JP2003139743A - Instrument and method for laser measurement - Google Patents

Instrument and method for laser measurement

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JP2003139743A JP2001340487A JP2001340487A JP2003139743A JP 2003139743 A JP2003139743 A JP 2003139743A JP 2001340487 A JP2001340487 A JP 2001340487A JP 2001340487 A JP2001340487 A JP 2001340487A JP 2003139743 A JP2003139743 A JP 2003139743A
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憲弘 福田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect an organic halide such as PCB and polychlorinated-dibenzo- p-dioxins in a treating facility or environment. SOLUTION: This instrument is provided with a laser irradiating means 54 for irradiating with a laser beam 55 a leaked molecular beam 53 to be laser- ionized, a convergence part 56 comprising a plurality of ion electrodes, an ion trap 57 for selection-concentrating converged molecules, and a time-of-flight mass spectrograph 60 provided with an ion detector 59 for detecting a ions, and the laser beam is emitted to a sample introduced to be multiply reflected in prism means 71, 72 opposed each other and to preclude the laser beams from being overlapped in an ion area 73.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、処理設備又は環境
中の例えばPCB、ダイオキシン類等の有機ハロゲン化
物の検出装置及び方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and method for detecting organic halides such as PCB and dioxins in processing equipment or environment.

【0002】[0002]

【背景技術】近年では、PCB(Polychlorinated biph
enyl, ポリ塩化ビフェニル:ビフェニルの塩素化異性体
の総称)が強い毒性を有することから、その製造および
輸入が禁止されている。このPCBは、1954年頃か
ら国内で製造開始されたものの、カネミ油症事件をきっ
かけに生体・環境への悪影響が明らかになり、1972
年に行政指導により製造中止、回収の指示(保管の義
務)が出された経緯がある。
BACKGROUND ART In recent years, PCB (Polychlorinated biph)
Since enyl, polychlorinated biphenyl: a generic term for chlorinated isomers of biphenyl) is highly toxic, its production and import are prohibited. Although this PCB was first manufactured in Japan around 1954, its adverse effects on the living body and environment became clear as a result of the Kanemi Yusho incident.
In the past year, there was a history of instructions to discontinue production and collection (duty of storage) due to administrative guidance.

【0003】PCBは、ビフェニル骨格に塩素が1〜1
0個置換したものであり、置換塩素の数や位置によって
理論的に209種類の異性体が存在し、現在、市販のP
CB製品において約100種類以上の異性体が確認され
ている。また、この異性体間の物理・化学的性質や生体
内安定性および環境動体が多様であるため、PCBの化
学分析や環境汚染の様式を複雑にしているのが現状であ
る。さらに、PCBは、残留性有機汚染物質のひとつで
あって、環境中で分解されにくく、脂溶性で生物濃縮率
が高く、さらに半揮発性で大気経由の移動が可能である
という性質を持つ。また、水や生物など環境中に広く残
留することが報告されている。この結果、PCBは体内
で極めて安定であるので、体内に蓄積され慢性中毒(皮
膚障害、肝臓障害等)を引き起し、また発癌性、生殖・
発生毒性が認められている。
PCB has 1 to 1 chlorine in the biphenyl skeleton.
It has 0 substitutions, and theoretically there are 209 kinds of isomers depending on the number and position of the substituted chlorine.
About 100 or more isomers have been confirmed in CB products. In addition, the physical and chemical properties among these isomers, the in vivo stability, and the environmental dynamics are so diverse that the chemical analysis of PCB and the mode of environmental pollution are complicated at present. Further, PCB is one of the persistent organic pollutants, is not easily decomposed in the environment, is fat-soluble, has a high bioconcentration rate, and is semi-volatile, and is capable of being transferred through the atmosphere. In addition, it has been reported that it widely remains in the environment such as water and living things. As a result, since PCB is extremely stable in the body, it accumulates in the body and causes chronic poisoning (skin disorders, liver disorders, etc.), carcinogenicity, reproduction and reproduction.
Developmental toxicity is noted.

【0004】PCBは、従来からトランスやコンデンサ
などの絶縁油として広く使用されてきた経緯があるの
で、PCBを処理する必要があり、本出願人は先に、P
CBを無害化処理する水熱分解装置を提案した(特開平
11−253796号公報、特開2000−12658
8号公報他参照)。この水熱分解装置の概要の一例を図
6に示す。
Since PCB has been widely used as an insulating oil for transformers and capacitors, it is necessary to treat the PCB.
A hydrothermal decomposition apparatus for detoxifying CB has been proposed (JP-A-11-253796 and JP-A-2000-12658).
No. 8, etc.). An example of the outline of this hydrothermal decomposition apparatus is shown in FIG.

