JP2003107308A - 発光素子と集光系光学部品の位置決め方法とその位置決め装置 - Google Patents

発光素子と集光系光学部品の位置決め方法とその位置決め装置

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JP2003107308A
JP2003107308A JP2001303107A JP2001303107A JP2003107308A JP 2003107308 A JP2003107308 A JP 2003107308A JP 2001303107 A JP2001303107 A JP 2001303107A JP 2001303107 A JP2001303107 A JP 2001303107A JP 2003107308 A JP2003107308 A JP 2003107308A
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Japan
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area value
emitting element
optical component
positioning
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JP2001303107A
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English (en)
Inventor
Tatsuya Sakano
達哉 坂野
Shigekazu Minami
繁和 南
Keiji Kasahara
啓司 笠原
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Fujitsu Quantum Devices Ltd
Shibuya Corp
Original Assignee
Shibuya Kogyo Co Ltd
Fujitsu Quantum Devices Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 LDと第2レンズを光軸方向に相対移動
させながら、第2レンズを通過したLDの光をカメラで
撮像して位置決めを行う。そして、その位置決めにあた
っては、撮像した画像を異なる第1のしきい値と第2の
しきい値により認識したそれぞれの領域の面積値を求
め、第1のしきい値での極小位置を含む所定範囲の相対
位置を第1の候補位置として選出するとともに第2のし
きい値で極小位置を含む所定範囲の相対位置を第2の候
補位置として選出し、そして、共通して選出された相対
位置での面積値に基づいてLDと第2レンズの光軸方向
における位置決めを行う。 【効果】 従来に比較して確実に発光素子と集光系光学
部品を光軸方向における最適な相対位置に位置決めする
ことができるので、焦点位置の誤認識による不良品の発
生を低減することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光モジュール等を構
成する発光素子と集光系光学部品の光軸方向における相
対的な位置決め方法とその位置決め装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来一般に、発光素子と集光系光学部品
を光軸方向に相対移動しながら集光系光学部品を通過し
た発光素子の光を撮像手段で撮像するとともに、その撮
像した画像に基づいて発光素子と集光系光学部品を最適
な相対位置に設定することは行われている。この様に、
撮像手段で撮像した結果に基づいて発光素子と集光系光
学部品の光軸方向における位置決めを行なう技術が、特
開平8−114735号公報や特開平8−297229
号公報等で提案されている。上記特開平8−11473
5号公報に開示されている技術では、発光素子と集光系
光学部品の光軸方向における位置決めにおいて、発光素
子に対して集光系光学部品の光軸方向における相対位置
を調節しながら、撮像手段により得られる画像の変化を
観察し、そして、画像の大きさが減少から増加に転じる
位置、つまり画像が最も小さくなる相対位置を最適位置
としている。他方、上記特開平8−297229号公報
に開示されている技術では、光軸上に設定した撮像手段
で集光系光学部品からの位置を異ならせて発光素子であ
るレーザダイオードの光束の大きさを撮像し、そして、
撮像した光束の大きさの違いから集光位置を計算で求め
るとともに、その計算で求めた集光位置と本来集光され
るべき集光位置とのずれを求め、そして、そのずれ量に
