JP2003133108A - Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein - Google Patents

Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein

Info

Publication number
JP2003133108A
JP2003133108A JP2001327468A JP2001327468A JP2003133108A JP 2003133108 A JP2003133108 A JP 2003133108A JP 2001327468 A JP2001327468 A JP 2001327468A JP 2001327468 A JP2001327468 A JP 2001327468A JP 2003133108 A JP2003133108 A JP 2003133108A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
thick film
printing
resin
burnout
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001327468A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003133108A5 (en
Inventor
Suguru Toyama
英 遠山
Takeo Kida
剛男 木田
Tatsuki Hirano
立樹 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kamaya Electric Co Ltd
Original Assignee
Kamaya Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kamaya Electric Co Ltd filed Critical Kamaya Electric Co Ltd
Priority to JP2001327468A priority Critical patent/JP2003133108A/en
Publication of JP2003133108A publication Critical patent/JP2003133108A/en
Publication of JP2003133108A5 publication Critical patent/JP2003133108A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Printing Methods (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing electronic parts and a burnout resin paste for use therein whereby preventing a sag or flow of a film material to be formed using a thick paste in the manufacture of various electronic parts, and improving a yield of production substantially. SOLUTION: The method for manufacturing electronic parts having an insulating substrate and a film member formed by printing and baking a thick film paste thereon comprises the steps of: (a) forming a dam by printing and drying a burnout resin paste in a portion which includes a region where a sag and flow may occur at the time of forming the film member using the thick film paste, and which does not impair the printing of the thick film paste; (b) printing the thick film paste, then drying the same; and (c) baking a dried paste product formed in the step (b) to obtain the film member, and evaporating the dam formed in the step (a).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス粉末及び/
又は金属粉末を含む厚膜ペーストにより形成した各種膜
部材を備えた、例えば、コンデンサ素子、インダクタ素
子、抵抗器、ヒューズ、並びに各種集積回路等の電子部
品の製造方法及び該方法に用いる材料に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to glass powder and / or
Alternatively, the present invention relates to a method for manufacturing electronic components such as capacitor elements, inductor elements, resistors, fuses, and various integrated circuits, which are provided with various film members formed of thick film paste containing metal powder, and materials used for the method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子部品の製造において、電極、
回路パターン、抵抗素子膜、ヒューズ素子膜等の導体膜
部材、ガラス膜等の保護膜部材からなる膜部材を、厚膜
ペーストを用いてスクリーン印刷等により絶縁基板上に
形成する方法が知られている。前記電子部品の製造に使
用される厚膜ペーストは、通常、ガラス粉末及び/又は
金属粉末と、樹脂バインダーと、分散剤と、溶媒とから
なる。特に、ガラス粉末と金属粉末とを、若しくは金属
粉末を含む厚膜ペーストは、メタルグレーズと称される
こともある。該ペーストは、印刷した後に、乾燥及び焼
成することによって、溶媒、樹脂バインダー及び分散剤
が消失し、実質的に金属及び/又はガラスからなる膜部
材を形成する。このような膜部材は単層又は多層で形成
される。前記厚膜ペーストを印刷により形成する技術に
おいては、最近の印刷技術の進展等により優れた精度で
所望の膜部材の形成が可能になってきている。しかし、
厚膜ペーストは、ガラス粉末及び/又は金属粉末を含む
ため、印刷時や乾燥前等にペーストのダレや流れが生じ
る場合があり、現在、このような問題が完全に解決され
るには至っていない。特に、最近の電子部品の小型化や
高集積化、更には、外観の仕上がり精度の厳格な要求に
伴ない、複雑なパターン箇所、微細な角部や湾曲部、ま
た縦横に分割可能に形成されたV字状のスリット溝を有
する集合絶縁基板の該スリット溝等においては、このよ
うなペーストのダレや流れの発生頻度が増加する傾向に
ある。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacture of electronic parts, electrodes,
There is known a method of forming a film member made of a conductor film member such as a circuit pattern, a resistance element film, a fuse element film, and a protective film member such as a glass film on an insulating substrate by screen printing using a thick film paste. There is. The thick film paste used for manufacturing the electronic component usually includes glass powder and / or metal powder, a resin binder, a dispersant, and a solvent. In particular, a thick film paste containing glass powder and metal powder or containing metal powder may be referred to as metal glaze. The paste is printed, then dried and fired to remove the solvent, the resin binder and the dispersant, thereby forming a film member substantially made of metal and / or glass. Such a film member is formed of a single layer or multiple layers. In the technique of forming the thick film paste by printing, it has become possible to form a desired film member with excellent accuracy due to recent developments in printing techniques. But,
Since the thick film paste contains glass powder and / or metal powder, paste sag or flow may occur during printing or before drying. Currently, such problems have not been completely solved. . In particular, with the recent miniaturization and high integration of electronic parts, and with the strict demand for finish accuracy of appearance, complex pattern parts, fine corners and curved parts, and vertically and horizontally separable parts are formed. In the slit groove and the like of the collective insulating substrate having the V-shaped slit groove, the frequency of occurrence of such paste sag and flow tends to increase.

【0003】前記ペーストのダレや流れは、ペースト印
刷部の縁では少なからず生じる可能性がある。このよう
なダレや流れが特に生じ易い部位について以下に図面を
参照して説明する。図4は、縦横に分割可能に形成され
たスリット溝(41a,41b)が設けられた集合絶縁基
板40に、表電極42を厚膜ペーストにより形成した際
に生じたダレ及び流れの状態を示す部分拡大状態図であ
る。この図4においては、スリット溝41aに対向して
隣接する表電極42の離間距離を近接すると、表電極4
2を形成するための厚膜ペーストが、印刷時又は乾燥前
等に、スリット溝41aの図示する部分にダレや流れ4
3を発生させる場合がある。また、図5は、縦横に分割
可能に形成されたスリット溝(51a,51b)が設けら
れた集合絶縁基板50に、裏電極52を厚膜ペーストに
よりスリット溝51bを跨ぐように形成した際に生じた
ダレ及び流れの状態を示す部分拡大状態図である。この
図5においては、裏電極52を形成するための厚膜ペー
ストが、印刷時又は乾燥前等に、スリット溝51bの図
示する部分にダレや流れ53を発生させる場合がある。
更に、図6は、絶縁基板60に、表電極61及び抵抗パ
ターン62を厚膜ペーストにより形成した際に生じたダ
レや流れの状態を示す抵抗器の説明状態図である。この
図6においては、抵抗パターン62を形成するための厚
膜ペーストが、印刷時又は乾燥前等に、図示する部分に
ダレや流れ63を発生させる場合がある。従来、上述の
ような厚膜ペーストのダレや流れが発生した場合には、
これらを除去する作業が極めて煩雑となるため、不良品
として処理され、再利用が困難であるのが実状であり、
その発生率が高くなる場合には電子部品の製造における
歩留りが悪化するという問題が生じる。
The dripping and flow of the paste may occur to some extent at the edge of the paste printing section. A portion where such sagging or flow is likely to occur will be described below with reference to the drawings. FIG. 4 shows the state of sagging and flow generated when the front electrode 42 is formed by a thick film paste on the collective insulating substrate 40 provided with slit grooves (41a, 41b) formed so as to be vertically and horizontally separable. It is a partially expanded state figure. In FIG. 4, when the separation distance between the adjacent front electrodes 42 facing the slit groove 41a is reduced, the front electrodes 4
The thick film paste for forming No. 2 drops or flows on the illustrated portion of the slit groove 41a during printing or before drying.
3 may occur. Further, FIG. 5 shows that when the back electrode 52 is formed by the thick film paste so as to straddle the slit groove 51b on the collective insulating substrate 50 in which the slit grooves (51a, 51b) formed so as to be vertically and horizontally separable are provided. It is a partially expanded state view which shows the state of the sagging and flow which arose. In FIG. 5, the thick film paste for forming the back electrode 52 may cause sagging or flow 53 in the illustrated portion of the slit groove 51b during printing or before drying.
Further, FIG. 6 is an explanatory state diagram of a resistor showing a state of sagging or flow that occurs when the front electrode 61 and the resistance pattern 62 are formed on the insulating substrate 60 by the thick film paste. In FIG. 6, the thick film paste for forming the resistance pattern 62 may cause sagging or flow 63 in the illustrated portion during printing or before drying. Conventionally, when the sag or flow of the thick film paste as described above occurs,
Since the work of removing these is extremely complicated, it is actually treated as a defective product and difficult to reuse,
If the occurrence rate becomes high, there arises a problem that the yield in manufacturing electronic components deteriorates.

