JP2003105402A - Copper powder for conductive paste, conductive paste using the copper powder and chip component containing conductive body using the conductive paste - Google Patents

Copper powder for conductive paste, conductive paste using the copper powder and chip component containing conductive body using the conductive paste

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JP2003105402A
JP2003105402A JP2001302407A JP2001302407A JP2003105402A JP 2003105402 A JP2003105402 A JP 2003105402A JP 2001302407 A JP2001302407 A JP 2001302407A JP 2001302407 A JP2001302407 A JP 2001302407A JP 2003105402 A JP2003105402 A JP 2003105402A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain copper powder which allows a low temperature baking property required for the baking manufacture of a conductive body of chip component using a conductive paste which is produced by using the copper powder and is made lower in viscosity when being fabricated into the conductive paste. SOLUTION: In this copper powder which is used for production of conductive paste and has a surface oxidized layer, weight accumulative particle size D50 according to laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is 0.05 μm to 10 μm, the value of (SD/D50 )×100 which is a relation between D50 and standard deviation SD of particle size distribution measured by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is <=28 and the oxygen content of the copper powder is 0.5 wt.% to 3.0 wt.%. This copper powder is produced in such a manner that copper powder is subjected to heating treatment in the air or in an environment enhanced in oxygen partial pressure, the oxidized layer is formed on the surface of powder particle constituting the copper powder, the copper powder formed with the oxidized layer is subjected to re-powdering treatment, thereby the surface of powder particle is flattened and the powder particle in the state of aggregated state is separated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本件出願に係る発明は、導電
ペースト用銅粉、及びその銅粉を用いた導電ペーストに
関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a copper powder for conductive paste and a conductive paste using the copper powder.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から銅粉は、導電ペーストの原料と
して広く用いられてきた。導電ペーストは、その取り扱
いの容易さ故に、実験目的の使用から、電子産業用途に
到るまで広範な領域において使用されてきた。
2. Description of the Related Art Conventionally, copper powder has been widely used as a raw material for conductive paste. Because of their ease of handling, conductive pastes have been used in a wide range of fields from experimental use to electronic industry applications.

【0003】[0003]

【従来の技術】従来から、チップ部品の代表であるセラ
ミックコンデンサの外部電極は、銅粉とガラスフリット
とをバインダー樹脂でペースト状にして、セラミック上
に塗布して、バインダー樹脂を加熱除去して、更に、こ
れを焼結加工し電極として用いられてきた。従って、こ
こで用いる銅粉には、前記焼結加工時に、銅粉の粉粒同
士が焼結し易いという焼結特性が求められてきた。
2. Description of the Related Art Conventionally, an external electrode of a ceramic capacitor, which is a typical chip component, is formed by forming a paste of copper powder and glass frit with a binder resin, applying the paste onto a ceramic, and removing the binder resin by heating. Further, this has been sintered and used as an electrode. Therefore, the copper powder used here has been required to have a sintering characteristic that powder particles of the copper powder are easily sintered during the sintering process.

【0004】そして、銅粉の焼結特性を向上させるため
には、銅粉の粉粒の表面に適度な酸化層を設けてやれば
よいことが、本件発明者等の研究から分かってきた。従
って、低温域での焼結を可能とすることから一定量の酸
化被膜を銅粉の粉粒の表面に形成する手法を検討してき
た。このように銅粉の粉粒の表面に酸化層を形成しよう
とすれば、最も単純には、大気中で加熱することによ
り、容易に酸化被膜を形成できる。
[0004] In order to improve the sintering characteristics of the copper powder, it has been found from the study by the present inventors that an appropriate oxide layer should be provided on the surface of the copper powder particles. Therefore, a method of forming a certain amount of oxide film on the surface of the copper powder particles has been studied because it enables sintering in a low temperature range. If an oxide layer is to be formed on the surface of the copper powder particles as described above, the oxide film can be easily formed by heating in the air most simply.

【0005】また、一方では、上述したようにして用い
られる銅粉は、一旦、導電ペーストに加工され用いられ
るため、導電ペーストとしての品質である粘度を適正に
維持できる性質を具備していることが求められる。即
ち、導電ペーストとして、低粘度であることが求められ
てきたのである。単に導電ペーストの粘度を下げるだけ
を考えて、銅粉に施される手法としては、従来から、銅
粉の粉粒表面の酸化被膜の形成を極力防止することが好
ましいと言われてきた。そして、銅粉の粉粒表面の酸化
を防止するため、表面処理剤として脂肪酸であるオレイ
ン酸を用いた処理等を行った表面処理銅粉が用いられて
きた。
On the other hand, since the copper powder used as described above is once processed into a conductive paste and used, it has the property of being capable of properly maintaining the viscosity, which is the quality of the conductive paste. Is required. That is, the conductive paste has been required to have low viscosity. It has been conventionally said that it is preferable to prevent the formation of an oxide film on the surface of the copper powder particles as much as possible as a method of applying the copper powder in view of merely lowering the viscosity of the conductive paste. Then, in order to prevent the surface of the copper powder particles from being oxidized, surface-treated copper powder that has been treated with a fatty acid oleic acid as a surface treatment agent has been used.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た内容からも明らかなように、粉粒の表面に酸化層を設
けた銅粉は、低温での焼結特性に優れるものの、導電ペ
ーストに加工したときの粘度が高いという欠点を有して
いる。これに対して、上述した如き表面処理銅粉は、低
温での焼結特性に欠けるものの、導電ペーストに加工し
たときの粘度を低減させることができるものである。即
ち、優れた低温焼結特性と導電ペーストの低粘度化を両
立させることのできる銅粉は存在しないと言うのが現実
であった。
However, as is clear from the above description, the copper powder having the oxide layer on the surface of the powder has excellent sintering characteristics at low temperature, but is processed into a conductive paste. It has the drawback of high viscosity. On the other hand, the surface-treated copper powder as described above lacks sintering characteristics at low temperatures, but can reduce the viscosity when processed into a conductive paste. That is, the reality is that there is no copper powder that can achieve both excellent low-temperature sintering characteristics and low viscosity of the conductive paste.

【0007】一般的に銅粉の酸化層を、そのまま残留さ
せておくと、抵抗値が上昇し、電気的導電性能が劣化す
ることになる。そのため、セラミックコンデンサの製造
現場では、最終的に酸化層を還元するため、高温の還元
雰囲気ガス中での還元処理が行われるが、強く酸化され
た銅粉の表面を還元するには一定の限界があり、しか
も、製造コストの上昇に繋がることになり好ましくな
い。従って、導電ペーストを焼結加工させる際に、高温
加熱を行わなくて済む銅粉であれば、銅粉の粉粒表面に
余分な酸化層を成長させなくて済む事になるのである。
[0007] Generally, if the oxide layer of copper powder is left as it is, the resistance value increases and the electrical conductivity is deteriorated. Therefore, at the manufacturing site of ceramic capacitors, reduction treatment is performed in high-temperature reducing atmosphere gas in order to finally reduce the oxide layer, but there is a certain limit for reducing the surface of strongly oxidized copper powder. However, this is not preferable because it leads to an increase in manufacturing cost. Accordingly, when the conductive paste is sintered and the copper powder does not need to be heated at a high temperature, it is not necessary to grow an extra oxide layer on the surface of the powder particles of the copper powder.

【0008】また、導電ペーストに加工したときの初期
のペースト粘度が高いと、そのペースト粘度が経時変化
を起こして増粘することもあり、製造現場での取り扱い
が困難となり、導電ペーストに加工して以降の長期保管
が困難であり、電子部品の製造等に用いる導電ペースト
としての品質管理、品質維持に費やす管理が煩雑とな
る。
Further, if the initial paste viscosity when processed into a conductive paste is high, the paste viscosity may change over time and increase in viscosity, making it difficult to handle at the manufacturing site and processed into a conductive paste. After that, it is difficult to store for a long time thereafter, and quality control as a conductive paste used for manufacturing electronic parts and the like, and management for quality maintenance become complicated.

