JP2003083626A - 極低温冷凍機の荷重支持装置 - Google Patents
極低温冷凍機の荷重支持装置Info
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Abstract
においてシリンダー部3およびコールドヘッド部4に作
用する外力によるシリンダー部3の変形あるいは破損
を、簡単な構成でかつ低価格で、防止するとともに、外
部からの熱侵入量を極力抑えることができる極低温冷凍
機の荷重支持装置を提供すること。 【解決手段】 コールドヘッド部4をその円周方向外方
からわずかな間隔31をおいてサポート部材21により
支持すること、コールドヘッド部4とサポート部材21
との間における熱接触部分および熱接触時間をわずかな
ものとすることに着目したもので、コールドヘッド部4
の外周部に位置してコールドヘッド部4との間にわずか
な間隔31をあけてあるとともに、コールドヘッドの半
径方向外方への移動によりコールドヘッド部4と接触し
てそれ以上の移動を阻止可能としたサポート部材21を
設けたことを特徴とする。
Description
支持装置にかかるもので、とくにスターリング冷凍機、
パルスチューブ冷凍機、あるいはスターリング式パルス
チューブ冷凍機などの蓄冷式冷凍機ないし小型冷凍機そ
の他の極低温冷凍機の荷重支持装置に関するものであ
る。
グ冷凍機1を例に取り、図14にもとづき概説する。図
14は、スターリング冷凍機1の概略説明図であって、
スターリング冷凍機1は、ヘッドハウジング部2と、シ
リンダー部3と、コールドヘッド部4と、真空容器5
と、ヘッドハウジング部2およびシリンダー部3に冷媒
ガスを供給するガス圧縮機(図示せず)と、を有する。
ヘッドハウジング部2にシリンダー部3の一方の端部を
取り付け、他方の端部に銅製のコールドヘッド部4を取
り付けるとともに、このコールドヘッド部4に赤外線検
出センサー6(被冷却物)に熱接触させるものである。
従来は主に10〜20グラム程度と軽量であり、図14
のように縦置き(垂直置き)した場合には、スターリン
グ冷凍機1の外部からの振動あるいは外力が作用して
も、赤外線検出センサー6の機能にさほど悪影響はな
い。
置き(水平置き)した場合の概略説明図であって、この
横置きの場合には、シリンダー部4の先端部における赤
外線検出センサー6を自由端とする片持ち式の構造とな
るため、図14に示した縦置きの場合よりシリンダー部
4に変形が起こりやすいが、赤外線検出センサー6が比
較的軽量であるため、コールドヘッド部3および被冷却
物である赤外線検出センサー6の重量による荷重を外力
に対抗して支持する構造は、事実上必要なかった。
重量があるものがでてきている。たとえば、図16は、
移動体通信用の基地局7を示す概略説明図であって、移
動体通信用の基地局7は、高温超電導フィルター8(被
冷却物)と、低ノイズ増幅器9(被冷却物)と、アンテ
ナ10と、を有し、高温超電導フィルター8および低ノ
イズ増幅器9を極低温に冷却する必要がある。
による、たとえば厚さ5mmおよび直径100〜150
mm程度の円盤11を介してこの高温超電導フィルター
8および低ノイズ増幅器9をスターリング冷凍機1のコ
ールドヘッド部4に熱接触させた概略説明図であって、
高温超電導フィルター8および低ノイズ増幅器9の合計
重量は、たとえば0.5〜2キログラムにもなる。要す
るにスターリング冷凍機1などの小型冷凍機の冷凍能が
増大化するにともなって、被冷却物の重量も増大化の傾
向をたどっており、以下のような諸問題が発生してい
る。
低ノイズ増幅器9などの被冷却物がコールドヘッド部4
に搭載された状態で、スターリング冷凍機1全体に振動
あるいは衝撃などによる外力が作用すると、コールドヘ
ッド部4を取り付けている比較的長尺のシリンダー部3
が変形あるいは破損する可能性が高いという問題があ
る。シリンダー部3におけるわずかな変形によっても、
スターリング冷凍機1の冷凍機能に影響がある場合があ
り、とくに図18に示すように、スターリング冷凍機1
を横置き(水平置き)した場合には、シリンダー部3は
構成材質(たとえばステンレス材)の弾性限界応力内の
変形、あるいは弾性限界応力外の変形あるいは破損を起
こす可能性がある。この変形が所定限界をこえると、シ
リンダー部3内を往復運動するディスプレーサーの運動
を妨げ、冷凍能力が低下するという問題がある。被冷却