【0005】図6に示すように、水熱分解装置120
は、サイクロンセパレータ121を併設した筒形状の一
次反応器122と、PCB、H2OおよびNaOHの処
理液123を加圧する加圧ポンプ124と、当該混合液
を予熱する予熱器125と、配管を巻いた構成の二次反
応器126と、冷却器127および減圧弁128とを備
えてなるものである。また、減圧弁127の下流には、
気液分離器129、活性炭槽130が配置されており、
排ガス(CO2 )131は煙突132から外部へ排出さ
れ、排水(H2 O,NaCl)133は別途、必要に応
じて排水処理される。また、処理液123となるPCB
の配管134には、H2OおよびNaOHがそれぞれ導
入される。また、酸素の配管135は、一次反応器12
5に対して直結している。
As shown in FIG. 6, the hydrothermal decomposition apparatus 120
Is a cylindrical primary reactor 122 provided with a cyclone separator 121, a pressurizing pump 124 for pressurizing a treatment liquid 123 of PCB, H 2 O and NaOH, a preheater 125 for preheating the mixed liquid, and piping. The secondary reactor 126 having a wound configuration, the cooler 127, and the pressure reducing valve 128 are provided. Further, downstream of the pressure reducing valve 127,
A gas-liquid separator 129 and an activated carbon tank 130 are arranged,
Exhaust gas (CO 2 ) 131 is discharged from the chimney 132 to the outside, and wastewater (H 2 O, NaCl) 133 is separately treated as wastewater. Also, the PCB that becomes the processing liquid 123
H 2 O and NaOH are introduced into the pipe 134 of FIG. The oxygen pipe 135 is connected to the primary reactor 12
It is directly connected to 5.

【0006】上記装置において、加圧ポンプ124によ
る加圧により一次反応器122内は、26MPaまで昇
圧される。また、予熱器125は、PCB、H2Oおよ
びNaOHの混合処理液123を300℃程度に予熱す
る。また、一次反応器122内には酸素が噴出してお
り、内部の反応熱により380℃〜400℃まで昇温す
る。サイクロンセパレータ121は、一次反応器122
内で析出したNa2CO3の結晶粒子の大きなものを分離
し、Na2CO3の微粒子を二次反応器126に送る。こ
のサイクロンセパレータ121の作用により、二次反応
器126の閉塞が防止される。この段階までに、PCB
は、脱塩素反応および酸化分解反応を起こし、NaC
l、CO2およびH2Oに分解されている。つぎに、冷却
器127では、二次反応器126からの流体を100℃
程度に冷却すると共に後段の減圧弁128にて大気圧ま
で減圧する。そして、気液分離器129によりCO2
よび水蒸気と処理水とが分離され、CO2および水蒸気
は、活性炭槽130を通過して環境中に排出される。
In the above apparatus, the pressure inside the primary reactor 122 is increased to 26 MPa by pressurization by the pressurizing pump 124. Further, the preheater 125 preheats the mixed treatment liquid 123 of PCB, H 2 O and NaOH to about 300 ° C. In addition, oxygen is jetting out into the primary reactor 122, and the reaction heat inside raises the temperature to 380 ° C to 400 ° C. The cyclone separator 121 is the primary reactor 122.
Larger Na 2 CO 3 crystal particles precipitated inside are separated, and Na 2 CO 3 fine particles are sent to the secondary reactor 126. The action of the cyclone separator 121 prevents the secondary reactor 126 from being blocked. By this stage, PCB
Causes dechlorination reaction and oxidative decomposition reaction, and NaC
1, decomposed into CO 2 and H 2 O. Next, in the cooler 127, the fluid from the secondary reactor 126 is cooled to 100 ° C.
The pressure is reduced to a certain degree and the pressure is reduced to atmospheric pressure by the pressure reducing valve 128 at the subsequent stage. Then, the gas-liquid separator 129 separates CO 2 and steam from treated water, and the CO 2 and steam pass through the activated carbon tank 130 and are discharged into the environment.

【0007】このような処理装置を用いてPCB含有容
器(例えばトランスやコンデンサ)等を処理すること
で、完全無害化がなされているが、さらにその施設内に
おけるPCB濃度の迅速監視が重要である。従来、ガス
サンプリングを行いPCBを液体に濃縮させ、その濃縮
液を分析する方法が採用されているが、この計測には数
時間から数十時間を要するため、迅速監視ができなかっ
た。
By treating a PCB-containing container (for example, a transformer or a condenser) with such a treatment device, it has been made completely harmless. However, it is important to quickly monitor the PCB concentration in the facility. . Conventionally, a method of performing gas sampling, concentrating PCB into a liquid, and analyzing the concentrated liquid has been adopted, but this measurement requires several hours to several tens of hours, and thus rapid monitoring cannot be performed.

【0008】しかしながら、監視のためのガス中の微量
PCBの計測方法として、従来では多光子イオン化検出
器と飛行時間型分析器(Time of Flight Mass Spectrosc
opy:TOFMAS) とを組み合わせた質量スペクトル分析装置
が提案されている。この従来の分析装置の概要を図7を
参照して説明する。
However, as a method for measuring a trace amount of PCB in the gas for monitoring, conventionally, a multiphoton ionization detector and a time-of-flight mass spectrometer (Time of Flight Mass Spectroscopy) are used.
A mass spectrum analyzer in combination with opy: TOFMAS) has been proposed. The outline of this conventional analyzer will be described with reference to FIG.

【0009】図7に示すように、試料ガス1をパルスノ
ズル2から真空チャンバ3内に超音速自由噴流として供
給し、その自由噴流は断熱膨張により冷却される。その
ような冷却により、振動・回転準位が低エネルギー側に
偏って波長選択性が増大したガスは、レーザ4のような
共鳴多光子を効率よく吸収したそのイオン化効率が増大
する。イオン化されたガス中の分子は、加速電極5によ
り加速され、質量に反比例する加速度を与えられてフラ
イトチューブ6内で飛行し、リフレクトン7で反射し
て、検出器8に入射する。該フライトチューブ6の中で
の飛行時間を計測することによりその分子又は原子であ
る粒子の質量が計算により求められ、検出器8の信号強
度の比較から測定対象のPCB濃度を求めることができ
る。
As shown in FIG. 7, the sample gas 1 is supplied from the pulse nozzle 2 into the vacuum chamber 3 as a supersonic free jet, and the free jet is cooled by adiabatic expansion. Due to such cooling, the vibration / rotational level is biased to the low energy side and the wavelength selectivity is increased, so that the ionization efficiency of the laser 4, which efficiently absorbs resonant multiphotons, is increased. Molecules in the ionized gas are accelerated by the acceleration electrode 5, are given an acceleration inversely proportional to the mass, fly in the flight tube 6, are reflected by the reflectons 7, and enter the detector 8. By measuring the time of flight in the flight tube 6, the mass of the particle, which is the molecule or atom, can be calculated, and the PCB concentration of the measurement object can be calculated by comparing the signal intensities of the detector 8.

