JP2003121332A - 流体の粘度を決定する装置および方法 - Google Patents
流体の粘度を決定する装置および方法Info
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Abstract
ついて可能な最高精度の決定を行うことができるよう
に、回転するサンプルを用いて流体の粘度を測定するこ
と。 【解決手段】 本発明は、流体(1)の粘度(η)の決
定装置および方法に関する。本装置は、ステータ巻線
(4)を有するステータ(3)と、流体(1)内で回転
可能な回転体(5)とを備えた電気式回転ドライブ
(2)を含む。回転体(5)は、回転ドライブ(2)の
回転子(5)として設計され、ステータ(3)に対し非
接触式で磁気的に回転軸を軸支される。
Description
リにおける独立請求項の前提部分に従い流体の粘度を決
定する装置および方法に関する。
たは流動している液体内のような単純な層流の場合につ
いて、流動している流体内における隣接層間の内部摩擦
の強さを記述している。内部摩擦力FRは、流動してい
る流体内でそのような層に作用するものであり、その作
用面積Aや同作用面の隣接層に関する速度勾配dv/d
x(v:ある場所xにおける流動中の流体の速度)に比
例する。層流の場合、周知の単純な関係FR=η・A・
dv/dxが適用される。ここで絶対粘度ηは流体の粘
性の指標として理解されるべきものである。絶対粘度に
ついての正規の国際単位系の単位Pa・sに加えて、1
ポイズ=0.1Pa・sなる単位ポイズも未だ非常によ
く用いられている。絶対粘度ηに加えて、流体の密度に
対して規準化したいわゆる動粘度ν=η/ρ(ρ:流体
の密度)は、流体の重要な特性を表わす。本願の枠内に
おいて粘度とは常に通常の言葉の用法に従って「絶対粘
度η」のこととして理解されるべきである。
摩擦FRの計測によって決定される。この目的で、既知
の形状のサンプルを静的または流動している流体内で動
かし、サンプルを駆動する動力の計測可能な割合を流体
内の内部摩擦FRによる動力損失として熱に変換させ
る。最終的には、多分形状要因や更なる較正パラメータ
など他のパラメータを考慮しつつ、粘度ηおよび/また
は動粘度νを計測された動力損失から求めることが可能
である。
駆動により、静的または流動している流体内で回転さ
れ、粘度ηが、その駆動装置の動力損失の計測値から求
められる。サンプルの特定形状は、たとえば良く知られ
た粘度の流体について較正用計測を行うことにより考慮
に入れられる。また、粘度は流体の温度または圧力のよ
うな物理的状態量にも依存し、通常は例えば密度のよう
な更なる物理的特性の関数として考察すべきであるもの
であることが、計算に入れられなければならない。
記の諸制約を勘案の上で動作する粘度計が、多数の異な
る変形形態として長期にわたって知られてきた。粘度計
の回転ドライブによって消費される動力から流体の粘度
を求めることを可能にするためには、液体内の内部摩擦
のみによる全動力損失のうちの割合を、可能な限り正確
に知らなければならない。これは特に、例えば回転ドラ
イブ自体のベアリング内やドライブ・ロッドのフィード
スルーのシール部などで発生する全摩擦損失を非常に正
確に知らなければならないことを意味する。しかし、他
ならぬこれらのパラメータは、従来の粘度計用の電気式
ドライブ・システムにおいては通常充分には知られてい
ない。さらに、先述した望ましくない追加的な摩擦損失
が、粘度計を運転しなければならない諸時点の運転パラ
メータに依存することが有り得る。例えば調査すべき流
体の温度または密度ならびに調査すべき実際の粘度(低
い粘度なのか高い粘度かとか、気体か液体かとか)にさ
え依存することが有り得る。この理由で、既知の粘度計
の測定精度には不満が生じることが多く、すなわち、多
大なる追加の努力を払うことによって測定装置を較正し
なければならず、その較正は運転パラメータの変更毎に
再度行われなければならずおよび/または異なる諸物理
的特性を備える或る流体への測定変換についてもそうで
ある。この事情は特に、その変更が計測の最中に起こる
場合、すなわち、或るプロセスの粘度が「インライン」
で決定されなければならない場合、正確な粘度決定の障
