
If it exceeds μm, the cupping in the direction opposite to the conventional one becomes large, and the thickness of the magnetic recording medium itself becomes thick.

【0112】[0112]

【実施例】以下、上述した磁気記録媒体の具体的な実施
例及び比較例を記載し、本発明を更に具体的に説明す
る。実施例1乃至実施例5及び比較例1乃至比較例5
は、第1の実施の形態に対応するものであり、実施例6
乃至実施例10及び比較例6乃至比較例10は、第2の
実施の形態に対応するものである。なお、本実施例にお
ける種々の物性値及び特性は以下に示す方法により測定
したものである。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically by describing specific examples and comparative examples of the above-described magnetic recording medium. Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5
Corresponds to the first embodiment, and corresponds to a sixth embodiment.
Example 10 to Comparative Example 6 to Comparative Example 10 correspond to the second embodiment. The various physical properties and characteristics in this example were measured by the following methods.

【0113】<芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率の
測定>芳香族ポリアミドフィルムの熱収縮率を測定する
際には、先ず、測定対象サンプルを幅10mm、長さ3
00mmに裁断し、裁断されたサンプル表面に200m
m間隔でマーキングする。次に、150℃あるいは20
0℃に設定された熱風循環式炉にて、サンプルに対して
1kgf/mm2の荷重下で10分間熱収縮させる。そ
して、熱収縮後、サンプル表面のマーキングの間隔を測
定し、熱収縮率を算出した。
<Measurement of Heat Shrinkage of Aromatic Polyamide Film> When measuring the heat shrinkage of an aromatic polyamide film, first, a sample to be measured was 10 mm wide and 3 mm long.
Cut to 00mm, 200m on the cut sample surface
Mark at m intervals. Next, at 150 ° C or 20
The sample is thermally contracted for 10 minutes under a load of 1 kgf / mm 2 in a hot-air circulation furnace set at 0 ° C. After the heat shrinkage, the interval between the markings on the sample surface was measured, and the heat shrinkage was calculated.

【0114】<芳香族ポリアミドフィルムのヤング率の
測定>芳香族ポリアミドフィルムのヤング率は、25
℃、65%RHの条件下で、テンシロン型の引っ張り試
験機器を使用して測定した。
<Measurement of Young's Modulus of Aromatic Polyamide Film> The aromatic polyamide film has a Young's modulus of 25.
It measured using the Tensilon type | mold tensile test apparatus under conditions of 65 degreeC and 65% RH.

【0115】<カッピングの測定>カッピングの測定
は、図7に示すような光学顕微鏡40を有するカッピン
グ測定装置を用いて行った。このカッピング測定装置で
は、先ず、所定のテンションが負荷された磁気テープ4
1を一対のロール42に掛け渡す。次に、光学顕微鏡4
0(倍率100倍)を駆動手段43にて、磁気テープ4
1の幅方向の中心部又は両端部に位置決めする。そし
て、このカッピング測定装置では、光学顕微鏡40が上
下方向に駆動することによって、磁気テープ41の幅方
向の中心部あるいは両端部において、それぞれ焦点を合
わせる。このとき、カッピング測定装置では、光学顕微
鏡40の上下駆動に連動するマイクロメータ44にて、
磁気テープ41の幅方向の中心部と両端部との高さ違い
を測定する。
<Measurement of Cupping> The measurement of cupping was performed using a cupping measurement device having an optical microscope 40 as shown in FIG. In this cupping measuring device, first, a magnetic tape 4 to which a predetermined tension is applied
1 is wound over a pair of rolls 42. Next, the optical microscope 4
0 (100 × magnification) by the driving means 43
1 is positioned at the center or both ends in the width direction. Then, in this cupping measurement device, the optical microscope 40 is driven in the vertical direction, so that the magnetic tape 41 is focused at the center or both ends in the width direction. At this time, in the cupping measurement device, the micrometer 44 interlocked with the vertical driving of the optical microscope 40,
The difference in height between the center and both ends in the width direction of the magnetic tape 41 is measured.

【0116】このとき、金属磁性膜を凸とする状態を負
のカッピングとし、逆に、金属磁性膜を凹とする状態を
正のカッピングとする。
At this time, a state where the metal magnetic film is convex is defined as negative cupping, and a state where the metal magnetic film is concave is defined as positive cupping.

【0117】<テープ特性>実施例及び比較例における
磁気記録媒体の特性評価は、ソニー株式会社製のAIT
ドライブSDX−S300C(商品名)を改造したもの
を用いて行った。記録は、相対速度10.04m/se
c、最短記録波長0.35μmで行った。
<Tape Characteristics> The characteristics of the magnetic recording media in Examples and Comparative Examples were evaluated using AIT manufactured by Sony Corporation.
The test was performed using a modified drive SDX-S300C (trade name). The recording was performed at a relative speed of 10.04 m / sec.
c, recording was performed at the shortest recording wavelength of 0.35 μm.

【0118】走行耐久性 走行耐久性を評価する際には、先ず、長さが170mの
磁気テープを1000パス走行させ、1パス走行後のエ
ラーレート及び1000パス走行後のエラーレートを測
定した。そして、これら測定値を比較することによっ
て、走行耐久性を評価した。
[0118] In evaluating the running durability running durability, first, the length is 1000 pass running the magnetic tape 170m, it was measured error rate and 1000 the error rate after the path running after one pass running. The running durability was evaluated by comparing these measured values.

【0119】ヘッドとの当たり特性 ヘッドとの当たり特性を評価する際には、先ず、磁気テ
ープ再生時の出力信号(当たり波形)を1トラック分で
見た場合の出力信号を測定した。そして、この出力信号
の最小値(MIN)/最大値(MAX)の値(%)を算
出することによって、ヘッドとの当たり特性を評価し
た。
Contact Characteristics with Head When evaluating the contact characteristics with the head, first, the output signal when the output signal (collision waveform) during reproduction of the magnetic tape was viewed for one track was measured. Then, by calculating the value (%) of the minimum value (MIN) / maximum value (MAX) of the output signal, the hitting characteristic with the head was evaluated.

【0120】先ず、実施例1乃至実施例5及び比較例1
乃至比較例5について説明する。
First, Examples 1 to 5 and Comparative Example 1
Hereinafter, Comparative Example 5 will be described.