基づいて発光素子と集光系光学部品の光軸方向における
本来集光されるべき位置を求め、その位置に基づいて発
光素子と集光系光学部品の光軸方向における位置決めを
行なっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、レンズを通
過したレーザダイオード(LD)の光は焦点付近では集
光して小さく認識され、焦点から離れるに従って拡散し
て大きく認識される。このため、焦点から大きく離れた
位置では光の明るさが弱く設定したしきい値では殆ど認
識できず、小さくなってしまう。また、焦点位置から徐
々に離れていくと、光軸周りに多重の干渉縞が現れたり
消えたりすることによって、光の明暗の部分が変化する
現象が起こる。このような現象のため、光が減少から増
加に転じる極小となる位置が焦点位置以外にも検出され
る場合がある。例えば図5は、位置決めされた集光系光
学部品としてのレンズに対して発光素子としてのLDを
光軸方向に所定の範囲内で等間隔ずつ間欠移動させ、各
相対位置でレンズを通過したLDからの光を撮像し、光
の明るさが設定したしきい値以上の領域の面積値を求
め、上記相対位置と面積値の関係をグラフに表したもの
であり、このグラフには上述した極小となる位置が相対
位置(7)に現れていることが分かる。
【0004】そして、上記の特開平8−114735号
の技術は、設定したしきい値において光として認識され
る領域が減少から増加になる一部の範囲での観察であ
り、図5のグラフではAの範囲での観察であることがわ
かる。ところが、このAの範囲のほぼ中央に焦点が位置
するようにレンズとLDの相対位置を予め設定しても、
LD自身の特性のばらつき、或いはレンズの把持の際に
生じるズレやレンズを内部に保持する枠部とレンズの取
付け位置の誤差等により、焦点が上記Aの範囲のほぼ中
央から大きくずれたり、場合によっては範囲外になった
りすることがあった。このような場合に、画像処理によ
り自動で最適な位置を求めようとすると、本来の焦点位
置から大きくずれた位置を選択するという問題があっ
た。例えば、最適位置として相対移動の範囲内で面積値
が減少から増加に転じる極小となる位置を選択するよう
にした場合、相対移動の範囲がA1となったとすると本
来の焦点位置(11)とは大きく離れた相対位置(7)
を選択してしまう。また、単に面積値が最小となる位置
を選択するようにした場合でも相対位置(2)を選択し
てしまう。これを防ぐためにLDとレンズの相対移動の
範囲を広く設定すると、上記のような極小となる位置が
複数現れたり、光が最も小さくなる位置が焦点位置でな
かったりすることになる。このような事情から本来選択
すべき最適位置以外を選択する虞があった。また、上記
の特開平8−297229号の技術でも、上述のような
LDの光の性質により光の大きさを誤認識して焦点位置
を計算で求めると、本来の集光位置とは違う位置となる
という問題があった。そこで、本発明はそのような事情
に鑑み、従来に比較して確実に発光素子と集光系光学部
品とを最適な相対位置に位置決めし、焦点位置の誤認識
による不良品の発生を低減することができる位置決め方
法とその位置決め装置を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1で
は、発光素子と集光系光学部品を光軸方向に相対移動し
ながら集光系光学部品を通過した発光素子の光を撮像手
段で撮像するとともに、その撮像した画像に基づいて発
光素子と集光系光学部品を最適な相対位置に設定する発
光素子と集光系光学部品の位置決め方法において、上記
撮像装置で撮像した光の画像を異なる2つ以上のしきい
値により認識してそれぞれに認識した領域の面積値を求
めるとともに、それぞれのしきい値での面積値が減少か
ら増加に転じる極小面積値が得られる極小位置を含む所
定範囲を候補位置として選出し、そして、各しきい値で
共通して候補位置となった相対位置での面積値に基づい
て最適な相対位置を求めて位置決めするものである。ま
た、請求項4では、発光素子と集光系光学部品の少なく
とも一方を光軸方向および光軸と直交する方向に相対移
動させる移動手段と、上記集光系光学部品を通過した発
光素子からの光を撮像する撮像手段と、上記撮像手段か
ら画像を取り込んで画像処理する画像処理装置と、この
画像処理装置での結果をもとに発光素子と集光系光学部
品の最適な相対位置を求めて位置決めする制御装置とを
備え、上記移動手段で、発光素子と集光系光学部品を相
対移動させながら制御装置により発光素子と集光系光学
部品の最適な位置を求めて位置決めする発光素子と集光
系光学部品の位置決め装置において、上記画像処理装置
は、発光素子と集光系光学部品の光軸方向における位置
