JP2003075744A - 光マイクロスキャナの製造方法、光マイクロスキャナ、及び光マイクロスキャナアレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化す
ることを可能とする光マイクロスキャナの製造方法、光
マイクロスキャナ、及び光マイクロスキャナアレイを提
供する。 【解決手段】 透明基板６上に電析用電極パターン１に
よる塗布電析用電極６とミラー駆動部用パターン２によ
るミラー駆動部３とを形成させた後、マスク部４を積層
し、これをエッチングして塗布電析用電極６に開口部５
を形成する。次に、第２ステップにおいて電析を行い、
ミラー部７を形成する。その後、第３ステップでマスク
部４を除去する。これにより、図１の（ｄ）に示すよう
に、基板上領域を有効に活用した光マイクロスキャナア
レイが成形される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光マイクロスキャ
ナの製造方法、光マイクロスキャナ、及び光マイクロス
キャナアレイに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、微細なミラー面を回転光走査する
ことで、スキャニングをおこなう光スキャナでは、ミラ
ー両側にばね部を形成すると共にばね部を矩形波状に形
成して光走査用素子を構成していた。

【０００３】このような構成を有する従来技術として、
特開昭６３−８５７６５号公報が開示するところの画像
形成装置が存在する。（以下、従来技術１とする） 従来技術１における偏向子１１０は、図５に示すよう
に、反射ミラー１１２と駆動コイル１１１とが同一板材
上に設けられ、これらが回転指示棒として機能するリガ
メント１１３と一体成形されている。

【０００４】また、従来技術１が開示するところの偏光
子を改良した技術として、特開平９−９７３０５号公報
が開示するところの光スキャナ装置における光偏向素子
が存在する。

【０００５】従来技術２における光偏向素子２１０は、
図６に示すように、反射ミラー２０５とバネ部２３５と
圧電素子２０６とが同一板材上に設けられ、圧電素子２
０６がバネ部２３５を駆動することにより反射ミラー２
０５がＺ軸を中心に回転するよう構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記各
従来技術が開示するところの光スキャナ装置では、圧電
素子を駆動源としてミラー外に設けているのでミラーに
比べて素子が大きくなり、各ミラーを微細化することが
難しく、更に、各ミラーをアレイ化することが困難であ
るという問題が存在する。

【０００７】また、このような問題が存在するために、
上記従来技術による光スキャナ装置では、スキャンニン
グ速度が遅くなり、プロジェクター等の大型ディスプレ
イへ応用する点に技術的課題を有している。また、これ
は、高画質なスキャニングへの対応が不可能という問題
も有している。

【０００８】従って、本発明は、上記問題に鑑みなされ
たもので、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化す
ることを可能とする光マイクロスキャナの製造方法、光
マイクロスキャナ、及び光マイクロスキャナアレイを提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】係る目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、ミラー面を駆動し光をスキ
ャンさせる光マイクロスキャナを形成する光マイクロス
キャナの製造方法であって、透明基板上に形成された電
析電極の開口部に、電析によりミラー部を形成すること
を特徴としている。

【００１０】これにより、請求項１記載の発明によれ
ば、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００１１】即ち、ガラス、樹脂等の透明基板を用いて
いるので、鏡面状態の電析裏面で光をスキャンすること
ができる。またフォトリソと電析をもちいたプロセスを
行うため、微細化、アレイ化が容易で量産性に優れたプ
ロセスをとることができる。

【００１２】さらに、請求項２記載の発明は、ミラー部
の駆動電極と電析電極とを形成させた後、開口部を設
け、開口部にミラー部を形成することを特徴としてい
る。

【００１３】これにより、請求項２記載の発明によれ
ば、ミラー駆動用回路をあらかじめ形成しているので集
積化を容易に行うことができる。

【００１４】さらに、請求項３記載の発明は、電析電極
を、透明電極で形成することを特徴としている。

【００１５】これにより、請求項３記載の発明によれ
ば、電極としてインジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等の
透明電極を用いているので、裏面からの光をさえぎるこ
となく高効率でスキャンすることができる。

