JP2003133704A - Circuit board and bonding sheet for coverlay - Google Patents

Circuit board and bonding sheet for coverlay

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JP2003133704A
JP2003133704A JP2001328856A JP2001328856A JP2003133704A JP 2003133704 A JP2003133704 A JP 2003133704A JP 2001328856 A JP2001328856 A JP 2001328856A JP 2001328856 A JP2001328856 A JP 2001328856A JP 2003133704 A JP2003133704 A JP 2003133704A
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JP
Japan
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polyimide
circuit board
cover
film
adhesive
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Application number
JP2001328856A
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Japanese (ja)
Inventor
Toru Murakami
徹 村上
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a circuit board using a bonding sheet for coverlay that maintains the original electrical insulating properties in the conventional coverlay film, at the same time, does not have a heat-resistant film as a support base, and can thin an entire film thickness as much as possible, and to provide the bonding sheet for coverlay. SOLUTION: In the circuit board, wiring is covered with the bonding sheet for coverlay that has a thickness of 3 to 100 μm and does not have any coverlay films. In the bonding sheet for coverlay used for the circuit board, a peeling film is laminated on both the surfaces of an adhesive.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、接着剤層のみか
らなるカバ−レイによって配線がカバ−された回路基
板、および該回路基板に使用されるカバ−レイ用接着シ
−トに係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board whose wiring is covered by a cover layer composed of only an adhesive layer, and an adhesive sheet for a cover layer used for the circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来使用されているエポキシ接着剤付カ
バ−レイフィルムには、回路基板との貼り合せ後に反り
を生じさせない為、又、電気絶縁性を高める為にポリイ
ミドフィルムなどの耐熱性フィルムを積層していた。こ
のため、接着剤層と耐熱性フィルムとによる2層構成の
為、全体の膜厚を薄くすることが難しく、また耐熱性フ
ィルムと配線を形成している銅との線膨張係数の差が大
きいとカ−ルが生じ、また耐熱性フィルムの線膨張係数
を小さくするために高剛性のフィルムを使用すると回路
基板をコンパクトに折り曲げることが困難である。
2. Description of the Related Art A cover ray film with an epoxy adhesive which has been conventionally used is a heat resistant film such as a polyimide film in order to prevent warpage after being bonded to a circuit board and to improve electric insulation. Were stacked. Therefore, it is difficult to reduce the total film thickness because of the two-layer structure of the adhesive layer and the heat resistant film, and the difference in the coefficient of linear expansion between the heat resistant film and the copper forming the wiring is large. When a high-rigidity film is used to reduce the linear expansion coefficient of the heat-resistant film, it is difficult to bend the circuit board compactly.

【0003】また、一部に使用されているコ−ト材塗布
液をカバ−レイ用に使用すると、配線の端子部の塗膜端
部のテ−パ−角が大きくなる場合が多く、金メッキの際
に端部で錫メッキ液の潜り込みが大きくなり、コ−ト材
からなるカバ−レイを設ける目的である電気絶縁性が機
能しなくなる。
When a coating material coating solution used for a part is used for a cover ray, the taper angle of the coating film end portion of the wiring terminal portion is often large, and gold plating is often used. At this time, the tin plating solution penetrates deeply at the ends, and the electrical insulation, which is the purpose of providing the cover layer made of the coating material, fails.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、従
来のカバ−レイフィルム本来の電気絶縁性を維持したま
ま、耐熱性フィルムを支持基材として有することが無
く、全体の膜厚を必要最小限にまで薄くすることを可能
とするカバ−レイ用接着シ−トを使用した回路基板、お
よびカバ−レイ用接着シ−トを提供することを目的とす
る。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The object of the present invention is to maintain the original electrical insulation of the conventional cover-ray film and not to have a heat-resistant film as a supporting substrate, and to provide the entire film thickness. An object of the present invention is to provide a circuit board using a cover sheet adhesive sheet that can be thinned to a minimum, and a cover sheet adhesive sheet.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は、厚みが3μ
m〜100μmであり、カバ−フィルムを有しないカバ
−レイ用接着シ−トによって配線がカバ−された回路基
板に関する。また、この発明は、上記の回路基板に使用
される、接着剤の両面に剥離性フィルムが積層されてな
るカバ−レイ用接着シ−トに関する。
The present invention has a thickness of 3 μm.
The present invention relates to a circuit board in which the wiring is covered by an adhesive sheet for a cover ray having a cover film thickness of m to 100 μm. The present invention also relates to an adhesive sheet for a coverlay, which is used for the above-mentioned circuit board and has a release film laminated on both sides of an adhesive.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下にこの発明の好ましい態様を
列記する。 1)カバ−レイ用接着シ−トが、エポキシ基との反応性
基を有するポリイミドシロキサン、少量のエポキシ樹脂
およびイミダゾ−ル類からなる上記の回路基板。 2)カバ−レイ用接着シ−トが、穴明け加工および裁断
加工した後フレキシブルプリント配線板に加熱圧着され
てカバ−された上記の回路基板。 3)配線が、ラミネ−ト法、キャスティング法あるいは
金属蒸着法−銅メッキ法によってポリイミド層と銅層と
を積層したオ−ルポリイミドのポリイミド−銅積層体か
ら得られるものである上記の回路基板。
Preferred embodiments of the present invention will be listed below. 1) The above-mentioned circuit board in which the adhesive sheet for covering is composed of a polyimide siloxane having a group reactive with an epoxy group, a small amount of an epoxy resin, and imidazoles. 2) The circuit board as described above, wherein the cover sheet adhesive sheet is covered with a flexible printed wiring board by heat-pressing after punching and cutting. 3) The above-mentioned circuit board in which the wiring is obtained from a polyimide-copper laminate of all-polyimide in which a polyimide layer and a copper layer are laminated by a laminating method, a casting method or a metal deposition method-copper plating method. .

【0007】4)配線が、ポリイミド−銅積層体のポリ
イミド層にレ−ザ−加工あるいはケミカルエッチングに
よって形成されたスル−ホ−ルに銅メッキし、さらに金
属メッキしたものである上記の回路基板。 5)カバ−レイ用接着シ−トが、穴明け加工および裁断
加工した後フレキシブルプリント配線板に加熱圧着され
てカバ−された上記の回路基板。 6)接着剤が、遮光用の黒色顔料を含む上記のカバ−レ
イ用接着シ−ト。 7)剥離性フィルムが、剥離処理されたポリエステルフ
ィルムである上記のカバ−レイ用接着シ−ト。
4) The above-mentioned circuit board in which the wiring is copper-plated on a through-hole formed by laser processing or chemical etching on the polyimide layer of the polyimide-copper laminate and further metal-plated. . 5) The above-mentioned circuit board in which the cover sheet adhesive sheet is covered with a flexible printed wiring board by heat-pressing after perforating and cutting. 6) The cover sheet adhesive sheet as described above, wherein the adhesive contains a black pigment for light shielding. 7) The adhesive sheet for cover lei, wherein the peelable film is a peel-treated polyester film.

【0008】この発明のカバ−レイ用接着シ−トは、例
えば、柔軟性熱硬化型樹脂を主成分とし潜在性熱硬化機
能を有する接着剤層からなる。この発明においては、こ
の接着剤層からなるカバ−レイ用接着シ−トにはその両
面に剥離性フィルムが積層されていて、例えば配線と重
ね合わせる前に引き剥がし配線と重ね合わせた後に加熱
圧着し熱硬化して積層一体化させることによって、カバ
−フィルムを使用することなく絶縁性の良好な回路基板
を得ることができる。
The cover sheet adhesive cover of the present invention comprises, for example, an adhesive layer containing a flexible thermosetting resin as a main component and having a latent thermosetting function. In the present invention, the cover sheet adhesive sheet comprising this adhesive layer has a peelable film laminated on both sides thereof, and for example, it is peeled off before being overlapped with the wiring and is then heat-pressed after being laminated with the wiring. By thermosetting and laminating and integrating them, a circuit board having good insulating properties can be obtained without using a cover film.

【0009】この発明においては、厚みが3μm〜10
0μmであり、カバ−フィルムを有しないカバ−レイ用
接着シ−トを使用することが必要であり、これによって
回路基板にカ−ルが生じずコンパクトな折り曲げが可能
となる。前記のカバ−レイ用接着シ−トの厚みが3μm
より小さいと配線の埋め込みが充分でなく、100μm
より大きくても効果がなく却って柔軟性が損なわれるの
で好ましくない。また、カバ−レイフィルムを積層した
ものでは、カバ−レイフィルムに通常使用されるポリイ
ミドフィルムと配線を形成している銅との線膨張係数の
差が大きいと回路基板にカ−ルが生じ、またポリイミド
フィルムの線膨張係数を小さくするために高剛性のフィ
ルムを使用すると回路基板をコンパクトに折り曲げるこ
とが困難である。
In the present invention, the thickness is 3 μm to 10 μm.
It is necessary to use a cover ray adhesive sheet having a cover film thickness of 0 .mu.m, which allows a compact bending without curling the circuit board. The thickness of the cover sheet adhesive cover is 3 μm.
If it is smaller than 100 μm, the wiring will not be embedded sufficiently.
Even if it is larger, it is not preferable because it has no effect and rather reduces flexibility. Further, in the case where the cover film is laminated, a curl occurs in the circuit board when the difference in the linear expansion coefficient between the polyimide film normally used for the cover film and the copper forming the wiring is large, If a highly rigid film is used to reduce the linear expansion coefficient of the polyimide film, it is difficult to bend the circuit board compactly.

【0010】この発明における接着剤としては、柔軟性
熱硬化型樹脂、例えばポリイミドシロキサンと少量のエ
ポキシ樹脂と潜在性硬化剤との組み合わせが挙げられる
が、これに限定されない。例えば、ポリブタジエンポリ
オ−ルとポリエステルポリオ−ルなどのポリオ−ルとポ
リブタジエンポリブロックイソシアネ−トと少量のゴム
微粒子と少量のポリアミド微粒子との組み合わせが挙げ
られる。
The adhesive in the present invention includes, but is not limited to, a combination of a flexible thermosetting resin such as polyimide siloxane, a small amount of epoxy resin and a latent curing agent. For example, a combination of a polybutadiene polyol, a polyester such as a polyester polyol, a polybutadiene polyblock isocyanate, a small amount of rubber fine particles and a small amount of polyamide fine particles may be mentioned.

【0011】前記のポリイミドシロキサンは、ジアミノ
ポリシロキサンおよび複数のベンゼン環を有する芳香族
ジアミンと極性基を有する芳香族ジアミンとからなるジ
アミン成分と耐熱性ポリイミドを与え得るテトラカルボ
ン酸類からなるテトラカルボン酸成分とを重合・イミド
化することによって得ることができる。前記のジアミン
成分は、ジアミノポリシロキサン40〜90モル%、複
数のベンゼン環を有する芳香族ジアミン5〜30モル%
および極性基を有する芳香族ジアミン5〜30モル%か
らなるものが好ましい。
The above-mentioned polyimide siloxane is a tetracarboxylic acid composed of a diaminopolysiloxane, a diamine component composed of an aromatic diamine having a plurality of benzene rings and an aromatic diamine having a polar group, and a tetracarboxylic acid capable of providing a heat resistant polyimide. It can be obtained by polymerizing and imidizing the components. The diamine component is 40 to 90 mol% of diaminopolysiloxane and 5 to 30 mol% of aromatic diamine having a plurality of benzene rings.
And 5 to 30 mol% of an aromatic diamine having a polar group.

