JP2003142274A - Organic electroluminescent device and manufacturing method of the same, and electronic device - Google Patents
Organic electroluminescent device and manufacturing method of the same, and electronic deviceInfo
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、表示装置や光源と
して利用される有機エレクトロルミネッセンス（以下、
有機ＥＬと称す）装置及びその製造方法、並びにそれを
利用した電子機器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to organic electroluminescence (hereinafter referred to as "display device" or "light source")
An organic EL device), a method for manufacturing the same, and an electronic device using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】有機ＥＬ素子（少なくとも一層の発光性
有機層が陰極と陽極との間に配置されてなる自発光性素
子）を画素に対応させて備える有機ＥＬ表示体は、高輝
度で自発光であること、直流低電圧駆動が可能であるこ
と、応答性が高速であること、固体有機膜による発光で
あることによって、優れた表示性能、薄型化、軽量化、
低消費電力化が可能であるため、将来的に液晶表示体に
変わるものとして期待されている。2. Description of the Related Art An organic EL display body provided with an organic EL element (a self-luminous element in which at least one light-emitting organic layer is disposed between a cathode and an anode) corresponding to a pixel has high brightness. Excellent display performance, thinness, and light weight due to the fact that it emits light, it can be driven at a low DC voltage, it has a high response, and it emits light with a solid organic film.
Since it is possible to reduce the power consumption, it is expected to replace the liquid crystal display body in the future.
【０００３】ところが、有機ＥＬ素子には、素子の構成
部材が経時変化によって劣化することに伴って、上述し
た優れた特性が得られなくなるという問題点があった。
この原因として、特に陰極と発光性有機層が、大気中の
酸素や水分により酸化されることが挙げられている。そ
こで、上記問題を解決するために、基板上に、陽極と、
少なくとも一層の発光性有機層と、陰極と、を順次積層
してなる有機ＥＬ素子において、陰極を二層構造とする
ことで、陰極側からの酸素及び水分の浸入を抑制する手
段が取られている。ここで、発光性有機層と接する第一
陰極層を、低仕事関数の形成材料（例えば、Ｃａ薄膜）
から形成し、その上面に積層される第二陰極層を、この
第一陰極層より高仕事関数の形成材料（例えば、Ａｌ薄
膜）から形成している。However, the organic EL element has a problem in that the above-mentioned excellent characteristics cannot be obtained as the constituent members of the element deteriorate with the lapse of time.
As a cause for this, it is particularly mentioned that the cathode and the luminescent organic layer are oxidized by oxygen and moisture in the atmosphere. Therefore, in order to solve the above problem, an anode on the substrate,
In an organic EL device in which at least one light-emitting organic layer and a cathode are sequentially laminated, a means for suppressing infiltration of oxygen and water from the cathode side is taken by forming the cathode into a two-layer structure. There is. Here, the first cathode layer in contact with the light emitting organic layer is formed of a low work function forming material (for example, Ca thin film).
The second cathode layer formed on the upper surface of the first cathode layer is formed of a material having a work function higher than that of the first cathode layer (for example, an Al thin film).
【０００４】上記手段によって、第一陰極層は高い発光
効率を有する陰極として機能するとともに、第二陰極層
は第一陰極層及び発光性有機層への酸素及び水分の浸入
を抑制するパッシベーション膜としての機能を果たして
いる。By the above means, the first cathode layer functions as a cathode having a high luminous efficiency, and the second cathode layer serves as a passivation film for suppressing the intrusion of oxygen and moisture into the first cathode layer and the light emitting organic layer. Fulfills the function of.
【０００５】[0005]
【発明の解決しようとする課題】しかしながら、上記陰
極の二層構造のうち、第二陰極層として多々利用されて
いるＡｌは、酸素や水分に対して安定性を有する金属で
はあるが、層表面にピンホールができやすいという不具
合があった。このため、このピンホールより、第一陰極
層や発光性有機層へ酸素及び水分が浸入し、有機ＥＬ素
子の劣化を促進してしまうという恐れがあった。However, among the two-layer structure of the above-mentioned cathode, Al, which is often used as the second cathode layer, is a metal having stability against oxygen and moisture, There was a problem that it was easy to make pinholes. Therefore, there is a risk that oxygen and water may enter the first cathode layer and the light-emitting organic layer through the pinholes, which may accelerate the deterioration of the organic EL element.
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、陰極のさらに上面に酸素や水分を吸収可能な酸
化防止層を積層することによって、陰極及び発光性有機
層への酸素及び水分の浸入を抑制し、有機ＥＬ素子の寿
命を向上させることを可能とした有機エレクトロルミネ
ッセンス装置及びその製造方法、並びにそれを利用した
電子機器を提供することを課題としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and oxygen and moisture to the cathode and the luminescent organic layer are formed by laminating an antioxidant layer capable of absorbing oxygen and moisture on the upper surface of the cathode. It is an object of the present invention to provide an organic electroluminescence device capable of suppressing the intrusion of the organic EL element and improving the life of the organic EL element, a method for manufacturing the same, and an electronic device using the same.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に、陽
極と、少なくとも一層の発光性有機層と、陰極とを順次
積層してなる有機エレクトロルミネッセンス装置におい
て、前記陰極の上面に、少なくとも一層の酸化防止層を
積層したことを特徴としている。The present invention provides an organic electroluminescent device comprising an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, and at least an upper surface of the cathode. It is characterized by laminating one layer of antioxidant layer.
【０００８】この有機エレクトロルミネッセンス装置に
おいて、前記陰極が、前記発光性有機層と接する第一陰
極と、前記第一陰極よりも仕事関数の大きな第二陰極と
を積層させた二層構造からなることを特徴としている。
この有機エレクトロルミネッセンス装置において、少な
くとも前記陰極と接する前記酸化防止層が、当該接する
陰極の形成材料よりも仕事関数の小さな材料からなるこ
とを特徴としている。In this organic electroluminescence device, the cathode has a two-layer structure in which a first cathode in contact with the light-emitting organic layer and a second cathode having a work function larger than that of the first cathode are laminated. Is characterized by.
In this organic electroluminescence device, at least the oxidation preventing layer in contact with the cathode is made of a material having a work function smaller than that of the material forming the cathode in contact.
【０００９】この有機エレクトロルミネッセンス装置に
おいて、前記酸化防止層が、アルカリ金属或いはアルカ
リ土類金属からなることを特徴としている。この有機エ
レクトロルミネッセンス装置において、前記酸化防止層
が、カルシウムからなることを特徴としている。The organic electroluminescent device is characterized in that the oxidation preventing layer is made of an alkali metal or an alkaline earth metal. In this organic electroluminescence device, the antioxidant layer is made of calcium.
【００１０】この有機エレクトロルミネッセンス装置に
おいて、前記酸化防止層として、少なくとも前記陰極の
上面に積層され、当該接する陰極の形成材料よりも仕事
関数の小さな材料からなる第一酸化防止層と、当該第一
酸化防止層の上面に積層され、前記第一酸化防止層より
も仕事関数の大きな材料からなる第二酸化防止層と、を
交互に積層したことを特徴としている。In this organic electroluminescence device, the oxidation preventing layer comprises a first oxidation preventing layer which is laminated at least on the upper surface of the cathode and has a work function smaller than that of the cathode forming material in contact with the cathode. It is characterized in that it is laminated on the upper surface of the antioxidant layer and the second antioxidant layer made of a material having a work function larger than that of the first antioxidant layer is alternately laminated.
【００１１】ここで、交互に積層するとは、陰極の上面
に第一酸化防止層と第二酸化防止層とを順次積層するこ
とを指し、例えば、第一酸化防止層及び第二酸化防止層
をそれぞれ一層ずつ積層しても、第一酸化防止層及び第
二酸化防止層をそれぞれ二層以上積層しても、或いは、
第一酸化防止層を二層と第二酸化防止層を一層積層して
も構わない。つまり、少なくとも陰極の上面に形成され
る酸化防止層が、接する陰極の形成材料よりも仕事関数
の小さな材料からなる第一酸化防止層とするのであれ
ば、最上面の層は、 第一酸化防止層或いは第二酸化防止
層のいずれであっても構わない。Here, “to be alternately laminated” refers to sequentially laminating a first oxidation prevention layer and a second oxidation prevention layer on the upper surface of the cathode, for example, a first oxidation prevention layer and a second oxidation prevention layer, respectively. Or two or more layers of the first antioxidation layer and the second antioxidation layer, respectively, or
Two first oxidation preventing layers and one second oxidation preventing layer may be laminated. That is, if at least the antioxidation layer formed on the upper surface of the cathode is the first antioxidation layer made of a material having a work function smaller than that of the cathode forming material in contact with the cathode, the uppermost layer is the first antioxidation layer. It may be either the layer or the second antioxidation layer.