【0121】実施例1 先ず、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)中で平均
粒径0.1μmの乾式シリカ粒子を分散させたスラリー
を用意した。
Example 1 First, a slurry was prepared by dispersing dry silica particles having an average particle diameter of 0.1 μm in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP).

【0122】次に、重合槽にNMPと上記スラリーを仕
込み、この中に芳香族ジアミン成分として80モル%に
相当する2−クロルパラフェニレンジアミンと、20モ
ル%に相当する4、4’−ジアミノジフェニルエ−テル
とを溶解させ、これに100モル%に相当する2−クロ
ルテレフタル酸クロリドを添加し、2時間攪拌して重合
を完了した。これを水酸化リチウムで中和してポリマー
溶液を得た。なお、粒子の含有量は芳香族ポリアミドに
対して0.1wt%であった。
Next, NMP and the above slurry were charged into a polymerization tank, and 2-chloroparaphenylenediamine corresponding to 80 mol% as an aromatic diamine component and 4,4′-diamino equivalent corresponding to 20 mol% were added thereto. The diphenyl ether was dissolved, and 2-chloroterephthalic acid chloride corresponding to 100 mol% was added thereto, followed by stirring for 2 hours to complete the polymerization. This was neutralized with lithium hydroxide to obtain a polymer solution. The content of the particles was 0.1 wt% with respect to the aromatic polyamide.

【0123】このポリマー溶液は、ポリマー濃度が10
重量%、30℃での溶液粘度を3000ポイズに調整し
て製膜原液とした。
This polymer solution has a polymer concentration of 10
The solution viscosity at 30% by weight was adjusted to 3000 poise to obtain a stock solution.

【0124】そして、これら製膜原液を5μmカットの
フィルタ−を通した後、150℃とされた金属ベルト上
に流延し、150℃の熱風で加熱を行って溶媒を蒸発さ
せ、自己保持性を得たフィルムをベルトから連続的に剥
離した。
Then, after passing these membrane-forming stock solutions through a 5 μm-cut filter, they were cast on a metal belt set to 150 ° C., heated with hot air at 150 ° C. to evaporate the solvent, The obtained film was continuously peeled off from the belt.

【0125】次に、NMPの濃度勾配をつけた水槽内へ
フィルムを導入して残存溶媒と中和で生じた無機塩の水
抽出を行い、テンターで水分の乾燥と熱処理を行った。
この間にフィルム長手方向と幅方向に各々1.2倍、
1.4倍延伸を行い、300℃で1.5分間乾燥と熱処
理を行った後、20℃/秒の速度で徐冷し、厚み3.5
μmの非磁性支持体を得た。
Next, the film was introduced into a water tank having a concentration gradient of NMP, and the residual solvent and the inorganic salt generated by the neutralization were extracted with water, followed by drying of the water with a tenter and heat treatment.
During this time, 1.2 times each in the film longitudinal direction and width direction,
After stretching by a factor of 1.4, drying and heat treatment at 300 ° C. for 1.5 minutes, the film was gradually cooled at a rate of 20 ° C./sec to a thickness of 3.5
A μm non-magnetic support was obtained.

【0126】次に、このようにして作製された非磁性支
持体を用いて、下記のような手法にて、磁気テープ原反
を作製した。
Next, using the non-magnetic support thus produced, an original magnetic tape was produced in the following manner.

【0127】すなわち、図3に示したような連続巻き取
り式の蒸着装置11を、その内部が10-3(Pa)程度
の真空状態となるように排気し、上記の非磁性支持体
を、この蒸着装置にセッティングした。そして、連続真
空斜め蒸着法により、微量の酸素存在下において、非磁
性支持体の一主面1a上にCoからなる金属磁性膜4を
形成した。蒸着の入射角は、非磁性支持体の法線方向が
90〜45度までであり、非磁性支持体の走行速度が5
0m/分で、金属磁性膜の厚さが0.18μmとなるよ
うに、電子ビームの強さを調節して作製した。
That is, the continuous winding type vapor deposition apparatus 11 as shown in FIG. 3 is evacuated so that the inside thereof becomes a vacuum state of about 10 −3 (Pa), and the above-mentioned nonmagnetic support is This was set in this vapor deposition apparatus. Then, a metal magnetic film 4 made of Co was formed on one main surface 1a of the nonmagnetic support in the presence of a small amount of oxygen by a continuous vacuum oblique deposition method. The incident angle of the vapor deposition is 90 to 45 degrees in the normal direction of the nonmagnetic support, and the traveling speed of the nonmagnetic support is 5 °.
The electron beam intensity was adjusted such that the thickness of the metal magnetic film was 0.18 μm at 0 m / min.

【0128】次に、ECRプラズマエッチング装置の内
部をArガスにより0.4Pa程度にした。そして、E
CRプラズマエッチング装置に金属磁性膜を形成した非
磁性支持体をセッティングし、ECRプラズマエッチン
グを施すことにより強磁性金属薄膜上に形成された表面
酸化層を約5nmまで薄膜化させた。また、この時、E
CRプラズマエッチング装置の投入パワーは、300K
wとした。
Next, the inside of the ECR plasma etching apparatus was adjusted to about 0.4 Pa with Ar gas. And E
The non-magnetic support on which the metal magnetic film was formed was set in a CR plasma etching apparatus, and ECR plasma etching was performed to reduce the surface oxide layer formed on the ferromagnetic metal thin film to about 5 nm. At this time, E
The input power of CR plasma etching equipment is 300K
w.

【0129】次に、図4に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が10-4(Pa)程度に
なるまで減圧した後、Arガスを導入し、0.8Pa程
度にした。そして、このマグネトロンスパッタリング装
置に金属磁性膜が形成された非磁性支持体をセッティン
グし、−40℃に冷却した冷却キャン上を5m/分の速
度で走行させて金属磁性膜上にカーボン保護膜を形成し
た。
Next, the pressure of the magnetron sputtering apparatus as shown in FIG. 4 was reduced to about 10 −4 (Pa), and then Ar gas was introduced to about 0.8 Pa. Then, the non-magnetic support having the metal magnetic film formed thereon is set in this magnetron sputtering apparatus, and is run at a speed of 5 m / min on a cooling can cooled to −40 ° C. to form a carbon protective film on the metal magnetic film. Formed.