決め時には、2つ以上の異なるしきい値を設定してそれ
ぞれに認識した領域の面積値を求め、また、上記制御装
置は、上記面積値をもとにそれぞれのしきい値での面積
値が減少から増加に転じる極小面積値が得られる極小位
置を含む所定範囲を候補位置として選出する工程と、そ
して、各しきい値において共通して候補位置となった相
対位置での面積値に基づいて光軸方向における最適な相
対位置を求めて位置決めする工程とを有するものであ
る。
【0006】上述した請求項1の位置決め方法および請
求項4の位置決め装置によれば、例えば第1のしきい値
での極小面積値が得られた極小位置を含む候補位置と第
2のしきい値での極小面積値が得られる極小位置を含む
候補位置を選出し、そして、各しきい値で共通して候補
となった候補位置でのそれぞれの面積値に基づいて最適
な相対位置を求めて位置決めしているので、焦点を誤認
識することがない。このように焦点を誤認識することが
ないことから発光素子と集光系光学部品の相対移動範囲
を広く設定することが可能となり、それにより複数の極
小面積値の中から最適な相対位置を選択することができ
る。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図示実施例として、光モジ
ュールを構成する発光素子としてのレーザダイオード
(以下LD)1と集光系光学部品としての第2レンズ2
の位置決めについて以下に説明する。図1はLD1と第
2レンズ2の位置決め方法を実施する位置決め装置Mの
概略斜視図であり、図2はその要部拡大図である。LD
1が載置固定されるマウントキャリア3上には正面光が
通過するように第1レンズ4が固定されている。なお、
第2レンズ2は位置決めされた後、マウントキャリア3
に固定されるもので、第2レンズ2を通過した背面光
(以下光)はコリメートされてこれよりも後でマウント
キャリア3に固定される図示しないフォトダイオードに
入射されることになる。5はマウントキャリア3を位置
決めして載置する溶接ステージであり、この溶接ステー
ジ5は、移動手段として光軸と直交する方向であるX・
Y方向及び光軸方向であるZ方向の3方向にマウントキ
ャリア3を移動可能に構成されている。そして、上記マ
ウントキャリア3に第2レンズ2を固定する固定手段と
してのYAGレーザ溶接装置(図示せず)が上記溶接ス
テージ5を囲むように設けられている。また、溶接ステ
ージ5の近傍には、既にLD1と第1レンズ4を固定し
たマウントキャリア3を多数整列して収容したトレー
(図示せず)から取り出して溶接ステージ5に載置し、
第2レンズ2を取り付けた後再びトレーに収容する搬入
搬出装置(図示せず)、及び第2レンズ2を多数整列し
て収容したトレー(図示せず)から取り出して、LD1
の光が通過する所定の位置に保持する搬送装置6が配置
されている。また、溶接ステージ5のZ方向に離れた位
置には、上記第2レンズ2を通過した光を撮像する撮像
手段としての赤外線ビジコンカメラ(以下カメラ)7が
設けられている。上記カメラ7で撮像された光の画像
は、画像処理装置8で画像処理されてからLD1と第2
レンズ2の相対位置を選択する制御装置10に入力され
るようになっている。上記画像処理装置8は、入力され
た画像データを256階調に多値化し、かつその多値化
した画像データから予め設定したしきい値を上回る明る
さの領域の面積値を求めており、その求めたデータ(面
積値)を上記制御装置10に送る一方、上記画像をオペ
レータが目視により観察できるようにモニタ9へも送っ
ている。しかして本実施例では、上記の位置決め装置に
おいて、LD1と第2レンズ2を最適な位置に位置決め
することができる位置決め方法について以下に説明す
る。
【0008】先ず、マウントキャリア3と第2レンズ2
とは図示しないが別々のトレーに多数整列されて収容さ
れて溶接ステージ5の近傍位置に搬入されており、この
ときマウントキャリア3には既にLD1と第1レンズ4
が取り付けられている。そして、図示しない搬入搬出装
置によってトレー内からマウントキャリア3を取り出し
て、溶接ステージ5の所定位置に載置してセットした
後、搬入装置6により別のトレー内から第2レンズ2を
取り出し、かつその取り出した第2レンズ2については
搬入装置で保持したままLD1の光のほぼ光軸上となる
所定位置に停止させる。この状態となったらLD1に通
電してこれを発光させるようになっており、これにより
第2レンズ2を通過した光がカメラ7に入射して撮像さ
れるとともにこのカメラ7で撮像された画像は画像処理
装置8に送信され、そして、画像処理装置8で画像処理
されたデータ(面積値)がモニタ9と制御装置10に送