【００１２】この有機エレクトロルミネッセンス装置に
おいて、前記第一酸化防止層が、アルカリ金属或いはア
ルカリ土類金属からなり、前記第二酸化防止層が、アル
ミニウム、 銀、金のいずれか、又はこれらを含んだ合金
からなることを特徴としている。この有機エレクトロル
ミネッセンス装置において、前記第一酸化防止層がカル
シウムからなり、前記第二酸化防止層がアルミニウムか
らなることを特徴としている。In this organic electroluminescence device, the first antioxidation layer is made of an alkali metal or an alkaline earth metal, and the second antioxidation layer is made of aluminum, silver, gold, or an alloy containing them. It is characterized by consisting of. This organic electroluminescent device is characterized in that the first antioxidation layer is made of calcium and the second antioxidation layer is made of aluminum.
【００１３】本発明は、基板上に、陽極と、少なくとも
一層の発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機
エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前
記陰極の上面に、酸化防止層を、前記陰極形成時と同一
のマスクを利用して蒸着する工程を備えたことを特徴と
している。本発明は、基板上に、陽極と、少なくとも一
層の発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エ
レクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前記
陰極の上面に、酸化防止層を、前記陰極の上面及び端面
を露出するマスクを利用して蒸着する工程を備えたこと
を特徴としている。The present invention is a method of manufacturing an organic electroluminescent device comprising a substrate, an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on each other. The method is characterized in that a step of vapor deposition is provided by using the same mask as that for forming the cathode. The present invention is, on a substrate, an anode, at least one light-emitting organic layer, and a method for manufacturing an organic electroluminescent device comprising a cathode, which is sequentially laminated, in which an antioxidant layer is provided on the upper surface of the cathode, and the cathode. The method is characterized in that a step of vapor deposition is provided by using a mask exposing the upper surface and the end surface of the.
【００１４】本発明は、基板上に、 陽極と、少なくとも
一層の発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機
エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前
記陰極の上面に、酸化防止層を、表示領域が露出するマ
スクを利用して蒸着する工程を備えたことを特徴として
いる。ここで、表示領域とは、有機エレクトロルミネッ
センス装置において、表示機能を保有する領域のことを
指す。The present invention is a method for manufacturing an organic electroluminescent device comprising a substrate, an anode, at least one luminescent organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, and an antioxidant layer is provided on the upper surface of the cathode. The method is characterized by including a step of depositing using a mask exposing a display area. Here, the display region refers to a region having a display function in the organic electroluminescence device.
【００１５】この有機エレクトロルミネッセンス装置の
製造方法において、前記酸化防止層を、接する前記陰極
の形成材料よりも仕事関数の小さな材料で形成すること
を特徴としている。この有機エレクトロルミネッセンス
装置の製造方法において、前記酸化防止層を、接する前
記陰極の形成材料よりも仕事関数の小さな材料からなる
第一酸化防止層と、その上面に積層され、前記第一酸化
防止層よりも仕事関数の大きな材料からなる第二酸化防
止層と、を交互に積層して形成することを特徴としてい
る。In this method of manufacturing an organic electroluminescent device, the oxidation preventing layer is formed of a material having a work function smaller than that of the cathode forming material in contact therewith. In this method for manufacturing an organic electroluminescence device, the oxidation preventing layer is a first oxidation preventing layer made of a material having a work function smaller than that of a material forming the cathode in contact with the oxidation preventing layer, and the oxidation preventing layer is laminated on an upper surface of the oxidation preventing layer. It is characterized in that it is formed by alternately stacking second dioxide prevention layers made of a material having a larger work function.
【００１６】本発明は、基板上に、陽極と、少なくとも
一層の発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機
エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前
記陰極の上面に、第一酸化防止層と、第二酸化防止層と
を、前記陰極形成時と同一のマスクを利用して、順次交
互に蒸着する工程と、前記酸化防止層における最上層と
なる第一酸化防止層或いは第二酸化防止層を、前記陰極
の上面及び端面を露出するマスクを利用して蒸着する工
程と、を備えたことを特徴としている。The present invention is a method of manufacturing an organic electroluminescent device comprising a substrate, an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate. Layer and a second anti-oxidation layer are sequentially and alternately deposited by using the same mask as in the formation of the cathode, and a first anti-oxidation layer or a second anti-oxidation layer which is the uppermost layer of the anti-oxidation layer. And vapor-depositing using a mask exposing the upper surface and the end surface of the cathode.
【００１７】本発明は、基板上に、 陽極と、 少なくとも
一層の発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機
エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、前
記陰極の上面に、第一酸化防止層と、第二酸化防止層と
を、表示領域が露出するマスクを利用して、順次交互に
蒸着する工程と、前記酸化防止層における最上層となる
第一酸化防止層或いは第二酸化防止層を、前記陰極の上
面及び端面が露出するマスクを利用して蒸着する工程
と、を備えたことを特徴としている。The present invention provides a method for manufacturing an organic electroluminescence device comprising a substrate, an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate. A layer and a second anti-oxidation layer, using a mask exposing the display region, a step of sequentially and alternately depositing the first anti-oxidation layer or the second anti-oxidation layer, which is the uppermost layer in the anti-oxidation layer, Vapor deposition using a mask exposing the upper surface and the end surface of the cathode.
【００１８】本発明は、表示体と、当該表示体に駆動信
号を供給する駆動回路と、を備えた電子機器において、
前記表示体として、上述した有機エレクトロルミネッセ
ンス装置を備えたことを特徴としている。本発明におけ
る有機エレクトロルミネッセンス装置において、陰極の
上面に、少なくとも一層の酸化防止層を積層したことに
よって、陰極及び発光性有機層への酸素及び水分の浸入
を抑制することが可能となるため、有機ＥＬ素子におけ
る特性の経時劣化を防止し、有機エレクトロルミネッセ
ンス装置の長寿命化を図ることが可能となる。The present invention provides an electronic device including a display body and a drive circuit for supplying a drive signal to the display body,
As the display body, the above-described organic electroluminescence device is provided. In the organic electroluminescence device of the present invention, by stacking at least one antioxidant layer on the upper surface of the cathode, it is possible to suppress the intrusion of oxygen and moisture into the cathode and the light-emitting organic layer, so that the organic It is possible to prevent the deterioration of the characteristics of the EL element with time and to extend the life of the organic electroluminescence device.
【００１９】ここで、酸化防止層を形成する仕事関数の
小さな材料として、例えば、カルシウム（Ｃａ）、マグ
ネシウム（Ｍｇ）、セシウム（Ｃｓ）、ストロンチウム
（Ｓｒ）などのアルカリ金属或いはアルカリ土類金属な
どが挙げられる。特に、酸化防止層として、少なくとも
陰極の上面に積層し、当該接する陰極の形成材料よりも
仕事関数の小さな材料からなる第一酸化防止層と、当該
第一酸化防止層の上面に積層し、第一酸化防止層よりも
仕事関数の大きな第二酸化防止層と、を交互に積層する
ことによって、第一酸化防止層が酸素及び水分を吸収す
る吸収層として機能するとともに、第二酸化防止層が、
第一酸化防止層の保護膜（パッシベーション膜）として
機能するようになる。よって、有機ＥＬ素子の酸化防止
をより効率よく行うことが可能となる。Here, as the material having a small work function for forming the antioxidant layer, for example, an alkali metal such as calcium (Ca), magnesium (Mg), cesium (Cs), strontium (Sr) or an alkaline earth metal, etc. Is mentioned. In particular, as an antioxidant layer, at least laminated on the upper surface of the cathode, a first antioxidant layer made of a material having a work function smaller than the material forming the cathode in contact, and laminated on the upper surface of the first antioxidant layer, By alternately stacking a second antioxidation layer having a work function larger than that of the monooxidation prevention layer, the first antioxidation layer functions as an absorption layer that absorbs oxygen and moisture, and the second antioxidation layer,
It functions as a protective film (passivation film) for the first antioxidation layer. Therefore, it becomes possible to prevent oxidation of the organic EL element more efficiently.
【００２０】ここで、第一酸化防止層を形成する仕事関
数の小さな材料として、例えば、カルシウム（Ｃａ）、
マグネシウム（Ｍｇ）、セシウム（Ｃｓ）、ストロンチ
ウム（Ｓｒ）などのアルカリ金属或いはアルカリ土類金
属などが挙げられる。また、第二酸化防止層を形成する
第一酸化防止層よりも仕事関数の大きな材料として、ア
ルミニウム（Ａｌ）、 銀（Ａｇ）、金（Ａｕ）のいずれ
か、又は、これらを含んだ合金、例えば、アルミニウム
−クロム（Ａｌ−Ｃｒ）合金や、アルミニウム−リチウ
ム（Ａｌ−Ｌｉ）合金などが挙げられる。Here, as a material having a small work function for forming the first antioxidant layer, for example, calcium (Ca),
Examples thereof include alkali metals such as magnesium (Mg), cesium (Cs), and strontium (Sr) or alkaline earth metals. Further, as a material having a work function larger than that of the first antioxidation layer forming the second antioxidation layer, any one of aluminum (Al), silver (Ag), gold (Au), or an alloy containing them, for example, , Aluminum-chromium (Al-Cr) alloy, aluminum-lithium (Al-Li) alloy, and the like.