害となりまたは妨げとなる。例として、例えば反応容器
中の(液状またはガス状の環境での)遅い化学反応の時
間的進行は、ほとんど大抵の場合は、既知の粘度計によ
る時間依存性な粘度計測値によっては不十分な精度でし
か観察できない。非均質な流体内の粘度は、また、場所
に大いに依存することが有り得る。例として、例えば反
応容器内の流体の混合は、基本的には粘度によって制御
可能なはずだが、但し、これは既知の粘度計では多大な
努力および/または大きな測定誤差の容認を得てのみ可
能である。
を求める場合には、特別な問題が生じ得る。例として、
例えば固体粒子を含有する特殊な液体の場合、摩耗によ
り、例えばドライブ・ロッドのフィードスルーのシール
など、密閉部材に相当な損耗が生じ得る。酸やアルカリ
液のように駆動部部材の密封リングを永久的に損耗する
可能性のある化学的に攻撃的な液体についても同様のこ
とが当てはまる。
じることが可能な無数のプロセスや方法が見出される。
例えば、集積回路製造においてはウェハに明確な厚さの
フォトレジスト層が塗布されなければならない。通常、
この目的で、ウェハは既定速度で高速回転され、フォト
レジストが供給装置によって回転中のウェハに塗布され
る。これに関連して、塗布されたフォトレジストの大部
分は、ウェハの回転によって振り飛ばされる。その結果
としてのウェハ上の層厚は、とりわけ、塗布すべきフォ
トレジストの粘度ηに依存するところが実質的に大き
い。したがって、塗布前にフォトレジストの粘度ηを連
続的に制御することおよび、場合によっては1つまたは
複数の追加的成分を混入して修正することが有利であ
る。すなわち、粘度ηをインラインで且つ高精度で監視
すべきである。さらに挙げておくべき重要例としては、
いわゆるCMPプロセス(化学的−機械的研磨)と呼ば
れる化学的−物理的研磨プロセスの一例があり、これも
同様に半導体産業において広い用途を有している。この
プロセスでは、スラリーとして知られる懸濁液が研磨液
として通常使用され、その中には非常に細かい固体粒子
が含有されており、懸濁液内のそれらの均一な分布につ
いての監視が、粘度ηを測定することによって特に簡単
に行える。
目的は、特にインラインすなわちプロセスの最中で粘度
について可能な最高精度の決定を行うことができるよう
に、回転するサンプルを用いて流体の粘度を測定する新
たな装置を提供することにある。また、そのような装置
の動作のための方法も提供されるべきである。
的を満たすものである本発明の諸目的は、それぞれのカ
テゴリーの独立的請求項の要点によって特徴づけられ
る。
有利な実施形態に関連する。
ば、流体の粘度を決定するための装置および方法が提供
される。その装置は、ステータ巻線を有するステータと
流体内で回転可能な回転体とを備えた電気式回転ドライ
ブを含む。回転体は、回転ドライブの回転子として設計
され、ステータに対し非接触式で磁気的に回転軸を軸支
される。
摩擦等によるいかなる摩擦損失とも無縁とすることが重
要である。これは、本発明に従う装置の電気式回転ドラ
イブの回転子として設計される回転体が、ステータに対
し非接触式で磁気的に軸支されることにより実現され
る。したがって回転子は、回転ドライブの他の全構成部
材から機械的に完全に分離している。ゆえに、流体内の
サンプルの回転のために付与すべき電気的駆動出力は、
実質的には流体の粘度のみに依存し、追加的な損失によ
っては決定されない。運転中において回転体によって油
圧ポンプ作用が何ら全く生じない場合は、抵抗損という
例外もあるが無視可能であり、回転体が中で回転する流
体の内部摩擦のみによって、すなわち流体の粘度のみに
よって静的運転における回転ドライブのトルク形成電流
が決定される。
装置用の電気式回転ドライブは、EP0819330号
またはEP1063753号に従ってステータおよび磁
気的に軸支される回転子を備えて無軸受モータとして設
計され、ドライブおよび回転子のための磁気的支持部
が、無軸受モータの原理に従ってユニットを形成するこ
とが好ましい。ステータは、回転子にトルクを生じさせ
る駆動用磁場を発生するためのストランド(より線)を
備えた駆動巻線を有する。ちなみに駆動用磁場はトルク
形成電流によって制御される。また、ステータは、制御