【0010】このような装置では、微量物質の検出を行
うことができる点で原理的にはすぐれているが、レーザ
パルス幅がナノ秒レーザを用いているので、検出感度が
低いという問題がある。
Although such an apparatus is excellent in principle in that it can detect a trace amount of substance, it has a problem of low detection sensitivity because it uses a nanosecond laser with a laser pulse width. .

【0011】また、レーザ光で有機ハロゲン化物のイオ
ン化を効率よく発生させる場合、パルス幅を短くするこ
とがあるが、パルス幅が短くなりすぎると、感度が低下
する現象が生じる。また、PCB等のCl基が複数結合
した高分子化合物の場合には、低塩素化物PCBの場合
には100psとパルス幅が長いレーザ光がイオン化効
率がよく、一方高塩素化物PCBの場合には10psと
パルス幅が短いレーザ光が好ましいとされている。よっ
て、すべてのPCB化合物を測定する場合には、複数の
パルス幅のレーザ装置を用意する必要があり、装置が大
がかりとなるという問題がある。
Further, when the ionization of the organic halide is efficiently generated by the laser light, the pulse width may be shortened. However, if the pulse width is too short, the sensitivity decreases. Further, in the case of a high molecular compound such as PCB in which a plurality of Cl groups are bonded, a laser beam having a long pulse width of 100 ps has a good ionization efficiency in the case of a low chlorinated PCB, while a high chlorinated PCB has a high ionization efficiency. It is said that laser light having a short pulse width of 10 ps is preferable. Therefore, in the case of measuring all PCB compounds, it is necessary to prepare a laser device having a plurality of pulse widths, and there is a problem that the device becomes large-scale.

【0012】本発明は、上記問題に鑑み、例えばガス中
のPCB濃度等の微量成分を監視するに際し、迅速且つ
高感度な分析が可能な有機ハロゲン化物の検出装置及び
方法を提供することを課題とする。
In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide an apparatus and method for detecting an organic halide, which enables rapid and highly sensitive analysis when monitoring trace components such as PCB concentration in gas. And

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の第1の発明は、採取試料を真空チャンバー内へ連続
的に導入する試料導入手段と、導入された試料にレーザ
を照射し、レーザイオン化させるレーザ照射手段と、レ
ーザイオン化した分子を収束させる収束部と、該収束さ
れた分子を選択濃縮するイオントラップと、一定周期で
放出されたイオンを検出するイオン検出器を備えた飛行
時間型質量分析装置とを具備してなるレーザ測定装置で
あって、上記レーザ照射手段からのレーザ光がイオン化
領域において重なることがないようにレーザ光を多重反
射照射することを特徴とするレーザ測定装置にある。
A first aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is a sample introducing means for continuously introducing a sample to be collected into a vacuum chamber, and irradiating the introduced sample with a laser. Time-of-flight provided with laser irradiation means for laser ionization, a converging unit for converging laser-ionized molecules, an ion trap for selectively concentrating the converged molecules, and an ion detector for detecting ions emitted at a constant period. Type mass spectroscope, wherein the laser light from the laser irradiation means is multiple-reflected so that the laser light does not overlap in the ionization region. It is in.

【0014】第2の発明は、請求項1の発明において、
上記多重反射が相対向するプリズムを用い、同じ経路を
通らないように複数回反射させることを特徴とするレー
ザ測定装置にある。
A second aspect of the invention is the invention of claim 1
The laser measuring device is characterized in that the prisms in which the multiple reflections face each other are used and the multiple reflections are performed so as not to pass through the same path.

【0015】第3の発明は、第1の発明において、上記
試料導入手段がキャピラリカラムであり、その先端がイ
オン収束部に臨んでいることを特徴とするレーザ測定装
置にある。
A third invention is the laser measuring apparatus according to the first invention, wherein the sample introducing means is a capillary column, and the tip of the capillary column faces the ion converging portion.

【0016】第4の発明は、第1おいて、上記キャピラ
リカラムが石英又はステンレスであることを特徴とする
レーザ測定装置にある。
A fourth invention is, in the first invention, a laser measuring apparatus characterized in that the capillary column is made of quartz or stainless steel.

【0017】第5の発明は、第1の発明において、上記
レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス幅がピコ
秒〜数十ピコ秒であることを特徴とするレーザ測定装置
にある。
A fifth aspect of the invention is the laser measuring device according to the first aspect of the invention, in which the pulse width of the laser emitted from the laser irradiating means is in the range of picoseconds to tens of picoseconds.

【0018】第6の発明は、第1の発明において、上記
レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス周波数が
1MHz以上であることを特徴とするレーザ測定装置に
ある。
A sixth aspect of the invention is the laser measuring device according to the first aspect of the invention, in which the pulse frequency of the laser beam emitted from the laser irradiation means is 1 MHz or higher.