【0004】そこで、このようなダレや流れを防止する
ために、上記スリット溝に絶縁ガラス質系又は樹脂系材
料等の充填部材を充填し、抵抗膜等を形成後に、前記充
填部材をエッチング工程により除去する角型チップ抵抗
器の製造方法が提案されている(特開平5−24302
2号公報)。しかし、上記方法では、スリット溝に充填
した充填部材をエッチング工程により除去するため、充
填部材の充填工程に加えてエッチング工程を行う必要が
あり、工程が煩雑化するという問題がある。しかも、こ
のようなエッチング工程は、複雑なパターン部分等にお
いては厳格な管理等が必要であり、その実施が非常に困
難である。従って、上記方法における充填部材の使用
は、スリット溝の充填箇所以外には応用できないのが実
状である。
Therefore, in order to prevent such sagging and flow, a filling member such as an insulating glass material or a resin material is filled in the slit groove, and after the resistance film is formed, the filling member is etched. A method of manufacturing a rectangular chip resistor to be removed is proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 5-24302).
No. 2). However, in the above method, since the filling member filled in the slit groove is removed by the etching process, it is necessary to perform the etching process in addition to the filling member filling process, and there is a problem that the process becomes complicated. Moreover, such an etching process requires strict control and the like in a complicated pattern portion and the like, which is very difficult to carry out. Therefore, in reality, the use of the filling member in the above method can be applied only to the filling portion of the slit groove.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、各種電子部品の製造における厚膜ペーストにより形
成される膜部材の形成時に生じるダレや流れを容易に防
止でき、且つ該ダレや流れの防止に要する工程の増加を
最小限に留めることが可能であり、製造高率を格段に向
上させることができる電子部品の製造方法を提供するこ
とにある。本発明の別の目的は、各種電子部品の製造に
おける厚膜ペーストにより形成される膜部材の縁を、簡
便な工程によりファインに仕上げることが可能であり、
容易な高集積度化をも可能とする電子部品の製造方法を
提供することにある。本発明の他の目的は、上記製造方
法の目的を容易に達成するための、印刷適性を有し、乾
燥後、所定温度以上に焼成することにより消失するバー
ンアウト樹脂ペーストを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to easily prevent sagging or flow that occurs when forming a film member formed of a thick film paste in the production of various electronic parts, and to prevent the sag or flow. An object of the present invention is to provide an electronic component manufacturing method capable of minimizing the increase in the number of steps required to prevent the above, and significantly improving the manufacturing rate. Another object of the present invention is to be able to finely finish the edge of a film member formed of a thick film paste in the production of various electronic parts by a simple process,
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing an electronic component that enables easy high integration. Another object of the present invention is to provide a burnout resin paste which has printability and which disappears by baking after drying and at a predetermined temperature or more in order to easily achieve the object of the above-mentioned manufacturing method. .

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した。まず、電子部品の膜部
材を形成する際に生じる厚膜ペーストのダレや流れを容
易に防止する方法として、厚膜ペースト形成前に該ペー
ストのダレ及び流れが発生しうる箇所を少なくとも含む
部分に堰部を容易に形成でき、且つ該堰部を少ない工程
で容易に除去しうる方法について検討した。そして、本
発明者らは、膜部材を形成する厚膜ペーストが、印刷後
における焼成プロファイルにより、該ペースト中の溶
媒、樹脂バインダー及び分散剤が完全に消失し、実質的
に金属及び/又はガラスからなる膜部材を形成すること
に着目し、金属粉末及び/又はガラス粉末を除いた厚膜
ペースト成分に注目し、検討した。その結果、厚膜ペー
ストを構成する溶媒、樹脂バインダー及び分散剤を適宜
選択して、印刷適性を調整した樹脂ペーストが、前記堰
部の形成に適すること、加えて、このような樹脂ペース
トが、厚膜ペーストの焼成プロファイルの実行と共に消
失し、堰部の除去に特別な工程を必要としないバーンア
ウト樹脂ペーストとして作用することを見出し本発明を
完成した。更に、このバーンアウト樹脂ペーストに、特
定の有機顔料を配合することにより、堰部形性の管理が
容易になることも見出した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made extensive studies to solve the above problems. First, as a method for easily preventing sagging or flow of a thick film paste that occurs when forming a film member of an electronic component, before forming the thick film paste, a portion including at least a portion where the sag and flow of the paste may occur is formed. A method for easily forming the weir portion and easily removing the weir portion in a small number of steps was examined. Then, the present inventors have found that the thick film paste forming the film member has a solvent, a resin binder, and a dispersant in the paste completely disappeared due to the firing profile after printing, so that the metal and / or glass is substantially dissolved. Focusing on the formation of a film member made of, the thick film paste component excluding the metal powder and / or the glass powder was focused and studied. As a result, the solvent, the resin binder and the dispersant constituting the thick film paste are appropriately selected, and the resin paste having the adjusted printability is suitable for forming the dam portion, and in addition, such a resin paste is The present invention has been completed by finding that the thick film paste disappears as the firing profile is executed, and acts as a burnout resin paste that does not require a special step for removing the weir. Further, they have also found that by mixing a specific organic pigment with the burnout resin paste, it becomes easy to control the shape of the weir.