【0012】また、前記のジアミノポリシロキサンは、
一般式(1) H2N−R1−[Si(R22−O−]n1−Si(R22−R1−NH2 (1) (但し、式中のR1は2価の炭化水素基又はフェニル基
を示し、R2は独立に炭素数1〜3のアルキル基または
フェニル基を示し、n1は3〜30の整数を示す。)で示
されるものが好ましい。前記のジアミノポリシロキサン
の好適な化合物の例としてはα,ω−ビス(2−アミノ
エチル) ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−
アミノプロピル) ポリジメチルシロキサンが挙げられ
る。
The above diaminopolysiloxane is
Formula (1) H 2 N-R 1 - [Si (R 2) 2 -O-] n1 -Si (R 2) 2 -R 1 -NH 2 (1) ( where, R 1 in the formula is 2 A valent hydrocarbon group or a phenyl group, R 2 independently represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms or a phenyl group, and n1 represents an integer of 3 to 30). Examples of suitable compounds of the above diaminopolysiloxane include α, ω-bis (2-aminoethyl) polydimethylsiloxane and α, ω-bis (3-
Aminopropyl) polydimethylsiloxane.

【0013】前記複数のベンゼン環を有する芳香族ジア
ミンは、一般式(2) H2N−[BzX]n2Y[XBz]n2−NH2 (2) (但し、式中のBzはベンゼン環を示し、XおよびYは
独立に直接結合、Bz、CH2、C(CH32、Oまた
はSO2を示し、n2は1またはは2である。)で示され
るものが好ましい。前記の複数のベンゼン環を有する芳
香族ジアミンの好適な具体例としては、2,2−ビス
〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン
(BAPP)を挙げることができる。
The aromatic diamine having a plurality of benzene rings is represented by the general formula (2) H 2 N- [BzX] n2 Y [XBz] n2- NH 2 (2) (wherein Bz in the formula is a benzene ring). X and Y each independently represent a direct bond, Bz, CH 2 , C (CH 3 ) 2 , O or SO 2, and n 2 is 1 or 2). Specific preferred examples of the aromatic diamine having a plurality of benzene rings include 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane.
(BAPP) may be mentioned.

【0014】また、前記極性基を有する芳香族ジアミン
は、一般式(3) H2N−Bz(r1n3Y[XBz(r1n3n4−NH2 (3) (但し、式中のBzはベンゼン環を示し、XおよびYは
独立に直接結合、CH2、C(CH32、O、Bzまた
はSO2を示し、r1はCOOHを示し、n3は1であり、
n4は0または1である。)で示されるものが好ましい。
前記の極性基を有する芳香族ジアミンの好適な具体例と
しては、3,5−ジアミノ安息香酸、ビス(3−カルボ
キシ,4−アミノフェニル)メタンを挙げることができ
る。
Further, the aromatic diamines having a polar group, the general formula (3) H 2 N-Bz (r 1) n3 Y [XBz (r 1) n3] n4 -NH 2 (3) ( where formula Where Bz represents a benzene ring, X and Y independently represent a direct bond, CH 2 , C (CH 3 ) 2 , O, Bz or SO 2 , r 1 represents COOH, n 3 is 1, and
n4 is 0 or 1. ) Are preferable.
Specific preferred examples of the aromatic diamine having a polar group include 3,5-diaminobenzoic acid and bis (3-carboxy, 4-aminophenyl) methane.

【0015】前記の耐熱性ポリイミドを与え得るテトラ
カルボン酸成分としては、3,3’,4,4’−ビフェ
ニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス
(3,4−ジカルボキシフェニル)エ−テル二無水物無
水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物などが挙げ
られる。
As the tetracarboxylic acid component capable of giving the above heat resistant polyimide, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-
Biphenyl tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4
Examples thereof include aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride and bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride anhydrous.

【0016】前記ポリイミドシロキサンは、好適には各
成分を攪拌機を備えた反応槽を用いて有機溶媒中、加湿
窒素の流通下に重合させてポリアミック酸としさらにイ
ミド化するか、あるいはポリアミック酸とする工程を省
略して比較的高温で一段でイミド化してポリイミド重合
体を製造することによって得ることができる。前記の耐
熱性ポリイミドを与え得るテトラカルボン酸成分とジア
ミンとの重合反応は、ランダム、ブロックあるいは2種
以上のホモ反応後の混合(場合により更に再結合反応)
のいずれにより行ってもよい。前記のポリイミドシロキ
サンであるポリイミド重合体は溶液から単離することな
くそのまま使用することもできる。
The above-mentioned polyimide siloxane is preferably prepared by polymerizing each component in a reaction vessel equipped with a stirrer in an organic solvent under the flow of humidified nitrogen to form a polyamic acid, which is further imidized or made into a polyamic acid. It can be obtained by producing a polyimide polymer by omitting steps and performing imidization in a single step at a relatively high temperature. The polymerization reaction of the tetracarboxylic acid component capable of giving the heat-resistant polyimide and the diamine is random, block, or a mixture after homo-reaction of two or more kinds (in some cases, further recombination reaction)
Any of the above may be used. The polyimide polymer, which is the above-mentioned polyimide siloxane, can be used as it is without being isolated from the solution.

【0017】各成分を有機溶媒中、各成分の反応割合を
ジアミン全量に対してテトラカルボン酸成分がほぼ当量
となる量、好適にはジアミン1モルに対してテトラカル
ボン酸成分が0.95〜1.2モル程度のモル比にして
反応させることによって得ることができる。また、ポリ
イミドシロキサンとしては、高分子量のものからオリゴ
マ−といわれるものも使用できるが、対数粘度(0.5
g/100ml)が0.16〜3のものが好ましい。
In the organic solvent of each component, the reaction ratio of each component is such that the tetracarboxylic acid component is approximately equivalent to the total amount of diamine, preferably 0.95 to tetracarboxylic acid component per mol of diamine. It can be obtained by reacting in a molar ratio of about 1.2 mol. Also, as the polyimide siloxane, those called from oligomers from high molecular weight can be used, but the logarithmic viscosity (0.5
g / 100 ml) is preferably 0.16 to 3.

【0018】上記の反応における有機溶媒としては、含
窒素系溶媒、例えばN,N−ジメチルアセトアミド、
N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホル
ムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル
−2−ピロリドン、エ−テル系溶媒例えばジエチレング
リコ−ルジメチルエ−テル(ジグライム)、トリエチレ
ングリコ−ルジメチルエ−テル(トリグライム)、テト
ラグライム、ジオキサン、テトラヒドロフラン、γ−ブ
チロラクトンなどの有機極性溶媒を挙げることができ
る。
As the organic solvent in the above reaction, a nitrogen-containing solvent such as N, N-dimethylacetamide,
N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, ether solvents such as diethylene glycol dimethyl ether (diglyme), triethylene glycol dimethyl ether Organic polar solvents such as ter (triglyme), tetraglyme, dioxane, tetrahydrofuran and γ-butyrolactone can be mentioned.

【0019】前記のエポキシ樹脂としては、ポリフェノ
−ル類化合物のグリシジルエ−テル化合物である多官能
エポキシ樹脂、各種ノボラック樹脂のグリシジルエ−テ
ル化物である多官能エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹
脂、脂肪族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グ
リシジルエステル系エポキシ樹脂、グリシジルアミン系
エポキシ樹脂、ハロゲン化フェノ−ル類をグリシジル化
したエポキシ樹脂などが挙げられる。ここに、多官能エ
ポキシ樹脂とはグリシジル基を2つ以上有するエポキシ
樹脂のことである。
As the above-mentioned epoxy resin, a polyfunctional epoxy resin which is a glycidyl ether compound of a polyphenol compound, a polyfunctional epoxy resin which is a glycidyl ether of various novolak resins, an alicyclic epoxy resin, an aliphatic resin Examples thereof include epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester epoxy resins, glycidyl amine epoxy resins, and epoxy resins obtained by glycidylating halogenated phenols. Here, the polyfunctional epoxy resin is an epoxy resin having two or more glycidyl groups.

【0020】ポリフェノ−ル類化合物のグリシジルエ−
テル化物である多官能エポキシ樹脂としては、例えばビ
スフェノ−ルA、ビスフェノ−ルF、ビスフェノ−ル
S、4,4’−ビフェニルフェノ−ル、テトラメチルビ
スフェノ−ルA、ジメチルビスフェノ−ルA、テトラメ
チルビスフェノ−ルF、ジメチルビスフェノ−ルF、テ
トラメチルビスフェノ−ルS、ジメチルビスフェノ−ル
S、テトラメチル−4,4’−ビフェノ−ル、ジメチル
−4,4’−ビフェニルフェノ−ル、1−(4−ヒドロ
キシフェニル)−2−[4−(1,1−ビス−(4−ヒ
ドロキシフェニル)エチル)フェニル]プロパン、2,
2’−メチレン−ビス(4−メチル−6−tert−ブ
チルフェノ−ル)、4,4’−ブチリデン−ビス(3−
メチル−6−tert−ブチルフェノ−ル)、トリスヒ
ドロキシフェニルメタン、レゾルシノ−ル、ハイドロキ
ノン、ピロガロ−ル、ジイソプロピリデン骨格を有する
フェノ−ル類、1,1−ジ−4−ヒドロキシフェニルフ
ルオレン等のフルオレン骨格を有するフェノ−ル類、フ
ェノ−ル化ポリブタジエン等のポリフェノ−ル化合物の
グリシジルエ−テル化物である多官能エポキシ樹脂が挙
げられる。
Glycidyl ether, a polyphenol compound
Examples of the polyfunctional epoxy resin that is a telluride include bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, 4,4'-biphenylphenol, tetramethylbisphenol A, and dimethylbisphenol. A, tetramethylbisphenol F, dimethylbisphenol F, tetramethylbisphenol S, dimethylbisphenol S, tetramethyl-4,4'-biphenol, dimethyl-4,4 ' -Biphenylphenol, 1- (4-hydroxyphenyl) -2- [4- (1,1-bis- (4-hydroxyphenyl) ethyl) phenyl] propane, 2,
2'-methylene-bis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 4,4'-butylidene-bis (3-
Methyl-6-tert-butylphenol), trishydroxyphenylmethane, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, phenols having a diisopropylidene skeleton, 1,1-di-4-hydroxyphenylfluorene, etc. Examples thereof include polyfunctional epoxy resins which are glycidyl ether compounds of polyphenol compounds such as phenols having a fluorene skeleton and phenolated polybutadiene.

【0021】各種ノボラック樹脂のグリシジルエ−テル
化物である多官能エポキシ樹脂としては、例えばフェノ
−ル、クレゾ−ル類、エチルフェノ−ル類、ブチルフェ
ノ−ル類、オクチルフェノ−ル類、ビスフェノ−ルA、
ビスフェノ−ルF、ビスフェノ−ルS、ナフト−ル類等
の各種フェノ−ルを原料とするノボラック樹脂、キシリ
レン骨格含有フェノ−ルノボラック樹脂、ジシクロペン
タジエン骨格含有フェノ−ルノボラック樹脂、ビフェニ
ル骨格含有フェノ−ルノボラック樹脂、フルオレン骨格
含有フェノ−ルノボラック樹脂、フラン骨格含有フェノ
−ルノボラック樹脂等の各種ノボラック樹脂のグリシジ
ルエ−テル化物が挙げられる。
Examples of polyfunctional epoxy resins which are glycidyl ether compounds of various novolac resins include phenol, cresols, ethylphenols, butylphenols, octylphenols, and bisphenol A. ,
Novolak resins starting from various phenols such as bisphenol F, bisphenol S, and naphthols, phenol novolak resins containing xylylene skeleton, phenol novolac resins containing dicyclopentadiene skeleton, and phenol containing biphenyl skeleton. Examples thereof include glycidyl ether compounds of various novolac resins such as a lunovolac resin, a fluorene skeleton-containing phenol novolac resin, and a furan skeleton-containing phenol novolac resin.