【0019】第7の発明は、第6の発明において、上記
レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス周波数が
10〜200MHzであることを特徴とするレーザ測定
装置にある。
A seventh aspect of the present invention is the laser measuring device according to the sixth aspect, wherein the pulse frequency of the laser emitted from the laser irradiating means is 10 to 200 MHz.

【0020】第8の発明は、第1の発明において、上記
試料がPCB分解処理した処理設備内のガスであること
を特徴とするレーザ測定装置にある。
An eighth aspect of the present invention is the laser measuring device according to the first aspect, wherein the sample is a gas in a processing facility that has undergone a PCB decomposition process.

【0021】第9の発明は、採取試料を真空チャンバー
内へ連続的に導入し、導入された試料にレーザを照射し
てレーザイオン化させ、該レーザイオン化した分子を収
束させつつイオントラップで選択濃縮し、該イオントラ
ップから一定周期で放出されたイオンを飛行時間型質量
分析装置で検出してガス中の有機ハロゲン化物の濃度を
検出する検出方法であって、上記レーザ照射手段からの
レーザ光がイオン化領域において重なることがないよう
にレーザ光を多重反射照射することを特徴とするレーザ
測定方法にある。
A ninth aspect of the present invention continuously introduces a sample to be collected into a vacuum chamber, irradiates the sample with a laser to cause laser ionization, and selectively concentrates the laser-ionized molecules with an ion trap. Then, a detection method for detecting the concentration of the organic halide in the gas by detecting the ions emitted from the ion trap at a constant period with a time-of-flight mass spectrometer, wherein the laser light from the laser irradiation means is A laser measuring method is characterized in that laser beams are irradiated in multiple reflections so that they do not overlap in the ionized region.

【0022】第10の発明は、第9の発明において、上
記多重反射が相対向するプリズムを用い、同じ経路を通
らないように複数回反射させることを特徴とするレーザ
測定方法にある。
A tenth aspect of the present invention is the laser measuring method according to the ninth aspect, characterized in that the prisms in which the multiple reflections face each other are used, and the multiple reflections are performed so as not to pass through the same path.

【0023】第11の発明は、第9の発明において、上
記採取試料がPCB分解処理した処理設備内のガスであ
ることを特徴とする有機ハロゲン化物の検出方法にあ
る。
An eleventh aspect of the present invention is the method for detecting an organic halide according to the ninth aspect, wherein the sample to be collected is a gas in a treatment facility where the PCB is decomposed.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.

【0025】[第1の実施の形態]図1は本実施の形態
にかかるレーザ測定装置の概略図である。図1に示すよ
うに、本実施の形態にかかるレーザ測定装置50は、採
取試料51を真空チャンバー52内へ連続的に洩れだし
分子線53として導入する試料導入手段であるキャピラ
リカラム54と、上記洩れだし分子線53にレーザ光5
5を照射し、レーザイオン化させるレーザ照射手段54
と、レーザイオン化した分子を収束させる複数のイオン
電極からなる収束部56と、該収束された分子を選択濃
縮するイオントラップ57と、一定周期で放出されたイ
オンをリフレクトロン58で反射させ、反射されたイオ
ンを検出するイオン検出器59を備えた飛行時間型質量
分析装置60とを具備してなるものである。そして、こ
の検出器59により検出された信号強度の比較から測定
対象の濃度を求めることができる。図1中、符号61,
62はレンズ窓、70は反射鏡を各々図示する。
[First Embodiment] FIG. 1 is a schematic view of a laser measuring apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the laser measuring apparatus 50 according to the present embodiment includes a capillary column 54 which is a sample introducing means for continuously leaking a sample 51 into a vacuum chamber 52 and introducing the sample 51 as a molecular beam 53. Laser beam 5 on the leaking molecular beam 53
Laser irradiation means 54 for irradiating 5 to perform laser ionization
A converging unit 56 composed of a plurality of ion electrodes for converging the laser-ionized molecules, an ion trap 57 for selectively concentrating the converged molecules, and an ion emitted at a constant period is reflected by a reflectron 58 to be reflected. And a time-of-flight mass spectrometer 60 having an ion detector 59 for detecting the generated ions. Then, the concentration of the measurement target can be obtained by comparing the signal intensities detected by the detector 59. In FIG. 1, reference numeral 61,
62 is a lens window and 70 is a reflecting mirror.

【0026】上記レーザ照射手段56からのレーザ光5
5は、図2に示すように、相対向するプリズム手段7
1,72で多重反射され、レーザ光がイオン領域73に
おいて重なることがないように導入される試料に対して
レーザ照射させるようにしている。上記プリズム手段7
1は複数のプリズムを用いるものであるが、これに限定
されるものではない。これにより、試料に対してパルス
レーザ光がぶつかることがないので、試料が分解される
ことがなくなり、試料に対するレーザイオン化効率が向
上する。
Laser light 5 from the laser irradiation means 56
Reference numeral 5 denotes prism means 7 facing each other, as shown in FIG.
The sample is introduced so that the laser beams are multiply reflected at 1, 72 and do not overlap with each other in the ion region 73. The prism means 7
1 uses a plurality of prisms, but is not limited to this. As a result, the pulsed laser light does not hit the sample, so that the sample is not decomposed and the laser ionization efficiency for the sample is improved.