【0007】すなわち本発明によれば、絶縁基板と、ガ
ラス粉末及び/又は金属粉末を含む厚膜ペーストを印
刷、焼成して形成した膜部材とを少なくとも備える電子
部品の製造方法であって、厚膜ペーストによる膜部材の
形成時にダレ及び流れが発生しうる箇所を含み、且つ該
厚膜ペーストの印刷に支障がない所望箇所に、バーンア
ウト樹脂ペーストを印刷、乾燥し、ダレ及び流れ防止堰
部を形成する工程(a)と、前記工程(a)の後、前記膜部材
を形成するにあたり、前記厚膜ペーストを印刷、乾燥す
る工程(b)と、工程(b)で得られたペースト乾燥物を焼成
し、前記膜部材を形成すると共に、工程(a)で形成した
堰部を消失させる工程(c)とを含むことを特徴とする電
子部品の製造方法が提供される。また本発明によれば、
上記製造方法に用いるバーンアウト樹脂ペーストであっ
て、樹脂及び溶剤、必要により分散剤や有機顔料等を含
み、且つ印刷可能な粘度を有し、印刷、乾燥後、所定温
度以上に焼成することにより消失することを特徴とする
バーンアウト樹脂ペーストが提供される。
That is, according to the present invention, there is provided a method of manufacturing an electronic component, which comprises at least an insulating substrate and a film member formed by printing and firing a thick film paste containing glass powder and / or metal powder. The burnout resin paste is printed and dried at a desired portion including a portion where sagging and a flow may occur when forming a film member by the film paste and which does not hinder the printing of the thick film paste. Forming step (a), and after forming the film member after the step (a), printing the thick film paste, drying step (b), and drying the paste obtained in step (b) A method for manufacturing an electronic component is provided, which includes a step (c) of firing an object to form the film member and eliminating the dam portion formed in the step (a). According to the invention,
A burnout resin paste used in the above manufacturing method, which contains a resin and a solvent, and optionally a dispersant and an organic pigment, and has a printable viscosity, and after printing, drying and firing at a predetermined temperature or higher. A burnout resin paste is provided which is characterized by disappearance.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下本発明を更に詳細に説明す
る。本発明の製造方法において製造する電子部品は、絶
縁基板と、ガラス粉末及び/又は金属粉末を含む厚膜ペ
ーストを印刷、焼成した膜部材とを少なくとも備えるも
のであれば特に限定されない。該電子部品としては、例
えば、コンデンサ素子、インダクタ素子、抵抗器、ヒュ
ーズ、各種集積回路等が挙げられる。また、前記膜部材
としては、例えば、電極、回路パターン、抵抗素子膜、
ヒューズ素子膜等の導電膜部材、ガラス膜等の保護膜部
材等が挙げられる。
The present invention will be described in more detail below. The electronic component manufactured by the manufacturing method of the present invention is not particularly limited as long as it includes at least an insulating substrate and a film member obtained by printing and firing a thick film paste containing glass powder and / or metal powder. Examples of the electronic component include a capacitor element, an inductor element, a resistor, a fuse, and various integrated circuits. Further, as the film member, for example, an electrode, a circuit pattern, a resistive element film,
Examples thereof include a conductive film member such as a fuse element film and a protective film member such as a glass film.

【0009】本発明の製造方法は、厚膜ペーストによる
膜部材の形成時にダレ及び流れが発生しうる箇所を含
み、且つ該厚膜ペーストの印刷に支障がない所望箇所
に、バーンアウト樹脂ペーストを印刷、乾燥し、ダレ及
び流れ防止堰部を形成する工程(a)を含む。工程(a)にお
いて、厚膜ペーストによる膜部材の形成時にダレ及び流
れが発生しうる箇所とは、絶縁基板上等における厚膜ペ
ースト印刷部の縁に沿った箇所の少なくとも一部若しく
は全部を意味する。また、該厚膜ペーストの印刷に支障
がない所望箇所とは、絶縁基板上等における厚膜ペース
トを印刷する部分を除いた箇所の一部若しくは全部を意
味する。
According to the manufacturing method of the present invention, the burnout resin paste is included in a desired portion including a portion where sagging and flow may occur at the time of forming the film member by the thick film paste and which does not hinder the printing of the thick film paste. The method includes a step (a) of printing, drying, and forming a sag and a flow prevention weir. In the step (a), the location where sagging and flow may occur when forming the film member of the thick film paste means at least a part or all of the location along the edge of the thick film paste printed portion on the insulating substrate or the like. To do. Further, the desired portion that does not hinder the printing of the thick film paste means a part or all of the portion on the insulating substrate or the like excluding the portion where the thick film paste is printed.

【0010】工程(a)に用いるバーンアウト樹脂ペース
トとは、印刷、乾燥することにより、前記厚膜ペースト
のダレや流れを堰き止める作用を示すダレ及び流れ防止
堰部の形成が可能であって、後述する工程(c)における
焼成により消失する樹脂ペーストであれば良い。即ち、
該バーンアウト樹脂ペーストは、樹脂及び溶剤を含み、
且つ印刷可能な粘度を有し、印刷、乾燥後、所定温度以
上に焼成することにより消失するものであって、金属粉
末やガラス粉末等の消失し得ない成分を含まない。
The burn-out resin paste used in the step (a) is capable of forming a sag and a sag and a flow-preventing dam portion which have a function of damaging the sag and flow of the thick film paste by printing and drying. Any resin paste that disappears by firing in step (c) described below may be used. That is,
The burnout resin paste contains a resin and a solvent,
In addition, it has a printable viscosity and disappears when it is printed and dried and then fired at a predetermined temperature or higher, and does not include non-erasable components such as metal powder and glass powder.

【0011】前記バーンアウト樹脂ペーストを構成する
樹脂及び溶剤等の含有成分は、基本的には、厚膜ペース
トにより形成する膜部材を焼成する際の焼成プロファイ
ルの条件に従って消失しうる成分を適宜選択することに
より決定できる。最も簡便な選択は、使用する厚膜ペー
ストに含有される樹脂バインダー、溶剤、分散剤と同一
種類の樹脂及び溶剤、必要により分散剤から選択する方
法が挙げられるが、これに限定されない。上記選択した
樹脂、溶剤、また分散剤の各配合割合は、印刷可能な粘
度となるように適宜決定することができる。この際、バ
ーンアウト樹脂ペーストは、厚膜ペーストとは異なり、
ガラス粉末及び/又は金属粉末等を含有しないので、粘
度調整が容易であり、必ずしも分散剤を配合する必要も
なく、所望のペーストを容易に製造することができる。
粘度調整は、印刷機の種類、形成する堰部の厚さ等の諸
条件を勘案して樹脂及び溶剤の組成等を適宜選択するこ
とにより行なうことができる。以上のとおり、本発明に
おけるバーンアウト樹脂ペーストの含有成分としての樹
脂及び溶剤の種類、並びに必要に応じて含有させる分散
剤の種類、更にはこれらの配合割合は、厚膜ペーストに
より形成する膜部材の種類等に応じて適宜選択でき、特
定の組成には限定されない。
Basically, the components contained in the burnout resin paste, such as the resin and the solvent, are basically selected such that they can disappear according to the conditions of the firing profile when firing the film member formed by the thick film paste. Can be determined by The simplest selection includes, but is not limited to, a method of selecting from a resin binder, a solvent, a resin and a solvent of the same type as the dispersant contained in the thick film paste to be used, and a dispersant if necessary. The respective compounding ratios of the selected resin, solvent and dispersant can be appropriately determined so as to obtain a printable viscosity. At this time, the burnout resin paste is different from the thick film paste.
Since it does not contain glass powder and / or metal powder, it is easy to adjust the viscosity, and it is not always necessary to add a dispersant, and a desired paste can be easily manufactured.
The viscosity can be adjusted by appropriately selecting the composition of the resin and the solvent and the like in consideration of various conditions such as the type of printing machine and the thickness of the dam to be formed. As described above, the types of the resin and the solvent as the components of the burnout resin paste in the present invention, the types of the dispersant to be contained as necessary, and the mixing ratios thereof are the film members formed by the thick film paste. The composition can be appropriately selected according to the type and the like, and is not limited to a specific composition.

