JP2003077180A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JP2003077180A
JP2003077180A JP2001261870A JP2001261870A JP2003077180A JP 2003077180 A JP2003077180 A JP 2003077180A JP 2001261870 A JP2001261870 A JP 2001261870A JP 2001261870 A JP2001261870 A JP 2001261870A JP 2003077180 A JP2003077180 A JP 2003077180A
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head
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optical recording
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JP2001261870A
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Hideki Ono
秀樹 大野
Kensho Oshima
憲昭 大島
Keiichiro Nishizawa
恵一郎 西澤
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Tosoh Corp
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Tosoh Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォーマット情報を書き換え可能なヘッダー
と、ランド及びグルーブを有し、浮上式光学ヘッドを用
いて記録および/または再生を行う光記録媒体におい
て、浮上式光学ヘッドの浮上高さを記録再生領域の全域
で一定に保つことができ、均一な記録再生信号が得ら
れ、ヘッドとのクラッシュが起きにくい信頼性の高い光
記録媒体を提供する。 【解決手段】 ヘッド浮上領域のヘッダー部に、ヘッド
の浮上特性安定化用の凹みを少なくとも1個以上形成す
ることにより、ヘッダー部とランド/グルーブ部のRp
の差を出来るだけ小さくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は浮上式ヘッドを用い
て記録および/または再生を行う光記録媒体に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】光記録媒体は大容量・高密度記録が可能
な可搬型記録媒体であり、近年のマルチメディア化に伴
なうコンピュータの大容量保存ファイルとして動画等を
記録する書き換え型メディアとして需要が急増しつつあ
る。
【0003】従来の書き換え型光記録媒体は一般に射出
成形により得られたプラスチックの円盤状基板に記録層
を含む多層膜を形成し、プラスチック基板側からレーザ
ーを照射して記録、再生、消去を行っていた。
【0004】さらに、近年、記録膜に光学ヘッドを近づ
けて記録再生する、表面記録再生方式が高記録密度化の
手段として注目されている。
【0005】この表面記録再生方式では光学ヘッドを記
録媒体に近付ける必要があるために、従来の光記録媒体
のように基板を通して記録膜にレーザービームを照射す
るのではなく、基板を通さずに直接記録膜にレーザービ
ームを照射する方法を用いる。すなわち、記録膜の構成
が従来の光記録媒体では基板/第1保護膜/記録膜/第
2保護膜/反射膜としているのが一般的であるのに対し
て、表面記録媒体では、例えば、基板/反射膜/記録膜
/保護膜という逆構成の膜構造として膜表面側からレー
ザービームを照射し、記録再生を行なう(表面記録再
生)。この際、記録膜と光学ヘッドを近づけるために浮
上式のスライダーヘッドを利用することが提案されてい
る。
【0006】この表面記録再生方式においては、浮上式
光学ヘッドと記録媒体の距離が非常に近くなっており、
ヘッドの記録媒体からの浮上高さが僅かに変動しても、
記録再生信号強度がばらつき記録再生に支障を来した
り、さらにはヘッドと記録媒体が接触することによりヘ
ッドおよび記録媒体が破損することも考えられる。
【0007】一方、記録媒体には、予め基板にフォーマ
ット情報を有するプレピットが形成してあるタイプと、
フォーマット情報が書き換え可能なソフトフォーマット
タイプとがある。何れのフォーマットタイプの記録媒体
にもヘッダー部の他にデータを記録再生するランド/グ