【００１６】さらに、請求項４記載の発明は、ミラー部
を形成した透明基板の面に対向する位置に、ミラー部の
駆動電極が形成された基板を設けることを特徴としてい
る。

【００１７】これにより、請求項４記載の発明によれ
ば、ミラー裏面部に駆動用基板が配置されているので回
路等により光路をさえぎるられることがない。

【００１８】さらに、請求項５記載の発明は、ミラー部
の表面をテフロンコートすることを特徴としている。

【００１９】これにより、請求項５記載の発明によれ
ば、電析金属で形成されたミラー部表面にテフロンコー
トが行われているため耐久性を向上させることができ
る。

【００２０】また、請求項６記載の発明は、ミラー面を
駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナを形成す
る光マイクロスキャナの製造方法であって、基板上に基
板と反対の面をミラーとするミラー部を形成することを
特徴としている。

【００２１】これにより、請求項６記載の発明によれ
ば、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００２２】即ち、電析表面をミラーとして用いている
ので、電極等の遮蔽物がなくより単純な構成のスキャナ
とすることができる。

【００２３】さらに、請求項７記載の発明は、基板と前
記ミラー部との間に、ミラー部を駆動するための配線を
形成することを特徴としている。

【００２４】これにより、請求項７記載の発明によれ
ば、ミラー下面に駆動回路が埋め込まれているため集積
化を容易に行うことができる。

【００２５】さらに、請求項８記載の発明は、ミラー部
の表面を光沢電析金属でカバーすることを特徴としてい
る。

【００２６】これにより、請求項８記載の発明によれ
ば、電極最表面を光沢金属材料でカバーしているので、
ミラーの反射効率を向上させることができる。

【００２７】さらに、請求項９記載の発明は、ミラー部
が、円形、楕円形、四角形、正方形、長方形、角が丸く
整形された四角形、三角形、正三角形、六角形、正六角
形のいずれかの形状であることを特徴としている。

【００２８】これにより、請求項１０記載の発明によれ
ば、さまざまなミラーパターンを選択することにより、
用途ごとに最適な設計をすることができる。

【００２９】さらに、請求項１０記載の発明は、ミラー
部が、磁性材料で形成されることを特徴としている。

【００３０】これにより、請求項１０記載の発明によれ
ば、磁性材料によりミラー部が形成されているので、駆
動方法として磁気を用いることができる。

【００３１】さらに、請求項１１記載の発明は、ミラー
部とミラー部の振動駆動源とを分けて構成することを特
徴としている。

【００３２】これにより、請求項１１記載の発明によれ
ば、駆動源がミラー形成部と別個に形成されているた
め、ミラー部構造がシンプルとなり、高歩留まりで製造
することができる。

【００３３】また、請求項１２記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナであっ
て、透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラ
ー部を有することを特徴としている。

【００３４】これにより、請求項１２記載の発明によれ
ば、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００３５】即ち、ガラス、樹脂等の透明基板を用いて
いるので、鏡面状態の電析裏面で光をスキャンすること
ができ、またフォトリソと電析をもちいたプロセスを行
うために、微細化、アレイ化が容易で量産性に優れたプ
ロセスをとることができるスキャナを容易に集積形成さ
せているため、安価で高機能なマイクロスキャナレイを
実現することができる。

【００３６】また、請求項１３記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナであっ
て、基板上に基板と反対の面をミラーとして形成された
ミラー部を有することを特徴としている。

【００３７】これにより、請求項１３記載の発明によれ
ば、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００３８】即ち、電析表面をミラーとして用いている
ので、電極等の遮蔽物がなくより単純な構成であり、且
つ、微細なスキャナを容易に集積形成させているため、
安価で高機能なマイクロスキャナレイを実現することが
できる。

【００３９】また、請求項１４記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナがアレ
イ状に配置された光マイクロスキャナアレイであって、
透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラー
部、又は、基板上に該基板と反対の面をミラーとして形
成されたミラー部が、同一面内に複数配列されているこ
とを有することを特徴としている。

【００４０】これにより、請求項１４記載の発明によれ
ば、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００４１】また、複数のマイクロスキャナが面上に配
列されているため、プロジェクタ等の大型画面表示用の
ディバイスへ応用することが可能となる。