【００２１】この多層構造を形成する複数の第一酸化防
止層は、全層をＣａなどの同一材料で形成するようにし
ても良いし、 例えば陰極と接する層はＣａとし、それ以
外の層はＣｓとするなど、それぞれを異なる材料で形成
するようにしても構わない。同様に、多層構造を形成す
る複数の第二酸化防止層も、全層を同一材料で形成する
ようにしても良いし、それぞれ異なる材料で形成するよ
うにしても構わない。All of the plurality of first antioxidation layers forming this multilayer structure may be made of the same material such as Ca. For example, the layer in contact with the cathode is made of Ca and the other layers are made of Ca. They may be made of different materials such as Cs. Similarly, the plurality of second anti-oxidation layers forming the multi-layer structure may be formed of the same material or different materials.
【００２２】また、第一酸化防止層を、 カルシウム（Ｃ
ａ）薄膜から構成し、第二酸化防止層を、金（Ａｕ）薄
膜から構成するようにすると、光透過性を有する酸化防
止層を形成することも可能であるため、さらに陰極を光
透過性を有するものとすれば、陰極側からの発光を実現
させることが可能となる。さらに、陰極を、仕事関数の
小さな、 例えばアルカリ金属或いはアルカリ土類金属な
どからなる第一陰極と、当該第一陰極よりも仕事関数の
大きな、 例えば、アルミニウム、 金、銀のいずれか或い
はこれらの合金などからなる第二陰極との二層構造とす
ることによって、有機エレクトロルミネッセンス装置の
発光効率を向上させるために有効である。The first antioxidant layer is made of calcium (C
a) When the second anti-oxidation layer is made of a thin film and the gold (Au) thin film is made, it is possible to form an anti-oxidation layer having a light-transmitting property. If it has one, it becomes possible to realize light emission from the cathode side. Further, the cathode is composed of a first cathode having a small work function, such as an alkali metal or an alkaline earth metal, and a work function larger than that of the first cathode, such as aluminum, gold, or silver, or one of these. A two-layer structure with a second cathode made of an alloy or the like is effective for improving the luminous efficiency of the organic electroluminescence device.
【００２３】本発明における有機エレクトロルミネッセ
ンス装置の製造方法によれば、本発明における有機エレ
クトロルミネッセンス装置を容易に製造することが可能
となる。また、従来から陰極として用いている金属薄膜
を積層することで保護膜として利用するため、保護膜の
製造にかかる製造工程及び製造コストを削減することが
可能となる。According to the method of manufacturing an organic electroluminescence device of the present invention, the organic electroluminescence device of the present invention can be easily manufactured. In addition, since a metal thin film that has been conventionally used as a cathode is used as a protective film by stacking it, it is possible to reduce the manufacturing process and manufacturing cost for manufacturing the protective film.
【００２４】特に、陰極の上面及び端面を覆うように酸
化防止層を積層することによって、周辺部からの酸素及
び水分の浸入を効果的に防止することが可能となる。本
発明における電子機器において、その表示体として上述
した有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことに
よって、優れた表示性能、薄型化、軽量化、低消費電力
化を可能とする電子機器の長寿命化を図ることが可能と
なる。In particular, by stacking the oxidation prevention layer so as to cover the upper surface and the end surface of the cathode, it becomes possible to effectively prevent the infiltration of oxygen and moisture from the peripheral portion. In the electronic device according to the present invention, by providing the above-mentioned organic electroluminescence device as the display body, it is possible to achieve a long life of the electronic device that enables excellent display performance, thinning, weight reduction, and low power consumption. It becomes possible.
【００２５】また、酸化防止層によって有機ＥＬ素子の
酸化を抑制できるため、酸化防止を目的とした封止基板
や封止材などを形成しなくてもすむようになるため、電
子機器の小型化、 薄膜化を実現するために有効である。Further, since the oxidation of the organic EL element can be suppressed by the antioxidation layer, it becomes unnecessary to form a sealing substrate or a sealing material for the purpose of preventing the oxidation, and therefore the electronic device can be downsized. It is effective for realizing a thin film.
【００２６】[0026]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて、図面を参照して説明する。
（第一実施形態）図１は、本発明にかかる有機ＥＬパネ
ルの一実施形態を示す断面図である。有機ＥＬパネル１
００ａは、図１に示すように、基板１と、その上面に形
成される駆動用素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：
Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）形成層２
（なお、図中には個々のＴＦＴは省略している）と、こ
のＴＦＴ形成層２の上面に順次積層され、基板１上を複
数の発光領域（画素領域）Ｌに分割している絶縁性膜
３、画素間隔壁（バンク）４と、このバンク４で区画さ
れた発光領域Ｌ内に順次積層される陽極層５、正孔注入
層６、 発光性有機層７と、さらにその上の基板１面全体
に積層される陰極層８と、この陰極層８のさらに上面に
積層される酸化防止層９と、この酸化防止層９のさらに
上面に封止材１０を介して張付けられる封止基板１１
と、から構成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an organic EL panel according to the present invention. Organic EL panel 1
As shown in FIG. 1, reference numeral 00a denotes a substrate 1 and a thin film transistor (TFT: TFT) which is a driving element formed on the upper surface thereof.
Thin Film Transistor) Formation Layer 2
(Individual TFTs are omitted in the drawing) and an insulating property which is sequentially laminated on the upper surface of the TFT forming layer 2 and divides the substrate 1 into a plurality of light emitting regions (pixel regions) L. A film 3, a pixel spacing wall (bank) 4, an anode layer 5, a hole injection layer 6, a light emitting organic layer 7, which are sequentially stacked in a light emitting region L partitioned by the bank 4, and a substrate thereon. A cathode layer 8 laminated on the entire one surface, an antioxidant layer 9 laminated on the upper surface of the cathode layer 8, and a sealing substrate attached on the upper surface of the antioxidant layer 9 via a sealing material 10. 11
It consists of and.
【００２７】ここで、有機ＥＬ素子Ｅは、陽極層５と、
正孔注入層６と、発光性有機層７と、陰極層８、とから
構成され、この陽極層５と陰極層８との間に電圧を印加
することによって、発光性有機層７で電子とホールとが
結合し、生じた光は基板１側から外部に照射されるよう
になっている。陽極層５は、ＩＴＯ（錫ドープ酸化イン
ジウム）や、ＩＺＯ（亜鉛ドープ酸化インジウム）など
から形成される。Here, the organic EL element E comprises an anode layer 5 and
It is composed of a hole injection layer 6, a light emitting organic layer 7, and a cathode layer 8. By applying a voltage between the anode layer 5 and the cathode layer 8, electrons are emitted from the light emitting organic layer 7. The generated light is combined with the holes, and the generated light is emitted to the outside from the substrate 1 side. The anode layer 5 is formed of ITO (tin-doped indium oxide), IZO (zinc-doped indium oxide), or the like.
【００２８】正孔注入層６は、バイエル社製「Ｂｙｔｒ
ｏｎ Ｐ」（ＰＥＤＯＴ：ポリエチレンジオキシチオフ
ェン）などの高分子材料、或いは、ＴＰＤ、ｍ−ＭＴＤ
ＡＴＡ、銅フタロシアニンなどの低分子材料から形成さ
れる。発光性有機層７は、ポリフルオレン誘導体や、Ｐ
ＰＶ（ポリパラフェニレンビニレン）などの高分子材
料、或いは、Ａｌｑ3 （アルミキノリノール錯体）など
の低分子材料から形成される。The hole injection layer 6 is made of Bayer "Bytr".
on P ”(PEDOT: polyethylenedioxythiophene) or other polymeric material, or TPD, m-MTD
It is formed from a low molecular weight material such as ATA or copper phthalocyanine. The light-emitting organic layer 7 is made of a polyfluorene derivative or P
It is formed of a polymer material such as PV (polyparaphenylene vinylene) or a low molecular material such as Alq 3 (aluminum quinolinol complex).
【００２９】陰極層８は、発光性有機層７と接する第一
陰極層８Ａと、この第一陰極層８Ａよりも仕事関数の大
きな材料からなる第二陰極層８Ｂとを積層させた二層構
造としている。ここで、陰極層８は、基板１上面におけ
る表示領域Ｄの外側に形成された取り出し陰極８ａと接
続されており、この取り出し陰極８ａから電圧が印加さ
れるようになっている。The cathode layer 8 has a two-layer structure in which a first cathode layer 8A in contact with the light-emitting organic layer 7 and a second cathode layer 8B made of a material having a work function larger than that of the first cathode layer 8A are laminated. I am trying. Here, the cathode layer 8 is connected to the extraction cathode 8a formed outside the display region D on the upper surface of the substrate 1, and a voltage is applied from the extraction cathode 8a.