【0009】従って、市場においては、上述した低温で
の焼結特性と、導電ペーストに加工した際の低粘度化が
可能な銅粉の供給が望まれてきたのである。
Therefore, it has been desired in the market to supply copper powder capable of reducing the above-mentioned sintering characteristics at low temperature and reducing the viscosity when processed into a conductive paste.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】そこで、本件発明者等
は、鋭意研究した結果、以下に述べる発明をもって、低
温焼結特性と、導電ペーストに加工した際の低粘度化を
両立することのできる銅粉等の提供を可能としたのであ
る。
The inventors of the present invention have, as a result of diligent research, found that the invention described below can achieve both low-temperature sintering characteristics and low viscosity when processed into a conductive paste. This made it possible to provide copper powder and the like.

【0011】請求項1には、導電ペーストを製造するた
めに用いる表面酸化層を備えた銅粉において、レーザー
回折散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径D50
0.05μm〜10μm、レーザー回折散乱式粒度分布
測定法により測定した粒度分布の標準偏差SDとの関係
式である(SD/D50)×100の値が28以下の値
であり、且つ、当該銅粉の酸素含有量が0.5wt%〜
3.0wt%であることを特徴とするチップ部品の導体
形成に用いる導電ペースト用の銅粉としている。
According to a first aspect of the present invention, in a copper powder having a surface oxide layer used for producing a conductive paste, a weight cumulative particle diameter D 50 measured by a laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is 0.05 μm to 10 μm, and a laser is used. The value of (SD / D 50 ) × 100, which is a relational expression with the standard deviation SD of the particle size distribution measured by the diffraction scattering type particle size distribution measuring method, is 28 or less, and the oxygen content of the copper powder is 0.5 wt% ~
The content of the copper powder is 3.0 wt% and is used as a conductive paste copper powder for forming a conductor of a chip component.

【0012】本件発明に言う導電ペースト用銅粉の持つ
特徴は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重
量累積粒径D50が0.05μm〜10μmであるこ
と、銅粉のレーザー回折散乱式粒度分布測定法により
測定した粒度分布の標準偏差SDと重量累積粒径D50
との関係式である(SD/D50)×100の値が28
以下の値であること、当該銅粉の酸素含有量が0.5
wt%〜3.0wt%であること、の3つの要件を備え
たことを特徴としている。この3つの要件を満たすこと
が、チップ部品の導体形成に用いる導電ペースト用の銅
粉として、低温焼結性と導電ペーストに加工した際の低
粘度化を両立させる場合に必要な要素となるのである。
The characteristics of the copper powder for a conductive paste according to the present invention are that the weight cumulative particle diameter D 50 by the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring method is 0.05 μm to 10 μm, and the laser powder / scattering particle diameter of the copper powder is Standard deviation SD of particle size distribution measured by a distribution measuring method and weight cumulative particle size D 50
The value of (SD / D 50 ) × 100, which is a relational expression with
Being the following values, the oxygen content of the copper powder is 0.5
It is characterized by having three requirements, that is, wt% to 3.0 wt%. Satisfying these three requirements is a necessary element for achieving both low temperature sinterability and low viscosity when processed into a conductive paste, as copper powder for a conductive paste used for forming a conductor of a chip component. is there.

【0013】以下、上述した3つの要件が求められる理
由について説明する。第1の要件として「レーザー回折
散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径D50が0.
05μm〜10μm」とある。これは、チップ部品の導
体形成の際に用いる導電ペーストの粘度の側面から考え
るに、銅粉の前記重量累積粒径D50が0.05μm未
満となると、導電ペーストの構成樹脂に工夫を凝らして
も導電ペースト粘度が急激に増粘し易くなり、実操業に
おけるペースト管理が複雑且つ煩雑になり妥当なもので
はなくなるのである。また、一方で、セラミックコンデ
ンサの電極は、焼成加工の終了後の表面状態が滑らかで
あることが求められるのであるが、重量累積粒径D50
の値が10μmを越えるものとなると、焼成後の電極表
面が市場で要求される滑らかさを確保できない結果とな
り、微細回路等の形成も不可能となるのである。
The reason why the above three requirements are required will be described below. The first requirement is that the weight cumulative particle diameter D 50 by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method is 0.
05 μm to 10 μm ”. Considering this from the aspect of the viscosity of the conductive paste used when forming the conductor of the chip component, when the weight cumulative particle diameter D 50 of the copper powder is less than 0.05 μm, the constituent resin of the conductive paste is carefully devised. However, the viscosity of the conductive paste is likely to increase rapidly, and the paste management in actual operation becomes complicated and complicated, which is not appropriate. Further, while the electrode of the ceramic capacitor, although the it is required that the surface state after the completion of the firing process is smooth, the weight cumulative particle diameter D 50
If the value exceeds 10 μm, the electrode surface after firing cannot have the smoothness required in the market, and it becomes impossible to form a fine circuit or the like.

【0014】なお、本件明細書におけるレーザー回折散
乱式粒度分布測定法による重量累積粒径の測定は、銅粉
0.1gをSNディスパーサント5468の0.1%水
溶液(サンノプコ社製)と混合し、超音波ホモジナイザ
(日本精機製作所製 US−300T)で5分間分散さ
せた後、レーザー回折散乱式粒度分布測定装置 Mic
ro Trac HRA 9320−X100型(Le
eds+Northrup社製)を用いて行ったもので
ある。
In the present specification, the weight cumulative particle size is measured by the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring method by mixing 0.1 g of copper powder with a 0.1% aqueous solution of SN Dispersant 5468 (manufactured by San Nopco). , An ultrasonic homogenizer (US-300T manufactured by Nippon Seiki Seisakusho) for 5 minutes, and then a laser diffraction / scattering particle size distribution analyzer Mic
ro Trac HRA 9320-X100 type (Le
eds + Northrup Co.).

【0015】第2の要件としては、「銅粉のレーザー回
折散乱式粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準
偏差SDと重量累積粒径D50との関係式である(SD
/D 50)×100の値が28以下の値であること」で
ある。粒度分布の標準偏差SDと重量累積粒径D50
の関係式である(SD/D50)×100の値は、標準
偏差SD自体が、測定した分布の広がりを示す指標であ
ることから、この値を重量累積粒径の中心値と言えるD
50の値でノーマライズしたものと言え、重量累積粒径
50の値を基準とした粒度分布の広がりを意味するも
のである。従って、この(SD/D50)×100の値
が大きくなれば、ブロードな粒度分布を持つ銅粉であ
り、小さな値となるほどシャープな粒度分布を持つ均粒
粉に近づくのである。
The second requirement is that "copper powder laser
Standard of particle size distribution measured by the folding scattering type particle size distribution measurement method
Deviation SD and weight cumulative particle size DFiftyIs a relational expression with (SD
/ D Fifty) × 100 value is 28 or less ”
is there. Standard deviation SD of particle size distribution and weight cumulative particle size DFiftyWhen
Is the relational expression of (SD / DFifty) × 100 is the standard
The deviation SD itself is an index indicating the spread of the measured distribution.
Therefore, it can be said that this value is the central value of the weight cumulative particle size D
FiftyCan be said to have been normalized by the value of
DFiftyIt means the spread of particle size distribution based on the value of
Of. Therefore, this (SD / DFifty) × 100 value
Is larger, it is a copper powder with a broad particle size distribution.
The smaller the value, the sharper the particle size distribution becomes.
It approaches the powder.

【0016】銅粉を用いて製造した導電ペーストの粘度
は、銅粉の持つ粒度分布の影響を受けやすく、粒度分布
がブロードになるほど増粘化し易く、導電ペースト粘度
の制御も困難となってくる。そこで、本件発明者等は、
以下に述べる銅粉の粉粒同士を焼結しやすくする酸素含
有量との関係において、鋭意検討した結果、この(SD
/D50)×100の値が28以下でないと、導電ペー
スト粘度の増粘化を抑制し、同時に、粉粒同士の焼結性
の向上を図ることは出来ないことが分かったのである。
即ち、(SD/D50)×100の値が28を越えるも
のとなると、例え酸素含有量を以下に述べる範囲にして
も、導電ペーストの粘度の安定性が欠如し、増粘化した
導電ペーストが出来やすくなるのである。
The viscosity of the conductive paste produced by using the copper powder is easily affected by the particle size distribution of the copper powder, and as the particle size distribution becomes broader, the viscosity tends to increase, and it becomes difficult to control the viscosity of the conductive paste. . Therefore, the inventors of the present invention
As a result of diligent examination in relation to the oxygen content that facilitates sintering of the copper powder particles described below, this (SD
It has been found that if the value of / D 50 ) × 100 is not 28 or less, it is impossible to suppress the increase in viscosity of the conductive paste and at the same time to improve the sinterability of the powder particles.
That is, when the value of (SD / D 50 ) × 100 exceeds 28, even if the oxygen content is within the range described below, the viscosity stability of the conductive paste is lacking and the conductive paste is thickened. Is easier to do.