【００４２】

【発明の実施の形態】〔発明の特徴〕本発明を説明する
にあたり、本発明の特徴となる点を以下に挙げる。

【００４３】まず、本発明は、微細なミラー面を駆動し
光をスキャンさせるマイクロスキャナの形成方法であっ
て、ガラス、樹脂フィルム等の透明基板上に形成させた
電極開口部より、電析によってミラー部を形成させるこ
とを特徴とするものである。

【００４４】さらに、本発明は、上記のマイクロスキャ
ナの形成方法において、電析電極とミラー駆動用電極と
を形成させた後、電析開口部を設け、ミラー部を形成
し、ミラーの駆動を行うことを特徴とするものである。

【００４５】また、本発明は、上記のマイクロスキャナ
の形成方法において、電析電極をＩＴＯ等の透明電極と
することを特徴とするものである。

【００４６】また、本発明は、上記のマイクロスキャナ
の形成方法において、ミラー部を形成させた透明基板に
対向する位置に駆動用電極パターンを形成させた基板を
積層させることを特徴とするものである。

【００４７】さらに、本発明は、上記のマイクロスキャ
ナの形成方法において、電析金属表面にテフロンコート
したことを特徴とするものである。

【００４８】また、本発明は、微細なミラー面を駆動し
光をスキャンさせるマイクロスキャナの形成方法であっ
て、基板上に形成させた電析金属表面をミラーとして用
いることを特徴とするものである。

【００４９】さらに、本発明は、上記のマイクロスキャ
ナの形成方法において、ミラー部下にミラー駆動用配線
を形成させたことを特徴とするものである。

【００５０】また、本発明は、上記のマイクロスキャナ
の形成方法において、電析金属最表面層を光沢電析金属
でカバーすることを特徴とするものである。

【００５１】さらに、本発明は、上記の形成方法により
形成されたマイクロスキャナが面内に複数個配置されて
いることを特徴とするものである。

【００５２】さらに、本発明は、上記の形成方法により
形成されたマイクロスキャナのミラー部形状が、円形、
正方形、長方形、正三角形、六角形等になっていること
を特徴とするものである。

【００５３】さらに、本発明は、上記の形成方法により
形成されたマイクロスキャナのミラー部が、磁性材料に
より形成されていることを特徴とするものである。

【００５４】さらに、本発明は、上記のマイクロスキャ
ナの形成方法において、ミラー部外に振動駆動源を設
け、この振動駆動源によりミラー部を共振させることを
特徴とするものである。

【００５５】以下、上記の特徴を備えた本発明を好適に
実施した形態について、図面を用いて詳細に説明する。

【００５６】〔第１の実施形態〕まず、本発明の第１の
実施形態について、以下に説明する。

【００５７】図１は、本実施形態における光マイクロス
キャナアレイの形成プロセスを段階的に示す概略図であ
る。

【００５８】図１を参照すると、本発明による形成プロ
セスでは、第１ステップにおいて、ガラスや樹脂フィル
ム等を用いて成形された透明基板６上に、電析用電極パ
ターン１による塗布電析用電極６とミラー駆動部用パタ
ーン２によるミラー駆動部３とを形成させた後、レジス
ト、ＰＭＭＡ、感光性ポリイミド等を用いてマスク部４
を積層し、これをエッチングして塗布電析用電極６に開
口部５を形成する（図１の（ａ）参照）。但し、このス
テップにおいて形成する塗布電析用電極６は、インジウ
ム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等を用いて形成した透明電極
とするとよい。

【００５９】次に、ミラー部７を形成するために、第２
ステップにおいて電析を行う（図１の（ｂ）参照）。こ
の時の電析材料としては、ニッケル、コバルト、銅、ク
ロム、パーマロイ、In、Fe-Ni、Co-P、Ni-Co、Ni-Co-P
等の磁性材料が挙げられる。また、このミラー部７の表
面にテフロンコート等の保護加工を施すとよい。

【００６０】その後、第３ステップでマスク部４を除去
する（図１の（ｃ）参照）。これにより、図１の（ｄ）
に示すように、透明基板６越しに光をスキャンさせる光
マイクロスキャナアレイが成形される。