【００３０】ここで、第一陰極層８Ａは、Ｃａ、Ｓｒ、
Ｂｅ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓなどの
アルカリ金属或いはアルカリ土類金属である仕事関数の
小さな材料から形成される。また、第二陰極層８Ｂは、
Ａｌ、Ａｕ、Ａｇの単体或いはこれらを含む合金 (例え
ば、Ａｌ−Ｃｒ合金、Ａｌ−Ｌｉ合金）などの第一陰極
層８Ａよりも仕事関数の大きな材料から形成され、安定
な金属であれば、ピンホールの発生しやすい金属から形
成してもよい。The first cathode layer 8A is made of Ca, Sr,
It is formed of a material having a small work function, which is an alkali metal or alkaline earth metal such as Be, Mg, Ba, Li, Na, K, Rb, and Cs. The second cathode layer 8B is
If a stable metal is formed from a material having a work function larger than that of the first cathode layer 8A such as Al, Au, Ag alone or an alloy containing these (eg, Al—Cr alloy, Al—Li alloy), You may form from the metal in which a pinhole is easy to generate.
【００３１】この二層構造を有する陰極層８のうち、第
一陰極層８Ａは、電子の注入効率が高いため、高い発光
効率を可能とする陰極として機能し、第二陰極層８Ｂ
は、酸素及び水分と反応しやすい第一陰極層８Ａを保護
するためのパッシベーション膜として機能している。ま
た、酸化防止層９は、 第二陰極層８Ｂよりも仕事関数の
小さな材料からなる少なくとも一層の第一酸化防止層９
Ａから構成される。ただし、高い酸化防止効果を得るた
めには、この第一酸化防止層９Ａと、この層よりも仕事
関数の大きな材料からなる第二酸化防止層９Ｂとを交互
に積層させた多層構造とすることが望ましい。Of the cathode layer 8 having this two-layer structure, the first cathode layer 8A has a high electron injection efficiency and therefore functions as a cathode which enables high luminous efficiency, and the second cathode layer 8B.
Serves as a passivation film for protecting the first cathode layer 8A that easily reacts with oxygen and moisture. Further, the antioxidant layer 9 is made of at least one first antioxidant layer 9 made of a material having a work function smaller than that of the second cathode layer 8B.
Composed of A. However, in order to obtain a high anti-oxidation effect, a multi-layer structure in which the first anti-oxidation layer 9A and the second anti-oxidation layer 9B made of a material having a work function larger than that of the first anti-oxidation layer 9A are alternately stacked is provided. desirable.
【００３２】ここで、第一酸化防止層９Ａとしては、第
二陰極層８Ｂよりも仕事関数の小さなＣａ、Ｓｒ、Ｂ
ｅ、Ｍｇ、Ｂａ、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓなどのア
ルカリ金属或いはアルカリ土類金属などの材料から形成
される。また、第二酸化防止層９Ｂとしては、この第一
酸化防止層９Ａよりも仕事関数の大きな材料、例えば、
Ａｌ−Ｃｒ合金や、Ａｌ−Ｌｉ合金などＡｕ、Ａｇなど
の単体或いはこれらを含む合金などから形成されるが、
安定な金属であれば、ピンホールの発生しやすい金属か
ら形成してもよい。なお、多層構造を形成する複数の第
一酸化防止層９Ａ及び第二酸化防止層９Ｂは、全層を同
一形成材料で形成してもよいし、それぞれの層を異なる
形成材料で形成しても構わない。Here, as the first antioxidant layer 9A, Ca, Sr, B having a work function smaller than that of the second cathode layer 8B is used.
It is formed of a material such as an alkali metal or an alkaline earth metal such as e, Mg, Ba, Li, Na, K, Rb, or Cs. Further, as the second antioxidation layer 9B, a material having a work function larger than that of the first antioxidation layer 9A, for example,
It is formed from a simple substance such as Al-Cr alloy or Al-Li alloy such as Au or Ag, or an alloy containing these.
As long as it is a stable metal, it may be formed of a metal that easily causes pinholes. All of the plurality of first anti-oxidation layers 9A and the second anti-oxidation layer 9B forming the multilayer structure may be formed of the same forming material or may be formed of different forming materials. Absent.
【００３３】この酸化防止層９のうち、第一酸化防止層
９Ａは、安定な金属からなる第二陰極層８Ｂの上面に形
成されるため、大気中の酸素や水分を吸収する機能を有
し、第二酸化防止層９Ｂは、第一酸化防止層９Ａを保護
するパッシベーショ膜としての機能を有している。さら
に、絶縁性膜３は、ＳｉＯ2 膜から形成され、バンク４
は、絶縁体材料であるポリイミドやアクリル樹脂などか
ら形成される。Of the antioxidant layer 9, the first antioxidant layer 9A is formed on the upper surface of the second cathode layer 8B made of a stable metal and therefore has a function of absorbing oxygen and moisture in the atmosphere. The second oxidation prevention layer 9B has a function as a passivation film that protects the first oxidation prevention layer 9A. Further, the insulating film 3 is formed of a SiO 2 film, and the bank 4
Is formed of an insulating material such as polyimide or acrylic resin.
【００３４】さらに、封止基板１１は、ガラス、金属、
シリコン等の半導体、プラスチック等から形成され、封
止剤１０として、２液性のエポキシ系熱硬化性樹やＵＶ
硬化型樹脂等を用いて、基板１と張り合わせ封止してい
る。次に、第１実施形態に記載の有機ＥＬパネル１００
ａの製造方法について説明する。Further, the sealing substrate 11 is made of glass, metal,
The sealant 10 is made of a semiconductor such as silicon or plastic, and is used as a sealant 10 such as a two-component epoxy thermosetting resin or UV.
A curable resin or the like is used to bond and seal the substrate 1. Next, the organic EL panel 100 described in the first embodiment.
The manufacturing method of a will be described.
【００３５】まず、ガラスからなる基板１上に、ＴＦＴ
形成層２に具備される個々のＴＦＴを構成する機能層、
絶縁層、保護層、電極層などの形成材料を、例えば、プ
ラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐ
ｏｓｉｔｉｏｎ）による成膜と、フォトリソグラフィ工
程によるパターニング及びエッチングを複数回繰り返し
行うことによって、表示領域Ｄとなる基板１上にＴＦＴ
形成層２を形成する。First, the TFT is formed on the substrate 1 made of glass.
A functional layer constituting each TFT provided in the forming layer 2,
For example, plasma CVD (Chemical Vapor Dep) is used for forming materials such as an insulating layer, a protective layer, and an electrode layer.
by performing film formation by the photolithography process and patterning and etching by the photolithography process a plurality of times to form a TFT on the substrate 1 that becomes the display region D.
The forming layer 2 is formed.
【００３６】次いで、さらにその上面にＳｉＯ2 膜を、
例えば、プラズマＣＶＤで成膜したのち、フォトリソグ
ラフィ工程によりパターニング及びエッチングを行うこ
とによって、絶縁性膜３を形成する。そして、この上面
に、ポリイミドなどの絶縁性材料を、同様にプラズマＣ
ＶＤで成膜したのち、フォトリソグラフィ工程によりパ
ターニング及びエッチングを行うことによってバンク４
を形成する。この絶縁性膜３及びバンク４によって、基
板１上が複数の発光領域Ｌに分割される。Then, a SiO 2 film is further formed on the upper surface of the film.
For example, the insulating film 3 is formed by forming a film by plasma CVD and then performing patterning and etching by a photolithography process. Then, an insulating material such as polyimide is similarly applied to the upper surface of the plasma C
After film formation by VD, patterning and etching are performed by a photolithography process to form the bank 4
To form. The insulating film 3 and the bank 4 divide the substrate 1 into a plurality of light emitting regions L.
【００３７】次いで、このバンク４の上面から、ＩＴＯ
からなる薄膜をスパッタリング法などによって成膜した
のち、フォトリソグラフィ工程によりパターニング及び
エッチングを行うことで、発光領域Ｌ内に陽極層５を形
成するとともに、基板１上における表示領域Ｄの外側に
取り出し陰極８ａを形成する。次いで、陽極層５の上面
に、正孔注入層６としてＰＥＤＯＴを、溶媒に溶解させ
て溶液とし、インクジェット法などによって成膜する。Next, from the top surface of the bank 4, ITO
After a thin film made of is formed by a sputtering method or the like, patterning and etching are performed by a photolithography process to form the anode layer 5 in the light emitting region L and the cathode taken out outside the display region D on the substrate 1. 8a is formed. Next, PEDOT as the hole injection layer 6 is dissolved in a solvent to form a solution on the upper surface of the anode layer 5, and a film is formed by an inkjet method or the like.
【００３８】次いで、正孔注入層６の上面に、発光性有
機層７として赤、緑、青の発光材料となるポリフルオレ
ン誘導体を、キシレン溶媒に溶解させて溶液とし、イン
クジェット法などで各発光領域Ｌ内に成膜する。なお、
正孔注入層６や発光性有機層７の材料として低分子材料
を用いる場合には、蒸着法等で形成することが望まし
い。Next, on the upper surface of the hole injecting layer 6, a polyfluorene derivative, which is a light emitting material for red, green, and blue as the light emitting organic layer 7, is dissolved in a xylene solvent to form a solution, and each light emission is performed by an inkjet method or the like. A film is formed in the region L. In addition,
When a low molecular weight material is used as the material of the hole injection layer 6 and the light emitting organic layer 7, it is desirable to form it by a vapor deposition method or the like.