【0027】この重なることがないようにレーザ光を導
入する光学装置の概要を図3及び図4に示す。図3は斜
視図であり、図4(A)はその側面図及び図4(B)は
その平面図である。図3及び図4に示すように、光学装
置は相対向する単体プリズム74,75より構成され、
導入するレーザ光55の入射を調整することで、決して
重ならないような反射とすることができる。なお、本実
施の形態では、反射鏡76を設けて折り返し反射させる
ようにして、更に試料を複数回励起するようにしてい
る。
FIGS. 3 and 4 show an outline of the optical device for introducing the laser beams so that they do not overlap each other. 3 is a perspective view, FIG. 4 (A) is a side view thereof, and FIG. 4 (B) is a plan view thereof. As shown in FIGS. 3 and 4, the optical device is composed of single prisms 74 and 75 facing each other.
By adjusting the incidence of the laser light 55 to be introduced, it is possible to make reflections that never overlap. In the present embodiment, the reflection mirror 76 is provided so that the sample is reflected back to further excite the sample a plurality of times.

【0028】上記プリズムを用いて例えばイオン化領域
6mmを想定すると、1本の入射レーザ光の場合10m
Jの出力が必要であったものが、1mJの出力のレーザ
で10回反射させることでよく、装置構成を安価とする
とができる。また、レーザ光を単に多重反射させる方法
があるが、多重反射時にレーザ光路が重なるとイオン化
された分子に再びレーザ光が照射されることになり、計
測対象の分子の分解を促進してしまうという不具合が生
じる。よって、本発明では、多重反射させる場合には、
決してレーザ光路が重ならないことが必須である。レー
ザ光路が重ならない方法としては、図2に示すような複
数のプリズムやミラー等を用い行う方法や、相対向する
一対のプリズムに対し、入射レーザ光を調整して行う方
法等を挙げることができるが、本発明はこれらに限定さ
れるものではなく、その他レーザ光が重ならないように
する手法であればいずれでもよい。
Assuming, for example, an ionization area of 6 mm using the above-mentioned prism, 10 m for one incident laser beam.
What requires J output can be reflected by a laser with an output of 1 mJ 10 times, and the device configuration can be made inexpensive. There is also a method of simply multiple-reflecting laser light, but if the laser light paths overlap during multiple reflection, the ionized molecules will be irradiated again with laser light, which will accelerate the decomposition of the molecules to be measured. Defect occurs. Therefore, in the present invention, when multiple reflection is performed,
It is essential that the laser optical paths never overlap. Examples of the method in which the laser light paths do not overlap each other include a method of using a plurality of prisms and mirrors as shown in FIG. 2, a method of adjusting incident laser light to a pair of prisms facing each other, and the like. However, the present invention is not limited to these, and any other method may be used as long as the laser light does not overlap.

【0029】ここで、例えば有機ハロゲン化物であるP
CBを分析するような場合には、低塩素(塩素数2〜
4)PCBのイオン化効率を向上させる場合には、パル
ス幅を増大させればよく、一方の高塩素(塩素数5〜
7)PCBのイオン化効率を向上させる場合には、入射
レーザ光のパルス幅を狭くするようにすればよい。
Here, for example, P that is an organic halide is used.
When analyzing CB, low chlorine (chlorine number 2 to
4) In order to improve the ionization efficiency of PCB, the pulse width may be increased.
7) To improve the ionization efficiency of the PCB, the pulse width of the incident laser light may be narrowed.

【0030】このため、図5に示すような、Lの異なる
反射レンズ群71A,71B、72A,72Bを設け、
2種類のパルスレーザ光とし、同時に複数種類の低塩素
から高塩素までのPCB濃度を測定することができる。
Therefore, as shown in FIG. 5, reflection lens groups 71A, 71B, 72A and 72B having different L are provided,
Two types of pulsed laser light are used, and a plurality of types of PCB concentrations from low chlorine to high chlorine can be simultaneously measured.

【0031】ここで、上記キャピラリカラム54は、イ
オン収束部56にその先端が臨んでいるのが好ましく、
具体的には、イオン収束部56を構成する電極の内の最
もキャピラリカラム側の電極と面一又は電極よりもイオ
ントラップ側へ突き出しているようにするとよい。
Here, it is preferable that the tip of the capillary column 54 faces the ion converging portion 56,
Specifically, among the electrodes forming the ion converging unit 56, it may be flush with the electrode closest to the capillary column, or may protrude toward the ion trap side with respect to the electrode.

【0032】また、上記キャピラリカラムの材質は、石
英又はステンレスであることが好ましい。また、ステン
レス製とした場合には、イオン収束部56により電場を
かけることにより、制御が可能となる。
The material of the capillary column is preferably quartz or stainless steel. Further, when it is made of stainless steel, control can be performed by applying an electric field by the ion converging unit 56.

【0033】上記キャピラリカラムの孔径は1mm以
下、好適にはレーザ3mm程度とするのがよい。また、
キャピラリカラムの吹き出し口からレーザ照射位置まで
の距離は近ければ近いほどよいが、あまり近すぎてもレ
ーザ光により先端が破損するので、破損しない程度まで
近づけて(例えば1〜2mm程度)イオン化効率を向上
させることが好ましい。
The hole diameter of the capillary column is 1 mm or less, preferably about 3 mm for the laser. Also,
The closer the distance from the outlet of the capillary column to the laser irradiation position is, the better. However, if the distance is too close, the tip will be damaged by the laser light, so the ionization efficiency should be close enough to avoid damage (for example, about 1 to 2 mm). It is preferable to improve.