【0130】次に、図3に示したような連続巻き取り式
の蒸着装置に強磁性金属薄膜及びカーボン保護膜が形成
された原反をセットし、その内部が10-2Pa程度の真
空状態となるように排気し、非磁性支持体の強磁性金属
薄膜及びカーボン保護膜が形成された面と反対側の面
に、Alからなる補強用金属薄膜を形成した。蒸着の入
射角は、0〜25度とし、非磁性支持体の送り速度が6
0m/分で、補強用金属薄膜の厚さが0.2μmとなる
ように電子ビームの強さを調節して作製した。
Next, the raw material on which the ferromagnetic metal thin film and the carbon protective film were formed was set in a continuous winding type evaporation apparatus as shown in FIG. 3, and the inside thereof was vacuumed to about 10 −2 Pa. The reinforcing metal thin film made of Al was formed on the surface of the nonmagnetic support opposite to the surface on which the ferromagnetic metal thin film and the carbon protective film were formed. The incident angle of vapor deposition is 0 to 25 degrees, and the feed rate of the non-magnetic support is 6
The electron beam intensity was adjusted such that the thickness of the reinforcing metal thin film was 0.2 μm at 0 m / min.

【0131】次に、下記の組成に準じてバック塗料を調
製した。
Next, a back coating was prepared according to the following composition.

【0132】 <バック塗料組成> カーボンブラック(旭社製,#50) 100重量部 ポリエステルポリウレタン 100重量部 (日本ポリウレタン(株)製、 商品名N−2304) 溶剤:メチルエチルケトン 500重量部 トルエン 500重量部 そして、調製されたバック塗料を、非磁性支持体の金属
磁性膜4が成膜された面とは反対側の面に塗布、乾燥す
ることで厚さ0.4μmのバックコート層6を形成し
た。
<Back coating composition> 100 parts by weight of carbon black (manufactured by Asahi Corporation, # 50) 100 parts by weight of polyester polyurethane (manufactured by Nippon Polyurethane Co., Ltd., trade name N-2304) Solvent: 500 parts by weight of methyl ethyl ketone 500 parts by weight of toluene Then, the prepared back coating was applied to the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the metal magnetic film 4 was formed, and dried to form a 0.4 μm-thick back coat layer 6. .

【0133】次に、バックコート層6を形成した後、2
00℃に加熱されたロールに金属磁性膜4を接触させな
がら、100m/minの速度で走行させた。
Next, after forming the back coat layer 6,
The metal magnetic film 4 was run at a speed of 100 m / min while being in contact with the roll heated to 00 ° C.

【0134】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテルよりなる潤滑剤のトップコート層を10
mg/m2となるように塗布した。
Thereafter, a top coat layer of a lubricant made of perfluoropolyether was formed on the carbon protective film by 10.
mg / m 2 .

【0135】このようにして非磁性支持体1上に金属磁
性膜4、補強用金属薄膜5及びバックコート層6が形成
されてなるテープ原反を、8mm幅にスリットした後に
カセット本体に収納してカセットテープを作製した。
[0135] The raw tape obtained by forming the metal magnetic film 4, the reinforcing metal thin film 5, and the back coat layer 6 on the non-magnetic support 1 in this way is slit into an 8 mm width and then stored in the cassette body. To produce a cassette tape.

【0136】実施例2 実施例2では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を290℃としたこと以外は、実施例1と
同様にしてカセットテープを作製した。
Example 2 In Example 2, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the heat treatment temperature for producing an aromatic polyamide film was 290 ° C.

【0137】実施例3 実施例3では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を280℃としたこと以外は、実施例1と
同様にしてカセットテープを作製した。
Example 3 In Example 3, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 1, except that the heat treatment temperature for producing the aromatic polyamide film was 280 ° C.

【0138】実施例4 実施例4では、バックコート層形成後の熱処理温度を2
50℃としたこと以外は、実施例2と同様にしてカセッ
トテープを作製した。
Example 4 In Example 4, the heat treatment temperature after forming the back coat layer was set to 2
A cassette tape was produced in the same manner as in Example 2 except that the temperature was changed to 50 ° C.

【0139】実施例5 実施例5では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の幅方向の延伸倍率を1.6倍とし、熱処理温度を32
0℃としたこと以外は、実施例1と同様にしてカセット
テープを作製した。
Example 5 In Example 5, the stretching ratio in the width direction at the time of producing an aromatic polyamide film was 1.6 times, and the heat treatment temperature was 32 times.
A cassette tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the temperature was set to 0 ° C.

【0140】比較例1 比較例1では、補強用金属薄膜5を形成しないこと以外
は、実施例1と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 1 In Comparative Example 1, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing metal thin film 5 was not formed.

【0141】比較例2 比較例2では、補強用金属薄膜5を形成しないこと以外
は、実施例2と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 2 In Comparative Example 2, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 2 except that the reinforcing metal thin film 5 was not formed.

【0142】比較例3 比較例3では、補強用金属薄膜5を形成しないこと以外
は、実施例3と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 3 In Comparative Example 3, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 3 except that the reinforcing metal thin film 5 was not formed.

【0143】比較例4 比較例4では、補強用金属薄膜5を形成しないこと以外
は、実施例4と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 4 In Comparative Example 4, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 4 except that the reinforcing metal thin film 5 was not formed.

【0144】比較例5 比較例5では、補強用金属薄膜5を形成しないこと以外
は、実施例5と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 5 In Comparative Example 5, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 5, except that the reinforcing metal thin film 5 was not formed.

【0145】特性評価 上述したような実施例1乃至実施例5と比較例1乃至比
較例5に関して、上述したような物性の評価及び特性の
評価を行った。その結果を表1に示す。
Evaluation of Characteristics Regarding Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 5 as described above, the evaluation of physical properties and the evaluation of characteristics were performed as described above. Table 1 shows the results.