【0012】前記バーンアウト樹脂ペーストには、本発
明における所望の効果を損なわない範囲で、また他の効
果を得るために各種添加成分を配合することもできる。
例えば、バーンアウト樹脂ペーストを着色し、該ペース
トを印刷乾燥した際に、印刷箇所、並びに形成された堰
部の検査等を視認性良く容易に管理しうるように有機顔
料等を配合することができる。前記有機顔料は、バーン
アウト樹脂ペーストを印刷、乾燥して形成する堰部を着
色でき、且つ後述する工程(c)の焼成により消失しうる
ものであれば特に限定されないが、例えば、青色、赤
色、黄色を呈する有機顔料の使用が好ましい。具体的に
は、例えば、フタロシアン系、ポリアゾ系、モノアゾ
系、ウォッチングマンガンレッド、ナフトール、キナグ
リドン、ベリレン及びこれらの混合物からなる群より選
択される有機顔料の使用が好ましい。前記有機顔料の配
合割合は、その作用を勘案して、バーンアウト樹脂ペー
ストの種類及び有機顔料の種類等に応じて適宜選択する
ことができる。
Various additives may be added to the burnout resin paste within a range that does not impair the desired effects of the present invention and to obtain other effects.
For example, when the burnout resin paste is colored, and when the paste is printed and dried, an organic pigment or the like may be added so that the inspection of the printed portion and the formed dam portion can be easily controlled with good visibility. it can. The organic pigment is not particularly limited as long as it prints the burnout resin paste, can color the dam portion formed by drying, and can be eliminated by firing in the step (c) described later, for example, blue and red. It is preferable to use an organic pigment that exhibits a yellow color. Specifically, for example, it is preferable to use an organic pigment selected from the group consisting of phthalocyan series, polyazo series, monoazo series, watching manganese red, naphthol, quinagridone, berylene, and mixtures thereof. The blending ratio of the organic pigment can be appropriately selected according to the type of the burnout resin paste, the type of the organic pigment, and the like in consideration of its action.

【0013】工程(a)において、バーンアウト樹脂ペー
ストの印刷、乾燥は、公知のスクリーン印刷等により通
常の100〜200℃程度の乾燥を行うことにより実施
できる。この乾燥により、通常、バーンアウト樹脂ペー
スト中の溶剤が消失し、ダレ及び流れ防止堰部が形成さ
れる。印刷条件は、印刷パターン、印刷厚さ、ペースト
の種類等に応じて適宜選択することができる。重要な点
は、この印刷、乾燥において形成する堰部が、厚膜ペー
ストのダレや流れを防止しうるように、バーンアウト樹
脂ペーストの乾燥物、即ち堰部の厚さが、厚膜ペースト
印刷時の印刷厚さと同等以上の厚さとなるように印刷す
ることが好ましい。この際、印刷、乾燥は、同一箇所に
1回でも良いし、形成する堰部を厚くする場合には、複
数回繰り返すことも可能である。
In the step (a), the printing and drying of the burnout resin paste can be carried out by the usual drying such as screen printing at about 100 to 200 ° C. By this drying, the solvent in the burnout resin paste usually disappears, and a sag and a flow prevention dam portion are formed. The printing conditions can be appropriately selected according to the printing pattern, the printing thickness, the type of paste, and the like. The important point is that the thickness of the dried product of the burnout resin paste, that is, the weir portion, is thick film paste printing so that the weir portion formed in this printing and drying can prevent sagging and flow of the thick film paste. It is preferable to perform printing so that the thickness is equal to or greater than the printing thickness at that time. At this time, printing and drying may be performed once at the same location, or may be repeated a plurality of times when the dam portion to be formed is thickened.

【0014】本発明の製造方法では、前記工程(a)の
後、前記膜部材を形成するにあたり、厚膜ペーストを印
刷、乾燥する工程(b)を行なう。工程(b)に用いる厚膜ペ
ーストは、通常、ガラス粉末及び/又は金属粉末と、樹
脂バインダーと、分散剤と、溶媒とを含む各種膜部材の
原料として使用しうるものであれば特に限定されず、形
成する膜部材の種類に応じて適宜選択して使用すること
ができる。
In the manufacturing method of the present invention, after the step (a), a step (b) of printing and drying a thick film paste is performed in forming the film member. The thick film paste used in the step (b) is usually particularly limited as long as it can be used as a raw material for various film members including glass powder and / or metal powder, a resin binder, a dispersant, and a solvent. Instead, it can be appropriately selected and used according to the type of film member to be formed.

【0015】工程(b)において、厚膜ペーストの印刷、
乾燥は、公知のスクリーン印刷等により通常の100〜
200℃程度の乾燥を行うことにより実施できる。印刷
条件は、印刷パターン、印刷厚さ、ペーストの種類等に
応じて適宜選択することができる。この際、工程(a)で
形成した堰部により、厚膜ペーストの印刷時又は乾燥前
のダレ及び流れを充分に防止することができる。また、
厚膜ペーストの印刷が、堰部の一部表面にずれた場合で
あっても、その厚さは非常に薄いものとなるため、後述
する工程(c)の焼成により得られる電子部品に支障をき
たす程度に残存することはほとんどない。従って、堰部
の形成により、厚膜ペースト印刷時の管理も容易とな
る。更に、工程(a)における堰部の形成を、厚膜ペース
ト印刷部の縁に沿って行うことにより、厚膜ペーストに
より形成される膜部材の縁のファイン化を達成すること
もでき、また、厚膜ペーストにより形成する膜部材の幅
等を所望幅に制御することも可能となる。上記厚膜ペー
ストの印刷、乾燥は、同一箇所に1回でも良いし、厚さ
調整のために複数回繰り返し多層とすることも可能であ
る。
Printing the thick film paste in step (b),
Drying is usually performed at 100 to 100 by a known screen printing method or the like.
It can be carried out by drying at about 200 ° C. The printing conditions can be appropriately selected according to the printing pattern, the printing thickness, the type of paste, and the like. At this time, the dam portion formed in the step (a) can sufficiently prevent the thick film paste from sagging and flowing before printing or before drying. Also,
Even if the printing of the thick film paste is displaced on the surface of a part of the weir, the thickness will be very thin, which will interfere with the electronic components obtained by firing in step (c) described later. It rarely survives to such an extent. Therefore, the formation of the dam portion also facilitates management during thick film paste printing. Further, by forming the dam portion in the step (a) along the edge of the thick film paste printing portion, it is possible to achieve finer edges of the film member formed by the thick film paste, and, It is also possible to control the width of the film member formed by the thick film paste to a desired width. The printing and drying of the thick film paste may be performed once at the same location, or may be repeated multiple times to form a multilayer structure for adjusting the thickness.