ルーブ部が存在する。ソフトフォーマットタイプの記録
媒体のヘッダー部にはプレピットが存在しないため、ヘ
ッダー部上を浮上するときのヘッド浮上高さとランド/
グルーブ部上を浮上するときのヘッド浮上高さに差が生
じ易く、記録再生時のヘッド浮上高さが変動してしま
う。
【0008】したがって、従来、浮上式スライダーヘッ
ドを使用した表面記録再生方式の書き換え可能なヘッダ
ーを有する光記録媒体は、記録再生領域の全域において
ヘッドの浮上高さを一定に保つことが難しく、均一な記
録再生信号を得ることが困難であった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、記録媒体上を浮上するヘッドの浮上高さを
記録再生領域の全域で一定に保つことにより、均一な記
録再生信号を得られ、ヘッドとのクラッシュが起きにく
い信頼性の高い光記録媒体を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上述のよう
な現状に鑑み、鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成す
るに至った。
【0011】すなわち、本発明は、基板上に少なくとも
反射層、記録層および誘電体層をこの順に積層してな
り、フォーマット情報を書き換え可能なヘッダーと、ラ
ンド及びグルーブを有し、浮上式光学ヘッドを用いて記
録および/または再生を行う光記録媒体において、ヘッ
ドの浮上姿勢安定化用の凹みをヘッド浮上領域のヘッダ
ー部に少なくとも1個以上形成したことを特徴とする光
記録媒体である。また、ヘッダー部に形成された凹みの
間口は、曲線、または直線、あるいは曲線と直線の組み
合わせによる周からなることが好ましい。
【0012】なお、本発明の光記録媒体は表面記録再生
方式の光記録媒体、あるいは近接場光記録方式の光記録
媒体として好適に用いることが可能である。
【0013】以下に本発明を更に詳細に説明する。
【0014】図1は本発明の光記録媒体の一例を示す断
面図である。基板11の上に反射層12、記録層13、
誘電体層14をこの順にて積層してある。基板11とし
ては機械特性などの媒体基板としての特性を満たすもの
であれば特に限定されず、ガラス、ポリカーボネート、
アモルファスポリオレフィン、エンジニアリングプラス
チック等を用いることが出来る。反射層12としては反
射率の高い金属であれば特に限定されず、例えば、A
l、Ag、Au、Cu等の単体金属あるいはそれらを各
々主成分とする合金等を用いることが出来る。また、記
録層13としては光記録層として用いることができる材
料であれば特に限定されず、例えば、TbFeCo、D
yFeCo、GdTbFeCo、NdDyFeCo等の
光磁気記録膜、GeSbTe、AgInSbTe等の相
変化記録膜を用いることが出来る。また、これらの光記
録層は単層からなるものであっても良いし、機能や組成
の異なる膜を積層した積層膜であっても良い。誘電体層
14はSiN、AlN、SiAlON、Ta25などの
透明な誘電体で構成される。また、誘電体層の上にカー
ボンに水素や窒素を添加させたダイヤモンドライクカー
ボン(DLC)等の固体潤滑層を積層しても良い。
【0015】図2は本発明の光記録媒体の一例のヘッダ
ー周辺の平面形状を模式的に示す拡大図である。光記録
媒体の記録再生面には、記録再生用のレーザーをトラッ
キングするための案内溝としてスパイラル状または同心
円状にグルーブ21が形成されている。なお、符号22
で示される2つのグルーブ21に挟まれた領域をランド
と称している。また、光記録媒体の記録再生面には、フ
ォーマット情報を記録するためのヘッダー23が形成さ
れている。
【0016】光記録再生の方式には、グルーブ上にデー
タを書き込むグルーブ記録方式とランド上にデータを書
き込むランド記録方式があるが、いずれの記録方式にお
いてもデータを書き込む面を基準とした浮上式光学ヘッ
ド(以下、ヘッドと略称する)の浮上高さが一定となる
ことが記録再生上重要である。
【0017】この記録媒体上をヘッドが浮上する場合、
記録媒体表面の形状がヘッドの浮上高さに大きく影響を
与える。すなわち、記録媒体と相対するヘッドのスライ
ダー面直下の記録媒体上の領域において、記録媒体の最
大高さから中心線までの深さRpに依存してヘッドの浮
上高さが変動する。ここで言う中心線とは記録媒体表面
の粗さ曲線の平均線に平行な直線で、かつこの直線と粗
さ曲線で囲まれる面積が直線の両側で等しくなる様に引
かれた直線である。記録媒体のヘッダー部とランド/グ
ルーブ部では表面形状が異なっているため、浮上したヘ
ッドがヘッダー部に差し掛かった際に浮上高さが変動し