【0017】第3の要件としては、「当該銅粉の酸素含
有量が0.5wt%〜3.0wt%」である。即ち、上
述した粒径及び粒度分布を持つ銅粉の場合には、酸素含
有量が0.5wt%未満であると、粉粒同士の焼結を容
易にさせる事はできず。必要以上に高温での焼結加工が
必要となる。これに対して、酸素含有量が3.0wt%
を越えても、粉粒同士の焼結特性のみに着目すればより
改善されるものとなるが、導電ペーストに加工した際の
粘度を著しく上昇させ、しかも製造ロット毎の粘度のバ
ラツキが非常に大きなものとなるのである。
The third requirement is that the oxygen content of the copper powder is 0.5 wt% to 3.0 wt%. That is, in the case of the copper powder having the above-mentioned particle size and particle size distribution, if the oxygen content is less than 0.5 wt%, the sintering of the powder particles cannot be facilitated. Sintering at a higher temperature than necessary is required. On the other hand, the oxygen content is 3.0 wt%
Even if it exceeds the above, it will be further improved by focusing only on the sintering characteristics of the powder particles, but it will significantly increase the viscosity when processed into a conductive paste, and there will be a great variation in the viscosity between production lots. It will be big.

【0018】本件明細書で言う酸素含有量とは、堀場製
作所製の酸素分析計であるEMGA−550FA型を用
いて分析した銅粉の酸素含有量であるが、主には銅粉の
粉粒に表面に形成した酸化層に由来するものである。従
って、酸化層の形成を意図的に行っていない銅粉の場合
の酸素含有量は、0.3wt%以下のレベルである。な
お、本件明細書において用いた表面酸化層とは、銅粉の
粉粒の表面を均一の厚さで被覆する状態のものに限ら
ず、不均一な厚さの場合をも含む概念として用いてい
る。
The oxygen content referred to in the present specification is the oxygen content of the copper powder analyzed by using an EMGA-550FA model, which is an oxygen analyzer manufactured by Horiba, Ltd. It is derived from the oxide layer formed on the surface of the. Therefore, the oxygen content in the case of copper powder in which the oxide layer is not intentionally formed is at a level of 0.3 wt% or less. The surface oxide layer used in the present specification is not limited to a state in which the surface of copper powder particles is coated with a uniform thickness, and is used as a concept including a case of non-uniform thickness. There is.

【0019】以上に述べた理由から、3つの要件の内、
一つの要件でも満足しない場合には、銅粉の焼結特性を
向上させ、同時に、導電ペーストに加工した際の粘度を
低粘度化させる効果は得られないのである。
For the reasons described above, among the three requirements,
If even one requirement is not satisfied, the effect of improving the sintering characteristics of the copper powder and, at the same time, lowering the viscosity when processed into a conductive paste cannot be obtained.

【0020】次に、請求項2には、実測した比表面積
(SSA)と、レーザー回折散乱式粒度分布測定法に
よる重量累積粒径D50を用いてSSA=6/(D
50×8.93)で算出される比表面積(SSA)と
の関係式であるSSA/SSA の値が2.5以下で
ある請求項1に記載のチップ部品の導体形成に用いる導
電ペースト用の表面酸化層を備えた銅粉としている。
Next, in claim 2, the measured specific surface area
(SSA1) And laser diffraction scattering particle size distribution measurement method
Accumulated weight particle size DFiftyUsing SSATwo= 6 / (D
FiftySpecific surface area (SSA calculated by × 8.93)Two)When
Is the relational expression of SSA1/ SSA TwoIs less than 2.5
A conductor used for forming a conductor of the chip component according to claim 1.
The copper powder is provided with a surface oxide layer for an electric paste.

【0021】ここに述べた比表面積(SSA)は、S
SA=6/(D50×8.93)で算出されるものと
している。即ち、粒子体積基準の比表面積Sは、補正係
数Ψを代表径Dで除した、S=Ψ/Dの関係にある。そ
こで、本件発明では、補正係数であるΨの値を6とし
て、代表径に重量累積粒径D50を用いて、銅の真密度
を8.93g/cmとして、理論上の比表面積(SS
)を求めているのである。これに対して、実測した
比表面積(SSA)は、銅粉試料2.00gを75℃
で10分間の脱気処理を行った後、モノソーブ(カンタ
クロム社製)を用いてBET1点法で測定した結果得ら
れる比表面積のことである。
The specific surface area (SSA 2 ) described here is S
SA 2 = 6 / (D 50 × 8.93). That is, the specific surface area S based on the particle volume has a relationship of S = Ψ / D obtained by dividing the correction coefficient Ψ by the representative diameter D. Therefore, in the present invention, the value of Ψ which is the correction coefficient is 6, the weight cumulative particle diameter D 50 is used as the representative diameter, the true density of copper is set to 8.93 g / cm 3 , and the theoretical specific surface area (SS
A 2 ). On the other hand, the measured specific surface area (SSA 1 ) is 750 g of the copper powder sample at 75 ° C.
It is a specific surface area obtained as a result of measuring with the BET 1-point method using monosorb (manufactured by Kantachrome Co., Ltd.) after degassing for 10 minutes.

【0022】従って、理論上の比表面積(SSA
は、その表面が理想的に滑らかなものと仮定して導かれ
たものであるため、SSAの値は、現実にある表面凹
凸の存在を反映させたSSAの値に比べ小さなものと
なるのが当然である。従って、SSA/SSAの値
は、1以上の値となるのが当然であり、このSSA
SSAの値が大きくなるほど表面の凹凸の大きな粉粒
であることを意味するものである。そして、この銅粉の
粉粒の凹凸が大きな程、導電ペーストに加工した際のペ
ースト粘度を上昇させることになる。一般的に、銅粉の
粉粒に表面酸化層を形成すると、その表面状態は粗れ
て、微細な凹凸形状が粉粒表面に形成される。そこで、
従来の粉粒表面を酸化させた銅粉を用いて、SSA
SSAの値を測定してみると、2.5以下の値となる
表面酸化層を備えた銅粉とすれば、導電ペーストに加工
した際のペースト粘度を、従来にないレベルで低減化す
ることが出来ることに想到したのである。請求項1に記
載した条件と請求項2に記載した条件を満たした場合に
は、より安定した焼結特性と導電ペースト粘度の低減が
可能となるのである。
Therefore, the theoretical specific surface area (SSA 2 )
Is derived on the assumption that the surface is ideally smooth, and thus the value of SSA 2 is smaller than the value of SSA 1 that reflects the existence of actual surface irregularities. It is natural. Therefore, the value of SSA 1 / SSA 2 is that a value of 1 or more and of course, the SSA 1 /
It means that the larger the value of SSA 2, the larger the irregularities on the surface of the powder particles. The larger the unevenness of the copper powder particles, the higher the paste viscosity when processed into a conductive paste. Generally, when a surface oxide layer is formed on the copper powder particles, the surface condition is rough and fine irregularities are formed on the surface of the powder particles. Therefore,
Using conventional copper powder with oxidized surface, SSA 1 /
When the value of SSA 2 is measured, copper powder having a surface oxide layer having a value of 2.5 or less reduces the paste viscosity when processed into a conductive paste at a level not seen in the past. I realized that I could do it. When the conditions described in claim 1 and the conditions described in claim 2 are satisfied, more stable sintering characteristics and reduction in viscosity of the conductive paste can be achieved.

【0023】以上に述べた銅粉の製造は、請求項3に記
載した方法を採用することが好ましい。即ち、銅粉を構
成する粉粒の表面に酸化層を形成し、その酸化層を形成
した銅粉を、解粒処理することで粉粒の表面を平滑化す
ると共に、凝集状態にある粉粒を分離することを特徴と
する銅粉の製造方法である。
For the production of the copper powder described above, it is preferable to employ the method described in claim 3. That is, an oxide layer is formed on the surface of the powder particles forming the copper powder, and the copper powder having the oxide layer formed thereon is subjected to a disintegration treatment to smooth the surface of the powder particles and the powder particles in an agglomerated state. Is a method for producing a copper powder.