【0146】[0146]

【表1】 [Table 1]

【0147】表1に示したとおり、200℃の幅方向の
熱収縮率が1.5%〜2.5%である芳香族ポリアミド
フィルムを用い、補強用金属薄膜5を形成した実施例1
乃至実施例5のサンプルに関してはカッピングが極力低
く抑えられており、また、ヘッド当たりも良好なものと
なっている。また、これらの実施例1乃至実施例5で
は、1000パス走行後のエラーレートも低く抑えられ
ている。
As shown in Table 1, a reinforcing metal thin film 5 was formed using an aromatic polyamide film having a heat shrinkage in the width direction at 200 ° C. of 1.5% to 2.5%.
In the samples of Examples 5 to 5, the cupping was suppressed as low as possible, and the head contact was good. In the first to fifth embodiments, the error rate after traveling 1000 passes is also kept low.

【0148】このことから、実施例1乃至実施例5に示
したように、200℃の幅方向の熱収縮率が1.5〜
2.5%である芳香族ポリアミドフィルムを用い、かつ
補強用金属薄膜5を形成することによって、主面を高精
度に平坦化することができ、ヘッドとの接触状態の良好
な、高い走行耐久性を備えた磁気記録媒体を得ることが
可能となった。
Thus, as shown in Examples 1 to 5, the heat shrinkage in the width direction at 200 ° C. was 1.5 to 1.5.
By using the 2.5% aromatic polyamide film and forming the reinforcing metal thin film 5, the main surface can be flattened with high precision, and the contact state with the head is good, and the running durability is high. It has become possible to obtain a magnetic recording medium having the property.

【0149】また、実施例1乃至実施例4と実施例5と
を比較すると、実施例5と比較して、実施例1乃至実施
例4の方が良好な結果となっている。このことより、芳
香族ポリアミドフィルムにおいて、150℃の幅方向の
熱収縮率を0.5%以上の範囲に規定することによっ
て、更に、主面が平坦であって、ヘッドとの接触状態の
良好な、高い走行耐久性を備えた磁気記録媒体となるこ
とが解った。
[0149] When Examples 1 to 4 and Example 5 are compared, Examples 1 to 4 have better results than Example 5. Thus, in the aromatic polyamide film, by defining the heat shrinkage in the width direction at 150 ° C. in the range of 0.5% or more, the main surface is further flat and the contact state with the head is good. It turned out that the magnetic recording medium had high running durability.

【0150】次に、実施例6乃至実施例10及び比較例
6乃至比較例10について説明する。
Next, Examples 6 to 10 and Comparative Examples 6 to 10 will be described.

【0151】実施例6 先ず、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)中で平均
粒径0.1μmの乾式シリカ粒子を分散させたスラリー
を用意した。
Example 6 First, a slurry was prepared by dispersing dry silica particles having an average particle diameter of 0.1 μm in N-methyl-2-pyrrolidone (NMP).

【0152】次に、重合槽にNMPと上記スラリーを仕
込み、この中に芳香族ジアミン成分として80モル%に
相当する2−クロルパラフェニレンジアミンと、20モ
ル%に相当する4、4’−ジアミノジフェニルエ−テル
とを溶解させ、これに100モル%に相当する2−クロ
ルテレフタル酸クロリドを添加し、2時間攪拌して重合
を完了した。これを水酸化リチウムで中和してポリマー
溶液を得た。なお、粒子の含有量は芳香族ポリアミドに
対して0.1wt%であった。
Next, NMP and the above slurry were charged into a polymerization tank, and 2-chloroparaphenylenediamine corresponding to 80 mol% as an aromatic diamine component and 4,4′-diamino equivalent corresponding to 20 mol% were added thereto. The diphenyl ether was dissolved, and 2-chloroterephthalic acid chloride corresponding to 100 mol% was added thereto, followed by stirring for 2 hours to complete the polymerization. This was neutralized with lithium hydroxide to obtain a polymer solution. The content of the particles was 0.1 wt% with respect to the aromatic polyamide.

【0153】このポリマー溶液は、ポリマー濃度が10
重量%、30℃での溶液粘度を3000ポイズに調整し
て製膜原液とした。
This polymer solution has a polymer concentration of 10
The solution viscosity at 30% by weight was adjusted to 3000 poise to obtain a stock solution.

【0154】そして、これら製膜原液を5μmカットの
フィルタ−を通した後、150℃とされた金属ベルト上
に流延し、150℃の熱風で加熱を行って溶媒を蒸発さ
せ、自己保持性を得たフィルムをベルトから連続的に剥
離した。
Then, after passing these membrane-forming stock solutions through a 5 μm-cut filter, they were cast on a metal belt set at 150 ° C., heated with hot air at 150 ° C. to evaporate the solvent, The obtained film was continuously peeled off from the belt.

【0155】次に、NMPの濃度勾配をつけた水槽内へ
フィルムを導入して残存溶媒と中和で生じた無機塩の水
抽出を行い、テンターで水分の乾燥と熱処理を行った。
この間にフィルム長手方向と幅方向に各々1.2倍、
1.4倍延伸を行い、300℃で1.5分間乾燥と熱処
理を行った後、20℃/秒の速度で徐冷し、厚み3.5
μmの非磁性支持体1を得た。
Next, the film was introduced into a water tank having a concentration gradient of NMP, and the residual solvent and the inorganic salt generated by the neutralization were extracted with water, and the moisture was dried and heat-treated with a tenter.
During this time, 1.2 times each in the film longitudinal direction and width direction,
After stretching by a factor of 1.4, drying and heat treatment at 300 ° C. for 1.5 minutes, the film was gradually cooled at a rate of 20 ° C./sec to a thickness of 3.5
A μm non-magnetic support 1 was obtained.

【0156】次に、このようにして作製された非磁性支
持体1を用いて、下記のような手法にて、磁気テープ原
反を作製した。
Next, using the non-magnetic support 1 thus manufactured, an original magnetic tape was manufactured by the following method.