【0022】脂環式エポキシ樹脂としては、例えばシク
ロヘキサン等の脂肪族骨格を有する脂環式エポキシ樹脂
が挙げられ、脂肪族系エポキシ樹脂としては、例えば
1,4−ブタンジオ−ル、1,6−ヘキサンジオ−ル、
ポリエチレングリコ−ル、ペンタエリスリト−ル等の多
価アルコ−ルのグリシジルエ−テル類が挙げられる。
Examples of the alicyclic epoxy resin include alicyclic epoxy resins having an aliphatic skeleton such as cyclohexane, and examples of the aliphatic epoxy resin include 1,4-butanediol and 1,6- Hexanediol,
Examples thereof include polyhydric alcohol glycidyl ethers such as polyethylene glycol and pentaerythritol.

【0023】複素環式エポキシ樹脂としては、例えばイ
ソシアヌル環、ヒダントイン環等の複素環を有する複素
環式エポキシ樹脂が挙げられ、グリシジルエステル系エ
ポキシ樹脂としては、例えばヘキサヒドロフタル酸ジグ
リシジルエステル等のカルボン酸類からなるエポキシ樹
脂が挙げられ、グリシジルアミン系エポキシ樹脂として
は、例えばアニリン、トルイジン等のアミン類をグリシ
ジル化したエポキシ樹脂が挙げられる。
Examples of the heterocyclic epoxy resin include heterocyclic epoxy resins having a heterocycle such as isocyanuric ring and hydantoin ring. Examples of the glycidyl ester-based epoxy resin include hexahydrophthalic acid diglycidyl ester. Examples of the epoxy resin include carboxylic acids, and examples of the glycidylamine-based epoxy resin include epoxy resins obtained by glycidylating amines such as aniline and toluidine.

【0024】ハロゲン化フェノ−ル類をグリシジル化し
たエポキシ樹脂としては、例えばブロム化ビスフェノ−
ルA、ブロム化ビスフェノ−ルF、ブロム化ビスフェノ
−ルS、ブロム化フェノ−ルノボラック、ブロム化クレ
ゾ−ルノボラック、クロル化ビスフェノ−ルS、クロル
化ビスフェノ−ルA等のハロゲン化フェノ−ル類をグリ
シジル化したエポキシ樹脂が挙げられる。
Examples of epoxy resins obtained by glycidylating halogenated phenols include brominated bisphenols.
And halogenated phenols such as brominated bisphenol F, brominated bisphenol S, brominated phenol novolac, brominated cresol novolac, chlorinated bisphenol S and chlorinated bisphenol A. An epoxy resin obtained by glycidylating is mentioned.

【0025】これらエポキシ樹脂のうち、どのエポキシ
樹脂を用いるかは要求される特性によって適宜選択され
るが、グリシジルエ−テル型エポキシ樹脂が好ましく、
更に好ましくは、ビスフェノ−ルA型エポキシ樹脂、ビ
スフェノ−ルF型エポキシ樹脂、フェノ−ルノボラック
型エポキシ樹脂、クレゾ−ルノボラック型エポキシ樹
脂、フェノ−ル骨格とナフト−ル骨格を有するノボラッ
ク型エポキシ樹脂、フェノ−ル骨格とビフェニル骨格を
有するノボラック型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン
骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペン
タジエン骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂であ
る。フェノ−ル骨格とナフト−ル骨格を有するノボラッ
ク型エポキシ樹脂は、フェノ−ル骨格中にメチル基を有
するものがより好ましい。これらエポキシ樹脂は耐熱
性、難燃性付与等必要に応じ1種又は2種以上の混合物
として用いることが出来る。
Among these epoxy resins, which epoxy resin is used is appropriately selected according to the required characteristics, but a glycidyl ether type epoxy resin is preferable,
More preferably, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a phenol novolac type epoxy resin, a cresol novolac type epoxy resin, a novolak type epoxy resin having a phenol skeleton and a naphthol skeleton, It is a novolac type epoxy resin having a phenol skeleton and a biphenyl skeleton, a novolac type epoxy resin having a triphenylmethane skeleton, and a novolac type epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton. The novolac type epoxy resin having a phenol skeleton and a naphthol skeleton more preferably has a methyl group in the phenol skeleton. These epoxy resins can be used as one kind or a mixture of two or more kinds according to need such as imparting heat resistance and flame retardancy.

【0026】市販品としては、例えば、ビスフェノ−ル
A型あるいはビスフェノ−ルF型エポキシ樹脂として油
化シェルエポキシ社製の商品名:エピコ−ト807、8
28、828EL、多官能型エポキシ樹脂として例え
ば、住友化学工業株式会社製、ELM−100など、グ
リシジルアミン型エポキシ樹脂として例えば、三菱ガス
化学株式会社製、商品名:テトラッドX、フェノ−ル骨
格とナフト−ル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂
として、例えば、NC−7000(商品名:日本化薬社
製)、NC−7300(商品名:日本化薬社製)、フェ
ノ−ル骨格とビフェニル骨格を有するノボラック型エポ
キシ樹脂はNC−3000P(商品名:日本化薬社
製)、トリフェニルメタン骨格を有するノボラック型エ
ポキシ樹脂はEPPN−501H、EPPN−502H
(商品名:日本化薬社製)、ジシクロペンタジエン骨格
を有するノボラック型エポキシ樹脂はXD−1000
(商品名:日本化薬社製)が挙げられる。前記のエポキ
シ樹脂は、融点が90℃以下、特に0〜80℃程度であ
るもの、あるいは、30℃以下の温度で液状であるもの
が特に好ましい。
Commercially available products are, for example, Bisphenol A type or Bisphenol F type epoxy resin, trade name: Epicort 807, 8 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.
28,828 EL, polyfunctional epoxy resin such as Sumitomo Chemical Co., Ltd., ELM-100, and glycidyl amine epoxy resin such as Mitsubishi Gas Chemical Co., Inc., trade name: Tetrad X, phenol skeleton. As the novolac type epoxy resin having a naphthol skeleton, for example, NC-7000 (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), NC-7300 (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), a phenol skeleton and a biphenyl skeleton are used. The novolac type epoxy resin has NC-3000P (trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), and the novolac type epoxy resin having a triphenylmethane skeleton is EPPN-501H, EPPN-502H.
(Trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), a novolac type epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton is XD-1000.
(Trade name: manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.). It is particularly preferable that the epoxy resin has a melting point of 90 ° C. or lower, particularly about 0 to 80 ° C., or is a liquid at a temperature of 30 ° C. or lower.

【0027】前記の潜在性硬化剤としては、例えば酸無
水物、フェノ−ル類、イミダゾ−ル類、ジヒドラジン
類、ルイス酸、ブレンステッド酸塩類、ポリメルカプト
ン類、イソシアネ−ト類、ブロックイソシアネ−ト類等
が挙げられ、特にイミダゾル類うが好適である。この潜
在性硬化剤とは溶媒除去のための乾燥時に硬化しないこ
とを意味する。硬化剤は適宜公知の硬化促進剤とともに
使用してもよい。
Examples of the latent curing agent include acid anhydrides, phenols, imidazoles, dihydrazines, Lewis acids, Bronsted acid salts, polymercaptons, isocyanates, and blocks. Examples thereof include isocyanates, and imidazoles are particularly preferable. This latent curing agent means that it does not cure when dried for solvent removal. The curing agent may be appropriately used together with a known curing accelerator.

【0028】前記の酸無水物としては、例えばフタル酸
無水物、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無水
物、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレン
グリコ−ル無水トリメリット酸無水物、ビフェニルテト
ラカルボン酸無水物等の芳香族カルボン酸無水物、アゼ
ライン酸、セバシン酸、ドデカン二酸等の脂肪族カルボ
ン酸の無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒ
ドロフタル酸無水物、ナジック酸無水物、ヘット酸無水
物、ハイミック酸無水物等の脂環式カルボン酸無水物が
挙げられる。
Examples of the above-mentioned acid anhydrides include phthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic acid anhydride, ethylene glycol anhydride trimellitic acid anhydride and biphenyltetracarboxylic acid. Aromatic carboxylic acid anhydride such as acid anhydride, aliphatic carboxylic acid anhydride such as azelaic acid, sebacic acid, dodecanedioic acid, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, nadic acid anhydride, het Examples thereof include alicyclic carboxylic acid anhydrides such as acid anhydrides and hymic acid anhydrides.

【0029】前記のフェノ−ル類としては、例えばビス
フェノ−ルA、ビスフェノ−ルF、ビスフェノ−ルS、
4,4’−ビフェニルフェノ−ル、テトラメチルビスフ
ェノ−ルA、ジメチルビスフェノ−ルA、テトラメチル
ビスフェノ−ルF、ジメチルビスフェノ−ルF、テトラ
メチルビスフェノ−ルS、ジメチルビスフェノ−ルS、
テトラメチル−4,4’−ビフェノ−ル、ジメチル−
4,4’−ビフェニルフェノ−ル、1−(4−ヒドロキ
シフェニル)−2−[4−(1,1−ビス−(4−ヒド
ロキシフェニル)エチル)フェニル]プロパン、2,
2’−メチレン−ビス(4−メチル−6−tert−ブ
チルフェノ−ル)、4,4’−ブチリデン−ビス(3−
メチル−6−tert−ブチルフェノ−ル)、トリスヒ
ドロキシフェニルメタン、レゾルシノ−ル、ハイドロキ
ノン、ピロガロ−ル、ジイソプロピリデン骨格を有する
フェノ−ル類、1,1−ジ−4−ヒドロキシフェニルフ
ルオレン等のフルオレン骨格を有するフェノ−ル類、フ
ェノ−ル化ポリブタジエン、フェノ−ル、クレゾ−ル
類、エチルフェノ−ル類、ブチルフェノ−ル類、オクチ
ルフェノ−ル類、ビスフェノ−ルA、ビスフェノ−ル
F、ビスフェノ−ルS、ナフト−ル類等の各種フェノ−
ルを原料とするノボラック樹脂、キシリレン骨格含有フ
ェノ−ルノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン骨格含
有フェノ−ルノボラック樹脂、ビフェニル骨格含有フェ
ノ−ルノボラック樹脂、フルオレン骨格含有フェノ−ル
ノボラック樹脂、フラン骨格含有フェノ−ルノボラック
樹脂等の各種ノボラック樹脂、ブロム化ビスフェノ−ル
A、ブロム化ビスフェノ−ルF、ブロム化ビスフェノ−
ルS、ブロム化フェノ−ルノボラック、ブロム化クレゾ
−ルノボラック、クロル化ビスフェノ−ルS、クロル化
ビスフェノ−ルA等のハロゲン化フェノ−ル類が挙げら
れる。
Examples of the above-mentioned phenols include bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S,
4,4'-biphenylphenol, tetramethylbisphenol A, dimethylbisphenol A, tetramethylbisphenol F, dimethylbisphenol F, tetramethylbisphenol S, dimethylbisphenol Phenolic S,
Tetramethyl-4,4'-biphenol, dimethyl-
4,4'-biphenylphenol, 1- (4-hydroxyphenyl) -2- [4- (1,1-bis- (4-hydroxyphenyl) ethyl) phenyl] propane, 2,
2'-methylene-bis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 4,4'-butylidene-bis (3-
Methyl-6-tert-butylphenol), trishydroxyphenylmethane, resorcinol, hydroquinone, pyrogallol, phenols having a diisopropylidene skeleton, 1,1-di-4-hydroxyphenylfluorene, etc. A phenol having a fluorene skeleton, a phenolated polybutadiene, a phenol, a cresol, an ethylphenol, a butylphenol, an octylphenol, a bisphenol A, a bisphenol F, Various phenols such as bisphenol S and naphthols
-Based novolak resin, xylylene skeleton-containing phenol novolak resin, dicyclopentadiene skeleton-containing phenol novolak resin, biphenyl skeleton-containing phenol novolak resin, fluorene skeleton-containing phenol novolak resin, furan skeleton-containing phenol novolac resin, etc. Various novolak resins, brominated bisphenol A, brominated bisphenol F, brominated bisphenol
And halogenated phenols such as brominated phenol novolac, brominated cresol novolac, chlorinated bisphenol S and chlorinated bisphenol A.