【0024】ここで、銅粉を構成する粉粒の表面への酸
化層の形成は、銅粉を大気中若しくは酸素分圧を高めた
雰囲気中で加熱処理することで形成する手法、又は、溶
液中での湿式酸化法を採用する事が望ましい。これらの
方法において、この加熱処理による酸化層形成は、急激
に反応が進行する湿式酸化法に比べ、銅粉の粉粒表面に
比較的均一で平滑な酸化層の形成が容易に可能で、且
つ、酸化層の厚さの制御も容易であるので、より望まし
い。
Here, the formation of the oxide layer on the surface of the powder particles constituting the copper powder is carried out by heating the copper powder in the air or in an atmosphere with an increased oxygen partial pressure, or by a solution. It is desirable to adopt the wet oxidation method in the above. In these methods, the oxide layer formation by this heat treatment can easily form a relatively uniform and smooth oxide layer on the powder particle surface of the copper powder as compared with the wet oxidation method in which the reaction rapidly proceeds, and It is more preferable because the thickness of the oxide layer can be easily controlled.

【0025】銅粉の表面を加熱により酸化しようとする
と、加熱開始時には雰囲気中の酸素と粉粒表面の銅とが
活発に反応して酸化銅層を形成するが、一旦、粉粒の表
面の全体が酸化銅により被覆されると、酸化層の成長は
緩やかな速度に変化して行く。酸化層の成長が、既に表
面に形成した酸化層内を酸素が拡散する速度に依存する
ことになり、拡散律速に成長速度が支配されることにな
るからである。従って、製造コスト及び生産性を無視し
て極めて長時間の加熱を行う場合を除いて、ある一定量
の酸化被膜が出来上がると、それ以上の酸化被膜の形成
が困難となる。このような製造上の意味からしても、請
求項1に記載した酸素含有量の上限値である3.0wt
%を越えるものとしようとすると、生産コストを増大さ
せる要因となるのである。
When the surface of the copper powder is to be oxidized by heating, oxygen in the atmosphere and copper on the surface of the powder particles react actively at the start of heating to form a copper oxide layer. When the whole is covered with copper oxide, the growth of the oxide layer changes at a slow rate. This is because the growth of the oxide layer depends on the rate at which oxygen diffuses in the oxide layer already formed on the surface, and the growth rate is controlled by diffusion rate control. Therefore, if a certain amount of oxide film is completed, except for the case where heating is performed for an extremely long time ignoring the manufacturing cost and productivity, it becomes difficult to form more oxide film. Even from such a manufacturing meaning, the upper limit of the oxygen content described in claim 1 is 3.0 wt.
If it exceeds%, it will increase the production cost.

【0026】加熱処理する以前の銅粉の粉粒にも凝集し
て2次構造体を構成していることが多いが、上述したよ
うに加熱処理により酸化層を形成した銅粉は、その加熱
過程により粉粒同士が更に凝集状態が進行する傾向にあ
る。銅粉を用いて導電ペーストを製造した場合のペース
ト粘度は、凝集状態が進行しているほど高くなる傾向が
ある。そして、粉粒の表面に形成した酸化層は、凹凸の
ある粗れた状態なっているため、そのまま用いれば導電
ペースト粘度を増加させることとなる。この状態を解消
するために行うのが解粒処理である。解粒処理とは、凝
集した状態の粉体を、一粒一粒の粉粒に分離することを
意味するのである。
The copper powder before the heat treatment is often agglomerated to form a secondary structure, but the copper powder having the oxide layer formed by the heat treatment as described above is heated by the heat treatment. Depending on the process, the powder particles tend to be further aggregated. When the conductive paste is manufactured using copper powder, the paste viscosity tends to increase as the state of aggregation progresses. Since the oxide layer formed on the surface of the powder particles is in a rough state with irregularities, if it is used as it is, the viscosity of the conductive paste will be increased. The disintegration process is performed to eliminate this state. The disintegration treatment means that the powder in the agglomerated state is separated into individual powder particles.

【0027】単に解粒作業を行うことを目的とするので
あれば、解粒の行える手段として、高エネルギーボール
ミル、高速導体衝突式気流型粉砕機、衝撃式粉砕機、ゲ
ージミル、媒体攪拌型ミル、高水圧式粉砕装置等種々の
物を用いることが可能である。ところが、銅粉を用いる
導電ペーストの粘度を可能な限り低減させることを考え
ると、銅粉の比表面積を可能な限り小さなものとするこ
とが求められる。従って、解粒は可能であっても、解粒
時に粉粒の表面に損傷を与え、その比表面積を増加させ
るような解粒手法であってはならないのである。特に、
酸化層を意図的に形成した銅粉の場合には重要なポイン
トとなる。
For the purpose of simply performing the disintegration work, as means for performing the disintegration, a high energy ball mill, a high speed conductor collision type air flow type crusher, an impact type crusher, a gauge mill, a medium stirring type mill, It is possible to use various things such as a high water pressure type pulverizer. However, considering that the viscosity of the conductive paste using the copper powder is reduced as much as possible, it is required to make the specific surface area of the copper powder as small as possible. Therefore, even if disintegration is possible, the disintegration method should not damage the surface of the powder particles during the disintegration and increase the specific surface area. In particular,
This is an important point in the case of copper powder in which an oxide layer is intentionally formed.

【0028】このような認識に基づいて、本件発明者等
が鋭意研究した結果、以下に述べる二つの解粒手法に想
到した。この二つの方法に共通することは、銅粉の粉粒
が装置の内壁部、攪拌羽根、粉砕媒体等の部分と接触す
ることを最小限に抑制し、凝集した粉粒同士が相互に衝
突し合い、しかも、解粒が十分可能な方法である点であ
る。即ち、装置の内壁部、攪拌羽根、粉砕媒体等の部分
と接触することで粉粒の表面を傷つけ、表面粗さを増大
させるものであってはならないのである。そして、十分
な粉粒同士の衝突を起こさせることで、凝集状態にある
粉粒を解粒し、同時に、粉粒同士の衝突による粉粒表面
の平滑化の可能な手法を採用したのである。
Based on such recognition, the inventors of the present invention have conducted intensive studies, and as a result, have come up with the following two disaggregation methods. What is common to these two methods is to minimize the contact of the copper powder particles with the inner wall of the device, the stirring blade, the part such as the grinding medium, and the agglomerated powder particles collide with each other. In addition, it is a method that is suitable for disintegration. That is, it should not damage the surface of the powder particles by contacting the inner wall portion of the apparatus, the stirring blade, the portion such as the grinding medium, etc., and increase the surface roughness. Then, by causing a sufficient amount of collision of the powder particles, the powder particles in the agglomerated state are disintegrated, and at the same time, a method capable of smoothing the surface of the powder particles by the collision of the powder particles is adopted.

【0029】解粒処理を行う一つの手法としては、乾燥
した状態にある酸化層を形成した銅粉を、遠心力を利用
した風力サーキュレータを用いて行うことができる。こ
こで言う「遠心力を利用した風力サーキュレータ」と
は、エアをブロワーして、凝集した銅粉を円周軌道を描
くように吹き上げてサーキュレーションさせ、このとき
に発生する遠心力により粉粒同士を気流中で相互に衝突
させ、解粒作業を行うために用いるものである。このと
きに、遠心力を利用した市販の風力分級器を用いること
も可能である。係る場合、あくまでも分級を目的とした
ものではなく、風力分級器がエアをブロワーして、凝集
した銅粉を円周軌道を描くように吹き上げるサーキュレ
ータの役割を果たすのである。
As one method for performing the disintegration treatment, it is possible to perform a dry state of the copper powder having an oxide layer formed thereon by using a wind power circulator utilizing centrifugal force. The "wind-force circulator that uses centrifugal force" here means that air is blown and the aggregated copper powder is blown up in a circular orbit to circulate the powder. They are used to collide with each other in an air stream to perform a granulation work. At this time, it is also possible to use a commercially available wind power classifier that utilizes centrifugal force. In such a case, it is not intended for classification to the last, but the wind-powered classifier plays a role of a circulator that blows air and blows agglomerated copper powder in a circular orbit.