用磁場を発生するための少なくとも1つのストランドを
含む制御巻線を有し、これにより、ステータに対する回
転子の位置を制御用電流によって調節することができ
る。駆動用磁場および制御用磁場は、駆動巻線のトルク
形成電流が単独で機械的モータ出力全体を与えるよう
に、互いに完全に分離させることが可能である。本発明
に従う装置の回転ドライブとしての無軸受モータの動作
に対して与えられるべき全機械的モータ出力は、流体内
の回転体の回転により生じる粘性動力損失および場合に
よっては圧力差に逆らって流体に対してポンプ動作を加
えることによって同時に供給されるポンプ動力の和とな
る。ちなみに、ポンプ動力は、ポンプされる流量に対応
する圧力差を単純に乗算して得られ、一方、機械的モー
タ出力は、トルク形成電流と流体内の回転体の回転数の
積に比例する。したがって、油圧ポンプ動力が既知であ
れば、粘性動力損失は、トルク形成電流および回転体の
回転数から直接求めることが可能であり、これに基づい
て流体の粘度ηが得られる。したがって特に油圧ポンプ
動力が非常に小さい、または無視できる場合、回転数が
一定であれば流体の粘度ηはトルク形成電流に正比例す
る。
より詳細に説明する。
粘度ηを決定するための本発明による装置の一実施形態
を示す。装置は電気式回転ドライブ2を含み、このドラ
イブは、回転ドライブ2の回転子5として設計され流体
1内で回転可能な回転体5と、ステータ3とを有する。
回転子5は、軸方向に延びる高さHよりも直径Dが大で
あることが好ましい。ちなみに、回転体5がステータ3
に対し非接触式で磁気的に回転軸を軸支され、回転子5
用の別個の磁気ベアリングがないということが本発明に
とって重要である。電気式回転ドライブ2のステータ
(固定子)3は、駆動用磁場を発生するための駆動巻線
と、ステータ3に対する回転子5の位置を制御用電流に
よって調節することができる制御用磁場を発生するため
の制御巻線とを含むステータ巻線4を有する。また、ス
テータ巻線4は、加熱用電流を発生するための更なる巻
線を含むことが可能である。駆動用磁場は、回転磁場を
形成するのに適しており、回転子5にトルクを作用さ
せ、ステータ3に対する回転体5の回転を引き起こす。
これに関連するが、回転磁場は、既知方法である場指向
性駆動調節(英語では「vector contro
l」(ベクトル制御)として知られる)に従ってトルク
形成電流Iqによって制御される。
状態のパラメータまたは制御のパラメータとして使用し
た場合、当然この用語は、例えば電圧や電力のように同
様な特性付けに適した他の電気的パラメータも表わす。
ターン(もどり)・ヨーク31により結合され長肢と短
肢を有し各々L字形に形成された複数のステータ歯6を
有する、テンプル・モータとして設計されることが好ま
しい。ちなみに、長肢が回転子5の所望の回転軸Ωに平
行に延在し、短肢が前記所望の回転軸Ωに向って径方向
に延在することが好ましい。図2に示したように、この
結合で複数のステータ歯6の短肢は、回転体5を受け入
れるのに適した実質的に円筒状の領域を形成する。回転
子5は好ましくは永久磁石式であるが、磁場励起の回転
子5として設計することも当然可能である。永久的に磁
気励起の回転子5が磁場励起の回転子5との比較で有す
る具体的利点は、磁場励起のための電流が不要であり、
したがってエネルギー不要という事実にある。それゆ
え、永久的に磁気励起された回転子5を有する回転ドラ
イブ2の使用は、トルク形成電流Iqを計測することに
よって粘度ηを決定するためには特に有利であることが
分かる。回転子ハウジング7は、回転体5を完全にまた
は部分的に取り囲むことが可能である。しかし、特定の
状況下では回転体5は回転子ハウジング7内に収容され
ないことが考えられる。例えば、対応した電気絶縁方策
を採れば、本発明による装置は、回転子ハウジング7が
不要になるように、例えば流体1を満したコンテナ内で
完全にまたは部分的に流体1内に配置することができ
る。
質的に滑らかな表面を備えた平坦な円盤として形成され
る。回転ドライブ2の速度が定常値ωに達したときすな
わち静的状態では、回転磁場によって駆動される回転体
5は、トルク形成電流Iqが実質的に流体1の粘度ηの
みによって決まる状態で、流体1内で回転する。とりわ