物の重量が増加するほど、スターリング冷凍機1の縦置
きおよび水平置きともに外力の影響を防止すべく荷重を
支持する必要があり、とくに水平置きの場合には、被冷
却物を自由端として片持ち式構造になるために、外力に
より振動しやすく、その影響が大きく、被冷却物の重量
および外力による影響の両方を考慮する必要がある。
が考えられている。たとえば、図19は、工夫の一例に
よるスターリング冷凍機12を示す一部破断概略説明図
であって、このスターリング冷凍機12では、シリンダ
ー部13の肉厚を従来より大きく、あるいは長さを短く
するかの構成の少なくとも一方を採用することによっ
て、シリンダー部13単体の強度を強くし、耐荷重性能
をシリンダー部13の部分で満足させようとするもので
ある。
おいては、部品点数が少ないので、低価格であるととも
に、構造自体は単純であるが、スターリング冷凍機12
に外力が印加されていない場合であっても、肉厚のシリ
ンダー部13からの熱伝導作用によるスターリング冷凍
機12への熱侵入量が大きくなって、冷凍能力が低下し
てしまうという問題がある。すなわち、シリンダー部3
は、冷凍能力を保持するとともに熱侵入量を抑えるとい
う点からは、これがたわまないほど相対的に太くするこ
とが困難で、強度が強くなっても熱侵入の程度が増加し
ては意味がなくなる。
機14を示す概略説明図であって、このスターリング冷
凍機14では、シリンダー部3を一対とすることによ
り、コールドヘッド部4の荷重を支持しようとするもの
である。
おいては、シリンダー部3の合体による荷重支持効果を
ねらったものではあるが、部品点数が増え、構造が複雑
化するという問題がある。
グ冷凍機15を示す概略説明図であって、このスターリ
ング冷凍機15においては、シリンダー部3に平行にヘ
ッドハウジング部2からコールドヘッド部4にわたって
サポートシリンダー16を追加し、シリンダー部3およ
びサポートシリンダー16の協動作用により耐荷重性能
を上げようとするものである。
おいて、サポートシリンダー16の構造次第では、熱伝
導作用によるサポートシリンダー16からの熱侵入量を
低下することはできるが、部品点数が多くなって、高価
格および複雑な構造になるという問題がある。
4)やパルスチューブ冷凍機以外にも、ガス圧縮機には
スターリング用圧縮機を用いるとともに冷凍機にはパル
スチューブ冷凍機を使用する組み合わせのタイプである
スターリング式パルスチューブ冷凍機、あるいはGM冷
凍機(ギフォード・マクマホン冷凍機)などについても
同様の諸問題がある。
諸問題にかんがみなされたもので、スターリング冷凍機
等の極低温冷凍機においてシリンダー部およびコールド
ヘッド部に作用する外力によるシリンダー部の変形ある
いは破損を防止可能な極低温冷凍機の荷重支持装置を提
供することを課題とする。
抑えて、コールドヘッド部および被冷却物の荷重を支持
することができる極低温冷凍機の荷重支持装置を提供す
ることを課題とする。
で、シリンダー部の変形を防止するようにその荷重を支
持することができる極低温冷凍機の荷重支持装置を提供
することを課題とする。
ーリング冷凍機等の極低温冷凍機におけるコールドヘッ
ド部のみをその円周方向外方からわずかな間隔をおいて
サポート部材により支持すること、コールドヘッド部と
サポート部材との間における熱接触部分および熱接触時
間をわずかなものとすることに着目したもので、ヘッド
ハウジング部と、このヘッドハウジング部に取り付けた
シリンダー部と、このシリンダー部の端部に取り付ける
とともに被冷却物に熱接触させるコールドヘッド部と、
を有する極低温冷凍機の荷重支持装置であって、上記コ
ールドヘッド部の外周部に位置して上記コールドヘッド
部との間にわずかな間隔をあけてあるとともに、上記コ
ールドヘッドの半径方向外方への移動によりこのコール
ドヘッド部と接触してそれ以上の移動を阻止可能とした
サポート部材を設け、上記シリンダー部の変形による、
上記シリンダー部の長さ方向に沿った方向からの上記コ
ールドヘッド部の移動を防止可能としたことを特徴とす
る極低温冷凍機の荷重支持装置である。
は接触せずに上記ヘッドハウジング部にその端部を固定
してあることができる。
部に対向する支持部と、上記ヘッドハウジング部に固定
する固定部と、を有することができる。
よび上記コールドヘッド部を囲む円筒形状にこれを形成
することができる。
よび上記コールドヘッド部を囲む円周位置に配置した複