【0030】前記のイミダゾ−ル類としては、例えば2
−エチル−4−メチルイミダゾ−ル(2E4MZと略記
することもある。)、2−メチルイミダゾ−ル、2−フ
ェニルイミダゾ−ル、2−ウンデシルイミダゾ−ル、2
−ヘプタデシルイミダゾ−ル、2−フェニル−4−メチ
ルイミダゾ−ル、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾ
−ル、1−ベンジル−2−メチルイミダゾ−ル、1−シ
アノエチル−2−メチルイミダゾ−ル、1−シアノエチ
ル−2−フェニルイミダゾ−ル、1−シアノエチル−2
−ウンデシルイミダゾ−ル、2,4−ジアミノ−6
(2’−メチルイミダゾ−ル(1’))エチル−s−ト
リアジン、2,4−ジアミノ−6(2’−ウンデシルイ
ミダゾ−ル(1’))エチル−s−トリアジン、2,4
−ジアミノ−6(2’−エチル,4−メチルイミダゾ−
ル(1’))エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミ
ノ−6(2’−メチルイミダゾ−ル(1’))エチル−
s−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2-メチルイ
ミダゾ−ルイソシアヌル酸の2:3付加物、2−フェニ
ルイミダゾ−ルイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−
3,5−ジヒドロキシメチルイミダゾ−ル、2−フェニ
ル−4−ヒドロキシメチル−5−メチルイミダゾ−ル、
1−シアノエチル−2−フェニル−3,5−ジシアノエ
トキシメチルイミダゾ−ルの各種イミダゾ−ル類、及
び、それらイミダゾ−ル類とフタル酸、イソフタル酸、
テレフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフ
タレンジカルボン酸、マレイン酸、蓚酸等の多価カルボ
ン酸との塩類が挙げられる。
Examples of the above-mentioned imidazoles include 2
-Ethyl-4-methylimidazole (sometimes abbreviated as 2E4MZ), 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-undecylimidazole, 2
-Heptadecyl imidazole, 2-phenyl-4-methyl imidazole, 1-benzyl-2-phenyl imidazole, 1-benzyl-2-methyl imidazole, 1-cyanoethyl-2-methyl imidazole , 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2
-Undecyl imidazole, 2,4-diamino-6
(2′-Methylimidazole (1 ′)) ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 (2′-undecylimidazole (1 ′)) ethyl-s-triazine, 2,4
-Diamino-6 (2'-ethyl, 4-methylimidazo-
(1 ′)) ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 (2′-methylimidazole (1 ′)) ethyl-
s-Triazine / isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid 2: 3 adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-
3,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-hydroxymethyl-5-methylimidazole,
Various imidazoles of 1-cyanoethyl-2-phenyl-3,5-dicyanoethoxymethylimidazole, and those imidazoles and phthalic acid, isophthalic acid,
Examples thereof include salts with polyvalent carboxylic acids such as terephthalic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, naphthalenedicarboxylic acid, maleic acid and oxalic acid.

【0031】前記の各成分の割合は、ポリイミドシロキ
サン100重量部に対してエポキシ樹脂が1〜50重量
部、特に5〜50重量部であり、エポキシ樹脂100重
量部に対して潜在性硬化剤、好適にはイミダゾ−ル類が
0.01〜10重量部であることが好ましい。前記の3
成分の他に、無機充填剤、例えば、タルク、マイカ、硫
酸バリウム、粉末状シリカ(消泡剤として機能する。)
をポリイミドシロキサン100重量部に対して1〜25
重量部(合計量)配合することが好ましい。また、遮光
用の黒色顔料を配合してもよい。
The proportion of each of the above components is 1 to 50 parts by weight, especially 5 to 50 parts by weight of epoxy resin to 100 parts by weight of polyimide siloxane, and a latent curing agent to 100 parts by weight of epoxy resin, It is preferable that the amount of imidazole is 0.01 to 10 parts by weight. 3 of the above
In addition to the components, inorganic fillers such as talc, mica, barium sulphate, powdered silica (functioning as a defoamer).
1 to 25 with respect to 100 parts by weight of polyimide siloxane
It is preferable to add parts by weight (total amount). Further, a black pigment for shading may be blended.

【0032】この発明における接着剤は、例えばポリイ
ミドシロキサン、エポキシ樹脂および潜在性硬化剤、好
適にはイミダゾ−ル類を前記の有機溶媒に溶解して得ら
れる接着剤溶液、あるいはポリイミドシロキサンの有機
溶媒溶液に他の成分を加えて得られる接着剤溶液を剥離
性フィルムに厚み約10〜300μm程度に塗布し、加
熱乾燥して厚み3〜100μmの乾燥塗膜を形成するこ
とによって得られる。また、この発明のカバ−レイ用接
着シ−トは、前記の剥離性フィルムに積層した接着剤面
にさらに剥離性フィルムを積層することによって得られ
る。前記の剥離性フィルムとしては、ポリエステルフィ
ルムやポリ4−メチルペンテン−1フィルム、好適には
ポリエステルフィルムの少なくとも片面を剥離処理した
ものが挙げられる。
The adhesive in the present invention is, for example, an adhesive solution obtained by dissolving polyimide siloxane, an epoxy resin and a latent curing agent, preferably imidazoles in the above organic solvent, or an organic solvent of polyimide siloxane. The adhesive solution obtained by adding other components to the solution is applied to a peelable film to a thickness of about 10 to 300 μm, and dried by heating to form a dry coating film having a thickness of 3 to 100 μm. The cover sheet adhesive sheet of the present invention can be obtained by further laminating a peelable film on the adhesive surface laminated on the peelable film. Examples of the releasable film include polyester films and poly-4-methylpentene-1 films, and preferably those obtained by subjecting at least one surface of a polyester film to a release treatment.

【0033】この発明において、前記のカバ−レイ用接
着剤でカバ−する金属配線としては、基板、例えばセラ
ミック基板、ガラス繊維強化エポキシ樹脂基板、フレキ
シブル基板など、好適には高耐熱性芳香族ポリイミドを
主要構成材とするポリイミド層と熱圧着性および/また
は柔軟性を有する低ガラス転移温度のポリイミド層とか
らなる多層ポリイミドフィルムからなるポリイミドフィ
ルムと金属層とが積層された金属−ポリイミド積層体の
金属層をエッチングしてパタ−ン化し、端子を設けた金
属配線基板などの配線が挙げられる。両面配線基板の場
合には、両面に金属層を有する金属−ポリイミド積層体
に金属−絶縁層−金属層を貫通するスル−ホ−ルを穿
ち、露出した絶縁層に化学的方法により金属層を吸着さ
せ、さらに電気銅メッキして電気銅メッキ層を形成し、
両面の金属にエッチングを施した後、スルホ−ル部位お
よび端子部位を金メッキして、両面導通型配線基板を得
ることができる。前記の金属−ポリイミド積層体として
は、好適にはラミネ−ト法、キャスティング法あるいは
金属蒸着法−銅メッキ法によって得られる、ポリイミド
層と銅層とを積層したオ−ルポリイミドのポリイミド−
銅積層体が挙げられる。
In the present invention, the metal wiring covered with the above-mentioned cover ray adhesive is a substrate, for example, a ceramic substrate, a glass fiber reinforced epoxy resin substrate, a flexible substrate, or the like, preferably a high heat resistant aromatic polyimide. Of a metal-polyimide laminate in which a polyimide film comprising a multilayer polyimide film comprising a polyimide layer containing as a main constituent material and a polyimide layer having a low glass transition temperature having thermocompression bonding property and / or flexibility and a metal layer are laminated. A wiring such as a metal wiring board provided with terminals by etching a metal layer to form a pattern can be used. In the case of a double-sided wiring substrate, a metal-polyimide laminate having metal layers on both sides is provided with a through hole penetrating the metal-insulating layer-metal layer, and the exposed insulating layer is provided with a metal layer by a chemical method. Adsorb, then electro copper plating to form electro copper plating layer,
After etching the metal on both surfaces, the sulfol portion and the terminal portion can be plated with gold to obtain a double-sided conduction type wiring board. The metal-polyimide laminate is preferably obtained by laminating method, casting method or metal vapor deposition method-copper plating method, polyimide of an all-polyimide in which a polyimide layer and a copper layer are laminated-
A copper laminated body is mentioned.

【0034】特に、配線として、好適には芳香族テトラ
カルボン酸成分としてビフェニルテトラカルボン酸成分
を含有しガラス転移温度が300℃以上であるかガラス
転移温度が測定できない高耐熱性芳香族ポリイミドを主
要構成材とするポリイミドフィルムであって該ポリイミ
ドフィルムの少なくとも片面にガラス転移温度が200
〜375℃の熱圧着性および/または柔軟性を有する低
ガラス転移温度のポリイミド樹脂層を有し、低ガラス転
移温度のポリイミド樹脂のガラス転移温度が高耐熱性芳
香族ポリイミドのガラス転移温度以下であるポリイミド
フィルムに、前記熱圧着性および/または柔軟性を有す
るポリイミド樹脂層介して金属層が積層された金属層積
層体の金属層をパタ−ン化しさらに銅メッキして得られ
る基板の配線が挙げられる。
In particular, as the wiring, a high heat-resistant aromatic polyimide which preferably contains a biphenyltetracarboxylic acid component as an aromatic tetracarboxylic acid component and has a glass transition temperature of 300 ° C. or higher or whose glass transition temperature cannot be measured is mainly used. A polyimide film as a constituent material having a glass transition temperature of 200 on at least one surface of the polyimide film.
Having a low glass transition temperature polyimide resin layer having a thermocompression bonding property of ˜375 ° C. and / or flexibility, and the glass transition temperature of the low glass transition temperature polyimide resin is not higher than the glass transition temperature of the high heat-resistant aromatic polyimide. A wiring of a substrate obtained by patterning a metal layer of a metal layer laminate in which a metal layer is laminated on a certain polyimide film through the polyimide resin layer having the thermocompression bonding property and / or flexibility and further copper plating is performed. Can be mentioned.