【００６１】但し、第２ステップにおいて形成したミラ
ー部７に関しては、電析金属の表面をミラーとして機能
させるよう構成することも可能であるし、また、電析さ
せた金属の表面に光沢電析金属をカバーすることでミラ
ー部７を形成することも可能である。

【００６２】また、本実施形態では、ミラー部７と透明
基板１０との間にミラー駆動用の配線を形成するとよ
い。

【００６３】このように、本実施形態では、ミラー部７
外にミラー部７を振動駆動させるためのミラー駆動部３
を設け、また、ミラー駆動部３が形成されるミラー駆動
部用パターン２の領域とミラー部７が形成される領域と
を、同一平面上に設けるのでなく、重なるように構成す
ることで、基板上領域を有効に活用することが可能とな
り、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。また、本実施形態で形成されるミラー部
７の例は、第３の実施形態において説明する。

【００６４】〔第２の実施形態〕また、第１の実施形態
では、同一透明基板６上に電析用電極パターン１とミラ
ー駆動部用パターン２とを形成したが、本実施形態で
は、ミラー駆動部用パターン２を、透明基板６と対向配
置した基板１０上に設ける構成とする。

【００６５】図２は、本実施形態による光マイクロスキ
ャナアレイの構成を示す図である。

【００６６】図２を参照すると、本実施形態では、電析
用電極パターン１による塗布電析用電極６を形成させた
後、レジスト、ＰＭＭＡ、感光性ポリイミド等を用いて
マスク部４を積層し、これをエッチングして塗布電析用
電極６に開口部５を形成し、その後、電析により形成さ
れたミラー部７を有する透明基板１０と、ミラー駆動部
用パターン２によりミラー駆動部３が形成された基板２
０と、を対向配置させた構成となっている（図２の
（ａ））。

【００６７】また、本実施形態において形成された光マ
イクロスキャナアレイは、第１の実施形態と同様に、図
２の（ｂ）に示すように、透明基板１０を透過した光を
反射するよう構成されている。

【００６８】また、本実施形態において、第１の実施形
態と同様の構成には、同一の符号を付して説明してい
る。

【００６９】また、本実施形態でも、ミラー部７と透明
基板１０との間にミラー駆動用の配線を形成するとよ
い。

【００７０】これにより、本実施形態では、第１の実施
形態と同様に、このように、本実施形態では、ミラー部
７外にミラー部７を振動駆動させるためのミラー駆動部
３を設け、また、ミラー駆動部３が形成されるミラー駆
動部用パターン２の領域とミラー部７が形成される領域
とを、同一平面上に設けるのでなく、重なるように構成
することで、基板上領域を有効に活用することが可能と
なり、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化するこ
とが可能となる。また、本実施形態において形成される
ミラー部７の例も、第３の実施形態で説明する。

【００７１】〔第３の実施形態〕また、上記の第１又は
第２の実施形態で形成したミラー部７の構成の例を、第
３の実施形態として図３に示す。

【００７２】図３は、本実施形態において例示するミラ
ー部７の上視図を示す外観図である。図３を参照する
と、本実施形態では、ミラー部７の上部から見た構成と
して、円形（ａ）と、角が丸く整形された四角形（ｂ）
と、正六角形（ｃ）と、を例示している。

【００７３】これらの構成は、ミラー部７を効率良く配
列させるための形状の一例である。また、本実施形態に
よるミラー部７の形状には、円形、角が丸く整形された
四角形、正六角形のほかに、楕円形や四角形や正方形や
長方形や三角形や正三角形や六角形等を適用することが
可能である。

【００７４】このように、本実施形態では、ミラー部７
を可能な限り隙間なく、効率的に基板上へ配列させるこ
とにより、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化す
ることが可能となる。但し、これらの構成は、本発明の
主旨を逸脱しない限り、種々変形して実施することが可
能である。

【００７５】〔第４の実施形態〕また、上記第１又は第
２の実施形態では、基板としてガラスや樹脂フィルム等
からなる透明基板６を用い、ミラー部７がこれを透過し
た光を反射させる、即ち、ミラー部７を光の入射面に対
して透明基板６を介在させる側に設けていたが、本実施
形態では、これを基板を介在させない側、即ち、光の入
射側に設けるよう構成する。