数個のサブサポートからこれを形成することができる。
ルドヘッド部の熱伝導率より小さいものとすることがで
きる。
部との間隔を調節可能な調節ネジを設けることができ
る。また、この調節ネジの先端部は、コールドヘッド部
との接触面積をできるだけ小さくするように、これを円
錐形状とすることが望ましい。
おける高温超電導フィルターおよび低ノイズ増幅器であ
ることができる。
においては、スターリング冷凍機などの極低温冷凍機に
おけるコールドヘッド部の外周部に位置してコールドヘ
ッド部との間にわずかな間隔をあけてあるとともに、コ
ールドヘッドの半径方向外方への移動によりこのコール
ドヘッド部と接触してそれ以上の移動を阻止可能とした
サポート部材を設けたので、コールドヘッド部のみをそ
の円周方向外方からサポート部材により支持し、コール
ドヘッド部とサポート部材との間における熱接触部分お
よび熱接触時間をわずかなものとすることができる。す
なわち、外力によってシリンダー部に変形が発生しない
状態ではコールドヘッド部とサポート部材との間には熱
的な接触がなく、サポート部材を介してのコールドヘッ
ド部への熱侵入のおそれはない。コールドヘッド部に取
り付けた被冷却物の重量が大きく、外力の作用によりシ
リンダー部が変形した場合のみにコールドヘッド部がそ
の円周外部に位置するサポート部材にそれ以上の変形を
阻止され、破損ないしは破壊にいたることを防止し、冷
凍機能が低下することも防止可能である。さらに、この
サポート部材は、コールドヘッド部の移動を阻止するよ
うにコールドヘッド部の外方からこれを配置するだけで
よく、簡単な構造かつわずかな部品点数で、低価格で提
供することができる。要するに、シリンダー部あるいは
コールドヘッド部には接触はしたくないが、荷重支持の
機能を保有しておくために、シリンダー部のたわみ変形
をその弾性変形内である範囲に抑えることにより、塑性
変形にいたる外力の限界に近い状態ではじめてサポート
部材がコールドヘッド部に接触するので、熱侵入を極力
抑えて塑性変形を阻止することができる。
による極低温冷凍機の荷重支持装置20を図1ないし図
3にもとづき説明する。ただし、図14ないし図21と
同様の部分には同一符号を付し、その詳述はこれを省略
する。図1は、荷重支持装置20を装備したスターリン
グ冷凍機1(極冷温冷凍機)を縦置き(垂直置き)した
場合の一部破断概略説明図であって、荷重支持装置20
は、円筒形状のサポート部材21を有する。
2と、円筒形状本体22の一方の端部である固定部23
と、円筒形状本体22の他方の端部であって円筒形状本
体22より肉厚とした支持部24と、を有する。固定部
23においてヘッドハウジング部2の上部に溶接部25
により固定し、スターリング冷凍機1のコールドヘッド
部4に対向している支持部24側を相対的に自由端とし
ている。溶接部25を形成するための溶接としては、T
IG溶接、電子ビーム溶接あるいはロウ付けなど任意の
ものを選択可能である。
しくはアウトガスが少ないFRP(繊維強化プラスチッ
ク)、チタン材、アルミニウム材、ないしはこれらの合
金などであり、強度があり、できれば銅材より熱伝導性
が劣る材料が好ましい。
ーリング冷凍機1を横置き(水平置き)した場合の一部
破断概略説明図であって、固定部23が固定され、サポ
ート部材21は、支持部24においてスターリング冷凍
機1のコールドヘッド部4に対向している。
の要部拡大断面図であって、シリンダー部3の内部に
は、ディスプレーサー26と、シールリング27と、蓄
冷材蓄冷材28と、ディスプレーサースプリング29
と、を有し、シリンダー部3内においてディスプレーサ
ー26が冷媒ガス(ヘリウムガス)と所定の位相で往復
動することにより、冷媒ガスの熱交換を行い、コールド
ヘッド部4部分に冷凍を発生する。
により円盤11を固定し、既述のように、円盤11に高
温超電導フィルター8および低ノイズ増幅器9を熱接触
させてある。
ドヘッド部4の外周部に位置し、コールドヘッド部4と
の間における半径方向に所定のわずかな間隔(第1の間
隔31)をあけてあるとともに、円盤11との間におけ
る長さ方向にもわずかな間隔(第2の間隔32)をあけ
てある。たとえば、コールドヘッド部4は、その厚さが
1mmであり、サポート部材21は、その外径が40〜
70mm、長さが50〜70mm、円筒形状本体22の
厚さが0.5〜2.0mm、支持部24はその厚さが2
〜3mm、第1の間隔31が0.05〜0.1mmであ