【0016】本発明の製造方法では、工程(b)で得られ
たペースト乾燥物を焼成し、所望の膜部材を形成すると
共に、工程(a)で形成した堰部を消失させる工程(c)を行
う。工程(c)において焼成は、工程(b)で印刷、乾燥した
厚膜ペーストの焼成プロファイルに応じて行うことがで
き、通常、そのピーク温度は、400〜900℃、好ま
しくは600〜850℃程度に設定することができる
が、厚膜ペーストの焼成及び堰部の消失が達成されるの
であれば、必ずしもこれに限定されない。焼成雰囲気
は、厚膜ペーストを焼成でき、且つ前記堰部を消失しう
る程度の大気又は酸素の供給と排気システムとを備えた
酸化雰囲気等で行うことができる。また、焼成炉は、厚
膜ペースト及び堰部における樹脂成分等が炭化して残存
しない分解燃焼を可能とする焼成炉であれば特に限定さ
れない。本発明の製造方法においては、この工程(c)に
よる一工程の焼成によって、ダレや流れがない所望の膜
部材を絶縁基板上等に形成でき、且つ工程(a)で形成し
た堰部を完全に消失させることができる。
In the manufacturing method of the present invention, a step (c) in which the dried paste obtained in the step (b) is fired to form a desired film member and the dam portion formed in the step (a) disappears. I do. Firing in step (c) can be performed according to the firing profile of the thick film paste printed and dried in step (b), and its peak temperature is usually 400 to 900 ° C, preferably 600 to 850 ° C. However, the present invention is not limited to this as long as the thick film paste can be fired and the dam portion can be eliminated. The firing atmosphere may be an atmosphere such that the thick film paste can be fired and the weir can be lost, or an oxidizing atmosphere including an oxygen supply and exhaust system. Further, the firing furnace is not particularly limited as long as it is a firing furnace that enables decomposition and combustion in which the resin components and the like in the thick film paste and the dam portion are not carbonized and remain. In the manufacturing method of the present invention, by firing in one step by this step (c), a desired film member without sagging or flow can be formed on an insulating substrate or the like, and the weir portion formed in step (a) is completely formed. Can be made to disappear.

【0017】本発明の製造方法において、上述の工程
(a)〜(c)は、通常、電子部品における同種の膜部材の形
成毎等に繰り返して行うことができる他、例えば、工程
(c)における焼成プロファイル条件が同様なものであれ
ば、異なる膜部材の形成において、工程(a)及び(b)を繰
り返し行なった後に、工程(c)を行うことも可能であ
る。本発明の製造方法により得られる電子部品におい
て、上記工程(a)〜(c)以外の工程は、電子部品の種類に
応じて、適宜公知の方法等により実施することができ
る。
In the manufacturing method of the present invention, the above-mentioned steps
(a) ~ (c) can usually be repeated every time the same kind of film member is formed in an electronic component, etc.
When the firing profile conditions in (c) are the same, it is possible to perform step (c) after repeatedly performing steps (a) and (b) in forming different film members. In the electronic component obtained by the manufacturing method of the present invention, the steps other than the above steps (a) to (c) can be appropriately performed by a known method or the like depending on the type of the electronic component.

【0018】[0018]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明するが本発明はこれらに限定されるものではな
い。図1(A)及び(B)は、縦横に分割可能に形成された
スリット溝(11a,11b)が設けられた集合絶縁基板
10に、本発明の製造方法により膜部材としての各表電
極12を、できる限り隣接して形成する工程を説明する
ための部分拡大説明図であって、以下にその工程を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto. 1 (A) and 1 (B) show an assembly insulating substrate 10 provided with slit grooves (11a, 11b) formed so as to be vertically and horizontally separable, each front electrode 12 serving as a film member by the manufacturing method of the present invention. FIG. 7A is a partially enlarged explanatory view for explaining a step of forming as close to each other as possible, and the step will be described below.

【0019】図1(A)において、まず、基板10上に表
電極12を形成するための厚膜ペーストを印刷する前
に、該厚膜ペーストのダレ及び流れが発生する可能性が
高いスリット溝11a及び11bの交点を含み、スリッ
ト溝11aに平行した表電極12の縁を含む図示する部
分(13)にバーンアウト樹脂ペーストをスクリーン印刷
する。この際、バーンアウト樹脂ペーストとしては、ジ
エチレングリコールモノブチルアセテート70〜80質
量%、エチルセルロース10〜15質量%、無水マレイ
ン酸樹脂5〜15質量%、アマイド樹脂5質量%未満、
有機顔料1質量%未満からなるペーストを用いた。ま
た、バーンアウト樹脂ペーストの印刷幅を調整すること
により、形成する表電極12同士の間隔を制御すること
もできる。続いて、印刷したバーンアウト樹脂ペースト
を乾燥し、次工程で印刷する厚膜ペーストの厚さと同等
以上の厚さを有する堰部13をそれぞれ形成する。形成
された堰部13は、有機顔料により着色されており、堰
部形成位置及びその欠陥等の有無を視覚的に容易に管理
することができる。この際、仮に、欠陥が生じた場合に
は、焼成等により堰部13を容易に消失させることがで
きるので、基板の再利用が極めて容易である。次いで、
電極用の厚膜ペーストを用いて表電極12を印刷し、乾
燥する。ここまでの工程において、前述の図4に示す厚
膜ペーストのダレ及び流れの発生は完全に防止できる。
In FIG. 1A, first, before printing the thick film paste for forming the front electrode 12 on the substrate 10, there is a high possibility that the thick film paste sags and flows. The burnout resin paste is screen-printed on a portion (13) shown in the figure including the intersection of 11a and 11b and the edge of the front electrode 12 parallel to the slit groove 11a. At this time, as the burnout resin paste, diethylene glycol monobutyl acetate 70 to 80% by mass, ethyl cellulose 10 to 15% by mass, maleic anhydride resin 5 to 15% by mass, amide resin less than 5% by mass,
A paste consisting of less than 1% by weight of organic pigment was used. Further, the interval between the front electrodes 12 to be formed can be controlled by adjusting the print width of the burnout resin paste. Then, the printed burnout resin paste is dried to form each dam 13 having a thickness equal to or greater than the thickness of the thick film paste printed in the next step. The formed weir portion 13 is colored with an organic pigment, and the weir formation position and the presence / absence of defects thereof can be visually and easily managed. At this time, if a defect occurs, the dam portion 13 can be easily removed by firing or the like, so that the substrate can be reused very easily. Then
The front electrode 12 is printed using a thick film paste for electrodes and dried. In the steps up to this point, the sagging and flow of the thick film paste shown in FIG. 4 can be completely prevented.

【0020】次に、上記図1(A)に示す基板を、酸化雰
囲気の焼成炉に導入し、表電極12を形成するための厚
膜ペーストの焼成プロファイルにしたがって焼成する。
この焼成により、図1(B)に示すとおり、各表電極12
はダレ及び流れの痕跡等が全くなくファインに焼成さ
れ、また、堰部13は完全に消失し、スリット溝11a
上、並びにスリット溝11a及び11bの交点において
も堰部13の痕跡の残存は生じない。また、この焼成
は、スリット溝に沿って集合絶縁基板10を分割した後
に行っても良い。
Next, the substrate shown in FIG. 1A is introduced into a firing furnace in an oxidizing atmosphere and fired according to the firing profile of the thick film paste for forming the front electrode 12.
By this firing, as shown in FIG. 1 (B), each front electrode 12
Is finely baked without any sagging or traces of flow, and the weir 13 has completely disappeared, and the slit groove 11a
No trace of the dam portion 13 remains at the top or at the intersection of the slit grooves 11a and 11b. Further, this firing may be performed after dividing the collective insulating substrate 10 along the slit grooves.