【００７６】図４は、本実施形態における光マイクロス
キャナアレイの形成プロセスを段階的に示す概略図であ
る。

【００７７】図４を参照すると、本発明による形成プロ
セスでは、第１ステップにおいて、基板６（透明なもの
でなく、通常のものでよい）上に、電析用電極パターン
１による塗布電析用電極６とミラー駆動部用パターン２
によるミラー駆動部３とを形成させた後、レジスト、Ｐ
ＭＭＡ、感光性ポリイミド等を用いてマスク部４を積層
し、これをエッチングして塗布電析用電極６に開口部５
を形成し、この開口部５に、更に、ミラー形成用パター
ン４３により塗布電析用電極４６を形成する（図４の
（ａ）参照）。但し、ミラー形成用パターン４３による
塗布電析用電極４６の形成にあたっては、塗布電析用電
極６をマスク部４と同一の高さまで積層させることで、
開口部５を形成するプロセスを省略して、塗布電析用電
極４６を形成することが可能となる。また、このステッ
プにおいて形成する塗布電析用電極６，４６は、インジ
ウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等を用いて形成した透明電
極とするとよい。

【００７８】次に、ミラー部７を形成するために、第２
ステップにおいて電析を行う（図４の（ｂ）参照）。こ
の時の電析材料としては、第１の実施形態と同様に、ニ
ッケル、コバルト、銅、クロム、パーマロイ、In、Fe-N
i、Co-P、Ni-Co、Ni-Co-P等が挙げられる。また、この
ミラー部４７の表面にテフロンコート等の保護加工を施
すとよい。

【００７９】その後、第３ステップでマスク部４を除去
する（図４の（ｃ）参照）。これにより、図４の（ｄ）
に示すように、基板４０を介さずに光をスキャンさせる
光マイクロスキャナアレイが成形される。

【００８０】但し、第２ステップにおいて形成したミラ
ー部４７に関しては、電析金属の表面をミラーとして機
能させるよう構成することも可能であるし、また、電析
させた金属の表面に光沢電析金属をカバーすることでミ
ラー部４７を形成することも可能である。

【００８１】また、本実施形態でも、ミラー部４７と透
明基板１０との間にミラー駆動用の配線を形成するとよ
い。

【００８２】このように、本実施形態では、第１の実施
形態と同様に、ミラー部４７外にミラー部４７を振動駆
動させるためのミラー駆動部３を設け、また、ミラー駆
動部３が形成されるミラー駆動部用パターン２の領域と
ミラー部４７が形成される領域とを、同一平面上に設け
るのでなく、重なるように構成することで、基板上領域
を有効に活用することが可能となり、微細で高密度なス
キャナを容易にアレイ化することが可能となる。

【００８３】また、本実施形態によるミラー部４７の形
状も、第３の実施形態で説明した形状を適用することが
可能である。

【００８４】〔応用〕また、上記各実施形態で説明した
光マイクロスキャナアレイを同一面上に配列させること
により、大型のプロジェクタ装置等に応用させることも
容易である。

【００８５】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１記載の
発明は、ミラー面を駆動し光をスキャンさせる光マイク
ロスキャナを形成する光マイクロスキャナの製造方法で
あって、透明基板上に形成された電析電極の開口部に、
電析によりミラー部を形成することを特徴としているた
め、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化すること
が可能となる。

【００８６】即ち、ガラス、樹脂等の透明基板を用いて
いるので、鏡面状態の電析裏面で光をスキャンすること
ができる。またフォトリソと電析をもちいたプロセスを
行うため、微細化、アレイ化が容易で量産性に優れたプ
ロセスをとることができる。

【００８７】さらに、請求項２記載の発明は、ミラー部
の駆動電極と電析電極とを形成させた後、開口部を設
け、開口部にミラー部を形成することを特徴としている
ため、ミラー駆動用回路をあらかじめ形成しているので
集積化を容易に行うことができる。