り、第2の間隔32が・0.5〜1.0mmである。
力によるシリンダー部3ないしコールドヘッド部4の弾
性変形内でその荷重を支持することができればよい。す
なわち、通常の運転時には、サポート部材21とコール
ドヘッド部4との接触はなく、シリンダー部3の変形に
よる、シリンダー部3の長さ方向に沿った方向からのコ
ールドヘッド部4の半径方向外方への移動を防止可能と
することができるような間隔とする。また、第2の間隔
32は、スターリング冷凍機1の運転による冷却作用で
コールドヘッド部4および円盤11部分の熱収縮があっ
ても支持部24と円盤11との接触が起こらないような
間隔とする。さらに、たとえば、コールドヘッド部4お
よび円盤11が銅製で、熱伝導率が良好であるのに対し
て、サポート部材21(支持部24)部分はステンレス
製で、熱伝導率は銅より小さいものとする。
置20において、スターリング冷凍機1の運転によりデ
ィスプレーサー26がシリンダー部3内を往復動する
が、運転中に外力が作用して、高温超電導フィルター8
および低ノイズ増幅器9付きのコールドヘッド部4ない
しシリンダー部3がその軸方向(長さ方向)から倒れる
ように変形しようとしても、すなわち、円周のいずれか
の方向に向かって(遠心方向に)変形しようとしても、
サポート部材21の支持部24が外方からこのコールド
ヘッド部4部分を押さえることになり、これ以上の変形
を防止する。つまり、コールドヘッド部4付きのシリン
ダー部3は、その弾性変形の範囲内で支持部24により
その荷重を支持されることになるので、振動あるいは衝
撃などによる外力によっても破損することを防止され、
ディスプレーサー26の往復動を保障され、その冷凍機
能を維持することができる。
て上述のようにコールドヘッド部4と支持部24とが接
触しても、この接触の間だけに熱接触が行われることに
なるので、サポート部材21を介しての熱侵入量を極力
抑えることができる。
凍機1が水平方向に片持ち式に配置されているような場
合には、シリンダー部3には変形方向に重力が作用する
ことになるので、外力の作用があれば、図1に示した垂
直方向に配置されている場合より、さらに変形しやすい
が、上述のような荷重支持装置20のサポート部材21
によって、その変形の程度を最小に抑えることができ
る。
極冷温冷凍機の荷重支持装置40を装備したスターリン
グ冷凍機1の一部破断概略説明図であって、荷重支持装
置40におけるサポート部材41は、前記円筒形状本体
22の固定部23に相当するフランジ部42を形成し、
このフランジ部42を取付けボルト43によりヘッドハ
ウジング部2の上面に固定する。
ルト43部分の一部破断断面図であって、ボルト取付け
孔44が貫通状態ではないときに、取付けボルト43に
貫通孔部45を形成し、ボルト取付け孔44の空気溜ま
りから空気が漏れて真空容器5(図5中仮想線)内の真
空度が低下することを防止する。なお、図5に一点鎖線
で示すように、真空容器5の下方部がボルト取付け孔4
4より下方部に位置する場合には、ボルト取付け孔44
自体を貫通状態とし、その空気溜まりから空気が漏れて
真空容器5内の真空度が低下することを防止する。
機の荷重支持装置におけるサポート部材の典型例を示
す。図6は、第1の実施の形態による極冷温冷凍機の荷
重支持装置20(図1、図2、図3)において使用した
サポート部材21の斜視図である。図7は、第2の実施
の形態による極低温冷凍機の荷重支持装置40(図4、
図5)において使用したサポート部材41の斜視図であ
る。図6および図7の上部(支持部24)が肉厚タイプ
であるサポート部材21、41は、輻射による熱侵入に
対して有利であり、同じ肉厚であれば、強度を大きくす
ることができる。図8は、サポート部材21をさらに単
純化したサポート部材46の斜視図であって、サポート
部材46は、これを単なる円筒形状として、構造を簡素
化することができる。このストレートタイプのサポート
部材46によれば、その内径を図6のサポート部材21
あるいは図7のサポート部材41より小さくすることが
でき、したがって、同じ肉厚であれば、断面積が小さく
なって、熱侵入量をより小さくすることができる。
図であって、サポート部材47は、サポート部材21
(図6)の円周部を等角度間隔に切り欠いて、たとえば
3本のアーム状のサブサポート48を形成し、その根元
部を固定部23により一体化している。サブサポート4