【0035】前記のポリイミドフィルムは、例えば芳香
族テトラカルボン酸成分としてビフェニルテトラカルボ
ン酸成分を含有する高耐熱性の芳香族ポリイミド前駆体
溶液乾燥膜の片面あるいは両面に耐熱性とともに熱圧着
性および/または柔軟性を有するポリイミド前駆体溶液
を積層した後、あるいはより好ましくは、共押出し−流
延製膜法によって高耐熱性の芳香族ポリイミドの前駆体
溶液の片面あるいは両面に耐熱性とともに熱圧着性およ
び/または柔軟性を有するポリイミド前駆体溶液を積層
した後、乾燥、イミド化して多層ポリイミドフィルムを
得る方法によって得ることができる。
The above polyimide film has, for example, heat resistance and thermocompression bonding property on one or both surfaces of a highly heat resistant aromatic polyimide precursor solution dried film containing a biphenyltetracarboxylic acid component as an aromatic tetracarboxylic acid component. After laminating a polyimide precursor solution having flexibility, or more preferably, coextrusion-thermocompression bonding with heat resistance on one side or both sides of the precursor solution of a highly heat-resistant aromatic polyimide by a casting film forming method. And / or a polyimide precursor solution having flexibility is laminated, then dried and imidized to obtain a multilayer polyimide film.

【0036】前記の高耐熱性の芳香族ポリイミドは、好
適には3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸二無水物(以下単にs−BPDAと略記することもあ
る。)とパラ−フェニレンジアミン(以下単にPPDと
略記することもある。)と場合によりさらに4,4’−
ジアミノジフェニルエ−テル(以下単にDADEと略記
することもある。)および/またはピロメリット酸二無
水物(以下単にPMDAと略記することもある。)とか
ら製造される。この場合PPD/DADE(モル比)は
100/0〜10/90、特に100/0〜85/15
であることが好ましい。また、s−BPDA/PMDA
は100:0〜15/85、特に100:0〜50/5
0であることが好ましい。
The above-mentioned highly heat-resistant aromatic polyimide is preferably para and 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as s-BPDA). -Phenylenediamine (hereinafter sometimes abbreviated as PPD) and optionally 4,4'-
It is produced from diaminodiphenyl ether (hereinafter sometimes simply referred to as DADE) and / or pyromellitic dianhydride (hereinafter sometimes simply referred to as PMDA). In this case, PPD / DADE (molar ratio) is 100/0 to 10/90, especially 100/0 to 85/15.
Is preferred. In addition, s-BPDA / PMDA
Is 100: 0 to 15/85, especially 100: 0 to 50/5
It is preferably 0.

【0037】前記の高耐熱性のポリイミドとしては、単
層のポリイミドフィルムの場合にガラス転移温度が30
0℃以上であるものが好ましく、特に350℃未満の温
度では確認不可能であるものが好ましく、特に線膨張係
数(50〜200℃)(MD、TDおよびこれらの平均
のいずれも)が5×10-6〜25×10-6cm/cm/
℃であるものが好ましい。この高耐熱性のポリイミドの
合成は、最終的に各成分の割合が前記範囲内であればラ
ンダム重合、ブロック重合、ブレンドあるいはあらかじ
め2種類以上のポリイミド前駆体溶液を合成しておき各
ポリイミド前駆体溶液を混合して各ポリイミド前駆体の
再結合によって共重合体を得る、いずれの方法によって
も達成される。
The above-mentioned high heat resistant polyimide has a glass transition temperature of 30 in the case of a single layer polyimide film.
Those having a temperature of 0 ° C. or higher are preferable, and those which cannot be confirmed particularly at a temperature of lower than 350 ° C. are preferable, and particularly, the linear expansion coefficient (50 to 200 ° C.) (MD, TD and any of these averages) is 5 × 10 −6 to 25 × 10 −6 cm / cm /
What is ° C is preferred. In the synthesis of this highly heat resistant polyimide, finally, if the ratio of each component is within the above range, random polymerization, block polymerization, blending or preliminarily synthesizing two or more kinds of polyimide precursor solutions is performed. It can be achieved by any method in which the solution is mixed and the copolymer is obtained by recombination of the respective polyimide precursors.

【0038】前記の熱圧着性および/または柔軟性を有
する樹脂層としては、Tg:ガラス転移温度が200〜
275℃である熱圧着性ポリイミドを挙げることができ
る。特に、1,3−ビス(4−アミノフェノキシベンゼ
ン)(以下、TPERと略記することもある。)と2,
3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
(以下、a−BPDAと略記することもある。)とから
製造される熱圧着性ポリイミドが好適に挙げられる。あ
るいは、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(ODP
A)およびピロメリット酸二無水物と1,3−ビス(4
−アミノフェノキシベンゼン)とから製造される熱圧着
性ポリイミドが挙げられる。さらに、1,3−ビス(3
−アミノフェノキシ)ベンゼンと3,3’,4,4’−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物とから、ある
いは3,3’−ジアミノベンゾフェノンおよび1,3−
ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼンと3,3’,
4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物と
から製造される熱圧着性ポリイミドが挙げられる。ま
た、前記の耐熱性とともに熱圧着性および/または柔軟
性を有する樹脂として、3,3’,4,4’−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物と4,4’−ジアミノジフ
ェニルエ−テルとから製造される柔軟な(従って伸びが
大きい)ポリイミドを挙げることができる。
The resin layer having thermocompression bonding property and / or flexibility has Tg: glass transition temperature of 200 to
The thermocompression-bonding polyimide which is 275 degreeC can be mentioned. In particular, 1,3-bis (4-aminophenoxybenzene) (hereinafter sometimes abbreviated as TPER) and 2,
A thermocompression-bondable polyimide produced from 3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as a-BPDA) is preferable. Alternatively, 4,4′-oxydiphthalic acid dianhydride (ODP
A) and pyromellitic dianhydride and 1,3-bis (4
-Aminophenoxybenzene). Furthermore, 1,3-bis (3
-Aminophenoxy) benzene and 3,3 ', 4,4'-
From benzophenone tetracarboxylic dianhydride, or from 3,3'-diaminobenzophenone and 1,3-
Bis (3-aminophenoxy) benzene and 3,3 ′,
Thermocompression-bondable polyimide produced from 4,4′-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride can be mentioned. Further, as the resin having thermocompression bonding property and / or flexibility in addition to the heat resistance, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether are used. Mention may be made of the flexible (and thus high elongation) polyimides produced.

【0039】この耐熱性とともに熱圧着性および/また
は柔軟性を有するポリイミド前駆体の溶液を前記の高耐
熱性の芳香族ポリイミド前駆体の溶液乾燥膜の片面ある
いは両面に塗布して積層した後、あるいは、共押出し−
流延製膜法によって、耐熱性とともに熱圧着性および/
または柔軟性を有するポリイミドの前駆体溶液を高耐熱
性の芳香族ポリイミド前駆体溶液の片面あるいは両面に
積層した後、乾燥、イミド化して得られる多層ポリイミ
ドフィルムは、好適にはプラズマ放電処理などの表面処
理した後、直接金属層を形成して積層体を得ることがで
きる。
A solution of the polyimide precursor having thermocompression bonding property and / or flexibility together with the heat resistance is applied to one side or both sides of the solution dried film of the above-mentioned highly heat resistant aromatic polyimide precursor and laminated, Alternatively, coextrusion-
Heat resistance as well as thermocompression bonding and / or
Alternatively, a multilayer polyimide film obtained by laminating a polyimide precursor solution having flexibility on one or both sides of a highly heat-resistant aromatic polyimide precursor solution, and then drying and imidizing is preferably plasma discharge treatment or the like. After the surface treatment, a metal layer can be directly formed to obtain a laminate.

【0040】前記のポリイミド前駆体のゲル化を制限す
る目的でリン系安定剤、例えば亜リン酸トリフェニル、
リン酸トリフェニル等をポリアミック酸重合時に固形分
(ポリマ−)濃度に対して0.01〜1%の範囲で添加
することができる。また、イミド化促進の目的で、ド−
プ液中に塩基性有機化合物系触媒を添加することができ
る。例えば、イミダゾ−ル、2−イミダゾ−ル、1,2
−ジメチルイミダゾ−ル、2−フェニルイミダゾ−ルな
どをポリアミック酸(固形分)に対して0.01〜20
重量%、特に0.5〜10重量%の割合で使用すること
ができる。これらは比較的低温でポリイミドフィルムを
形成するため、イミド化が不十分となることを避けるた
めに使用する。また、接着強度の安定化の目的で、芳香
族ポリイミド原料ド−プに有機アルミニウム化合物、無
機アルミニウム化合物または有機錫化合物を添加しても
よい。例えば水酸化アルミニウム、アルミニウムトリア
セチルアセトナ−トなどをポリアミック酸(固形分)に
対してアルミニウムまたは錫金属として1ppm以上、
特に1〜1000ppmの割合で添加することができ
る。
For the purpose of limiting gelation of the above polyimide precursor, a phosphorus-based stabilizer such as triphenyl phosphite,
Triphenyl phosphate or the like can be added in the range of 0.01 to 1% with respect to the solid content (polymer) concentration during polyamic acid polymerization. For the purpose of promoting imidization,
A basic organic compound catalyst can be added to the solution. For example, imidazole, 2-imidazole, 1,2
-Dimethylimidazole, 2-phenylimidazole, etc. relative to polyamic acid (solid content) of 0.01 to 20
It can be used in proportions by weight, in particular 0.5 to 10% by weight. Since these form a polyimide film at a relatively low temperature, they are used in order to avoid insufficient imidization. Further, for the purpose of stabilizing the adhesive strength, an organic aluminum compound, an inorganic aluminum compound or an organic tin compound may be added to the aromatic polyimide raw material dope. For example, aluminum hydroxide, aluminum triacetylacetonate, etc. as aluminum or tin metal with respect to polyamic acid (solid content) of 1 ppm or more,
In particular, it can be added in a proportion of 1 to 1000 ppm.

【0041】前記のポリイミド前駆体を製造するために
使用する有機溶媒は、高耐熱性の芳香族ポリイミドおよ
び熱圧着性および/または柔軟性の芳香族ポリイミドの
いずれに対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,
N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホ
キシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプ
ロラクタム、クレゾ−ル類などが挙げられ、これらの有
機溶媒は単独で用いてもよく2種以上を併用してもよ
い。
The organic solvent used for producing the above-mentioned polyimide precursor is N-methyl-ether for both highly heat-resistant aromatic polyimide and thermocompression-bondable and / or flexible aromatic polyimide. 2-pyrrolidone, N,
N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, dimethylsulfoxide, hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, cresols and the like can be mentioned, and these organic solvents can be used alone. Alternatively, two or more kinds may be used in combination.