【0034】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光55のパルス波長は300nm以下、好ましくは
266±10nmとするのがよい。これは300nmを
超えると測定対象である有機ハロゲン化物のイオン化が
良好に行われないからである。
The pulse wavelength of the laser beam 55 emitted from the laser irradiation means 56 is 300 nm or less, preferably 266 ± 10 nm. This is because if it exceeds 300 nm, the ionization of the organic halide, which is the object of measurement, will not be performed well.

【0035】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光56のパルス幅はピコ秒〜数十ピコ秒のパルスレ
ーザであることが好ましい。これはパルス幅がナノ秒
(10 -9)のレーザでは検出感度が低く好ましくないか
らである。
The laser irradiated from the laser irradiation means 56 is
The pulse width of the laser light 56 is in the range of picoseconds to tens of picoseconds.
It is preferable that it is a user. This has a pulse width of nanoseconds
(10 -9) Laser has low detection sensitivity and is not preferable?
It is.

【0036】上記レーザ照射手段56から照射されるレ
ーザ光のパルス周波数は1MHz以上、特に好適には1
0〜200MHzであることが好ましい。これは1MH
z未満のものであると連続的にイオン化ができず、イオ
ン化効率が低下し、好ましくないからである。
The pulse frequency of the laser light emitted from the laser irradiating means 56 is 1 MHz or more, and particularly preferably 1
It is preferably 0 to 200 MHz. This is 1MH
This is because if it is less than z, ionization cannot be performed continuously and the ionization efficiency decreases, which is not preferable.

【0037】上記計測装置を用い、例えばPCB分解処
理設備内のガスを迅速且つ的確に測定することができ、
この測定結果を基に、処理工程の監視をすることができ
る。
By using the above measuring device, for example, the gas in the PCB decomposition treatment facility can be measured quickly and accurately,
Based on this measurement result, the processing steps can be monitored.

【0038】[第2の実施の形態]次に、本発明の装置
を用いたPCB無害化処理設備におけるガス中の監視シ
ステムについて説明する。
[Second Embodiment] Next, a monitoring system for gas in a PCB detoxification treatment facility using the apparatus of the present invention will be described.

【0039】図5に示すように、PCB無害化処理シス
テムは、有害物質であるPCBが付着又は含有又は保存
されている被処理物を無害化する有害物質処理システム
であって、被処理物1001である有害物質( 例えばPC
B)1002 を保存する容器1003から有害物質1002を分離す
る分離手段1004と、被処理物1001を構成する構成材1001
a,b,…を解体する解体手段1005のいずれか一方又は
両方を有する前処理手段1006と、前処理手段1006におい
て処理された被処理物を構成する構成材であるコア1001
aをコイル1001bと鉄心1001cとに分離するコア分離手
段1007と、分離されたコイル1001bを銅線1001dと紙・
木1001eとに分離するコイル分離手段1008と、上記コア
分離手段1008で分離された鉄心1001cと解体手段1005で
分離された金属製の容器 (容器本体及び蓋等)1003 とコ
イル分離手段1008で分離された銅線1001dとを洗浄液10
10で洗浄する洗浄手段1011と、洗浄後の洗浄廃液1012及
び前処理手段で分離した有害物質1002のいずれか一方又
は両方を分解処理する有害物質分解処理手段1013とを、
具備してなるものである。
As shown in FIG. 5, the PCB detoxification treatment system is a harmful substance treatment system for detoxifying an object to be treated on which PCB, which is a harmful substance, is attached, contained, or stored, and the object to be treated 1001 Harmful substances (eg PC
B) Separation means 1004 for separating the harmful substance 1002 from the container 1003 for storing 1002, and the constituent material 1001 constituting the object to be treated 1001.
Pretreatment means 1006 having one or both of disassembly means 1005 for disassembling a, b, ...
core separating means 1007 for separating a into a coil 1001b and an iron core 1001c, and the separated coil 1001b with a copper wire 1001d and paper.
A coil separating means 1008 for separating into a tree 1001e, an iron core 1001c separated by the core separating means 1008, a metal container (a container body and a lid, etc.) 1003 separated by a disassembling means 1005, and a coil separating means 1008. Washed copper wire 1001d with cleaning liquid 10
Cleaning means 1011 for cleaning at 10, and cleaning waste liquid 1012 after cleaning and harmful substance decomposition treatment means 1013 for decomposing either or both of the harmful substances 1002 separated by the pretreatment means,
It is equipped with.

【0040】ここで、本発明で無害化処理する有害物質
としては、PCBの他に例えば、塩化ビニルシート、有
害廃棄塗料、廃棄燃料、有害薬品、廃棄樹脂、未処理爆
薬等を挙げることができるが、環境汚染に起因する有害
物質であればこれらに限定されるものではない。
Here, examples of the harmful substances to be rendered harmless in the present invention include vinyl chloride sheets, hazardous waste paints, waste fuels, harmful chemicals, waste resins, untreated explosives, etc. in addition to PCBs. However, it is not limited to these as long as they are harmful substances caused by environmental pollution.

【0041】また、本発明で被処理物としては、例えば
絶縁油としてPCBを用いてなるトランスやコンデン
サ、有害物質である塗料等を保存している保存容器を例
示することができるが、これらに限定されるものではな
い。
Examples of the object to be treated in the present invention include transformers and capacitors using PCB as insulating oil, storage containers storing paints which are harmful substances, and the like. It is not limited.