【0021】上記図1の例においては、バーンアウト樹
脂ペーストを、スリット溝の交点を含み、スリット溝1
1aに平行した表電極12の縁を含む図示する部分(1
3)に印刷したが、スリット溝の交点と、該交点の上下
部分の表電極12に接する縁部分のみにバーンアウト樹
脂ペーストを印刷することで、例えば、上述の図4に示
すダレ及び流れを防止することができる。従って、本発
明の製造方法におけるバーンアウト樹脂ペーストの印刷
箇所は、このような箇所のみであっても良い。また、図
1の例では、スリット溝11aの一部にバーンアウト樹
脂を印刷しているが、スリット溝11a全体を覆う部分
に印刷し、集合絶縁基板10を前記焼成前に分割する場
合には、分割面のバリや欠けを抑制することが可能とな
る。従って、このような場合には仕上がり精度の良好な
分割面が得られ、電子部品の外形寸法の安定化を向上さ
せることができる。
In the example shown in FIG. 1, the burnout resin paste is included in the slit groove 1 including the intersections of the slit grooves.
The portion shown in the figure including the edge of the front electrode 12 parallel to 1a (1
3), but the burnout resin paste is printed only on the intersections of the slit grooves and the edge portions in contact with the front electrode 12 above and below the intersections. Can be prevented. Therefore, in the manufacturing method of the present invention, the burnout resin paste may be printed on only such a portion. Further, in the example of FIG. 1, the burnout resin is printed in a part of the slit groove 11a, but in the case of printing the part covering the entire slit groove 11a and dividing the collective insulating substrate 10 before the firing, It is possible to suppress burrs and chips on the split surface. Therefore, in such a case, a division surface with good finishing accuracy can be obtained, and the stabilization of the outer dimensions of the electronic component can be improved.

【0022】図2(A)及び(B)は、縦横に分割可能に形
成されたスリット溝(21a,21b)が設けられた集合
絶縁基板20に、本発明の製造方法により膜部材として
の各裏電極22を形成する工程を説明するための部分拡
大説明図であって、以下にその工程を説明する。
2 (A) and 2 (B) show a collective insulating substrate 20 provided with slit grooves (21a, 21b) formed so as to be vertically and horizontally separable by the manufacturing method of the present invention. It is a partially enlarged explanatory view for explaining the step of forming the back electrode 22, and the step will be described below.

【0023】図2(A)において、まず、基板20上に裏
電極22を形成するための厚膜ペーストを印刷する前
に、該厚膜ペーストのダレ及び流れが発生する可能性が
あり、且つ形成する裏電極22の幅を均一なファイン状
態に保つために、スリット溝21aの一部を含み、スリ
ット溝21bに平行した裏電極22の縁に沿った図示す
る部分(23)にバーンアウト樹脂ペーストをスクリーン
印刷する。続いて、印刷したバーンアウト樹脂ペースト
を乾燥し、次工程で印刷する厚膜ペーストの厚さと同等
以上の厚さを有する堰部23をそれぞれ形成する。次い
で、電極用の厚膜ペーストを用いて裏電極22を印刷
し、乾燥する。ここまでの工程において、前述の図5に
示す厚膜ペーストのダレ及び流れの発生は完全に防止で
きる。
In FIG. 2A, first, before printing the thick film paste for forming the back electrode 22 on the substrate 20, the thick film paste may be dripped and flow, and In order to keep the width of the back electrode 22 to be formed in a uniform fine state, a burnout resin is included in a portion (23) shown in the figure including a part of the slit groove 21a and along the edge of the back electrode 22 parallel to the slit groove 21b. Screen print the paste. Subsequently, the printed burnout resin paste is dried to form each dam portion 23 having a thickness equal to or greater than the thickness of the thick film paste printed in the next step. Next, the back electrode 22 is printed using a thick film paste for electrodes and dried. In the steps up to this point, the sagging and flow of the thick film paste shown in FIG. 5 can be completely prevented.

【0024】次に、上記図2(A)に示す基板を、酸化雰
囲気の焼成炉に導入し、裏電極22を形成するための厚
膜ペーストの焼成プロファイルにしたがって焼成する。
この焼成により、図2(B)に示すとおり、各裏電極22
はダレ及び流れの痕跡等が全くなくファインに焼成さ
れ、また、堰部23は完全に消失し、スリット溝21a
上においても堰部23の痕跡の残存は生じない。この焼
成は、スリット溝に沿って集合絶縁基板20を分割した
後に行っても良い。
Next, the substrate shown in FIG. 2A is introduced into a firing furnace in an oxidizing atmosphere and fired according to the firing profile of the thick film paste for forming the back electrode 22.
As a result of this firing, as shown in FIG.
Is finely baked without any sagging or traces of flow, and the weir 23 has completely disappeared, and the slit groove 21a
Even on the upper side, the trace of the weir 23 does not remain. This firing may be performed after dividing the collective insulating substrate 20 along the slit grooves.

【0025】上記図2の例においては、バーンアウト樹
脂ペーストを、スリット溝21bに平行した裏電極22
の縁に沿った図示する部分(23)に印刷したが、スリッ
ト溝21aと裏電極22の縁との交点部分周辺のみにバ
ーンアウト樹脂ペーストを印刷することで、例えば、上
述の図5に示すダレ及び流れを防止することができる。
従って、本発明の製造方法におけるバーンアウト樹脂ペ
ーストの印刷箇所は、このような箇所のみであっても良
い。しかし、図2に示す箇所にバーンアウト樹脂ペース
トを印刷することにより、裏電極22の形成位置ズレを
防止することが可能となり、また、裏電極22の縁部に
おけるファイン化の向上を達成することができる。
In the example shown in FIG. 2, the burnout resin paste is applied to the back electrode 22 parallel to the slit groove 21b.
Although it is printed on the portion (23) shown in the drawing along the edge of FIG. 5, by printing the burnout resin paste only around the intersection of the slit groove 21a and the edge of the back electrode 22, for example, as shown in FIG. Sag and flow can be prevented.
Therefore, in the manufacturing method of the present invention, the burnout resin paste may be printed on only such a portion. However, by printing the burnout resin paste at the position shown in FIG. 2, it is possible to prevent the formation position shift of the back electrode 22, and to achieve improvement in fineness at the edge of the back electrode 22. You can

【0026】図3(A)及び(B)は、予め対向する表電極
31を形成した絶縁基板30に、本発明の製造方法によ
り膜部材としての抵抗パターン32を形成する工程を説
明するための説明図であって、以下にその工程を説明す
る。
FIGS. 3A and 3B are for explaining a process of forming a resistance pattern 32 as a film member on the insulating substrate 30 on which the front electrodes 31 facing each other are formed in advance by the manufacturing method of the present invention. It is an explanatory diagram, and the process will be described below.