ない様に、ヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの差
を小さくすることが重要である。このため、ヘッダー部
はフォーマットを光記録で書き込めるミラー部24とヘ
ッドの浮上特性安定化用の凹み25により構成すること
が好ましい。凹みはヘッド浮上領域のヘッダー部に、少
なくとも1個以上形成することが好ましい。また、凹み
の間口は、曲線、または直線、あるいは曲線と直線の組
み合わせによる周からなることが好ましい。何れの形状
においても、ヘッダー部とランド/グルーブ部のRpの
差を出来るだけ小さくすることが重要だが、記録媒体の
種類によりランド/グルーブの比やグルーブ深さの設計
が異なることからランド/グルーブ部のRpも一様では
無く、凹みの面積、深さは特に限定されない。ヘッダー
部へのフォーマット書き込み、および読み出しに支障の
無い範囲で、かつヘッダー部とランド/グルーブ部のR
pの差が出来るだけ小さくなる様に設定すれば良い。例
えば、間口面積が大きく、深い凹みを1個としても良い
し、面積が小さく、浅い凹みを多数形成しても良い。ま
た、凹みを複数個形成する場合、隣接する凹みどうしが
接しても良いし、一部重なっても構わない。
【0018】また、光学ヘッドを記録膜に近付けて記録
再生する近接場光記録でも、浮上式ヘッドを用いること
から有効な方法である。
【0019】この様にして、ヘッドの浮上姿勢安定化用
の凹みをヘッド浮上領域のヘッダー部に少なくとも1個
以上形成することにより、記録再生領域全域においてヘ
ッドの浮上高さを一定とすることができ、均一な記録再
生信号を得られ、ヘッドとのクラッシュが起きにくい信
頼性の高い光記録媒体が得られる。
【0020】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。
【0021】(実施例1)トラックピッチ0.43μm
のスパイラル状のランド/グルーブ部とヘッダー部を有
する、ポリカーボネート製の直径130mmの円形基板
を射出成形法で作製した。この際用いたスタンパによ
り、半径20〜60mmのヘッダーを除く領域におい
て、基板のグルーブ深さは80nmとし、また、中心か
ら外側に向けて形成した100本のヘッダー部には深さ
80nmの円形の凹みをグルーブと同一軌跡上に配列し
た。
【0022】この基板上に反射層として膜厚50nmの
AlCr合金をDCスパッタ法で積層した。さらに記録
層として膜厚20nmのTbFeCoをDCスパッタ法
で積層した。この上に誘電体層として、ArとN2の混
合雰囲気中でSiターゲットを使用した反応性DCスパ
ッタ法で膜厚50nmのSiNを積層した。さらにこの
上に、固体潤滑層としてArとCH4の混合雰囲気中で
Cターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で膜厚2
0nmのダイヤモンドライクカーボン(DLC)を積層
し光磁気記録媒体を作製した。
【0023】(実施例2)トラックピッチ0.43μm
のスパイラル状のランド/グルーブ部とヘッダー部を有
する、ポリカーボネート製の直径130mmの円形基板
を射出成形法で作製した。この際用いたスタンパによ
り、半径20〜60mmのヘッダーを除く領域におい
て、基板のグルーブ深さは80nmとし、また、中心か
ら外側に向けて形成した100本のヘッダー部には深さ
40nmの円形の凹みをグルーブと同一軌跡上に配列し
た。
【0024】この基板上に反射層として膜厚50nmの
AlCr合金をDCスパッタ法で積層した。さらに記録
層として膜厚20nmのTbFeCoをDCスパッタ法
で積層した。この上に誘電体層として、ArとN2の混
合雰囲気中でSiターゲットを使用した反応性DCスパ
ッタ法で膜厚50nmのSiNを積層した。さらにこの
上に、固体潤滑層としてArとCH4の混合雰囲気中で
Cターゲットを使用した反応性RFスパッタ法で膜厚2
0nmのダイヤモンドライクカーボン(DLC)を積層
し光磁気記録媒体を作製した。
【0025】(比較例1)ヘッダー部にピットも溝も形
成しない表面形状とした以外は実施例1と同様の方法で
光磁気記録媒体を作製した。
【0026】実施例1、2及び比較例1の方法で作製し
た近接場光磁気記録媒体について、以下の評価を行っ
た。最初に記録媒体の半径位置20、30、40、5
0、60mmの5ヶ所について、各々ヘッダー部とラン
ド/グルーブ部の表面形状を走査型電子顕微鏡で測定
し、その形状測定結果から、最大高さから中心線までの
深さを求め、その差を算出した。続いてこの記録媒体の
浮上特性を評価した。まず、記録媒体をグライドテスタ
ー(日立電子エンジニアリング社製)のスピンドル上に