【0157】すなわち、図3に示したような連続巻き取
り式の蒸着装置11を、その内部が10-3(Pa)程度
の真空状態となるように排気し、上記の非磁性支持体1
を、この蒸着装置にセッティングした。そして、連続真
空斜め蒸着法により、微量の酸素存在下において、非磁
性支持体の一主面1a上にCoからなる金属磁性膜4を
形成した。蒸着の入射角は、非磁性支持体1の法線方向
が90〜45度までであり、非磁性支持体1の走行速度
が50m/分で、金属磁性膜4の厚さが0.18μmと
なるように、電子ビームの強さを調節して作製した。
That is, the continuous winding type vapor deposition apparatus 11 as shown in FIG. 3 is evacuated so that the inside thereof becomes a vacuum state of about 10 −3 (Pa),
Was set in this vapor deposition apparatus. Then, a metal magnetic film 4 made of Co was formed on one main surface 1a of the nonmagnetic support in the presence of a small amount of oxygen by a continuous vacuum oblique deposition method. The incident angle of vapor deposition is 90 to 45 degrees in the normal direction of the nonmagnetic support 1, the traveling speed of the nonmagnetic support 1 is 50 m / min, and the thickness of the metal magnetic film 4 is 0.18 μm. It was manufactured by adjusting the intensity of the electron beam so as to be as follows.

【0158】次に、ECRプラズマエッチング装置の内
部を10-3Pa程度になるまで減圧し、Arガスを導入
して0.4Pa程度にした。そして、ECRプラズマエ
ッチング装置に金属磁性膜4を形成した非磁性支持体1
をセッティングし、ECRプラズマエッチングを施すこ
とにより強磁性金属薄膜上に形成された表面酸化層を約
5nmまで薄膜化させた。また、この時、ECRプラズ
マエッチング装置の投入パワーは、300Kwとした。
Then, the pressure inside the ECR plasma etching apparatus was reduced to about 10 −3 Pa, and Ar gas was introduced to about 0.4 Pa. Then, the nonmagnetic support 1 on which the metal magnetic film 4 is formed in the ECR plasma etching apparatus
Was set, and the surface oxide layer formed on the ferromagnetic metal thin film was thinned to about 5 nm by performing ECR plasma etching. At this time, the input power of the ECR plasma etching apparatus was set to 300 Kw.

【0159】次に、図4に示したようなマグネトロンス
パッタリング装置を、その内部が10-4(Pa)程度に
なるまで減圧した後、Arガスを導入し、0.8Pa程
度にした。そして、このマグネトロンスパッタリング装
置に金属磁性膜4が形成された非磁性支持体1をセッテ
ィングし、−40℃に冷却した冷却キャン上を5m/分
の速度で走行させて金属磁性膜4上にカーボン保護膜を
形成した。
Next, the inside of the magnetron sputtering apparatus as shown in FIG. 4 was depressurized to about 10 −4 (Pa), and then Ar gas was introduced to about 0.8 Pa. Then, the nonmagnetic support 1 on which the metal magnetic film 4 is formed is set in the magnetron sputtering apparatus, and is run on a cooling can cooled to -40 ° C. at a speed of 5 m / min. A protective film was formed.

【0160】次に非磁性支持体1の強磁性金属薄膜が形
成された面とは反対側の面に以下の条件で厚さ0.3μ
mのプラズマ重合体膜7を形成した。
Next, the surface of the non-magnetic support 1 opposite to the surface on which the ferromagnetic metal thin film is formed has a thickness of 0.3 μm under the following conditions.
m of the plasma polymer film 7 was formed.

【0161】モノマガス :エチレン モノマガス流量 :30ml/分 キャリアガス :アルゴン キャリアガス流量 :70ml/分 真空度 :70Pa 高周波電源 :13.56MHz、300W 次に、200℃に加熱されたロールに金属磁性膜4を接
触させながら、100m/分の速度で走行させた。
Monomer gas: ethylene Monomer gas flow rate: 30 ml / min Carrier gas: argon Carrier gas flow rate: 70 ml / min Degree of vacuum: 70 Pa High frequency power supply: 13.56 MHz, 300 W Next, the metal magnetic film 4 was heated on a roll heated to 200 ° C. Was run at a speed of 100 m / min.

【0162】その後、カーボン保護膜上に、パーフルオ
ロポリエーテルよりなる潤滑剤のトップコート層を10
mg/m2となるように塗布した。
Then, a top coat layer of a lubricant composed of perfluoropolyether was formed on the carbon protective film by 10.
mg / m 2 .

【0163】このようにして非磁性支持体1上に金属磁
性膜4及び有機プラズマ重合体膜7が形成されてなるテ
ープ原反を、8mm幅にスリットした後にカセット本体
に収納してカセットテープを作製した。
The raw tape having the metal magnetic film 4 and the organic plasma polymer film 7 formed on the non-magnetic support 1 in this manner is slit into a width of 8 mm and then housed in the cassette main body to cut the cassette tape. Produced.

【0164】実施例7 実施例7では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を290℃としたこと以外は、実施例6と
同様にしてカセットテープを作製した。
Example 7 In Example 7, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 6, except that the heat treatment temperature for producing the aromatic polyamide film was 290 ° C.

【0165】実施例8 実施例8では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する際
の熱処理温度を280℃としたこと以外は、実施例6と
同様にしてカセットテープを作製した。
Example 8 In Example 8, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 6, except that the heat treatment temperature for producing the aromatic polyamide film was 280 ° C.

【0166】実施例9 実施例9では、有機プラズマ重合体膜形成後の熱処理温
度を250℃としたこと以外は、実施例7と同様にして
カセットテープを作製した。
Example 9 In Example 9, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 7, except that the heat treatment temperature after the formation of the organic plasma polymer film was 250 ° C.

【0167】実施例10 実施例10では、芳香族ポリアミドフィルムを作製する
際の幅方向の延伸倍率を1.6倍とし、熱処理温度を3
20℃としたこと以外は、実施例6と同様にしてカセッ
トテープを作製した。
Example 10 In Example 10, the stretching ratio in the width direction when producing an aromatic polyamide film was 1.6 times, and the heat treatment temperature was 3 times.
A cassette tape was produced in the same manner as in Example 6, except that the temperature was changed to 20 ° C.

【0168】比較例6 比較例6では、有機プラズマ重合体膜7の代わりに、下
記に示す通常のバックコート塗料を調製し、乾燥厚で
0.4μmとなるバックコート層6を形成したこと以外
は、実施例6と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 6 In Comparative Example 6, the following ordinary back coat paint was prepared in place of the organic plasma polymer film 7, and the back coat layer 6 having a dry thickness of 0.4 μm was formed. In the same manner as in Example 6, a cassette tape was produced.