【0027】図3(A)において、まず、抵抗パターン3
2を形成するための厚膜ペーストを印刷する前に、該厚
膜ペーストのダレ及び流れを防止し、且つパターンの縁
のファイン化を実現するために、基板30及び予め形成
した表電極31上であって、図示する部分(33)にバー
ンアウト樹脂ペーストをスクリーン印刷する。続いて、
印刷したバーンアウト樹脂ペーストを乾燥し、次工程で
印刷する厚膜ペーストの厚さと同等以上の厚さを有する
堰部33を形成する。次いで、抵抗膜用の厚膜ペースト
を用いて抵抗パターン32を印刷し、乾燥する。ここま
での工程において、前述の図6に示す厚膜ペーストのダ
レ及び流れの発生は完全に防止できる。
In FIG. 3A, first, the resistance pattern 3
Before printing the thick film paste for forming No. 2, on the substrate 30 and the preformed front electrode 31 in order to prevent the thick film paste from sagging and flowing, and to realize the finer edges of the pattern. The burnout resin paste is screen-printed on the portion (33) shown in the figure. continue,
The printed burnout resin paste is dried to form a dam 33 having a thickness equal to or greater than the thickness of the thick film paste printed in the next step. Next, the resistance pattern 32 is printed using a thick film paste for a resistance film and dried. In the steps up to this point, the sagging and flow of the thick film paste shown in FIG. 6 can be completely prevented.

【0028】次に、上記図3(A)に示す基板を、酸化雰
囲気の焼成炉に導入し、抵抗パターン32を形成するた
めの厚膜ペーストの焼成プロファイルにしたがって焼成
する。この焼成により、図3(B)に示すとおり、抵抗パ
ターン32はダレ及び流れの痕跡等が全くなくファイン
に焼成され、また、堰部33は完全に消失し、予め形成
しておいた表電極31上においても該電極に悪影響を及
ぼすことなく堰部33を消失させることができる。
Next, the substrate shown in FIG. 3A is introduced into a firing furnace in an oxidizing atmosphere and fired according to the firing profile of the thick film paste for forming the resistance pattern 32. By this firing, as shown in FIG. 3 (B), the resistance pattern 32 is finely fired without any sagging or traces of flow, and the dam 33 is completely eliminated, and the front electrode previously formed is formed. Even on the part 31, the dam 33 can be eliminated without adversely affecting the electrode.

【0029】上記図3の例においては、形成する抵抗パ
ターンの縁全体を取巻くようにバーンアウト樹脂ペース
トを印刷したが、例えば、図6に示す厚膜ペーストのダ
レ及び流れが生じた箇所のみにバーンアウト樹脂ペース
トを印刷することもできる。
In the example of FIG. 3 described above, the burnout resin paste is printed so as to surround the entire edge of the resistance pattern to be formed. However, for example, only the portion where the sag and flow of the thick film paste shown in FIG. 6 occur. It is also possible to print a burnout resin paste.

【0030】ところで、図3(A)に示すような微細な角
部等を有する複雑なパターンの膜部材を厚膜ペーストに
より形成する場合等には、厚膜ペーストを印刷した際に
ペーストが絶縁基板に滲み込み、形成されるパターンの
ファイン化が劣化する恐れが生じ易い。このような問題
を解決する場合には、例えば、図3(A)に示すように、
形成する抵抗パターンの縁全体を取巻くようにバーンア
ウト樹脂ペーストを印刷して堰部を設けることが好まし
く、このような厚膜ペーストの滲み込みが抑制でき、フ
ァインな抵抗パターンを形成することができる。このよ
うな作用は、必ずしも複雑パターンの形成時のみに生じ
るとは限らないので、例えば、電極や保護膜の形成時に
おいても縁全体を取巻くようにバーンアウト樹脂ペース
トを印刷することにより同様な効果を得ることができ
る。
By the way, when a film member having a complicated pattern having fine corners and the like as shown in FIG. 3A is formed by a thick film paste, when the thick film paste is printed, the paste is insulated. There is a possibility that the substrate may seep into the substrate and deteriorate the fineness of the formed pattern. To solve such a problem, for example, as shown in FIG.
It is preferable to print the burnout resin paste so as to surround the entire edge of the resistance pattern to be formed so as to provide the dam portion. It is possible to prevent such thick film paste from seeping in and form a fine resistance pattern. . Since such an action does not always occur only when forming a complicated pattern, a similar effect can be obtained by printing the burnout resin paste so as to surround the entire edge even when forming an electrode or a protective film. Can be obtained.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明の電子部品の製造方法は、所望箇
所にバーンアウト樹脂ペーストを印刷、乾燥し、ダレ及
び流れ防止堰部を形成する工程(a)と、該工程(a)の後、
膜部材を形成するにあたり、厚膜ペーストを印刷、乾燥
する工程(b)と、工程(b)で得られたペースト乾燥物を焼
成し、膜部材を形成すると共に、工程(a)で形成した堰
部を消失させる工程(c)とを含むので、各種電子部品の
製造における厚膜ペーストにより形成される膜部材の形
成時に生じるダレや流れを容易に防止でき、製造高率を
格段に向上させることができる。また、前記ダレ及び流
れ防止堰部の形成箇所を選択することにより、膜部材の
縁部におけるファイン化を向上させることができる他、
膜部材の形成位置のズレ等を制御することも可能とな
り、容易な高集積度化も可能である。更に、バーンアウ
ト樹脂ペーストに有機顔料を配合することにより、形成
される堰部を視覚的に管理することができ、不良品を容
易に発見できるので、不良な厚膜ペーストの焼成前に基
板を再利用に供することも可能になる。
The method of manufacturing an electronic component of the present invention comprises a step (a) of printing and drying a burnout resin paste at a desired location to form sag and a flow prevention weir, and a step after the step (a). ,
In forming the film member, the step (b) of printing and drying a thick film paste, and the paste dried product obtained in step (b) are fired to form the film member and also formed in step (a). Since it includes the step (c) of eliminating the weir, it is possible to easily prevent sagging and flow that occur during the formation of the film member formed by the thick film paste in the production of various electronic components, and significantly improve the production rate. be able to. Further, by selecting the formation location of the sag and the flow prevention weir, it is possible to improve the fineness at the edge of the film member,
It is also possible to control the deviation of the formation position of the film member and the like, and it is possible to easily achieve high integration. Furthermore, by adding an organic pigment to the burnout resin paste, the weir portion formed can be visually controlled, and defective products can be easily found. It can be reused.

【0032】本発明のバーンアウト樹脂ペーストは、樹
脂及び溶剤を含み、且つ印刷可能な粘度を有し、印刷、
乾燥後、所定温度以上に焼成することにより消失するの
で、上記本発明の製造方法を容易に達成するのに有用で
ある。
The burnout resin paste of the present invention contains a resin and a solvent and has a printable viscosity.
Since it disappears by baking after drying to a predetermined temperature or higher, it is useful for easily achieving the production method of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1(A)及び(B)は、スリット溝が設けられた
集合絶縁基板に、本発明の製造方法により表電極を形成
する工程を説明するための部分拡大説明図である。
1A and 1B are partially enlarged explanatory views for explaining a step of forming a front electrode on a collective insulating substrate provided with slit grooves by a manufacturing method of the present invention.