8の先端部の支持部24に相当する支持部49がスター
リング冷凍機1のコールドヘッド部4に当接可能として
その荷重を支持することになる。こうしたサポート部材
47をたとえば荷重支持装置20に採用することによ
り、コールドヘッド部4を囲む円周位置に配置した複数
個のサブサポート48からサポート部材47を形成し
て、その重量を軽くし、荷重支持装置20全体の軽量化
を図ることができる。
斜視図であり、サポート部材50は、独立したサブサポ
ート48(たとえば3本)を円周位置に等角度間隔で配
列して、これを構成したものである。こうしたサポート
部材50をたとえば荷重支持装置20に採用することに
より、さらにサポート部材47の重量を軽くし、荷重支
持装置20全体の軽量化を図ることができる。
態による極冷温冷凍機の荷重支持装置60の要部断面図
であって、荷重支持装置60においては、たとえばサポ
ート部材21の支持部24の円周部に複数本の調節ネジ
61を設けている。それぞれの調節ネジ61がネジ孔6
2を貫通して、コールドヘッド部4の外周面に外方から
当接可能としている。
す平面説明図であって、調節ネジ61は、たとえばサポ
ート部材21の円周部に好ましくは等角度間隔で、3個
所(図中仮想線)あるいは4個所(図中一点鎖線)にコ
ールドヘッド部4の外周部に当接可能にこれを設けて、
コールドヘッド部4の円周位置において任意の突出状態
とし、コールドヘッド部4の外周との間隔を調節可能と
している。調節ネジ61の材質としては、FRPあるい
はプラスチック製の円錐状の先端部を持つものが好まし
く、チタンあるいはステンレス材のものも採用可能であ
る。
置60において、図11に示すようにスターリング冷凍
機1を水平置きの場合、常温では、たとえばすべての調
節ネジ61がコールドヘッド部4に接触しているように
調節しておき、冷凍運転による熱収縮でわずかな間隔
(第1の間隔31、図3)を形成可能とする。あるい
は、スターリング冷凍機1の設置場所ないし設置状況に
応じて調節ネジ61による円周方向における荷重支持の
程度を任意に調節可能とすることができる。また、水平
置きの場合には、スターリング冷凍機1におけるコール
ドヘッド部4のどこが下側に位置していても、当該下側
における調節ネジ61を調節することにより、水平時の
外力に対抗して調節ネジ61からの上方向の荷重支持力
を得ることができる。
ヘッド部4が下方向に収縮、あるいは、たわんだ状態を
誇張して示す概略説明図であって、下側に位置する調節
ネジ61を上側に位置する調節ネジ61より大きくコー
ルドヘッド部4側に突出させておくことにより、これ以
上のたわみを阻止するとともに、コールドヘッド部4と
調節ネジ61との接触部が調節ネジ61の先端部である
ので、接触面積を極力小さくして、この接触部からの熱
侵入量を最小限に抑えることができる。
サポート部材21、41、46、47、50に調節ネジ
61を設けるようにすることもできる。また、コールド
ヘッド部3に対向するネジないし突出部としても、これ
を突出形状としただけでその突出量を調節しないタイプ
であってもよい。
ウジング部から延ばしたサポート部材の先端部をコール
ドヘッド部の外周面に当接可能として、その荷重による
たわみを防止可能としたので、スターリング冷凍機その
他の極低温冷凍機の冷凍能力を低下させることなく、極
低温冷凍機への熱侵入量を極力抑えることができる。
20を装備したスターリング冷凍機1(極冷温冷凍機)
を縦置き(垂直置き)した場合の一部破断概略説明図で
ある。
冷凍機1を横置き(水平置き)した場合の一部破断概略
説明図である。
る。
40を装備したスターリング冷凍機1の一部破断概略説
明図である。
部分の一部破断断面図である。
20(図1、図2、図3)において使用したサポート部
材21の斜視図である。
40(図4、図5)において使用したサポート部材41
の斜視図である。
たサポート部材46の斜視図である。
る。
ある。
置60の要部断面図である。
明図である。
4が下方向に収縮、あるいは、たわんだ状態を誇張して
示す概略説明図である。
図である。
き)した場合の概略説明図である。
図である。
盤11を介して高温超電導フィルター8および低ノイズ
増幅器9をスターリング冷凍機1のコールドヘッド部4
に熱接触させた概略説明図である。
き)した場合の概略説明図である。
消すべく考えられた工夫の一例によるスターリング冷凍
機12を示す一部破断概略説明図である。