【0169】 <バックコート塗料組成> カーボンブラック(旭社製,#50) 100重量部 ポリエステルポリウレタン 100重量部 (日本ポリウレタン社製 商品名N−2304) 溶剤:メチルエチルケトン 500重量部 トルエン 500重量部比較例7 比較例7では、有機プラズマ重合体膜7の代わりに、比
較例6で用いたバックコート塗料を調製し、乾燥厚で
0.4μmとなるバックコート6層を形成したこと以外
は、実施例7と同様にしてカセットテープを作製した。
<Backcoat coating composition> 100 parts by weight of carbon black (manufactured by Asahi Corporation, # 50) 100 parts by weight of polyester polyurethane (product name: N-2304 manufactured by Nippon Polyurethane Co.) Solvent: 500 parts by weight of methyl ethyl ketone 500 parts by weight of toluene Comparative Example 7 In Comparative Example 7, the back coat paint used in Comparative Example 6 was prepared in place of the organic plasma polymer film 7, and 6 layers of the back coat having a dry thickness of 0.4 μm were formed. In the same manner as in 7, a cassette tape was produced.

【0170】比較例8 比較例8では、有機プラズマ重合体膜7の代わりに、比
較例6で用いたバックコート塗料を調製し、乾燥厚で
0.4μmとなるバックコート層6を形成したこと以外
は、実施例8と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 8 In Comparative Example 8, instead of the organic plasma polymer film 7, the back coat paint used in Comparative Example 6 was prepared, and the back coat layer 6 having a dry thickness of 0.4 μm was formed. Except for the above, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 8.

【0171】比較例9 比較例9では、有機プラズマ重合体膜7の代わりに、比
較例6で用いたバックコート塗料を調製し、乾燥厚で
0.4μmとなるバックコート層6を形成したこと以外
は、実施例9と同様にしてカセットテープを作製した。
Comparative Example 9 In Comparative Example 9, the back coat paint used in Comparative Example 6 was prepared in place of the organic plasma polymer film 7, and the back coat layer 6 having a dry thickness of 0.4 μm was formed. Except for the above, a cassette tape was produced in the same manner as in Example 9.

【0172】比較例10 比較例10では、有機プラズマ重合体膜7の代わりに、
比較例6で用いたバックコート塗料を調製し、乾燥厚で
0.4μmとなるバックコート層6を形成したこと以外
は、実施例10と同様にしてカセットテープを作製し
た。
Comparative Example 10 In Comparative Example 10, instead of the organic plasma polymer film 7,
A cassette tape was produced in the same manner as in Example 10, except that the back coat paint used in Comparative Example 6 was prepared and the back coat layer 6 having a dry thickness of 0.4 μm was formed.

【0173】特性評価 上述したような実施例6乃至実施例10と比較例6乃至
比較例10に関して、上述したような物性の評価及び特
性の評価を行った。その結果を表2に示す。
Evaluation of Characteristics For the above-described Examples 6 to 10 and Comparative Examples 6 to 10, the physical properties and the characteristics were evaluated as described above. Table 2 shows the results.

【0174】[0174]

【表2】 [Table 2]

【0175】表2に示したとおり、200℃の幅方向の
熱収縮率が1.5%〜2.5%である芳香族ポリアミド
フィルムを用い、有機プラズマ重合体膜を形成した実施
例6乃至実施例10のサンプルに関しては、カッピング
が極力低く抑えられており、また、ヘッド当たりも良好
なものとなっている。また、これらの実施例6乃至実施
例10では、1000パス走行後のエラーレートも低く
抑えられている。
As shown in Table 2, organic plasma polymer films were formed using aromatic polyamide films having a heat shrinkage in the width direction at 200 ° C. of 1.5% to 2.5%. Regarding the sample of Example 10, the cupping was suppressed as low as possible, and the head contact was good. In the sixth to tenth embodiments, the error rate after traveling 1000 passes is also low.

【0176】このことから、実施例6乃至実施例10に
示したように、200℃の幅方向の熱収縮率が1.5%
〜2.5%である芳香族ポリアミドフィルムを用い、か
つ有機プラズマ重合体膜を形成することによって、主面
を高精度に平坦化することができ、ヘッドとの接触状態
の良好な、高い走行耐久性を備えた磁気記録媒体を得る
ことが可能となった。
Thus, as shown in Examples 6 to 10, the heat shrinkage in the width direction at 200 ° C. was 1.5%.
By using an aromatic polyamide film of about 2.5% and forming an organic plasma polymer film, the main surface can be flattened with high precision, and a good running state with good contact with the head can be achieved. It has become possible to obtain a durable magnetic recording medium.

【0177】また、実施例1乃至実施例7と実施例8及
び実施例9とを比較すると、実施例8及び実施例9と比
較して、実施例1乃至実施例7の方が良好な結果となっ
ている。このことより、芳香族ポリアミドフィルムにお
いて、150℃の幅方向の熱収縮率を0.5%以上の範
囲に規定することによって、更に、主面が平坦であっ
て、ヘッドとの接触状態の良好な、高い走行耐久性を備
えた磁気記録媒体となることが解った。
When Examples 1 to 7 are compared with Examples 8 and 9, better results are obtained in Examples 1 to 7 than in Examples 8 and 9. It has become. Thus, in the aromatic polyamide film, by defining the heat shrinkage in the width direction at 150 ° C. in the range of 0.5% or more, the main surface is further flat and the contact state with the head is good. It turned out that the magnetic recording medium had high running durability.

【0178】[0178]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る磁気記録媒体では、芳香族ポリアミドフィルムの幅
方向における200℃の熱膨張率を所定の値に規定する
ことによって、熱処理等を施した場合であっても、カー
リングやカッピング等を発生させるようなことがなく優
れた形状安定性を有することとなる。したがって、この
磁気記録媒体は、ヘッドとの当たりが良好であって、優
れた走行安定性を有することとなる。
As described above in detail, in the magnetic recording medium according to the present invention, heat treatment and the like can be performed by defining the thermal expansion coefficient at 200 ° C. in the width direction of the aromatic polyamide film to a predetermined value. Even in the case where it is applied, it has excellent shape stability without causing curling, cupping and the like. Therefore, the magnetic recording medium has good contact with the head and has excellent running stability.