け、いわゆるインライン(工程内)計測手段を用いる工
程中の計測では、場所および/または時間によって粘度
の値ηにばらつきが生じ得るので、流体1の充分な循環
が確実なものとなるよう配慮がなされなければならな
い。例えば、図1に示したように流動している流体1の
粘度ηを連続的に監視すべき場合は、適当な手段を用い
て、回転体5の付近を新たな流体1が定常的に流れてい
くことを確実にしなければならない。この目的で、回転
体5は、最も単純な場合には例えば図1や図3に示した
ように、径方向および/または軸方向の1つまたは複数
の穴あけ81によって実現される循環補助物8を含むこ
とが可能である。好ましくは、図5に示したように、回
転体5の表面に循環補助8としてのシャベル様の装置が
設けられる。循環補助物8として流体1の循環を改善す
る様々な設計の構造要素を回転子5に設けること、或い
は回転子ハウジング7に設けることも、また、考えられ
る。図6に示したように、回転体の形状を適切に選択す
ると、流体1の循環をも改善することが可能である。循
環補助物8を種々組み合わせたものも、もちろん想定可
能である。ちなみに、循環補助物8の構造特性は、本発
明の装置の計測精度向上にも貢献可能である。というの
は、流体1内の回転体5の摩擦が循環補助物8によって
一般に増大するからなのであるが、詳しくはこれがトル
ク形成電流Iqの変動を増し、それゆえ変動中の粘度η
の測定感度を増すからである。図4および図7に概略的
に示したように、測定感度を増すために更なる器具14
を設けることも可能である。これは追加の量の流体1を
回転体5に結びつけるのに適しており、したがって、流
体1内での回転体による流動抵抗を増すのに適してい
る。器具14は、低粘度の流体1または低密度の流体1
に特に有利であると判っている。図4Aは、図4の線D
−Dに沿った断面図で器具14の実施形態を示す。
する熱力学的状態パラメータを決定するための、あるい
は、pHセンサや光学センサなど流体1の様々な化学的
または物理的特性を計測する計測プローブ、といった様
々な計測プローブに加え、本発明による装置は、流体1
の温度Tを決定する温度センサ11(図1)を有するこ
とも可能である。複数の流体1については、温度Tへの
粘度ηの依存性は、多少程度の差こそあれ強いものであ
り、それゆえ、温度Tの決定は、粘度ηの決定と時と場
所を同じくして行われなければならない。一定量のオー
ム加熱をステータ巻線2に当然生じるものである本発明
による装置は、あるの状況下では、流体1から大いに熱
的に隔てられることが必要ということも有り得る。この
目的で様々な方策が想定されるが、それらの個々を例示
の目的で以下に説明する。図9に示したように、例え
ば、L字形のステータ歯6の長肢および/または短肢の
設計によって、ステータ巻線4を含むステータ3の領域
を、ステータ巻線4の発熱の最大50%、好ましくはせ
いぜい5%が流体1内につながるように、回転体5に関
して配置することができる。ステータ巻線4と流体1の
熱的非結合は、例えば断熱手段によっても達成可能であ
る。例えば、図9に示したように、回転ドライブ2のス
テータ3が、断熱のための断熱手段9を有することが可
能であり、同様に、回転子ハウジング7もまた断熱のた
めの装備10を含むことが可能である。断熱手段9は、
例えば、冷却リブを備えたハウジングを含む冷却ジャケ
ットとして設計可能であり、このハウジングは、追加的
に外部的に冷却することができ且つ/または熱放散のた
めの更なるデバイスを備える。回転子ハウジング7の断
熱のための装備10は、図9に示したように、回転子ハ
ウジング7と装備10の間に温度センサ11の受け入れ
や断熱材の受け入れに適した介在スペース101を形成
するようなケーシングとして設計可能である。また考え
られることは、介在スペース101を排気可能とするこ
とで、そうすれば特に効果的な断熱が達成可能である。
当然に装備10も断熱手段9と同様に、冷却リブを備え
たハウジングを含む冷却ジャケットとして設計可能であ
り、このハウジングは、追加的に外部的に冷却すること
ができ且つ/または熱放散のための更なる仕掛けを備え
る。
しかし、全ての場合において望ましいというわけではな