【0042】また、蛍光灯用の安定器においても従来は
PCBが用いられていたので無害化処理する必要があ
り、この場合には、容量が小さいので前処理することな
く、分離手段1009に直接投入することで無害化処理する
ことができる。
In the ballast for fluorescent lamps, PCB has been used in the past, so it is necessary to detoxify it. In this case, since the capacity is small, pretreatment is not necessary and the separation means 1009 can be directly used. It can be detoxified by throwing it in.

【0043】また、上記有害物質が液体等の場合には、
有害物質分解処理手段1013に直接投入することで無害化
処理がなされ、その保管した容器は構成材の無害化処理
により、処理することができる。処理後の液について
は、PCBの排出基準である3ppb以下であることを
確認する必要がある。なお、有害物質処理手段1013の構
成は、図6に示すものと同様であるので、同一構成部材
には同一符号を付してその説明は省略する。
When the harmful substance is a liquid or the like,
The harmful substance is decomposed by directly putting it into the harmful substance decomposition treatment means 1013, and the stored container can be treated by the detoxification treatment of the constituent materials. It is necessary to confirm that the treated liquid is 3 ppb or less, which is the emission standard of PCB. The structure of the harmful substance treating means 1013 is the same as that shown in FIG. 6, and thus the same components are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

【0044】本発明の計測システム100は、上記処理
手段1013から活性槽を通過して浄化された排ガス131
中のPCB濃度を監視するものである。この計測システ
ムを設けることでPCB濃度を迅速に且つ効率よく監視
することができる。この結果、作業工程が適切に行われ
ているかの監視を常に行いつつ分解処理することがで
き、環境に配慮した対策を講じることができる。
The measuring system 100 of the present invention is the exhaust gas 131 purified by passing through the active tank from the processing means 1013.
It is intended to monitor the PCB concentration inside. By providing this measuring system, the PCB concentration can be monitored quickly and efficiently. As a result, it is possible to carry out the disassembling process while constantly monitoring whether or not the work process is appropriately performed, and it is possible to take environmentally friendly measures.

【0045】よって、本計測装置を用いて、所定時間毎
に分析して、ガスの基準を満たしているかを常に監視す
ることができ、非常事態があった場合、PCB濃度が排
出基準を超える場合には、例えば活性槽を通して排ガス
の浄化をさらに行うと共に、作業手順等のみなおしをし
て外部環境汚染を防止することができる。
Therefore, by using this measuring device, it is possible to constantly analyze whether or not the gas standard is satisfied by performing analysis every predetermined time, and when there is an emergency, when the PCB concentration exceeds the emission standard. For example, the exhaust gas can be further purified through, for example, an active tank, and the work procedure and the like can be corrected to prevent external environmental pollution.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
採取試料を真空チャンバー内へ連続的に導入する試料導
入手段と、導入された試料にレーザを照射し、レーザイ
オン化させるレーザ照射手段と、レーザイオン化した分
子を収束させる収束部と、該収束された分子を選択濃縮
するイオントラップと、一定周期で放出されたイオンを
検出するイオン検出器を備えた飛行時間型質量分析装置
とを具備してなるレーザ測定装置であって、上記レーザ
照射手段からのレーザ光がイオン化領域において重なる
ことがないようにレーザ光を多重反射照射するので、試
料が分解されることがなくなり、試料に対するレーザイ
オン化効率が向上し、例えばガス中の微量PCBの分析
が可能となる。
As described above, according to the present invention,
Sample introduction means for continuously introducing the sample to be collected into the vacuum chamber, laser irradiation means for irradiating the introduced sample with a laser to cause laser ionization, and a converging unit for converging the laser ionized molecules, and the converged A laser measuring device comprising an ion trap for selectively concentrating molecules, and a time-of-flight mass spectrometer equipped with an ion detector for detecting ions emitted at a constant cycle, comprising: Since multiple reflection irradiation of the laser light is performed so that the laser light does not overlap in the ionization region, the sample is not decomposed, the laser ionization efficiency with respect to the sample is improved, and, for example, analysis of a trace amount of PCB in gas becomes possible. Become.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施の形態にかかる有機ハロゲン化物の検出
装置の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of an organic halide detection device according to the present embodiment.

【図2】レーザ光多重反射の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of laser light multiple reflection.

【図3】レーザ光を導入する光学装置の概要図である。FIG. 3 is a schematic diagram of an optical device that introduces laser light.

【図4】図4(A)は図3の側面図及び図4(B)は図
3の平面図である。
4 (A) is a side view of FIG. 3 and FIG. 4 (B) is a plan view of FIG.

【図5】本実施の形態にかかるPCB無害化処理システ
ムの概略図である。
FIG. 5 is a schematic diagram of a PCB detoxification processing system according to the present embodiment.

【図6】水熱分解装置の概要図である。FIG. 6 is a schematic diagram of a hydrothermal decomposition apparatus.