【0179】また、本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法は、幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜
2.5%であるような非磁性支持体を用いているため、
熱履歴を加えた場合であっても、カーリングやカッピン
グ等を発生させることなく、磁気記録媒体の表面を高精
度に平坦に形成することができる。
Further, the method for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention has a thermal shrinkage at 200 ° C. in the width direction of 1.5 to 1.5.
Since a non-magnetic support having a concentration of 2.5% is used,
Even when heat history is added, the surface of the magnetic recording medium can be formed with high precision and flatness without causing curling or cupping.

【0180】更に補強用金属薄膜を形成することによ
り、薄物磁気記録媒体の強度が向上し、繰り返し走行後
においてもエラーレートの劣化や当たり特性の劣化等が
生じることなく、耐久性、信頼性に優れた薄物磁気記録
媒体が得られる。
Further, by forming the reinforcing metal thin film, the strength of the thin magnetic recording medium is improved, and the durability and the reliability can be improved without causing the deterioration of the error rate and the hit characteristics even after repeated running. An excellent thin magnetic recording medium can be obtained.

【0181】また、本発明に係る磁気記録媒体では、補
強用金属薄膜の代わりに有機プラズマ重合体膜を形成し
ても良く、有機プラズマ重合体膜を形成した場合におい
ても補強用金属薄膜を形成した場合と同様に耐久性、信
頼性に優れた薄物磁気記録媒体が得られる。
In the magnetic recording medium according to the present invention, an organic plasma polymer film may be formed instead of the reinforcing metal thin film, and even when the organic plasma polymer film is formed, the reinforcing metal thin film may be formed. As a result, a thin magnetic recording medium having excellent durability and reliability can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】補強用金属薄膜を用いた本発明に係る磁気記録
媒体の一構成例の要部断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a configuration example of a magnetic recording medium according to the present invention using a reinforcing metal thin film.

【図2】補強用金属薄膜を用いた本発明に係る磁気記録
媒体の他の構成例の要部断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of another configuration example of the magnetic recording medium according to the present invention using a reinforcing metal thin film.

【図3】金属磁性膜を成膜する際に用いられる連続巻き
取り式の真空蒸着装置の概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a continuous winding type vacuum evaporation apparatus used for forming a metal magnetic film.

【図4】カーボン保護膜を形成する際に用いられるマグ
ネトロンスパッタ装置の概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a magnetron sputtering apparatus used when forming a carbon protective film.

【図5】有機プラズマ重合体膜を用いた本発明に係る磁
気記録媒体の一構成例の要部断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a main part of a configuration example of a magnetic recording medium according to the present invention using an organic plasma polymer film.

【図6】有機プラズマ重合体膜を用いた本発明に係る磁
気記録媒体の他の構成例の要部断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part of another configuration example of the magnetic recording medium according to the present invention using an organic plasma polymer film.

【図7】カッピング測定装置の概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a cupping measurement device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 非磁性支持体、4 金属磁性膜、5 補強用金属薄
膜、6 バックコート層、7 有機プラズマ重合体膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Non-magnetic support, 4 Metal magnetic film, 5 Metal thin film for reinforcement, 6 Back coat layer, 7 Organic plasma polymer film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松村 伸一 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 谷田貝 洋 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 5D006 BB07 CB02 CB04 CB07 CB08 CC01 CC03 CC04 FA02 5D112 AA02 AA05 AA08 AA11 AA22 BA01 BD01 BD03 BD04 FA07 GA02 GA27 GB03  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shinichi Matsumura 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Hiroshi Yatakai 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F term (reference) 5D006 BB07 CB02 CB04 CB07 CB08 CC01 CC03 CC04 FA02 5D112 AA02 AA05 AA08 AA11 AA22 BA01 BD01 BD03 BD04 FA07 GA02 GA27 GB03