い。しばしば、温度依存性の粘度ηは、1つまたは複数
の既定された温度Tで決定することが可能でなければな
らない。すなわち、流体の温度Tは、制御および/また
は調節されなければならない。そのような場合には、本
発明による装置は、流体1に対するサーモスタットとし
て使用可能、すなわち、同時に加熱手段として使用可能
である。この目的では、強度および頻度を調節可能な加
熱電流を、ステータ3の巻線のいずれか1つに流すこと
が可能であり、そうすれば、ステータ3およびその結果
として流体1を、ステータ歯6への熱的結合によって事
前設定可能な温度Tに到達させることが可能である。加
熱電流を発生させるためには、ステータ巻線4が追加的
に別個の加熱用コイルを含むことも可能である。これに
代えて、ドライブの磁場−指向性調節において、トルク
形成電流Iqに加えて磁化電流を付与することが可能で
あり、これは、永久的に磁気励起のドライブ2の場合は
特に、ステータ巻線4における熱損の増大を主にもたら
し、よって温度Tの調節を可能とする。
回転している回転体5は、調節可能な油圧ポンプ動力を
追加的に供給できるようになる。ちなみに、回転ドライ
ブ2は、図15に例示したように、好ましくは動作範囲
Aで動作し、そこでは、回転体5の回転によって流体内
で変換される粘性動力損失の一部分が、電気式回転ドラ
イブ2の機械的動力の少なくとも80%、特に少なくと
も95%に達する。粘度ηをトルク形成電流Iqから求
める場合、油圧ポンプ動力は当然計算に入れなければな
らず、その結果は、ポンプ給送した体積流量とそれに対
応する圧力差Δρとの積になる。本発明による装置が上
述したように動作範囲A内で運転されると、単位時間当
たりにポンプ給送される体積が回転ドライブ2の回転数
ωに正比例し、したがって求値が特に簡単である。粘性
動力損失と比較して油圧ポンプ動力が無視できるほど小
さい場合はこれに該当しない。図7および図7Aは、例
示として、油圧ポンプ動力を提供するに適した本発明に
よる装置について各々一実施形態ずつを示す。図7の実
施形態は、回転子ハウジング7により完全に取り囲まれ
た回転体5を備える遠心ポンプを概略的に示す。回転子
ハウジング7は、ここでは流体1を導入するためのイン
フロー(流入路)12および流体1を排液するためのア
ウトフロー(流出路)13を含む。図7Aは、そのよう
な実施形態の他の変形例として、側方通過ポンプを概略
的に示す。図7Bおよび図8は、それぞれ、図7Aによ
る線D−Dに沿った断面図、そして油圧ポンプ動力を起
こすためのポンプ・ベーン82を備えた図7による線E
−Eに沿った断面図を示す。
Aに概略を示した本発明による装置の実施形態は、図1
0および図11に示したように、流体1の粘度ηを例え
ば流体1が入っている容器15内の様々な場所Xで、事
前設定可能な時間的順序で、引き続いて決定すべき場合
に特に有利であることが判明した。容器15は、例え
ば、図10に示したように貯蔵コンテナとして設計可
能、または図11に描いたようにラインとしても設計可
能であり、あるいは他の異なる形状にも設計可能であ
る。図10に示した容器15は、例えば反応容器である
ことが可能であり、その中に流体1が入れられて遅い化
学反応をたどるが、その最中で時間的にも場所的にも粘
度ηのばらつきが生じる。粘度ηを決定することで化学
反応の進行過程を時間的そして場所的に分析して観察す
ることが可能なように、インフロー12は、例えば、容
器15内の様々な場所へ移動させることが可能な転置可
能フィーダ(供給器)として設計可能である。ちなみ
に、化学的プロセスに加えて、多成分流体1の混合や同
様な処理をはじめとする物理的工程も、当然に観察可能
である。例として粘度ηは、図11に示したように、例
えば流体1が通り抜けて流れる管内の沈殿過程や他の状
況によって管内の場所Xに依存することが有り得る。流
動している流体内の粘度ηは、ここでもまた転置可能フ
ィーダとして設計可能であるインフロー12により、場
所および/または時間に依存して、流動中流体1内に可
能である。本発明による装置は、当然、既に述べたよう
に、同時にまた油圧ポンプ動力を供給することが可能で
あり、したがって、例えば図10に示した実施形態で
は、容器15内の混合をさらに支援することが可能であ