【0030】また、もう一つの解粒手法としては、酸化
層を形成した銅粉を含有した銅粉スラリーを製造し、遠
心力を利用した流体ミルを用いて解粒処理するのであ
る。ここで言う「遠心力を利用した流体ミル」とは、銅
粉スラリーを円周軌道を描くように高速でフローさせ、
このときに発生する遠心力により凝集した粉粒同士を溶
媒中で相互に衝突させ、解粒作業を行うために用いるの
である。
As another granulation method, a copper powder slurry containing copper powder having an oxide layer is produced and granulated by using a fluid mill utilizing centrifugal force. "Fluid mill using centrifugal force" here means that copper powder slurry is made to flow at a high speed so as to draw a circular orbit,
The centrifugal force generated at this time causes the aggregated powder particles to collide with each other in the solvent and is used for the disintegration work.

【0031】上述した解粒処理は、必要に応じて複数回
を繰り返して行うことも可能であり、要求品質に応じ
て、解粒処理のレベルの任意選択が可能である。解粒処
理の施された銅粉は、凝集状態が破壊され分散性に優れ
たものとなるのである。そして、解粒処理が良好に行わ
れているか否かの判断には、以下のような考え方を採用
した。即ち、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による
重量累積粒径D50と画像解析により得られる平均粒径
IAとを用いてD50/DIAで表される凝集度とい
う概念を採用したのである。そして、この凝集度の値が
1.5以下となると、殆ど完全な単分散の状態が確保で
きていると判断できたのである。
The above-mentioned disintegration treatment can be repeated a plurality of times as necessary, and the disintegration treatment level can be arbitrarily selected according to the required quality. The disintegrated copper powder is destroyed in the agglomerated state and has excellent dispersibility. Then, the following way of thinking was adopted to judge whether or not the disintegration process was performed well. That is, the concept of aggregation degree represented by D 50 / D IA is adopted by using the weight cumulative particle size D 50 by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method and the average particle size D IA obtained by image analysis. . Then, when the value of the degree of coagulation was 1.5 or less, it could be determined that a nearly complete monodisperse state could be secured.

【0032】ここで用いた凝集度とは、以下のような理
由から採用したものである。即ち、レーザー回折散乱式
粒度分布測定法を用いて得られる重量累積粒径D50
値は、真に粉粒の一つ一つの径を直接観察したものでは
ないと考えられる。殆どの銅粉を構成する粉粒は、個々
の粒子が完全に分離した、いわゆる単分散粉ではなく、
複数個の粉粒が凝集して集合した状態になっているから
である。レーザー回折散乱式粒度分布測定法は、凝集し
た粉粒を一個の粒子(凝集粒子)として捉えて、重量累
積粒径を算出していると言えるのである。
The cohesion degree used here is adopted for the following reasons. That is, it is considered that the value of the weight cumulative particle size D 50 obtained by using the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method is not a direct observation of the diameter of each powder particle. The powder particles that make up most of the copper powder are not so-called monodisperse powders in which individual particles are completely separated,
This is because a plurality of powder particles are agglomerated and aggregated. It can be said that the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method calculates the weight-accumulated particle size by capturing the agglomerated powder particles as one particle (aggregated particle).

【0033】これに対して、走査型電子顕微鏡(SE
M)を用いて観察される銅粉の観察像を画像処理するこ
とにより得られる平均粒径DIAは、SEM観察像から
直接得るものであるため、一次粒子が確実に捉えられる
ことになり、反面には粉粒の凝集状態の存在を全く反映
させていないことになる。
On the other hand, a scanning electron microscope (SE
The average particle diameter D IA obtained by image-processing the observed image of the copper powder observed using M) is obtained directly from the SEM observed image, so that the primary particles can be reliably captured, On the other hand, the existence of the agglomerated state of powder particles is not reflected at all.

【0034】以上のように考えると、本件発明者等は、
レーザー回折散乱式粒度分布測定法の重量累積粒径D
50と画像解析により得られる平均粒径DIAとを用い
て、D 50/DIAで算出される値を凝集度として捉え
ることとしたのである。即ち、同一ロットの銅粉におい
てD50とDIAとの値が同一精度で測定できるものと
仮定して、上述した理論で考えると、凝集状態のあるこ
とを測定値に反映させるD50の値は、DIAの値より
も大きな値になると考えられる。
Considering the above, the inventors of the present invention
Weight cumulative particle size D measured by laser diffraction scattering particle size distribution measurement method
FiftyAnd average particle size D obtained by image analysisIAWith and
D Fifty/ DIAThe value calculated by
I decided to do it. That is, the smell of copper powder of the same lot
DFiftyAnd DIAAnd the values can be measured with the same accuracy.
Assuming that there is an agglomerated state,
D that reflects and in the measured valueFiftyThe value of is DIAThan the value of
Is also considered to be a large value.

【0035】このとき、D50の値は、銅粉の粉粒の凝
集状態が全くなくなるとすれば、限りなくDIAの値に
近づいてゆき、凝集度であるD50/DIAの値は、1
に近づくことになる。凝集度が1となった段階で、粉粒
の凝集状態が全く無くなった単分散粉と言えるのであ
る。但し、現実には、凝集度が1未満の値を示す場合も
ある。理論的に考え真球の場合には、1未満の値にはな
らないのであるが、現実には、真球ではなく1未満の凝
集度の値が得られることになるようである。なお、本件
明細書における走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて観
察される銅粉の画像解析は、旭エンジニアリング株式会
社製のIP−1000PCを用いて、円度しきい値1
0、重なり度20として円形粒子解析を行い、平均粒径
IAを求めたものである。
At this time, the value of D 50 approaches the value of D IA infinitely if the agglomeration state of the copper powder particles is completely eliminated, and the value of D 50 / D IA , which is the agglomeration degree, becomes 1
Will approach. It can be said that it is a monodisperse powder in which the agglomeration state of powder particles is completely eliminated when the agglomeration degree becomes 1. However, in reality, there are cases where the aggregation degree shows a value of less than 1. Theoretically, in the case of a true sphere, the value does not become less than 1, but in reality, it seems that a value of a cohesion degree of less than 1 is obtained instead of a true sphere. In addition, the image analysis of the copper powder observed using the scanning electron microscope (SEM) in this specification was carried out by using IP-1000PC manufactured by Asahi Engineering Co., Ltd.
The average particle diameter D IA was obtained by performing circular particle analysis with 0 and the degree of overlap of 20.

【0036】以上のようにして解粒処理を行った結果、
酸化層を形成した粉粒の表面は、非常に滑らかな表面が
形成され、しかも、粉粒同士の凝集状態が殆ど完全に解
消できているため極めて高い分散性を備えた銅粉を得る
ことが可能となり、上述した焼結特性と導電ペースト粘
度の低減化を同時に達成することができるのである。
As a result of the disintegration treatment as described above,
The surface of the powder particles on which the oxide layer is formed has a very smooth surface, and since the agglomeration state of the powder particles can be almost completely eliminated, copper powder with extremely high dispersibility can be obtained. This makes it possible to simultaneously achieve the above-mentioned sintering characteristics and reduction of the viscosity of the conductive paste.

【0037】以上に述べてきた酸化層を形成した銅粉
は、一旦、導電ペーストに加工され、特に焼結特性が要
求されるチップ部品の導体形成に用いるのに適したもの
となる。そこで、請求項4には、請求項1又は請求項2
に記載のチップ部品の導体形成に用いる導電ペーストと
し、請求項5には、請求項4に記載の導電ペーストを用
いて導体形成したチップ部品としているのである。
The above-described copper powder having an oxide layer formed thereon is once processed into a conductive paste, and is suitable for use in forming a conductor of a chip component which is particularly required to have sintering characteristics. Therefore, in claim 4, claim 1 or claim 2
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a conductive paste used for forming a conductor of the chip component, and the fifth aspect provides a chip component having a conductor formed using the conductive paste of the fourth aspect.

【0038】[0038]

【発明の実施の形態】以下、本発明を実施形態を通じ
て、比較例と対比しつつ、本件発明に関し、より詳細に
説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to comparative examples through embodiments.