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、 上記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.
5%であり、 上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表
面酸化層をエッチングされてなり、 上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に補強用金属薄膜が成膜されることを特徴
とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium having at least a metal magnetic film formed on one main surface of a non-magnetic support, wherein the non-magnetic support is made of an aromatic polyamide film and has a temperature of 200 ° C. in the width direction. Has a heat shrinkage of 1.5 to 2.
5%, wherein the metal magnetic film is formed by etching a surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film, and the other side of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed is formed. A magnetic recording medium comprising a reinforcing metal thin film formed on a main surface.
【請求項2】 上記非磁性支持体は、幅方向における1
50℃の熱収縮率が0.5%以上であることを特徴とす
る請求項1記載の磁気記録媒体。
2. The non-magnetic support according to claim 1, wherein the non-magnetic support is one in the width direction.
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the heat shrinkage at 50 ° C. is 0.5% or more.
【請求項3】 上記非磁性支持体は、多層構造からなる
ことを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the non-magnetic support has a multilayer structure.
【請求項4】 上記金属磁性膜の厚みが、0.05〜
0.25μmであることを特徴とする請求項1記載の磁
気記録媒体。
4. The method according to claim 1, wherein the metal magnetic film has a thickness of 0.05 to 0.05.
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness is 0.25 [mu] m.
【請求項5】 上記非磁性支持体の厚みが、2.5〜
5.0μmであることを特徴とする請求項1記載の磁気
記録媒体。
5. The thickness of the nonmagnetic support is 2.5 to 2.5.
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness is 5.0 [mu] m.
【請求項6】 上記非磁性支持体は、長さ方向のヤング
率が1000kg/mm2以上であり、幅方向のヤング
率が1300kg/mm2以上であることを特徴とする
請求項1記載の磁気記録媒体。
6. The nonmagnetic support according to claim 1, wherein the Young's modulus in the length direction is 1000 kg / mm 2 or more, and the Young's modulus in the width direction is 1300 kg / mm 2 or more. Magnetic recording medium.
【請求項7】 上記補強用金属薄膜の厚みが、0.1〜
0.5μmであることを特徴とする請求項1記載の磁気
記録媒体。
7. The reinforcing metal thin film has a thickness of 0.1 to 0.1.
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the thickness is 0.5 μm.
【請求項8】 上記補強用金属薄膜は、Al、Cu、N
i、Cr及びこれらの金属の合金からなる群より選ばれ
た金属より構成される少なくとも1層の金属薄膜よりな
ることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
8. The reinforcing metal thin film is made of Al, Cu, N
2. The magnetic recording medium according to claim 1, comprising at least one metal thin film composed of a metal selected from the group consisting of i, Cr and an alloy of these metals.
【請求項9】 非磁性支持体の一主面上に、少なくとも
金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法に
おいて、 幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、 上記金属磁性膜を成膜した後、当該金属磁性膜表面に形
成された表面酸化層をエッチングする工程と、 上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に補強用金属薄膜を成膜する工程と上記補
強用金属薄膜を成膜した後、熱履歴を加える工程とを有
することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
9. A method for manufacturing a magnetic recording medium comprising at least a metal magnetic film formed on one main surface of a non-magnetic support, wherein the heat shrinkage at 200 ° C. in the width direction is 1.5 to 2. 5%
Using a non-magnetic support made of an aromatic polyamide film, and forming the metal magnetic film on one main surface of the non-magnetic support; and forming the metal magnetic film on the non-magnetic support, Etching a surface oxide layer formed on the film surface; forming a reinforcing metal thin film on the other main surface of the nonmagnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed; and Adding a thermal history after forming the reinforcing metal thin film.
【請求項10】 上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が
成膜される側と反対側の他主面に上記補強用金属薄膜を
成膜した後、100℃〜250℃の熱処理を施すことを
特徴とする請求項9記載の磁気記録媒体の製造方法。
10. A heat treatment at 100 ° C. to 250 ° C. after forming the reinforcing metal thin film on the other main surface of the nonmagnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 9, wherein:
【請求項11】 非磁性支持体の一主面上に、少なくと
も金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体において、 上記非磁性支持体は、芳香族ポリアミドフィルムからな
り、幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.
5%であり、 上記金属磁性膜は、当該金属磁性膜表面に形成された表
面酸化層をエッチングされてなり、 上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が成膜される側と反
対側の他主面に有機プラズマ重合体膜が成膜されること
を特徴とする磁気記録媒体。
11. A magnetic recording medium in which at least a metal magnetic film is formed on one main surface of a nonmagnetic support, wherein the nonmagnetic support is made of an aromatic polyamide film and has a temperature of 200 ° C. in the width direction. Has a heat shrinkage of 1.5 to 2.
5%, wherein the metal magnetic film is formed by etching a surface oxide layer formed on the surface of the metal magnetic film, and the other side of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed is formed. A magnetic recording medium comprising an organic plasma polymer film formed on a main surface.
【請求項12】 上記非磁性支持体は、幅方向における
150℃の熱収縮率が0.5%以上であることを特徴と
する請求項11記載の磁気記録媒体。
12. The magnetic recording medium according to claim 11, wherein the nonmagnetic support has a thermal shrinkage at 150 ° C. in the width direction of 0.5% or more.
【請求項13】 上記非磁性支持体は、多層構造からな
ることを特徴とする請求項11記載の磁気記録媒体。
13. The magnetic recording medium according to claim 11, wherein the non-magnetic support has a multilayer structure.
【請求項14】 上記金属磁性膜の厚みが、0.05〜
0.25μmであることを特徴とする請求項11記載の
磁気記録媒体。
14. The thickness of the metal magnetic film is 0.05 to
The magnetic recording medium according to claim 11, wherein the thickness is 0.25 µm.
【請求項15】 上記非磁性支持体の厚みが、2.5〜
5.0μmであることを特徴とする請求項11記載の磁
気記録媒体。
15. The thickness of the nonmagnetic support is from 2.5 to
The magnetic recording medium according to claim 11, wherein the thickness is 5.0 µm.
【請求項16】 上記非磁性支持体は、長さ方向のヤン
グ率が1000kg/mm2以上であり、幅方向のヤン
グ率が1300kg/mm2以上であることを特徴とす
る請求項11記載の磁気記録媒体。
16. The non-magnetic support according to claim 11, wherein the Young's modulus in the length direction is 1000 kg / mm 2 or more, and the Young's modulus in the width direction is 1300 kg / mm 2 or more. Magnetic recording medium.
【請求項17】 上記有機プラズマ重合体膜の厚みが、
0.1〜1.0μmであることを特徴とする請求項11
記載の磁気記録媒体。
17. The thickness of the organic plasma polymer film is as follows:
12. The structure according to claim 11, wherein the thickness is 0.1 to 1.0 [mu] m.
The magnetic recording medium according to the above.
【請求項18】 非磁性支持体の一主面上に、少なくと
も金属磁性膜が成膜されてなる磁気記録媒体の製造方法
において、 幅方向における200℃の熱収縮率が1.5〜2.5%
である芳香族ポリアミドフィルムからなる非磁性支持体
を用い、当該非磁性支持体の一主面上に上記金属磁性膜
を成膜する工程と、 上記金属磁性膜を成膜した後、当該金属磁性膜表面に形
成された表面酸化層をエッチングする工程と、 上記非磁性支持体の金属磁性膜が成膜される側と反対側
の他主面に有機プラズマ重合体膜を成膜する工程と上記
有機プラズマ重合体膜を成膜した後、熱履歴を加える工
程とを有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
18. A method for manufacturing a magnetic recording medium comprising a nonmagnetic support having at least a metal magnetic film formed on one main surface thereof, wherein a thermal shrinkage at 200 ° C. in the width direction is 1.5 to 2. 5%
Using a non-magnetic support made of an aromatic polyamide film, and forming the metal magnetic film on one main surface of the non-magnetic support; and forming the metal magnetic film on the non-magnetic support, Etching a surface oxide layer formed on the film surface; forming an organic plasma polymer film on the other main surface of the nonmagnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed; Adding a thermal history after forming the organic plasma polymer film.
【請求項19】 上記非磁性支持体の上記金属磁性膜が
成膜される側と反対側の他主面に上記有機プラズマ重合
体膜を成膜した後、100℃〜250℃の熱処理を施す
ことを特徴とする請求項18記載の磁気記録媒体の製造
方法。
19. After the organic plasma polymer film is formed on the other main surface of the non-magnetic support opposite to the side on which the metal magnetic film is formed, a heat treatment at 100 ° C. to 250 ° C. is performed. 19. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to claim 18, wherein:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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