【００８８】さらに、請求項３記載の発明は、電析電極
を、透明電極で形成することを特徴としているため、電
極としてインジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）等の透明電
極を用いているので、裏面からの光をさえぎることなく
高効率でスキャンすることができる。

【００８９】さらに、請求項４記載の発明は、ミラー部
を形成した透明基板の面に対向する位置に、ミラー部の
駆動電極が形成された基板を設けることを特徴としてい
るため、ミラー裏面部に駆動用基板が配置されているの
で回路等により光路をさえぎるられることがない。

【００９０】さらに、請求項５記載の発明は、ミラー部
の表面をテフロンコートすることを特徴としているた
め、電析金属で形成されたミラー部表面にテフロンコー
トが行われているため耐久性を向上させることができ
る。

【００９１】また、請求項６記載の発明は、ミラー面を
駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナを形成す
る光マイクロスキャナの製造方法であって、基板上に基
板と反対の面をミラーとするミラー部を形成することを
特徴としているため、電析表面をミラーとして用いてい
るので、微細で高密度なスキャナを容易にアレイ化する
ことが可能となる。

【００９２】即ち、電極等の遮蔽物がなくより単純な構
成のスキャナとすることができる。

【００９３】さらに、請求項７記載の発明は、基板と前
記ミラー部との間に、ミラー部を駆動するための配線を
形成することを特徴としているため、ミラー下面に駆動
回路が埋め込まれているため集積化を容易に行うことが
できる。

【００９４】さらに、請求項８記載の発明は、ミラー部
の表面を光沢電析金属でカバーすることを特徴としてい
るため、電極最表面を光沢金属材料でカバーしているの
で、ミラーの反射効率を向上させることができる。

【００９５】さらに、請求項９記載の発明は、ミラー部
が、円形、楕円形、四角形、正方形、長方形、角が丸く
整形された四角形、三角形、正三角形、六角形、正六角
形のいずれかの形状であることを特徴としているため、
さまざまなミラーパターンを選択することにより、用途
ごとに最適な設計をすることができる。

【００９６】さらに、請求項１０記載の発明は、ミラー
部が、磁性材料で形成されることを特徴としているた
め、磁性材料によりミラー部が形成されているので、駆
動方法として磁気を用いることができる。

【００９７】さらに、請求項１１記載の発明は、ミラー
部とミラー部の振動駆動源とを分けて構成することを特
徴としているため、駆動源がミラー形成部と別個に形成
されているため、ミラー部構造がシンプルとなり、高歩
留まりで製造することができる。

【００９８】また、請求項１２記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナであっ
て、透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラ
ー部を有することを特徴としているため、微細で高密度
なスキャナを容易にアレイ化することが可能となる。

【００９９】即ち、ガラス、樹脂等の透明基板を用いて
いるので、鏡面状態の電析裏面で光をスキャンすること
ができ、またフォトリソと電析をもちいたプロセスを行
うために、微細化、アレイ化が容易で量産性に優れたプ
ロセスをとることができるスキャナを容易に集積形成さ
せているため、安価で高機能なマイクロスキャナレイを
実現することができる。

【０１００】また、請求項１３記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナであっ
て、基板上に基板と反対の面をミラーとして形成された
ミラー部を有することを特徴としているため、電析表面
をミラーとして用いているので、電極等の遮蔽物がなく
より単純な構成であり、且つ、微細なスキャナを容易に
集積形成させているため、微細で高密度なスキャナを容
易にアレイ化することが可能となる。

【０１０１】即ち、安価で高機能なマイクロスキャナレ
イを実現することができる。

【０１０２】また、請求項１４記載の発明は、ミラー面
を駆動し光をスキャンさせる光マイクロスキャナがアレ
イ状に配置された光マイクロスキャナアレイであって、
透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラー
部、又は、基板上に該基板と反対の面をミラーとして形
成されたミラー部が、同一面内に複数配列されているこ
とを有することを特徴としているため、微細で高密度な
スキャナを容易にアレイ化することが可能となる。

【０１０３】また、複数のマイクロスキャナが面上に配
列されているため、プロジェクタ等の大型画面表示用の
ディバイスへ応用することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態による光マイクロスキ
ャナアレイの形成プロセスの概略を示す図である。