信される。制御装置10は、画像処理されたデータに基
づいて溶接テーブル5をX方向及び/又はY方向に移動
させて光軸を所望の位置になるように調芯する。この調
芯については、従来周知の調芯方法を用いることができ
るので、ここでの詳細な説明は省略する。そして、光軸
と直交する方向での調芯が終了したら、光軸方向での焦
点合わせを行う。この焦点合わせでは、LD1と第2レ
ンズ2を光軸方向に相対移動させながら第2レンズ2を
通過したLD1の光をカメラ7で撮像してデータ取りを
行う。このデータ取りでは、先ず、第2レンズ2を保持
する搬入装置6を作動させることなくLD1を有するマ
ウントキャリア3を載置する溶接ステージ5のみをZ方
向に前進させることによって、第2レンズ2に対してL
D1を予め設定した計測開始点まで接近させる。このよ
うに第2レンズ2とLD1を接近させたら、LD1を通
電してこれからの光を発振させた状態で溶接ステージ5
をZ方向に所定間隔ずつ後退させながらカメラ7で第2
レンズ2を通過したLD1の光を撮像する。なお、溶接
ステージ5のZ方向の移動範囲はその範囲内に焦点位置
が含まれるように広く設定されている。このとき、画像
処理装置8には、予め高いしきい値と低いしきい値の2
つのしきい値が設定されており、カメラ7で撮像された
画像は、画像処理装置8において高いしきい値で認識さ
れる領域の第1の面積値Hと低いしきい値で認識される
領域の第2の面積値Lとが求められる。そして、制御装
置10は、第1の面積値Hと第2の面積値Lを第2レン
ズ2に対するLD1の計測位置(相対位置)に関連付け
しながら記憶する。このようにしてデータ取りしたもの
をグラフにした例が図3及び図4である。この図3と図
4は異なるLD1と第2レンズ2での組み合わせで得ら
れたものである。なお、これらのグラフの縦軸は認識さ
れた領域の面積値であり、横軸はLD1と第2レンズ2
との相対位置である。上述したデータ取りが終了した
ら、制御装置10は、高いしきい値での第1の面積値H
が減少から増加に転じる極小となる相対位置(極小位
置)HSを選出するとともに、その極小位置HSとその
前後の相対位置を第1の候補位置として選出する一方、
同様に低いしきい値での第2の面積値Lが減少から増加
に転じる極小面積となる相対位置(極小位置)LSを選
出するとともに、その極小位置LSとその前後の相対位
置を第2の候補位置として選出する。ここでは、第1の
候補位置と第2の候補位置の選出を共に極小位置の前後
としたが、範囲を広く設定することも可能である。そし
て、第1の候補位置と第2の候補位置の選出が終了した
制御装置10は、第1の候補位置と第2の候補位置で共
通して候補となった相対位置を選択し、候補を絞り込
む。次に制御装置10は、絞り込んだ候補位置での第1
の面積値Hと第2の面積値Lを加算して合計面積値H+
Lを求めるとともに、各位置での合計面積値H+Lのう
ち最も小さい合計面積値H+Lである相対位置を第2レ
ンズ2に対するLD1の光軸方向における最適位置であ
るとして選択する。最後に、制御装置10は、選出した
合計面積値H+Lが良否判定値K1とK2の範囲内にあ
るか否かで適正か否か判定し、合計面積値H+Lが良否
判定値K1とK2の範囲外であれば不良品と判定する。
なお、本実施例では、第1の候補位置と第2の候補位置
で共に候補となった相対位置で第1の面積値Hと第2の
面積値Lを加算して合計面積値H+Lを求め、その求め
た合計面積値H+Lで最も小さい値が得られる相対位置
を選択するようにしているが、第1の面積値H又は第2
の面積値Lのいずれかのうちで最小の面積値である相対
位置を選択するようにしてもよい。また、最後に行う良
否判定は、第1の面積値Hと第2の面積値Lの合計面積
値H+Lで判定しているが、第1の面積値Hと第2の面
積値Lのいずれかで判定してもよい。
【0009】以上の処理について、図3のデータを例に
して具体的に説明すると、制御装置10は第1の面積値
Hと第2の面積値Lを走査し、第1の面積値Hでは相対
位置(7)と相対位置(12)の2ヶ所で極小位置とな
っているので、これら極小位置(7)と極小位置(1
2)を含む前後位置(6),(8)と(11),(1
3)を第1の候補位置として選出するとともに、第2の
面積値Lからは相対位置(12)の1ヶ所で極小位置と
なっているので、この極小位置(12)を含む前後位置
(11),(13)を第2の候補位置として選出する。
次に、制御装置10は、選出した第1の候補位置と第2
の候補位置について絞り込みを行い、第1の候補位置と
して選出された第1の候補位置(6),(7),(8)
については第2の候補位置で選出されていないことから
候補から外す一方、第1の候補位置と第2の候補位置と