【００３９】次いで、発光性有機層７の上面において、
取り出し陰極８ａよりも外側（図１における左側）の基
板１上方は覆い、取り出し陰極８ａよりも内側 (図１に
おける右側）の基板１上方は露出するマスクを利用し
て、第一陰極層８ＡとなるＣａ薄膜を、真空蒸着法など
によって２〜２０ｎｍの膜厚で成膜する。次いで、その
上面に、Ｃａ薄膜形成時と同一のマスクを利用して、第
二陰極層８ＢとなるＡｌ薄膜を、同様に真空蒸着法など
によって１００〜２００ｎｍの層厚で成膜し、二層構造
を有する陰極層８を形成する。このとき、安定な金属か
らなる第二陰極層８Ｂは、スパッタリング法などで成膜
することも可能である。Then, on the upper surface of the luminescent organic layer 7,
Using a mask that covers the upper side of the substrate 1 outside the extraction cathode 8a (left side in FIG. 1) and exposes the upper side of the substrate 1 inside the extraction cathode 8a (right side in FIG. 1) with the first cathode layer 8A. Is formed into a film having a thickness of 2 to 20 nm by a vacuum deposition method or the like. Next, using the same mask as when forming the Ca thin film, an Al thin film to be the second cathode layer 8B is similarly formed into a layer thickness of 100 to 200 nm by a vacuum evaporation method or the like, and two layers are formed on the upper surface. A cathode layer 8 having a structure is formed. At this time, the second cathode layer 8B made of a stable metal can also be formed by a sputtering method or the like.
【００４０】次いで、陰極層８の上面に、陰極層８形成
時と同一のマスクを利用して、第一酸化防止層９Ａとな
るＣａ薄膜、第二酸化防止層９ＢとなるＡｌ薄膜、第一
酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜、第二酸化防止層９Ｂと
なるＡｌ薄膜を順次真空蒸着法などによって成膜し、四
層構造を有する酸化防止層９を形成する。ここで、第一
酸化防止層９Ａは、第一陰極層８Ａと同様に、２〜２０
ｎｍの膜厚で成膜し、第二酸化防止層９Ｂは、第二陰極
層８Ｂと同様に、１００〜２００ｎｍの層厚で成膜す
る。このとき、安定な金属からなる第二酸化防止層９Ｂ
は、スパッタリング法などで成膜することも可能であ
る。ここで、この第一酸化防止層９Ａ及び第二酸化防止
層９Ｂの層厚は、上述の下限範囲以下にならないように
すれば、その上限はこれに限らない。Next, on the upper surface of the cathode layer 8, using the same mask as when forming the cathode layer 8, a Ca thin film to be the first oxidation prevention layer 9A, an Al thin film to be the second oxidation prevention layer 9B, and a first oxidation film. A Ca thin film to be the prevention layer 9A and an Al thin film to be the second dioxide prevention layer 9B are sequentially formed by a vacuum evaporation method or the like to form the oxidation prevention layer 9 having a four-layer structure. Here, the first antioxidant layer 9A has a thickness of 2 to 20 similarly to the first cathode layer 8A.
The second antioxidation layer 9B is formed to have a layer thickness of 100 to 200 nm, similarly to the second cathode layer 8B. At this time, the second antioxidation layer 9B made of a stable metal
Can be formed by a sputtering method or the like. Here, the upper limits of the thicknesses of the first antioxidation layer 9A and the second antioxidation layer 9B are not limited to the above, as long as they do not fall below the above lower limit range.
【００４１】次いで、酸化防止層９の最上層であるＡｌ
薄膜の上面に、ガラスからなる封止基板１１を、封止剤
１０である２液性のエポキシ熱硬化性樹脂を用いて、基
板１と張り合わせ封止し、有機ＥＬパネル１００ａを完
成させる。このように、陰極８の上面に、酸化防止層９
を積層したことによって、大気中の酸素及び水分が酸化
防止層９で吸収されるため、陰極８及びその下面に積層
される発光性有機層７の酸化を抑制することが可能とな
る。よって、有機ＥＬ素子Ｅの経時劣化を抑制すること
ができるため、有機ＥＬパネル１００ａの長寿命化を図
ることが可能となる。Next, Al, which is the uppermost layer of the antioxidant layer 9,
On the upper surface of the thin film, a sealing substrate 11 made of glass is bonded and sealed with the substrate 1 by using a two-component epoxy thermosetting resin which is a sealing agent 10 to complete the organic EL panel 100a. In this way, the antioxidant layer 9 is formed on the upper surface of the cathode 8.
Oxygen and moisture in the atmosphere are absorbed by the antioxidation layer 9 by laminating the layers, so that it is possible to suppress the oxidation of the cathode 8 and the luminescent organic layer 7 laminated on the lower surface thereof. Therefore, deterioration of the organic EL element E over time can be suppressed, and the life of the organic EL panel 100a can be extended.
【００４２】また、第一陰極層８Ａで高い発光効率を実
現可能としながら、その第二陰極層８Ｂがピンホールを
発生しやすく酸化されやすいという二層構造を有する陰
極層８の上面に酸化防止層９を積層したことによって、
ピンホールからの酸素及び水分の浸入を抑制することが
可能となる。よって、有機ＥＬパネル１００ａにおける
高い発光効率を実現させるとともに、長寿命化を図るこ
とが可能となる。In addition, the second cathode layer 8B has a two-layer structure in which high luminous efficiency can be realized by the first cathode layer 8A, but the second cathode layer 8B is likely to generate pinholes and is easily oxidized. By stacking layers 9,
It is possible to suppress the intrusion of oxygen and water from the pinhole. Therefore, it is possible to realize high luminous efficiency in the organic EL panel 100a and to prolong the life thereof.
【００４３】さらに、従来より陰極層８として多々利用
されている金属薄膜を積層することで酸化を防止できる
ことによって、保護膜の製造にかかる工程及びコストを
削減させることも可能となる。さらに、酸化防止を目的
とする封止剤及び封止基板を形成しなくてもよくなるた
め、装置の小型化及び薄型化を実現することが可能とな
る。Further, by stacking a metal thin film, which has been widely used as the cathode layer 8 in the past, it is possible to prevent oxidation, so that it is possible to reduce the steps and costs for manufacturing the protective film. Furthermore, since it is not necessary to form a sealant and a sealing substrate for the purpose of preventing oxidation, it is possible to realize a compact and thin device.
【００４４】特に、第一陰極層８Ａ及び第一酸化防止層
９ＡのＣａ膜厚を薄くするとともに、第二陰極層９Ａ及
び第二酸化防止層８Ｂを例えば、Ａｕ薄膜などで形成す
るようにすれば、透明性を確保することが可能となるた
め、陰極側から外部に照射させるようにすることも可能
となる。なお、本実施形態において、酸化防止層９を４
層構造として説明したが、少なくとも陰極８と接触する
部分に第一酸化防止層９Ａを積層するのであれば、これ
に限らない。例えば、第一酸化防止層９Ａのみを積層し
た一層構造や、第一酸化防止層９Ａ、第二酸化防止層９
Ｂ、第一酸化防止層９Ａを順次積層した三層構造、或い
は本実施形態よりもさらに積層した４層以上の多層構造
としてもよい。ただし、積層する層が増加するほど、陰
極８までの酸素及び水分の浸入経路が長くなるので、 有
機ＥＬ素子Ｅの経時劣化をさらに抑制するには、酸化防
止層を多層構造にするのが好ましい。In particular, if the Ca film thickness of the first cathode layer 8A and the first antioxidation layer 9A is made thin, the second cathode layer 9A and the second antioxidation layer 8B are made of, for example, an Au thin film. Since it is possible to ensure transparency, it is also possible to irradiate the outside from the cathode side. In the present embodiment, the anti-oxidation layer 9 is 4
Although it is described as a layered structure, the present invention is not limited to this as long as the first antioxidant layer 9A is laminated at least in a portion in contact with the cathode 8. For example, a one-layer structure in which only the first antioxidation layer 9A is laminated, the first antioxidation layer 9A, and the second antioxidation layer 9
It is also possible to have a three-layer structure in which B and the first antioxidation layer 9A are sequentially laminated, or a multilayer structure of four or more layers further laminated as compared with the present embodiment. However, as the number of layers to be laminated increases, the penetration path of oxygen and moisture to the cathode 8 becomes longer. Therefore, in order to further suppress the deterioration of the organic EL element E over time, it is preferable to use a multilayer structure for the antioxidant layer. .
【００４５】また、本実施形態において、酸化防止層９
の最上層を第二酸化防止層９Ｂとしたが、これに限ら
ず、第一酸化防止層９Ａを最上層としても構わない。
（第二実施形態）図２は、本発明にかかる有機ＥＬパネ
ルの他の実施形態を示す断面図である。有機ＥＬパネル
１００ｂは、図２に示すように、第一実施形態の有機Ｅ
Ｌパネル１００ａにおける酸化防止層９のうち、最上層
を形成している第二酸化防止層９Ｂのみを、その下面に
積層した陰極８及び酸化防止層９の上面及び端面を覆う
ように形成したものである。In this embodiment, the antioxidant layer 9 is also used.