る。
つまたは複数の場所Xで連続的に測定することも可能で
ある。このやり方で決定された粘度ηの瞬間的な値は、
その後、追加的な機械的および/または電気的装置(図
示せず)によって化学的または物理的プロセスの制御お
よび/または調節に役立てることができる。したがって
例えば化学的または物理的プロセスに関与する物質の送
出、または温度Tをはじめとするプロセス・パラメータ
の調節も、粘度ηに依存して営むことが可能である。
は、粘度ηへの依存に加え、圧力や温度Tのような熱力
学的状態パラメータにもまた一般に依存する。また、更
なる物理的諸特性の関数であり、とりわけ、流体1の密
度の関数である。本発明による装置の助けを得て流体1
の密度の決定を行う一つの実現可能性は、流体1内で一
定速度ωではなく、事前設定可能な計画に従って速度ω
および/またはトルク形成電流Iqを変化させながら回
転する回転体5で構成される。或る所定温度および或る
既知粘度であれば、内部摩擦FRの変動は、回転体5の
既知の慣性モーメントと回転体5の変更中の速度ωと流
体1の密度のみに実質的に依存する。この理由は、流体
1内で回転中の回転体5の速度ωが変更されるときは、
内部摩擦FRにより回転体5に結合された液体層すなわ
ちそれらの集まりが加速されなければならない、という
事実に根差している。ちなみに速度ωの時間変化は、当
然に一対一対応の関係でトルク形成電流Iqにおける変
化に対応する。
決定する方法の2つの基本的な変形形態を図12および
図13に関して以下に説明する。図12および図13に
は示していない第1の処理ステップで粘度ηを決定した
後、適当な制御または調節装置(図示せず)によって、
回転体5の速度ωを事前設定可能な計画に従って変化さ
せる。図12では、速度ωは、時間tの関数としての鋸
歯関数によって変化される。その変化は、他のいかなる
事前設定可能な周期的または非周期的な計画に従って営
まれることも可能である。例えば、回転体5の速度ω
は、正弦関数曲線のコースまたはスクエア関数のコース
に従うことが可能であり、あるいは、その回転は、例え
ばインパルス形態で駆動される方法で行われることも可
能である。速度ωは、一定に保つことも当然に可能であ
る。速度ωを事前設定した場合、対応するトルク形成電
流Iqは一対一対応で関係し、その上、その時間依存コ
ースから流体1の密度を求めることが可能である。図1
2で示した線図上部で、回転体5の回転数ωは、時間t
の関数として入力される。線図下部に、2つの流体1に
ついての対応付けられたトルク形成電流IqのコースF1
およびF2を概略的に示した。ちなみに、コースF1は、
より高い密度を有する流体1に対応付けられており、一
方で、コースF2は、より低い密度を有する流体1の特
性を示す。
Iqのコースは、制御または調節装置(図示せず)によ
って事前設定され、このコースは、図13の線図上部で
示したように、たとえば、時間tの関数として矩形コー
スをたどることが可能である。トルク形成電流Iqは、
他のいかなる時間の関数を有することも当然に可能であ
る。特に、トルク形成電流Iqは一定に保つことも可能
である。本発明による方法のこの変形形態では、流体1
の密度は、図13の線図下部で概略的に描かれた結果的
な回転体5の速度ωの得られる対時間コースから求めら
れる。
ηを決定するために流体1内で回転可能な回転体5を備
えた電気式回転ドライブ2を含む装置および方法が提案
される。ちなみに、回転ドライブ2の回転子5として設
計される回転体5が、回転子5を備えるハウジング部を
通じてステータ3に対し非接触式で磁気的に回転軸を軸
支されるということが本発明にとって重要である。ちな
みに粘度ηは、回転ドライブ2またはそれに関連したト
ルク形成電流Iqから求めることが好ましい。
に関連して提案された方法は、従来の技術と比較して多
大な利点および改善を示す。回転体5が完全に非接触式
で支持されるので、回転ドライブ2は、複雑なシールま
たは同様の機器を必要とするような駆動要素やベアリン
グを全く有さない。したがって本発明による装置は、ま
ず一観点として、特にシールやベアリングを攻撃して永
久的に損傷を起こしかねないことが知られている化学的
または物理的に攻撃的な流体1を検査しなければならな