して共通して選出されている候補位置(11),(1
2),(13)に候補を絞り込み、そして、その絞り込
んだ各相対位置での第1の面積値Hと第2の面積値Lを
加算して、各候補位置(11),(12),(13)で
の合計面積値H+Lを求める(各候補位置の下方の面積
値H・L及び合計面積値H+L参照)。このように、加
算処理により3つの合計面積値を得た制御装置10は、
その中で最も値の小さい合計面積値を選出するととも
に、その最も値が小さい合計面積値が良否判定値の上限
K1と下限K2の範囲内にあることから適正であると判
定し、この合計面積値が得られた相対位置(12)を選
択し、その選択した相対位置(12)の位置に溶接ステ
ージ5を制御して移動させる。そして、溶接ステージ5
の移動が完了してLD1と第2レンズ2が最適な相対位
置となったら、先ず図示しないキャリアがマウントキャ
リア3上に載置されて複数のYAGレーザ溶接装置で溶
接固定された後、搬入装置6が第2レンズ2を解放して
上記キャリア上に載置するとともに、図示しない複数の
YAGレーザ溶接装置がキャリアと第2レンズ2をマウ
ントキャリア3に溶接して固定する。
【0010】次に、図4のデータを例に説明すると、第
1の面積値Hでは相対位置(9)と相対位置(18)の
2ヵ所で極小位置となっているので、これら極小位置
(9)と(18)を含む前後位置(8),(10)と
(17),(19)を第1の候補位置として選出すると
ともに、第2の面積値Lからは相対位置(10)と相対
位置(19)の2ヶ所で極小位置となっているので、こ
れら極小位置を含む前後の相対位置(9),(11)と
(18),(20)を第2の候補位置として選出する。
これにより制御装置10は、第1の面積値H又は第2の
面積値Lの一方でしか選出されていない候補位置を外
し、第1の面積値Hと第2の面積値Lでともに候補位置
として選出した候補位置(9),(10),(18),
(19)について、さらに各相対位置での第1の面積値
Hと第2の面積値Lを加算して、各候補位置での合計面
積値H+Lを求める(各候補位置の下方の面積値H・L
及び合計面積値H+L参照)。そして、加算処理により
4つの合計面積値を得た制御装置10は、その中で最も
値の小さい合計面積値を選出するとともに、その合計面
積値が良否判定値の上限K1と下限K2の範囲内にある
ことから適正であると判定し、この最も値の小さい合計
面積値が得られた相対位置(19)を選択する。ところ
で、図示しないが第1の面積値での極小位置と第2の面
積値での極小位置がそれぞれ一つしかなく、かつ双方の
極小位置の相対位置が一致している場合には、当該相対
位置を選択し候補位置での合計面積値の比較処理は行わ
ない。また、合計面積値の演算を行う候補を絞り込む条
件として第1の面積値と第2の面積値の面積比を求め、
所定の範囲外である相対位置を候補から外すようにして
もよい。
【0011】以上のように、本実施例では、撮像した光
を異なるしきい値で認識した領域の第1の面積値Hと第
2の面積値Lを求め、第1の面積値Hと第2の面積値L
で極小となった位置を含んだ所定範囲を第1の候補位置
と第2の候補位置として選出し、第1、第2の候補位置
で共通して選出された候補位置での第1の面積値Hと第
2の面積値Lを加算した合計面積値に基づいて、LD1
と第2レンズ2の光軸方向における最適な相対位置を求
めているので、第2レンズ2に対するLD1の相対移動
範囲を広くしても確実に最適な位置を求めることができ
る。
【0012】
【発明の効果】 以上のように、本発明によれば、従来
に比較して確実に発光素子と集光系光学部品を光軸方向
における最適な相対位置に位置決めすることができるの
で、焦点位置の誤認識による不良品の発生を低減するこ
とができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施する位置決め装置Mの概略斜視
図。
【図2】図1における要部の拡大斜視図。
【図3】LDと第2レンズを光軸方向に相対移動させな
がら求めた各相対位置での面積値を表した第1の例のグ
ラフ。
【図4】LDと第2レンズを光軸方向に相対移動させな
がら求めた各相対位置での面積値を表した第2の例のグ
ラフ。
【図5】LDと第2レンズを光軸方向に相対移動させな
がら求めた各相対位置での面積値を表したグラフ。
【符号の説明】 1…LD 2…第2レンズ 3…マウントキャリア 4…第1レンズ 7…赤外線ビジコンカメラ 8…画像処理装