Although the uppermost layer is the second antioxidation layer 9B, the present invention is not limited to this, and the first antioxidation layer 9A may be the uppermost layer. (Second Embodiment) FIG. 2 is a sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention. As shown in FIG. 2, the organic EL panel 100b has the organic EL panel 100b of the first embodiment.
Among the antioxidant layers 9 in the L panel 100a, only the second antioxidant layer 9B forming the uppermost layer is formed so as to cover the cathode 8 and the antioxidant layer 9 laminated on the lower surface thereof. is there.
【００４６】その製造方法は、まず、第一実施形態にお
ける有機ＥＬパネル１００ａと同様に、陰極８の上面に
第一酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜、第二酸化防止層９
ＢとなるＡｌ薄膜、第一酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜
を、順次積層する。次いで、酸化防止層９における最上
層の第二酸化防止層９ＢとなるＡｌ薄膜を、下面に積層
した陰極８及び酸化防止層９の上面及び端面が露出する
マスクを利用して、真空蒸着法などにより形成してい
る。As in the organic EL panel 100a in the first embodiment, the manufacturing method is as follows. First, on the upper surface of the cathode 8, a Ca thin film to be the first oxidation preventing layer 9A and the second oxidation preventing layer 9 are formed.
An Al thin film to be B and a Ca thin film to be the first antioxidation layer 9A are sequentially laminated. Next, an Al thin film to be the uppermost second anti-oxidation layer 9B in the anti-oxidation layer 9 is formed by a vacuum deposition method or the like using a mask exposing the cathode 8 and the anti-oxidation layer 9 which are laminated on the lower surface and the upper and end surfaces of the anti-oxidation layer 9. Is forming.
【００４７】このように、最上層の酸化防止層９を、下
面に積層した陰極８及び酸化防止層９の上面及び端面を
覆うように形成したことによって、陰極８及び酸化防止
層９の上面及び端面からの酸素及び水分の浸入を抑制す
ることができ、有機ＥＬ素子Ｅの経時劣化をさらに効率
よく抑制することができる。なお、本実施形態におい
て、最上層の酸化防止層９のみで、陰極８及びその他の
酸化防止層９の上面及び端面を覆うようにしたが、これ
に限らず、酸化防止層９の全ての層で陰極８の上面及び
端面を覆うように形成しても構わない。
（第三実施形態）図３は、本発明にかかる有機ＥＬパネ
ルの他の実施形態を示す断面図である。As described above, since the uppermost antioxidant layer 9 is formed so as to cover the upper surface and the end surface of the cathode 8 and the antioxidant layer 9 laminated on the lower surface, the upper surface of the cathode 8 and the antioxidant layer 9 and Oxygen and moisture can be suppressed from entering from the end faces, and deterioration with time of the organic EL element E can be suppressed more efficiently. In the present embodiment, only the uppermost antioxidant layer 9 covers the cathode 8 and the other upper surfaces and end surfaces of the antioxidant layer 9, but the present invention is not limited to this, and all layers of the antioxidant layer 9 are covered. It may be formed so as to cover the upper surface and the end surface of the cathode 8. (Third Embodiment) FIG. 3 is a sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention.
【００４８】有機ＥＬパネル１００ｃは、図３に示すよ
うに、第一実施形態の有機ＥＬパネル１００ａにおける
酸化防止層９の最上層に第一酸化防止層９Ａを積層した
五層構造とし、その最上層である第一酸化防止層９Ａ以
外の酸化防止層９を、表示領域Ｄのみに積層した構造と
している。その製造方法は、まず、第一実施形態におけ
る有機ＥＬパネル１００ａと同様に形成した陰極層８の
上面に、第一酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜、第二酸化
防止層９ＢとなるＡｌ薄膜、第一酸化防止層９Ａとなる
Ｃａ薄膜、第二酸化防止層９ＢとなるＡｌ薄膜を、表示
領域Ｄの外側領域は覆い、表示領域Ｄの内側領域は露出
するマスクを利用して、順次真空蒸着法などによって成
膜する。As shown in FIG. 3, the organic EL panel 100c has a five-layer structure in which the first antioxidant layer 9A is laminated on the uppermost layer of the antioxidant layer 9 in the organic EL panel 100a of the first embodiment. The anti-oxidation layer 9 other than the upper first anti-oxidation layer 9A is laminated only in the display region D. The manufacturing method is as follows. First, on the upper surface of the cathode layer 8 formed in the same manner as in the organic EL panel 100a in the first embodiment, a Ca thin film which becomes the first oxidation prevention layer 9A, an Al thin film which becomes the second oxidation prevention layer 9B, Using a mask that covers the outer region of the display region D and exposes the inner region of the display region D using a Ca thin film that will be the anti-oxidation layer 9A and an Al thin film that will be the second anti-oxidation layer 9B, using a mask, etc. To form a film.
【００４９】次いで、酸化防止層９における最上層の第
一酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜を、その下面に積層し
た陰極８及び酸化防止層９の上面及び端面が露出するマ
スクを利用して、真空蒸着法などにより成膜する。この
ように、最上層以外の酸化防止層９を表示領域Ｄのみに
積層することによって、有機ＥＬパネル１００ｃの製造
にかかるコストを削減させることが可能となる。Next, a Ca thin film serving as the uppermost first antioxidant layer 9A in the antioxidant layer 9 is laminated on the lower surface of the cathode 8 and the upper surface and end faces of the antioxidant layer 9 are exposed using a mask. The film is formed by a vacuum vapor deposition method or the like. As described above, by stacking the antioxidant layer 9 other than the uppermost layer only on the display region D, it is possible to reduce the cost required for manufacturing the organic EL panel 100c.
【００５０】なお、本実施形態において、最上層以外の
酸化防止層９を表示領域Ｄのみに積層するようにした
が、これに限らず、酸化防止層９の全ての層を表示領域
Ｄのみに形成するようにしても構わない。
(第三実施形態の変形例）図４は、本発明にかかる有機
ＥＬパネルの他の実施形態を示す断面図である。図５
は、図４の有機ＥＬパネルを示す平面図である。In this embodiment, the anti-oxidation layer 9 other than the uppermost layer is laminated only on the display region D, but the present invention is not limited to this, and all layers of the anti-oxidation layer 9 are placed on the display region D only. It may be formed. (Modification of Third Embodiment) FIG. 4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention. Figure 5
FIG. 5 is a plan view showing the organic EL panel of FIG. 4.
【００５１】有機ＥＬパネル１００ｄは、図４及び図５
に示すように、第三実施形態の有機ＥＬパネル１００ｃ
における表示領域Ｄの周囲を覆うように、Ｃａからなる
吸収剤（ゲッター剤）１２を形成している。その製造方
法は、第三実施形態の有機ＥＬパネル１００ｃと同様に
積層した四層の酸化防止層９のさらに上面に、最上層の
第一酸化防止層９ＡとなるＣａ薄膜を、陰極８及び酸化
防止層９の上面及び端面と、表示領域Ｄの周囲を覆うゲ
ッター剤１２の形成予定部位とを露出させ、このゲッタ
ー剤１２の形成予定部位と取り出し陰極８ａとの間、及
びゲッター剤１２の形成予定部位と有機ＥＬパネル１０
０ｄ周縁との間を覆うマスクを利用して、真空蒸着法な
どにより成膜する。すると、陰極８及び酸化防止層９の
上面及び端面を覆う第一酸化防止層９Ａが２〜２０ｎｍ
の層厚で積層されるとともに、図５に示すように、表示
領域Ｄの周縁を覆うように、ゲッター剤１２が形成され
るようになる。ここで、本実施形態において、ゲッター
剤１２をＣａにより形成したが、酸素及び水分を吸収可
能な材料であれば、例えば、Ｓｒ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｌｉ、
Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓなどのアルカリ金属或いはアルカ
リ土類金属で形成してもよい。The organic EL panel 100d is shown in FIGS.
As shown in, the organic EL panel 100c of the third embodiment
The absorbent (getter agent) 12 made of Ca is formed so as to cover the periphery of the display area D in FIG. The manufacturing method is such that a Ca thin film serving as the uppermost first antioxidant layer 9A, a cathode 8 and an oxidation film are formed on the upper surface of the four layers of the antioxidant layer 9 which are stacked in the same manner as the organic EL panel 100c of the third embodiment. The upper surface and the end surface of the prevention layer 9 and the site where the getter agent 12 is to be formed, which covers the periphery of the display region D, are exposed, and the area between the site where the getter agent 12 is to be formed and the extraction cathode 8a and the formation of the getter agent 12 are exposed. Planned area and organic EL panel 10
The film is formed by a vacuum vapor deposition method or the like using a mask that covers a space between the periphery of 0d. Then, the first antioxidant layer 9A covering the upper surface and the end face of the cathode 8 and the antioxidant layer 9 has a thickness of 2 to 20 nm.