【0039】そこで、最初に第1実施形態、第2実施形
態、比較例で共通する内容となる、湿式法による銅粉の
製造方法について説明する。ここでは、硫酸銅(五水
塩)100kgを、温水に溶解させ液温60℃の200
リットルの溶液とした。そして、ここに125リットル
の25質量%濃度の水酸化ナトリウム水溶液を添加し、
液温を60℃に維持しつつ、1時間の攪拌を行い、酸化
第二銅を生成した。
Therefore, first, a method of manufacturing copper powder by a wet method, which is common to the first embodiment, the second embodiment, and the comparative example, will be described. Here, 100 kg of copper sulfate (pentahydrate) is dissolved in warm water to obtain 200 at a liquid temperature of 60 ° C.
L of solution. Then, 125 liters of a 25 mass% sodium hydroxide aqueous solution was added thereto,
While maintaining the liquid temperature at 60 ° C., stirring was performed for 1 hour to form cupric oxide.

【0040】酸化第二銅の生成が終了すると、液温を6
0℃に維持し続け、ここに濃度450g/lのグルコー
ス水溶液80リットルを、60分かけて一定の速度で添
加し、酸化第一銅スラリーを生成した。ここで、このス
ラリーを一旦濾過し、洗浄した後、温水を加えて320
リットルの再スラリーとした。
When the production of cupric oxide is completed, the liquid temperature is raised to 6
The temperature was continuously maintained at 0 ° C., and 80 liters of a glucose aqueous solution having a concentration of 450 g / l was added thereto at a constant rate over 60 minutes to produce a cuprous oxide slurry. Here, this slurry is once filtered and washed, and then warm water is added to the slurry to 320
L of reslurry.

【0041】次に、再スラリーに、1.5kgのアミノ
酢酸及び0.7kgのアラビアゴムを添加し、攪拌し
て、溶液温度を50℃に保持した。この状態の再スラリ
ーに、20質量%濃度の水加ヒドラジン50リットル
を、60分かけて一定の速度で添加し、酸化第一銅を還
元して銅粉として、銅粉スラリーを生成した。この銅粉
スラリーが、以下の第2実施形態で用いる銅粉スラリー
である。
Next, 1.5 kg of aminoacetic acid and 0.7 kg of gum arabic were added to the reslurry and stirred to keep the solution temperature at 50 ° C. To the reslurry in this state, 50 liters of hydrazine hydrate having a concentration of 20% by mass was added at a constant rate over 60 minutes to reduce cuprous oxide to form copper powder, thereby producing a copper powder slurry. This copper powder slurry is a copper powder slurry used in the second embodiment below.

【0042】続いて、この銅粉スラリーを濾過し、純水
で十分に洗浄し、濾過して脱水を行い、乾燥して銅粉を
得た。この銅粉の、レーザー回折散乱式粒度分布測定法
による重量累積粒径D50は5.46μmであり、レー
ザー回折散乱式粒度分布測定法により測定した粒度分布
の標準偏差SDと重量累積粒径D50との関係式である
(SD/D50)×100の値が26.3であり、当該
銅粉の酸素含有量が0.21wt%であり、SSA
SSAの値が2.8であった。そして、この段階で画
像解析により得られる平均粒径DIAは3.31、従っ
てD50/D で算出される凝集度は1.65であっ
た。
Subsequently, this copper powder slurry was filtered, thoroughly washed with pure water, filtered, dehydrated and dried to obtain copper powder. The weight cumulative particle size D 50 of this copper powder measured by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is 5.46 μm, and the standard deviation SD of the particle size distribution measured by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method and the weight cumulative particle size D The value of (SD / D 50 ) × 100, which is a relational expression with 50 , is 26.3, the oxygen content of the copper powder is 0.21 wt%, and SSA 1 /
The value of SSA 2 was 2.8. Then, the average particle diameter D IA obtained by image analysis at this stage 3.31, therefore cohesion calculated by D 50 / D I A was 1.65.

【0043】第1実施形態: 本実施形態では、上述し
た銅粉を加熱炉内に入れ、大気雰囲気中で、200℃×
2時間の加熱処理を行い、銅粉の粉粒表面に酸化層を形
成した。この加熱処理の終了した銅粉の粉体特性は、レ
ーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径D
50は5.97μmであり、レーザー回折散乱式粒度分
布測定法により測定した粒度分布の標準偏差SDと重量
累積粒径D50との関係式である(SD/D50)×1
00の値が28.7であり、当該銅粉の酸素含有量が
0.63wt%であり、SSA/SSAの値が3.
8であった。そして、この段階で画像解析により得られ
る平均粒径DIAは3.34、従ってD50/DIA
算出される凝集度は1.79であり、凝集状態が進行し
ていることが分かる。
First Embodiment: In this embodiment, the above-mentioned copper powder is put into a heating furnace and the temperature is set to 200 ° C. in an air atmosphere.
The heat treatment was carried out for 2 hours to form an oxide layer on the surface of the copper powder particles. The powder characteristics of the copper powder that has been subjected to this heat treatment are the weight cumulative particle size D measured by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method.
50 is 5.97 μm, which is a relational expression between the standard deviation SD of the particle size distribution measured by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method and the weight cumulative particle size D 50 (SD / D 50 ) × 1.
The value of 00 is 28.7, the oxygen content of the copper powder is 0.63 wt%, and the value of SSA 1 / SSA 2 is 3.
It was 8. Then, at this stage, the average particle size D IA obtained by image analysis is 3.34, and therefore the degree of aggregation calculated by D 50 / D IA is 1.79, indicating that the state of aggregation is progressing.

【0044】そして、加熱処理により酸化層を形成した
銅粉を、市販の風力分級器である日清エンジニアリング
社製のターボクラシファイヤを用いて、回転数6500
rpmでサーキュレーションさせ、凝集状態にある粉粒
同士を衝突させて解粒作業を行った。
Then, the copper powder having an oxide layer formed by heat treatment was rotated at a rotational speed of 6500 using a commercially available wind classifier Turbo Classifier manufactured by Nisshin Engineering Co., Ltd.
Circulation was carried out at rpm, and the powder particles in the agglomerated state were made to collide with each other for the disintegration work.

【0045】この結果、解粒作業の終了した銅粉の粉体
特性は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量
累積粒径D50は3.20μmであり、レーザー回折散
乱式粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準偏差
SDと重量累積粒径D50との関係式である(SD/D
50)×100の値が19.5であり、当該銅粉の酸素
含有量が0.61wt%であり、SSA/SSA
値が1.8であった。全ての粉体特性が、本件発明に求
められる要件を満足している。そして、この段階で画像
解析により得られる平均粒径DIAは3.16、従って
50/DIAで算出される凝集度は1.11であり、
十分な解粒処理が行われていることも確認できた。
As a result, the powder characteristics of the copper powder after the disintegration work were such that the weight cumulative particle diameter D 50 by the laser diffraction scattering particle size distribution measurement method was 3.20 μm, and the laser diffraction scattering particle size distribution measurement method was used. it is a relational expression between the standard deviation SD and the weight-cumulative particle diameter D 50 of the particle size distribution measured by (SD / D
The value of 50 ) × 100 was 19.5, the oxygen content of the copper powder was 0.61 wt%, and the value of SSA 1 / SSA 2 was 1.8. All powder properties meet the requirements of the present invention. The average particle size D IA obtained by image analysis at this stage is 3.16, and thus the aggregation degree calculated by D 50 / D IA is 1.11.
It was also confirmed that sufficient disintegration treatment was performed.

【0046】本件発明者等は、以上のようにして得られ
た銅粉を用いてテルピネオール系導電ペーストを製造し
た。ここで製造したテルピネオール系導電ペーストは、
表面処理銅粉を88重量部、バインダーを12質量部の
組成として、これらの混錬を行ってテルピネオール系導
電ペーストを得たのである。このときのバインダーは、
テルピネオール93質量部、エチルセルロース7質量部
の組成を持つものを用いた。このテルピネオール系導電
ペーストの製造直後の粘度を測定すると400Pa・
s、一週間経過後の粘度は430Pa・sであった。
The present inventors manufactured a terpineol-based conductive paste using the copper powder obtained as described above. The terpineol-based conductive paste produced here is
The surface-treated copper powder was used in a composition of 88 parts by weight and the binder was 12 parts by weight, and these were kneaded to obtain a terpineol-based conductive paste. The binder at this time is
A composition having 93 parts by mass of terpineol and 7 parts by mass of ethyl cellulose was used. The viscosity of the terpineol-based conductive paste immediately after production is 400 Pa.
s, and the viscosity after one week was 430 Pa · s.