置 10…制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南 繁和 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内 (72)発明者 笠原 啓司 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内 Fターム(参考) 2H037 BA03 DA03 DA05 DA06 DA22 5F073 AB27 FA23

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子と集光系光学部品を光軸方向に
    相対移動しながら集光系光学部品を通過した発光素子の
    光を撮像手段で撮像するとともに、その撮像した画像に
    基づいて発光素子と集光系光学部品を最適な相対位置に
    設定する発光素子と集光系光学部品の位置決め方法にお
    いて、 上記撮像装置で撮像した光の画像を異なる2つ以上のし
    きい値により認識してそれぞれに認識した領域の面積値
    を求めるとともに、それぞれのしきい値での面積値が減
    少から増加に転じる極小面積値が得られる極小位置を含
    む所定範囲を候補位置として選出し、そして、各しきい
    値で共通して候補位置となった相対位置での面積値に基
    づいて最適な相対位置を求めて位置決めすることを特徴
    とする発光素子と集光系光学部品の位置決め方法。
  2. 【請求項2】 上記各しきい値で共通して候補位置とな
    った相対位置におけるそれぞれの面積値を加算して合計
    面積値を求め、そして、求めた合計面積値の中で最も値
    の小さい合計面積値が得られた相対位置を発光素子と集
    光系光学部品の相対位置として選択する一方、各しきい
    値で共通して候補位置となる相対位置がなければ、不良
    と判定することを特徴とする請求項1に記載の発光素子
    と集光系光学部品の位置決め方法。
  3. 【請求項3】 上記各しきい値で共に候補位置となった
    相対位置での面積値又は合計面積値が良否判定値の範囲
    外であれば、不良と判定することを特徴とする請求項2
    に記載の発光素子と集光系光学部品の位置決め方法。
  4. 【請求項4】 発光素子と集光系光学部品の少なくとも
    一方を光軸方向および光軸と直交する方向に相対移動さ
    せる移動手段と、上記集光系光学部品を通過した発光素
    子からの光を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から画
    像を取り込んで画像処理する画像処理装置と、この画像
    処理装置での結果をもとに発光素子と集光系光学部品の
    最適な相対位置を求めて位置決めする制御装置とを備
    え、 上記移動手段で、発光素子と集光系光学部品を相対移動
    させながら制御装置により発光素子と集光系光学部品の
    最適な位置を求めて位置決めする発光素子と集光系光学
    部品の位置決め装置において、 上記画像処理装置は、発光素子と集光系光学部品の光軸
    方向における位置決め時には、2つ以上の異なるしきい
    値を設定してそれぞれに認識した領域の面積値を求め、 また、上記制御装置は、上記面積値をもとにそれぞれの
    しきい値での面積値が減少から増加に転じる極小面積値
    が得られる極小位置を含む所定範囲を候補位置として選
    出する工程と、そして、各しきい値において共通して候
    補位置となった相対位置での面積値に基づいて光軸方向
    における最適な相対位置を求めて位置決めする工程とを
    有することを特徴とする発光素子と集光系光学部品の位
    置決め装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013217999A (ja) * 2012-04-05 2013-10-24 Hitachi Information & Telecommunication Engineering Ltd 光学部品の高精度調芯方法及び高精度調芯装置
US9246064B2 (en) 2012-10-24 2016-01-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Apparatus for mounting optical member and method of manufacturing light emitting device
JP2018037438A (ja) * 2016-08-29 2018-03-08 三菱電機株式会社 調芯方法および調芯装置

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