【0042】前記の多層ポリイミドフィルムの製造にお
いては、塗布−流延製膜法、例えば高耐熱性の芳香族ポ
リイミド前駆体の溶液乾燥膜の片面あるいは両面に熱圧
着性および/または柔軟性の芳香族ポリイミド前駆体の
溶液塗布するか、あるいは共押出し−流延製膜法、例え
ば特開平3−180343号公報(特公平7−1026
61号公報)に記載の共押出法によって二層あるいは三
層の押出し成形用ダイスに供給し、支持体上にキャスト
しておこなうことができる。高耐熱性の芳香族ポリイミ
ドを与える押出し物層の片面あるいは両面に、熱圧着性
および/または柔軟性の芳香族ポリイミド前駆体溶液を
塗布・積層して多層フィルム状物を形成して乾燥後、熱
圧着性および/または柔軟性の芳香族ポリイミドのガラ
ス転移温度(Tg)以上で劣化が生じる温度以下の温
度、好適には300〜500℃の温度(表面温度計で測
定した表面温度)まで加熱して(好適にはこの温度で1
〜60分間加熱して)乾燥およびイミド化して、高耐熱
性(基体層)の芳香族ポリイミドの片面あるいは両面に
熱圧着性および/または柔軟性の芳香族ポリイミドを有
する多層ポリイミドフィルムを製造することができる。
In the production of the above-mentioned multilayer polyimide film, a coating-casting film-forming method, for example, a solution-dried film of a highly heat-resistant aromatic polyimide precursor having one side or both sides having a thermocompression-bonding and / or flexible fragrance is used. Group polyimide precursor solution coating or coextrusion-casting film forming method, for example, JP-A-3-180343 (Japanese Patent Publication No. 7-1026).
It can be carried out by supplying it to a two-layer or three-layer extrusion molding die by the coextrusion method described in JP-A No. 61) and casting it on a support. On one or both sides of the extrudate layer that gives a highly heat-resistant aromatic polyimide, a thermocompression-bonding and / or flexible aromatic polyimide precursor solution is applied and laminated to form a multilayer film-like product, and after drying, Heating to a temperature not lower than the glass transition temperature (Tg) of the thermocompression-bondable and / or flexible aromatic polyimide to cause deterioration, preferably 300 to 500 ° C (surface temperature measured by a surface thermometer). (Preferably 1 at this temperature
Drying and imidizing (by heating for ~ 60 minutes) to produce a multilayer polyimide film having a thermocompression-bonding and / or flexible aromatic polyimide on one or both sides of a highly heat-resistant (base layer) aromatic polyimide. You can

【0043】前記の高耐熱性の(基体層)ポリイミド層
は、厚みが5〜50μm、特に約5〜約40μm、その
中でも約5〜約25μmであることが好ましい。5μm
未満では作成した多層ポリイミドフィルムの機械的強
度、寸法安定性に問題が生じる。また50μmより厚く
なるとファインパタ−ン化に不利である。また、熱圧着
性および/または柔軟性の芳香族ポリイミド層は、厚み
が0.03〜10μm程度であることが好ましい。ま
た、多層ポリイミドフィルムは厚みが約7〜約50μm
程度、特に7〜40μm程度、その中でも7〜25μm
程度であることが好ましい。7μm未満では作成したフ
ィルムの取り扱いが難しく、厚みが大きくなるほどファ
インパタ−ン化に不利である。特に、多層ポリイミドフ
ィルムとして、両面に熱圧着性および/または柔軟性の
ポリイミド層を有し、全体の厚みが約7〜50μm程度
であって引張弾性率(25℃)が400〜1000kg
f/mm2程度であるものが高密度化の点から好まし
い。
The high heat resistant (base layer) polyimide layer has a thickness of 5 to 50 μm, particularly about 5 to about 40 μm, and preferably about 5 to about 25 μm. 5 μm
If it is less than the above range, problems occur in the mechanical strength and dimensional stability of the multilayer polyimide film produced. On the other hand, if the thickness is more than 50 μm, it is disadvantageous for fine patterning. The thermocompression-bondable and / or flexible aromatic polyimide layer preferably has a thickness of about 0.03 to 10 μm. The thickness of the multilayer polyimide film is about 7 to about 50 μm.
Degree, especially about 7-40 μm, among which 7-25 μm
It is preferably about the same. If it is less than 7 μm, it is difficult to handle the produced film, and the thicker it is, the more disadvantageous it is for fine patterning. In particular, as a multilayer polyimide film, it has thermocompression-bonding and / or flexible polyimide layers on both sides, the total thickness is about 7 to 50 μm, and the tensile elastic modulus (25 ° C.) is 400 to 1000 kg.
It is preferably f / mm 2 from the viewpoint of high density.

【0044】この発明において配線を構成する金属層積
層体の金属層としては、好適には圧延銅箔、電解銅箔、
蒸着および/またはメッキ銅膜などがあげられる。金属
箔として、表面粗度の余り大きくなくかつ余り小さくな
い、好適にはポリイミドとの接触面のRzが3μm以
下、特に0.5〜3μm、その中でも特に1.5〜3μ
mであるものが好ましい。このような金属箔、例えば銅
箔はVLP、LP(またはHTE)として知られてい
る。金属箔の厚さは、3μm〜35μm程度、特に3μ
m〜12μm程度、その中でも特に3μm〜9μm程度
であることが好ましい。金属箔の厚みが大きくなるほど
ファインパタ−ン化に不利である。また、Rzが小さい
場合には、金属箔表面を表面処理したものを使用しても
よい。
In the present invention, the metal layer of the metal layer laminate constituting the wiring is preferably a rolled copper foil, electrolytic copper foil,
Examples include vapor deposition and / or plated copper film. As the metal foil, the surface roughness is not so large and not so small, preferably Rz of the contact surface with polyimide is 3 μm or less, particularly 0.5 to 3 μm, and particularly 1.5 to 3 μm among them.
Those with m are preferred. Such metal foils, eg copper foils, are known as VLPs, LPs (or HTEs). The thickness of the metal foil is about 3 μm to 35 μm, especially 3 μm.
It is preferably about m to 12 μm, and particularly preferably about 3 to 9 μm. The larger the thickness of the metal foil, the more disadvantageous it is for fine patterning. When Rz is small, a metal foil surface-treated may be used.

【0045】前記の金属層積層体は、好適には前記の熱
圧着性多層ポリイミドフィルムと金属箔とを、ロ−ルラ
ミネ−トあるいはダブルベルトプレスなどの連続ラミネ
−ト装置であって、熱圧着性多層ポリイミドフィルムの
みあるいは熱圧着性多層ポリイミドフィルムと金属箔を
導入する直前のインラインで150〜250℃程度、特
に150℃より高く250℃以下の温度で2〜120秒
間程度予熱できるように熱風供給装置や赤外線加熱機な
どの予熱器を用いて予熱して、加熱圧着して張り合わせ
ることによって、フレキシブル金属箔積層体である積層
体を得ることができる。前記のダブルベルトプレスは、
加圧下に高温加熱−冷却を行うことができるものであっ
て、熱媒を用いた液圧式のものが好ましい。
The above-mentioned metal layer laminate is preferably a continuous laminator such as a roll laminate or a double belt press, in which the thermocompression-bonding multilayer polyimide film and the metal foil are thermocompression-bonded. Hot multi-layer polyimide film only or hot air supply so that it can be preheated at about 150 to 250 ° C, especially at a temperature higher than 150 ° C and below 250 ° C for about 2 to 120 seconds immediately before introducing the thermocompression-bonding multilayer polyimide film and metal foil. A laminate that is a flexible metal foil laminate can be obtained by preheating with a device or a preheater such as an infrared heater, and thermocompression bonding. The double belt press is
A high pressure heating-cooling under pressure and a liquid pressure type using a heating medium is preferable.

【0046】特に、前記の金属層積層体は、好適にはロ
−ルラミネ−トまたはダブルベルトプレスの加熱圧着ゾ
−ンの温度が熱圧着性ポリイミドのガラス転移温度より
20℃以上高く400℃以下の温度、特にガラス転移温
度より30℃以上高く400℃以下の温度で加圧下に熱
圧着し、特にダブルベルトプレスの場合には引き続いて
冷却ゾ−ンで加圧下に冷却して、好適には熱圧着性ポリ
イミドのガラス転移温度より20℃以上低い温度、特に
30℃以上低い温度まで冷却して、積層することによっ
て製造することができる。
Particularly, in the above-mentioned metal layer laminate, the temperature of the thermocompression bonding zone of a roll laminate or a double belt press is preferably 20 ° C. or more and 400 ° C. or less higher than the glass transition temperature of the thermocompression bonding polyimide. Temperature, especially at a temperature higher than the glass transition temperature of 30 ° C. or higher and a temperature of 400 ° C. or lower under pressure, particularly in the case of a double belt press, followed by cooling under pressure with a cooling zone, preferably, It can be produced by cooling to a temperature lower than the glass transition temperature of the thermocompression-bondable polyimide by 20 ° C. or more, particularly 30 ° C. or more, and laminating.

【0047】前記の方法において、特にダブルベルトプ
レスを用いて加圧下に熱圧着−冷却して積層することに
よって、得られるフレキシブル金属箔積層体は、長尺で
幅が約400mm以上、特に約500mm以上の幅広
の、接着強度が大きく(90°ピ−ル強度:0.8kg
/cm以上、特に1kg/cm以上)、金属箔表面に皺
が実質的に認めれられない程外観が良好な積層体を得る
ことができる。
In the above-mentioned method, the flexible metal foil laminate obtained by thermocompression-cooling under pressure using a double belt press and laminating, has a long length and a width of about 400 mm or more, particularly about 500 mm. Wide adhesive strength above (90 ° peel strength: 0.8kg
/ Cm or more, particularly 1 kg / cm or more), a laminate having a good appearance can be obtained so that wrinkles are not substantially observed on the metal foil surface.

【0048】また、前記の金属層積層体は、高耐熱性芳
香族ポリイミド層の両面に柔軟性ポリイミドを積層一体
化したポリイミドフィルムをプラズマ放電などの放電処
理して、蒸着法、メッキ法などによって、特に蒸着法に
よって下地金属層を形成し、その下地金属層上に銅メッ
キ層を形成して金属膜を形成することによって得ること
ができる。
In the metal layer laminate, a polyimide film in which flexible polyimides are laminated and integrated on both sides of a high heat resistant aromatic polyimide layer is subjected to discharge treatment such as plasma discharge, and then deposited by a vapor deposition method, a plating method or the like. Particularly, it can be obtained by forming a base metal layer by a vapor deposition method, forming a copper plating layer on the base metal layer, and forming a metal film.

【0049】前記の金属蒸着層の積層は、例えば、真空
蒸着法、電子ビ−ム蒸着法、スパッタリング法などの物
理化学的な蒸着法によって特に好適に行うことができ
る。蒸着法としては、真空度が10-7〜10-2Torr
程度であり、蒸着速度が50〜5000Å/秒程度であ
って、さらに、蒸着基板(フィルム)の温度が20〜6
00℃程度であることが好ましい。スパッタリング法に
おいて、特にRFマグネットスパッタリング法が好適で
あり、その際の真空度が1Torr以下、特に10-3
10-2Torr程度であり、基板(フィルム)温度が2
0〜450℃程度であって、その層の形成速度が0.5
〜500Å/秒程度であることが好ましい。
Lamination of the metal vapor deposition layer can be particularly suitably carried out by a physicochemical vapor deposition method such as a vacuum vapor deposition method, an electron beam vapor deposition method or a sputtering method. As a vapor deposition method, the degree of vacuum is 10 -7 to 10 -2 Torr.
The vapor deposition rate is about 50 to 5000 Å / sec, and the temperature of the vapor deposition substrate (film) is about 20 to 6
It is preferably about 00 ° C. Among the sputtering methods, the RF magnet sputtering method is particularly suitable, and the degree of vacuum at that time is 1 Torr or less, particularly 10 −3 to
It is about 10 -2 Torr and the substrate (film) temperature is 2
0-450 ℃, the formation rate of the layer is 0.5
It is preferably about 500 Å / sec.