5, the getter agent 12 is formed so as to cover the periphery of the display area D as shown in FIG. Here, in the present embodiment, the getter agent 12 is formed of Ca, but if it is a material that can absorb oxygen and moisture, for example, Sr, Be, Mg, Li,
It may be formed of an alkali metal such as Na, K, Rb or Cs or an alkaline earth metal.
【００５２】このように、有機ＥＬパネル１００ｄの表
示領域Ｄの周辺を覆うようにゲッター剤１２を形成する
ことによって、さらなる酸化防止効果が期待できる。
（第四実施形態）図６は、本発明における有機ＥＬパネ
ルを搭載した電子機器の一例としてのモバイル型パーソ
ナルコンピューターを示す斜視図である。By thus forming the getter agent 12 so as to cover the periphery of the display area D of the organic EL panel 100d, a further antioxidation effect can be expected. (Fourth Embodiment) FIG. 6 is a perspective view showing a mobile personal computer as an example of an electronic apparatus equipped with the organic EL panel of the present invention.
【００５３】モバイル型パーソナルコンピュータ２００
は、キーボード２０１を備えた本体部２０２と、前述の
有機ＥＬパネル１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００
ｄからなる表示ユニット２０３と、を備えている。
(第五実施形態）図７は、本発明における有機ＥＬパネ
ルを搭載した電子機器の一例としての携帯電話を示す斜
視図である。Mobile personal computer 200
Is a main body portion 202 provided with a keyboard 201 and the above-described organic EL panels 100a, 100b, 100c, 100.
and a display unit 203 composed of d. (Fifth Embodiment) FIG. 7 is a perspective view showing a mobile phone as an example of an electronic apparatus equipped with the organic EL panel of the present invention.
【００５４】携帯電話３００は、複数の操作ボタン３０
１と、受話口３０２と、送話口３０３と、上述の有機Ｅ
Ｌパネル１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄから
なる表示パネル３０４と、を備えている。
(第六実施形態）図８は、本発明における有機ＥＬパネ
ルを搭載した電子機器の一例としてのディジタルスチル
カメラを示す斜視図である。なお、外部機器との接続に
ついても簡易的に示している。The mobile phone 300 has a plurality of operation buttons 30.
1, the earpiece 302, the mouthpiece 303, and the above-mentioned organic E
The display panel 304 includes L panels 100a, 100b, 100c, and 100d. (Sixth Embodiment) FIG. 8 is a perspective view showing a digital still camera as an example of an electronic apparatus equipped with the organic EL panel of the present invention. Note that the connection with external devices is also shown in a simplified manner.
【００５５】ディジタルスチルカメラ４００は、ケース
４０１と、その背後に設けられ、前述した有機ＥＬパネ
ル１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄからなる表
示パネル４０２と、ケース４０１の観察側 (図において
は裏面側）に設けられる光学レンズやＣＣＤ（Ｃｈａｒ
ｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）等を含んだ受光
ユニット４０３と、シャッタボタン４０４と、そのシャ
ッタボタン４０４を押した時点におけるＣＣＤの撮像信
号が転送・格納される回路基板４０５と、を備えてい
る。この表示パネル４０２には、ＣＣＤ等の撮像素子に
より光電変換して生成された撮像信号に基づいて、表示
が行われる。The digital still camera 400 includes a case 401, a display panel 402 provided behind the case 401, which includes the above-described organic EL panels 100a, 100b, 100c, and 100d, and an observation side of the case 401 (a back side in the figure). Optical lens and CCD (Char
A light receiving unit 403 including a ge coupled device), a shutter button 404, and a circuit board 405 to which a CCD image pickup signal at the time of pressing the shutter button 404 is transferred and stored. Display is performed on the display panel 402 based on an image pickup signal generated by photoelectric conversion by an image pickup device such as a CCD.
【００５６】また、このディジタルスチルカメラ４００
にあっては、ケース４０１の側面にビデオ信号出力端子
４０６と、データ通信用の入出力端子４０７とが設けら
れている。そして、図に示されるように、前者のビデオ
信号出力端子４０６には、テレビモニタ５００が、ま
た、後者のデータ通信用の入出力端子４０７にはパーソ
ナルコンピュータ６００が、それぞれ必要に応じて接続
され、所定の操作によって、回路基板４０５のメモリに
格納された撮像信号が、テレビモニタ５００や、パーソ
ナルコンピュータ６００に出力される構成となってい
る。Further, this digital still camera 400
In this case, a video signal output terminal 406 and an input / output terminal 407 for data communication are provided on the side surface of the case 401. As shown in the figure, a television monitor 500 is connected to the former video signal output terminal 406, and a personal computer 600 is connected to the latter input / output terminal 407 for data communication, as necessary. The image pickup signal stored in the memory of the circuit board 405 is output to the television monitor 500 or the personal computer 600 by a predetermined operation.
【００５７】なお、本発明における有機ＥＬパネル１０
０ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄを表示体として備
えた電子機器としては、これに限らず、テレビ、携帯用
テレビ、ビューファインダ型・モニタ直視型のビデオテ
ープレコーダ、ＰＤＡ、携帯用ゲーム機、車載用オーデ
ィオ機器、自動車用計器、ＣＲＴ、カーナビゲーション
装置、ページャ、電子手帳、電卓、時計、ワードプロセ
ッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、
タッチパネルを備えた機器などを挙げることができる。The organic EL panel 10 according to the present invention.
The electronic devices provided with 0a, 100b, 100c, 100d as display bodies are not limited to these, but are TVs, portable TVs, viewfinder / monitor direct-view video tape recorders, PDAs, portable game machines, and in-vehicle devices. Audio equipment, automotive instruments, CRTs, car navigation devices, pagers, electronic organizers, calculators, clocks, word processors, workstations, videophones, POS terminals,
Examples of the device include a touch panel.
【００５８】[0058]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の有機エレ
クトロルミネッセンス装置によれば、陰極の上面に少な
くとも一層の酸化防止層を形成したことによって、陰極
側からの酸素及び水分の浸入を抑制することができるた
め、有機ＥＬ素子の経時劣化を抑制することが可能とな
る。よって、優れた表示性能、小型化、薄型化、低消費
電力化を可能とした有機エレクトロルミネッセンス装置
の長寿命化を図ることが可能となる。As described above, according to the organic electroluminescence device of the present invention, the formation of at least one antioxidant layer on the upper surface of the cathode suppresses the infiltration of oxygen and moisture from the cathode side. Therefore, the deterioration of the organic EL element with time can be suppressed. Therefore, it is possible to prolong the life of the organic electroluminescence device which has excellent display performance, downsizing, thinning, and low power consumption.
【００５９】本発明の有機エレクトロルミネッセンス装
置の製造方法によれば、本発明の有機エレクトロルミネ
ッセンス装置を容易に実現することが可能となる。本発
明における電子機器によれば、その表示体として上述し
た有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことによ
って、優れた表示性能、薄型化、軽量化、低消費電力化
を可能とする電子機器の長寿命化を図ることが可能とな
る。According to the method for manufacturing an organic electroluminescence device of the present invention, the organic electroluminescence device of the present invention can be easily realized. According to the electronic device of the present invention, by providing the above-mentioned organic electroluminescence device as the display body, excellent display performance, thinning, weight reduction, and low power consumption of the electronic device can be extended. Can be achieved.
【００６０】また、酸化防止層によって有機ＥＬ素子の
酸化を抑制できることによって、酸化防止を目的とした
封止基板や封止材などを形成しなくてもすむようになる
ため、電子機器の小型化、 薄膜化を実現することが可能
となる。In addition, since the oxidation of the organic EL element can be suppressed by the antioxidation layer, it is not necessary to form a sealing substrate or a sealing material for the purpose of preventing oxidation, so that the electronic device can be downsized. It is possible to realize a thin film.
【図１】本発明にかかる有機ＥＬパネルの一実施形態を
示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an organic EL panel according to the present invention.
【図２】本発明にかかる有機ＥＬパネルの他の実施形態
を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention.
【図３】本発明にかかる有機ＥＬパネルの他の実施形態
を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention.
【図４】本発明にかかる有機ＥＬパネルの他の実施形態
を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing another embodiment of the organic EL panel according to the present invention.
【図５】図４における有機ＥＬパネルを示す平面図であ
る。5 is a plan view showing the organic EL panel in FIG. 4. FIG.
【図６】本発明における有機ＥＬパネルを搭載した電子
機器の一例としてのモバイル型パーソナルコンピュータ
ーを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a mobile personal computer as an example of an electronic device equipped with the organic EL panel according to the present invention.
【図７】本発明における有機ＥＬパネルを搭載した電子
機器の一例としての携帯電話を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a mobile phone as an example of an electronic device equipped with the organic EL panel according to the present invention.
【図８】本発明における有機ＥＬパネルを搭載した電子
機器の一例としてのディジタルスチルカメラを示す斜視
図である。FIG. 8 is a perspective view showing a digital still camera as an example of an electronic device equipped with the organic EL panel according to the present invention.