設置した。続いてピエゾ素子の付いた70%スライダ
ー、6.0g荷重のグライドヘッド(グライドライト社
製)の記録媒体からの浮上高さが50nm一定となる様
に、記録媒体を線速度7m/秒で回転した。記録媒体の
半径位置20、30、40、50、60mmの5ケ所に
ついて、ピエゾ素子から出力された信号の実効電圧値を
測定した。続いてSNRの測定を行った。記録媒体を毎
分2400回転で回転させて、薄膜面上にレーザー波長
680nm、有効開口数1.2のスライダーを有する浮
上式光学ヘッドをダイナミックロードにより記録媒体上
100nmの高さに浮上させ、レーザーをパルス的に照
射して記録層をキュリー温度以上に暖めながら、SIL
ヘッド上のコイル磁界を10MHzで変調させながら記
録し、10MHzで記録したときのSNRを記録媒体の
半径位置20、30、40、50、60mmの5ケ所に
ついて測定した。なお、このSNRの値は、各媒体で再
生パワーを調整してSNRが最大になる条件で測定して
得られたものである。各評価結果を表1にまとめる。
【0027】
【表1】 実施例1および2では、同一半径位置におけるヘッダー
部とランド/グルーブ部のRpの差が10nm以下と小
さい。比較例1ではヘッダー部に凹みが無いため、ラン
ド/グルーブ部と比較してRpが小さくなっており、半
径20〜60mmでのRpの差が26〜29nmと大き
くなった。また、ピエゾ素子からの出力信号測定結果
は、実施例1および2では半径20〜60mmの範囲で
150mV以下と良好な値となっており、ヘッドの浮上
高さ変動が小さく、安定した浮上特性であることを示し
ている。一方比較例1では、電圧値は340〜380m
Vと2倍以上の強度を示し、ヘッダー部とランド/グル
ーブ部のRpが大きく異なるため、ヘッドの浮上高さ変
動が大きいことを示している。SNRの評価では、実施
例1および2では半径20〜60mmで25〜27dB
と良好な結果を示したが、比較例1ではヘッド浮上高さ
が変動したことによりノイズが大きくなり、SNRは2
0dB以下と低い値を示した。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、記録媒体上を浮上する
ヘッドの浮上高さを記録再生領域の全域で一定に保つこ
とにより、均一な記録再生信号を得られ、ヘッドとのク
ラッシュが起きにくい信頼性の高い光記録媒体が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光記録媒体の一例を示す断面図であ
る。
【図2】本発明の光記録媒体の一例のヘッダー周辺の平
面形状を模式的示す拡大図である。
【符号の説明】
11 : 基板 12 : 反射層 13 : 記録層 14 : 誘電体層 21 : グルーブ 22 : ランド 23 : ヘッダー 24 : ミラー部 25 : 凹み

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に少なくとも反射層、記録層およ
    び誘電体層をこの順に積層してなり、フォーマット情報
    を書き換え可能なヘッダーと、ランドおよびグルーブを
    有し、浮上式光学ヘッドを用いて記録および/または再
    生を行う光記録媒体において、ヘッドの浮上特性安定化
    用の凹みをヘッド浮上領域のヘッダー部に少なくとも1
    個以上形成したことを特徴とする光記録媒体。
  2. 【請求項2】 ヘッダー部に形成された凹みの間口が、
    曲線、または直線、あるいは曲線と直線の組み合わせに
    よる周からなることを特徴とする請求項1記載の光記録
    媒体。
  3. 【請求項3】 記録方法が近接場光記録方式であること
    を特徴とする請求項1または2記載の光記録媒体。
JP2001261870A 2001-08-30 2001-08-30 光記録媒体 Pending JP2003077180A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005025868A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Ricoh Co Ltd 光学ヘッド装置および光情報記録再生装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005025868A (ja) * 2003-07-02 2005-01-27 Ricoh Co Ltd 光学ヘッド装置および光情報記録再生装置

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