【0047】更に、本件発明者等は、上述のようにして
得られたテルピネオール系導電ペーストを用いて、セラ
ミックコンデンサの電極を製造するときと同様の手法を
用いて、焼結特性を確認するため以下のような手法を採
用した。アルミナ基板上に乾燥膜厚で20μmとなる1
cm×2cmサイズのセラミック層板を製造した。そし
て、このセラミック層板を当該エポキシ系導電ペースト
にディッピングして、引き上げ焼成した。このとき本実
施形態において製造した銅粉は、最低650℃の温度で
あれば焼成が可能であり、しかも、焼成後の表面状態
は、目立った粗れもなく良好な状態であった。
Furthermore, the present inventors use the terpineol-based conductive paste obtained as described above to confirm the sintering characteristics by using the same method as in the production of electrodes for ceramic capacitors. The following method was adopted. Dry film thickness of 20 μm on alumina substrate 1
A cm × 2 cm size ceramic layer plate was manufactured. Then, this ceramic layer plate was dipped in the epoxy-based conductive paste and pulled up and fired. At this time, the copper powder produced in this embodiment can be fired at a temperature of at least 650 ° C., and the surface state after firing was in a good state without any noticeable roughness.

【0048】第2実施形態: 本実施形態では、上述し
た銅粉を加熱炉内に入れ、酸素分圧を高めた雰囲気中
で、150℃×1時間の加熱処理を行い、銅粉の粉粒表
面に酸化層を形成した。酸素分圧を高めた雰囲気の形成
には、加熱炉にバーナー加熱炉を用いて、バーナーの燃
焼空燃比を変化させ酸素濃度3.28%の雰囲気を作り
出して行った。この加熱処理の終了した銅粉の粉体特性
は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量累積
粒径D50は6.02μmであり、レーザー回折散乱式
粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準偏差SD
と重量累積粒径D との関係式である(SD/
50)×100の値が29.1であり、当該銅粉の酸
素含有量が2.50wt%であり、SSA/SSA
の値が4.7であった。そして、この段階で画像解析に
より得られる平均粒径DIAは3.33、従ってD50
/DIAで算出される凝集度は1.81であり、凝集状
態が進行していることが分かる。
Second Embodiment: In the present embodiment, the above-mentioned copper powder is put into a heating furnace, and heat treatment is performed at 150 ° C. for 1 hour in an atmosphere in which the oxygen partial pressure is increased to obtain copper powder particles. An oxide layer was formed on the surface. The atmosphere with an increased oxygen partial pressure was formed by using a burner heating furnace as a heating furnace and changing the combustion air-fuel ratio of the burner to create an atmosphere with an oxygen concentration of 3.28%. The powder property of the copper powder that has been subjected to this heat treatment is that the weight cumulative particle size D 50 by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method is 6.02 μm, and that of the particle size distribution measured by the laser diffraction scattering type particle size distribution measurement method. Standard deviation SD
And a relational expression of the weight cumulative particle diameter D 5 0 (SD /
The value of D 50 ) × 100 is 29.1, the oxygen content of the copper powder is 2.50 wt%, and SSA 1 / SSA 2
Was 4.7. The average particle size D IA obtained by image analysis at this stage is 3.33, and therefore D 50
/ D cohesion calculated by IA is 1.81, it can be seen that aggregated state is in progress.

【0049】そして、加熱処理により酸化層を形成した
銅粉を、市販の風力分級器である日清エンジニアリング
社製のターボクラシファイヤを用いて、回転数6500
rpmでサーキュレーションさせ、凝集状態にある粉粒
同士を衝突させて解粒作業を行った。
Then, the copper powder having an oxide layer formed by the heat treatment was rotated at a rotational speed of 6500 using a commercially available wind classifier Turbo Classifier manufactured by Nisshin Engineering Co., Ltd.
Circulation was carried out at rpm, and the powder particles in the agglomerated state were made to collide with each other for the disintegration work.

【0050】この結果、解粒作業の終了した銅粉の粉体
特性は、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量
累積粒径D50は3.26μmであり、レーザー回折散
乱式粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準偏差
SDと重量累積粒径D50との関係式である(SD/D
50)×100の値が19.5であり、当該銅粉の酸素
含有量が2.58wt%であり、SSA/SSA
値が2.1であった。全ての粉体特性が、本件発明に求
められる要件を満足している。そして、この段階で画像
解析により得られる平均粒径DIAは3.20、従って
50/DIAで算出される凝集度は1.01であり、
十分な解粒処理が行われていることも確認できた。
As a result, the powder characteristics of the copper powder after the disintegration work were such that the weight cumulative particle diameter D 50 by the laser diffraction scattering particle size distribution measurement method was 3.26 μm, and the laser diffraction scattering particle size distribution measurement method was used. it is a relational expression between the standard deviation SD and the weight-cumulative particle diameter D 50 of the particle size distribution measured by (SD / D
The value of 50 ) × 100 was 19.5, the oxygen content of the copper powder was 2.58 wt%, and the value of SSA 1 / SSA 2 was 2.1. All powder properties meet the requirements of the present invention. Then, at this stage, the average particle diameter D IA obtained by image analysis is 3.20, and therefore the aggregation degree calculated by D 50 / D IA is 1.01.
It was also confirmed that sufficient disintegration treatment was performed.

【0051】本件発明者等は、第2実施形態で得られた
銅粉を用いてテルピネオール系導電ペーストを製造し、
導電ペーストの粘度を測定したのである。ここで製造し
たテルピネオール系導電ペーストの組成及び製造方法
は、第1実施形態の場合と同様であるため、記載を省略
する。得られたテルピネオール系導電ペーストの製造直
後の粘度を測定すると320Pa・sであった。
The present inventors manufactured a terpineol-based conductive paste using the copper powder obtained in the second embodiment,
The viscosity of the conductive paste was measured. The composition and manufacturing method of the terpineol-based conductive paste manufactured here are the same as in the case of the first embodiment, so description thereof is omitted. The viscosity of the obtained terpineol-based conductive paste immediately after production was measured and found to be 320 Pa · s.

【0052】更に、本件発明者等は、第1実施形態と同
様の手法を用いて焼結特性の評価を行った。その結果、
本実施形態において製造した銅粉は、最低550℃の温
度あれば焼成が可能であり、しかも、焼成後の表面状態
は、目立った粗れもなく良好な状態であった。
Further, the inventors of the present invention evaluated the sintering characteristics by using the same method as in the first embodiment. as a result,
The copper powder produced in this embodiment can be fired at a temperature of at least 550 ° C., and the surface state after firing was in a good state without any noticeable roughness.

【0053】比較例1: 本比較例では、先に述べたヒ
ドラジン還元法で得られた銅粉を、加熱処理して酸化層
を形成することなく、単に第1実施形態で用いたと同様
の解粒処理を行った。この銅粉の、レーザー回折散乱式
粒度分布測定法による重量累積粒径D50は3.28μ
mであり、レーザー回折散乱式粒度分布測定法により測
定した粒度分布の標準偏差SDと重量累積粒径D50
の関係式である(SD/D50)×100の値が20.
5であり、当該銅粉の酸素含有量が0.22wt%であ
り、SSA/SSAの値が1.5であった。そし
て、この段階で画像解析により得られる平均粒径DIA
は3.24、従ってD50/DIAで算出される凝集度
は1.01であった。即ち、酸素含有量を除いては、本
件発明に係る銅粉の持つ特性を満足するものである。
Comparative Example 1: In this comparative example, the copper powder obtained by the hydrazine reduction method described above was heat treated to form an oxide layer, and the same solution as that used in the first embodiment was simply used. Grain treatment was performed. The weight cumulative particle diameter D 50 of this copper powder measured by the laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method is 3.28 μ.
m is a relational expression between the standard deviation SD of the particle size distribution measured by the laser diffraction / scattering particle size distribution measuring method and the weight cumulative particle size D 50, and the value of (SD / D 50 ) × 100 is 20.
5, the oxygen content of the copper powder was 0.22 wt%, and the value of SSA 1 / SSA 2 was 1.5. The average particle size D IA obtained by image analysis at this stage
Was 3.24, and therefore the aggregation degree calculated by D 50 / D IA was 1.01. That is, except for the oxygen content, the properties of the copper powder according to the present invention are satisfied.