【図２】本発明の第２の実施形態による光マイクロスキ
ャナアレイの構成を示す図である。

【図３】本発明の第３の実施形態において例示する光マ
イクロスキャナの上面図を示す図である。

【図４】本発明の第４の実施形態による光マイクロスキ
ャナアレイの形成プロセスの概略を示す図である。

【図５】従来技術１における偏向子の構成を示す図であ
る。

【図６】従来技術２における光偏向素子の構成を示す図
である。

【符号の説明】

１ 電析用電極パターン ２ ミラー駆動部用パターン ３ ミラー駆動部 ４ マスク部 ５ 開口部 ６、４６ 塗布電析用電極 ７、４７ ミラー部 １０ 透明基板 ２０、４０ 基板 ４３ ミラー形成用パターン

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ミラー面を駆動し光をスキャンさせる光
   マイクロスキャナを形成する光マイクロスキャナの製造
   方法であって、 透明基板上に形成された電析電極の開口部に、電析によ
   りミラー部を形成することを特徴とする光マイクロスキ
   ャナの製造方法。
2. 【請求項２】 前記ミラー部の駆動電極と前記電析電極
   とを形成させた後、前記開口部を設け、該開口部に前記
   ミラー部を形成することを特徴とする請求項１記載の光
   マイクロスキャナの製造方法。
3. 【請求項３】 前記電析電極を、透明電極で形成するこ
   とを特徴とする請求項１記載の光マイクロスキャナの製
   造方法。
4. 【請求項４】 前記ミラー部を形成した前記透明基板の
   面に対向する位置に、前記ミラー部の駆動電極が形成さ
   れた基板を設けることを特徴とする請求項１記載の光マ
   イクロスキャナの製造方法。
5. 【請求項５】 前記ミラー部の表面をテフロン（登録商
   標）コートすることを特徴とする請求項１から４のいず
   れか１項に記載の光マイクロスキャナの製造方法。
6. 【請求項６】 ミラー面を駆動し光をスキャンさせる光
   マイクロスキャナを形成する光マイクロスキャナの製造
   方法であって、 基板上に該基板と反対の面をミラーとするミラー部を形
   成することを特徴とする光マイクロスキャナの製造方
   法。
7. 【請求項７】 前記基板と前記ミラー部との間に、該ミ
   ラー部を駆動するための配線を形成することを特徴とす
   る請求項６記載の光マイクロスキャナの製造方法。
8. 【請求項８】 前記ミラー部の表面を光沢電析金属でカ
   バーすることを特徴とする請求項６記載の光マイクロス
   キャナの製造方法。
9. 【請求項９】 前記ミラー部は、円形、楕円形、四角
   形、正方形、長方形、角が丸く整形された四角形、三角
   形、正三角形、六角形、正六角形のいずれかの形状であ
   ることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記
   載の光マイクロスキャナの製造方法。
10. 【請求項１０】 前記ミラー部は、磁性材料で形成され
    ることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記
    載の光マイクロスキャナの製造方法。
11. 【請求項１１】 前記ミラー部と該ミラー部の振動駆動
    源とを分けて構成することを特徴とする請求項１又は６
    記載の光マイクロスキャナの製造方法。
12. 【請求項１２】 ミラー面を駆動し光をスキャンさせる
    光マイクロスキャナであって、 透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラー部
    を有することを特徴とする光マイクロスキャナ。
13. 【請求項１３】 ミラー面を駆動し光をスキャンさせる
    光マイクロスキャナであって、 基板上に該基板と反対の面をミラーとして形成されたミ
    ラー部を有することを特徴とする光マイクロスキャナ。
14. 【請求項１４】 ミラー面を駆動し光をスキャンさせる
    光マイクロスキャナがアレイ状に配置された光マイクロ
    スキャナアレイであって、 透明基板上に設けられた電析電極に形成されたミラー
    部、又は、基板上に該基板と反対の面をミラーとして形
    成されたミラー部が、同一面内に複数配列されているこ
    とを有することを特徴とする光マイクロスキャナアレ
    イ。