い場合、並外れて適している。したがって、可能な適用
領域の範囲が、従来技術に対して大きく拡大される。ま
た、本発明による装置は、大部分が保守不要であり、少
なくともメンテナンス間隔をかなり延ばすことができ
る。それは最終的には、既知の粘度計に対して提案され
た本装置の経済的実用性および信頼性の向上につながっ
ている。
度ηの決定において格別な利点をなす。回転体5が完全
に非接触式で支持されるので、流体1の粘度ηを求める
ときに、例えばベアリング摩擦によるような追加的な摩
擦損失を計算に入れなくともよい。したがってトルク形
成電流Iqは、流体1の内部摩擦FRについて直接的に尺
度となる。これは、従来の粘度計で通常不可避的に生じ
る摩擦損失と同等かもっと少ない摩擦損失でも流体1内
で検知可能であることを意味する。本発明による装置の
極めて高い測定精度は、図14に効果的に示される。曲
線TFは、流体1の温度Tのコースを時間tの関数とし
て示す。温度Tは、図14の線図の左側縦軸上に記入さ
れている。曲線Iqは、対応付けられたトルク形成電流
Iqのコースを示し、それから求められた流体1の粘度
ηが、センチポイズ単位で線図の右側縦軸に示されてい
る。この線図が明確に示しているように本発明による装
置は、0.1パーセント範囲またはより優れた測定精度
を容易に可能とする。
度ηの決定のみを可能にするわけではなく、特定の実施
形態ではまた同時に、ポンプ装置として追加的に使用さ
れる、またはステータ巻線4内に導入可能な加熱電流に
より流体1を適度なものとすることも可能にする。また
本発明の装置は、流体1の更なる物理的特性、例えば密
度を、トルク形成電流Iqおよび/または回転体5の速
度ωを変化させることによって決定することもさらに可
能とする。したがって流体1の粘度の決定のための本発
明による装置は、最終的には、用途の広い調節ユニット
として非常に様々な物理的または化学的プロセスの制御
または調節に使用することさえ可能である。
子ハウジングとを備えたテンプルモータを含む本発明に
よる装置の実施形態を示す図である。
面図である。
面図である。
実施形態を示す図である。
の断面図である。
実施形態の断面図である。
である。
転体を備え、遠心ポンプとして設計された第3の実施形
態を図1と同様に示す図である。
更なる実施形態を示す図である。
面図である。
である。
実施形態を示す図である。
構成の概略図である。
ための配置の概略図である。
の、トルク形成電流の時間依存性を示す図である。
の回転数の時間依存性を示す図である。
(下)の間の関係を表わす図である。
Claims (23)
- 【請求項1】 流体(1)の粘度(η)を決定する装置
であって、ステータ巻線(4)を有するステータ(3)
と、流体(1)内で回転可能な回転体(5)とを備えた
電気式回転ドライブ(2)を含み、この回転体が回転ド
ライブ(2)の回転子(5)として設計される装置にお
いて、回転体(5)がステータ(3)に対して非接触式
で磁気的に軸支されることを特徴とする装置。 - 【請求項2】 回転子(5)用の磁気支持部と前記ドラ
イブとが、電気式回転ドライブ(2)において無軸受モ
ータの原理に従って1つのユニットを形成する請求項1
に記載の装置。 - 【請求項3】 回転体(5)が、該回転体(5)を取り
囲むハウジング部によって、ステータ(3)に対し非接
触式で磁気的に軸支される請求項1または請求項2に記
載の装置。 - 【請求項4】 回転子(5)の直径(D)が、軸方向に
延びる回転子の高さ(H)よりも大である請求項1から
請求項3までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項5】 電気式回転ドライブ(2)がテンプル・
モータとして設計され、該モータにおいてはステータ
(3)が複数のステータ歯(6)を有し、これら歯は磁
気リターン・ヨーク(31)により結合され各々L字形
に形成され、ステータ歯(6)の一方の肢部が、回転子
(5)の所望の回転軸(Ω)に平行に延び、ステータ歯
(6)の他方の肢部が、前記所望の回転軸(Ω)に向か
って径方向に延び、電気式回転ドライブ(2)のステー
タ巻線(4)が、ステータ歯(6)の長い方の肢部に設
けられる請求項1から請求項4までのいずれか一項に記