【0054】本件発明者等は、この銅粉を用いてテルピ
ネオール系導電ペーストを製造し、導電ペーストの粘度
を測定したのである。ここで製造したテルピネオール系
導電ペーストの組成及び製造方法は、第1実施形態の場
合と同様であるため、記載を省略する。得られたテルピ
ネオール系導電ペーストの製造直後の粘度を測定すると
300Pa・sであった。この結果と、上述した実施形
態との結果を比較すれば、ペースト粘度だけで見れば、
非常に低い良好な粘度を達成できることが分かる。
The present inventors manufactured a terpineol-based conductive paste using this copper powder and measured the viscosity of the conductive paste. The composition and manufacturing method of the terpineol-based conductive paste manufactured here are the same as in the case of the first embodiment, so description thereof is omitted. The viscosity of the obtained terpineol-based conductive paste immediately after its production was measured and found to be 300 Pa · s. Comparing this result with the result of the above-mentioned embodiment, if only looking at the paste viscosity,
It can be seen that a very low good viscosity can be achieved.

【0055】しかしながら、第1実施形態と同様の手法
を用いて焼結特性の評価を行った結果は、比較例1にお
いて用いた銅粉は、最低でも800℃の温度がなければ
焼結できず、上述した2つの実施形態と比較して高い温
度が必要となることが分かる。
However, the result of evaluation of the sintering characteristics using the same method as in the first embodiment shows that the copper powder used in Comparative Example 1 cannot be sintered unless the temperature is at least 800 ° C. It can be seen that higher temperatures are required compared to the two embodiments described above.

【0056】比較例2: 本比較例では、先に述べたヒ
ドラジン還元法で得られた銅粉を、第1実施形態で行っ
た加熱処理後の解粒処理を行うことなく、テルピネオー
ル系導電ペーストの製造を行ったものである。従って、
テルピネオール系導電ペーストの製造に用いた銅粉の粉
体特性は、第1実施形態の加熱終了後であって、解粒処
理する前のものと同じであるため、ここでの説明は省略
する。即ち、酸素含有量を除いては、本件発明に係る銅
粉に求められる粉体特性は満足しないものである。
Comparative Example 2 In this comparative example, the copper powder obtained by the hydrazine reduction method described above was used for the terpineol-based conductive paste without the pulverization treatment after the heat treatment performed in the first embodiment. Was manufactured. Therefore,
Since the powder characteristics of the copper powder used for manufacturing the terpineol-based conductive paste are the same as those after the heating in the first embodiment and before the disintegration treatment, description thereof will be omitted here. That is, except for the oxygen content, the powder characteristics required for the copper powder according to the present invention are not satisfied.

【0057】本件発明者等は、この銅粉を用いてテルピ
ネオール系導電ペーストを製造し、この粘度を測定した
のである。ここで製造したテルピネオール系導電ペース
トの組成及び製造方法は、第1実施形態の場合と同様で
あるため、記載を省略する。得られたテルピネオール系
導電ペーストの製造直後の粘度を測定すると1000P
a・sであった。この結果と、上述した実施形態との結
果を比較すれば、ペースト粘度が非常に高くなっている
ことが分かり、ペースト粘度の低減化はできず、粘度管
理が非常に非常に困難なものとなる。
The present inventors manufactured a terpineol-based conductive paste using this copper powder and measured its viscosity. The composition and manufacturing method of the terpineol-based conductive paste manufactured here are the same as in the case of the first embodiment, so description thereof is omitted. The viscosity of the obtained terpineol-based conductive paste immediately after production was measured to be 1000 P.
It was a.s. Comparing this result with the result of the above-described embodiment, it is found that the paste viscosity is extremely high, the paste viscosity cannot be reduced, and the viscosity control becomes very very difficult. .

【0058】しかしながら、第1実施形態と同様の手法
を用いて焼結特性の評価を行った結果では、比較例2に
おいて用いた銅粉は、最低670℃の温度があれば焼結
可能であり、上述した2つの実施形態の結果と同等のも
のとなっている。
However, as a result of evaluating the sintering characteristics by using the same method as that of the first embodiment, the copper powder used in Comparative Example 2 can be sintered at a temperature of at least 670 ° C. , Which is equivalent to the results of the two embodiments described above.

【0059】これらのことから分かるように、実施形態
に係る銅粉は、ペースト粘度の低減化と焼結特性の向上
の同時達成が出来ているが、比較例として用いた銅粉
は、いずれかの特性に欠ける結果となっていることが分
かるのである。
As can be seen from the above, the copper powder according to the embodiment can simultaneously achieve reduction of paste viscosity and improvement of sintering characteristics. It can be seen that the result lacks the characteristics of.

【0060】[0060]

【発明の効果】本件発明に係る酸化層を備えた銅粉を用
いることで、製造する導電ペースト粘度を低くし、同時
に、積層セラミックコンデンサの電極を製造するときに
求められるような低温での焼結特性を十分に満足するも
のとなるのである。また、本件発明に係る銅粉は、酸化
層を形成した際の粉粒表面の粗れを解消することが、ペ
ースト粘度を低減化させるためには必須であるため、解
粒処理を取り入れた製造方法を採用することで効率よく
製造することが可能となるのである。
EFFECTS OF THE INVENTION By using the copper powder having an oxide layer according to the present invention, the viscosity of the conductive paste to be manufactured can be lowered, and at the same time, the firing at a low temperature required when manufacturing an electrode of a laminated ceramic capacitor. The result is that the binding property is sufficiently satisfied. Further, since the copper powder according to the present invention is essential to reduce the roughness of the powder particle surface when the oxide layer is formed, in order to reduce the paste viscosity, the manufacturing method in which the disintegration treatment is incorporated is performed. By adopting the method, it is possible to efficiently manufacture.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電ペーストを製造するために用いる表
面酸化層を備えた銅粉において、 レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径
50が0.05μm〜10μm、レーザー回折散乱式
粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準偏差SD
との関係式である(SD/D50)×100の値が28
以下の値であり、且つ、当該銅粉の酸素含有量が0.5
wt%〜3.0wt%であることを特徴とするチップ部
品の導体形成に用いる導電ペースト用の銅粉。
1. A copper powder having a surface oxide layer used for producing a conductive paste, wherein a weight cumulative particle diameter D 50 by a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring method is 0.05 μm to 10 μm, and a laser diffraction / scattering particle diameter. Standard deviation SD of particle size distribution measured by the distribution measurement method
The value of (SD / D 50 ) × 100, which is a relational expression with
It is the following value, and the oxygen content of the copper powder is 0.5.
Copper powder for a conductive paste used for forming a conductor of a chip part, characterized in that the content of the copper powder is from wt% to 3.0 wt%.
【請求項2】 実測した比表面積(SSA)と、レー
ザー回折散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径D
50を用いてSSA=6/(D50×8.93)で算
出される比表面積(SSA)との関係式であるSSA
/SSAの値が2.5以下である請求項1に記載の
チップ部品の導体形成に用いる導電ペースト用の銅粉。
2. Measured specific surface area (SSA 1 ) and weight cumulative particle diameter D measured by a laser diffraction / scattering particle size distribution measurement method.
SSA is a relational expression with the specific surface area (SSA 2 ) calculated by SSA 2 = 6 / (D 50 × 8.93) using 50.
The copper powder for a conductive paste used for forming a conductor of a chip component according to claim 1, wherein the value of 1 / SSA 2 is 2.5 or less.
【請求項3】 銅粉を構成する粉粒の表面に酸化層を形
成し、 その酸化層を形成した銅粉を、解粒処理することで粉粒
の表面を平滑化すると共に、凝集状態にある粉粒を分離
することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の導
電ペースト用銅粉の製造方法。
3. An oxide layer is formed on the surface of the powder particles constituting the copper powder, and the copper powder on which the oxide layer is formed is subjected to a disintegration treatment to smooth the surface of the powder particles and bring them into an agglomerated state. A method for producing copper powder for a conductive paste according to claim 1 or 2, wherein certain powder particles are separated.
【請求項4】 請求項1又は請求項2に記載のチップ部
品の導体形成に用いる導電ペースト。
4. A conductive paste used for forming a conductor of the chip component according to claim 1.
【請求項5】 請求項4に記載の導電ペーストを用いて
導体を含んだチップ部品。
5. A chip component containing a conductor using the conductive paste according to claim 4.
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