示す概略説明図である。
15を示す概略説明図である。
(被冷却物) 9 移動体通信用の基地局7の低ノイズ増幅器(被冷却
物) 10 移動体通信用の基地局7のアンテナ 11 銅製の円盤 12 スターリング冷凍機(図19) 13 シリンダー部 14 スターリング冷凍機(図20) 15 スターリング冷凍機(図21) 16 サポートシリンダー 20 極冷温冷凍機の荷重支持装置(第1の実施の形
態、図1) 21 円筒形状のサポート部材 22 サポート部材21の円筒形状本体 23 サポート部材21の固定部 24 サポート部材21の支持部 25 溶接部 26 ディスプレーサー(図3) 27 シールリング 28 蓄冷材 29 ディスプレーサースプリング 30 取付けボルト 31 サポート部材21の支持部24とコールドヘッド
部4との間の第1の間隔 32 サポート部材21の支持部24と円盤11との間
の第2の間隔 40 極低温冷凍機の荷重支持装置(第2の実施の形
態、図4) 41 サポート部材 42 フランジ部 43 取付けボルト 44 ボルト取付け孔 45 取付けボルト43に形成した貫通孔部(図5) 46 サポート部材(図8) 47 サポート部材(図9) 48 複数本のアーム状のサブサポート 49 支持部 50 サポート部材(図10) 60 極低温冷凍機の荷重支持装置(第3の実施の形
態、図11) 61 調節ネジ 62 ネジ孔
Claims (8)
- 【請求項1】 ヘッドハウジング部と、このヘッドハ
ウジング部に取り付けたシリンダー部と、このシリンダ
ー部の端部に取り付けるとともに被冷却物に熱接触させ
るコールドヘッド部と、を有する極低温冷凍機の荷重支
持装置であって、 前記コールドヘッド部の外周部に位置して前記コールド
ヘッド部との間にわずかな間隔をあけてあるとともに、
前記コールドヘッドの半径方向外方への移動によりこの
コールドヘッド部と接触してそれ以上の移動を阻止可能
としたサポート部材を設け、 前記シリンダー部の変形による、前記シリンダー部の長
さ方向に沿った方向からの前記コールドヘッド部の移動
を防止可能としたことを特徴とする極低温冷凍機の荷重
支持装置。 - 【請求項2】 前記サポート部材は、前記シリンダー
部には接触せずに前記ヘッドハウジング部にその端部を
固定してあることを特徴とする請求項1記載の極低温冷
凍機の荷重支持装置。 - 【請求項3】 前記サポート部材は、 前記コールドヘッド部に対向する支持部と、 前記ヘッドハウジング部に固定する固定部と、を有する
ことを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機の荷重支
持装置。 - 【請求項4】 前記サポート部材は、前記シリンダー
部および前記コールドヘッド部を囲む円筒形状にこれを
形成したことを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機
の荷重支持装置。 - 【請求項5】 前記サポート部材は、前記シリンダー
部および前記コールドヘッド部を囲む円周位置に配置し
た複数個のサブサポートからこれを形成したことを特徴
とする請求項1記載の極低温冷凍機の荷重支持装置。 - 【請求項6】 前記サポート部材の熱伝導率は、前記
コールドヘッド部の熱伝導率より小さいことを特徴とす
る請求項1記載の極低温冷凍機の荷重支持装置。 - 【請求項7】 前記サポート部材に、前記コールドヘ
ッド部との間隔を調節可能な調節ネジを設けたことを特
徴とする請求項1記載の極低温冷凍機の荷重支持装置。 - 【請求項8】 前記被冷却物は、移動体通信用の基地
局における高温超電導フィルターおよび低ノイズ増幅器
であることを特徴とする請求項1記載の極低温冷凍機の
荷重支持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001276546A JP3638546B2 (ja) | 2001-09-12 | 2001-09-12 | 極低温冷凍機の荷重支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001276546A JP3638546B2 (ja) | 2001-09-12 | 2001-09-12 | 極低温冷凍機の荷重支持装置 |
Publications (2)
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