【0050】前記の金属膜の材質としては、金属蒸着層
の下地層として、クロム、チタン、ニッケル、モリブデ
ン、亜鉛、錫、パラジウムなどを使用しその上に表面層
として銅あるいは銅合金(特に銅−ニッケル合金)を使
用してもよい。下地層の厚みは通常1μm以下程度であ
る。このようにして得られた銅メッキ層を形成する。メ
ッキ層の形成は、電解メッキ単独あるいは無電解メッキ
次いで電解メッキのいずれでもよい。前記金属膜は厚み
が、3μm〜12μm程度、特に3μm〜9μm程度で
あることが好ましい。金属膜の厚みが大きくなるほどフ
ァインパタ−ン化に不利である。また、前記のスパッタ
・蒸着法を含めて金属膜形成を連続ロ−ルで行うことが
好ましい。
As the material of the metal film, chromium, titanium, nickel, molybdenum, zinc, tin, palladium or the like is used as a base layer of the metal vapor deposition layer, and copper or a copper alloy (especially copper) is used as a surface layer thereon. -Nickel alloys) may be used. The thickness of the underlayer is usually about 1 μm or less. The copper plating layer thus obtained is formed. The plating layer may be formed by electrolytic plating alone, electroless plating, and then electrolytic plating. It is preferable that the metal film has a thickness of about 3 μm to 12 μm, particularly about 3 μm to 9 μm. The larger the thickness of the metal film, the more unfavorable for fine patterning. Further, it is preferable that the metal film formation including the above-mentioned sputtering / vapor deposition method is performed by a continuous roll.

【0051】この金属層積層体から、通常、金属層をそ
れ自体公知の方法、例えば、積層体の金属箔にポジ型フ
ォトレジストを塗布乾燥した後、紫外線などで露光及び
アルカリ現像を行って、例えば直径30〜150μmの
孔を100〜200μm間隔で配列したレジストパタ−
ンを作成し、次いで塩化第二鉄含有エッチング液で露光
している金属箔をエッチングしてパタ−ンを形成し端子
を設けて配線基板を得ることができる。また、所望のパ
タ−ンにエッチングされた金属箔をマスクとして用い、
ポリイミド層をそれ自体公知の方法、例えば特開平10
−97081号公報に記載のエタノ−ルアミンあるいは
イソまたはジプロパノ−ルアミン20〜50重量%と水
酸化カリウム(KOH)25〜40重量%と水25〜4
0重量%とからなるエッチング液をポリイミドフィルム
に50〜80℃で5〜20分間程度(ポリイミドフィル
ム厚みが50μmの場合)、好適には超音波発信器を備
えたエッチング装置を用いて、接触させて処理すること
によってポリイミドフィルムをケミカルエッチングし
て、フィルムに貫通穴(スル−ホ−ル)を形成して、基
板とすることができる。
From this metal layer laminated body, a metal layer is usually coated by a method known per se, for example, by coating a positive type photoresist on a metal foil of the laminated body and drying, and then exposing to an ultraviolet ray and alkali developing, For example, a resist pattern in which holes having a diameter of 30 to 150 μm are arranged at intervals of 100 to 200 μm.
Then, the metal foil exposed with the ferric chloride-containing etching solution is etched to form a pattern and terminals are provided to obtain a wiring board. Also, using a metal foil etched into a desired pattern as a mask,
The polyimide layer can be formed by a method known per se, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
-97081, 20-50% by weight of ethanolamine or iso- or dipropanolamine, 25-40% by weight of potassium hydroxide (KOH), and 25-4 of water.
An etching solution consisting of 0 wt% is brought into contact with the polyimide film at 50 to 80 ° C. for about 5 to 20 minutes (when the polyimide film thickness is 50 μm), preferably using an etching device equipped with an ultrasonic transmitter. By subjecting the polyimide film to chemical treatment, the polyimide film can be chemically etched to form through holes in the film to form a substrate.

【0052】あるいは、片面の金属層を化学エッチング
して所定形状のパタ−ン形成した後、残部の金属層をマ
スクとしてポリイミド層にレ−ザ−を照射して約3〜3
00μmφ、好適には約30〜300μmφ、特に約5
0〜100μmφの貫通穴を形成する。そして、レ−ザ
−加工部を前記と同様にデスミア処理した後、他の金属
層にはパタ−ン形成して、基板とすることができる。
Alternatively, the metal layer on one surface is chemically etched to form a pattern having a predetermined shape, and then the remaining polyimide layer is irradiated with a laser using the remaining metal layer as a mask for about 3 to 3 times.
00 μmφ, preferably about 30-300 μmφ, especially about 5
A through hole having a diameter of 0 to 100 μm is formed. Then, after the laser processing portion is desmeared in the same manner as described above, a pattern can be formed on another metal layer to form a substrate.

【0053】前記の金属メッキ層の形成において、金属
メッキ条件としては、例えば、酸性浴の浴組成が、硫酸
銅などの金属塩50〜200g/l(特に50〜100
g/l)、硫酸100〜300g/l、および場合によ
りさらに光沢剤少量であり、そして、メッキ操作条件と
して、温度20〜30℃程度、陰極電流密度2〜8A/
dm2、空気攪拌、陰極効率95〜100%、陽極/陰
極面積比1:1、陰極がロ−ル銅、常時濾過、電圧6V
以下の条件であることが好ましい。また、メッキ金属層
の厚みは1μm〜18μm程度であることが好ましく、
全金属層の厚みはレ−ザ−加工前の金属層の厚みに前記
の厚みを加えて2〜35μm程度であることが好まし
い。
In forming the metal plating layer, the metal plating conditions are, for example, 50 to 200 g / l (particularly 50 to 100) of metal salt such as copper sulfate as the acid bath composition.
g / l), sulfuric acid 100 to 300 g / l, and optionally a small amount of brightener, and the plating operation conditions are a temperature of about 20 to 30 ° C. and a cathode current density of 2 to 8 A /.
dm2, air agitation, cathode efficiency 95-100%, anode / cathode area ratio 1: 1, cathode copper roll, constant filtration, voltage 6V
The following conditions are preferable. The thickness of the plated metal layer is preferably about 1 μm to 18 μm,
The total metal layer thickness is preferably about 2 to 35 .mu.m, which is the thickness of the metal layer before laser processing plus the above thickness.

【0054】この発明の回路基板は、好適には剥離フィ
ルム付きのカバ−レイ用接着シ−トに配線の端子部に合
わせて穴明け加工、好適には穴明け加工と裁断加工した
後、剥離フィルムを除いて基板の配線、好適にはフレキ
シブルプリント配線板に、重ねあわせて50〜200
℃、5〜100kgf/cmで1〜60分間程度、加
熱圧着し、好適にはさらに100〜200℃で10〜6
0分間程度加熱して、カバ−レイ用接着シ−トでカバ−
された回路基板を得ることができる。この発明のカバ−
レイ用接着シ−トは、好適には引張弾性率が約20〜5
0kgf/mmである。また、この発明の回路基板
は、線間絶縁抵抗値が1×1010〜1×1015Ωで
ある。また、この発明の回路基板は、スス潜り距離が1
〜100mmである。
The circuit board of the present invention is preferably peeled off after being subjected to perforation processing, preferably perforation processing and cutting processing, according to the terminal portion of the wiring, on an adhesive sheet for a cover ray having a release film. Except for the film, the wiring of the substrate, preferably a flexible printed wiring board, is overlapped with 50 to 200
C., 5 to 100 kgf / cm.sup.2 for about 1 to 60 minutes, and thermocompression bonding, preferably 10 to 6 at 100 to 200.degree.
Heat for about 0 minutes and cover with an adhesive sheet for cover lei.
It is possible to obtain a printed circuit board. Cover of this invention
The adhesive sheet for lei preferably has a tensile modulus of about 20-5.
It is 0 kgf / mm 2 . The circuit board of the present invention has a line insulation resistance value of 1 × 10 10 to 1 × 10 15 Ω. In addition, the circuit board of the present invention has a soot dive distance of 1
~ 100 mm.

【0055】[0055]

【実施例】以下にこの発明の実施例を示す。以下の各例
において部は重量部を示し、各例の測定は以下に示す試
験方法によって行った。分子量の目安としての対数粘度
inh)は、樹脂成分濃度が0.5g/100ml溶媒
となるように、をN−メチル−2−ピロリドンに均一に
溶解して樹脂溶液を調整し、その溶液の溶液粘度及び溶
媒のみの溶媒粘度をキャノンフェンスケ型粘度計を用い
て30℃で測定し、常法により求めた。接着剤溶液の固
形分濃度は、アルミカップに接着剤溶液を1g精秤し、
200℃の熱風乾燥機で1時間、加熱乾燥させた後の重
量から算出した。
EXAMPLES Examples of the present invention will be shown below. In the following examples, parts represent parts by weight, and the measurement of each example was carried out by the test method shown below. Logarithmic viscosity as a measure of molecular weight
inh ) is adjusted to a resin solution by uniformly dissolving in N-methyl-2-pyrrolidone so that the resin component concentration becomes 0.5 g / 100 ml solvent, and the solution viscosity of the solution and the solvent only The solvent viscosity was measured at 30 ° C. using a Canon Fenske type viscometer and determined by a conventional method. For the solid content concentration of the adhesive solution, precisely measure 1 g of the adhesive solution in an aluminum cup,
It was calculated from the weight after heating and drying for 1 hour with a hot air dryer at 200 ° C.

【0056】カバ−レイ用接着シ−トでカバ−された回
路基板の線間絶縁抵抗は、JIS-C-6471、7.4項に従い、
測定した。カバ−レイ用接着シ−トでカバ−された回路
基板のスズメッキ液のスズ゛潜り距離は、IPC規格の
Aパ−タンに従って、35μm厚みの銅箔を用いて作成
した、櫛型電極(165μmのライン&スペ−ス)の配
線パタ−ンに実施例では、50μm厚みの接着シ−トで
カバ−(貼り合せ)後、比較例では、コ−ト剤を50μ
m厚みとなるようにスクリ−ン印刷後、メッキ液(シプ
レ−社製、LT−34)に70℃、4分浸漬後、被覆下
の端子部へのメッキ液の潜り込み部分(変色部分)を顕微
鏡観察により、その距離を測定した。測定資料における
スズ潜り距離の平均値(任意の5点)で表示した。スズ
潜り距離が小さいほど好ましい。カバ−レイ用接着シ−
トの引張弾性率を、ASTM D882に従って測定し
た。
The line-to-line insulation resistance of the circuit board covered with the cover sheet adhesive sheet is in accordance with JIS-C-6471, item 7.4.
It was measured. The tin dip distance of the tin plating solution on the circuit board covered with the cover sheet adhesive sheet is a comb-shaped electrode (165 μm) prepared by using a 35 μm-thick copper foil in accordance with the IPC standard A pattern. Line and space) in the embodiment, after covering (bonding) with an adhesive sheet having a thickness of 50 μm, in the comparative example, a coating agent of 50 μm is used.
After screen-printing to a thickness of m, dip it in plating solution (LT-34 manufactured by Shipley Co., Ltd.) at 70 ° C for 4 minutes, and then remove the part (discolored part) where the plating solution goes into the terminal under the coating. The distance was measured by microscopic observation. The average value of tin dive distance in the measurement data (5 arbitrary points) was displayed. The smaller the tin diving distance is, the more preferable. Adhesive sheet for cover ray
Tensile modulus of elasticity was measured according to ASTM D882.