【図7】従来技術にかかるレーザ計測装置の概略図であ
る。
FIG. 7 is a schematic diagram of a laser measuring device according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

50 有機ハロゲン化物の検出装置 51 採取試料 52 真空チャンバー 53 洩れだし分子線 54 キャピラリカラム 55 レーザ光 56 収束部 57 イオントラップ 58 リフレクトロン 59 イオン検出器 60 飛行時間型質量分析装置 61,62 レンズ窓 70 反射鏡 71,72 プリズム手段 73 イオン領域 74,75 単体プリズム 76 反射鏡 50 Organic halide detector 51 Collected samples 52 Vacuum chamber 53 Leakage molecular beam 54 capillary columns 55 laser light 56 Converging section 57 Ion trap 58 Reflectron 59 Ion detector 60 time-of-flight mass spectrometer 61,62 lens window 70 Reflector 71,72 Prism means 73 Ion region 74,75 Single prism 76 Reflector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 49/40 H01J 49/40 (72)発明者 土橋 晋作 長崎県長崎市深堀町五丁目717番1号 三 菱重工業株式会社長崎研究所内 Fターム(参考) 5C038 GG07 GH10 GH15 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01J 49/40 H01J 49/40 (72) Inventor Shinsaku Dobashi 5-717-1, Fukahori-cho, Nagasaki-shi, Nagasaki Prefecture Sanryo Heavy Industries Co., Ltd. Nagasaki Research Laboratory F-term (reference) 5C038 GG07 GH10 GH15

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 採取試料を真空チャンバー内へ連続的に
導入する試料導入手段と、 導入された試料にレーザを照射し、レーザイオン化させ
るレーザ照射手段と、 レーザイオン化した分子を収束させる収束部と、 該収束された分子を選択濃縮するイオントラップと、 一定周期で放出されたイオンを検出するイオン検出器を
備えた飛行時間型質量分析装置とを具備してなるレーザ
測定装置であって、 上記レーザ照射手段からのレーザ光がイオン化領域にお
いて重なることがないようにレーザ光を多重反射照射す
ることを特徴とするレーザ測定装置。
1. A sample introduction means for continuously introducing a sample to be collected into a vacuum chamber, a laser irradiation means for irradiating the introduced sample with a laser to cause laser ionization, and a converging unit for converging laser ionized molecules. A laser measurement device comprising: an ion trap for selectively concentrating the converged molecules; and a time-of-flight mass spectrometer equipped with an ion detector for detecting ions emitted at a constant period, wherein: A laser measuring device, characterized in that the laser beams from the laser irradiating means are subjected to multiple reflection irradiation so that the laser beams do not overlap in the ionized region.
【請求項2】 請求項1において、 上記多重反射が相対向するプリズムを用い、同じ経路を
通らないように複数回反射させることを特徴とするレー
ザ測定装置。
2. The laser measuring device according to claim 1, wherein the multiple reflections are formed by using prisms opposed to each other so that the multiple reflections do not pass through the same path.
【請求項3】 請求項1において、 上記試料導入手段がキャピラリカラムであり、その先端
がイオン収束部に臨んでいることを特徴とするレーザ測
定装置。
3. The laser measuring device according to claim 1, wherein the sample introducing means is a capillary column, and a tip of the capillary column faces an ion converging portion.
【請求項4】 請求項1おいて、 上記キャピラリカラムが石英又はステンレスであること
を特徴とするレーザ測定装置。
4. The laser measuring device according to claim 1, wherein the capillary column is made of quartz or stainless steel.
【請求項5】 請求項1において、 上記レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス幅が
ピコ秒〜数十ピコ秒であることを特徴とするレーザ測定
装置。
5. The laser measuring device according to claim 1, wherein the pulse width of the laser emitted from the laser irradiating means is in the range of picoseconds to several tens of picoseconds.
【請求項6】 請求項1において、 上記レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス周波
数が1MHz以上であることを特徴とするレーザ測定装
置。
6. The laser measuring device according to claim 1, wherein the pulse frequency of the laser emitted from the laser emitting means is 1 MHz or more.
【請求項7】 請求項6において、 上記レーザ照射手段から照射されるレーザのパルス周波
数が10〜200MHzであることを特徴とするレーザ
測定装置。
7. The laser measuring device according to claim 6, wherein the pulse frequency of the laser irradiated from the laser irradiation means is 10 to 200 MHz.
【請求項8】 請求項1において、上記試料がPCB分
解処理した処理設備内のガスであることを特徴とするレ
ーザ測定装置。
8. The laser measuring device according to claim 1, wherein the sample is a gas in a processing facility that decomposes PCB.
【請求項9】 採取試料を真空チャンバー内へ連続的
に導入し、導入された試料にレーザを照射してレーザイ
オン化させ、該レーザイオン化した分子を収束させつつ
イオントラップで選択濃縮し、該イオントラップから一
定周期で放出されたイオンを飛行時間型質量分析装置で
検出してガス中の有機ハロゲン化物の濃度を検出する検
出方法であって、 上記レーザ照射手段からのレーザ光がイオン化領域にお
いて重なることがないようにレーザ光を多重反射照射す
ることを特徴とするレーザ測定方法。
9. A sample is continuously introduced into a vacuum chamber, the sample introduced is irradiated with a laser to be laser-ionized, and the laser-ionized molecules are converged and selectively concentrated by an ion trap. A detection method for detecting the concentration of organic halides in a gas by detecting ions emitted from a trap in a fixed period with a time-of-flight mass spectrometer, wherein the laser light from the laser irradiation means overlaps in the ionization region. A laser measuring method characterized by irradiating multiple reflections of laser light so that there is no such a case.
【請求項10】 請求項9において、 上記多重反射が相対向するプリズムを用い、同じ経路を
通らないように複数回反射させることを特徴とするレー
ザ測定方法。
10. The laser measuring method according to claim 9, wherein prisms in which the multiple reflections face each other are used, and the multiple reflections are performed so as not to pass through the same path.
【請求項11】 請求項9において、 上記採取試料がPCB分解処理した処理設備内のガスで
あることを特徴とする有機ハロゲン化物の検出方法。
11. The method for detecting an organic halide according to claim 9, wherein the sample to be collected is a gas in a processing facility that decomposes PCB.
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