載の装置。 - 【請求項6】 永久磁石式回転子(5)を有する請求項
1から請求項5までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項7】 回転体(5)が、完全にまたは部分的に
回転子ハウジング(7)によって取り囲まれる請求項1
から請求項6までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項8】 回転体(5)が、流体(1)の循環を改
善する循環補助物(8)を有する請求項1から請求項7
までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項9】 ステータ(3)が、断熱のための断熱手
段(9)を有する請求項1から請求項8までのいずれか
一項に記載の装置。 - 【請求項10】 回転子ハウジング(7)が、断熱のた
めの装備(10)を含む請求項1から請求項9までのい
ずれか一項に記載の装置。 - 【請求項11】 流体(1)の温度(T)を決定するた
めの温度センサ(11)を有する請求項1から請求項1
0までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項12】 回転体(5)が、実質的に油圧ポンプ
動力を与えないように形成され配設されている請求項1
から請求項11までのいずれか一項に記載の装置。 - 【請求項13】 インフロー(12)およびアウトフロ
ー(13)を備え、流体(1)用の回転ポンプとして構
成されている請求項1から請求項12までのいずれか一
項に記載の装置。 - 【請求項14】 ステータ巻線(4)を有するステータ
(3)と、回転ドライブ(2)の回転子(5)として設
計され流体(1)内で回転することのできる回転体
(5)とを備えた電気式回転ドライブ(2)を含む、流
体(1)の粘度(η)決定方法であって、回転体(5)
がステータ(3)に対し非接触式で磁気的に軸支される
ことを特徴とする方法。 - 【請求項15】 粘度(η)が、電気式回転ドライブ
(2)の電気的運転データおよび/または機械的運転デ
ータの測定によって求められる請求項14に記載の流体
(1)の粘度(η)決定方法。 - 【請求項16】 インライン式に行われる請求項14ま
たは請求項15に記載の方法。 - 【請求項17】 回転体(5)が、油圧ポンプ動力を与
える請求項14から請求項16までのいずれか一項に記
載の方法。 - 【請求項18】 回転ドライブ(2)は、流体(1)内
の回転体(5)の回転により変換される粘性動力損失部
分が電気式回転ドライブ(2)の全動力の少なくとも8
0%、特に少なくとも95%に達する運転範囲(A)で
運転される請求項14から請求項17までのいずれか一
項に記載の方法。 - 【請求項19】 トルク形成電流(Iq)が、流体
(1)の粘度(η)を求めるための事前設定可能な計画
に従って回転ドライブ(2)のステータ巻線(4)によ
って変更される請求項14から請求項18までのいずれ
か一項に記載の方法。 - 【請求項20】 回転ドライブ(2)の速度(ω)が、
流体(1)の粘度(η)を求めるための事前設定可能な
計画に従って変更される請求項14から請求項19まで
のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項21】 流体(1)の温度(T)が、ステータ
巻線(4)に与えられる発熱電流の変更により調節また
は制御される請求項14から請求項20までのいずれか
一項に記載の方法。 - 【請求項22】 第1の運転モードおよび少なくとも1
つの更なる運転モードを含み、前記第1の運転モードで
は流体(1)の少なくとも1つの物理的特性、好ましく
は粘度(η)、を求め、前記更なる運転モードでは好ま
しくは流体(1)の密度である更なる物理的パラメータ
を求める請求項14から請求項21までのいずれか一項
に記載の方法。 - 【請求項23】 流体(1)の少なくとも1つの物理的
特性が、場所(X)および/または時間(t)の関数と
して求められる請求項14から請求項22までのいずれ
か一項に記載の方法。
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