【0057】参考例1 温度計、仕込み口、留出口及び攪拌機を備えた容量2リ
ットルのガラスス製フラスコに2,3,3’,4’−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物0.7モルル、メチ
ルトリグライム(TG)510gを入れ、窒素気流中で
160℃まで昇温して溶解させ、これにω,ω'−ビス
(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン(信越
シリコン社製、KF−8010、アミン価450)0.
49モル、TG255gを加えて190℃に昇温して1
時間攪拌した。その後、3,5−ジアミノ安息香酸及び
2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]プロパンを共に0.105モル、TG254gを入
れ、反応液を190℃、15時間攪拌した。反応後の重
合溶液のηinhは、0.2であった。
Reference Example 1 0.7 mol of 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and methyl were placed in a glass flask having a capacity of 2 liters equipped with a thermometer, a charging port, a distillation outlet and a stirrer. Triglyme (TG) (510 g) was added, the temperature was raised to 160 ° C. in a nitrogen stream to dissolve, and ω, ω′-bis (3-aminopropyl) polydimethylsiloxane (KF-8010, manufactured by Shin-Etsu Silicon Co., Ltd., Amine value 450) 0.
49 moles and 255 g of TG were added and the temperature was raised to 190 ° C to 1
Stir for hours. Thereafter, 0.105 mol of both 3,5-diaminobenzoic acid and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and 254 g of TG were added, and the reaction solution was stirred at 190 ° C. for 15 hours. The η inh of the polymerization solution after the reaction was 0.2.

【0058】参考例2 参考例1で製造したポリイミドシロシロキサン溶液10
0重量部に対してエポキシ樹脂(油化シェルエポキシシ社
製、エピコ−ト1002)12重量部、タルク(日本タ
ルク社社製、P−3)2.6重量部、2−エチル−4−
メチルイミダゾ−ル(四国化成工業社製、2E4MZ)
0.52重量部、消泡剤(ダウコ−ニング社製、DB−
100)1.546重量部を配合して固形分濃度50%
接着剤溶液を作成した。
Reference Example 2 Polyimide silosiloxane solution 10 produced in Reference Example 1
Epoxy resin (Okaka Shell Epoxy Co., Ltd., Epicote 1002) 12 parts by weight, talc (Nippon Talc Co., Ltd., P-3) 2.6 parts by weight, 2-ethyl-4-
Methyl imidazole (2E4MZ, manufactured by Shikoku Chemicals)
0.52 parts by weight, antifoaming agent (DB-made by Dow Corning)
100) 1.546 parts by weight of solid content 50%
An adhesive solution was prepared.

【0059】実施例1 参考例2で得られた接着剤溶液を剥離性ポリエステルフ
ィルム(PETフィルム、厚み38μm)上にロ−ルコ
−タ−で均一塗工し、100℃から150℃へ段階的に
昇温させた連続乾燥炉において加熱乾燥処理して、カバ
−レイ用接着シ−トを製造した。塗布厚みを60μmに
した場合には、接着層厚みは30μmで、塗布厚みを1
00μmとした場合には接着層厚みは50μmであっ
た。これらのカバ−レイ用接着シ−トの引張弾性率は、
いずれも約40kgf/mmであった。
Example 1 The adhesive solution obtained in Reference Example 2 was uniformly coated on a peelable polyester film (PET film, thickness 38 μm) with a roll coater, and the temperature was gradually increased from 100 ° C. to 150 ° C. The adhesive sheet for cover lei was manufactured by heat-drying in a continuous drying oven heated to 1. When the coating thickness is 60 μm, the adhesive layer thickness is 30 μm and the coating thickness is 1
When the thickness was 00 μm, the adhesive layer thickness was 50 μm. The tensile elastic modulus of these cover sheet adhesive sheets is
All were about 40 kgf / mm 2 .

【0060】実施例2 100℃に調整したプレス機に、165μmのライン&
スペ−スにパタ−ンエッチングし端子を設けた銅配線基
板[電解銅箔(35μm厚み)と基板:ユ−ピレックス
VTフィルム(宇部興産社製、厚み25μm、3層構造
のポリイミドフィルム)とのラミネ−ト法によるポリイ
ミド−銅箔積層体を使用]と、実施例1で製造した厚み
が50μmのカバ−レイ用接着シ−トに配線基板の端子
部に合わせて打ち抜き加工したシ−トを重ね合せてセッ
トし、圧力を3mpaに昇圧後、プレス温度を160℃
に昇温させ、160℃で15分間保持した。プレス機か
ら取出し、熱風乾燥機で180℃、30分間硬化を進
め、反りの無いカバ−レイ用接着シ−トでカバ−した回
路基板を得た。これをスズメッキ液(シプレ−社製、L
T−34)に70℃、4分間浸漬させた後、顕微鏡にて
スズ゛潜りの距離を測定した。測定結果を以下に示す。 スズ゛潜り距離:90μm
Example 2 A 165 μm line and a press machine adjusted to 100 ° C. were used.
A copper wiring substrate [electrolytic copper foil (35 μm thick) and substrate: U-Pyrex VT film (manufactured by Ube Industries, 25 μm thick, three-layered polyimide film) having pattern-etched terminals and provided with terminals] Using a polyimide-copper foil laminate by the laminating method], and a sheet punched in accordance with the terminal portion of the wiring board to the adhesive sheet for cover layer having a thickness of 50 μm manufactured in Example 1 Set them on top of each other, raise the pressure to 3mpa, and then press at 160 ℃
The temperature was raised to and held at 160 ° C for 15 minutes. The circuit board was taken out from the press and cured by a hot air dryer at 180 ° C. for 30 minutes to obtain a circuit board covered with a warp-free adhesive sheet for cover ray. This is a tin plating solution (made by Shipley, L
After dipping in T-34) at 70 ° C. for 4 minutes, the distance of tin diving was measured with a microscope. The measurement results are shown below. Swing distance: 90 μm

【0061】また、別途にJIS−C−6471、7.
2項に従ってパタ−ンエッチングした銅配線基板(ポリ
イミド−銅箔積層体は前記と同じものを使用。)に同様
にして得られた回路基板をについて、線間絶縁抵抗値を
測定した。測定結果を以下に示す。 線間絶縁抵抗値:2×1013Ω
In addition, JIS-C-6471, 7.
A circuit board obtained in the same manner as the copper wiring board (polyimide-copper foil laminate having the same structure as described above) pattern-etched according to item 2 was measured for insulation resistance between lines. The measurement results are shown below. Insulation resistance between wires: 2 × 10 13 Ω

【0062】比較例1 カバ−フィルムを有するカバ−レイフィルム(ニッカン
工業社製、CKSE)を用いた他は実施例1と同様にし
て、カバ−レイフィルムでカバ−した回路基板を得た。
回路基板には、反りが発生した。測定結果を以下に示
す。 線間絶縁抵抗値;1.1×107Ω
Comparative Example 1 A circuit board covered with a cover film was obtained in the same manner as in Example 1 except that a cover film having a cover film (CKSE manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd.) was used.
The circuit board was warped. The measurement results are shown below. Insulation resistance between wires; 1.1 × 10 7 Ω

【0063】比較例2 参考例2で得られた接着剤溶液を用いて、165μmの
ライン&スペ−スにパタ−ンエッチングした銅配線基板
に、印刷版を使用して端子部を除いてスクリ−ン印刷に
よりコ−トし、160℃、1時間加熱処理により硬化さ
せた他は実施例2と同様にして、接着剤硬化膜でカバ−
した回路基板を得た。スズ゛潜りの距離を測定した。測
定結果を以下に示す。 スズ゛潜り距離:200μm
Comparative Example 2 A copper wiring board pattern-etched to a line and space of 165 μm using the adhesive solution obtained in Reference Example 2 was used to screen except a terminal portion using a printing plate. Coating with an adhesive-cured film in the same manner as in Example 2 except that the coating was performed by printing and cured by heating at 160 ° C. for 1 hour.
The obtained circuit board was obtained. The distance of diving was measured. The measurement results are shown below. Swing distance: 200 μm

【0064】[0064]

【発明の効果】この発明による回路基板は、反りがな
く、線間絶縁性に優れ、金メッキの際のスッズメッキの
潜り込み距離が小さく、回路基板の最終製品の品質を高
めることができる。
EFFECTS OF THE INVENTION The circuit board according to the present invention has no warpage, is excellent in inter-line insulation, has a small penetration distance of suds plating during gold plating, and can improve the quality of the final product of the circuit board.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、この発明の一例であるカバ−レイ用接
着シ−トによってカバ−された回路基板の断面概略図で
ある。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a circuit board covered by an adhesive sheet for a cover ray which is an example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 回路基板 2 カバ−レイ用接着シ−ト 3 基板であるポリイミドフィルム 4 銅箔 1 circuit board 2 Cover sheet adhesive sheet 3 Substrate polyimide film 4 copper foil

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】厚みが3μm〜100μmであり、カバ−
フィルムを有しないカバ−レイ用接着シ−トによって配
線がカバ−された回路基板。
1. A cover having a thickness of 3 μm to 100 μm.
A circuit board whose wiring is covered by an adhesive sheet for a cover ray that does not have a film.
【請求項2】カバ−レイ用接着シ−トが、エポキシ基と
の反応性基を有するポリイミドシロキサン、少量のエポ
キシ樹脂およびイミダゾ−ル類からなる請求項1に記載
の回路基板。
2. The circuit board according to claim 1, wherein the cover sheet adhesive cover comprises a polyimidesiloxane having a group reactive with an epoxy group, a small amount of an epoxy resin, and imidazoles.
【請求項3】カバ−レイ用接着シ−トが、穴明け加工し
た後フレキシブルプリント配線板に加熱圧着されてカバ
−された請求項1に記載の回路基板。
3. The circuit board according to claim 1, wherein the cover sheet adhesive sheet is covered with a flexible printed wiring board by heat-pressing after perforating.
【請求項4】配線が、ラミネ−ト法、キャスティング法
あるいは金属蒸着法−銅メッキ法によってポリイミド層
と銅層とを積層したオ−ルポリイミドのポリイミド−銅
積層体から得られたものである請求項1に記載の回路基
板。
4. The wiring is obtained from a polyimide-copper laminate of all-polyimide in which a polyimide layer and a copper layer are laminated by a laminating method, a casting method or a metal deposition method-copper plating method. The circuit board according to claim 1.
【請求項5】配線が、ポリイミド−銅積層体のポリイミ
ド層にレ−ザ−加工あるいはケミカルエッチングによっ
て形成されたスル−ホ−ルに銅メッキし、さらに金属メ
ッキしたものである請求項4に記載の回路基板。
5. The wiring is copper-plated on a through hole formed by laser processing or chemical etching on a polyimide layer of a polyimide-copper laminate, and further metal-plated. The described circuit board.
【請求項6】カバ−レイ用接着シ−トが、穴明け加工お
よび裁断加工した後フレキシブルプリント配線板に加熱
圧着されてカバ−された請求項1に記載の回路基板。
6. The circuit board according to claim 1, wherein the cover sheet adhesive sheet is covered with a flexible printed wiring board by thermocompression bonding after punching and cutting.
【請求項7】請求項1に記載の回路基板に使用される、
接着剤の両面に剥離性フィルムが積層されたカバ−レイ
用接着シ−ト。
7. A circuit board according to claim 1,
An adhesive sheet for cover lei, in which a peelable film is laminated on both sides of an adhesive.
【請求項8】接着剤が、遮光用の黒色顔料を含む請求7
に記載のカバ−レイ用接着シ−ト。
8. The adhesive contains a black pigment for light shielding.
An adhesive sheet for cover lei according to item 1.
【請求項9】剥離性フィルムが、剥離処理されたポリエ
ステルフィルムである請求7に記載のカバ−レイ用接着
シ−ト。
9. The adhesive sheet for cover lei according to claim 7, wherein the peelable film is a polyester film subjected to a peeling treatment.
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