１ 基板
２ ＴＦＴ形成層
３ 絶縁層
４ 画素間隔壁（バンク）
５ 陽極層（陽極）
６ 正孔注入層
７ 発光性有機層
８ 陰極層（陰極）
８Ａ 第一陰極層
８Ｂ 第二陰極層
９ 酸化防止層
９Ａ 第一酸化防止層
９Ｂ 第二酸化防止層
１０ 封止剤
１１ 封止基板
１２ 吸収剤（ゲッター剤）
１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄ 有機ＥＬ
パネル（有機エレクトロルミネッセンス装置）
２００ モバイル型パーソナルコンピュー（電子機器）
２０１ キーボード
２０２ 本体部
２０３ 表示ユニット
３００ 携帯電話（電子機器）
３０１ 操作ボタン
３０２ 受話口
３０３ 送話口
３０４ 表示パネル
４００ ディジタルスチルカメラ（電子機器）
４０１ ケース
４０２ 表示パネル
４０３ 受光ユニット
４０４ シャッタボタン
４０５ 回路基板
４０６ ビデオ信号出力端子
４０７ 入出力端子
５００ テレビモニタ
６００ パーソナルコンピュータDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Substrate 2 TFT forming layer 3 Insulating layer 4 Pixel spacing wall (bank) 5 Anode layer (anode) 6 Hole injection layer 7 Light emitting organic layer 8 Cathode layer (cathode) 8A First cathode layer 8B Second cathode layer 9 Oxidation Prevention layer 9A First oxidation prevention layer 9B Second oxidation prevention layer 10 Sealant 11 Sealing substrate 12 Absorbent (getter agent) 100a, 100b, 100c, 100d Organic EL
Panel (organic electroluminescence device) 200 Mobile personal computer (electronic device) 201 Keyboard 202 Main body 203 Display unit 300 Mobile phone (electronic device) 301 Operation button 302 Earpiece 303 Mouthpiece 304 Display panel 400 Digital still camera ( Electronic device) 401 Case 402 Display panel 403 Light receiving unit 404 Shutter button 405 Circuit board 406 Video signal output terminal 407 Input / output terminal 500 Television monitor 600 Personal computer
Claims (16)
光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレクト
ロルミネッセンス装置において、 前記陰極の上面に、少なくとも一層の酸化防止層を積層
したことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装
置。1. An organic electroluminescence device comprising an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, and at least one antioxidant layer is laminated on the upper surface of the cathode. An organic electroluminescence device characterized by the above.
第一陰極と、当該第一陰極よりも仕事関数の大きな第二
陰極とを積層させた二層構造からなることを特徴とする
請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。2. The cathode has a two-layer structure in which a first cathode in contact with the light-emitting organic layer and a second cathode having a work function larger than that of the first cathode are laminated. Item 2. The organic electroluminescence device according to Item 1.
止層が、当該接する陰極の形成材料よりも仕事関数の小
さな材料からなることを特徴とする請求項１又は２に記
載の有機エレクトロルミネッセンス装置。3. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein at least the antioxidation layer in contact with the cathode is made of a material having a work function smaller than that of a material forming the cathode in contact.
アルカリ土類金属からなることを特徴とする請求項１乃
至３のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセ
ンス装置。4. The organic electroluminescent device according to claim 1, wherein the antioxidant layer is made of an alkali metal or an alkaline earth metal.
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載
の有機エレクトロルミネッセンス装置。5. The organic electroluminescence device according to claim 1, wherein the antioxidant layer is made of calcium.
陰極の上面に積層され、当該接する陰極の形成材料より
も仕事関数の小さな材料からなる第一酸化防止層と、当
該第一酸化防止層の上面に積層され、前記第一酸化防止
層よりも仕事関数の大きな材料からなる第二酸化防止層
と、を交互に積層したことを特徴とする請求項１又は２
に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。6. The first oxidation preventing layer, which is laminated on at least the upper surface of the cathode and has a work function smaller than that of the cathode forming material in contact, as the oxidation preventing layer, and the upper surface of the first oxidation preventing layer. The second antioxidation layer made of a material having a work function larger than that of the first antioxidation layer is alternately laminated.
The organic electroluminescence device according to.
いはアルカリ土類金属からなり、前記第二酸化防止層
が、アルミニウム、 銀、金のいずれか、又はこれらを含
んだ合金からなることを特徴とする請求項６に記載の有
機エレクトロルミネッセンス装置。7. The first oxidation preventing layer is made of an alkali metal or an alkaline earth metal, and the second oxidation preventing layer is made of any one of aluminum, silver and gold, or an alloy containing them. The organic electroluminescence device according to claim 6.
り、前記第二酸化防止層がアルミニウムからなることを
特徴とする請求項６又は７に記載の有機エレクトロルミ
ネッセンス装置。8. The organic electroluminescent device according to claim 6, wherein the first antioxidation layer is made of calcium, and the second antioxidation layer is made of aluminum.
光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレクト
ロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記陰極の上面に、酸化防止層を、前記陰極形成時と同
一のマスクを利用して蒸着する工程を備えたことを特徴
とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。9. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, wherein an antioxidant layer is formed on an upper surface of the cathode. A method for manufacturing an organic electroluminescence device, comprising the step of depositing using the same mask as when forming a cathode.
発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレク
トロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記陰極の上面に、酸化防止層を、前記陰極の上面及び
端面が露出するマスクを利用して蒸着する工程を備えた
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の
製造方法。10. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, wherein an antioxidant layer is formed on the upper surface of the cathode. A method of manufacturing an organic electroluminescence device, comprising a step of depositing using a mask in which an upper surface and an end surface of a cathode are exposed.
発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレク
トロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記陰極の上面に、酸化防止層を、表示領域が露出する
マスクを利用して蒸着する工程を備えたことを特徴とす
る有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。11. A method for manufacturing an organic electroluminescence device comprising a substrate, an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, wherein an antioxidant layer is formed on the upper surface of the cathode. A method of manufacturing an organic electroluminescence device, comprising a step of depositing using a mask exposing an area.
形成材料よりも仕事関数の小さな材料で形成することを
特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の有
機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。12. The organic electroluminescent device according to claim 9, wherein the antioxidation layer is formed of a material having a work function smaller than that of a material forming the cathode in contact therewith. Production method.
形成材料よりも仕事関数の小さな材料からなる第一酸化
防止層と、その上面に積層され、前記第一酸化防止層よ
りも仕事関数の大きな材料からなる第二酸化防止層と、
を交互に積層して形成することを特徴とする請求項９乃
至１１のいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッ
センス装置の製造方法。13. A first oxidation preventive layer, which is made of a material having a work function smaller than that of the cathode forming material in contact with the oxidation prevention layer, and is laminated on the upper surface thereof, and has a work function higher than that of the first oxidation prevention layer. A second antioxidizing layer made of a large material,
12. The method for manufacturing an organic electroluminescence device according to claim 9, wherein the organic electroluminescence device is formed by alternately stacking.
発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレク
トロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記陰極の上面に、第一酸化防止層と、第二酸化防止層
とを、前記陰極形成時と同一のマスクを利用して、順次
交互に蒸着する工程と、 前記酸化防止層における最上層となる第一酸化防止層或
いは第二酸化防止層を、前記陰極の上面及び端面が露出
するマスクを利用して蒸着する工程と、 を備えたことを特徴とする有機エレクトロルミネッセン
ス装置の製造方法。14. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, and a first antioxidant layer is formed on the upper surface of the cathode. , A step of alternately depositing a second anti-oxidation layer using the same mask as in the formation of the cathode, and a first anti-oxidation layer or a second anti-oxidation layer which is the uppermost layer in the anti-oxidation layer, A method of manufacturing an organic electroluminescence device, comprising the steps of: vapor-depositing using a mask exposing the upper surface and the end surface of the cathode.
発光性有機層と、陰極とを順次積層してなる有機エレク
トロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記陰極の上面に、第一酸化防止層と、第二酸化防止層
とを、表示領域が露出するマスクを利用して、順次交互
に蒸着する工程と、 前記酸化防止層における最上層となる第一酸化防止層或
いは第二酸化防止層を、前記陰極の上面及び端面が露出
するマスクを利用して蒸着する工程と、を備えたことを
特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方
法。15. A method for manufacturing an organic electroluminescent device, comprising: an anode, at least one light-emitting organic layer, and a cathode, which are sequentially laminated on a substrate, and a first antioxidant layer is formed on the upper surface of the cathode. A step of alternately depositing a second anti-oxidation layer by using a mask exposing a display region, and a step of alternately depositing the first anti-oxidation layer or the second anti-oxidation layer which is the uppermost layer in the anti-oxidation layer, And a step of vapor-depositing using a mask exposing the upper surface and the end surface of the organic electroluminescence device.
給する駆動回路と、を備えた電子機器において、 前記表示体として、請求項１乃至８のいずれか一項に記
載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを
特徴とする電子機器。16. An electronic device comprising a display body and a drive circuit which supplies a drive signal to the display body, wherein the display body is an organic electroluminescence device according to any one of claims 1 to 8. An electronic device comprising a device.
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