【図2】図2(A)及び(B)は、スリット溝が設けられた
集合絶縁基板に、本発明の製造方法により裏電極を形成
する工程を説明するための部分拡大説明図である。
2 (A) and 2 (B) are partial enlarged explanatory views for explaining a step of forming a back electrode on a collective insulating substrate provided with slit grooves by a manufacturing method of the present invention.

【図3】図3(A)及び(B)は、表電極を形成した絶縁基
板に、本発明の製造方法により抵抗パターンを形成する
工程を説明するための説明図である。
3 (A) and 3 (B) are explanatory views for explaining a step of forming a resistance pattern on an insulating substrate having a front electrode formed thereon by a manufacturing method of the present invention.

【図4】スリット溝が設けられた集合絶縁基板に、表電
極を厚膜ペーストにより形成した際に生じたダレ及び流
れの状態を示す部分拡大状態図である。
FIG. 4 is a partially enlarged state diagram showing a state of sagging and flow generated when a front electrode is formed by a thick film paste on a collective insulating substrate provided with slit grooves.

【図5】スリット溝が設けられた集合絶縁基板に、裏電
極を厚膜ペーストにより形成した際に生じたダレ及び流
れの状態を示す部分拡大状態図である。
FIG. 5 is a partially enlarged state diagram showing a state of sagging and flow generated when a back electrode is formed of a thick film paste on a collective insulating substrate provided with slit grooves.

【図6】絶縁基板に表電極及び抵抗パターンを厚膜ペー
ストにより形成した際に生じたダレ及び流れの状態を示
す抵抗器の説明状態図である。
FIG. 6 is an explanatory state diagram of a resistor showing a state of sagging and flow generated when a front electrode and a resistance pattern are formed on an insulating substrate with a thick film paste.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、20、30、40、50、60:絶縁基板 12、31、42、61:表電極 22、52:裏電極 32、62:抵抗パターン 13、23、33:堰部 43、53、63:ダレ及び流れ 10, 20, 30, 40, 50, 60: Insulating substrate 12, 31, 42, 61: front electrode 22, 52: back electrode 32, 62: resistance pattern 13, 23, 33: weir 43, 53, 63: Sagging and flow

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 立樹 神奈川県大和市渋谷1丁目7−1 釜屋電 機株式会社内 Fターム(参考) 2H113 AA01 AA03 AA04 BA09 BC00 CA17 FA29 5E032 BA04 BB01 CC06    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Tatsuki Hirano             1-7-1 Shibuya, Yamato-shi, Kanagawa Kamayaden             Machine Co., Ltd. F term (reference) 2H113 AA01 AA03 AA04 BA09 BC00                       CA17 FA29                 5E032 BA04 BB01 CC06

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁基板と、ガラス粉末及び/又は金属
粉末を含む厚膜ペーストを印刷、焼成して形成した膜部
材とを少なくとも備える電子部品の製造方法であって、 厚膜ペーストによる膜部材の形成時にダレ及び流れが発
生しうる箇所を含み、且つ該厚膜ペーストの印刷に支障
がない所望箇所に、バーンアウト樹脂ペーストを印刷、
乾燥し、ダレ及び流れ防止堰部を形成する工程(a)と、 前記工程(a)の後、前記膜部材を形成するにあたり、前
記厚膜ペーストを印刷、乾燥する工程(b)と、 工程(b)で得られたペースト乾燥物を焼成し、前記膜部
材を形成すると共に、工程(a)で形成した堰部を消失さ
せる工程(c)とを含むことを特徴とする電子部品の製造
方法。
1. A method of manufacturing an electronic component, comprising at least an insulating substrate and a film member formed by printing and firing a thick film paste containing glass powder and / or metal powder, the film member comprising a thick film paste. The burnout resin paste is printed at a desired location including a location where sagging and flow may occur at the time of forming, and which does not hinder the printing of the thick film paste,
A step (a) of drying to form a sag and a flow prevention weir, and a step (b) of printing and drying the thick film paste in forming the film member after the step (a), (b) firing the paste dried product, to form the film member, and a step (c) of eliminating the weir portion formed in step (a) production of an electronic component characterized by including Method.
【請求項2】 請求項1記載の製造方法に用いるバーン
アウト樹脂ペーストであって、樹脂及び溶剤を含み、且
つ印刷可能な粘度を有し、印刷、乾燥後、所定温度以上
に焼成することにより消失することを特徴とするバーン
アウト樹脂ペースト。
2. A burnout resin paste for use in the manufacturing method according to claim 1, comprising a resin and a solvent, having a printable viscosity, printing, drying, and then firing at a predetermined temperature or higher. Burnout resin paste characterized by disappearance.
【請求項3】 着色剤としての有機顔料を更に含む請求
項2記載のペースト。
3. The paste according to claim 2, further comprising an organic pigment as a colorant.
JP2001327468A 2001-10-25 2001-10-25 Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein Pending JP2003133108A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001327468A JP2003133108A (en) 2001-10-25 2001-10-25 Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001327468A JP2003133108A (en) 2001-10-25 2001-10-25 Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003133108A true JP2003133108A (en) 2003-05-09
JP2003133108A5 JP2003133108A5 (en) 2005-05-19

Family

ID=19143689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001327468A Pending JP2003133108A (en) 2001-10-25 2001-10-25 Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003133108A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110366323B (en) Manufacturing method of circuit board solder mask layer
JP2003133108A (en) Method of manufacturing electronic part and burnout resin for use therein
JP2001267725A (en) Method for manufacturing ceramic thick film printed circuit board
CN108074692B (en) Method for manufacturing resistor, method for manufacturing chip resistor, and chip resistor
JP3416044B2 (en) Conductive paste for low-temperature firing substrates
CN100590754C (en) Resistance body ointment, resistance body, and circuit substrate using the resistance body
JP2002299801A (en) Circuit board
JP2001298255A (en) Method of manufacturing thick printed board
JP2732232B2 (en) Manufacturing method of chip resistor
JPH04280401A (en) Chip resistor and its manufacture
JPH0969406A (en) Manufacture of square-shaped thin film chip resistor
JPH06310052A (en) Voltage dividing resistance element and manufacture thereof
KR100213343B1 (en) Resistance material and resistance paste and resistor comprising the material
KR100634473B1 (en) Chip typed Linear thermistor
JPH0878217A (en) Manufacture of rectangular-shaped thin film chip resistor
JP2547262B2 (en) Method of manufacturing glaze baking substrate
JPH06244362A (en) Manufacture of thick film multilayer substrate
JPH0845713A (en) Manufacture of resistor substrate
JPH04320001A (en) Electronic parts
JPH0918148A (en) Production of low temperature fired multilayer ceramic circuit board
JPH11274689A (en) Manufacture electronic component
JPH07335411A (en) Chip resistor network
JPH04243102A (en) Thick film resistor aggregate formation method
JP2001148301A (en) Thick film resistor and its manufacturing method
JPH04320002A (en) Electronic parts

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040712

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040712

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060612

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060620

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060818

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060912